JP7295946B2 - ライナアッセンブリ、反応チャンバおよび半導体処理装置 - Google Patents
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Description
B/A+C/D>5
を満たし、ここで、Aは、サブリングの周方向における半径方向貫通孔の幅であり、Bは、サブリングの半径方向厚さであり、Cは、同一のサブリングにおける互いに隣接する2つの個々の半径方向貫通孔間の中心間距離であり、Dは、環状間隙の半径方向厚さである。
本開示の一部の実施形態において、環状間隙の半径方向厚さは、10mm未満である。
本開示の一部の実施形態において、間隙の数は、60以上である。
チャンバ本体内に配置される、処理されるべきワークピースを担持するためのベースと、
ベースより上、かつチャンバ本体内に配置されるターゲットと、
チャンバ本体の側壁の内側に配置されかつ該内側を囲む上述のライナアッセンブリと、を備える。
チャンバ本体の側壁の外側に沿って巻回されるコイルと、
コイルへ電気的に接続されるRF電源と、を含む。
本開示は、下記のような有益な効果を有する。
B/A+C/D>5
を満たし、ここで、Aは、サブリングの周方向における半径方向貫通孔の幅であり(第1の半径方向貫通孔301Aを一例とする)、Bは、サブリングの半径方向厚さであり(第2のサブリング32を一例とする)、Cは、同一のサブリングにおける互いに隣接する2つの個々の半径方向貫通孔間の中心間距離であり(第1の半径方向貫通孔301Aを一例とする)、Dは、環状間隙の半径方向厚さ(第1のサブリング31の外周面と第2のサブリング32の内周面との間の半径方向距離)である。
11 上部側壁
12 下部側壁
13 底壁
112 絶縁筒
14、15、18、19 アダプタ
2 補助プラズマ励起源
21 コイル
22 RF電源
3 ライナリング
31 第1のサブリング
32 第2のサブリング
301A 第1の半径方向貫通孔
302A 第2の半径方向貫通孔
30 間隙
33 平面
331、332 エリア
34 コネクタ
35 上部ライナ
36 中間ライナ
37 下部ライナ
4 プラズマ励起源
5 支持アッセンブリ
6 脱イオン水
7 ターゲット
8 マグネトロン
9 駆動デバイス
10 ベース
20 処理されるべきワークスペース
16 RF電源
17 プレスリング
P 部
Claims (13)
- チャンバ本体を備える反応チャンバであって、さらに、
前記チャンバ本体内に配置される、処理されるべきワークピースを担持するためのベースと、
前記ベースより上、かつ前記チャンバ本体内に配置されるターゲットと、
前記チャンバ本体の側壁の内側に配置されかつ前記内側を囲み、前記ターゲットから逃げる金属原子が前記反応チャンバの側壁に堆積することを防止するように構成されるライナアッセンブリと、を備える、反応チャンバであって、
前記ライナアッセンブリは、
接地されたライナリングであって、前記ライナリングの周方向に沿って所々に複数の遮蔽ユニットが配置され、前記複数の遮蔽ユニットは、前記ライナリングの内周面と前記ライナリングの外周面との間に形成されかつこれを貫通する間隙であり、かつ前記間隙は、前記内周面から前記外周面へ向かう方向の所々に配置される複数の第1の通路と、各々が隣接する2つの第1の通路に連通する複数の第2の通路とを備える、接地されたライナリングを備え、かつ前記ライナリングの内周面上の、互いに隣接する2つの第1の通路の各々の直交射影は、互いから分離され、前記間隙は迷路構造を構成し、それにより反応チャンバの側壁を保護し、
前記ライナリングは、異なる内径を有する少なくとも2つの入れ子式サブリングを備え、各サブリングは、接地され、間隙に関して言えば、第1の通路は各々、個々のサブリング内に対応して配置される半径方向貫通孔であり、かつ第2の通路は各々、互いに隣接する2つの個々のサブリング間に対応して配置される環状の間隙であり、
各間隙の深さ対幅比は、
B/A+C/D>5
を満たし、ここで、Aは、前記サブリングの周方向における前記半径方向貫通孔の幅であり、Bは、前記サブリングの半径方向厚さであり、Cは、同一のサブリングにおける互いに隣接する2つの個々の前記半径方向貫通孔間の中心間距離であり、Dは、前記環状間隙の半径方向厚さであり、
前記サブリングの周方向における前記半径方向貫通孔の前記幅Aおよび前記同一のサブリングにおける互いに隣接する2つの個々の前記半径方向貫通孔間の前記中心間距離Cは前記ターゲットの異なる材料により異なる値に設定される、反応チャンバ。 - 同一のサブリングにおける互いに隣接する2つの個々の半径方向貫通孔間の中心間距離は、2mm以上である、請求項1に記載の反応チャンバ。
- 前記サブリングの半径方向厚さは、5mm以下である、請求項1に記載の反応チャンバ。
- 前記環状間隙の半径方向厚さは、10mm未満である、請求項1に記載の反応チャンバ。
- 前記サブリングの周方向における前記半径方向貫通孔の幅は、0.5mm~10mmの範囲内である、請求項1に記載の反応チャンバ。
- 前記間隙の数は、数十である、請求項1~請求項5のいずれか1項に記載の反応チャンバ。
- 前記間隙の数は、60以上である、請求項6に記載の反応チャンバ。
- 互いに隣接する2つの個々のサブリングの間で、一方のサブリングにおける各半径方向貫通孔は、他方のサブリングにおける2つの半径方向貫通孔間の中間位置に対応し、他方のサブリングにおける2つの半径方向貫通孔は、前記一方のサブリングにおける前記半径方向貫通孔に隣接する、請求項1に記載の反応チャンバ。
- 各半径方向貫通孔は、前記サブリングの軸方向に延在する、請求項1に記載の反応チャンバ。
- 各半径方向貫通孔は、前記サブリングを前記サブリングの軸方向に貫通する、請求項9に記載の反応チャンバ。
- 前記チャンバ本体の側壁の外側に沿って巻回されるコイルと、
前記コイルへ電気的に接続される無線周波数電源と、をさらに備える請求項1に記載の反応チャンバ。 - 前記ライナリングの軸方向における各間隙の長さは、前記コイルの軸方向長さより長く、かつ前記ライナリングの外周面上のコイルの直交射影は、前記ライナリングの軸方向における間隙の2つの端の間に位置決めされる、請求項11に記載の反応チャンバ。
- 請求項1~請求項12のいずれか1項に記載の反応チャンバを備える、半導体処理装置。
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