JP7310608B2 - エッチング方法及び半導体の製造方法 - Google Patents
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Description
特に近年は、半導体装置の微細化に伴い、コンタクトホールの径はより小さくなり、そのアスペクト比は増大する傾向にある。よって、微細径、高アスペクト比のコンタクトホールを、エッチング速度を低下させることなく、略垂直でネッキングやボーイングの少ない良好な形状で形成する技術が求められている。
さらに、特許文献4には、ブロモトリフルオロエチレン(CBrFCF2)をシリコン酸化膜のエッチングに使用する方法が記載されている。しかしながら、ブロモトリフルオロエチレンをシリコン窒化膜のエッチングに使用した報告はない。
本発明は、シリコン窒化物層のエッチング速度とシリコン酸化物層のエッチング速度を同程度に制御することができ、且つ、高アスペクト比のホールであっても高いエッチング速度で良好な形状に形成することができるエッチング方法及び半導体の製造方法を提供することを課題とする。
[1] 積層されたシリコン酸化物層とシリコン窒化物層とを有する積層膜を備える被処理体を、化学式C2HxF(3-x)Br(前記化学式中のxは0、1、又は2である)で表される不飽和ハロンを含有するエッチングガスにより処理して、前記シリコン酸化物層と前記シリコン窒化物層との両方をエッチングするエッチング工程を備えるエッチング方法。
[3] 前記エッチングガスが不活性ガスをさらに含有する[1]又は[2]に記載のエッチング方法。
[4] 前記エッチング工程においては、前記エッチングガスをプラズマ化して得られるプラズマガスを用いてエッチングする[1]~[3]のいずれか一項に記載のエッチング方法。
[5] [1]~[4]のいずれか一項に記載のエッチング方法でエッチングを行うことを含む半導体の製造方法。
詳述すると、化学式C2HxF(3-x)Brで表される不飽和ハロンは、分子内に二重結合を有しているので、プラズマ中で重合して高分子化する。そして、生成した高分子がコンタクトホール等のホール(貫通孔)の側壁に堆積して、保護膜を形成する。この堆積効果によって等方的なエッチングが抑制されるので、略垂直でネッキングやボーイングの少ない良好な形状のホールを形成することができる。
化学式C2HxF(3-x)Brで表される不飽和ハロンの種類は特に限定されるものではないが、ブロモトリフルオロエチレン(CBrFCF2)、(E)-1-ブロモ-2-フルオロエチレン(CHBrCHF)、及び1-ブロモ-1-フルオロエチレン(CBrFCH2)からなる群より選ばれる少なくとも一つを用いることができる。
エッチングに使用されるプラズマには、プラズマ容量結合型プラズマ(CCP:Capacitively Coupled Plasma)、電子サイクロトン共鳴プラズマ(ECP:Electron Cyclotron resonance Plasma)、ヘリコン波励起プラズマ(HWP:Helicon Wave Plasma)、誘導結合型プラズマ(ICP:Inductively Coupled Plasma)、マイクロ波励起表面波プラズマ(SWP:Surface Wave Plasma)などがある。
積層されたシリコン酸化物層とシリコン窒化物層とを有する積層膜を備える被処理体を、本実施形態のエッチング方法によりエッチングして、積層膜に貫通孔を形成する方法の一例を、図1を参照しながら説明する。
積層膜5の最上層のシリコン窒化物層3の上には、パターンが形成されたマスク7が被覆されており、本実施形態のエッチング方法によりエッチングを行うと、マスク7から露出する積層膜5がエッチングされて貫通孔9が形成される。
〔参考例1〕
図2を参照しつつ参考例1の試験片の製造方法を説明する。プラズマ化学気相成長法により、図示しないSi基板上にシリコン窒化物からなるシリコン化合物層21を成膜した。シリコン化合物層21の膜厚は2000nmとした。次に、シリコン化合物層21上にフォトレジストドットパターンマスク23を形成して、試験片Aを得た。ドットパターンの開口部23aの直径は50nm~200nmとした。また、フォトレジストドットパターンマスク23の膜厚は1000nmとした。
これらの試験片A、Bに対して誘導結合型プラズマエッチング(ICPエッチング)を施し、シリコン化合物層21(シリコン窒化物層又はシリコン酸化物層)をエッチングしてホールを形成した。エッチング条件は以下の通りである。
エッチング時間:10分間
ICP電力 :500W
バイアス電力 :200W
圧力 :2Pa
エッチングガス:ブロモトリフルオロエチレン(以下「BTFE」と記す)1体積部とアルゴン9体積部との混合ガス
エッチングガスの流量:100SCCM
エッチングガス中の不飽和ハロンをBTFEから1-ブロモ-1-フルオロエチレン(以下、「1B1FE」と記す)に代えた点以外は、参考例1と同様にしてエッチング及び顕微鏡観察を行い、シリコン化合物層21(シリコン窒化物層及びシリコン酸化物層)のエッチング速度と、形成されたホールのアスペクト比及びサイドエッチ率とをそれぞれ測定した。
エッチングガス中の不飽和ハロンをBTFEから(E)-1-ブロモ-2-フルオロエチレン(以下、「1B2FE」と記す)に代えた点以外は、参考例1と同様にしてエッチング及び顕微鏡観察を行い、シリコン化合物層21(シリコン窒化物層及びシリコン酸化物層)のエッチング速度と、形成されたホールのアスペクト比及びサイドエッチ率とをそれぞれ測定した。
エッチングガスを(E)-1,3,3,3-テトラフルオロプロペン(以下、「HFO-1234ze」と記す)1体積部と酸素ガス1体積部とアルゴン8体積部との混合ガスに代えた点以外は、参考例1と同様にしてエッチング及び顕微鏡観察を行い、シリコン化合物層21(シリコン窒化物層及びシリコン酸化物層)のエッチング速度と、形成されたホールのアスペクト比及びサイドエッチ率とをそれぞれ測定した。
エッチングガスをHFO-1234ze1体積部とヘキサフルオロプロペン(C3F6)0.5体積部と酸素ガス0.6体積部とアルゴン7.9体積部との混合ガスに代えた点以外は、参考例1と同様にしてエッチング及び顕微鏡観察を行い、シリコン化合物層21(シリコン窒化物層及びシリコン酸化物層)のエッチング速度と、形成されたホールのアスペクト比及びサイドエッチ率とをそれぞれ測定した。
エッチングガスをブロモトリフルオロメタン(CBrF3)に代えた点以外は、参考例1と同様にしてエッチング及び顕微鏡観察を行い、シリコン化合物層21(シリコン窒化物層及びシリコン酸化物層)のエッチング速度と、形成されたホールのアスペクト比及びサイドエッチ率とをそれぞれ測定した。
エッチングガスを四フッ化炭素(CF4)に代えた点以外は、参考例1と同様にしてエッチング及び顕微鏡観察を行い、シリコン化合物層21(シリコン窒化物層及びシリコン酸化物層)のエッチング速度と、形成されたホールのアスペクト比及びサイドエッチ率とをそれぞれ測定した。
比較例2は、サイドエッチ率が低く、比較例1に比べるとシリコン窒化物層のエッチング速度とシリコン酸化物層のエッチング速度とが同程度になってはいるものの、高アスペクト比のホールを形成する際のエッチング速度が十分ではなかった。
比較例4は、シリコン窒化物層のエッチング速度とシリコン酸化物層のエッチング速度との差が大きく、サイドエッチ率も高かった。
2 シリコン酸化物層
3 シリコン窒化物層
5 積層膜
7 マスク
9 貫通孔
21 シリコン化合物層
23 フォトレジストドットパターンマスク
23a 開口部
Claims (4)
- 積層されたシリコン酸化物層とシリコン窒化物層とを有する積層膜を備える被処理体を、(E)-1-ブロモ-2-フルオロエチレン及び1-ブロモ-1-フルオロエチレンからなる群より選ばれる少なくとも一つである不飽和ハロンを含有するエッチングガスにより処理して、前記シリコン酸化物層と前記シリコン窒化物層との両方を、前記シリコン酸化物層のエッチング速度に対する前記シリコン窒化物層のエッチング速度の比が0.8以上1.5未満となるようにエッチングするエッチング工程を備えるエッチング方法。
- 前記エッチングガスが不活性ガスをさらに含有する請求項1に記載のエッチング方法。
- 前記エッチング工程においては、前記エッチングガスをプラズマ化して得られるプラズマガスを用いてエッチングする請求項1又は請求項2に記載のエッチング方法。
- 請求項1~3のいずれか一項に記載のエッチング方法でエッチングを行うことを含む半導体の製造方法。
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