JP7279487B2 - Piezoelectric elements, vibration devices and electronic equipment - Google Patents

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Description

本開示は、圧電素子、振動デバイス及び電子機器に関する。 The present disclosure relates to piezoelectric elements, vibration devices, and electronic equipment.

特許文献1には、圧電素子及び振動部材を備えるスピーカが記載されている。 Patent Literature 1 describes a speaker including a piezoelectric element and a vibrating member.

特開平4-70100号公報JP-A-4-70100

上述のようなスピーカにより左スピーカ及び右スピーカを構成する場合、左スピーカ用の振動部材及び右スピーカ用の振動部材を1つにまとめることが考えられる。これにより、左スピーカ及び右スピーカが一体化されるので、小型化を図ることができる。しかしながら、各圧電素子の振動が振動部材で混ざり合い、音質が低下するおそれがある。 When configuring the left speaker and the right speaker using the above-described speakers, it is conceivable to combine the vibration member for the left speaker and the vibration member for the right speaker into one. As a result, the left speaker and the right speaker are integrated, so that miniaturization can be achieved. However, there is a possibility that the vibrations of the piezoelectric elements are mixed in the vibrating member and the sound quality is degraded.

本開示は、小型化を図りながら、音質の低下を抑制可能な圧電素子、振動デバイス及び電子機器を提供する。 The present disclosure provides a piezoelectric element, a vibration device, and an electronic device capable of suppressing deterioration in sound quality while achieving miniaturization.

本開示の一つの態様に係る圧電素子は、互いに対向する第一主面及び第二主面を有する圧電素体と、圧電素体上に配置された第一外部電極及び第二外部電極と、を備え、圧電素体は、圧電的に活性な第一活性領域及び第二活性領域と、圧電的に不活性な不活性領域と、を有し、第一外部電極は、第一活性領域を駆動するための駆動信号を入力し、第二外部電極は、第二活性領域を駆動するための駆動信号を入力し、第一主面及び第二主面の対向方向から見て、第一活性領域及び第二活性領域は、不活性領域を介して互いに離間している。 A piezoelectric element according to one aspect of the present disclosure includes a piezoelectric body having a first main surface and a second main surface facing each other; a first external electrode and a second external electrode arranged on the piezoelectric body; wherein the piezoelectric body has first and second piezoelectrically active active regions and a piezoelectrically inactive inactive region; and the first external electrode comprises the first active region. A drive signal for driving is input, the second external electrode receives a drive signal for driving the second active region, and the first active region is viewed from the facing direction of the first main surface and the second main surface. The region and the second active region are separated from each other by an inactive region.

この圧電素子は、第一活性領域、第二活性領域、及び不活性領域を有している。第一活性領域は、第一外部電極が入力した駆動信号によって駆動される。第二活性領域は、第二外部電極が入力した駆動信号によって駆動される。このように、第一活性領域及び第二活性領域がそれぞれ別の駆動信号によって駆動可能に構成されているので、1つの圧電素子で2つの音を同時に発生させることができる。よって、1つの音を発生させる圧電素子を2つ用いる場合に比べて、振動デバイスの小型化を図ることができる。しかも、第一活性領域及び第二活性領域は、不活性領域を介して互いに離間している。よって、第一活性領域及び第二活性領域の振動が圧電素体で混ざり合うことが抑制される。また、不活性領域は振動部材の振動を拘束する拘束体として機能する。よって、第一活性領域及び第二活性領域による振動が振動部材で混ざり合うことも抑制される。この結果、振動デバイスにおける音質の低下を抑制することができる。 The piezoelectric element has a first active area, a second active area, and an inactive area. The first active region is driven by a drive signal input by the first external electrode. The second active region is driven by a drive signal input by the second external electrode. In this way, the first active region and the second active region are configured to be driven by different drive signals, respectively, so that one piezoelectric element can generate two sounds at the same time. Therefore, compared to the case of using two piezoelectric elements that generate one sound, the size of the vibrating device can be reduced. Moreover, the first active region and the second active region are separated from each other through the inactive region. Therefore, the vibrations of the first active region and the second active region are suppressed from being mixed in the piezoelectric body. Also, the inactive region functions as a restraining body that restrains the vibration of the vibrating member. Therefore, it is also suppressed that vibrations by the first active region and the second active region are mixed in the vibrating member. As a result, deterioration of sound quality in the vibrating device can be suppressed.

対向方向から見て、第一活性領域の面積及び第二活性領域の面積は、互いに同等であってもよい。この場合、第一活性領域及び第二活性領域の屈曲振動により発生する音の大きさが互いに同等になり易い。 Viewed from the opposing direction, the area of the first active region and the area of the second active region may be equal to each other. In this case, the magnitudes of sounds generated by the bending vibrations of the first active region and the second active region tend to be the same.

対向方向から見て、第一活性領域の面積及び第二活性領域の面積は、互いに異なっていてもよい。この場合、第一活性領域及び第二活性領域による屈曲振動の大きさが互いに異なる。このため、圧電素子が振動部材の中央に配置されていないときでも、第一活性領域及び第二活性領域の屈曲振動により発生する音の大きさを互いに同等に近づけることができる。 Viewed from the opposing direction, the area of the first active region and the area of the second active region may be different from each other. In this case, the magnitudes of the bending vibrations of the first active region and the second active region are different from each other. Therefore, even when the piezoelectric element is not arranged at the center of the vibrating member, it is possible to bring the magnitudes of the sounds generated by the bending vibrations of the first active region and the second active region to the same level.

本開示の一つの態様に係る振動デバイスは、上記圧電素子と、第一主面と接合された第三主面と、第三主面と対向する第四主面と、を有する振動部材と、を備え、振動部材は、対向方向から見て、第一活性領域と重なる第一振動部と、第二活性領域と重なる第二振動部と、を有し、振動部材には、第三主面及び第四主面の少なくともいずれか一方において、第一振動部と第二振動部とを互いに離間させる溝が設けられていてもよい。この場合、振動部材に溝が設けられているので、第一振動部及び第二振動部において、互いの振動が混ざり合うことが更に抑制される。よって、振動デバイスでは、音質の低下を更に抑制することができる。 A vibrating device according to one aspect of the present disclosure includes a vibrating member having the piezoelectric element, a third main surface joined to the first main surface, and a fourth main surface facing the third main surface, and the vibrating member has a first vibrating portion overlapping with the first active region and a second vibrating portion overlapping with the second active region when viewed from the opposing direction, and the vibrating member has a third main surface and at least one of the fourth principal surface, a groove for separating the first vibrating portion and the second vibrating portion from each other may be provided. In this case, since the vibrating member is provided with the groove, it is further suppressed that the vibrations of the first vibrating portion and the second vibrating portion are mixed with each other. Therefore, the vibration device can further suppress deterioration in sound quality.

溝は、第三主面と第四主面とを接続するように振動部材を貫通していてもよい。この場合、第一振動部と第二振動部とが互いに確実に離間するので、第一振動部及び第二振動部において、互いの振動が混ざり合うことが抑制される。よって、音質の低下を更に抑制できる。 The groove may extend through the vibrating member to connect the third and fourth principal surfaces. In this case, since the first vibrating portion and the second vibrating portion are reliably spaced apart from each other, it is possible to suppress mixing of vibrations between the first vibrating portion and the second vibrating portion. Therefore, deterioration of sound quality can be further suppressed.

上記振動デバイスは、第一主面と第三主面とを互いに接合する接合部材を更に備え、接合部材は、対向方向から見て、第一活性領域と重なる第一接合部と、第二活性領域と重なる第二接合部と、を有し、第一接合部及び第二接合部は互いに離間していてもよい。この場合、第一接合部及び第二接合部が互いに離間しているので、第一活性領域の振動が第二振動部に伝わることが抑制されると共に、第二活性領域の振動が第一振動部に伝わることが抑制される。これにより、振動部材では、第一活性領域及び第二活性領域による振動が混ざり合うことが更に抑制される。よって、音質の低下をより一層抑制することができる。 The vibration device further includes a joining member that joins the first main surface and the third main surface to each other, and the joining member includes a first joining portion that overlaps the first active region when viewed from the opposite direction, and a second active region. and a second joint overlapping the region, wherein the first joint and the second joint may be spaced apart from each other. In this case, since the first joint portion and the second joint portion are separated from each other, the vibration of the first active region is suppressed from being transmitted to the second vibrating portion, and the vibration of the second active region is transmitted to the first vibration. It is suppressed that it is transmitted to the part. Thereby, in the vibrating member, it is further suppressed that the vibrations of the first active region and the second active region are mixed. Therefore, deterioration of sound quality can be further suppressed.

接合部材は、対向方向から見て、第一接合部と第二接合部との間に配置された第三接合部を更に有し、第一接合部及び第二接合部は、第三接合部よりも硬くてもよい。この場合、第一活性領域及び第二活性領域の振動が、第一接合部及び第二接合部を介して第一振動部及び第二振動部に伝わり易い。 The joint member further has a third joint portion disposed between the first joint portion and the second joint portion when viewed from the opposite direction, the first joint portion and the second joint portion being equal to the third joint portion. It may be harder than In this case, vibrations of the first active region and the second active region are easily transmitted to the first vibrating portion and the second vibrating portion via the first joint portion and the second joint portion.

本開示の一つの態様に係る電子機器は、上記圧電素子又は上記振動デバイスを備える。 An electronic device according to one aspect of the present disclosure includes the piezoelectric element or the vibration device.

この電子機器は、上記圧電素子又は上記振動デバイスを備えているので、小型化を図りながら、音質の低下を抑制可能となる。 Since this electronic device includes the piezoelectric element or the vibration device, it is possible to reduce the size of the electronic device while suppressing deterioration in sound quality.

本開示の一つの態様によれば、小型化を図りながら、音質の低下を抑制可能な圧電素子、振動デバイス及び電子機器が提供される。 According to one aspect of the present disclosure, there are provided a piezoelectric element, a vibration device, and an electronic device capable of suppressing deterioration in sound quality while achieving miniaturization.

実施形態に係る振動デバイスを示す斜視図である。1 is a perspective view showing a vibration device according to an embodiment; FIG. 図1の圧電素子を示す分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view showing the piezoelectric element of FIG. 1; 図1のIII-III線に沿っての断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view along line III-III of FIG. 1; 第一変形例に係る振動デバイスを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the vibration device which concerns on a 1st modification. 図4の圧電素子を示す分解斜視図である。FIG. 5 is an exploded perspective view showing the piezoelectric element of FIG. 4; 第二変形例に係る振動デバイスの圧電素子を示す分解斜視図である。FIG. 11 is an exploded perspective view showing a piezoelectric element of a vibration device according to a second modified example; 第三変形例に係る振動デバイスの一部を拡大して示す断面図である。It is sectional drawing which expands and shows a part of vibration device which concerns on a 3rd modification. 第四変形例に係る振動デバイスの一部を拡大して示す断面図である。It is sectional drawing which expands and shows a part of vibration device which concerns on a fourth modification.

以下、添付図面を参照して、実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。 Hereinafter, embodiments will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the description, the same reference numerals are used for the same elements or elements having the same function, and overlapping descriptions are omitted.

図1は、実施形態に係る振動デバイスを示す斜視図である。図1に示されるように、実施形態に係る振動デバイス100は、圧電素子1と、振動部材50と、を備えている。振動デバイス100は、交流電圧を印加することによって圧電素子1を駆動し、圧電素子1で振動部材50を振動させることによって、音を発生させる。振動デバイス100は、例えば、スピーカ又はブザーとして用いられる。振動デバイス100は、例えば、テレビ、スマートフォン等の電子機器に設けられる。 FIG. 1 is a perspective view showing a vibration device according to an embodiment. As shown in FIG. 1, a vibrating device 100 according to the embodiment includes a piezoelectric element 1 and a vibrating member 50. As shown in FIG. The vibrating device 100 generates sound by driving the piezoelectric element 1 by applying an AC voltage and vibrating the vibrating member 50 with the piezoelectric element 1 . Vibration device 100 is used, for example, as a speaker or a buzzer. The vibration device 100 is provided, for example, in electronic devices such as televisions and smartphones.

圧電素子1は、圧電素体2と、外部電極11,12,13,14,15,16とを有している。圧電素子1は、本実施形態ではバイモルフ型の圧電素子であるが、ユニモルフ型の圧電素子であってもよい。圧電素子1は、いわゆる積層型圧電素子である。 The piezoelectric element 1 has a piezoelectric body 2 and external electrodes 11 , 12 , 13 , 14 , 15 and 16 . The piezoelectric element 1 is a bimorph type piezoelectric element in this embodiment, but may be a unimorph type piezoelectric element. The piezoelectric element 1 is a so-called laminated piezoelectric element.

圧電素体2は、直方体形状を呈している。直方体形状には、例えば、角部及び稜線部が面取りされている直方体の形状、及び、角部及び稜線部が丸められている直方体の形状が含まれる。圧電素体2は、互いに対向している主面2a,2bと、互いに対向している側面2c,2dと、互いに対向している側面2e,2fと、を有している。主面2aは、振動部材50と対向し、振動部材50と接合されている。 The piezoelectric element 2 has a rectangular parallelepiped shape. The rectangular parallelepiped shape includes, for example, a rectangular parallelepiped shape with chamfered corners and edges, and a rectangular parallelepiped shape with rounded corners and edges. The piezoelectric body 2 has main surfaces 2a and 2b facing each other, side surfaces 2c and 2d facing each other, and side surfaces 2e and 2f facing each other. The main surface 2 a faces the vibrating member 50 and is joined to the vibrating member 50 .

以下では、主面2a,2bの対向方向を方向D1、側面2c,2dの対向方向を方向D2、側面2e,2fの対向方向を方向D3とする。方向D1は、主面2a,2bに交差(ここでは直交)する方向である。方向D2は、側面2c,2dに交差(ここでは直交)する方向である。方向D3は、側面2e,2fに交差(ここでは直交)する方向である。方向D1、方向D2及び方向D3は互いに交差(ここでは直交)している。 Hereinafter, the facing direction of the principal surfaces 2a and 2b is defined as direction D1, the facing direction of side surfaces 2c and 2d is defined as direction D2, and the facing direction of side surfaces 2e and 2f is defined as direction D3. A direction D1 is a direction intersecting (here, perpendicular to) the main surfaces 2a and 2b. A direction D2 is a direction crossing (here, perpendicular to) the side surfaces 2c and 2d. A direction D3 is a direction intersecting (here, perpendicular to) the side surfaces 2e and 2f. The direction D1, the direction D2 and the direction D3 cross each other (orthogonal here).

主面2a,2bは、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。すなわち、圧電素子1(圧電素体2)は、平面視で、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。長方形状には、例えば、各角が面取りされている形状、及び、各角が丸められている形状が含まれる。主面2a,2bの長辺方向は、方向D2と一致している。主面2a,2bの短辺方向は、方向D3と一致している。圧電素体2の長さ(圧電素体2の方向D2での長さ)は、例えば、60mmである。圧電素体2の幅(圧電素体2の方向D3での長さ)は、例えば、30mmである。圧電素体2の厚さ(圧電素体2の方向D3での長さ)は、例えば、0.5mmである。なお、主面2a,2bの長辺方向が方向D3と一致し、主面2a,2bの短辺方向が方向D2と一致していてもよい。 The main surfaces 2a and 2b are rectangular having a pair of long sides and a pair of short sides. That is, the piezoelectric element 1 (piezoelectric body 2) has a rectangular shape having a pair of long sides and a pair of short sides in plan view. The rectangular shape includes, for example, a shape with chamfered corners and a shape with rounded corners. The long side directions of the main surfaces 2a and 2b match the direction D2. The short side directions of the main surfaces 2a and 2b match the direction D3. The length of the piezoelectric element 2 (the length of the piezoelectric element 2 in the direction D2) is, for example, 60 mm. The width of the piezoelectric element 2 (the length of the piezoelectric element 2 in the direction D3) is, for example, 30 mm. The thickness of the piezoelectric element 2 (the length of the piezoelectric element 2 in the direction D3) is, for example, 0.5 mm. The long side direction of the main surfaces 2a and 2b may match the direction D3, and the short side direction of the main surfaces 2a and 2b may match the direction D2.

図2は、図1の圧電素子を示す分解斜視図である。図3は、図1のIII-III線に沿っての断面図である。図2及び図3に示されるように、圧電素体2は、積層された複数(ここでは10)の圧電体層20を含んでいる。複数の圧電体層20の積層方向は、方向D1と一致している。各圧電体層20は、例えば、互いに同等の形状を有している。同等には、製造誤差の範囲が含まれている。各圧電体層20の厚さは、例えば、30μmである。 2 is an exploded perspective view showing the piezoelectric element of FIG. 1. FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view along line III--III in FIG. As shown in FIGS. 2 and 3, the piezoelectric body 2 includes a plurality of (here, 10) piezoelectric layers 20 stacked. The stacking direction of the plurality of piezoelectric layers 20 matches the direction D1. Each piezoelectric layer 20 has, for example, the same shape. Equivalence includes a margin of manufacturing error. The thickness of each piezoelectric layer 20 is, for example, 30 μm.

各圧電体層20は、互いに対向している主面20a,20bを有している。各主面20aは、積層方向の一方を向いている。積層方向の一方の端に配置された圧電体層20の主面20aは、主面2aである。各主面20bは積層方向の他方を向いている。積層方向の他方の端に配置された圧電体層20の主面20bは、主面2bである。 Each piezoelectric layer 20 has main surfaces 20a and 20b facing each other. Each main surface 20a faces one of the stacking directions. The main surface 20a of the piezoelectric layer 20 arranged at one end in the stacking direction is the main surface 2a. Each main surface 20b faces the other of the stacking directions. The main surface 20b of the piezoelectric layer 20 arranged at the other end in the stacking direction is the main surface 2b.

各圧電体層20は、圧電材料からなる。本実施形態では、各圧電体層20は、圧電セラミック材料からなる。圧電セラミック材料には、例えば、PZT[Pb(Zr、Ti)O]、PT(PbTiO)、PLZT[(Pb,La)(Zr、Ti)O]、又はチタン酸バリウム(BaTiO)が用いられる。各圧電体層20は、例えば、上述した圧電セラミック材料を含むセラミックグリーンシートの焼結体から構成される。実際の圧電素体2では、各圧電体層20は、各圧電体層20の間の境界が認識できない程度に一体化されている。 Each piezoelectric layer 20 is made of a piezoelectric material. In this embodiment, each piezoelectric layer 20 is made of a piezoelectric ceramic material. Piezoelectric ceramic materials include, for example, PZT[Pb(Zr,Ti) O3 ], PT( PbTiO3 ), PLZT[(Pb,La)(Zr,Ti) O3 ], or barium titanate ( BaTiO3 ). is used. Each piezoelectric layer 20 is composed of, for example, a sintered body of a ceramic green sheet containing the piezoelectric ceramic material described above. In the actual piezoelectric body 2, the piezoelectric layers 20 are integrated to such an extent that the boundaries between the piezoelectric layers 20 cannot be recognized.

図1に示されるように、各外部電極11,12,13,14,15,16は、主面2b上に配置されている。外部電極11,12,13,14,15,16は、主面2bの長辺方向の中央において、主面2bの短辺方向に沿って並んでいる。外部電極11,12,13,14,15,16は、側面2e側から側面2f側に向かって、この順で並んでいる。外部電極11,12,13,14,15,16は、主面2bの短辺方向において互いに離間している。外部電極11,12,13,14,15,16は、方向D1から見て、主面2bの全ての縁(四辺)から離間している。 As shown in FIG. 1, each external electrode 11, 12, 13, 14, 15, 16 is arranged on the main surface 2b. The external electrodes 11, 12, 13, 14, 15, and 16 are arranged along the short side direction of the main surface 2b at the center of the long side direction of the main surface 2b. The external electrodes 11, 12, 13, 14, 15, and 16 are arranged in this order from the side surface 2e toward the side surface 2f. The external electrodes 11, 12, 13, 14, 15, 16 are separated from each other in the short side direction of the main surface 2b. The external electrodes 11, 12, 13, 14, 15, and 16 are separated from all edges (four sides) of the main surface 2b when viewed in the direction D1.

各外部電極11,12,13,14,15,16は、方向D1から見て、例えば、長方形状を呈している。各外部電極11,12,13,14,15,16は、方向D1から見て、正方形状又は円形状等を呈していてもよい。長方形状及び正方形状には、例えば、各角が面取りされている形状、及び、各角が丸められている形状が含まれる。各外部電極11,12,13,14,15,16は、導電性材料からなる。導電性材料には、例えば、Ag、Pd、Pt、又はAg-Pd合金が用いられる。各外部電極11,12,13,14,15,16は、例えば、上記導電性材料を含む導電性ペーストの焼結体として構成されている。 Each of the external electrodes 11, 12, 13, 14, 15, 16 has, for example, a rectangular shape when viewed from the direction D1. Each of the external electrodes 11, 12, 13, 14, 15, 16 may have a square shape, a circular shape, or the like when viewed from the direction D1. Rectangular and square shapes include, for example, shapes with chamfered corners and shapes with rounded corners. Each external electrode 11, 12, 13, 14, 15, 16 is made of a conductive material. Ag, Pd, Pt, or Ag--Pd alloy is used for the conductive material, for example. Each of the external electrodes 11, 12, 13, 14, 15, 16 is configured as, for example, a sintered body of a conductive paste containing the conductive material.

外部電極11,12,13,14,15,16は、振動デバイス100を制御する制御回路(不図示)に接続されている。制御回路は、例えば、CPU(Central Processing Unit)、ROM(Read Only Memory)、及びRAM(Random Access Memory)を備えている。この場合、制御回路は、ROMに記憶されているプログラムをRAMにロードし、CPUで実行することによって各種の処理を行う。 The external electrodes 11 , 12 , 13 , 14 , 15 and 16 are connected to a control circuit (not shown) that controls the vibration device 100 . The control circuit includes, for example, a CPU (Central Processing Unit), a ROM (Read Only Memory), and a RAM (Random Access Memory). In this case, the control circuit loads a program stored in the ROM into the RAM and executes various processes by the CPU.

制御回路は、圧電素子1を駆動するための駆動信号を外部電極11,12,15,16に入力する。制御回路は、例えば、駆動信号として、左スピーカ用の信号及び右スピーカ用の信号のうちのいずれか一方を外部電極11,12に入力し、他方を外部電極15,16に入力する。外部電極11,12は、後述の活性領域R1を駆動するための駆動信号を制御回路から入力する。外部電極15,16は、後述の活性領域R2を駆動するための駆動信号を制御回路から入力する。外部電極13は、活性領域R1用のグラウンド端子であり、外部電極14は、活性領域R2用のグラウンド端子である。 The control circuit inputs drive signals for driving the piezoelectric element 1 to the external electrodes 11 , 12 , 15 and 16 . The control circuit, for example, inputs one of the signal for the left speaker and the signal for the right speaker to the external electrodes 11 and 12 and inputs the other to the external electrodes 15 and 16 as drive signals. The external electrodes 11 and 12 receive a driving signal from a control circuit for driving an active region R1, which will be described later. The external electrodes 15 and 16 receive a drive signal from a control circuit for driving an active region R2, which will be described later. The external electrode 13 is the ground terminal for the active region R1, and the external electrode 14 is the ground terminal for the active region R2.

外部電極11,12,13,14,15,16は、例えば、フレキシブルプリント基板(FPC)又はフレキシブルフラットケーブル(FFC)等の配線部材(不図示)によって、制御回路に接続されている。 The external electrodes 11, 12, 13, 14, 15, 16 are connected to the control circuit by wiring members (not shown) such as flexible printed circuit boards (FPC) or flexible flat cables (FFC).

振動部材50は、例えば長方形状の板部材である。振動部材50は、屈曲性を有する。振動部材50は、例えば樹脂、ガラス、又は金属からなる。振動部材50は、互いに対向している主面50a,50bを有している。主面50a,50bは、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。主面50aは、主面2aと対向し、圧電素子1と接合されている。圧電素子1は、例えば、主面50aの中央に配置されている。振動部材50は、例えば、主面50aの長辺方向が主面2aの長辺方向と一致するように配置されている。主面50a,50bの長辺の長さは、例えば、200mmである。主面50a,50bの短辺の長さは、例えば、150mmである。振動部材50の厚さは、例えば、1mmである。 The vibrating member 50 is, for example, a rectangular plate member. The vibrating member 50 has flexibility. The vibrating member 50 is made of resin, glass, or metal, for example. The vibrating member 50 has main surfaces 50a and 50b facing each other. The main surfaces 50a and 50b are rectangular having a pair of long sides and a pair of short sides. The principal surface 50a faces the principal surface 2a and is joined to the piezoelectric element 1 . The piezoelectric element 1 is arranged, for example, in the center of the main surface 50a. The vibrating member 50 is arranged, for example, such that the long side direction of the main surface 50a is aligned with the long side direction of the main surface 2a. The length of the long sides of the main surfaces 50a and 50b is, for example, 200 mm. The length of the short sides of the main surfaces 50a and 50b is, for example, 150 mm. The thickness of the vibrating member 50 is, for example, 1 mm.

図2及び図3に示されるように、圧電素子1は、内部電極31,32,33,34,35,36,37,38,41,42,43,44,45,46と、スルーホール導体T1,T2,T3,T4,T5,T6と、を有している。 As shown in FIGS. 2 and 3, the piezoelectric element 1 includes internal electrodes 31, 32, 33, 34, 35, 36, 37, 38, 41, 42, 43, 44, 45, 46 and through-hole conductors. T1, T2, T3, T4, T5 and T6.

各内部電極は、積層方向の他方の端以外に配置された各圧電体層20の主面20bに配置されている。これらの主面20bにおいて、内部電極31,32,33,34,35,36は、積層方向から見て、外部電極11,12,13,14,15,16と重なるように配置されている。これらの主面20bにおける内部電極31,32,33,34,35,36の配置及び形状は、例えば、主面2bにおける外部電極11,12,13,14,15,16の配置及び形状と一致している。内部電極31,32,33,34,35,36は、これらの主面20bの長辺方向の中央に配置されている。 Each internal electrode is arranged on the main surface 20b of each piezoelectric layer 20 arranged other than the other end in the stacking direction. On these main surfaces 20b, the internal electrodes 31, 32, 33, 34, 35, 36 are arranged so as to overlap with the external electrodes 11, 12, 13, 14, 15, 16 when viewed from the stacking direction. The arrangement and shape of the internal electrodes 31, 32, 33, 34, 35, and 36 on the principal surface 20b are, for example, the same as the arrangement and shape of the external electrodes 11, 12, 13, 14, 15, and 16 on the principal surface 2b. I am doing it. The internal electrodes 31, 32, 33, 34, 35, and 36 are arranged in the center of the major surface 20b in the long side direction.

これらの主面20bにおいて、内部電極31,32,33,34,35,36の側面2c側には、内部電極37が配置され、内部電極31,32,33,34,35,36の側面2d側には、内部電極38が配置されている。内部電極37,38は、積層方向から見て、例えば、矩形状を呈している。内部電極37,38は、積層方向から見て、例えば、互いに同等の形状を有し、互いに重なっている。内部電極37,38の全ての縁(四辺)は、積層方向から見て、例えば、互い重なっている。内部電極37,38は、積層方向から見て、例えば、主面20bの全ての縁(四辺)から離間している。 In these main surfaces 20b, an internal electrode 37 is arranged on the side surface 2c side of the internal electrodes 31, 32, 33, 34, 35, and 36, and the side surfaces 2d of the internal electrodes 31, 32, 33, 34, 35, and 36 are arranged. An internal electrode 38 is arranged on the side. The internal electrodes 37 and 38 have, for example, a rectangular shape when viewed from the stacking direction. The internal electrodes 37 and 38 have, for example, the same shape as each other when viewed from the stacking direction, and overlap each other. All edges (four sides) of the internal electrodes 37 and 38 overlap each other, for example, when viewed from the stacking direction. The internal electrodes 37 and 38 are, for example, separated from all edges (four sides) of the main surface 20b when viewed in the stacking direction.

内部電極37は、内部電極41,42,43によって、内部電極31,32,33のうち一つの内部電極と接続され、他の内部電極とは離間している。内部電極38は、内部電極44,45,46によって、内部電極34,35,36のうち一つの内部電極と接続され、他の内部電極とは離間している。内部電極37,38と接続される内部電極は、積層位置によって異なっている。 The internal electrode 37 is connected to one of the internal electrodes 31, 32, 33 by the internal electrodes 41, 42, 43, and is separated from the other internal electrodes. The internal electrode 38 is connected to one of the internal electrodes 34 , 35 , 36 by the internal electrodes 44 , 45 , 46 and is separated from the other internal electrodes. The internal electrodes connected to the internal electrodes 37 and 38 differ depending on the lamination position.

積層方向の一方の端に配置された圧電体層20を一層目の圧電体層20とすると、内部電極41は、二層目及び四層目の圧電体層20の主面20bに設けられている。内部電極41は、内部電極37と内部電極31との間に配置され、内部電極37及び内部電極31を互いに接続している。内部電極42は、六層目及び八層目の圧電体層20の主面20bに設けられている。内部電極42は、内部電極37と内部電極32との間に配置され、内部電極37及び内部電極32を互いに接続している。内部電極43は、一層目、三層目、五層目、七層目、及び九層目の圧電体層20の主面20bに設けられている。内部電極43は、内部電極37と内部電極33との間に配置され、内部電極37及び内部電極33を互いに接続している。 Assuming that the piezoelectric layer 20 arranged at one end in the stacking direction is the first piezoelectric layer 20, the internal electrodes 41 are provided on the main surfaces 20b of the second and fourth piezoelectric layers 20. there is The internal electrode 41 is arranged between the internal electrode 37 and the internal electrode 31 and connects the internal electrode 37 and the internal electrode 31 to each other. The internal electrodes 42 are provided on the principal surfaces 20 b of the sixth and eighth piezoelectric layers 20 . The internal electrode 42 is arranged between the internal electrode 37 and the internal electrode 32 and connects the internal electrode 37 and the internal electrode 32 to each other. The internal electrodes 43 are provided on the main surfaces 20b of the first, third, fifth, seventh, and ninth piezoelectric layers 20 . The internal electrode 43 is arranged between the internal electrode 37 and the internal electrode 33 and connects the internal electrode 37 and the internal electrode 33 to each other.

内部電極44は、一層目、三層目、五層目、七層目、及び九層目の圧電体層20の主面20bに設けられている。内部電極44は、内部電極38と内部電極34との間に配置され、内部電極38及び内部電極34を互いに接続している。内部電極45は、二層目及び四層目の圧電体層20の主面20bに設けられている。内部電極45は、内部電極38と内部電極35との間に配置され、内部電極38及び内部電極35を互いに接続している。内部電極46は、六層目及び八層目の圧電体層20の主面20bに設けられている。内部電極46は、内部電極38と内部電極36との間に配置され、内部電極38及び内部電極36を互いに接続している。 The internal electrodes 44 are provided on the main surfaces 20b of the first, third, fifth, seventh, and ninth piezoelectric layers 20 . The internal electrode 44 is arranged between the internal electrodes 38 and 34 and connects the internal electrodes 38 and 34 to each other. The internal electrodes 45 are provided on the main surfaces 20b of the piezoelectric layers 20 of the second and fourth layers. The internal electrode 45 is arranged between the internal electrodes 38 and 35 and connects the internal electrodes 38 and 35 to each other. The internal electrodes 46 are provided on the principal surfaces 20 b of the sixth and eighth piezoelectric layers 20 . The internal electrode 46 is arranged between the internal electrodes 38 and 36 and connects the internal electrodes 38 and 36 to each other.

各内部電極は、導電性材料からなる。導電性材料には、例えば、Ag、Pd、Pt、又はAg-Pd合金が用いられる。各内部電極は、例えば、上記導電性材料を含む導電性ペーストの焼結体として構成されている。 Each internal electrode is made of a conductive material. Ag, Pd, Pt, or Ag--Pd alloy is used for the conductive material, for example. Each internal electrode is configured as, for example, a sintered body of a conductive paste containing the conductive material.

スルーホール導体T1,T2,T3,T4,T5,T6は、積層方向の一方の端以外に配置された各圧電体層20において、外部電極11,12,13,14,15,16及び各内部電極31,32,33,34,35,36に対応する位置を貫通するスルーホール(不図示)内に配置されている。スルーホール導体T1,T2,T3,T4,T5,T6により、外部電極11,12,13,14,15,16及び各内部電極31,32,33,34,35,36が互いに電気的に接続されている。 Through-hole conductors T1, T2, T3, T4, T5, and T6 are connected to the external electrodes 11, 12, 13, 14, 15, and 16 and the internal They are arranged in through holes (not shown) passing through positions corresponding to the electrodes 31 , 32 , 33 , 34 , 35 and 36 . Through-hole conductors T1, T2, T3, T4, T5 and T6 electrically connect external electrodes 11, 12, 13, 14, 15 and 16 and internal electrodes 31, 32, 33, 34, 35 and 36 to each other. It is

スルーホール導体T1,T2,T3,T4,T5,T6は、導電性材料を含んでいる。導電性材料は、例えば、Pd、Ag、Cu、W、Mo、Sn及びNiからなる群より選ばれる1種類以上の金属、または上記金属を1種類以上含む合金からなる。スルーホール導体T1,T2,T3,T4,T5,T6の直径は、例えば20μm以上100μm以下である。 The through-hole conductors T1, T2, T3, T4, T5, T6 contain conductive material. The conductive material is, for example, one or more metals selected from the group consisting of Pd, Ag, Cu, W, Mo, Sn and Ni, or an alloy containing one or more of the above metals. The diameters of the through-hole conductors T1, T2, T3, T4, T5, and T6 are, for example, 20 μm or more and 100 μm or less.

図3に示されるように、振動デバイス100は、接合部材51を備えている。接合部材51は、圧電素子1と振動部材50とを接合している。接合部材51は、例えば、不織布からなる基材と、基材の両面に配置された粘着層と、を含んでいる。接合部材51が不織布を含んでいると、接合部材51が、圧電素子1及び接合部材51の接合面のうねりや小さな凹凸に追従し易くなり、表面状態の影響を低減できるので、圧電素子1の振動を振動部材50に効率的に伝えることができる。積層方向から見て、接合部材51の外縁は、主面20aの外縁よりもわずかに内側に配置されている。これにより、接合部材51の粘着層に異物が付着することが抑制される。接合部材51は、例えば、エポキシ樹脂又はアクリル系樹脂からなる樹脂層であってもよい。この場合、接合部材51は、粘着層を有さないので、方向D1から見て、接合部材51の外縁は、主面2a,2bの外縁の外側に位置していてもよい。 As shown in FIG. 3, the vibrating device 100 includes a joint member 51. As shown in FIG. The joining member 51 joins the piezoelectric element 1 and the vibration member 50 . The joining member 51 includes, for example, a base material made of nonwoven fabric and adhesive layers arranged on both sides of the base material. When the bonding member 51 contains a non-woven fabric, the bonding member 51 can easily follow undulations and small irregularities of the bonding surfaces of the piezoelectric element 1 and the bonding member 51, and the influence of the surface state can be reduced. Vibration can be efficiently transmitted to the vibrating member 50 . When viewed from the stacking direction, the outer edge of the joining member 51 is arranged slightly inside the outer edge of the main surface 20a. As a result, adhesion of foreign matter to the adhesive layer of the joining member 51 is suppressed. The joining member 51 may be, for example, a resin layer made of epoxy resin or acrylic resin. In this case, since the bonding member 51 does not have an adhesive layer, the outer edge of the bonding member 51 may be positioned outside the outer edges of the main surfaces 2a and 2b when viewed from the direction D1.

続いて、圧電素体2が有する各領域について説明する。図3に示されるように、圧電素体2は、圧電的に活性な活性領域R1,R2と、圧電的に不活性な不活性領域R3と、を有している。活性領域R1は、一層目の圧電体層20の主面20bに配置された内部電極37(複数の内部電極37のうち、最も主面2a側に配置された内部電極37)と、九層目の圧電体層20の主面20bに配置された内部電極37(複数の内部電極37のうち、最も主面2b側に配置された内部電極37)との間の領域である。活性領域R2は、一層目の圧電体層20の主面20bに配置された内部電極38(複数の内部電極38のうち、最も主面2a側に配置された内部電極38)と、九層目の圧電体層20の主面20bに配置された内部電極38(複数の内部電極38のうち、最も主面2b側に配置された内部電極38)との間の領域である。 Next, each region of the piezoelectric body 2 will be described. As shown in FIG. 3, the piezoelectric body 2 has piezoelectrically active active regions R1 and R2 and a piezoelectrically inactive inactive region R3. The active region R1 includes an internal electrode 37 arranged on the main surface 20b of the piezoelectric layer 20 of the first layer (an internal electrode 37 arranged closest to the main surface 2a among the plurality of internal electrodes 37) and a ninth layer. 2 and the internal electrode 37 arranged on the main surface 20b of the piezoelectric layer 20 (the internal electrode 37 arranged closest to the main surface 2b among the plurality of internal electrodes 37). The active region R2 includes an internal electrode 38 arranged on the main surface 20b of the piezoelectric layer 20 of the first layer (the internal electrode 38 arranged closest to the main surface 2a among the plurality of internal electrodes 38) and a ninth layer. This is a region between the internal electrodes 38 arranged on the main surface 20b of the piezoelectric layer 20 (the internal electrode 38 arranged closest to the main surface 2b among the plurality of internal electrodes 38).

不活性領域R3は、圧電素体2のうち、活性領域R1,R2以外の領域である。不活性領域R3は、具体的には、活性領域R1,R2と主面2a,2bとの間に位置する領域と、方向D1から見て、活性領域R1と活性領域R2との間、活性領域R1,R2と側面2e,2fとの間、活性領域R1と側面2cとの間、及び、活性領域R2と側面2dとの間に位置する領域を含んでいる。 The inactive region R3 is a region of the piezoelectric body 2 other than the active regions R1 and R2. More specifically, the inactive regions R3 are regions located between the active regions R1, R2 and the main surfaces 2a, 2b, and between the active regions R1 and R2 when viewed from the direction D1. It includes regions located between R1, R2 and sides 2e, 2f, between active region R1 and side 2c, and between active region R2 and side 2d.

活性領域R1,R2及び不活性領域R3は、一体的に形成されている。活性領域R1,R2は、方向D1から見て、不活性領域R3を介して互いに離間している。方向D1から見て、活性領域R1の面積及び活性領域R2の面積は、互いに同等である。ここでは、活性領域R1の体積及び活性領域R2の体積も、互いに同等である。 Active regions R1, R2 and inactive region R3 are integrally formed. Active regions R1 and R2 are separated from each other via inactive region R3 when viewed in direction D1. Viewed from direction D1, the area of active region R1 and the area of active region R2 are equal to each other. Here, the volume of the active region R1 and the volume of the active region R2 are also equal to each other.

活性領域R1は、方向D1に積層された活性領域R11及び活性領域R12からなる。活性領域R11及び活性領域R12は、方向D1に並んで配置されている。活性領域R11は、主面2a側に配置されている。活性領域R12は、主面2b側に配置されている。活性領域R11は、具体的には、一層目の圧電体層20の主面20bに配置された内部電極37と、五層目の圧電体層20の主面20bに配置された内部電極37との間の領域である。活性領域R12は、具体的には、五層目の圧電体層20の主面20bに配置された内部電極37と、九層目の圧電体層20の主面20bに配置された内部電極37との間の領域である。 The active region R1 consists of an active region R11 and an active region R12 stacked in the direction D1. The active region R11 and the active region R12 are arranged side by side in the direction D1. Active region R11 is arranged on the main surface 2a side. Active region R12 is arranged on the main surface 2b side. Specifically, the active region R11 includes an internal electrode 37 arranged on the principal surface 20b of the piezoelectric layer 20 of the first layer and an internal electrode 37 arranged on the principal surface 20b of the piezoelectric layer 20 of the fifth layer. is the area between Specifically, the active region R12 includes the internal electrode 37 arranged on the main surface 20b of the fifth piezoelectric layer 20 and the internal electrode 37 arranged on the main surface 20b of the ninth piezoelectric layer 20. is the area between

活性領域R1は、例えば、外部電極13をグラウンドに接続した状態で、外部電極11,12に互いに異なる極性の電圧を印加することにより分極されている。圧電素子1の駆動時には、外部電極13をグラウンドに接続した状態で、外部電極11,12に互いに同じ極性の電圧が印加される。これにより、活性領域R11,R12のうちの一方には、分極方向と同じ向き(順方向)の電圧が印加されて伸長し、他方には分極方向と逆向き(逆方向)の電圧が印加されて収縮する。この結果、活性領域R1が積層方向に屈曲振動する。 The active region R1 is polarized by, for example, applying voltages of different polarities to the external electrodes 11 and 12 while the external electrode 13 is grounded. When the piezoelectric element 1 is driven, voltages of the same polarity are applied to the external electrodes 11 and 12 while the external electrode 13 is grounded. As a result, one of the active regions R11 and R12 is applied with a voltage in the same direction (forward direction) as the polarization direction and elongated, and the other is applied with a voltage in the opposite direction (reverse direction) to the polarization direction. and contract. As a result, the active region R1 undergoes bending vibration in the stacking direction.

活性領域R2は、方向D1に積層された活性領域R21及び活性領域R22からなる。活性領域R21及び活性領域R22は、方向D1に並んで配置されている。活性領域R21は、主面2a側に配置されている。活性領域R22は、主面2b側に配置されている。活性領域R21は、具体的には、一層目の圧電体層20の主面20bに配置された内部電極38と、五層目の圧電体層20の主面20bに配置された内部電極38との間の領域である。活性領域R22は、具体的には、五層目の圧電体層20の主面20bに配置された内部電極38と、九層目の圧電体層20の主面20bに配置された内部電極38との間の領域である。 The active region R2 consists of an active region R21 and an active region R22 stacked in the direction D1. The active region R21 and the active region R22 are arranged side by side in the direction D1. Active region R21 is arranged on the main surface 2a side. Active region R22 is arranged on the main surface 2b side. Specifically, the active region R21 includes the internal electrode 38 arranged on the main surface 20b of the piezoelectric layer 20 of the first layer and the internal electrode 38 arranged on the main surface 20b of the piezoelectric layer 20 of the fifth layer. is the area between Specifically, the active region R22 includes an internal electrode 38 arranged on the main surface 20b of the fifth piezoelectric layer 20 and an internal electrode 38 arranged on the main surface 20b of the ninth piezoelectric layer 20. is the area between

活性領域R2は、例えば、外部電極14をグラウンドに接続した状態で、外部電極15,16に互いに異なる極性の電圧を印加することにより分極されている。圧電素子1の駆動時には、外部電極14をグラウンドに接続した状態で、外部電極15,16に互いに同じ極性の電圧が印加される。これにより、活性領域R21,R22のうちの一方には、分極方向と同じ向き(順方向)の電圧が印加されて伸長し、他方には分極方向と逆向き(逆方向)の電圧が印加されて収縮する。この結果、活性領域R2が積層方向に屈曲振動する。 The active region R2 is polarized by, for example, applying voltages of different polarities to the external electrodes 15 and 16 while the external electrode 14 is grounded. When the piezoelectric element 1 is driven, voltages of the same polarity are applied to the external electrodes 15 and 16 while the external electrode 14 is grounded. As a result, one of the active regions R21 and R22 is applied with a voltage in the same direction (forward direction) as the polarization direction and elongated, and the other is applied with a voltage in the opposite direction (reverse direction) to the polarization direction. and contract. As a result, the active region R2 undergoes bending vibration in the stacking direction.

振動部材50は、このように活性領域R1,R2の屈曲振動に伴って、屈曲振動し、音を発生させる。振動部材50は、活性領域R1の屈曲振動による音、及び、活性領域R2の屈曲振動による音をそれぞれ発生される。上述のように、左スピーカ用の信号が外部電極11,12に入力され、右スピーカ用の信号が外部電極15,16に入力された場合、振動部材50は左スピーカ用の音及び右スピーカ用の音の両方を発生させる。 The vibrating member 50 thus flexures and vibrates along with the flexural vibration of the active regions R1 and R2, thereby generating sound. The vibration member 50 generates a sound due to bending vibration of the active region R1 and a sound due to bending vibration of the active region R2. As described above, when signals for the left speaker are input to the external electrodes 11 and 12 and signals for the right speaker are input to the external electrodes 15 and 16, the vibrating member 50 produces sound for the left speaker and sound for the right speaker. to generate both sounds.

以上説明したように、圧電素子1は、活性領域R1,R2及び不活性領域R3を有している。活性領域R1は、外部電極11,12が入力した駆動信号によって駆動される。活性領域R2は、外部電極15,16が入力した駆動信号によって駆動される。このように圧電素子1では、活性領域R1,R2がそれぞれ別の駆動信号によって駆動可能に構成されている。このため、振動デバイス100では、1つの圧電素子1で2つの音を同時に発生させることができる。よって、1つの音を発生させる圧電素子を2つ備える振動デバイスに比べて、振動デバイス100では小型化を図ることができる。 As described above, the piezoelectric element 1 has the active regions R1, R2 and the inactive region R3. The active region R1 is driven by drive signals input to the external electrodes 11 and 12. FIG. The active region R2 is driven by drive signals input to the external electrodes 15 and 16. FIG. In this way, the piezoelectric element 1 is configured such that the active regions R1 and R2 can be driven by different drive signals. Therefore, in the vibrating device 100, one piezoelectric element 1 can generate two sounds at the same time. Therefore, the vibration device 100 can be made smaller than a vibration device having two piezoelectric elements that generate one sound.

圧電素子1では、活性領域R1,R2は、不活性領域R3を介して互いに離間している。よって、活性領域R1,R2の振動が圧電素体2で混ざり合うことが抑制される。また、不活性領域R3は振動部材50を拘束する拘束体として機能する。よって、活性領域R1,R2による振動が振動部材50で混ざり合うことも抑制される。この結果、振動デバイス100における音質の低下を抑制することができる。不活性領域R3には、スルーホール導体T1,T2,T3,T4,T5,T6が設けられているので、スルーホール導体T1,T2,T3,T4,T5,T6が圧電素体2の他の領域に設けられている場合に比べて、圧電素体2のスペースの有効活用を図ることができる。 In the piezoelectric element 1, the active regions R1 and R2 are separated from each other via the inactive region R3. Therefore, mixing of vibrations of the active regions R1 and R2 in the piezoelectric body 2 is suppressed. In addition, the inactive region R3 functions as a restraining body that restrains the vibrating member 50. As shown in FIG. Therefore, it is also suppressed that the vibrations of the active regions R1 and R2 are mixed in the vibrating member 50 . As a result, deterioration of sound quality in the vibration device 100 can be suppressed. Through-hole conductors T1, T2, T3, T4, T5 and T6 are provided in the inactive region R3. The space of the piezoelectric body 2 can be effectively utilized compared to the case where it is provided in the area.

圧電素子1では、方向D1から見て、活性領域R1,R2の面積が互いに同等である。このため、活性領域R1,R2の屈曲振動により発生する音の大きさが互いに同等になり易い。したがって、左スピーカ用の信号で活性領域R1を駆動し、右スピーカ用の信号で活性領域R2を駆動させた場合も、左スピーカ用の音及び右スピーカ用の音がバランスよく出力される。 In the piezoelectric element 1, the active regions R1 and R2 have the same area when viewed from the direction D1. Therefore, the magnitudes of sounds generated by the bending vibrations of the active regions R1 and R2 tend to be the same. Therefore, even when the active region R1 is driven by the signal for the left speaker and the active region R2 is driven by the signal for the right speaker, the sound for the left speaker and the sound for the right speaker are output in good balance.

圧電素子1では、外部電極11,12,13,14,15,16が主面2bの中央にまとめて配置されているので、1つの配線部材で外部電極11,12,13,14,15,16と制御回路とを容易に接続することができる。よって、配線部材を圧電素子1に容易に取り付けることができる。 In the piezoelectric element 1, the external electrodes 11, 12, 13, 14, 15, and 16 are collectively arranged in the center of the main surface 2b, so that the external electrodes 11, 12, 13, 14, 15, 11, 12, 13, 14, 15, 15, 15, 15, 15, 15, 16, 16, 16, 18, 18, 18, 18, 19, 19, 16 and the control circuit can be easily connected. Therefore, the wiring member can be easily attached to the piezoelectric element 1 .

(第一変形例)
図4は、第一変形例に係る振動デバイスを示す斜視図である。図5は、図4の圧電素子を示す分解斜視図である。図4及び図5に示されるように、第一変形例に係る振動デバイス100Aは、圧電素子1(図1参照)の代わりに圧電素子1Aを備える点で、振動デバイス100(図1参照)と相違している。以下では、圧電素子1Aについて、圧電素子1との相違点を中心に説明する。
(first modification)
FIG. 4 is a perspective view showing a vibration device according to a first modification. 5 is an exploded perspective view showing the piezoelectric element of FIG. 4. FIG. As shown in FIGS. 4 and 5, the vibration device 100A according to the first modification differs from the vibration device 100 (see FIG. 1) in that it includes a piezoelectric element 1A instead of the piezoelectric element 1 (see FIG. 1). are different. The piezoelectric element 1</b>A will be described below, focusing on the differences from the piezoelectric element 1 .

圧電素子1Aは、外部電極14(図1参照)を有していない。圧電素子1Aでは、外部電極13が活性領域R1,R2用のグラウンド端子として兼用されている。圧電素子1Aでは、各外部電極11,12,13,15,16は、主面2b及び側面2eに連続して設けられている。すなわち、各外部電極11,12,13,15,16は、主面2bに設けられた主面電極部と、側面2eに設けられた側面電極部と、を有している。各外部電極11,12,13,15,16の主面電極部と側面電極部とは、互いに一体的に形成されている。 The piezoelectric element 1A does not have the external electrodes 14 (see FIG. 1). In the piezoelectric element 1A, the external electrode 13 is also used as a ground terminal for the active regions R1 and R2. In the piezoelectric element 1A, each external electrode 11, 12, 13, 15, 16 is continuously provided on the main surface 2b and the side surface 2e. That is, each of the external electrodes 11, 12, 13, 15, and 16 has a main surface electrode portion provided on the main surface 2b and a side surface electrode portion provided on the side surface 2e. The main surface electrode portions and the side surface electrode portions of each of the external electrodes 11, 12, 13, 15 and 16 are integrally formed with each other.

外部電極11,12,13,15,16は、主面2b及び側面2eにおいて、主面2bの長辺方向の中央に配置されている。外部電極11,12,13,15,16は、主面2bの長辺方向において互いに離間している。外部電極11,12,13,15,16は、主面2bの長辺方向に沿って並んでいる。外部電極11,12,13,15,16は、側面2c側から側面2d側に向かって、この順で並んでいる。外部電極11,12,13,15,16の側面電極部は、側面2eの主面2a側の縁から主面2b側の縁まで延在し、外部電極11,12,13,15,16の主面電極部に接続している。外部電極11,12,13,15,16の主面電極部は、主面2bの側面2e側の縁部に配置されている。 The external electrodes 11, 12, 13, 15, and 16 are arranged at the center of the main surface 2b in the long side direction on the main surface 2b and the side surface 2e. The external electrodes 11, 12, 13, 15, 16 are separated from each other in the long side direction of the main surface 2b. The external electrodes 11, 12, 13, 15, 16 are arranged along the long side direction of the main surface 2b. The external electrodes 11, 12, 13, 15, and 16 are arranged in this order from the side surface 2c toward the side surface 2d. The side electrode portions of the external electrodes 11, 12, 13, 15, and 16 extend from the edge of the side surface 2e on the main surface 2a side to the edge on the main surface 2b side. It is connected to the main surface electrode part. Principal surface electrode portions of the external electrodes 11, 12, 13, 15, and 16 are arranged at the edge of the principal surface 2b on the side surface 2e side.

圧電素子1Aは、図2に示される内部電極31,32,33,34,35,36,44と、スルーホール導体T1,T2,T3,T4,T5,T6とを有していない。圧電素子1Aは、内部電極37,38に加えて、内部電極39を有している。内部電極39は、例えば、内部電極37,38と同じ導電性材料からなる。 The piezoelectric element 1A does not have the internal electrodes 31, 32, 33, 34, 35, 36, 44 and the through-hole conductors T1, T2, T3, T4, T5, T6 shown in FIG. The piezoelectric element 1A has an internal electrode 39 in addition to the internal electrodes 37 and 38 . The internal electrode 39 is made of the same conductive material as the internal electrodes 37 and 38, for example.

内部電極37は、内部電極41,42,43によって、外部電極11,12,13の側面電極部のうち一つの側面電極部と接続され、他の側面電極部とは離間している。内部電極38は、内部電極43,45,46によって、外部電極13,15,16の側面電極部と接続され、他の側面電極部とは離間している。内部電極37,38と接続される内部電極41,42,43,45,46は、積層位置によって異なっている。 The internal electrode 37 is connected to one of the side electrode portions of the external electrodes 11, 12, and 13 by the internal electrodes 41, 42, and 43, and is separated from the other side electrode portions. The internal electrode 38 is connected to the side electrode portions of the external electrodes 13, 15 and 16 by the internal electrodes 43, 45 and 46, and is separated from the other side electrode portions. The internal electrodes 41, 42, 43, 45, 46 connected to the internal electrodes 37, 38 are different depending on the lamination position.

内部電極39は、一層目、三層目、五層目、七層目、及び九層目の圧電体層20の主面20bにおいて、内部電極37と内部電極38との間に設けられ、内部電極37と内部電極38とを接続している。内部電極39は、主面20bの側面2e側に設けられている。内部電極39は、積層方向から見て、側面2eから離間している。 The internal electrodes 39 are provided between the internal electrodes 37 and 38 on the main surfaces 20b of the first, third, fifth, seventh, and ninth piezoelectric layers 20, and The electrode 37 and the internal electrode 38 are connected. The internal electrode 39 is provided on the side surface 2e of the main surface 20b. The internal electrode 39 is separated from the side surface 2e when viewed in the stacking direction.

内部電極41,42,43,45,46は、方向D3から見て、外部電極11,12,13,15,16と重なるように配置されている。本実施形態では、内部電極41,42,43,45,46は、側面2eに露出している。圧電素子1Aにおいても、圧電素子1(図2参照)と同様に、内部電極41,45は、二層目及び四層目の圧電体層20の主面20bに設けられ、内部電極42,46は六層目及び八層目の圧電体層20の主面20bに設けられ、内部電極43,44は、一層目、三層目、五層目、七層目、及び九層目の圧電体層20の主面20bに設けられている。 The internal electrodes 41, 42, 43, 45, 46 are arranged so as to overlap with the external electrodes 11, 12, 13, 15, 16 as viewed in the direction D3. In this embodiment, the internal electrodes 41, 42, 43, 45, 46 are exposed on the side surface 2e. In the piezoelectric element 1A, similarly to the piezoelectric element 1 (see FIG. 2), the internal electrodes 41 and 45 are provided on the main surfaces 20b of the second and fourth piezoelectric layers 20, and the internal electrodes 42 and 46 are provided on the main surfaces 20b of the sixth and eighth piezoelectric layers 20, and the internal electrodes 43 and 44 are provided on the first, third, fifth, seventh and ninth piezoelectric layers It is provided on the major surface 20 b of the layer 20 .

内部電極41は、内部電極37と外部電極11の側面電極部との間に配置され、内部電極37及び外部電極11の側面電極部を互いに接続している。内部電極42は、内部電極37と外部電極12の側面電極部との間に配置され、内部電極37及び外部電極12の側面電極部を互いに接続している。内部電極43は、内部電極39と外部電極13の側面電極部との間に配置され、内部電極39及び外部電極13の側面電極部を互いに接続している。これにより、内部電極37,38は、外部電極13と電気的に接続されている。内部電極45は、内部電極38と外部電極15の側面電極部との間に配置され、内部電極38及び外部電極15の側面電極部を互いに接続している。内部電極46は、内部電極38と外部電極16の側面電極部との間に配置され、内部電極38及び外部電極16の側面電極部を互いに接続している。 The internal electrode 41 is arranged between the internal electrode 37 and the side electrode portion of the external electrode 11 and connects the internal electrode 37 and the side electrode portion of the external electrode 11 to each other. The internal electrode 42 is arranged between the internal electrode 37 and the side electrode portion of the external electrode 12 and connects the internal electrode 37 and the side electrode portion of the external electrode 12 to each other. The internal electrode 43 is arranged between the internal electrode 39 and the side electrode portion of the external electrode 13 and connects the internal electrode 39 and the side electrode portion of the external electrode 13 to each other. Thereby, the internal electrodes 37 and 38 are electrically connected to the external electrode 13 . The internal electrode 45 is arranged between the internal electrode 38 and the side electrode portion of the external electrode 15 and connects the side electrode portions of the internal electrode 38 and the external electrode 15 to each other. The internal electrode 46 is arranged between the internal electrode 38 and the side electrode portion of the external electrode 16 and connects the side electrode portions of the internal electrode 38 and the external electrode 16 to each other.

圧電素子1Aでは、活性領域R1は、外部電極11,12が入力した駆動信号によって駆動される。活性領域R2は、外部電極15,16が入力した駆動信号によって駆動される。このように圧電素子1Aにおいても、活性領域R1,R2がそれぞれ別の駆動信号によって駆動可能に構成されている。このため、振動デバイス100Aにおいても、1つの圧電素子1Aで2つの音を同時に発生させることができる。よって、1つの音を発生させる圧電素子を2つ備える振動デバイスに比べて、振動デバイス100Aでは、小型化を図ることができる。また、圧電素子1Aにおいても、活性領域R1,R2は、不活性領域R3(図3参照)を介して互いに離間している。よって、振動デバイス100Aにおける音質の低下を抑制することができる。更に、圧電素子1Aにおいても、方向D1から見て、活性領域R1,R2の面積が互いに同等である。よって、振動デバイス100Aにおいて、活性領域R1,R2の屈曲振動により発生する音の大きさが互いに同等になり易い。 In the piezoelectric element 1A, the active region R1 is driven by drive signals input by the external electrodes 11 and 12. As shown in FIG. The active region R2 is driven by drive signals input to the external electrodes 15 and 16. FIG. Thus, in the piezoelectric element 1A as well, the active regions R1 and R2 are configured to be driven by different drive signals. Therefore, in the vibrating device 100A as well, one piezoelectric element 1A can generate two sounds at the same time. Therefore, the vibration device 100A can be made smaller than a vibration device having two piezoelectric elements that generate one sound. Also in the piezoelectric element 1A, the active regions R1 and R2 are separated from each other with the inactive region R3 (see FIG. 3) interposed therebetween. Therefore, deterioration of sound quality in the vibration device 100A can be suppressed. Furthermore, in the piezoelectric element 1A as well, the active regions R1 and R2 have the same area when viewed from the direction D1. Therefore, in the vibrating device 100A, the magnitudes of sounds generated by the bending vibrations of the active regions R1 and R2 tend to be the same.

(第二変形例)
図6は、第二変形例に係る振動デバイスの圧電素子を示す分解斜視図である。図6に示される第二変形例に係る振動デバイス100Bは、圧電素子1(図1参照)の代わりに圧電素子1Bを備える点で、振動デバイス100(図1参照)と相違している。以下では、圧電素子1Bについて、圧電素子1との相違点を中心に説明する。
(Second modification)
FIG. 6 is an exploded perspective view showing a piezoelectric element of a vibration device according to a second modified example. A vibration device 100B according to the second modification shown in FIG. 6 is different from the vibration device 100 (see FIG. 1) in that it includes a piezoelectric element 1B instead of the piezoelectric element 1 (see FIG. 1). The piezoelectric element 1B will be described below, focusing on the differences from the piezoelectric element 1. FIG.

圧電素子1Bは、図2に示される外部電極14、内部電極34及びスルーホール導体T4を有していない。圧電素子1Bでは、外部電極13が活性領域R1,R2用のグラウンド端子として兼用されている。圧電素子1Bでは、外部電極11,12,13,15,16は、主面2bの長手方向の中央よりも側面2d(図1参照)寄りに設けられている。これに伴い、内部電極37,38は、積層方向から見て、互いに異なる形状及び面積を有している。内部電極37の面積は、積層方向から見て、内部電極38の面積よりも大きい。よって、方向D1から見て、活性領域R1,R2の面積が互いに異なる。活性領域R1の面積は、活性領域R2の面積よりも大きい。 The piezoelectric element 1B does not have the external electrode 14, internal electrode 34 and through-hole conductor T4 shown in FIG. In the piezoelectric element 1B, the external electrode 13 is also used as a ground terminal for the active regions R1 and R2. In the piezoelectric element 1B, the external electrodes 11, 12, 13, 15, and 16 are provided closer to the side surface 2d (see FIG. 1) than the longitudinal center of the main surface 2b. Accordingly, the internal electrodes 37 and 38 have different shapes and areas when viewed from the stacking direction. The area of the internal electrode 37 is larger than the area of the internal electrode 38 when viewed from the stacking direction. Therefore, the areas of the active regions R1 and R2 are different from each other when viewed from the direction D1. The area of active region R1 is larger than the area of active region R2.

内部電極37は、内部電極41,42,43によって、内部電極31,32,33のうち一つの内部電極と接続され、他の内部電極とは離間している。内部電極38は、内部電極44,45,46によって、内部電極33,35,36のうち一つの内部電極と接続され、他の内部電極とは離間している。内部電極37,38と接続される内部電極は、積層位置によって異なっている。 The internal electrode 37 is connected to one of the internal electrodes 31, 32, 33 by the internal electrodes 41, 42, 43, and is separated from the other internal electrodes. The internal electrode 38 is connected to one of the internal electrodes 33, 35, 36 by internal electrodes 44, 45, 46, and is separated from the other internal electrodes. The internal electrodes connected to the internal electrodes 37 and 38 differ depending on the lamination position.

圧電素子1Bにおいても、圧電素子1(図2参照)と同様に、内部電極41,45は、二層目及び四層目の圧電体層20の主面20bに設けられ、内部電極42,46は六層目及び八層目の圧電体層20の主面20bに設けられ、内部電極43,44は、一層目、三層目、五層目、七層目、及び九層目の圧電体層20の主面20bに設けられている。圧電素子1Bでは、内部電極44は、内部電極38と内部電極33との間に配置され、内部電極38及び内部電極33を互いに接続している。したがって、一層目、三層目、五層目、七層目、及び九層目の圧電体層20の主面20bにおいて、内部電極37,38は、内部電極33,43,44によって互いに接続されている。 In the piezoelectric element 1B, similarly to the piezoelectric element 1 (see FIG. 2), the internal electrodes 41 and 45 are provided on the main surfaces 20b of the second and fourth piezoelectric layers 20, and the internal electrodes 42 and 46 are provided on the main surfaces 20b of the sixth and eighth piezoelectric layers 20, and the internal electrodes 43 and 44 are provided on the first, third, fifth, seventh and ninth piezoelectric layers It is provided on the major surface 20 b of the layer 20 . In the piezoelectric element 1B, the internal electrode 44 is arranged between the internal electrode 38 and the internal electrode 33 and connects the internal electrode 38 and the internal electrode 33 to each other. Therefore, the internal electrodes 37, 38 are connected to each other by the internal electrodes 33, 43, 44 on the main surfaces 20b of the first, third, fifth, seventh, and ninth piezoelectric layers 20. ing.

圧電素子1Bでは、活性領域R1は、外部電極12,13が入力した駆動信号によって駆動される。活性領域R2は、外部電極15,16が入力した駆動信号によって駆動される。このように圧電素子1Bにおいても、活性領域R1,R2がそれぞれ別の駆動信号によって駆動可能に構成されている。このため、振動デバイス100Bにおいても、1つの圧電素子1Bで2つの音を同時に発生させることができる。よって、1つの音を発生させる圧電素子を2つ備える振動デバイスに比べて、振動デバイス100Bでは、小型化を図ることができる。また、圧電素子1Bにおいても、活性領域R1,R2は、不活性領域R3(図3参照)を介して互いに離間している。よって、振動デバイス100Bにおける音質の低下を抑制することができる。 In the piezoelectric element 1B, the active region R1 is driven by drive signals input by the external electrodes 12 and 13. As shown in FIG. The active region R2 is driven by drive signals input to the external electrodes 15 and 16. FIG. Thus, in the piezoelectric element 1B as well, the active regions R1 and R2 are configured to be driven by different drive signals. Therefore, in the vibrating device 100B as well, one piezoelectric element 1B can generate two sounds at the same time. Therefore, the vibration device 100B can be made smaller than a vibration device having two piezoelectric elements that generate one sound. Also in the piezoelectric element 1B, the active regions R1 and R2 are separated from each other via the inactive region R3 (see FIG. 3). Therefore, deterioration of sound quality in the vibration device 100B can be suppressed.

圧電素子1Bでは、方向D1から見て、活性領域R1,R2の面積が互いに異なっている。このため、活性領域R1,R2による屈曲振動の大きさが互いに異なる。したがって、圧電素子1が主面50aの中央に配置されていないときでも、活性領域R1,R2の屈曲振動により発生する音の大きさを互いに同等に近づけることができる。例えば、圧電素子1を主面50aの中央に配置できない状況でも、活性領域R1,R2による音の大きさのバランスが維持されるように設定できる。 In the piezoelectric element 1B, the active regions R1 and R2 have different areas when viewed from the direction D1. Therefore, the magnitudes of bending vibrations caused by the active regions R1 and R2 are different from each other. Therefore, even when the piezoelectric element 1 is not arranged at the center of the main surface 50a, the magnitudes of the sounds generated by the bending vibrations of the active regions R1 and R2 can be brought close to each other. For example, even if the piezoelectric element 1 cannot be placed in the center of the main surface 50a, the active regions R1 and R2 can be set so that the sound volume balance is maintained.

(第三変形例)
図7は、第三変形例に係る振動デバイスの一部を拡大して示す断面図である。図7に示されるように、第三変形例に係る振動デバイス100Cは、振動部材50(図3参照)の代わりに振動部材50Cを備えると共に、接合部材51(図3参照)の代わりに接合部材51Cを備える点で、振動デバイス100(図3参照)と相違している。以下では、振動部材50C及び接合部材51Cについて、振動部材50及び接合部材51との相違点を中心に説明する。
(Third modification)
FIG. 7 is a cross-sectional view showing an enlarged part of the vibration device according to the third modification. As shown in FIG. 7, a vibration device 100C according to the third modification includes a vibration member 50C instead of the vibration member 50 (see FIG. 3), and a joint member 51 (see FIG. 3) instead of the joint member 51C is provided, which is different from the vibration device 100 (see FIG. 3). In the following, the vibration member 50C and the joint member 51C will be described, focusing on the differences from the vibration member 50 and the joint member 51. As shown in FIG.

振動部材50Cは、振動部V1,V2を有している。振動部V1は、方向D1から見て、活性領域R1と重なっている。振動部V2は、方向D1から見て、活性領域R2と重なっている。振動部材50Cには、主面50a,50bの少なくともいずれか一方において、振動部V1,V2を互いに離間させる溝50cが設けられている。本実施形態では、主面50aに2つの溝50cが設けられている。各溝50cは、主面2bの短辺方向に沿って延在し、主面2bの短辺方向において主面50aの一端から他端まで連続して設けられている。方向D1から見て、2つの溝50cは、活性領域R1と活性領域R2との間に配置され、主面2bの長辺方向において互いに離間している。 The vibrating member 50C has vibrating portions V1 and V2. The vibrating portion V1 overlaps the active region R1 when viewed in the direction D1. The vibrating portion V2 overlaps the active region R2 when viewed from the direction D1. The vibrating member 50C is provided with a groove 50c that separates the vibrating portions V1 and V2 from each other on at least one of the main surfaces 50a and 50b. In this embodiment, two grooves 50c are provided in the main surface 50a. Each groove 50c extends along the short side direction of the main surface 2b and is provided continuously from one end to the other end of the main surface 50a in the short side direction of the main surface 2b. As viewed in direction D1, two trenches 50c are arranged between active region R1 and active region R2 and are spaced apart from each other in the long side direction of main surface 2b.

接合部材51Cは、互いに離間している接合部51a,51b,51cを有している。接合部51aは、方向D1から見て、活性領域R1と重なっている。接合部51bは、方向D1から見て、活性領域R2と重なっている。接合部51a,51bは、方向D1から見て、溝50cと重なっていない。接合部51cは、方向D1から見て、接合部51aと接合部51bとの間に配置されている。接合部51cは、方向D1から見て、不活性領域R3のうち、活性領域R1と活性領域R2との間の領域と重なっている。接合部51cは、方向D1から見て、2つの溝50cの間に配置され、2つの溝50cと重なっていない。 The joint member 51C has joint portions 51a, 51b, and 51c that are spaced apart from each other. The junction portion 51a overlaps the active region R1 when viewed in the direction D1. The junction 51b overlaps the active region R2 when viewed in the direction D1. The joints 51a and 51b do not overlap the groove 50c when viewed from the direction D1. The joint portion 51c is arranged between the joint portion 51a and the joint portion 51b when viewed from the direction D1. The junction portion 51c overlaps a region of the inactive region R3 between the active region R1 and the active region R2 when viewed in the direction D1. The joint portion 51c is arranged between the two grooves 50c and does not overlap with the two grooves 50c when viewed in the direction D1.

接合部51a,51bは、接合部51cよりも硬い。 The joints 51a and 51b are harder than the joint 51c.

振動デバイス100Cは、圧電素子1を備えている。このため、振動デバイス100Cにおいても、小型化を図ることができる。また、音質の低下を抑制することができる。更に、活性領域R1,R2の屈曲振動により発生する音の大きさが互いに同等になり易い。 A vibration device 100C includes a piezoelectric element 1 . Therefore, the size of the vibrating device 100C can also be reduced. Also, deterioration of sound quality can be suppressed. Furthermore, the magnitudes of sounds generated by the bending vibrations of the active regions R1 and R2 tend to be the same.

振動部材50Cは、活性領域R1と重なる振動部V1と、活性領域R2と重なる振動部V2と、を有している。振動部材50Cには、主面50aにおいて、振動部V1,V2を互いに離間させる溝50cが設けられている。このように溝50cが存在することにより、活性領域R1の振動により振動する振動部V1、及び、活性領域R2の振動により振動する振動部V2において、互いの振動が混ざり合うことが更に抑制される。よって、振動デバイス100Cでは、音質の低下を更に抑制することができる。しかも、振動部材50Cには2つの溝50cが設けられているので、1つの溝50cが設けられている場合に比べて、音質の低下を一層抑制することができる。 The vibrating member 50C has a vibrating portion V1 overlapping with the active region R1 and a vibrating portion V2 overlapping with the active region R2. The vibrating member 50C is provided with a groove 50c that separates the vibrating portions V1 and V2 from each other on the main surface 50a. The presence of the groove 50c in this way further suppresses mixing of the vibrations of the vibrating portion V1, which vibrates due to the vibration of the active region R1, and the vibrating portion V2, which vibrates due to the vibration of the active region R2. . Therefore, the vibration device 100C can further suppress deterioration in sound quality. Moreover, since the two grooves 50c are provided in the vibration member 50C, deterioration of sound quality can be further suppressed as compared with the case where one groove 50c is provided.

接合部材51Cは、活性領域R1と重なる接合部51aと、活性領域R2と重なる接合部51bと、を有している。接合部51a,51bは互いに離間しているので、活性領域R1の振動が振動部V2に伝わることが抑制されると共に、活性領域R2の振動が振動部V1に伝わることが抑制される。これにより、振動部材50Cでは、活性領域R1,R2による振動が混ざり合うことが更に抑制される。よって、振動デバイス100Cでは、音質の低下をより一層抑制することができる。 The joining member 51C has a joining portion 51a overlapping with the active region R1 and a joining portion 51b overlapping with the active region R2. Since the joint portions 51a and 51b are spaced apart from each other, transmission of the vibration of the active region R1 to the vibrating portion V2 is suppressed, and transmission of the vibration of the active region R2 to the vibrating portion V1 is suppressed. As a result, in the vibrating member 50C, it is further suppressed that the vibrations of the active regions R1 and R2 are mixed. Therefore, the vibration device 100C can further suppress deterioration in sound quality.

接合部51a,51bは、接合部51cよりも硬い。振動は、接合部が硬いほど伝わり易い。よって、活性領域R1,R2の振動が、接合部51a,51bを介して振動部V1,V2に伝わり易い。 The joints 51a and 51b are harder than the joint 51c. Vibrations are transmitted more easily as the joints are harder. Therefore, vibrations of the active regions R1 and R2 are easily transmitted to the vibrating portions V1 and V2 via the joint portions 51a and 51b.

(第四変形例)
図8は、第四変形例に係る振動デバイスの一部を拡大して示す断面図である。図8に示されるように、第四変形例に係る振動デバイス100Dは、振動部材50(図3参照)の代わりに振動部材50Dを備えると共に、接合部材51(図3参照)の代わりに接合部材51Dを備える点で、振動デバイス100(図3参照)と相違している。接合部材51Dは、接合部材51C(図7参照)と同等の構成を有しているため、説明を省略する。振動部材50Dは、溝50cが主面50aと主面50bとを接続するように振動部材50Cを貫通している点で振動部材50Cと相違し、その他の点で振動部材50Cと同等の構成を有している。振動デバイス100Dでは、溝50cにより振動部V1,V2が互いに確実に離間するので、振動部V1と振動部V2とで互いの振動が混ざり合うことが更に抑制される。よって、音質の低下を更に抑制できる。振動デバイス100Dは、圧電素子1Dを備えているので、小型化を図りながら、音質の低下を抑制可能となる。
(Fourth modification)
FIG. 8 is a cross-sectional view showing an enlarged part of a vibration device according to a fourth modification. As shown in FIG. 8, a vibration device 100D according to the fourth modification includes a vibration member 50D instead of the vibration member 50 (see FIG. 3), and a joint member 51 (see FIG. 3) instead of the joint member 51D, which is different from the vibration device 100 (see FIG. 3). Since the joint member 51D has the same configuration as the joint member 51C (see FIG. 7), the description thereof is omitted. The vibrating member 50D differs from the vibrating member 50C in that the groove 50c penetrates the vibrating member 50C so as to connect the main surface 50a and the main surface 50b. have. In the vibrating device 100D, the vibrating portions V1 and V2 are reliably separated from each other by the groove 50c, so that the vibrations of the vibrating portions V1 and V2 are further suppressed from being mixed with each other. Therefore, deterioration of sound quality can be further suppressed. Since the vibrating device 100D includes the piezoelectric element 1D, it is possible to suppress deterioration in sound quality while achieving miniaturization.

本発明は必ずしも上述した実施形態及び変形例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。 The present invention is not necessarily limited to the above-described embodiments and modifications, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention.

例えば、圧電素子1,1A,1C,1Dでは、方向D1から見て、活性領域R1,R2の面積は互いに異なっていてもよい。また、圧電素子1Bでは、方向D1から見て、活性領域R1,R2の面積は互いに同等であってもよい。 For example, in the piezoelectric elements 1, 1A, 1C and 1D, the active regions R1 and R2 may have different areas when viewed in the direction D1. Also, in the piezoelectric element 1B, the active regions R1 and R2 may have the same area when viewed from the direction D1.

振動デバイス100C,100Dでは、2つの溝50cが設けられているが、1つの溝50cが設けられていてもよいし、3つ以上の溝50cが設けられていてもよい。振動デバイス100Cでは、溝50cは、主面50aのみに設けられているが、主面50bに設けられていてもよい。溝50cは、主面50a,50bにそれぞれ設けられていてもよい。この場合、溝50cが主面50aのみ又は主面50bのみに設けられている場合に比べて、振動部V1と振動部V2とで互いの振動が混ざり合うことが更に抑制される。よって、音質の低下を更に抑制できる。 Although two grooves 50c are provided in vibration devices 100C and 100D, one groove 50c may be provided, or three or more grooves 50c may be provided. In the vibration device 100C, the grooves 50c are provided only on the main surface 50a, but may be provided on the main surface 50b. The groove 50c may be provided in each of the main surfaces 50a and 50b. In this case, compared to the case where the groove 50c is provided only on the main surface 50a or only on the main surface 50b, mixing of the vibrations of the vibrating portion V1 and the vibrating portion V2 is further suppressed. Therefore, deterioration of sound quality can be further suppressed.

振動デバイス100C,100Dでは、溝50cは、主面2bの短辺方向において主面50aの一端から他端まで連続して設けられているが、主面2bの短辺方向において主面50aの一部に設けられていてもよい。溝50cは、主面2bの短辺方向に沿って断続的に設けられていてもよい。 In the vibration devices 100C and 100D, the groove 50c is provided continuously from one end to the other end of the main surface 50a in the short side direction of the main surface 2b. may be provided in the department. The grooves 50c may be intermittently provided along the short side direction of the main surface 2b.

振動デバイス100C,100Dでは、接合部51a,51b硬度は、接合部51cの硬度と同等であってもよい。この場合、接合部51a,51b,51cを同じ材料で容易に形成することができる。振動デバイス100C,100Dでは、接合部51a,51b,51cは、互いに離間していなくてもよい。 In the vibration devices 100C and 100D, the hardness of the joints 51a and 51b may be the same as the hardness of the joint 51c. In this case, the joints 51a, 51b, 51c can be easily formed from the same material. In the vibration devices 100C, 100D, the joints 51a, 51b, 51c do not have to be separated from each other.

振動デバイス100,100A,100Bにおいて、振動部材50の代わりに振動部材50C,50Dを備えてもよい。振動デバイス100,100A,100Bにおいて、接合部材51の代わりに接合部材51Cを備えてもよい。振動デバイス100C,100Dにおいて、圧電素子1の代わりに圧電素子1A,1Bを備えてもよい。 Vibration devices 100, 100A and 100B may include vibration members 50C and 50D instead of vibration member 50. FIG. The vibration devices 100, 100A, and 100B may include a joint member 51C instead of the joint member 51. FIG. In the vibration devices 100C and 100D, instead of the piezoelectric element 1, piezoelectric elements 1A and 1B may be provided.

圧電素子1Aは、外部電極14を有し、外部電極13が活性領域R1用のグラウンド端子として用いられ、外部電極14が活性領域R2用のグラウンド端子として用いられてもよい。この場合、圧電素子1Aは、内部電極39を有さず、内部電極43は、内部電極37と外部電極13の側面電極部との間に配置され、内部電極37及び外部電極13の側面電極部を互いに接続する。また、圧電素子1Aは、内部電極44を有し、内部電極44は、内部電極38と外部電極14の側面電極部との間に配置され、内部電極38及び外部電極14の側面電極部を互いに接続する。 The piezoelectric element 1A may have an external electrode 14, the external electrode 13 may be used as a ground terminal for the active region R1, and the external electrode 14 may be used as a ground terminal for the active region R2. In this case, the piezoelectric element 1A does not have the internal electrode 39, the internal electrode 43 is arranged between the internal electrode 37 and the side electrode portion of the external electrode 13, and the side electrode portion of the internal electrode 37 and the external electrode 13 is arranged. to each other. In addition, the piezoelectric element 1A has an internal electrode 44. The internal electrode 44 is arranged between the internal electrode 38 and the side electrode portion of the external electrode 14, and the side electrode portions of the internal electrode 38 and the external electrode 14 are connected to each other. Connecting.

1,1A、1B,1C,1D…圧電素子、2…圧電素体、2a…主面(第一主面)、2b…主面(第二主面)、11,12…外部電極(第一外部電極)、15,16…外部電極(第二外部電極)、50,50C,50D…振動部材、50a…主面(第三主面)、50b…主面(第四主面)、50c…溝、51,51C,51D…接合部材、51a…接合部(第一接合部)、51b…接合部(第二接合部)、51c…接合部(第三接合部)、100,100A,100B,100C,100D…振動デバイス、R1…活性領域(第一活性領域)、R2…活性領域(第二活性領域)、R3…不活性領域。 1, 1A, 1B, 1C, 1D... Piezoelectric element, 2... Piezoelectric body, 2a... Main surface (first main surface), 2b... Main surface (second main surface), 11, 12... External electrode (first external electrode), 15, 16... external electrode (second external electrode), 50, 50C, 50D... vibration member, 50a... main surface (third main surface), 50b... main surface (fourth main surface), 50c... Grooves 51, 51C, 51D... Joining member, 51a... Joining part (first joining part), 51b... Joining part (second joining part), 51c... Joining part (third joining part), 100, 100A, 100B, 100C, 100D... vibration device, R1... active region (first active region), R2... active region (second active region), R3... inactive region.

Claims (11)

互いに対向する第一主面及び第二主面を有する圧電素体と、
前記圧電素体上に配置された第一外部電極及び第二外部電極と、を備え、
前記圧電素体は、圧電的に活性な第一活性領域及び第二活性領域と、圧電的に不活性な不活性領域と、を有し、
前記第一外部電極は、前記第一活性領域を駆動するための駆動信号を入力し、
前記第二外部電極は、前記第二活性領域を駆動するための駆動信号を入力し、
前記第一主面及び前記第二主面の対向方向から見て、前記第一活性領域及び前記第二活性領域は、スルーホール導体が設けられた前記不活性領域を介して互いに離間している、圧電素子。
a piezoelectric body having a first main surface and a second main surface facing each other;
a first external electrode and a second external electrode disposed on the piezoelectric body,
the piezoelectric body has first and second piezoelectrically active active regions and a piezoelectrically inactive inactive region;
the first external electrode receives a drive signal for driving the first active region;
the second external electrode receives a drive signal for driving the second active region;
When viewed from the facing direction of the first main surface and the second main surface, the first active region and the second active region are separated from each other via the inactive region provided with a through-hole conductor. ,Piezoelectric element.
互いに対向する第一主面及び第二主面を有する圧電素体と、
前記圧電素体上に配置された第一外部電極及び第二外部電極と、を備え、
前記圧電素体は、圧電的に活性な第一活性領域及び第二活性領域と、圧電的に不活性な不活性領域と、を有し、
前記第一外部電極は、前記第一活性領域を駆動するための駆動信号を入力し、
前記第二外部電極は、前記第二活性領域を駆動するための駆動信号を入力し、
前記第一主面及び前記第二主面の対向方向から見て、前記第一活性領域及び前記第二活性領域は、前記不活性領域を介して互いに離間しており、
前記不活性領域は、前記第一主面のうち前記第一活性領域と対向する部分、前記第一主面のうち前記第二活性領域と対向する部分、前記第二主面のうち前記第一活性領域と対向する部分、及び、前記第二主面のうち前記第二活性領域と対向する部分を含んでいる、圧電素子。
a piezoelectric body having a first main surface and a second main surface facing each other;
a first external electrode and a second external electrode disposed on the piezoelectric body,
the piezoelectric body has first and second piezoelectrically active active regions and a piezoelectrically inactive inactive region;
the first external electrode receives a drive signal for driving the first active region;
the second external electrode receives a drive signal for driving the second active region;
The first active region and the second active region are separated from each other via the inactive region when viewed from the facing direction of the first main surface and the second main surface,
The inactive region includes a portion of the first main surface facing the first active region, a portion of the first main surface facing the second active region, and a portion of the second main surface facing the first active region. A piezoelectric element , comprising: a portion facing an active region; and a portion of the second main surface facing the second active region .
前記対向方向から見て、前記第一活性領域の面積及び前記第二活性領域の面積は、互いに同等である、請求項1又は2に記載の圧電素子。 3. The piezoelectric element according to claim 1 , wherein an area of said first active region and an area of said second active region are equal to each other when viewed from said opposing direction. 前記対向方向から見て、前記第一活性領域の面積及び前記第二活性領域の面積は、互いに異なっている、請求項1又は2に記載の圧電素子。 3. The piezoelectric element according to claim 1, wherein the area of the first active region and the area of the second active region are different from each other when viewed from the opposing direction. 前記圧電素体は、前記対向方向において積層された複数の圧電体層を含んでいる、請求項1~4のいずれか一項に記載の圧電素子。The piezoelectric element according to any one of claims 1 to 4, wherein the piezoelectric body includes a plurality of piezoelectric layers laminated in the facing direction. 前記第一外部電極と電気的に接続された第一内部電極と、a first internal electrode electrically connected to the first external electrode;
前記第二外部電極と電気的に接続された第二内部電極と、を更に備える、請求項1~5のいずれか一項に記載の圧電素子。 The piezoelectric element according to any one of claims 1 to 5, further comprising a second internal electrode electrically connected to said second external electrode.
互いに対向する第一主面及び第二主面を有する圧電素体と、前記圧電素体上に配置された第一外部電極及び第二外部電極と、を備える圧電素子と、
前記第一主面と接合された第三主面と、前記第三主面と対向する第四主面と、を有する振動部材と、を備え、
前記圧電素体は、圧電的に活性な第一活性領域及び第二活性領域と、圧電的に不活性な不活性領域と、を有し、
前記第一外部電極は、前記第一活性領域を駆動するための駆動信号を入力し、
前記第二外部電極は、前記第二活性領域を駆動するための駆動信号を入力し、
前記第一主面及び前記第二主面の対向方向から見て、前記第一活性領域及び前記第二活性領域は、前記不活性領域を介して互いに離間しており、
前記振動部材は、前記対向方向から見て、前記第一活性領域と重なる第一振動部と、前記第二活性領域と重なる第二振動部と、を有し、
前記振動部材には、前記第三主面及び前記第四主面の少なくともいずれか一方において、前記第一振動部と前記第二振動部とを互いに離間させる溝が設けられている、振動デバイス。
a piezoelectric element comprising a piezoelectric element having a first main surface and a second main surface facing each other; and a first external electrode and a second external electrode arranged on the piezoelectric element;
a vibration member having a third main surface joined to the first main surface and a fourth main surface facing the third main surface;
the piezoelectric body has first and second piezoelectrically active active regions and a piezoelectrically inactive inactive region;
the first external electrode receives a drive signal for driving the first active region;
the second external electrode receives a drive signal for driving the second active region;
The first active region and the second active region are separated from each other via the inactive region when viewed from the facing direction of the first main surface and the second main surface,
The vibrating member has a first vibrating portion that overlaps with the first active region and a second vibrating portion that overlaps with the second active region when viewed from the opposing direction,
The vibrating device according to claim 1, wherein the vibrating member is provided with a groove that separates the first vibrating portion and the second vibrating portion from each other on at least one of the third main surface and the fourth main surface.
前記溝は、前記第三主面と前記第四主面とを接続するように前記振動部材を貫通している、請求項に記載の振動デバイス。 8. The vibration device according to claim 7 , wherein said groove penetrates said vibration member so as to connect said third principal surface and said fourth principal surface. 前記第一主面と前記第三主面とを互いに接合する接合部材を更に備え、
前記接合部材は、前記対向方向から見て、前記第一活性領域と重なる第一接合部と、前記第二活性領域と重なる第二接合部と、を有し、
前記第一接合部及び前記第二接合部は互いに離間している、請求項又はに記載の振動デバイス。
further comprising a joining member that joins the first main surface and the third main surface to each other;
the joining member has a first joining portion that overlaps with the first active region and a second joining portion that overlaps with the second active region when viewed from the facing direction;
9. The vibrating device according to claim 7 or 8 , wherein said first joint and said second joint are spaced apart from each other.
前記接合部材は、前記対向方向から見て、前記第一接合部と前記第二接合部との間に配置された第三接合部を更に有し、
前記第一接合部及び前記第二接合部は、前記第三接合部よりも硬い、請求項に記載の振動デバイス。
The joint member further has a third joint portion disposed between the first joint portion and the second joint portion when viewed from the facing direction,
10. The vibration device according to claim 9 , wherein said first joint and said second joint are harder than said third joint.
請求項1~のいずれか一項に記載の圧電素子又は請求項10のいずれか一項に記載の振動デバイスを備える、電子機器。 An electronic device comprising the piezoelectric element according to any one of claims 1 to 6 or the vibrating device according to any one of claims 7 to 10 .
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