JP7293248B2 - GAS ANALYZER AND CALIBRATION METHOD OF GAS ANALYZER - Google Patents

GAS ANALYZER AND CALIBRATION METHOD OF GAS ANALYZER Download PDF

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Description

本発明は、ガス分析装置及びガス分析装置の校正方法に関するものである。 The present invention relates to a gas analyzer and a calibration method for the gas analyzer.

従来、例えば排ガス等のサンプルガス中のＣＯやＣＯ２等の濃度を測定する場合は、非分散型赤外線分析計（ＮＤＩＲ）が用いられている。このようなガス分析計を備えたガス分析装置では、校正ガスであるゼロガス及びスパンガスを用いてガス分析計の校正がその測定前に行われている。Conventionally, a non-dispersive infrared spectrometer (NDIR) is used to measure the concentration of CO, CO2, etc. in a sample gas such as an exhaust gas. In a gas analyzer equipped with such a gas analyzer, the gas analyzer is calibrated using zero gas and span gas as calibration gases before measurement.

ところで分析するサンプルガスが排ガスである場合、サンプルガスには通常多量の水蒸気（Ｈ２Ｏ）が含まれている。非分散型赤外線分析計を用いた分析において、Ｈ２Ｏが吸収する赤外線の吸収波長はＣＯが吸収する赤外線の吸収波長と近いため、サンプルガス中の分析したい成分が低濃度のＣＯである場合には、Ｈ２Ｏによる干渉影響が無視できなくなる。By the way, when the sample gas to be analyzed is exhaust gas, the sample gas usually contains a large amount of water vapor (H 2 O). In analysis using a non-dispersive infrared spectrometer, the absorption wavelength of infrared rays absorbed by H 2 O is close to the absorption wavelength of infrared rays absorbed by CO. , the interference effect due to H 2 O cannot be ignored.

Ｈ２Ｏによる干渉影響を低減するため、ガス分析計の手前に除湿器を設けて、ガス分析計に導入されるサンプルガス中の水蒸気量を低下させることが従来行われている。Ｈ２Ｏによる干渉影響をさらに低減するため、特許文献１では、校正に用いられるゼロガス及びスパンガス中の水蒸気量を調節し、サンプルガス中の水蒸気量と同程度になるようにしている。具体的には、ドライガスである校正ガスをまず加湿器に通して加湿し、次いでこの加湿後の校正ガスをガス分析計の手前に設けられた除湿器に通すことにより、校正ガスに含まれる水蒸気量とサンプルガスに含まれる水蒸気量とを同程度にするようにしている。In order to reduce the interference effect due to H 2 O, conventional practice is to provide a dehumidifier in front of the gas analyzer to reduce the amount of water vapor in the sample gas introduced into the gas analyzer. In order to further reduce the interference effect of H 2 O, in Patent Document 1, the water vapor content in the zero gas and span gas used for calibration is adjusted so that it is approximately the same as the water vapor content in the sample gas. Specifically, the calibration gas, which is a dry gas, is first passed through a humidifier to be humidified, and then the humidified calibration gas is passed through a dehumidifier provided in front of the gas analyzer. The amount of water vapor and the amount of water vapor contained in the sample gas are made approximately the same.

特開２０００－０３５３８２号公報JP-A-2000-035382

しかしながら上記した構成では、校正ガスを一旦加湿器において加湿した上で除湿器において除湿するというように、所望の水蒸気量を有する校正ガスを得るのに複数の調湿工程を要するため、ガス分析計の校正に長い時間がかかってしまう。各国が定める排ガス測定の規定によっては、ガス分析計の校正時間に基準が設けられていることがあり、従来の構成ではこの基準を満たすことができない場合がある。 However, in the above configuration, the calibration gas is first humidified in a humidifier and then dehumidified in a dehumidifier, and thus a plurality of humidity conditioning steps are required to obtain a calibration gas having a desired amount of water vapor. calibration takes a long time. Depending on the regulation of flue gas measurement established by each country, there are cases where a standard is set for the calibration time of the gas analyzer, and there are cases where the conventional configuration cannot satisfy this standard.

本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであり、より短い時間でガス分析計を校正することができるガス分析装置を提供することを主たる課題とするものである。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such problems, and a main object of the present invention is to provide a gas analyzer capable of calibrating a gas analyzer in a shorter time.

本発明者らは鋭意検討した結果、サンプルガス等の除湿のために従来用いられている除湿器では、ガスが露点温度以下に冷却されることにより結露が生じており、この結露により生じた水分を利用することにより、除湿器が除湿機能のみならず、加湿器としての機能も発揮できることを見出し本発明のガス分析装置に至った。 As a result of extensive studies by the present inventors, it was found that in dehumidifiers conventionally used to dehumidify sample gas, dew condensation occurs when the gas is cooled below the dew point temperature. The inventors have found that the dehumidifier can exhibit not only the dehumidification function but also the function as a humidifier by using the gas analyzer of the present invention.

すなわち本発明のガス分析装置は、サンプルガスに含まれる測定対象成分を分析するガス分析計を備えるものであって、前記ガス分析計に一端が接続され、前記ガス分析計にサンプルガスを導入するメイン流路と、前記メイン流路に設けられて、前記サンプルガスを冷却して除湿する除湿器と、前記メイン流路における前記除湿器又はその上流側に一端が接続され、前記ガス分析計の校正に用いられる第１ガスを前記メイン流路に供給する第１ガス流路と、前記除湿器内に水分を加える加水機構とを備え、前記第１ガスが、前記除湿器を通過する際に、前記加水機構によって加えられた水分によって加湿されることを特徴とする。 That is, the gas analyzer of the present invention comprises a gas analyzer for analyzing a component to be measured contained in a sample gas, one end of which is connected to the gas analyzer, and the sample gas is introduced into the gas analyzer. a main flow path, a dehumidifier provided in the main flow path for cooling and dehumidifying the sample gas, one end connected to the dehumidifier in the main flow path or its upstream side, and the gas analyzer A first gas passage for supplying a first gas used for calibration to the main passage, and a hydration mechanism for adding moisture to the inside of the dehumidifier, wherein the first gas passes through the dehumidifier. , and is humidified by the water added by the water adding mechanism.

このような構成であれば、サンプルガスの除湿のために用いられる除湿器を用いて校正ガスである第１ガスを加湿するので、第１ガス流路に別途加湿器を設ける必要がない。そのため、第１ガスが含む水蒸気量を調節するためには除湿器にさえ通せばよく、従来行なわれていた“加湿器で加湿する工程”を省略することができるので、第１ガスが含む水蒸気量の調節にかかる時間を短縮できる。さらに、第１ガス流路に加湿器を設ける必要がないので、第１ガス流路の長さを短くし、第１ガスがガス分析計に導入されるまでの時間を短縮できる。その結果、ガス分析計の校正に要する時間を短縮することができる。
また、第１ガスの水蒸気量は、除湿器内の温度における飽和水蒸気量を超えることがなく、その水蒸気量を、当該除湿器で除湿されたサンプルガスの水蒸気量と同程度にすることができるので、Ｈ２Ｏによる干渉影響を低減することもできる。
さらには、加湿器を設ける必要がないので、装置構成を簡略化でき、製造コストも削減できる。
なお、本発明で言う「除湿器」とは、ガス分析計に導入されるサンプルガスを露点温度以下まで冷却することにより除湿するものを意味する。With such a configuration, since the first gas, which is the calibration gas, is humidified using the dehumidifier used for dehumidifying the sample gas, there is no need to provide a separate humidifier in the first gas flow path. Therefore, in order to adjust the amount of water vapor contained in the first gas, it is only necessary to pass it through a dehumidifier. It can reduce the amount of time it takes to adjust the amount. Furthermore, since it is not necessary to provide a humidifier in the first gas flow path, the length of the first gas flow path can be shortened, and the time until the first gas is introduced into the gas analyzer can be shortened. As a result, the time required for calibrating the gas analyzer can be shortened.
In addition, the water vapor content of the first gas does not exceed the saturated water vapor content at the temperature inside the dehumidifier, and the water vapor content can be made approximately equal to the water vapor content of the sample gas dehumidified by the dehumidifier. Therefore, the interference effect of H 2 O can also be reduced.
Furthermore, since it is not necessary to provide a humidifier, the device configuration can be simplified and the manufacturing cost can be reduced.
The term "dehumidifier" as used in the present invention means a device that dehumidifies the sample gas introduced into the gas analyzer by cooling it to a dew point temperature or lower.

前記ガス分析装置の態様として、前記加水機構が、前記メイン流路における前記除湿器又はその上流側に一端が接続され、前記第１ガスよりも高い所定の水蒸気量を含む第２ガスを前記メイン流路に供給する第２ガス流路を備えるものであり、前記第２ガスが前記除湿器を通過する際に除湿され、前記第１ガスが前記除湿器を通過する際に、前記第２ガスが除湿されることで生じた水分によって加湿されるものを挙げることができる As an aspect of the gas analysis device, the hydration mechanism has one end connected to the dehumidifier in the main flow path or its upstream side, and the second gas containing a predetermined water vapor content higher than that of the first gas is added to the main flow path. The second gas is dehumidified when passing through the dehumidifier, and the second gas is dehumidified when the first gas passes through the dehumidifier. can be humidified by moisture generated by dehumidifying

前記ガス分析装置の態様として、前記第２ガス流路には、バブラ式の加湿器が設けられており、前記第２ガスが、前記加湿器を通過することで、含有する水蒸気量が前記所定の湿度に水蒸気量になるよう加湿されるものを挙げることができる。 As an aspect of the gas analysis device, the second gas flow path is provided with a bubbler type humidifier, and the second gas passes through the humidifier to reduce the amount of water vapor contained to the predetermined amount. can be humidified so that the amount of water vapor is equal to the humidity of .

前記ガス分析装置の態様として、前記第１ガスが、前記ガス分析計のゼロ校正に用いられるゼロガス又は前記ガス分析計のスパン校正に用いられるスパンガスの一方であり、前記第２ガスが、前記ゼロガス又は前記スパンガスの他方であるものを挙げることができる。 As an aspect of the gas analyzer, the first gas is either a zero gas used for zero calibration of the gas analyzer or a span gas used for span calibration of the gas analyzer, and the second gas is the zero gas. or the other of the span gases.

前記ガス分析装置は、前記第１ガスがスパンガスであり、前記第２ガスがゼロガスであるものが好ましい。
ガス分析計の測定対象成分を窒素や空気に所定量混合させた混合ガスがスパンガスとして用いられるところ、測定対象成分が水溶性の高いものである場合には、スパンガスをバブラ式の加湿器で加湿すると、スパンガス中の測定対象成分が溶解してしまい、スパン校正の精度が悪化する恐れがある。上記のようにスパンガスを第１ガスとすれば、スパンガスはバブラ式の加湿器を通ることなくガス分析計に導入されるので、ガス分析計に導入されるまでの間におけるスパンガス中の測定対象成分の濃度変化を抑えることができ、スパン校正の精度を向上することができる。Preferably, in the gas analyzer, the first gas is a span gas and the second gas is a zero gas.
A mixture of nitrogen or air containing a predetermined amount of the component to be measured by the gas analyzer is used as the span gas. If the component to be measured is highly water-soluble, the span gas must be humidified with a bubbler humidifier. As a result, the component to be measured in the span gas is dissolved, possibly deteriorating the accuracy of span calibration. If the span gas is used as the first gas as described above, the span gas is introduced into the gas analyzer without passing through a bubbler type humidifier. density change can be suppressed, and span calibration accuracy can be improved.

Ｈ２Ｏによる干渉影響をより一層低減するためには、前記除湿器を通過した後の前記第１ガスの水蒸気量と前記サンプルガスの水蒸気量が同じであることが好ましい。In order to further reduce the interference effect of H 2 O, it is preferable that the amount of water vapor in the first gas and the amount of water vapor in the sample gas after passing through the dehumidifier are the same.

前記ガス分析装置の態様として、前記サンプルガスが内燃機関からの排ガスを含むものを挙げることができる。 As an embodiment of the gas analyzer, the sample gas may include exhaust gas from an internal combustion engine.

本発明のガス分析装置の校正方法は、サンプルガスに含まれる測定対象成分を分析するガス分析計と、前記ガス分析計に一端が接続され、前記ガス分析計にサンプルガスを導入するメイン流路と、前記メイン流路に設けられて、前記サンプルガスを冷却して除湿する除湿器と、前記メイン流路における前記除湿器又はその上流側に一端が接続され、前記ガス分析計の校正に用いられる第１ガスを前記メイン流路に供給する第１ガス流路とを含むガス分析計の校正方法であって、前記除湿器内に水分を加える加水ステップと、前記第１ガスを、前記除湿器を通過する際に、前記加水機構によって加えられた水分によって加湿する加湿ステップとを含むことを特徴とする。
このようなものであれば、前記したガス分析装置と同様の作用効果を奏し得る。A method of calibrating a gas analyzer according to the present invention includes a gas analyzer for analyzing a component to be measured contained in a sample gas, and a main flow path having one end connected to the gas analyzer and introducing the sample gas to the gas analyzer. and a dehumidifier provided in the main flow path for cooling and dehumidifying the sample gas, and one end connected to the dehumidifier in the main flow path or its upstream side, and used for calibrating the gas analyzer. a first gas flow path for supplying a first gas to the main flow path, the calibration method for a gas analyzer comprising: adding water to the dehumidifier; and a humidifying step of humidifying with moisture added by the water adding mechanism when passing through the vessel.
With such a device, the same effects as those of the gas analyzer described above can be obtained.

このように構成した本発明によれば、より短い時間でガス分析計を校正することができるガス分析装置を提供することができる。 According to the present invention configured in this way, it is possible to provide a gas analyzer capable of calibrating the gas analyzer in a shorter time.

本実施形態のガス分析装置の全体を示す流体回路図。1 is a fluid circuit diagram showing the entire gas analyzer of this embodiment. FIG. 同実施形態のガス分析装置のゼロ校正モードでのガスの流れを示す流体回路図。FIG. 2 is a fluid circuit diagram showing gas flow in the zero calibration mode of the gas analyzer of the same embodiment. 同実施形態のガス分析装置のスパン校正モードでのガスの流れを示す流体回路図。FIG. 2 is a fluid circuit diagram showing the flow of gas in the span calibration mode of the gas analyzer of the same embodiment; 同実施形態のガス分析装置のガス分析モードでの流れを示す流体回路図。FIG. 2 is a fluid circuit diagram showing the flow in the gas analysis mode of the gas analyzer of the same embodiment; 他の実施形態のガス分析装置の全体を示す流体回路図。FIG. 4 is a fluid circuit diagram showing the entire gas analyzer of another embodiment. 他の実施形態のガス分析装置の全体を示す流体回路図。FIG. 4 is a fluid circuit diagram showing the entire gas analyzer of another embodiment.

１００・・・ガス分析装置
１ ・・・ガス分析計
２ ・・・メイン流路
２２ ・・・除湿器
３ ・・・ゼロガス流路（加水機構）
４ ・・・スパンガス流路（第１ガス流路）DESCRIPTION OF SYMBOLS 100...Gas analyzer 1...Gas analyzer 2...Main flow path 22...Dehumidifier 3...Zero gas flow path (hydration mechanism)
4 ... span gas flow path (first gas flow path)

以下に本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

本実施形態に係るガス分析装置１００は、内燃機関（図示しない）の排ガスの一部をサンプリングしたサンプルガスを分析するものである。具体的には図１に示すように、サンプルガスに含まれる所定成分の濃度を測定するガス分析計１と、ガス分析計１にサンプルガスを導入するメイン流路２と、ゼロ校正用のゼロガス（本発明の「第２ガス」に相当する）をメイン流路２を介してガス分析計１に供給するゼロガス流路３（本発明の「加水機構」に相当する）と、スパン校正用のスパンガス（本発明の「第１ガス」に相当する）をメイン流路２を介してガス分析計１に供給するスパンガス流路４と、ガス分析計１に供給するガスを選択する供給ガス選択機構５とを具備するものである。なお、サンプルガスである排ガスは多量（約１００ｇ／ｍ３以上）の水蒸気を含んでいる。
以下、各部について説明する。A gas analyzer 100 according to this embodiment analyzes a sample gas obtained by sampling a part of exhaust gas from an internal combustion engine (not shown). Specifically, as shown in FIG. 1, there are a gas analyzer 1 for measuring the concentration of a predetermined component contained in the sample gas, a main flow path 2 for introducing the sample gas into the gas analyzer 1, and a zero gas for zero calibration. (corresponding to the "second gas" of the present invention) to the gas analyzer 1 through the main flow path 2, a zero gas flow path 3 (corresponding to the "hydraulic mechanism" of the present invention), A span gas channel 4 that supplies a span gas (corresponding to the "first gas" of the present invention) to the gas analyzer 1 via the main channel 2, and a supply gas selection mechanism that selects the gas to be supplied to the gas analyzer 1. 5. The exhaust gas, which is the sample gas, contains a large amount (approximately 100 g/m 3 or more) of water vapor.
Each part will be described below.

ガス分析計１は、サンプルガス中の測定対象成分である例えばＣＯやＣＯ２等の濃度を連続測定するものであり、具体的には非分散型赤外線分析計（ＮＤＩＲ）である。The gas analyzer 1 continuously measures the concentrations of components to be measured in the sample gas, such as CO and CO 2 , and is specifically a non-dispersive infrared analyzer (NDIR).

メイン流路２は、内燃機関等のサンプルガス導入源に接続されたサンプルガス導入ポート２１にその始端が接続されており、その終端がガス分析計１に接続されている。メイン流路２における上流側には、サンプルガス導入源からメイン流路２内にサンプルガスを吸引するためのポンプ２４と、吸引したサンプルガス中の煤やダスト等を除去するフィルタ２３が設けられている。メイン流路２におけるポンプ２４よりも下流側には減圧弁２５が設けられており、安定した圧力のサンプルガスをガス分析計１に供給できるようになっている。メイン流路２における減圧弁２５より下流側であってガス分析計１の上流側には、サンプルガスを除湿するための除湿器２２が設けられている。 The main flow path 2 has its starting end connected to a sample gas introduction port 21 connected to a sample gas introduction source such as an internal combustion engine, and its end connected to the gas analyzer 1 . On the upstream side of the main channel 2, there are provided a pump 24 for sucking the sample gas into the main channel 2 from the sample gas introduction source, and a filter 23 for removing soot, dust, etc. from the sucked sample gas. ing. A pressure reducing valve 25 is provided on the downstream side of the pump 24 in the main flow path 2 so as to supply a sample gas with a stable pressure to the gas analyzer 1 . A dehumidifier 22 for dehumidifying the sample gas is provided downstream of the pressure reducing valve 25 in the main flow path 2 and upstream of the gas analyzer 1 .

除湿器２２は、内部を通過するサンプルガスを冷却して結露させることにより除湿するものである。具体的には、ペルチェ効果を利用して冷却を行う電子冷却器である。除湿器２２の冷却温度Ｔｃは、サンプルガスの露点温度以下（ここでは１０℃以下の所定の温度）になるように設定されている。サンプルガスは除湿器２２を通過する際に、露点温度以下の冷却温度Ｔｃまで冷却されて結露し、含有する水蒸気量が冷却温度Ｔｃにおける飽和水蒸気量と等しくなるまで低下する。このように、除湿器２２は温度調整機構としての役割を果たすともいえる。The dehumidifier 22 dehumidifies the sample gas passing through it by cooling it and condensing it. Specifically, it is an electronic cooler that performs cooling using the Peltier effect. The cooling temperature Tc of the dehumidifier 22 is set to be lower than the dew point temperature of the sample gas (here, a predetermined temperature of 10° C. or lower). When the sample gas passes through the dehumidifier 22, it is cooled to the cooling temperature Tc below the dew point temperature to condense, and the amount of water vapor it contains decreases until it becomes equal to the saturated water vapor amount at the cooling temperature Tc . Thus, it can be said that the dehumidifier 22 serves as a temperature control mechanism.

ゼロガス流路３は、図示しないゼロガス供給源に接続されたゼロガス導入ポート３１にその始端が接続されており、メイン流路２における除湿器２２よりも上流側にある合流点Ｐにその終端が接続されている。ゼロガス供給源は、窒素や空気等のゼロガスを収容する高圧容器（ボンベ）や、当該高圧容器に取り付けられたレギュレータ等を含むものであり、ゼロガス流路３内を大気圧以上の一定圧力に保てるように構成されている。ゼロガス流路３には減圧弁３３が設けられており、安定した圧力のゼロガスをメイン流路２に供給できるようになっている。ゼロガス流路３における減圧弁３３より下流側には、ゼロガスを加湿するための加湿器３２が設けられている。 The zero gas channel 3 has its starting end connected to a zero gas introduction port 31 connected to a zero gas supply source (not shown), and its terminal end connected to a confluence point P upstream of the dehumidifier 22 in the main channel 2 . It is The zero gas supply source includes a high-pressure container (cylinder) containing a zero gas such as nitrogen or air, a regulator attached to the high-pressure container, etc., and can keep the inside of the zero gas channel 3 at a constant pressure higher than the atmospheric pressure. is configured as A pressure reducing valve 33 is provided in the zero gas channel 3 so that the zero gas of stable pressure can be supplied to the main channel 2 . A humidifier 32 for humidifying the zero gas is provided downstream of the pressure reducing valve 33 in the zero gas flow path 3 .

加湿器３２は、水槽に溜めた例えば純水内にガスを導入してバブリングすることでゼロガスを加湿するバブラ式のものである。加湿器３２内においてゼロガスは、含有する水蒸気量が除湿器２２の冷却温度Ｔｃにおける飽和水蒸気量よりも大きくなるように加湿される。具体的には、図示しないヒータによって水槽内の純水の温度は除湿器２２における冷却温度Ｔｃよりも高い加湿温度Ｔｈに保たれており、加湿器３２内においてゼロガスは、含有する水蒸気量が加湿温度Ｔｈにおける飽和水蒸気量と等しくなるまで加湿される。加湿器３２を通過した後のゼロガスが含む水蒸気量、すなわちゼロガス流路３からメイン流路２に供給されるゼロガスが含む水蒸気量は、スパンガスが含む水蒸気量よりも高くなっている。The humidifier 32 is of a bubbler type that introduces gas into, for example, pure water stored in a water tank and causes bubbling to humidify the zero gas. The zero gas is humidified in the humidifier 32 so that the contained water vapor amount is larger than the saturated water vapor amount at the cooling temperature Tc of the dehumidifier 22 . Specifically, the temperature of the pure water in the water tank is maintained at a humidification temperature T h that is higher than the cooling temperature T c in the dehumidifier 22 by a heater (not shown). is equal to the saturated water vapor amount at the humidification temperature T h . The amount of water vapor contained in the zero gas after passing through the humidifier 32, that is, the amount of water vapor contained in the zero gas supplied from the zero gas flow path 3 to the main flow path 2 is higher than the amount of water vapor contained in the span gas.

スパンガス流路４は、図示しないスパンガス供給源に接続されたスパンガス導入ポート４１にその終端が接続されており、メイン流路２における合流点Ｐにその終端が接続されている。スパンガス供給源は、濃度既知の測定対象成分（ＣＯやＣＯ２）を含むスパンガスを収容する高圧容器（ボンベ）や、当該高圧容器に取り付けられたレギュレータ等を含むものであり、スパンガス流路４内を大気圧以上の一定圧力に保てるように構成されている。スパンガス流路４には減圧弁４２が設けられており、安定した圧力のゼロガスをメイン流路２に供給できるようになっている。ゼロガス流路３とは異なり、スパンガス流路４にはバブラ等の加湿器が設けられておらず、スパンガス供給源から供給されたスパンガスは加湿器を介することなくメイン流路２に供給される。The span gas channel 4 is connected at its end to a span gas introduction port 41 connected to a span gas supply source (not shown), and is connected at its end to a confluence point P in the main channel 2 . The span gas supply source includes a high-pressure container (cylinder) containing a span gas containing components to be measured (CO and CO 2 ) with known concentrations, a regulator attached to the high-pressure container, and the like. is maintained at a constant pressure above atmospheric pressure. A pressure reducing valve 42 is provided in the span gas flow path 4 so that a stable pressure of zero gas can be supplied to the main flow path 2 . Unlike the zero gas channel 3, the span gas channel 4 is not provided with a humidifier such as a bubbler, and the span gas supplied from the span gas supply source is supplied to the main channel 2 without passing through the humidifier.

供給ガス選択機構５は、ゼロ校正モード、スパン校正モード及びガス分析モードの３つの動作モードを実行できるように構成されている。これらの動作モードを切り替えることで、ゼロガス、スパンガス及びサンプルガスのいずれをガス分析計１に供給するかを選択できるようになっている。本実施形態では、ゼロ校正モード・スパン校正モード・ガス分析モードの順にその動作モードを切り替えるように構成されている。 The supply gas selection mechanism 5 is configured to be able to execute three operation modes, a zero calibration mode, a span calibration mode, and a gas analysis mode. By switching these operation modes, it is possible to select which of zero gas, span gas and sample gas to supply to the gas analyzer 1 . In this embodiment, the operation modes are switched in the order of zero calibration mode, span calibration mode, and gas analysis mode.

具体的に供給ガス選択機構５は、メイン流路２における合流点Ｐより上流側に設けられた第１開閉弁５１ａと、ゼロガス流路３に設けられた第２開閉弁５１ｂと、スパンガス流路４に設けられた第３開閉弁５１ｃと、第１開閉弁５１ａ～第３開閉弁５１ｃの開閉状態を制御する弁制御部５２とを有している。第１開閉弁５１ａ～第３開閉弁５１ｃはいずれも電磁弁であり、通電時に開状態になるものである。 Specifically, the supply gas selection mechanism 5 includes a first on-off valve 51a provided upstream of the confluence P in the main flow path 2, a second on-off valve 51b provided in the zero gas flow path 3, and a span gas flow path. 4, and a valve control unit 52 for controlling the opening/closing states of the first to third opening/closing valves 51a to 51c. All of the first opening/closing valve 51a to the third opening/closing valve 51c are electromagnetic valves, which are opened when energized.

弁制御部５２は、第１開閉弁５１ａ～第３開閉弁５１ｃのそれぞれの開閉状態を制御するものである。構造的には、図示しないＣＰＵ、内部メモリ、Ｉ／Ｏバッファ回路、Ａ／Ｄコンバータ等を有した所謂コンピュータ回路である。内部メモリに格納されたプログラムに従ってＣＰＵ及びその周辺機器が協働動作し、供給ガス選択機構５をいずれかの動作モードで実行させる。
以下において各動作モードについて説明する。なお、各動作モードを実行する前の初期状態において、第１開閉弁５１ａ～第３開閉弁５１ｃはいずれも閉状態になっている。The valve control section 52 controls the opening/closing state of each of the first opening/closing valve 51a to the third opening/closing valve 51c. Structurally, it is a so-called computer circuit having a CPU, an internal memory, an I/O buffer circuit, an A/D converter, etc. (not shown). The CPU and its peripherals operate cooperatively according to the program stored in the internal memory, and the supply gas selection mechanism 5 is executed in one of operation modes.
Each operation mode will be described below. In the initial state before each operation mode is executed, the first opening/closing valve 51a to the third opening/closing valve 51c are all closed.

ガス選択機構５は、オペレータからの入力や別装置からのトリガー信号等の校正開始信号を受信すると、まずゼロ校正モードを実行する。図２に示すように、ゼロ校正モードでは、弁制御部５２は第２開閉弁５１ｂに電気信号を送り、第２開閉弁５１ｂを開状態にする。これにより、ゼロガス供給源から供給されたゼロガスは加湿器３２を通ってメイン流路２に供給され、除湿器２２を通ってガス分析計１に導かれ、ガス分析計１のゼロ校正が行われる。 When the gas selection mechanism 5 receives an input from an operator or a calibration start signal such as a trigger signal from another device, the gas selection mechanism 5 first executes the zero calibration mode. As shown in FIG. 2, in the zero calibration mode, the valve control unit 52 sends an electric signal to the second on-off valve 51b to open the second on-off valve 51b. As a result, the zero gas supplied from the zero gas supply source passes through the humidifier 32, is supplied to the main flow path 2, passes through the dehumidifier 22, is led to the gas analyzer 1, and the gas analyzer 1 is zero-calibrated. .

ここでゼロガスは、加湿器３２においてバブリングされて、加湿温度Ｔｈにおける飽和水蒸気量まで加湿される。そして加湿後のゼロガスは、除湿器２２において露点温度以下まで冷却され、冷却温度Ｔｃにおける飽和水蒸気量になるまで除湿される。この際、除去されるゼロガスの水蒸気は凝結して水になり、除湿器２２内で結露が起こる。Here, the zero gas is bubbled in the humidifier 32 and humidified to the saturated water vapor amount at the humidification temperature Th . After humidification, the zero gas is cooled to below the dew point temperature in the dehumidifier 22 and dehumidified until the amount of saturated water vapor at the cooling temperature Tc . At this time, the water vapor of the removed zero gas condenses into water, and dew condensation occurs inside the dehumidifier 22 .

ゼロ校正モードでゼロ校正が完了すると、続いてスパン校正モードを自動的に実行する。具体的には、図３に示すように、スパン校正モードでは、第２開閉弁５１ｂへの電気信号を遮断して第２開閉弁５１ｂを閉状態にするとともに、第３開閉弁５１ｃに電気信号を送り、第３開閉弁５１ｃを開状態にする。これによりスパンガス供給源から供給されたスパンガスはメイン流路２に供給され、除湿器２２を通ってガス分析計１に導かれ、ガス分析計１のスパン校正が行われる。 After zero calibration is completed in zero calibration mode, span calibration mode is automatically executed. Specifically, as shown in FIG. 3, in the span calibration mode, the electric signal to the second on-off valve 51b is shut off to close the second on-off valve 51b, and the electric signal to the third on-off valve 51c is closed. to open the third on-off valve 51c. As a result, the span gas supplied from the span gas supply source is supplied to the main flow path 2, is led to the gas analyzer 1 through the dehumidifier 22, and span calibration of the gas analyzer 1 is performed.

ここでスパンガスは、スパンガス流路４においてその水蒸気量が調節されず、メイン流路２における除湿器２２を通る際に加湿される。具体的には、ゼロガスを除湿することによって生じた水分が存在することにより、除湿器２２内は気液平衡状態になっており、除湿器２２内の気体の水蒸気量は冷却温度Ｔｃにおける飽和水蒸気量となるように保たれる。このような状態の除湿器２２内にスパンガスが導入されると、スパンガスは、含有する水蒸気量が冷却温度Ｔｃにおける飽和水蒸気量になるまで加湿される。このようにして、ガス分析計１に導入されるスパンガスの水蒸気量とゼロガスの水蒸気量とが等しくなる。Here, the span gas is humidified when passing through the dehumidifier 22 in the main flow path 2 without adjusting the amount of water vapor in the span gas flow path 4 . Specifically, due to the presence of moisture generated by dehumidifying the zero gas, the inside of the dehumidifier 22 is in a gas-liquid equilibrium state, and the amount of water vapor in the gas inside the dehumidifier 22 is saturated at the cooling temperature Tc . The water vapor content is maintained. When the span gas is introduced into the dehumidifier 22 in such a state, the span gas is humidified until the contained water vapor amount reaches the saturated water vapor amount at the cooling temperature Tc . In this way, the amount of water vapor in the span gas and the amount of water vapor in the zero gas introduced into the gas analyzer 1 become equal.

最後にガス分析モードについて説明する。
ガス選択機構５は、オペレータからの入力や別装置からのトリガー信号等の分析開始信号を受信するとガス分析モードを実行する。具体的には図４に示すように、ガス分析モードでは、第３開閉弁５１ｃへの電気信号を遮断して第３開閉弁５１ｃを閉状態にするとともに、第１開閉弁５１ａに電気信号を送り、第１開閉弁５１ａを開状態にする。これによりサンプル供給源から供給されたサンプルガスが除湿器２２を通ってガス分析計１に導かれる。Finally, the gas analysis mode will be explained.
The gas selection mechanism 5 executes the gas analysis mode when receiving an input from an operator or an analysis start signal such as a trigger signal from another device. Specifically, as shown in FIG. 4, in the gas analysis mode, the electric signal to the third on-off valve 51c is shut off to close the third on-off valve 51c, and the electric signal is applied to the first on-off valve 51a. Then, the first on-off valve 51a is opened. Thereby, the sample gas supplied from the sample supply source is led to the gas analyzer 1 through the dehumidifier 22 .

ここでサンプル供給源から供給されたサンプルガスは多量の水蒸気を含んでおり、除湿器２２において露点温度以下まで冷却され、冷却温度Ｔｃにおける飽和水蒸気量になるまで除湿される。このようにして、ガス分析計１に導入されるサンプルガスの水蒸気量は、ガス分析計１に導入されるゼロガス及びスパンガスの水蒸気量と等しくなる。The sample gas supplied from the sample supply source contains a large amount of water vapor, and is cooled to below the dew point temperature in the dehumidifier 22 and dehumidified until the amount of water vapor reaches saturation at the cooling temperature Tc . Thus, the amount of water vapor in the sample gas introduced into the gas analyzer 1 is equal to the amount of water vapor in the zero gas and span gas introduced into the gas analyzer 1 .

このように構成した本実施形態のガス分析装置１００によれば、サンプルガスの除湿のために用いられる除湿器２２を用いて校正ガスであるスパンガスを加湿するので、スパンガス流路４に加湿器を設ける必要がない。そのため、スパンガスの水蒸気量を調節するためには除湿器２２にさえ通せばよく、従来行なわれていた“加湿器で加湿する工程”を省略することができるので、スパンガスの水蒸気量の調節にかかる時間を短縮できる。さらに、スパンガス流路４に加湿器を設ける必要がないので、スパンガス流路４の長さを短くし、スパンガスがガス分析計１に導入されるまでの時間を短縮できる。その結果、ガス分析計１の校正に要する時間を短縮することができる。さらには、スパンガス流路４に加湿器を設ける必要がないので装置構成を簡略化でき、製造コストも削減できる。 According to the gas analyzer 100 of the present embodiment configured as described above, the span gas, which is the calibration gas, is humidified using the dehumidifier 22 used for dehumidifying the sample gas. No need to set. Therefore, in order to adjust the amount of water vapor in the span gas, it is only necessary to pass it through the dehumidifier 22, and the conventional "process of humidifying with a humidifier" can be omitted, so it is necessary to adjust the amount of water vapor in the span gas. Save time. Furthermore, since it is not necessary to provide a humidifier in the span gas flow path 4, the length of the span gas flow path 4 can be shortened and the time until the span gas is introduced into the gas analyzer 1 can be shortened. As a result, the time required for calibrating the gas analyzer 1 can be shortened. Furthermore, since it is not necessary to provide a humidifier in the span gas flow path 4, the device configuration can be simplified and the manufacturing cost can be reduced.

また、ガス分析計１に導入される校正ガスであるスパンガスとゼロガスの水蒸気量と、サンプルガスの水蒸気量の両方を、除湿器２２の冷却温度Ｔｃにおける飽和水蒸気量にすることができるのでＨ２Ｏによる干渉影響を大きく低減することもできる。In addition, both the amount of water vapor in the span gas and the zero gas, which are the calibration gases introduced into the gas analyzer 1, and the amount of water vapor in the sample gas can be made the amount of saturated water vapor at the cooling temperature Tc of the dehumidifier 22. Interference effects due to 2 O can also be greatly reduced.

なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。 It should be noted that the present invention is not limited to the above embodiments.

前記実施形態では、加湿したゼロガスを除湿器２２に通すことにより除湿器２２内で水分を生じさせ、この水分を利用してスパンガスを加湿していたがこれに限定されない。他の実施形態のガス分析装置１００は、図５に示すように、除湿器２２内を加湿するための加湿ガス（本発明の「第２ガス」に相当する）を除湿器２２に供給する加湿ガス流路６（本発明の「加水機構」に相当する）を更に有しており、この加湿ガスを除湿器２２内に通すことにより除湿器２２内で水分を生じさせるようにしてもよい。この場合、加湿ガスが含有する水蒸気量は冷却温度Ｔｃにおける飽和水蒸気量よりも大きい。このようなものであれば、除湿器２２内に加湿ガスを通した後、ゼロガス及びスパンガスを除湿器２２内に通すことにより、冷却温度Ｔｃにおける飽和水蒸気量になるまで加湿することができる。このような構成であれば、ゼロガス流路３及びスパンガス流路４のいずれにも加湿器３２を設ける必要がなくなる。これにより、ゼロガス及びスパンガスを所望の水蒸気量に調節するのに、除湿器２２において加湿だけすればよいので、校正にかかる時間をより一層短縮できる。In the above embodiment, moisture is generated in the dehumidifier 22 by passing the humidified zero gas through the dehumidifier 22, and the moisture is used to humidify the span gas, but the present invention is not limited to this. A gas analyzer 100 of another embodiment, as shown in FIG. It further has a gas flow path 6 (corresponding to the "water adding mechanism" of the present invention), and by passing this humidified gas through the dehumidifier 22, moisture may be generated in the dehumidifier 22. In this case, the amount of water vapor contained in the humidified gas is greater than the amount of saturated water vapor at the cooling temperature Tc . With such a device, after passing the humidified gas through the dehumidifier 22, the zero gas and the span gas can be passed through the dehumidifier 22 to humidify until the amount of saturated water vapor at the cooling temperature Tc . With such a configuration, it is not necessary to provide the humidifier 32 in either the zero gas flow path 3 or the span gas flow path 4 . As a result, only humidification in the dehumidifier 22 is required to adjust the zero gas and the span gas to the desired water vapor amounts, so the time required for calibration can be further shortened.

また別の実施形態のガス分析装置１００では、除湿器２２内に水分を加える加水機構を複数備えてもよい。例えば、図６に示すように、加水機構として、加湿器３２を備えるゼロガス流路３と、除湿器２２内を加湿するための加湿ガスを除湿器２２内に供給する補助加湿流路７とを有してもよい。このような構成であれば、例えば、ゼロガス流路３２から供給されたゼロガスによって除湿器２２内が十分に加湿されなかった場合に、補助加湿流路７から加湿ガスを供給することにより、除湿器２２内を所望の湿度に調節することが可能になる。 Further, the gas analyzer 100 of another embodiment may be provided with a plurality of hydration mechanisms for adding moisture inside the dehumidifier 22 . For example, as shown in FIG. 6, a zero gas flow path 3 having a humidifier 32 and an auxiliary humidification flow path 7 for supplying a humidified gas for humidifying the inside of the dehumidifier 22 to the inside of the dehumidifier 22 are provided as a hydration mechanism. may have. With such a configuration, for example, when the inside of the dehumidifier 22 is not sufficiently humidified by the zero gas supplied from the zero gas flow path 32, by supplying the humidified gas from the auxiliary humidification flow path 7, the dehumidifier It becomes possible to adjust the inside of 22 to a desired humidity.

前記実施形態ではゼロガス流路３に加湿器３２が設けられ、スパンガス流路４に加湿器が設けられていなかったがこれに限らない。他の実施形態では、スパンガス流路４に加湿器が設けられ、ゼロガス流路３に加湿器が設けられなくてもよい。すなわち、ゼロガス流路３を本発明でいう第１ガス流路とし、スパンガス流路４を本発明でいう加湿機構としてもよい。この場合、ガス選択機構５は、オペレータからの入力や別装置からのトリガー信号等の校正開始信号を受信すると、まずスパン校正モードを実行し、その後ガス校正モードを実行する。 Although the humidifier 32 is provided in the zero gas flow path 3 and the humidifier is not provided in the span gas flow path 4 in the above embodiment, the present invention is not limited to this. In other embodiments, the span gas flow path 4 may be provided with a humidifier and the zero gas flow path 3 may not be provided with a humidifier. That is, the zero gas flow path 3 may be the first gas flow path of the present invention, and the span gas flow path 4 may be the humidification mechanism of the present invention. In this case, when the gas selection mechanism 5 receives an input from the operator or a calibration start signal such as a trigger signal from another device, first the span calibration mode is executed, and then the gas calibration mode is executed.

また他の実施形態のガス分析装置１００では、除湿器２２内に水分を加える加水機構として、前記したゼロガス流路３やスパンガス流路４や加湿ガス流路６を備えるものではなく、除湿器２２内に水を直接供給し得る構成を挙げることができる。具体的に加水機構は、例えば、除湿器２２内に水を供給するスポイトや容器等を含む構成としてもよい。 Further, in the gas analyzer 100 of another embodiment, the dehumidifier 22 is not provided with the zero gas flow path 3, the span gas flow path 4, or the humidified gas flow path 6 as a hydration mechanism for adding moisture to the inside of the dehumidifier 22. A configuration in which water can be directly supplied can be mentioned. Specifically, the hydrating mechanism may be configured to include, for example, a dropper, a container, or the like that supplies water into the dehumidifier 22 .

前記実施形態では、除湿器２２はペルチェ効果を利用して冷却を行う電子冷却器であったがこれに限定されない。他の実施形態では、除湿器２２は、冷媒が流れる冷却管が筐体内に複数本設けられており、除湿器２２内に導入されたガスを当該冷却管の外面に接触させて熱交換させることにより、露点温度以下の冷却温度Ｔｃまで冷却するものであってもよい。In the above embodiment, the dehumidifier 22 is an electronic cooler that performs cooling using the Peltier effect, but is not limited to this. In another embodiment, the dehumidifier 22 is provided with a plurality of cooling pipes through which a refrigerant flows in the housing, and the gas introduced into the dehumidifier 22 is brought into contact with the outer surface of the cooling pipe to exchange heat. may be cooled to a cooling temperature Tc that is equal to or lower than the dew point temperature.

前記実施形態では、スパンガス流路４とゼロガス流路３はともに合流点Ｐにおいてメイン流路２に接続していたがこれに限らない。他の実施形態では、別々の合流点でメイン流路２に接続してもよい。またスパンガス流路４及びゼロガス流路３は、メイン流路２における除湿器２２より上流側に一端が接続されていたが、これに限らず除湿器２２に一端が接続されていてもよい。 In the above embodiment, both the span gas flow path 4 and the zero gas flow path 3 are connected to the main flow path 2 at the confluence point P, but this is not restrictive. In other embodiments, they may connect to the main flow path 2 at separate junctions. The span gas flow path 4 and the zero gas flow path 3 are connected at one end to the upstream side of the dehumidifier 22 in the main flow path 2, but may be connected at one end to the dehumidifier 22 without being limited to this.

他の実施形態のガス分析装置１００は、メイン流路２における除湿器２２よりも下流側に設けられ、流れるガスの相対湿度を測定する湿度計と、除湿器２２内に水分を補給する水分補給機構とをさらに備えてもよい。水分補給機構は、メイン流路２における除湿器２２よりも下流側を流れるガスの相対湿度を除湿器２２から受信し、スパンガスの相対湿度が設定した所定の値よりも低い場合に、除湿器２２内に水分を供給するようにしてよい。このようなものであれば、より確実にＨ２Ｏによる干渉影響を低減できる。The gas analyzer 100 of another embodiment is provided downstream of the dehumidifier 22 in the main flow path 2, and includes a hygrometer that measures the relative humidity of the flowing gas and a hydrating device that replenishes the dehumidifier 22 with moisture. A mechanism may further be provided. The hydration mechanism receives the relative humidity of the gas flowing downstream of the dehumidifier 22 in the main flow path 2 from the dehumidifier 22, and when the relative humidity of the span gas is lower than the set predetermined value, the dehumidifier 22 You may make it supply water inside. With such a structure, the interference effect of H 2 O can be reduced more reliably.

前記実施形態においてガス分析計１はＮＤＩＲであったがこれに限定されない。ガス分析計１は測定対象成分に応じて適宜変更されてもよく、硫黄化合物を測定対象とする場合は非分散型紫外線ガス分析計（ＮＤＵＶ）、Ｏ２を測定対象とする場合は磁気式酸素計、ＮＯｘを測定対象とする場合は化学発光式窒素酸化物分析計（ＣＬＤ式ＮＯｘ計）、ＴＨＣ（炭化水素）を測定対象とする場合は水素塩イオン化検出器（ＦＩＤ）が用いられてもよい。Although the gas analyzer 1 is NDIR in the above embodiment, it is not limited to this. The gas analyzer 1 may be appropriately changed according to the component to be measured, and a non-dispersive ultraviolet gas analyzer (NDUV) is used when sulfur compounds are to be measured, and a magnetic oxygen analyzer is used when O 2 is to be measured. A chemiluminescence nitrogen oxide analyzer (CLD type NOx meter) is used when measuring NOx, and a hydride ionization detector (FID) is used when THC (hydrocarbon) is used. good.

その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。 In addition, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and it goes without saying that various modifications are possible without departing from the spirit of the present invention.

本発明によれば、より短い時間でガス分析計を校正することができるガス分析装置を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a gas analyzer capable of calibrating a gas analyzer in a shorter time.

Claims (4)

内燃機関からの排ガスを含むサンプルガスに含まれる測定対象成分を分析するガス分析計を備えるガス分析装置であって、
前記ガス分析計に一端が接続され、開状態にすることで前記サンプルガスを前記ガス分析計に導入する開閉弁を介して前記ガス分析計に前記サンプルガスを導入するメイン流路と、
前記メイン流路における前記開閉弁の下流側に設けられて、前記サンプルガスを冷却して除湿する除湿器と、
前記メイン流路における前記除湿器の上流側であって、かつ前記開閉弁の下流側に一端が接続され、前記ガス分析計のスパン校正に用いられるスパンガスを前記メイン流路に供給するスパンガス流路と、
前記メイン流路における前記除湿器の上流側であって、かつ前記開閉弁の下流側に一端が接続され、前記ガス分析計のゼロ校正に用いられるゼロガスを前記メイン流路に供給するゼロガス流路と、
前記ゼロガス流路における前記メイン流路との接続点より上流側に設けられ、前記ゼロガスを加湿する加湿器と、を備え、
前記ゼロガスが、前記除湿器を通過する際に除湿され、
前記スパンガスが、前記除湿器を通過する際に、前記ゼロガスが除湿されることで生じた水分によって加湿されるガス分析装置。 A gas analyzer comprising a gas analyzer for analyzing a measurement target component contained in a sample gas containing exhaust gas from an internal combustion engine ,
a main flow path that introduces the sample gas into the gas analyzer through an on-off valve that is connected at one end to the gas analyzer and opens to introduce the sample gas into the gas analyzer;
a dehumidifier provided on the downstream side of the on-off valve in the main flow path to cool and dehumidify the sample gas;
A span gas having one end connected to the upstream side of the dehumidifier in the main flow path and the downstream side of the on-off valve , and supplying the span gas used for span calibration of the gas analyzer to the main flow path a flow path;
A zero gas flow path which is upstream of the dehumidifier in the main flow path and connected at one end to a downstream side of the on-off valve, and which supplies zero gas used for zero calibration of the gas analyzer to the main flow path. and,
a humidifier provided upstream from a connection point of the zero gas flow path with the main flow path and humidifying the zero gas ;
the zero gas is dehumidified when passing through the dehumidifier;
A gas analyzer in which the span gas is humidified by moisture generated by the dehumidification of the zero gas when passing through the dehumidifier. 前記加湿器がバブラ式のものである請求項１記載のガス分析装置。 2. A gas analyzer according to claim 1 , wherein said humidifier is of a bubbler type. 前記除湿器を通過した後の、前記スパンガスの水蒸気量と前記サンプルガスの水蒸気量が同じである、請求項１又は２記載のガス分析装置。 3. The gas analyzer according to claim 1 , wherein the amount of water vapor in said span gas and the amount of water vapor in said sample gas after passing through said dehumidifier are the same. 内燃機関からの排ガスを含むサンプルガスに含まれる測定対象成分を分析するガス分析計と、前記ガス分析計に一端が接続され、開状態にすることで前記サンプルガスを前記ガス分析計に導入する開閉弁を介して前記ガス分析計に前記サンプルガスを導入するメイン流路と、前記メイン流路における前記開閉弁の下流側に設けられて、前記サンプルガスを冷却して除湿する除湿器と、前記メイン流路における前記除湿器の上流側であって、かつ前記開閉弁の下流側に一端が接続され、前記ガス分析計のスパン校正に用いられるスパンガスを前記メイン流路に供給するスパンガス流路と、前記メイン流路における前記除湿器の上流側であって、かつ前記開閉弁の下流側に一端が接続され、前記ガス分析計のゼロ校正に用いられるゼロガスを前記メイン流路に供給するゼロガス流路と、前記ゼロガス流路における前記メイン流路との接続点より上流側に設けられ、前記ゼロガスを加湿する加湿器と、を含むガス分析計の校正方法であって、
前記ゼロガスを前記加湿器に通して加湿するステップと、
前記ゼロガスを前記除湿器に通して除湿することで、前記除湿器内に水分を加える加水ステップと、
前記スパンガスを、前記除湿器を通過する際に、前記加水ステップによって加えられた水分によって加湿する加湿ステップと、を含むガス分析装置の校正方法。 A gas analyzer for analyzing a component to be measured contained in a sample gas containing exhaust gas from an internal combustion engine , and one end connected to the gas analyzer and opened so that the sample gas is introduced into the gas analyzer. a main channel for introducing the sample gas into the gas analyzer via an on-off valve ; and a dehumidifier provided downstream of the on-off valve in the main channel for cooling and dehumidifying the sample gas. , a span that is upstream of the dehumidifier in the main flow path and has one end connected to the downstream side of the on-off valve , and supplies span gas used for span calibration of the gas analyzer to the main flow path A gas flow path, one end of which is connected to the upstream side of the dehumidifier in the main flow path and the downstream side of the on-off valve, and the zero gas used for zero calibration of the gas analyzer is supplied to the main flow path. A method for calibrating a gas analyzer, comprising: a zero gas flow path to be supplied; and a humidifier provided upstream of a connection point between the zero gas flow path and the main flow path to humidify the zero gas,
humidifying the zero gas through the humidifier;
a hydration step of adding moisture to the inside of the dehumidifier by dehumidifying the zero gas through the dehumidifier ;
a humidifying step of humidifying the span gas with moisture added in the adding step when passing through the dehumidifier.
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