JP7252106B2 - 分光センサ、及びそれを採用した分光器 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 29
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 claims description 28
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 26
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 15
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims description 7
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 claims description 5
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 2
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 19
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- 240000006829 Ficus sundaica Species 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910032387 LiCoO2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003327 LiNbO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910012463 LiTaO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 241001465754 Metazoa Species 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003915 air pollution Methods 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007405 data analysis Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000010295 mobile communication Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000000382 optic material Substances 0.000 description 1
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 description 1
- SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N osmium atom Chemical compound [Os] SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000002198 surface plasmon resonance spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000003911 water pollution Methods 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/44—Raman spectrometry; Scattering spectrometry ; Fluorescence spectrometry
- G01J3/4412—Scattering spectrometry
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- G01—MEASURING; TESTING
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- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/44—Electric circuits
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- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
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- G01N21/552—Attenuated total reflection
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/44—Electric circuits
- G01J2001/4446—Type of detector
- G01J2001/448—Array [CCD]
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
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Description
前記第1誘電体層と第3誘電体層は、同じ物質からなり、前記第2誘電体層と第4誘電体層は、同じ物質からなり、前記複数のナノホールは、前記中間層を貫通しないことを特徴とする。
20 下部ナノ構造層
11 第1誘電体層
12 第2誘電体層
21 第3誘電体層
22 第4誘電体層
30 中間層
100 分光センサ
110 ナノアンテナ・アレイ部
111,112,113 ナノアンテナ
120 光検出器アレイ部
121 光検出器
150,260 光学レンズ
200 光源部
210 光源
220 光路転換部材
230 絞り
280 ベース
300,301,302,303,304 分光センサモジュール
400 信号処理部
500 ユーザ・インターフェース
600 制御モジュール
1000,1001,1002 分光器
L 光信号
LE 励起光
LS 散乱光
M 伝導性物質
S 支持部
NH ナノホール
NP ナノ粒子
OBJ 対象体
Claims (15)
- 共振波長帯域が互いに異なる複数のナノアンテナを具備するナノアンテナ・アレイ部と、
前記複数のナノアンテナからの光をそれぞれ検出する複数の光検出器を具備する光検出器アレイ部と、を含み、
前記複数のナノアンテナのそれぞれは、
第1誘電体層と、前記第1誘電体層より大きい屈折率を有する第2誘電体層とが第1方向に沿って交互積層された積層構造と、前記積層構造を貫通して形成された複数のナノホールと、を含む上部ナノ構造層と、
第3誘電体層と、前記第3誘電体層より大きい屈折率を有する第4誘電体層と、が前記第1方向に沿って交互積層された積層構造と、前記積層構造を貫通して形成された複数のナノホールと、を含む下部ナノ構造層と、
前記上部ナノ構造層と前記下部ナノ構造層との間に配置され、誘電物質からなり、前記ナノアンテナ内で、前記上部ナノ構造層及び前記下部ナノ構造層の規則性を崩す中間層と、を含み、
前記中間層は、前記第1誘電体層、前記第2誘電体層、前記第3誘電体層、および前記第4誘電体層の各層と材質が異なるか、または厚さが異なり、
前記複数のナノホールは、前記第1方向と垂直である平面上に、所定の規則性を有して配置されており、
前記規則性を示す周期は、共振波長をλとするとき、λ/3より小さく、
前記光検出器アレイ部と前記ナノアンテナ・アレイ部とは統合的に結合されており、
前記第1誘電体層と前記第3誘電体層は、同じ物質からなり、
前記第2誘電体層と前記第4誘電体層は、同じ物質からなり、
前記複数のナノホールは、前記中間層を貫通しないことを特徴とする分光センサ。 - 前記上部ナノ構造層及び前記下部ナノ構造層に形成された積層構造の周期は、前記共振波長をλとするとき、λ/2以下であることを特徴とする請求項1に記載の分光センサ。
- 前記複数のナノホールは、空気、または屈折率が1より大きい誘電体物質で充填されたことを特徴とする請求項1に記載の分光センサ。
- 対象体に励起光を照射するための光源と、
前記対象体から、前記励起光による散乱光をセンシングする請求項1ないし3のうちいずれか1項に記載の分光センサと、を含む分光センサモジュール。 - 前記分光センサは、前記対象体から反射された散乱光をセンシングするように配置されることを特徴とする請求項4に記載の分光センサモジュール。
- 透光性材質からなり、互いに対面する第1面及び第2面を有するベースをさらに含み、
前記光源は、前記ベースの前記第1面に、前記第2面を介して前記対象体に励起光を照射するように配置され、
前記分光センサは、前記ベースの前記第1面に、前記第2面を介して入射される前記対象体からの散乱光をセンシングするように配置されることを特徴とする請求項5に記載の分光センサモジュール。 - 前記第2面に配置され、前記光源からの励起光を前記対象体に集束し、前記対象体からの散乱光を、前記分光センサに集束する光学レンズをさらに含むことを特徴とする請求項6に記載の分光センサモジュール。
- 前記ベースは、フレキシブル材質からなることを特徴とする請求項6に記載の分光センサモジュール。
- 前記分光センサモジュールは、前記対象体に着用される形態を有することを特徴とする請求項8に記載の分光センサモジュール。
- 前記分光センサは、前記対象体を透過した散乱光をセンシングするように配置されることを特徴とする請求項4に記載の分光センサモジュール。
- 前記分光センサモジュールは、イヤリング状に前記対象体に着用されることを特徴とする請求項10に記載の分光センサモジュール。
- 対象体に励起光を照射するための光源と、
前記対象体から、前記励起光による散乱光をセンシングすることができる請求項1ないし3のうちいずれか1項に記載の分光センサを具備する分光センサモジュールと、
前記分光センサでセンシングされた信号から、前記対象体の物性を分析する信号処理部と、を含む分光器。 - 前記光源は、近赤外線帯域の光を照射することを特徴とする請求項12に記載の分光器。
- 前記信号処理部は、ラマン分光法によって前記対象体の物性を分析することを特徴とする請求項13に記載の分光器。
- 前記分光センサモジュールは、前記対象体に着用されるように構成されることを特徴とする請求項12に記載の分光器。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR20140055755 | 2014-05-09 | ||
KR10-2014-0055755 | 2014-05-09 | ||
KR10-2014-0100697 | 2014-08-05 | ||
KR1020140100697A KR102219705B1 (ko) | 2014-05-09 | 2014-08-05 | 분광 센서 및 이를 채용한 분광기 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015095890A Division JP2015215351A (ja) | 2014-05-09 | 2015-05-08 | 分光センサ、及びそれを採用した分光器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020008590A JP2020008590A (ja) | 2020-01-16 |
JP7252106B2 true JP7252106B2 (ja) | 2023-04-04 |
Family
ID=54839084
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019166534A Active JP7252106B2 (ja) | 2014-05-09 | 2019-09-12 | 分光センサ、及びそれを採用した分光器 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7252106B2 (ja) |
KR (1) | KR102219705B1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102640203B1 (ko) | 2016-06-24 | 2024-02-23 | 삼성전자주식회사 | 슬롯을 포함하는 광학 소자 및 이를 채용한 장치 |
US10381397B2 (en) * | 2017-11-14 | 2019-08-13 | Black Sesame International Holding Limited | Nano metallic planar apex optical detector |
KR102187323B1 (ko) * | 2018-01-10 | 2020-12-07 | 부산대학교 산학협력단 | 근적외선 특정 신호 구별 및 증폭을 위한 패턴 표면 구조 및 이를 갖는 바이오 이미징 시스템 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007029714A1 (ja) | 2005-09-06 | 2007-03-15 | Tohoku Techno Arch Co., Ltd. | 波長分割画像計測装置 |
JP2008191097A (ja) | 2007-02-07 | 2008-08-21 | Tohoku Univ | 分光計測装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS571930A (en) * | 1980-06-05 | 1982-01-07 | Ricoh Co Ltd | Equal magnification type photosensor |
US5615673A (en) | 1995-03-27 | 1997-04-01 | Massachusetts Institute Of Technology | Apparatus and methods of raman spectroscopy for analysis of blood gases and analytes |
JPH1080416A (ja) * | 1996-09-09 | 1998-03-31 | Hitachi Ltd | 無侵襲生化学計測装置 |
JP2001149349A (ja) * | 1999-11-26 | 2001-06-05 | Nippon Koden Corp | 生体用センサ |
JP4625886B2 (ja) * | 2003-06-06 | 2011-02-02 | 株式会社ユメディカ | 脈波解析法及び自律神経機能評価装置 |
WO2006116637A2 (en) | 2005-04-27 | 2006-11-02 | Massachusetts Institute Of Technology | Raman spectroscopy for non-invasive glucose measurements |
JP4621270B2 (ja) * | 2007-07-13 | 2011-01-26 | キヤノン株式会社 | 光学フィルタ |
WO2010108086A2 (en) * | 2009-03-20 | 2010-09-23 | Nanolambda, Inc. | Nano-optic filter array based sensor |
JP5332996B2 (ja) * | 2009-07-17 | 2013-11-06 | ソニー株式会社 | 多層膜光学フィルタ、固体撮像素子、撮像装置、表示装置、通信装置 |
KR101669219B1 (ko) * | 2010-12-30 | 2016-10-26 | 삼성전자주식회사 | 광변조기 및 이를 채용한 광학장치 |
-
2014
- 2014-08-05 KR KR1020140100697A patent/KR102219705B1/ko active IP Right Grant
-
2019
- 2019-09-12 JP JP2019166534A patent/JP7252106B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007029714A1 (ja) | 2005-09-06 | 2007-03-15 | Tohoku Techno Arch Co., Ltd. | 波長分割画像計測装置 |
JP2008191097A (ja) | 2007-02-07 | 2008-08-21 | Tohoku Univ | 分光計測装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020008590A (ja) | 2020-01-16 |
KR102219705B1 (ko) | 2021-02-24 |
KR20150128512A (ko) | 2015-11-18 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191011 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201208 |
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A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210305 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20210907 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220107 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20220107 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20220120 |
|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20220125 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20220318 |
|
C211 | Notice of termination of reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C211 Effective date: 20220329 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20220705 |
|
C13 | Notice of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C13 Effective date: 20220802 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221101 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221101 |
|
C23 | Notice of termination of proceedings |
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|
C03 | Trial/appeal decision taken |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C03 Effective date: 20230307 |
|
C30A | Notification sent |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C3012 Effective date: 20230307 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230323 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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