JP7294455B2 - 電力変換装置およびその製造方法 - Google Patents

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Description

この出願は、フェイズチェンジマテリアルが用いられた電力変換装置およびその製造方法に関する。
従来、例えば日本特許第6540612号に記載されているように、サーマルインターフェイスマテリアル(TIM)を備えた半導体装置が知られている。TIMは、半導体素子と放熱体との間の熱抵抗を低減する。上記従来の技術では、TIMとしてフェイズチェンジマテリアルが用いられている。
日本特許第6540612号
フェイズチェンジマテリアルは、加熱軟化によって密着性が向上する。密着性を向上させることで、接触熱抵抗を低減できる。その結果、フェイズチェンジマテリアルを介して電力変換モジュールから放熱部材へと効率よく熱伝達が行われる。
フェイズチェンジマテリアルの接触熱抵抗を効果的に低減するためには、電力変換モジュールと放熱部材との接触面において、面内に大きな加熱ムラが発生することは好ましくない。この点に関し、上記従来の技術はフェイズチェンジマテリアルの加熱時に生じる温度ムラについての検討が欠落しており、未だ改良の余地があった。
本出願は、上述のような課題を解決するためになされたもので、フェイズチェンジマテリアルの加熱軟化にムラが生じることを抑制するように改良された電力変換装置およびその製造方法を提供することを目的とする。
本出願にかかる電力変換装置は、主面を持つケーシングと、前記ケーシングに収納され前記主面の平面方向に並べられた半導体スイッチング素子および還流ダイオードと、を含み、前記半導体スイッチング素子および前記還流ダイオードが電力変換回路を構成する電力変換モジュールと、前記ケーシングの前記主面に設けられたフェイズチェンジマテリアルと、放熱面を備え、前記フェイズチェンジマテリアルを挟むように前記放熱面が前記主面に重ねられた放熱部材と、前記放熱部材を冷却する冷却手段と、前記電力変換回路を駆動するための駆動信号を生成するとともに前記冷却手段を制御する制御手段と、を備え、前記制御手段は、予め設定された加熱運転を含み、前記加熱運転は、前記冷却手段を停止または間欠運転させた状態で、予め定められた1未満の目標力率で直流電力から交流電力を生成するように前記電力変換回路を駆動する低力率直交変換モードを実行する。
本出願にかかる電力変換装置は、主面を持つケーシングと、前記ケーシングに収納され前記主面の平面方向に並べられた半導体スイッチング素子および還流ダイオードと、を含み、前記半導体スイッチング素子および前記還流ダイオードが電力変換回路を構成する電力変換モジュールと、前記ケーシングの前記主面に設けられたフェイズチェンジマテリアルと、放熱面を備え、前記フェイズチェンジマテリアルを挟むように前記放熱面が前記主面に重ねられた放熱部材と、前記放熱部材を冷却する冷却手段と、前記電力変換回路を駆動するための駆動信号を生成するとともに前記冷却手段を制御する制御手段と、を備え、前記制御手段は、予め設定された加熱運転を含み、前記加熱運転は、前記冷却手段を停止または間欠運転させた状態で交直変換モードと低力率直交変換モードとを一方から他方に切り替えるように構築され、前記交直変換モードは、交流電力から直流電力を生成するように前記電力変換回路を駆動し、前記低力率直交変換モードは、予め定められた1未満の目標力率で直流電力から交流電力を生成するように前記電力変換回路を駆動する。
本出願にかかる電力変換装置の製造方法は、主面を持つケーシングを含む電力変換モジュールと前記主面に設けられたフェイズチェンジマテリアルとを準備するとともに、前記電力変換モジュールは前記ケーシングに収納され前記主面の平面方向に並べられた半導体スイッチング素子および還流ダイオードを含み、前記半導体スイッチング素子および前記還流ダイオードが電力変換回路を構成するものである工程と、放熱部材の放熱面と前記主面とを前記フェイズチェンジマテリアルを挟むように重ねる工程と、製品出荷前試験において、前記フェイズチェンジマテリアルを加熱するための加熱運転を実施する工程と、を備え、前記加熱運転は、前記放熱部材を冷却する冷却手段を継続駆動させた状態で、予め定められた1未満の目標力率で直流電力から交流電力を生成するように前記電力変換回路を駆動する低力率直交変換モードを実行する。
上記の電力変換装置および製造方法によれば、半導体スイッチング素子および還流ダイオードを発熱させる加熱運転を実施できる。加熱運転によれば、主面における半導体スイッチング素子および還流ダイオードの付近の領域の温度ムラを抑制した状態で、フェイズチェンジマテリアルを加熱軟化することができる。その結果、フェイズチェンジマテリアルの加熱軟化にムラが生じることを抑制することができる。
実施の形態にかかる電力変換装置の構成図である。 実施の形態にかかる電力変換装置と放熱部材とを示す図である。 実施の形態にかかる電力変換モジュールの平面図である。 実施の形態にかかる電力変換モジュールの断面図である。 実施の形態にかかる電力変換装置の回路構成の一例を示す回路図である。 実施の形態にかかる電力変換装置の試験装置の一例を示す図である。 実施の形態にかかる電力変換装置の製造方法を説明するためのフローチャートである。 実施の形態にかかる電力変換装置の加熱運転を説明するためのフローチャートである。 実施の形態にかかる電力変換装置の加熱運転の動作を説明するためのグラフである。 実施の形態にかかる電力変換装置の加熱運転のバリエーションを示す表である。 実施の形態にかかる電力変換装置の加熱運転のバリエーションを示す表である。 実施の形態の変形例にかかる電力変換装置の加熱運転の動作を説明するためのグラフである。 実施の形態の変形例にかかる電力変換装置の加熱運転を説明するためのフローチャートである。 実施の形態の変形例にかかる電力変換装置の加熱運転を説明するためのフローチャートである。 実施の形態の変形例にかかる電力変換装置の加熱運転を説明するためのフローチャートである。
図1は、実施の形態にかかる電力変換装置10の構成図である。電力変換装置10は、電力変換ユニット1と、放熱部材50と、冷却手段33と、制御手段20と、温度センサ31と、を備える。電力変換装置10は筐体の中に上記各構成部品を収納している。この筐体には通気孔なども設けられている。
電力変換ユニット1は、電力変換回路1aおよびゲートドライブ基板1bを備える。電力変換回路1aは、三つのアーム回路を含む電圧型三相インバータ回路である。電圧型三相インバータ回路の具体的な種類に限定はない。電力変換回路1aは、図2で後述する電力変換モジュール100を複数個備えている。
冷却手段33は、放熱部材50を冷却する。実施の形態の冷却手段33は、一例として空冷冷却ファンである。冷却手段33の変形例として、空冷用の冷却ファンの代わりに冷媒循環システムが用いられてもよい。変形例の冷媒循環システムは、放熱部材50に接する冷媒通路と、冷媒通路の途中に設けられたラジエータと、冷媒通路内の冷媒を循環させる循環ポンプとを含んでもよい。空冷冷却ファンの回転数制御あるいは循環ポンプの駆動回転数制御によって、冷却手段33のオンオフおよび冷却量を調整可能である。
制御手段20は、電力変換制御部20aと温度制御部20bとを含んでいる。電力変換制御部20aは、電力変換回路1aを駆動させるために、PWM信号SPWMを電力変換ユニット1に伝達する。温度制御部20bは、冷却手段33を制御するために、ファン制御信号Sを冷却手段33に伝達する。
制御手段20は、一つまたは複数のマイコンで構築されてもよい。制御手段20の具体的ハードウェア構造の例については後述する。
温度センサ31は、電力変換モジュール100の周囲温度Tを検知する。温度センサ31の温度検知信号Tは制御手段20に伝達される。
図2は、実施の形態にかかる電力変換装置10と放熱部材50とを示す図である。実施の形態では一例として、放熱部材50はヒートパイプである。なお放熱部材50はヒートシンクに変形されてもよい。
放熱部材50は、放熱面50aを備えている。放熱面50aの上に、3つの電力変換モジュール100が並べて配置されている。フェイズチェンジマテリアル120を挟むように放熱面50aと主面101とが重ねられている。放熱面50aに設けられるこの種の熱伝達層は、サーマルインターフェイスマテリアル(TIM)とも称される。TIMには様々な材料が公知であり、例えばグリースなどがある。実施の形態ではこのTIMにフェイズチェンジマテリアルが用いられる。
図3は、実施の形態にかかる電力変換モジュール100の平面図である。図4は、実施の形態にかかる電力変換モジュール100の断面図である。図4は図3のI-II線に沿う断面矢視図である。図3および図4はフェイズチェンジマテリアル120の加熱軟化前の状態を図示したものである。
電力変換モジュール100は、ケーシング100aと、ケーシング100aに収納された基板112と、基板112に実装された半導体スイッチング素子110および還流ダイオード111と、を含んでいる。
ケーシング100aは、樹脂封止材116と放熱板114とで構成されている。ケーシング100aは、上面102と、下面101と、前後左右4つの側面103とを持っている。放熱板114の一つの面がケーシング100aの下面101に相当している。実施の形態では一例としてケーシング100aの下面101を「主面101」とも称する。
半導体スイッチング素子110はゲート駆動信号に従ってオンオフ制御される。半導体スイッチング素子110は、IGBTでもよく、MOSFETでもよく、GTOでもよい。半導体スイッチング素子110および還流ダイオード111の半導体材料は、シリコンでもよく、或いはSiCなどのワイドバンドギャップ半導体でもよい。
図3では、主面101の側から放熱板114が透視されることで、半導体スイッチング素子110および還流ダイオード111が破線で図示されている。図3に示すように、半導体スイッチング素子110および還流ダイオード111は、主面101の平面方向に所定のレイアウトで並べられる。実施の形態では一例としてケーシング100aが樹脂成形による封止樹脂パッケージである。しかし変形例としてケーシング100aが蓋と箱とを持つ樹脂筐体であってもよい。
電力変換モジュール100は、二つの半導体スイッチング素子110および三つの還流ダイオード111を備える。一つの電力変換モジュール100が一つのアーム回路を構成する。実施の形態では、図2に示したように三つの電力変換モジュール100が設けられることで、三相インバータ回路として電力変換回路1aが構築されている。
フェイズチェンジマテリアル120は、ケーシング100aの主面101に設けられている。実施の形態では、フェイズチェンジマテリアル120が一例として六角形の小片とされ、複数のフェイズチェンジマテリアル120が主面101に並べられている。ただし、変形例として、一つのフェイズチェンジマテリアルシートが主面101に貼り付けられてもよい。図3のごとく主面101を透視したときに、半導体スイッチング素子110および還流ダイオード111がフェイズチェンジマテリアル120で十分に覆われることが好ましい。
フェイズチェンジマテリアル120は、熱により軟化する性質を有する。軟化により密着性が向上すると接触熱抵抗が低減される。その結果、放熱部材50への熱伝達性が高まるので、放熱性を高めることができる。フェイズチェンジマテリアル120は、すでに様々な材料が公知であるから、詳細な説明は省略する。
図5は、実施の形態にかかる電力変換装置10の回路構成の一例を示す回路図である。図5には、図1では省略されている回路要素も図示されている。
電力変換装置10の直流入力端P、Nに、直流電源30から直流電力が入力される。実施の形態では、一例として、直流電源30が太陽電池パネルである。電力変換装置10の交流出力端U、V、Wは、電力系統40に接続している。
電力変換回路1aは、制御手段20からの駆動信号に従って、直流電力を三相交流電力に変換するインバータ駆動と、三相交流電力を直流電力に変換するコンバータ駆動とをそれぞれに実行することができる。
電力変換装置10は、電力変換ユニット1の直流側に接続する直流側回路と、電力変換ユニット1の交流側に接続する交流側回路と、を備えている。直流側回路は、直流側リレー3と計器用変流器(CT)8aと計器用変圧器(VT)8bとを含んでいる。
交流側回路は、トランス2と、保護リレー4と、交流端リレー5と、リアクトル6と、キャパシタ7と、計器用変流器(CT)9a、9cと、計器用変圧器(VT)9b、9dとを含んでいる。トランス2は、電力変換ユニット1の交流端に接続している。リアクトル6は、トランス2に直列接続している。キャパシタ7の一端はトランス2とリアクトル6との間に接続され、キャパシタ7の他端が接地などの基準電位に接続されている。保護リレー4は、リアクトル6に直列接続している。交流端リレー5は、保護リレー4に直列接続している。計器用変流器9aおよび計器用変圧器9bは、保護リレー4と交流端リレー5との間に設けられている。計器用変流器9cは電力変換ユニット1の交流端とトランス2との間に設けられている。計器用変圧器9dは、トランス2とキャパシタ7の接続点と、リアクトル6との間に設けられている。なお、直流側回路と交流側回路は様々な構成が可能であり、実施の形態では一例を示したものである。
制御手段20は、制御回路である。制御手段20の電力変換制御部20aは、PWM制御部21と電力制御部22とを備える。電力制御部22は、計器用変流器8aを介して取得した直流側電流値と、計器用変圧器8bを介して取得した直流側電圧値と、計器用変流器9aを介して取得した交流側電流値と、計器用変圧器9bを介して取得した交流側電圧値と、を取得する。
電力制御部22は、取得したパラメータに基づいて、PWM制御部21に「電力制御信号」を伝達する。実施の形態では一例として電力制御部22がMPPT制御モード(最大電力点追従制御モード)を備えているので、電力制御信号はMPPT制御に基づく制御指令値であってもよい。また、電力制御信号は、有効電力指令値と無効電力指令値とに基づく充放電制御指令値であってもよい。
PWM制御部21は、計器用変流器9cを介して取得した交流側電流値と、計器用変圧器9dを介して取得した交流側電圧値と、を取得する。PWM制御部21は、取得したパラメータに基づいて、電力制御部22からの電力制御信号に従って、スイッチング素子の駆動信号を生成する。実施の形態ではこの駆動信号がパルス幅変調信号(PWM信号)である。
制御手段20の温度制御部20bは、冷却制御部20b1とモード制御部20b2とを備える。温度制御部20bには、温度センサ31からの温度検知信号Tが入力される。冷却制御部20b1は、冷却手段33(冷却ファン)の冷却制御モードを、常時駆動(常時ON)と間欠駆動(間欠ON)と停止(OFF)とで切り替えることができる。
モード制御部20b2は、冷却制御部20b1に冷却制御モードを指示するとともに、電力変換回路1aに電力変換モードを指示することができる。モード制御部20b2は、電力変換回路1aに対して、「交直変換モード」と「低力率直交変換モード」とのうち少なくとも一方の駆動を指示する。
交直変換モードは、交流電力から直流電力を生成するように電力変換回路1aを駆動するモードである。交直変換モードでは、還流ダイオード111が整流器として使用されるので、還流ダイオード111に電流が流れる。その結果、還流ダイオード111を発熱させることができ、この発熱でフェイズチェンジマテリアル120を加熱軟化できる。
この交直変換モードは、実施の形態では便宜上「充電モード」とも称される。これは、電力変換ユニット1で交流から直流を作り出すモードは、一般に電力系統40から直流電力を作り出して蓄電池に充電するモードとして利用されるからである。図6で後述する試験装置200での試験時には、交直変換モードが充電モードとして使用される。
「低力率直交変換モード」は、予め定められた1未満の目標力率Φで直流電力から交流電力を生成するように、電力変換回路1aを駆動するモードである。低力率直交変換モードは、低力率電力変換がされるので比較的多くの無効電流が電力変換回路1aを流れる。その結果、還流ダイオード111を発熱させることができ、この発熱でフェイズチェンジマテリアル120を加熱軟化できる。
目標力率Φの値に限定はなく、0<Φ<1.0の範囲で目標力率を任意に設定することができる。例えばΦ=0.9、0.8、0.7・・・、0.2、0.1などであってもよい。例えば目標力率Φの設定範囲が定められてもよい。上限目標力率が例えばΦ=0.99~0.5から選択されてもよく、下限目標力率が例えばΦ=0.49~0.01から選択されてもよく、任意の上限目標力率と任意の下限目標力率とで設定範囲が定義されてもよい。
低力率直交変換モードは、実施の形態では便宜上「低力率放電モード」とも称される。これは、電力変換ユニット1で直流から交流を作り出すモードは、蓄電池から電力系統40の側に電力を放電するモードとして利用されるからである。図6で後述する試験装置200での試験時には、低力率直交変換モードが低力率放電モードとして使用される。
制御手段20は、予め設定された「加熱運転」を含む。加熱運転は、冷却手段33を停止または間欠運転させた状態で、半導体スイッチング素子110と還流ダイオード111との両方を発熱させるように電力変換回路1aを駆動する。
加熱運転では、冷却手段33が、停止と間欠運転と常時駆動とのいずれかの冷却制御モードに設定される。加熱運転では、電力変換回路1aの電力変換モードが「交直変換モード」と「低力率直交変換モード」とのうち少なくとも一方に設定される。
一例として、加熱運転は、冷却手段33を停止または間欠運転させた状態で、「交直変換モード」を実行してもよい。他の例として、加熱運転は、冷却手段33を停止または間欠運転させた状態で、「低力率直交変換モード」を実行してもよい。
更に他の例として、加熱運転は、冷却手段33を停止または間欠運転させた状態で、「第一電力変換モード」から「第二電力変換モード」へと切り替えるように構築されてもよい。交直変換モードと低力率直交変換モードとのうち一方が第一電力変換モードとされ、他方が第二電力変換モードとされる。切り替えのタイミングは、加熱運転開始後に予め定めた時間が経過したタイミングであってもよく、加熱運転開始後に電力変換モジュール100のモジュール温度が予め定めた温度に到達したタイミングであってもよい。
加熱運転を実行する際の制御パラメータには、「加熱運転時間」と「加熱運転出力電力」とが含まれる。加熱運転時間は、加熱運転を継続して実行する時間の長さである。
加熱運転出力電力は、加熱運転を行う際における電力変換回路1aの出力電力の大きさである。実際には、電力変換回路1aを制御するための各種制御目標値を調節することによって、加熱運転出力電力が可変設定されてもよい。例えば充電モードであれば、加熱運転出力電力は、充電電力および充電電流(有効電流)の大きさを調節されることで可変設定されてもよい。例えば低力率放電モードであれば、加熱運転出力電力は、放電電流(有効電流)および無効電流の大きさ調節することで可変設定されてもよい。
図6は、実施の形態にかかる電力変換装置10の試験装置200の一例を示す図である。試験装置200は、電力還流型のシステム構成を有する。
電力還流型のシステム構成は、電源機201と交流電源Vsと試験対象である電力変換装置10と直流キャパシタ202とが環状に接続されたものである。電源機201と電力変換装置10との出力バランスが保たれることで、電力の大部分を還流させることができる。その結果、試験時の消費電力を抑制することができる。
図6には交直変換モードつまり充電モードが図示されており、白抜き矢印に示すように電源機201が出力した三相交流電力が電力変換装置10の交流端に伝達される。電力変換装置10は三相交流電力から直流電力を生成して直流キャパシタ202の側へと出力する。一方、低力率直交変換モードつまり低力率放電モードの場合には、図6とは逆向きに電力が循環する。
図7は、実施の形態にかかる電力変換装置10の製造方法を説明するためのフローチャートである。図7に示すように、まず、部品準備および組み立てが行われる(ステップS100)。このステップでは、主面101にフェイズチェンジマテリアル120が設けられた電力変換モジュール100が準備される。さらに、放熱部材50の放熱面50aと主面101とが、フェイズチェンジマテリアル120を挟むように重ねられる。
次に、ステップS101~S103に記載した製品出荷前試験が実施される。製品出荷前試験のうち少なくともステップS102は、上述した図6の試験装置200で行われる。
まず、電力変換ユニット1および電力変換装置10に対して、耐圧試験および制御電圧試験が行われる(ステップS101)。
次に、主回路通電および加熱運転が実行される(ステップS102)。このステップで電力変換ユニット1が主電流の通電を開始する。ステップS102の加熱運転は、放熱部材50を冷却する冷却手段33を停止または間欠運転させた状態で、半導体スイッチング素子110と還流ダイオード111との両方を発熱させるように電力変換回路1aを駆動する運転である。例えば、加熱運転モード信号SM1が制御手段20に入力された場合に、これに応答して加熱運転が実行されてもよい。これによりフェイズチェンジマテリアル120が加熱軟化されることで、密着性を向上させることができる。
次に、電力変換装置10の定常特性試験が実施される(ステップS103)。その後、試験終了とされ(ステップS104)、製品出荷が行われる(ステップS105)。
図8は、実施の形態にかかる電力変換装置10の加熱運転を説明するためのフローチャートである。図8は、図7におけるステップS102の内容を詳細に記載したものである。図8のルーチンは、モード制御部20b2が主体となって実行する処理である。
図8のルーチンでは、まず、冷却手段33が停止される(ステップS1021)。変形例として、停止ではなく一定間隔で作動と停止とを切り替える間欠運転が実施されてもよい。
次に、温度センサ31を介して電力変換モジュール100の周囲温度Tが検知される(ステップS1022)。
次に、加熱運転時間TOPが計算される(ステップS1023)。加熱運転時間の具体的な計算処理内容は、図9を用いて後述する。
次に、充電モードで電力変換回路1aが駆動させられる(ステップS1024)。これにより、放熱部材50を冷却する冷却手段33を停止または間欠運転させた状態で、半導体スイッチング素子110と還流ダイオード111との両方が発熱させられる。
加熱運転により半導体スイッチング素子110それぞれがその直下のフェイズチェンジマテリアル120を加熱したときのフェイズチェンジマテリアル120の温度を、「第一温度」とも称する。加熱運転により還流ダイオード111それぞれがその直下のフェイズチェンジマテリアル120を加熱したときのフェイズチェンジマテリアル120の温度を、「第二温度」とも称する。
実施の形態では、一例として、第一温度と第二温度がフェイズチェンジマテリアル120の軟化温度以上であり、第一温度と第二温度とがほぼ同じである。例えば1℃~数℃程度の誤差範囲は、ほぼ同じ温度とみなしてもよい。主面101の全体としてフェイズチェンジマテリアル120がムラなく加熱軟化されるほどの熱量を生じさせればよい。従って、第一熱量と第二熱量とは同じであってもよいが、これに限られず第一熱量と第二熱量とのうち一方が他方より大きくともよい。第一温度と第二温度との間には、例えば数℃程度またはそれ以上の温度差があってもよい。
次に、ステップS1023で設定された加熱運転時間が経過したか否かが判定される(ステップS1025)。加熱運転時間が経過するまでは処理がS1025にリターンし、加熱運転時間が経過した場合には今回のルーチンが終了する。
図9は、実施の形態にかかる電力変換装置10の加熱運転の動作を説明するためのグラフである。具体的には、図9は加熱運転時間の計算処理を説明するための図である。
制御手段20は、温度センサ31で検知した周囲温度Tに基づいて加熱運転を実行する時間である加熱運転時間TOPを可変設定するように構築されてもよい。制御手段20は、周囲温度Tが高いほど加熱運転時間TOPを短く計算するように定めた第一所定関数または第一所定モデルを含んでもよい。
上記第一所定関数または第一所定モデルには、周囲温度Tに応じた加熱運転時間TOPの傾向f1が定められている。図9には、この傾向f1の一例が図示されている。傾向f1は、図9の特性のように一定の変化率つまり一次関数で定められていてもよい。変形例として、図9の特性の代わりに、二次以上の関数のようなカーブ状の傾向が用いられてもよく、ステップ状のように周囲温度Tが一定温度上昇するごとにステップ状に加熱運転時間TOPを短縮化する傾向が用いられてもよく、異なる変化率を持つ複数の直線を組み合わせた折れ線グラフ状の傾向が用いられてもよい。
以上説明したように、実施の形態にかかる電力変換装置10およびその製造方法によれば、製品出荷前試験などの特定のタイミングで加熱運転が実行される。加熱運転により、冷却手段33駆動を抑制しつつ半導体スイッチング素子110と還流ダイオード111との両方を発熱させる運転状態を作り出すことができる。
この加熱運転によれば、主面101における半導体スイッチング素子110および還流ダイオード111の付近の領域の温度ムラを抑制した状態で、フェイズチェンジマテリアル120を加熱軟化することができる。その結果、フェイズチェンジマテリアル120の加熱軟化にムラが生じることを抑制することができる。
なお、フェイズチェンジマテリアル120の加熱方法には、電力変換モジュール100の駆動発熱による加熱と、ヒータなどの外部設備による加熱とがある。ここでMPPT駆動モード等では、半導体スイッチング素子110への通電が主となり、還流ダイオード111の発熱量は半導体スイッチング素子110に比べて微小となることが普通である。その結果、MPPT駆動モード等では加熱時に温度ムラができやすいという問題があった。また、ヒータなどの外部設備による加熱は、専用設備および作業手間が増大するので生産効率が低下するという問題があった。この点、実施の形態にかかる加熱運転によれば、高い生産効率で、フェイズチェンジマテリアル120の加熱軟化ムラを確実に抑制することができる。
以下、実施の形態の変形例を追加説明する。図10および図11は、実施の形態にかかる電力変換装置10の加熱運転のバリエーションを示す表である。
図10および図11には、加熱運転モード番号(No.1~No.50)と、冷却制御モードの種別と、電力変換モードの種別と、加熱運転時間の決定方法と、加熱運転出力電力の決定方法との組み合わせバリエーションが示されている。電力変換モードの種別は、モード数と、第一電力変換モードおよび第二電力変換モードの内容とを含む。
例えばNo.1の加熱運転モードでは、冷却手段33を停止(OFF)とし、電力変換モードは充電モードの一つのみであり、加熱運転時間は前述のステップS1023に従って計算し、加熱運転出力電力は予め定められた固定値に設定される。これと同様のルールに従って、他のNo.2~50のモード内容を図10および図11それぞれの表から読み取ることができる。
(加熱運転出力電力の可変設定)
No.6~15とNo.21~30とNo.36~40とNo.46~50の加熱運転モードでは、「加熱運転出力電力」が計算により可変設定される。加熱運転出力電力を可変設定する変形例を以下説明する。
図12は、実施の形態の変形例にかかる電力変換装置10の加熱運転の動作を説明するためのグラフである。図13は、実施の形態の変形例にかかる電力変換装置10の加熱運転を説明するためのフローチャートである。この変形例において、制御手段20は、温度センサ31で検知した周囲温度Tに基づいて加熱運転出力電力を可変設定するように、各種制御目標値を演算する。
各種制御目標値は、有効電力目標値と無効電流目標値と目標力率とのうち少なくとも一つを含んでもよい。制御手段20は、周囲温度Tが高いほど加熱運転出力電力を小さく計算するように定めた第二所定関数または第二所定モデルを含んでもよい。第二所定関数または第二所定モデルには、周囲温度Tに対する各種制御目標値を定めた傾向f2が定められている。図12には、この傾向f2の一例が図示されている。
本変形例は、図13のフローチャートを実行することで達成される。図13は、図8のステップS1023の内容をステップS1123に変更したものである。ステップS1123では、図12の傾向f2が参照されることで、周囲温度Tに応じた各種制御目標値が調節される。ステップS1123の一例として、制御手段20は、周囲温度Tが高くなるほど交直変換モード(充電モード)における有効電流目標値を増大させてもよい。また、ステップS1123の他の例として、制御手段20は、周囲温度Tが高くなるほど低力率直交変換モードにおける無効電流目標値を増大させることが好ましく、言い換えると目標力率を低下させてもよい。
傾向f2は、図12に例示したように、一定の変化率つまり一次関数で定められていてもよい。傾向f2の変形例として、二次以上の関数のようなカーブ状の傾向が用いられてもよく、ステップ状のように周囲温度Tが一定温度上昇するごとにステップ状に加熱運転出力電力を短縮化する傾向が用いられてもよく、異なる変化率を持つ複数の直線を組み合わせた折れ線グラフ状の傾向が用いられてもよい。
(冷却手段の継続駆動および低力率放電モード)
図10におけるNo.3,8,13,18,23と、図11におけるNo.28,33,38,43,48とは、冷却手段33を継続運転(常時ON)とする加熱運転モードである。以下、この変形例を説明する。
図14は、実施の形態の変形例にかかる電力変換装置10の加熱運転を説明するためのフローチャートである。この変形例では、前述のステップS1021およびS1024が、ステップS1121およびS1124に置換される。この変形例では、ステップS1121で冷却手段33が継続駆動される。さらに、ステップS1124において、冷却手段33を継続駆動させた状態で、低力率直交変換モードが実行される。
実施の形態にかかる製造方法の変形例として、冷却手段33を継続駆動させるようにステップS102の内容が変形されてもよい。つまり、製品出荷前試験において、放熱部材50を冷却する冷却手段33を継続駆動させた状態で、予め定められた1未満の目標力率で直流電力から交流電力を生成するように電力変換回路1aを駆動する低力率直交変換モードが実行されてもよい。
(モジュール保護温度に基づく加熱停止)
図11におけるNo.31~No.50の加熱運転モードは、加熱運転時間を計算で決めるのではなく、加熱運転時間をモジュール保護温度に基づいて決定する。図15は、実施の形態の変形例にかかる電力変換装置10の加熱運転を説明するためのフローチャートである。
図15の変形例では、前述のステップS1025がステップS1125へと置換される。ステップS1125では、制御手段20が、電力変換モジュール100について予め定められたモジュール保護温度に達するまで加熱運転を実行し、電力変換モジュール100の温度がモジュール保護温度に達したら加熱運転を終了する。モジュール保護温度は、電力変換モジュール100の仕様として予め定められている。温度センサ31とは別に、電力変換モジュール100の温度を精度良く検知するためのモジュール温度センサを別途設けてもよい。
なお、図10および図11に記載されていない他の代替変形例もある。例えば、加熱運転時間と加熱運転時間の両方を固定にしてもよい。フェイズチェンジマテリアル120が十分に軟化される程度の時間および出力を計算等に基づいて予め設定することが可能だからである。
なお、図10および図11に記載したバリエーションおよび上記の代替変形例からなる群から、異なる複数個の加熱運転モードが選択されてもよい。選択された複数個の加熱運転モードが、モード制御部20b2に記憶されてもよい。これにより、例えば電力変換装置10の製品仕様に応じて、あるいは試験装置200の仕様、試験条件等に応じて、異なる加熱運転のバリエーションを使い分けてもよい。
電力変換装置10の用途は限定されない。電力変換装置10は、太陽光発電システム用の電力変換装置10として提供されてもよく、電動機駆動システム用の電力変換装置10として提供されてもよく、無停電電源装置システム用の電力変換装置10として提供されてもよい。つまり、直流電源30に限定はなく、様々な構成が適用されうる。直流電源30は蓄電池であってもよい。直流電源30は風力発電機とコンバータとからなる直流電源であってもよい。直流電源30は交流電源とコンバータとからなる直流電源であってもよい。電力系統40の代わりに、電動機またはそれ以外の負荷が接続されてもよい。
制御手段20の機能は、処理回路により実現されてもよい。処理回路は、専用ハードウェアであってもよい。処理回路は、プロセッサ及びメモリを備えていてもよい。処理回路は、一部が専用ハードウェアとして形成され、更にプロセッサ及びメモリを備えていてもよい。
処理回路の少なくとも一部が、少なくとも1つの専用ハードウェアである場合、処理回路は、例えば、単一回路、複合回路、プログラム化したプロセッサ、並列プログラム化したプロセッサ、ASIC、FPGA、又はこれらを組み合わせたものが該当する。
処理回路が少なくとも1つのプロセッサ及び少なくとも1つのメモリを備える場合、制御手段20の各機能は、ソフトウェア、ファームウェア、又はソフトウェアとファームウェアとの組み合わせにより実現される。ソフトウェア及びファームウェアはプログラムとして記述され、メモリに格納される。プロセッサは、メモリに記憶されたプログラムを読み出して実行することにより、各部の機能を実現する。プロセッサは、CPU(Central Processing Unit)、中央処理装置、処理装置、演算装置、マイクロプロセッサ、マイクロコンピュータ、DSPとも呼ぶ。メモリは、例えば、RAM、ROM、フラッシュメモリー、EPROM、EEPROM等の、不揮発性又は揮発性の半導体メモリ等が該当する。
このように、処理回路は、ハードウェア、ソフトウェア、ファームウェア、又はこれらの組み合わせによって、制御手段20の各機能を実現することができる。
1 電力変換ユニット、1a 電力変換回路、1b ゲートドライブ基板、2 トランス、3 直流側リレー、4 保護リレー、5 交流端リレー、6 リアクトル、7 キャパシタ、8a、9a、9c 計器用変流器(CT)、8b、9b、9d 計器用変圧器(VT)、10 電力変換装置、20 制御手段、20a 電力変換制御部、20b 温度制御部、20b1 冷却制御部、20b2 モード制御部、21 PWM制御部、22 電力制御部、30 直流電源、31 温度センサ、33 冷却手段(冷却ファン)、40 電力系統、50 放熱部材、50a 放熱面、100 電力変換モジュール、100a ケーシング、101 主面(下面)、102 上面、103 側面、110 半導体スイッチング素子、111 還流ダイオード、112 基板、114 放熱板、116 樹脂封止材、120 フェイズチェンジマテリアル、200 試験装置、201 電源機、202 直流キャパシタ、S ファン制御信号、SM1 加熱運転モード信号、SPWM PWM信号、T 温度検知信号(周囲温度)、TOP 加熱運転時間

Claims (3)

  1. 主面を持つケーシングと、前記ケーシングに収納され前記主面の平面方向に並べられた半導体スイッチング素子および還流ダイオードと、を含み、前記半導体スイッチング素子および前記還流ダイオードが電力変換回路を構成する電力変換モジュールと、
    前記ケーシングの前記主面に設けられたフェイズチェンジマテリアルと、
    放熱面を備え、前記フェイズチェンジマテリアルを挟むように前記放熱面が前記主面に重ねられた放熱部材と、
    前記放熱部材を冷却する冷却手段と、
    前記電力変換回路を駆動するための駆動信号を生成するとともに前記冷却手段を制御する制御手段と、
    を備え、
    前記制御手段は、予め設定された加熱運転を含み、
    前記加熱運転は、前記冷却手段を停止または間欠運転させた状態で、予め定められた1未満の目標力率で直流電力から交流電力を生成するように前記電力変換回路を駆動する低力率直交変換モードを実行する電力変換装置。
  2. 主面を持つケーシングと、前記ケーシングに収納され前記主面の平面方向に並べられた半導体スイッチング素子および還流ダイオードと、を含み、前記半導体スイッチング素子および前記還流ダイオードが電力変換回路を構成する電力変換モジュールと、
    前記ケーシングの前記主面に設けられたフェイズチェンジマテリアルと、
    放熱面を備え、前記フェイズチェンジマテリアルを挟むように前記放熱面が前記主面に重ねられた放熱部材と、
    前記放熱部材を冷却する冷却手段と、
    前記電力変換回路を駆動するための駆動信号を生成するとともに前記冷却手段を制御する制御手段と、
    を備え、
    前記制御手段は、予め設定された加熱運転を含み、
    前記加熱運転は、前記冷却手段を停止または間欠運転させた状態で交直変換モードと低力率直交変換モードとを一方から他方に切り替えるように構築され、
    前記交直変換モードは、交流電力から直流電力を生成するように前記電力変換回路を駆動し、
    前記低力率直交変換モードは、予め定められた1未満の目標力率で直流電力から交流電力を生成するように前記電力変換回路を駆動する電力変換装置。
  3. 主面を持つケーシングを含む電力変換モジュールと前記主面に設けられたフェイズチェンジマテリアルとを準備するとともに、前記電力変換モジュールは前記ケーシングに収納され前記主面の平面方向に並べられた半導体スイッチング素子および還流ダイオードを含み、前記半導体スイッチング素子および前記還流ダイオードが電力変換回路を構成するものである工程と、
    放熱部材の放熱面と前記主面とを前記フェイズチェンジマテリアルを挟むように重ねる工程と、
    製品出荷前試験において、前記フェイズチェンジマテリアルを加熱するための加熱運転を実施する工程と、
    を備え、
    前記加熱運転は、前記放熱部材を冷却する冷却手段を継続駆動させた状態で、予め定められた1未満の目標力率で直流電力から交流電力を生成するように前記電力変換回路を駆動する低力率直交変換モードを実行する電力変換装置の製造方法。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
LU500724B1 (de) * 2021-10-12 2023-04-21 Phoenix Contact Gmbh & Co Schaltschrank mit einem Türsensor
CN116546796B (zh) * 2023-06-19 2024-01-26 北京特倍福电子技术有限公司 一种单相多路功率控制器

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005187567A (ja) 2003-12-25 2005-07-14 Denki Kagaku Kogyo Kk 樹脂組成物及び相変化型熱伝導部材
JP2008072109A (ja) 2001-09-28 2008-03-27 Univ Leland Stanford Jr 電気浸透マイクロチャネル冷却システム
JP2016104862A (ja) 2015-12-04 2016-06-09 日立化成株式会社 樹脂組成物、樹脂シート、金属箔付き樹脂シート、樹脂硬化物シート、構造体、および動力用又は光源用半導体デバイス
JP2019047695A (ja) 2017-09-06 2019-03-22 株式会社日立製作所 電力変換装置、電動機制御システム、および電力変換装置の診断方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6540612B2 (ja) 2016-06-17 2019-07-10 三菱電機株式会社 半導体装置およびその製造方法
US10667439B1 (en) * 2018-11-01 2020-05-26 Franklin Electric Company, Inc. Discrete power component assembly

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008072109A (ja) 2001-09-28 2008-03-27 Univ Leland Stanford Jr 電気浸透マイクロチャネル冷却システム
JP2005187567A (ja) 2003-12-25 2005-07-14 Denki Kagaku Kogyo Kk 樹脂組成物及び相変化型熱伝導部材
JP2016104862A (ja) 2015-12-04 2016-06-09 日立化成株式会社 樹脂組成物、樹脂シート、金属箔付き樹脂シート、樹脂硬化物シート、構造体、および動力用又は光源用半導体デバイス
JP2019047695A (ja) 2017-09-06 2019-03-22 株式会社日立製作所 電力変換装置、電動機制御システム、および電力変換装置の診断方法

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