JP7244208B2 - スキージ、スキージ板保持具、スクリーン印刷装置 - Google Patents

Description

本発明は、スキージ、スキージ板保持具、スクリーン印刷装置に関する。

現在、電子部品の製造にスクリーン印刷が使用されている。電子機器に対する小型化及び高機能化に伴って、電子部品の配線に対する高密度化の要求が高まっている。配線を高密度化する技術の一つとして、多層回路基板がある。多層回路基板は、基材の両面に回路を形成する、あるいは回路を２層以上の多層としたものである。公知の多層回路基板は、例えば、特許文献１、特許文献２及び特許文献３に記載されている。
特許文献１に記載の混成多層回路基板は、多層のフレキシブル回路配線基板である。特許文献１には、複数の種類の電子部品を実装する多層回路基板や硬質回路基板を、コネクタ等を介して別体のフレキシブルプリント配線板と接続することや、フレキシブルフラットケーブルを一体化した可撓性ケーブル部を有する回路基板が記載されている。このような多層回路基板は、ノートパソコン、デジタルカメラ、携帯電話及びゲーム機等に多く使用されている。

また、特許文献２には、導電性ペーストを使って多層回路基板の層間を接続した多層回路基板（多層プリント配線板）が記載されている。ただし、導電性ペーストによる層間接続は、有底ビア、貫通スルーホールあるいはバンプの形成が必要になる、または導電層に導電性ペーストを充填することが必要になる。このように導電性ペースト下にコンタクト用の部材を形成すると、導電性ペーストの上面の形状や高さを高精度に制御し難くなる。公知の樹脂スキージゴムを使った印刷により導電性ペーストを充填する、あるいは導電性ペーストの上面を整面すると、スキージが導電性ペーストに加える圧力に分布が発生し、導電性ペーストの上面の形状や高さが均一にならない場合がある。導電性ペースト上面の形状や高さの不均一は、層間におけるクラックや、基板の平坦性低下の一因となっていた。

特許文献３には、スキージのインクペーストに向かう側の面に対する裏面（背面）に、背面と隙間を開けて押え部材を設けることが記載されている。特許文献３に記載のスクリーン印刷装置では、スキージがスクリーンに押し付けられている間押え部材に押し付けられて撓み難くしている。スクリーン印刷では、スキージの幅方向の両端部においてスクリーンの張力が高いため、スキージは中央部分よりも両端部分において大きく変形し、スクリーンにかかる実効的な圧力が小さくなる。特許文献３に記載のスキージは、少なくとも両端部に押え部材を備え、両端部における圧力の低下を防いで中央部と両端部とで被印刷面にかかる圧力を均一化している。

特開平１－７６９７号 特開２０１５－６１０５８号 特開２００６－１６８２７８号

しかしながら、このような特許文献３に記載のスキージは、スキージの製造精度や経時劣化等によって不規則に発生する被印刷面への圧力のばらつきを均一化することはできない。特に、樹脂製のスキージ板は、被印刷面に押し当てられる端面の平坦性の精度を高めることが難しく、被印刷面にかかる圧力にばらつきが生じ易いことが知られている。
また、スキージ端面の平坦性が充分に高い場合でも、印刷マスク上の金属や樹脂が存在しない「抜きパターン」においては、スキージによって抜きパターン内のインクペーストが削り取られる現象が発生し得る。このような現象が生じると、配線の高さや表面形状が制御できず、配線の信頼性の低下が懸念される。
本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、スキージ端面の平坦性や印刷版側のパターン等に応じて被印刷面への当接状態を任意に調整可能なスキージ、スキージ板保持具及びスクリーン印刷装置に関する。

本発明のスキージは、基材上にインクペーストを塗布するスキージであって、印刷版に当接しながら移動する当接部を有するスキージ板と、前記スキージ板のうち前記印刷版の少なくとも印刷領域に当接する範囲の複数の個所において、前記スキージ板にかかる単位荷重当たりの変形量を調整する変形調整部と、を含む。
本発明のスキージ板保持具は、基材上に印刷版を介してインクペーストを塗布するスキージ板を保持するスキージ板保持具であって、前記印刷版の印刷領域に当接する前記スキージ板の複数の個所において、前記スキージ板にかかる単位荷重当たりの変形量を調整する変形調整部を含む。
本発明のスクリーン印刷装置は、上記スキージまたはスキージ板保持具を有する。

本発明は、スキージ端面の平坦性や印刷版側のパターン等に応じて被印刷面への当接状態を任意に調整可能なスキージ、スキージ板保持具及びスクリーン印刷装置を提供することができる。

本発明の第一実施形態及び第二実施形態に共通の印刷版を説明するための図である。 本発明の第一実施形態のスキージの斜視図である。 図２に示したスキージの正面図である。 図２に示したスキージの上面図である。 図２に示したスキージの底面図である。 図２に示したスキージの測面図である。 図２に示したスキージの断面図である。 図３に示した押板片及び止ネジを説明するための図である。 図２に示したスキージ板の変形を説明するための模式図である。 本発明の第一実施形態の印圧分布の検出の一例を説明するための図である。 本発明の第一実施形態のスクリーン印刷装置を説明するための図である。 三層フレキシブルプリント配線板を製造する工程を説明するための図である。 図１２に続く三層フレキシブルプリント配線板の製造工程を説明するための図である。 図１３に続く三層フレキシブルプリント配線板の製造工程を説明するための図である。 本発明の第二実施形態のスキージを説明するための図である。 本発明の第三実施形態の印刷装置で使用されるメタル版を説明するための図である。

以下、本発明の第一実施形態及び第二実施形態を図面に基づいて説明する。なお、すべての図面において、同様の構成要素には同様の符号を付し、重複する説明は適宜省略する。また、第一実施形態の図面は、スキージ、スキージ保持具及びスクリーン印刷装置の各構成部品、構成部品の係り合い、位置関係及び動作を説明するためのものであり、その幅や厚さ、長さ等が必ずしも正確に表現されているものではない。また、第一実施形態のスキージ、スキージ保持具及びスクリーン印刷装置は、その幅や厚さ、長さ等が図中に示したものに限定されるものでなく、任意に設計することが可能である。

図１は、本発明の第一実施形態及び第二実施形態に共通の印刷版を説明するための図である。図１は、スクリーン印刷版１０の斜視図である。本実施形態では、図１から図３に示す座標のｚ方向をスクリーン印刷版１０の「上」、－ｚ方向を「下」とする。

図１に示したスクリーン印刷版１０は、版枠１の開口部１ａに紗張りされたスクリーンメッシュ５を備えている。版枠１は、ステンレスやアルミ合金等を中空フレーム化したものや鋳造したもので形成される枠体である。版枠１の開口部１ａは、形状が正方形、あるいは長方形を有していて、印刷が行われる領域（印刷領域）９よりも少なくとも一回り以上大きくなっている。
スクリーンメッシュ５は、例えばポリエステルやステンレス等の糸（ワイヤ）を織って形成されたメッシュ素材である。一般にスクリーンメッシュ５の糸の線径が太い場合にはメッシュ数が少なくなり、線径が細い場合にはメッシュ数が多くなる。スクリーンメッシュ５の線径や材料は、スクリーンメッシュ５に要求される強度やスクリーン印刷版１０によって印刷される印刷塗膜の厚さ等によって決定される。スクリーンメッシュ５に使用される糸の断面の直径は、糸がポリエステル等の合繊である場合に２５０μｍから２０μｍ、金属である場合には１６０μｍから１２μｍ程度である。また、メッシュの数は、スクリーンメッシュ５に要求される強度や印刷の解像度によって決定される。一般にスクリーンメッシュ５の１インチ当たりの線数は、糸が合繊の場合に２５本から５００本、糸が金属である場合に４０本から９００本程度である。

スクリーンメッシュ５は、ある程度の張力（テンションともいう）を持たせて版枠１に例えば接着剤等で固定される。その際に、スクリーンメッシュ５は、様々な印刷パターン形状に対応するため、通常、版枠１に対してスクリーンメッシュ５の糸方向に角度を持たせて固定される、所謂バイアス張りで固定される。

スクリーンメッシュ５には印刷マスク７が形成されている。印刷マスク７はスクリーンメッシュ５を被覆する乳剤の膜（乳剤膜）であり、印刷マスク７は乳剤膜が形成されていない開口部分８を有し、開口部分８の上面視の形状が、スクリーン印刷版１０が印刷すべき印刷パターンと一致している。印刷マスク７に使用される乳剤としては、例えば感光性のものが使用される。感光性乳剤は、感光基の種類によってジアゾ系とＳＢＱ（スチルバゾリウム）系とに大別される。感光性乳剤の選定は、材質、解像性、露光感度、乳剤の膜厚や供給形態を基準にして行われる。図１中に示した印刷パターンは、基板に印刷される配線層のパターンである。本実施形態は、スクリーン印刷版１０が電子部品の配線層を基板に印刷する例をあげて説明するものとする。

本実施形態では、印刷マスク７のうち、印刷すべき画像が形成されている領域を「印刷領域」９と記す。印刷マスク７の印刷領域９の領域外にはスクリーン印刷後にインクペーストが残り、残ったインクペーストはスクリーン印刷時にスキージによってかきとられる。印刷マスク７のうち印刷領域９の位置は任意であるが、印刷パターンの品質等の観点から開口部１ａの縦横の長さのそれぞれ５０％以下の長さの範囲であって、かつ、その中央部分を含むことが望ましい。
以上の観点から、第一実施形態では、印刷領域９は、例えば、開口部１ａの二方向の中心線の交点を含み、かつ、一方向の長さが開口部１ａの対応する方向の５０％以下、他方向の長さが開口部１ａの対応する方向の５０％以下である範囲としてもよい。

［第一実施形態］
（構成）
図２から図７は、第一実施形態のスキージ２を説明するための図であって、図２から図７にはいずれもスキージ２と座標軸とが示されている。図２はスキージ２の斜視図であって、図３は図２のスキージ２をｘ方向から見た正面図、図４はスキージ２を－ｚ方向から見た上面図、図５はスキージ２をｚ方向から見た底面図、図６はスキージ２をｙ方向から見た側面図、図７はスキージ２の矢線ＶＩＩ－ＶＩＩにおける断面図である。
スキージ２は、例えば図１１に示した示す基材ｗ上にインクペーストを塗布する部材であって、図１に示したスクリーン印刷版１０に当接しながら移動する当接部２００を有するスキージ板２０を備えている。また、スキージ２は、スキージ板２０のうちスクリーン印刷版１０の少なくとも印刷領域に当接する範囲の複数の個所において、スキージ板２０にかかる単位荷重当たりの変形量を調整する部位を有している。
スキージ板２０は、ウレタンゴム、シリコンゴム及び合成ゴム等のゴム材でなる板部材である。スキージ板２０のゴム材としては、凡そ硬度７０(デュロメータＡ硬度)のものが公知である。スキージ板２０の硬度は、ウレタンゴム等の組成によって調整することが可能である。また、スキージ板２０には、その当接部２００の形状により平型、角型及び剣型等の種類がある。

ここで、上記した「単位荷重当たりの変形量を調整する」について説明する。第一実施形態でいう単位荷重は、当接部２００の全幅を例えば板材等の平面を有する部材に押し当てながら一方向（スキージング方向）に移動（スキージング動作）させたときに当接部２００が平面から受ける摩擦力を正規化した値である。また、変形量は、上記スキージング動作の過程で当接部２００の各所がスキージ板２０の厚さ方向に変位する量を指すものとする。第一実施形態では、厚さ方向のうち、特にスキージング中に当接部２００がスキージング方向に歪む局所ごとの歪み量を変形量とする。調整は、このような変形量（歪み量）を意図して増加または低減の少なくとも一つを行うことを指す。

第一実施形態でいう上記印刷領域は、図１で説明したように、印刷マスク７において開口部分８が存在する領域である。印刷マスク７が複数存在する場合、個々の印刷マスク７が存在する範囲が印刷領域９ではなく、複数の開口部分８を包括する領域を印刷領域９とする。印刷領域９の多くは、印刷によって形成される配線等の印刷パターンの品質の観点から図１に示した開口部１ａの中央部分を含む。このため、第一実施形態のスキージ板２０のうちスクリーン印刷版１０の少なくとも印刷領域に当接する範囲は、スキージ板２０の幅方向の中心を含んでいる。

また、スキージ２は、スキージ板２０を保持するスキージ板保持具２３を有している。スキージ板保持具２３は、スキージ板２０を保持するスキージ板保持具であって、スクリーン印刷版１０の印刷領域９に当接するスキージ板２０の複数の個所において、スキージ板２０にかかる単位荷重当たりの変形量を調整する部位を含んでいる。
つまり、スキージ板保持具２３は、スキージ板２０を把持する第一板部材２１、第二板部材２２を有している。図２、図６に示すように、共に板部材である第一板部材２１、第二板部材２２は、いずれも正面視がｙ軸に沿って長い長方形の形状を有している。第一板部材２１はｙ軸に沿って長い長方形の基板部２６を有している。第二板部材２２は、基板部２６と共に基板部２６と一体的に形成され、かつ基板部２６よりもｙ軸に沿う方向（以下、「幅方向」と記す）が第一板部材２１よりも短い付加板部２８を有している。このような構成により、第一実施形態の第二板部材２２は、第一板部材２１よりも幅方向に垂直な方向の長さ（以下、「高さ」と記す）が長い部位を有している。第二板部材２２において、基板部２６と第二板部材２２の間には段差部２７が生じている。
スキージ２に示すように、第二板部材２２において付加板部２８の幅が基板部２６の幅よりも短いことにより、第一実施形態は、第一板部材２１と第二板部材２２との間に入ったインクペーストや塵の除去を容易にすることができる。

また、第一板部材２１は段差部２１ａを有し、第二板部材２２は段差部２２ａを有している。第一板部材２１と第二板部材２２とを段差部２１ａ、２２ａ同士が対向するように合わせ、ネジ２４によって互いに固定することにより、第一板部材２１と第二板部材２２との間に溝２３１が形成される。スキージ板２０は、溝２３１に嵌めこまれてスキージ板保持具２３に固定される。なお、第一板部材２１と第二板部材２２の固定は、例えば、ネジ２４によって行われる。
また、第一板部材２１、第二板部材２２の材質は、インクペーストの付着や繰り返し使用することに耐える耐久性、メンテナンス時に使用される溶剤等の関係から選定される。第一板部材２１、第二板部材２２は、このような要求を満たすものであればどのようなものであってもよいが、ステンレス等の金属が好適である。

第一実施形態のスキージ板２０の変形量を調整する部位は、スキージ板２０を保持するスキージ板保持具２３と、スキージ板保持具２３からスキージ板２０に向かう押圧力を発生する押圧部材と、を含んでいる。押圧部材は、スキージ板２０にかかる押圧力を調整する押圧力調整部を備えている。第一実施形態では、例えば、押圧部材がスキージ板保持具２３とスキージ板２０との間に配置される押板片２９とし、押圧力調整部は、押板片２９を介してスキージ板２０を押圧する止ネジ２５とした。
押板片２９としては、例えば金属片等を使用することができる。スキージ板保持具２３の第二板部材２２とスキージ板２０との間に押板片２９を挟みこむことによってスキージ板２０の第二板部材２２に向かう側が変形し難くなる。第一実施形態では、このような現象を、以降「見かけ上の硬度が高まる」とも記す。

図８（ａ）及び図８（ｂ）は、第一実施形態の押板片２９及び止ネジ２５を説明するための図である。図７に示すように、押板片２９は、スキージ板２０と第二板部材２２との間に挿入されている。第二板部材２２にはネジ孔２５１が形成されていて、ネジ孔２５１には止ネジ２５がネジ止めされている。止ネジ２５を進行方向に回転させることにより、止ネジ２５がスキージ板２０に向かって移動し、止ネジ２５による押板片２９の押圧力が大きくなる。第一実施形態において、止ネジ２５の進行方向端部と押板片２９とは接触し、押板片２９は止ネジ２５によって押圧されることによって固定されている。図８（ａ）は、押板片２９が止ネジ２５に接している状態を示している。

ところで、上記構成においては、押板片２９及びスキージ板２０からの抗力（スキージゴムのスプリングバック）によって止ネジ２５が後退し、押板片２９がスキージ板２０を押圧する押圧力が変化することが考えられる。
図８（ｂ）は、押板片２９による押圧力の変化を抑えるための構成を示している。図８（ａ）に示した構成は、第一実施形態の押圧力調整部が、止ネジ２５の位置を固定するストッパーとして逆ネジ８５をさらに含むものである。図８（ｂ）に示した構成は、止ネジ２５の押板片２９と反対の側に、ネジ溝の方向が止ネジ２５と反対の逆ネジ８５が設けられている。逆ネジ８５の止ネジ２５に向かう側にはスペーサー８３が形成されている。このような構成では、逆ネジ８５のスペーサー８３が止ネジ２５の端部と面接触している。また、止ネジ２５及び逆ネジ８５は、止ネジ２５のネジ溝の加工中にネジ溝の方向を逆にして止ネジ２５を逆ネジ８５と一体的に形成するものであってもよい。このような方法によって止ネジ２５及び逆ネジ８５を加工、形成した場合、止ネジ２５と逆ネジ８５との間にネジ溝のないスペーサー８３が形成される。

このような構成によれば、止ネジ２５に後退方向の回転力が生じた場合、この回転力が逆ネジ８５に伝わっても逆ネジ８５に進行方向の回転力が与えられる。このため、止ネジ２５はスキージ板２０や押板片２９の抗力を受けても後退することがなく、スキージ板２０に加えられる押圧力が変化することがない。

図９（ａ）、図９（ｂ）及び図９（ｃ）は、第一実施形態のスキージ板２０の変形を説明するための模式図である。図９（ａ）は、第一実施形態の比較例を示した図であって、押え部材として機能する押板片２９を持たないスキージ板保持具７３を示している。スキージ板保持具７３は、第一板部材７１及び第二板部材７２を対向させて構成されている。第一板部材７１及びスキージ板保持具７３は、スキージ板２０を把持して固定する。ただし、第一板部材７１及びスキージ板保持具７３は、形状及び大きさが等しい板部材である。
図９（ｂ）及び図９（ｃ）は、スキージ板保持具２３に保持されたスキージ板２０を示している。図９（ｃ）は、図９（ｂ）に示した状態よりも止ネジ２５を進行方向に進ませて押板片２９に大きな押圧力を作用させた状態を示している。

図９（ｂ）に示すように、スキージ板２０に押板片２９を接触させることによってスキージ板２０の見かけの硬度が高くなる。このため、第二板部材２２との間に押板片２９が挟み込まれた箇所では、スキージ板２０が印刷時にスクリーン印刷版１０にかける圧力（以下、「印圧」と記す）が、押板片２９の無い箇所よりも高くなる。さらに、止ネジ２５をスキージ板２０に向かう方向に進めて押板片２９による押圧力を大きくすると、この箇所におけるスキージ板２０の見かけ上の硬度がいっそう高くなる。
一方、図９（ａ）に示したスキージ板保持具７３では、スキージ板２０のスキージ板保持具７３に把持されていない部分が規制を受けることなく撓み、変形する。このとき、スキージ板２０の変形量は、スキージ板２０の弾性や硬度及びスクリーン印刷版１０と当接している間にスキージ板２０に加えられる圧力等によって決まる。図９（ａ）に示したスキージでは、変形量によってスキージ板２０による印圧に分布が生じた場合、これを補正することができない。

一方、第一実施形態のスキージ２は、上記したように、止ネジ２５を回転させて押し込むことによりスキージ板２０の印圧を高めることができる。反対に、止ネジ２５を回転させて引き戻すことによってスキージ板２０の印圧を弱めることができる。このため、第一実施形態は、スキージ板２０をスキージ板保持具２３に保持させた状態で印圧の分布を検出する。そして、検出された分布に応じて止ネジ２５を進行または後退させ、スキージ板２０の印圧の分布が一様になるように調整する。スキージ板２０の印圧の調整後、第一実施形態では、スキージ２によってスクリーン印刷を開始する。
なお、印圧の分布の調整は、例えば、予め定めた基準の印圧よりもスキージ板２０の印圧の強い箇所に対応する位置にある止ネジ２５を後退させ、基準の印圧よりも印圧の低い箇所に対応する位置にある止ネジ２５を前進させることによって行ってもよい。また、基準となる印圧よりもスキージ板２０の印圧が高い箇所の周辺の止ネジ２５を前進させることによって行ってもよい。反対に、基準となる印圧よりもスキージ板２０の印圧が低い箇所の周辺の止ネジ２５を後退させることによって行ってもよい。

上記したように、第一実施形態は、スキージ板２０の印圧を調整した後にスクリーン印刷を開始する。つまり、第一実施形態は、スキージ板２０がスクリーン印刷版１０に当接していない状態にあっても、押圧部材である押板片２９はスキージ板２０を押圧している。このような第一実施形態は、スキージ動作をしていない状態にあるスキージ板２０の印圧を測定することができる。このため、例えば、上記した特許文献３のように、印刷版に当接中のスキージの印圧を測定することなく調整するよりもスキージの印圧の分布を高い精度で調整することができる。
なお、第一実施形態では、がスクリーン印刷版１０に当接していないスキージ板２０に対する押圧力を低減する方向に調整することも可能である。

なお、第一実施形態は、以上説明したように、止ネジ２５を使って押板片２９がスキージ板２０を押圧する力を調整するものに限定されるものではない。例えば、第一実施形態は、止ネジ２５を用いることなく、第二板部材２２とスキージ板２０との間に挟みこまれる押板片２９の枚数を増減することによって押圧力を調整するようにしてもよい。さらに、止ネジ２５と押板片２９とを一体的な構成とし、押圧と同時に押圧力を調整可能にしてもよい。さらに、止ネジ２５を前進または後退させる際の止ネジ２５の回転は、作業者が手動で行ってもよいし、図示しないモータ等によって行ってもよい。止ネジ２５を回転させる第一実施形態は、止ネジ２５の回転量と前進、後退の移動量とが比較的高い精度で対応するため、手動であっても押板片２９の押圧量を高精度に調整することができる。
また、第一実施形態は、スキージ板２０を局所的に押圧することによってスキージ板２０の変形量を調整するものに限定されるものではない。例えば、スキージ板２０を剥離可能な複数の層による多層構造とし、印圧の強い箇所においてスキージ板２０を剥離して薄くするようにしてもよい。

［調整方法］
ここで、第一実施形態のスキージ板２０の印圧分布を調整する方法を説明する。第一実施形態では、印圧分布の調整に先立って、印圧分布を検出する。印圧分布の検出は、特に限定されないが、例えば、以下の方法によって実現することができる。
図１０（ａ）、図１０（ｂ）は、印圧分布の検出の一例を説明するための図である。図１０（ａ）は、印圧分布の検出に使用されたスキージ２の模式的な拡大図である。図１０（ｂ）は、図１０（ａ）に示したスキージ２のスキージ板２０を当接させて所定の圧力を加えた状態の感圧紙１００を示している。図１０に示した感圧紙１００には、加えられた圧力の大きさ及び範囲に応じた変色パターン１０１、１０２、１０３が発生する。図１０においては、スキージ２の幅方向に配列された複数の止ネジ２５を、止ネジ２５ａから２５ｆとして区別して示す。

図１０に示した例では、変色パターン１０１、１０２，１０３の全てが、周囲よりもスキージ板２０の印圧が高いことを示すものとする。このような場合、例えば、変色パターン１０１から１０３を発生させたスキージ板２０の部位の周辺の印圧を高め、スキージ板２０全体の印圧を一様にすることが考えられる。変色パターン１０１から１０３を発生させたスキージ板２０の部位の周辺の印圧を高めるためには、周辺の部位に対応する位置の止ネジ２５を前進させることが考えられる。なお、第一実施形態でいう「対応する位置にある止ネジ」は、例えば、変色パターンを発生させたスキージ板２０の部位に最も近接した位置にある止ネジであってもよい。例えば、変色パターン１０１から１０３が示す印圧の分布を一様にするためには、止ネジ２５ａ、２５ｃ、２５ｄを前進させて押板片２９がスキージ板２０に加える押圧力を高めてもよい。
第一実施形態では、以上の処理をスキージ板２０の印圧が一様になるまで繰り返す。また、第一実施形態では、スクリーン印刷版１０を介してスキージ板２０の印圧を調整することで、スクリーン印刷版１０による干渉も考慮して印圧分布を調整することができる。

また、第一実施形態は、例えば、止ネジ２５ｂ、２５ｅ、２５ｆを退行させて押板片２９がスキージ板２０に加える押圧力を低くしてもよい。さらに、この際、例えば、止ネジ２５ａ、２５ｃ、２５ｄを前進または後退させ、押圧力の分布を調整してもよい。
また、上述した印圧分布の検出において、第一実施形態は、スキージ板２０の上面全体を感圧紙１００に当接させるものであってもよいし、スキージ２をスクリーン印刷版１０に対して所定の角度（例えば６０度程度）を持って当接させ、当接部２００の印圧を検出するものであってもよい。

［スクリーン印刷装置］
図１１は、以上説明したスキージ２を備えたスクリーン印刷装置３を説明するための図である。スクリーン印刷装置３は、図示しないベース台座上に、図示しない駆動機構によって保持されるスクリーン印刷の基材ｗを載置する略四角形状の載置テーブル１１３を備えている。また、スクリーン印刷装置３は、ベース台座に固定された保持部材１１５ａによって載置テーブル１１３の上方に保持され、印刷マスク７及び開口部分８が形成されたスクリーンメッシュ５と、載置テーブル１１３の周囲を囲んで配置された版枠１と、版枠１に設けられ、長板状ゴム製のスキージ２を往復移動させる往復駆動機構１１８と、スキージ２の移動方向に応じて所定の印刷傾斜角度にスキージ２の傾斜角度を変更する図示しない傾斜変更機構と、同移動方向に応じて同移動途中にスクリーンメッシュ５を所定範囲内に下降、上昇させる図示しない上下動機構と、同移動方向に応じてスキージ２の横位置を変更する図示しない横位置変更機構と、これらの機構の動作状態を判別し、連係動作させて、自動的にスクリーン印刷する図示しない制御部を備えている。

なお、第一実施形態のスクリーン印刷装置は、図１１に示したスキージ２を有するスクリーン印刷装置３に限定されるものでなく、スキージ板２０のないスキージ板保持具２３を有するものであってもよい。
即ち、スキージ２において、スキージ板２０は消耗品であり、経時的な劣化や印刷マスク７の仕様等により交換され得る。このため、第一実施形態のスクリーン印刷装置は、スキージ板保持具２３にスキージ板２０を取り付けることなく、スキージ板保持具２３だけを取り付けてユーザに提供されるものであってもよい。

以上説明した第一実施形態は、スキージ板２０のうちスクリーン印刷版１０の少なくとも印刷領域９に当接する範囲の複数の個所において、スキージ板２０にかかる単位荷重当たりの変形量を調整するスキージ板保持具２３及び押板片２９を備えている。このため、第一実施形態は、スキージ板２０の複数の箇所においてスキージ板２０に押圧力を加えることができる。そして、スキージ板２０に押圧力を加えることにより、スキージ板２０の変形を抑え、見かけ上の硬度を高めることができる。さらに、第一実施形態は、押板片２９毎に止ネジ２５を備えているから、押板片２９の押圧力を調整し、スキージ板２０の見かけ上の硬度を高める、あるいは低減することができる。
さらに、第一実施形態は、上記したスキージ板２０の見かけの硬度を調整する部位を複数備えているため、スキージ板２０において見かけ上の硬度を局所的に高める、あるいは低減することができる。
以上のことから、第一実施形態は、スキージ端面の平坦性や印刷版側のパターン等に応じて被印刷面への当接状態を任意に調整可能なスキージ、スキージ板保持具及びスクリーン印刷装置を提供することができる。

［プリント配線版の製造］
ここで、以上説明したスキージ２、スキージ２を備えたスクリーン印刷装置３を使って三層フレキシブルプリント配線板を製造する工程を説明する。
図１２（ａ）から図１２（ｄ）、図１３（ａ）から図１３（ｄ）及び図１４（ａ）から図１４（ｅ）は、三層フレキシブルプリント配線板を製造する工程を説明するための図である。
上記工程では、先ず、図１２（ａ）に示すように、片面銅張積層板１２３を用意する。片面銅張積層板１２３は、絶縁樹脂１２１の片面に銅箔１２２を形成して構成される。絶縁樹脂１２１には、例えば厚さ１００μｍのＬＣＰ(Liquid Crystal Polymer)が用いられる。銅箔１２２の厚さは１２μｍ程度が好ましい。また、上記工程では、図１２（ｂ）に示すように、両面銅張積層板１２６を用意する。両面銅張積層板１２６は、ＬＣＰ等の絶縁樹脂１２４の両面に銅箔１２５を形成して構成されている。このとき、ＬＣＰの厚さは１００μｍ程度が好ましい。また、銅箔１２５の厚さは１２μｍ程度が好ましい。第一実施形態では、両面銅張積層板１２６のシート面積を２５０ｍｍ×３００ｍｍとした。

次に、第一実施形態では、図１２（ｃ）に示すように、図１２（ａ）に示した片面銅張積層板１２３の銅箔１２２上にフォトリソグラフィによって図示しないエッチングマスクを作製する。そして、エッチングマスク上から銅箔１２２をエッチングし、銅パターン１２２ａを作製する。銅パターン１２２ａを備えた絶縁樹脂１２１は、片面基材１２８となる。また、図１２（ｄ）に示すように、図１２（ｂ）に示した両面銅張積層板１２６の銅箔１２５上にフォトリソグラフィによって図示しないエッチングマスクを作製する。そして、エッチングマスク上から銅箔１２５をエッチングし、銅パターン１２５ａ、１２５ｂを作製する。銅パターン１２５ａ、１２５ｂを備えた絶縁樹脂１２４は、両面基材１２９となる。なお、図１２（ｄ）において、銅パターン１２５ａは外層の銅パターンとなり、層間導通孔の受けランドや配線を形成する。銅パターン１２５ｂは内層のパターンとなり、層間導通孔の受けランドや配線、さらにはコンフォーマルマスクを形成する。さらに、銅パターン１２５ａ、１２５ｂには、銅箔と接着材の密着強度を上げるため粗化処理を行うこともできる。

さらに、第一実施形態では、図１３（ａ）に示すように、片面基材１２８の絶縁樹脂１２１の銅パターン１２２ａが形成されていない面を接着材１３２でラミネートする。このとき、接着材１３２としては、例えば厚さ１５μｍのローフローボンディングシートが用いられる。接着材１３２上には、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム等の保護フィルム１３３が貼り付けられる。保護フィルム１３３の厚さは、２０μｍ程度が好ましい。図１３（ａ）に示した工程により、第一実施形態は、片面基材１３４を得る。
また、第一実施形態は、図１３（ｂ）に示すように、図１２（ｄ）に示した両面基材１２９の銅パターン１２５ａの側を保護フィルム１３５でラミネートする。保護フィルム１３５は、厚さ１０μｍ程度の微粘着材が片面に形成されたＰＥＴフィルム等であり、保護フィルム１３５の厚さは２０μｍ程度とする。図１３（ｂ）の工程により、第一実施形態は、両面基材１３６を得る。

なお、保護フィルム１３３、１３５は、後の工程で導電性ペーストを印刷する際のペースト飛び出し量を規定することになる。このため、保護フィルム１３３、１３５の厚さは、厚過ぎると積層後に接着材厚みで吸収しきれないために基板の平坦度が損なわれる。一方、保護フィルム１３３、１３５の厚さが薄すぎる場合には、充分な接続信頼性が得られない虞がある。以上の観点から、保護フィルム１３３、１３５の厚さは、２０μｍ±５μｍの範囲が好適である。また、接着材１３２で片面基材１２８をラミネートする際には、銅パターン１２５ｂを充填し、さらに後の積層の際に必要な接着性が残るよう、熱硬化温度以下でラミネート処理を行う必要がある。

次に、第一実施形態では、図１３（ｃ）に示すように、絶縁樹脂１２１、接着材１３２、保護フィルム１３３を部分的に除去して有底ビアホール（有底導通用孔）１３７を形成する。有底ビアホール１３７の底面には銅パターン１２２ａが露出する。有底ビアホール１３７の径は、例えばφ１５０μｍ～２００μｍである。
有底ビアホール１３７は、例えば、レーザ加工によって形成することができる。有底ビアホール１３７の形成加工に使用されるレーザとしては、加工容易性の観点から、例えば炭酸ガスレーザ等の赤外線レーザを用いることが好ましい。炭酸ガスレーザを用いる場合、ビーム径を有底ビアホール１３７の所望の穴径と略等しくする。また、有底ビアホール１３７の形成加工には、ＵＶ－ＹＡＧレーザ等の他のレーザを用いてもよい。形成した有底ビアホールにはデスミア処理を施すことが好ましい。図１３（ｃ）に示した工程により片面基材１３８を得ることができる。

また、第一実施形態では、図１３（ｄ）に示すように、絶縁樹脂１２４、銅パターン１２５ａ及び保護フィルム１３５を部分的に除去して有底ビアホール１３９を形成する。有底ビアホール１３９の底面には銅パターン１２５ｂが露出する。なお、有底ビアホール１３９の径及び加工方法は、図１３（ｃ）に示した有底ビアホール１３７と同様である。

次に、第一実施形態では図１４（ａ）に示すように、有底ビアホール１３７（図１３（ｃ））に、スキージ２を備えたスクリーン印刷装置３を使って導電性ペースト１４１を充填する。これにより、有底ビアホール１３７の位置に配線の導電電極が印刷される。ここでは、印刷された導電性ペースト１４１中にエアボイドが混入するのを避けるため、スクリーン印刷用の真空印刷機内で印刷を行うことが好ましい。導電電極形成後の片面基材を、片面基材１４２と記す。導電電極の印刷の際、片面基材１４２の保護フィルム１３３がマスクになり、有底ビアホール１３７に導電性ペースト１４１が選択的に充填される。
また、図１４（ｂ）に示すように、スクリーン印刷装置３は、有底ビアホール１３９に導電性ペースト１４３を充填する。これにより、有底ビアホール１３９の位置に配線の導電電極が印刷される。導電電極形成後の両面基材を、両面基材１４４と記す。導電電極の印刷の際、両面基材１４４の保護フィルム１３５がマスクになり、有底ビアホール１３９に導電性ペースト１４３が選択的に充填される。

次に、片面基材１４２においては、図１４（ｃ）に示すように、保護フィルム１３３が剥離される。保護フィルム１３３を剥離することにより、導電性ペースト１４１が保護フィルム１３３の厚さに略等しい厚さ分だけ露出する。保護フィルム１３３剥離後の片面基材１４２を、片面基材１４５と記す。また、両面基材１４４においては、図１４（ｄ）に示すように、保護フィルム１３５が剥離される。保護フィルム１３５を剥離することにより、導電性ペースト１４３が保護フィルム１３５の厚さに略等しい厚さ分だけ露出する。保護フィルム１３５剥離後の両面基材１４４を、両面基材１４６と記す。
さらに、第一実施形態では、図１４（ｅ）に示すように、片面基材１４５と両面基材１４６とを積層する。積層は、真空プレスまたは真空ラミネータによって行うことができる。積層時の条件は、例えば、温度２００℃、加圧圧力は数ＭＰａ程度が好適である。このような積層においては、金属結合と接着とが同時に行われる。積層後の片面基材１４５及び両面基材１４６を、配線板１４７と記す。

上記した積層を真空プレスで行う場合、配線板１４７は、上記条件で３０分から６０分程度保持される。この間に、接着材１３２や導電性ペースト１４１、１４３のバインダー樹脂の熱硬化が完了する。また、配線板１４７を真空ラミネータにより作製する場合、真空ラミネートは数分程度で完了する。真空ラミネートの完了後、配線板１４７には、２００℃前後で６０分程度のポストキュアが行われる。このような処理により、接着材１３２や導電性ペースト１４１、１４３のバインダー樹脂の熱硬化が完了する。
上記工程によれば、いずれも導電性ペースト１４１、１４３内の金属粒子同士は、金属結合し、かつ、銅箔１２２、１２５とも金属結合する。第一実施形態では、必要に応じ、表面処理やソルダーレジスト等の形成を行い、外形加工を行うことで導電性ペースト接続による三層フレキシブルプリント配線板を得ることができる。

なお、以上説明した第一実施形態では、三層フレキシブルプリント配線板のうち、第一層及び第三層の配線パターン（銅パターン１２２ａ、銅パターン１２５ａ及び銅パターン１２５ｂ）を図１２（ｃ）、図１２（ｄ）の工程において形成している。ただし、第一実施形態は、このような構成に限定されるものでなく、積層工程まで銅箔１２２、１２５を残しておき、積層後に第二層と位置合わせを行うものであってもよい。このような場合、フォトリソグラフィを使ってマスクを作製し、エッチングを用い、第一層、第三層に必要な配線パターンを形成することもできる。このような手法は、積層による寸法収縮ばらつきが大きい場合等に有効である。
また、第一実施形態は、三層フレキシブルプリント配線板の第一層及び第三層の位置合わせに高い精度が要求される場合、積層後に両面同時露光を用いて露光マスクを作製することが好ましい。なお、以上説明した第一実施形態では、三層フレキシブルプリント配線板を製造する工程について説明した。しかし、第一実施形態は、片面基材または両面基材を組み合わせてさらに多数積層することにより、さらに多層のフレキシブルプリント基板を作製することが可能である。

［第二実施形態］
次に、本発明の第二実施形態を説明する。
図１５（ａ）、図１５（ｂ）及び図１５（ｃ）は、本発明の第二実施形態のスキージを説明するための説明するための図である。図１５（ａ）は、スキージ４のスキージ板保持具９１を示している。また、図１５（ｂ）はスキージ４１のスキージ板保持具９２を示し、図１５（ｃ）はスキージ４２のスキージ板保持具９３を示している。
図１５（ａ）に示すように、スキージ板保持具９１では、押板片２９ａ、２９ｂが第二板部材２２１の幅方向に複数配列されている。そして、複数の押板片の一部は、他の押板片と当接部との距離が相違している。つまり、スキージ板保持具９１においては、複数の押板片のうちに、当接部２００との距離がｄ１である押板片２９ａと、当接部２００との距離がｄ２である押板片２９ｂとが混在している。このようにすることにより、第二実施形態は、スキージ板２０に対する押圧力が異なる箇所を任意に設定し、スキージの幅方向に押圧力を変動させることができる。

このような第二実施形態のスキージ４は、スクリーン印刷においてメタル版を使用した場合に版にかかる印圧を一様にすることに有効である。つまり、金属を印刷マスクとするメタル版は、乳剤等をマスクにするよりも版の厚さが厚くなる。特に１００μｍ以上の厚さのメタル版では、メタル版と被印刷部材となる基材との間に生じる段差による印圧が印圧に及ぼす影響が無視できなくなる。メタル版と基材との間の段差が凡そ１００μｍ以上になると、この周囲の印圧が不均一になる。図１５（ａ）に示したスキージ４は、上記した点に考慮してなされたものである。そして、基材との間に段差が生じるメタル版の開口端部近くの押板片及び止ネジ２５を当接部２００から離し、押圧片による印圧の影響を抑止している。
具体的には、図１５（ａ）に示した例では、スキージ４のスキージ板２０の両端部にあたる位置メタル版の開口端部が存在している。このため、スキージ４では、第二板部材２２１の両端部において当接部２００との距離が他より遠い押板片２９ａを設けている。なお、ここで第二板部材２２１の端部とは、例えば、第二板部材２２１の幅に垂直な中心線Ｃ１から第二板部材２２１の幅の１／４以上離れた領域を指すものであってもよい。

また、第二実施形態は、図１５（ｂ）に示すスキージ４１のように、スキージ板保持具９２が、スキージ板を把持する第一板部材（図示せず）と第二板部材２２２とを有し、第一板部材または第二板部材は、当接部２００から遠ざかる方向に向かう切欠きを有するようにしてもよい。図１５（ｂ）に示した例では、押板片２９ａ及び止ネジ２５を当接部２００から遠ざけると共に、第二板部材２２２に、当接部２００から遠ざかる方向に切欠２２５が形成されている。
このようにすることにより、スキージ４１では、第二板部材２２２の端部において押圧箇所が当接部２００から遠ざかる上、第二板部材２２２による圧力が緩和される。このようなことにより、スキージ４１に保持されるスキージ板２０の見かけ上の硬度が第二板部材２２２の端部において緩和される。なお、第二板部材２２２の端部とは、例えば、第二板部材２２２の幅に垂直な中心線Ｃ２から第二板部材２２２の幅の１／４以上離れた領域を指すものであってもよい。

上記したメタル版の開口端部に生じる段差により、メタル版の厚さを薄くすることが印圧分布を一様にすることについては有利である。しかし、メタル版の厚さを５０μｍ以下にすると、メタル版に２２０ｍｍ×２３０ｍｍの開口部を作製した場合、メタルの張力にメタル版が耐えられなくなって破断等の不具合が生じることが知られている。このような不具合に対応するため、開口部の中心を通るように開口端から対向する開口端まで張力補助用メタルを形成することがある。張力補助用メタルは、例えば幅１０ｍｍ程度のテープ状のメタルである。
図１５（ｃ）は、上記した張力補助用メタルと基材との段差によって生じる印圧の不均一を考慮したスキージ４２を示している。スキージ４２のスキージ板保持具９３では、第二板部材２２３の幅方向に垂直な中心線Ｃ３を含む領域に、当接部２００から遠ざかる方向に切欠２２４が形成されている。このようにすれば、第二実施形態は、第二板部材２２３の中央部分がスキージ板２０に与える押圧力を低減し、張力補助用メタルの印圧に与える影響を抑止することができる。
なお、本発明の発明者は、以上説明した第一実施形態、第二実施形態のスキージにより、スキージ板２０の交換時に印圧を調整した後、次回の交換（使用状況によるが３か月程度）時まで調整の必要がないことを確認した。

［第三実施形態］
次に、本発明の第三実施形態のスクリーン印刷装置について説明する。第三実施形態のスクリーン印刷装置は、第一実施形態のスクリーン印刷装置３と、メタル版である印刷版を備えている。第三実施形態のメタル版は、開口パターンが形成される印刷領域と、この印刷領域内にあって印刷領域の張力を補強する補強部材をさらに備えている。第三実施形態のメタル版は、例えば、第一実施形態で説明した有底ビアホール１３７に導電性ペースト１４１を充填する工程、あるいは有底ビアホール１３９に導電性ペースト１４３を充填する工程に使用することができる。

図１６(ａ)から１６（ｄ）は、スクリーン印刷装置３に使用されるメタル版を説明するための図であって、図１６（ａ）、図１６（ｂ）は第一実施形態の導電性ペースト１４１、１４３の充填に使用されるメタル版１５を示している。図１６（ａ）はメタル版１５の上面図、図１６（ｂ）は図１６（ａ）中に示したメタル版１５を矢線ｂ－ｂの方向に見たｂ－ｂ断面図である。
メタル版１５は、金属製の枠体７６と、枠体７６に支持された金属製の薄板７４とを有している。薄板７４には印刷領域３００が形成されていて、印刷領域３００は保護フィルム１３３、保護フィルム１３５と重なっている。印刷領域３００には張力補強部材７５が形成されていて、印刷領域３００は張力補強部材７５によって領域９８、９９を含むようになる。この結果、印刷領域３００は、二つの開口パターン９８１、９９１が形成されていることになる。

上記のメタル版１５によれば、開口パターン９８１、９９１上から印刷領域３００の全面に導電性ペースト１４１を塗付することによって有底ビアホール１３７、１３９に導電性ペースト１４１を充填することができる。保護フィルム１３３、保護フィルム１３５は、導電性ペースト１４１の塗付後に剥離される。このような工程により、印刷領域３００内には導電性ペースト１４１が充填された複数の電極が形成される。

ただし、第三実施形態のメタル版は、ビアホールの充填に使用されるものに限定されるものではない。図１６（ｃ）、（ｄ）は、メタル版３０を説明するための図であって、図１６（ｃ）は印刷領域４００を有するメタル版３０の上面図、図１６（ｄ）は図１６（ｃ）中に示したメタル版１５を矢線ｄ－ｄの方向に見たｄ－ｄ断面図である。メタル版３０は、
ステンレス等の金属製の薄板をステンシルレーザー等を使ってカッティングし、所望のパターンを形成した印刷版であって、多くは電子部品を基板に実装するためのクリーム半田等の導電性インクのパターンを形成することに使用される。
メタル版３０は、金属製の枠体７６と、枠体７６に支持された金属製の薄板７４とを有している。薄板７４には印刷領域４００が形成されていて、印刷領域４００に複数の開口パターン７７が形成されている。印刷領域４００には張力補強部材８０が形成されていて、印刷領域４００は張力補強部材８０によって領域７８、７９を含むようになる。

メタル版１５の張力補強部材７５、メタル版３０の張力補強部材８０は、いずれも薄板７４と一体の金属製の薄板で構成されている。張力補強部材７５、８０を薄板７４と一体とすることにより、第三実施形態は、メタル版１５、３０の表裏を平滑にすることができる。なお、メタル版１５、メタル版３０のいずれにあっても、薄板７４の厚さｔ１は５０μｍ、張力補強部材７５、８０の幅ｔ２は１０ｍｍとした。また、印刷領域３００、４００のｘ方向の長さは２２０ｍｍ、ｙ方向の長さは２３０ｍｍである。

なお、第三実施形態は、当然のことながら、このような寸法形状に限定されるものではない。厚さｔ１は、例えば５０μｍ以上、１５０μｍ以下の範囲で任意に設定可能である。また、幅ｔ２は、印刷領域３００、４００の大きさや薄板７４の厚さｔ１に応じて決定されるが、形成される開口パターンに影響を及ぼさない範囲であることが好ましい。また、張力補強部材７５、８０は、図１６（ａ）、図１６（ｃ）に示した図中のｘ方向に延伸するものに限定されず、スキージの移動方向に延伸するものであればよい。さらに、第三実施形態は、張力補強部材７５、８０を一つ備えるものに限定されず、それぞれ複数備えるものであってもよい。張力補強部材を複数備える場合、複数の張力補強部材は、互いに異なる方向に延伸するものであってもよい。

張力補強部材７５、８０がスキージの移動方向に延伸する場合、幅ｔ２の好ましい範囲としては、例えば、印刷領域を包含する最小幅（第三実施形態では２３０ｍｍ）の１％以上、５％以下が好ましい。なお、このような構成において、「幅」はスキージの移動方向と直行する方向の長さを指す。また、第三実施形態でいう「印刷領域」は、例えば、一つの被印刷パターンを形成するための開口パターンを包含する最小の面積を有する領域とすることができる。ここで、被印刷パターンとは、基板等の印刷がされる側の部材に形成されるインク一層のパターンである。一つの被印刷パターンとは、例えば、一単位のスキージの移動で形成され、かつ、一つまたは複数の完成品に適用される被印刷パターンである。「一単位」とは、一つの被印刷パターンを形成するのにスキージを一度移動させる場合には一回、スキージを複数回移動させる場合には複数回である。図１６（ａ）に示したメタル版１５の印刷領域３００は、開口パターン９８１、９９１を包含する最小の領域である。また、図１６（ｃ）に示したメタル版３０の印刷領域４００は、複数の開口パターン７７を包含する最小の領域である。

以上説明した構成においては、第三実施形態のスクリーン印刷装置は、以下のように動作する。なお、メタル版１５、メタル版３０のいずれを用いた場合であってもスクリーン印刷装置３は同様に動作するため、ここではメタル版１５を用いた場合を例に挙げて説明する。
作業者は、スクリーン印刷装置にメタル版１５をセットし、薄板７４の＋ｚ軸に向かう側（以下、「上面」と記す）に導電性インクを乗せる。そして、例えば第一実施形態のスキージ２を、メタル版１５の薄板７４の上面で薄板７４に当接させながら移動させる。このような動作により、開口パターン７７を通じて導電性インクがメタル版１５の下方にセットされている基板等に塗付されてインクパターンを形成する。

上記動作によれば、メタル版１５にスキージ２が当接しながら移動することによってメタル版１５全体に張力が加えられる。印刷領域３００は、開口されているためにスキージ２によって加えられる押圧力に対向する張力が他の部位より弱まっている。印刷領域３００の張力が弱いと、スキージ２が通過した後にメタル版１５が基板等の被印刷物に付着して、版離れし難くなり作業効率が低下することが考えられる。
第三実施形態は、張力補強部材８０を設けることによって印刷領域３００にかかる張力に対する応力を補強し、メタル版１５の版離れを促して作業効率の低下を防いでいる。

以上説明した実施形態は、以下の技術思想を包含するものである。
（１）基材上にインクペーストを塗布するスキージであって、印刷版に当接しながら移動する当接部を有するスキージ板と、前記スキージ板のうち前記印刷版の少なくとも印刷領域に当接する範囲の複数の個所において、前記スキージ板にかかる単位荷重当たりの変形量を調整する変形調整部と、を含む、スキージ。
（２）前記変形調整部は、前記スキージ板を保持するスキージ板保持具と、前記スキージ板保持具から前記スキージ板に向かう押圧力を発生する押圧部材と、を含む、（１）のスキージ。
（３）前記押圧部材は、前記スキージ板が前記印刷版に当接していない状態にあっても前記スキージ板を押圧している、（２）のスキージ。
（４）前記押圧部材は、前記スキージ板にかかる押圧力を調整する押圧力調整部を有し、当該押圧力調整部により前記スキージ板にかかる単位荷重当たりの変形量を調整する、（３）のスキージ。
（５）前記押圧部材は、前記スキージ板保持具と前記スキージ板との間に配置される押板片を含み、前記押圧力調整部は、前記押板片を介して前記スキージ板を押圧する止ネジである、（４）のスキージ。
（６）前記押圧力調整部は、前記止ネジの位置を固定する逆ネジをさらに含む、（５）のスキージ。
（７）前記スキージ板保持具において、前記押圧部材は前記スキージ板の幅方向に複数配列され、複数の前記押圧部材の一部は、他の前記押圧部材と前記当接部との距離が相違する、（２）から（６）のいずれか一つのスキージ。
（８）前記スキージ板保持具は、前記スキージ板を把持する第一板部材と第二板部材とを有し、前記第一板部材または前記第二板部材は、前記当接部から遠ざかる方向に向かう切欠きを有する、（２）から（６）のいずれか一つのスキージ。
（９）基材上に印刷版を介してインクペーストを塗布するスキージ板を保持するスキージ板保持具であって、前記印刷版の印刷領域に当接する前記スキージ板の複数の個所において、前記スキージ板にかかる単位荷重当たりの変形量を調整する変形調整部を含む、スキージ板保持具。
（１０）（１）から（８）のいずれか一つのスキージを有するスクリーン印刷装置。
（１１）（９）のスキージ板保持具を有するスクリーン印刷装置。
（１２）前記印刷版を備え、前記印刷版は、メタル版であって、開口パターンが形成される印刷領域と、当該印刷領域内にあって前記印刷領域の張力を補強する補強部材をさらに備える、請求項１０または１１に記載のスクリーン印刷装置。

１・・・版枠
１ａ・・・開口部
２、４１、４２・・・スキージ
３・・・スクリーン印刷装置
５・・・スクリーンメッシュ
７・・・印刷マスク
８・・・開口部分
９、３００、４００・・・印刷領域
１０・・・スクリーン印刷版
１５、３０・・・メタル版
２０・・・スキージ板
２１・・・第一板部材
２１ａ、２２ａ・・・段差部
２２・・・第二板部材
２３・・・スキージ板保持具
２４・・・ネジ
２５、２５ａから２５ｆ・・・止ネジ
２６・・・基板部
２８・・・付加板部
２９・・・押板片
７１・・・第一板部材
７２・・・第二板部材
７４・・・薄板
７５、８０・・・張力補強部材
７６・・・枠体
７７、９８１、９９１・・・開口パターン
７８、７９、９８、９９・・・領域
８３・・・スペーサー
８５・・・逆ネジ
１００・・・感圧紙
１０１、１０２、１０３・・・変色パターン
１１３・・・載置テーブル
１１５ａ・・・保持部材
１１８・・・往復駆動機構
１２１・・・絶縁樹脂
１２２、１２５・・・銅箔
１２２ａ、１２５ａ、１２５ｂ・・・銅パターン
１２３・・・片面銅張積層板
１２４・・・絶縁樹脂
１２６，１３６、・・・両面銅張積層板
１２８、１３４、１３８、１４２、１４５・・・片面基材
１２９、１４４，１４６・・・両面基材
１３２・・・接着材
１３３、１３５・・・保護フィルム
１３７、１３９・・・有底ビアホール
１４１、１４３・・・導電性ペースト
１４７・・・配線板

Claims (11)

1. 基材上にインクペーストを塗布するスキージであって、
   印刷版に当接しながら移動する当接部を有するスキージ板と、
   前記スキージ板のうち前記印刷版の少なくとも印刷領域に当接する範囲の複数の個所において、前記スキージ板にかかる単位荷重当たりの変形量を調整する変形調整部と、
   を含み、
   前記変形調整部は、前記スキージ板を保持するスキージ板保持具と、前記スキージ板保持具から前記スキージ板に向かう押圧力を発生する押圧部材と、を含み、
   前記スキージ板保持具は、前記スキージ板を把持する第一板部材と第二板部材とを有し、
   前記押圧部材は、前記スキージ板保持具と前記スキージ板との間に配置される押板片を含み、
   前記押板片は、前記第一板部材または前記第二板部材と前記スキージ板との間に挟みこまれており、前記スキージ板を面状に押圧している、スキージ。
2. 基材上にインクペーストを塗布するスキージであって、
   印刷版に当接しながら移動する当接部を有するスキージ板と、
   前記スキージ板のうち前記印刷版の少なくとも印刷領域に当接する範囲の複数の個所において、前記スキージ板にかかる単位荷重当たりの変形量を調整する変形調整部と、
   を含み、
   前記変形調整部は、前記スキージ板を保持するスキージ板保持具と、前記スキージ板保持具から前記スキージ板に向かう押圧力を発生する押圧部材と、を含み、
   前記押圧部材は、
   前記スキージ板が前記印刷版に当接していない状態にあっても前記スキージ板を押圧しており、
   前記スキージ板にかかる押圧力を調整する押圧力調整部と、前記スキージ板保持具と前記スキージ板との間に配置される押板片と、を有し、当該押圧力調整部により前記スキージ板にかかる単位荷重当たりの変形量を調整し、
   前記押圧力調整部は、前記押板片を介して前記スキージ板を押圧する止ネジであり、前記止ネジの位置を固定する逆ネジをさらに含み、該逆ネジは、前記止ネジと一体的に形成されている、スキージ。
3. 基材上にインクペーストを塗布するスキージであって、
   印刷版に当接しながら移動する当接部を有するスキージ板と、
   前記スキージ板のうち前記印刷版の少なくとも印刷領域に当接する範囲の複数の個所において、前記スキージ板にかかる単位荷重当たりの変形量を調整する変形調整部と、
   を含み、
   前記変形調整部は、前記スキージ板を保持するスキージ板保持具と、前記スキージ板保持具から前記スキージ板に向かう押圧力を発生する押圧部材と、を含み、
   前記スキージ板保持具において、前記押圧部材は前記スキージ板の幅方向に複数配列され、複数の前記押圧部材の一部は、他の前記押圧部材と前記当接部との距離が相違する、スキージ。
4. 基材上にインクペーストを塗布するスキージであって、
   印刷版に当接しながら移動する当接部を有するスキージ板と、
   前記スキージ板のうち前記印刷版の少なくとも印刷領域に当接する範囲の複数の個所において、前記スキージ板にかかる単位荷重当たりの変形量を調整する変形調整部と、
   を含み、
   前記変形調整部は、前記スキージ板を保持するスキージ板保持具と、前記スキージ板保持具から前記スキージ板に向かう押圧力を発生する押圧部材と、を含み、
   前記押圧部材は、前記スキージ板保持具と前記スキージ板との間に配置される押板片を含み、
   前記押板片は、前記スキージ板保持具と前記スキージ板との間に挟みこまれており、前記スキージ板を面状に押圧しており、
   前記スキージ板保持具は、前記スキージ板を把持する第一板部材と第二板部材とを有し、前記第一板部材または前記第二板部材は、前記当接部から遠ざかる方向に向かう切欠きを有する、スキージ。
5. 前記押圧部材は、前記スキージ板が前記印刷版に当接していない状態にあっても前記スキージ板を押圧している、請求項１、３、または４に記載のスキージ。
6. 前記押圧部材は、前記スキージ板にかかる押圧力を調整する押圧力調整部を有し、当該押圧力調整部により前記スキージ板にかかる単位荷重当たりの変形量を調整する、請求項５に記載のスキージ。
7. 基材上にインクペーストを塗布するスキージであって、
   印刷版に当接しながら移動する当接部を有するスキージ板と、
   前記スキージ板のうち前記印刷版の少なくとも印刷領域に当接する範囲の複数の個所において、前記スキージ板にかかる単位荷重当たりの変形量を調整する変形調整部と、
   を含み、
   前記変形調整部は、前記スキージ板を保持するスキージ板保持具と、前記スキージ板保持具から前記スキージ板に向かう押圧力を発生する押圧部材と、を含み、
   前記押圧部材は、前記スキージ板保持具と前記スキージ板との間に配置される押板片を含み、前記スキージ板が前記印刷版に当接していない状態にあっても前記スキージ板を押圧しており、前記スキージ板にかかる押圧力を調整する押圧力調整部を有し、当該押圧力調整部により前記スキージ板にかかる単位荷重当たりの変形量を調整し、
   前記押板片は、前記スキージ板保持具と前記スキージ板との間に挟みこまれており、前記スキージ板を面状に押圧しており、
   前記押圧力調整部は、前記押板片を介して前記スキージ板を押圧する止ネジであり、前記止ネジの位置を固定する逆ネジをさらに含み、該逆ネジは、前記止ネジと一体的に形成されている、スキージ。
8. 基材上に印刷版を介してインクペーストを塗布するスキージ板を保持するスキージ板保持具であって、
   前記印刷版の印刷領域に当接する前記スキージ板の複数の個所において、前記スキージ板にかかる単位荷重当たりの変形量を調整する変形調整部を含み、
   前記変形調整部は、前記スキージ板保持具から前記スキージ板に向かう押圧力を発生する押圧部材を含み、
   前記押圧部材は、
   前記スキージ板が前記印刷版に当接していない状態にあっても前記スキージ板を押圧しており、
   前記スキージ板にかかる押圧力を調整する押圧力調整部と、前記スキージ板保持具と前記スキージ板との間に配置される押板片と、を有し、当該押圧力調整部により前記スキージ板にかかる単位荷重当たりの変形量を調整し、
   前記押圧力調整部は、前記押板片を介して前記スキージ板を押圧する止ネジであり、前記止ネジの位置を固定する逆ネジをさらに含み、該逆ネジは、前記止ネジと一体的に形成されている、スキージ板保持具。
9. 請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のスキージを有するスクリーン印刷装置。
10. 請求項８に記載のスキージ板保持具を有するスクリーン印刷装置。
11. 前記印刷版を備え、前記印刷版は、メタル版であって、開口パターンが形成される印刷領域と、当該印刷領域内にあって前記印刷領域の張力を補強する補強部材をさらに備える、請求項９または１０に記載のスクリーン印刷装置。

Images