JP7284699B2 - Conductive material, connection structure, and method for manufacturing connection structure - Google Patents

Conductive material, connection structure, and method for manufacturing connection structure Download PDF

Info

Publication number
JP7284699B2
JP7284699B2 JP2019225362A JP2019225362A JP7284699B2 JP 7284699 B2 JP7284699 B2 JP 7284699B2 JP 2019225362 A JP2019225362 A JP 2019225362A JP 2019225362 A JP2019225362 A JP 2019225362A JP 7284699 B2 JP7284699 B2 JP 7284699B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
conductive material
electrode
solder
less
solder particles
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2019225362A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2021096903A (en
Inventor
剛 大浦
美香 辻井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sekisui Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sekisui Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sekisui Chemical Co Ltd filed Critical Sekisui Chemical Co Ltd
Priority to JP2019225362A priority Critical patent/JP7284699B2/en
Publication of JP2021096903A publication Critical patent/JP2021096903A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7284699B2 publication Critical patent/JP7284699B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は、はんだ粒子を含む導電材料に関する。また、本発明は、上記導電材料を用いた接続構造体及び接続構造体の製造方法に関する。 The present invention relates to conductive materials containing solder particles. The present invention also relates to a connection structure using the conductive material and a method for manufacturing the connection structure.

異方性導電ペースト及び異方性導電フィルム等の異方性導電材料が広く知られている。上記異方性導電材料では、バインダー樹脂中に導電性粒子が分散されている。 Anisotropic conductive materials such as anisotropic conductive pastes and anisotropic conductive films are widely known. In the anisotropic conductive material, conductive particles are dispersed in a binder resin.

上記異方性導電材料は、各種の接続構造体を得るために使用されている。上記異方性導電材料による接続としては、例えば、フレキシブルプリント基板とガラス基板との接続(FOG(Film on Glass))、半導体チップとフレキシブルプリント基板との接続(COF(Chip on Film))、半導体チップとガラス基板との接続(COG(Chip on Glass))、並びにフレキシブルプリント基板とガラスエポキシ基板との接続(FOB(Film on Board))等が挙げられる。 The anisotropic conductive material is used to obtain various connection structures. Examples of the connection using the anisotropic conductive material include connection between a flexible printed circuit board and a glass substrate (FOG (Film on Glass)), connection between a semiconductor chip and a flexible printed circuit board (COF (Chip on Film)), semiconductor Examples include connection between a chip and a glass substrate (COG (Chip on Glass)) and connection between a flexible printed circuit board and a glass epoxy substrate (FOB (Film on Board)).

上記異方性導電材料により、例えば、フレキシブルプリント基板の電極とガラスエポキシ基板の電極とを電気的に接続する際には、ガラスエポキシ基板上に、導電性粒子を含む異方性導電材料を配置する。次に、フレキシブルプリント基板を積層して、加熱及び加圧する。これにより、異方性導電材料を硬化させて、導電性粒子を介して電極間を電気的に接続して、接続構造体を得る。 For example, when electrically connecting electrodes of a flexible printed circuit board and electrodes of a glass epoxy board using the anisotropic conductive material, an anisotropic conductive material containing conductive particles is placed on the glass epoxy board. do. Next, the flexible printed circuit board is laminated and heated and pressurized. As a result, the anisotropic conductive material is cured and the electrodes are electrically connected via the conductive particles to obtain a connection structure.

上記導電材料を基板上に配置する方法として、スクリーン印刷による方法、ディスペンスによる方法、ピン転写による方法、及びディップ転写による方法等が知られている。下記の特許文献1,2には、ピン転写に用いられる導電材料が開示されている。 As a method for disposing the conductive material on the substrate, a method by screen printing, a method by dispensing, a method by pin transfer, a method by dip transfer, and the like are known. The following Patent Documents 1 and 2 disclose conductive materials used for pin transfer.

下記の特許文献1には、特定の組成を有するAu-Sn合金はんだ粉末を含むピン転写用Au-Sn合金はんだペーストが開示されている。上記Au-Sn合金はんだ粉末は、平均粒径5μm未満、かつ最大粒径10μm以下の粒度分布を有する。上記ピン転写用Au-Sn合金はんだペーストの粘度は、10Pa・s以上50Pa・s未満であることが好ましい。 Patent Document 1 below discloses an Au—Sn alloy solder paste for pin transfer containing Au—Sn alloy solder powder having a specific composition. The Au—Sn alloy solder powder has a particle size distribution with an average particle size of less than 5 μm and a maximum particle size of 10 μm or less. Preferably, the Au—Sn alloy solder paste for pin transfer has a viscosity of 10 Pa·s or more and less than 50 Pa·s.

下記の特許文献2は、金属粉末を樹脂中に分散させた導電性接着剤が開示されている。上記導電性接着剤は、室温にて液状であるフェノールノボラック型エポキシ樹脂にビスフェノールA型エポキシ樹脂を20重量%以上50重量%以下で含有させた樹脂と、平均粒径が0.5μm~5μmである金属粉末と、平均粒径が10μm~25μmである金属粉末とを含む。上記導電性接着剤の25℃での粘度は、ずり速度が20s-1のときに10Pa・s以上30Pa・s以下であり、ずり速度が4s-1のときに20Pa・s以上60Pa・s以下である。 Patent Document 2 below discloses a conductive adhesive in which metal powder is dispersed in a resin. The conductive adhesive is composed of a resin obtained by adding 20% by weight or more and 50% by weight or less of a bisphenol A type epoxy resin to a phenolic novolac type epoxy resin that is liquid at room temperature, and an average particle size of 0.5 μm to 5 μm. A metal powder and a metal powder having an average particle size of 10 μm to 25 μm. The viscosity of the conductive adhesive at 25° C. is 10 Pa s or more and 30 Pa s or less when the shear rate is 20 s −1 , and 20 Pa s or more and 60 Pa s or less when the shear rate is 4 s −1 . is.

特開2009-226472号公報JP 2009-226472 A 特開平11-279501号公報JP-A-11-279501

上記導電材料を基板上に配置する方法として、スクリーン印刷による方法が広く用いられている。しかしながら、近年の実装プロセスの複雑化及び基板デザインの複雑化に伴って、スクリーン印刷では、導電材料を精度よく配置することができないことがある。 A screen printing method is widely used as a method for disposing the conductive material on the substrate. However, with the recent complication of the mounting process and the complication of the substrate design, it may not be possible to arrange the conductive material with high accuracy by screen printing.

ディスペンスによる方法では、スクリーン印刷による方法よりも導電材料の配置精度を高めることができるものの、導電材料が円形に吐出されるため、配置精度を十分に高めることは困難である。 Although the dispensing method can improve the placement accuracy of the conductive material more than the screen printing method, it is difficult to sufficiently improve the placement accuracy because the conductive material is discharged in a circular shape.

上記スクリーン印刷及び上記ディスペンスによる方法に代わる方法として、ピン転写による方法及びディップ転写による方法が知られている。 A pin transfer method and a dip transfer method are known as alternatives to the screen printing and dispensing methods.

ピン転写は、導電材料を特定の形状を有するピンに付着させて、ピンに付着させた導電材料を基板の特定の部分に転写する方法である。しかしながら、特許文献1,2に記載のような従来のピン転写用の導電材料では、転写面積のばらつきを十分に抑えることは困難である。 Pin transfer is a method of attaching a conductive material to a pin having a specific shape and transferring the conductive material attached to the pin to a specific portion of a substrate. However, it is difficult to sufficiently suppress variations in the transfer area with conventional pin transfer conductive materials such as those described in Patent Documents 1 and 2.

ディップ転写は、基板の特定の部分を導電材料に浸漬(ディップ)することにより、導電材料を基板の特定の部分に転写する方法である。しかしながら、従来のディップ転写用の導電材料では、導電材料が濡れ拡がるなどするため、転写面積のばらつきを十分に抑えることは困難である。 Dip transfer is a method of transferring a conductive material to a specific portion of a substrate by immersing (dipping) the specific portion of the substrate in the conductive material. However, with the conventional conductive material for dip transfer, it is difficult to sufficiently suppress variations in transfer area because the conductive material wets and spreads.

本発明の目的は、転写面積のばらつきを抑えることができる導電材料を提供することである。また、本発明の目的は、上記導電材料を用いた接続構造体及び接続構造体の製造方法を提供することである。 An object of the present invention is to provide a conductive material capable of suppressing variations in transfer area. Another object of the present invention is to provide a connection structure using the conductive material and a method for manufacturing the connection structure.

本発明の広い局面によれば、ピン転写又はディップ転写に用いられる導電材料であり、熱硬化性成分と、複数のはんだ粒子と、フラックスとを含み、前記はんだ粒子の含有量が、70重量%以上93重量%以下であり、冷凍保管された前記導電材料を解凍し、25℃に達した直後の導電材料の25℃及び5rpmでの粘度をηAとし、冷凍保管された前記導電材料を解凍し、25℃に達した直後の導電材料の25℃及び0.5rpmでの粘度をηBとしたときに、ηAが、10Pa・s以上80Pa・s以下であり、ηB/ηAが、1.5以上である、導電材料が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, a conductive material for use in pin transfer or dip transfer, comprising a thermosetting component, a plurality of solder particles, and a flux, wherein the solder particle content is 70% by weight. above 93% by weight or less, the frozen-stored conductive material is thawed, the viscosity of the conductive material at 25°C and 5 rpm immediately after reaching 25°C is defined as ηA, and the frozen-stored conductive material is thawed. , where ηB is the viscosity of the conductive material at 25°C and 0.5 rpm immediately after reaching 25°C, ηA is 10 Pa s or more and 80 Pa s or less, and ηB/ηA is 1.5 or more. A conductive material is provided, which is

本発明に係る導電材料のある特定の局面では、ηAが、50Pa・s以下である。 In a specific aspect of the conductive material according to the present invention, ηA is 50 Pa·s or less.

本発明に係る導電材料のある特定の局面では、前記はんだ粒子の平均粒子径が、3.0μm以下であり、前記はんだ粒子の最大粒子径が、10μm以下である。 In a specific aspect of the conductive material according to the present invention, the average particle size of the solder particles is 3.0 μm or less, and the maximum particle size of the solder particles is 10 μm or less.

本発明に係る導電材料のある特定の局面では、前記はんだ粒子の融点が、120℃以上400℃以下である。 In a specific aspect of the conductive material according to the present invention, the solder particles have a melting point of 120° C. or higher and 400° C. or lower.

本発明に係る導電材料のある特定の局面では、前記フラックスが、有機酸、リン酸、有機酸アミン塩、又はリン酸アミン塩を含む。 In a specific aspect of the conductive material according to the present invention, the flux contains organic acid, phosphoric acid, organic acid amine salt, or phosphoric acid amine salt.

本発明に係る導電材料のある特定の局面では、前記導電材料が、導電ペーストである。 In a specific aspect of the conductive material according to the present invention, the conductive material is conductive paste.

本発明の広い局面によれば、第1の電極を表面に有する第1の接続対象部材と、第2の電極を表面に有する第2の接続対象部材と、前記第1の接続対象部材と、前記第2の接続対象部材とを接続している接続部とを備え、前記接続部の材料が、上述した導電材料であり、前記第1の電極と前記第2の電極とが、前記接続部中のはんだ部により電気的に接続されている、接続構造体が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, a first member to be connected having a first electrode on its surface, a second member to be connected having a second electrode on its surface, the first member to be connected, a connecting portion connecting the second member to be connected, wherein the material of the connecting portion is the conductive material described above, and the first electrode and the second electrode are connected to the connecting portion A connecting structure is provided that is electrically connected by a solder portion therein.

本発明の広い局面によれば、上述した導電材料を用いて、第1の電極を表面に有する第1の接続対象部材の表面上又は第2の電極を表面に有する第2の接続対象部材の表面上に、ピン転写又はディップ転写により前記導電材料を転写する工程と、前記第1の電極と前記第2の電極とが前記導電材料を介して対向するように、前記第1の接続対象部材に対して、前記第2の接続対象部材を配置する工程と、前記はんだ粒子の融点以上に前記導電材料を加熱することで、前記第1の接続対象部材と前記第2の接続対象部材とを接続している接続部を、前記導電材料により形成し、かつ、前記第1の電極と前記第2の電極とを、前記接続部中のはんだ部により電気的に接続する工程とを備える、接続構造体の製造方法が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, the conductive material described above is used on the surface of the first connection target member having the first electrode on the surface or on the second connection target member having the second electrode on the surface. transferring the conductive material onto the surface by pin transfer or dip transfer; and transferring the first member to be connected so that the first electrode and the second electrode face each other through the conductive material the first member to be connected and the second member to be connected by arranging the second member to be connected and heating the conductive material to the melting point of the solder particles or higher, forming a connecting portion from the conductive material, and electrically connecting the first electrode and the second electrode by a solder portion in the connecting portion. A method of manufacturing a structure is provided.

本発明に係る導電材料は、ピン転写又はディップ転写に用いられる。本発明に係る導電材料は、熱硬化性成分と、複数のはんだ粒子と、フラックスとを含み、上記はんだ粒子の含有量が、70重量%以上93重量%以下である。本発明では、冷凍保管された上記導電材料を解凍し、25℃に達した直後の導電材料の25℃及び5rpmでの粘度をηAとし、冷凍保管された上記導電材料を解凍し、25℃に達した直後の導電材料の25℃及び0.5rpmでの粘度をηBとする。本発明に係る導電材料では、ηAが、10Pa・s以上80Pa・s以下であり、ηB/ηAが、1.5以上である。本発明に係る導電材料では、上記の構成が備えられているので、転写面積のばらつきを抑えることができる。 The conductive material according to the invention is used for pin transfer or dip transfer. A conductive material according to the present invention includes a thermosetting component, a plurality of solder particles, and flux, and the content of the solder particles is 70% by weight or more and 93% by weight or less. In the present invention, the frozen-stored conductive material is thawed, and the viscosity of the conductive material at 25°C and 5 rpm immediately after reaching 25°C is defined as ηA. Let ηB be the viscosity of the conductive material at 25° C. and 0.5 rpm immediately after reaching the temperature. In the conductive material according to the present invention, ηA is 10 Pa·s or more and 80 Pa·s or less, and ηB/ηA is 1.5 or more. Since the conductive material according to the present invention has the above configuration, it is possible to suppress variations in the transfer area.

図1は、本発明の一実施形態に係る導電材料を用いて得られる接続構造体を模式的に示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a connected structure obtained using a conductive material according to one embodiment of the present invention.

以下、本発明の詳細を説明する。 The details of the present invention are described below.

(導電材料)
本発明に係る導電材料は、ピン転写又はディップ転写に用いられる。本発明に係る導電材料は、ピン転写に用いられてもよく、ディップ転写に用いられてもよい。本発明に係る導電材料は、熱硬化性成分と、複数のはんだ粒子と、フラックスとを含み、上記はんだ粒子の含有量が、70重量%以上93重量%以下である。本発明では、冷凍保管された上記導電材料を解凍し、25℃に達した直後の導電材料の25℃及び5rpmでの粘度をηAとし、冷凍保管された上記導電材料を解凍し、25℃に達した直後の導電材料の25℃及び0.5rpmでの粘度をηBとする。本発明に係る導電材料では、ηAが、10Pa・s以上80Pa・s以下であり、ηB/ηAが、1.5以上である。
(Conductive material)
The conductive material according to the invention is used for pin transfer or dip transfer. The conductive material according to the present invention may be used for pin transfer or dip transfer. A conductive material according to the present invention includes a thermosetting component, a plurality of solder particles, and flux, and the content of the solder particles is 70% by weight or more and 93% by weight or less. In the present invention, the frozen-stored conductive material is thawed, and the viscosity of the conductive material at 25°C and 5 rpm immediately after reaching 25°C is defined as ηA. Let ηB be the viscosity of the conductive material at 25° C. and 0.5 rpm immediately after reaching the temperature. In the conductive material according to the present invention, ηA is 10 Pa·s or more and 80 Pa·s or less, and ηB/ηA is 1.5 or more.

本発明に係る導電材料では、上記の構成が備えられているので、転写面積のばらつきを抑えることができる。 Since the conductive material according to the present invention has the above configuration, it is possible to suppress variations in the transfer area.

近年、2階建て実装等の実装プロセスの複雑化が進行している。また、表面に凹凸を有する基板や、ファインピッチ化された基板等の基板デザインの複雑化も進行している。従来のスクリーン印刷による方法及びディスペンスによる方法では、上記のような複雑化した実装プロセス及び基板デザインに対応することは困難である。また、従来の導電材料を用いたピン転写及びディップ転写による方法でも、転写面積がばらつくため、上記のような複雑化した実装プロセス及び基板デザインに対応することは困難である。特に、導電材料に含まれるはんだ粒子の平均粒子径及び最大粒子径が小さい場合には、転写面積のばらつきを十分に抑えることは困難である。 In recent years, mounting processes such as two-story mounting have become more complex. In addition, substrate designs such as substrates having unevenness on the surface and substrates with fine pitches are becoming more complicated. It is difficult for the conventional screen printing method and dispensing method to cope with the complicated mounting process and board design as described above. In addition, even with the conventional methods of pin transfer and dip transfer using conductive materials, the transfer area varies, so it is difficult to cope with the complicated mounting process and board design as described above. In particular, when the average particle size and the maximum particle size of the solder particles contained in the conductive material are small, it is difficult to sufficiently suppress variations in the transfer area.

これに対して、本発明に係る導電材料では、転写面積のばらつきを抑えることができるので、複雑化した実装プロセス及び基板デザインに対応することができる。また、本発明に係る導電材料では、はんだ粒子の平均粒子径及び最大粒子径が小さい場合であっても、転写面積のばらつきを抑えることができる。 On the other hand, the conductive material according to the present invention can suppress variations in the transfer area, so that it is possible to cope with complicated mounting processes and board designs. Moreover, in the conductive material according to the present invention, even when the average particle size and the maximum particle size of the solder particles are small, variations in the transfer area can be suppressed.

また、本発明では、はんだ凝集性を高めることができる。このため、本発明では、電極間の導電接続時に、複数のはんだ粒子が上下の対向した電極間に集まりやすく、複数のはんだ粒子を電極(ライン)上に配置することができる。また、複数のはんだ粒子の一部が、接続されてはならない横方向の電極間に配置され難く、接続されてはならない横方向の電極間に配置されるはんだ粒子の量をかなり少なくすることができる。結果として、本発明では、接続されてはならない横方向の電極間において、はんだの残存量を少なくすることができる。 Moreover, in the present invention, solder cohesiveness can be enhanced. Therefore, in the present invention, a plurality of solder particles are likely to gather between the upper and lower facing electrodes during conductive connection between the electrodes, and a plurality of solder particles can be arranged on the electrodes (lines). Also, some of the plurality of solder particles are less likely to be placed between lateral electrodes that should not be connected, and the amount of solder particles placed between lateral electrodes that should not be connected can be significantly reduced. can. As a result, the present invention can reduce the residual amount of solder between lateral electrodes that should not be connected.

さらに、本発明では、電極間の位置ずれを防ぐことができる。本発明では、導電材料を上面に配置した第1の接続対象部材に、第2の接続対象部材を重ね合わせる際に、第1の接続対象部材の電極と第2の接続対象部材の電極とのアライメントがずれた状態でも、そのずれを補正して電極同士を接続させることができる(セルフアライメント効果)。 Furthermore, according to the present invention, positional displacement between electrodes can be prevented. In the present invention, when the second connection target member is superimposed on the first connection target member having the conductive material disposed on the upper surface, the electrode of the first connection target member and the electrode of the second connection target member Even if the alignment is misaligned, the electrodes can be connected by correcting the misalignment (self-alignment effect).

本発明では、冷凍保管された上記導電材料を解凍し、25℃に達した直後の導電材料の25℃及び5rpmでの粘度をηAとする。本発明では、冷凍保管された上記導電材料を解凍し、25℃に達した直後の導電材料の25℃及び0.5rpmでの粘度をηBとする。本発明では、作製直後の導電材料の25℃及び5rpmでの粘度をηCとする。本発明では、作製直後の導電材料の25℃及び0.5rpmでの粘度をηDとする。 In the present invention, ηA is the viscosity of the conductive material at 25° C. and 5 rpm immediately after the conductive material that has been frozen and stored is thawed and reaches 25° C. In the present invention, ηB is the viscosity of the conductive material at 25° C. and 0.5 rpm immediately after the conductive material that has been frozen and stored is thawed and reaches 25° C. In the present invention, ηC is the viscosity of the conductive material immediately after production at 25° C. and 5 rpm. In the present invention, ηD is the viscosity at 25° C. and 0.5 rpm of the conductive material immediately after fabrication.

本発明の効果を発揮する観点から、ηAは、10Pa・s以上80Pa・s以下である。 From the viewpoint of exhibiting the effects of the present invention, ηA is 10 Pa·s or more and 80 Pa·s or less.

上記ηAは、好ましくは20Pa・s以上、より好ましくは30Pa・s以上、好ましくは60Pa・s以下、より好ましくは40Pa・s以下である。上記ηAが上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができ、また、はんだ粒子の平均粒子径及び最大粒子径が小さい場合であっても、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。さらに、接続されるべき上下の電極間の導通信頼性をより一層効果的に高めることができる。上記ηAは、配合成分の種類及び配合量により適宜調整することができる。 ηA is preferably 20 Pa·s or more, more preferably 30 Pa·s or more, preferably 60 Pa·s or less, and more preferably 40 Pa·s or less. When ηA is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the effect of the present invention can be exhibited more effectively. The effects of the present invention can be exhibited more effectively. Furthermore, the reliability of conduction between the upper and lower electrodes to be connected can be more effectively improved. The above ηA can be appropriately adjusted depending on the type and amount of compounding components.

本発明の効果を発揮する観点から、ηB/ηA(ηBのηAに対する比)は、1.5以上である。 From the viewpoint of exhibiting the effect of the present invention, ηB/ηA (ratio of ηB to ηA) is 1.5 or more.

上記ηB/ηA(ηBのηAに対する比)は、好ましくは1.8以上、より好ましくは2.5以上であり、好ましくは6.0以下、より好ましくは4.5以下である。上記ηB/ηAが上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができ、また、はんだ粒子の平均粒子径及び最大粒子径が小さい場合であっても、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。さらに、接続されるべき上下の電極間の導通信頼性をより一層効果的に高めることができる。上記ηB/ηAは、配合成分の種類及び配合量により適宜調整することができる。 The ηB/ηA (ratio of ηB to ηA) is preferably 1.8 or more, more preferably 2.5 or more, and preferably 6.0 or less, more preferably 4.5 or less. When the ηB/ηA is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the effects of the present invention can be exhibited more effectively, and even when the average particle size and the maximum particle size of the solder particles are small, Also, the effects of the present invention can be exhibited more effectively. Furthermore, the reliability of conduction between the upper and lower electrodes to be connected can be more effectively improved. The above ηB/ηA can be appropriately adjusted depending on the types and blending amounts of the ingredients.

上記ηBは、好ましくは36Pa・s以上、より好ましくは50Pa・s以上、好ましくは360Pa・s以下、より好ましくは180Pa・s以下である。上記ηBが上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができ、また、はんだ粒子の平均粒子径及び最大粒子径が小さい場合であっても、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。さらに、接続されるべき上下の電極間の導通信頼性をより一層効果的に高めることができる。上記ηBは、配合成分の種類及び配合量により適宜調整することができる。 ηB is preferably 36 Pa·s or more, more preferably 50 Pa·s or more, preferably 360 Pa·s or less, and more preferably 180 Pa·s or less. When ηB is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the effects of the present invention can be exhibited more effectively. The effects of the present invention can be exhibited more effectively. Furthermore, the reliability of conduction between the upper and lower electrodes to be connected can be more effectively improved. The above ηB can be appropriately adjusted depending on the type and amount of compounding components.

上記ηCは、好ましくは25Pa・s以上、より好ましくは35Pa・s以上、好ましくは65Pa・s以下、より好ましくは45Pa・s以下である。上記ηCが上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができ、また、はんだ粒子の平均粒子径及び最大粒子径が小さい場合であっても、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。さらに、接続されるべき上下の電極間の導通信頼性をより一層効果的に高めることができる。上記ηCは、配合成分の種類及び配合量により適宜調整することができる。 ηC is preferably 25 Pa·s or more, more preferably 35 Pa·s or more, preferably 65 Pa·s or less, and more preferably 45 Pa·s or less. When ηC is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the effects of the present invention can be exhibited more effectively. The effects of the present invention can be exhibited more effectively. Furthermore, the reliability of conduction between the upper and lower electrodes to be connected can be more effectively improved. The above ηC can be appropriately adjusted depending on the type and amount of compounding components.

上記ηDは、好ましくは41Pa・s以上、より好ましくは55Pa・s以上、好ましくは370Pa・s以下、より好ましくは190Pa・s以下である。上記ηDが上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができ、また、はんだ粒子の平均粒子径及び最大粒子径が小さい場合であっても、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。さらに、接続されるべき上下の電極間の導通信頼性をより一層効果的に高めることができる。上記ηDは、配合成分の種類及び配合量により適宜調整することができる。 ηD is preferably 41 Pa·s or more, more preferably 55 Pa·s or more, preferably 370 Pa·s or less, and more preferably 190 Pa·s or less. When ηD is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the effects of the present invention can be exhibited more effectively. The effects of the present invention can be exhibited more effectively. Furthermore, the reliability of conduction between the upper and lower electrodes to be connected can be more effectively enhanced. The above ηD can be appropriately adjusted depending on the type and amount of compounding components.

上記ηD/ηC(ηDのηCに対する比)は、好ましくは1.5以上、より好ましくは1.8以上、さらに好ましくは2.5以上であり、好ましくは6.0以下、より好ましくは4.5以下である。上記ηD/ηCが上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができ、また、はんだ粒子の平均粒子径及び最大粒子径が小さい場合であっても、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。さらに、接続されるべき上下の電極間の導通信頼性をより一層効果的に高めることができる。上記ηD/ηCは、配合成分の種類及び配合量により適宜調整することができる。 The ηD/ηC (ratio of ηD to ηC) is preferably 1.5 or more, more preferably 1.8 or more, still more preferably 2.5 or more, and preferably 6.0 or less, more preferably 4.0. 5 or less. When ηD/ηC is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the effects of the present invention can be exhibited more effectively, and even when the average particle size and the maximum particle size of the solder particles are small, Also, the effects of the present invention can be exhibited more effectively. Furthermore, the reliability of conduction between the upper and lower electrodes to be connected can be more effectively improved. The above ηD/ηC can be appropriately adjusted depending on the type and blending amount of the ingredients.

上記粘度(ηA)、上記粘度(ηB)、上記粘度(ηC)及び上記粘度(ηD)は、例えば、E型粘度計(東機産業社製「TVE22L」)等を用いて、測定することができる。 The viscosity (ηA), the viscosity (ηB), the viscosity (ηC), and the viscosity (ηD) can be measured using, for example, an E-type viscometer ("TVE22L" manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.). can.

なお、本明細書において、粘度を測定するための導電材料の冷凍保管の条件は、-40℃で48時間保管する条件である。一方で、導電材料の実際の使用時の上記冷凍保管の条件は特に限定されない。導電材料の実際の使用時の上記冷凍保管の温度は特に限定されず、0℃未満であればよい。導電材料の実際の使用時の上記冷凍保管の温度は、-10℃以下であってもよく、-20℃以下であってもよく、-40℃以下であってもよい。導電材料の実際の使用時の上記冷凍保管の期間は特に限定されず、180日間以下であればよい。該冷凍保管の期間は、30日間以上であってもよく、60日間以上であってもよく、90日間以上であってもよく、120日間以上であってもよい。 In this specification, the conditions for refrigerated storage of the conductive material for measuring the viscosity are the conditions for storage at -40°C for 48 hours. On the other hand, there is no particular limitation on the above-mentioned frozen storage conditions when the conductive material is actually used. The temperature of the above frozen storage at the time of actual use of the conductive material is not particularly limited, and may be less than 0°C. The temperature of the above frozen storage during actual use of the conductive material may be −10° C. or lower, −20° C. or lower, or −40° C. or lower. The period of the above frozen storage when the conductive material is actually used is not particularly limited, and may be 180 days or less. The period of frozen storage may be 30 days or longer, 60 days or longer, 90 days or longer, or 120 days or longer.

また、本明細書において、粘度を測定するための導電材料の解凍条件は、25℃で保管する条件である。一方で、導電材料の実際の使用時の冷凍保管された上記導電材料を解凍する方法は特に限定されない。導電材料の実際の使用時の冷凍保管された上記導電材料を解凍する方法としては、室温条件下で解凍する方法、冷蔵条件下で解凍する方法、及び加熱条件下で解凍する方法等が挙げられる。上記室温条件は、20℃以上25℃以下であることが好ましい。上記冷蔵条件は、0℃を超え10℃以下であることが好ましい。上記加熱条件は、30℃以上35℃以下であることが好ましい。 Moreover, in this specification, the thawing condition of the conductive material for measuring the viscosity is the condition of storage at 25°C. On the other hand, there is no particular limitation on the method of thawing the above-mentioned electrically conductive material that has been stored frozen when the electrically conductive material is actually used. Examples of the method for thawing the above-mentioned conductive material that has been frozen and stored at the time of actual use of the conductive material include a method of thawing under room temperature conditions, a method of thawing under refrigeration conditions, and a method of thawing under heating conditions. . The room temperature condition is preferably 20° C. or higher and 25° C. or lower. The refrigeration conditions are preferably above 0°C and 10°C or less. The heating conditions are preferably 30° C. or higher and 35° C. or lower.

はんだ粒子の融点での導電材料の粘度(ηmp)は、好ましくは0.1Pa・s以上、より好ましくは1Pa・s以上であり、好ましくは10Pa・s以下、より好ましくは5Pa・s以下、さらに好ましくは2Pa・s以下である。上記粘度(ηmp)が上記下限以上であると、接続部でのボイドを抑制し、接続部以外への導電材料のはみだしを抑制することができる。上記粘度(ηmp)が上記上限以下であると、電極上にはんだ粒子を効率的に凝集させることができる。 The viscosity (ηmp) of the conductive material at the melting point of the solder particles is preferably 0.1 Pa s or more, more preferably 1 Pa s or more, preferably 10 Pa s or less, more preferably 5 Pa s or less, and further It is preferably 2 Pa·s or less. When the viscosity (ηmp) is equal to or higher than the lower limit, it is possible to suppress the formation of voids in the connecting portion and suppress the protrusion of the conductive material to areas other than the connecting portion. When the viscosity (ηmp) is equal to or less than the upper limit, the solder particles can be efficiently agglomerated on the electrode.

上記粘度(ηmp)は、例えば、Thermo Fisher Scientific社製レオメーター「HAAKE MARS III」を用いて、周波数2Hz、昇温速度0.11℃/秒、測定温度範囲25℃~200℃(但し、はんだ粒子の融点が200℃を超える場合には温度上限をはんだ粒子の融点とする)の条件で測定可能である。測定結果から、はんだ粒子の融点(℃)での粘度が評価される。 The above viscosity (ηmp) is measured, for example, using a rheometer "HAAKE MARS III" manufactured by Thermo Fisher Scientific, at a frequency of 2 Hz, a heating rate of 0.11°C/sec, and a measurement temperature range of 25°C to 200°C (however, solder If the melting point of the particles exceeds 200° C., the melting point of the solder particles is used as the upper limit of the temperature). From the measurement results, the viscosity at the melting point (° C.) of the solder particles is evaluated.

上記導電材料は、導電ペースト等として使用され得る。本発明の効果をより一層効果的に発揮する観点からは、上記導電材料は、25℃で液状であることが好ましく、導電ペーストであることが好ましい。上記導電ペーストは、異方性導電ペーストであることが好ましい。電極上にはんだ粒子をより一層効率的に配置する観点からは、上記導電材料は、導電ペーストであることが好ましい。上記導電材料は、電極の電気的な接続に好適に用いられる。上記導電材料は、回路接続材料であることが好ましい。 The conductive material can be used as a conductive paste or the like. From the viewpoint of exhibiting the effects of the present invention more effectively, the conductive material is preferably liquid at 25° C., and is preferably a conductive paste. The conductive paste is preferably an anisotropic conductive paste. From the viewpoint of arranging the solder particles on the electrodes more efficiently, the conductive material is preferably a conductive paste. The conductive material is suitably used for electrical connection of electrodes. The conductive material is preferably a circuit connecting material.

以下、上記導電材料に含まれる各成分を説明する。なお、本明細書中において、「(メタ)アクリル」は「アクリル」と「メタクリル」との一方又は双方を意味する。 Each component contained in the conductive material will be described below. In this specification, "(meth)acryl" means one or both of "acryl" and "methacryl".

(熱硬化性成分)
上記導電材料は、熱硬化性成分を含む。上記熱硬化性成分としては、熱硬化性化合物、熱硬化剤、及び硬化促進剤等が挙げられる。上記導電材料は、熱硬化性成分として、熱硬化性化合物を含んでいてもよく、熱硬化性化合物と硬化促進剤とを含んでいてもよく、熱硬化性化合物と熱硬化剤と硬化促進剤とを含んでいてもよい。
(Thermosetting component)
The conductive material includes a thermosetting component. Examples of the thermosetting component include thermosetting compounds, thermosetting agents, and curing accelerators. The conductive material may contain a thermosetting compound as a thermosetting component, may contain a thermosetting compound and a curing accelerator, and may contain a thermosetting compound, a thermosetting agent and a curing accelerator. and may include

(熱硬化性成分:熱硬化性化合物)
上記熱硬化性化合物は、加熱により硬化可能な化合物である。
(Thermosetting component: thermosetting compound)
The thermosetting compound is a compound that can be cured by heating.

上記熱硬化性化合物は特に限定されない。上記熱硬化性化合物としては、オキセタン化合物、エポキシ化合物、エピスルフィド化合物、(メタ)アクリル化合物、フェノール化合物、アミノ化合物、不飽和ポリエステル化合物、ポリウレタン化合物、シリコーン化合物及びポリイミド化合物等が挙げられる。導電材料の硬化性及び粘度をより一層良好にする観点、導通信頼性をより一層効果的に高める観点から、上記熱硬化性化合物は、エポキシ化合物又はエピスルフィド化合物を含むことが好ましく、エポキシ化合物を含むことがより好ましい。上記熱硬化性化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The thermosetting compound is not particularly limited. Examples of the thermosetting compounds include oxetane compounds, epoxy compounds, episulfide compounds, (meth)acrylic compounds, phenol compounds, amino compounds, unsaturated polyester compounds, polyurethane compounds, silicone compounds and polyimide compounds. From the viewpoint of further improving the curability and viscosity of the conductive material, and from the viewpoint of more effectively increasing the conduction reliability, the thermosetting compound preferably contains an epoxy compound or an episulfide compound, and contains an epoxy compound. is more preferable. As for the said thermosetting compound, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記エポキシ化合物は、少なくとも1個のエポキシ基を有する化合物である。上記エポキシ化合物としては、ビスフェノールA型エポキシ化合物、ビスフェノールF型エポキシ化合物、ビスフェノールS型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物、ビフェニルノボラック型エポキシ化合物、ビフェノール型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、フルオレン型エポキシ化合物、フェノールアラルキル型エポキシ化合物、ナフトールアラルキル型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物、アントラセン型エポキシ化合物、アダマンタン骨格を有するエポキシ化合物、トリシクロデカン骨格を有するエポキシ化合物、ナフチレンエーテル型エポキシ化合物、及びトリアジン核を骨格に有するエポキシ化合物等が挙げられる。上記エポキシ化合物は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The epoxy compound is a compound having at least one epoxy group. Examples of the epoxy compounds include bisphenol A type epoxy compounds, bisphenol F type epoxy compounds, bisphenol S type epoxy compounds, phenol novolac type epoxy compounds, biphenyl type epoxy compounds, biphenyl novolak type epoxy compounds, biphenol type epoxy compounds, and naphthalene type epoxy compounds. , fluorene type epoxy compound, phenol aralkyl type epoxy compound, naphthol aralkyl type epoxy compound, dicyclopentadiene type epoxy compound, anthracene type epoxy compound, epoxy compound having adamantane skeleton, epoxy compound having tricyclodecane skeleton, naphthylene ether type Epoxy compounds, epoxy compounds having a triazine core in the skeleton, and the like are included. Only one type of the epoxy compound may be used, or two or more types may be used in combination.

上記エポキシ化合物は、常温(25℃)で液状又は固体であり、上記エポキシ化合物が常温で固体である場合には、上記エポキシ化合物の溶融温度は、上記はんだ粒子の融点以下であることが好ましい。上記の好ましいエポキシ化合物を用いることで、接続対象部材を貼り合わせた段階では、粘度が高くなるため、搬送等の衝撃により加速度が付与された際に、第1の接続対象部材と、第2の接続対象部材との位置ずれを抑制することができる。さらに、硬化時の熱により、導電材料の粘度を大きく低下させることができ、はんだ粒子の凝集を効率よく進行させることができる。 The epoxy compound is liquid or solid at normal temperature (25° C.), and when the epoxy compound is solid at normal temperature, the melting temperature of the epoxy compound is preferably equal to or lower than the melting point of the solder particles. By using the above preferred epoxy compound, the viscosity increases at the stage when the members to be connected are bonded together. It is possible to suppress positional deviation from the connection target member. Furthermore, the heat during curing can greatly reduce the viscosity of the conductive material, allowing the agglomeration of the solder particles to proceed efficiently.

電極上にはんだ粒子をより一層効率的に配置する観点からは、上記熱硬化性化合物は、ポリエーテル骨格を有する熱硬化性化合物を含むことが好ましい。 From the viewpoint of arranging the solder particles on the electrode more efficiently, the thermosetting compound preferably contains a thermosetting compound having a polyether skeleton.

上記ポリエーテル骨格を有する熱硬化性化合物としては、炭素数3~12のアルキル鎖の両末端にグリシジルエーテル基を有する化合物、並びに炭素数2~4のポリエーテル骨格を有し、該ポリエーテル骨格2個~10個が連続して結合した構造単位を有するポリエーテル型エポキシ化合物等が挙げられる。 As the thermosetting compound having a polyether skeleton, a compound having a glycidyl ether group at both ends of an alkyl chain having 3 to 12 carbon atoms, and a polyether skeleton having 2 to 4 carbon atoms, the polyether skeleton Examples thereof include polyether type epoxy compounds having a structural unit in which 2 to 10 are continuously bonded.

硬化物の耐熱性をより一層効果的に高める観点からは、上記熱硬化性化合物は、イソシアヌル骨格を有する熱硬化性化合物を含むことが好ましい。 From the viewpoint of more effectively increasing the heat resistance of the cured product, the thermosetting compound preferably contains a thermosetting compound having an isocyanuric skeleton.

上記イソシアヌル骨格を有する熱硬化性化合物としてはトリイソシアヌレート型エポキシ化合物等が挙げられ、日産化学工業社製TEPICシリーズ(TEPIC-G、TEPIC-S、TEPIC-SS、TEPIC-HP、TEPIC-L、TEPIC-PAS、TEPIC-VL、TEPIC-UC)等が挙げられる。 Examples of the thermosetting compound having an isocyanurate skeleton include triisocyanurate type epoxy compounds, and the TEPIC series manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd. (TEPIC-G, TEPIC-S, TEPIC-SS, TEPIC-HP, TEPIC-L, TEPIC-PAS, TEPIC-VL, TEPIC-UC) and the like.

上記導電材料100重量%中、上記熱硬化性化合物の含有量は、好ましくは4重量%以上、より好ましくは6重量%以上、さらに好ましくは8重量%以上、好ましくは25重量%以下、より好ましくは15重量%以下、さらに好ましくは10重量%以下である。上記熱硬化性化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができ、また、接続されてはならない電極間の絶縁信頼性及び接続されるべき電極間の導通信頼性をより一層効果的に高めることができる。また、上記熱硬化性化合物の含有量が上記下限以上であると、耐衝撃性を高めることができる。 The content of the thermosetting compound in 100% by weight of the conductive material is preferably 4% by weight or more, more preferably 6% by weight or more, still more preferably 8% by weight or more, and more preferably 25% by weight or less. is 15% by weight or less, more preferably 10% by weight or less. When the content of the thermosetting compound is at least the above lower limit and below the above upper limit, the effects of the present invention can be exhibited more effectively, and the insulation reliability between electrodes that should not be connected and It is possible to more effectively improve the reliability of conduction between the electrodes to be connected. Moreover, impact resistance can be improved as content of the said thermosetting compound is more than the said minimum.

上記導電材料100重量%中、上記エポキシ化合物の含有量は、好ましくは4重量%以上、より好ましくは6重量%以上、さらに好ましくは8重量%以上、好ましくは25重量%以下、より好ましくは15重量%以下、さらに好ましくは10重量%以下である。上記エポキシ化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができ、また、接続されてはならない電極間の絶縁信頼性及び接続されるべき電極間の導通信頼性をより一層効果的に高めることができる。また、上記エポキシ化合物の含有量が上記下限以上であると、耐衝撃性を高めることができる。 The content of the epoxy compound in 100% by weight of the conductive material is preferably 4% by weight or more, more preferably 6% by weight or more, still more preferably 8% by weight or more, preferably 25% by weight or less, and more preferably 15% by weight. % by weight or less, more preferably 10% by weight or less. When the content of the epoxy compound is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the effect of the present invention can be exhibited more effectively, and the insulation reliability and connection between electrodes that should not be connected can be improved. It is possible to further effectively improve the reliability of conduction between the electrodes. Moreover, impact resistance can be improved as content of the said epoxy compound is more than the said minimum.

(熱硬化性成分:熱硬化剤)
上記導電材料は、熱硬化剤を含んでいてもよく、含んでいなくてもよい。上記導電材料は、上記熱硬化性化合物とともに熱硬化剤を含んでいることが好ましい。上記熱硬化剤は、上記熱硬化性化合物を熱硬化させる。
(Thermosetting component: thermosetting agent)
The conductive material may or may not contain a thermosetting agent. The conductive material preferably contains a thermosetting agent together with the thermosetting compound. The thermosetting agent thermosets the thermosetting compound.

上記熱硬化剤は特に限定されない。上記熱硬化剤としては、イミダゾール硬化剤、チオール硬化剤、アミン硬化剤、フェノール硬化剤、酸無水物硬化剤、熱カチオン開始剤及び熱ラジカル発生剤等が挙げられる。上記熱硬化剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The thermosetting agent is not particularly limited. Examples of the heat curing agent include imidazole curing agents, thiol curing agents, amine curing agents, phenol curing agents, acid anhydride curing agents, thermal cationic initiators and thermal radical generators. Only one kind of the thermosetting agent may be used, or two or more kinds thereof may be used in combination.

導電材料を低温でより一層速やかに硬化可能とする観点からは、上記熱硬化剤は、イミダゾール硬化剤、チオール硬化剤、又はアミン硬化剤であることが好ましい。また、上記熱硬化性化合物と上記熱硬化剤とを混合したときの保存安定性を高める観点からは、上記熱硬化剤は、潜在性の硬化剤であることが好ましい。潜在性の硬化剤は、潜在性イミダゾール硬化剤、潜在性チオール硬化剤又は潜在性アミン硬化剤であることが好ましい。なお、上記熱硬化剤は、ポリウレタン樹脂又はポリエステル樹脂等の高分子物質で被覆されていてもよい。 From the viewpoint of enabling the conductive material to be cured at a low temperature more rapidly, the thermosetting agent is preferably an imidazole curing agent, a thiol curing agent, or an amine curing agent. Moreover, from the viewpoint of enhancing storage stability when the thermosetting compound and the thermosetting agent are mixed, the thermosetting agent is preferably a latent curing agent. The latent curing agent is preferably a latent imidazole curing agent, a latent thiol curing agent or a latent amine curing agent. The thermosetting agent may be coated with a polymeric material such as polyurethane resin or polyester resin.

上記イミダゾール硬化剤は特に限定されない。上記イミダゾール硬化剤としては、2-メチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾリウムトリメリテート、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン及び2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジンイソシアヌル酸付加物、2-フェニル-4,5-ジヒドロキシメチルイミダゾール、2-フェニル-4-メチル-5-ヒドロキシメチルイミダゾール、2-フェニル-4-ベンジル-5-ヒドロキシメチルイミダゾール、2-パラトルイル-4-メチル-5-ヒドロキシメチルイミダゾール、2-メタトルイル-4-メチル-5-ヒドロキシメチルイミダゾール、2-メタトルイル-4,5-ジヒドロキシメチルイミダゾール、2-パラトルイル-4,5-ジヒドロキシメチルイミダゾール等における1H-イミダゾールの5位の水素をヒドロキシメチル基で、かつ、2位の水素をフェニル基またはトルイル基で置換したイミダゾール化合物等が挙げられる。 The imidazole curing agent is not particularly limited. Examples of the imidazole curing agent include 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6. -[2′-methylimidazolyl-(1′)]-ethyl-s-triazine and 2,4-diamino-6-[2′-methylimidazolyl-(1′)]-ethyl-s-triazine isocyanuric acid adducts , 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4-benzyl-5-hydroxymethylimidazole, 2-p-toluyl-4-methyl-5 -5-position of 1H-imidazole in hydroxymethylimidazole, 2-methatoluyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2-methatoluyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2-paratoluyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, etc. and the hydrogen at the 2-position is substituted with a hydroxymethyl group and the hydrogen at the 2-position with a phenyl group or a toluyl group.

上記チオール硬化剤は特に限定されない。上記チオール硬化剤としては、トリメチロールプロパントリス-3-メルカプトプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキス-3-メルカプトプロピオネート及びジペンタエリスリトールヘキサ-3-メルカプトプロピオネート等が挙げられる。 The thiol curing agent is not particularly limited. Examples of the thiol curing agent include trimethylolpropane tris-3-mercaptopropionate, pentaerythritol tetrakis-3-mercaptopropionate and dipentaerythritol hexa-3-mercaptopropionate.

上記アミン硬化剤は特に限定されない。上記アミン硬化剤としては、ヘキサメチレンジアミン、オクタメチレンジアミン、デカメチレンジアミン、3,9-ビス(3-アミノプロピル)-2,4,8,10-テトラスピロ[5.5]ウンデカン、ビス(4-アミノシクロヘキシル)メタン、メタフェニレンジアミン及びジアミノジフェニルスルホン等が挙げられる。 The amine curing agent is not particularly limited. Examples of the amine curing agent include hexamethylenediamine, octamethylenediamine, decamethylenediamine, 3,9-bis(3-aminopropyl)-2,4,8,10-tetraspiro[5.5]undecane, bis(4 -aminocyclohexyl)methane, metaphenylenediamine and diaminodiphenylsulfone.

上記酸無水物硬化剤は特に限定されず、エポキシ化合物等の熱硬化性化合物の硬化剤として用いられる酸無水物であれば広く用いることができる。上記酸無水物硬化剤としては、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、メチルブテニルテトラヒドロ無水フタル酸、フタル酸誘導体の無水物、無水マレイン酸、無水ナジック酸、無水メチルナジック酸、無水グルタル酸、無水コハク酸、グリセリンビス無水トリメリット酸モノアセテート、及びエチレングリコールビス無水トリメリット酸等の2官能の酸無水物硬化剤、無水トリメリット酸等の3官能の酸無水物硬化剤、並びに、無水ピロメリット酸、無水ベンゾフェノンテトラカルボン酸、メチルシクロヘキセンテトラカルボン酸無水物、及びポリアゼライン酸無水物等の4官能以上の酸無水物硬化剤等が挙げられる。 The acid anhydride curing agent is not particularly limited, and a wide range of acid anhydrides can be used as long as they are used as curing agents for thermosetting compounds such as epoxy compounds. Examples of the acid anhydride curing agent include phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trialkyltetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, and methylbutenyltetrahydrophthalic anhydride. , anhydrides of phthalic acid derivatives, maleic anhydride, nadic anhydride, methyl nadic anhydride, glutaric anhydride, succinic anhydride, glycerin bis trimellitic anhydride monoacetate, and ethylene glycol bis trimellitic anhydride. acid anhydride curing agent, trifunctional acid anhydride curing agent such as trimellitic anhydride, and pyromellitic anhydride, benzophenone tetracarboxylic anhydride, methylcyclohexene tetracarboxylic anhydride, polyazelaic anhydride, etc. and a tetrafunctional or higher acid anhydride curing agent.

上記熱カチオン開始剤は特に限定されない。上記熱カチオン開始剤としては、ヨードニウム系カチオン硬化剤、オキソニウム系カチオン硬化剤及びスルホニウム系カチオン硬化剤等が挙げられる。上記ヨードニウム系カチオン硬化剤としては、ビス(4-tert-ブチルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロホスファート等が挙げられる。上記オキソニウム系カチオン硬化剤としては、トリメチルオキソニウムテトラフルオロボラート等が挙げられる。上記スルホニウム系カチオン硬化剤としては、トリ-p-トリルスルホニウムヘキサフルオロホスファート等が挙げられる。 The thermal cationic initiator is not particularly limited. Examples of the thermal cationic initiator include iodonium-based cationic curing agents, oxonium-based cationic curing agents, and sulfonium-based cationic curing agents. Examples of the iodonium cationic curing agent include bis(4-tert-butylphenyl)iodonium hexafluorophosphate. Examples of the oxonium cationic curing agent include trimethyloxonium tetrafluoroborate. Examples of the sulfonium cationic curing agent include tri-p-tolylsulfonium hexafluorophosphate.

上記熱ラジカル発生剤は特に限定されない。上記熱ラジカル発生剤としては、アゾ化合物及び有機過酸化物等が挙げられる。上記アゾ化合物としては、アゾビスイソブチロニトリル(AIBN)等が挙げられる。上記有機過酸化物としては、ジ-tert-ブチルペルオキシド及びメチルエチルケトンペルオキシド等が挙げられる。 The thermal radical generator is not particularly limited. Examples of the thermal radical generator include azo compounds and organic peroxides. Examples of the azo compound include azobisisobutyronitrile (AIBN). Examples of the organic peroxide include di-tert-butyl peroxide and methyl ethyl ketone peroxide.

上記熱硬化剤の反応開始温度は、好ましくは50℃以上、より好ましくは70℃以上、さらに好ましくは80℃以上であり、好ましくは250℃以下、より好ましくは200℃以下、さらに好ましくは150℃以下、特に好ましくは140℃以下である。上記熱硬化剤の反応開始温度が上記下限以上及び上記上限以下であると、電極上にはんだ粒子がより一層効率的に配置される。電極上にはんだ粒子をより一層効率的に配置する観点及び接続されるべき上下の電極間の導通信頼性をより一層効果的に高める観点からは、上記熱硬化剤の反応開始温度は、80℃以上140℃以下であることが特に好ましい。 The reaction initiation temperature of the thermosetting agent is preferably 50°C or higher, more preferably 70°C or higher, still more preferably 80°C or higher, preferably 250°C or lower, more preferably 200°C or lower, and still more preferably 150°C. Below, it is 140 degrees C or less especially preferably. When the reaction initiation temperature of the thermosetting agent is equal to or higher than the lower limit and equal to or lower than the upper limit, the solder particles are arranged on the electrode more efficiently. From the viewpoint of more efficiently arranging the solder particles on the electrodes and from the viewpoint of more effectively increasing the reliability of conduction between the upper and lower electrodes to be connected, the reaction initiation temperature of the thermosetting agent is 80°C. It is particularly preferable that the temperature is above 140°C.

電極上にはんだ粒子をより一層効果的に配置する観点からは、上記熱硬化剤の反応開始温度は、上記はんだ粒子の融点よりも、高いことが好ましく、5℃以上高いことがより好ましく、10℃以上高いことがさらに好ましい。 From the viewpoint of more effectively arranging the solder particles on the electrodes, the reaction initiation temperature of the thermosetting agent is preferably higher than the melting point of the solder particles, more preferably 5° C. or higher. ° C. or more is more preferable.

上記熱硬化剤の反応開始温度は、DSCでの発熱ピークの立ち上がり開始の温度を意味する。 The reaction start temperature of the thermosetting agent means the temperature at which the exothermic peak starts to rise in DSC.

上記熱硬化剤の含有量は特に限定されない。上記熱硬化性化合物100重量部に対して、上記熱硬化剤の含有量は、好ましくは0.01重量部以上、より好ましくは1重量部以上であり、好ましくは200重量部以下、より好ましくは100重量部以下、さらに好ましくは75重量部以下である。上記熱硬化剤の含有量が上記下限以上であると、導電材料を十分に硬化させることが容易である。上記熱硬化剤の含有量が上記上限以下であると、硬化後に硬化に関与しなかった余剰の熱硬化剤が残存し難くなり、かつ硬化物の耐熱性がより一層高くなる。 The content of the thermosetting agent is not particularly limited. With respect to 100 parts by weight of the thermosetting compound, the content of the thermosetting agent is preferably 0.01 parts by weight or more, more preferably 1 part by weight or more, and preferably 200 parts by weight or less, more preferably It is 100 parts by weight or less, more preferably 75 parts by weight or less. When the content of the thermosetting agent is at least the lower limit, it is easy to sufficiently cure the conductive material. If the content of the thermosetting agent is equal to or less than the above upper limit, it becomes difficult for excess thermosetting agent that has not been involved in curing to remain after curing, and the heat resistance of the cured product is further enhanced.

(熱硬化性成分:硬化促進剤)
上記導電材料は硬化促進剤を含んでいてもよい。上記硬化促進剤は特に限定されない。上記硬化促進剤は、上記熱硬化性化合物と上記熱硬化剤との反応において硬化触媒として作用することが好ましい。上記硬化促進剤は、上記熱硬化性化合物との反応において硬化触媒として作用することが好ましい。上記硬化促進剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
(Thermosetting component: curing accelerator)
The conductive material may contain a curing accelerator. The curing accelerator is not particularly limited. The curing accelerator preferably acts as a curing catalyst in the reaction between the thermosetting compound and the thermosetting agent. The curing accelerator preferably acts as a curing catalyst in the reaction with the thermosetting compound. Only one kind of the curing accelerator may be used, or two or more kinds thereof may be used in combination.

上記硬化促進剤としては、ホスホニウム塩、三級アミン、三級アミン塩、四級オニウム塩、三級ホスフィン、クラウンエーテル錯体、アミン錯体化合物及びホスホニウムイリド等が挙げられる。具体的には、上記硬化促進剤としては、イミダゾール化合物、イミダゾール化合物のイソシアヌル酸塩、ジシアンジアミド、ジシアンジアミドの誘導体、メラミン化合物、メラミン化合物の誘導体、ジアミノマレオニトリル、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタミン、ビス(ヘキサメチレン)トリアミン、トリエタノールアミン、ジアミノジフェニルメタン、有機酸ジヒドラジド等のアミン化合物、1,8-ジアザビシクロ[5,4,0]ウンデセン-7、3,9-ビス(3-アミノプロピル)-2,4,8,10-テトラオキサスピロ[5,5]ウンデカン、三フッ化ホウ素、三フッ化ホウ素-アミン錯体化合物、並びに、トリフェニルホスフィン、トリシクロヘキシルホスフィン、トリブチルホスフィン及びメチルジフェニルホスフィン等の有機リン化合物等が挙げられる。 Examples of the curing accelerator include phosphonium salts, tertiary amines, tertiary amine salts, quaternary onium salts, tertiary phosphines, crown ether complexes, amine complex compounds and phosphonium ylides. Specifically, the curing accelerator includes imidazole compounds, isocyanurates of imidazole compounds, dicyandiamide, dicyandiamide derivatives, melamine compounds, melamine compound derivatives, diaminomaleonitrile, diethylenetriamine, triethylenetetramine, and tetraethylenepentamine. , bis(hexamethylene)triamine, triethanolamine, diaminodiphenylmethane, amine compounds such as organic acid dihydrazide, 1,8-diazabicyclo[5,4,0]undecene-7,3,9-bis(3-aminopropyl) -2,4,8,10-tetraoxaspiro[5,5]undecane, boron trifluoride, boron trifluoride-amine complex compounds, triphenylphosphine, tricyclohexylphosphine, tributylphosphine and methyldiphenylphosphine, etc. organic phosphorus compounds and the like.

上記ホスホニウム塩は特に限定されない。上記ホスホニウム塩としては、テトラノルマルブチルホスホニウムブロマイド、テトラノルマルブチルホスホニウムO-Oジエチルジチオリン酸、メチルトリブチルホスホニウムジメチルリン酸塩、テトラノルマルブチルホスホニウムベンゾトリアゾール、テトラノルマルブチルホスホニウムテトラフルオロボレート、及びテトラノルマルブチルホスホニウムテトラフェニルボレート等が挙げられる。 The phosphonium salt is not particularly limited. Examples of the phosphonium salts include tetra-butylphosphonium bromide, tetra-butylphosphonium O—O diethyldithiophosphate, methyltributylphosphonium dimethylphosphate, tetra-butylphosphonium benzotriazole, tetra-butylphosphonium tetrafluoroborate, and tetra-butyl phosphonium tetraphenylborate and the like.

上記熱硬化性化合物が良好に硬化するように、上記硬化促進剤の含有量は適宜選択される。上記熱硬化性化合物100重量部に対して、上記硬化促進剤の含有量は、好ましくは0.5重量部以上、より好ましくは0.8重量部以上であり、好ましくは10重量部以下、より好ましくは8重量部以下である。上記硬化促進剤の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、上記熱硬化性化合物を良好に硬化させることができる。 The content of the curing accelerator is appropriately selected so that the thermosetting compound cures satisfactorily. With respect to 100 parts by weight of the thermosetting compound, the content of the curing accelerator is preferably 0.5 parts by weight or more, more preferably 0.8 parts by weight or more, preferably 10 parts by weight or less, and more Preferably, it is 8 parts by weight or less. When the content of the curing accelerator is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the thermosetting compound can be cured satisfactorily.

(はんだ粒子)
本発明に係る導電材料は、はんだ粒子を含む。上記はんだ粒子は、中心部分及び外表面のいずれもがはんだにより形成されている。上記はんだ粒子は、中心部分及び外表面のいずれもがはんだである粒子である。上記はんだ粒子の代わりに、はんだ以外の材料から形成された基材粒子と該基材粒子の表面上に配置されたはんだ部とを備える導電性粒子を用いた場合には、電極上に導電性粒子が集まり難くなる。また、上記導電性粒子では、導電性粒子同士のはんだ接合性が低いために、電極上に移動した導電性粒子が電極外に移動しやすくなる傾向があり、電極間の位置ずれの抑制効果も低くなる傾向がある。
(solder particles)
The conductive material according to the present invention includes solder particles. Both the central portion and the outer surface of the solder particles are formed of solder. The solder particles are particles in which both the central portion and the outer surface are solder. Instead of the solder particles, when using conductive particles comprising base particles made of a material other than solder and solder portions disposed on the surfaces of the base particles, conductive particles are formed on the electrodes. It becomes difficult for particles to gather. In addition, since the conductive particles have low solderability between the conductive particles, the conductive particles that have moved onto the electrodes tend to move out of the electrodes. tends to be low.

上記はんだは、融点が450℃以下である金属(低融点金属)であることが好ましい。上記はんだ粒子は、融点が450℃以下である金属粒子(低融点金属粒子)であることが好ましい。上記低融点金属粒子は、低融点金属を含む粒子である。該低融点金属とは、融点が450℃以下の金属を示す。低融点金属の融点は好ましくは400℃以下、より好ましくは300℃以下である。上記はんだ粒子は、融点が300℃未満の低融点はんだであることが好ましい。 The solder is preferably a metal having a melting point of 450° C. or less (low melting point metal). The solder particles are preferably metal particles having a melting point of 450° C. or less (low-melting-point metal particles). The low-melting-point metal particles are particles containing a low-melting-point metal. The low-melting-point metal means a metal having a melting point of 450° C. or lower. The melting point of the low melting point metal is preferably 400° C. or lower, more preferably 300° C. or lower. The solder particles are preferably low-melting solder having a melting point of less than 300°C.

上記はんだ粒子の融点は、好ましくは80℃以上、より好ましくは120℃以上、さらに好ましくは130℃以上、好ましくは400℃以下、より好ましくは300℃以下、さらに好ましくは220℃以下である。上記はんだ粒子の融点が上記下限以上及び上記上限以下であると、電極上にはんだ粒子をより一層効率的に配置することができ、絶縁信頼性及び導通信頼性をより一層効果的に高めることができる。 The melting point of the solder particles is preferably 80.degree. C. or higher, more preferably 120.degree. When the melting point of the solder particles is equal to or higher than the lower limit and equal to or lower than the upper limit, the solder particles can be arranged on the electrode more efficiently, and the insulation reliability and conduction reliability can be improved more effectively. can.

上記はんだ粒子の融点は、示差走査熱量測定(DSC)により求めることができる。示差走査熱量測定(DSC)装置としては、SII社製「EXSTAR DSC7020」等が挙げられる。 The melting point of the solder particles can be determined by differential scanning calorimetry (DSC). Examples of the differential scanning calorimeter (DSC) device include "EXSTAR DSC7020" manufactured by SII.

また、上記はんだ粒子は錫を含むことが好ましい。上記はんだ粒子に含まれる金属100重量%中、錫の含有量は、好ましくは30重量%以上、より好ましくは40重量%以上、さらに好ましくは70重量%以上、特に好ましくは90重量%以上である。上記はんだ粒子における錫の含有量が上記下限以上であると、はんだ部と電極との接続信頼性がより一層高くなる。 Also, the solder particles preferably contain tin. The content of tin in 100% by weight of the metal contained in the solder particles is preferably 30% by weight or more, more preferably 40% by weight or more, still more preferably 70% by weight or more, and particularly preferably 90% by weight or more. . When the content of tin in the solder particles is equal to or higher than the lower limit, the connection reliability between the solder portion and the electrode is further enhanced.

なお、錫の含有量は、高周波誘導結合プラズマ発光分光分析装置(堀場製作所社製「ICP-AES」)、又は蛍光X線分析装置(島津製作所社製「EDX-800HS」)等を用いて測定することができる。 The tin content is measured using a high-frequency inductively coupled plasma atomic emission spectrometer ("ICP-AES" manufactured by Horiba Ltd.) or a fluorescent X-ray spectrometer ("EDX-800HS" manufactured by Shimadzu Corporation). can do.

上記はんだ粒子を用いることで、はんだが溶融して電極に接合し、はんだ部が電極間を導通させる。例えば、はんだ部と電極とが点接触ではなく面接触しやすいため、接続抵抗が低くなる。また、上記はんだ粒子の使用により、はんだ部と電極との接合強度が高くなる結果、はんだ部と電極との剥離がより一層生じ難くなり、導通信頼性及び接続信頼性がより一層高くなる。 By using the solder particles, the solder is melted and joined to the electrodes, and the solder portions conduct between the electrodes. For example, since the solder part and the electrode are likely to be in surface contact rather than point contact, the connection resistance is reduced. In addition, the use of the solder particles increases the bonding strength between the solder portion and the electrode, making it more difficult for the solder portion and the electrode to separate, thereby further increasing the conduction reliability and connection reliability.

上記はんだ粒子を構成する金属は特に限定されない。該金属は、錫、又は錫を含む合金であることが好ましい。該合金は、錫-銀合金、錫-銅合金、錫-銀-銅合金、錫-ビスマス合金、錫-亜鉛合金、錫-インジウム合金等が挙げられる。電極に対する濡れ性に優れることから、上記低融点金属は、錫、錫-銀合金、錫-銀-銅合金、錫-ビスマス合金、錫-インジウム合金であることが好ましい。錫-ビスマス合金、錫-インジウム合金であることがより好ましい。 The metal forming the solder particles is not particularly limited. The metal is preferably tin or an alloy containing tin. The alloys include tin-silver alloys, tin-copper alloys, tin-silver-copper alloys, tin-bismuth alloys, tin-zinc alloys, tin-indium alloys and the like. The low-melting-point metal is preferably tin, a tin-silver alloy, a tin-silver-copper alloy, a tin-bismuth alloy, or a tin-indium alloy because of their excellent wettability with the electrode. Tin-bismuth alloys and tin-indium alloys are more preferred.

上記はんだ粒子は、JIS Z3001:溶接用語に基づき、液相線が450℃以下である溶加材であることが好ましい。上記はんだ粒子の組成としては、例えば亜鉛、金、銀、鉛、銅、錫、ビスマス、インジウム等を含む金属組成が挙げられる。低融点で鉛フリーである錫-インジウム系(117℃共晶)、又は錫-ビスマス系(139℃共晶)が好ましい。すなわち、上記はんだ粒子は、鉛を含まないことが好ましく、錫とインジウムとを含むか、又は錫とビスマスとを含むことが好ましい。 The solder particles are preferably a filler material having a liquidus line of 450° C. or less based on JIS Z3001: Welding Terminology. Examples of the composition of the solder particles include metal compositions containing zinc, gold, silver, lead, copper, tin, bismuth, indium, and the like. A tin-indium system (117° C. eutectic) or a tin-bismuth system (139° C. eutectic), which have a low melting point and are lead-free, are preferred. That is, the solder particles preferably do not contain lead, and preferably contain tin and indium, or tin and bismuth.

はんだ部と電極との接合強度をより一層高めるために、上記はんだ粒子は、ニッケル、銅、アンチモン、アルミニウム、亜鉛、鉄、金、チタン、リン、ゲルマニウム、テルル、コバルト、ビスマス、マンガン、クロム、モリブデン、パラジウム等の金属を含んでいてもよい。また、はんだ部と電極との接合強度をさらに一層高める観点からは、上記はんだ粒子は、ニッケル、銅、アンチモン、アルミニウム又は亜鉛を含むことが好ましい。はんだ部と電極との接合強度をより一層高める観点からは、接合強度を高めるためのこれらの金属の含有量は、はんだ粒子に含まれる金属100重量%中、好ましくは0.0001重量%以上、好ましくは1重量%以下である。 In order to further increase the bonding strength between the solder part and the electrode, the solder particles contain nickel, copper, antimony, aluminum, zinc, iron, gold, titanium, phosphorus, germanium, tellurium, cobalt, bismuth, manganese, chromium, It may contain metals such as molybdenum and palladium. Moreover, from the viewpoint of further increasing the bonding strength between the solder portion and the electrode, the solder particles preferably contain nickel, copper, antimony, aluminum, or zinc. From the viewpoint of further increasing the bonding strength between the solder part and the electrode, the content of these metals for increasing the bonding strength is preferably 0.0001% by weight or more in 100% by weight of the metal contained in the solder particles. It is preferably 1% by weight or less.

上記はんだ粒子の平均粒子径は、好ましくは0.1μm以上、より好ましくは2.0μm以上であり、好ましくは5.0μm以下、より好ましくは4.0μm以下、さらに好ましくは3.0μm以下である。上記はんだ粒子の平均粒子径が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。平均粒子径の比較的小さいはんだ粒子を含む従来の導電材料では、転写面積のばらつきを十分に抑えることは困難であるものの、本発明では、はんだ粒子の平均粒子径が比較的小さい場合であっても、転写面積のばらつきを効果的に抑えることができる。また、上記はんだ粒子の平均粒子径が上記下限以上及び上記上限以下であると、電極上にはんだ粒子をより一層効率的に配置することができ、導通信頼性及び接続信頼性をより一層効果的に高めることができる。上記はんだ粒子の平均粒子径は2μm以下であってもよく、1μm以下であってもよく、1μm未満であってもよい。本発明では、上記はんだ粒子の平均粒子径がかなり小さくても、本発明の効果が効果的に奏される。 The average particle size of the solder particles is preferably 0.1 µm or more, more preferably 2.0 µm or more, and preferably 5.0 µm or less, more preferably 4.0 µm or less, and still more preferably 3.0 µm or less. . When the average particle size of the solder particles is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the effects of the present invention can be exhibited more effectively. With conventional conductive materials containing solder particles with a relatively small average particle size, it is difficult to sufficiently suppress variations in the transfer area, but in the present invention, even if the average particle size of the solder particles is relatively small Also, the variation in transfer area can be effectively suppressed. Further, when the average particle size of the solder particles is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the solder particles can be arranged on the electrode more efficiently, and the conduction reliability and connection reliability are more effectively improved. can be increased to The average particle size of the solder particles may be 2 μm or less, 1 μm or less, or less than 1 μm. In the present invention, even if the average particle size of the solder particles is considerably small, the effects of the present invention are effectively exhibited.

上記はんだ粒子の最大粒子径は、好ましくは0.1μm以上、より好ましくは1μm以上であり、好ましくは10μm以下、より好ましくは5.0μm以下である。上記はんだ粒子の最大粒子径が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。最大粒子径の比較的小さいはんだ粒子を含む従来の導電材料では、転写面積のばらつきを十分に抑えることは困難であるものの、本発明では、はんだ粒子の最大粒子径が比較的小さい場合であっても、転写面積のばらつきを効果的に抑えることができる。また、上記はんだ粒子の最大粒子径が上記下限以上及び上記上限以下であると、電極上にはんだ粒子をより一層効率的に配置することができ、導通信頼性及び接続信頼性をより一層効果的に高めることができる。 The maximum particle size of the solder particles is preferably 0.1 μm or more, more preferably 1 μm or more, and preferably 10 μm or less, more preferably 5.0 μm or less. When the maximum particle size of the solder particles is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the effects of the present invention can be exhibited more effectively. With conventional conductive materials containing solder particles with a relatively small maximum particle size, it is difficult to sufficiently suppress variations in the transfer area, but in the present invention, even if the maximum particle size of the solder particles is relatively small Also, the variation in transfer area can be effectively suppressed. Further, when the maximum particle diameter of the solder particles is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the solder particles can be arranged on the electrode more efficiently, and the conduction reliability and connection reliability are more effectively improved. can be increased to

上記はんだ粒子の平均粒子径は、数平均粒子径であることが好ましい。上記はんだ粒子の平均粒子径は、例えば、任意のはんだ粒子50個を電子顕微鏡又は光学顕微鏡にて観察し、各はんだ粒子の粒子径の平均値を算出することや、レーザー回折式粒度分布測定を行うことにより求められる。 The average particle size of the solder particles is preferably the number average particle size. The average particle size of the solder particles can be obtained, for example, by observing 50 arbitrary solder particles with an electron microscope or an optical microscope and calculating the average particle size of each solder particle, or by laser diffraction particle size distribution measurement. It is required by doing.

上記はんだ粒子の最大粒子径は、例えば、任意のはんだ粒子50個を電子顕微鏡又は光学顕微鏡にて観察し、はんだ粒子の粒子径の最大値を算出することや、レーザー回折式粒度分布測定を行うことにより求められる。 For the maximum particle size of the solder particles, for example, 50 arbitrary solder particles are observed with an electron microscope or an optical microscope, and the maximum particle size of the solder particles is calculated, or laser diffraction particle size distribution measurement is performed. It is required by

上記はんだ粒子の粒子径の変動係数(CV値)は、好ましくは5%以上、より好ましくは10%以上であり、好ましくは40%以下、より好ましくは30%以下である。上記はんだ粒子の粒子径の変動係数が上記下限以上及び上記上限以下であると、電極上にはんだ粒子をより一層効率的に配置することができる。但し、上記はんだ粒子の粒子径のCV値は、5%未満であってもよい。 The coefficient of variation (CV value) of the particle diameter of the solder particles is preferably 5% or more, more preferably 10% or more, and preferably 40% or less, more preferably 30% or less. When the coefficient of variation of the particle size of the solder particles is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the solder particles can be arranged on the electrode more efficiently. However, the CV value of the particle diameter of the solder particles may be less than 5%.

上記変動係数(CV値)は、以下のようにして測定できる。 The coefficient of variation (CV value) can be measured as follows.

CV値(%)=(ρ/Dn)×100
ρ:はんだ粒子の粒子径の標準偏差
Dn:はんだ粒子の粒子径の平均値
CV value (%) = (ρ/Dn) × 100
ρ: standard deviation of particle size of solder particles Dn: average value of particle size of solder particles

上記はんだ粒子の形状は特に限定されない。上記はんだ粒子の形状は、球状であってもよく、球状以外の形状であってもよく、扁平状等の形状であってもよい。 The shape of the solder particles is not particularly limited. The shape of the solder particles may be spherical, may be other than spherical, or may be flat.

ピン転写又はディップ転写に用いる観点及び本発明の効果を発揮する観点から、上記導電材料100重量%中、上記はんだ粒子の含有量は70重量%以上93重量%以下である。 From the viewpoint of use for pin transfer or dip transfer and the viewpoint of exhibiting the effects of the present invention, the content of the solder particles is 70% by weight or more and 93% by weight or less in 100% by weight of the conductive material.

上記導電材料100重量%中、上記はんだ粒子の含有量は、好ましくは80重量%以上、より好ましくは85重量%以上、好ましくは91重量%以下、より好ましくは89重量%以下である。上記はんだ粒子の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 The content of the solder particles in 100% by weight of the conductive material is preferably 80% by weight or more, more preferably 85% by weight or more, preferably 91% by weight or less, and more preferably 89% by weight or less. When the content of the solder particles is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the effects of the present invention can be exhibited more effectively.

上記はんだ粒子の含有量の、上記フラックスの含有量に対する重量比(上記はんだ粒子の含有量/上記フラックスの含有量)は、好ましくは5以上、より好ましくは6以上、好ましくは10以下、より好ましくは9以下である。上記重量比(上記はんだ粒子の含有量/上記フラックスの含有量)が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 The weight ratio of the content of the solder particles to the content of the flux (the content of the solder particles/the content of the flux) is preferably 5 or more, more preferably 6 or more, and more preferably 10 or less. is 9 or less. When the weight ratio (the content of the solder particles/the content of the flux) is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the effects of the present invention can be exhibited more effectively.

(フラックス)
上記導電材料は、フラックスを含む。フラックスを用いることで、電極上にはんだをより一層効率的に配置することができる。上記フラックスは特に限定されない。上記フラックスとして、はんだ接合等に一般的に用いられているフラックスを用いることができる。
(flux)
The conductive material includes flux. By using flux, the solder can be more efficiently placed on the electrodes. The above flux is not particularly limited. Flux generally used for soldering or the like can be used as the flux.

上記フラックスとしては、塩化亜鉛、塩化亜鉛と無機ハロゲン化物との混合物、塩化亜鉛と無機酸との混合物、溶融塩、リン酸、リン酸アミン塩、リン酸の誘導体、有機酸、有機酸アミン塩、有機ハロゲン化物、ヒドラジン、リン酸アミン塩及び有機酸アミン塩の双方とは異なるアミン化合物、並びに松脂等が挙げられる。上記フラックスは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 Examples of the flux include zinc chloride, mixtures of zinc chloride and inorganic halides, mixtures of zinc chloride and inorganic acids, molten salts, phosphoric acid, amine salts of phosphoric acid, derivatives of phosphoric acid, organic acids, and amine salts of organic acids. , organic halides, hydrazines, amine compounds different from both phosphoric acid amine salts and organic acid amine salts, and rosin. Only one kind of the above flux may be used, or two or more kinds thereof may be used in combination.

上記溶融塩としては、塩化アンモニウム等が挙げられる。 Examples of the molten salt include ammonium chloride.

上記リン酸アミン塩としては、アシッドホスフェートアミン塩等が挙げられる。上記アシッドホスフェートアミン塩としては、アルキルアシッドホスフェートアミン塩等が挙げられ、より具体的には、エチルアシッドホスフェートビス(2-エチルヘキシルアミン塩)、ブチルアシッドホスフェートビス(2-エチルヘキシルアミン塩)、ブチルアシッドホスフェートビス(ジメチルドデシルアミン)、ブチルアシッドホスフェートビス(2-エチルエキシルアミン)等が挙げられる。 Acid phosphate amine salts etc. are mentioned as said phosphoric acid amine salt. Examples of the acid phosphate amine salts include alkyl acid phosphate amine salts, and more specifically, ethyl acid phosphate bis(2-ethylhexylamine salt), butyl acid phosphate bis(2-ethylhexylamine salt), butyl acid Phosphate bis(dimethyldodecylamine), butyl acid phosphate bis(2-ethylexylamine) and the like.

上記有機酸としては、乳酸、クエン酸、ステアリン酸、グルタミン酸及びグルタル酸等が挙げられる。 Examples of the organic acid include lactic acid, citric acid, stearic acid, glutamic acid and glutaric acid.

上記有機酸アミン塩としては、グルタル酸ベンジルアミン塩及びアジピン酸ベンジルアミン塩等が挙げられる。 Examples of the organic acid amine salt include benzylamine glutarate and benzylamine adipate.

リン酸アミン塩及び有機酸アミン塩の双方とは異なる上記アミン化合物としては、ジシクロヘキシルアミン、ベンジルアミン、ベンズヒドリルアミン、イミダゾール、ベンゾイミダゾール、フェニルイミダゾール、カルボキシベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、及びカルボキシベンゾトリアゾール等が挙げられる。 Examples of the above-mentioned amine compounds different from both amine salts of phosphoric acid and amine salts of organic acids include dicyclohexylamine, benzylamine, benzhydrylamine, imidazole, benzimidazole, phenylimidazole, carboxybenzimidazole, benzotriazole, and carboxybenzotriazole. is mentioned.

上記松脂としては、活性化松脂及び非活性化松脂等が挙げられる。上記松脂はアビエチン酸を主成分とするロジン類である。上記ロジン類としては、アビエチン酸、及びアクリル変性ロジン等が挙げられる。 Examples of the pine resin include activated pine resin and non-activated pine resin. The pine resin is a rosin containing abietic acid as a main component. Examples of the rosins include abietic acid and acryl-modified rosins.

上記フラックスは、有機酸、リン酸、有機酸アミン塩、又はリン酸アミン塩を含むことが好ましい。上記有機酸は、カルボキシル基を2個以上有する有機酸であることが好ましい。上記有機酸アミン塩は、カルボン酸アミン塩であることが好ましく、カルボキシル基を2個以上有する有機酸アミン塩であることがより好ましい。上記リン酸アミン塩は、アシッドホスフェートアミン塩であることが好ましく、アルキルアシッドホスフェートアミン塩であることがより好ましい。これらの好ましいフラックスを用いることにより、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 The flux preferably contains an organic acid, phosphoric acid, organic acid amine salt, or phosphoric acid amine salt. The organic acid is preferably an organic acid having two or more carboxyl groups. The organic acid amine salt is preferably a carboxylic acid amine salt, more preferably an organic acid amine salt having two or more carboxyl groups. The amine phosphate salt is preferably an acid phosphate amine salt, more preferably an alkyl acid phosphate amine salt. By using these preferred fluxes, the effects of the present invention can be exhibited more effectively.

上記カルボキシル基を2個以上有する有機酸及び有機酸アミン塩における有機酸としては、例えば、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、及びセバシン酸等が挙げられる。 Examples of the organic acid in the organic acid and organic acid amine salt having two or more carboxyl groups include succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, and sebacic acid.

上記フラックスの活性温度(融点)は、好ましくは50℃以上、より好ましくは70℃以上、さらに好ましくは80℃以上であり、好ましくは200℃以下、より好ましくは190℃以下、より一層好ましくは160℃以下、さらに好ましくは150℃以下、さらに一層好ましくは140℃以下である。上記フラックスの活性温度が上記下限以上及び上記上限以下であると、フラックス効果がより一層効果的に発揮され、電極上にはんだをより一層効率的に配置することができる。 The active temperature (melting point) of the flux is preferably 50° C. or higher, more preferably 70° C. or higher, still more preferably 80° C. or higher, preferably 200° C. or lower, more preferably 190° C. or lower, and even more preferably 160° C. °C or less, more preferably 150°C or less, and even more preferably 140°C or less. When the activation temperature of the flux is equal to or higher than the lower limit and equal to or lower than the upper limit, the flux effect is exhibited more effectively, and the solder can be arranged on the electrode more efficiently.

上記フラックスの融点は、示差走査熱量測定(DSC)により求めることができる。示差走査熱量測定(DSC)装置としては、SII社製「EXSTAR DSC7020」等が挙げられる。 The melting point of the flux can be determined by differential scanning calorimetry (DSC). Examples of the differential scanning calorimeter (DSC) device include "EXSTAR DSC7020" manufactured by SII.

また、上記フラックスの沸点は200℃以下であることが好ましい。 Also, the boiling point of the flux is preferably 200° C. or lower.

電極上にはんだをより一層効率的に配置する観点からは、上記フラックスの融点は、上記熱硬化剤の反応開始温度よりも、高いことが好ましく、5℃以上高いことがより好ましく、10℃以上高いことがさらに好ましい。 From the viewpoint of arranging the solder on the electrode more efficiently, the melting point of the flux is preferably higher than the reaction initiation temperature of the thermosetting agent, more preferably 5° C. or higher, and 10° C. or higher. Higher is more preferred.

上記フラックスは、導電材料中に分散されていてもよく、はんだ粒子の表面上に付着していてもよい。 The flux may be dispersed in the conductive material or adhered to the surfaces of the solder particles.

上記フラックスは、加熱によりカチオンを放出するフラックスであることが好ましい。加熱によりカチオンを放出するフラックスの使用により、電極上にはんだをより一層効率的に配置することができる。 The flux is preferably a flux that releases cations when heated. The use of a flux that releases cations upon heating allows for much more efficient placement of the solder on the electrodes.

上記加熱によりカチオンを放出するフラックスとしては、上記熱カチオン開始剤(熱カチオン硬化剤)が挙げられる。 Examples of the flux that releases cations upon heating include the thermal cationic initiator (thermal cationic curing agent).

電極上にはんだをより一層効率的に配置する観点、接続されてはならない電極間の絶縁信頼性及び接続されるべき電極間の導通信頼性をより一層効果的に高める観点からは、上記フラックスは、酸化合物と塩基化合物との塩であることが好ましい。 From the viewpoint of more efficiently arranging the solder on the electrodes, and from the viewpoint of more effectively improving the insulation reliability between the electrodes that should not be connected and the conduction reliability between the electrodes that should be connected, the flux is , is preferably a salt of an acid compound and a base compound.

上記酸化合物は、カルボキシル基を有する有機化合物であることが好ましい。上記酸化合物としては、脂肪族系カルボン酸であるマロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、クエン酸、リンゴ酸、環状脂肪族カルボン酸であるシクロヘキシルカルボン酸、1,4-シクロヘキシルジカルボン酸、芳香族カルボン酸であるイソフタル酸、テレフタル酸、トリメリット酸、及びエチレンジアミン四酢酸等が挙げられる。電極上にはんだをより一層効率的に配置する観点、絶縁信頼性をより一層効果的に高める観点、及び導通信頼性をより一層効果的に高める観点からは、上記酸化合物は、グルタル酸、シクロヘキシルカルボン酸、又はアジピン酸であることが好ましい。 The acid compound is preferably an organic compound having a carboxyl group. Examples of the acid compound include aliphatic carboxylic acids such as malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, citric acid, malic acid, and cycloaliphatic carboxylic acids. Examples include cyclohexylcarboxylic acid, 1,4-cyclohexyldicarboxylic acid, isophthalic acid which is an aromatic carboxylic acid, terephthalic acid, trimellitic acid, and ethylenediaminetetraacetic acid. From the viewpoints of more efficiently arranging the solder on the electrode, more effectively improving the insulation reliability, and more effectively improving the conduction reliability, the above acid compounds include glutaric acid, cyclohexyl Carboxylic acid or adipic acid is preferred.

上記塩基化合物は、アミノ基を有する有機化合物であることが好ましい。上記塩基化合物としては、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、エチルジエタノールアミン、シクロヘキシルアミン、ジシクロヘキシルアミン、ベンジルアミン、ベンズヒドリルアミン、2-メチルベンジルアミン、3-メチルベンジルアミン、4-tert-ブチルベンジルアミン、N-メチルベンジルアミン、N-エチルベンジルアミン、N-フェニルベンジルアミン、N-tert-ブチルベンジルアミン、N-イソプロピルベンジルアミン、N,N-ジメチルベンジルアミン、イミダゾール化合物、及びトリアゾール化合物が挙げられる。電極上にはんだをより一層効率的に配置する観点、絶縁信頼性をより一層効果的に高める観点、及び導通信頼性をより一層効果的に高める観点からは、上記塩基化合物は、ベンジルアミンであることが好ましい。 The basic compound is preferably an organic compound having an amino group. Examples of the base compound include diethanolamine, triethanolamine, methyldiethanolamine, ethyldiethanolamine, cyclohexylamine, dicyclohexylamine, benzylamine, benzhydrylamine, 2-methylbenzylamine, 3-methylbenzylamine, 4-tert-butylbenzylamine. , N-methylbenzylamine, N-ethylbenzylamine, N-phenylbenzylamine, N-tert-butylbenzylamine, N-isopropylbenzylamine, N,N-dimethylbenzylamine, imidazole compounds, and triazole compounds. . From the viewpoint of more efficiently arranging solder on the electrode, more effectively improving insulation reliability, and more effectively improving conduction reliability, the base compound is benzylamine. is preferred.

上記導電材料100重量%中、上記フラックスの含有量は、好ましくは5重量%以上、より好ましくは10重量%以上であり、好ましくは20重量%以下、より好ましくは15重量%以下である。上記フラックスの含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、はんだ及び電極の表面に酸化被膜がより一層形成され難くなり、さらに、はんだ及び電極の表面に形成された酸化被膜をより一層効果的に除去できる。 The content of the flux in 100% by weight of the conductive material is preferably 5% by weight or more, more preferably 10% by weight or more, and preferably 20% by weight or less, more preferably 15% by weight or less. If the content of the flux is above the lower limit and below the upper limit, it becomes even more difficult to form an oxide film on the surface of the solder and the electrode, and the oxide film formed on the surface of the solder and the electrode is further effectively removed. can be effectively removed.

(フィラー)
本発明に係る導電材料は、フィラーを含んでいてもよい。フィラーは、有機フィラーであってもよく、無機フィラーであってもよい。上記導電材料がフィラーを含むことにより、基板の全電極上に対して、はんだを均一に凝集させることができる。
(filler)
The conductive material according to the present invention may contain filler. The filler may be an organic filler or an inorganic filler. By including the filler in the conductive material, the solder can be uniformly aggregated on all the electrodes of the substrate.

上記導電材料は、上記フィラーを含まないか、又は上記フィラーを5重量%以下で含むことが好ましい。上記熱硬化性化合物を用いている場合には、フィラーの含有量が少ないほど、電極上にはんだが移動しやすくなる。 Preferably, the conductive material does not contain the filler, or contains the filler in an amount of 5% by weight or less. When the above thermosetting compound is used, the smaller the content of the filler, the easier it is for the solder to move onto the electrode.

上記導電材料100重量%中、上記フィラーの含有量は、好ましくは0重量%(未含有)以上であり、好ましくは5重量%以下、より好ましくは2重量%以下、さらに好ましくは1重量%以下である。上記フィラーの含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、はんだが電極上により一層均一に配置される。 In 100% by weight of the conductive material, the content of the filler is preferably 0% by weight (not included) or more, preferably 5% by weight or less, more preferably 2% by weight or less, and further preferably 1% by weight or less. is. When the content of the filler is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the solder is arranged more uniformly on the electrode.

(他の成分)
上記導電材料は、必要に応じて、例えば、充填剤、増量剤、軟化剤、可塑剤、チキソ剤、レベリング剤、重合触媒、硬化触媒、着色剤、酸化防止剤、熱安定剤、光安定剤、紫外線吸収剤、滑剤、帯電防止剤及び難燃剤等の各種添加剤を含んでいてもよい。
(other ingredients)
The above-mentioned conductive material may optionally include fillers, extenders, softeners, plasticizers, thixotropic agents, leveling agents, polymerization catalysts, curing catalysts, colorants, antioxidants, heat stabilizers, light stabilizers, , ultraviolet absorbers, lubricants, antistatic agents and flame retardants.

転写面積のばらつきを抑える観点からは、上記導電材料は、溶剤を含まないか又は8重量%以下で含むことが好ましい。上記導電材料が上記溶剤を含む場合に、上記導電材料100重量%中、上記溶剤の含有量は、好ましくは8重量%以下、より好ましくは7重量%以下、より一層好ましくは6重量%以下、さらに好ましくは5重量%以下、さらにより一層好ましくは3重量%以下、特に好ましくは2重量%以下である。上記導電材料は上記溶剤を含まないことが最も好ましい。 From the viewpoint of suppressing variations in transfer area, it is preferable that the conductive material does not contain a solvent or contains a solvent in an amount of 8% by weight or less. When the conductive material contains the solvent, the content of the solvent in 100% by weight of the conductive material is preferably 8% by weight or less, more preferably 7% by weight or less, and even more preferably 6% by weight or less, It is more preferably 5% by weight or less, even more preferably 3% by weight or less, and particularly preferably 2% by weight or less. Most preferably, the conductive material does not contain the solvent.

上記溶剤としては、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル2-アセテート、及び2-オクタノール等が挙げられる。 Examples of the solvent include diethylene glycol monohexyl ether, propylene glycol monomethyl ether 2-acetate, and 2-octanol.

(接続構造体及び接続構造体の製造方法)
本発明に係る接続構造体は、第1の電極を表面に有する第1の接続対象部材と、第2の電極を表面に有する第2の接続対象部材と、上記第1の接続対象部材と、上記第2の接続対象部材とを接続している接続部とを備える。本発明に係る接続構造体では、上記接続部の材料が、上述した導電材料である。本発明に係る接続構造体では、上記第1の電極と上記第2の電極とが、上記接続部中のはんだ部により電気的に接続されている。
(Connection structure and method for manufacturing the connection structure)
A connection structure according to the present invention includes a first connection object member having a first electrode on the surface, a second connection object member having a second electrode on the surface, the first connection object member, and a connecting portion connecting the second member to be connected. In the connection structure according to the present invention, the material of the connection portion is the above-described conductive material. In the connection structure according to the present invention, the first electrode and the second electrode are electrically connected by a solder portion in the connection portion.

本発明に係る接続構造体の製造方法は、上述した導電材料を用いて、第1の電極を表面に有する第1の接続対象部材の表面上又は第2の電極を表面に有する第2の接続対象部材の表面上に、ピン転写又はディップ転写により上記導電材料を転写する工程を備える。本発明に係る接続構造体の製造方法は、上記第1の電極と上記第2の電極とが上記導電材料を介して対向するように、上記第1の接続対象部材に対して、上記第2の接続対象部材を配置する工程を備える。本発明に係る接続構造体の製造方法は、上記はんだ粒子の融点以上に上記導電材料を加熱することで、上記第1の接続対象部材と上記第2の接続対象部材とを接続している接続部を、上記導電材料により形成し、かつ、上記第1の電極と上記第2の電極とを、上記接続部中のはんだ部により電気的に接続する工程を備える。 A method for manufacturing a connected structure according to the present invention uses the above-described conductive material to form a second connection on the surface of a first connection target member having a first electrode on its surface or a second connection having a second electrode on its surface. Transferring the conductive material onto the surface of the target member by pin transfer or dip transfer. In the method for manufacturing a connected structure according to the present invention, the second electrode is attached to the first member to be connected so that the first electrode and the second electrode are opposed to each other through the conductive material. arranging the members to be connected. In the method for manufacturing a connected structure according to the present invention, the first member to be connected and the second member to be connected are connected by heating the conductive material to the melting point of the solder particles or higher. forming a section from the conductive material, and electrically connecting the first electrode and the second electrode by a solder section in the connecting section.

本発明に係る接続構造体及び接続構造体の製造方法では、特定の導電材料を用いているので、第1の電極と第2の電極との間において、はんだ部を良好に形成させることができる。また、はんだの一部が、電極が形成されていない領域(スペース)に配置され難く、電極が形成されていない領域に配置されるはんだの量をかなり少なくすることができる。従って、第1の電極と第2の電極との間の導通信頼性を高めることができる。しかも、接続されてはならない横方向に隣接する電極間の電気的な接続を防ぐことができ、絶縁信頼性を高めることができる。 In the connection structure and the method for manufacturing the connection structure according to the present invention, since the specific conductive material is used, the solder portion can be formed satisfactorily between the first electrode and the second electrode. . Also, part of the solder is less likely to be placed in the regions (spaces) where the electrodes are not formed, and the amount of solder placed in the regions where the electrodes are not formed can be considerably reduced. Therefore, reliability of conduction between the first electrode and the second electrode can be improved. Moreover, it is possible to prevent electrical connection between laterally adjacent electrodes, which should not be connected, and improve insulation reliability.

ピン転写により上記導電材料を転写する工程及び上記第2の接続対象部材を配置する工程は、例えば、以下のように行うことができる。 The step of transferring the conductive material by pin transfer and the step of arranging the second member to be connected can be performed, for example, as follows.

導電材料をピンの先端面に付着させる。次いで、ピンの先端面に付着した導電材料を、第1の接続対象部材の表面上に接触させる。より具体的には、ピンの先端面に付着した導電材料を、第1の電極上に接触させる。このようにして、第1の接続対象部材の表面上(第1の電極上)に導電材料を配置することができる。次いで、導電材料が配置された第1の接続対象部材に対して、上記第1の電極と上記第2の電極とが対向するように第2の接続対象部材を配置する。このようにして、上記第1の電極と上記第2の電極との間に導電材料を配置することができる。 A conductive material is applied to the tip surface of the pin. Next, the conductive material adhering to the tip surface of the pin is brought into contact with the surface of the first member to be connected. More specifically, the conductive material adhering to the tip surface of the pin is brought into contact with the first electrode. Thus, the conductive material can be arranged on the surface of the first member to be connected (on the first electrode). Next, a second member to be connected is arranged so that the first electrode and the second electrode face each other with respect to the first member to be connected on which the conductive material is arranged. In this way, a conductive material can be arranged between the first electrode and the second electrode.

ピン転写に用いられるピンの形状は、特に限定されず、従来公知のピンを用いることができる。ピンの先端面の径は、好ましくは10μm以上、より好ましくは50μm以上、好ましくは300μm以下、より好ましくは100μm以下である。ピンの先端面の径が上記下限以上及び上記上限以下であると、より微細な部分に導電材料を転写することができる。 The shape of the pins used for pin transfer is not particularly limited, and conventionally known pins can be used. The diameter of the tip surface of the pin is preferably 10 μm or more, more preferably 50 μm or more, preferably 300 μm or less, and more preferably 100 μm or less. When the diameter of the tip surface of the pin is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the conductive material can be transferred to a finer portion.

ディップ転写により上記導電材料を転写する工程及び上記第2の接続対象部材を配置する工程は、例えば、以下のように行うことができる。 The step of transferring the conductive material by dip transfer and the step of arranging the second member to be connected can be performed, for example, as follows.

第2の接続対象部材の表面を導電材料に浸漬(ディップ)する。より具体的には、第2の電極の表面を導電材料に浸漬する。このようにして、第2の接続対象部材の表面上(第1の電極上)に導電材料を配置することができる。次いで、第1の接続対象部材に対して、上記第1の電極と上記第2の電極とが対向するように、導電材料が配置された第2の接続対象部材を配置する。このようにして、上記第1の電極と上記第2の電極との間に導電材料を配置することができる。 The surface of the second member to be connected is immersed (dipped) in the conductive material. More specifically, the surface of the second electrode is immersed in the conductive material. Thus, the conductive material can be arranged on the surface of the second member to be connected (on the first electrode). Next, a second member to be connected in which a conductive material is arranged is arranged so that the first electrode and the second electrode are opposed to the first member to be connected. In this way, a conductive material can be arranged between the first electrode and the second electrode.

本発明に係る接続構造体の製造方法では、上記第2の接続対象部材を配置する工程及び上記接続部を形成する工程において、加圧を行わず、上記導電材料には、上記第2の接続対象部材の重量が加わることが好ましい。本発明に係る接続構造体の製造方法では、上記第2の接続対象部材を配置する工程及び上記接続部を形成する工程において、上記導電材料には、上記第2の接続対象部材の重量の力を超える加圧圧力は加わらないことが好ましい。これらの場合には、複数のはんだ部において、はんだ量の均一性をより一層高めることができる。さらに、はんだ部の厚みをより一層効果的に厚くすることができ、はんだが電極間に多く集まりやすくなり、はんだを電極(ライン)上により一層効率的に配置することができる。また、はんだの一部が、電極が形成されていない領域(スペース)に配置され難く、電極が形成されていない領域に配置されるはんだの量をより一層少なくすることができる。従って、電極間の導通信頼性をより一層高めることができる。しかも、接続されてはならない横方向に隣接する電極間の電気的な接続をより一層防ぐことができ、絶縁信頼性をより一層高めることができる。 In the method for manufacturing a connected structure according to the present invention, pressure is not applied in the step of arranging the second member to be connected and the step of forming the connecting portion, and the second connection is not applied to the conductive material. Preferably, the weight of the target member is added. In the method for manufacturing a connected structure according to the present invention, in the step of arranging the second member to be connected and the step of forming the connecting portion, the conductive material does not have the force of the weight of the second member to be connected. It is preferable not to apply a pressure exceeding . In these cases, it is possible to further improve the uniformity of the amount of solder in the plurality of solder portions. Furthermore, the thickness of the solder portion can be increased more effectively, so that more solder can easily gather between the electrodes, and the solder can be more efficiently arranged on the electrodes (lines). In addition, part of the solder is less likely to be placed in the regions (spaces) where the electrodes are not formed, and the amount of solder placed in the regions where the electrodes are not formed can be further reduced. Therefore, it is possible to further improve the reliability of electrical connection between the electrodes. Moreover, it is possible to further prevent electrical connection between electrodes adjacent in the lateral direction, which should not be connected, and further improve insulation reliability.

次に、はんだ粒子の融点以上に導電材料を加熱する。好ましくは、熱硬化性成分(熱硬化性化合物)の硬化温度以上に導電材料を加熱する。この加熱時には、電極が形成されていない領域に存在していたはんだ粒子は、第1の電極と第2の電極との間に集まる(自己凝集効果)。また、はんだ粒子は溶融し、互いに接合する。また、熱硬化性成分は熱硬化する。第1の接続対象部材と第2の接続対象部材とを接続している接続部が、導電材料により形成される。導電材料により接続部が形成され、複数のはんだ粒子が接合することによってはんだ部が形成され、熱硬化性成分が熱硬化することによって硬化物部が形成される。 The conductive material is then heated above the melting point of the solder particles. Preferably, the conductive material is heated to the curing temperature of the thermosetting component (thermosetting compound) or higher. During this heating, the solder particles existing in the regions where the electrodes are not formed gather between the first electrode and the second electrode (self-aggregation effect). Also, the solder particles melt and bond to each other. Also, the thermosetting component is thermoset. A connecting portion connecting the first member to be connected and the second member to be connected is formed of a conductive material. A connection portion is formed from the conductive material, a solder portion is formed by joining a plurality of solder particles, and a cured product portion is formed by thermosetting the thermosetting component.

本実施形態では、特定の導電材料を用いているので、導電材料の流動が発生する比較的低い温度で、はんだ粒子を沈降させることができ、はんだ粒子の移動を抑制し、本来配置される場所(電極上)にはんだ粒子を配置させることができる。結果として、接続されるべき電極間にはんだ粒子をより一層効率的に配置することができ、導通信頼性及び絶縁信頼性をより一層効果的に高めることができる。 In this embodiment, since a specific conductive material is used, the solder particles can be sedimented at a relatively low temperature at which the flow of the conductive material occurs. Solder particles can be placed (on the electrodes). As a result, the solder particles can be arranged more efficiently between the electrodes to be connected, and the reliability of conduction and reliability of insulation can be improved more effectively.

上記はんだ粒子の融点以上に導電材料を加熱する工程における上記加熱温度は、好ましくは140℃以上、より好ましくは160℃以上であり、好ましくは450℃以下、より好ましくは300℃以下、さらに好ましくは250℃以下、特に好ましくは200℃以下である。 The heating temperature in the step of heating the conductive material to the melting point of the solder particles or higher is preferably 140° C. or higher, more preferably 160° C. or higher, preferably 450° C. or lower, more preferably 300° C. or lower, and even more preferably 250° C. or less, particularly preferably 200° C. or less.

上記はんだ粒子の融点以上に導電材料を加熱する工程における加熱方法としては、はんだ粒子の融点以上及び熱硬化性成分の硬化温度以上に、接続構造体全体を、リフロー炉を用いて又はオーブンを用いて加熱する方法や、接続構造体の接続部のみを局所的に加熱する方法が挙げられる。 As a heating method in the step of heating the conductive material above the melting point of the solder particles, the entire connection structure is heated above the melting point of the solder particles and above the curing temperature of the thermosetting component using a reflow furnace or an oven. and a method of locally heating only the connection portion of the connection structure.

局所的に加熱する方法に用いる器具としては、ホットプレート、熱風を付与するヒートガン、はんだゴテ、及び赤外線ヒーター等が挙げられる。 Tools used in the local heating method include a hot plate, a heat gun that applies hot air, a soldering iron, an infrared heater, and the like.

また、ホットプレートにて局所的に加熱する際、接続部直下は、熱伝導性の高い金属にて、その他の加熱することが好ましくない個所は、フッ素樹脂等の熱伝導性の低い材質にて、ホットプレート上面を形成することが好ましい。 Also, when locally heating with a hot plate, use a metal with high thermal conductivity just below the connection part, and use a material with low thermal conductivity such as fluororesin for other places that are not desirable to heat. , preferably forming a hot plate top surface.

電極間でのはんだ部の厚みは、好ましくは10μm以上、より好ましくは20μm以上であり、好ましくは60μm以下、より好ましくは40μm以下である。電極の表面上のはんだ濡れ面積(電極の露出した面積100%中のはんだが接している面積)は、好ましくは50%以上、より好ましくは70%以上であり、好ましくは100%以下である。 The thickness of the solder portion between the electrodes is preferably 10 μm or more, more preferably 20 μm or more, and preferably 60 μm or less, more preferably 40 μm or less. The solder-wetting area on the surface of the electrode (the area in contact with solder in 100% of the exposed area of the electrode) is preferably 50% or more, more preferably 70% or more, and preferably 100% or less.

以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明する。 Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は、本発明の一実施形態に係る導電材料を用いて得られる接続構造体を模式的に示す断面図である。 FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a connected structure obtained using a conductive material according to one embodiment of the present invention.

図1に示す接続構造体1は、第1の接続対象部材2と、第2の接続対象部材3と、第1の接続対象部材2と第2の接続対象部材3とを接続している接続部4とを備える。接続部4は、上述した導電材料により形成されている。本実施形態では、上記導電材料は、熱硬化性成分と、はんだ粒子と、フラックスとを含む。上記熱硬化性成分は、熱硬化性化合物と硬化促進剤とを含む。 A connection structure 1 shown in FIG. a part 4; The connecting portion 4 is made of the conductive material described above. In this embodiment, the conductive material includes a thermosetting component, solder particles, and flux. The thermosetting component includes a thermosetting compound and a curing accelerator.

接続部4は、複数のはんだ粒子が集まり互いに接合したはんだ部4Aと、熱硬化性化合物が熱硬化された硬化物部4Bとを有する。 The connection portion 4 has a solder portion 4A in which a plurality of solder particles are gathered and joined together, and a cured product portion 4B in which a thermosetting compound is thermally cured.

第1の接続対象部材2は表面(上面)に、複数の第1の電極2aを有する。第2の接続対象部材3は表面(下面)に、複数の第2の電極3aを有する。第1の電極2aと第2の電極3aとが、はんだ部4Aにより電気的に接続されている。従って、第1の接続対象部材2と第2の接続対象部材3とが、はんだ部4Aにより電気的に接続されている。なお、接続部4において、第1の電極2aと第2の電極3aとの間において、はんだ部4Aとは異なる領域(硬化物部4B部分)では、はんだ粒子は存在しない。はんだ部4Aとは異なる領域(硬化物部4B部分)では、はんだ部4Aと離れたはんだ粒子は存在しない。なお、少量であれば、第1の電極2aと第2の電極3aとの間において、はんだ部4Aとは異なる領域(硬化物部4B部分)に、はんだ粒子が存在していてもよい。 The first connection target member 2 has a plurality of first electrodes 2a on its surface (upper surface). The second connection target member 3 has a plurality of second electrodes 3a on its surface (lower surface). The first electrode 2a and the second electrode 3a are electrically connected by a solder portion 4A. Therefore, the first connection target member 2 and the second connection target member 3 are electrically connected by the solder portion 4A. In the connecting portion 4, between the first electrode 2a and the second electrode 3a, no solder particles are present in a region different from the solder portion 4A (hardened material portion 4B portion). In a region different from the solder portion 4A (hardened material portion 4B portion), there are no solder particles separated from the solder portion 4A. If the amount is small, solder particles may be present in a region (hardened material portion 4B portion) different from the solder portion 4A between the first electrode 2a and the second electrode 3a.

図1に示すように、接続構造体1では、第1の電極2aと第2の電極3aとの間に、複数のはんだ粒子が集まり、複数のはんだ粒子が溶融した後、はんだ粒子の溶融物が電極の表面を濡れ拡がった後に固化して、はんだ部4Aが形成されている。このため、はんだ部4Aと第1の電極2a、並びにはんだ部4Aと第2の電極3aとの接続面積が大きくなる。すなわち、はんだ粒子を用いることにより、導電性の外表面がニッケル、金又は銅等の金属である導電性粒子を用いた場合と比較して、はんだ部4Aと第1の電極2a、並びにはんだ部4Aと第2の電極3aとの接触面積が大きくなる。このことによっても、接続構造体1における導通信頼性及び接続信頼性が高くなる。なお、フラックスは、一般に、加熱により次第に失活する。 As shown in FIG. 1, in the connection structure 1, a plurality of solder particles gather between the first electrode 2a and the second electrode 3a. Wet and spread the surface of the electrode and then solidify to form the solder portion 4A. Therefore, the connection areas between the solder portion 4A and the first electrode 2a and between the solder portion 4A and the second electrode 3a are increased. That is, by using solder particles, the solder portion 4A and the first electrode 2a, as well as the solder portion, are compared with the case where the conductive outer surface is a metal such as nickel, gold or copper. The contact area between 4A and the second electrode 3a is increased. This also increases the conduction reliability and connection reliability in the connection structure 1 . Note that the flux is generally gradually deactivated by heating.

図1に示す接続構造体1では、はんだ部4Aの全てが、第1,第2の電極2a,3a間の対向している領域に位置している。また、図1に示す接続構造体1では、硬化物部4Bの全てが、第1,第2の電極2a,3a間の対向している領域に位置している。なお、上記接続構造体では、はんだ部の多くが、第1,第2の電極の対向している領域に位置しており、はんだ部の一部が第1,第2の電極の対向している領域から側方にはみ出していてもよい。第1,第2の電極の対向している領域から側方にはみ出しているはんだ部は、はんだ部の一部であり、はんだ部から離れたはんだ粒子ではない。なお、本実施形態では、はんだ部から離れたはんだ粒子の量を少なくすることができるが、はんだ部から離れたはんだ粒子が硬化物部中に存在していてもよい。また、上記接続構造体では、硬化物部の多くが、第1,第2の電極の対向している領域に位置しており、硬化物部の一部が第1,第2の電極の対向している領域から側方にはみ出していてもよい。 In the connection structure 1 shown in FIG. 1, all of the solder portions 4A are located in the opposing regions between the first and second electrodes 2a and 3a. In addition, in the connection structure 1 shown in FIG. 1, all of the cured material portion 4B is positioned in the opposing regions between the first and second electrodes 2a and 3a. In the connection structure described above, most of the solder portion is located in the region where the first and second electrodes face each other, and part of the solder portion is located in the region where the first and second electrodes face each other. It may protrude laterally from the area in which it is located. The solder portion protruding laterally from the facing regions of the first and second electrodes is part of the solder portion and is not a solder particle separate from the solder portion. In this embodiment, the amount of solder particles separated from the solder portion can be reduced, but the solder particles separated from the solder portion may exist in the cured product portion. In addition, in the connection structure, most of the cured portion is located in the region where the first and second electrodes face each other, and a part of the cured portion is located in the region where the first and second electrodes face each other. It may protrude laterally from the area where it is.

接続構造体1では、第1の電極2aと接続部4と第2の電極3aとの積層方向に第1の電極2aと第2の電極3aとの対向し合う部分をみたときに、第1の電極2aと第2の電極3aとの対向し合う部分の面積100%中の50%以上に、接続部4中のはんだ部4Aが配置されていることが好ましい。接続部4中のはんだ部4Aが、上記の好ましい態様を満足することで、導通信頼性をより一層高めることができる。 In the connection structure 1, when a portion where the first electrode 2a and the second electrode 3a face each other in the stacking direction of the first electrode 2a, the connection portion 4, and the second electrode 3a, the first It is preferable that the solder portion 4A in the connection portion 4 is arranged in 50% or more of the 100% area of the portion where the electrode 2a and the second electrode 3a face each other. When the solder portion 4A in the connection portion 4 satisfies the preferred aspects described above, the electrical connection reliability can be further enhanced.

上記第1の電極と上記接続部と上記第2の電極との積層方向に上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分をみたときに、上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分の面積100%中の50%以上に、上記接続部中のはんだ部が配置されていることが好ましい。上記第1の電極と上記接続部と上記第2の電極との積層方向に上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分をみたときに、上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分の面積100%中の60%以上に、上記接続部中のはんだ部が配置されていることがより好ましい。上記第1の電極と上記接続部と上記第2の電極との積層方向に上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分をみたときに、上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分の面積100%中の70%以上に、上記接続部中のはんだ部が配置されていることがさらに好ましい。上記第1の電極と上記接続部と上記第2の電極との積層方向に上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分をみたときに、上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分の面積100%中の80%以上に、上記接続部中のはんだ部が配置されていることが特に好ましい。上記第1の電極と上記接続部と上記第2の電極との積層方向に上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分をみたときに、上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分の面積100%中の90%以上に、上記接続部中のはんだ部が配置されていることが最も好ましい。上記接続部中のはんだ部が、上記の好ましい態様を満足することで、導通信頼性をより一層高めることができる。 When the facing portion of the first electrode and the second electrode is viewed in the stacking direction of the first electrode, the connection portion, and the second electrode, the first electrode and the second electrode It is preferable that the solder portion in the connection portion is arranged in 50% or more of 100% of the area of the portion facing the two electrodes. When the facing portion of the first electrode and the second electrode is viewed in the stacking direction of the first electrode, the connection portion, and the second electrode, the first electrode and the second electrode More preferably, the solder portion in the connecting portion is arranged in 60% or more of 100% of the area of the portion facing the two electrodes. When the facing portion of the first electrode and the second electrode is viewed in the stacking direction of the first electrode, the connection portion, and the second electrode, the first electrode and the second electrode More preferably, the solder portion in the connection portion is arranged in 70% or more of 100% of the area of the portion facing the two electrodes. When the facing portion of the first electrode and the second electrode is viewed in the stacking direction of the first electrode, the connection portion, and the second electrode, the first electrode and the second electrode It is particularly preferable that the solder portion in the connection portion is arranged in 80% or more of 100% of the area of the portion facing the two electrodes. When the facing portion of the first electrode and the second electrode is viewed in the stacking direction of the first electrode, the connection portion, and the second electrode, the first electrode and the second electrode It is most preferable that the solder portion in the connection portion is arranged in 90% or more of 100% of the area of the portion facing the two electrodes. When the solder portion in the connection portion satisfies the above-mentioned preferred aspects, the reliability of conduction can be further improved.

上記第1の電極と上記接続部と上記第2の電極との積層方向と直交する方向に上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分をみたときに、上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分に、上記接続部中のはんだ部の60%以上が配置されていることが好ましい。上記第1の電極と上記接続部と上記第2の電極との積層方向と直交する方向に上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分をみたときに、上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分に、上記接続部中のはんだ部の70%以上が配置されていることがより好ましい。上記第1の電極と上記接続部と上記第2の電極との積層方向と直交する方向に上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分をみたときに、上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分に、上記接続部中のはんだ部の90%以上が配置されていることがさらに好ましい。上記第1の電極と上記接続部と上記第2の電極との積層方向と直交する方向に上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分をみたときに、上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分に、上記接続部中のはんだ部の95%以上が配置されていることが特に好ましい。上記第1の電極と上記接続部と上記第2の電極との積層方向と直交する方向に上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分をみたときに、上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分に、上記接続部中のはんだ部の99%以上が配置されていることが最も好ましい。上記接続部中のはんだ部が、上記の好ましい態様を満足することで、導通信頼性をより一層高めることができる。 When a portion of the first electrode and the second electrode facing each other is viewed in a direction orthogonal to the lamination direction of the first electrode, the connecting portion, and the second electrode, the first electrode It is preferable that 60% or more of the solder portion in the connection portion is arranged in the portion where the electrode and the second electrode face each other. When a portion of the first electrode and the second electrode facing each other is viewed in a direction orthogonal to the lamination direction of the first electrode, the connecting portion, and the second electrode, the first electrode More preferably, 70% or more of the solder portion in the connection portion is arranged in the portion where the electrode and the second electrode face each other. When a portion of the first electrode and the second electrode facing each other is viewed in a direction orthogonal to the lamination direction of the first electrode, the connecting portion, and the second electrode, the first electrode More preferably, 90% or more of the solder portion in the connection portion is arranged in the portion where the electrode and the second electrode face each other. When a portion of the first electrode and the second electrode facing each other is viewed in a direction orthogonal to the lamination direction of the first electrode, the connecting portion, and the second electrode, the first electrode It is particularly preferable that 95% or more of the solder portion in the connection portion is arranged in the portion where the electrode and the second electrode face each other. When a portion of the first electrode and the second electrode facing each other is viewed in a direction orthogonal to the lamination direction of the first electrode, the connecting portion, and the second electrode, the first electrode Most preferably, 99% or more of the solder portion in the connecting portion is arranged in the portion where the electrode and the second electrode face each other. When the solder portion in the connection portion satisfies the above-mentioned preferred aspects, the reliability of conduction can be further improved.

上記第1,第2の接続対象部材は、特に限定されない。上記第1,第2の接続対象部材としては、具体的には、半導体チップ、半導体パッケージ、LEDチップ、LEDパッケージ、コンデンサ及びダイオード等の電子部品、並びに樹脂フィルム、プリント基板、フレキシブルプリント基板、フレキシブルフラットケーブル、リジッドフレキシブル基板、ガラスエポキシ基板及びガラス基板等の回路基板等の電子部品等が挙げられる。上記第1,第2の接続対象部材は、電子部品であることが好ましい。 The first and second members to be connected are not particularly limited. Specifically, the first and second connection target members include electronic components such as semiconductor chips, semiconductor packages, LED chips, LED packages, capacitors and diodes, resin films, printed boards, flexible printed boards, flexible Examples include electronic components such as circuit boards such as flat cables, rigid flexible boards, glass epoxy boards and glass boards. The first and second members to be connected are preferably electronic components.

上記第1の接続対象部材及び上記第2の接続対象部材の内の少なくとも一方が、樹脂フィルム、フレキシブルプリント基板、フレキシブルフラットケーブル又はリジッドフレキシブル基板であることが好ましい。上記第2の接続対象部材が、樹脂フィルム、フレキシブルプリント基板、フレキシブルフラットケーブル又はリジッドフレキシブル基板であることが好ましい。樹脂フィルム、フレキシブルプリント基板、フレキシブルフラットケーブル及びリジッドフレキシブル基板は、柔軟性が高く、比較的軽量であるという性質を有する。このような接続対象部材の接続に導電フィルムを用いた場合には、はんだ粒子が電極上に集まりにくい傾向がある。これに対して、導電ペーストを用いることで、樹脂フィルム、フレキシブルプリント基板、フレキシブルフラットケーブル又はリジッドフレキシブル基板を用いたとしても、はんだ粒子を電極上に効率的に集めることで、電極間の導通信頼性を十分に高めることができる。樹脂フィルム、フレキシブルプリント基板、フレキシブルフラットケーブル又はリジッドフレキシブル基板を用いる場合に、半導体チップ等の他の接続対象部材を用いた場合と比べて、加圧を行わないことによる電極間の導通信頼性の向上効果がより一層効果的に得られる。 At least one of the first member to be connected and the second member to be connected is preferably a resin film, a flexible printed board, a flexible flat cable, or a rigid flexible board. It is preferable that the second member to be connected is a resin film, a flexible printed board, a flexible flat cable, or a rigid flexible board. Resin films, flexible printed boards, flexible flat cables, and rigid flexible boards have properties of being highly flexible and relatively lightweight. When a conductive film is used to connect such members to be connected, solder particles tend to be less likely to gather on the electrodes. On the other hand, by using a conductive paste, even if a resin film, a flexible printed circuit board, a flexible flat cable, or a rigid flexible circuit board is used, by efficiently collecting solder particles on the electrodes, the reliability of the conduction between the electrodes can be improved. can fully enhance sexuality. When using a resin film, a flexible printed circuit board, a flexible flat cable, or a rigid flexible circuit board, compared to the case of using other connection target members such as semiconductor chips, the conduction reliability between electrodes is improved by not applying pressure. An improvement effect can be obtained more effectively.

上記接続対象部材に設けられている電極としては、金電極、ニッケル電極、錫電極、アルミニウム電極、銅電極、モリブデン電極、銀電極、SUS電極、及びタングステン電極等の金属電極が挙げられる。上記接続対象部材がフレキシブルプリント基板である場合には、上記電極は金電極、ニッケル電極、錫電極、銀電極又は銅電極であることが好ましい。上記接続対象部材がガラス基板である場合には、上記電極はアルミニウム電極、銅電極、モリブデン電極、銀電極又はタングステン電極であることが好ましい。なお、上記電極がアルミニウム電極である場合には、アルミニウムのみで形成された電極であってもよく、金属酸化物層の表面にアルミニウム層が積層された電極であってもよい。上記金属酸化物層の材料としては、3価の金属元素がドープされた酸化インジウム及び3価の金属元素がドープされた酸化亜鉛等が挙げられる。上記3価の金属元素としては、Sn、Al及びGa等が挙げられる。 The electrodes provided on the connection object members include metal electrodes such as gold electrodes, nickel electrodes, tin electrodes, aluminum electrodes, copper electrodes, molybdenum electrodes, silver electrodes, SUS electrodes, and tungsten electrodes. When the member to be connected is a flexible printed circuit board, the electrode is preferably a gold electrode, a nickel electrode, a tin electrode, a silver electrode or a copper electrode. When the member to be connected is a glass substrate, the electrode is preferably an aluminum electrode, a copper electrode, a molybdenum electrode, a silver electrode, or a tungsten electrode. When the electrode is an aluminum electrode, it may be an electrode made of only aluminum, or an electrode in which an aluminum layer is laminated on the surface of a metal oxide layer. Examples of materials for the metal oxide layer include indium oxide doped with a trivalent metal element and zinc oxide doped with a trivalent metal element. Examples of the trivalent metal elements include Sn, Al and Ga.

本発明に係る接続構造体では、上記第1の電極及び上記第2の電極は、エリアアレイ又はペリフェラルにて配置されていることが好ましい。上記第1の電極及び上記第2の電極が、エリアアレイ又はペリフェラルにて配置されている場合において、本発明の効果がより一層効果的に発揮される。上記エリアアレイとは、接続対象部材の電極が配置されている面にて、格子状に電極が配置されている構造のことである。上記ペリフェラルとは、接続対象部材の外周部に電極が配置されている構造のことである。電極が櫛型に並んでいる構造の場合は、櫛に垂直な方向に沿ってはんだ粒子が凝集すればよいのに対して、上記エリアアレイ又はペリフェラル構造では電極が配置されている面において、全面にて均一にはんだ粒子が凝集する必要がある。そのため、従来の方法では、はんだ量が不均一になりやすいのに対して、本発明の方法では、全面にて均一にはんだ粒子を凝集させることができる。 In the connection structure according to the present invention, it is preferable that the first electrode and the second electrode are arranged in an area array or a peripheral. The effects of the present invention are exhibited more effectively when the first electrode and the second electrode are arranged in an area array or peripheral arrangement. The area array is a structure in which electrodes are arranged in a grid pattern on the surface of the member to be connected where the electrodes are arranged. The peripheral is a structure in which electrodes are arranged on the outer periphery of the member to be connected. In the case of the structure in which the electrodes are arranged in a comb shape, the solder particles should be aggregated along the direction perpendicular to the comb, whereas in the area array or peripheral structure, the entire surface on which the electrodes are arranged It is necessary for the solder particles to aggregate uniformly. Therefore, in the conventional method, the amount of solder tends to be non-uniform, whereas in the method of the present invention, the solder particles can be uniformly aggregated over the entire surface.

以下、実施例及び比較例を挙げて、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例のみに限定されない。 EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples and comparative examples. The invention is not limited only to the following examples.

熱硬化性成分(熱硬化性化合物):
熱硬化性化合物1:フェノールノボラック型エポキシ化合物、DOW社製「DEN431」
熱硬化性化合物2:ビスフェノールA型エポキシ化合物、DOW社製「DER354」
熱硬化性化合物3:1,6ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、共栄社化学社製「Epolite1600」
熱硬化性化合物4:ビスフェノールF型エポキシ化合物、新日鉄住金化学社製「YDF-8170C」
Thermosetting component (thermosetting compound):
Thermosetting compound 1: Phenol novolac type epoxy compound, "DEN431" manufactured by DOW
Thermosetting compound 2: Bisphenol A type epoxy compound, "DER354" manufactured by DOW
Thermosetting compound 3: 1,6 hexanediol diglycidyl ether, "Epolite 1600" manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.
Thermosetting compound 4: Bisphenol F type epoxy compound, "YDF-8170C" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.

熱硬化性成分(硬化促進剤):
硬化促進剤:三フッ化ホウ素エチルアミン、東京化成社製
Thermosetting component (curing accelerator):
Curing accelerator: boron trifluoride ethylamine, manufactured by Tokyo Kasei Co., Ltd.

はんだ粒子:
はんだ粒子1:SnAgCuはんだ粒子、三井金属鉱業社製「SnAg3Cu0.5 Type5」、平均粒子径20μm、最大粒子径25μm、融点220℃
はんだ粒子2:SnBiはんだ粒子、三井金属鉱業社製「Sn42Bi58 Type5」、平均粒子径20μm、最大粒子径25μm、融点139℃
はんだ粒子3:SnAgCuはんだ粒子、三井金属鉱業社製「SnAg3Cu0.5 DS10」、平均粒子径10μm、最大粒子径15μm、融点:220℃
はんだ粒子4:SnBiはんだ粒子、三井金属鉱業社製「Sn42Bi58 DS10」、平均粒子径10μm、最大粒子径15μm、融点139℃
はんだ粒子5:SnBiはんだ粒子、三井金属鉱業社製「Sn42Bi58 STC-5」、平均粒子径5μm、最大粒子径9μm、融点139℃
はんだ粒子6:SnBiはんだ粒子、三井金属鉱業社製「Sn42Bi58 STC-3」、平均粒子径3μm、最大粒子径7μm、融点139℃
はんだ粒子7:SnBiはんだ粒子、三井金属鉱業社製「Sn42Bi58 STC-3」の表面を酸処理したはんだ粒子、平均粒子径3μm、最大粒子径6μm、融点139℃
Solder particles:
Solder particles 1: SnAgCu solder particles, "SnAg3Cu0.5 Type 5" manufactured by Mitsui Kinzoku Mining Co., Ltd., average particle size 20 µm, maximum particle size 25 µm, melting point 220°C
Solder particles 2: SnBi solder particles, "Sn42Bi58 Type5" manufactured by Mitsui Kinzoku Mining Co., Ltd., average particle size 20 µm, maximum particle size 25 µm, melting point 139°C
Solder particles 3: SnAgCu solder particles, "SnAg3Cu0.5 DS10" manufactured by Mitsui Kinzoku Mining Co., Ltd., average particle size 10 μm, maximum particle size 15 μm, melting point: 220 ° C.
Solder particles 4: SnBi solder particles, "Sn42Bi58 DS10" manufactured by Mitsui Kinzoku Mining Co., Ltd., average particle size 10 µm, maximum particle size 15 µm, melting point 139°C
Solder particles 5: SnBi solder particles, "Sn42Bi58 STC-5" manufactured by Mitsui Kinzoku Mining Co., Ltd., average particle size 5 μm, maximum particle size 9 μm, melting point 139 ° C.
Solder particles 6: SnBi solder particles, “Sn42Bi58 STC-3” manufactured by Mitsui Kinzoku Mining Co., Ltd., average particle size 3 μm, maximum particle size 7 μm, melting point 139 ° C.
Solder particles 7: SnBi solder particles, acid-treated solder particles of "Sn42Bi58 STC-3" manufactured by Mitsui Kinzoku Co., Ltd., average particle size 3 μm, maximum particle size 6 μm, melting point 139 ° C.

なお、はんだ粒子の平均粒子径及び最大粒子径は、レーザー回折式粒度分布測定装置(堀場製作所社製「LA-920」)を用いて上述の方法により求めた。 The average particle size and maximum particle size of the solder particles were determined by the above method using a laser diffraction particle size distribution analyzer ("LA-920" manufactured by Horiba, Ltd.).

フラックス:
フラックス1:エチルアシッドホスフェート、城北化学工業社製「JP-502」、25℃で液体
フラックス2:ブチルアシッドホスフェート、城北化学工業社製「JP-504」、25℃で液体
フラックス3:アジピン酸ベンジルアミン塩、昭和化学工業社製「アジピン酸ベンジルアミン塩」、25℃で固体
フラックス4:ブチルアシッドホスフェートビス(2-エチルヘキシルアミン塩)、城北化学工業社製、25℃で液体
フラックス5:ブチルアシッドホスフェートビス(ジメチルドデシルアミン)、城北化学工業社製、25℃で液体
フラックス6:ブチルアシッドホスフェートビス(2-エチルエキシルアミン)、城北化学工業社製、25℃で液体
フラックス7:アゼライン酸、東京化成社製、25℃で固体
フラックス8:ダイマー酸、アリゾナケミカル社製「UNIDYME14」、25℃で液体
フラックス9:ロジン系フラックス、荒川化学工業社製「WHP-002」、25℃で液体
フラックス10:ロジン系フラックス、荒川化学工業社製「PHA-214」、25℃でろう状(固体と液体との混合物)
flux:
Flux 1: Ethyl acid phosphate, "JP-502" manufactured by Johoku Chemical Industry Co., Ltd., liquid at 25 ° C. Flux 2: Butyl acid phosphate, "JP-504" manufactured by Johoku Chemical Industry Co., Ltd., liquid at 25 ° C. Flux 3: Benzyl adipate Amine salt, “benzylamine adipate” manufactured by Showa Chemical Industry Co., Ltd., solid at 25° C. Flux 4: butyl acid phosphate bis(2-ethylhexylamine salt), manufactured by Johoku Chemical Industry Co., Ltd., liquid at 25° C. Flux 5: butyl acid Phosphate bis (dimethyldodecylamine), manufactured by Johoku Chemical Industry Co., Ltd., liquid at 25 ° C. Flux 6: Butyl acid phosphate bis (2-ethylexylamine), manufactured by Johoku Chemical Industry Co., Ltd., liquid at 25 ° C. Flux 7: Azelaic acid, Tokyo Kasei Co., Ltd., solid at 25 ° C. Flux 8: dimer acid, Arizona Chemical Co., Ltd. "UNIDYME14", liquid at 25 ° C. Flux 9: rosin-based flux, Arakawa Chemical Co., Ltd. "WHP-002", liquid at 25 ° C. Flux 10 : Rosin-based flux, "PHA-214" manufactured by Arakawa Chemical Industries, waxy at 25°C (mixture of solid and liquid)

その他の成分:
フェノール樹脂:明和化成社製「MEH-8000H」
溶剤:ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル
Other Ingredients:
Phenolic resin: "MEH-8000H" manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.
Solvent: diethylene glycol monohexyl ether

(実施例1~20及び比較例1~5)
導電材料(異方性導電ペースト)の作製:
下記の表1~3に示す成分を下記の表1~3に示す配合量で配合して、導電材料(異方性導電ペースト)を得た。
(Examples 1 to 20 and Comparative Examples 1 to 5)
Preparation of conductive material (anisotropic conductive paste):
A conductive material (anisotropic conductive paste) was obtained by blending the components shown in Tables 1 to 3 below in the amounts shown in Tables 1 to 3 below.

(評価)
(1)導電材料の粘度
E型粘度計(東機産業社製「TVE22L」)を用いて、得られた導電材料の以下の粘度を測定した。
(evaluation)
(1) Viscosity of Conductive Material Using an E-type viscometer (“TVE22L” manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.), the following viscosities of the obtained conductive material were measured.

冷凍保管された導電材料を解凍し、25℃に達した直後の導電材料の25℃及び5rpmでの粘度ηA
冷凍保管された導電材料を解凍し、25℃に達した直後の導電材料の25℃及び0.5rpmでの粘度ηB
作製直後の導電材料の25℃及び5rpmでの粘度ηC
作製直後の導電材料の25℃及び0.5rpmでの粘度ηD
Viscosity ηA of the conductive material at 25°C and 5 rpm immediately after thawing the frozen stored conductive material and reaching 25°C
Viscosity ηB of the conductive material at 25°C and 0.5 rpm immediately after thawing the frozen stored conductive material and reaching 25°C
Viscosity ηC of as-fabricated conductive material at 25°C and 5 rpm
Viscosity ηD of as-fabricated conductive material at 25°C and 0.5 rpm

また、測定結果から、ηB/ηA、及びηD/ηCを算出した。 Also, ηB/ηA and ηD/ηC were calculated from the measurement results.

なお、ηA及びηBは、より具体的には、得られた導電材料を-40℃で48時間冷凍保管した後、25℃で保管して解凍し、25℃に達した直後の導電材料の粘度を測定して求めた。 More specifically, ηA and ηB are the viscosities of the conductive materials immediately after the obtained conductive materials are stored frozen at −40° C. for 48 hours, stored at 25° C. and thawed, and immediately after reaching 25° C. was obtained by measuring

[ηA,ηCの判定基準]
A:20Pa・s以上60Pa・s以下
B:10Pa・s以上20Pa・s未満
C:60Pa・sを超え80Pa・s以下
D:10Pa・s未満
E:80Pa・sを超える
[Criteria for ηA and ηC]
A: 20 Pa s or more and 60 Pa s or less B: 10 Pa s or more and less than 20 Pa s C: More than 60 Pa s and less than 80 Pa s D: Less than 10 Pa s E: More than 80 Pa s

[ηB/ηA,ηD/ηCの判定基準]
A:2.0以上
B:1.5以上2.0未満
C:1.5未満
[Criteria for ηB/ηA and ηD/ηC]
A: 2.0 or more B: 1.5 or more and less than 2.0 C: less than 1.5

(2)転写面積のばらつき
先端面の径が300μmである1点転写ピン(武蔵エンジニアリング社製)の先端から20μmの位置までを導電材料に接触させて、転写ピンに上記導電材料を付着させた。上記導電材料が付着した転写ピンを、スライドガラスに転写した。この転写作業を5回行い、転写された5点の導電材料の転写面積をHirox社製「Hirox KH-1300」を用いて測定した。転写された導電材料の転写面積をそれぞれA~Aとし、A~Aの平均値をAAveとしたときに、下記の関係式を満足するか否かで、転写面積のばらつきを評価した。
(2) Variation in transfer area A one-point transfer pin (manufactured by Musashi Engineering Co., Ltd.) having a tip surface diameter of 300 µm was brought into contact with the conductive material at a position of 20 µm from the tip, and the conductive material was adhered to the transfer pin. . The transfer pin to which the conductive material was attached was transferred to a slide glass. This transfer operation was performed 5 times, and the transfer area of the 5 transferred conductive materials was measured using "Hirox KH-1300" manufactured by Hirox. When the transfer area of the transferred conductive material is A 1 to A 5 and the average value of A 1 to A 5 is A Ave , the variation in the transfer area is determined by whether or not the following relational expression is satisfied. evaluated.

式:0.85≦(A/AAve)≦1.15 Formula: 0.85≦(A n /A Ave )≦1.15

[転写面積のばらつきの判定基準]
〇:n=1~5のすべてが上記関係式を満足する
×:n=1~5の少なくとも1つが上記関係式を満足しない
[Determination Criteria for Variation in Transfer Area]
○: All of n = 1 to 5 satisfy the above relational expression ×: At least one of n = 1 to 5 does not satisfy the above relational expression

(3)はんだ凝集性
縦100μm×横300μm×厚み30μmの開口部を有するメタルマスクを用い、導電材料をスライドガラスに塗布した。はんだ粒子の融点よりも20℃高い温度にセットしたホットプレートで上記導電材料を加熱した。加熱後の導電材料及びはんだを観察し、以下の基準ではんだ凝集性を判定した。
(3) Solder Cohesiveness Using a metal mask having an opening of 100 μm long×300 μm wide×30 μm thick, a conductive material was applied to a slide glass. The conductive material was heated with a hot plate set at a temperature 20° C. higher than the melting point of the solder particles. The conductive material and solder after heating were observed, and solder cohesiveness was determined according to the following criteria.

[はんだ凝集性の判定基準]
〇:導電材料中のはんだが1つの玉になる
×:導電材料中のはんだが1つの玉にならない
[Solder Cohesiveness Judgment Criteria]
〇: The solder in the conductive material forms one ball ×: The solder in the conductive material does not form one ball

導電材料の組成及び結果を下記の表1~3に示す。 The compositions of the conductive materials and the results are shown in Tables 1-3 below.

Figure 0007284699000001
Figure 0007284699000001

Figure 0007284699000002
Figure 0007284699000002

Figure 0007284699000003
Figure 0007284699000003

1…接続構造体
2…第1の接続対象部材
2a…第1の電極
3…第2の接続対象部材
3a…第2の電極
4…接続部
4A…はんだ部
4B…硬化物部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Connection structure 2... 1st connection object member 2a... 1st electrode 3... 2nd connection object member 3a... 2nd electrode 4... Connection part 4A... Solder part 4B... Hardened material part

Claims (8)

ピン転写又はディップ転写に用いられる導電材料であり、
熱硬化性成分と、複数のはんだ粒子と、フラックスとを含み、
前記はんだ粒子の含有量が、70重量%以上93重量%以下であり、
冷凍保管された前記導電材料を解凍し、25℃に達した直後の導電材料の25℃及び5rpmでの粘度をηAとし、冷凍保管された前記導電材料を解凍し、25℃に達した直後の導電材料の25℃及び0.5rpmでの粘度をηBとしたときに、
ηAが、10Pa・s以上80Pa・s以下であり、
ηB/ηAが、1.5以上である、導電材料。
A conductive material used for pin transfer or dip transfer,
including a thermosetting component, a plurality of solder particles, and a flux;
The content of the solder particles is 70% by weight or more and 93% by weight or less,
The conductive material that has been frozen and stored is thawed, and the viscosity of the conductive material at 25°C and 5 rpm immediately after reaching 25°C is defined as ηA. When the viscosity of the conductive material at 25° C. and 0.5 rpm is ηB,
ηA is 10 Pa s or more and 80 Pa s or less,
A conductive material in which ηB/ηA is 1.5 or more.
ηAが、50Pa・s以下である、請求項1に記載の導電材料。 The conductive material according to claim 1, wherein ηA is 50 Pa·s or less. 前記はんだ粒子の平均粒子径が、3.0μm以下であり、前記はんだ粒子の最大粒子径が、10μm以下である、請求項1又は2に記載の導電材料。 3. The conductive material according to claim 1, wherein the solder particles have an average particle size of 3.0 [mu]m or less, and the solder particles have a maximum particle size of 10 [mu]m or less. 前記はんだ粒子の融点が、120℃以上400℃以下である、請求項1~3のいずれか1項に記載の導電材料。 The conductive material according to any one of claims 1 to 3, wherein the solder particles have a melting point of 120°C or higher and 400°C or lower. 前記フラックスが、有機酸、リン酸、有機酸アミン塩、又はリン酸アミン塩を含む、請求項1~4のいずれか1項に記載の導電材料。 The conductive material according to any one of claims 1 to 4, wherein the flux comprises an organic acid, phosphoric acid, an organic acid amine salt, or a phosphoric acid amine salt. 導電ペーストである、請求項1~5のいずれか1項に記載の導電材料。 The conductive material according to any one of claims 1 to 5, which is a conductive paste. 第1の電極を表面に有する第1の接続対象部材と、
第2の電極を表面に有する第2の接続対象部材と、
前記第1の接続対象部材と、前記第2の接続対象部材とを接続している接続部とを備え、
前記接続部の材料が、請求項1~6のいずれか1項に記載の導電材料であり、
前記第1の電極と前記第2の電極とが、前記接続部中のはんだ部により電気的に接続されている、接続構造体。
a first connection target member having a first electrode on its surface;
a second connection target member having a second electrode on its surface;
A connecting portion that connects the first connection target member and the second connection target member,
The material of the connection portion is the conductive material according to any one of claims 1 to 6,
A connection structure, wherein the first electrode and the second electrode are electrically connected by a solder portion in the connection portion.
請求項1~6のいずれか1項に記載の導電材料を用いて、第1の電極を表面に有する第1の接続対象部材の表面上又は第2の電極を表面に有する第2の接続対象部材の表面上に、ピン転写又はディップ転写により前記導電材料を転写する工程と、
前記第1の電極と前記第2の電極とが前記導電材料を介して対向するように、前記第1の接続対象部材に対して、前記第2の接続対象部材を配置する工程と、
前記はんだ粒子の融点以上に前記導電材料を加熱することで、前記第1の接続対象部材と前記第2の接続対象部材とを接続している接続部を、前記導電材料により形成し、かつ、前記第1の電極と前記第2の電極とを、前記接続部中のはんだ部により電気的に接続する工程とを備える、接続構造体の製造方法。
Using the conductive material according to any one of claims 1 to 6, on the surface of the first connection object member having the first electrode on the surface or the second connection object having the second electrode on the surface transferring the conductive material onto the surface of a member by pin transfer or dip transfer;
arranging the second member to be connected with respect to the first member to be connected such that the first electrode and the second electrode are opposed to each other through the conductive material;
By heating the conductive material to a melting point of the solder particles or higher, a connecting portion connecting the first member to be connected and the second member to be connected is formed from the conductive material, and A method of manufacturing a connection structure, comprising the step of electrically connecting the first electrode and the second electrode with a solder portion in the connection portion.
JP2019225362A 2019-12-13 2019-12-13 Conductive material, connection structure, and method for manufacturing connection structure Active JP7284699B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019225362A JP7284699B2 (en) 2019-12-13 2019-12-13 Conductive material, connection structure, and method for manufacturing connection structure

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019225362A JP7284699B2 (en) 2019-12-13 2019-12-13 Conductive material, connection structure, and method for manufacturing connection structure

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2021096903A JP2021096903A (en) 2021-06-24
JP7284699B2 true JP7284699B2 (en) 2023-05-31

Family

ID=76431870

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019225362A Active JP7284699B2 (en) 2019-12-13 2019-12-13 Conductive material, connection structure, and method for manufacturing connection structure

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7284699B2 (en)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019203053A1 (en) 2018-04-18 2019-10-24 積水化学工業株式会社 Electroconductive material, connection structure, and method for manufacturing connection structure

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019203053A1 (en) 2018-04-18 2019-10-24 積水化学工業株式会社 Electroconductive material, connection structure, and method for manufacturing connection structure

Also Published As

Publication number Publication date
JP2021096903A (en) 2021-06-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7356217B2 (en) Conductive material, connected structure, and method for manufacturing connected structure
JP7184759B2 (en) Conductive material, method for storing conductive material, method for manufacturing conductive material, and method for manufacturing connection structure
JP7184758B2 (en) Conductive material, method for storing conductive material, method for manufacturing conductive material, and method for manufacturing connection structure
JP2019096616A (en) Conductive material, connection structure and production method of connection structure
JP2023138947A (en) Conductive material, connection structure and method for producing connection structure
JP7332458B2 (en) Conductive material, connection structure, and method for manufacturing connection structure
JP2021028895A (en) Conductive material, connection structure and production method of connection structure
JP7277289B2 (en) Conductive material, connection structure, and method for manufacturing connection structure
JP7312105B2 (en) Conductive material, connection structure, and method for manufacturing connection structure
JP7280758B2 (en) Conductive material, connection structure, and method for manufacturing connection structure
WO2020255874A1 (en) Electroconductive material, connection structure, and method for manufacturing connection structure
JP7284699B2 (en) Conductive material, connection structure, and method for manufacturing connection structure
JP2021057293A (en) Conductive material, connection structure, and method for producing connection structure
JP2020119955A (en) Connection structure, method for manufacturing connection structure, conductive material, and method for manufacturing conductive material
JP7389657B2 (en) Conductive paste and connection structure
JP7303675B2 (en) Conductive material, connection structure, and method for manufacturing connection structure
JP7316109B2 (en) Conductive material, connection structure, and method for manufacturing connection structure
JP7372745B2 (en) Conductive material, connected structure, and method for manufacturing connected structure
JP7267685B2 (en) Conductive material, connection structure, and method for manufacturing connection structure
JP7271312B2 (en) Conductive material, connection structure, and method for manufacturing connection structure
JP7421317B2 (en) Conductive film and connected structure
JP2019096550A (en) Conductive material, connection structure and production method of connection structure
JP7368947B2 (en) electronic components
TWI834887B (en) Conductive material, connection structure and manufacturing method of connection structure
JP2020170591A (en) Conductive material and connection structure

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220920

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230425

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20230426

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230519

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 7284699

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151