JP7237040B2 - Embossed film, sheet-fed film, transfer, and method for producing embossed film - Google Patents

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Description

本発明は、エンボスフィルム、枚葉フィルム、転写物、およびエンボスフィルムの製造方法に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to an embossed film, a sheet-fed film, a transfer, and a method for producing an embossed film.

近年、様々な平面形状の凹凸構造を有するエンボスフィルムが開発され、使用されている。 In recent years, embossed films having various planar uneven structures have been developed and used.

このようなエンボスフィルムの作製方法としては、例えば、シート状の被転写フィルムにスタンパ原盤を用いて凹凸構造を形成する方法が挙げられる。 As a method for producing such an embossed film, for example, there is a method of forming an uneven structure on a sheet-like transfer-receiving film using a stamper master.

具体的には、平板状の基板の表面(転写面)に、フィルムに形成する凹凸構造の反転形状を形成したスタンパ原盤を作製し、該スタンパ原盤を被転写フィルムに押圧することで、スタンパ原盤の転写面の形状を被転写フィルムに転写する。このような転写を繰り返し実施することにより、シート状の被転写フィルムのほぼ全域に所望の凹凸構造が形成されたエンボスフィルムを作製することができる。 Specifically, a stamper master disc is prepared by forming a reverse shape of the concave-convex structure to be formed on the film on the surface (transfer surface) of a flat substrate, and pressing the stamper master disc against the film to be transferred. The shape of the transfer surface is transferred to the transferred film. By repeating such transfer, it is possible to produce an embossed film in which a desired concavo-convex structure is formed over almost the entire area of the sheet-like transfer-receiving film.

特開2009-258751号公報JP 2009-258751 A

しかしながら、上記のスタンパ原盤を用いてエンボスフィルムを作製する方法では、被転写フィルムに対してスタンパ原盤の押圧位置を正確に制御することが困難であった。そのため、スタンパ原盤の一転写によって形成された凹凸構造の配列パターンと、次の転写によって形成された凹凸構造の配列パターンとの間で位置ずれが生じてしまうという問題があった。 However, in the above-described method of producing an embossed film using a stamper master, it is difficult to accurately control the pressing position of the stamper master against the transferred film. Therefore, there is a problem that a positional deviation occurs between the arrangement pattern of the concave-convex structure formed by one transfer of the stamper master disk and the arrangement pattern of the concave-convex structure formed by the next transfer.

また、スタンパ原盤では、転写を繰り返すほど、スタンパ原盤の凸部が摩耗したり、凹部が剥離したフィルムによって埋まったりする可能性が高くなる。そのため、作製するエンボスフィルムの面積が大きくなればなるほど、被転写フィルムへの凹凸構造の転写性が低下し、転写される凹凸構造の欠損頻度が高くなるという問題があった。 Further, in the stamper master disc, the more the transfer is repeated, the more likely it is that the convex portions of the stamper master disc will be worn away or the concave portions will be filled with the peeled film. Therefore, as the area of the embossed film to be produced increases, the transferability of the rugged structure to the film to be transferred decreases, and the frequency of defects in the embossed structure to be transferred increases.

なお、特許文献1には、円筒または円柱形原盤を用いたロールツーロール方式にて、可視光波長以下の周期のモスアイ構造を有するフィルム等を作製する方法が開示されている。ただし、特許文献1に開示された技術は、可視光波長以下の周期で形成された凹凸構造(例えば、1μm以下)を形成することを目的としているため、上記の問題解決に寄与するものではなかった。 Patent Document 1 discloses a method of producing a film or the like having a moth-eye structure with a period equal to or shorter than the wavelength of visible light by a roll-to-roll method using a cylindrical or cylindrical master. However, the technique disclosed in Patent Document 1 aims to form an uneven structure (for example, 1 μm or less) formed with a period equal to or less than the wavelength of visible light, so it does not contribute to solving the above problem. rice field.

そこで、本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、被転写フィルムにおける凹部の欠損頻度がより少ない、新規かつ改良されたエンボスフィルム、該エンボスフィルムを切断した枚葉フィルム、該エンボスフィルムによる転写物、および該エンボスフィルムの製造方法を提供することにある。 Therefore, the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a new and improved embossed film in which the frequency of defects in recesses in a transferred film is reduced, and the embossed film. An object of the present invention is to provide a cut sheet-fed film, a transfer product from the embossed film, and a method for producing the embossed film.

上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、フィルム本体と、前記フィルム本体の表面に形成された複数の凹部と、を備え、前記凹部の開口面の直径は、可視光波長よりも大きく、前記凹部の配列パターンは、前記フィルム本体の長さ方向に沿った周期性を有し、前記フィルム本体の一方の端部における凹部の欠損率と、前記フィルム本体の他方の端部における凹部の欠損率との差は、10ppm以下である、エンボスフィルムが提供される。 In order to solve the above problems, according to one aspect of the present invention, a film body and a plurality of recesses formed on the surface of the film body are provided, and the diameter of the opening surface of the recesses is a visible light wavelength The arrangement pattern of the recesses has a periodicity along the length direction of the film body, and the defect rate of the recesses at one end of the film body and the other end of the film body An embossed film having a difference of 10 ppm or less from the defect rate of recesses in the embossed film is provided.

前記凹部の欠損率は、前記配列パターンの一周期中における同一配列パターンに対応する領域の凹部に基づいて算出されてもよい。 The defect ratio of the recesses may be calculated based on the recesses in the region corresponding to the same arrangement pattern during one cycle of the arrangement pattern.

前記フィルム本体は、長尺フィルムであってもよい。 The film body may be a long film.

前記フィルム本体に形成された前記凹部は、それぞれ略同一形状を有してもよい。 The recesses formed in the film body may have substantially the same shape.

前記凹部の配列パターンは、格子形状であってもよい。 The arrangement pattern of the recesses may be a lattice shape.

前記凹部の数密度は、50000000個/cm以下であってもよい。 A number density of the concave portions may be 50000000/cm 2 or less.

前記フィルム本体は、前記凹部内を含む表面の少なくとも一部に無機化合物からなる被覆層を備えてもよい。 The film body may include a coating layer made of an inorganic compound on at least part of the surface including the inside of the recess.

前記フィルム本体は、硬化性樹脂または可塑性樹脂にて形成されてもよい。 The film body may be made of a curable resin or a plastic resin.

また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、上記に記載されたエンボスフィルムを複数枚に切断することにより形成された、枚葉フィルムが提供される。 Moreover, in order to solve the above problems, according to another aspect of the present invention, there is provided a sheet-fed film formed by cutting the embossed film described above into a plurality of sheets.

また、上記課題を解決するために、本発明のさらに別の観点によれば、上記に記載されたエンボスフィルム、または枚葉フィルムを用い、前記配列パターンに対応する位置に微小固形物が転写された、転写物が提供される。 Further, in order to solve the above problems, according to still another aspect of the present invention, the embossed film or sheet film described above is used, and micro solids are transferred to positions corresponding to the array pattern. A transcript is also provided.

さらに、上記課題を解決するために、本発明のさらに別の観点によれば、円筒または円柱形状の原盤の周面に複数の凸部を形成するステップと、被転写フィルムに対して、前記原盤を回転させながら押圧し、前記原盤の周面形状に対応する凹部を前記被転写フィルムに転写してフィルム本体を作製するステップと、を含み、前記凹部の開口面の直径は、可視光波長よりも大きく、前記フィルム本体の一方の端部における凹部の欠損率と、前記フィルム本体の他方の端部における凹部の欠損率との差は、10ppm以下である、エンボスフィルムの製造方法が提供される。 Furthermore, in order to solve the above problems, according to still another aspect of the present invention, there is provided a step of forming a plurality of protrusions on the peripheral surface of a cylindrical or columnar master, and is rotated and pressed to transfer recesses corresponding to the peripheral surface shape of the master to the transferred film to produce a film body, wherein the diameter of the opening surface of the recesses is greater than the visible light wavelength. is large, and the difference between the defect rate of the recesses at one end of the film body and the defect rate of the recesses at the other end of the film body is 10 ppm or less. .

以上説明したように本発明によれば、可視光波長よりも大きな直径の開口面を有する凹部をフィルムに形成した場合に、フィルムの一方の端部における凹部の欠損率と、他方の端部における凹部の欠損率との差を小さくすることが可能である。そのため、エンボスフィルムを大面積にて形成した場合であっても、凹部の欠損頻度をより少なくすることが可能である。 As described above, according to the present invention, when a concave portion having an opening surface with a diameter larger than the wavelength of visible light is formed in a film, the defect rate of the concave portion at one end of the film and the loss rate at the other end of the film It is possible to reduce the difference from the defect rate of the concave portion. Therefore, even when the embossed film is formed with a large area, it is possible to further reduce the frequency of defects in the concave portions.

本発明の一実施形態に係るエンボスフィルムを厚み方向に切断した際の断面形状を模式的に示した断面図である。1 is a cross-sectional view schematically showing a cross-sectional shape of an embossed film according to an embodiment of the present invention when cut in the thickness direction; FIG. 同実施形態に係るエンボスフィルムの凹部の配列パターンの一例を示す上面図である。It is a top view which shows an example of the arrangement pattern of the recessed part of the embossed film which concerns on the same embodiment. 図2で示したエンボスフィルムの凹部を形成するための円筒形の原盤の一例を示した模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram showing an example of a cylindrical master for forming recesses of the embossed film shown in FIG. 2; 同実施形態に係るエンボスフィルムの一使用例を説明するための説明図である。It is an explanatory view for explaining one example of use of the embossed film concerning the embodiment. 同実施形態に係るエンボスフィルムを用いた転写物を厚み方向に切断した際の断面形状を模式的に示した断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a cross-sectional shape of a transfer product using the embossed film according to the same embodiment cut in the thickness direction. 同実施形態に係るエンボスフィルムを用いた転写物の平面状態を示す上面図である。It is a top view which shows the planar state of the transcription|transfer material using the embossed film which concerns on the same embodiment. 同実施形態にて使用される原盤に対して任意のパターンを描画する露光装置の構成を示す説明図である。It is an explanatory view showing composition of exposure device which draws arbitrary patterns to a master disc used in the embodiment. 同実施形態に係るエンボスフィルムを作製する転写装置を模式的に示した説明図である。It is an explanatory view showing typically a transcription device which produces an embossed film concerning the embodiment. 同実施形態に係るエンボスフィルムのSEMによる観察画像である。It is an observation image by SEM of the embossed film according to the same embodiment. 同実施形態に係るエンボスフィルムのSEMによる観察画像である。It is an observation image by SEM of the embossed film according to the same embodiment.

以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。 Preferred embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. In the present specification and drawings, constituent elements having substantially the same functional configuration are denoted by the same reference numerals, thereby omitting redundant description.

<1.エンボスフィルム>
[1.1.エンボスフィルムの構造]
まず、図1および図2を参照して、本発明の一実施形態に係るエンボスフィルムの構造について説明する。図1は、本実施形態に係るエンボスフィルム1を厚み方向に切断した際の断面形状を模式的に示した断面図である。
<1. Embossed film>
[1.1. Structure of embossed film]
First, the structure of an embossed film according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing the cross-sectional shape of the embossed film 1 according to this embodiment when cut in the thickness direction.

図1に示すように、本実施形態に係るエンボスフィルム1は、フィルム本体10と、フィルム本体10の表面に形成された複数の凸部11および凹部13とを有する。 As shown in FIG. 1 , the embossed film 1 according to this embodiment has a film body 10 and a plurality of convex portions 11 and concave portions 13 formed on the surface of the film body 10 .

ここで、エンボスフィルム1の積層構造は、図1に示す構造に限定されない。例えば、エンボスフィルム1は、複数の樹脂層が積層された積層体として形成されてもよい。例えば、エンボスフィルム1は、フィルム本体10の凸部11および凹部13が形成された表面に対する反対面に、樹脂等で形成された支持体(図示せず)が積層された構造を有してもよい。支持体は、いかなる樹脂で形成されてもよいが、例えば、PET(ポリエチレンテレフタラート)樹脂などで形成されてもよい。 Here, the laminated structure of the embossed film 1 is not limited to the structure shown in FIG. For example, the embossed film 1 may be formed as a laminate in which a plurality of resin layers are laminated. For example, the embossed film 1 may have a structure in which a support (not shown) made of resin or the like is laminated on the surface of the film body 10 opposite to the surface on which the projections 11 and the recesses 13 are formed. good. The support may be made of any resin, such as PET (polyethylene terephthalate) resin.

フィルム本体10は、硬化性または可塑性を有する樹脂にて形成される。フィルム本体10は、硬化性または可塑性を有する樹脂ならば、公知のいずれの樹脂も使用することが可能である。具体的には、フィルム本体10は、硬化性樹脂である光硬化性樹脂や熱硬化性樹脂にて形成されてもよく、可塑性樹脂である熱可塑性樹脂(より詳細には、熱により溶融する結晶性樹脂)にて形成されてもよい。なお、硬化性または可塑性を有する樹脂は、他の膜形成材料と混合されていてもよい。 The film body 10 is made of a curable or plastic resin. Any known resin can be used for the film body 10 as long as it is a curable or plastic resin. Specifically, the film main body 10 may be formed of a photocurable resin or a thermosetting resin that is a curable resin, or a thermoplastic resin that is a plastic resin (more specifically, a crystal that melts due to heat). resin). The curable or plastic resin may be mixed with other film-forming materials.

フィルム本体10が熱可塑性樹脂で形成される場合、例えば、フィルム本体10を加熱し、軟化させた後、円筒または円柱形原盤を押圧することにより、原盤の表面に形成された凹凸構造をフィルム本体10に転写することができる。また、フィルム本体10が光硬化性樹脂で形成される場合、例えば、支持体に光硬化性樹脂を塗布し、円筒または円柱形原盤を押圧しながら光を照射して光硬化性樹脂を硬化させることにより、原盤の表面に形成された凹凸構造をフィルム本体10に転写することができる。 When the film body 10 is formed of a thermoplastic resin, for example, after the film body 10 is heated and softened, a cylindrical or columnar master is pressed so that the concave-convex structure formed on the surface of the master is removed from the film body. 10 can be transferred. When the film main body 10 is formed of a photocurable resin, for example, the photocurable resin is applied to the support, and the photocurable resin is cured by irradiating light while pressing the cylindrical or cylindrical master. Thereby, the concave-convex structure formed on the surface of the master can be transferred to the film main body 10 .

フィルム本体10の厚みは、特に限定されないが、例えば、8μm以上200μm以下であってもよい。また、エンボスフィルム1が支持体と、フィルム本体10との積層体として形成される場合、エンボスフィルム1全体の厚みは、特に限定されないが、例えば、10μm以上300μm以下であってもよい。このような場合、フィルム本体10のみの厚みは、1μm以上50μm以下であってもよく、支持体のみの厚みは、9μm以上250μm以下であってもよい。 The thickness of the film body 10 is not particularly limited, but may be, for example, 8 μm or more and 200 μm or less. Moreover, when the embossed film 1 is formed as a laminate of a support and a film body 10, the thickness of the entire embossed film 1 is not particularly limited, but may be, for example, 10 μm or more and 300 μm or less. In such a case, the thickness of the film body 10 alone may be 1 μm or more and 50 μm or less, and the thickness of the support alone may be 9 μm or more and 250 μm or less.

凸部11および凹部13は、フィルム本体10上に形成された凹凸構造である。ここで、凸部11および凹部13の平面および断面形状は任意であるが、凸部11および凹部13の平面形状の大きさは、可視光波長よりも大きくなるように形成される。 The protrusions 11 and the recesses 13 are uneven structures formed on the film body 10 . Here, the planar shape and cross-sectional shape of the convex portion 11 and the concave portion 13 are arbitrary, but the size of the planar shape of the convex portion 11 and the concave portion 13 is formed so as to be larger than the visible light wavelength.

具体的には、凹部13は、開口面の直径が可視光波長よりも大きくなるように形成される。なお、凹部13の開口面の形状が円形ではない場合(多角形などの場合)、凹部13は、開口面の形状の外接円の直径が可視光波長よりも大きくなるように形成される。ただし、凹部13の開口面の形状が三角形または矩形の場合、凹部13は、開口面の1辺の長さが可視光波長よりも大きくなるように形成されてもよい。 Specifically, the concave portion 13 is formed so that the diameter of the opening surface is larger than the visible light wavelength. When the shape of the opening surface of the recess 13 is not circular (eg polygonal), the recess 13 is formed so that the diameter of the circumscribed circle of the shape of the opening surface is larger than the visible light wavelength. However, when the shape of the opening surface of the recess 13 is triangular or rectangular, the recess 13 may be formed so that the length of one side of the opening surface is longer than the visible light wavelength.

より具体的には、凹部13は、開口面の直径が0.8μm以上500μm以下となるように形成されてもよく、好ましくは1.0μm以上300μm以下となるように形成されてもよく、さらに好ましくは1.6μmより大きく300μm未満となるように形成されていてもよい。すなわち、凹部13の開口面の直径は、0.8μm以上が好ましく、1.0μm以上がより好ましく、1.6μmより大きいことがさらに好ましい。また、凹部13の開口面の直径は、500μm以下が好ましく、300μm以下がより好ましく、300μm未満がさらに好ましい。 More specifically, the concave portion 13 may be formed so that the diameter of the opening surface is 0.8 μm or more and 500 μm or less, preferably 1.0 μm or more and 300 μm or less. Preferably, it may be formed to be larger than 1.6 μm and smaller than 300 μm. That is, the diameter of the opening surface of the concave portion 13 is preferably 0.8 μm or more, more preferably 1.0 μm or more, and even more preferably larger than 1.6 μm. Moreover, the diameter of the opening surface of the concave portion 13 is preferably 500 μm or less, more preferably 300 μm or less, and even more preferably less than 300 μm.

なお、凹部13の開口面の形状は、上述したように、任意の形状であってもよい。例えば、凹部13の開口面の形状は、円形、楕円形、矩形、および多角形などであってもよい。また、凹部13の開口面の形状は、一部に曲線を含む形状であってもよい。なお、凹部13の開口面の面積は、開口面の直径が上記の条件を満たしていれば、一定でなくともよい。 The shape of the opening surface of the recess 13 may be any shape as described above. For example, the shape of the opening surface of the recess 13 may be circular, elliptical, rectangular, polygonal, or the like. Further, the shape of the opening surface of the concave portion 13 may be a shape including a curved line in part. The area of the opening surface of the concave portion 13 does not have to be constant as long as the diameter of the opening surface satisfies the above conditions.

また、凹部13の深さは、例えば、0.08μm以上30μm以下であってもよく、好ましくは、15μm以下であってもよい。さらに、凹部13の開口面の形状が略矩形または略円形である場合、凹部13のアスペクト比は、0.1以上10以下であってもよい。ここで、凹部13のアスペクト比は、凹部13の深さを凹部13の開口面の最小直径または最小辺の長さで除算した比率として定義した。 Further, the depth of the concave portion 13 may be, for example, 0.08 μm or more and 30 μm or less, preferably 15 μm or less. Furthermore, when the shape of the opening surface of the recess 13 is approximately rectangular or approximately circular, the aspect ratio of the recess 13 may be 0.1 or more and 10 or less. Here, the aspect ratio of the recess 13 is defined as a ratio obtained by dividing the depth of the recess 13 by the minimum diameter or the minimum side length of the opening surface of the recess 13 .

凹部13の深さが30μmを超える、または凹部13のアスペクト比が10を超える場合、凹部13の形成が困難になるため好ましくない。また、凹部13の深さが0.08μm未満、または凹部13のアスペクト比が0.1未満の場合、フィルム本体10へのエンボス加工の効果が低下するため好ましくない。 If the depth of the recesses 13 exceeds 30 μm or the aspect ratio of the recesses 13 exceeds 10, the formation of the recesses 13 becomes difficult, which is not preferable. In addition, if the depth of the recesses 13 is less than 0.08 μm or the aspect ratio of the recesses 13 is less than 0.1, the effect of embossing the film body 10 is reduced, which is not preferable.

ここで、エンボスフィルム1がフィルム本体10のみにて形成される場合、凹部13の深さは、フィルム本体10の厚みを超えないことが好ましい。ただし、エンボスフィルム1が支持体とフィルム本体10との積層体として形成される場合、凹部13の深さは、フィルム本体10の厚さを超えてもよい(すなわち、凹部13は、フィルム本体10を貫通して形成されてもよい)。 Here, when the embossed film 1 is formed only by the film body 10 , it is preferable that the depth of the recesses 13 does not exceed the thickness of the film body 10 . However, if the embossed film 1 is formed as a laminate of a support and a film body 10, the depth of the recesses 13 may exceed the thickness of the film body 10 (i.e., the recesses 13 may extend beyond the thickness of the film body 10). ).

また、凹部13の断面形状は、フィルム本体10全体にわたって、同一の開口形状および深さを有するものについては、略同一であることが好ましい。一例として、凹部13の開口面の形状については、フィルム本体10全体にわたって、略同一であることが好ましい。凹部13の断面形状または開口面の形状が略同一である場合、エンボスフィルム1における凹部13の形成状態の把握がより容易になるため好ましい。 Moreover, it is preferable that the cross-sectional shape of the concave portion 13 is substantially the same as long as the concave portion 13 has the same opening shape and depth over the entire film body 10 . As an example, it is preferable that the shape of the opening surface of the concave portion 13 is substantially the same over the entire film body 10 . When the cross-sectional shape or the shape of the opening surface of the recesses 13 is substantially the same, it is preferable because it becomes easier to grasp the formation state of the recesses 13 in the embossed film 1 .

なお、フィルム本体10の凸部11および凹部13が形成された表面の少なくとも一部には、被覆層が設けられてもよい。具体的には、フィルム本体10の凸部11の上面、凹部13の側壁および底面のすべてに被覆層が設けられてもよく、フィルム本体10の凹部13の側壁および底面の一部に被覆層が設けられてもよい。ただし、被膜層の厚みは、凹部13の形状によらず全面で略一定であってもよい。被覆層は、例えば、無機化合物からなる層であってもよく、表面改質剤等の有機化合物からなる層であってもよい。 A coating layer may be provided on at least part of the surface of the film body 10 on which the projections 11 and the recesses 13 are formed. Specifically, the coating layer may be provided on all of the upper surface of the projections 11 of the film body 10 and the sidewalls and bottom surface of the recesses 13, and the coating layer may be provided on part of the sidewalls and bottom surface of the recesses 13 of the film body 10. may be provided. However, the thickness of the coating layer may be substantially constant over the entire surface regardless of the shape of the recess 13 . The coating layer may be, for example, a layer made of an inorganic compound, or a layer made of an organic compound such as a surface modifier.

なお、被覆層が有機化合物からなる層である場合、被覆層の材質は、凹部13が形成されているフィルム本体10の材質と異なることが好ましい。このような場合、被覆層は、凹部13の一部に堆積されていると認識できる程度の厚みであることが好ましく、具体的には、堆積した被覆層の体積は、凹部13の空間の全体積の30体積%以下であることが好ましい。 In addition, when the coating layer is a layer made of an organic compound, the material of the coating layer is preferably different from the material of the film main body 10 in which the concave portions 13 are formed. In such a case, the coating layer is preferably thick enough to be recognized as being deposited in a part of the recess 13. Specifically, the volume of the deposited coating layer is the entire space of the recess 13. It is preferably 30% by volume or less of the product.

このような被覆層を形成することにより、エンボスフィルム1の表面状態をより安定化させることができる。また、被覆層は、凹部13の壁面を傾斜させるように形成されてもよい。このような場合、後述する使用例において、凹部13に充填されたフィラーの転写をより容易にすることができる。 By forming such a coating layer, the surface condition of the embossed film 1 can be further stabilized. Also, the coating layer may be formed so as to incline the wall surface of the recess 13 . In such a case, transfer of the filler filled in the concave portion 13 can be facilitated in a usage example described later.

続いて、図2および図3を参照して、本実施形態に係るエンボスフィルム1の凹部13の配列パターンについて説明する。図2は、本実施形態に係るエンボスフィルム1の凹部13の配列パターンの一例を示す上面図である。また、図3は、図2で示したエンボスフィルム1の凹部13を形成するための円筒形の原盤の一例を示した模式図である。 Next, the arrangement pattern of the concave portions 13 of the embossed film 1 according to this embodiment will be described with reference to FIGS. 2 and 3. FIG. FIG. 2 is a top view showing an example of the arrangement pattern of the concave portions 13 of the embossed film 1 according to this embodiment. FIG. 3 is a schematic diagram showing an example of a cylindrical master plate for forming the concave portions 13 of the embossed film 1 shown in FIG.

図2に示すように、フィルム本体10は、例えば、長尺フィルムである。具体的には、フィルム本体10の長さの下限は、5m、10m、30m、50m、100m、200m、300m、および500mのうちのいずれかであってもよい。フィルム本体10の幅は、特に限定されないが、例えば、0.05cm以上300cm以下である。 As shown in FIG. 2, the film body 10 is, for example, a long film. Specifically, the lower limit of the length of the film body 10 may be any of 5m, 10m, 30m, 50m, 100m, 200m, 300m, and 500m. The width of the film body 10 is not particularly limited, but is, for example, 0.05 cm or more and 300 cm or less.

また、フィルム本体10に形成される凹部13の配列パターンは、フィルム本体10の長さ方向に沿った周期性を有する。これは、本実施形態に係るエンボスフィルム1では、フィルム本体10に対して、円筒または円柱形原盤をロールツーロール方式で押圧することによって、凸部11および凹部13が形成されるためである。そのため、エンボスフィルム1には、円筒または円柱形原盤の一周に相当する周期性を少なくとも有する配列パターンにて凸部11および凹部13が形成される。 Also, the arrangement pattern of the concave portions 13 formed in the film body 10 has periodicity along the length direction of the film body 10 . This is because, in the embossed film 1 according to the present embodiment, the projections 11 and the recesses 13 are formed by pressing the cylindrical or columnar master against the film body 10 in a roll-to-roll manner. Therefore, in the embossed film 1, the projections 11 and the recesses 13 are formed in an arrangement pattern having at least a periodicity corresponding to one circumference of a cylindrical or cylindrical master.

具体的には、図3において、図2で示したエンボスフィルム1の凹部13を形成するための円筒形の原盤4の一例を示す。図3に示すように、円筒形の原盤4の外周面には、図2に示す凸部11および凹部13に対応する凹凸構造41が形成される。ここで、円筒形の原盤4の外周面に形成された凹凸構造41におけるA方向が、エンボスフィルム1における幅方向であり、凹凸構造41におけるB方向が、エンボスフィルム1における長さ方向である。 Specifically, FIG. 3 shows an example of a cylindrical master 4 for forming the concave portions 13 of the embossed film 1 shown in FIG. As shown in FIG. 3, on the outer peripheral surface of the cylindrical master 4, a concave-convex structure 41 corresponding to the convex portions 11 and concave portions 13 shown in FIG. 2 is formed. Here, the A direction of the uneven structure 41 formed on the outer peripheral surface of the cylindrical master 4 is the width direction of the embossed film 1 , and the B direction of the uneven structure 41 is the length direction of the embossed film 1 .

図3にて例示するように、凹凸構造41は、六方格子などの周期性を有する配列パターンであってもよく、周期性を有さない任意の配列パターンであってもよい。ただし、円筒形の原盤4は、回転しながらフィルム本体10を押圧して凹凸構造41をフィルム本体10に転写するため、エンボスフィルム1に形成される凸部11および凹部13の配列パターンは、円筒形の原盤4の一周分に相当する周期性を必ず有することになる。 As illustrated in FIG. 3, the uneven structure 41 may be an arrangement pattern having periodicity such as a hexagonal lattice, or may be an arbitrary arrangement pattern having no periodicity. However, since the cylindrical master 4 presses the film main body 10 while rotating to transfer the uneven structure 41 to the film main body 10, the arrangement pattern of the convex portions 11 and the concave portions 13 formed on the embossed film 1 is a cylindrical shape. It necessarily has a periodicity corresponding to one round of the master disk 4 of the shape.

また、フィルム本体10に形成される凹部13の配列パターンは、フィルム本体10の長さ方向と直交する方向(すなわち、フィルム本体10の幅方向)に沿った周期性を有してもよい。すなわち、フィルム本体10の幅方向に沿って、同一形状の凹部13が繰り返し形成されてもよい。また、凹部13の配列パターンは、フィルム本体10の長さ方向および幅方向の双方で、同一の繰り返し周期を有してもよい。これは、形成したエンボスフィルム1を切断して、枚葉化した枚葉フィルムを形成した場合、略同一のものを長さ方向および幅方向の双方で得ることができるためである。 Also, the arrangement pattern of the concave portions 13 formed in the film body 10 may have periodicity along the direction orthogonal to the length direction of the film body 10 (that is, the width direction of the film body 10). That is, along the width direction of the film body 10, the concave portions 13 having the same shape may be repeatedly formed. Also, the arrangement pattern of the concave portions 13 may have the same repeating period in both the length direction and the width direction of the film body 10 . This is because when the formed embossed film 1 is cut to form a sheet-fed film, substantially the same film can be obtained both in the length direction and the width direction.

ここで、一般的に、パターン原盤からの転写によって作製されたエンボスフィルム1では、パターン原盤からフィルム本体10を押圧した際に、転写不良による欠損部15が生じることがあった。欠損部15とは、例えば、転写される配列パターンにおいて凹部13が形成されるはずの位置に、凹部13が形成されていないものを表す。このような欠損部15は、パターン原盤を連続して使用することによる凸構造の摩耗または凹構造への樹脂詰まりなどによって生じる。そのため、欠損部15は、より大面積のフィルム本体10に対して凹凸構造の転写を行うほど、累積的に増加する傾向があった。 Here, in general, in the embossed film 1 produced by transferring from the pattern master, the defective part 15 may be generated due to transfer failure when the film body 10 is pressed from the pattern master. The missing portion 15 represents, for example, a portion in which the concave portion 13 is not formed at a position where the concave portion 13 should be formed in the array pattern to be transferred. Such a missing portion 15 is caused by abrasion of the convex structure or resin clogging of the concave structure due to continuous use of the pattern master. Therefore, the missing portions 15 tended to cumulatively increase as the uneven structure was transferred to the film body 10 having a larger area.

本実施形態に係るエンボスフィルム1は、フィルム本体10の一方の端部における凹部13の欠損率と、フィルム本体10の他方の端部における凹部13の欠損率との差が10ppm以下である。なお、欠損率とは、所定の領域における全ての凹部13に対する欠損部15の割合を表す。これにより、本実施形態に係るエンボスフィルム1は、大面積のフィルム本体10において凹凸構造の均一性が向上し、かつ欠損部15の発生頻度が低くなる。なお、フィルム本体10の一方の端部における凹部13の欠損率と、フィルム本体10の他方の端部における凹部13の欠損率との差の下限値は、特に限定されないが、小さければ小さいほど好ましく、0が最も好ましいことは言うまでもない。 In the embossed film 1 according to this embodiment, the difference between the defect rate of the concave portions 13 at one end of the film body 10 and the defect rate of the concave portions 13 at the other end of the film body 10 is 10 ppm or less. Note that the defect rate represents the ratio of the defect portions 15 to all the recess portions 13 in a predetermined area. As a result, the embossed film 1 according to the present embodiment improves the uniformity of the concave-convex structure in the large-area film body 10 and reduces the frequency of occurrence of the defective portions 15 . The lower limit of the difference between the defect rate of the concave portions 13 at one end of the film body 10 and the defect rate of the concave portions 13 at the other end of the film body 10 is not particularly limited, but the smaller the better. , 0 are most preferred.

より具体的には、矢印L方向に向かって凹部13がフィルム本体10に形成される場合、フィルム本体10の一方の端部である領域F中の凹部13の欠損率と、フィルム本体10の他方の端部である領域R中の凹部13の欠損率との差は、10ppm以下である。ここで、凹部13の配列パターンは、フィルム本体10の長さ方向に沿った周期性を有しているため、領域Fおよび領域Rは、配列パターンの一周期中において同一配列パターンの凹部13が形成された領域が選択される。すなわち、フィルム本体10に形成された凹部13の欠損率は、凹部13の配列パターンが同一の領域同士で比較される。 More specifically, when the recesses 13 are formed in the film body 10 in the direction of the arrow L, the loss rate of the recesses 13 in the region F, which is one end of the film body 10, and the other end of the film body 10 is 10 ppm or less. Here, since the arrangement pattern of the recesses 13 has periodicity along the length direction of the film body 10, the regions F and the regions R have the same arrangement pattern of the recesses 13 in one period of the arrangement pattern. A formed area is selected. That is, the defect rate of the concave portions 13 formed in the film body 10 is compared between regions having the same arrangement pattern of the concave portions 13 .

また、本実施形態に係るエンボスフィルム1では、フィルム本体10の長さ方向(より詳細には、凹部13が形成される方向、すなわち、矢印L方向)に連続して欠損部15が発生することが抑制される。具体的には、エンボスフィルム1は、フィルム本体10の10cmの範囲における連続した欠損部15の個数を10個以下、好ましくは5個以下とすることができる。ここで、連続した欠損部15とは、隣接した凹部13がそれぞれパターン形成されておらず、欠損部15になっていることを表す。なお、フィルム本体10の10cmの範囲における連続した欠損部15の個数の下限値は、特に限定されないが、少なければ少ないほど好ましく、0が最も好ましいことは言うまでもない。 In addition, in the embossed film 1 according to the present embodiment, the missing portion 15 is generated continuously in the length direction of the film body 10 (more specifically, the direction in which the concave portion 13 is formed, that is, the direction of arrow L). is suppressed. Specifically, the embossed film 1 can have 10 or less, preferably 5 or less, continuous cutouts 15 in a range of 10 cm 2 of the film body 10 . Here, the term "continuous missing portion 15" means that the adjacent concave portions 13 are not patterned and form the missing portion 15. As shown in FIG. Although the lower limit of the number of continuous missing portions 15 in the range of 10 cm 2 of the film body 10 is not particularly limited, it is preferable that the number is as small as possible, and it goes without saying that 0 is the most preferable.

凹部13の配列パターンは、特に制限されず、任意の配列パターンであってもよい。ただし、凹部13の数密度は、50000000個/cm以下であることが好ましい。凹部13の数密度が50000000個/cmを超える場合、凹部13を形成する際に、円筒または円柱形原盤とフィルム本体10との接触面積が増加し、原盤とフィルム本体10との離型性が低下して凹部13が形成されにくくなるため好ましくない。なお、凹部13の数密度の下限値は、特に限定されないが、例えば、100個/cm以上であってもよい。 The arrangement pattern of the recesses 13 is not particularly limited, and may be any arrangement pattern. However, the number density of the concave portions 13 is preferably 50000000/cm 2 or less. When the number density of the recesses 13 exceeds 50000000/cm 2 , the contact area between the cylindrical or cylindrical master and the film body 10 increases when the recesses 13 are formed, and the releasability between the master and the film body 10 increases. is not preferable because it becomes difficult to form the concave portion 13. Although the lower limit of the number density of the recesses 13 is not particularly limited, it may be, for example, 100/cm 2 or more.

また、凹部13同士の間隔(すなわち、配列パターンの凹部13のピッチ)は、例えば、0.5μm以上1000μm以下であってもよい。なお、凹部13同士の間隔は、隣接する凹部13同士の開口面の中心間距離のことを指す。 Also, the interval between the recesses 13 (that is, the pitch of the recesses 13 in the array pattern) may be, for example, 0.5 μm or more and 1000 μm or less. In addition, the interval between the concave portions 13 refers to the distance between the centers of the opening surfaces of the adjacent concave portions 13 .

ここで、凹部13の開口面の形状および配列パターンとしては、種々の形状を挙げることができ、一例として、正方格子、斜方格子、六方格子、平行体格子などの格子形状を挙げることができる。また、凹部13の開口面の形状は、円形であってもよく、矩形であってもよく、曲線を含んだ形状でもよい。凹部13の配列パターンは、周期性を有していれば、任意の配列パターンであってもよく、例えば、複数の配列パターンが混在したものであってもよい。複数の配列パターンが混在している場合、それぞれの配列パターンの凹部13の合計において、凹部13の数密度は50000000個/cm以下であることが好ましい。 Here, various shapes can be mentioned as the shape and arrangement pattern of the opening surface of the recesses 13, and examples thereof include lattice shapes such as a square lattice, an orthorhombic lattice, a hexagonal lattice, and a parallel lattice. . Further, the shape of the opening surface of the recess 13 may be circular, rectangular, or curved. The arrangement pattern of the recesses 13 may be any arrangement pattern as long as it has periodicity, and may be, for example, a mixture of a plurality of arrangement patterns. When a plurality of arrangement patterns are mixed, the total number density of the recesses 13 in each arrangement pattern is preferably 50000000/cm 2 or less.

また、上記において説明した凹部13の替わりに、上記において説明した凹部13の形状および配列パターンを有する凸部11を形成することも可能である。すなわち、上述した凹部13の配列パターンの反転形状を有する凸部11を形成することも可能であり、例えば、凸部11を正方格子、斜方格子、六方格子、平行体格子などの格子形状にて形成することも可能である。このような場合、後述する欠損率は、凸部11の欠損の有無を用いて算出することが好ましい。 Further, instead of the concave portions 13 described above, it is also possible to form the convex portions 11 having the shape and arrangement pattern of the concave portions 13 described above. That is, it is also possible to form the projections 11 having a reversed shape of the arrangement pattern of the recesses 13 described above. It is also possible to form In such a case, it is preferable to calculate the defect rate, which will be described later, using the presence or absence of defect of the convex portion 11 .

なお、エンボスフィルム1には、パターン原盤に由来した継ぎ目または合わせ目が存在していてもよい。これは、このような継ぎ目または合わせ目は、微小な範囲であれば、エンボスフィルム1への影響が小さいためである。例えば、このような継ぎ目または合わせ目が、可視光波長以下の大きさの凹部または凸部が点在することで形成された線などであれば、エンボスフィルム1への影響を小さくすることができる。また、エンボスフィルム1が長尺フィルムである場合、このような継ぎ目または合わせ目は、エンボスフィルム1における座標特定に利用することも可能であるためである。 Note that the embossed film 1 may have seams or seams derived from the pattern master. This is because such seams or seams have little effect on the embossed film 1 if they are in a very small range. For example, if such seams or joints are lines formed by interspersed recesses or protrusions having a size equal to or smaller than the wavelength of visible light, the effect on the embossed film 1 can be reduced. . Also, when the embossed film 1 is a long film, such seams or seams can also be used for specifying coordinates in the embossed film 1 .

以上説明したように、本実施形態に係るエンボスフィルム1は、フィルム本体10の一方の端部における凹部13の欠損率と、フィルム本体10の他方の端部における凹部13の欠損率との差が10ppm以下である。すなわち、本実施形態に係るエンボスフィルム1は、円筒または円柱形原盤を連続して転写に用いた際の凸構造または凹構造へのダメージが小さい。そのため、大面積のフィルム本体10に対して凹部13を形成した場合でも、エンボスフィルム1における欠損部15の累積的な増加量を抑制することができる。 As described above, in the embossed film 1 according to the present embodiment, the difference between the loss rate of the recesses 13 at one end of the film body 10 and the loss rate of the recesses 13 at the other end of the film body 10 is 10 ppm or less. That is, the embossed film 1 according to the present embodiment causes little damage to the convex structure or concave structure when the cylindrical or columnar masters are continuously used for transfer. Therefore, even when the concave portions 13 are formed in the film body 10 having a large area, the cumulative increase in the missing portions 15 in the embossed film 1 can be suppressed.

したがって、本実施形態に係るエンボスフィルム1は、大面積のフィルム本体10において凹凸構造の均一性を向上させ、かつ欠損部15の発生頻度を低下させることができる。 Therefore, the embossed film 1 according to the present embodiment can improve the uniformity of the concave-convex structure in the large-area film body 10 and reduce the frequency of occurrence of the defective portions 15 .

また、上述した本実施形態に係るエンボスフィルム1を所定の長さで切断して枚葉フィルムを作製することも可能である。これらの枚葉フィルムは、フィルム全体において凹凸構造の均一性が高いエンボスフィルム1から作製されるため、枚葉フィルム内、および枚葉フィルム間での凹凸構造の均一性を向上させることができる。 Moreover, it is also possible to cut the embossed film 1 according to the present embodiment described above into a predetermined length to produce a sheet-fed film. Since these sheet films are produced from the embossed film 1 having a highly uniform uneven structure over the entire film, the uniformity of the uneven structure within the sheet film and between the sheet films can be improved.

さらに、上述した本実施形態に係るエンボスフィルム1、および該エンボスフィルム1を切断して作製した枚葉フィルムを多積層したものも本発明の範疇に含まれる。 Furthermore, the embossed film 1 according to the present embodiment described above and a multi-layered sheet film prepared by cutting the embossed film 1 are also included in the scope of the present invention.

[1.2.エンボスフィルムの使用例]
続いて、図4~図5Bを参照して、本実施形態に係るエンボスフィルム1の一使用例について説明する。図4は、本実施形態に係るエンボスフィルム1の一使用例を説明するための説明図である。
[1.2. Example of use of embossed film]
Next, a usage example of the embossed film 1 according to this embodiment will be described with reference to FIGS. 4 to 5B. FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining one usage example of the embossed film 1 according to this embodiment.

本実施形態に係るエンボスフィルム1は、フィラー等の微小固形物を所定の配列パターンで樹脂シート等に配列させる際の転写フィルムとして使用することができる。 The embossed film 1 according to this embodiment can be used as a transfer film for arranging fine solids such as fillers on a resin sheet or the like in a predetermined arrangement pattern.

具体的には、図4に示すように、エンボスフィルム1の凹部13には、フィラー20が充填される。次に、エンボスフィルム1のフィラー20が充填された表面を転写シート30に押圧することで、転写シート30側にフィラー20を転写することができる。 Specifically, as shown in FIG. 4, the recesses 13 of the embossed film 1 are filled with a filler 20 . Next, by pressing the surface of the embossed film 1 filled with the filler 20 against the transfer sheet 30, the filler 20 can be transferred to the transfer sheet 30 side.

このようにエンボスフィルム1を用いてフィラー20を転写することにより、エンボスフィルム1に形成された凹部13の配列パターンに従って、微小なフィラーを転写シート30表面に簡便に配列させることができる。 By transferring the fillers 20 using the embossed film 1 in this manner, the fine fillers can be easily arranged on the surface of the transfer sheet 30 according to the arrangement pattern of the concave portions 13 formed in the embossed film 1 .

なお、エンボスフィルム1の凹部13へのフィラー20の充填方法としては、例えば、フィラー20をエンボスフィルム1上にばらまいた後、繊維体(例えば、布等)でエンボスフィルム1の表面をワイプする方法などを用いることができる。ここで、ワイプに用いられる繊維体の織り目または編み目の大きさはフィラー20の直径より細かいことが好ましい。 As a method of filling the filler 20 into the concave portions 13 of the embossed film 1, for example, a method of scattering the filler 20 on the embossed film 1 and then wiping the surface of the embossed film 1 with a fibrous body (for example, cloth). etc. can be used. Here, it is preferable that the size of the weave or mesh of the fibrous body used for the wipe is finer than the diameter of the filler 20 .

エンボスフィルム1の凹部13に充填されるフィラー20としては、無機物、有機物、無機物が多層構造をとったもの、無機物と有機物との混在物(例えば、有機物からなる微小固形物を無機物で被覆したもの)などを用いることができる。具体的には、フィラー20は、顔料、染料などであってもよい。また、フィラー20の比重(水を基準とする)は、例えば、0.8以上23以下であってもよい。また、フィラー20は、種々の物性または機能性が付与されていてもよい。 The filler 20 to be filled in the concave portions 13 of the embossed film 1 may be an inorganic substance, an organic substance, a multi-layered inorganic substance, or a mixture of an inorganic substance and an organic substance (for example, a fine solid made of an organic substance coated with an inorganic substance). ) and the like can be used. Specifically, the filler 20 may be a pigment, dye, or the like. Further, the specific gravity (based on water) of the filler 20 may be, for example, 0.8 or more and 23 or less. Also, the filler 20 may be imparted with various physical properties or functionality.

なお、フィラー20の形状は、いかなる形状であってもよいが、略等方性を有する形状、または結晶性物質を壊砕した形状であることが好ましい。なお、フィラー20の大きさは、エンボスフィルム1の凹部13に充填可能であれば、いかなる大きさであってもよい。ただし、フィラー20の輪郭線の任意の2点を結んだ線分の最大長は、凹部13の開口面の輪郭線上の任意の2点を結んだ線分の最小長以下となることが好ましい。 Although the shape of the filler 20 may be any shape, it is preferably a substantially isotropic shape or a shape obtained by crushing a crystalline substance. The size of the filler 20 may be any size as long as it can be filled into the concave portions 13 of the embossed film 1 . However, the maximum length of the line segment connecting any two points on the contour line of the filler 20 is preferably equal to or less than the minimum length of the line segment connecting any two points on the contour line of the opening surface of the recess 13 .

ここで、エンボスフィルム1の凹部13には、同一のフィラー20が充填されなくともよい。具体的には、形状または材料の異なる複数種のフィラー20が、それぞれエンボスフィルム1の凹部13に充填されていてもよい。このようなエンボスフィルム1を用いることにより、複数種のフィラー20を同時に転写シート30の表面に配列させることができる。 Here, the recesses 13 of the embossed film 1 may not be filled with the same filler 20 . Specifically, a plurality of types of fillers 20 having different shapes or materials may be filled in the concave portions 13 of the embossed film 1 . By using such an embossed film 1, multiple types of fillers 20 can be arranged on the surface of the transfer sheet 30 at the same time.

なお、上述したように、エンボスフィルム1の凸部11および凹部13の表面の一部には、無機化合物等からなる被覆層が形成されていてもよい。凸部11および凹部13の表面の一部に被覆層が形成された場合、エンボスフィルム1の凹部13と、フィラー20との離型性を向上させることができるため、転写シート30に対するフィラー20の転写性を向上させることができる。 In addition, as described above, a coating layer made of an inorganic compound or the like may be formed on part of the surfaces of the convex portions 11 and the concave portions 13 of the embossed film 1 . When a coating layer is formed on part of the surfaces of the projections 11 and the recesses 13, the releasability between the recesses 13 of the embossed film 1 and the filler 20 can be improved. Transferability can be improved.

このようにして作製した転写物である転写シート30を図5Aおよび図5Bに示す。図5Aは、本実施形態に係るエンボスフィルム1を用いた転写物を厚み方向に切断した際の断面形状を模式的に示した断面図であり、図5Bは、本実施形態に係るエンボスフィルム1を用いた転写物の平面状態を示す上面図である。 5A and 5B show a transfer sheet 30, which is a transfer product produced in this way. FIG. 5A is a cross-sectional view schematically showing a cross-sectional shape when a transfer product using the embossed film 1 according to the present embodiment is cut in the thickness direction, and FIG. 5B is the embossed film 1 according to the present embodiment. is a top view showing a planar state of a transfer product using .

転写シート30は、材料は特に限定されないが、例えば、粘着シートであることが好ましい。転写シート30が粘着性を有する場合、エンボスフィルム1に充填されたフィラー20の転写性を向上させることができる。 Although the material of the transfer sheet 30 is not particularly limited, it is preferably an adhesive sheet, for example. When the transfer sheet 30 has adhesiveness, the transferability of the filler 20 filled in the embossed film 1 can be improved.

本実施形態に係るエンボスフィルム1を用いて、転写シート30にフィラー20を転写した場合、フィラー20の転写シート30に対する転写率を99.99%以上(すなわち、欠損率100ppm以下)とすることができる。ここで、転写率は、転写シート30の表面に転写されたフィラー20の個数をエンボスフィルム1に形成された凹部13(実際には凹部13が形成されていない欠損部15も含める)の個数で除算した割合を示す。 When the filler 20 is transferred to the transfer sheet 30 using the embossed film 1 according to the present embodiment, the transfer rate of the filler 20 to the transfer sheet 30 can be 99.99% or more (that is, the defect rate is 100 ppm or less). can. Here, the transfer rate is the number of the fillers 20 transferred to the surface of the transfer sheet 30, which is the number of the concave portions 13 formed in the embossed film 1 (including the missing portions 15 in which the concave portions 13 are not actually formed). Indicates the divided percentage.

以上にて、本実施形態に係るエンボスフィルム1の一使用例について説明した。なお、本実施形態に係るエンボスフィルム1の使用例は、上記の例示に限定されない。例えば、本実施形態に係るエンボスフィルム1は、エンボスフィルムの使用例として公知の断熱または放熱材、艶消しフィルム、くっつき防止フィルムなどとして使用することも可能である。また、本実施形態に係るエンボスフィルム1をプリンテッド・エレクトロニクスに対して使用することも可能である。 One usage example of the embossed film 1 according to the present embodiment has been described above. In addition, the usage example of the embossed film 1 according to the present embodiment is not limited to the above example. For example, the embossed film 1 according to the present embodiment can also be used as a heat insulating or heat radiating material, a matte film, an anti-sticking film, etc., which are known examples of the use of embossed films. It is also possible to use the embossed film 1 according to this embodiment for printed electronics.

また、本実施形態に係るエンボスフィルム1を用いて転写されたフィラー20は、例えば、車両などの表面修飾(艶出しなど)に使用することも可能である。本実施形態に係るエンボスフィルム1を用いて転写されたフィラー20、および転写されたフィラー20を含む被転写体の用途は、特に制限されないが、例えば、プリンテッド・エレクトロニクス分野、およびその応用分野(関連分野を含む)等にて使用することができる。また、転写されたフィラー20、および転写されたフィラー20を含む被転写体は、上記の分野に限らず、機能性フィルム(または、機能性デバイス)として使用することができる。例えば、転写されたフィラー20、および転写されたフィラー20を含む被転写体は、バイオセンサまたは診断デバイスなどとして、医療、バイオ、ヘルスケア、およびライフサイエンス分野にて使用されてもよく、光学素子として使用されてもよい。また、転写されたフィラー20、および転写されたフィラー20を含む被転写体は、バッテリーまたはエネルギー関連分野、車載関連分野(すなわち、自動車関連分野)にて使用されてもよい。 In addition, the filler 20 transferred using the embossed film 1 according to the present embodiment can be used for surface decoration (such as polishing) of vehicles, for example. The filler 20 transferred using the embossed film 1 according to the present embodiment, and the application of the transferred body containing the transferred filler 20 are not particularly limited, but for example, the field of printed electronics and its application field ( including related fields), etc. In addition, the transferred filler 20 and the object to be transferred containing the transferred filler 20 can be used as a functional film (or a functional device) without being limited to the above fields. For example, the transferred filler 20 and the transferred body including the transferred filler 20 may be used as biosensors or diagnostic devices in the medical, bio, healthcare, and life science fields, and may be used as optical elements. may be used as In addition, the transferred filler 20 and the transferred body including the transferred filler 20 may be used in the battery or energy-related field, or the vehicle-related field (that is, the automobile-related field).

また、本実施形態に係るエンボスフィルム1を用いて、他のフィルムにフィラー20を転写し、フィラー20が転写された他のフィルムをさらに他のフィルムに積層させてもよい。このようにして、転写および積層を繰り返すことで、フィラー20の一部または全体が他のフィルムの定められた位置に設けられたものについても、本発明の範疇に含まれる。 Alternatively, the embossed film 1 according to the present embodiment may be used to transfer the filler 20 to another film, and the other film to which the filler 20 has been transferred may be further laminated on another film. In this way, by repeating transfer and lamination, a film in which a part or the whole of the filler 20 is provided at a predetermined position of another film is also included in the scope of the present invention.

[1.3.エンボスフィルムの作製方法]
続いて、図6および図7を参照して、本実施形態に係るエンボスフィルム1の作製方法について説明する。例えば、本実施形態に係るエンボスフィルム1は、支持体である基材61上に光硬化性樹脂からなる転写層62(フィルム本体10に相当)を塗布し、転写層62に原盤4を押圧し、転写層62に凹部13を形成することによって作製することができる。
[1.3. Method for producing embossed film]
Next, a method for producing the embossed film 1 according to this embodiment will be described with reference to FIGS. 6 and 7. FIG. For example, the embossed film 1 according to the present embodiment is obtained by applying a transfer layer 62 (corresponding to the film main body 10) made of a photocurable resin onto a substrate 61 that is a support, and pressing the master 4 against the transfer layer 62. , can be produced by forming recesses 13 in the transfer layer 62 .

本実施形態に係るエンボスフィルム1に転写される原盤4は、例えば、図6に示す露光装置7を用いることにより、任意の配列パターンを有する凹凸構造41を形成することができる。 The master 4 to be transferred to the embossed film 1 according to the present embodiment can be formed with a concavo-convex structure 41 having an arbitrary arrangement pattern by using, for example, an exposure device 7 shown in FIG.

具体的には、外周面にレジスト層を形成した原盤4に対して、露光装置7によりレーザ光を照射して、任意の配列パターンに対応する位置のレジスト層を露光する。次に、露光したレジスト層を現像した後、任意の配列パターンに対応するレジストパターンが形成された原盤4に対して、エッチング等を行うことにより原盤4に任意の配列パターンを有する凹凸構造41を形成することができる。 Specifically, the master 4 having the resist layer formed on the outer peripheral surface thereof is irradiated with laser light from the exposure device 7 to expose the resist layer at positions corresponding to an arbitrary array pattern. Next, after the exposed resist layer is developed, etching or the like is performed on the master 4 on which a resist pattern corresponding to an arbitrary arrangement pattern is formed, thereby forming a concavo-convex structure 41 having an arbitrary arrangement pattern on the master 4 . can be formed.

以下では、原盤4に対して任意のパターンを描画することが可能な露光装置の構成について説明する。図6は、本実施形態にて使用される原盤4に対して任意のパターンを描画する露光装置7の構成を示す説明図である。 The configuration of an exposure apparatus capable of drawing any pattern on the master 4 will be described below. FIG. 6 is an explanatory diagram showing the configuration of the exposure device 7 that draws an arbitrary pattern on the master 4 used in this embodiment.

図6に示すように、露光装置7は、レーザ光源71と、第1ミラー73と、フォトダイオード(Photo Diode:PD)74と、集光レンズ76と、電気光学偏向素子(Electro Optic Deflector:EOD)79と、コリメータレンズ78と、制御機構87と、第2ミラー81と、移動光学テーブル82と、スピンドルモータ85と、ターンテーブル86とを備える。また、原盤4は、ターンテーブル86上に載置され、回転することができるようになっている。 As shown in FIG. 6, the exposure device 7 includes a laser light source 71, a first mirror 73, a photodiode (PD) 74, a condenser lens 76, and an electro-optic deflector (EOD). ) 79 , a collimator lens 78 , a control mechanism 87 , a second mirror 81 , a movable optical table 82 , a spindle motor 85 and a turntable 86 . Also, the master 4 is placed on a turntable 86 so that it can be rotated.

レーザ光源71は、例えば、半導体レーザである。具体的には、レーザ光源71は、400nm~500nmの青色光波長のレーザ光を発する青色半導体レーザであってもよい。また、レーザ光源71が発するレーザ光70のスポット径(直径)は、例えば、約200nmであってもよい。 The laser light source 71 is, for example, a semiconductor laser. Specifically, the laser light source 71 may be a blue semiconductor laser that emits laser light with a blue light wavelength of 400 nm to 500 nm. Also, the spot diameter (diameter) of the laser light 70 emitted by the laser light source 71 may be, for example, approximately 200 nm.

レーザ光源71から出射されたレーザ光70は、平行ビームのまま直進し、第1ミラー73で反射される。また、第1ミラー73にて反射されたレーザ光70は、集光レンズ76によって電気光学偏向素子79に集光された後、コリメータレンズ78によって、再度、平行ビーム化される。平行ビーム化されたレーザ光70は、第2ミラー81によって反射され、移動光学テーブル82上に水平かつ平行に導かれる。 A laser beam 70 emitted from a laser light source 71 travels straight as a parallel beam and is reflected by a first mirror 73 . Also, the laser beam 70 reflected by the first mirror 73 is condensed by the electro-optical deflection element 79 by the condensing lens 76 and then collimated again by the collimator lens 78 . The collimated laser beam 70 is reflected by the second mirror 81 and guided horizontally and in parallel onto the moving optical table 82 .

第1ミラー73は、偏光ビームスプリッタで構成されており、偏光成分の一方を反射させ、偏光成分の他方を透過させる機能を有する。第1ミラー73を透過した偏光成分は、フォトダイオード74によって受光され、光電変換される。また、フォトダイオード74によって光電変換された受光信号は、レーザ光源71に入力され、レーザ光源71は、入力された受光信号に基づいてレーザ光70の変調を行う。 The first mirror 73 is composed of a polarizing beam splitter and has a function of reflecting one of the polarized components and transmitting the other of the polarized components. The polarized component transmitted through the first mirror 73 is received by the photodiode 74 and photoelectrically converted. A light reception signal photoelectrically converted by the photodiode 74 is input to the laser light source 71, and the laser light source 71 modulates the laser light 70 based on the input light reception signal.

電気光学偏向素子79は、レーザ光70の照射位置を制御することが可能な素子である。露光装置7は、電気光学偏向素子79により、移動光学テーブル82上に導かれるレーザ光70の照射位置を変化させることも可能である。 The electro-optic deflection element 79 is an element capable of controlling the irradiation position of the laser beam 70 . The exposure device 7 can also change the irradiation position of the laser beam 70 guided onto the moving optical table 82 by the electro-optic deflection element 79 .

また、制御機構87は、フォーマッタ89と、ドライバ88とを備え、レーザ光70の照射を制御する。 The control mechanism 87 also includes a formatter 89 and a driver 88 and controls irradiation of the laser beam 70 .

フォーマッタ89は、原盤4に描画する任意のパターンが描かれた入力画像に基づいて、原盤4にレーザ光70を照射するための制御信号を生成する。具体的には、まず、フォーマッタ89は、原盤4に描画する任意のパターンが描かれた入力画像を取得する。入力画像は、軸方向に原盤4の外周面を切り開いて一平面に伸ばした、原盤4の外周面の展開図に相当する画像である。次に、フォーマッタ89は、入力画像を所定の大きさの小領域に分割し(例えば、格子状に分割し)、小領域の各々に描画パターンが含まれるか否かを判断する。続いて、フォーマッタ89は、描画パターンが含まれると判断した各小領域にレーザ光70を照射するよう制御する制御信号に生成する。さらに、ドライバ88は、フォーマッタ89が生成した制御信号に基づいてレーザ光源71の出力を制御する。これにより、原盤4へのレーザ光70の照射が制御される。 The formatter 89 generates a control signal for irradiating the master disc 4 with the laser beam 70 based on an input image in which an arbitrary pattern to be drawn on the master disc 4 is drawn. Specifically, first, the formatter 89 acquires an input image in which an arbitrary pattern to be drawn on the master 4 is drawn. The input image is an image corresponding to a developed view of the outer peripheral surface of the master 4, which is obtained by cutting the outer peripheral surface of the master 4 in the axial direction and extending it in one plane. Next, the formatter 89 divides the input image into small regions of a predetermined size (for example, into grids) and determines whether or not each of the small regions contains a drawing pattern. Subsequently, the formatter 89 generates a control signal for controlling the irradiation of the laser light 70 to each small area determined to include the drawing pattern. Furthermore, the driver 88 controls the output of the laser light source 71 based on the control signal generated by the formatter 89 . Thereby, the irradiation of the laser beam 70 to the master 4 is controlled.

移動光学テーブル82は、ビームエキスパンダ(Beam expader:BEX)83と、対物レンズ84とを備える。移動光学テーブル82に導かれたレーザ光70は、ビームエキスパンダ83により所望のビーム形状に整形された後、対物レンズ84を介して、原盤4の外周面に照射される。 A moving optical table 82 includes a beam expander (BEX) 83 and an objective lens 84 . The laser beam 70 guided to the moving optical table 82 is shaped into a desired beam shape by the beam expander 83 and then irradiated onto the outer peripheral surface of the master 4 via the objective lens 84 .

これらの構成により、ターンテーブル86にて原盤4を一定速度で回転させ、レーザ光70を原盤4の軸方向に一定速度で走査しながら照射することにより、原盤4に描画が行われる。なお、レーザ光70の走査は、移動光学テーブル82により、レーザ光70を矢印S方向へ一定速度で移動させることによって行われる。 With these configurations, the master 4 is rotated at a constant speed by the turntable 86, and the laser beam 70 is irradiated while scanning the master 4 in the axial direction at a constant speed, thereby performing drawing on the master 4. FIG. The scanning of the laser beam 70 is performed by moving the laser beam 70 in the arrow S direction at a constant speed by the moving optical table 82 .

また、原盤4は、他の方法を用いることによっても、任意の配列パターンを有する凹凸構造41を形成することが可能である。例えば、原盤4は、単結晶ダイヤモンド工具による超精密切削などを用いることによっても、外周面に任意の配列パターンを有する凹凸構造41を形成することができる。 Also, the master 4 can be formed with the concave-convex structure 41 having an arbitrary array pattern by using another method. For example, the master disk 4 can be formed with the concavo-convex structure 41 having an arbitrary arrangement pattern on the outer peripheral surface by using ultra-precision cutting with a single-crystal diamond tool.

続いて、上記の方法等によって作製した原盤4をフィルム本体10に押圧してエンボスフィルム1を形成する方法について説明する。図7は、本実施形態に係るエンボスフィルム1を作製する転写装置の構成を示す説明図である。 Next, a method for forming the embossed film 1 by pressing the master 4 produced by the above method or the like against the film body 10 will be described. FIG. 7 is an explanatory diagram showing the configuration of a transfer device for producing the embossed film 1 according to this embodiment.

図7に示すように、転写装置6は、原盤4と、基材供給ロール51と、巻取ロール52と、ガイドロール53、54と、ニップロール55と、剥離ロール56と、塗布装置57と、光源58とを備える。 As shown in FIG. 7, the transfer device 6 includes a master 4, a substrate supply roll 51, a take-up roll 52, guide rolls 53 and 54, a nip roll 55, a peel roll 56, a coating device 57, and a light source 58 .

原盤4は、外周面に任意の配列パターンを有する凹凸構造41が形成された円筒または円柱形原盤である。原盤4の材料は、特に限定されず、溶融石英ガラスまたは合成石英ガラスなどの石英ガラス(SiO)、あるいは、ステンレス鋼などを用いることができる。原盤4の大きさは、特に限定されるものではないが、例えば、軸方向の長さが100mm以上であってもよく、外径が50mm以上300mm以下であってもよく、厚みが2mm以上50mm以下であってもよい。 The master 4 is a cylindrical or columnar master on which a concavo-convex structure 41 having an arbitrary arrangement pattern is formed on the outer peripheral surface. The material of the master 4 is not particularly limited, and quartz glass (SiO 2 ) such as fused quartz glass or synthetic quartz glass, or stainless steel can be used. Although the size of the master 4 is not particularly limited, for example, the length in the axial direction may be 100 mm or more, the outer diameter may be 50 mm or more and 300 mm or less, and the thickness may be 2 mm or more and 50 mm. It may be below.

また、原盤4の外周面には、エンボスフィルム1に形成される凸部11および凹部13の反転形状である凹凸構造41が形成される。ここで、原盤4の外周面に形成される凹凸構造41は、任意の形状であってもよい。なお、原盤4の外周面には、作製時の継ぎ目または合わせ目が形成されていてもよい。このような継ぎ目または合わせ目は、微小な範囲であればエンボスフィルム1への影響が小さく、またエンボスフィルム1における座標特定の際の目印とすることができる。 In addition, on the outer peripheral surface of the master 4, a concave-convex structure 41 is formed which is an inverted shape of the convex portions 11 and the concave portions 13 formed on the embossed film 1. As shown in FIG. Here, the concave-convex structure 41 formed on the outer peripheral surface of the master 4 may have any shape. Note that the outer peripheral surface of the master 4 may be formed with a seam or seam at the time of fabrication. Such seams or seams have little effect on the embossed film 1 if they are in a very small range, and can be used as marks for specifying coordinates on the embossed film 1 .

基材供給ロール51は、シート形態の支持体である基材61がロール状に巻かれたロールであり、巻取ロール52は、転写層62に凹凸構造41が転写されたエンボスフィルム1を巻き取るロールである。また、ガイドロール53、54は、基材61を搬送するロールである。ニップロール55は、転写層62が積層された基材61を原盤4に対して押圧するロールであり、剥離ロール56は、転写層62に凹凸構造41が転写された後、凹凸構造41が転写されたエンボスフィルム1(すなわち、転写層62が積層された基材61)を原盤4から剥離するロールである。 The substrate supply roll 51 is a roll in which a substrate 61 that is a sheet-shaped support is wound in a roll shape, and the take-up roll 52 winds the embossed film 1 having the uneven structure 41 transferred to the transfer layer 62 . It is a roll to take. Further, the guide rolls 53 and 54 are rolls for transporting the base material 61 . The nip roll 55 is a roll that presses the base material 61 on which the transfer layer 62 is laminated against the master 4 , and the peel roll 56 transfers the uneven structure 41 after the uneven structure 41 is transferred to the transfer layer 62 . It is a roll for peeling off the embossed film 1 (that is, the base material 61 on which the transfer layer 62 is laminated) from the master 4 .

塗布装置57は、コーターなどの塗布手段を備え、光硬化樹脂組成物を基材61に塗布し、転写層62を形成する。塗布装置57は、例えば、グラビアコーター、ワイヤーバーコーター、またはダイコーターなどであってもよい。また、光源58は、光硬化樹脂組成物を硬化可能な波長の光を発する光源であり、例えば、紫外線ランプなどであってもよい。 The coating device 57 includes coating means such as a coater, and coats the base material 61 with the photocurable resin composition to form the transfer layer 62 . The coating device 57 may be, for example, a gravure coater, a wire bar coater, or a die coater. Further, the light source 58 is a light source that emits light having a wavelength capable of curing the photocurable resin composition, and may be, for example, an ultraviolet lamp.

なお、光源58が指向性光源である場合、光の照射角度を転写層62の垂直方向から傾斜させてもよい。このような場合、転写層62に形成された凹凸構造の表面の硬化率に差が生じ、部分的に硬化するため、エンボスフィルム1の転写率を向上させることができる。 In addition, when the light source 58 is a directional light source, the irradiation angle of the light may be inclined from the vertical direction of the transfer layer 62 . In such a case, the transfer rate of the embossed film 1 can be improved because there is a difference in the curing rate on the surface of the uneven structure formed on the transfer layer 62 and the curing is partially performed.

なお、光硬化性樹脂組成物は、所定の波長の光が照射されることにより流動性が低下し、硬化する樹脂である。具体的には、光硬化性樹脂組成物は、アクリル樹脂などの紫外線硬化樹脂であってもよい。また、光硬化性樹脂組成物は、必要に応じて、開始剤、フィラー、機能性添加剤、溶剤、無機材料、顔料、帯電防止剤、または増感色素などを含んでもよい。 Note that the photocurable resin composition is a resin that is hardened by being irradiated with light of a predetermined wavelength and having reduced fluidity. Specifically, the photocurable resin composition may be an ultraviolet curable resin such as an acrylic resin. Moreover, the photocurable resin composition may contain an initiator, a filler, a functional additive, a solvent, an inorganic material, a pigment, an antistatic agent, a sensitizing dye, or the like, if necessary.

転写装置6では、まず、基材供給ロール51からガイドロール53を介して、基材61が連続的に送出される。送出された基材61に対して、塗布装置57により光硬化樹脂組成物が塗布され、基材61に転写層62が積層される。また、転写層62が積層された基材61は、ニップロール55により、原盤4と密着させられる。これにより、原盤4の外周面に形成された凹凸構造41が転写層62に転写される。凹凸構造41が転写された後、転写層62は、光源58からの光の照射により硬化する。続いて、硬化した転写層62が積層された基材61(すなわち、エンボスフィルム1)が、剥離ロール56により原盤4から剥離され、ガイドロール54を介して、巻取ロール52によって巻き取られる。 In the transfer device 6 , first, the base material 61 is continuously delivered from the base material supply roll 51 through the guide rolls 53 . A photo-curing resin composition is applied to the delivered base material 61 by the coating device 57 , and the transfer layer 62 is laminated on the base material 61 . Also, the base material 61 laminated with the transfer layer 62 is brought into close contact with the master 4 by the nip rolls 55 . Thereby, the concavo-convex structure 41 formed on the outer peripheral surface of the master 4 is transferred to the transfer layer 62 . After the uneven structure 41 is transferred, the transfer layer 62 is cured by irradiation with light from the light source 58 . Subsequently, the base material 61 (that is, the embossed film 1 ) laminated with the cured transfer layer 62 is separated from the master 4 by the peel roll 56 and wound up by the winding roll 52 via the guide roll 54 .

このような転写装置6により、本実施形態に係るエンボスフィルム1を連続的に作製することができる。なお、上記の転写装置6において、連続して転写を行うために途中で基材61を別ロットに切り替えてもよい。 With such a transfer device 6, the embossed film 1 according to this embodiment can be continuously produced. In the transfer device 6 described above, the base material 61 may be switched to another lot in order to perform transfer continuously.

このようにして作製されたエンボスフィルム1の一例の画像を図8および図9に示す。図8および図9は、本実施形態に係るエンボスフィルム1の走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope:SEM)による観察画像である。また、図8Aおよび図9Aは、エンボスフィルム1の上面を観察したSEM画像であり、図8Bおよび図9Bは、8Aおよび図9Aに示すエンボスフィルム1をX-XX線にて切断した断面を観察したSEM画像である。なお、図8Aおよび図9Aにおいて、SEM画像の上下方向がエンボスフィルム1の長さ方向に相当し、左右方向がエンボスフィルム1の幅方向に相当する。 Images of an example of the embossed film 1 produced in this way are shown in FIGS. 8 and 9. FIG. 8 and 9 are observation images of the embossed film 1 according to this embodiment by a scanning electron microscope (SEM). 8A and 9A are SEM images of the top surface of the embossed film 1, and FIGS. 8B and 9B are cross-sections of the embossed film 1 shown in 8A and 9A taken along line X-XX. It is an SEM image obtained by 8A and 9A, the vertical direction of the SEM image corresponds to the length direction of the embossed film 1, and the horizontal direction corresponds to the width direction of the embossed film 1. As shown in FIG.

図8Aおよび図9Aを参照すると、本実施形態に係るエンボスフィルム1は、任意の配列パターンを有する凹凸構造が形成可能であることがわかる。また、図8Bおよび図9Bを参照すると、形成された凹凸構造の深さは、3.4μm~3.5μm程度であることがわかる。 Referring to FIGS. 8A and 9A, it can be seen that the embossed film 1 according to the present embodiment can form a concave-convex structure having an arbitrary arrangement pattern. Also, referring to FIGS. 8B and 9B, it can be seen that the depth of the formed concave-convex structure is about 3.4 μm to 3.5 μm.

<2.実施例>
以下では、実施例および比較例を参照しながら、本実施形態に係るエンボスフィルムについて、より詳細に説明する。なお、以下に示す実施例は、本実施形態に係るエンボスフィルムの実施可能性および効果を示すための一条件例であり、本発明が以下の実施例に限定されるものではない。
<2. Example>
Below, the embossed film according to the present embodiment will be described in more detail with reference to examples and comparative examples. The examples shown below are examples of conditions for demonstrating the feasibility and effects of the embossed film according to the present embodiment, and the present invention is not limited to the following examples.

(実施例)
以下の工程により、実施例に係るエンボスフィルムを作製した。
(Example)
An embossed film according to an example was produced by the following steps.

まず、円筒形状の原盤を作製した。具体的には、4.5mm厚の円筒形状の石英ガラスからなる基材の外周面に、炭化水素系ガスを用いたCVD(Chemical Vapor Deposition)によりDLC(Diamond Like Carbon)を膜厚800nmにて成膜し、中間層とした。次に、中間層上にタングステン酸化物をスパッタ法により膜厚55nmにて成膜し、レジスト層とした。 First, a cylindrical master was produced. Specifically, DLC (Diamond Like Carbon) was applied to a film thickness of 800 nm by CVD (Chemical Vapor Deposition) using a hydrocarbon-based gas on the outer peripheral surface of a substrate made of cylindrical quartz glass having a thickness of 4.5 mm. A film was formed to form an intermediate layer. Next, a film of tungsten oxide having a thickness of 55 nm was formed on the intermediate layer by a sputtering method to form a resist layer.

続いて、図6に示す露光装置によってレーザ光による熱リソグラフィを行い、レジスト層に潜像を形成した。なお、露光装置のレーザ光源には、波長405nmのレーザ光を発する青色半導体レーザを用いた。露光パターンは、直径7μmの円を10μmピッチ(円の中心間距離)にて六方格子に配列した配列パターンを使用した。また、直径7μmの円が原盤上で凸部になるように(すなわち、直径7μmの円が転写後のエンボスフィルムでは凹部になるように)、直径7μmの円以外の部分を露光装置にて露光した。 Subsequently, thermal lithography with laser light was performed using the exposure apparatus shown in FIG. 6 to form a latent image on the resist layer. A blue semiconductor laser emitting laser light with a wavelength of 405 nm was used as the laser light source of the exposure device. The exposure pattern used was an array pattern in which circles with a diameter of 7 μm were arranged in a hexagonal lattice at a pitch of 10 μm (distance between the centers of the circles). In addition, the portion other than the 7 μm diameter circle is exposed with an exposure device so that the 7 μm diameter circle becomes a convex portion on the master plate (that is, the 7 μm diameter circle becomes a concave portion on the embossed film after transfer). bottom.

続いて、レジスト層が露光された基材をTMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム)の2.38質量%水溶液を用いて現像し、露光した部分のレジストを溶解させた。 Subsequently, the substrate on which the resist layer was exposed was developed using a 2.38 mass % aqueous solution of TMAH (tetramethylammonium hydroxide) to dissolve the exposed portion of the resist.

さらに、現像後のレジスト層をマスクに用いて、Oガスによる反応性イオンエッチングにて中間層をエッチングした。続いて、レジスト層および中間層をマスクに用いて、CF系ガスによる反応性イオンエッチングにて基材をエッチングした。なお、基材のエッチングは、エンボスフィルムにおける凹部のアスペクト比が1となるように凸部の高さが7μmになるまで行った。以上の工程により、外周面に凹凸構造が形成された円筒形状の原盤を作製した。 Further, using the developed resist layer as a mask, the intermediate layer was etched by reactive ion etching with O 2 gas. Subsequently, using the resist layer and the intermediate layer as a mask, the substrate was etched by reactive ion etching with a CF-based gas. The substrate was etched until the height of the protrusions reached 7 μm so that the aspect ratio of the recesses in the embossed film was 1. Through the above steps, a cylindrical master plate having a concavo-convex structure formed on the outer peripheral surface was produced.

続いて、50cm幅のPETからなる基材フィルム(膜厚50μm)に、アクリレート樹脂M208(東亞合成製)100質量部、光重合開始剤IRGCUR184(BASF製)2質量部を含有する光硬化樹脂組成物を膜厚30μmにて塗布した。さらに、上記の図7で示した転写装置を用いて、原盤を基材フィルムに押圧し、高圧水銀灯にて1000mJの光照射を行い、1000m分の基材フィルムに凹凸構造を転写した。これにより、直径7μm、深さ7μm(アスペクト比1)の円形の凹部が、該凹部の中心間距離10μmにて六方格子状に配列されたエンボスフィルムを作製した。また、光学顕微鏡にて、1mmの範囲を100箇所観察して計測したところ、エンボスフィルムの凹部の数密度は、11500個/mmであった。 Subsequently, a base film (thickness 50 μm) made of PET with a width of 50 cm, 100 parts by mass of acrylate resin M208 (manufactured by Toagosei), and a photopolymerization initiator IRGCUR184 (manufactured by BASF) Photocuring resin composition containing 2 parts by weight The material was coated with a film thickness of 30 μm. Further, using the transfer device shown in FIG. 7, the master was pressed against the substrate film, and light was irradiated at 1000 mJ with a high-pressure mercury lamp to transfer the uneven structure to the substrate film for 1000 m. As a result, an embossed film was produced in which circular depressions with a diameter of 7 μm and a depth of 7 μm (aspect ratio of 1) were arranged in a hexagonal lattice with a center-to-center distance of 10 μm. Further, when 100 points in the range of 1 mm 2 were observed and measured with an optical microscope, the number density of the concave portions of the embossed film was 11,500/mm 2 .

続いて、上記にて作製した実施例に係るエンボスフィルムの凹部の欠損率を評価した。具体的には、転写開始位置からの所定の距離ごとに、光学顕微鏡にて200μm×200μmの面視野を25cm分となるまで複数箇所観察し、観察エリアの全ての凹部13に対する欠損部15の割合を算出した。このような欠損率の評価を、原盤からの転写開始位置を0とした場合の転写距離1m~1000mの範囲にて実施した。以下の表1にて、算出した欠損率を示す。 Subsequently, the embossed film according to the example produced as described above was evaluated for the defect rate of the concave portions. Specifically, at each predetermined distance from the transfer start position, a plane field of view of 200 μm×200 μm is observed at a plurality of locations with an optical microscope up to 25 cm 2 minutes, and the defects 15 for all the recesses 13 in the observation area are observed. A percentage was calculated. Evaluation of such a defect rate was performed in a transfer distance range of 1 m to 1000 m when the transfer start position from the master was set to 0. Table 1 below shows the calculated defect rate.

Figure 0007237040000001
Figure 0007237040000001

表1に示す結果からわかるように、実施例に係るエンボスフィルムは、フィルムの一方の端部(転写開始位置からの距離1mの位置)における凹部の欠損率と、フィルムの他方の端部(転写開始位置からの距離1000mの位置)における凹部の欠損率との差が1ppm以下であることがわかった。したがって、エンボスフィルムの長さが1000mである場合、実施例に係るエンボスフィルムでは、フィルムの全体長さに対して0.1%の位置(すなわち、転写開始位置からの距離1mの位置)から、フィルムの全体長さに対して100%の位置(すなわち、転写開始位置からの距離1000mの位置)までの25%ごとに算出した0.1%、25%、50%、75%、および100%の各地点での欠損率がほぼ一致していることがわかる。 As can be seen from the results shown in Table 1, the embossed films according to the examples have a defect rate of recesses at one end of the film (position at a distance of 1 m from the transfer start position) and the other end of the film (transfer It was found that the difference from the loss rate of the recesses at a position 1000 m from the starting position was 1 ppm or less. Therefore, when the length of the embossed film is 1000 m, in the embossed film according to the example, from the position of 0.1% of the total length of the film (that is, the position of 1 m from the transfer start position), 0.1%, 25%, 50%, 75%, and 100% calculated for each 25% to the 100% position (i.e., the position at a distance of 1000 m from the transfer start position) with respect to the entire length of the film It can be seen that the deficit rate at each point is almost the same.

なお、転写開始位置からの距離100m、200mについては、表1には示していないが、転写開始位置からの距離1mと同様であった。また、転写開始位置からの距離300mについては、表1には示していないが、転写開始位置からの距離250mと同様であった。さらに、500mから750mの間においても、500mおよび750mにおける欠損率の範囲内に収まる数値を示した。750mから1000mの間においても同様であった。 Although not shown in Table 1, the distances of 100 m and 200 m from the transfer start position were the same as the distance of 1 m from the transfer start position. Although not shown in Table 1, the distance of 300 m from the transfer start position was the same as the distance of 250 m from the transfer start position. Furthermore, even between 500m and 750m, the figures were within the range of the loss rate at 500m and 750m. The same was true between 750m and 1000m.

さらに、実施例に係るエンボスフィルムに樹脂フィラーを充填し、該樹脂フィラーを転写シートに対して転写した。樹脂フィラーは、ポリメタクリル酸メチル系架橋物であるエポスターMA1006(日本触媒製)を用い、画像型粒度分析装置FPIA3000(マルバーン社製)にて平均粒子径(直径)が5μmとなるように分級処理した後、使用した。 Furthermore, the embossed film according to the example was filled with a resin filler, and the resin filler was transferred to the transfer sheet. As the resin filler, Eposter MA1006 (manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd.), which is a polymethyl methacrylate-based crosslinked product, is used, and the average particle size (diameter) is classified to 5 μm with an image-type particle size analyzer FPIA3000 (manufactured by Malvern). then used.

転写開始位置からの距離1m、30m、150mのエンボスフィルムを抜き取り、上記樹脂フィラーを繊維体によるワイプにて充填して、フェノキシ樹脂YP-50(新日鐵化学株式会社製)60質量部、エポキシ樹脂jER828(三菱化学株式会社製)40質量部からなる粘着性を示す転写シートに樹脂フィラーを転写した(なお、転写時の温度は60℃、圧力は2MPaとした)。 Embossed films at distances of 1 m, 30 m, and 150 m from the transfer start position are removed, and the resin filler is filled with a fibrous wipe, phenoxy resin YP-50 (manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.) 60 parts by mass, epoxy The resin filler was transferred to an adhesive transfer sheet made of 40 parts by mass of resin JER828 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) (the temperature during transfer was 60° C. and the pressure was 2 MPa).

上記と同様に、光学顕微鏡を用いて転写した樹脂フィラーの転写不良(すなわち、樹脂フィラーが転写されていない箇所)を確認した。その結果、転写開始位置からの距離1m、30m、150mのエンボスフィルムを用いて転写した転写シートの各々において、転写不良は、全ての樹脂フィラーの数に対して1%未満であることが確認できた。また、転写に成功した樹脂フィラーにおいても位置ずれは生じていなかった。なお、位置ずれは、樹脂フィラーの中心位置が狙い位置よりも樹脂フィラーの平均粒子径の10%(本実施例は0.5μm)以上ずれていることを意味する。さらに、転写した樹脂フィラーにおいて、転写不良が同一方向で10個以上連続して発生している箇所は存在しなかった。 In the same manner as described above, transfer defects of the transferred resin filler (that is, portions where the resin filler is not transferred) were confirmed using an optical microscope. As a result, it was confirmed that transfer defects were less than 1% with respect to all resin fillers in each of the transfer sheets transferred using the embossed films at distances of 1 m, 30 m, and 150 m from the transfer start position. rice field. In addition, no misalignment occurred even in the resin filler that was successfully transferred. The misalignment means that the center position of the resin filler is displaced from the target position by 10% or more of the average particle diameter of the resin filler (0.5 μm in this example). Furthermore, in the transferred resin filler, there was no location where 10 or more transfer failures occurred consecutively in the same direction.

また、実施例に係るエンボスフィルムでは、凹部は、最も密な配列パターンである六方格子状に配置されている。そのため、実施例に係るエンボスフィルムに樹脂フィラーを充填して転写した場合、樹脂フィラーは、最も密な配列パターンで転写される。実施例に係るエンボスフィルムの結果を参照すると、最も密な配列パターンで転写した場合であっても、樹脂フィラーの転写の成功率が高く、転写不良が1%未満であり、かつ樹脂フィラーの位置ずれ等も発生していなかった。 Moreover, in the embossed film according to the example, the concave portions are arranged in a hexagonal lattice pattern, which is the densest arrangement pattern. Therefore, when the embossed film according to the example is filled with the resin filler and transferred, the resin filler is transferred in the densest arrangement pattern. Referring to the results of the embossed films according to the examples, even when the transfer is performed with the densest array pattern, the success rate of transfer of the resin filler is high, the transfer failure is less than 1%, and the position of the resin filler No deviation or the like occurred.

したがって、本実施形態に係るエンボスフィルムは、150mを100%とした場合、0.67%(すなわち、距離1m)、20%(すなわち、距離30m)、100%(すなわち、距離150m)の各地点で安定して転写ができていることがわかる。また、0.67%~20%、および20%~100%の間の各地点においても、略同様の結果を示した。よって、本実施形態に係るエンボスフィルム、および該エンボスフィルムを用いた転写物は、凹部が設けられた範囲であれば、いかなる配列パターンで凹部を配置した場合でも、実施例と同様の効果が期待できる。 Therefore, when 150 m is 100%, the embossed film according to the present embodiment is 0.67% (i.e., distance 1 m), 20% (i.e., distance 30 m), and 100% (i.e., distance 150 m). It can be seen that stable transfer is possible at . Also, substantially similar results were obtained at each point between 0.67% and 20% and between 20% and 100%. Therefore, the embossed film according to the present embodiment and the transfer material using the embossed film are expected to have the same effect as the example even if the recesses are arranged in any arrangement pattern as long as the recesses are provided. can.

(比較例)
続いて、以下の工程により、比較例に係るエンボスフィルムを作製した。
(Comparative example)
Subsequently, an embossed film according to a comparative example was produced by the following steps.

まず、10cm×10cmのステンレス鋼の平板を機械加工することにより、実施例と同様の凹凸構造(凸部の中心間距離10μmにて、直径7μmの円形の凸部が六方格子にて配列された配列パターン、凸部の高さは7μm)が形成されたスタンパ原盤を作製した。 First, by machining a stainless steel flat plate of 10 cm × 10 cm, the same concave-convex structure as in the example (circular protrusions with a diameter of 7 µm were arranged in a hexagonal lattice with a center-to-center distance of 10 µm between the protrusions). A stamper master disk was prepared on which an arrangement pattern and a height of the protrusions of 7 μm) were formed.

続いて、50cm幅のPETからなる基材フィルム(膜厚50μm)に、アクリレート樹脂M208(東亞合成製)100質量部、光重合開始剤IRGCUR184(BASF製)2質量部を含有する光硬化樹脂組成物を膜厚30μmにて塗布した。このような基材フィルムに対して、上記のスタンパ原盤を温度60℃、圧力2MPaにて繰り返し押圧することにより、凹凸構造を転写して、エンボスフィルムを作製した。なお、スタンパ原盤は、転写表面にフッ素系離型剤ダイフリーGA70500(ダイキン工業製)をスプレーして使用した。 Subsequently, a base film (thickness 50 μm) made of PET with a width of 50 cm, 100 parts by mass of acrylate resin M208 (manufactured by Toagosei), and a photopolymerization initiator IRGCUR184 (manufactured by BASF) Photocuring resin composition containing 2 parts by weight The material was coated with a film thickness of 30 μm. By repeatedly pressing the above stamper master against the base film at a temperature of 60° C. and a pressure of 2 MPa, the uneven structure was transferred to produce an embossed film. The stamper master was used by spraying a fluorine-based release agent Daifree GA70500 (manufactured by Daikin Industries, Ltd.) on the transfer surface.

比較例に係るエンボスフィルムでは、転写を繰り返すごとに、スタンパ原盤への樹脂詰まり等により不良が生じた。具体的には、20m(転写200回)の地点において、実施例と同様に光学顕微鏡にて欠損率を評価したところ、500ppm(0.5%)であった。また、比較例に係るエンボスフィルムでは、フィルムの送りが一定ではないため、スタンパ原盤の転写ごとに凹凸構造の配列に位置ずれが生じていた。 In the embossed film according to the comparative example, every time the transfer was repeated, defects occurred due to resin clogging in the stamper master disc. Specifically, at a point of 20 m (200 times of transfer), the loss rate was evaluated with an optical microscope in the same manner as in the example, and it was 500 ppm (0.5%). In addition, in the embossed film according to the comparative example, since the feeding of the film was not constant, positional deviation occurred in the arrangement of the concavo-convex structure each time the stamper master disc was transferred.

なお、比較例に係るエンボスフィルムは、実施例に係るエンボスフィルムよりも凹部の位置ずれおよび欠損率が大きい。そのため、比較例に係るエンボスフィルムは、樹脂フィラーを充填した後、該樹脂フィラーを転写した転写物についても同様に、実施例に係るエンボスフィルムよりも転写不良が多いことが予想される。 In addition, the embossed film according to the comparative example has a larger misalignment and defect rate of the concave portions than the embossed film according to the example. Therefore, in the embossed film according to the comparative example, it is expected that transfer defects are more likely than in the embossed film according to the example in the same way in the transferred material obtained by transferring the resin filler after filling the resin filler.

以上の結果より、本実施形態に係るエンボスフィルムは、エンボスフィルムの一方の端部における凹部の欠損率と、エンボスフィルムの他方の端部における凹部の欠損率との差が10ppm以下であることがわかった。そのため、本実施形態に係るエンボスフィルムは、大面積のフィルムに対して凹部を形成した場合でも、凹部の欠損の累積的な増加量を抑制することができる。 From the above results, in the embossed film according to the present embodiment, the difference between the loss rate of the recesses at one end of the embossed film and the loss rate of the recesses at the other end of the embossed film is 10 ppm or less. have understood. Therefore, the embossed film according to the present embodiment can suppress the cumulative increase in defects in the recesses even when the recesses are formed in a film having a large area.

したがって、本実施形態に係るエンボスフィルムは、大面積のフィルムにおいて凹凸構造の均一性を向上させ、かつ凹部の欠損の発生頻度を低下させることができる。 Therefore, the embossed film according to the present embodiment can improve the uniformity of the concave-convex structure in a large-area film and reduce the frequency of occurrence of defects in concave portions.

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる例に限定されない。本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、これらについても、当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。 Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail above with reference to the accompanying drawings, the present invention is not limited to such examples. It is obvious that a person having ordinary knowledge in the technical field to which the present invention belongs can conceive of various modifications or modifications within the scope of the technical idea described in the claims. It is understood that these also naturally belong to the technical scope of the present invention.

1 エンボスフィルム
4 原盤
6 転写装置
7 露光装置
10 フィルム本体
11 凸部
13 凹部
15 欠損部
20 フィラー
30 転写シート

REFERENCE SIGNS LIST 1 embossed film 4 master 6 transfer device 7 exposure device 10 film body 11 convex portion 13 concave portion 15 missing portion 20 filler 30 transfer sheet

Claims (14)

円筒または円柱形状の原盤の周面に複数の凸部と、可視光波長以下の大きさの凹部又は凸部が点在することで形成された線とを形成するステップと、
基材上に光硬化性樹脂組成物を塗布して光硬化性樹脂組成物層を形成することにより、幅が0.05cm以上300cm以下、長さが5m以上の長尺の被転写フィルムを取得するステップと、
取得した被転写フィルムの当該光硬化性樹脂組成物層に対して、前記原盤を回転させながら押圧し、前記原盤の周面形状に対応する凹部を前記被転写フィルムの光硬化性樹脂組成物層に転写し光硬化させてフィルム本体を作製するステップと、を含み、
該原盤が、石英ガラスに化学気相成長法によりダイヤモンドライクカーボンを成膜したものをエッチングして形成したものであり、
可視光波長以下の大きさの凹部又は凸部が点在することで形成された該線が、継ぎ目または合わせ目であり、
前記凹部の開口面の直径は、可視光波長よりも大きく、
前記凹部の配列パターンは、前記フィルム本体の長さ方向に沿った周期性を有し、
前記凹部の配列パターンの一周期中における同一配列パターンに対応する領域の凹部に基づいて前記凹部の欠損率を算出したとき、前記フィルム本体の一方の端部における凹部の欠損率と、前記フィルム本体の他方の端部における凹部の欠損率との差は、10ppm以下であり、該一方の端部より他方の端部に向かって欠損率が漸増し、
前記凹部の連続した欠損は、フィルム本体の10cmの面積範囲で10個以下である、エンボスフィルムの製造方法。
A step of forming a plurality of projections on the peripheral surface of a cylindrical or columnar master and lines formed by interspersing the projections or recesses having a size equal to or smaller than the wavelength of visible light;
A long transferred film having a width of 0.05 cm or more and 300 cm or less and a length of 5 m or more is obtained by applying a photocurable resin composition on a substrate to form a photocurable resin composition layer. and
The photocurable resin composition layer of the obtained transfer film is pressed against the photocurable resin composition layer of the transfer film by rotating and pressing the master, and forming recesses corresponding to the peripheral shape of the master into the photocurable resin composition layer of the transfer film. transferring to and photocuring to create a film body;
The master is formed by etching a diamond-like carbon film formed on quartz glass by a chemical vapor deposition method,
The line formed by interspersed recesses or protrusions having a size equal to or smaller than the wavelength of visible light is a seam or seam,
The diameter of the opening surface of the recess is larger than the wavelength of visible light,
The arrangement pattern of the recesses has periodicity along the length direction of the film body,
When the loss rate of the recesses is calculated based on the recesses in the region corresponding to the same arrangement pattern in one cycle of the arrangement pattern of the recesses, the loss rate of the recesses at one end of the film body and the film body The difference from the defect rate of the recess at the other end of is 10 ppm or less, and the defect rate gradually increases from the one end toward the other end,
The method for producing an embossed film, wherein the number of consecutive missing portions of the concave portion is 10 or less in an area of 10 cm 2 of the film main body.
前記フィルム本体に形成された前記凹部は、それぞれ略同一形状を有する、請求項1記
載の製造方法。
2. The manufacturing method according to claim 1, wherein said recesses formed in said film body have substantially the same shape.
前記凹部の配列パターンは、格子形状である、請求項1又は2記載の製造方法。 3. The manufacturing method according to claim 1, wherein the arrangement pattern of said recesses is a grid shape. 前記凹部の数密度は、50000000個/cm以下である、請求項1~3のいずれか一項に記載の製造方法。 The manufacturing method according to any one of claims 1 to 3, wherein the number density of the concave portions is 50000000/ cm2 or less. 前記フィルム本体は、前記凹部内を含む表面の少なくとも一部に、無機化合物からなる被覆層を備える、請求項1~4のいずれか一項に記載の製造方法。 The manufacturing method according to any one of claims 1 to 4, wherein the film body has a coating layer made of an inorganic compound on at least part of the surface including the inside of the recess. エンボスフィルムの全体長さに対して0.1%、25%、50%、75%、及び100%の各地点における前記凹部の欠損率が、一方の端部における凹部の欠損率と、他方の端部における凹部の欠損率とを両端とする範囲内に含まれている請求項1~5のいずれか一項に記載の製造方法。 The loss rate of the recesses at each point of 0.1%, 25%, 50%, 75%, and 100% with respect to the entire length of the embossed film is the loss rate of the recesses at one end and the loss rate at the other end. 6. The manufacturing method according to any one of claims 1 to 5, wherein the range includes both ends and the defect rate of the concave portions at the ends. 前記一方の端部における前記凹部の欠損率と、他方の端部における凹部の欠損率との差が、1ppm以下である請求項1~6のいずれか一項に記載の製造方法。 7. The manufacturing method according to any one of claims 1 to 6, wherein a difference between the defect rate of the recesses at the one end and the defect rate of the recesses at the other end is 1 ppm or less. 前記凹部の欠損率が、フィルム本体全体で0%ではない請求項1~7のいずれか一項に記載の製造方法。 The production method according to any one of claims 1 to 7, wherein the defect rate of the concave portions is not 0% in the entire film body. 同一開口形状の凹部は、同一の深さを有する請求項1~8のいずれか一項に記載の製造方法。 The manufacturing method according to any one of claims 1 to 8, wherein the concave portions having the same opening shape have the same depth. 長さ5m以上の長尺のフィルム本体と、
前記フィルム本体の表面に形成された複数の凹部と、可視光波長以下の大きさの凹部又は凸部が点在することで形成された線とを備えたエンボスフィルムであって、
可視光波長以下の大きさの凹部又は凸部が点在することで形成された該線が、原盤に由来した継ぎ目または合わせ目であり、
前記フィルム本体の表面に形成された凹部の開口面の直径は、可視光波長よりも大きく、
前記凹部の配列パターンは、前記フィルム本体の長さ方向に沿った周期性を有し、
前記フィルム本体の一方の端部における凹部の欠損率と、前記フィルム本体の他方の端部における凹部の欠損率との差は、10ppm以下であり、
前記凹部の連続した欠損は、フィルム本体の10cmの面積範囲で10個以下である、エンボスフィルム。
A long film body with a length of 5 m or more ,
An embossed film comprising a plurality of recesses formed on the surface of the film body and lines formed by interspersing recesses or protrusions having a size equal to or smaller than the wavelength of visible light,
The line formed by scattered recesses or protrusions having a size equal to or smaller than the wavelength of visible light is a seam or seam derived from the master,
The diameter of the opening surface of the concave portion formed on the surface of the film body is larger than the wavelength of visible light,
The arrangement pattern of the recesses has periodicity along the length direction of the film body,
The difference between the loss rate of recesses at one end of the film body and the loss rate of recesses at the other end of the film body is 10 ppm or less,
The embossed film, wherein the number of consecutive missing portions of the concave portion is 10 or less in an area of 10 cm 2 of the film main body.
フィルム本体が、樹脂層から構成されている請求項10記載のエンボスフィルム。 The embossed film according to claim 10, wherein the film body comprises a resin layer. フィルム本体が、硬化性または可塑性の樹脂から構成されている請求項10記載のエンボスフィルム。 The embossed film according to claim 10, wherein the film body is composed of a curable or plastic resin. エンボスフィルムが、複数の樹脂層が積層された積層体である請求項10記載のエンボスフィルム。 The embossed film according to claim 10, wherein the embossed film is a laminate in which a plurality of resin layers are laminated. 該凹部が、フィルム本体を貫通している、請求項10記載のエンボスフィルム。 The embossed film of Claim 10, wherein the recess extends through the film body.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113710377B (en) * 2019-04-30 2024-01-09 迪睿合株式会社 Method for supplying or removing sliding treatment to or from surface of sliding object
CN116273802A (en) * 2023-03-13 2023-06-23 深圳市长松科技有限公司 Embossed film manufacturing method, embossed film and embossing equipment

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003526817A (en) 2000-03-03 2003-09-09 シピックス・イメージング・インコーポレーテッド Electrophoretic display
JP2004538130A (en) 2001-05-31 2004-12-24 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー Dimensionally stable composite article and method of manufacturing the same
JP2010132762A (en) 2008-12-04 2010-06-17 Nippon Paint Co Ltd Method for producing photocurable resin composition and film having uneven surface
JP2010137358A (en) 2007-04-12 2010-06-24 Kyowa Hakko Chemical Co Ltd Method and apparatus for forming pattern
JP2012133066A (en) 2010-12-21 2012-07-12 Samsung Yokohama Research Institute Co Ltd Antiglare film

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5711021A (en) * 1980-06-25 1982-01-20 Diafoil Co Ltd Embossing of film or sheet
US7995871B2 (en) 2002-05-07 2011-08-09 Nanoptek Corporation Stress-induced bandgap-shifted semiconductor photoelectrolytic/photocatalytic/photovoltaic surface and method for making same
TWI248859B (en) * 2004-11-24 2006-02-11 Ind Tech Res Inst Manufacture of mold core used in nanoimprint
JP4747769B2 (en) 2005-10-04 2011-08-17 コニカミノルタオプト株式会社 Method for producing uneven pattern film
JP2007136680A (en) * 2005-11-14 2007-06-07 Asia Genshi Kk Plate material for thermal stencil plate
CN101680969B (en) 2008-02-27 2011-04-20 索尼株式会社 Antireflection optical element, and method for producing original board
JP2010033793A (en) * 2008-07-28 2010-02-12 Tokai Rubber Ind Ltd Method for manufacturing particle transfer film
JP2011098443A (en) * 2009-11-04 2011-05-19 Hitachi Maxell Ltd Mold roll for shaped film and method for manufacturing the shaped film using the same
DK2602089T3 (en) 2010-08-06 2018-01-29 Soken Kagaku Kk RESINFORM FOR NANOTRY AND METHOD OF PRODUCING THEREOF
JP2012103315A (en) 2010-11-08 2012-05-31 Three M Innovative Properties Co Microlens laminated body capable of providing floating composite image
CN102376484B (en) * 2011-07-18 2014-02-12 健雄职业技术学院 Membrane base point electrode and preparation method thereof
CN107267076B (en) 2012-08-24 2021-06-29 迪睿合电子材料有限公司 Method for manufacturing anisotropic conductive film and anisotropic conductive film
US10412837B2 (en) * 2012-08-29 2019-09-10 Dexerials Corporation Anisotropic conductive film and method of producing the same
CN104097431A (en) * 2013-04-10 2014-10-15 日本联合化工股份有限公司 Pressure sensing transferring belt with graph
CN103770492B (en) * 2014-01-14 2015-05-20 汕头市龙湖昌丰化工有限公司 Method for manufacturing transfer film and transfer aluminum-plating paper

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003526817A (en) 2000-03-03 2003-09-09 シピックス・イメージング・インコーポレーテッド Electrophoretic display
JP2004538130A (en) 2001-05-31 2004-12-24 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー Dimensionally stable composite article and method of manufacturing the same
JP2010137358A (en) 2007-04-12 2010-06-24 Kyowa Hakko Chemical Co Ltd Method and apparatus for forming pattern
JP2010132762A (en) 2008-12-04 2010-06-17 Nippon Paint Co Ltd Method for producing photocurable resin composition and film having uneven surface
JP2012133066A (en) 2010-12-21 2012-07-12 Samsung Yokohama Research Institute Co Ltd Antiglare film

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