JP6483382B2 - Photosensitive resin composition and cured product thereof - Google Patents

Photosensitive resin composition and cured product thereof Download PDF

Info

Publication number
JP6483382B2
JP6483382B2 JP2014188271A JP2014188271A JP6483382B2 JP 6483382 B2 JP6483382 B2 JP 6483382B2 JP 2014188271 A JP2014188271 A JP 2014188271A JP 2014188271 A JP2014188271 A JP 2014188271A JP 6483382 B2 JP6483382 B2 JP 6483382B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
group
compound
acid
resin composition
photosensitive resin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2014188271A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2016061861A (en
Inventor
聖 村田
聖 村田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Adeka Corp
Original Assignee
Adeka Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Adeka Corp filed Critical Adeka Corp
Priority to JP2014188271A priority Critical patent/JP6483382B2/en
Publication of JP2016061861A publication Critical patent/JP2016061861A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6483382B2 publication Critical patent/JP6483382B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Indole Compounds (AREA)

Description

本発明は、感光性樹脂組成物(以下、単に「組成物」とも称す)、その硬化物に関し、詳しくは、優れた塩基発生能を有する感光性樹脂組成物、その硬化物に関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition (hereinafter, also simply referred to as “composition”) and a cured product thereof, and specifically relates to a photosensitive resin composition having excellent base generating ability and a cured product thereof.

一般に、感光性樹脂組成物は、感光性樹脂に光開始剤を加えたものであり、エネルギー線(光)照射により重合硬化、または現像させることが出来るため、光硬化性インキ、感光性印刷版、各種フォトレジスト、光硬化性接着剤等に用いられている。   In general, a photosensitive resin composition is obtained by adding a photoinitiator to a photosensitive resin and can be polymerized, cured, or developed by irradiation with energy rays (light). It is used for various photoresists, photo-curing adhesives and the like.

光開始剤は、エネルギー線(光)照射により発生する活性種の違いで、光ラジカル発生剤、光酸発生剤、光塩基発生剤に分けられる。光ラジカル発生剤は、硬化速度が速く、硬化後に活性種が残存しない等の長所を有している。しかしながら、酸素による硬化阻害が起こるため、薄膜の硬化においては酸素を遮断する層等を設けなければならないという短所を有している。光酸発生剤は、酸素による阻害を受けないという長所を有しているが、活性種の酸が残存することで金属基板を腐食させたり、硬化後の樹脂を変性させたりする等の短所を有している。これに対し、光塩基発生剤は、酸素による硬化阻害および残存活性種による腐食といった問題を生じにくいため注目されている。しかしながら、概して光酸発生剤と比較すると低感度(低硬化性)であるという問題を有していた。これまで、光塩基発生剤については種々提案されており、先行技術としては、例えば、特許文献1〜3等を挙げることができる。   Photoinitiators are classified into photoradical generators, photoacid generators, and photobase generators, depending on the active species generated by energy beam (light) irradiation. The photo radical generator has advantages such as a high curing rate and no active species remaining after curing. However, since the inhibition of curing by oxygen occurs, there is a disadvantage in that it is necessary to provide a layer for blocking oxygen in curing the thin film. The photoacid generator has the advantage that it is not inhibited by oxygen, but it has the disadvantage that the active species of acid remains to corrode the metal substrate or denature the cured resin. Have. On the other hand, photobase generators are attracting attention because they hardly cause problems such as curing inhibition by oxygen and corrosion by residual active species. However, it generally has a problem of low sensitivity (low curability) as compared with the photoacid generator. Various photobase generators have been proposed so far, and examples of prior art include Patent Documents 1 to 3 and the like.

特表2001−513765号公報Special table 2001-513765 gazette 国際公開WO2010/064631号International Publication WO 2010/064631 国際公開WO2010/064632号International Publication WO2010 / 064632

しかしながら、従来、提案されている光塩基発生剤であっても、必ずしも塩基発生能が十分ではないというのが現状である。したがって、今後、高性能の光硬化性インキ、感光性印刷版、各種フォトレジスト、光硬化性接着剤等を得るためには、優れた塩基発生能を有する光塩基発生剤が不可欠である。   However, the present situation is that even the conventionally proposed photobase generators do not necessarily have sufficient base generating ability. Therefore, in the future, a photobase generator having an excellent base generating ability is indispensable in order to obtain a high-performance photocurable ink, a photosensitive printing plate, various photoresists, a photocurable adhesive, and the like.

そこで、本発明の目的は、感光性樹脂組成物、その硬化物、およびこれに用いる、優れた塩基発生能を有する新規化合物を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition, a cured product thereof, and a novel compound having an excellent base generating ability used therein.

本発明者は、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、特定の構造を有する化合物が光開始剤として、高い塩基発生能を有しており、この化合物を光塩基発生剤として用いることで上記課題を解消することができることを見出し、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies to solve the above-mentioned problems, the present inventor has a high base generating ability as a photoinitiator, and a compound having a specific structure is used as a photobase generator. The present inventors have found that the problem can be solved and have completed the present invention.

すなわち、本発明の感光性樹脂組成物は、(A)光開始剤と、(B)硬化性樹脂と、を含有する感光性樹脂組成物において、
前記(A)光開始剤として、下記一般式(1)、

Figure 0006483382
(一般式(1)中、環Aは、下記部分構造式(1−1)〜(1−10)、の何れかであり、RおよびRは、それぞれ独立に、水素原子、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1〜20の炭化水素基、またはRおよびRが、互いに連結して形成する窒素原子を含む環であり、該環にはベンゼン環が縮環していてもよい。)で表される化合物を少なくとも1種含有することを特徴とするものである。
Figure 0006483382
(式中、*は、前記一般式(1)中で二重結合にて窒素原子と連結する部位を表し、Xはそれぞれ独立に、−CR1112−、−CO−、−CS−、−NR13−、−S−、−SO−、−O−、または−PR14−を表し、R11〜R14およびR21〜R78は、それぞれ独立に、水素原子、シアノ基、ニトロ基、−OR15、−COOR15、−CO−R15、−SR15、ハロゲン原子、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1〜20の炭化水素基、または、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数2〜20の複素環基を表し、R15は、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1〜20の炭化水素基、または、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数2〜20の複素環基を表す。) That is, the photosensitive resin composition of the present invention is a photosensitive resin composition containing (A) a photoinitiator and (B) a curable resin.
As the (A) photoinitiator, the following general formula (1),
Figure 0006483382
(In General Formula (1), Ring A 1 is any one of the following partial structural formulas (1-1) to (1-10), and R 1 and R 2 are each independently a hydrogen atom, A substituted or substituted hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or a ring containing nitrogen atoms formed by connecting R 1 and R 2 to each other, and the ring is condensed with a benzene ring; It may be cyclic.) It contains at least 1 type of compound represented by this.
Figure 0006483382
(Wherein, * represents a site connecting to the nitrogen atom at the double bond in the formula (1), X is independently, -CR 11 R 12 -, - CO -, - CS-, -NR 13 -, - S -, - SO 2 -, - O-, or -PR 14 - represents, R 11 to R 14 and R 21 to R 78 each independently represent a hydrogen atom, a cyano group, a nitro group, -OR 15, -COOR 15, -CO -R 15, -SR 15, halogen atom, unsubstituted or has a substituent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms or, an unsubstituted or substituted Represents a heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms having a group, and R 15 is an unsubstituted or substituted hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or an unsubstituted or substituted group. Represents a C2-C20 heterocyclic group having a group.)

本発明の感光性樹脂組成物においては、(C)アルカリ現像性樹脂を含有することが好ましい。   In the photosensitive resin composition of this invention, it is preferable to contain (C) alkali developable resin.

本発明の硬化物は、本発明の感光性樹脂組成物にエネルギー線が照射されてなることを特徴とするものである。   The cured product of the present invention is characterized in that the photosensitive resin composition of the present invention is irradiated with energy rays.

本発明によれば、優れた塩基発生能を有する化合物を用いた感光性樹脂組成物、その硬化物、およびこれに用いる、優れた塩基発生能を有する新規化合物を提供することができる。また、本発明の新規化合物は、優れた熱安定性を有しているため、感光性樹脂組成物の硬化プロセスに好適である。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the photosensitive resin composition using the compound which has the outstanding base generating ability, its hardened | cured material, and the novel compound which has the outstanding base generating ability used for this can be provided. Moreover, since the novel compound of the present invention has excellent thermal stability, it is suitable for the curing process of the photosensitive resin composition.

まず、本発明の感光性樹脂組成物について説明する。
本発明の感光性樹脂組成物は、(A)光開始剤(以下、「(A)成分」とも称す)と、(B)硬化性樹脂(以下、「(B)成分」とも称す)と、を含有する感光性樹脂組成物であり、(A)光開始剤が、上記一般式(1)で表される化合物を少なくとも1種含むものである。以下、本発明の感光性樹脂組成物の各成分につき、詳細に説明する。
First, the photosensitive resin composition of the present invention will be described.
The photosensitive resin composition of the present invention comprises (A) a photoinitiator (hereinafter also referred to as “component (A)”), (B) a curable resin (hereinafter also referred to as “component (B)”), The (A) photoinitiator contains at least one compound represented by the above general formula (1). Hereinafter, each component of the photosensitive resin composition of the present invention will be described in detail.

<(A)光開始剤>
本発明に係る(A)光開始剤は、下記一般式(1)、

Figure 0006483382
で表される構造を有しており、一般式(1)中の環Aは、炭素原子、窒素原子、硫黄原子、酸素原子およびリン原子から任意に構成される5員〜8員の環である。この5員〜8員の環には他の環が縮環していてもよく、また、置換基を有していてもよい。一般式(1)中のRおよびRは、それぞれ独立に、水素原子、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1〜20の炭化水素基、またはRおよびRが、互いに連結して形成する窒素原子を含む環であり、この環にはベンゼン環環が縮環していてもよい。 <(A) Photoinitiator>
The photoinitiator (A) according to the present invention has the following general formula (1),
Figure 0006483382
The ring A 1 in the general formula (1) is a 5- to 8-membered ring arbitrarily composed of a carbon atom, a nitrogen atom, a sulfur atom, an oxygen atom, and a phosphorus atom. It is. This 5-membered to 8-membered ring may be condensed with another ring, or may have a substituent. R 1 and R 2 in the general formula (1) are each independently a hydrogen atom, an unsubstituted or substituted hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or R 1 and R 2 are It is a ring containing nitrogen atoms that are connected to each other, and this ring may be condensed with a benzene ring.

一般式(1)中の5員〜8員の環は、特に制限されないが、窒素原子、硫黄原子、酸素原子およびリン原子を0〜2個有し、その他は炭素原子からなる5〜8員の環であるものが好ましい。また、5〜8員の環に、他の環が縮環して2環〜4環となっているものが好ましい。縮環する環としては、芳香族炭化水素環が好ましく、ベンゼン環、ナフタレン環、フェナントレン環がより好ましい。縮環して2環〜4環となった環Aの好ましい具体例としては、以下の部分構造式(1−1)〜(1−10)が挙げられる。 The 5-membered to 8-membered ring in the general formula (1) is not particularly limited, but has 0 to 2 nitrogen atoms, sulfur atoms, oxygen atoms and phosphorus atoms, and the others are 5 to 8 members composed of carbon atoms. Those having the ring are preferred. In addition, a 5- to 8-membered ring having other rings condensed to 2- to 4-rings is preferable. The condensed ring is preferably an aromatic hydrocarbon ring, more preferably a benzene ring, a naphthalene ring, or a phenanthrene ring. Preferable specific examples of the ring A 1 which has been condensed into 2 to 4 rings include the following partial structural formulas (1-1) to (1-10).

Figure 0006483382
Figure 0006483382

ここで、式(1−1)〜(1−10)中の*は、一般式(1)中で二重結合にて窒素原子と連結する部位を表し、Xはそれぞれ独立に、−CR1112−、−CO−、−CS−、−NR13−、−S−、−SO−、−O−、または−PR14−を表す。R11〜R14およびR21〜R78は、それぞれ独立に、水素原子、シアノ基、ニトロ基、−OR15、−COOR15、−CO−R15、−SR15、ハロゲン原子、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1〜20の炭化水素基、または、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数2〜20の複素環基を表す。また、R15は、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1〜20の炭化水素基、または、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数2〜20の複素環基を表す。 Where * in the formula (1-1) to (1-10), in the general formula (1) represents a site connecting to the nitrogen atom at the double bond, X is independently, -CR 11 R 12 −, —CO—, —CS—, —NR 13 —, —S—, —SO 2 —, —O—, or —PR 14 — is represented. R 11 to R 14 and R 21 to R 78 are each independently a hydrogen atom, a cyano group, a nitro group, —OR 15 , —COOR 15 , —CO—R 15 , —SR 15 , a halogen atom, unsubstituted or It represents a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms having a substituent or an unsubstituted or substituted heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms. R 15 represents an unsubstituted or substituted hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or an unsubstituted or substituted heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms. Represent.

上記部分構造式(1−1)〜(1−10)中の、R11〜R14、R21〜R78およびR15が表す炭素原子数1〜20の炭化水素基としては、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基等の脂肪族炭化水素基、シクロアルキル基等の脂環式炭化水素基、アリール基、アリールアルキル基等の芳香族炭化水素基が挙げられる。炭化水素基としては炭素原子数1〜10のものが好ましい。 In the partial structural formulas (1-1) to (1-10), as the hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms represented by R 11 to R 14 , R 21 to R 78 and R 15 , an alkyl group, Examples thereof include aliphatic hydrocarbon groups such as alkenyl groups and alkynyl groups, alicyclic hydrocarbon groups such as cycloalkyl groups, and aromatic hydrocarbon groups such as aryl groups and arylalkyl groups. As the hydrocarbon group, those having 1 to 10 carbon atoms are preferable.

無置換である炭化水素基の具体例としては、例えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、s−ブチル、t−ブチル、イソブチル、ペンチル、イソペンチル、t−ペンチル、ヘキシル、ヘプチル、イソヘプチル、t−ヘプチル、n−オクチル、イソオクチル、t−オクチル、ノニル、イソノニル、デシル、イソデシル、ウンデシル、ドデシル、テトラデシル、ヘキサデシル、オクタデシル、イコシル、シクロプロピル、シクロブチル、シクロペンチル、シクロヘキシル、シクロヘプチル、シクロオクチル、シクロノニル、シクロデシル等の脂肪族炭化水素;フェニル、ナフチル等の芳香族炭化水素;ベンジル、2−フェニルエタン−1−イル、3−フェニルプロパン−1−イル、1−ナフチルメチル、2−ナフチルメチル等のアルキル鎖で連結された芳香族炭化水素等が挙げられる。   Specific examples of the unsubstituted hydrocarbon group include, for example, methyl, ethyl, propyl, isopropyl, butyl, s-butyl, t-butyl, isobutyl, pentyl, isopentyl, t-pentyl, hexyl, heptyl, isoheptyl, t -Heptyl, n-octyl, isooctyl, t-octyl, nonyl, isononyl, decyl, isodecyl, undecyl, dodecyl, tetradecyl, hexadecyl, octadecyl, icosyl, cyclopropyl, cyclobutyl, cyclopentyl, cyclohexyl, cycloheptyl, cyclooctyl, cyclononyl, Aliphatic hydrocarbons such as cyclodecyl; aromatic hydrocarbons such as phenyl and naphthyl; benzyl, 2-phenylethane-1-yl, 3-phenylpropan-1-yl, 1-naphthylmethyl, 2-naphthylmethyl, etc. Alkyl aromatic hydrocarbons linked by a chain.

上記炭化水素基のアルキル鎖は、−O−、−COO−、−OCO−、−CO−、−CS−、−S−、−SO−、−SO−、−NR16−、−NR16−CO−、−CO−NR16−、−NR16−COO−、−OCO−NR16−または−SiR1718−で中断されていてもよい。また、炭化水素基中の水素原子はフッ素原子、塩素原子、臭素原子およびヨウ素原子等のハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、水酸基、チオール基、アミノ基(−NH)、カルボキシル基(−COOH)またはスルフィノ基(−SOH)で置換されていてもよい。R16〜R18は、水素原子または上記の置換基を有していない炭化水素基と同じである。なお、上記炭化水素基のアルキル鎖の中断、置換は組み合わされてもよい。 The alkyl chain of the hydrocarbon group is —O—, —COO—, —OCO—, —CO—, —CS—, —S—, —SO—, —SO 2 —, —NR 16 —, —NR 16. It may be interrupted by —CO—, —CO—NR 16 —, —NR 16 —COO—, —OCO—NR 16 — or —SiR 17 R 18 —. The hydrogen atom in the hydrocarbon group is a halogen atom such as a fluorine atom, chlorine atom, bromine atom or iodine atom, cyano group, nitro group, hydroxyl group, thiol group, amino group (—NH 2 ), carboxyl group (—COOH). ) Or a sulfino group (—SO 2 H). R 16 to R 18 are the same as a hydrogen atom or a hydrocarbon group not having the above substituent. The interruption and substitution of the alkyl chain of the hydrocarbon group may be combined.

上記部分構造式(1−1)〜(1−10)中の、R11〜R14およびR21〜R78並びにR15が表す炭素原子数2〜20の複素環基としては、脂環族複素環基および芳香族複素環基が挙げられる。無置換である複素環基の具体例としては、テトラヒドロフラン基、ジオキソラニル基、テトラヒドロピラニル基、モルホリルフラン基、チオフェン基、メチルチオフェン基、ヘキシルチオフェン基、ベンゾチオフェン基、ピロール基、ピロリジン基、イミダゾール基、イミダゾリジン基、ピラゾール基、ピラゾリジン基、ピペリジン基およびピペラジン基等が挙げられる。また、置換基を有している複素環基の例としては、上記の複素環基に、R11〜R14、R21〜R78およびR15が表す炭素原子数1〜20の炭化水素基で説明した、置換基を有していない炭化水素基と同じものが置換した複素環基が挙げられる。 Examples of the heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms represented by R 11 to R 14, R 21 to R 78 , and R 15 in the partial structural formulas (1-1) to (1-10) include an alicyclic group. A heterocyclic group and an aromatic heterocyclic group are mentioned. Specific examples of the unsubstituted heterocyclic group include tetrahydrofuran, dioxolanyl, tetrahydropyranyl, morpholylfuran, thiophene, methylthiophene, hexylthiophene, benzothiophene, pyrrole, pyrrolidine, Examples include imidazole group, imidazolidine group, pyrazole group, pyrazolidine group, piperidine group and piperazine group. Examples of the heterocyclic group having a substituent include hydrocarbon groups having 1 to 20 carbon atoms represented by R 11 to R 14 , R 21 to R 78, and R 15 in the above heterocyclic group. The heterocyclic group which the same thing as the hydrocarbon group which did not have a substituent demonstrated in 1 was substituted is mentioned.

これらの複素環基中のアルキレン部分および複素環とアルキル基との結合部は、−O−、−COO−、−OCO−、−CO−、−CS−、−S−、−SO−、−SO−、−NR16−、−NR16−CO−、−CO−NR16−、−NR16−COO−、−OCO−NR16−または−SiR1718−で中断されていてもよい。ただし、これら中断する2価の基は隣り合わないものとする。R16〜R18は、R11〜R14、R21〜R78およびR15が表す炭素原子数1〜20の炭化水素基で説明した、置換基を有していない炭化水素基と同じである。 The alkylene moiety in these heterocyclic groups and the bond between the heterocyclic ring and the alkyl group are -O-, -COO-, -OCO-, -CO-, -CS-, -S-, -SO-,- May be interrupted by SO 2 —, —NR 16 —, —NR 16 —CO—, —CO—NR 16 —, —NR 16 —COO—, —OCO—NR 16 — or —SiR 17 R 18 —. . However, these discontinuing divalent groups are not adjacent to each other. R 16 to R 18 are the same as the hydrocarbon groups having no substituent described in the hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms represented by R 11 to R 14 , R 21 to R 78 and R 15. is there.

上記一般式(1)中の、RおよびRが表す炭素原子数1〜20の炭化水素基は、置換基を有しているかまたは無置換のものであり、R11〜R14およびR21〜R78並びにR15で説明した基と同様の基を表す。 The hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms represented by R 1 and R 2 in the general formula (1) has a substituent or is unsubstituted, and R 11 to R 14 and R 21 to R 78 and the same groups as those described for R 15 are represented.

とRが、互いに連結して形成する窒素原子を含む環の場合、環を構成するその他の原子としては、炭素原子、酸素原子が挙げられ、環は5員環または6員環であるものが好ましい。RとRが連結して形成される環の好ましい具体例としては、結合している窒素原子を含めた基として、ピロール基、ピロリジン基、イミダゾール基、イミダゾリジン基、ピラゾール基、ピラゾリジン基、ピペリジン基、ピペラジン基等が挙げられ、好ましくは、ピロリジン基、イミダゾール基、ピペリジン基、ピペラジン基である。これらの環には、ベンゼン環が縮環してもよく、また、置換基を有していてもよい。置換基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、s−ブチル基、t−ブチル基のようなアルキル基や、メチロール基、エチロール基、プロピロール基、ブチロール基のようなヒドロキシアルキル基等が挙げられる。 In the case where R 1 and R 2 are a ring containing a nitrogen atom formed by connecting to each other, examples of the other atoms constituting the ring include a carbon atom and an oxygen atom, and the ring is a 5-membered or 6-membered ring. Some are preferred. Preferred examples of the ring formed by linking R 1 and R 2 include a pyrrole group, a pyrrolidine group, an imidazole group, an imidazolidine group, a pyrazole group, and a pyrazolidine group as a group including a bonded nitrogen atom. , A piperidine group, a piperazine group, and the like, and a pyrrolidine group, an imidazole group, a piperidine group, and a piperazine group are preferable. In these rings, a benzene ring may be condensed or may have a substituent. Examples of the substituent include an alkyl group such as methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, isobutyl group, s-butyl group, and t-butyl group, methylol group, ethylol group, propylol group, and butyrol. And a hydroxyalkyl group such as a group.

一般式(1)で表される化合物には、以下に示すような異性体が存在するが、本発明の効果においては同様であり、いずれの化合物も同様に用いることができる。   In the compound represented by the general formula (1), there are isomers as shown below, but they are the same in the effects of the present invention, and any of the compounds can be used similarly.

Figure 0006483382
Figure 0006483382

一般式(1)で表される化合物としては、感光性樹脂組成物の硬化性に優れる点から、RまたはRがフェニル基である化合物;RおよびRのいずれも水素原子ではない化合物;RおよびRが互いに連結して環を形成している化合物が好ましく、RおよびRが互いに連結してピロリジン環、イミダゾール環、ピペリジン環またはピペラジン環を形成している化合物がより好ましい。 The compound represented by the general formula (1) is a compound in which R 1 or R 2 is a phenyl group from the viewpoint of excellent curability of the photosensitive resin composition; neither of R 1 and R 2 is a hydrogen atom Compound: A compound in which R 1 and R 2 are connected to each other to form a ring is preferable, and a compound in which R 1 and R 2 are connected to each other to form a pyrrolidine ring, an imidazole ring, a piperidine ring, or a piperazine ring More preferred.

一般式(1)で表される化合物の具体的な例としては以下に示す化合物No.1〜No.18が挙げられる。ただし、以下の化合物により一般式(1)で表される化合物は何ら制限を受けるものではない。   Specific examples of the compound represented by the general formula (1) include the following compound Nos. 1-No. 18 is mentioned. However, the compound represented by the general formula (1) is not limited at all by the following compounds.

Figure 0006483382
Figure 0006483382

一般式(1)で表される化合物は、特に制限されるものではないが、例えば、下記反応式の方法で製造することができる。すなわち、ケトン体(2)にローソン試薬を反応させ、チオケトン体(3)を合成し、更にヒドロキシルアミンを塩基性条件下で反応させ、オキシム体(4)を合成する。オキシム体(4)とクロロぎ酸4−ニトロフェニルを塩基性条件下で反応させ、次いでアミン(5)を反応させることにより、オキシムエステル体(1)を合成することができる。なお、下記反応式中の、A、R、Rは、上記一般式(1)と同じである Although the compound represented by General formula (1) is not specifically limited, For example, it can manufacture by the method of the following reaction formula. That is, the Lawson reagent is reacted with the ketone body (2) to synthesize the thioketone body (3), and further hydroxylamine is reacted under basic conditions to synthesize the oxime body (4). The oxime ester (1) can be synthesized by reacting the oxime (4) with 4-nitrophenyl chloroformate under basic conditions and then reacting with the amine (5). Incidentally, in the following reaction formula, A 1, R 1, R 2 are the same as in the general formula (1)

Figure 0006483382
Figure 0006483382

本発明の感光性樹脂組成物において、(A)成分は、上記一般式(1)で表される化合物を少なくとも1種含有するものである。(A)成分における本発明の化合物の含有量は、好ましくは1〜100質量%、より好ましくは50〜100質量%である。(A)光開始剤の他の成分としては、光開始剤として機能しうるものであれば、特に制限はなく、既知の光開始剤を用いることができる。   In the photosensitive resin composition of the present invention, the component (A) contains at least one compound represented by the general formula (1). (A) Content of the compound of this invention in a component becomes like this. Preferably it is 1-100 mass%, More preferably, it is 50-100 mass%. (A) Other components of the photoinitiator are not particularly limited as long as they can function as a photoinitiator, and known photoinitiators can be used.

本発明の感光性樹脂組成物において、(A)成分の含有量は、(B)成分100質量部に対して、好ましくは1〜20質量部、より好ましくは1〜10質量部である。(A)成分の含有量が1質量部未満であると、感度不足による硬化不良等が起こる可能性があり、20質量部を超えると光照射時または加熱時の揮発物が多くなる可能性がある。   In the photosensitive resin composition of this invention, content of (A) component becomes like this. Preferably it is 1-20 mass parts with respect to 100 mass parts of (B) component, More preferably, it is 1-10 mass parts. When the content of the component (A) is less than 1 part by mass, poor curing due to insufficient sensitivity may occur, and when it exceeds 20 parts by mass, volatiles may be increased during light irradiation or heating. is there.

<(B)硬化性樹脂>
本発明で用いられる(B)成分は、アニオン重合性官能基、または塩基を触媒とし硬化温度が低温化する樹脂を示し、紫外線等のエネルギー線を照射することにより重合して硬化する硬化性樹脂または硬化温度が低温化する硬化性樹脂である。上記アニオン重合性官能基とは、紫外線等の活性エネルギー線によって光塩基発生剤から発生する塩基により重合しうる官能基を意味し、例えば、エポキシ基、エピスルフィド基、環状モノマー(σ−バレロラクトン、ε−カプロラクタム)等が挙げられ、塩基を触媒とし硬化温度が低温化する樹脂としては、イソシアネートとアルコールによるウレタン結合形成反応、エポキシと水酸基の付加反応、エポキシとカルボン酸基の付加反応、エポキシとチオール基の付加反応、(メタ)アクリル基のマイケル付加反応、ポリアミック酸の脱水縮合反応等を利用したものが挙げられる。(B)成分としては、例えば、エポキシ樹脂、オキセタン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ナイロン樹脂、ポリエステル樹脂等が挙げられる。これらの樹脂は単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。中でも、速やかに反応が進行することや接着性が良好であるという点から、エポキシ樹脂が好適である。
<(B) curable resin>
The component (B) used in the present invention represents a resin whose curing temperature is lowered by using an anion polymerizable functional group or base as a catalyst, and is a curable resin that is polymerized and cured by irradiation with energy rays such as ultraviolet rays. Alternatively, it is a curable resin whose curing temperature is lowered. The anionic polymerizable functional group means a functional group that can be polymerized by a base generated from a photobase generator by an active energy ray such as ultraviolet rays. For example, an epoxy group, an episulfide group, a cyclic monomer (σ-valerolactone, ε-caprolactam) and the like, and as a resin whose curing temperature is lowered by using a base as a catalyst, urethane bond formation reaction by isocyanate and alcohol, epoxy and hydroxyl group addition reaction, epoxy and carboxylic acid group addition reaction, epoxy and Examples include those utilizing thiol group addition reaction, (meth) acrylic group Michael addition reaction, polyamic acid dehydration condensation reaction, and the like. Examples of the component (B) include epoxy resins, oxetane resins, polyamide resins, polyurethane resins, nylon resins, and polyester resins. These resins may be used alone or in combination of two or more. Among these, an epoxy resin is preferable because the reaction proceeds quickly and the adhesiveness is good.

上記エポキシ樹脂としては、例えば、ハイドロキノン、レゾルシン、ピロカテコール、フロログルクシノール等の単核多価フェノール化合物のポリグリシジルエーテル化合物;ジヒドロキシナフタレン、ビフェノール、メチレンビスフェノール(ビスフェノールF)、メチレンビス(オルトクレゾール)、エチリデンビスフェノール、イソプロピリデンビスフェノール(ビスフェノールA)、4,4’−ジヒドロキシベンゾフェノン、イソプロピリデンビス(オルトクレゾール)、テトラブロモビスフェノールA、1,3−ビス(4−ヒドロキシクミルベンゼン)、1,4−ビス(4−ヒドロキシクミルベンゼン)、1,1,3−トリス(4−ヒドロキシフェニル)ブタン、1,1,2,2−テトラ(4−ヒドロキシフェニル)エタン、チオビスフェノール、スルホビスフェノール、オキシビスフェノール、フェノールノボラック、オルソクレゾールノボラック、エチルフェノールノボラック、ブチルフェノールノボラック、オクチルフェノールノボラック、レゾルシンノボラック、テルペンフェノール等の多核多価フェノール化合物のポリグリシジルエーテル化合物;エチレングリコール、プロピレングリコール、ブチレングリコール、ヘキサンジオール、ポリグリコール、チオジグリコール、グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ソルビトール、ビスフェノールA−エチレンオキシド付加物等の多価アルコール類のポリグリシジルエーテル;マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、コハク酸、グルタル酸、スベリン酸、アジピン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ダイマー酸、トリマー酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリット酸、トリメシン酸、ピロメリット酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、エンドメチレンテトラヒドロフタル酸等の脂肪族、芳香族または脂環族多塩基酸のグリシジルエステル類、およびグリシジルメタクリレートの単独重合体または共重合体;N,N−ジグリシジルアニリン、ビス(4−(N−メチル−N−グリシジルアミノ)フェニル)メタン、ジグリシジルオルトトルイジン等のグリシジルアミノ基を有するエポキシ化合物;ビニルシクロヘキセンジエポキシド、ジシクロペンタンジエンジエポキサイド、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキシルメチル−6−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、ビス(3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキシルメチル)アジペート等の環状オレフィン化合物のエポキシ化物;エポキシ化ポリブタジエン、エポキシ化アクリロニトリル−ブタジエン共重合物、エポキシ化スチレン−ブタジエン共重合物等のエポキシ化共役ジエン重合体、トリグリシジルイソシアヌレート等の複素環化合物が挙げられる。また、これらのエポキシ樹脂は末端イソシアネートのプレポリマーによって内部架橋されたもの或いは多価の活性水素化合物(多価フェノール、ポリアミン、カルボニル基含有化合物、ポリリン酸エステル等)で高分子量化したものでもよい。   Examples of the epoxy resin include polyglycidyl ether compounds of mononuclear polyhydric phenol compounds such as hydroquinone, resorcin, pyrocatechol, and phloroglucinol; dihydroxynaphthalene, biphenol, methylene bisphenol (bisphenol F), methylene bis (orthocresol) , Ethylidene bisphenol, isopropylidene bisphenol (bisphenol A), 4,4′-dihydroxybenzophenone, isopropylidene bis (orthocresol), tetrabromobisphenol A, 1,3-bis (4-hydroxycumylbenzene), 1,4 -Bis (4-hydroxycumylbenzene), 1,1,3-tris (4-hydroxyphenyl) butane, 1,1,2,2-tetra (4-hydroxyphenyl) ethane, thio Polyglycidyl ether compounds of polynuclear polyhydric phenol compounds such as sphenol, sulfobisphenol, oxybisphenol, phenol novolak, orthocresol novolak, ethylphenol novolak, butylphenol novolak, octylphenol novolak, resorcin novolak, terpene phenol; ethylene glycol, propylene glycol, Polyglycidyl ethers of polyhydric alcohols such as butylene glycol, hexanediol, polyglycol, thiodiglycol, glycerin, trimethylolpropane, pentaerythritol, sorbitol, bisphenol A-ethylene oxide adduct; maleic acid, fumaric acid, itaconic acid, Succinic acid, glutaric acid, suberic acid, adipic acid, azelaic acid, seba Aliphatic acids such as acid, dimer acid, trimer acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, trimellitic acid, trimesic acid, pyromellitic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid and endomethylenetetrahydrophthalic acid, aromatic Or glycidyl esters of alicyclic polybasic acids, and homopolymers or copolymers of glycidyl methacrylate; N, N-diglycidylaniline, bis (4- (N-methyl-N-glycidylamino) phenyl) methane, Epoxy compounds having a glycidylamino group such as diglycidyl orthotoluidine; vinylcyclohexene diepoxide, dicyclopentanediene diepoxide, 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3,4-epoxycyclohexanecarboxylate, 3,4-epoxy-6 -Methyl Epoxidized products of cyclic olefin compounds such as cyclohexylmethyl-6-methylcyclohexanecarboxylate and bis (3,4-epoxy-6-methylcyclohexylmethyl) adipate; epoxidized polybutadiene, epoxidized acrylonitrile-butadiene copolymer, epoxidized styrene Examples include epoxidized conjugated diene polymers such as butadiene copolymer and heterocyclic compounds such as triglycidyl isocyanurate. In addition, these epoxy resins may be those internally crosslinked by a prepolymer of a terminal isocyanate or those having a high molecular weight with a polyvalent active hydrogen compound (polyhydric phenol, polyamine, carbonyl group-containing compound, polyphosphate ester, etc.). .

上記エポキシ樹脂の中では、硬化性に優れる点から、グリシジル基を有するものが好ましく、2官能以上のグリシジル基を有するものがより好ましい。これらは、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   Among the epoxy resins, those having a glycidyl group are preferable from the viewpoint of excellent curability, and those having a bi- or higher functional glycidyl group are more preferable. These may be used alone or in combination of two or more.

上記オキセタン樹脂としては、分子内に4員環エーテル(オキセタニル基)を有する化合物である。その具体例を挙げると、3−エチル−3−ヒドロキシメチルオキセタン、1,4−ビス〔(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシメチル〕ベンゼン、3−エチル−3−(フェノキシメチル)オキセタン、ジ〔(3−エチル−3−オキセタニル)メチル〕エーテル、3−エチル−3−(2−エチルヘキシルオキシメチル)オキセタン、3−エチル−3−(シクロヘキシルオキシメチル)オキセタン、フェノールノボラックオキセタン、1,3−ビス〔(3−エチルオキセタン−3−イル)メトキシ〕ベンゼン、オキセタニルシルセスキオキサン、オキセタニルシリケート等がある。これらは、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   The oxetane resin is a compound having a 4-membered ring ether (oxetanyl group) in the molecule. Specific examples include 3-ethyl-3-hydroxymethyloxetane, 1,4-bis [(3-ethyl-3-oxetanyl) methoxymethyl] benzene, 3-ethyl-3- (phenoxymethyl) oxetane, di [(3-ethyl-3-oxetanyl) methyl] ether, 3-ethyl-3- (2-ethylhexyloxymethyl) oxetane, 3-ethyl-3- (cyclohexyloxymethyl) oxetane, phenol novolak oxetane, 1,3- Bis [(3-ethyloxetane-3-yl) methoxy] benzene, oxetanylsilsesquioxane, oxetanyl silicate, and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

ポリアミド樹脂としては、酸二無水物としてはエチレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、ジアミンとしては、(o−,m−若しくはp−)フェニレンジアミン、(3,3’−若しくは4,4’−)ジアミノジフェニルエーテル、ジアミノベンゾフェノンノン、(3,3’−若しくは4,4’−)ジアミノジフェニルメタン等を原料とする樹脂が挙げられる。これらは、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   As the polyamide resin, as the acid dianhydride, ethylenetetracarboxylic dianhydride, 1,2,4,5-benzenetetracarboxylic dianhydride, 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride Examples of anhydrides and diamines include (o-, m- or p-) phenylenediamine, (3,3′- or 4,4 ′-) diaminodiphenyl ether, diaminobenzophenone, (3,3′- or 4,4). Examples include resins made from '-) diaminodiphenylmethane or the like. These may be used alone or in combination of two or more.

ポリウレタン樹脂としては、ジイソシアネートとして、トリレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート等の多官能イソシアネートと、ポリエーテルポリオール、ポリエステルポリオール、ポリカーボネートポリオール等のポリオール(多官能アルコール)とを原料とする樹脂等が挙げられる。また、ナイロン樹脂としては、ε―カプロラクタム、ラウリルラクタム等の環状モノマーを原料とした樹脂等が挙げられる。また、ポリエステル樹脂としては、δ―バレロラクトン、β―プロピオラクトン等の環状モノマーを原料とした樹脂等が挙げられる。これは、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   As a polyurethane resin, as diisocyanate, polyfunctional isocyanates such as tolylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, diphenylmethane diisocyanate, and isophorone diisocyanate, and polyols (polyfunctional alcohol) such as polyether polyol, polyester polyol, and polycarbonate polyol are used as raw materials. Examples thereof include resins. Examples of nylon resins include resins made from cyclic monomers such as ε-caprolactam and lauryl lactam. Examples of the polyester resin include resins made from cyclic monomers such as δ-valerolactone and β-propiolactone. These may be used alone or in combination of two or more.

<(C)アルカリ現像性樹脂>
本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ溶液を用いてパターニングする目的で(C)アルカリ現像性樹脂(以下、「(C)成分」とも称す)を用いることができる。(C)成分は、フェノール性水酸基、チオール基およびカルボキシル基のうち1種以上の官能基を含有し、アルカリ溶液で現像可能な樹脂であり、好ましくはフェノール性水酸基を2個以上有する化合物、カルボキシル基含有樹脂、フェノール性水酸基およびカルボキシル基を有する化合物、チオール基を2個以上有する化合物が挙げられる。これらの樹脂は単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
<(C) Alkali developable resin>
The photosensitive resin composition of the present invention can use (C) an alkali-developable resin (hereinafter also referred to as “component (C)”) for the purpose of patterning using an alkaline solution. Component (C) is a resin that contains one or more functional groups among phenolic hydroxyl groups, thiol groups, and carboxyl groups and that can be developed with an alkaline solution, preferably a compound having two or more phenolic hydroxyl groups, carboxyl Examples thereof include a group-containing resin, a compound having a phenolic hydroxyl group and a carboxyl group, and a compound having two or more thiol groups. These resins may be used alone or in combination of two or more.

フェノール性水酸基を2個以上有する化合物としては、フェノールノボラック樹脂、アルキルフェノールボラック樹脂、ビスフェノールA型ノボラック樹脂、ジシクロペンタジエン型フェノール樹脂、Xylok型フェノール樹脂、テルペン変性フェノール樹脂、ポリビニルフェノール類、ビスフェノールF、ビスフェノールS型フェノール樹脂、ポリ−p−ヒドロキシスチレン、ナフトールとアルデヒド類の縮合物、ジヒドロキシナフタレンとアルデヒド類との縮合物等公知慣用のフェノール樹脂が挙げられる。これらは、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   Examples of the compound having two or more phenolic hydroxyl groups include phenol novolac resin, alkylphenol volac resin, bisphenol A type novolak resin, dicyclopentadiene type phenol resin, Xylok type phenol resin, terpene modified phenol resin, polyvinylphenols, bisphenol F Bisphenol S-type phenol resin, poly-p-hydroxystyrene, condensate of naphthol and aldehydes, condensate of dihydroxynaphthalene and aldehydes, and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

また、フェノール樹脂として、ビフェニル骨格、或いはフェニレン骨格、またはその両方の骨格を有する化合物と、フェノール性水酸基含有化合物としてフェノール、オルソクレゾール、パラクレゾール、メタクレゾール、2,3−キシレノール、2,4−キシレノール、2,5−キシレノール、2,6−キシレノール、3,4−キシレノール、3,5−キシレノール、カテコール、レゾルシノール、ハイドロキノン、メチルハイドロキノン、2,6−ジメチルハイドロキノン、トリメチルハイドロキノン、ピロガロール、フロログルシノール等とを用いて合成した、様々な骨格を有するフェノール樹脂を用いてもよい。これらは、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   In addition, as a phenol resin, a compound having a biphenyl skeleton or a phenylene skeleton, or both, and as a phenolic hydroxyl group-containing compound, phenol, orthocresol, paracresol, metacresol, 2,3-xylenol, 2,4- Xylenol, 2,5-xylenol, 2,6-xylenol, 3,4-xylenol, 3,5-xylenol, catechol, resorcinol, hydroquinone, methylhydroquinone, 2,6-dimethylhydroquinone, trimethylhydroquinone, pyrogallol, phloroglucinol You may use the phenol resin which synthesize | combined using these and which have various frame | skeletons. These may be used alone or in combination of two or more.

カルボキシル基含有樹脂としては、公知のカルボキシル基を含む樹脂を用いることができる。カルボキシル基の存在により、樹脂組成物をアルカリ現像性とすることができる。また、カルボキシル基の他に、分子内にエチレン性不飽和結合を有する化合物を用いてもよいが、本発明においては、カルボキシル基含有樹脂として、例えば、エチレン性不飽和二重結合を有さないカルボキシル基含有樹脂のみを用いることが好ましい。カルボキシル基含有樹脂についても、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   As the carboxyl group-containing resin, a known resin containing a carboxyl group can be used. Due to the presence of the carboxyl group, the resin composition can be made alkali developable. In addition to the carboxyl group, a compound having an ethylenically unsaturated bond in the molecule may be used, but in the present invention, for example, the carboxyl group-containing resin does not have an ethylenically unsaturated double bond. It is preferable to use only a carboxyl group-containing resin. The carboxyl group-containing resin may also be used alone or in combination of two or more.

本発明に用いることができるカルボキシル基含有樹脂の具体例としては、以下に列挙するような化合物(オリゴマーおよびポリマーのいずれでもよい)が挙げられる。   Specific examples of the carboxyl group-containing resin that can be used in the present invention include the compounds listed below (any of oligomers and polymers).

(1)(メタ)アクリル酸等の不飽和カルボン酸と、スチレン、α−メチルスチレン、低級アルキル(メタ)アクリレート、イソブチレン等の不飽和基含有化合物との共重合により得られるカルボキシル基含有樹脂。なお、低級アルキルとは、炭素原子数1〜5のアルキル基を指す。 (1) A carboxyl group-containing resin obtained by copolymerization of an unsaturated carboxylic acid such as (meth) acrylic acid and an unsaturated group-containing compound such as styrene, α-methylstyrene, lower alkyl (meth) acrylate, and isobutylene. The lower alkyl refers to an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms.

(2)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネートと、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロールブタン酸等のカルボキシル基含有ジアルコール化合物およびポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基およびアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂。 (2) Diisocyanates such as aliphatic diisocyanates, branched aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates, and aromatic diisocyanates; carboxyl group-containing dialcohol compounds such as dimethylolpropionic acid and dimethylolbutanoic acid, polycarbonate polyols, and polyethers A carboxyl group-containing urethane resin by a polyaddition reaction of a diol compound such as a polyol, a polyester-based polyol, a polyolefin-based polyol, an acrylic polyol, a bisphenol A-based alkylene oxide adduct diol, a compound having a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group.

(3)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネート化合物と、ポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基およびアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジオール化合物の重付加反応によるウレタン樹脂の末端に酸無水物を反応させてなる末端カルボキシル基含有ウレタン樹脂。 (3) Diisocyanate compounds such as aliphatic diisocyanates, branched aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates, aromatic diisocyanates, polycarbonate polyols, polyether polyols, polyester polyols, polyolefin polyols, acrylic polyols, bisphenol A systems A terminal carboxyl group-containing urethane resin obtained by reacting an acid anhydride with a terminal of a urethane resin by a polyaddition reaction of a diol compound such as an alkylene oxide adduct diol, a compound having a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group.

(4)ジイソシアネートと、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂等の2官能エポキシ樹脂の(メタ)アクリレートもしくはその部分酸無水物変性物、カルボキシル基含有ジアルコール化合物およびジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂。 (4) Diisocyanate and bifunctional epoxy resin such as bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bixylenol type epoxy resin, biphenol type epoxy resin ( Carboxyl group-containing urethane resin by polyaddition reaction of (meth) acrylate or its partial acid anhydride modified product, carboxyl group-containing dialcohol compound and diol compound.

(5)上記(2)または(4)の樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有ウレタン樹脂。 (5) During the synthesis of the resin of the above (2) or (4), a compound having one hydroxyl group and one or more (meth) acryloyl groups in a molecule such as hydroxyalkyl (meth) acrylate is added, and the terminal ( (Meth) acrylic carboxyl group-containing urethane resin.

(6)上記(2)または(4)の樹脂の合成中に、イソホロンジイソシアネートとペンタエリスリトールトリアクリレートの等モル反応物等、分子中に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有ウレタン樹脂。 (6) During the synthesis of the resin of the above (2) or (4), one isocyanate group and one or more (meth) acryloyl groups are introduced into the molecule, such as an equimolar reaction product of isophorone diisocyanate and pentaerythritol triacrylate. The carboxyl group-containing urethane resin which added the compound which has and was terminally (meth) acrylated.

(7)(B)成分として例示した多官能エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸等の不飽和モノカルボン酸を反応させ、側鎖に存在する水酸基に無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有樹脂。 (7) The polyfunctional epoxy resin exemplified as the component (B) is reacted with an unsaturated monocarboxylic acid such as (meth) acrylic acid, and phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride is added to the hydroxyl group present in the side chain. A carboxyl group-containing resin to which a dibasic acid anhydride such as an acid is added.

(8)(B)成分として例示した多官能エポキシ樹脂に飽和モノカルボン酸を反応させ、側鎖に存在する水酸基に無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有樹脂。 (8) Saturated monocarboxylic acid is reacted with the polyfunctional epoxy resin exemplified as the component (B), and the hydroxyl group present in the side chain is dibasic acid anhydride such as phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, etc. A carboxyl group-containing resin to which is added.

(9)2官能(固形)エポキシ樹脂の水酸基をさらにエピクロロヒドリンでエポキシ化した多官能エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、生じた水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有樹脂。 (9) A carboxyl obtained by reacting (meth) acrylic acid with a polyfunctional epoxy resin obtained by epoxidizing the hydroxyl group of a bifunctional (solid) epoxy resin with epichlorohydrin and adding a dibasic acid anhydride to the resulting hydroxyl group Group-containing resin.

(10)(B)成分として例示した多官能オキセタン樹脂にジカルボン酸を反応させ、生じた1級の水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有ポリエステル樹脂。 (10) A carboxyl group-containing polyester resin obtained by reacting a polyfunctional oxetane resin exemplified as the component (B) with a dicarboxylic acid and adding a dibasic acid anhydride to the resulting primary hydroxyl group.

(11)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンオキシド、プロピレンオキシド等のアルキレンオキシドとを反応させて得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られる非感光性カルボキシル基含有樹脂。 (11) Non-photosensitive carboxyl obtained by reacting a polybasic acid anhydride with a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide. Group-containing resin.

(12)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンオキシド、プロピレンオキシド等のアルキレンオキシドとを反応させて得られる反応生成物に飽和モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (12) A reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide is allowed to react with a saturated monocarboxylic acid. A carboxyl group-containing resin obtained by reacting a basic acid anhydride.

(13)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンオキシド、プロピレンオキシド等のアルキレンオキシドとを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (13) Reaction product obtained by reacting a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide, with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid. A carboxyl group-containing resin obtained by reacting a polybasic acid anhydride with a product.

(14)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等の環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生成物に飽和モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (14) A reaction product obtained by reacting a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate or propylene carbonate, with a saturated monocarboxylic acid. A carboxyl group-containing resin obtained by reacting with a polybasic acid anhydride.

(15)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等の環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (15) A carboxyl group obtained by reacting a polybasic acid anhydride with a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate or propylene carbonate. Containing resin.

(16)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等の環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (16) Obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with a reaction product obtained by reacting a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate or propylene carbonate with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid. A carboxyl group-containing resin obtained by reacting a reaction product with a polybasic acid anhydride.

(17)1分子中に複数のエポキシ基を有するエポキシ化合物に、p−ヒドロキシフェネチルアルコール等の1分子中に少なくとも1個のアルコール性水酸基と1個のフェノール性水酸基を有する化合物と、飽和モノカルボン酸とを反応させ、得られた反応生成物のアルコール性水酸基に対して、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、アジピン酸等の多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (17) An epoxy compound having a plurality of epoxy groups in one molecule, a compound having at least one alcoholic hydroxyl group and one phenolic hydroxyl group in one molecule such as p-hydroxyphenethyl alcohol, and a saturated monocarboxylic acid React with acid and react with polybasic acid anhydrides such as maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, adipic acid etc. to the alcoholic hydroxyl group of the resulting reaction product Carboxyl group-containing resin obtained by making it.

(18)1分子中に複数のエポキシ基を有するエポキシ化合物に、p−ヒドロキシフェネチルアルコール等の1分子中に少なくとも1個のアルコール性水酸基と1個のフェノール性水酸基を有する化合物とを反応させ、得られた反応生成物のアルコール性水酸基に対して、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、アジピン酸等の多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (18) An epoxy compound having a plurality of epoxy groups in one molecule is reacted with a compound having at least one alcoholic hydroxyl group and one phenolic hydroxyl group in one molecule such as p-hydroxyphenethyl alcohol; Carboxyl groups obtained by reacting polybasic acid anhydrides such as maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, adipic acid with the alcoholic hydroxyl group of the obtained reaction product Containing resin.

(19)1分子中に複数のエポキシ基を有するエポキシ化合物に、p−ヒドロキシフェネチルアルコール等の1分子中に少なくとも1個のアルコール性水酸基と1個のフェノール性水酸基を有する化合物と、(メタ)アクリル酸等の不飽和基含有モノカルボン酸とを反応させ、得られた反応生成物のアルコール性水酸基に対して、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、アジピン酸等の多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (19) An epoxy compound having a plurality of epoxy groups in one molecule, a compound having at least one alcoholic hydroxyl group and one phenolic hydroxyl group in one molecule such as p-hydroxyphenethyl alcohol, and (meth) Reacting with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid such as acrylic acid, and then reacting with the alcoholic hydroxyl group of the resulting reaction product, maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, adipine A carboxyl group-containing resin obtained by reacting a polybasic acid anhydride such as an acid.

(20)上記(1)〜(19)のいずれかの樹脂にさらにグリシジル(メタ)アクリレート、α−メチルグリシジル(メタ)アクリレート等の分子中に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなるカルボキシル基含有樹脂。 (20) One epoxy group and one or more (meth) acryloyl in a molecule such as glycidyl (meth) acrylate, α-methylglycidyl (meth) acrylate and the like in any one of the resins (1) to (19) above A carboxyl group-containing resin formed by adding a group-containing compound.

チオール基を有する化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、ペンタエリストールテトラキスチオプロピオネート、エチレングリコールビスチオグリコレート、1,4−ブタンジオールビスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ペンタエリストールテトラキスチオグリコレート、ジ(2−メルカプトエチル)エーテル、1,4−ブタンジチオール、1,3,5−トリメルカプトメチルベンゼン、1,3,5−トリメルカプトメチル−2,4,6−トリメチルベンゼン、末端チオール基含有ポリエーテル、末端チオール基含有ポリチオエーテル、エポキシ化合物と硫化水素との反応によって得られるチオール化合物、ポリチオール化合物とエポキシ化合物との反応によって得られる末端チオール基を有するチオール化合物等が挙げられる。これらは、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   Examples of the compound having a thiol group include trimethylolpropane tristhiopropionate, pentaerythritol tetrakisthiopropionate, ethylene glycol bisthioglycolate, 1,4-butanediol bisthioglycolate, trimethylolpropane tris. Thioglycolate, pentaerythritol tetrakisthioglycolate, di (2-mercaptoethyl) ether, 1,4-butanedithiol, 1,3,5-trimercaptomethylbenzene, 1,3,5-trimercaptomethyl-2 , 4,6-trimethylbenzene, terminal thiol group-containing polyether, terminal thiol group-containing polythioether, thiol compound obtained by reaction of epoxy compound and hydrogen sulfide, reaction of polythiol compound and epoxy compound Thiol compounds, and the like with terminal thiol groups to be. These may be used alone or in combination of two or more.

本発明の感光性樹脂組成物において、(C)成分の配合量は、(B)成分100質量部に対して、好ましくは50〜1000質量部であり、50質量部より少ない場合には、アルカリ溶液に不溶となることがあり、1000質量部より多い場合には、エネルギー線の照射時に硬化不良が起こる可能性がある。   In the photosensitive resin composition of the present invention, the blending amount of the component (C) is preferably 50 to 1000 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the component (B). In some cases, it may become insoluble in the solution, and when it is more than 1000 parts by mass, curing failure may occur during irradiation with energy rays.

<(D)添加剤>
本発明の感光性樹脂組成物には、任意成分として、無機化合物、色材、潜在性エポキシ硬化剤、連鎖移動剤、増感剤、溶剤等の(D)添加剤(以下、「(D)成分」とも称す)を用いることができる。
<(D) Additive>
In the photosensitive resin composition of the present invention, as optional components, (D) additives (hereinafter referred to as “(D)” such as inorganic compounds, coloring materials, latent epoxy curing agents, chain transfer agents, sensitizers, and solvents. Also referred to as “component”).

無機化合物としては、例えば、酸化ニッケル、酸化鉄、酸化イリジウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化カリウム、シリカ、アルミナ等の金属酸化物;層状粘土鉱物、ミロリブルー、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、コバルト系、マンガン系、ガラス粉末(特にガラスフリット)、マイカ、タルク、カオリン、フェロシアン化物、各種金属硫酸塩、硫化物、セレン化物、アルミニウムシリケート、カルシウムシリケート、水酸化アルミニウム、白金、金、銀、銅等が挙げられる。これらの無機化合物は、例えば、充填剤、反射防止剤、導電材、安定剤、難燃剤、機械的強度向上剤、特殊波長吸収剤、発インク剤等として用いられる。これらの無機化合物は、1種単独でまたは2種以上を混合して用いてもよい。   Examples of the inorganic compound include metal oxides such as nickel oxide, iron oxide, iridium oxide, titanium oxide, zinc oxide, magnesium oxide, calcium oxide, potassium oxide, silica, and alumina; layered clay mineral, miloli blue, calcium carbonate, carbonic acid Magnesium, cobalt, manganese, glass powder (especially glass frit), mica, talc, kaolin, ferrocyanide, various metal sulfates, sulfides, selenides, aluminum silicate, calcium silicate, aluminum hydroxide, platinum, gold , Silver, copper and the like. These inorganic compounds are used as, for example, a filler, an antireflection agent, a conductive material, a stabilizer, a flame retardant, a mechanical strength improver, a special wavelength absorber, and an ink generating agent. These inorganic compounds may be used alone or in combination of two or more.

色材としては、顔料、染料、天然色素等が挙げられる。これらの色材は、単独でまたは2種以上を混合して用いることができる。   Examples of the color material include pigments, dyes, and natural pigments. These color materials can be used alone or in admixture of two or more.

顔料としては、例えば、ニトロソ化合物;ニトロ化合物;アゾ化合物;ジアゾ化合物;キサンテン化合物;キノリン化合物;アントラキノン化合物;クマリン化合物;フタロシアニン化合物;イソインドリノン化合物;イソインドリン化合物;キナクリドン化合物;アンタンスロン化合物;ペリノン化合物;ペリレン化合物;ジケトピロロピロール化合物;チオインジゴ化合物;ジオキサジン化合物;トリフェニルメタン化合物;キノフタロン化合物;ナフタレンテトラカルボン酸;アゾ染料、シアニン染料の金属錯体化合物;レーキ顔料;ファーネス法、チャンネル法またはサーマル法によって得られるカーボンブラック、或いはアセチレンブラック、ケッチェンブラックまたはランプブラック等のカーボンブラック;上記カーボンブラックをエポキシ樹脂で調整または被覆したもの、上記カーボンブラックを予め溶媒中で樹脂で分散処理し、20〜200mg/gの樹脂を吸着させたもの、上記カーボンブラックを酸性またはアルカリ性表面処理したもの、平均粒径が8nm以上でDBP吸油量が90ml/100g以下のカーボンブラック、950℃における揮発分中のCOおよびCOから算出した全酸素量が、表面積100m当たり9mg以上であるカーボンブラック;黒鉛、黒鉛化カーボンブラック、活性炭、炭素繊維、カーボンナノチューブ、カーボンマイクロコイル、カーボンナノホーン、カーボンエアロゲル、フラーレン;アニリンブラック、ピグメントブラック7、チタンブラック;酸化クロム緑、ミロリブルー、コバルト緑、コバルト青、マンガン系、フェロシアン化物、リン酸塩群青、紺青、ウルトラマリン、セルリアンブルー、ピリジアン、エメラルドグリーン、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、カドミウム赤、合成鉄黒、アンバー等の有機または無機顔料を用いることができる。これらの顔料は、1種単独でまたは2種以上を混合して用いてもよい。 Examples of pigments include nitroso compounds; nitro compounds; azo compounds; diazo compounds; xanthene compounds; quinoline compounds; anthraquinone compounds; coumarin compounds; phthalocyanine compounds; isoindolinone compounds; Perylene compounds; diketopyrrolopyrrole compounds; thioindigo compounds; dioxazine compounds; triphenylmethane compounds; quinophthalone compounds; naphthalenetetracarboxylic acids; metal complex compounds of azo dyes and cyanine dyes; lake pigments; Or carbon black such as acetylene black, ketjen black or lamp black; Prepared by coating or coating with an epoxy resin, carbon black previously dispersed with a resin in a solvent and adsorbed with 20 to 200 mg / g of resin, an acid or alkaline surface treated carbon black, average Carbon black having a particle size of 8 nm or more and a DBP oil absorption of 90 ml / 100 g or less, a carbon black having a total oxygen amount calculated from CO and CO 2 in a volatile content at 950 ° C. of 9 mg or more per 100 m 2 of surface area; Graphitized carbon black, activated carbon, carbon fiber, carbon nanotube, carbon microcoil, carbon nanohorn, carbon aerogel, fullerene; aniline black, pigment black 7, titanium black; chromium oxide green, miloli blue, cobalt green, cobalt blue, manganese series, F Erocyanide, phosphate ultramarine, bitumen, ultramarine, cerulean blue, pyridian, emerald green, lead sulfate, yellow lead, zinc yellow, red bean (red iron (III) oxide), cadmium red, synthetic iron black, amber, etc. Organic or inorganic pigments can be used. These pigments may be used alone or in combination of two or more.

顔料としては、市販の顔料を用いることもでき、例えば、ピグメントレッド1、2、3、9、10、14、17、22、23、31、38、41、48、49、88、90、97、112、119、122、123、144、149、166、168、169、170、171、177、179、180、184、185、192、200、202、209、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、254;ピグメントオレンジ13、31、34、36、38、43、46、48、49、51、52、55、59、60、61、62、64、65、71;ピグメントイエロー1、3、12、13、14、16、17、20、24、55、60、73、81、83、86、93、95、97、98、100、109、110、113、114、117、120、125、126、127、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、166、168、175、180、185;ピグメントグリ−ン7、10、36;ピグメントブルー15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:5、15:6、22、24、56、60、61、62、64;ピグメントバイオレット1、19、23、27、29、30、32、37、40、50等が挙げられる。   Commercially available pigments can also be used as the pigment. For example, Pigment Red 1, 2, 3, 9, 10, 14, 17, 22, 23, 31, 38, 41, 48, 49, 88, 90, 97 112, 119, 122, 123, 144, 149, 166, 168, 169, 170, 171, 177, 179, 180, 184, 185, 192, 200, 202, 209, 215, 216, 217, 220, 223 224, 226, 227, 228, 240, 254; Pigment Orange 13, 31, 34, 36, 38, 43, 46, 48, 49, 51, 52, 55, 59, 60, 61, 62, 64, 65 71; Pigment Yellow 1, 3, 12, 13, 14, 16, 17, 20, 24, 55, 60, 73, 81, 83, 86, 93, 95, 97, 9 , 100, 109, 110, 113, 114, 117, 120, 125, 126, 127, 129, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 151, 152, 153, 154, 166, 168, 175, 180 185; Pigment Green 7, 10, 36; Pigment Blue 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 5, 15: 6, 22, 24, 56, 60, 61 62, 64; Pigment Violet 1, 19, 23, 27, 29, 30, 32, 37, 40, 50, and the like.

染料としては、アゾ染料、アントラキノン染料、インジゴイド染料、トリアリールメタン染料、キサンテン染料、アリザリン染料、アクリジン染料スチルベン染料、チアゾール染料、ナフトール染料、キノリン染料、ニトロ染料、インダミン染料、オキサジン染料、フタロシアニン染料、シアニン染料等の染料等が挙げられ、これらは複数を混合して用いてもよい。   As dyes, azo dyes, anthraquinone dyes, indigoid dyes, triarylmethane dyes, xanthene dyes, alizarin dyes, acridine dyes stilbene dyes, thiazole dyes, naphthol dyes, quinoline dyes, nitro dyes, indamine dyes, oxazine dyes, phthalocyanine dyes, Examples include dyes such as cyanine dyes, and a plurality of these may be used in combination.

潜在性エポキシ硬化剤としては、例えば、ジシアンジアミド、変性ポリアミン、ヒドラジド類、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、三フッ化ホウ素アミン錯塩、イミダゾール類、グアナミン類、ウレア類およびメラミン等が挙げられ、これらは複数を混合して用いてもよい。   Examples of latent epoxy curing agents include dicyandiamide, modified polyamines, hydrazides, 4,4′-diaminodiphenyl sulfone, boron trifluoride amine complex salts, imidazoles, guanamines, ureas, and melamine. May be used in combination.

連鎖移動剤または増感剤としては、一般的に硫黄原子含有化合物が用いられる。例えばチオグリコール酸、チオリンゴ酸、チオサリチル酸、2−メルカプトプロピオン酸、3−メルカプトプロピオン酸、3−メルカプト酪酸、N−(2−メルカプトプロピオニル)グリシン、2−メルカプトニコチン酸、3−[N−(2−メルカプトエチル)カルバモイル]プロピオン酸、3−[N−(2−メルカプトエチル)アミノ]プロピオン酸、N−(3−メルカプトプロピオニル)アラニン、2−メルカプトエタンスルホン酸、3−メルカプトプロパンスルホン酸、4−メルカプトブタンスルホン酸、ドデシル(4−メチルチオ)フェニルエーテル、2−メルカプトエタノール、3−メルカプト−1,2−プロパンジオール、1−メルカプト−2−プロパノール、3−メルカプト−2−ブタノール、メルカプトフェノール、2−メルカプトエチルアミン、2−メルカプトイミダゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプト−3−ピリジノール、2−メルカプトベンゾチアゾール、メルカプト酢酸、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)等のメルカプト化合物、該メルカプト化合物を酸化して得られるジスルフィド化合物、ヨード酢酸、ヨードプロピオン酸、2−ヨードエタノール、2−ヨードエタンスルホン酸、3−ヨードプロパンスルホン酸等のヨード化アルキル化合物、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトイソブチレート)、ブタンジオールビス(3−メルカプトイソブチレート)、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、1,4−ジメチルメルカプトベンゼン、ブタンジオールビスチオプロピオネート、ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ブタンジオールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、トリスヒドロキシエチルトリスチオプロピオネート、ジエチルチオキサントン、ジイソプロピルチオキサントン、下記化合物D1等の脂肪族多官能チオール化合物、昭和電工社製カレンズMT BD1、PE1、NR1等が挙げられる。   As the chain transfer agent or sensitizer, a sulfur atom-containing compound is generally used. For example, thioglycolic acid, thiomalic acid, thiosalicylic acid, 2-mercaptopropionic acid, 3-mercaptopropionic acid, 3-mercaptobutyric acid, N- (2-mercaptopropionyl) glycine, 2-mercaptonicotinic acid, 3- [N- ( 2-mercaptoethyl) carbamoyl] propionic acid, 3- [N- (2-mercaptoethyl) amino] propionic acid, N- (3-mercaptopropionyl) alanine, 2-mercaptoethanesulfonic acid, 3-mercaptopropanesulfonic acid, 4-mercaptobutanesulfonic acid, dodecyl (4-methylthio) phenyl ether, 2-mercaptoethanol, 3-mercapto-1,2-propanediol, 1-mercapto-2-propanol, 3-mercapto-2-butanol, mercaptophenol , 2-me Captoethylamine, 2-mercaptoimidazole, 2-mercaptobenzimidazole, 2-mercapto-3-pyridinol, 2-mercaptobenzothiazole, mercaptoacetic acid, trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3- Mercapto compounds such as mercaptopropionate), disulfide compounds obtained by oxidizing the mercapto compounds, iodoacetic acid, iodopropionic acid, 2-iodoethanol, 2-iodoethanesulfonic acid, 3-iodopropanesulfonic acid, etc. Alkyl compound, trimethylolpropane tris (3-mercaptoisobutyrate), butanediol bis (3-mercaptoisobutyrate), hexanedithiol, decanedithiol, 1,4- Methyl mercaptobenzene, butanediol bisthiopropionate, butanediol bisthioglycolate, ethylene glycol bisthioglycolate, trimethylolpropane tristhioglycolate, butanediol bisthiopropionate, trimethylolpropane tristhiopropionate , Trimethylolpropane tristhioglycolate, pentaerythritol tetrakisthiopropionate, pentaerythritol tetrakisthioglycolate, trishydroxyethyltristhiopropionate, diethylthioxanthone, diisopropylthioxanthone, aliphatic polyfunctional thiol compounds such as the following compound D1 And Karenz MT BD1, PE1, NR1, etc. manufactured by Showa Denko KK.

Figure 0006483382
Figure 0006483382

上記溶剤としては、通常、前記の各成分((A)成分、(B)成分および(C)成分等)を溶解または分散しえる溶媒、例えば、メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、ジエチルケトン、アセトン、メチルイソプロピルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン等のケトン類;エチルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン、1,2−ジメトキシエタン、1,2−ジエトキシエタン、ジプロピレングリコールジメチルエーテル等のエーテル系溶媒;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸−n−プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸n−ブチル、酢酸シクロヘキシル、乳酸エチル、コハク酸ジメチル、テキサノール等のエステル系溶媒;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル等のセロソルブ系溶媒;メタノール、エタノール、イソ−またはn−プロパノール、イソ−またはn−ブタノール、アミルアルコール等のアルコール系溶媒;エチレングリコールモノメチルアセテート、エチレングリコールモノエチルアセテート、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、エトキシエチルプロピオネート等のエーテルエステル系溶媒;ベンゼン、トルエン、キシレン等のBTX系溶媒;ヘキサン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶媒;テレピン油、D−リモネン、ピネン等のテルペン系炭化水素油;ミネラルスピリット、スワゾール#310(コスモ松山石油(株))、ソルベッソ#100(エクソン化学(株))等のパラフィン系溶媒;四塩化炭素、クロロホルム、トリクロロエチレン、塩化メチレン、1,2−ジクロロエタン等のハロゲン化脂肪族炭化水素系溶媒;クロロベンゼン等のハロゲン化芳香族炭化水素系溶媒;カルビトール系溶媒;アニリン;トリエチルアミン;ピリジン;酢酸;アセトニトリル;二硫化炭素;N,N−ジメチルホルムアミド;N,N−ジメチルアセトアミド;N−メチルピロリドン;ジメチルスルホキシド;水等を用いることができ、これらの溶媒は1種でまたは2種以上の混合溶媒として使用することができる。これらの中でも、アルカリ現像性、パターニング性、製膜性、溶解性の点から、ケトン類またはエーテルエステル系溶媒、特に、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテートまたはシクロヘキサノンが好ましく用いられる。   As the solvent, usually, a solvent capable of dissolving or dispersing each of the above components (component (A), component (B) and component (C)), for example, methyl ethyl ketone, methyl amyl ketone, diethyl ketone, acetone, methyl Ketones such as isopropyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone; ether solvents such as ethyl ether, dioxane, tetrahydrofuran, 1,2-dimethoxyethane, 1,2-diethoxyethane, dipropylene glycol dimethyl ether; acetic acid Ester solvents such as methyl, ethyl acetate, n-propyl acetate, isopropyl acetate, n-butyl acetate, cyclohexyl acetate, ethyl lactate, dimethyl succinate, texanol; ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether Cellosolve solvents such as methanol; alcohol solvents such as methanol, ethanol, iso- or n-propanol, iso- or n-butanol, amyl alcohol; ethylene glycol monomethyl acetate, ethylene glycol monoethyl acetate, propylene glycol-1-monomethyl Ether ester solvents such as ether-2-acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, ethoxyethyl propionate; BTX solvents such as benzene, toluene, xylene; hexane, heptane, octane, cyclohexane, etc. Aliphatic hydrocarbon solvents; terpene hydrocarbon oils such as turpentine oil, D-limonene and pinene; mineral spirits, swazol # 310 (Cosmo Matsuyama Oil Co., Ltd.), Paraffin solvents such as Besso # 100 (Exxon Chemical Co., Ltd.); Halogenated aliphatic hydrocarbon solvents such as carbon tetrachloride, chloroform, trichloroethylene, methylene chloride, and 1,2-dichloroethane; Halogenated aromatics such as chlorobenzene Carbitol solvents; aniline; triethylamine; pyridine; acetic acid; acetonitrile; carbon disulfide; N, N-dimethylformamide; N, N-dimethylacetamide; N-methylpyrrolidone; dimethyl sulfoxide; These solvents can be used alone or as a mixed solvent of two or more. Among these, ketones or ether ester solvents, in particular, propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate or cyclohexanone are preferably used from the viewpoints of alkali developability, patterning property, film forming property, and solubility.

本発明の感光性樹脂組成物において、溶媒の含有量は、特に制限されず、各成分が均一に分散または溶解され、また本発明の感光性樹脂組成物が各用途に適した液状ないしペースト状を呈する量であればよいが、通常、本発明の感光性樹脂組成物中の固形分(溶媒以外の全成分)の量が10〜90質量%となる範囲で溶媒を含有させることが好ましい。   In the photosensitive resin composition of the present invention, the content of the solvent is not particularly limited, each component is uniformly dispersed or dissolved, and the photosensitive resin composition of the present invention is in a liquid or paste form suitable for each application. In general, it is preferable that the solvent is contained in a range in which the solid content (all components other than the solvent) in the photosensitive resin composition of the present invention is 10 to 90% by mass.

本発明の感光性樹脂組成物には、さらに、界面活性剤、シランカプリング剤、メラミン化合物等を併用することができる。   In the photosensitive resin composition of the present invention, a surfactant, a silane coupling agent, a melamine compound and the like can be further used in combination.

上記界面活性剤としては、パーフルオロアルキルリン酸エステル、パーフルオロアルキルカルボン酸塩等のフッ素界面活性剤;高級脂肪酸アルカリ塩、アルキルスルホン酸塩、アルキル硫酸塩等のアニオン系界面活性剤;高級アミンハロゲン酸塩、第四級アンモニウム塩等のカチオン系界面活性剤;ポリエチレングリコールアルキルエーテル、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、脂肪酸モノグリセリド等の非イオン界面活性剤;両性界面活性剤;シリコーン系界面活性剤等の界面活性剤を用いることができ、これらは組み合わせて用いてもよい。これらの界面活性剤は、1種単独でまたは2種以上を混合して用いてもよい。   Examples of the surfactant include fluorine surfactants such as perfluoroalkyl phosphates and perfluoroalkyl carboxylates; anionic surfactants such as higher fatty acid alkali salts, alkyl sulfonates, and alkyl sulfates; higher amines Cationic surfactants such as halogenates and quaternary ammonium salts; Nonionic surfactants such as polyethylene glycol alkyl ethers, polyethylene glycol fatty acid esters, sorbitan fatty acid esters, and fatty acid monoglycerides; amphoteric surfactants; silicone surfactants Surfactants such as agents can be used, and these may be used in combination. These surfactants may be used alone or in combination of two or more.

シランカップリング剤としては、例えば信越化学社製シランカップリング剤を用いることができ、その中でも、KBE−9007、KBM−502、KBE−403等の、イソシアネート基、メタクリロイル基またはエポキシ基を有するシランカップリング剤が好適に用いられる。   As the silane coupling agent, for example, a silane coupling agent manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. can be used. Among them, silanes having an isocyanate group, a methacryloyl group, or an epoxy group, such as KBE-9007, KBM-502, and KBE-403. A coupling agent is preferably used.

メラミン化合物としては、(ポリ)メチロールメラミン、(ポリ)メチロールグリコールウリル、(ポリ)メチロールベンゾグアナミン、(ポリ)メチロールウレア等の窒素化合物中の活性メチロール基(CHOH基)の全部または一部(少なくとも2つ)がアルキルエーテル化された化合物等を挙げることができる。ここで、アルキルエーテルを構成するアルキル基としては、メチル基、エチル基またはブチル基が挙げられ、互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。また、アルキルエーテル化されていないメチロール基は、一分子内で自己縮合していてもよく、二分子間で縮合して、その結果オリゴマー成分が形成されていてもよい。 As the melamine compound, all or part of active methylol groups (CH 2 OH groups) in nitrogen compounds such as (poly) methylol melamine, (poly) methylol glycoluril, (poly) methylol benzoguanamine, (poly) methylol urea ( Examples include compounds in which at least two) are alkyl etherified. Here, examples of the alkyl group constituting the alkyl ether include a methyl group, an ethyl group, and a butyl group, which may be the same as or different from each other. Moreover, the methylol group which is not alkyletherified may be self-condensed within one molecule, or may be condensed between two molecules, and as a result, an oligomer component may be formed.

具体的には、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサブトキシメチルメラミン、テトラメトキシメチルグリコールウリル、テトラブトキシメチルグリコールウリル等を用いることができる。これらの中でも、溶媒への溶解性、感光性樹脂組成物から結晶析出しにくいという点から、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサブトキシメチルメラミン等のアルキルエーテル化されたメラミンが好ましい。   Specifically, hexamethoxymethyl melamine, hexabutoxymethyl melamine, tetramethoxymethyl glycoluril, tetrabutoxymethyl glycoluril and the like can be used. Among these, alkyl etherified melamines such as hexamethoxymethyl melamine and hexabutoxymethyl melamine are preferable from the viewpoints of solubility in a solvent and difficulty in crystal precipitation from the photosensitive resin composition.

本発明の感光性樹脂組成物において、(A)成分、(B)成分および(C)成分以外の任意成分(ただし、無機化合物、色材、および溶剤は除く)の使用量は、その使用目的に応じて適宜選択され特に制限されないが、好ましくは、(B)成分100質量部に対して合計で50質量部以下とする。   In the photosensitive resin composition of the present invention, the amount of optional components other than the components (A), (B) and (C) (excluding inorganic compounds, coloring materials, and solvents) is the purpose of use. Although it is suitably selected according to the above and is not particularly limited, it is preferably 50 parts by mass or less in total with respect to 100 parts by mass of the component (B).

次に、本発明の硬化物について説明する。
本発明の硬化物は、本発明の感光性樹脂組成物にエネルギー線が照射されてなるものである。例えば、(1)本発明の感光性樹脂組成物の塗膜を基板上に形成する工程、(2)該塗膜に所定のパターン形状を有するマスクを介してエネルギー線(光)を照射する工程、(3)露光後のベーク工程、(4)露光後の被膜を現像する工程、(5)現像後の該被膜を加熱する工程により、パターン形成された硬化物を得ることができる。
Next, the cured product of the present invention will be described.
The cured product of the present invention is obtained by irradiating the photosensitive resin composition of the present invention with energy rays. For example, (1) a step of forming a coating film of the photosensitive resin composition of the present invention on a substrate, (2) a step of irradiating the coating film with energy rays (light) through a mask having a predetermined pattern shape (3) A baking process after exposure, (4) a process of developing the film after exposure, and (5) a process of heating the film after development, a patterned cured product can be obtained.

(1)本発明の感光性樹脂組成物の塗膜を基板上に形成する工程として、スピンコーター、ロールコーター、バーコーター、ダイコーター、カーテンコーター、各種の印刷、浸漬等の公知の手段で、ソーダガラス、石英ガラス、半導体基板、金属、紙、プラスチック等の支持基体上に適用することができる。また、一旦フィルム等の支持基体上に施した後、他の支持基体上に転写することもでき、その適用方法に制限はない。なお、感光性樹脂組成物が溶媒を含んでいる場合、塗工後にホットプレート、オーブン等を用いて溶媒を除去することが好ましい。   (1) As a step of forming a coating film of the photosensitive resin composition of the present invention on a substrate, a known method such as spin coater, roll coater, bar coater, die coater, curtain coater, various printing, dipping, It can be applied to a supporting substrate such as soda glass, quartz glass, a semiconductor substrate, metal, paper, and plastic. Moreover, after once applying on support bases, such as a film, it can also transfer on another support base | substrate, There is no restriction | limiting in the application method. In addition, when the photosensitive resin composition contains a solvent, it is preferable to remove a solvent using a hotplate, oven, etc. after coating.

(2)該塗膜に所定のパターン形状を有するマスクを介してエネルギー線(光)を照射する工程において、用いられるエネルギー線の光源としては、超高圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、中圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、水銀蒸気アーク灯、キセノンアーク灯、カーボンアーク灯、メタルハライドランプ、蛍光灯、タングステンランプ、エキシマーランプ、殺菌灯、発光ダイオード、CRT光源等から得られる200〜700nmの波長を有する電磁波エネルギーや電子線、X線、放射線等の高エネルギー線を利用することができるが、好ましくは、波長300〜450nmの光を発光する超高圧水銀ランプ、水銀蒸気アーク灯、カーボンアーク灯、キセノンアーク灯等が用いられる。   (2) In the step of irradiating the coating film with energy rays (light) through a mask having a predetermined pattern shape, the light source of the energy rays used is an ultrahigh pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, or a medium pressure mercury lamp. Electromagnetic waves having a wavelength of 200 to 700 nm obtained from low pressure mercury lamp, mercury vapor arc lamp, xenon arc lamp, carbon arc lamp, metal halide lamp, fluorescent lamp, tungsten lamp, excimer lamp, germicidal lamp, light emitting diode, CRT light source, etc. High energy rays such as energy, electron beam, X-ray, and radiation can be used, but preferably an ultra-high pressure mercury lamp, mercury vapor arc lamp, carbon arc lamp, xenon arc that emits light having a wavelength of 300 to 450 nm. A lamp or the like is used.

さらに、露光光源にレーザー光を用いることにより、マスクを用いずに、コンピューター等のデジタル情報から直接画像を形成するレーザー直接描画法を用いることもできる。レーザー直接描画法は生産性のみならず、解像性や位置精度等の向上も図れることから有用であり、そのレーザー光としては、340〜430nmの波長の光が好適に使用されるが、エキシマーレーザー、窒素レーザー、アルゴンイオンレーザー、ヘリウムカドミウムレーザー、ヘリウムネオンレーザー、クリプトンイオンレーザー、各種半導体レーザーおよびYAGレーザー等の可視から赤外領域の光を発するものも用いることができる。これらのレーザー光を使用する場合には、好ましくは、可視から赤外の当該領域を吸収する増感色素が加えられる。   Further, by using laser light as an exposure light source, a laser direct drawing method that directly forms an image from digital information such as a computer can be used without using a mask. The laser direct writing method is useful because it can improve not only productivity but also resolution and positional accuracy. As the laser light, light having a wavelength of 340 to 430 nm is preferably used. Lasers, nitrogen lasers, argon ion lasers, helium cadmium lasers, helium neon lasers, krypton ion lasers, various semiconductor lasers, YAG lasers, and the like that emit light in the visible to infrared region can also be used. When these laser beams are used, a sensitizing dye that absorbs the visible to infrared region is preferably added.

(3)露光後のベーク工程において、上記エネルギー線の照射後、40〜150℃程度の加熱が硬化率の点で好ましい。   (3) In the baking step after exposure, heating at about 40 to 150 ° C. is preferable in terms of the curing rate after irradiation with the energy beam.

(4)露光後の被膜を現像する工程において、アルカリ現像液としては、アルカリ性化合物の水溶液に、必要に応じて、水溶性有機溶剤、界面活性剤等を配合したものである。アルカリ現像液のアルカリ性化合物としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等の無機アルカリ化合物;トリメチルアミン、メチルジエチルアミン、ジメチルエチルアミン、トリエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリエタノールアミン、ピロール、ピペリジン、N−メチルピペリジン、N−メチルピロリジン、1、8−ジアザビシクロ[5.4.0]−7−ウンデセン、1、5−ジアザビシクロ[4.3.0]−5−ノネン等の環状3級アミン類、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド等アミンまたはアンモニウム化合物等が挙げられる。なお、本発明の感光性樹脂組成物のパターニングは、アルカリ現像液だけでなく、有機溶剤を用いることもでき、用いられる有機溶剤としてはシクロペンタノン等が挙げられる。   (4) In the step of developing the film after exposure, the alkaline developer is a mixture of an aqueous solution of an alkaline compound and, if necessary, a water-soluble organic solvent, a surfactant or the like. Examples of the alkaline compound in the alkaline developer include inorganic alkali compounds such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, and potassium carbonate; trimethylamine, methyldiethylamine, dimethylethylamine, triethylamine, dimethylethanolamine, methyldiethanolamine, and triethanolamine. , Pyrrole, piperidine, N-methylpiperidine, N-methylpyrrolidine, 1,8-diazabicyclo [5.4.0] -7-undecene, 1,5-diazabicyclo [4.3.0] -5-nonene, etc. Examples include cyclic tertiary amines, amines such as tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, and ammonium compounds. In the patterning of the photosensitive resin composition of the present invention, not only an alkali developer but also an organic solvent can be used, and examples of the organic solvent used include cyclopentanone.

(5)現像後の該被膜を加熱する工程は、必須の工程ではないが、硬化膜の硬度が更に向上するため好ましい。ポストベークは、ホットプレート、オーブン等の加熱装置を用いて、160℃〜250℃で5分〜3時間行うことが好ましい。   (5) The step of heating the film after development is not an essential step, but is preferable because the hardness of the cured film is further improved. Post bake is preferably performed at 160 ° C. to 250 ° C. for 5 minutes to 3 hours using a heating device such as a hot plate or oven.

本発明の感光性樹脂組成物は、電子工学用のフォトレジスト;電気メッキレジスト;エッチングレジスト;ドライフィルム;はんだレジスト;種々の表示用途用のカラーフィルタを製造するための或いはプラズマ表示パネル、電気発光表示装置、およびLCDの製造工程においてそれらの構造を形成するためのレジスト;電気および電子部品を封入するための組成物;ソルダーレジスト;磁気記録材料;微小機械部品;導波路;光スイッチ;めっき用マスク;エッチングマスク;カラー試験系;ガラス繊維ケーブルコーティング;スクリーン印刷用ステンシル;ステレオリトグラフィによって三次元物体を製造するための材料;微細電子回路;印刷配線板用フォトレジスト材料;UVおよび可視レーザー直接画像系用のフォトレジスト材料;プリント回路基板の逐次積層における誘電体層形成に使用するフォトレジスト材料または保護膜等の各種の用途に使用することができ、その用途に特に制限はない。   The photosensitive resin composition of the present invention comprises: a photoresist for electronics; an electroplating resist; an etching resist; a dry film; a solder resist; a color filter for various display applications; a plasma display panel; Resist for forming their structures in the manufacturing process of display devices and LCDs; Composition for encapsulating electrical and electronic parts; Solder resist; Magnetic recording material; Micro mechanical parts; Waveguide; Optical switch; Masks; Etching masks; Color test systems; Glass fiber cable coatings; Screen printing stencils; Materials for producing three-dimensional objects by stereolithography; Microelectronic circuits; Photoresist materials for printed wiring boards; UV and visible laser direct Photoresist materials for image systems; Can be used in various applications such as a photoresist material or a protective film for use in the dielectric layer formed in a sequential lamination of lint circuit board, there is no particular limitation on the application.

色材を添加した本発明の感光性樹脂組成物は、カラーフィルタにおけるRGB等の各画素を構成するレジストや、各画素の隔壁を形成するブラックマトリクス用レジストとして好適に用いられる。更に、撥インク剤を添加するブラックマトリクス用レジストの場合、プロファイル角が50°以上であるインクジェット方式カラーフィルタ用隔壁に好ましく用いられる。該撥インク剤としては、フッ素系界面活性剤およびフッ素系界面活性剤を含有する組成物が好適に用いられる。   The photosensitive resin composition of the present invention to which a color material is added is suitably used as a resist constituting each pixel such as RGB in a color filter and a black matrix resist forming a partition of each pixel. Furthermore, in the case of a black matrix resist to which an ink repellent agent is added, it is preferably used for a partition for an ink jet color filter having a profile angle of 50 ° or more. As the ink repellent agent, a fluorosurfactant and a composition containing a fluorosurfactant are preferably used.

インクジェット方式カラーフィルタ用隔壁に用いた場合、本発明の感光性樹脂組成物から形成された隔壁が被転写体上を区画し、区画された被転写体上の凹部にインクジェット法により液滴を付与して画像領域を形成する方法により光学素子が製造される。この際、上記液滴が着色剤を含有し、上記画像領域が着色されていることが好ましく、その場合には、上記の製造方法により作製された光学素子は、基板上に複数の着色領域からなる画素群と該画素群の各着色領域を離隔する隔壁を少なくとも有するものとなる。   When used as a partition for an ink jet type color filter, the partition formed from the photosensitive resin composition of the present invention partitions the transferred body, and droplets are applied to the recessed portions on the partitioned transferred body by the inkjet method. Thus, an optical element is manufactured by a method of forming an image region. At this time, it is preferable that the droplets contain a colorant and the image area is colored. In this case, the optical element produced by the manufacturing method described above is formed from a plurality of colored areas on the substrate. And at least a partition that separates each colored region of the pixel group.

本発明の感光性樹脂組成物は、保護膜または絶縁膜用組成物としても用いることができる。この場合、紫外線吸収剤、アルキル化変性メラミンおよび/またはアクリル変性メラミン、分子中にアルコール性水酸基を含有する1または2官能の(メタ)アクリレートモノマーおよび/またはシリカゾルを含有することができる。   The photosensitive resin composition of the present invention can also be used as a protective film or insulating film composition. In this case, an ultraviolet absorber, an alkylation-modified melamine and / or an acrylic-modified melamine, a mono- or bifunctional (meth) acrylate monomer containing an alcoholic hydroxyl group in the molecule, and / or silica sol can be contained.

絶縁膜は、剥離可能な支持基材上に絶縁樹脂層が設けられた積層体における該絶縁樹脂層に用いられ、該積層体は、アルカリ水溶液による現像が可能なものであり、絶縁樹脂層の膜厚が10〜100μmであることが好ましい。   The insulating film is used for the insulating resin layer in a laminate in which an insulating resin layer is provided on a peelable support substrate, and the laminate can be developed with an aqueous alkaline solution. The film thickness is preferably 10 to 100 μm.

本発明の感光性樹脂組成物は、無機化合物を含有させることで、感光性ペースト組成物として用いることができる。該感光性ペースト組成物は、プラズマディスプレイパネルの隔壁パターン、誘電体パターン、電極パターンおよびブラックマトリックスパターン等の焼成物パターンを形成するために用いることができる。   The photosensitive resin composition of the present invention can be used as a photosensitive paste composition by containing an inorganic compound. The photosensitive paste composition can be used to form a fired product pattern such as a partition pattern, a dielectric pattern, an electrode pattern, and a black matrix pattern of a plasma display panel.

次に、一般式(1’)で表される新規化合物について、詳細に説明する。
一般式(1’)中、環Aは、炭素原子、窒素原子、硫黄原子、酸素原子およびリン原子から任意に構成される5員〜8員の環であり、5員〜8員の環には他の環が縮環していてもよく、また、置換基を有していてよい。RおよびRは、それぞれ独立に、水素原子、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1〜20の炭化水素基、またはRおよびRが、互いに連結して形成する窒素原子を含む環である。環Aが表す5員〜8員の環を構成する原子が窒素原子を含まない場合、RおよびRは、互いに連結して形成する環であり、この環は、窒素原子、酸素原子および炭素原子から任意に選ばれて形成され、この環にはベンゼン環が縮環していてもよい。また、5〜8員の環に、他の環が縮環して2環〜4環となっているものが好ましい。縮環する環としては、芳香族炭化水素環が好ましく、ベンゼン環、ナフタレン環、フェナントレン環がより好ましい。縮環して2環〜4環となった環Aの好ましい具体例としては、上述の部分構造式(1−1)〜(1−10)が挙げられる。
Next, the novel compound represented by the general formula (1 ′) will be described in detail.
In general formula (1 ′), ring A 1 is a 5-membered to 8-membered ring arbitrarily composed of a carbon atom, a nitrogen atom, a sulfur atom, an oxygen atom and a phosphorus atom, and is a 5-membered to 8-membered ring. The other ring may be condensed and may have a substituent. R 1 and R 2 are each independently a hydrogen atom, an unsubstituted or substituted hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or nitrogen formed by R 1 and R 2 being linked to each other A ring containing atoms. When the atom constituting the 5- to 8-membered ring represented by the ring A 1 does not contain a nitrogen atom, R 1 and R 2 are rings formed by being connected to each other, and this ring is a nitrogen atom, an oxygen atom And a carbon atom, and a benzene ring may be condensed to this ring. In addition, a 5- to 8-membered ring having other rings condensed to 2- to 4-rings is preferable. The condensed ring is preferably an aromatic hydrocarbon ring, more preferably a benzene ring, a naphthalene ring, or a phenanthrene ring. Preferable specific examples of the ring A 1 that has been condensed into 2 to 4 rings include the partial structural formulas (1-1) to (1-10) described above.

本発明の新規化合物は、化学的安定性が高く、また、優れた熱安定性を有しており、上述の感光性樹脂組成物の(A)成分として用いられるほか、化学増幅型レジスト等に用いることができる。   The novel compound of the present invention has high chemical stability and excellent thermal stability. In addition to being used as the component (A) of the above-described photosensitive resin composition, the novel compound can be used as a chemically amplified resist. Can be used.

以下、実施例および実験例を挙げて本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例等に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example and an experiment example are given and this invention is demonstrated further in detail, this invention is not limited to these Examples etc.

〔実施例1−1〕化合物No.1の合成
ベンゾ[cd]インドール−2(1H)−オン5.0g(30mmol)、ローソン試薬3.3g(8mmol)とトルエン50mLの溶液を、100℃で1.5時間撹拌した。冷却後、水を加え油水分離し、油層を炭酸水素ナトリウム水溶液で洗浄した。油層を無水硫酸マグネシウムで乾燥後、減圧下脱溶媒し、チオアミド体とローソン試薬分解物の混合物7.9gを得た。
[Example 1-1] Compound No. 1 Synthesis of 1 A solution of benzo [cd] indole-2 (1H) -one 5.0 g (30 mmol), Lawesson's reagent 3.3 g (8 mmol) and toluene 50 mL was stirred at 100 ° C. for 1.5 hours. After cooling, water was added to separate the oil and water, and the oil layer was washed with an aqueous sodium bicarbonate solution. The oil layer was dried over anhydrous magnesium sulfate and then desolvated under reduced pressure to obtain 7.9 g of a mixture of a thioamide and a Lawson reagent decomposition product.

得られた混合物7.9g、塩酸ヒドロキシルアミン3.1g(45mmol)、トリエチルアミン4.6g(45mmol)とエタノール50mLの溶液を還流温度で3.5時間撹拌した。冷却後、水200mLを加え、析出した固体をろ取した。固体を減圧下乾燥しオキシム体4.9g(収率90%)を得た。   A solution of 7.9 g of the obtained mixture, 3.1 g (45 mmol) of hydroxylamine hydrochloride, 4.6 g (45 mmol) of triethylamine and 50 mL of ethanol was stirred at reflux temperature for 3.5 hours. After cooling, 200 mL of water was added, and the precipitated solid was collected by filtration. The solid was dried under reduced pressure to obtain 4.9 g (yield 90%) of the oxime.

得られたオキシム体2.0g(11mmol)、トリエチルアミン2.2g(22mmol)とクロロホルム10mLの溶液に、氷水冷下、クロロぎ酸4−ニトロフェニル2.4g(12mmol)とクロロホルム3mLの溶液を滴下し、1.5時間撹拌後、ピペリジン1.0g(12mmol)を滴下した。室温で4時間撹拌後、水を加え油水分離し、油層を水で洗浄した。油層を無水硫酸マグネシウムで乾燥後、減圧下脱溶媒して得られた油状物をシリカゲルカラムクロマトグラフィー(トルエン/酢酸エチル=5:1)により精製し、融点214℃の黄色固体1.1g(収率34%)を得た。得られた化合物が、目的物であることは、H−NMR、IRスペクトルで確認した。結果を表2および表3に示す。 To a solution of 2.0 g (11 mmol) of the obtained oxime, 2.2 g (22 mmol) of triethylamine and 10 mL of chloroform, a solution of 2.4 g (12 mmol) of 4-nitrophenyl chloroformate and 3 mL of chloroform was added dropwise under ice water cooling. After stirring for 1.5 hours, 1.0 g (12 mmol) of piperidine was added dropwise. After stirring at room temperature for 4 hours, water was added to separate the oil and water, and the oil layer was washed with water. The oily layer was dried over anhydrous magnesium sulfate and then desolvated under reduced pressure, and the resulting oily product was purified by silica gel column chromatography (toluene / ethyl acetate = 5: 1). 34%). It was confirmed by 1 H-NMR and IR spectrum that the obtained compound was the target product. The results are shown in Table 2 and Table 3.

〔実施例1−2〜1−6〕化合物No.2〜5およびNo.9の合成
実施例1と同様の手法により、化合物No.2〜5およびNo.9を合成した。物性データ等を表1〜3に示す。
[Examples 1-2 to 1-6] Compound Nos. 2-5 and no. In the same manner as in Example 1, compound No. 9 was synthesized. 2-5 and no. 9 was synthesized. Physical property data etc. are shown in Tables 1-3.

Figure 0006483382
Figure 0006483382

Figure 0006483382
H−NMR(CDCl
Figure 0006483382
1 H-NMR (CDCl 3 )

表2において、プロトン数が0.5Hとあるのは、どちらかの異性体の1Hを意味し、1.5Hとあるのは、どちらかの異性体の3Hを意味する。   In Table 2, a proton number of 0.5H means 1H of either isomer, and 1.5H means 3H of either isomer.

Figure 0006483382
IRスペクトル(ATR)
Figure 0006483382
IR spectrum (ATR)

〔実施例2−1、2−2および比較例2−1〕化合物残存率の評価
実施例2−1、2−2および比較例2−1として化合物No.4、5および比較化合物を用いて、化合物の残存率を評価した。まず、化合物No.4、5および比較化合物が0.1質量%となるように、酢酸/水=9:1の溶媒にそれぞれを溶解させた。得られた溶液が80℃になるように撹拌しながら3時間加温した。溶解後(0時間)を初期値としたときの3時間後の化合物残存率を算出した。なお、化合物残存率の算出に当たっては、その分析に高速液体クロマトグラフィー(HPLC)を用いた。得られた結果を下記表4に示す。
[Examples 2-1 and 2-2 and Comparative Example 2-1] Evaluation of Compound Remaining Ratio As Examples 2-1 and 2-2 and Comparative Example 2-1, compound Nos. The residual ratio of the compound was evaluated using 4, 5 and the comparative compound. First, compound no. Each of 4, 5 and the comparative compound was dissolved in a solvent of acetic acid / water = 9: 1 so as to be 0.1% by mass. The resulting solution was warmed for 3 hours with stirring so that the temperature reached 80 ° C. The residual ratio of the compound after 3 hours was calculated with the initial value after dissolution (0 hour). In calculating the compound residual ratio, high performance liquid chromatography (HPLC) was used for the analysis. The results obtained are shown in Table 4 below.

Figure 0006483382
Figure 0006483382
Figure 0006483382
Figure 0006483382

〔実施例3−1〜3−6〕感光性樹脂組成物の調整例および評価例1
(A)成分として、下記表5に記載の化合物を5質量部、(B)成分として、EP−4901(ADEKA社製、ビスフェノールF型グリシジルエーテル)52質量部、および(D)添加剤成分として、カレンズMT BD1(昭和電工社製、エポキシ硬化剤)43質量部を混合し、三本ロールミルにて混練して、感光性樹脂組成物をそれぞれ得た。得られた感光性樹脂組成物について、超高圧水銀ランプによるUV光の照射なしおよび200mJ/cmのUV光照射後に60℃にて60分間加熱し、硬化率を測定した。硬化率は、5,000mJ/cmのUV光照射後、120℃で60分硬化させたときのFT−IRにおける(3,450cm−1のピーク強度)/(1,510cm−1のピーク強度)の値を硬化率100%として、相対値として求めた。結果を下記〔表5〕に示す。
[Examples 3-1 to 3-6] Preparation examples and evaluation examples 1 of photosensitive resin compositions
As component (A), 5 parts by mass of the compounds shown in Table 5 below, as component (B), 52 parts by mass of EP-4901 (manufactured by ADEKA, bisphenol F-type glycidyl ether), and (D) as an additive component , Karenz MT BD1 (manufactured by Showa Denko KK, epoxy curing agent) 43 parts by mass were mixed and kneaded in a three-roll mill to obtain a photosensitive resin composition. The obtained photosensitive resin composition was heated at 60 ° C. for 60 minutes after irradiation with UV light by an ultrahigh pressure mercury lamp and irradiation with 200 mJ / cm 2 of UV light, and the curing rate was measured. Curing rate after UV light irradiation of 5,000 mJ / cm 2, (peak intensity of 3,450cm -1) in FT-IR of when cured 60 minutes at 120 ° C. / (peak intensity of 1,510Cm -1 ) Was determined as a relative value with a curing rate of 100%. The results are shown in [Table 5] below.

Figure 0006483382
Figure 0006483382

〔実施例4−1〜4−12〕感光性樹脂組成物の調整例および評価例2
下記表6および7に記載の組成比で配合した後、三本ロールミルにて混練して本発明の感光性樹脂組成物を作製した。得られた感光性樹脂組成物をガラス基板に塗布し(プリベーク後の膜厚が6μmとなるように調整)、90℃ホットプレートにて2分間乾燥させた。高圧水銀灯(HOYA CANDEO OPTRONICS CORPORATION製、照射照度20mW/cm)で250mJ/cm照射後、130℃で50分加熱した。その後、下記の現像液を用いて現像した。照射部における現像前後の膜厚変化より、照射部(硬化部)の現像耐性を評価し、また、非照射部の現像性を評価した。結果を表6および7に示す。
[Examples 4-1 to 4-12] Preparation examples and evaluation examples 2 of photosensitive resin compositions
After blending in the composition ratios shown in Tables 6 and 7 below, the photosensitive resin composition of the present invention was prepared by kneading with a three-roll mill. The obtained photosensitive resin composition was apply | coated to the glass substrate (it adjusted so that the film thickness after a prebaking might be 6 micrometers), and was dried for 2 minutes with a 90 degreeC hotplate. After irradiation with 250 mJ / cm 2 with a high-pressure mercury lamp (manufactured by HOYA CANDEO OPTRONICS CORPORATION, irradiation illuminance 20 mW / cm 2 ), the mixture was heated at 130 ° C. for 50 minutes. Then, it developed using the following developing solution. From the change in film thickness before and after development in the irradiated part, the development resistance of the irradiated part (cured part) was evaluated, and the developability of the non-irradiated part was evaluated. The results are shown in Tables 6 and 7.

<硬化性>
現像前の膜厚を100としたときの、現像後の膜厚を表す。100に近いほど硬化性が高く、耐現像性に優れることを示す。評価に用いた現像液はエタノールアミンを5質量%含むテトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)が3質量%となるように調整したアルカリ水溶液(以下、TMAH現像液という)を用いた。
<Curing property>
This represents the film thickness after development when the film thickness before development is 100. The closer to 100, the higher the curability and the better the development resistance. The developer used for the evaluation was an alkaline aqueous solution (hereinafter referred to as a TMAH developer) prepared so that tetramethylammonium hydroxide (TMAH) containing 5% by mass of ethanolamine was 3% by mass.

<現像性>
シクロペンタノン(有機溶剤)で現像が可能であった場合、TMAH現像液でも現像可能であった場合◎、シクロペンタノンで現像が可能であり、TMAH現像液で現像できなかった場合を〇、シクロペンタノンでも現像できなかった場合×とした。
<Developability>
Developed with cyclopentanone (organic solvent), developed with TMAH developer, ◎, developed with cyclopentanone, and developed with TMAH developer, ◯ The case where development was impossible even with cyclopentanone was marked as x.

Figure 0006483382
Figure 0006483382

Figure 0006483382
Figure 0006483382

<(A)成分>
No.1:化合物No.1の化合物
No.2:化合物No.2の化合物
No.3:化合物No.3の化合物
No.4:化合物No.4の化合物
No.5:化合物No.5の化合物
<(B)成分>
EPPN−201:フェノールノボラック型エポキシ樹脂、エポキシ当量193g/eq.、日本化薬社製
G−01100:エポキシ基含有アクリル系ポリマー、エポキシ当量170g/eq.、Mw=12,000、日油社製
<(C)成分>
TRR−5010G:クレゾールノボラック型フェノール樹脂、水酸基当量120g/eq.、Mw=8,000、旭有機材工業社製
GDP−6095LR:ジシクロペンタジエン変性型フェノール樹脂、水酸基当量168−171g/eq.、Mw=443、群栄化学工業社製
共重合体1:スチレン−メタクリル酸メチル共重合体、スチレン/メタクリル酸メチル=80/20、Mw=8,000、酸価=14mgHOH/g
<非アルカリ現像性樹脂>
非アルカリ現像性フェノールノボラック型フェノール樹脂、水酸基当量0g/eq.、Mw=14,000
<(A) component>
No. 1: Compound No. Compound No. 1 2: Compound No. Compound No. 2 3: Compound No. Compound No. 3 4: Compound No. Compound No. 4 5: Compound No. Compound 5 <(B) component>
EPPN-201: phenol novolac type epoxy resin, epoxy equivalent 193 g / eq. Manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. G-01100: Epoxy group-containing acrylic polymer, epoxy equivalent 170 g / eq. , Mw = 12,000, manufactured by NOF Corporation (component (C))
TRR-5010G: Cresol novolac type phenol resin, hydroxyl group equivalent of 120 g / eq. , Mw = 8,000, manufactured by Asahi Organic Materials Co., Ltd. GDP-6095LR: dicyclopentadiene-modified phenol resin, hydroxyl group equivalent 168-171 g / eq. , Mw = 443, made by Gunei Chemical Co., Ltd. Copolymer 1: styrene-methyl methacrylate copolymer, styrene / methyl methacrylate = 80/20, Mw = 8,000, acid value = 14 mgHOH / g
<Non-alkali developable resin>
Non-alkali developable phenol novolac type phenol resin, hydroxyl group equivalent 0 g / eq. , Mw = 14,000

以上より、本発明の感光性樹脂組成物は、優れた硬化性と現像性を有しており、これに用いられる本発明の化合物は、優れた塩基発生能を有していることが明らかである。
From the above, it is clear that the photosensitive resin composition of the present invention has excellent curability and developability, and the compound of the present invention used for this has excellent base generating ability. is there.

Claims (3)

(A)光開始剤と、(B)硬化性樹脂と、を含有する感光性樹脂組成物において、
前記(A)光開始剤として、下記一般式(1)、
Figure 0006483382
(一般式(1)中、環Aは、下記部分構造式(1−1)〜(1−10)の何れかであり、RおよびRは、それぞれ独立に、水素原子、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1〜20の炭化水素基、またはRおよびRが、互いに連結して形成する窒素原子を含む環であり、該環にはベンゼン環が縮環していてもよい。)で表される化合物を少なくとも1種含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
Figure 0006483382
(式中、*は、前記一般式(1)中で二重結合にて窒素原子と連結する部位を表し、Xはそれぞれ独立に、−CR1112−、−CO−、−CS−、−NR13−、−S−、−SO−、−O−、または−PR14−を表し、R11〜R14およびR21〜R78は、それぞれ独立に、水素原子、シアノ基、ニトロ基、−OR15、−COOR15、−CO−R15、−SR15、ハロゲン原子、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1〜20の炭化水素基、または、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数2〜20の複素環基を表し、R15は、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1〜20の炭化水素基、または、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数2〜20の複素環基を表す。)
In the photosensitive resin composition containing (A) photoinitiator and (B) curable resin,
As the (A) photoinitiator, the following general formula (1),
Figure 0006483382
(In General Formula (1), Ring A 1 is any one of the following partial structural formulas (1-1) to (1-10), and R 1 and R 2 are each independently a hydrogen atom or unsubstituted. Or a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms having a substituent, or a ring containing nitrogen atoms formed by connecting R 1 and R 2 to each other, and a benzene ring condensed to the ring A photosensitive resin composition comprising at least one compound represented by formula (1):
Figure 0006483382
(Wherein, * represents a site connecting to the nitrogen atom at the double bond in the formula (1), X is independently, -CR 11 R 12 -, - CO -, - CS-, -NR 13 -, - S -, - SO 2 -, - O-, or -PR 14 - represents, R 11 to R 14 and R 21 to R 78 each independently represent a hydrogen atom, a cyano group, a nitro group, -OR 15, -COOR 15, -CO -R 15, -SR 15, halogen atom, unsubstituted or has a substituent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms or, an unsubstituted or substituted Represents a heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms having a group, and R 15 is an unsubstituted or substituted hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or an unsubstituted or substituted group. Represents a C2-C20 heterocyclic group having a group.)
(C)アルカリ現像性樹脂を含有する請求項1記載の感光性樹脂組成物。   (C) The photosensitive resin composition of Claim 1 containing alkali developable resin. 請求項1または2記載の感光性樹脂組成物にエネルギー線が照射されてなることを特徴とする硬化物。   A cured product obtained by irradiating the photosensitive resin composition according to claim 1 or 2 with energy rays.
JP2014188271A 2014-09-16 2014-09-16 Photosensitive resin composition and cured product thereof Active JP6483382B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014188271A JP6483382B2 (en) 2014-09-16 2014-09-16 Photosensitive resin composition and cured product thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014188271A JP6483382B2 (en) 2014-09-16 2014-09-16 Photosensitive resin composition and cured product thereof

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019023950A Division JP6734416B2 (en) 2019-02-13 2019-02-13 New compound

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016061861A JP2016061861A (en) 2016-04-25
JP6483382B2 true JP6483382B2 (en) 2019-03-13

Family

ID=55797748

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014188271A Active JP6483382B2 (en) 2014-09-16 2014-09-16 Photosensitive resin composition and cured product thereof

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6483382B2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106986855A (en) * 2017-04-05 2017-07-28 同济大学 New type heterocycle oxime ester lightlike initiating agent and its preparation method and application
JP2020139136A (en) * 2018-11-30 2020-09-03 株式会社Adeka Composition, cured product, and method for producing cured product
CN114349684B (en) * 2022-01-19 2023-03-28 西南林业大学 Synthetic method of benzo [ c, d ] indole imine derivative

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS572280A (en) * 1980-05-07 1982-01-07 Hoffmann La Roche Carbamoyloxime compound
TW304945B (en) * 1992-06-27 1997-05-11 Hoechst Ag
JP4892923B2 (en) * 2005-08-18 2012-03-07 日立化成工業株式会社 Adhesive composition, circuit terminal connection structure, and circuit terminal connection method
JP4756350B2 (en) * 2006-03-17 2011-08-24 大日本印刷株式会社 Photosensitive resin composition, article, and negative pattern forming method
JP4816176B2 (en) * 2006-03-17 2011-11-16 大日本印刷株式会社 Photosensitive resin composition, article, and negative pattern forming method

Also Published As

Publication number Publication date
JP2016061861A (en) 2016-04-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6208119B2 (en) Novel compound and photosensitive resin composition
JP5912946B2 (en) Photosensitive resin composition
JP6605821B2 (en) Photosensitive resin composition
JP6000942B2 (en) Oxime ester compound and photopolymerization initiator containing the compound
KR102669269B1 (en) Compound, latent base generator, photosensitive resin composition containing the compound, and cured product
JP6301249B2 (en) Photosensitive composition
TWI811419B (en) Carbamoxime compound, polymerization initiator containing same, and polymerizable composition
JP6483382B2 (en) Photosensitive resin composition and cured product thereof
JP6315557B2 (en) Novel compound, photosensitive resin composition using the same, and cured product thereof
JP5978138B2 (en) Novel compound and photosensitive resin composition
WO2020241529A1 (en) Carbamoyl oxime compound, and polymerization initiator and polymerizable composition containing said compound
JP6734416B2 (en) New compound
CN113302180A (en) Carbamoyloxime compound, and polymerization initiator and polymerizable composition each containing same
JP7277226B2 (en) Compound, polymerization initiator, polymerizable resin composition and photosensitive resin composition
CN113646297A (en) Carbamoyloxime compound, and polymerization initiator and polymerizable composition each containing same
CN113631540A (en) Carbamoyloxime compound, and polymerization initiator and polymerizable composition each containing same
JP2020200272A (en) Carbamoyl oxime compound, and polymerization initiator and polymerizable composition containing the compound

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170808

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20180607

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180619

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20180817

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20181018

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20181106

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20181226

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20190115

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20190214

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6483382

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150