JP7246073B2 - 位置補正機能を有する顕微分光装置 - Google Patents
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Description
試料に励起光を照射する光源と、励起光を前記試料の所定位置に照射するとともに該試料からの反射光または透過光を集光する対物レンズと、集光した光を検出する分光器と、該分光器からの信号を解析する解析制御手段と、を含み、前記試料の観察画像を利用して分光測定を行う顕微分光装置であって、
前記解析制御手段は、
低倍率の前記対物レンズで焦点のみ異なる複数の低倍率の前記観察画像を採取し、前記複数の低倍率の前記観察画像の合焦領域を合成して全焦点画像を得て、当該全焦点画像に分光測定の対象となる複数のサンプルポイントの情報を付加して記憶する画像記憶部と、
高倍率の前記対物レンズに切り替え、前記全焦点画像において分光測定の対象にする前記サンプルポイントと、高倍率の前記観察画像における前記分光測定の対象にする前記サンプルポイントと、のズレ量を計測し、前記試料の位置補正により芯出しを行い、該高倍率の前記対物レンズにより前記少なくとも1つのサンプルポイントの分光測定を行う制御部と、を含むことを特徴とする。
また、前記画像記憶部は、前記全焦点画像に対して前記サンプルポイントの高さ位置情報を付加して位置補正画像データを作成し、前記制御部は、該位置補正画像データに付加された前記高さ位置情報を利用して、前記テンプレート画像を用いた前記高倍率の前記観察画像の走査を実行することが好ましい。
図2には、本実施形態に係るラマン顕微分光測定装置における位置補正機能のフローチャートを示す。なお、図2のフローチャートは、ラマン顕微分光測定装置10によるラマン分光測定前およびラマン分光測定中におけるそれぞれの処理または工程をあらわしている。
ここで、本発明の特徴である全焦点画像を利用した位置補正の他の利点について説明する。図12には試料の傾斜および試料における高さ方向の位置情報についての概略イメージ図を示す。同図に示すように従来方式であれば、図1の可動ステージ18に載置された試料20に傾斜がある場合には撮影画像は高さ方向の位置情報を有していないため(または高さ方向の位置情報が正確ではないため)、それぞれの各測定点についてオートフォーカス等を行う必要があった。
12 光源
14 ビームスプリッター
16 対物レンズ(集光レンズ)
18 可動ステージ
20 試料
22 フィルタ
24 分光器
30 コンピュータ
32 画像記憶部
34 制御部
Claims (5)
- 試料に励起光を照射する光源と、励起光を前記試料の所定位置に照射するとともに該試料からの反射光または透過光を集光する対物レンズと、集光した光を検出する分光器と、該分光器からの信号を解析する解析制御手段と、を含み、前記試料の観察画像を利用して分光測定を行う顕微分光装置であって、
前記解析制御手段は、
低倍率の前記対物レンズで焦点のみ異なる複数の低倍率の前記観察画像を採取し、前記複数の低倍率の前記観察画像の合焦領域を合成して全焦点画像を得て、当該全焦点画像に分光測定の対象となる複数のサンプルポイントの情報を付加して記憶する画像記憶部と、
高倍率の前記対物レンズに切り替え、前記全焦点画像において分光測定の対象にする前記サンプルポイントと、高倍率の前記観察画像における前記分光測定の対象にする前記サンプルポイントと、のズレ量を計測し、前記試料の位置補正により芯出しを行い、該高倍率の前記対物レンズにより前記少なくとも1つのサンプルポイントの分光測定を行う制御部と、を含むことを特徴とする顕微分光装置。 - 請求項1に記載の顕微分光装置であって、
前記制御部は、前記全焦点画像上の前記サンプルポイントを含むテンプレート画像を設定し、該テンプレート画像を用いて前記高倍率の前記観察画像を走査することにより、前記サンプルポイントのズレ量を計測することを特徴とする顕微分光装置。 - 請求項2に記載の顕微分光装置であって、
前記画像記憶部は、前記全焦点画像に対して前記サンプルポイントの高さ位置情報を付加して位置補正画像データを作成し、
前記制御部は、該位置補正画像データに付加された前記高さ位置情報を利用して、前記テンプレート画像を用いた前記高倍率の前記観察画像の走査を実行する
ことを特徴とする顕微分光装置。 - 請求項1記載の顕微分光装置であって、
前記対物レンズは、前記低倍率の対物レンズと前記高倍率の対物レンズとを切り替えるレボルバを有し、
前記ズレ量は、前記低倍率の対物レンズと前記高倍率の対物レンズとの切り替え動作に起因するものであることを特徴とする顕微分光装置。 - 請求項1記載の顕微分光装置であって、前記ズレ量は、長時間測定による累積誤差に起因するものであることを特徴とする顕微分光装置。
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