JP7285173B2 - Constant pressure liquid supply device - Google Patents

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ここに開示する技術は、液の噴出孔を有する対象物に、液を供給する定圧液供給装置に関する。 The technology disclosed herein relates to a constant-pressure liquid supply device that supplies liquid to an object having liquid ejection holes.

特許文献１には、工作機械のクーラント供給装置が記載されている。クーラント供給装置は、工作機械に接続される。クーラント供給装置は、工作機械に一定の圧力のクーラントを供給する。 Patent Literature 1 describes a coolant supply device for a machine tool. A coolant supply is connected to the machine tool. The coolant supply device supplies constant pressure coolant to the machine tool.

特許文献１に記載されたクーラント供給装置は、ポンプと、電動モータと、圧力センサと、コントローラとを備えている。ポンプは、クーラントを吐出する。電動モータは、ポンプを運転する。圧力センサは、ポンプが吐出したクーラントの吐出圧力を検出する。コントローラは、圧力センサの検出値に基づいて、ポンプの吐出圧力が目標圧力となるように、インバータ回路がモータへ出力する周波数を制御する。 A coolant supply device described in Patent Document 1 includes a pump, an electric motor, a pressure sensor, and a controller. The pump delivers coolant. An electric motor drives the pump. The pressure sensor detects the discharge pressure of the coolant discharged by the pump. The controller controls the frequency output from the inverter circuit to the motor based on the value detected by the pressure sensor so that the discharge pressure of the pump becomes the target pressure.

特許文献１に記載されたクーラント供給装置は、圧力センサが検出した吐出圧力に基づく圧力フィードバック制御を行っている。圧力センサの信号は、工作機械におけるクーラントの配管の圧力損失の影響を受けて、変化する場合がある。また、圧力センサの信号は、工作機械における加工状況が変わることに伴い変化する場合もある。圧力センサの信号は、様々な影響を受けて変化する。クーラント供給装置は、様々な工作機械に接続される。このため、様々な工作機械に対応できるように、圧力フィードバック制御の制御定数を一つの定数に定めることは、極めて困難である。 The coolant supply device described in Patent Document 1 performs pressure feedback control based on the discharge pressure detected by the pressure sensor. The signal of the pressure sensor may change under the influence of pressure loss in coolant pipes in the machine tool. Moreover, the signal of the pressure sensor may change as the machining conditions in the machine tool change. The pressure sensor signal changes under various influences. Coolant supplies are connected to various machine tools. Therefore, it is extremely difficult to set a single control constant for pressure feedback control so as to be compatible with various machine tools.

本願発明者は、クーラント供給装置においては、電動モータの実トルクとポンプの吐出圧力とが比例関係にあることを見いだした。この知見から、本願発明者は、電動モータの実トルクに基づいて、ポンプの吐出圧力を調節するクーラント供給装置を提案している（特許文献２参照）。 The inventor of the present application found that in a coolant supply device, the actual torque of the electric motor and the discharge pressure of the pump are in a proportional relationship. Based on this knowledge, the inventor of the present application has proposed a coolant supply device that adjusts the discharge pressure of the pump based on the actual torque of the electric motor (see Patent Document 2).

電動モータの回転速度が上昇し、それに伴い容積式のポンプの回転速度が上昇すると、ポンプの吐出流量が高まる。工作機械の工具は、クーラントが噴出する孔を有している。このため、ポンプの吐出流量が高まるに従い、ポンプの吐出圧力も高まる。容積式のポンプの吐出圧力が高まるに従い、電動モータの実トルクも高まる。従って、電動モータの実トルクとポンプの吐出圧力とは比例関係にある。 When the rotation speed of the electric motor increases and the rotation speed of the positive displacement pump accordingly increases, the discharge flow rate of the pump increases. Machine tool tools have holes through which coolant is ejected. Therefore, as the discharge flow rate of the pump increases, the discharge pressure of the pump also increases. As the discharge pressure of the positive displacement pump increases, the actual torque of the electric motor also increases. Therefore, there is a proportional relationship between the actual torque of the electric motor and the discharge pressure of the pump.

特許文献２に記載されたクーラント供給装置のコントローラは、電動モータの実トルクとポンプの吐出圧力との関係を定めたテーブル又は関係式を有している。コントローラは、テーブル又は関係式に基づいて、電動モータの実トルクが目標トルクとなるように、電動モータを制御する。その結果、ポンプの吐出圧力が、目標圧力になる。電動モータの実トルクは、例えばインバータの出力電流から算出される出力トルクで代用できる。トルクフィードバック制御を行うクーラント供給装置は、圧力センサが不要であり、装置構成を簡略化できるという利点がある。また、圧力センサの信号を利用しないため、トルクフィードバック制御の制御定数は、一つの定数に定めることができる。 The controller of the coolant supply device described in Patent Document 2 has a table or a relational expression that defines the relationship between the actual torque of the electric motor and the discharge pressure of the pump. The controller controls the electric motor based on the table or the relational expression so that the actual torque of the electric motor becomes the target torque. As a result, the discharge pressure of the pump becomes the target pressure. The actual torque of the electric motor can be substituted with the output torque calculated from the output current of the inverter, for example. A coolant supply device that performs torque feedback control does not require a pressure sensor, and has the advantage of being able to simplify the device configuration. Moreover, since the signal of the pressure sensor is not used, the control constant of the torque feedback control can be set to one constant.

特開２００４－３６４２１号公報JP-A-2004-36421 特開２００９－２１５９３５号公報JP 2009-215935 A

前述したように、トルクフィードバック制御を行うクーラント供給装置は、特定の制御定数を有している。制御定数は予め調整されている。 As described above, the coolant supply with torque feedback control has specific control constants. The control constants are pre-adjusted.

ところが、クーラント供給装置が工作機械に接続されると、ポンプは、工作機械における配管の圧力損失の影響を受ける。 However, when the coolant supply device is connected to the machine tool, the pump is affected by pressure loss in piping in the machine tool.

前述したように、クーラント供給装置は、様々な工作機械に接続される。通常、クーラント供給装置は、クーラント供給装置の専業メーカから工作機械のユーザーへ販売され、工作機械と接続して使用される場合が多い。工作機械におけるクーラントの配管構成は、工作機械毎に異なる。そのため、配管の圧力損失は、工作機械毎に相違する。しかし、専業メーカから出荷されるクーラント供給装置におけるトルクフィードバック制御の制御定数は、配管の圧力損失の相違を考慮せずに定められる。そのため、クーラント供給装置が工作機械に接続されると、ポンプの吐出圧力が目標圧力からずれる場合がある。つまり、定常偏差が発生する場合がある。 As previously mentioned, coolant supplies are connected to various machine tools. In many cases, a coolant supply device is usually sold to a user of a machine tool by a specialized manufacturer of the coolant supply device, and used in connection with the machine tool. The coolant piping configuration in a machine tool differs from machine tool to machine tool. Therefore, the pressure loss of piping differs for each machine tool. However, the control constants of torque feedback control in coolant supply devices shipped from specialized manufacturers are determined without considering the difference in pressure loss in piping. Therefore, when the coolant supply device is connected to the machine tool, the discharge pressure of the pump may deviate from the target pressure. That is, a steady-state deviation may occur.

また、工作機械における加工状況が変化すると、配管内を流れるクーラントの圧力及び／又は流量が変わる。トルクフィードバック制御の制御定数は、加工状況の変化を考慮せずに定められる。そのため、工作機械が加工を行っている最中に、ポンプの吐出圧力が目標圧力からずれる場合がある。 In addition, when the machining conditions in the machine tool change, the pressure and/or flow rate of the coolant flowing through the piping changes. Control constants for torque feedback control are determined without considering changes in machining conditions. Therefore, the discharge pressure of the pump may deviate from the target pressure while the machine tool is machining.

尚、この問題は、工作機械用のクーラント供給装置に限らず、洗浄装置用の洗浄液供給装置も同様に有している。洗浄装置とは、工作機械によって加工された加工品を洗浄するために、所定圧力の洗浄液を加工品に供給する装置である。クーラント供給装置及び洗浄液供給装置は共に、対象物に、所定圧力の液を供給する定圧液供給装置である。 This problem is not limited to coolant supply devices for machine tools, but also cleaning liquid supply devices for cleaning equipment. A cleaning device is a device that supplies a cleaning fluid of a predetermined pressure to a workpiece machined by a machine tool in order to clean the workpiece. Both the coolant supply device and the cleaning liquid supply device are constant-pressure liquid supply devices that supply liquid at a predetermined pressure to the object.

ここに開示する技術は、トルクフィードバック制御を行う定圧液供給装置において、ポンプの吐出圧力が目標圧力からずれることを抑制する。 The technology disclosed herein suppresses deviation of the discharge pressure of the pump from the target pressure in a constant-pressure liquid supply device that performs torque feedback control.

具体的にここに開示する技術は、対象装置に接続されかつ、前記対象装置に液を供給する定圧液供給装置に係る。 Specifically, the technology disclosed herein relates to a constant pressure liquid supply device that is connected to a target device and that supplies liquid to the target device.

前記対象装置は、液の噴出孔を有する対象物と、液の圧力に対応した信号を出力するセンサとを備えている。 The target device includes an object having a liquid ejection hole and a sensor that outputs a signal corresponding to the pressure of the liquid.

前記定圧液供給装置は、
液を吐出する容積式のポンプ本体、及び 前記ポンプ本体に連結されかつ、前記ポンプ本体を運転する電動モータを含むポンプ部と、
前記電動モータの回転速度を変更させるインバータと、
前記インバータを通じて前記ポンプ部を制御するコントローラと、を備え、
前記コントローラは、少なくとも、前記電動モータの実トルクに関連する第１パラメータと、前記ポンプ部の吐出圧力と、の関係を定めたテーブル又は関係式を有しかつ、前記第１パラメータをフィードバックしながら、前記ポンプ部の吐出圧力が目標圧力となるように、前記テーブル又は前記関係式に従い前記電動モータを制御するトルクフィードバック制御を行い、
前記コントローラはまた、前記センサが出力する信号を受けかつ、前記液の圧力が目標圧力となるように前記電動モータを制御する圧力フィードバック制御を行う。 The constant pressure liquid supply device
a pump unit including a positive displacement pump body for discharging liquid and an electric motor coupled to said pump body and for driving said pump body;
an inverter that changes the rotation speed of the electric motor;
a controller that controls the pump unit through the inverter,
The controller has at least a table or a relational expression defining a relationship between a first parameter related to the actual torque of the electric motor and the discharge pressure of the pump section, and feeds back the first parameter. performing torque feedback control for controlling the electric motor according to the table or the relational expression so that the discharge pressure of the pump unit becomes the target pressure;
The controller also receives a signal output from the sensor and performs pressure feedback control to control the electric motor so that the pressure of the liquid reaches a target pressure.

コントローラは、トルクフィードバック制御を行う。定圧液供給装置において、電動モータの実トルクとポンプ部の吐出圧力とは比例関係にある。トルクフィードバック制御は、電動モータの実トルクに関連する第１パラメータをフィードバックしながら、ポンプ部の吐出圧力が目標圧力となるように電動モータを運転する制御である。トルクフィードバック制御は圧力センサの信号を用いない。トルクフィードバック制御の制御定数は、一つの定数に定められる。尚、トルクフィードバック制御の制御定数は、定圧液供給装置が接続される対象装置の構成の影響、及び、対象装置の動作の影響を考慮せずに定められる。 The controller performs torque feedback control. In the constant-pressure liquid supply device, the actual torque of the electric motor and the discharge pressure of the pump are in a proportional relationship. Torque feedback control is control that operates the electric motor so that the discharge pressure of the pump unit reaches the target pressure while feeding back the first parameter related to the actual torque of the electric motor. Torque feedback control does not use pressure sensor signals. A control constant for torque feedback control is set to one constant. Note that the control constant of the torque feedback control is determined without considering the influence of the configuration of the target device to which the constant-pressure liquid supply device is connected and the influence of the operation of the target device.

コントローラがトルクフィードバック制御を行うと、ポンプ部が対象装置の構成の影響、及び、対象装置の動作の影響を受けることによって、ポンプ部の吐出圧力が目標圧力からずれる場合がある。 When the controller performs torque feedback control, the discharge pressure of the pump unit may deviate from the target pressure due to the influence of the configuration of the target device and the operation of the target device.

コントローラはまた、圧力フィードバック制御を行う。圧力フィードバック制御は、対象装置のセンサの信号をフィードバックしながら、ポンプ部の吐出圧力が目標圧力となるように電動モータを運転する制御である。圧力フィードバック制御は対象装置のセンサの信号に基づくため、コントローラは、対象装置の構成の影響、及び、対象装置の動作の影響を含めて、電動モータを制御できる。液の圧力は、目標圧力になる。 The controller also provides pressure feedback control. The pressure feedback control is a control to operate the electric motor so that the discharge pressure of the pump unit becomes the target pressure while feeding back the signal of the sensor of the target device. Because the pressure feedback control is based on the signal of the target device's sensor, the controller can control the electric motor including the effects of the configuration of the target device and the effects of the operation of the target device. The liquid pressure becomes the target pressure.

コントローラは、トルクフィードバック制御と、圧力フィードバック制御との両方を行う。このことによって、定圧液供給装置は、様々な対象装置に対して、目標圧力の液を、安定して供給できる。 The controller performs both torque feedback control and pressure feedback control. As a result, the constant-pressure liquid supply device can stably supply the liquid at the target pressure to various target devices.

また、対象装置が有するセンサを利用するため、定圧液供給装置はセンサが不要である。定圧液供給装置の構成は、簡易である。 Further, since the sensor of the target device is used, the constant-pressure liquid supply device does not require a sensor. The configuration of the constant pressure liquid supply device is simple.

前記コントローラは、前記センサが出力する信号に基づく前記液の圧力と、前記目標圧力との偏差が所定以上である状態が、所定時間継続した場合に、前記圧力フィードバック制御を行う、としてもよい。 The controller may perform the pressure feedback control when a deviation between the pressure of the liquid based on the signal output by the sensor and the target pressure is equal to or greater than a predetermined value and continues for a predetermined time.

コントローラは、基本的に、電動モータをトルクフィードバック制御する。定圧液供給装置は、対象装置に対して、目標圧力の液を安定的に供給する。トルクフィードバック制御中に、圧力の偏差が所定以上である状態が、所定時間継続すると、コントローラは、圧力フィードバック制御を行う。定常偏差が生じていても、圧力フィードバック制御の実行によって、液の圧力は目標圧力に変わる。定圧液供給装置は、様々な対象装置に対して、目標圧力の液を安定的に供給できる。また、定圧液供給装置は、対象装置の動作状況が変わっても、目標圧力の液を安定的に供給できる。 The controller basically performs torque feedback control of the electric motor. The constant-pressure liquid supply device stably supplies liquid at a target pressure to the target device. During torque feedback control, when a state in which the pressure deviation is equal to or greater than a predetermined value continues for a predetermined time, the controller performs pressure feedback control. Even if a steady-state deviation occurs, the liquid pressure changes to the target pressure by executing the pressure feedback control. A constant-pressure liquid supply device can stably supply liquid at a target pressure to various target devices. In addition, the constant-pressure liquid supply device can stably supply the liquid at the target pressure even if the operating conditions of the target device change.

前記コントローラは、前記定圧液供給装置の起動から第２所定時間が経過するまで、前記圧力フィードバック制御を禁止する、としてもよい。 The controller may prohibit the pressure feedback control until a second predetermined time period has elapsed since the constant pressure liquid supply device was activated.

定圧液供給装置の起動時は、液の圧力が目標圧力にまで高まっていない。センサの信号に基づく液の圧力と、目標圧力との偏差が大きい。定圧液供給装置の起動時に、圧力フィードバック制御を実行すると、オーバーシュート又はハンチングが生じることによって、電動モータの運転が不安定になる恐れがある。 When the constant-pressure liquid supply device is activated, the liquid pressure has not yet reached the target pressure. There is a large deviation between the liquid pressure based on the sensor signal and the target pressure. If pressure feedback control is executed when the constant-pressure liquid supply device is started, overshooting or hunting may occur, resulting in unstable operation of the electric motor.

定圧液供給装置の起動の際に、コントローラは圧力フィードバック制御を行わない。このことによって、電動モータの運転は不安定にならない、又は、なりにくい。 During activation of the constant pressure liquid supply, the controller does not provide pressure feedback control. As a result, the operation of the electric motor does not become unstable or becomes less likely.

前記コントローラは、前記第１パラメータと、前記ポンプ部の回転速度である第２パラメータと、前記ポンプ部の吐出圧力と、の関係を定めたテーブル又は関係式を有し、
前記コントローラは、前記第１パラメータと前記第２パラメータとをフィードバックしながら、前記ポンプ部の吐出圧力が目標圧力となるように、前記テーブル又は前記関係式に従い前記電動モータを制御するトルクフィードバック制御を行う、としてもよい。 The controller has a table or a relational expression that defines the relationship between the first parameter, the second parameter that is the rotation speed of the pump section, and the discharge pressure of the pump section,
The controller performs torque feedback control for controlling the electric motor according to the table or the relational expression so that the discharge pressure of the pump unit becomes a target pressure while feeding back the first parameter and the second parameter. You can do it.

コントローラは、第１パラメータと、第２パラメータと、ポンプ部の吐出圧力との関係を定めたテーブル又は関係式を有している。第１パラメータは、前述したように、電動モータの実トルクに関連する。第２パラメータは、ポンプ部の回転速度である。特許文献２に記載された従来の装置は、電動モータの実トルクとポンプ部の吐出圧力との関係を定めたテーブル又は関係式を有している。前記の定圧液供給装置のテーブル又は関係式には、従来と比較して、ポンプ部の回転速度である第２パラメータが追加されている。尚、ポンプ部の回転速度は、電動モータの回転速度であると共に、ポンプ本体の回転速度である。 The controller has a table or relational expression that defines the relationship between the first parameter, the second parameter, and the discharge pressure of the pump section. The first parameter relates to the actual torque of the electric motor, as described above. The second parameter is the rotational speed of the pump section. The conventional device described in Patent Document 2 has a table or a relational expression that defines the relationship between the actual torque of the electric motor and the discharge pressure of the pump section. A second parameter, which is the rotation speed of the pump section, is added to the table or relational expression of the constant-pressure liquid supply device as compared with the conventional one. The rotational speed of the pump portion is the rotational speed of the electric motor and the rotational speed of the pump main body.

ポンプ部の回転速度をテーブル又は関係式に加えることによって、容積式のポンプ本体の特性が、テーブル又は関係式に反映される。ポンプ本体の特性とは、容積式のポンプ本体は、回転速度が低くなると容積効率が低下するという特性である。また、電動モータの特性も、テーブル又は関係式に反映される。電動モータの特性とは、例えばインバータ専用モータは、同一トルクを出力していても、その回転速度の高い場合と低い場合とでは、インバータの出力電流値が相違するという特性である。コントローラは、テーブル又は関係式に従って、ポンプ部の吐出圧力を、目標圧力に、適切に調節できる。 By adding the rotational speed of the pump section to the table or equation, the characteristics of the positive displacement pump body are reflected in the table or equation. The characteristic of the pump body is that the volumetric efficiency of the positive displacement pump body decreases as the rotation speed decreases. Also, the characteristics of the electric motor are reflected in the table or the relational expression. The characteristic of an electric motor is, for example, that even if an inverter-only motor outputs the same torque, the output current value of the inverter differs depending on whether the rotation speed is high or low. The controller can appropriately adjust the discharge pressure of the pump section to the target pressure according to a table or relational expression.

尚、第２パラメータとしてのポンプ部の回転速度は、インバータが演算する電動モータの回転速度によって代用できる。そうすれば、新たなセンサが不要であり、定圧液供給装置の構成が簡略になる。 The rotation speed of the pump section as the second parameter can be substituted by the rotation speed of the electric motor calculated by the inverter. This eliminates the need for a new sensor and simplifies the configuration of the constant-pressure liquid supply device.

以上説明したように、前記の定圧液供給装置によると、トルクフィードバック制御を行う定圧液供給装置において、ポンプの吐出圧力が目標圧力からずれることを抑制できる。さらに、前記の定圧液供給装置は、対象装置との配管接続と、前記センサが出力する信号を入力するための配線と、を行えばよい。トルクフィードバック制御の制御定数の調整は、実質的に不要であり、容易に前記の定圧液供給装置を使用することができる。 As described above, according to the constant-pressure liquid supply device described above, it is possible to prevent the discharge pressure of the pump from deviating from the target pressure in the constant-pressure liquid supply device that performs torque feedback control. Further, the constant-pressure liquid supply device may be connected to the target device by piping and wiring for inputting the signal output from the sensor. Adjustment of the control constant of the torque feedback control is substantially unnecessary, and the constant pressure liquid supply device can be easily used.

図１は、クーラント供給装置の構成を例示する回路図である。FIG. 1 is a circuit diagram illustrating the configuration of a coolant supply device. 図２は、インバータの出力トルクと、ポンプ部の回転速度と、ポンプ部の吐出圧力と、の関係式を例示する図である。FIG. 2 is a diagram illustrating a relational expression among the output torque of the inverter, the rotational speed of the pump section, and the discharge pressure of the pump section. 図３は、コントローラが実行する電動モータの制御に関するフローチャートである。FIG. 3 is a flowchart relating to electric motor control executed by the controller. 図４は、クーラント供給装置の起動時におけるポンプ部の吐出圧力のタイムチャート（上図）、及び、ポンプ部の回転速度のタイムチャート（下図）の一例である。FIG. 4 is an example of a time chart (upper diagram) of the discharge pressure of the pump section and a time chart (lower diagram) of the rotation speed of the pump section when the coolant supply device is started. 図５は、圧力フィードバック制御の実行フラグ、インバータの出力トルク、及び、クーラントの圧力についての、タイムチャートの一例である。FIG. 5 is an example of a time chart for the execution flag of pressure feedback control, the output torque of the inverter, and the coolant pressure. 図６は、図1とは異なるクーラント供給装置の構成を例示する回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram illustrating a configuration of a coolant supply device different from that of FIG.

以下、定圧液供給装置の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。以下の説明は、定圧液供給装置の一例である。 Hereinafter, embodiments of the constant-pressure liquid supply device will be described in detail based on the drawings. The following description is an example of a constant pressure liquid supply system.

（クーラント供給装置の構成）
図１は、ここに開示する定圧液供給装置が、クーラント供給装置１に適用された構成例を示している。 (Structure of coolant supply device)
FIG. 1 shows a configuration example in which the constant-pressure liquid supply device disclosed herein is applied to a coolant supply device 1. As shown in FIG.

クーラント供給装置１は、工作機械２に配管接続されると共に、後述するように工作機械２に配線される。クーラント供給装置１は、工作機械２における工具２１に、クーラントを供給する。工具２１は、どのようなものであってもよい。工具２１には、図１に例示するように、クーラントが噴出する噴出孔２２が形成されている。クーラントは、この噴出孔２２を通じて加工箇所へ噴出する。工作機械２は、対象装置の一例である。工具２１は、液を噴出する孔を有する対象物の一例である。 The coolant supply device 1 is pipe-connected to the machine tool 2 and wired to the machine tool 2 as will be described later. A coolant supply device 1 supplies coolant to a tool 21 in a machine tool 2 . The tool 21 may be of any type. As shown in FIG. 1, the tool 21 is formed with ejection holes 22 through which coolant is ejected. Coolant is jetted through the jetting holes 22 to the machining location. The machine tool 2 is an example of a target device. The tool 21 is an example of an object having holes for ejecting liquid.

工具２１には、クーラントの供給ライン２３が接続されている。供給ライン２３は、クーラント供給装置１の接続部２０を介して、クーラント供給装置１における吐出ライン３に接続されている。クーラントは、吐出ライン３及び供給ライン２３を通じて、工具２１へ供給される。 A coolant supply line 23 is connected to the tool 21 . The supply line 23 is connected to the discharge line 3 in the coolant supply device 1 via the connection portion 20 of the coolant supply device 1 . Coolant is supplied to tool 21 through discharge line 3 and supply line 23 .

供給ライン２３には、圧力センサ２４が取り付けられている。圧力センサ２４は、例えば、供給ライン２３における工具２１の近くに配置されている。圧力センサ２４は、供給ライン２３を流れるクーラントの圧力に対応する信号を出力する。 A pressure sensor 24 is attached to the supply line 23 . The pressure sensor 24 is for example arranged near the tool 21 in the supply line 23 . Pressure sensor 24 outputs a signal corresponding to the pressure of the coolant flowing through supply line 23 .

吐出ライン３には、ポンプ部４が配設されている。ポンプ部４は、クーラントを工具２１に向けて吐出する。ポンプ部４は、ポンプ本体４１と電動モータ４２とを含む。 A pump section 4 is arranged in the discharge line 3 . The pump part 4 discharges coolant toward the tool 21 . The pump section 4 includes a pump body 41 and an electric motor 42 .

ポンプ本体４１は、定容量の容積式ポンプである。ポンプ本体４１は、具体的には、歯車ポンプ、ベーンポンプ、ねじポンプなどの回転ポンプとしてもよい。ポンプ部４はまた、ピストンポンプ、プランジャーポンプなどの往復動ポンプとしてもよい。 The pump body 41 is a constant displacement positive displacement pump. Specifically, the pump body 41 may be a rotary pump such as a gear pump, vane pump, or screw pump. The pump section 4 may also be a reciprocating pump such as a piston pump, plunger pump or the like.

電動モータ４２は、ポンプ本体４１に連結されている。電動モータ４２は、例えばインバータ専用モータとしてもよい。電動モータ４２は、ＰＭモータや汎用モータであってもよい。 The electric motor 42 is connected to the pump body 41 . The electric motor 42 may be, for example, a dedicated inverter motor. The electric motor 42 may be a PM motor or a general-purpose motor.

電動モータ４２は、インバータ７２に接続されている。インバータ７２は、電動モータ４２に回転速度指令を出力する。電動モータ４２は、インバータ７２が出力する回転速度指令によって回転速度を変えることができる。 The electric motor 42 is connected to the inverter 72 . Inverter 72 outputs a rotational speed command to electric motor 42 . The electric motor 42 can change its rotational speed according to the rotational speed command output by the inverter 72 .

インバータ７２には、コントローラ７１が接続されている。コントローラ７１は、インバータ７２を通じて、電動モータ４２を制御する。工作機械２において、クーラントの圧力が同一で加工を行っている最中に必要なクーラントの流量は常に変化するので、コントローラ７１は、インバータ７２を通じて、電動モータ４２の回転速度を常時制御する。 A controller 71 is connected to the inverter 72 . The controller 71 controls the electric motor 42 through the inverter 72 . In the machine tool 2 , the required coolant flow rate constantly changes during machining with the same coolant pressure.

インバータ７２は、電動モータ４２への出力トルク及び電動モータ４２の回転速度を演算する。詳細は後述するが、インバータ７２は、インバータ７２の出力トルク及び電動モータ４２の回転速度を、フィードバック信号として、コントローラ７１に出力する。コントローラ７１は、インバータ７２の出力トルク及び電動モータ４２の回転速度に基づいて、電動モータ４２をフィードバック制御する。尚、インバータ７２の出力トルクは、電動モータ４２のトルクに関連する第１パラメータの一例である。電動モータ４２の回転速度は、第２パラメータである。 The inverter 72 calculates the output torque to the electric motor 42 and the rotational speed of the electric motor 42 . Although details will be described later, the inverter 72 outputs the output torque of the inverter 72 and the rotational speed of the electric motor 42 to the controller 71 as feedback signals. The controller 71 feedback-controls the electric motor 42 based on the output torque of the inverter 72 and the rotational speed of the electric motor 42 . Note that the output torque of the inverter 72 is an example of a first parameter related to the torque of the electric motor 42 . The rotational speed of the electric motor 42 is the second parameter.

吐出ライン３において、接続部２０とポンプ部４との間には、リリーフライン５が接続されている。リリーフライン５には、リリーフ弁５１が配設されている。リリーフ弁５１は、所定の圧力で開弁する。リリーフ弁５１は、工具２１に必要なクーラントの流量が極端に少なくなった場合、及び、コントローラ７１が出力する制御指令に異常が発生した場合に、安全のために開弁する。 A relief line 5 is connected between the connection portion 20 and the pump portion 4 in the discharge line 3 . A relief valve 51 is arranged in the relief line 5 . The relief valve 51 opens at a predetermined pressure. The relief valve 51 opens for safety when the flow rate of coolant required for the tool 21 becomes extremely low, and when an abnormality occurs in the control command output by the controller 71 .

リリーフライン５は、クーラントのタンク６に接続されている。リリーフライン５を流れる余剰のクーラントは、タンク６に戻る。また、図示は省略するが、工具２１に供給されたクーラントはタンク６に戻る。ポンプ部４は、タンク６に接続されている。ポンプ部４は、タンク６のクーラントを吸い込む。 The relief line 5 is connected to a tank 6 of coolant. Excess coolant flowing through relief line 5 returns to tank 6 . Also, although illustration is omitted, the coolant supplied to the tool 21 returns to the tank 6 . The pump section 4 is connected to the tank 6 . The pump part 4 sucks the coolant in the tank 6 .

尚、吐出ライン３には、クーラントの圧力を示す圧力計３１が接続されている。 A pressure gauge 31 is connected to the discharge line 3 to indicate the pressure of the coolant.

次に、クーラント供給装置１の運転について説明する。コントローラ７１は、前述したように、電動モータ４２のフィードバック制御を行う。 Next, operation of the coolant supply device 1 will be described. The controller 71 performs feedback control of the electric motor 42 as described above.

（トルクフィードバック制御）
クーラントが供給される工具２１は、クーラントが噴出する噴出孔２２を有している。このため、吐出ライン３及び供給ライン２３におけるクーラントの流量が増えると、ポンプ部４の吐出圧力が高くなる。電動モータ４２の回転速度とポンプ部４の吐出圧力とは比例関係にある。また、定容量型の容積式のポンプ本体４１において、吐出圧力とトルクとは比例関係にある。電動モータ４２の実トルクはインバータ７２の出力トルクに相当する。このため、インバータ７２の出力トルクとポンプ部４の吐出圧力とは比例関係にある。コントローラ７１は、インバータ７２の出力トルクをフィードバック信号として用いる。コントローラ７１は、電動モータ４２のトルクが目標トルクとなるように、電動モータ４２を制御する。つまり、コントローラ７１は、トルクフィードバック制御を行う。このことにより、コントローラ７１は、ポンプ部４の吐出圧力を検知する圧力センサを用いなくても、ポンプ部４の吐出圧力が目標圧力となるように、ポンプ部４を制御できる。圧力センサを省略することにより、クーラント供給装置１の構成を簡略化できる。 (torque feedback control)
A tool 21 to which coolant is supplied has an ejection hole 22 through which the coolant is ejected. Therefore, when the flow rate of coolant in the discharge line 3 and the supply line 23 increases, the discharge pressure of the pump section 4 increases. The rotation speed of the electric motor 42 and the discharge pressure of the pump section 4 are in a proportional relationship. Further, in the constant-displacement positive displacement pump main body 41, the discharge pressure and the torque are in a proportional relationship. The actual torque of electric motor 42 corresponds to the output torque of inverter 72 . Therefore, the output torque of the inverter 72 and the discharge pressure of the pump section 4 are in a proportional relationship. Controller 71 uses the output torque of inverter 72 as a feedback signal. The controller 71 controls the electric motor 42 so that the torque of the electric motor 42 becomes the target torque. That is, the controller 71 performs torque feedback control. As a result, the controller 71 can control the pump section 4 so that the discharge pressure of the pump section 4 becomes the target pressure without using a pressure sensor for detecting the discharge pressure of the pump section 4 . By omitting the pressure sensor, the configuration of the coolant supply device 1 can be simplified.

吐出ライン３及び供給ライン２３の圧力が高くなって、所定のトルク以上のフィードバック信号がコントローラ７１に入力された場合、コントローラ７１は、速やかに電動モータ４２の回転速度を低下させて圧力を下げる。噴出孔２２から噴出するクーラントの量が調節されるため、クーラント供給装置１の正常動作時には、リリーフ弁５１が開弁しない。リリーフライン５に無駄なクーラントが流れない。 When the pressure in the discharge line 3 and the supply line 23 increases and a feedback signal of a predetermined torque or more is input to the controller 71, the controller 71 quickly reduces the rotational speed of the electric motor 42 to lower the pressure. Since the amount of coolant ejected from the ejection hole 22 is adjusted, the relief valve 51 does not open during normal operation of the coolant supply device 1 . Wasteful coolant does not flow through the relief line 5.

ここで、インバータ専用モータは、低回転速度域における定トルク特性に優れている。電動モータ４２がインバータ専用モータであれば、ポンプ部４は低回転速度域で運転できる。ポンプ部４が低回転速度域で運転することよって、クーラント供給装置１は省エネ化できる。しかしながら、容積式のポンプ本体４１は回転速度が低くなると容積効率が急激に低下する。このため、低回転速度域においては、前述したインバータ７２の出力トルクとポンプ部４の吐出圧力との間の比例関係が、成立しない、又は，成立し難い。 Here, the inverter-only motor is excellent in constant torque characteristics in the low rotation speed range. If the electric motor 42 is a dedicated inverter motor, the pump section 4 can be operated in a low rotational speed range. The coolant supply device 1 can save energy by operating the pump portion 4 in the low rotational speed range. However, the volumetric efficiency of the positive displacement pump main body 41 drops sharply as the rotational speed decreases. Therefore, in the low rotational speed range, the proportional relationship between the output torque of the inverter 72 and the discharge pressure of the pump section 4 is not established or is difficult to be established.

また、本願発明者らは、インバータ専用モータは、回転速度が高いときと低いときとでは、モータが出力する実トルクが同一であってもインバータ７２の出力電流値が相違することを見つけた。 In addition, the inventors of the present invention have found that the output current value of the inverter 72 differs between when the rotation speed is high and when the rotation speed is low, even if the actual torque output by the motor is the same.

ポンプ部４の全効率は、ポンプ本体４１の容積効率の低下と、電動モータ４２の入力電流値及び実トルクの関係と、を含む。ポンプ部４が低回転速度域で運転する場合と、ポンプ部４が低回転速度域よりも高回転速度で運転する場合とにおいて、ポンプ部４の全効率は相違する。そのため、コントローラ７１は、ポンプ部４を低回転速度域で運転する場合には、前述したようにインバータ７２の出力トルクとポンプ部４の吐出圧力との間の関係のみに基づいてポンプ部４を制御することが難しい。 The overall efficiency of the pump unit 4 includes a decrease in the volumetric efficiency of the pump body 41 and the relationship between the input current value and the actual torque of the electric motor 42 . The overall efficiency of the pump section 4 differs between when the pump section 4 operates in the low rotation speed range and when the pump section 4 operates at a higher rotation speed than in the low rotation speed range. Therefore, when the pump unit 4 is operated in the low rotation speed range, the controller 71 operates the pump unit 4 based only on the relationship between the output torque of the inverter 72 and the discharge pressure of the pump unit 4 as described above. difficult to control.

そこで、このクーラント供給装置１のコントローラ７１は、電動モータ４２の実トルクに関連する第１パラメータと、ポンプ部４の回転速度である第２パラメータと、ポンプ部４の吐出圧力と、の関係を定めたテーブル又は関係式を有していて、当該テーブル又は関係式に基づいて、ポンプ部４を制御する。第１パラメータは、具体的にはインバータ７２の出力トルクである。 Therefore, the controller 71 of the coolant supply device 1 determines the relationship between the first parameter related to the actual torque of the electric motor 42, the second parameter representing the rotation speed of the pump section 4, and the discharge pressure of the pump section 4. It has a defined table or relational expression, and controls the pump unit 4 based on the table or relational expression. The first parameter is specifically the output torque of inverter 72 .

図２の左図２０１は、インバータ７２の出力トルク（ｙ）と、ポンプ部４の吐出圧力（ｘ１）との関係を定めた関係式（ｙ＝ａ１ｘ１＋ｂ１）を例示している。この関係式は、ポンプ本体４１と電動モータ４２とを含むポンプ部４について、様々な運転条件で運転を行った試験結果（図２における白丸参照）について、多変量解析を行うことによって設定できる。左図２０１には明示していないが、この試験結果には、ポンプ部４の回転速度を変えた場合の結果も含まれている。例えば、トルク（ｙ）を目的変数とし、吐出圧力（ｘ１）を説明変数とした単回帰分析により、関係式は設定できる。一次式とした関係式の各定数ａ１、ｂ１は、例えば最小二乗法（ordinary least square：ＯＬＳ）を用いて設定してもよい。尚、関係式は、一次式に限定されない。関係式は、二次式、又は、三次式でもよい。 A left diagram 201 in FIG. 2 illustrates a relational expression (y=a 1 x 1 +b 1 ) defining the relationship between the output torque (y) of the inverter 72 and the discharge pressure (x 1 ) of the pump section 4. there is This relational expression can be set by performing multivariate analysis on test results (see white circles in FIG. 2) in which the pump unit 4 including the pump main body 41 and the electric motor 42 is operated under various operating conditions. Although not shown in the left diagram 201, the test results also include the results when the rotation speed of the pump section 4 is changed. For example, the relational expression can be set by simple regression analysis with the torque (y) as the objective variable and the discharge pressure (x 1 ) as the explanatory variable. Each constant a 1 and b 1 of the linear relational expression may be set using, for example, the ordinary least square (OLS) method. Note that the relational expression is not limited to a linear expression. The relational expression may be quadratic or cubic.

図２の右図２０２は、前述した試験結果をプロットした図である。右図２０２は、横軸がポンプ部４の回転速度（ｘ２）であり、縦軸が、インバータ７２の出力トルクの実データから、前述した出力トルクと吐出圧力との関係式を差し引いたトルク差分（Δｙ）である。右図２０２からわかるように、ポンプ部４の回転速度が所定回転速度Ｎ以下の場合のトルク差分の特性と、所定回転速度Ｎを超える場合のトルク差分の特性とは、互いに異なる。具体的には、ポンプ部４の回転速度が所定回転速度Ｎ以下の場合、トルク差分は、ポンプ部４の回転速度が高くなるに従い下がるのに対し、ポンプ部４の回転速度が所定回転速度Ｎを超える場合、トルク差分は、ポンプ部４の回転速度が高くなるに従い上がる。所定回転速度Ｎにおいて、トルク差分は変曲点を有している。 A right diagram 202 in FIG. 2 is a diagram plotting the test results described above. In the right diagram 202, the horizontal axis is the rotation speed (x 2 ) of the pump section 4, and the vertical axis is the torque obtained by subtracting the above-described relational expression between the output torque and the discharge pressure from the actual data of the output torque of the inverter 72. difference (Δy). As can be seen from the right diagram 202, the characteristics of the torque difference when the rotation speed of the pump unit 4 is equal to or lower than the predetermined rotation speed N and the characteristics of the torque difference when the rotation speed exceeds the predetermined rotation speed N are different from each other. Specifically, when the rotational speed of the pump portion 4 is equal to or lower than the predetermined rotational speed N, the torque difference decreases as the rotational speed of the pump portion 4 increases. , the torque difference increases as the rotation speed of the pump unit 4 increases. At a given rotation speed N, the torque difference has an inflection point.

パラメータ（ｙ）と、パラメータ（ｘ２）と、パラメータ（ｘ１）と、の関係は、一つの関係式によって表すことが難しい。そこで、本願発明者らは、ポンプ部４の運転領域を、所定回転速度Ｎを境に、低回転速度域と高回転速度域とに分けた。そして、本願発明者らは、それぞれの領域に対応する複数の関係式を設定した。 It is difficult to express the relationship between parameter (y), parameter (x 2 ), and parameter (x 1 ) by one relational expression. Therefore, the inventors of the present application divided the operating region of the pump unit 4 into a low rotational speed region and a high rotational speed region with the predetermined rotational speed N as a boundary. The inventors set a plurality of relational expressions corresponding to each area.

具体的には右図２０２に示すように、本願発明者らは、低回転速度域におけるトルク差分の特性式（Δｙ１＝ａ２１ｘ２＋ｂ２）と、高回転速度域におけるトルク差分の特性式（Δｙ２＝ａ２２ｘ２＋ｂ３）とを、それぞれ設定した。特性式は、前記と同様に一次式としてもよい。特性式の各定数ａ２１、ａ２２、ｂ２、ｂ３）は、例えば最小二乗法を用いて設定してもよい。 Specifically, as shown in FIG. 202 on the right, the inventors of the present application found a torque difference characteristic formula (Δy 1 =a 21 x 2 +b 2 ) in a low rotation speed range and a torque difference characteristic in a high rotation speed range The formula (Δy 2 =a 22 x 2 +b 3 ) was set respectively. The characteristic formula may be a linear formula as described above. Each constant a 21 , a 22 , b 2 , b 3 ) of the characteristic formula may be set using, for example, the method of least squares.

電動モータ４２の実トルクに関連する第１パラメータ（ｙ）と、ポンプ部４の回転速度である第２パラメータ（ｘ２）と、ポンプ部４の吐出圧力（ｘ１）と、の関係を定めた関係式は、図２の左図２０１に示す関係式（ｙ＝ａ１ｘ１＋ｂ１）と、右図２０２に示す関係式（Δｙ１＝ａ２１ｘ２＋ｂ２、又は、Δｙ２＝ａ２２ｘ２＋ｂ３）の和で表すことができる。従って、関係式は、
第１関係式 ｙtotal＝（ａ１ｘ１＋ｂ１）＋（ａ２１ｘ２＋ｂ２） 但し、所定回転速度Ｎ以下
第２関係式 ｙtotal＝（ａ１ｘ１＋ｂ１）＋（ａ２２ｘ２＋ｂ３） 但し、所定回転速度Ｎ超
の二つである。 A relationship between a first parameter (y) related to the actual torque of the electric motor 42, a second parameter (x 2 ) representing the rotation speed of the pump section 4, and the discharge pressure (x 1 ) of the pump section 4 is defined. The relational expressions are the relational expression (y=a 1 x 1 +b 1 ) shown in the left diagram 201 of FIG. 2 and the relational expression (Δy 1 =a 21 x 2 +b 2 or Δy 2 = a 22 x 2 +b 3 ). Therefore, the relation is
First relational expression y total = (a 1 x 1 +b 1 ) + (a 21 x 2 +b 2 ) provided that the rotational speed is equal to or lower than a predetermined rotation speed N Second relational expression y total = (a 1 x 1 +b 1 ) + (a 22 x 2 +b 3 ) However, the two are above the predetermined rotation speed N.

コントローラ７１は、ポンプ部４の目標圧力と、ポンプ部４の回転速度と、第１関係式又は第２関係式とに基づいて、インバータ７２の目標出力トルクを設定できる。 The controller 71 can set the target output torque of the inverter 72 based on the target pressure of the pump section 4, the rotation speed of the pump section 4, and the first relational expression or the second relational expression.

尚、図示は省略するが、テーブルは、前記の関係式と同様に、インバータ７２の出力トルクと、ポンプ部４の回転速度と、ポンプ部４の吐出圧力と、の関係を定める。コントローラ７１は、ポンプ部４の目標圧力と、ポンプ部４の回転速度と、テーブルとに基づいて、インバータ７２の目標出力トルクを設定できる。 Although illustration is omitted, the table defines the relationship between the output torque of the inverter 72, the rotation speed of the pump section 4, and the discharge pressure of the pump section 4, similarly to the above relational expression. The controller 71 can set the target output torque of the inverter 72 based on the target pressure of the pump section 4, the rotation speed of the pump section 4, and a table.

コントローラ７１は、インバータ７２の出力トルクと、インバータ７２が演算したポンプ部４の回転速度と、をフィードバック信号とし、前記のテーブル又は関係式に従って、ポンプ部４を制御する。図１に示すように、コントローラ７１は、機能ブロックとして、テーブル又は関係式７１１と、減算器７１２とを有している。コントローラ７１は、工作機械２が指定する目標圧力の信号を受ける。コントローラ７１はまた、インバータ７２が出力する、電動モータ４２の回転速度の信号を受ける。電動モータ４２の回転速度とポンプ本体４１の回転速度とは一致する。コントローラ７１は、目標圧力と回転速度とに基づき、テーブル又は関係式７１１に従って、目標の出力トルクを設定する。 The controller 71 uses the output torque of the inverter 72 and the rotational speed of the pump section 4 calculated by the inverter 72 as feedback signals, and controls the pump section 4 according to the above table or relational expression. As shown in FIG. 1, the controller 71 has a table or relational expression 711 and a subtractor 712 as functional blocks. The controller 71 receives a target pressure signal specified by the machine tool 2 . The controller 71 also receives a rotational speed signal of the electric motor 42 output by the inverter 72 . The rotation speed of the electric motor 42 and the rotation speed of the pump main body 41 match. The controller 71 sets the target output torque according to a table or relational expression 711 based on the target pressure and rotation speed.

減算器７１２は、目標の出力トルクと、インバータ７２の出力トルクとの偏差を演算する。インバータ７２の出力トルクは、インバータ７２が出力するフィードバック信号である。コントローラ７１は、トルクの偏差に応じた制御信号を、インバータ７２に出力する。インバータ７２は、トルクの偏差が無くなるように、電動モータ４２を運転する。その結果、ポンプ部４の吐出圧力が目標圧力となる。 Subtractor 712 calculates the deviation between the target output torque and the output torque of inverter 72 . The output torque of inverter 72 is a feedback signal output by inverter 72 . The controller 71 outputs a control signal corresponding to the torque deviation to the inverter 72 . The inverter 72 drives the electric motor 42 so that the torque deviation is eliminated. As a result, the discharge pressure of the pump section 4 becomes the target pressure.

ポンプ部４の回転速度をテーブル又は関係式７１１に加えることにより、ポンプ本体４１の容積効率の低下、及び、電動モータ４２の入力電流値と出力する実トルクとの関係を、ポンプ部４の制御に反映できる。その結果、コントローラ７１は、ポンプ部４が低回転速度域において運転する場合に、ポンプ部４の吐出圧力を、目標圧力に、適切に調節できる。ポンプ部４が低回転速度域において運転することによって、クーラント供給装置１は省エネ化する。また、コントローラ７１は、ポンプ部４が、低回転速度域よりも高い回転速度で運転する場合も、ポンプ部４の吐出圧力を適切に調節できる。 By adding the rotational speed of the pump unit 4 to the table or the relational expression 711, the decrease in the volumetric efficiency of the pump body 41 and the relationship between the input current value of the electric motor 42 and the actual torque to be output can be controlled by the pump unit 4. can be reflected in As a result, the controller 71 can appropriately adjust the discharge pressure of the pump unit 4 to the target pressure when the pump unit 4 operates in the low rotation speed range. The coolant supply device 1 saves energy by operating the pump portion 4 in the low rotation speed range. Further, the controller 71 can appropriately adjust the discharge pressure of the pump section 4 even when the pump section 4 operates at a rotational speed higher than the low rotational speed region.

クーラント供給装置１のフィードバック信号は、インバータ７２の出力トルク、及び、インバータ７２が演算したポンプ部４の回転速度である。フィードバック信号である第１パラメータ及び第２パラメータを検知するセンサを、クーラント供給装置１に追加する必要がない。クーラント供給装置１の構成が簡略になる。 The feedback signal of the coolant supply device 1 is the output torque of the inverter 72 and the rotational speed of the pump section 4 calculated by the inverter 72 . There is no need to add sensors to the coolant supply device 1 to detect the first parameter and the second parameter, which are feedback signals. The configuration of the coolant supply device 1 is simplified.

尚、第１パラメータは、インバータ７２の出力トルクに代えて、電動モータ４２の電流値としてもよい。電動モータ４２の電流値は、センサが検知してもよい。 The first parameter may be the current value of the electric motor 42 instead of the output torque of the inverter 72 . A sensor may detect the current value of the electric motor 42 .

また、第１パラメータは、インバータ７２の出力トルクに代えて、電圧値と電力値を組み合わせた、電動モータ４２の実トルクに比例する値としてもよい。 Also, the first parameter may be a value proportional to the actual torque of the electric motor 42 , which is a combination of the voltage value and the power value, instead of the output torque of the inverter 72 .

尚、ポンプ部４の運転領域は、図２に示すように二つの領域に分けることに限らない。ポンプ部４の運転領域は、三つ以上の領域に分けてもよい。コントローラ７１は、各領域に対応する関係式を有すればよい。 Note that the operating region of the pump unit 4 is not limited to being divided into two regions as shown in FIG. The operating region of the pump section 4 may be divided into three or more regions. The controller 71 may have a relational expression corresponding to each area.

また、ポンプ部４の運転領域を複数の領域に分けなくてもよい。コントローラ７１は、ポンプ部４の運転領域の全体に有効な一つの関係式を有してもよい。 Also, the operating region of the pump unit 4 may not be divided into a plurality of regions. The controller 71 may have one relational expression that is valid for the entire operating range of the pump section 4 .

（圧力フィードバック制御）
クーラント供給装置１は、様々な工作機械２に接続される。工作機械２におけるクーラントの配管構成は、工作機械２毎に異なる。配管の圧力損失は、工作機械２毎に相違する。 (pressure feedback control)
A coolant supply device 1 is connected to various machine tools 2 . The coolant piping configuration in the machine tool 2 differs from machine tool 2 to machine tool 2 . The pressure loss of piping differs for each machine tool 2 .

コントローラ７１は、トルクフィードバック制御を行うために、特定の制御定数を有している。トルクフィードバック制御の制御定数は、配管の圧力損失の相違を考慮せずに定められる。クーラント供給装置１が特定の工作機械２に接続されると、コントローラ７１がトルクフィードバック制御を行っても、ポンプ部４が工作機械２における配管の圧力損失の影響を受ける結果、ポンプ部４の吐出圧力が目標圧力からずれる場合がある。 The controller 71 has specific control constants to perform torque feedback control. A control constant for torque feedback control is determined without considering the difference in pressure loss in the piping. When the coolant supply device 1 is connected to a specific machine tool 2, even if the controller 71 performs torque feedback control, the pump section 4 is affected by the pressure loss in the pipes of the machine tool 2, resulting in discharge of the pump section 4. The pressure may deviate from the target pressure.

また、工作機械２における加工状況が変化すると、配管内を流れるクーラントの圧力及び／又は流量が変わる。トルクフィードバック制御の制御定数は、加工状況の変化を考慮せずに定められる。コントローラ７１がトルクフィードバック制御を行っていても、ポンプ部４が工作機械２における配管内を流れるクーラントの圧力及び／又は流量の変化の影響を受ける結果、ポンプ部４の吐出圧力が目標圧力からずれる場合がある。 In addition, when the machining status of the machine tool 2 changes, the pressure and/or flow rate of the coolant flowing through the pipe changes. Control constants for torque feedback control are determined without considering changes in machining conditions. Even if the controller 71 performs torque feedback control, the pump section 4 is affected by changes in the pressure and/or flow rate of the coolant flowing through the pipes of the machine tool 2, and as a result, the discharge pressure of the pump section 4 deviates from the target pressure. Sometimes.

そこで、このクーラント供給装置１は、コントローラ７１が、トルクフィードバック制御に加えて、圧力フィードバック制御を行う。 Therefore, in the coolant supply device 1, the controller 71 performs pressure feedback control in addition to torque feedback control.

クーラント供給装置１は、コネクタ１１を有している。工作機械２の圧力センサ２４は、コネクタ１１に接続される。コントローラ７１は、コネクタ１１を介して、圧力センサ２４の信号を受ける。コネクタ１１及びコントローラ７１は、様々な圧力センサ２４の信号に対応可能である。これにより、クーラント供給装置１は、様々な工作機械２に接続できる。例えば、コネクタ１１は、圧力センサ２４が出力するアナログ信号を入力可能である。コネクタ１１は、圧力センサ２４が出力するデジタル信号を入力可能であってもよい。コントローラ７１はまた、圧力センサ２４が出力する信号の電圧、及び／又は、電流に基づいて、供給ライン２３を流れるクーラントの圧力を検知する。コントローラ７１はさらに、信号の入力レンジを変更可能である。 The coolant supply device 1 has a connector 11 . A pressure sensor 24 of the machine tool 2 is connected to the connector 11 . Controller 71 receives a signal from pressure sensor 24 via connector 11 . The connector 11 and controller 71 are compatible with various pressure sensor 24 signals. Thereby, the coolant supply device 1 can be connected to various machine tools 2 . For example, connector 11 can receive an analog signal output by pressure sensor 24 . The connector 11 may be capable of inputting the digital signal output by the pressure sensor 24 . Controller 71 also senses the pressure of the coolant flowing through supply line 23 based on the voltage and/or current of the signal output by pressure sensor 24 . The controller 71 can also change the input range of the signal.

コントローラ７１は、機能ブロックとして、第２減算器７１３を有している。第２減算器７１３は、目標圧力と、供給ライン２３におけるクーラントの圧力との偏差を演算する。第２減算器７１３は、演算した偏差に対応する制御信号を、減算器７１２へ出力する。コントローラ７１は、前述したトルクの偏差と、圧力の偏差とに応じた制御信号を、インバータ７２に出力する。コントローラ７１が圧力フィードバック制御を行うことによって、コントローラ７１は、工作機械２の配管構成の影響、及び、工作機械２の加工状況の影響を含めて、電動モータ４２を制御できる。供給ライン２３におけるクーラントの圧力は、目標圧力になる。 The controller 71 has a second subtractor 713 as a functional block. A second subtractor 713 calculates the deviation between the target pressure and the coolant pressure in the supply line 23 . Second subtractor 713 outputs a control signal corresponding to the calculated deviation to subtractor 712 . The controller 71 outputs a control signal to the inverter 72 according to the torque deviation and the pressure deviation described above. By performing pressure feedback control by the controller 71 , the controller 71 can control the electric motor 42 including the influence of the piping configuration of the machine tool 2 and the influence of the machining status of the machine tool 2 . The pressure of the coolant in the supply line 23 becomes the target pressure.

尚、後述するように、コントローラ７１は、所定の条件が成立した場合にのみ、圧力フィードバック制御を実行する。第２減算器７１３は、所定の条件が成立した場合にのみ、制御信号を、減算器７１２へ出力する。 As will be described later, the controller 71 executes pressure feedback control only when a predetermined condition is satisfied. Second subtractor 713 outputs a control signal to subtractor 712 only when a predetermined condition is satisfied.

圧力センサ２４は、工作機械２に取り付けられている。このため、クーラント供給装置１はセンサが不要である。クーラント供給装置１の構成は、簡易である。 A pressure sensor 24 is attached to the machine tool 2 . Therefore, the coolant supply device 1 does not require a sensor. The configuration of the coolant supply device 1 is simple.

（クーラント供給装置の運転制御）
図３は、コントローラ７１が実行する、電動モータ４２の制御に係るフローチャートである。コントローラ７１は、ステップＳ１において、クーラント供給装置１の起動時か否かを判断する。起動時でない場合、プロセスはステップＳ１を繰り返す、起動時である場合、プロセスはステップＳ２へ進む。 (Operation control of coolant supply device)
FIG. 3 is a flowchart relating to control of the electric motor 42 executed by the controller 71 . In step S1, the controller 71 determines whether or not the coolant supply device 1 is activated. If not, the process repeats step S1; if it is, the process proceeds to step S2.

ステップＳ２において、コントローラ７１は、起動制御を実行する。起動制御は、電動モータ４２を、一定の加速度で運転する制御である。クーラント供給装置１の起動時、コントローラ７１は、トルクフィードバック制御及び圧力フィードバック制御を禁止する。 In step S2, the controller 71 executes activation control. Activation control is control for operating the electric motor 42 at a constant acceleration. When the coolant supply device 1 is started, the controller 71 prohibits torque feedback control and pressure feedback control.

図４は、クーラント供給装置１の起動時の、ポンプ部４の吐出圧力の変化（図４の上図）と、ポンプ部４の回転速度の変化（図４の下図）とを例示している。図４の実線は、コントローラ７１が、クーラント供給装置１の起動から設定時間が経過するまで、トルクフィードバック制御及び圧力フィードバック制御を禁止した場合の、吐出圧力の変化及び回転速度の変化を示している。図４の二点鎖線は、コントローラ７１が、クーラント供給装置１の起動時から、トルクフィードバック制御及び圧力フィードバック制御を行った場合の、吐出圧力の変化及び回転速度の変化を示している。 FIG. 4 illustrates changes in the discharge pressure of the pump section 4 (upper diagram in FIG. 4) and changes in the rotation speed of the pump section 4 (lower diagram in FIG. 4) when the coolant supply device 1 is started. . The solid line in FIG. 4 indicates changes in the discharge pressure and rotation speed when the controller 71 prohibits the torque feedback control and the pressure feedback control until the set time has elapsed since the coolant supply device 1 was activated. . A two-dot chain line in FIG. 4 indicates changes in the discharge pressure and rotation speed when the controller 71 performs the torque feedback control and the pressure feedback control from the startup of the coolant supply device 1 .

図４からわかるように、コントローラ７１が、クーラント供給装置１の起動時からフィードバック制御を行うと、ポンプ部４の回転速度の上昇が遅れる。これは、電動モータ４２が一定の加速度で運転しないためである。ポンプ部４の回転速度の上昇が遅れる結果、ポンプ部４の吐出圧力が目標値に到達するまでの時間が長い（図４のｔ２参照）。これに対し、コントローラ７１が、クーラント供給装置１の起動時から設定時間が経過するまで、フィードバック制御を禁止すると、電動モータ４２が一定の加速度で運転する。ポンプ部４の回転速度は、速やかに上昇する。その後、コントローラ７１がトルクフィードバック制御を開始すると、ポンプ部４の吐出圧力が目標値に速やかに到達する。クーラント供給装置１の起動時に、コントローラ７１がフィードバック制御を禁止することによって、ポンプ部４の吐出圧力が目標値に到達するまでの時間が短い（図４のｔ１参照）。 As can be seen from FIG. 4 , when the controller 71 performs feedback control from the start-up of the coolant supply device 1 , the increase in the rotational speed of the pump section 4 is delayed. This is because the electric motor 42 does not operate at constant acceleration. As a result of the delay in increasing the rotation speed of the pump section 4, it takes a long time for the discharge pressure of the pump section 4 to reach the target value (see t2 in FIG. 4). On the other hand, when the controller 71 prohibits the feedback control until the set time elapses from the start of the coolant supply device 1, the electric motor 42 operates at a constant acceleration. The rotation speed of the pump portion 4 increases quickly. After that, when the controller 71 starts the torque feedback control, the discharge pressure of the pump section 4 quickly reaches the target value. When the coolant supply device 1 is activated, the feedback control is prohibited by the controller 71, thereby shortening the time until the discharge pressure of the pump section 4 reaches the target value (see t1 in FIG. 4).

また、クーラント供給装置１の起動時は、クーラントの圧力が目標圧力にまで高まっていない。圧力センサ２４の信号に基づく液の圧力と、目標圧力との偏差が大きい。クーラント供給装置１の起動時に、圧力フィードバック制御を実行すると、オーバーシュート又はハンチングが生じることによって、電動モータ４２の運転が不安定になる恐れがある。コントローラ７１が、クーラント供給装置１の起動の際に圧力フィードバック制御を禁止することによって、ポンプ部４は、クーラントを安定して吐出できる。 Further, when the coolant supply device 1 is started, the coolant pressure has not yet reached the target pressure. There is a large deviation between the liquid pressure based on the signal from the pressure sensor 24 and the target pressure. If the pressure feedback control is executed when the coolant supply device 1 is started, overshoot or hunting may occur, and the operation of the electric motor 42 may become unstable. By the controller 71 prohibiting the pressure feedback control when the coolant supply device 1 is activated, the pump section 4 can stably discharge the coolant.

図３のフローチャートに戻り、ステップＳ３においてコントローラ７１は、クーラント供給装置１の起動から設定時間が経過したか否かを判断する。ステップＳ３の判断がＮＯの場合、プロセスはステップＳ３を繰り返す。設定時間が経過するまで、コントローラ７１は、トルクフィードバック制御及び圧力フィードバック制御を禁止する。ステップＳ３の判断がＹＥＳの場合、プロセスはステップＳ４へ進む。 Returning to the flowchart of FIG. 3, in step S3, the controller 71 determines whether or not a set time has elapsed since the coolant supply device 1 was activated. If the determination in step S3 is NO, the process repeats step S3. The controller 71 prohibits torque feedback control and pressure feedback control until the set time elapses. If the determination in step S3 is YES, the process proceeds to step S4.

ステップＳ４において、コントローラ７１は、トルクフィードバック制御を開始する。前述したように、コントローラ７１は、インバータ７２の出力トルク及び電動モータ４２の回転速度に基づいて、電動モータ４２を制御する。 In step S4, the controller 71 starts torque feedback control. As described above, the controller 71 controls the electric motor 42 based on the output torque of the inverter 72 and the rotational speed of the electric motor 42 .

ステップＳ５において、コントローラ７１は、圧力センサ２４の信号に基づき、供給ライン２３のクーラントの圧力と目標圧力との偏差が所定以上であるか否かを判断する。ステップＳ５の判断がＹＥＳの場合、プロセスはステップＳ６へ進む。ステップＳ５の判断がＮＯの場合、プロセスはステップＳ８へ進む。 In step S5, the controller 71 determines based on the signal from the pressure sensor 24 whether the deviation between the coolant pressure in the supply line 23 and the target pressure is greater than or equal to a predetermined value. If the determination in step S5 is YES, the process proceeds to step S6. If the determination in step S5 is NO, the process proceeds to step S8.

ステップＳ６において、コントローラ７１は、圧力の偏差が所定以上の状態が、所定時間継続したか否かを判断する。ステップＳ６の判断がＹＥＳの場合、プロセスはステップＳ７へ進む。ステップＳ６の判断がＮＯの場合、プロセスはステップＳ４へ戻る。 In step S6, the controller 71 determines whether or not the state in which the pressure deviation is equal to or greater than a predetermined value has continued for a predetermined time. If the determination in step S6 is YES, the process proceeds to step S7. If the determination in step S6 is NO, the process returns to step S4.

ステップＳ７においてコントローラ７１は、圧力フィードバック制御を実行する。つまり、コントローラ７１は、トルクフィードバック制御中に、圧力の偏差が所定以上である状態が、所定時間継続すると、圧力フィードバック制御を行う。図５は、クーラント供給装置１の、圧力フィードバック制御の実行フラグ５０１、インバータ７２の出力トルク５０２、クーラントの圧力５０３についての、タイムチャートを例示している。 In step S7, the controller 71 executes pressure feedback control. In other words, the controller 71 performs pressure feedback control when a state in which the pressure deviation is equal to or greater than a predetermined value continues for a predetermined time during torque feedback control. FIG. 5 exemplifies time charts of the pressure feedback control execution flag 501, the output torque 502 of the inverter 72, and the coolant pressure 503 of the coolant supply device 1. As shown in FIG.

前述したように、クーラント供給装置１の起動後、クーラントの圧力の偏差ΔＰが所定以上の状態が、所定時間Δｔだけ継続すると、コントローラ７１は、圧力フィードバックの実行フラグ５０１をオンにし、圧力フィードバック制御を実行する。圧力フィードバック制御の結果、クーラントの圧力の偏差ΔＰは小さくなる。 As described above, after the coolant supply device 1 is started, when the coolant pressure deviation ΔP continues for a predetermined time Δt, the controller 71 turns on the pressure feedback execution flag 501 to control the pressure feedback. to run. As a result of the pressure feedback control, the coolant pressure deviation ΔP is reduced.

コントローラ７１は、予め設定した時間だけ、圧力フィードバック制御を実行する。圧力フィードバック制御の終了後、クーラントの圧力の偏差ΔＰが所定以上の状態が、所定時間Δｔだけ継続すると、コントローラ７１は、圧力フィードバックの実行フラグ５０１を再びオンにし、圧力フィードバック制御を実行する。こうして、コントローラ７１は、クーラントの圧力の偏差ΔＰが所定よりも小さくなるまで、圧力フィードバック制御を、断続的に実行する。 The controller 71 executes pressure feedback control for a preset time. After the pressure feedback control is finished, when the coolant pressure deviation ΔP is equal to or greater than a predetermined value for a predetermined time Δt, the controller 71 turns on the pressure feedback execution flag 501 again to perform the pressure feedback control. Thus, the controller 71 intermittently performs pressure feedback control until the coolant pressure deviation ΔP becomes smaller than a predetermined value.

コントローラ７１は、基本的に、電動モータ４２をトルクフィードバック制御する。これにより、クーラント供給装置１は、工作機械２に対して、目標圧力のクーラントを安定的に供給する。トルクフィードバック制御中に、圧力の定常偏差が生じた場合、コントローラ７１は、圧力フィードバック制御を行う。これにより、定常偏差はなくなる、又は、小さくなる。圧力の定常偏差は、工作機械２における供給ライン２３の圧力損失の大小に起因して生じる。また、工作機械２における加工状況が変化することに起因して生じる。コントローラ７１が、トルクフィードバック制御及び圧力フィードバック制御を実行することによって、圧力の定常偏差を抑制しながら、クーラント供給装置１は、工作機械２に対して、目標圧力のクーラントを安定的に供給できる。 The controller 71 basically performs torque feedback control of the electric motor 42 . Thereby, the coolant supply device 1 stably supplies the coolant at the target pressure to the machine tool 2 . If a steady-state deviation of pressure occurs during torque feedback control, the controller 71 performs pressure feedback control. This eliminates or reduces the steady-state error. The steady-state deviation of pressure is caused by the magnitude of pressure loss in the supply line 23 in the machine tool 2 . Moreover, it is caused by a change in the machining conditions in the machine tool 2 . By the controller 71 executing torque feedback control and pressure feedback control, the coolant supply device 1 can stably supply the coolant at the target pressure to the machine tool 2 while suppressing the steady state deviation of the pressure.

図３のフローチャートに戻り、ステップＳ８において、コントローラ７１は、工作機械２が、クーラントの目標圧力を変更したか否かを判断する。例えば工作機械２の工具２１が変更されると、クーラントの目標圧力が変更される場合がある。ステップＳ８の判断がＮＯの場合、プロセスはステップＳ１０に進む。ステップＳ８の判断がＹＥＳの場合、プロセスはステップＳ９に進む。 Returning to the flowchart of FIG. 3, in step S8, the controller 71 determines whether or not the machine tool 2 has changed the target pressure of the coolant. For example, when the tool 21 of the machine tool 2 is changed, the target pressure of coolant may be changed. If the determination in step S8 is NO, the process proceeds to step S10. If the determination in step S8 is YES, the process proceeds to step S9.

ステップＳ９において、コントローラ７１は、目標圧力の変更後、所定時間が経過するまでは、圧力フィードバック制御を禁止する。クーラント供給装置１の起動時と同様に、圧力の偏差が大きい場合に、コントローラ７１が圧力フィードバック制御を行うと、電動モータ４２の運転が不安定になる恐れがあるためである。プロセスはその後、ステップＳ４に進む。 In step S9, the controller 71 prohibits pressure feedback control until a predetermined time has passed after the target pressure is changed. This is because if the controller 71 performs pressure feedback control when the pressure deviation is large, the operation of the electric motor 42 may become unstable, similarly to when the coolant supply device 1 is started. The process then proceeds to step S4.

ステップＳ１０において、コントローラ７１は、クーラント供給装置１の停止が指示されたか否かを判断する。ステップＳ１０の判断がＮＯの場合、プロセスはステップＳ４へ戻り、トルクフィードバック制御を継続する。ステップＳ１０の判断がＹＥＳの場合、プロセスは終了する。 In step S10, the controller 71 determines whether or not an instruction to stop the coolant supply device 1 has been issued. If the determination in step S10 is NO, the process returns to step S4 to continue torque feedback control. If the determination in step S10 is YES, the process ends.

（クーラント供給装置の変形例）
図６は、クーラント供給装置の変形例を示している。図６のクーラント供給装置１０において、トルクフィードバック制御のフィードバック信号は、インバータ７２の出力トルクのみである。コントローラ７１０は、関係式又はテーブル７１１０を有している。関係式は、例えば、図２の左図２０１に示す、インバータ７２の出力トルク（ｙ）と、ポンプ部４の吐出圧力（ｘ１）との関係を定めた関係式（ｙ＝ａ１ｘ１＋ｂ１）である。コントローラ７１０は、ポンプ部４の目標圧力と、テーブル又は関係式７１１０とに基づいて、インバータ７２の目標出力トルクを設定する。 (Modified example of coolant supply device)
FIG. 6 shows a modification of the coolant supply device. In the coolant supply device 10 of FIG. 6, the feedback signal for torque feedback control is only the output torque of the inverter 72. In FIG. Controller 710 has a relational expression or table 7110 . The relational expression is, for example , the relational expression (y=a 1 x 1 +b 1 ). Controller 710 sets the target output torque of inverter 72 based on the target pressure of pump section 4 and table or relational expression 7110 .

クーラント供給装置１０も、トルクフィードバック制御と圧力フィードバック制御とを行う。このため、クーラント供給装置１０は、様々な工作機械２に対して、目標圧力のクーラントを、安定して供給できる。 The coolant supply device 10 also performs torque feedback control and pressure feedback control. Therefore, the coolant supply device 10 can stably supply the coolant at the target pressure to various machine tools 2 .

ここに開示する定圧液供給装置は、クーラント供給装置に限らない。図示は省略するが、ここに開示する定圧液供給装置は、例えば洗浄装置用の洗浄液供給装置であってもよい。洗浄装置は、工作機械によって加工された加工品を洗浄するために、洗浄液を加工品に向かって噴出する。洗浄装置は、対象装置の一例である。洗浄液供給装置は、洗浄装置に所定圧力の洗浄液を供給する。 The constant pressure liquid supply device disclosed herein is not limited to a coolant supply device. Although not shown, the constant-pressure liquid supply device disclosed herein may be, for example, a cleaning liquid supply device for a cleaning device. A cleaning device jets a cleaning liquid toward a workpiece to clean the workpiece that has been machined by the machine tool. A cleaning device is an example of a target device. The cleaning liquid supply device supplies cleaning liquid at a predetermined pressure to the cleaning device.

１、１０ クーラント供給装置（定圧液供給装置）
２ 工作機械（対象装置）
２１ 工具（対象物）
２２ 噴出孔
２４ 圧力センサ
４ ポンプ部
４１ ポンプ本体
４２ 電動モータ
７１、７１０ コントローラ
７１１、７１１０ テーブル又は関係式
７２ インバータ
1, 10 Coolant supply device (constant pressure liquid supply device)
2 Machine tools (target equipment)
21 tool (object)
22 ejection port 24 pressure sensor 4 pump unit 41 pump body 42 electric motors 71, 710 controllers 711, 7110 table or relational expression 72 inverter

Claims (4)

対象装置に接続されかつ、前記対象装置に液を供給する定圧液供給装置であって、
前記対象装置は、液の噴出孔を有する対象物と、液の圧力に対応した信号を出力するセンサとを備え、
前記定圧液供給装置は、
液を吐出する容積式のポンプ本体、及び 前記ポンプ本体に連結されかつ、前記ポンプ本体を運転する電動モータを含むポンプ部と、
前記電動モータの回転速度を変更させるインバータと、
前記インバータを通じて前記ポンプ部を制御するコントローラと、を備え、
前記コントローラは、少なくとも、前記電動モータの実トルクに関連する第１パラメータと、前記ポンプ部の吐出圧力と、の関係を定めたテーブル又は関係式を有しかつ、前記第１パラメータをフィードバックしながら、前記ポンプ部の吐出圧力が目標圧力となるように、前記テーブル又は前記関係式に従い前記電動モータを制御するトルクフィードバック制御を行い、
前記コントローラはまた、前記センサが出力する信号を受けかつ、前記液の圧力が目標圧力となるように前記電動モータを制御する圧力フィードバック制御を行う定圧液供給装置。 A constant pressure liquid supply device connected to a target device and supplying liquid to the target device,
The target device includes a target object having a liquid ejection hole and a sensor that outputs a signal corresponding to the pressure of the liquid,
The constant pressure liquid supply device
a pump unit including a positive displacement pump body for discharging liquid and an electric motor coupled to said pump body and for driving said pump body;
an inverter that changes the rotation speed of the electric motor;
a controller that controls the pump unit through the inverter,
The controller has at least a table or a relational expression defining a relationship between a first parameter related to the actual torque of the electric motor and the discharge pressure of the pump section, and feeds back the first parameter. performing torque feedback control for controlling the electric motor according to the table or the relational expression so that the discharge pressure of the pump unit becomes the target pressure;
The controller also receives a signal output from the sensor and performs pressure feedback control for controlling the electric motor so that the pressure of the liquid reaches a target pressure. 請求項１に記載の定圧液供給装置において、
前記コントローラは、前記センサが出力する信号に基づく前記液の圧力と、前記目標圧力との偏差が所定以上である状態が、所定時間継続した場合に、前記圧力フィードバック制御を行う定圧液供給装置。 In the constant pressure liquid supply device according to claim 1,
The controller is a constant-pressure liquid supply device that performs the pressure feedback control when a deviation between the pressure of the liquid based on the signal output from the sensor and the target pressure continues for a predetermined period of time. 請求項１又は２に記載の定圧液供給装置において、
前記コントローラは、前記定圧液供給装置の起動から第２所定時間が経過するまで、前記圧力フィードバック制御を禁止する定圧液供給装置。 In the constant pressure liquid supply device according to claim 1 or 2,
The constant-pressure liquid supply device, wherein the controller inhibits the pressure feedback control until a second predetermined time elapses after activation of the constant-pressure liquid supply device. 請求項１～３のいずれか１項に記載の定圧液供給装置において、
前記コントローラは、前記第１パラメータと、前記ポンプ部の回転速度である第２パラメータと、前記ポンプ部の吐出圧力と、の関係を定めたテーブル又は関係式を有し、
前記コントローラは、前記第１パラメータと前記第２パラメータとをフィードバックしながら、前記ポンプ部の吐出圧力が目標圧力となるように、前記テーブル又は前記関係式に従い前記電動モータを制御するトルクフィードバック制御を行う定圧液供給装置。
In the constant pressure liquid supply device according to any one of claims 1 to 3,
The controller has a table or a relational expression that defines the relationship between the first parameter, the second parameter that is the rotation speed of the pump section, and the discharge pressure of the pump section,
The controller performs torque feedback control for controlling the electric motor according to the table or the relational expression so that the discharge pressure of the pump unit becomes a target pressure while feeding back the first parameter and the second parameter. Constant pressure liquid supply device to perform.
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