JP7247077B2 - 受信用レーザ光受信装置、レーザ超音波計測装置およびレーザ超音波計測方法 - Google Patents
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図1は、第1の実施形態に係る受信用レーザ光受信装置の構成を示す縦断面図である。
図7は、第2の実施形態に係る受信用レーザ光受信装置の構成を概念的に示す縦断面図である。
図8は、第3の実施形態に係る受信用レーザ光受信装置の構成を概念的に示す縦断面図である。
以上、本発明の実施形態を説明したが、実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。
Claims (5)
- 受信用レーザ光を測定対象に照射する受信用レーザ光照射部と、
測定対象からのレーザ光を受光する受信用レーザ光受光部と、
前記受信用レーザ光受光部に向けてレーザ光を集光する第1集光ミラーと、
前記受信用レーザ光照射部から照射される受信レーザ照射光を走査する光学機構または駆動機構と、
を具備し、
前記第1集光ミラーは非球面回転体であり、前記受信用レーザ光受光部は前記第1集光ミラーの中心線上に配されている、
ことを特徴とする受信用レーザ光受信装置。 - 前記受信用レーザ光受光部は前記受信用レーザ光照射部と一体に形成されていることを特徴とする請求項1記載の受信用レーザ光受信装置。
- 前記第1集光ミラーの焦点と前記測定対象における受信用レーザ光の照射部分との距離は、前記第1集光ミラーにおける前記受信用レーザ光の照射部分からの最遠点と前記受信用レーザ光の照射部分との距離との距離よりも短いことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の受信用レーザ光受信装置。
- 前記受信用レーザ光受光部で受光したレーザ光を干渉計測するための干渉計と、
受信用光学プローブ干渉計により計測された超音波信号を収録し、解析するための信号処理収録部と、
データ収録手段により解析された超音波波形から検査結果を二次元または三次元画像として表示する画像表示部と、
をさらに具備することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の受信用レーザ光受信装置。 - 前記測定対象に超音波を励起するための超音波発生装置と、
前記請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の受信用レーザ光受信装置と、
を備えたことを特徴とするレーザ超音波計測装置。
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