JP7311736B2 - Screen printer equipped with a vacuum squeegee mechanism - Google Patents
Screen printer equipped with a vacuum squeegee mechanism Download PDFInfo
- Publication number
- JP7311736B2 JP7311736B2 JP2019090189A JP2019090189A JP7311736B2 JP 7311736 B2 JP7311736 B2 JP 7311736B2 JP 2019090189 A JP2019090189 A JP 2019090189A JP 2019090189 A JP2019090189 A JP 2019090189A JP 7311736 B2 JP7311736 B2 JP 7311736B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- printing
- vacuum
- screen
- squeegee
- filling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims description 141
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 36
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 27
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 claims description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 15
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 9
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 9
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 8
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 8
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000005060 rubber Substances 0.000 claims description 4
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 claims description 4
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 16
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 210000003027 ear inner Anatomy 0.000 description 5
- 210000003128 head Anatomy 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 2
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 230000009974 thixotropic effect Effects 0.000 description 2
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Screen Printers (AREA)
- Printing Methods (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Description
本発明は鋼板に穴を開けたスクリーン、高分子糸で形成されたスクリーン又はフイルムに開口部を設けたスクリーンなどを使用し印刷した印刷部材内に残留する空気の除去に関する。 The present invention relates to removal of air remaining in a printing member printed using a screen formed by perforating a steel plate, a screen formed of polymer threads, or a screen formed of a film having openings.
電子部品の製造、バンプ形成、基板に電子部品の実装等の分野でスクリーン印刷機を使用して、インキ、ソルダペースト、樹脂モールド等の印刷物を印刷する工法がある。 2. Description of the Related Art In the fields of manufacturing electronic parts, forming bumps, mounting electronic parts on substrates, etc., there is a method of printing printed matter such as ink, solder paste, and resin mold using a screen printer.
図6に従来の印刷部材を印刷するスクリーン印刷工法の一例を示す。図6(A)はスキージ上昇後の空気とじ込みを示す。スキージ20aが矢印Cの方向に移動することにより基板18とスクリーン4の開口部への印刷部材の充填を終え、スクリーン4からスキージ20aが矢印Oの方向に上昇する過程で印刷部材であるソルダペースト15がスクリーン4とスキージ20aの間で分離する。スクリーン4側のソルダペースト15の先端はスクリーン4上に倒れ込む時に空気Lをソルダペースト15内に巻き込む。 FIG. 6 shows an example of a conventional screen printing method for printing a printing member. FIG. 6A shows air trapping after the squeegee is raised. By moving the squeegee 20a in the direction of arrow C, the filling of the printing member into the openings of the substrate 18 and the screen 4 is completed. 15 separates between screen 4 and squeegee 20a. The tip of the solder paste 15 on the screen 4 side draws air L into the solder paste 15 when it falls over the screen 4 .
図6(B)はスキージ20bの下降後を示す。新たな基板18にソルダペースト15を印刷するとき、スキージ20bが矢印Pの方向に下降し、スクリーン4面に接したら矢印Qの方向に移動を開始する。移動に伴いソルダペースト15は矢印Nの方向に回転するとき空気L1を巻込みながら移動し、スクリーン4の開口部Eと基板18の開口部Fにソルダペースト15を充填する。 FIG. 6B shows the state after the squeegee 20b is lowered. When the solder paste 15 is printed on the new substrate 18, the squeegee 20b descends in the direction of arrow P and starts moving in the direction of arrow Q when it contacts the screen 4 surface. As the solder paste 15 rotates in the direction of the arrow N, the solder paste 15 moves while entraining the air L1, and fills the opening E of the screen 4 and the opening F of the substrate 18 with the solder paste 15 .
図6(C)はスキージ20bの移動によるソルダペースト15の印刷を示す。スキージ20bはクリーン4の開口部Eと基板18の開口部内にある空気の一部を包み込んで印刷するため、クリーン4の開口部Eと基板18の開口部内には空気Mと前記スキージ20bの移動時に巻き込んだ空気L1が原因となって空気L2として基板開口部F内に残留する。その結果、バンプ形成などでスクリーンの開口径又はフイルムの開口径の微小化が進むと開口部内の先に説明した空気により印刷部材の正確な定量印刷が困難になる。 FIG. 6C shows printing of the solder paste 15 by moving the squeegee 20b. Since the squeegee 20b envelops part of the air in the opening E of the clean 4 and the opening of the substrate 18 during printing, air M and the squeegee 20b move in the opening E of the clean 4 and the opening of the substrate 18. Due to the air L1 that is sometimes entrained, it remains in the substrate opening F as air L2. As a result, when the diameter of the openings of the screen or the diameter of the openings of the film is made smaller due to the formation of bumps or the like, the above-described air in the openings makes accurate quantitative printing of the printing member difficult.
図6(D)はスキージ20bの移動後の基板開口部F内のソルダペースト15内に空気MとL2が残留していることを示し、図6(E)は印刷後に示すスクリーン4と基板18とを分離した後でも空気MとL2が空気溜として開口部Fに残留していることを示す。 FIG. 6(D) shows that the air M and L2 remain in the solder paste 15 in the board opening F after the squeegee 20b is moved, and FIG. 6(E) shows the screen 4 and the board 18 after printing. It shows that the air M and L2 remains in the opening F as an air reservoir even after separating the air.
インキ、ソルダペースト、流動樹脂類の印刷に使用されているスクリーン印刷機の主要構成の一部を図7に示す。このスクリーン印刷機の主要機器はチャンバ25に収容されている。スクリーン4にはフイルムを使用した印刷方式も含み、ヘッド29にはスキージ20bと20aが取り付けられている。矢印daとdb方向に移動させる垂直駆動部28aと28bが具備されている。一方、ヘッド29の矢印C又はB方向への移動は水平駆動部30によってなされる。基板18を固定する印刷テーブル23と印刷テーブル昇降部31で印刷部24が構成されている。 FIG. 7 shows part of the main configuration of a screen printer used for printing ink, solder paste, and fluid resins. The main equipment of this screen printer is housed in chamber 25 . The screen 4 also includes a printing method using a film, and the head 29 is provided with squeegees 20b and 20a. Vertical drives 28a and 28b are provided for movement in the directions of arrows da and db. On the other hand, the movement of the head 29 in the arrow C or B direction is performed by the horizontal drive section 30 . A printing unit 24 is composed of a printing table 23 for fixing the substrate 18 and a printing table elevating unit 31 .
図7のスキージ20aは矢印C方向に移動するとき、印刷部材15を回転(図6(B)参照)させながら移動しスクリーン4の開口部(図6のEとF参照)に印刷する。前記の空気によるボイド発生の影響を少なくする印刷方法として、図7に示すように印刷部24をチャンバ25で囲い、チャンバ25内の空気を真空ポンプ27で減圧して印刷する方法が紹介されている(例えば文特許献1参照)。
チャンバ25内を減圧し、その後印刷バルブ26を開放しチャンバ25内を大気圧に戻して印刷部材15を押し込んでいる。When the squeegee 20a in FIG. 7 moves in the direction of arrow C, it moves while rotating the printing member 15 (see FIG. 6B) to print on the opening of the screen 4 (see E and F in FIG. 6). As a printing method for reducing the effect of void generation due to the air, a printing method has been introduced in which the printing section 24 is surrounded by a chamber 25 and the air in the chamber 25 is decompressed by a vacuum pump 27 as shown in FIG. (For example, refer to Document 1).
The pressure inside the chamber 25 is reduced, and then the printing valve 26 is opened to return the inside of the chamber 25 to the atmospheric pressure, and the printing member 15 is pushed.
しかし、チャンバ25内を減圧すると印刷部材15内に揮散が押えられない沸点を持つ溶剤が含まれている場合、印刷部材の特性の安定性維持が困難となる。また、チャンバ25内を減圧下で印刷し、印刷終了後バルブ26を開放して大気で印刷部材15を押込むことは、減圧下環境から大気圧環境に戻す時間が数十秒かかることから印刷部材15の粘度が時間経過と共に変化するチキソトロピー性により印刷部材15を押込むことは期待できない。そのため、減圧下で印刷するためのソルダペーストも開発されている(例えば、特許文献2参照)。 However, when the pressure in the chamber 25 is reduced, if the printing member 15 contains a solvent having a boiling point that cannot be suppressed for volatilization, it becomes difficult to maintain the stability of the characteristics of the printing member. Printing in the chamber 25 under reduced pressure, opening the valve 26 after printing is completed, and pressing the printing member 15 with air takes several tens of seconds to return from the reduced pressure environment to the atmospheric pressure environment. The thixotropic nature of the viscosity of the member 15 changing over time cannot be expected to force the printing member 15 into place. Therefore, a solder paste for printing under reduced pressure has also been developed (see, for example, Patent Document 2).
スクリーン印刷において、インキ、ソルダペースト、流動樹脂類等の印刷部材を印刷する場合、スクリーン又はフイルム上面に樹脂、又はゴム又は金属のスキージを使用して印刷する。基板の開口部と一致する位置にスクリーン又はフイルムに開口部が形成されている。印刷部材を基板の開口部の底部まで均一に充填することは、開口部の側面抵抗や開口部内の空気および印刷部材に巻き込まれた空気により完全なる充填は困難となる。基板開口部に印刷部材を印刷する場合、印刷機に具備されている2本のスキージで基板毎に交互に印刷する時、2本の各々のスキージは印刷する基板毎に昇降動作を行うが、この時、スキージはスクリーン面又はフイルム面より離れるため空気のとじ込みの発生もしくは印刷過程で空気の巻込みなどが発生するため、印刷部材の内部、スクリーン又はフイルム開口壁面部、開口底部などに空気溜、所謂ボイドが発生してしまう。このボイドが基板電極形成時において、電子部品電極体積のバラツキ要因になる。また、バンプ形成等においては均一なバンプ高さの形成が出来ない要因になる。本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、このボイドの発生を抑えるための解決策を提供することを目的としている。 In screen printing, when a printing member such as ink, solder paste, or fluid resins is printed, printing is performed using a resin, rubber, or metal squeegee on the upper surface of a screen or film. Apertures are formed in the screen or film at positions coinciding with the apertures in the substrate. It is difficult to evenly fill the printing member to the bottom of the opening of the substrate due to the side resistance of the opening, the air in the opening, and the air entrained in the printing member. When the printing member is printed in the opening of the substrate, two squeegees provided in the printing machine are alternately printed for each substrate. At this time, since the squeegee is separated from the screen surface or the film surface, entrainment of air occurs during the printing process. , a so-called void occurs. These voids cause variations in the volume of the electronic component electrodes when the substrate electrodes are formed. In addition, in forming bumps and the like, it becomes a factor that makes it impossible to form uniform bump heights. The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide a solution for suppressing the generation of voids.
ボイドの抑制は空気の少ない減圧下で前記印刷部材を印刷することが好ましいが、印刷部材に減圧下で揮散が押えられない沸点を持つ溶剤が含まれていると印刷部材の特性の維持が困難となる。印刷部材は大気圧もしくは大気圧以上に保持した状態で、スクリーン又はフイルムと基板の開口部のみ減圧下にすることと、印刷する基板毎のスキージの昇降動作を無くす印刷方式で解決が出来る。 In order to suppress voids, it is preferable to print the printing member under reduced pressure with little air, but if the printing member contains a solvent with a boiling point that cannot be suppressed from volatilizing under reduced pressure, it is difficult to maintain the properties of the printing member. becomes. The problem can be solved by a printing method in which only the opening between the screen or film and the substrate is decompressed while the printing member is kept at atmospheric pressure or above atmospheric pressure, and the lifting operation of the squeegee for each substrate to be printed is eliminated.
上記目的を達成するために本発明のスクリーン印刷機は、被印刷基板を載置する印刷テーブルと、前記被印刷基板の表面に当接されたスクリーン又はフイルムの表面を摺動するスキージと、前記スキージを前記印刷テーブルと相対運動させるための駆動機構とを備え、前記スキージを用いて前記スクリーン又はフイルムに形成された開口部に印刷部材を充填することにより印刷を行うスクリーン印刷機において、前記スクリーン又はフイルムの表面の一部領域を外部と遮断する空間を形成する真空壁と、前記真空壁により形成された空間を仕切るための仕切壁と、前記真空壁の端面に具備されると共に前記スクリーン又はフイルムの表面に近接もしくは接するシール機構と、前記仕切壁の端面に具備されると共に前記スクリーン又はフイルムの表面に接する前記スキージと、前記真空壁と前記仕切壁とにより形成された真空室および充填室とから構成される真空スキージ機構を具備し、前記充填室には前記印刷部材が充填され、前記真空室内の気体は減圧排気され、前記充填室は前記仕切壁により複数形成され、複数の前記充填室には前記印刷部材に圧力を加えることができるピストンが内蔵され、複数の前記充填室間の前記仕切壁には前記ピストンの圧力により前記印刷部材が他の充填室に移動できる通路が形成されている。In order to achieve the above object, the screen printer of the present invention comprises a printing table on which a substrate to be printed is placed, a squeegee for sliding on the surface of a screen or film in contact with the surface of the substrate to be printed, and A screen printer that performs printing by filling openings formed in the screen or film with a printing material using the squeegee, wherein the screen is Alternatively, a vacuum wall forming a space that isolates a part of the surface of the film from the outside, a partition wall for partitioning the space formed by the vacuum wall, and a partition wall provided on an end surface of the vacuum wall and the screen or A vacuum chamber and a filling chamber which are formed by a sealing mechanism that is adjacent to or in contact with the surface of the film, the squeegee provided on the end face of the partition wall and in contact with the surface of the screen or film, the vacuum wall and the partition wall. The filling chamber is filled with the printing member, the gas in the vacuum chamber is decompressed , the filling chamber is formed by the partition wall, and the filling chamber is formed with a plurality of the filling chambers. A piston capable of applying pressure to the printing member is incorporated in the chamber, and a passage is formed in the partition wall between the plurality of filling chambers so that the printing member can be moved to another filling chamber by the pressure of the piston. ing.
また、上記構成のスクリーン印刷機において、前記真空スキージ機構は前記印刷テーブルに対して平行と垂直方向に運動可能な駆動機能であって、前記真空壁内には前記平行運動の進行方向側とその反進行方向側とに独立した真空室が形成されると共に前記進行方向側真空室と前記反進行方向側真空室との間に複数の前記充填室が配置され、前記進行方向側真空室と前記反進行方向側真空室には各々真空排気装置と大気もしくは大気圧以上に加圧できる加圧装置とに切り換え接続可能なバルブを接続することができる。Further, in the screen printing machine having the above configuration, the vacuum squeegee mechanism has a drive function capable of moving in parallel and perpendicular directions with respect to the printing table, and the vacuum wall includes a direction of parallel movement and a Independent vacuum chambers are formed on the counter-advancing direction side , and a plurality of the filling chambers are arranged between the advancing direction-side vacuum chamber and the anti-advancing direction side vacuum chamber, and the advancing direction-side vacuum chamber and the above- described Each of the vacuum chambers on the opposite direction of travel can be connected with a valve that can be switched between an evacuation device and a pressurizing device capable of pressurizing to the atmosphere or higher than the atmospheric pressure.
また、上記構成のスクリーン印刷機において、前記バルブは前記進行方向側真空室には前記真空排気装置と接続されると同時に前記反進行方向側真空室には大気もしくは大気圧以上に加圧できる前記加圧装置とに接続切り替え可能な切換バルブとすることができる。Further, in the screen printing machine having the above configuration, the valve is connected to the vacuum exhaust device in the traveling direction side vacuum chamber, and at the same time, the anti-advancing direction side vacuum chamber can be pressurized to the atmosphere or higher than the atmospheric pressure . It can be a switching valve that can be switched to and from the pressurizing device.
また、上記構成のスクリーン印刷機において、複数の前記充填室には前記印刷部材を攪拌するペースト撹拌機を付加することができる。Further, in the screen printing machine having the above configuration, a paste stirrer for stirring the printing member can be added to the plurality of filling chambers.
また、上記構成のスクリーン印刷機において、複数の前記充填室には外部から前記印刷部材を補充するための印刷部材供給口を付加することができる。Further, in the screen printing machine having the above configuration, a printing member supply port for replenishing the printing member from the outside can be added to the plurality of filling chambers.
また、上記構成のスクリーン印刷機において、前記ピストンの運動により前記仕切壁に形成された前記通路を通して異なった前記充填室にある前記印刷部材を混ぜ合わせることができる。Further, in the screen printing machine having the above configuration, the printing members in different filling chambers can be mixed through the passages formed in the partition wall by the movement of the piston.
また、上記構成のスクリーン印刷機において、前記ピストンの運動によって前記充填室の圧力が変化することにより前記通路を移動した前記印刷部材を前記ソルダーペースト攪拌機により攪拌させることができる。 Further, in the screen printing machine having the above configuration, the printing member moved in the passage can be agitated by the solder paste agitator by changing the pressure in the filling chamber due to the movement of the piston.
また、上記構成のスクリーン印刷機において、前記スキージは金属又はゴム又は樹脂又はそれらの複合構成とすることができる。 Moreover, in the screen printer having the above configuration, the squeegee can be made of metal, rubber, resin, or a composite configuration thereof.
また、上記構成のスクリーン印刷機において、前記シール機構はラビリンスシールとすることができる。 Moreover, in the screen printer having the above configuration, the seal mechanism may be a labyrinth seal.
また、上記構成のスクリーン印刷機において、前記シール機構はローラもしくは舟形ブレードとすることができる。 Moreover, in the screen printing machine having the above configuration, the sealing mechanism can be a roller or a boat-shaped blade.
また、上記構成のスクリーン印刷機において、前記真空スキージ機構が前記印刷テーブルに対して垂直方向の相対運動するとき前記印刷部材が前記充填室から落下することを防止するための平板形状の回収プレートを有し、前記シール機構と近接もしくは接することが可能な前記回収プレートを前記スクリーン又はフイルムの上部に具備し、前記真空室内の気体を減圧排気することにより前記回収プレートを前記シール機構に吸着させ、前記真空スキージ機構と前記回収プレートを共に前記スクリーン又はフイルムに対して垂直方向に移動させることができる。 Further, in the screen printing machine having the above configuration, a flat recovery plate is provided for preventing the printing member from falling from the filling chamber when the vacuum squeegee mechanism moves relative to the printing table in the vertical direction. the collecting plate is provided above the screen or film and can be close to or in contact with the sealing mechanism, and the collecting plate is adsorbed to the sealing mechanism by evacuating the gas in the vacuum chamber; Both the vacuum squeegee mechanism and the collection plate can be moved vertically relative to the screen or film .
また、本発明の方法は、被印刷基板を載置する印刷テーブルと、前記被印刷基板の表面に当接されたスクリーン又はフイルムの表面を摺動するスキージと、前記スキージを前記印刷テーブルと相対運動させるための駆動機構とを備え、前記スキージを用いて前記スクリーン又はフイルムに形成された開口部に印刷部材を充填することにより印刷を行うスクリーン印刷機において、前記スクリーン又はフイルムの表面の一部領域を外部と遮断する空間を形成する真空壁と、前記真空壁により形成された空間を仕切るための仕切壁と、前記真空壁の端面に具備されると共に前記スクリーン又はフイルムの表面に近接もしくは接するシール機構と、前記仕切壁の端面に具備されると共に前記スクリーン又はフイルムの表面に接する前記スキージと、前記真空壁と前記仕切壁とにより形成された真空室および充填室とから構成される真空スキージ機構を具備し、前記充填室には前記印刷部材が充填され、前記真空室内の気体は減圧排気、又は加圧され、前記充填室は前記仕切壁により複 数形成され、複数の前記充填室には前記印刷部材に圧力を加えることができるピストンが内蔵され、複数の前記充填室間の前記仕切壁には前記ピストンの圧力により前記印刷部材が他の充填室に移動できる通路が形成され、前記真空スキージ機構が前記印刷テーブルに対して平行移動することにより、前記被印刷基板に印刷する印刷する方法である。Further, the method of the present invention comprises a printing table on which a substrate to be printed is placed, a squeegee for sliding on the surface of a screen or film in contact with the surface of the substrate to be printed, and the squeegee facing the printing table. and a driving mechanism for moving a part of the surface of the screen or film in a screen printing machine that performs printing by filling openings formed in the screen or film with the printing member using the squeegee. A vacuum wall forming a space for isolating the area from the outside, a partition wall for partitioning the space formed by the vacuum wall, and a partition wall provided on the end surface of the vacuum wall and in proximity to or in contact with the surface of the screen or film. A vacuum squeegee comprising a sealing mechanism, the squeegee provided on the end surface of the partition wall and in contact with the surface of the screen or film, and a vacuum chamber and a filling chamber formed by the vacuum wall and the partition wall. The filling chamber is filled with the printing member, the gas in the vacuum chamber is evacuated or pressurized, and the filling chamber is formed by the partition walls to form a plurality of the filling chambers. has a built-in piston that can apply pressure to the printing member, and the partition wall between the plurality of filling chambers is formed with a passage through which the printing member can move to another filling chamber by the pressure of the piston, A printing method for printing on the substrate to be printed by moving a vacuum squeegee mechanism parallel to the printing table.
本発明はスクリーン印刷における印刷部材内に閉じ込められる空気の除去と空気の混入を防止できボイド改善の効果が大きい。開口部の減圧、印刷部材の充填、加圧を連続的に行う機能によりアスペクト比の大きな開口や微細開口へ印刷部材を空気の混入を抑え充填することができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can remove air confined in a printing member in screen printing and prevent air from being mixed in, and is highly effective in improving voids. The function of continuously decompressing the opening, filling the printing member, and pressurizing enables the printing member to be filled into an opening with a large aspect ratio or a fine opening while suppressing the entrainment of air.
以下、本発明の実施例について、図1から図5に基づいて説明する。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 5. FIG.
図1は本発明による実施の例を示す構成図で、真空スキージ機構1およびその周辺機器を示している。印刷部材7aと7bは仕切壁12、13、14で仕切られた空間に充填されている。仕切壁12と14の外側には真空室1aと1bが形成され、真空室1aと1bは真空壁5aと5bで外部と遮断されている。仕切壁12、13、14には金属又はゴム又は樹脂性のスキージ8a、8b、8cが具備され、真空壁5aと5bには空気の流入抵抗となるラビリンスシール3aと3bが設けられている。仕切壁12と13および仕切壁13と14の間には各々に印刷部材7aと7bが充填されており、各々にピストン駆動機10aと10bで駆動されるピストン9aと9bを具備し、印刷部材7aと7bに圧力変化を加えることができる。 FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment according to the present invention, showing a vacuum squeegee mechanism 1 and its peripheral equipment. Spaces partitioned by partition walls 12, 13, and 14 are filled with the printing members 7a and 7b. Vacuum chambers 1a and 1b are formed outside the partition walls 12 and 14, and the vacuum chambers 1a and 1b are isolated from the outside by vacuum walls 5a and 5b. The partition walls 12, 13 and 14 are provided with metal, rubber or resin squeegees 8a, 8b and 8c, and the vacuum walls 5a and 5b are provided with labyrinth seals 3a and 3b to resist the inflow of air. Printing members 7a and 7b are filled between the partition walls 12 and 13 and between the partition walls 13 and 14, respectively, and have pistons 9a and 9b respectively driven by piston drivers 10a and 10b. A pressure change can be applied to 7a and 7b.
また、印刷部材7aと7bを攪拌する機能であるソルダペースト攪拌11aと11bを具備している。仕切壁13に設けた通路Dを通して印刷部材7aと7bを混ぜ合わせることができる。更に、印刷によって印刷部材7aと7bが消費した場合、仕切壁12と13、仕切壁13と14の間に設けた印刷部材供給口RaとRbから印刷部材7aと7bを供給することができる。また、真空室1aおよび1b内はバルブ6aおよび6bの接続切り替えにより、減圧および大気圧あるいはそれ以上の圧力に切り替えることができる。 It also has solder paste agitators 11a and 11b for agitating the printing members 7a and 7b. Through a passage D provided in the partition wall 13, the printing members 7a and 7b can be mixed. Further, when the printing members 7a and 7b are consumed by printing, the printing members 7a and 7b can be supplied from the printing member supply ports Ra and Rb provided between the partition walls 12 and 13 and the partition walls 13 and 14, respectively. Also, the pressure in the vacuum chambers 1a and 1b can be switched between reduced pressure and atmospheric pressure or higher by switching the connection of the valves 6a and 6b.
図1の真空スキージ機構1を用いることによりスクリーン4又はフイルム面に印刷部材7aと7bを良好に印刷することができる。次にその動作について説明する。真空スキージ機構1がスクリーン4又はフイルム面と接触して矢印C方向に移動するとき、真空室1aはバルブ6aにより真空ポンプ(図示せず)に接続され、真空室1a内とこれに接続する開口部EおよびF内は減圧維持された状態で印刷部材7aと7bは印刷される。さらに、印刷部材7aと7bはピストン9aと9bで圧力を加えながら印刷可能となっている。一方、真空室1bはバルブ6bによりブロアー(図示せず)に接続され、圧縮空気で開口部E、Fに充填された印刷部材7aと7bをその圧力で押込むことが可能となっている。ここで、真空室1bはバルブ6bによりブロアー(図示せず)に接続されるとされたが、ブロアーではなく大気に接続してもかまわない。 By using the vacuum squeegee mechanism 1 of FIG. 1, the printing members 7a and 7b can be satisfactorily printed on the screen 4 or the film surface. Next, the operation will be described. When the vacuum squeegee mechanism 1 comes into contact with the screen 4 or the film surface and moves in the direction of arrow C, the vacuum chamber 1a is connected to a vacuum pump (not shown) by the valve 6a, and the inside of the vacuum chamber 1a and the opening connecting to it are opened. The printing members 7a and 7b are printed while the parts E and F are kept under reduced pressure. Further, the printing members 7a and 7b can print while applying pressure with pistons 9a and 9b. On the other hand, the vacuum chamber 1b is connected to a blower (not shown) by a valve 6b, and it is possible to press the printing members 7a and 7b filled in the openings E and F with compressed air. Although the vacuum chamber 1b is connected to the blower (not shown) by the valve 6b, it may be connected to the atmosphere instead of the blower.
また、矢印B方向の印刷においては、真空室1aと1bの減圧と加圧を変えることで矢印C方向と同様の印刷が可能となっている。この真空スキージ機構1は前記のとおり、減圧、印刷、加圧を連続して印刷するため、図5の空気溜り所謂ボイドの低減が図れる事と前記スクリーン4又はフイルム開口部E、基板の開口部Fに印刷した印刷部材7aと7bを大気又は圧縮空気で押込むことで、印刷部材7aと7bのチキソトロピー性の影響はなくなる。 Also, in printing in the direction of arrow B, printing similar to that in the direction of arrow C is possible by changing the decompression and pressurization of the vacuum chambers 1a and 1b. As described above, the vacuum squeegee mechanism 1 continuously performs depressurization, printing, and pressurization, so that the voids in FIG. By pressing the printing members 7a and 7b printed on F with atmospheric air or compressed air, the thixotropic influence of the printing members 7a and 7b is eliminated.
図2は真空スキージ機構21を示す。これは、図1で示した真空スキージ機構1の仕切壁13を外して一つの空間と一つのシリンダおよびピストンとなった構造をしている。印刷法も真空スキージ機構1と同様で、真空スキージ21の進行方向が矢印G方向に移動するとき、真空室1aはバルブ6aにより真空ポンプ(図示せず)に接続され、真空室1a内とこれに接続する開口部EおよびF内は減圧された状態で印刷部材7は印刷される。さらに、印刷部材7はピストン9で圧力を加えながら印刷可能となっている。一方、真空室1bはバルブ6bによりブロアー(図示せず)に接続され、圧縮空気で開口部E、Fに充填された印刷部材7をその圧力で押込むことが可能となっている。矢印Gの逆方向の印刷においては、真空室5aと5bの減圧と加圧を変えることで同様の印刷が可能となっている。 FIG. 2 shows the vacuum squeegee mechanism 21. As shown in FIG. This structure has one space, one cylinder and one piston by removing the partition wall 13 of the vacuum squeegee mechanism 1 shown in FIG. The printing method is the same as that of the vacuum squeegee mechanism 1, and when the traveling direction of the vacuum squeegee 21 moves in the direction of arrow G, the vacuum chamber 1a is connected to a vacuum pump (not shown) by a valve 6a, and the vacuum chamber 1a and this are connected. The printing member 7 is printed while the interiors of the openings E and F connected to are decompressed. Furthermore, the printing member 7 can print while applying pressure with a piston 9 . On the other hand, the vacuum chamber 1b is connected to a blower (not shown) by a valve 6b, and it is possible to press the printing member 7 filled in the openings E and F with compressed air. In the printing in the opposite direction of the arrow G, similar printing is possible by changing the decompression and pressurization of the vacuum chambers 5a and 5b.
また、図2の真空スキージ21は図1に示したラビリンス3aと3bの代わりにローラ16aと16bを用いてスクリーン4を押えながら印刷することができる。ローラ16aと16bは鋼板に穴を開けたスクリーンもしくは高分子糸で形成されたスクリーンにも良好に対応することができる。 Further, the vacuum squeegee 21 shown in FIG. 2 can print while pressing the screen 4 using rollers 16a and 16b instead of the labyrinths 3a and 3b shown in FIG. The rollers 16a and 16b are also well suited for perforated steel screens or screens made of polymeric threads.
図3は、図2に示したローラ16aと16bの代わりに舟形ブレード17aと17bを用いてスクリーン4を押えながら印刷することができる。多様なスクリーンにも良好に対応することができる。 3 can be printed while pressing the screen 4 by using boat-shaped blades 17a and 17b instead of the rollers 16a and 16b shown in FIG. It can also cope well with various screens.
図4はフイルム19のみを使用して印刷する場合で、基板18にフイルム19を貼り開口部Fが形成されていている状態を示しており、開口部Fのアスペクト比(開口深さK/開口径J)が比較的大きい状態を表している。図4の印刷部材7aと7bを充填する場合、ボイドの改善が大きく図れた印刷が出来る。 FIG. 4 shows a case where only the film 19 is used for printing, and the film 19 is attached to the substrate 18 to form the opening F. The aspect ratio of the opening F (opening depth K/opening It represents a state in which the diameter J) is relatively large. When the printing members 7a and 7b of FIG. 4 are filled, printing with greatly improved voids can be achieved.
図5は回収プレート22を用いてスクリーン4を交換する方法を示している。図5(A)は印刷途中を示している。また、回収プレート22を図示のごとくスクリーン4にマグネット等(図示せず)で固定して固定している。 FIG. 5 shows a method of exchanging the screen 4 using the recovery plate 22. FIG. FIG. 5A shows the printing in progress. Also, the collection plate 22 is fixed to the screen 4 with a magnet or the like (not shown) as shown.
図5(B)は印刷を終了してプレート4の交換前の状態を示している。真空スキージ機構21は回収プレート22の上で停止している。真空スキージ機構21の充填室32と33には印刷部材7aと7bが充填されている。また、スキージ8a、8b、8cには印刷部材7aと7bが付着している。 FIG. 5B shows the state before the replacement of the plate 4 after printing. The vacuum squeegee mechanism 21 is stopped above the collection plate 22 . The filling chambers 32 and 33 of the vacuum squeegee mechanism 21 are filled with the printing members 7a and 7b. Printing members 7a and 7b are attached to the squeegees 8a, 8b and 8c.
図5(C)はスクリーン4を交換するために真空スキージ機構21が回収プレート22と共に矢印O方向に移動している。図示されているように二つの真空室1a、1bは真空ポンプに接続されている。このため、回収プレート22は大気圧に押されて真空スキージ機構21と共に矢印方向Oの方向に移動することができ、印刷部材7Aa、7bが落下することを防止することができる。 In FIG. 5(C), the vacuum squeegee mechanism 21 moves in the direction of the arrow O together with the recovery plate 22 to replace the screen 4 . As shown, the two vacuum chambers 1a, 1b are connected to vacuum pumps. Therefore, the collection plate 22 is pushed by the atmospheric pressure and can move in the direction of the arrow O together with the vacuum squeegee mechanism 21, thereby preventing the printing members 7Aa and 7b from falling.
本発明の真空スキージを具備した印刷機は、SMT用印刷機、フイルム法バンプ形成印刷機、樹脂モールド用印刷機、電子部品のモールドアンダフィル印刷機等電子部品の製造用、微細隙間への充填印刷等に適用される。 The printing machine equipped with the vacuum squeegee of the present invention can be used for manufacturing electronic parts such as SMT printing machine, film method bump forming printing machine, resin mold printing machine, mold underfill printing machine for electronic parts, and filling fine gaps. Applied to printing, etc.
1・・・・真空スキージ機構
2・・・・真空スキージ機構
1a・・・真空室
1b・・・真空室
2a・・・膨張室
2b・・・膨張室
3a・・・ラビリンスシール
3b・・・ラビリンスシール
4・・・・スクリーン
5a・・・真空室壁
5b・・・真空室壁
6a・・・バルブ
6b・・・バルブ
7・・・・印刷部材
7a・・・印刷部材
7b・・・印刷部材
8a・・・スキージ
8b・・・スキージ
8c・・・スキージ
9a・・・ピストン
9b・・・ピストン
10a・・ピストン駆動機
10b・・ピストン駆動機
11a・・ソルダペースト攪拌
11b・・ソルダペースト攪拌
12・・・仕切壁
13・・・仕切壁
14・・・仕切壁
15・・・印刷部材
16a・・ローラ
16b・・ローラ
17a・・舟形ブレード
17b・・舟形ブレード
18・・・基板
19・・・フイルム
20a・・スキージ
20b・・スキージ
21・・・真空スキージ機構
22・・・回収プレート
23・・・印刷テーブル
24・・・印刷部
25・・・チャンバ
26・・・バルブ
27・・・真空ポンプ
28a・・垂直駆動部
28b・・垂直駆動部
29・・・ヘッド
30・・・水平駆動部
31・・・印刷テーブル昇降部
32・・・充填室
33・・・充填室
34・・・充填室
A・・・・隙間
B・・・矢印(方向)
C・・・矢印(方向)
D・・・通路
da・・矢印(方向)
db・・矢印(方向)
E・・・開口部
F・・・開口部
G・・・矢印(方向)
J・・・開口径
K・・・開口深さ
L・・・空気
L1・・空気
L2・・空気
M・・・空気
N・・・矢印(方向)
O・・・矢印(方向)
P・・・矢印(方向)
Q・・・矢印(方向)
Ra・・印刷部材供給口
Rb・・印刷部材供給口Reference Signs List 1 Vacuum squeegee mechanism 2 Vacuum squeegee mechanism 1a Vacuum chamber 1b Vacuum chamber 2a Expansion chamber 2b Expansion chamber 3a Labyrinth seal 3b Labyrinth seal 4 Screen 5a Vacuum chamber wall 5b Vacuum chamber wall 6a Valve 6b Valve 7 Printing member 7a Printing member 7b Printing Member 8a Squeegee 8b Squeegee 8c Squeegee 9a Piston 9b Piston 10a Piston driver 10b Piston driver 11a Solder paste stirring 11b Solder paste stirring Reference Signs List 12 Partition wall 13 Partition wall 14 Partition wall 15 Printing member 16a Roller 16b Roller 17a Boat-shaped blade 17b Boat-shaped blade 18 Substrate 19 film 20a squeegee 20b squeegee 21 vacuum squeegee mechanism 22 collecting plate 23 printing table 24 printing section 25 chamber 26 valve 27 vacuum Pump 28a Vertical drive unit 28b Vertical drive unit 29 Head 30 Horizontal drive unit 31 Printing table lifting unit 32 Filling chamber 33 Filling chamber 34 Filling Chamber A...Gap B...Arrow (direction)
C: Arrow (direction)
D... Passage da... Arrow (direction)
db...Arrow (direction)
E... Opening F... Opening G... Arrow (direction)
J: opening diameter K: opening depth L: air L1: air L2: air M: air N: arrow (direction)
O: Arrow (direction)
P・・・Arrow (direction)
Q: Arrow (direction)
Ra: printing material supply port Rb: printing material supply port
Claims (12)
前記スキージを用いて前記スクリーン又はフイルムに形成された開口部に印刷部材を充填することにより印刷を行うスクリーン印刷機において、
前記スクリーン又はフイルムの表面の一部領域を外部と遮断する空間を形成する真空壁と、
前記真空壁により形成された空間を仕切るための仕切壁と、
前記真空壁の端面に具備されると共に前記スクリーン又はフイルムの表面に近接もしくは接するシール機構と、
前記仕切壁の端面に具備されると共に前記スクリーン又はフイルムの表面に接する前記スキージと、
前記真空壁と前記仕切壁とにより形成された真空室および充填室と、から構成される真空スキージ機構を具備し、
前記充填室には前記印刷部材が充填され、前記真空室内の気体は減圧排気され、
前記充填室は前記仕切壁により複数形成され、複数の前記充填室には前記印刷部材に圧力を加えることができるピストンが内蔵され、
複数の前記充填室間の前記仕切壁には前記ピストンの圧力により前記印刷部材が他の充填室に移動できる通路が形成されていることを特徴とするスクリーン印刷機a printing table on which a substrate to be printed is placed, a squeegee for sliding on the surface of a screen or film in contact with the surface of the substrate to be printed, a driving mechanism for moving the squeegee relative to the printing table; with
In a screen printer that performs printing by filling openings formed in the screen or film with a printing member using the squeegee,
a vacuum wall forming a space that isolates a partial area of the surface of the screen or film from the outside;
a partition wall for partitioning the space formed by the vacuum wall;
a sealing mechanism provided on the end surface of the vacuum wall and in proximity to or in contact with the surface of the screen or film;
the squeegee provided on the end surface of the partition wall and in contact with the surface of the screen or film;
A vacuum squeegee mechanism comprising a vacuum chamber and a filling chamber formed by the vacuum wall and the partition wall,
The filling chamber is filled with the printing member, and the gas in the vacuum chamber is evacuated ,
A plurality of the filling chambers are formed by the partition wall, and a piston capable of applying pressure to the printing member is incorporated in the plurality of the filling chambers,
A screen printing machine , wherein the partition wall between the plurality of filling chambers is formed with a passage through which the printing member can be moved to another filling chamber by the pressure of the piston.
前記真空壁内には前記平行運動の進行方向側とその反進行方向側とに独立した真空室が形成されると共に前記進行方向側真空室と前記反進行方向側真空室との間に複数の前記充填室が配置され、
前記進行方向側真空室と前記反進行方向側真空室には各々真空排気装置と大気もしくは大気圧以上に加圧できる加圧装置とに切り換え接続可能なバルブが接続されていることを特徴とする請求項1に記載のスクリーン印刷機The vacuum squeegee mechanism is a driving mechanism capable of moving parallel and perpendicular to the printing table,
Independent vacuum chambers are formed in the vacuum wall on the traveling direction side and the counter-advancing direction side of the parallel motion, and a plurality of vacuum chambers are formed between the advancing direction-side vacuum chamber and the counter-advancing direction side vacuum chamber. The filling chamber is arranged,
A valve is connected to each of the advancing direction side vacuum chamber and the anti -advancing direction side vacuum chamber to switch between an evacuation device and a pressurizing device capable of pressurizing to atmospheric pressure or higher than the atmospheric pressure. The screen printer according to claim 1
前記スキージを用いて前記スクリーン又はフイルムに形成された開口部に印刷部材を充填することにより印刷を行うスクリーン印刷機において、
前記スクリーン又はフイルムの表面の一部領域を外部と遮断する空間を形成する真空壁と、
前記真空壁により形成された空間を仕切るための仕切壁と、
前記真空壁の端面に具備されると共に前記スクリーン又はフイルムの表面に近接もしくは接するシール機構と、
前記仕切壁の端面に具備されると共に前記スクリーン又はフイルムの表面に接する前記スキージと、
前記真空壁と前記仕切壁とにより形成された真空室および充填室と、から構成される真空スキージ機構を具備し、
前記充填室には前記印刷部材が充填され、前記真空室内の気体は減圧排気、又は加圧され、
前記充填室は前記仕切壁により複数形成され、複数の前記充填室には前記印刷部材に圧力を加えることができるピストンが内蔵され、
複数の前記充填室間の前記仕切壁には前記ピストンの圧力により前記印刷部材が他の充填室に移動できる通路が形成され、
前記真空スキージ機構が前記印刷テーブルに対して平行移動することにより、前記被印刷基板に印刷することを特徴とする印刷方法a printing table on which a substrate to be printed is placed, a squeegee for sliding on the surface of a screen or film in contact with the surface of the substrate to be printed, a driving mechanism for moving the squeegee relative to the printing table; with
In a screen printer that performs printing by filling openings formed in the screen or film with a printing member using the squeegee,
a vacuum wall forming a space that isolates a partial area of the surface of the screen or film from the outside;
a partition wall for partitioning the space formed by the vacuum wall;
a sealing mechanism provided on the end surface of the vacuum wall and in proximity to or in contact with the surface of the screen or film;
the squeegee provided on the end surface of the partition wall and in contact with the surface of the screen or film;
A vacuum squeegee mechanism comprising a vacuum chamber and a filling chamber formed by the vacuum wall and the partition wall,
The filling chamber is filled with the printing member, and the gas in the vacuum chamber is evacuated or pressurized,
A plurality of the filling chambers are formed by the partition wall, and a piston capable of applying pressure to the printing member is incorporated in the plurality of the filling chambers,
A passage is formed in the partition wall between the plurality of filling chambers so that the printing member can be moved to another filling chamber by the pressure of the piston,
A printing method, wherein printing is performed on the substrate to be printed by moving the vacuum squeegee mechanism parallel to the printing table.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019090189A JP7311736B2 (en) | 2019-04-17 | 2019-04-17 | Screen printer equipped with a vacuum squeegee mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019090189A JP7311736B2 (en) | 2019-04-17 | 2019-04-17 | Screen printer equipped with a vacuum squeegee mechanism |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020175639A JP2020175639A (en) | 2020-10-29 |
JP7311736B2 true JP7311736B2 (en) | 2023-07-20 |
Family
ID=72937642
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019090189A Active JP7311736B2 (en) | 2019-04-17 | 2019-04-17 | Screen printer equipped with a vacuum squeegee mechanism |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7311736B2 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7503771B2 (en) | 2020-10-28 | 2024-06-21 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Printing device |
JP7539083B2 (en) | 2020-11-09 | 2024-08-23 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Printing device |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001029864A (en) | 2000-01-01 | 2001-02-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Device and method for coating and device and method for printing |
JP2001077521A (en) | 1999-08-31 | 2001-03-23 | Senju Metal Ind Co Ltd | Method and device forsolder paste printing |
JP2001191484A (en) | 2000-01-07 | 2001-07-17 | Ricoh Co Ltd | Squeegee device, screen printing process, rotary screen printing process and stencil printing process |
JP2001203437A (en) | 2000-01-20 | 2001-07-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Blind via paste filling method and paste filling device |
JP2004356433A (en) | 2003-05-29 | 2004-12-16 | Denso Corp | Fluid substance filling method and apparatus thereof |
JP2005088528A (en) | 2003-09-19 | 2005-04-07 | Sony Corp | Screen printing equipment |
JP2005329570A (en) | 2004-05-18 | 2005-12-02 | Denso Corp | Filling apparatus for fluid substance |
JP2018008465A (en) | 2016-07-15 | 2018-01-18 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Screen printing apparatus |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH054063A (en) * | 1991-06-26 | 1993-01-14 | Konica Corp | Coating device |
JP3099447B2 (en) * | 1991-09-02 | 2000-10-16 | 松下電器産業株式会社 | Coating device and method, printing device and method |
-
2019
- 2019-04-17 JP JP2019090189A patent/JP7311736B2/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001077521A (en) | 1999-08-31 | 2001-03-23 | Senju Metal Ind Co Ltd | Method and device forsolder paste printing |
JP2001029864A (en) | 2000-01-01 | 2001-02-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Device and method for coating and device and method for printing |
JP2001191484A (en) | 2000-01-07 | 2001-07-17 | Ricoh Co Ltd | Squeegee device, screen printing process, rotary screen printing process and stencil printing process |
JP2001203437A (en) | 2000-01-20 | 2001-07-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Blind via paste filling method and paste filling device |
JP2004356433A (en) | 2003-05-29 | 2004-12-16 | Denso Corp | Fluid substance filling method and apparatus thereof |
JP2005088528A (en) | 2003-09-19 | 2005-04-07 | Sony Corp | Screen printing equipment |
JP2005329570A (en) | 2004-05-18 | 2005-12-02 | Denso Corp | Filling apparatus for fluid substance |
JP2018008465A (en) | 2016-07-15 | 2018-01-18 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Screen printing apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020175639A (en) | 2020-10-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7311736B2 (en) | Screen printer equipped with a vacuum squeegee mechanism | |
US6823784B2 (en) | Screen printing method including degassing bubbles in the coating material | |
WO2012120861A1 (en) | Screen printing device and screen printing method | |
JP3660626B2 (en) | Vacuum printing device | |
JP2006167991A (en) | Screen printing device and its printing method | |
JP3685097B2 (en) | Screen printing apparatus and screen printing method | |
WO2011007502A1 (en) | Screen printing device and screen printing method | |
JP4775136B2 (en) | Screen printing apparatus and printing method therefor | |
JP4682924B2 (en) | Screen printing method | |
JP4857978B2 (en) | Screen printing device | |
CN205793731U (en) | A kind of vacuum screen printing hole plugging machine size vacuum chamber air exchanges with vacuum and seals structure | |
US20030084797A1 (en) | Screen printing apparatus | |
JP2006198509A (en) | Liquid droplet ejection apparatus, wiping method of head in liquid droplet ejection apparatus, production method for electro-optical apparatus, electro-optical apparatus and electronic equipment | |
WO2018151252A1 (en) | Printing device and printing method | |
JP4572330B2 (en) | Droplet discharge device, method for maintaining nozzle discharge performance in droplet discharge device, and method for manufacturing electro-optical device | |
JP4775133B2 (en) | Screen printing apparatus and printing method therefor | |
TWI243635B (en) | Filling equipment and method for filling fluidized material | |
JP2016185597A (en) | Printing equipment, and printing method | |
JP3656994B2 (en) | Vacuum printing device | |
JP2006281724A (en) | Screen printer of paste | |
CN207617287U (en) | A kind of examination print platform | |
JP2001203437A (en) | Blind via paste filling method and paste filling device | |
JP2014130928A (en) | Resin filling apparatus and resin filling method | |
JP2003136674A (en) | Screen printing machine | |
JP4379201B2 (en) | Fluid substance filling device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220301 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220516 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20221226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230131 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230316 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230606 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230616 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7311736 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R154 | Certificate of patent or utility model (reissue) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R154 |