JP7257620B2 - COMPONENT MOUNTING APPARATUS, COMPONENT MOUNTING METHOD, AIR CYLINDER CONTROL METHOD, AND PROGRAM - Google Patents

COMPONENT MOUNTING APPARATUS, COMPONENT MOUNTING METHOD, AIR CYLINDER CONTROL METHOD, AND PROGRAM Download PDF

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Description

本発明は、部品実装装置、部品実装方法、エアシリンダの制御方法、および、プログラムに関する。 The present invention relates to a component mounting apparatus, a component mounting method, an air cylinder control method, and a program.

従来、表示基板、回路基板等に部品を実装する部品実装装置が広く用いられている。特許文献1には、基板を搬送するための搬送アームを、エアシリンダを用いて駆動させる部品実装装置が開示されている。 2. Description of the Related Art Conventionally, component mounting apparatuses for mounting components on display boards, circuit boards and the like have been widely used. Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2002-200001 discloses a component mounting apparatus that drives a transfer arm for transferring a substrate using an air cylinder.

特許第3275743号公報Japanese Patent No. 3275743

従来のエアシリンダを備える部品実装装置は、エアシリンダにエアを供給することで、所定の第1方向と当該第1方向とは反対側の方向である第2方向とに、エアシリンダが有するピストンを駆動させる。通常、ピストンは、所定の第1方向と当該第1方向とは反対側の方向である第2方向とのそれぞれの端まで駆動される。 A conventional component mounting apparatus equipped with an air cylinder moves the piston of the air cylinder in a predetermined first direction and in a second direction opposite to the first direction by supplying air to the air cylinder. drive the Typically, the piston is driven to the end of each of a first predetermined direction and a second direction opposite to the first direction.

ここで、例えば、部品実装装置が動作不良等により緊急にピストンの駆動を停止させた場合、ピストンは、所定の第1方向と当該第1方向とは反対側の方向である第2方向とのそれぞれの端まで駆動されず、それぞれの端の間の中間地点で止まる場合がある。また、この場合に、部品実装装置は、安全性の観点から、エアシリンダ内のエア(圧縮空気)を全て抜く、つまり、エアシリンダ内を大気圧に戻す場合がある。このような場合に、ピストンの駆動が再開されると、エアシリンダ内に急激に圧縮された空気が供給されるため、ピストンが異常な速度で駆動されることとなり、搬送アームが保持している基板の破損、エアシリンダの故障等が発生する。そのため、部品実装装置には、エアシリンダを安全に復旧して駆動させることが求められている。 Here, for example, when the component mounting apparatus suddenly stops driving due to a malfunction or the like, the piston moves in a predetermined first direction and in a second direction opposite to the first direction. It may not be driven to each end and stop halfway between each end. In this case, the component mounting apparatus may remove all the air (compressed air) in the air cylinder from the viewpoint of safety, that is, return the inside of the air cylinder to the atmospheric pressure. In such a case, when the driving of the piston is resumed, the compressed air is suddenly supplied to the air cylinder, so that the piston is driven at an abnormal speed, and the carrier arm holds it. Damage to the substrate, failure of the air cylinder, etc. may occur. Therefore, the component mounting apparatus is required to safely restore and drive the air cylinder.

本発明は、エアシリンダを安全に復旧して駆動させることが可能な部品実装装置等を提供する。 The present invention provides a component mounting apparatus and the like that can safely restore and drive an air cylinder.

本発明の一態様に係る部品実装装置は、搬送アームと、前記搬送アームを駆動するピストンを備えるエアシリンダと、前記ピストンが第1方向の限界位置に位置することを検知する第1センサと、前記ピストンが前記第1方向と反対側の第2方向の限界位置に位置することを検知する第2センサと、前記エアシリンダへのエアの供給を制御することで、前記搬送アームの駆動を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記ピストンが単位時間あたり所定の移動量動くように前記エアシリンダへのエアの供給を行うことが可能であり、前記エアシリンダへのエアの供給を遮断することにより、前記エアシリンダ内を大気圧にして前記搬送アームの駆動を停止させ、停止している前記搬送アームの駆動を再開させる際に、前記第1センサおよび前記第2センサの検知結果に基づき、前記ピストンが前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置のいずれにも位置しない場合には、前記ピストンの単位時間あたりの移動量が前記所定の移動量よりも小さくなるように前記エアシリンダへのエアの供給を再開させてから前記ピストンを前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置に動かす第1復帰処理を行う。 A component mounting apparatus according to an aspect of the present invention includes a transfer arm, an air cylinder having a piston that drives the transfer arm, a first sensor that detects that the piston is positioned at a limit position in a first direction, A second sensor for detecting that the piston is positioned at a limit position in a second direction opposite to the first direction, and controlling the supply of air to the air cylinder, thereby controlling the driving of the transfer arm. and a control unit, wherein the control unit is capable of supplying air to the air cylinder so that the piston moves by a predetermined movement amount per unit time, and supplying air to the air cylinder is interrupted to bring the inside of the air cylinder to the atmospheric pressure and stop the driving of the transfer arm. Based on the result, when the piston is not positioned at the limit position in the first direction or the limit position in the second direction, the amount of movement of the piston per unit time is smaller than the predetermined amount of movement. After resuming the supply of air to the air cylinder, the first return process is performed to move the piston to the limit position in the first direction or the limit position in the second direction.

また、本発明の一態様に係る部品実装方法は、エアシリンダにエアを供給して前記エアシリンダが備えるピストンを単位時間あたり所定の移動量動くように駆動することで、前記ピストンと接続された搬送アームを駆動する駆動ステップと、前記エアシリンダへのエアの供給を遮断することにより、前記エアシリンダ内を大気圧にして前記搬送アームの駆動を停止する停止ステップと、前記停止ステップの後に、第1センサおよび第2センサの検知結果に基づいて、前記ピストンが第1方向の限界位置または第2方向の限界位置に位置するか否かを判定する判定ステップと、前記判定ステップで前記ピストンが前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置のいずれにも位置しないと判定した場合には、前記ピストンの単位時間あたりの移動量が前記所定の移動量よりも小さくなるように前記エアシリンダへのエアの供給を再開させてから、前記ピストンを前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置に動かす第1復帰処理を行う制御ステップと、を含む。 Further, in a component mounting method according to an aspect of the present invention, by supplying air to an air cylinder and driving a piston provided in the air cylinder so as to move by a predetermined movement amount per unit time, the component mounting method is connected to the piston. After a drive step of driving a transfer arm, a stop step of stopping the drive of the transfer arm by cutting off the supply of air to the air cylinder so that the inside of the air cylinder is brought to atmospheric pressure, and the stop step, a determination step of determining whether the piston is positioned at the limit position in the first direction or the limit position in the second direction based on the detection results of the first sensor and the second sensor; When it is determined that the position is neither the limit position in the first direction nor the limit position in the second direction, the movement amount of the piston per unit time is set to be smaller than the predetermined movement amount. and a control step of performing a first return process of moving the piston to the limit position in the first direction or the limit position in the second direction after resuming the supply of air to the air cylinder.

また、本発明に一態様に係るエアシリンダの制御方法は、ピストンを備えるエアシリンダの制御方法であって、前記エアシリンダにエアを供給して前記ピストンを単位時間あたり所定の移動量動くように駆動する駆動ステップと、前記エアシリンダへのエアの供給を遮断することにより、前記エアシリンダ内を大気圧にして前記ピストンの駆動を停止する停止ステップと、前記停止ステップの後に、第1センサおよび第2センサの検知結果に基づいて、前記ピストンが第1方向の限界位置または第2方向の限界位置に位置するか否かを判定する判定ステップと、前記判定ステップで前記ピストンが前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置のいずれにも位置しないと判定した場合には、前記ピストンの単位時間あたりの移動量が前記所定の移動量よりも小さくなるように前記エアシリンダへのエアの供給を再開させてから、前記ピストンを前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置に動かす復帰処理を行う制御ステップと、を含む。 Further, a control method for an air cylinder according to one aspect of the present invention is a control method for an air cylinder having a piston, wherein air is supplied to the air cylinder to move the piston by a predetermined amount per unit time. a driving step of driving; a stopping step of stopping the driving of the piston by cutting off the supply of air to the air cylinder so that the inside of the air cylinder is brought to atmospheric pressure; a determination step of determining whether the piston is positioned at the limit position in the first direction or the limit position in the second direction based on the detection result of the second sensor; or the limit position in the second direction, the movement of the piston per unit time to the air cylinder is smaller than the predetermined movement amount. and a control step of performing a return process of moving the piston to the limit position in the first direction or the limit position in the second direction after resuming the supply of air.

また、本発明の一態様に係るプログラムは、上記エアシリンダの制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムである。 A program according to an aspect of the present invention is a program for causing a computer to execute the air cylinder control method.

なお、これらの包括的又は具体的な態様は、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラムまたはコンピュータ読み取り可能なCD-ROM等の記録媒体で実現されてもよく、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラムおよび記録媒体の任意な組み合わせで実現されてもよい。 In addition, these general or specific aspects may be realized by a system, method, integrated circuit, computer program, or a recording medium such as a computer-readable CD-ROM. and any combination of recording media.

本発明の一態様に係る部品実装装置等によれば、エアシリンダを安全に復旧して駆動させることができる。 According to the component mounting apparatus and the like according to one aspect of the present invention, the air cylinder can be safely restored and driven.

図1は、実施の形態に係る部品実装装置を示す概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a component mounting apparatus according to an embodiment. 図2は、実施の形態に係る部品実装装置の動作の第1例を示す概略構成図である。FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing a first example of operation of the component mounting apparatus according to the embodiment. 図3は、実施の形態に係る部品実装装置の動作の第2例を示す概略構成図である。FIG. 3 is a schematic configuration diagram showing a second example of operation of the component mounting apparatus according to the embodiment. 図4は、実施の形態に係る部品実装装置の動作の第3例を示す概略構成図である。FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing a third example of operation of the component mounting apparatus according to the embodiment. 図5は、実施の形態に係る部品実装装置の動作の第4例を示す概略構成図である。FIG. 5 is a schematic configuration diagram showing a fourth example of operation of the component mounting apparatus according to the embodiment. 図6は、実施の形態に係る部品実装装置が備えるエアシリンダを駆動するための構成の詳細を説明するための概略構成図である。FIG. 6 is a schematic configuration diagram for explaining the details of the configuration for driving the air cylinder provided in the component mounting apparatus according to the embodiment. 図7は、実施の形態に係る部品実装装置が備える電磁弁の動作状態を説明するための表である。FIG. 7 is a table for explaining operating states of electromagnetic valves included in the component mounting apparatus according to the embodiment. 図8は、実施の形態に係る部品実装装置の動作を非常停止する際の動作手順を説明するためのフローチャートである。FIG. 8 is a flowchart for explaining the operation procedure when the operation of the component mounting apparatus according to the embodiment is brought to an emergency stop. 図9は、実施の形態に係る部品実装装置の動作を復旧する際の動作手順を説明するためのフローチャートである。FIG. 9 is a flow chart for explaining the operation procedure when restoring the operation of the component mounting apparatus according to the embodiment. 図10Aは、実施の形態に係る部品実装装置が実行する復帰処理の第1例を説明するためのグラフである。10A is a graph for explaining a first example of return processing executed by the component mounting apparatus according to the embodiment; FIG. 図10Bは、実施の形態に係る部品実装装置が実行する復帰処理の第2例を説明するためのグラフである。10B is a graph for explaining a second example of return processing executed by the component mounting apparatus according to the embodiment; FIG. 図10Cは、実施の形態に係る部品実装装置が実行する復帰処理の第3例を説明するためのグラフである。FIG. 10C is a graph for explaining a third example of return processing executed by the component mounting apparatus according to the embodiment; 図11は、実施の形態の変形例に係る部品実装装置が備えるエアシリンダを駆動するための構成の詳細を説明するための概略構成図である。FIG. 11 is a schematic configuration diagram for explaining the details of the configuration for driving the air cylinder provided in the component mounting apparatus according to the modification of the embodiment.

以下では、本発明の実施の形態に係る部品実装装置等について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、いずれも本発明の一具体例を示すものである。したがって、以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置及び接続形態、ステップ及びステップの順序等は、一例であり、本発明を限定する趣旨ではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION A component mounting apparatus and the like according to embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. It should be noted that each of the embodiments described below is a specific example of the present invention. Therefore, the numerical values, shapes, materials, components, arrangement and connection of components, steps and order of steps, etc. shown in the following embodiments are examples and are not intended to limit the present invention. Therefore, among the constituent elements in the following embodiments, constituent elements that are not described in independent claims representing the highest level concept of the present invention will be described as optional constituent elements.

また、各図は模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。図面は、本発明を示すために適宜強調や省略、比率の調整を行った模式的な図となっており、実際の形状、位置関係、および、比率とは異なる場合がある。 Each figure is a schematic diagram and is not necessarily strictly illustrated. The drawings are schematic diagrams with appropriate emphasis, omission, and ratio adjustment to illustrate the present invention, and may differ from the actual shape, positional relationship, and ratio.

また、各図において、同じ構成部材については同じ符号を付している。 Moreover, in each figure, the same code|symbol is attached|subjected about the same component.

(実施の形態)
[構成]
まず、図1~図7を参照して、本発明の一実施の形態における部品実装装置の構成について説明する。
(Embodiment)
[composition]
First, the configuration of a component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 7. FIG.

図1は、実施の形態に係る部品実装装置1を示す概略構成図である。なお、図1では、図6に示すエアシリンダ70を駆動するための構成の図示を省略して示している。 FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a component mounting apparatus 1 according to an embodiment. 1, illustration of a configuration for driving the air cylinder 70 shown in FIG. 6 is omitted.

部品実装装置1は、液晶パネル等の基板500に複数の処理を施す装置を複数備える部品実装ラインの1つの装置である。部品実装ラインは、インラインで複数の作業を実施する部分である。 The component mounting apparatus 1 is one apparatus of a component mounting line including a plurality of apparatuses for performing a plurality of processes on a substrate 500 such as a liquid crystal panel. A component mounting line is a part that performs a plurality of operations inline.

部品実装装置1を含む部品実装ラインは、基板500等にフレキシブル部品(フレキシブル基板/FPC:Flexible Printed Circuit)等の部品を実装する実装システムである。具体的には、部品実装ラインは、電極により構成された電極部が形成された基板500にACF(Anisotropic Conductive Film)等の異方性導電部材(ACF)を貼着し、ACFを介して基板500と部品とを熱圧着させる装置である。 A component mounting line including the component mounting apparatus 1 is a mounting system that mounts components such as flexible components (flexible printed circuit/FPC) on the board 500 or the like. Specifically, the component mounting line adheres an anisotropic conductive member (ACF) such as an ACF (Anisotropic Conductive Film) to a substrate 500 on which an electrode portion configured by electrodes is formed, and mounts the substrate via the ACF. 500 and a part are thermo-compression-bonded.

部品実装装置1は、上流から搬送された基板500が載置されるローダ部10と、基板500にACFを貼り付けるACF貼り付け部20と、ACFに部品を仮圧着する仮圧着部30と、ACFと共に部品を熱圧着(本圧着)して基板500と部品との電気的な導通を確保する本圧着部40と、部品が熱圧着された基板500を下流に搬出するアンローダ部50と、を備える。 The component mounting apparatus 1 includes a loader section 10 on which a substrate 500 transported from upstream is placed, an ACF attaching section 20 for attaching an ACF to the substrate 500, a temporary crimping section 30 for temporarily crimping a component to the ACF, A final crimping section 40 that thermally crimps (finally crimping) components together with the ACF to ensure electrical continuity between the board 500 and the components, and an unloader section 50 that unloads the board 500 with the components thermally crimped downstream. Prepare.

また、基板500は、搬送部600により、ローダ部10、ACF貼り付け部20、仮圧着部30、本圧着部40、および、アンローダ部50の順に順次各部に移載される。 Further, the substrate 500 is sequentially transferred to the loader section 10 , the ACF attaching section 20 , the temporary pressure bonding section 30 , the final pressure bonding section 40 and the unloader section 50 in this order by the transfer section 600 .

ローダ部10は、部品実装装置1よりも上流側に配置された上流側設備で所定の作業を終えた基板500が搬入される装置である。ローダ部10は、例えば、基板500が載置されるステージを備える。ステージでは、上流側設備から搬入された基板500を保持される。 The loader unit 10 is a device into which the board 500 that has undergone predetermined work in the upstream equipment arranged upstream of the component mounting apparatus 1 is loaded. The loader section 10 includes, for example, a stage on which the substrate 500 is placed. The stage holds the substrate 500 carried in from the upstream equipment.

ACF貼り付け部20は、接着テープの一種であって、異方性導電フィルムをテープ状にしたACFを基板500に貼り付ける装置である。 The ACF attaching unit 20 is a kind of adhesive tape, and is a device for attaching an ACF, which is a tape-shaped anisotropic conductive film, to the substrate 500 .

仮圧着部30は、ACF貼り付け部20で基板500に貼り付けられたACF上に、部品を仮圧着する装置である。 The temporary crimping unit 30 is a device that temporarily crimps a component onto the ACF attached to the substrate 500 by the ACF attaching unit 20 .

本圧着部40は、仮圧着部30で基板500に仮圧着された部品を熱圧着(本圧着)する装置である。本圧着は、基板500へのACFの貼り付け、基板500への部品の仮圧着と比較して、長い時間を要する。そのため、部品実装装置1は、本圧着部40を複数有する場合がある。本実施の形態では、部品実装装置1は、いずれも仮圧着部30で基板500に仮圧着された部品を熱圧着(本圧着)する装置である、第1本圧着部41および第2本圧着部42を備える。なお、第1本圧着部41および第2本圧着部42の動作を区別しない場合は、第1本圧着部41と第2本圧着部42とをまとめて本圧着部40と呼称する場合がある。 The final press-bonding unit 40 is a device that thermally presses (finally press-bonds) the component temporarily press-bonded to the substrate 500 by the temporary press-bonding unit 30 . This press-bonding takes a longer time than attaching the ACF to the substrate 500 and temporarily press-bonding the component to the substrate 500 . Therefore, the component mounting apparatus 1 may have a plurality of final crimping sections 40 . In the present embodiment, the component mounting apparatus 1 includes a first final pressure bonding section 41 and a second final pressure bonding apparatus, both of which are apparatuses for thermocompression bonding (permanent pressure bonding) of the component temporarily pressure bonded to the board 500 by the temporary pressure bonding section 30 . A portion 42 is provided. When the operations of the first main crimping portion 41 and the second main crimping portion 42 are not distinguished, the first main crimping portion 41 and the second main crimping portion 42 may be collectively referred to as the main crimping portion 40. .

アンローダ部50は、本圧着部40によって部品が圧着された基板500を部品実装装置1の下流に配置された下流側設備へ搬出する際に基板500が載置される装置である。例えば、アンローダ部50は基板500が載置されるステージを備える。ステージに保持された基板500は、基板500を取り出して下流側へ搬出可能な図示しない搬出装置によって下流側設備に搬出される。 The unloader unit 50 is a device on which the substrate 500 is placed when the substrate 500 to which the components are crimped by the main crimping unit 40 is unloaded to the downstream equipment arranged downstream of the component mounting apparatus 1 . For example, the unloader section 50 has a stage on which the substrate 500 is placed. The substrate 500 held on the stage is carried out to downstream equipment by a carry-out device (not shown) capable of taking out the substrate 500 and carrying it out to the downstream side.

ローダ部10、ACF貼り付け部20、仮圧着部30、第1本圧着部41、第2本圧着部42、および、アンローダ部50は、この順に第1方向に並んで配置されている。 The loader section 10, the ACF attaching section 20, the temporary pressure bonding section 30, the first final pressure bonding section 41, the second final pressure bonding section 42, and the unloader section 50 are arranged side by side in this order in the first direction.

また、部品実装装置1は、搬送部600を備える。 The component mounting apparatus 1 also includes a transport section 600 .

搬送部600は、ローダ部10、ACF貼り付け部20、仮圧着部30、第1本圧着部41、第2本圧着部42、および、アンローダ部50に、基板500を搬送する装置である。 The transfer section 600 is a device that transfers the substrate 500 to the loader section 10 , the ACF attachment section 20 , the temporary pressure bonding section 30 , the first final pressure bonding section 41 , the second final pressure bonding section 42 , and the unloader section 50 .

搬送部600は、搬送アーム61~64と、エアシリンダ71、72と、基台80と、電動シリンダ90と、を備える。 The transport unit 600 includes transport arms 61 to 64 , air cylinders 71 and 72 , a base 80 and an electric cylinder 90 .

搬送アーム61~64は、基板500を保持して、第1方向に基板500を搬送するためのアームである。搬送アーム61~64は、基板500をつかむ(保持)又は離す機能を有する。搬送アーム61~64は、例えば、基板500を吸着してつかむための吸着パッドと、基台80、又はエアシリンダ71、72と接続している接続部と、を備える。 The transport arms 61 to 64 are arms for holding the substrate 500 and transporting the substrate 500 in the first direction. The transfer arms 61 to 64 have the function of grasping (holding) or releasing the substrate 500 . The transfer arms 61 to 64 include, for example, suction pads for holding the substrate 500 by suction, and connecting portions connected to the base 80 or the air cylinders 71 and 72 .

搬送アーム61、62は、例えば、基台80と接続されている。搬送アーム61、62は、基台80の動きに応じて駆動(つまり、移動)される。 The transfer arms 61 and 62 are connected to a base 80, for example. The transport arms 61 and 62 are driven (that is, moved) in accordance with the movement of the base 80 .

また、搬送アーム63は、例えば、エアシリンダ71と接続されている。搬送アーム61、62は、エアシリンダ71の動きに応じて駆動される。 Further, the transfer arm 63 is connected to an air cylinder 71, for example. The transfer arms 61 and 62 are driven according to the motion of the air cylinder 71 .

また、搬送アーム64は、例えば、エアシリンダ72と接続されている。搬送アーム61、62は、エアシリンダ72の動きに応じて駆動される。 Also, the transport arm 64 is connected to, for example, an air cylinder 72 . The transfer arms 61 and 62 are driven according to the motion of the air cylinder 72 .

エアシリンダ71、72は、エア(圧縮空気)が供給されることで、第1方向又は第1方向と反対側の方向である第2方向に駆動するエアシリンダである。エアシリンダ71、72は、搬送アーム61、62を駆動するピストン76(図6参照)を備える。また、エアシリンダ71、72(具体的には、後述するシリンダ75(図6参照))は、基台80に固定されている。 The air cylinders 71 and 72 are air cylinders that are driven in a first direction or in a second direction opposite to the first direction by being supplied with air (compressed air). The air cylinders 71 and 72 have pistons 76 (see FIG. 6) that drive the transfer arms 61 and 62 . Air cylinders 71 and 72 (specifically, cylinder 75 (see FIG. 6) described later) are fixed to base 80 .

なお、第1方向とは、エアシリンダ71、72が駆動される方向であって、搬送アーム61~64によって基板500が搬送される方向である。また、第2方向とは、エアシリンダ71、72が駆動される方向であって、第1方向とは反対方向である。 The first direction is the direction in which the air cylinders 71 and 72 are driven and the direction in which the substrate 500 is transported by the transport arms 61-64. The second direction is the direction in which the air cylinders 71 and 72 are driven, and is opposite to the first direction.

基台80は、搬送アーム61、62が接続され、且つ、エアシリンダ71、72が載置されている台である。基台80は、電動シリンダ90と接続されており、電動シリンダ90が駆動されることで、第1方向又は第2方向に駆動される。そのため、搬送アーム61、62および、エアシリンダ71、72は、電動シリンダ90の駆動に応じて、第1方向又は第2方向に駆動される。 The base 80 is a table to which the transfer arms 61 and 62 are connected and on which the air cylinders 71 and 72 are mounted. The base 80 is connected to an electric cylinder 90 and is driven in the first direction or the second direction by driving the electric cylinder 90 . Therefore, the transfer arms 61 and 62 and the air cylinders 71 and 72 are driven in the first direction or the second direction according to the driving of the electric cylinder 90 .

電動シリンダ90は、基台80と接続され、基台80を駆動させるためのシリンダである。電動シリンダ90は、例えば、電動モータを備え、当該電動モータによって電気的に駆動される。 The electric cylinder 90 is a cylinder that is connected to the base 80 and drives the base 80 . The electric cylinder 90 includes, for example, an electric motor and is electrically driven by the electric motor.

このように、搬送アーム61~64は、エアシリンダ71、72、および、電動シリンダ90が駆動されることで、第1方向又は第2方向に駆動される。 In this manner, the transport arms 61 to 64 are driven in the first direction or the second direction by driving the air cylinders 71 and 72 and the electric cylinder 90 .

また、部品実装装置1は、制御部100と、記憶部110と、通知部120と、取得部130と、を備える。 The component mounting apparatus 1 also includes a control section 100 , a storage section 110 , a notification section 120 and an acquisition section 130 .

制御部100は、部品実装装置1が備える各構成要素の動作を制御する制御装置である。制御部100は、部品実装装置1が備える各構成要素と制御線等により通信可能に接続されており、各構成要素の動作、当該動作のタイミング等を制御する。 The control unit 100 is a control device that controls the operation of each component included in the component mounting apparatus 1 . The control unit 100 is communicably connected to each component included in the component mounting apparatus 1 via a control line or the like, and controls the operation of each component, the timing of the operation, and the like.

例えば、制御部100は、搬送部600を制御することで、搬送部600に、ローダ部10、ACF貼り付け部20、仮圧着部30、第1本圧着部41、第2本圧着部42、および、アンローダ部50間で、基板500を搬送させる。具体的には、制御部100は、エアシリンダ71、72へのエアの供給を制御することで、搬送アーム63、64の駆動を制御する。 For example, the control unit 100 controls the transport unit 600 so that the transport unit 600 includes the loader unit 10, the ACF attaching unit 20, the temporary pressure bonding unit 30, the first final pressure bonding unit 41, the second final pressure bonding unit 42, Then, the substrate 500 is transferred between the unloader sections 50 . Specifically, the control unit 100 controls the driving of the transfer arms 63 and 64 by controlling the supply of air to the air cylinders 71 and 72 .

続いて、図2~図5を参照して、搬送部600による基板500の搬送動作の具体例について説明する。なお、図2~図5には、記憶部110等の部品実装装置1が備える構成要素の一部を省略して示している。 Next, a specific example of the transport operation of the substrate 500 by the transport unit 600 will be described with reference to FIGS. 2 to 5. FIG. 2 to 5, some of the components of the component mounting apparatus 1, such as the storage unit 110, are omitted.

図2は、実施の形態に係る部品実装装置1の動作の第1例を示す概略構成図である。 FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing a first example of operation of the component mounting apparatus 1 according to the embodiment.

例えば、仮圧着部30に位置する基板500を第1本圧着部41に搬送するとする。この場合、図2の(a)に示すように、制御部100は、仮圧着部30に位置する基板500を搬送アーム63によって保持させる。 For example, assume that the substrate 500 located at the temporary pressure bonding section 30 is transported to the first permanent pressure bonding section 41 . In this case, as shown in (a) of FIG. 2 , the control section 100 causes the transfer arm 63 to hold the substrate 500 positioned at the temporary pressure bonding section 30 .

次に、図2の(b)に示すように、制御部100は、電動シリンダ90を制御して基台80を第1方向に駆動させることで、搬送アーム63によって基板500を第1本圧着部41まで移動させる。 Next, as shown in (b) of FIG. 2 , the control unit 100 controls the electric cylinder 90 to drive the base 80 in the first direction, so that the substrate 500 is first pressed by the transfer arm 63 . Move to part 41 .

図3は、実施の形態に係る部品実装装置1の動作の第2例を示す概略構成図である。 FIG. 3 is a schematic configuration diagram showing a second example of operation of the component mounting apparatus 1 according to the embodiment.

例えば、仮圧着部30に位置する基板500を第2本圧着部42に搬送するとする。この場合、図3の(a)に示すように、制御部100は、仮圧着部30に位置する基板500を搬送アーム63によって保持させる。 For example, assume that the substrate 500 positioned at the temporary pressure bonding section 30 is transported to the second final pressure bonding section 42 . In this case, as shown in (a) of FIG. 3 , the control section 100 causes the transfer arm 63 to hold the substrate 500 positioned at the temporary pressure bonding section 30 .

次に、図3の(b)に示すように、制御部100は、電動シリンダ90を制御して基台80を第1方向に駆動させ、且つ、エアシリンダ71を制御して第1方向に駆動させることで、搬送アーム63によって基板500を第2本圧着部42まで移動させる。また、制御部100は、エアシリンダ71を駆動させる場合、エアシリンダ72も駆動させる。エアシリンダ71とエアシリンダ72とが同じ高さに位置している場合、エアシリンダ71のみを第1方向に駆動させたとき、エアシリンダ72に干渉(接触)する。このような干渉を防ぐために、制御部100は、エアシリンダ71を第1方向に駆動させる場合、エアシリンダもまた第1方向に駆動させる。 Next, as shown in (b) of FIG. 3, the control unit 100 controls the electric cylinder 90 to drive the base 80 in the first direction, and controls the air cylinder 71 to drive the base 80 in the first direction. By driving, the transfer arm 63 moves the substrate 500 to the second main pressure bonding portion 42 . When the air cylinder 71 is driven, the control unit 100 also drives the air cylinder 72 . When the air cylinder 71 and the air cylinder 72 are positioned at the same height, when only the air cylinder 71 is driven in the first direction, it interferes (contacts) with the air cylinder 72 . In order to prevent such interference, when the air cylinder 71 is driven in the first direction, the controller 100 also drives the air cylinder in the first direction.

図4は、実施の形態に係る部品実装装置1の動作の第3例を示す概略構成図である。 FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing a third example of operation of the component mounting apparatus 1 according to the embodiment.

例えば、第1本圧着部41に位置する基板500をアンローダ部50に搬送するとする。この場合、図4の(a)に示すように、制御部100は、第1本圧着部41に位置する基板500を搬送アーム64によって保持させる。 For example, assume that the substrate 500 located in the first main compression bonding section 41 is transported to the unloader section 50 . In this case, as shown in (a) of FIG. 4 , the control section 100 causes the transfer arm 64 to hold the substrate 500 positioned at the first main pressure bonding section 41 .

次に、図4の(b)に示すように、制御部100は、電動シリンダ90を制御して基台80を第1方向に駆動させ、且つ、エアシリンダ72を制御して第1方向に駆動させることで、搬送アーム64によって基板500をアンローダ部50まで移動させる。 Next, as shown in (b) of FIG. 4, the control unit 100 controls the electric cylinder 90 to drive the base 80 in the first direction, and controls the air cylinder 72 to drive the base 80 in the first direction. By driving, the transfer arm 64 moves the substrate 500 to the unloader section 50 .

図5は、実施の形態に係る部品実装装置1の動作の第4例を示す概略構成図である。 FIG. 5 is a schematic configuration diagram showing a fourth example of operation of the component mounting apparatus 1 according to the embodiment.

例えば、第2本圧着部42に位置する基板500をアンローダ部50に搬送するとする。この場合、図5の(a)に示すように、制御部100は、まず、エアシリンダ72を制御して第1方向へ駆動させることで、第2本圧着部42に位置する基板500を搬送アーム64によって保持させる。 For example, assume that the substrate 500 positioned at the second main compression unit 42 is transported to the unloader unit 50 . In this case, as shown in (a) of FIG. 5 , the control unit 100 first controls the air cylinder 72 to drive it in the first direction, thereby conveying the substrate 500 positioned at the second final pressure bonding unit 42 . It is held by arm 64 .

次に、図5の(b)に示すように、制御部100は、電動シリンダ90を制御して基台80を第1方向に駆動させることで、搬送アーム64によって基板500をアンローダ部50まで移動させる。 Next, as shown in (b) of FIG. 5 , the control unit 100 controls the electric cylinder 90 to drive the base 80 in the first direction, thereby transferring the substrate 500 to the unloader unit 50 by the transfer arm 64 . move.

以上のように、制御部100は、エアシリンダ71、72、および、電動シリンダ90を制御して駆動させることで、基板500を保持させた搬送アーム61~64を第1方向に駆動させて基板500を搬送させる。また、制御部100は、エアシリンダ71、72が備えるピストン76が単位時間あたり所定の移動量(言い換えると、距離)動くようにエアシリンダ71、72へのエアの供給を行うことが可能である。 As described above, the control unit 100 controls and drives the air cylinders 71 and 72 and the electric cylinder 90, thereby driving the transfer arms 61 to 64 holding the substrate 500 in the first direction to move the substrate. 500 is transported. Further, the control unit 100 can supply air to the air cylinders 71 and 72 so that the pistons 76 provided in the air cylinders 71 and 72 move by a predetermined movement amount (in other words, distance) per unit time. .

また、制御部100は、例えば、非常停止信号を受信した場合には、エアシリンダ71、72へのエアの供給を遮断することにより、エアシリンダ71、72内を大気圧にして搬送アーム63、64の駆動を停止させる。 Further, for example, when an emergency stop signal is received, the control unit 100 cuts off the supply of air to the air cylinders 71 and 72 so that the insides of the air cylinders 71 and 72 are brought to the atmospheric pressure and the transfer arms 63 and 72 are moved. 64 is stopped.

ここで、非常停止信号とは、部品実装装置1の動作を停止させる指示を含む信号である。制御部100は、例えば、取得部130によってオペレータから部品実装装置1の動作を停止させるための信号を受信する。 Here, the emergency stop signal is a signal including an instruction to stop the operation of the component mounting apparatus 1 . For example, the acquisition unit 130 of the control unit 100 receives a signal for stopping the operation of the component mounting apparatus 1 from the operator.

また、制御部100は、第1センサ400(図6参照)および第2センサ410(図6参照)の検知結果に基づき、ピストン76(図6参照)が第1方向の限界位置または第2方向の限界位置のいずれかの限界位置に位置する場合には、ピストン76がその位置する一方の限界位置から他方の限界位置に動かないように、エアシリンダ71、72へのエアの供給を再開させる第2復帰処理を行う。 Based on the detection results of the first sensor 400 (see FIG. 6) and the second sensor 410 (see FIG. 6), the control unit 100 determines whether the piston 76 (see FIG. 6) is at the limit position in the first direction or in the second direction. , the supply of air to the air cylinders 71 and 72 is resumed so that the piston 76 does not move from one limit position to the other limit position. A second recovery process is performed.

一方、制御部100は、第1センサ400および第2センサ410の検知結果に基づき、ピストン76が第1方向の限界位置または第2方向の限界位置のいずれにも位置しない場合には、ピストン76の単位時間あたりの移動量が所定の移動量よりも小さくなるようにエアシリンダ70へのエアの供給を再開させてからピストン76を第1方向の限界位置または第2方向の限界位置に動かす第1復帰処理を行う。 On the other hand, based on the detection results of the first sensor 400 and the second sensor 410, if the piston 76 is not positioned at the limit position in the first direction or the limit position in the second direction, the control unit 100 Air supply to the air cylinder 70 is resumed so that the movement amount per unit time becomes smaller than the predetermined movement amount, and then the piston 76 is moved to the limit position in the first direction or the limit position in the second direction. 1 Perform return processing.

なお、所定の移動量は、エアシリンダ71、72のサイズ、エアシリンダ70に供給されるエアの供給量等により決定される距離(長さ)である。所定の移動量は、任意に決定されてよい。制御部100は、例えば、単位時間あたりにエアシリンダ70に供給されるエアの供給量を、搬送アーム60によって基板500を搬送させる場合と、復帰処理とでは、変更させない。制御部100は、例えば、後述する第2電磁弁220(図6参照)および後述する第3電磁弁230(図6参照)の開閉の制御を変更することで、ピストン76の単位時間あたりの移動量を所定の移動量を、搬送アーム60によって基板500を搬送させる場合と、復帰処理とで、変更させる。 The predetermined amount of movement is a distance (length) determined by the sizes of the air cylinders 71 and 72, the amount of air supplied to the air cylinder 70, and the like. The predetermined amount of movement may be determined arbitrarily. For example, the control unit 100 does not change the amount of air supplied to the air cylinder 70 per unit time between when the substrate 500 is transported by the transport arm 60 and during the return process. For example, the control unit 100 changes the opening/closing control of a second electromagnetic valve 220 (see FIG. 6) described later and a third electromagnetic valve 230 (see FIG. 6) described later, thereby controlling the movement of the piston 76 per unit time. A predetermined amount of movement is changed between the case where the substrate 500 is transferred by the transfer arm 60 and the return process.

制御部100は、例えば、図1に示す記憶部110に記憶されている制御プログラムと、当該制御プログラムを実行するCPU(Central Processing Unit)等のプロセッサと、によって実現される。 The control unit 100 is implemented, for example, by a control program stored in the storage unit 110 shown in FIG. 1 and a processor such as a CPU (Central Processing Unit) that executes the control program.

再び図1を参照し、記憶部110は、制御部100が実行する制御プログラムを記憶する記憶装置である。記憶部110は、例えば、ROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)等のメモリにより実現される。 Referring to FIG. 1 again, storage unit 110 is a storage device that stores control programs executed by control unit 100 . The storage unit 110 is implemented by a memory such as a ROM (Read Only Memory) or a RAM (Random Access Memory).

通知部120は、部品実装装置1を利用するオペレータ(ユーザ)等に部品実装装置1の動作状態を通知するための装置である。通知部120は、部品実装装置1の動作状態を通知することができればよく、例えば、画像を表示するディスプレイでもよいし、音を発するスピーカでもよい。 The notification unit 120 is a device for notifying an operator (user) or the like who uses the component mounting apparatus 1 of the operating state of the component mounting apparatus 1 . The notification unit 120 only needs to be able to notify the operating state of the component mounting apparatus 1. For example, the notification unit 120 may be a display that displays an image or a speaker that emits sound.

取得部130は、部品実装装置1の動作を停止させる指示を含む信号である非常停止信号、又は、非常停止させた部品実装装置1の動作を再開させる指示を含むリセット信号等を取得する。 The acquisition unit 130 acquires an emergency stop signal, which is a signal including an instruction to stop the operation of the component mounting apparatus 1, or a reset signal including an instruction to restart the operation of the component mounting apparatus 1 that has been stopped in an emergency.

取得部130は、オペレータが操作することで、非常停止信号、又は、リセット信号等を制御部100に送信するためのボタンでもよい。また、例えば、ローダ部10、ACF貼り付け部20、仮圧着部30、第1本圧着部41、第2本圧着部42、および、アンローダ部50のそれぞれが、開閉可能な扉部および当該扉部が開放されたか否かを検知して非常停止信号、又は、リセット信号等を送信するセンサ部を備える場合、取得部130は、当該センサ部から非常停止信号、又は、リセット信号等を受信するための通信インターフェースでもよい。 The acquisition unit 130 may be a button for transmitting an emergency stop signal, a reset signal, or the like to the control unit 100 by being operated by an operator. Further, for example, each of the loader section 10, the ACF attaching section 20, the temporary pressure bonding section 30, the first final pressure bonding section 41, the second final pressure bonding section 42, and the unloader section 50 has an openable and closable door portion and the door. If a sensor unit that detects whether the unit is opened and transmits an emergency stop signal or a reset signal is provided, the acquisition unit 130 receives the emergency stop signal or reset signal from the sensor unit. It may be a communication interface for

制御部100は、例えば、取得部130を介して非常停止信号を受信した場合、駆動させている搬送部600等の部品実装装置1が備える各装置の動作を停止させる。また、制御部100は、例えば、取得部130を介してリセット信号を受信した場合、停止させている搬送部600等の部品実装装置1が備える各装置の動作を再開させる。 For example, when an emergency stop signal is received via the acquisition unit 130, the control unit 100 stops the operation of each device provided in the component mounting apparatus 1 such as the conveying unit 600 that is being driven. Further, for example, when a reset signal is received via the acquisition unit 130, the control unit 100 restarts the operation of each device included in the component mounting apparatus 1 such as the conveying unit 600 that has been stopped.

続いて、エアシリンダ71、72を駆動させるための構成の詳細について説明する。 Next, the details of the configuration for driving the air cylinders 71 and 72 will be described.

図6は、実施の形態に係る部品実装装置1が備えるエアシリンダ70を駆動するための構成の詳細を説明するための概略構成図である。なお、図6には、図1に示す部品実装装置1が備えるローダ部10、ACF貼り付け部20等の構成要素の一部を省略して示している。また、図6には、図1に示すエアシリンダ71、72をまとめてエアシリンダ70と呼称して示している。また、図6には、図1に示す搬送アーム63、64をまとめて搬送アーム60と呼称して示している。 FIG. 6 is a schematic configuration diagram for explaining the details of the configuration for driving the air cylinder 70 provided in the component mounting apparatus 1 according to the embodiment. Note that FIG. 6 omits some of the constituent elements such as the loader section 10 and the ACF attaching section 20 provided in the component mounting apparatus 1 shown in FIG. 6, the air cylinders 71 and 72 shown in FIG. 1 are collectively referred to as an air cylinder 70. As shown in FIG. 6, the transfer arms 63 and 64 shown in FIG. 1 are collectively referred to as a transfer arm 60. As shown in FIG.

図6に示すように、部品実装装置1は、搬送アーム60と、エアシリンダ70と、エア源200と、第1電磁弁210と、第2電磁弁220と、第3電磁弁230と、速度制御弁250と、速度制御弁251と、第1エア配管300と、第2エア配管310と、第3エア配管320と、第1センサ400と、第2センサ410と、を備える。 As shown in FIG. 6, the component mounting apparatus 1 includes a transfer arm 60, an air cylinder 70, an air source 200, a first solenoid valve 210, a second solenoid valve 220, a third solenoid valve 230, a speed A control valve 250 , a speed control valve 251 , a first air pipe 300 , a second air pipe 310 , a third air pipe 320 , a first sensor 400 and a second sensor 410 are provided.

エアシリンダ70は、基板500を搬送するための搬送アーム60を駆動する。エアシリンダ70は、シリンダ75と、ピストン76と、を備える。 Air cylinder 70 drives transfer arm 60 for transferring substrate 500 . The air cylinder 70 has a cylinder 75 and a piston 76 .

シリンダ75は、第1方向に長尺な筒体である。シリンダ75は、密閉されており、内部に供給されたエアが外部に放出されない。 The cylinder 75 is a cylinder elongated in the first direction. The cylinder 75 is hermetically sealed so that the air supplied inside is not released to the outside.

ピストン76は、搬送アーム60と接続されており、第1方向又は第2方向に駆動する。具体的には、ピストン76は、シリンダ75内の空間をエアが移動不可能なように分割する端部77を有する。シリンダ75の行き限73側にエアが供給された場合、端部77がエアの圧力によって、戻り限74側、つまり、第2方向に駆動されることで、ピストン76全体が第2方向に駆動される。また、シリンダ75の戻り限74側にエアが供給された場合、端部77がエアの圧力によって、行き限73側、つまり、第1方向に駆動されることで、ピストン76全体が第1方向に駆動される。 A piston 76 is connected to the transfer arm 60 and drives in a first direction or a second direction. Specifically, the piston 76 has an end 77 that divides the space within the cylinder 75 such that air cannot move. When air is supplied to the travel limit 73 side of the cylinder 75, the end portion 77 is driven by the pressure of the air toward the return limit 74 side, that is, in the second direction, thereby driving the entire piston 76 in the second direction. be done. Further, when air is supplied to the return limit 74 side of the cylinder 75, the end portion 77 is driven by the pressure of the air toward the travel limit 73 side, that is, in the first direction, so that the entire piston 76 moves in the first direction. driven by

端部77は、シリンダ75内に位置し、シリンダ75内にエアが供給された場合、エアの圧力によって行き限73または戻り限74に駆動されるピストン76の一部である。 The end portion 77 is the part of the piston 76 which is located within the cylinder 75 and which is driven to the travel limit 73 or the return limit 74 by the pressure of the air when the cylinder 75 is supplied with air.

行き限73は、ピストン76(具体的には、ピストン76の端部77)がシリンダ75内で第1方向に移動できる限界位置である。 The travel limit 73 is the limit position to which the piston 76 (specifically, the end 77 of the piston 76) can move within the cylinder 75 in the first direction.

戻り限74は、ピストン76(具体的には、ピストン76の端部77)がシリンダ75内で第2方向に移動できる限界位置である。 Return limit 74 is the limit position at which piston 76 (specifically, end 77 of piston 76) can move within cylinder 75 in the second direction.

エア源200は、エアシリンダ70にエアを供給するためのエアの供給源である。エア源200は、例えば、エアシリンダ70に供給されるエアが充填されたエアタンクである。 The air source 200 is an air supply source for supplying air to the air cylinder 70 . The air source 200 is, for example, an air tank filled with air to be supplied to the air cylinder 70 .

第1電磁弁210は、第1エア配管300の途中に設けられ、エア源200からのエアを供給と停止とを切り替えるための電磁弁である。具体的には、第1電磁弁210は、第1エア配管300における、エア源200とエアシリンダ70との間に設けられ、エア源200からのエアのエアシリンダ70への供給と停止(エアの供給の遮断)とを制御するための電磁弁である。 The first solenoid valve 210 is provided in the middle of the first air pipe 300 and is a solenoid valve for switching between supplying and stopping the air from the air source 200 . Specifically, the first solenoid valve 210 is provided between the air source 200 and the air cylinder 70 in the first air pipe 300 to supply and stop the supply of air from the air source 200 to the air cylinder 70 (air It is a solenoid valve for controlling the cutoff of the supply of

第1電磁弁210は、第1供給弁211と第1排気弁212とを備える。 The first electromagnetic valve 210 has a first supply valve 211 and a first exhaust valve 212 .

第1供給弁211は、第1エア配管300における、エア源200とエアシリンダ70との間に設けられ、エア源200からのエアのエアシリンダ70への供給と停止とを切り替えるための電磁弁である。 The first supply valve 211 is provided between the air source 200 and the air cylinder 70 in the first air pipe 300, and is an electromagnetic valve for switching between supplying and stopping the supply of air from the air source 200 to the air cylinder 70. is.

第1排気弁212は、第1エア配管300、および、エアシリンダ70内のエアを抜く、つまり、第1エア配管300、および、エアシリンダ70内を大気圧に戻すための電磁弁である。 The first exhaust valve 212 is an electromagnetic valve for extracting the air in the first air pipe 300 and the air cylinder 70, that is, returning the inside of the first air pipe 300 and the air cylinder 70 to the atmospheric pressure.

第2電磁弁220は、第2エア配管310の途中に設けられ、エア源200からのエアを供給と停止とを切り替えるための電磁弁である。具体的には、第2電磁弁220は、第2エア配管310における、エア源200(具体的には、第1エア配管300)とエアシリンダ70との間に設けられ、第1エア配管300からのエアのエアシリンダ70への供給と停止とを切り替えるための電磁弁である。 The second solenoid valve 220 is provided in the middle of the second air pipe 310 and is a solenoid valve for switching between supplying and stopping the air from the air source 200 . Specifically, the second solenoid valve 220 is provided between the air source 200 (specifically, the first air pipe 300) and the air cylinder 70 in the second air pipe 310, and the first air pipe 300 It is a solenoid valve for switching supply and stop of the air from the air cylinder 70 to the air cylinder 70 .

第2電磁弁220は、第2供給弁221と第2排気弁222とを備える。 The second electromagnetic valve 220 has a second supply valve 221 and a second exhaust valve 222 .

第2供給弁221は、第2エア配管310における、第1エア配管300とエアシリンダ70との間に設けられ、第1エア配管300からのエアのエアシリンダ70への供給と停止とを切り替えるための電磁弁である。 The second supply valve 221 is provided between the first air pipe 300 and the air cylinder 70 in the second air pipe 310, and switches between supplying and stopping the air from the first air pipe 300 to the air cylinder 70. It is a solenoid valve for

第2排気弁222は、第2エア配管310、および、エアシリンダ70内のエアを抜く、つまり、第2エア配管310、および、エアシリンダ70内を大気圧に戻すための電磁弁である。 The second exhaust valve 222 is an electromagnetic valve for extracting air from the second air pipe 310 and the air cylinder 70, that is, returning the inside of the second air pipe 310 and the air cylinder 70 to the atmospheric pressure.

第3電磁弁230は、第3エア配管320の途中に設けられ、エア源200からのエアの供給と停止とを切り替えるための電磁弁である。具体的には、第3電磁弁230は、第3エア配管320における、エア源200(具体的には、第1エア配管300)とエアシリンダ70との間に設けられ、第1エア配管300からのエアのエアシリンダ70への供給と停止とを切り替えるための電磁弁である。 The third solenoid valve 230 is provided in the middle of the third air pipe 320 and is a solenoid valve for switching between supply and stop of air supply from the air source 200 . Specifically, the third solenoid valve 230 is provided between the air source 200 (specifically, the first air pipe 300) and the air cylinder 70 in the third air pipe 320, and the first air pipe 300 It is a solenoid valve for switching supply and stop of the air from the air cylinder 70 to the air cylinder 70 .

第3電磁弁230は、第3供給弁231と第3排気弁232とを備える。 The third solenoid valve 230 has a third supply valve 231 and a third exhaust valve 232 .

第3供給弁231は、第3エア配管320における、第1エア配管300とエアシリンダ70との間に設けられ、第1エア配管300からのエアのエアシリンダ70への供給と停止とを切り替えるための電磁弁である。 The third supply valve 231 is provided between the first air pipe 300 and the air cylinder 70 in the third air pipe 320, and switches between supplying and stopping the air from the first air pipe 300 to the air cylinder 70. It is a solenoid valve for

第3排気弁232は、第3エア配管320、および、エアシリンダ70内のエアを抜く、つまり、第3エア配管320、および、エアシリンダ70内を大気圧に戻すための電磁弁である。 The third exhaust valve 232 is an electromagnetic valve for extracting air from the third air pipe 320 and the air cylinder 70, that is, returning the inside of the third air pipe 320 and the air cylinder 70 to the atmospheric pressure.

制御部100は、第2電磁弁220(より具体的には、第2供給弁221)または第3電磁弁230(より具体的には、第3供給弁231)の一方を開放し、且つ、他方を閉塞させることで、ピストン76を第1方向または第2方向に駆動(つまり、移動)させる。 The control unit 100 opens one of the second electromagnetic valve 220 (more specifically, the second supply valve 221) or the third electromagnetic valve 230 (more specifically, the third supply valve 231), and Closing the other drives (that is, moves) the piston 76 in the first or second direction.

速度制御弁250は、第2エア配管310の途中に設けられ、ピストン76の移動速度を制御するための弁である。具体的には、速度制御弁250は、第2電磁弁220およびエアシリンダ70の間に設けられ、逆止め弁と絞り弁とを並列に組み合わせた構造を備える。速度制御弁250は、エアシリンダ70内の戻り限74側の空間である第1空間78からのエアの排出量を絞り弁で制御することによりピストン76の移動速度を制御する。なお、速度制御弁250は、エアシリンダ70内の戻り限74側の空間である第1空間78へのエアの供給量を絞り弁で制御することによりピストン76の移動速度を制御するようにしてもよい。 The speed control valve 250 is provided in the middle of the second air pipe 310 and is a valve for controlling the moving speed of the piston 76 . Specifically, the speed control valve 250 is provided between the second solenoid valve 220 and the air cylinder 70, and has a structure in which a check valve and a throttle valve are combined in parallel. The speed control valve 250 controls the moving speed of the piston 76 by controlling the amount of air discharged from the first space 78 which is the space on the return limit 74 side in the air cylinder 70 with a throttle valve. The speed control valve 250 controls the moving speed of the piston 76 by controlling the amount of air supplied to the first space 78, which is the space on the return limit 74 side in the air cylinder 70, with a throttle valve. good too.

速度制御弁251は、第3エア配管320の途中に設けられ、ピストン76の移動速度を制御するための弁である。具体的には、速度制御弁251は、第3電磁弁230およびエアシリンダ70の間に設けられ、逆止め弁と絞り弁とを並列に組み合わせた構造を備える。速度制御弁251は、エアシリンダ70内の行き限73側の空間である第2空間79からのエアの排出量を絞り弁で制御することによりピストン76の移動速度を制御する。なお、速度制御弁251は、エアシリンダ70内の行き限73側の空間である第2空間79へのエアの供給量を絞り弁で制御することによりピストン76の移動速度を制御するようにしてもよい。 The speed control valve 251 is provided in the middle of the third air pipe 320 and is a valve for controlling the moving speed of the piston 76 . Specifically, the speed control valve 251 is provided between the third solenoid valve 230 and the air cylinder 70, and has a structure in which a check valve and a throttle valve are combined in parallel. The speed control valve 251 controls the moving speed of the piston 76 by controlling the amount of air discharged from the second space 79 which is the space on the travel end 73 side in the air cylinder 70 with a throttle valve. The speed control valve 251 controls the moving speed of the piston 76 by controlling the amount of air supplied to the second space 79, which is the space on the travel end 73 side in the air cylinder 70, by means of a throttle valve. good too.

第1エア配管300、第2エア配管310、および、第3エア配管320は、エア源200から供給されたエアが通過する配管である。第1エア配管300は、エア源200に接続されている。具体的には、第1エア配管300は、一端がエア源200と接続されており、他端が分岐して第2エア配管310および第3エア配管320と接続されている。 The first air pipe 300, the second air pipe 310, and the third air pipe 320 are pipes through which the air supplied from the air source 200 passes. The first air pipe 300 is connected to the air source 200 . Specifically, first air pipe 300 has one end connected to air source 200 and the other end branched and connected to second air pipe 310 and third air pipe 320 .

第2エア配管310は、一端が第1エア配管300を介してエア源200と接続されており、他端がエアシリンダ70(具体的には、第1空間78)と接続されている。第2エア配管310は、第1エア配管300の第1電磁弁210の下流側で分岐され、ピストン76を第1方向に動かすためのエアをエアシリンダ70に供給するための配管である。 The second air pipe 310 has one end connected to the air source 200 via the first air pipe 300, and the other end connected to the air cylinder 70 (specifically, the first space 78). The second air pipe 310 branches off from the first air pipe 300 downstream of the first solenoid valve 210 and is a pipe for supplying the air cylinder 70 with air for moving the piston 76 in the first direction.

第3エア配管320は、一端が第1エア配管300を介してエア源200と接続されており、他端がエアシリンダ70(具体的には、第2空間79)と接続されている。第3エア配管320は、第1エア配管300の第1電磁弁210の下流側で分岐され、ピストン76を第2方向に動かすためのエアをエアシリンダ70に供給するための配管である。 The third air pipe 320 has one end connected to the air source 200 via the first air pipe 300 and the other end connected to the air cylinder 70 (specifically, the second space 79). The third air pipe 320 branches off from the first air pipe 300 downstream of the first electromagnetic valve 210 and is a pipe for supplying the air cylinder 70 with air for moving the piston 76 in the second direction.

第1センサ400および第2センサ410は、それぞれエアシリンダ70におけるピストン76の位置を検知するためのセンサである。 A first sensor 400 and a second sensor 410 are sensors for detecting the position of the piston 76 in the air cylinder 70, respectively.

具体的には、第1センサ400は、ピストン76が第1方向の限界位置に位置することを検知するためのセンサである。より具体的には、第1センサ400は、ピストン76における端部77が行き限73に位置しているか否かを検知するためのセンサである。第1センサ400に採用されるセンサの種類は、ピストン76における端部77が行き限73に位置しているか否かを検知することができればよく、特に限定されない。例えば、第1センサ400に採用されるセンサの種類は、磁気センサである。 Specifically, the first sensor 400 is a sensor for detecting that the piston 76 is positioned at the limit position in the first direction. More specifically, first sensor 400 is a sensor for detecting whether or not end 77 of piston 76 is positioned at travel limit 73 . The type of sensor employed for the first sensor 400 is not particularly limited as long as it can detect whether or not the end portion 77 of the piston 76 is positioned at the travel limit 73 . For example, the type of sensor employed for first sensor 400 is a magnetic sensor.

第2センサ410は、ピストン76の第1方向と反対側の第2方向の限界位置に位置することを検知するためのセンサである。より具体的には、第2センサ410は、ピストン76における端部77が戻り限74に位置しているか否かを検知するためのセンサである。第2センサ410に採用されるセンサの種類は、ピストン76における端部77が戻り限74に位置しているか否かを検知することができればよく、特に限定されない。例えば、第2センサ410に採用されるセンサの種類は、磁気センサである。 The second sensor 410 is a sensor for detecting that the piston 76 is positioned at the limit position in the second direction opposite to the first direction. More specifically, the second sensor 410 is a sensor for detecting whether or not the end 77 of the piston 76 is positioned at the return limit 74 . The type of sensor employed for the second sensor 410 is not particularly limited as long as it can detect whether or not the end portion 77 of the piston 76 is positioned at the return limit 74 . For example, the type of sensor employed for second sensor 410 is a magnetic sensor.

制御部100は、第1センサ400および第2センサ410の検知結果に基づいて、第1電磁弁210、第2電磁弁220、第3電磁弁230、および、速度制御弁250、251の開閉を制御することで、エアシリンダ70へのエア源200からのエアの供給を制御することで、ピストン76に接続された搬送アーム60の駆動を制御する。 Control unit 100 opens and closes first solenoid valve 210, second solenoid valve 220, third solenoid valve 230, and speed control valves 250 and 251 based on the detection results of first sensor 400 and second sensor 410. By controlling the supply of air from the air source 200 to the air cylinder 70 , the drive of the carrier arm 60 connected to the piston 76 is controlled.

例えば、制御部100は、非常停止信号を受信した場合には、第1電磁弁210を制御してエアシリンダ70へのエアの供給を遮断することにより、エアシリンダ70内を大気圧にして搬送アーム60の駆動を停止させる。また、例えば、制御部100は、第1センサ400および第2センサ410の検知結果に基づき、ピストン76が行き限73または戻り限74に位置する場合に、第2電磁弁220および第3電磁弁230の状態をピストン76の位置に対応するように制御する。 For example, when the control unit 100 receives an emergency stop signal, the controller 100 controls the first electromagnetic valve 210 to cut off the air supply to the air cylinder 70, thereby making the inside of the air cylinder 70 atmospheric pressure and conveying. Stop driving the arm 60 . Further, for example, based on the detection results of the first sensor 400 and the second sensor 410, the control unit 100 controls the second solenoid valve 220 and the third solenoid valve Control the state of 230 to correspond to the position of the piston 76 .

ここで、「ピストン76の位置に対応するように制御する」とは、例えば、制御部100が、搬送アーム60の駆動を再開させる場合に、ピストン76が行き限73にあるとき、第2電磁弁220を、エアをエアシリンダ70に供給可能な状態であるON状態にし、且つ、第3電磁弁230を、エアをエアシリンダ70に供給不可能な状態であるOFF状態にする制御である。また、「ピストン76の位置に対応するように制御する」とは、例えば、制御部100が、搬送アーム60の駆動を再開させる場合に、ピストン76が戻り限74にあるとき、第2電磁弁220を、エアをエアシリンダ70に供給不可能な状態であるOFF状態にし、且つ、第3電磁弁230を、エアをエアシリンダ70に供給可能な状態であるON状態にする制御である。こうすることで、制御部100は、エアシリンダ70へのエアの供給を開始させた場合に、行き限73または戻り限74に位置するピストン76を、ピストン76が位置する方向に駆動させるように制御する。そのため、ピストン76は、エアシリンダ70にエアの供給が開始された直後は、駆動されない。そのため、ピストン76を駆動させずに、エアシリンダ70内をエア(圧縮空気)で満たすことができる。 Here, "to control so as to correspond to the position of the piston 76" means that, for example, when the control unit 100 restarts the driving of the transfer arm 60 and the piston 76 is at the travel limit 73, the second electromagnetic This is control to turn the valve 220 to the ON state in which air can be supplied to the air cylinder 70 and to turn the third electromagnetic valve 230 to the OFF state to prevent air from being supplied to the air cylinder 70 . Further, "to control so as to correspond to the position of the piston 76" means that, for example, when the control unit 100 restarts the driving of the transfer arm 60 and the piston 76 is at the return limit 74, the second electromagnetic valve 220 is turned OFF, in which air cannot be supplied to the air cylinder 70, and the third electromagnetic valve 230 is turned ON, in which air can be supplied to the air cylinder 70. In this way, when the air supply to the air cylinder 70 is started, the control unit 100 drives the piston 76 positioned at the travel limit 73 or the return limit 74 in the direction in which the piston 76 is positioned. Control. Therefore, the piston 76 is not driven immediately after the supply of air to the air cylinder 70 is started. Therefore, the inside of the air cylinder 70 can be filled with air (compressed air) without driving the piston 76 .

また、例えば、制御部100は、エアシリンダ70内を大気圧にして停止させた後の第1復帰処理では、ピストン76が行き限73または戻り限74のいずれにも移動しないように、第2電磁弁220と第3電磁弁230との開閉を交互に切り替える。制御部100は、ピストン76が行き限73または戻り限74のいずれにも移動しないように、第2電磁弁220と第3電磁弁230との開閉を交互に切り替えた後で、さらに、第2電磁弁220または第3電磁弁230を開放させて、行き限73または戻り限74のいずれかにピストン76を移動させる。 Further, for example, in the first return process after the air cylinder 70 is brought to atmospheric pressure and stopped, the control unit 100 controls the second return process so that the piston 76 does not move to either the travel limit 73 or the return limit 74 . The opening and closing of the solenoid valve 220 and the third solenoid valve 230 are alternately switched. After alternately switching the opening and closing of the second solenoid valve 220 and the third solenoid valve 230 so that the piston 76 does not move to either the travel limit 73 or the return limit 74, the control unit 100 further opens and closes the second solenoid valve 220 and the third solenoid valve 230. The solenoid valve 220 or the third solenoid valve 230 is opened to move the piston 76 to either the travel limit 73 or the return limit 74 .

なお、制御部100は、復帰処理後に行き限73または戻り限74のいずれにピストン76を移動させてもよい。例えば、制御部100は、ピストン76を非常停止させる際に、最後にピストン76を第1方向に移動させたか(つまり、第2電磁弁220を開放させたか)、第2方向に移動させたか(つまり、第3電磁弁230を開放させたか)、を記憶部110に記憶させてもよい。制御部100は、復帰処理後に、ピストン76を非常停止させる際に最後にピストン76を駆動させた方向へ駆動させるように、第2電磁弁220および第3電磁弁230を制御してもよい。 Note that the control unit 100 may move the piston 76 to either the travel limit 73 or the return limit 74 after the return process. For example, when the piston 76 is brought to an emergency stop, the control unit 100 determines whether the piston 76 was finally moved in the first direction (that is, whether the second solenoid valve 220 was opened) or in the second direction ( That is, whether the third electromagnetic valve 230 was opened) may be stored in the storage unit 110 . The control unit 100 may control the second solenoid valve 220 and the third solenoid valve 230 so as to drive the piston 76 in the direction in which it was last driven when emergency stopping the piston 76 after the return process.

図7は、実施の形態に係る部品実装装置1が備える第1電磁弁210、第2電磁弁220、および、第3電磁弁230の動作状態を説明するための表である。 FIG. 7 is a table for explaining operating states of the first electromagnetic valve 210, the second electromagnetic valve 220, and the third electromagnetic valve 230 included in the component mounting apparatus 1 according to the embodiment.

図7に示すように、制御部100は、搬送アーム60を第1方向に駆動させる場合、第1電磁弁210における第1供給弁211を開状態(開放状態)にし、且つ、第1排気弁212を閉状態(閉塞状態)にすることで、第1電磁弁210を、エアをエア源200からエアシリンダ70へ供給可能な状態であるON状態とする。こうすることで、エアは、エア源200から第1エア配管300へ供給されて、第1エア配管300内を通過する。また、例えば、制御部100は、第2電磁弁220における第2供給弁221を開状態にし、且つ、第2排気弁222を閉状態にすることで、第2電磁弁220を、エアをエア源200からエアシリンダ70へ供給可能な状態であるON状態とする。こうすることで、エアは、第1エア配管300から第2エア配管310に供給されて、第2エア配管310内を通過し、さらに、エアシリンダ70内の第1空間78に供給される。一方、例えば、制御部100は、第3電磁弁230における第3供給弁231を閉状態にし、且つ、第3排気弁232を開状態にすることで、第3電磁弁230を、エアをエア源200からエアシリンダ70へ供給不可能な状態であるOFF状態とする。こうすることで、エアは、エアシリンダ70の第2空間79には供給されない。そのため、ピストン76は、第1方向に駆動される。これにより、搬送アーム60は、第1方向に駆動される。 As shown in FIG. 7, when the transfer arm 60 is driven in the first direction, the control unit 100 opens (opens) the first supply valve 211 in the first electromagnetic valve 210, and opens the first exhaust valve. 212 is closed (closed state), the first electromagnetic valve 210 is turned ON, in which air can be supplied from the air source 200 to the air cylinder 70 . By doing so, air is supplied from the air source 200 to the first air pipe 300 and passes through the first air pipe 300 . Further, for example, the control unit 100 opens the second supply valve 221 of the second solenoid valve 220 and closes the second exhaust valve 222 , thereby causing the second solenoid valve 220 to operate as air. It is in the ON state in which the supply of air from the source 200 to the air cylinder 70 is possible. By doing so, the air is supplied from the first air pipe 300 to the second air pipe 310 , passes through the second air pipe 310 , and is further supplied to the first space 78 inside the air cylinder 70 . On the other hand, for example, the control unit 100 closes the third supply valve 231 of the third solenoid valve 230 and opens the third exhaust valve 232, thereby causing the third solenoid valve 230 to operate as air. The OFF state is set in which the supply of air from the source 200 to the air cylinder 70 is disabled. By doing so, air is not supplied to the second space 79 of the air cylinder 70 . As such, the piston 76 is driven in the first direction. Thereby, the transport arm 60 is driven in the first direction.

また、制御部100は、搬送アーム60を第2方向に駆動させる場合、第1供給弁211を開状態にし、第1排気弁212を閉状態し、第2供給弁221を閉状態にし、第2排気弁222を開状態にし、第3供給弁231を開状態にし、且つ、第3排気弁232を閉状態にする。こうすることで、エアは、エアシリンダ70の第2空間79には供給され、且つ、第1空間78には供給されない。そのため、ピストン76は、第2方向に駆動される。これにより、搬送アーム60は、第2方向に駆動される。 Further, when driving the transfer arm 60 in the second direction, the control unit 100 opens the first supply valve 211, closes the first exhaust valve 212, closes the second supply valve 221, and closes the second supply valve 221. The second exhaust valve 222 is opened, the third supply valve 231 is opened, and the third exhaust valve 232 is closed. By doing so, air is supplied to the second space 79 of the air cylinder 70 and not supplied to the first space 78 . As such, the piston 76 is driven in the second direction. Thereby, the transport arm 60 is driven in the second direction.

また、制御部100は、搬送アーム60を第1方向に駆動中に停止させる場合、第1供給弁211を閉状態にし、第1排気弁212を開状態にする。こうすることで、制御部100は、エアシリンダ70にエア源200からエアが供給されない状態とする。また、制御部100は、第2供給弁221を開状態にし、第2排気弁222を閉状態にし、第3供給弁231を閉状態にし、且つ、第3排気弁232を開状態にする。こうすることで、エアシリンダ70の駆動を再開させる場合に、制御部100は、第2電磁弁220および第3電磁弁230を制御することなく、第1電磁弁210の制御だけで、すぐに、停止時と同様に、搬送アーム60を第1方向に駆動させることができる。 When the transport arm 60 is stopped while being driven in the first direction, the control unit 100 closes the first supply valve 211 and opens the first exhaust valve 212 . By doing so, the control unit 100 brings the air cylinder 70 into a state in which air is not supplied from the air source 200 . Further, the control unit 100 opens the second supply valve 221 , closes the second exhaust valve 222 , closes the third supply valve 231 , and opens the third exhaust valve 232 . In this way, when the air cylinder 70 is to be restarted, the control unit 100 only controls the first solenoid valve 210 without controlling the second solenoid valve 220 and the third solenoid valve 230, and immediately , the transfer arm 60 can be driven in the first direction in the same manner as when stopped.

また、制御部100は、搬送アーム60を第2方向に駆動中に停止させる場合、第1供給弁211を閉状態にし、第1排気弁212を開状態にすることで、第1電磁弁210を、エアをエア源200からエアシリンダ70へ供給不可能な状態であるOFF状態とする。こうすることで、制御部100は、エアシリンダ70にエア源200からエアが供給されない状態とする。また、制御部100は、第2供給弁221を閉状態にし、第2排気弁222を開状態にし、第3供給弁231を開状態にし、且つ、第3排気弁232を閉状態にする。こうすることで、エアシリンダ70の駆動を再開させる場合に、制御部100は、第2電磁弁220および第3電磁弁230を制御することなく、第1電磁弁210の制御だけで、すぐに、エアシリンダ70へのエアの供給を停止する前と同様の第2方向に、搬送アーム60を駆動させることができる。 Further, when the transfer arm 60 is stopped while being driven in the second direction, the control unit 100 closes the first supply valve 211 and opens the first exhaust valve 212 so that the first electromagnetic valve 210 is set to an OFF state in which air cannot be supplied from the air source 200 to the air cylinder 70 . By doing so, the control unit 100 brings the air cylinder 70 into a state in which air is not supplied from the air source 200 . Further, the control unit 100 closes the second supply valve 221, opens the second exhaust valve 222, opens the third supply valve 231, and closes the third exhaust valve 232. In this way, when the air cylinder 70 is to be restarted, the control unit 100 only controls the first solenoid valve 210 without controlling the second solenoid valve 220 and the third solenoid valve 230, and immediately , the transfer arm 60 can be driven in the same second direction as before the air supply to the air cylinder 70 is stopped.

以上のように、制御部100は、第1供給弁211と第1排気弁212とを反対の開閉状態となるように制御する。また、制御部100は、第2供給弁221と第2排気弁222とを反対の開閉状態となるように制御する。また、制御部100は、第2供給弁221と第3供給弁231とを反対の開閉状態となるように制御する。また、制御部100は、第2排気弁222と第3排気弁232とを反対の開閉状態となるように制御する。また、制御部100は、第3供給弁231と第3排気弁232とを反対の開閉状態となるように制御する。 As described above, the control unit 100 controls the first supply valve 211 and the first exhaust valve 212 so that they are opened and closed in opposite directions. Further, the control unit 100 controls the second supply valve 221 and the second exhaust valve 222 so that they are opened and closed in opposite directions. In addition, the control unit 100 controls the second supply valve 221 and the third supply valve 231 to be in the opposite opening/closing state. In addition, the control unit 100 controls the second exhaust valve 222 and the third exhaust valve 232 to be in opposite open/closed states. In addition, the control unit 100 controls the third supply valve 231 and the third exhaust valve 232 so that they are opened and closed in opposite directions.

[処理手順]
続いて、図8および図9を参照して、実施の形態に係る部品実装装置1の動作手順について詳細に説明する。
[Processing procedure]
Next, operation procedures of the component mounting apparatus 1 according to the embodiment will be described in detail with reference to FIGS. 8 and 9. FIG.

<非常停止動作>
図8は、実施の形態に係る部品実装装置1の動作を非常停止する際の動作手順を説明するためのフローチャートである。
<Emergency stop action>
FIG. 8 is a flow chart for explaining the operation procedure when the operation of the component mounting apparatus 1 according to the embodiment is brought to an emergency stop.

まず、制御部100は、エアシリンダ70を用いて搬送アーム60を駆動させることで、基板500の搬送を搬送アーム60に実行させる(ステップS101)。 First, the controller 100 causes the transport arm 60 to transport the substrate 500 by driving the transport arm 60 using the air cylinder 70 (step S101).

次に、制御部100は、非常停止信号を受信したか否かを判定する(ステップS102)。ステップS102では、例えば、制御部100は、取得部130が非常停止信号を取得したか否かを判定する。 Next, control unit 100 determines whether or not an emergency stop signal has been received (step S102). At step S102, for example, the control unit 100 determines whether the acquisition unit 130 has acquired an emergency stop signal.

制御部100は、非常停止信号を受信していない場合(ステップS102でNo)、処理をステップS101に戻し、エアシリンダ70を用いて搬送アーム60を駆動させることで、基板500の搬送を搬送アーム60に実行させ続ける。 If the control unit 100 has not received an emergency stop signal (No in step S102), the control unit 100 returns the process to step S101, and drives the transfer arm 60 using the air cylinder 70 to transfer the substrate 500 to the transfer arm. Keep 60 running.

一方、制御部100は、非常停止信号を受信した場合(ステップS102でYes)、第1電磁弁210をOFF状態(つまり、第1供給弁211を閉状態とし、第1排気弁212を開状態とした状態)とすることで、エアシリンダ70へのエアの供給を停止させ、且つ、エアシリンダ70内からエアを抜いて大気圧にして、搬送アーム60を停止させる(ステップS103)。 On the other hand, when the control unit 100 receives the emergency stop signal (Yes in step S102), the control unit 100 turns off the first solenoid valve 210 (that is, closes the first supply valve 211 and opens the first exhaust valve 212). By doing so, the supply of air to the air cylinder 70 is stopped, air is released from the air cylinder 70 to atmospheric pressure, and the transfer arm 60 is stopped (step S103).

<復旧動作>
図9は、実施の形態に係る部品実装装置1の動作を復旧する際の動作手順を説明するためのフローチャートである。
<Recovery action>
FIG. 9 is a flow chart for explaining the operation procedure when restoring the operation of the component mounting apparatus 1 according to the embodiment.

なお、図9のフローチャートは、例えば、図8に示すステップS103の後に実行される動作手順である。 Note that the flowchart of FIG. 9 is an operation procedure executed after step S103 shown in FIG. 8, for example.

図9に示すように、まず、制御部100は、リセット信号を受信したとする(ステップS201)。具体的には、ステップS201では、制御部100は、取得部130を介してリセット信号を受信したとする。 As shown in FIG. 9, first, it is assumed that the control unit 100 receives a reset signal (step S201). Specifically, in step S<b>201 , control unit 100 receives a reset signal via acquisition unit 130 .

次に、制御部100は、非常停止信号が未だ有り続けるか否か判定する(ステップS202)。具体的に例えば、ステップS202では、制御部100は、非常停止信号を未だに受信し続けているか否か判定する。例えば、制御部100は、取得部130がオペレータに押下されることで非常停止信号を制御部100に送信するボタンである場合、ボタンが押下されたままの状態であるか否かを判定する。 Next, the control unit 100 determines whether or not the emergency stop signal is still present (step S202). Specifically, for example, in step S202, the control unit 100 determines whether or not the emergency stop signal is still being received. For example, if the acquisition unit 130 is a button that transmits an emergency stop signal to the control unit 100 when pressed by an operator, the control unit 100 determines whether the button remains pressed.

制御部100は、非常停止信号が未だ有り続けると判定した場合(ステップS202でYes)、エアシリンダ70へのエアの供給を再開せず、通知部120に第1エラー通知を通知させる(ステップS203)。例えば、ステップS203では、制御部100は、通知部120がディスプレイ等の表示装置である場合、「非常停止信号が消えていないため、起動できません」等の文字を含む画像を第1エラー表示として通知部120に表示させる。 If the control unit 100 determines that the emergency stop signal is still present (Yes in step S202), it does not restart the supply of air to the air cylinder 70 and causes the notification unit 120 to notify the first error notification (step S203). ). For example, in step S203, if the notification unit 120 is a display device such as a display, the control unit 100 notifies an image including characters such as "The emergency stop signal is not turned off, so it cannot be started" as the first error display. 120 is caused to display.

一方、制御部100は、非常停止信号が無いと判定した場合(ステップS202でNo)、第1センサ400がONとなっている、つまり、第1センサ400がピストン76の端部77を検知しているか否かを判定する(ステップS204)。具体的には、ステップS204では、制御部100は、第1センサ400の検知結果に基づいて、ピストン76の端部77が行き限73に位置しているか否かを判定する。 On the other hand, when the controller 100 determines that there is no emergency stop signal (No in step S202), the first sensor 400 is ON, that is, the first sensor 400 detects the end portion 77 of the piston 76. (step S204). Specifically, in step S<b>204 , control unit 100 determines whether or not end 77 of piston 76 is positioned at travel limit 73 based on the detection result of first sensor 400 .

制御部100は、第1センサ400がONとなっていない場合(ステップS204でNo)、第2センサ410がONとなっている、つまり、第2センサ410がピストン76の端部77を検知しているか否かを判定する(ステップS205)。具体的には、ステップS205では、制御部100は、第2センサ410の検知結果に基づいて、ピストン76の端部77が戻り限74に位置しているか否かを判定する。 If the first sensor 400 is not ON (No in step S204), the control unit 100 detects that the second sensor 410 is ON. (step S205). Specifically, in step S<b>205 , control unit 100 determines whether or not end portion 77 of piston 76 is positioned at return limit 74 based on the detection result of second sensor 410 .

制御部100は、第2センサ410がONとなっていない場合(ステップS205でNo)、ピストン76の単位時間あたりの移動量が所定の移動量よりも小さくなるようにエアシリンダへのエアの供給を再開させてからピストン76を行き限73または戻り限74に動かす第1復帰処理を行う(ステップS206)。 When the second sensor 410 is not ON (No in step S205), the control unit 100 supplies air to the air cylinder so that the amount of movement of the piston 76 per unit time becomes smaller than a predetermined amount of movement. is resumed, a first return process is performed to move the piston 76 to the travel limit 73 or the return limit 74 (step S206).

図10Aは、実施の形態に係る部品実装装置1が実行する復帰処理の第1例を説明するためのグラフである。なお、図10Aの(a)~(f)に示す各グラフは、制御部100が、エアシリンダ70へのエアの供給を遮断することで、ピストン76の駆動を停止させた状態からの時間変化を示す。また、図10Aは、ピストン76を行き限73に位置させる場合の復帰処理を示すグラフである。 FIG. 10A is a graph for explaining a first example of return processing executed by the component mounting apparatus 1 according to the embodiment. Each graph shown in (a) to (f) of FIG. 10A shows the change over time from the state in which the control unit 100 stops the driving of the piston 76 by interrupting the air supply to the air cylinder 70. indicates FIG. 10A is a graph showing the return processing when the piston 76 is positioned at the travel limit 73. FIG.

具体的には、図10Aの(a)は、第1電磁弁210のON状態またはOFF状態を示すグラフである。また、図10Aの(b)は、第2電磁弁220のON状態またはOFF状態を示すグラフである。また、図10Aの(c)は、第3電磁弁230のON状態またはOFF状態を示すグラフである。また、図10Aの(d)は、第1センサ400のON状態またはOFF状態を示すグラフである。また、図10Aの(e)は、第2センサ410のON状態またはOFF状態を示すグラフである。また、図10Aの(f)は、ピストン76の位置を示すグラフである。 Specifically, (a) of FIG. 10A is a graph showing the ON state or OFF state of the first electromagnetic valve 210 . (b) of FIG. 10A is a graph showing the ON state or OFF state of the second solenoid valve 220 . (c) of FIG. 10A is a graph showing the ON state or the OFF state of the third solenoid valve 230 . (d) of FIG. 10A is a graph showing the ON state or OFF state of the first sensor 400 . (e) of FIG. 10A is a graph showing the ON state or OFF state of the second sensor 410 . (f) of FIG. 10A is a graph showing the position of the piston 76. FIG.

図10Aの(d)、(e)に示すように、ピストン76は、制御部100がピストン76の動きを停止させた時刻0において、行き限73にも戻り限74にも位置していないとする。この場合、第1センサ400および第2センサ410は、いずれもOFF状態となる。制御部100は、第1センサ400および第2センサ410の検知結果に基づいて、ピストン76の位置、本例ではピストン76が行き限73にも戻り限74にも位置していないことを判定する。 As shown in (d) and (e) of FIG. 10A , it is assumed that the piston 76 is neither at the travel limit 73 nor at the return limit 74 at time 0 when the control unit 100 stops the movement of the piston 76 . do. In this case, both the first sensor 400 and the second sensor 410 are turned off. Based on the detection results of the first sensor 400 and the second sensor 410, the control unit 100 determines the position of the piston 76, in this example, whether the piston 76 is positioned at neither the travel limit 73 nor the return limit 74. .

制御部100は、ピストン76が行き限73にも戻り限74にも位置していないと判定した場合、第1復帰処理を行う。例えば、制御部100は、時刻t1において、図10Aの(a)に示すように、第1電磁弁210をON状態にする。時刻t1において、図10Aの(b)に示すように、第2電磁弁220はON状態となっており、且つ、図10Aの(c)に示すように、第3電磁弁230はOFF状態となっているため、エアシリンダ70には、第1空間78にエアが供給される。これにより、ピストン76は、行き限73側に移動する。 When the control unit 100 determines that the piston 76 is neither at the travel limit 73 nor at the return limit 74, it performs the first return processing. For example, at time t1, the control unit 100 turns on the first electromagnetic valve 210 as shown in (a) of FIG. 10A. At time t1, the second solenoid valve 220 is in the ON state as shown in (b) of FIG. 10A, and the third solenoid valve 230 is in the OFF state as shown in (c) of FIG. 10A. Therefore, air is supplied to the first space 78 of the air cylinder 70 . As a result, the piston 76 moves toward the travel limit 73 .

次に、制御部100は、時刻t2において、図10Aの(f)に示すように、ピストン76が行き限73に到達する前に、図10Aの(b)に示すように、第2電磁弁220をOFF状態にし、図10Aの(c)に示すように、第3電磁弁230をON状態にする。こうすることで、ピストン76は、行き限73に到達する前に、戻り限74側に移動する。 Next, at time t2, before the piston 76 reaches the travel limit 73 as shown in (f) of FIG. 220 is turned off, and as shown in (c) of FIG. 10A, the third electromagnetic valve 230 is turned on. By doing so, the piston 76 moves toward the return limit 74 before reaching the travel limit 73 .

次に、制御部100は、時刻t3において、図10Aの(f)に示すように、ピストン76が戻り限74に到達する前に、図10Aの(b)に示すように、第2電磁弁220をON状態にし、図10のA(c)に示すように、第3電磁弁230をOFF状態にする。こうすることで、ピストン76は、戻り限74に到達する前に、行き限73側に移動する。 Next, at time t3, before the piston 76 reaches the return limit 74 as shown in (f) of FIG. 220 is turned on, and as shown in A(c) of FIG. 10, the third electromagnetic valve 230 is turned off. By doing so, the piston 76 moves toward the travel limit 73 before reaching the return limit 74 .

時刻t1から時刻t3までのように、制御部100は、時刻t4まで、第2電磁弁220および第3電磁弁230をON状態とOFF状態とで繰り返し切り替えさせる第1復帰処理を実行する。 As from time t1 to time t3, control unit 100 executes the first return process to repeatedly switch second solenoid valve 220 and third solenoid valve 230 between the ON state and the OFF state until time t4.

制御部100が第2電磁弁220および第3電磁弁230をON状態とOFF状態とで繰り返し切り替えさせることで、エアシリンダ70内の第1空間78および第2空間79には、エアが充填されていく。エアシリンダ70内の第1空間78および第2空間79に充填されたエアは、ピストン76の移動速度を抑制する効果を備える。 By repeatedly switching the second electromagnetic valve 220 and the third electromagnetic valve 230 between the ON state and the OFF state by the control unit 100, the first space 78 and the second space 79 in the air cylinder 70 are filled with air. To go. The air filled in the first space 78 and the second space 79 in the air cylinder 70 has the effect of suppressing the moving speed of the piston 76 .

例えば、エアシリンダ70内にエアが充填された時刻t4において、制御部100は、図10の(b)に示すように、第2電磁弁220をON状態にし、図10Aの(c)に示すように、第3電磁弁230をOFF状態にする。こうすることで、ピストン76は、エアシリンダ70内に充填されたエアによって移動速度が抑制された状態で、例えば、時刻t5に行き限73に到達する。このとき、第1センサ400がON状態となるため、制御部100は、ピストン76が行き限73に位置していると判定できる。 For example, at time t4 when the air cylinder 70 is filled with air, the control unit 100 turns on the second electromagnetic valve 220 as shown in (b) of FIG. , the third solenoid valve 230 is turned off. By doing so, the piston 76 reaches the travel limit 73 at time t5, for example, in a state where the movement speed is suppressed by the air filled in the air cylinder 70 . At this time, since the first sensor 400 is in the ON state, the control unit 100 can determine that the piston 76 is positioned at the travel limit 73 .

このように、制御部100は、復帰処理では、ピストン76が行き限73または戻り限74のいずれにも移動しないように、第2電磁弁220と第3電磁弁230との開閉を交互に切り替えさせてから、最終的に、行き限73または戻り限74のいずれかにピストン76を移動させる。 Thus, in the return process, the control unit 100 alternately switches between opening and closing the second electromagnetic valve 220 and the third electromagnetic valve 230 so that the piston 76 does not move to either the travel limit 73 or the return limit 74. , and finally move the piston 76 to either the go limit 73 or the return limit 74 .

なお、制御部100が時刻t1から時刻t4まで実行した第2電磁弁220および第3電磁弁230をON状態とOFF状態とで繰り返し切り替えさせる回数は、特に限定されない。本実施の形態では、7回であるが、6回以下でもよいし、8回以上でもよい。また、復帰処理において、制御部100は、ピストン76を最終的に、行き限73に移動させてもよいし、戻り限74に移動させてもよい。 The number of times the control unit 100 repeatedly switches the second solenoid valve 220 and the third solenoid valve 230 between the ON state and the OFF state from time t1 to time t4 is not particularly limited. In this embodiment, the number is 7, but it may be 6 or less, or 8 or more. In the return process, the control unit 100 may finally move the piston 76 to the travel limit 73 or the return limit 74 .

また、図10Aに示す制御部100の第1復帰処理の制御方法は、あくまで一例である。 Also, the control method of the first return process of the control unit 100 shown in FIG. 10A is merely an example.

図10Bは、実施の形態に係る部品実装装置1が実行する復帰処理の第2例を説明するためのグラフである。 FIG. 10B is a graph for explaining a second example of return processing executed by the component mounting apparatus 1 according to the embodiment.

具体的には、図10Bの(a)は、第1電磁弁210のON状態またはOFF状態を示すグラフである。また、図10Bの(b)は、第2電磁弁220のON状態またはOFF状態を示すグラフである。また、図10Bの(c)は、第3電磁弁230のON状態またはOFF状態を示すグラフである。また、図10Bの(d)は、第1センサ400のON状態またはOFF状態を示すグラフである。また、図10Bの(e)は、第2センサ410のON状態またはOFF状態を示すグラフである。また、図10Bの(f)は、ピストン76の位置を示すグラフである。 Specifically, (a) of FIG. 10B is a graph showing the ON state or OFF state of the first solenoid valve 210 . (b) of FIG. 10B is a graph showing the ON state or OFF state of the second solenoid valve 220 . (c) of FIG. 10B is a graph showing the ON state or the OFF state of the third solenoid valve 230 . (d) of FIG. 10B is a graph showing the ON state or OFF state of the first sensor 400 . (e) of FIG. 10B is a graph showing the ON state or OFF state of the second sensor 410 . (f) of FIG. 10B is a graph showing the position of the piston 76. FIG.

図10Bの(d)、(e)に示すように、ピストン76は、制御部100がピストン76の動きを停止させた時刻0において、行き限73にも戻り限74にも位置していないとする。 As shown in (d) and (e) of FIG. 10B , it is assumed that the piston 76 is neither at the travel limit 73 nor at the return limit 74 at time 0 when the control unit 100 stops the movement of the piston 76 . do.

制御部100は、ピストン76が行き限73にも戻り限74にも位置していないと判定した場合、第1復帰処理を行う。例えば、制御部100は、第1例と同様に、図10Bの(a)に示すように、第1電磁弁210をON状態にし、図10Bの(b)に示すように、第2電磁弁220をON状態とOFF状態とを繰り返させる。 When the control unit 100 determines that the piston 76 is neither at the travel limit 73 nor at the return limit 74, it performs the first return processing. For example, as in the first example, the control unit 100 turns on the first electromagnetic valve 210 as shown in FIG. 10B (a), and turns the second electromagnetic valve 210 ON as shown in FIG. 220 to cycle between ON and OFF states.

ここで、第2例においては、図10Bの(c)に示すように、第3電磁弁230をOFF状態にさせ続ける。 Here, in the second example, as shown in (c) of FIG. 10B, the third solenoid valve 230 is kept in the OFF state.

このように、例えば、第2電磁弁220と第3電磁弁230とを互いに独立して開閉できるように構成されている場合、制御部100は、第1復帰処理では、第2電磁弁220または第3電磁弁230の一方の開閉を繰り返し切り替えてもよい。制御部100は、第2電磁弁220または第3電磁弁230の一方の開閉を繰り返し切り替えた後で、行き限73または戻り限74のいずれかにピストン76を移動させてもよい。このように、制御部100は、エアシリンダ70内の第1空間78と第2空間79の一方に、間欠的にエアを供給させることで、ピストン76を徐々に、すなわち、ピストン76の移動速度が抑制された状態で、行き限73または戻り限74まで移動させてもよい。 Thus, for example, when the second solenoid valve 220 and the third solenoid valve 230 are configured to be opened and closed independently of each other, the control unit 100 controls the second solenoid valve 220 or the third solenoid valve 230 in the first return process. One side of the third electromagnetic valve 230 may be repeatedly switched between opening and closing. The control unit 100 may move the piston 76 to either the travel limit 73 or the return limit 74 after repeatedly switching opening and closing of either the second electromagnetic valve 220 or the third electromagnetic valve 230 . In this manner, the control unit 100 intermittently supplies air to one of the first space 78 and the second space 79 in the air cylinder 70 to gradually move the piston 76, that is, to increase the movement speed of the piston 76. may be moved to the forward limit 73 or the return limit 74 while is suppressed.

なお、図10Bに示す第2例においては、制御部100は、第2電磁弁220及び第3電磁弁230のうちの第2電磁弁220のみの開閉を繰り返し切り替えた。もちろん、制御部100は、第2電磁弁220及び第3電磁弁230のうちの第3電磁弁230のみの開閉を繰り返し切り替えてもよい。 Note that, in the second example shown in FIG. 10B, the control unit 100 repeatedly switches between opening and closing only the second solenoid valve 220 out of the second solenoid valve 220 and the third solenoid valve 230 . Of course, the control unit 100 may repeatedly switch between opening and closing only the third solenoid valve 230 out of the second solenoid valve 220 and the third solenoid valve 230 .

図10Cは、実施の形態に係る部品実装装置1が実行する復帰処理の第3例を説明するためのグラフである。 FIG. 10C is a graph for explaining a third example of return processing executed by the component mounting apparatus 1 according to the embodiment.

具体的には、図10Cの(a)は、第1電磁弁210のON状態またはOFF状態を示すグラフである。また、図10Cの(b)は、第2電磁弁220のON状態またはOFF状態を示すグラフである。また、図10Cの(c)は、第3電磁弁230のON状態またはOFF状態を示すグラフである。また、図10Cの(d)は、第1センサ400のON状態またはOFF状態を示すグラフである。また、図10Cの(e)は、第2センサ410のON状態またはOFF状態を示すグラフである。また、図10Cの(f)は、ピストン76の位置を示すグラフである。 Specifically, (a) of FIG. 10C is a graph showing the ON state or OFF state of the first electromagnetic valve 210 . (b) of FIG. 10C is a graph showing the ON state or the OFF state of the second solenoid valve 220 . (c) of FIG. 10C is a graph showing the ON state or the OFF state of the third solenoid valve 230 . (d) of FIG. 10C is a graph showing the ON state or OFF state of the first sensor 400 . (e) of FIG. 10C is a graph showing the ON state or OFF state of the second sensor 410 . (f) of FIG. 10C is a graph showing the position of the piston 76. FIG.

図10Cの(d)、(e)に示すように、ピストン76は、制御部100がピストン76の動きを停止させた時刻0において、行き限73にも戻り限74にも位置していないとする。 As shown in (d) and (e) of FIG. 10C , it is assumed that the piston 76 is neither at the travel limit 73 nor at the return limit 74 at time 0 when the control unit 100 stops the movement of the piston 76 . do.

制御部100は、ピストン76が行き限73にも戻り限74にも位置していないと判定した場合、第1復帰処理を行う。例えば、制御部100は、第1例と同様に、図10Cの(a)に示すように、第1電磁弁210をON状態にさせる。 When the control unit 100 determines that the piston 76 is neither at the travel limit 73 nor at the return limit 74, it performs the first return processing. For example, as in the first example, the control unit 100 turns on the first electromagnetic valve 210 as shown in (a) of FIG. 10C.

ここで、第3例においては、図10Cの(b)に示すように、第2電磁弁220をON状態にさせ続け、図10Cの(c)に示すように、第3電磁弁230を所定の期間(本実施の形態では、時刻t1から時刻t4までの期間)だけON状態にさせる。 Here, in the third example, as shown in (b) of FIG. 10C, the second electromagnetic valve 220 is kept in the ON state, and as shown in (c) of FIG. (in this embodiment, the period from time t1 to time t4).

このように、第2電磁弁220と第3電磁弁230とを互いに独立して開閉できるように構成されている場合、制御部100は、例えば、第1復帰処理では、第2電磁弁220および第3電磁弁230の両方を開放させてもよい。また、制御部100は、第2電磁弁220および第3電磁弁230の両方を開放させた後で、行き限73または戻り限74のいずれかにピストン76を移動させてもよい。 In this way, when the second solenoid valve 220 and the third solenoid valve 230 are configured to be able to open and close independently of each other, the control unit 100, for example, in the first recovery process, controls the second solenoid valve 220 and the third solenoid valve 230 Both of the third solenoid valves 230 may be opened. Further, the control unit 100 may move the piston 76 to either the travel limit 73 or the return limit 74 after opening both the second solenoid valve 220 and the third solenoid valve 230 .

ピストン76は、エアシリンダ70内の第1空間78および第2空間79にエアが充填されている状態では、行き限73または戻り限74に移動する際に、エアシリンダ70内に残留しているエアによって移動がある程度妨げられる。つまり、エアシリンダ70内の第1空間78と第2空間79の両方にエアを充填すれば、ピストン76が異常な速度で移動されることは、抑制できる。そのため、制御部100は、例えば、第1復帰処理では、第2電磁弁220および第3電磁弁230の両方を開放、つまり、ON状態とすることで、エアシリンダ70内の第1空間78と第2空間79の両方にエアを充填してから、エアシリンダ70内に充填されたエアによってピストン76の移動速度が抑制された状態で、ピストン76を異常な速度で動かすことなく、行き限73または戻り限74のいずれかにピストン76を移動させてもよい。 When the first space 78 and the second space 79 in the air cylinder 70 are filled with air, the piston 76 remains in the air cylinder 70 when moving to the travel limit 73 or the return limit 74. Movement is impeded to some extent by air. That is, by filling both the first space 78 and the second space 79 in the air cylinder 70 with air, it is possible to prevent the piston 76 from moving at an abnormal speed. Therefore, for example, in the first return process, the control unit 100 opens both the second electromagnetic valve 220 and the third electromagnetic valve 230, that is, turns them on, so that the first space 78 in the air cylinder 70 and the After both of the second spaces 79 are filled with air, the movement speed of the piston 76 is suppressed by the air filled in the air cylinder 70, and the travel limit 73 is reached without moving the piston 76 at an abnormal speed. Alternatively, the piston 76 may be moved to any of the return limits 74 .

再び図9を参照し、制御部100は、第2センサ410がONとなっている場合(ステップS205でYes)、第2電磁弁220および第3電磁弁230を戻り限制御状態に設定する(ステップS207)。ここで、戻り限制御状態とは、第2電磁弁220をOFF状態にし、第3電磁弁230をON状態としている状態である。つまり、ステップS207では、制御部100は、第2電磁弁220をOFF状態にし、第3電磁弁230をON状態にする制御を行う。 Referring to FIG. 9 again, when the second sensor 410 is ON (Yes in step S205), the control unit 100 sets the second electromagnetic valve 220 and the third electromagnetic valve 230 to the return limit control state ( step S207). Here, the return limit control state is a state in which the second electromagnetic valve 220 is turned off and the third electromagnetic valve 230 is turned on. That is, in step S207, the control unit 100 performs control to turn off the second electromagnetic valve 220 and turn on the third electromagnetic valve 230. FIG.

次に、制御部100は、第1電磁弁210をON状態とする(ステップS209)ことで、エアシリンダ70へのエアの供給を開始させる。 Next, the control unit 100 turns on the first solenoid valve 210 (step S209), thereby starting the supply of air to the air cylinder .

また、制御部100は、第1センサ400がONとなっている場合(ステップS204でYes)、第2電磁弁220および第3電磁弁230を行き限制御状態に設定する(ステップS208)。ここで、行き限制御状態とは、第2電磁弁220をON状態にし、第3電磁弁230をOFF状態としている状態である。つまり、ステップS208では、制御部100は、第2電磁弁220をON状態にし、第3電磁弁230をOFF状態にする制御を行う。 Further, when the first sensor 400 is ON (Yes in step S204), the control unit 100 sets the second electromagnetic valve 220 and the third electromagnetic valve 230 to the limit control state (step S208). Here, the travel limit control state is a state in which the second electromagnetic valve 220 is turned on and the third electromagnetic valve 230 is turned off. That is, in step S208, the control unit 100 performs control to turn on the second electromagnetic valve 220 and turn off the third electromagnetic valve 230. FIG.

次に、制御部100は、第1電磁弁210をON状態とする(ステップS209)ことで、エアシリンダ70へのエアの供給を開始させる。 Next, the control unit 100 turns on the first solenoid valve 210 (step S209), thereby starting the supply of air to the air cylinder .

ステップS207及びステップS208に示すように、制御部100は、第1センサ400および第2センサ410の検知結果に基づき、ピストン76が行き限73または戻り限74のいずれかの限界位置に位置する場合には、ピストン76が位置する一方から他方に動かないように、エアシリンダ71、72へのエアの供給を再開させる第2復帰処理を行う。つまり、制御部100は、第2復帰処理では、第1センサ400および第2センサ410の検知結果に基づき、第2電磁弁220及び第3電磁弁230を行き限制御状態又は戻り限制御状態にすることで、ピストン76を動かさずに、エアシリンダ70内にエアを供給させる。その後で、制御部100は、エアシリンダ70へのエアの供給を開始させ、ピストン76を動かし始める。 As shown in steps S207 and S208, based on the detection results of the first sensor 400 and the second sensor 410, the control unit 100 determines whether the piston 76 is positioned at the limit position of either the travel limit 73 or the return limit 74. 2, a second return process is performed to restart the supply of air to the air cylinders 71 and 72 so that the piston 76 does not move from one position to the other. That is, in the second return process, the control unit 100 puts the second solenoid valve 220 and the third solenoid valve 230 into the go limit control state or the return limit control state based on the detection results of the first sensor 400 and the second sensor 410. By doing so, air is supplied into the air cylinder 70 without moving the piston 76 . After that, the control unit 100 starts supplying air to the air cylinder 70 and starts moving the piston 76 .

[効果等]
以上説明したように、本実施の形態に係る部品実装装置1は、搬送アーム60と、搬送アーム60を駆動するピストン76を備えるエアシリンダ70と、ピストン76が行き限73に位置することを検知する第1センサ400と、ピストン76が戻り限74に位置することを検知する第2センサ410と、エアシリンダ70へのエアの供給を制御することで、搬送アーム60の駆動を制御する制御部100と、を備える。制御部100は、ピストン76が単位時間あたり所定の移動量動くようにエアシリンダ70へのエアの供給を行う事が可能となっている。また、制御部100は、エアシリンダ70へのエアの供給を遮断することにより、エアシリンダ70内を大気圧にして搬送アーム60の駆動を停止させる。また、制御部100は、停止している搬送アーム60の駆動を再開させる際に、第1センサ400および第2センサ410の検知結果に基づき、ピストン76が行き限73または戻り限74のいずれにも位置しない場合には、ピストン76の単位時間あたりの移動量が所定の移動量よりも小さくなるようにエアシリンダへのエアの供給を再開させてからピストン76を行き限73または戻り限74に動かす第1復帰処理を行う。
[Effects, etc.]
As described above, the component mounting apparatus 1 according to the present embodiment detects the transfer arm 60, the air cylinder 70 having the piston 76 for driving the transfer arm 60, and the position of the piston 76 at the travel limit 73. a second sensor 410 for detecting that the piston 76 is at the return limit 74; 100 and. The control unit 100 can supply air to the air cylinder 70 so that the piston 76 moves by a predetermined amount per unit time. Further, the controller 100 cuts off the supply of air to the air cylinder 70 so that the inside of the air cylinder 70 is brought to the atmospheric pressure and stops driving the transfer arm 60 . Further, when restarting the driving of the conveying arm 60 that has stopped, the control unit 100 determines whether the piston 76 is at the travel limit 73 or the return limit 74 based on the detection results of the first sensor 400 and the second sensor 410. If the piston 76 is not positioned at either the forward limit 73 or the return limit 74, the air supply to the air cylinder is restarted so that the movement amount of the piston 76 per unit time becomes smaller than the predetermined movement amount. Perform the first return processing to move.

このような構成によれば、制御部100は、ピストン76(具体的には、端部77)が行き限73または戻り限74に位置しない場合には、徐々に行き限73または戻り限74にピストン76を移動させる制御をする。そのため、エアシリンダ70へのエアの供給が再開された場合に、ピストン76が異常な速度で駆動されることによる、搬送アーム60が保持している基板500の破損、エアシリンダ70の故障等の発生は、抑制される。これにより、部品実装装置1によれば、エアシリンダ70を安全に復旧して駆動させることができる。 According to such a configuration, when the piston 76 (specifically, the end portion 77 ) is not positioned at the travel limit 73 or the return limit 74 , the control unit 100 gradually moves toward the travel limit 73 or the return limit 74 . It controls the movement of the piston 76 . Therefore, when the supply of air to the air cylinder 70 is resumed, the piston 76 is driven at an abnormal speed, which may cause damage to the substrate 500 held by the transfer arm 60, failure of the air cylinder 70, and the like. Occurrence is suppressed. Thereby, according to the component mounting apparatus 1, the air cylinder 70 can be safely restored and driven.

また、例えば、制御部100は、停止している搬送アーム60の駆動を再開させる際に、第1センサ400および第2センサ410の検知結果に基づき、ピストン76が行き限73または戻り限74のいずれかに位置する場合には、ピストン76が位置する行き限73または戻り限74の一方から他方に動かないようにエアシリンダ70へのエアの供給を再開させる第2復帰処理を行う。 Further, for example, when restarting the driving of the conveying arm 60 that has stopped, the control unit 100 determines whether the piston 76 reaches the travel limit 73 or the return limit 74 based on the detection results of the first sensor 400 and the second sensor 410 . If the piston 76 is positioned at either end, a second return process is performed to restart the supply of air to the air cylinder 70 so that the piston 76 does not move from one of the travel limit 73 and the return limit 74 to the other.

このような構成によれば、制御部100は、ピストン76を動かさずに、エアシリンダ70内にエアを供給させる。そのため、エアシリンダ70へのエアの供給が再開された場合に、ピストン76が異常な速度で駆動されることによる、搬送アーム60が保持している基板500の破損、エアシリンダ70の故障等の発生は、抑制される。これにより、部品実装装置1によれば、エアシリンダ70を安全に復旧して駆動させることができる。 With such a configuration, the control unit 100 supplies air into the air cylinder 70 without moving the piston 76 . Therefore, when the supply of air to the air cylinder 70 is resumed, the piston 76 is driven at an abnormal speed, which may cause damage to the substrate 500 held by the transfer arm 60, failure of the air cylinder 70, and the like. Occurrence is suppressed. Thereby, according to the component mounting apparatus 1, the air cylinder 70 can be safely restored and driven.

また、例えば、部品実装装置1は、エア源200に接続された第1エア配管300と、第1エア配管300に設けられ、エア源200からのエアの供給と停止とを切り替えるための第1電磁弁210と、第1エア配管300における第1電磁弁210の下流側で分岐され、ピストン76を第1方向に動かすためのエアをエアシリンダ70に供給するための第2エア配管310、および、ピストン76を第2方向に動かすためのエアをエアシリンダ70に供給するための第3エア配管320と、第2エア配管310に設けられる第2電磁弁220と、第3エア配管320に設けられる第3電磁弁230と、をさらに備える。この場合、制御部100は、例えば、第1電磁弁210を制御してエアシリンダ70へのエアの供給を遮断することにより、エアシリンダ70内を大気圧にして搬送アーム60の駆動を停止させる。また、制御部100は、例えば、第1復帰処理では、第1電磁弁210を制御して第1電磁弁210の下流側へのエアの供給を開始してから、第2電磁弁220と第3電磁弁230との開閉を交互に切り替えることにより、エアシリンダ70へのエアの供給が再開される。 Further, for example, the component mounting apparatus 1 includes a first air pipe 300 connected to an air source 200 and a first air pipe 300 provided in the first air pipe 300 for switching between supply and stop of air supply from the air source 200 . a solenoid valve 210, a second air pipe 310 branched downstream of the first solenoid valve 210 in the first air pipe 300, and for supplying the air cylinder 70 with air for moving the piston 76 in the first direction; , a third air pipe 320 for supplying air to the air cylinder 70 for moving the piston 76 in the second direction; a second electromagnetic valve 220 provided in the second air pipe 310; A third solenoid valve 230 is further provided. In this case, for example, the control unit 100 controls the first solenoid valve 210 to cut off the supply of air to the air cylinder 70, thereby making the inside of the air cylinder 70 atmospheric pressure and stopping the driving of the transfer arm 60. . Further, for example, in the first return process, the control unit 100 controls the first solenoid valve 210 to start supplying air to the downstream side of the first solenoid valve 210, and then the second solenoid valve 220 and the first The supply of air to the air cylinder 70 is restarted by alternately switching the opening and closing of the three solenoid valves 230 .

このような構成によれば、制御部100は、ピストン76を、行き限73または戻り限74に到達させる前に行き限73または戻り限74に繰り返し移動させてから、行き限73または戻り限74に位置させる。こうすることで、制御部100は、ピストン76を徐々に行き限73または戻り限74に移動させることができる。 According to such a configuration, the control unit 100 repeatedly moves the piston 76 to the travel limit 73 or the return limit 74 before reaching the travel limit 73 or the return limit 74, and then moves the piston 76 to the travel limit 73 or the return limit 74. be positioned at By doing so, the control unit 100 can gradually move the piston 76 to the travel limit 73 or the return limit 74 .

また、例えば、制御部100は、第1復帰処理では、第2電磁弁220または第3電磁弁230の一方の開閉を繰り返し切り替えることにより、エアシリンダ70へのエアの供給が再開される。 Further, for example, in the first return process, the control unit 100 repeatedly switches between opening and closing one of the second electromagnetic valve 220 and the third electromagnetic valve 230 to restart the supply of air to the air cylinder 70 .

このような構成によれば、制御部100は、第2電磁弁220または第3電磁弁230のみの開閉を制御するだけで、ピストン76を徐々に行き限73または戻り限74に移動させることができる。そのため、制御部100が実行する制御内容が簡便化され得る。 According to such a configuration, the control unit 100 can gradually move the piston 76 to the travel limit 73 or the return limit 74 only by controlling the opening and closing of only the second solenoid valve 220 or the third solenoid valve 230. can. Therefore, the content of control executed by the control unit 100 can be simplified.

また、例えば、制御部100は、復帰処理では、第2電磁弁220および第3電磁弁230の両方を開放させることにより、エアシリンダ70へのエアの供給が再開される。 Further, for example, in the return process, the control unit 100 opens both the second solenoid valve 220 and the third solenoid valve 230 to restart the supply of air to the air cylinder 70 .

このような構成によれば、制御部100は、ピストン76を異常な速度で移動させずにエアシリンダ70にエアを供給することで、エアシリンダ70内をエアで充填できる。 According to such a configuration, the control unit 100 can fill the inside of the air cylinder 70 with air by supplying air to the air cylinder 70 without moving the piston 76 at an abnormal speed.

また、本実施の形態に係る部品実装方法は、エアシリンダ70にエアを供給してエアシリンダ70が備えるピストン76を単位時間あたり所定の移動量動くように駆動することで、ピストン76と接続された搬送アーム60を駆動する駆動ステップと、エアシリンダ70へのエアの供給を遮断することにより、エアシリンダ70内を大気圧にして搬送アーム60の駆動を停止する停止ステップと、停止ステップの後に、第1センサ400および第2センサ410の検知結果に基づいて、ピストン76が行き限73または戻り限74に位置するか否かを判定する判定ステップと、判定ステップでピストン76が行き限73または戻り限74のいずれにも位置しないと判定した場合には、ピストン76の単位時間あたりの移動量が所定の移動量よりも小さくなるようにエアシリンダ70へのエアの供給を再開させてからピストン76を行き限73または戻り限74に動かす第1復帰処理を行う制御ステップと、を含む。 Further, in the component mounting method according to the present embodiment, air is supplied to the air cylinder 70 to drive the piston 76 provided in the air cylinder 70 so as to move by a predetermined amount per unit time. a drive step for driving the transfer arm 60, a stop step for stopping the drive of the transfer arm 60 by cutting off the supply of air to the air cylinder 70 so that the inside of the air cylinder 70 is brought to atmospheric pressure, and after the stop step , a determination step of determining whether the piston 76 is at the travel limit 73 or the return limit 74 based on the detection results of the first sensor 400 and the second sensor 410; When it is determined that the piston 76 is not positioned at any of the return limits 74, the air supply to the air cylinder 70 is resumed so that the amount of movement of the piston 76 per unit time becomes smaller than the predetermined amount of movement, and then the piston is moved. and a control step of performing a first return process of moving 76 to go limit 73 or return limit 74 .

また、例えば、上記制御ステップにおいて上記判定ステップでピストン76が行き限73または戻り限74のいずれかに位置すると判定した場合には、ピストン76が位置する行き限73または戻り限74のうちの一方から他方に動かないようにエアシリンダ70へのエアの供給を再開する第2復帰処理を行う。 Further, for example, when it is determined in the control step that the piston 76 is positioned at either the travel limit 73 or the return limit 74 in the determination step, one of the travel limit 73 or the return limit 74 at which the piston 76 is positioned is determined. A second return process is performed to restart the supply of air to the air cylinder 70 so as not to move from one side to the other side.

これらのような方法によれば、部品実装装置1と同様の効果を奏する。 According to these methods, the same effect as the component mounting apparatus 1 can be obtained.

また、本実施の形態に係るエアシリンダ70の制御方法は、ピストン76を備えるエアシリンダ70の制御方法であって、エアシリンダ70にエアを供給してピストン76を単位時間あたり所定の移動量動くように駆動する駆動ステップと、エアシリンダ70へのエアの供給を遮断することにより、エアシリンダ70内を大気圧にしてピストン76の駆動を停止する停止ステップと、停止ステップの後に、第1センサ400および第2センサ410の検知結果に基づいて、ピストン76が行き限73または戻り限74に位置するか否かを判定する判定ステップと、判定ステップでピストン76が行き限73または戻り限74のいずれにも位置しないと判定した場合には、ピストン76の単位時間あたりの移動量が当該所定の移動量よりも小さくなるようにエアシリンダ70へのエアの供給を再開させてからピストン76を行き限73または戻り限74に動かす第1復帰処理を行う制御ステップと、を含む。 Further, the control method of the air cylinder 70 according to the present embodiment is a control method of the air cylinder 70 having the piston 76, in which air is supplied to the air cylinder 70 to move the piston 76 by a predetermined amount per unit time. a drive step for driving the air cylinder 70, a stop step for stopping the driving of the piston 76 by stopping the supply of air to the air cylinder 70 to bring the inside of the air cylinder 70 to atmospheric pressure, and after the stop step, the first sensor 400 and the detection results of the second sensor 410; If it is determined that the piston 76 is not located in either of these positions, the air supply to the air cylinder 70 is resumed so that the movement amount of the piston 76 per unit time becomes smaller than the predetermined movement amount, and then the piston 76 moves forward. and a control step of performing a first return process to move to limit 73 or return limit 74 .

このような方法によれば、ピストン76が行き限73または戻り限74に位置しない場合には、徐々に行き限73または戻り限74にピストン76を移動させることができる。そのため、エアシリンダ70へのエアの供給が再開された場合に、ピストン76が異常な速度で駆動されることによる、エアシリンダ70の故障等の発生は、抑制される。これにより、実施の形態に係るエアシリンダ70の制御方法によれば、エアシリンダ70を安全に復旧して駆動させることができる。 According to this method, the piston 76 can be gradually moved to the travel limit 73 or the return limit 74 when the piston 76 is not positioned at the travel limit 73 or the return limit 74 . Therefore, when the supply of air to the air cylinder 70 is resumed, the occurrence of malfunction of the air cylinder 70 due to the piston 76 being driven at an abnormal speed is suppressed. Thus, according to the control method of the air cylinder 70 according to the embodiment, the air cylinder 70 can be safely restored and driven.

また、例えば、上記制御ステップにおいて、上記判定ステップでピストン76が行き限73または戻り限74のいずれかに位置すると判定した場合には、ピストン76が位置する行き限73または戻り限74のうちの一方から他方に動かないようにエアシリンダ70へのエアの供給を再開する第2復帰処理を行う。 Further, for example, in the control step, when it is determined in the determination step that the piston 76 is positioned at either the travel limit 73 or the return limit 74, the piston 76 is positioned at either the travel limit 73 or the return limit 74. A second return process is performed to restart the supply of air to the air cylinder 70 so as not to move from one side to the other.

このような方法によれば、上記制御ステップでは、ピストン76を動かさずに、エアシリンダ70内にエアを供給させる。そのため、エアシリンダ70へのエアの供給が再開された場合に、ピストン76が異常な速度で駆動されることによるエアシリンダ70の故障等の発生は、抑制される。これにより、実施の形態に係るエアシリンダ70の制御方法によれば、エアシリンダ70を安全に復旧して駆動させることができる。 According to this method, in the control step, air is supplied into the air cylinder 70 without moving the piston 76 . Therefore, when the supply of air to the air cylinder 70 is resumed, the occurrence of malfunction of the air cylinder 70 due to the piston 76 being driven at an abnormal speed is suppressed. Thus, according to the control method of the air cylinder 70 according to the embodiment, the air cylinder 70 can be safely restored and driven.

なお、これらの包括的又は具体的な態様は、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラムまたはコンピュータ読み取り可能なCD-ROM等の記録媒体で実現されてもよく、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラムおよび記録媒体の任意な組み合わせで実現されてもよい。 In addition, these general or specific aspects may be realized by a system, method, integrated circuit, computer program, or a recording medium such as a computer-readable CD-ROM. and any combination of recording media.

例えば、本発明の一態様に係るプログラムは、エアシリンダ70の制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムである。 For example, a program according to one aspect of the present invention is a program for causing a computer to execute a control method for the air cylinder 70 .

[変形例]
続いて、実施の形態の変形例に係る部品実装装置について説明する。
[Modification]
Next, a component mounting apparatus according to a modified example of the embodiment will be described.

なお、以下で説明する実施の形態の変形例に係る部品実装装置の説明においては、実施の形態に係る部品実装装置1との差異点を中心に説明する。そのため、実施の形態の変形例に係る部品実装装置の説明においては、実施の形態に係る部品実装装置1と同様の構成については、同様の符号を付し、説明を省略または簡略化する場合がある。 In addition, in the description of the component mounting apparatus according to the modified example of the embodiment described below, the differences from the component mounting apparatus 1 according to the embodiment will be mainly described. Therefore, in the description of the component mounting apparatus according to the modification of the embodiment, the same components as those of the component mounting apparatus 1 according to the embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description may be omitted or simplified. be.

図11は、実施の形態の変形例に係る部品実装装置2が備えるエアシリンダ70を駆動するための構成の詳細を説明するための概略構成図である。なお、図11は、図6に示す部品実装装置1に対応する図である。 FIG. 11 is a schematic configuration diagram for explaining the details of the configuration for driving the air cylinder 70 provided in the component mounting apparatus 2 according to the modification of the embodiment. 11 is a diagram corresponding to the component mounting apparatus 1 shown in FIG.

部品実装装置2は、部品実装装置1とは、制御部101の制御内容と、搬送部600aとが異なる。 The component mounting apparatus 2 differs from the component mounting apparatus 1 in the control contents of the control section 101 and the transport section 600a.

制御部101は、部品実装装置2が備える各装置の動作を制御する制御装置である。 The control unit 101 is a control device that controls the operation of each device included in the component mounting apparatus 2 .

搬送部600aは、搬送アーム60と、エアシリンダ70と、エア源200と、第1電磁弁210aと、第4電磁弁240と、第5電磁弁241と、速度制御弁250と、速度制御弁251と、第1エア配管300aと、第2エア配管310aと、第3エア配管320aと、第1センサ400と、第2センサ410と、を備える。 The conveying unit 600a includes a conveying arm 60, an air cylinder 70, an air source 200, a first solenoid valve 210a, a fourth solenoid valve 240, a fifth solenoid valve 241, a speed control valve 250, and a speed control valve. 251 , a first air pipe 300 a , a second air pipe 310 a , a third air pipe 320 a , a first sensor 400 and a second sensor 410 .

第1電磁弁210aは、第1電磁弁210における第1供給弁211および第2排気弁222が一体となっているソレノイドバルブである。このように、本発明に係る部品実装装置が備える電磁弁の種類は、特に限定されない。 The first solenoid valve 210a is a solenoid valve in which the first supply valve 211 and the second exhaust valve 222 of the first solenoid valve 210 are integrated. Thus, the type of electromagnetic valve provided in the component mounting apparatus according to the present invention is not particularly limited.

また、第4電磁弁240は、第1エア配管300aの途中に設けられ、エア源200からのエアを供給、または、遮断するための電磁弁である。具体的には、第4電磁弁240は、第1エア配管300aにおける、第1電磁弁210aとエアシリンダ70との間に設けられ、エア源200からのエアのエアシリンダ70への供給、または、遮断を制御するための電磁弁である。 Further, the fourth electromagnetic valve 240 is provided in the middle of the first air pipe 300a and is an electromagnetic valve for supplying or blocking the air from the air source 200. As shown in FIG. Specifically, the fourth solenoid valve 240 is provided between the first solenoid valve 210a and the air cylinder 70 in the first air pipe 300a, and supplies air from the air source 200 to the air cylinder 70, or , is a solenoid valve for controlling shutoff.

ここで、制御部101は、第1電磁弁210aおよび第4電磁弁240の両方を開放させることで、エア源200からエアをエアシリンダ70に供給させる。例えば、第1電磁弁210aおよび第4電磁弁240の少なくとも一方が閉状態となっている場合、エア源200からエアがエアシリンダ70に供給させない。 Here, the control unit 101 causes the air source 200 to supply air to the air cylinder 70 by opening both the first solenoid valve 210 a and the fourth solenoid valve 240 . For example, when at least one of the first solenoid valve 210a and the fourth solenoid valve 240 is in a closed state, air is not supplied from the air source 200 to the air cylinder .

このような構成によれば、エアシリンダ70の駆動を停止させた場合に、例えば、第1電磁弁210aの故障等により、誤動作でエアシリンダ70へエアが供給されることを抑制できる。 According to such a configuration, when the air cylinder 70 is stopped, it is possible to prevent air from being supplied to the air cylinder 70 due to malfunction due to, for example, a failure of the first electromagnetic valve 210a.

特に、複数のエアシリンダ70を備える部品実装装置2では、エアシリンダ70の第1空間78および第2空間79へのエアの供給を制御するための第5電磁弁241を複数備えることとなるが、本変形例の場合、比較的低コストで、搬送部600aを構成するエアをエアシリンダ70へ供給及び排出することでエアシリンダ70のピストン76を駆動するための回路(エア駆動回路)の信頼性を高めることが可能となる。エア駆動回路の信頼性を高める方法として、例えば、複数のエアシリンダ70のそれぞれを駆動するための複数の第5電磁弁241のそれぞれを多重化することが考えられるが、この場合、部品実装装置2が備えるエアシリンダ70の数に多重化の度合い(例えば2重化の場合は2)を乗じた数の第5電磁弁241が必要となり、コストが高くなる。これに対し、本変形例の場合、第5電磁弁241の上流側に設けられる、エア源200から第5電磁弁241へのエアの供給を制御する電磁弁が複数(具体的には、第1電磁弁210aおよび第4電磁弁240)設けられ、多重化される。したがって、第5電磁弁241を多重化しなくても、信頼性の高いエア駆動回路を低コストで実現できる。 In particular, a component mounting apparatus 2 having a plurality of air cylinders 70 is provided with a plurality of fifth electromagnetic valves 241 for controlling air supply to the first space 78 and the second space 79 of the air cylinders 70. In the case of this modification, the reliability of the circuit (air driving circuit) for driving the piston 76 of the air cylinder 70 by supplying and discharging the air constituting the conveying section 600a to and from the air cylinder 70 is relatively low. It is possible to improve the quality. As a method of increasing the reliability of the air drive circuit, for example, multiplexing of the plurality of fifth solenoid valves 241 for driving the plurality of air cylinders 70 can be considered. The number of the fifth solenoid valves 241 required is the number of air cylinders 70 provided in 2 multiplied by the degree of multiplexing (for example, 2 in the case of doubling), which increases the cost. In contrast, in the case of this modification, a plurality of solenoid valves (specifically, the first One solenoid valve 210a and a fourth solenoid valve 240) are provided and multiplexed. Therefore, even if the fifth solenoid valve 241 is not multiplexed, a highly reliable air drive circuit can be realized at low cost.

また、第1エア配管は、第5電磁弁241を介して分岐して第2エア配管310aおよび第3エア配管320aと接続されている。 Also, the first air pipe branches via the fifth solenoid valve 241 and is connected to the second air pipe 310a and the third air pipe 320a.

第5電磁弁241は、第2エア配管310aおよび第3エア配管320aの途中に設けられ、エア源200からのエアを供給、または、遮断するためのソレノイドバルブである。具体的には、第5電磁弁241は、第2エア配管310aにおける、エア源200、具体的には、第1エア配管300aとエアシリンダ70との間に設けられ、且つ、第3エア配管320aにおける、エア源200、具体的には、第1エア配管300aとエアシリンダ70との間に設けられており、第1エア配管300からのエアのエアシリンダ70への供給、または、遮断を制御するための電磁弁である。つまり、第5電磁弁241は、図6に示す第2電磁弁220および第3電磁弁230の両方の機能を有する。 The fifth solenoid valve 241 is a solenoid valve provided in the middle of the second air pipe 310a and the third air pipe 320a for supplying or blocking the air from the air source 200. As shown in FIG. Specifically, the fifth solenoid valve 241 is provided between the air source 200, specifically, the first air pipe 300a and the air cylinder 70, in the second air pipe 310a, and the third air pipe The air source 200 at 320a, specifically, is provided between the first air pipe 300a and the air cylinder 70, and supplies or cuts off the air from the first air pipe 300 to the air cylinder 70. A solenoid valve for control. That is, the fifth solenoid valve 241 has the functions of both the second solenoid valve 220 and the third solenoid valve 230 shown in FIG.

このように、図6に示す第2電磁弁220および第3電磁弁230は、図6に示すように別体でもよいし、図11に示す第5電磁弁241のように一体的に形成されていてもよい。 Thus, the second solenoid valve 220 and the third solenoid valve 230 shown in FIG. 6 may be separate bodies as shown in FIG. 6, or may be integrally formed like the fifth solenoid valve 241 shown in FIG. may be

制御部101は、第5電磁弁241を制御することで、エアシリンダ70における第1空間78および第2空間79それぞれへのエアの供給を制御する。 The control unit 101 controls the supply of air to each of the first space 78 and the second space 79 in the air cylinder 70 by controlling the fifth electromagnetic valve 241 .

(その他の実施の形態)
以上、本実施の形態に係る部品実装装置等について、上記実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。
(Other embodiments)
As described above, the component mounting apparatus and the like according to the present embodiment have been described based on the above embodiment, but the present invention is not limited to the above embodiment.

例えば、上記実施の形態では、制御部等の処理部の構成要素の全部又は一部は、専用のハードウェアで構成されてもよく、或いは、各構成要素に適したソフトウェアプログラムを実行することによって実現されてもよい。処理部の各構成要素は、CPU(Central Processing Unit)又はプロセッサ等のプログラム実行部が、HDD(Hard Disk Drive)又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現されてもよい。 For example, in the above embodiments, all or part of the components of the processing unit such as the control unit may be configured with dedicated hardware, or by executing a software program suitable for each component. may be implemented. Each component of the processing unit is realized by a program execution unit such as a CPU (Central Processing Unit) or a processor reading and executing a software program recorded in a recording medium such as a HDD (Hard Disk Drive) or a semiconductor memory. may be

また、処理部の構成要素は、1つ又は複数の電子回路で構成されてもよい。1つ又は複数の電子回路は、それぞれ、汎用的な回路でもよいし、専用の回路でもよい。 Also, the components of the processing unit may be composed of one or more electronic circuits. Each of the one or more electronic circuits may be a general-purpose circuit or a dedicated circuit.

1つ又は複数の電子回路には、例えば、半導体装置、IC(Integrated Circuit)又はLSI(Large Scale Integration)等が含まれてもよい。IC又はLSIは、1つのチップに集積されてもよく、複数のチップに集積されてもよい。ここでは、IC又はLSIと呼んでいるが、集積の度合いによって呼び方が変わり、システムLSI、VLSI(Very Large Scale Integration)、又は、ULSI(Ultra Large Scale Integration)と呼ばれるかもしれない。また、LSIの製造後にプログラムされるFPGA(Field Programmable Gate Array)も同じ目的で使うことができる。 One or more electronic circuits may include, for example, a semiconductor device, an IC (Integrated Circuit), or an LSI (Large Scale Integration). An IC or LSI may be integrated on one chip or may be integrated on a plurality of chips. Although they are called ICs or LSIs here, they may be called system LSIs, VLSIs (Very Large Scale Integration), or ULSIs (Ultra Large Scale Integration) depending on the degree of integration. An FPGA (Field Programmable Gate Array) that is programmed after the LSI is manufactured can also be used for the same purpose.

その他、各実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。 In addition, it can be realized by applying various modifications to each embodiment that a person skilled in the art can think of, or by arbitrarily combining the constituent elements and functions of each embodiment without departing from the spirit of the present invention. Forms are also included in the present invention.

本発明に係る部品実装装置によれば、エアシリンダを安全に復旧して動作させることが可能であり、本発明に係る部品実装方法は、当該エアシリンダを用いて部品を実装する部品実装装置において有用である。 According to the component mounting apparatus of the present invention, the air cylinder can be safely restored and operated. Useful.

1、2 部品実装装置
10 ローダ部
20 ACF貼り付け部
30 仮圧着部
40 本圧着部
41 第1本圧着部
42 第2本圧着部
50 アンローダ部
60、61、62、63、64 搬送アーム
70、71、72 エアシリンダ
73 行き限
74 戻り限
75 シリンダ
76 ピストン
77 端部
78 第1空間
79 第2空間
80 基台
90 電動シリンダ
100、101 制御部
110 記憶部
120 通知部
130 取得部
200 エア源
210、210a 第1電磁弁
211 第1供給弁
212 第1排気弁
220 第2電磁弁
221 第2供給弁
222 第2排気弁
230 第3電磁弁
231 第3供給弁
232 第3排気弁
240 第4電磁弁
241 第5電磁弁
250、251 速度制御弁
300、300a 第1エア配管
310、310a 第2エア配管
320、320a 第3エア配管
400 第1センサ
410 第2センサ
500 基板
600、600a 搬送部
t1、t2、t3、t4、t5 時刻
Reference Signs List 1, 2 component mounting device 10 loader section 20 ACF attaching section 30 temporary pressure bonding section 40 final pressure bonding section 41 first final pressure bonding section 42 second final pressure bonding section 50 unloader section 60, 61, 62, 63, 64 transport arm 70, 71, 72 air cylinder 73 travel limit 74 return limit 75 cylinder 76 piston 77 end 78 first space 79 second space 80 base 90 electric cylinder 100, 101 control unit 110 storage unit 120 notification unit 130 acquisition unit 200 air source 210 , 210a first solenoid valve 211 first supply valve 212 first exhaust valve 220 second solenoid valve 221 second supply valve 222 second exhaust valve 230 third solenoid valve 231 third supply valve 232 third exhaust valve 240 fourth solenoid Valve 241 Fifth electromagnetic valve 250, 251 Speed control valve 300, 300a First air pipe 310, 310a Second air pipe 320, 320a Third air pipe 400 First sensor 410 Second sensor 500 Substrate 600, 600a Transfer unit t1, t2, t3, t4, t5 time

Claims (16)

搬送アームと、
前記搬送アームを駆動するピストンを備えるエアシリンダと、
前記ピストンが第1方向の限界位置に位置することを検知する第1センサと、
前記ピストンが前記第1方向と反対側の第2方向の限界位置に位置することを検知する第2センサと、
前記エアシリンダへのエアの供給を制御することで、前記搬送アームの駆動を制御する制御部と、
エア源に接続された第1エア配管と、
前記第1エア配管に設けられ、前記エア源からのエアの供給と停止とを切り替えるための第1電磁弁と、
前記第1エア配管における前記第1電磁弁の下流側で分岐され、前記ピストンを前記第1方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第2エア配管、および、前記ピストンを前記第2方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第3エア配管と、
前記第2エア配管に設けられる第2電磁弁と、
前記第3エア配管に設けられる第3電磁弁と、を備え、
前記制御部は、
前記ピストンが単位時間あたり所定の移動量動くように前記エアシリンダへのエアの供給を行うことが可能であり、
前記第1電磁弁を制御して前記エアシリンダへのエアの供給を遮断することにより、前記エアシリンダ内を大気圧にして前記搬送アームの駆動を停止させ、
停止している前記搬送アームの駆動を再開させる際に、前記第1センサおよび前記第2センサの検知結果に基づき、前記ピストンが前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置のいずれにも位置しない場合には、前記ピストンの単位時間あたりの移動量が前記所定の移動量よりも小さくなるように前記エアシリンダへのエアの供給を再開させてから前記ピストンを前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置に動かす第1復帰処理を行い、
前記第1復帰処理では、前記第1電磁弁を制御して前記第1電磁弁の前記下流側へのエアの供給を開始してから、前記ピストンが前記第1方向の限界位置及び前記第2方向の限界位置のいずれにも移動しないように、前記第2電磁弁と前記第3電磁弁との開閉を交互に切り替えることにより、前記エアシリンダへのエアの供給が再開される、
部品実装装置。
a transfer arm;
an air cylinder having a piston that drives the transfer arm;
a first sensor for detecting that the piston is positioned at a limit position in a first direction;
a second sensor for detecting that the piston is positioned at a limit position in a second direction opposite to the first direction;
a control unit that controls the driving of the transfer arm by controlling the supply of air to the air cylinder;
a first air pipe connected to an air source;
a first solenoid valve provided in the first air pipe for switching between supply and stop of air from the air source;
a second air pipe for supplying air for moving the piston in the first direction to the air cylinder, which is branched downstream of the first solenoid valve in the first air pipe; a third air pipe for supplying the air cylinder with air for moving in the second direction;
a second solenoid valve provided in the second air pipe;
a third solenoid valve provided in the third air pipe,
The control unit
It is possible to supply air to the air cylinder so that the piston moves by a predetermined amount per unit time,
controlling the first electromagnetic valve to cut off the supply of air to the air cylinder, thereby making the inside of the air cylinder atmospheric pressure and stopping the driving of the transfer arm;
When restarting the driving of the stopped transfer arm, the piston is positioned at either the limit position in the first direction or the limit position in the second direction based on the detection results of the first sensor and the second sensor. If it is not located at either position, the air supply to the air cylinder is resumed so that the amount of movement of the piston per unit time becomes smaller than the predetermined amount of movement, and then the piston is moved in the first direction. performing a first return process of moving to the limit position or the limit position in the second direction;
In the first return process, the first solenoid valve is controlled to start supplying air to the downstream side of the first solenoid valve, and then the piston moves to the limit position in the first direction and to the second position. The supply of air to the air cylinder is restarted by alternately switching the opening and closing of the second solenoid valve and the third solenoid valve so as not to move to any of the directional limit positions.
Component mounting equipment.
さらに、前記第1エア配管に設けられた第4電磁弁を備え、
前記制御部は、
前記第1電磁弁および前記第4電磁弁の両方を開放させることで、前記エア源からエアを前記エアシリンダに供給させる、
請求項に記載の部品実装装置。
Furthermore, comprising a fourth solenoid valve provided in the first air pipe,
The control unit
By opening both the first solenoid valve and the fourth solenoid valve, air is supplied from the air source to the air cylinder;
The component mounting apparatus according to claim 1 .
搬送アームと、
前記搬送アームを駆動するピストンを備えるエアシリンダと、
前記ピストンが第1方向の限界位置に位置することを検知する第1センサと、
前記ピストンが前記第1方向と反対側の第2方向の限界位置に位置することを検知する第2センサと、
前記エアシリンダへのエアの供給を制御することで、前記搬送アームの駆動を制御する制御部と、
エア源に接続された第1エア配管と、
前記第1エア配管に設けられ、前記エア源からのエアの供給と停止とを切り替えるための第1電磁弁および第4電磁弁と、
前記第1エア配管における前記第1電磁弁および前記第4電磁弁の下流側で分岐され、前記ピストンを前記第1方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第2エア配管、および、前記ピストンを前記第2方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第3エア配管と、
前記第2エア配管に設けられる第2電磁弁と、
前記第3エア配管に設けられる第3電磁弁と、を備え、
前記制御部は、
前記第1電磁弁および前記第4電磁弁の両方を開放させることで、前記エア源からエアを前記エアシリンダに供給させ、
前記ピストンが単位時間あたり所定の移動量動くように前記エアシリンダへのエアの供給を行うことが可能であり、
前記第1電磁弁および前記第4電磁弁を制御して前記エアシリンダへのエアの供給を遮断することにより、前記エアシリンダ内を大気圧にして前記搬送アームの駆動を停止させ、
停止している前記搬送アームの駆動を再開させる際に、前記第1センサおよび前記第2センサの検知結果に基づき、前記ピストンが前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置のいずれにも位置しない場合には、前記ピストンの単位時間あたりの移動量が前記所定の移動量よりも小さくなるように前記エアシリンダへのエアの供給を再開させてから前記ピストンを前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置に動かす第1復帰処理を行い、
前記第1復帰処理では、前記第1電磁弁および前記第4電磁弁を制御して前記第1電磁弁および前記第4電磁弁の前記下流側へのエアの供給を開始してから、前記第2電磁弁または前記第3電磁弁の一方の開閉を繰り返し切り替えることにより、前記エアシリンダへのエアの供給が再開される、
部品実装装置。
a transfer arm;
an air cylinder having a piston that drives the transfer arm;
a first sensor for detecting that the piston is positioned at a limit position in a first direction;
a second sensor for detecting that the piston is positioned at a limit position in a second direction opposite to the first direction;
a control unit that controls the driving of the transfer arm by controlling the supply of air to the air cylinder;
a first air pipe connected to an air source;
a first solenoid valve and a fourth solenoid valve provided in the first air pipe for switching supply and stop of air from the air source;
a second air pipe that is branched downstream of the first solenoid valve and the fourth solenoid valve in the first air pipe and supplies air to the air cylinder for moving the piston in the first direction; and a third air pipe for supplying the air cylinder with air for moving the piston in the second direction;
a second solenoid valve provided in the second air pipe;
a third solenoid valve provided in the third air pipe,
The control unit
supplying air from the air source to the air cylinder by opening both the first solenoid valve and the fourth solenoid valve;
It is possible to supply air to the air cylinder so that the piston moves by a predetermined amount per unit time,
controlling the first electromagnetic valve and the fourth electromagnetic valve to cut off the supply of air to the air cylinder, thereby making the inside of the air cylinder atmospheric pressure and stopping the driving of the transfer arm;
When restarting the driving of the stopped transfer arm, the piston is positioned at either the limit position in the first direction or the limit position in the second direction based on the detection results of the first sensor and the second sensor. If it is not located at either position, the air supply to the air cylinder is resumed so that the amount of movement of the piston per unit time becomes smaller than the predetermined amount of movement, and then the piston is moved in the first direction. performing a first return process of moving to the limit position or the limit position in the second direction;
In the first return process, after controlling the first solenoid valve and the fourth solenoid valve to start supplying air to the downstream side of the first solenoid valve and the fourth solenoid valve, The supply of air to the air cylinder is restarted by repeatedly opening and closing one of the two solenoid valves or the third solenoid valve.
Component mounting equipment.
搬送アームと、
前記搬送アームを駆動するピストンを備えるエアシリンダと、
前記ピストンが第1方向の限界位置に位置することを検知する第1センサと、
前記ピストンが前記第1方向と反対側の第2方向の限界位置に位置することを検知する第2センサと、
前記エアシリンダへのエアの供給を制御することで、前記搬送アームの駆動を制御する制御部と、
エア源に接続された第1エア配管と、
前記第1エア配管に設けられ、前記エア源からのエアの供給と停止とを切り替えるための第1電磁弁および第4電磁弁と、
前記第1エア配管における前記第1電磁弁および前記第4電磁弁の下流側で分岐され、前記ピストンを前記第1方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第2エア配管、および、前記ピストンを前記第2方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第3エア配管と、
前記第2エア配管に設けられる第2電磁弁と、
前記第3エア配管に設けられる第3電磁弁と、を備え、
前記制御部は、
前記第1電磁弁および前記第4電磁弁の両方を開放させることで、前記エア源からエアを前記エアシリンダに供給させ、
前記ピストンが単位時間あたり所定の移動量動くように前記エアシリンダへのエアの供給を行うことが可能であり、
前記第1電磁弁および前記第4電磁弁を制御して前記エアシリンダへのエアの供給を遮断することにより、前記エアシリンダ内を大気圧にして前記搬送アームの駆動を停止させ、
停止している前記搬送アームの駆動を再開させる際に、前記第1センサおよび前記第2センサの検知結果に基づき、前記ピストンが前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置のいずれにも位置しない場合には、前記ピストンの単位時間あたりの移動量が前記所定の移動量よりも小さくなるように前記エアシリンダへのエアの供給を再開させてから前記ピストンを前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置に動かす第1復帰処理を行い、
前記第1復帰処理では、前記第1電磁弁および前記第4電磁弁を制御して前記第1電磁弁および前記第4電磁弁の前記下流側へのエアの供給を開始してから、前記第2電磁弁および前記第3電磁弁の両方を開放させることにより、前記エアシリンダへのエアの供給が再開される、
部品実装装置。
a transfer arm;
an air cylinder having a piston that drives the transfer arm;
a first sensor for detecting that the piston is positioned at a limit position in a first direction;
a second sensor for detecting that the piston is positioned at a limit position in a second direction opposite to the first direction;
a control unit that controls the driving of the transfer arm by controlling the supply of air to the air cylinder;
a first air pipe connected to an air source;
a first solenoid valve and a fourth solenoid valve provided in the first air pipe for switching supply and stop of air from the air source;
a second air pipe that is branched downstream of the first solenoid valve and the fourth solenoid valve in the first air pipe and supplies air to the air cylinder for moving the piston in the first direction; and a third air pipe for supplying the air cylinder with air for moving the piston in the second direction;
a second solenoid valve provided in the second air pipe;
a third solenoid valve provided in the third air pipe,
The control unit
supplying air from the air source to the air cylinder by opening both the first solenoid valve and the fourth solenoid valve;
It is possible to supply air to the air cylinder so that the piston moves by a predetermined amount per unit time,
controlling the first electromagnetic valve and the fourth electromagnetic valve to cut off the supply of air to the air cylinder, thereby making the inside of the air cylinder atmospheric pressure and stopping the driving of the transfer arm;
When restarting the driving of the stopped transfer arm, the piston is positioned at either the limit position in the first direction or the limit position in the second direction based on the detection results of the first sensor and the second sensor. If it is not located at either position, the air supply to the air cylinder is resumed so that the amount of movement of the piston per unit time becomes smaller than the predetermined amount of movement, and then the piston is moved in the first direction. performing a first return process of moving to the limit position or the limit position in the second direction;
In the first return process, after controlling the first solenoid valve and the fourth solenoid valve to start supplying air to the downstream side of the first solenoid valve and the fourth solenoid valve, By opening both the second solenoid valve and the third solenoid valve, the supply of air to the air cylinder is resumed.
Component mounting equipment.
前記制御部は、停止している前記搬送アームの駆動を再開させる際に、前記第1センサおよび前記第2センサの検知結果に基づき、前記ピストンが前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置のいずれかの限界位置に位置する場合には、前記ピストンが位置する一方の限界位置から他方の限界位置に動かないように前記エアシリンダへのエアの供給を再開させる第2復帰処理を行う、
請求項1から4のいずれか1項に記載の部品実装装置。
When restarting the driving of the transfer arm that has stopped, the control unit determines whether the piston is at the limit position in the first direction or in the second direction based on the detection results of the first sensor and the second sensor. second return process for restarting the supply of air to the air cylinder so that the piston does not move from one limit position to the other limit position I do,
The component mounting apparatus according to any one of claims 1 to 4 .
搬送アームと、
前記搬送アームを駆動するピストンを備えるエアシリンダと、
前記ピストンが第1方向の限界位置に位置することを検知する第1センサと、
前記ピストンが前記第1方向と反対側の第2方向の限界位置に位置することを検知する第2センサと、
エア源に接続された第1エア配管と、
前記第1エア配管に設けられ、前記エア源からのエアの供給と停止とを切り替えるための第1電磁弁と、
前記第1エア配管における前記第1電磁弁の下流側で分岐され、前記ピストンを前記第1方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第2エア配管、および、前記ピストンを前記第2方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第3エア配管と、
前記第2エア配管に設けられる第2電磁弁と、
前記第3エア配管に設けられる第3電磁弁と、を備える部品実装装置を用いた部品実装方法であって、
前記エアシリンダにエアを供給して前記ピストンを単位時間あたり所定の移動量動くように駆動することで、前記搬送アームを駆動する駆動ステップと、
前記第1電磁弁を制御することで前記エアシリンダへのエアの供給を遮断することにより、前記エアシリンダ内を大気圧にして前記搬送アームの駆動を停止する停止ステップと、
前記停止ステップの後に、前記第1センサおよび前記第2センサの検知結果に基づいて、前記ピストンが前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置に位置するか否かを判定する判定ステップと、
前記判定ステップで前記ピストンが前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置のいずれにも位置しないと判定した場合には、前記ピストンの単位時間あたりの移動量が前記所定の移動量よりも小さくなるように前記エアシリンダへのエアの供給を再開させてから、前記ピストンを前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置に動かす第1復帰処理を行う制御ステップと、を含み、
前記第1復帰処理では、前記第1電磁弁を制御して前記第1電磁弁の前記下流側へのエアの供給を開始してから、前記ピストンが前記第1方向の限界位置及び前記第2方向の限界位置のいずれにも移動しないように、前記第2電磁弁と前記第3電磁弁との開閉を交互に切り替えることにより、前記エアシリンダへのエアの供給が再開される、
部品実装方法。
a transfer arm;
an air cylinder having a piston that drives the transfer arm;
a first sensor for detecting that the piston is positioned at a limit position in a first direction;
a second sensor for detecting that the piston is positioned at a limit position in a second direction opposite to the first direction;
a first air pipe connected to an air source;
a first solenoid valve provided in the first air pipe for switching between supply and stop of air from the air source;
a second air pipe for supplying air for moving the piston in the first direction to the air cylinder, which is branched downstream of the first solenoid valve in the first air pipe; a third air pipe for supplying the air cylinder with air for moving in the second direction;
a second solenoid valve provided in the second air pipe;
A component mounting method using a component mounting apparatus comprising a third solenoid valve provided in the third air pipe,
a driving step of supplying air to the air cylinder to drive the piston so as to move a predetermined amount per unit time, thereby driving the transfer arm;
a stopping step of stopping the driving of the transfer arm by controlling the first electromagnetic valve to cut off the supply of air to the air cylinder, thereby making the inside of the air cylinder atmospheric pressure;
After the stopping step, it is determined whether the piston is positioned at the limit position in the first direction or the limit position in the second direction based on the detection results of the first sensor and the second sensor. a step;
When it is determined in the determining step that the piston is not positioned at the limit position in the first direction or the limit position in the second direction, the amount of movement of the piston per unit time is the predetermined amount of movement. a control step of performing a first return process of moving the piston to the limit position in the first direction or the limit position in the second direction after restarting the supply of air to the air cylinder so that the including
In the first return process, the first solenoid valve is controlled to start supplying air to the downstream side of the first solenoid valve, and then the piston moves to the limit position in the first direction and to the second position. The supply of air to the air cylinder is restarted by alternately switching the opening and closing of the second solenoid valve and the third solenoid valve so as not to move to any of the directional limit positions.
Component mounting method.
前記部品実装装置は、さらに、前記第1エア配管に設けられた第4電磁弁を備え、 The component mounting apparatus further comprises a fourth solenoid valve provided in the first air pipe,
前記部品実装方法では、前記第1電磁弁および前記第4電磁弁の両方を開放させることで、前記エア源からエアを前記エアシリンダに供給させる、 In the component mounting method, by opening both the first solenoid valve and the fourth solenoid valve, air is supplied from the air source to the air cylinder.
請求項6に記載の部品実装方法。 The component mounting method according to claim 6.
搬送アームと、
前記搬送アームを駆動するピストンを備えるエアシリンダと、
前記ピストンが第1方向の限界位置に位置することを検知する第1センサと、
前記ピストンが前記第1方向と反対側の第2方向の限界位置に位置することを検知する第2センサと、
エア源に接続された第1エア配管と、
前記第1エア配管に設けられ、前記エア源からのエアの供給と停止とを切り替えるための第1電磁弁および第4電磁弁と、
前記第1エア配管における前記第1電磁弁および前記第4電磁弁の下流側で分岐され、前記ピストンを前記第1方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第2エア配管、および、前記ピストンを前記第2方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第3エア配管と、
前記第2エア配管に設けられる第2電磁弁と、
前記第3エア配管に設けられる第3電磁弁と、を備える部品実装装置を用いた部品実装方法であって、
前記部品実装方法では、前記第1電磁弁および前記第4電磁弁の両方を解放させることで、前記エア源からのエアを前記エアシリンダに供給させ、
前記部品実装方法は、
前記エアシリンダにエアを供給して前記ピストンを単位時間あたり所定の移動量動くように駆動することで、前記搬送アームを駆動する駆動ステップと、
前記第1電磁弁および前記第4電磁弁を制御して前記エアシリンダへのエアの供給を遮断することにより、前記エアシリンダ内を大気圧にして前記搬送アームの駆動を停止する停止ステップと、
前記停止ステップの後に、前記第1センサおよび前記第2センサの検知結果に基づいて、前記ピストンが前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置に位置するか否かを判定する判定ステップと、
前記判定ステップで前記ピストンが前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置のいずれにも位置しないと判定した場合には、前記ピストンの単位時間あたりの移動量が前記所定の移動量よりも小さくなるように前記エアシリンダへのエアの供給を再開させてから、前記ピストンを前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置に動かす第1復帰処理を行う制御ステップと、を含み、
前記第1復帰処理では、前記第1電磁弁および前記第4電磁弁を制御して前記第1電磁弁および前記第4電磁弁の前記下流側へのエアの供給を開始してから、前記第2電磁弁または前記第3電磁弁の一方の開閉を繰り返し切り替えることにより、前記エアシリンダへのエアの供給が再開される、
部品実装方法。
a transfer arm;
an air cylinder having a piston that drives the transfer arm;
a first sensor for detecting that the piston is positioned at a limit position in a first direction;
a second sensor for detecting that the piston is positioned at a limit position in a second direction opposite to the first direction;
a first air pipe connected to an air source;
a first solenoid valve and a fourth solenoid valve provided in the first air pipe for switching supply and stop of air from the air source;
a second air pipe that is branched downstream of the first solenoid valve and the fourth solenoid valve in the first air pipe and supplies air to the air cylinder for moving the piston in the first direction; and a third air pipe for supplying the air cylinder with air for moving the piston in the second direction;
a second solenoid valve provided in the second air pipe;
A component mounting method using a component mounting apparatus comprising a third solenoid valve provided in the third air pipe,
In the component mounting method, both the first solenoid valve and the fourth solenoid valve are released to supply air from the air source to the air cylinder,
The component mounting method includes:
a driving step of supplying air to the air cylinder to drive the piston so as to move a predetermined amount per unit time, thereby driving the transfer arm;
a stop step of controlling the first solenoid valve and the fourth solenoid valve to cut off the supply of air to the air cylinder, thereby making the inside of the air cylinder atmospheric pressure and stopping the driving of the transfer arm;
After the stopping step, it is determined whether the piston is positioned at the limit position in the first direction or the limit position in the second direction based on the detection results of the first sensor and the second sensor. a step;
When it is determined in the determining step that the piston is not positioned at the limit position in the first direction or the limit position in the second direction, the amount of movement of the piston per unit time is the predetermined amount of movement. a control step of performing a first return process of moving the piston to the limit position in the first direction or the limit position in the second direction after restarting the supply of air to the air cylinder so that the including
In the first return process, after controlling the first solenoid valve and the fourth solenoid valve to start supplying air to the downstream side of the first solenoid valve and the fourth solenoid valve, The supply of air to the air cylinder is restarted by repeatedly opening and closing one of the two solenoid valves or the third solenoid valve.
Component mounting method.
搬送アームと、
前記搬送アームを駆動するピストンを備えるエアシリンダと、
前記ピストンが第1方向の限界位置に位置することを検知する第1センサと、
前記ピストンが前記第1方向と反対側の第2方向の限界位置に位置することを検知する第2センサと、
エア源に接続された第1エア配管と、
前記第1エア配管に設けられ、前記エア源からのエアの供給と停止とを切り替えるための第1電磁弁および第4電磁弁と、
前記第1エア配管における前記第1電磁弁および前記第4電磁弁の下流側で分岐され、前記ピストンを前記第1方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第2エア配管、および、前記ピストンを前記第2方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第3エア配管と、
前記第2エア配管に設けられる第2電磁弁と、
前記第3エア配管に設けられる第3電磁弁と、を備える部品実装装置を用いた部品実装方法であって、
前記部品実装方法では、前記第1電磁弁および前記第4電磁弁の両方を解放させることで、前記エア源からのエアを前記エアシリンダに供給させ、
前記部品実装方法は、
前記エアシリンダにエアを供給して前記ピストンを単位時間あたり所定の移動量動くように駆動することで、前記搬送アームを駆動する駆動ステップと、
前記第1電磁弁および前記第4電磁弁を制御して前記エアシリンダへのエアの供給を遮断することにより、前記エアシリンダ内を大気圧にして前記搬送アームの駆動を停止する停止ステップと、
前記停止ステップの後に、前記第1センサおよび前記第2センサの検知結果に基づいて、前記ピストンが前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置に位置するか否かを判定する判定ステップと、
前記判定ステップで前記ピストンが前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置のいずれにも位置しないと判定した場合には、前記ピストンの単位時間あたりの移動量が前記所定の移動量よりも小さくなるように前記エアシリンダへのエアの供給を再開させてから、前記ピストンを前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置に動かす第1復帰処理を行う制御ステップと、を含み、
前記第1復帰処理では、前記第1電磁弁および前記第4電磁弁を制御して前記第1電磁弁および前記第4電磁弁の前記下流側へのエアの供給を開始してから、前記第2電磁弁および前記第3電磁弁の両方を開放させることにより、前記エアシリンダへのエアの供給が再開される、
部品実装方法。
a transfer arm;
an air cylinder having a piston that drives the transfer arm;
a first sensor for detecting that the piston is positioned at a limit position in a first direction;
a second sensor for detecting that the piston is positioned at a limit position in a second direction opposite to the first direction;
a first air pipe connected to an air source;
a first solenoid valve and a fourth solenoid valve provided in the first air pipe for switching supply and stop of air from the air source;
a second air pipe that is branched downstream of the first solenoid valve and the fourth solenoid valve in the first air pipe and supplies air to the air cylinder for moving the piston in the first direction; and a third air pipe for supplying the air cylinder with air for moving the piston in the second direction;
a second solenoid valve provided in the second air pipe;
A component mounting method using a component mounting apparatus comprising a third solenoid valve provided in the third air pipe,
In the component mounting method, both the first solenoid valve and the fourth solenoid valve are released to supply air from the air source to the air cylinder,
The component mounting method includes:
a driving step of supplying air to the air cylinder to drive the piston so as to move a predetermined amount per unit time, thereby driving the transfer arm;
a stop step of controlling the first solenoid valve and the fourth solenoid valve to cut off the supply of air to the air cylinder, thereby making the inside of the air cylinder atmospheric pressure and stopping the driving of the transfer arm;
After the stopping step, it is determined whether the piston is positioned at the limit position in the first direction or the limit position in the second direction based on the detection results of the first sensor and the second sensor. a step;
When it is determined in the determining step that the piston is not positioned at the limit position in the first direction or the limit position in the second direction, the amount of movement of the piston per unit time is the predetermined amount of movement. a control step of performing a first return process of moving the piston to the limit position in the first direction or the limit position in the second direction after restarting the supply of air to the air cylinder so that the including
In the first return process, after controlling the first solenoid valve and the fourth solenoid valve to start supplying air to the downstream side of the first solenoid valve and the fourth solenoid valve, By opening both the second solenoid valve and the third solenoid valve, the supply of air to the air cylinder is resumed.
Component mounting method.
前記制御ステップにおいて、前記判定ステップで前記ピストンが前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置のいずれかの限界位置に位置すると判定した場合には、前記ピストンが位置する一方の限界位置から他方の限界位置に動かないように前記エアシリンダへのエアの供給を再開する第2復帰処理を行う、
請求項6から9のいずれか1項に記載の部品実装方法。
In the control step, when it is determined in the determination step that the piston is positioned at either the limit position in the first direction or the limit position in the second direction, one limit position at which the piston is positioned is determined. performing a second return process for resuming the supply of air to the air cylinder so as not to move from one position to the other limit position;
The component mounting method according to any one of claims 6 to 9 .
ピストンを備えるエアシリンダの制御方法であって、
前記エアシリンダの制御方法では、
エア源に接続された第1エア配管に設けられ、前記エア源からのエアの供給と停止とを切り替えるための第1電磁弁と、
前記第1エア配管における前記第1電磁弁の下流側で分岐され、前記ピストンを第1方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第2エア配管に設けられる第2電磁弁と、
前記ピストンを前記第1方向とは反対側の第2方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第3エア配管に設けられる第3電磁弁と、を制御することで前記エアシリンダへのエアの供給を制御し、
前記エアシリンダの制御方法は、
前記エアシリンダにエアを供給して前記ピストンを単位時間あたり所定の移動量動くように駆動する駆動ステップと、
前記第1電磁弁を制御して前記エアシリンダへのエアの供給を遮断することにより、前記エアシリンダ内を大気圧にして前記ピストンの駆動を停止する停止ステップと、
前記停止ステップの後に、前記ピストンが前記第1方向の限界位置に位置することを検知する第1センサおよび、前記ピストンが前記第2方向の限界位置に位置することを検知する第2センサの検知結果に基づいて、前記ピストンが前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置に位置するか否かを判定する判定ステップと、
前記判定ステップで前記ピストンが前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置のいずれにも位置しないと判定した場合には、前記ピストンの単位時間あたりの移動量が前記所定の移動量よりも小さくなるように前記エアシリンダへのエアの供給を再開させてから、前記ピストンを前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置に動かす第1復帰処理を行う制御ステップと、を含み、
前記第1復帰処理では、前記第1電磁弁を制御して前記第1電磁弁の前記下流側へのエアの供給を開始してから、前記ピストンが前記第1方向の限界位置及び前記第2方向の限界位置のいずれにも移動しないように、前記第2電磁弁と前記第3電磁弁との開閉を交互に切り替えることにより、前記エアシリンダへのエアの供給が再開される、
エアシリンダの制御方法。
A control method for an air cylinder having a piston, comprising:
In the air cylinder control method,
a first solenoid valve provided in a first air pipe connected to an air source for switching between supply and stop of air from the air source;
a second solenoid valve provided in a second air pipe for supplying air for moving the piston in the first direction to the air cylinder, the second solenoid valve being branched downstream of the first solenoid valve in the first air pipe; ,
a third solenoid valve provided in a third air pipe for supplying air for moving the piston in a second direction opposite to the first direction to the air cylinder; controls the air supply to
The air cylinder control method includes:
a driving step of supplying air to the air cylinder to drive the piston so as to move a predetermined amount of movement per unit time;
a stopping step of stopping the driving of the piston by controlling the first solenoid valve to cut off the supply of air to the air cylinder, thereby making the inside of the air cylinder atmospheric pressure;
After the stopping step, a first sensor that detects that the piston is positioned at the limit position in the first direction and a second sensor that detects that the piston is positioned at the limit position in the second direction. a determination step of determining whether the piston is positioned at the limit position in the first direction or the limit position in the second direction based on the detection result;
When it is determined in the determining step that the piston is not positioned at the limit position in the first direction or the limit position in the second direction, the amount of movement of the piston per unit time is the predetermined amount of movement. a control step of performing a first return process of moving the piston to the limit position in the first direction or the limit position in the second direction after restarting the supply of air to the air cylinder so that the including
In the first return process, the first solenoid valve is controlled to start supplying air to the downstream side of the first solenoid valve, and then the piston moves to the limit position in the first direction and to the second position. The supply of air to the air cylinder is restarted by alternately switching the opening and closing of the second solenoid valve and the third solenoid valve so as not to move to any of the directional limit positions.
Air cylinder control method.
前記エアシリンダの制御方法では、さらに、前記第1エア配管に設けられた第4電磁弁を制御することで前記エアシリンダへのエアの供給を制御し、 In the air cylinder control method, the air supply to the air cylinder is further controlled by controlling a fourth solenoid valve provided in the first air pipe,
前記第1電磁弁および前記第4電磁弁の両方を開放させることで、前記エア源からエアを前記エアシリンダに供給させる、 By opening both the first solenoid valve and the fourth solenoid valve, air is supplied from the air source to the air cylinder;
請求項11に記載のエアシリンダの制御方法。 The air cylinder control method according to claim 11.
ピストンを備えるエアシリンダの制御方法であって、
前記エアシリンダの制御方法では、
エア源に接続された第1エア配管に設けられ、前記エア源からのエアの供給と停止とを切り替えるための第1電磁弁および第4電磁弁と、
前記第1エア配管における前記第1電磁弁および前記第4電磁弁の下流側で分岐され、前記ピストンを第1方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第2エア配管に設けられる第2電磁弁と、
前記ピストンを前記第1方向とは反対側の第2方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第3エア配管に設けられる第3電磁弁と、を制御することで前記エアシリンダへのエアの供給を制御し、
前記エアシリンダの制御方法では、前記第1電磁弁および前記第4電磁弁の両方を開放させることで、前記エア源からエアを前記エアシリンダに供給させ、
前記エアシリンダの制御方法は、
前記エアシリンダにエアを供給して前記ピストンを単位時間あたり所定の移動量動くように駆動する駆動ステップと、
前記第1電磁弁および前記第4電磁弁を制御して前記エアシリンダへのエアの供給を遮断することにより、前記エアシリンダ内を大気圧にして前記ピストンの駆動を停止する停止ステップと、
前記停止ステップの後に、前記ピストンが前記第1方向の限界位置に位置することを検知する第1センサおよび、前記ピストンが前記第2方向の限界位置に位置することを検知する第2センサの検知結果に基づいて、前記ピストンが前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置に位置するか否かを判定する判定ステップと、
前記判定ステップで前記ピストンが前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置のいずれにも位置しないと判定した場合には、前記ピストンの単位時間あたりの移動量が前記所定の移動量よりも小さくなるように前記エアシリンダへのエアの供給を再開させてから、前記ピストンを前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置に動かす第1復帰処理を行う制御ステップと、を含み、
前記第1復帰処理では、前記第1電磁弁および前記第4電磁弁を制御して前記第1電磁弁および前記第4電磁弁の前記下流側へのエアの供給を開始してから、前記第2電磁弁または前記第3電磁弁の一方の開閉を繰り返し切り替えることにより、前記エアシリンダへのエアの供給が再開される、
エアシリンダの制御方法。
A control method for an air cylinder having a piston, comprising:
In the air cylinder control method,
a first solenoid valve and a fourth solenoid valve provided in a first air pipe connected to an air source for switching between supply and stop of air from the air source;
A second air pipe branched downstream of the first solenoid valve and the fourth solenoid valve in the first air pipe and provided in a second air pipe for supplying air to the air cylinder for moving the piston in the first direction a second solenoid valve,
a third solenoid valve provided in a third air pipe for supplying air for moving the piston in a second direction opposite to the first direction to the air cylinder; controls the air supply to
In the air cylinder control method, by opening both the first solenoid valve and the fourth solenoid valve, air is supplied from the air source to the air cylinder,
The method for controlling the air cylinder includes:
a driving step of supplying air to the air cylinder to drive the piston so as to move a predetermined amount of movement per unit time;
a stop step of controlling the first solenoid valve and the fourth solenoid valve to cut off the supply of air to the air cylinder, thereby making the inside of the air cylinder atmospheric pressure and stopping the driving of the piston;
After the stopping step, a first sensor that detects that the piston is positioned at the limit position in the first direction and a second sensor that detects that the piston is positioned at the limit position in the second direction. a determination step of determining whether the piston is positioned at the limit position in the first direction or the limit position in the second direction based on the detection result;
When it is determined in the determining step that the piston is not positioned at the limit position in the first direction or the limit position in the second direction, the amount of movement of the piston per unit time is the predetermined amount of movement. a control step of performing a first return process of moving the piston to the limit position in the first direction or the limit position in the second direction after restarting the supply of air to the air cylinder so that the including
In the first return process, after controlling the first solenoid valve and the fourth solenoid valve to start supplying air to the downstream side of the first solenoid valve and the fourth solenoid valve, The supply of air to the air cylinder is restarted by repeatedly opening and closing one of the two solenoid valves or the third solenoid valve.
Air cylinder control method.
ピストンを備えるエアシリンダの制御方法であって、
前記エアシリンダの制御方法では、
エア源に接続された第1エア配管に設けられ、前記エア源からのエアの供給と停止とを切り替えるための第1電磁弁および第4電磁弁と、
前記第1エア配管における前記第1電磁弁および前記第4電磁弁の下流側で分岐され、前記ピストンを第1方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第2エア配管に設けられる第2電磁弁と、
前記ピストンを前記第1方向とは反対側の第2方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第3エア配管に設けられる第3電磁弁と、を制御することで前記エアシリンダへのエアの供給を制御し、
前記エアシリンダの制御方法では、前記第1電磁弁および前記第4電磁弁の両方を開放させることで、前記エア源からエアを前記エアシリンダに供給させ、
前記エアシリンダの制御方法は、
前記エアシリンダにエアを供給して前記ピストンを単位時間あたり所定の移動量動くように駆動する駆動ステップと、
前記第1電磁弁および前記第4電磁弁を制御して前記エアシリンダへのエアの供給を遮断することにより、前記エアシリンダ内を大気圧にして前記ピストンの駆動を停止する停止ステップと、
前記停止ステップの後に、前記ピストンが前記第1方向の限界位置に位置することを検知する第1センサおよび、前記ピストンが前記第2方向の限界位置に位置することを検知する第2センサの検知結果に基づいて、前記ピストンが前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置に位置するか否かを判定する判定ステップと、
前記判定ステップで前記ピストンが前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置のいずれにも位置しないと判定した場合には、前記ピストンの単位時間あたりの移動量が前記所定の移動量よりも小さくなるように前記エアシリンダへのエアの供給を再開させてから、前記ピストンを前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置に動かす第1復帰処理を行う制御ステップと、を含み、
前記第1復帰処理では、前記第1電磁弁および前記第4電磁弁を制御して前記第1電磁弁および前記第4電磁弁の前記下流側へのエアの供給を開始してから、前記第2電磁弁および前記第3電磁弁の両方を開放させることにより、前記エアシリンダへのエアの供給が再開される、
エアシリンダの制御方法。
A control method for an air cylinder having a piston, comprising:
In the air cylinder control method,
a first solenoid valve and a fourth solenoid valve provided in a first air pipe connected to an air source for switching between supply and stop of air from the air source;
A second air pipe branched downstream of the first solenoid valve and the fourth solenoid valve in the first air pipe and provided in a second air pipe for supplying air to the air cylinder for moving the piston in the first direction a second solenoid valve,
a third solenoid valve provided in a third air pipe for supplying air for moving the piston in a second direction opposite to the first direction to the air cylinder; controls the air supply to the
In the air cylinder control method, by opening both the first solenoid valve and the fourth solenoid valve, air is supplied from the air source to the air cylinder,
The air cylinder control method includes:
a driving step of supplying air to the air cylinder to drive the piston so as to move a predetermined amount of movement per unit time;
a stop step of controlling the first solenoid valve and the fourth solenoid valve to cut off the supply of air to the air cylinder, thereby making the inside of the air cylinder atmospheric pressure and stopping the driving of the piston;
After the stopping step, a first sensor that detects that the piston is positioned at the limit position in the first direction and a second sensor that detects that the piston is positioned at the limit position in the second direction. a determination step of determining whether the piston is positioned at the limit position in the first direction or the limit position in the second direction based on the detection result;
When it is determined in the determining step that the piston is not positioned at the limit position in the first direction or the limit position in the second direction, the amount of movement of the piston per unit time is the predetermined amount of movement. a control step of performing a first return process of moving the piston to the limit position in the first direction or the limit position in the second direction after restarting the supply of air to the air cylinder so that the including
In the first return process, after controlling the first solenoid valve and the fourth solenoid valve to start supplying air to the downstream side of the first solenoid valve and the fourth solenoid valve, By opening both the second solenoid valve and the third solenoid valve, the supply of air to the air cylinder is resumed.
Air cylinder control method.
前記制御ステップにおいて、前記判定ステップで前記ピストンが前記第1方向の限界位置または前記第2方向の限界位置のいずれかの限界位置に位置すると判定した場合には、前記ピストンが位置する一方の限界位置から他方の限界位置に動かないように前記エアシリンダへのエアの供給を再開する第2復帰処理を行う、
請求項11から14のいずれか1項に記載のエアシリンダの制御方法。
In the control step, when it is determined in the determination step that the piston is positioned at either the limit position in the first direction or the limit position in the second direction, one limit position at which the piston is positioned is determined. performing a second return process for resuming the supply of air to the air cylinder so as not to move from one position to the other limit position;
The air cylinder control method according to any one of claims 11 to 14 .
請求項11から15のいずれか1項に記載のエアシリンダの制御方法をコンピュータに実行させるための
プログラム。
A program for causing a computer to execute the air cylinder control method according to any one of claims 11 to 15 .
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