JP7235567B2 - 圧電センサ - Google Patents
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Description
上記第1電極上に積層一体化された第1端子と、
上記圧電シートの他面側から上記第2電極と電気的に非接続状態にて第1電極に電気的に接続された第2端子と、
上記第2電極上に積層一体化された第3端子と、
上記圧電シートの一面側から上記第1電極と電気的に非接続状態にて第2電極に電気的に接続された第4端子とを有し、
上記第1端子と上記第2端子との対向面において、炭素原子と金属原子の比(炭素原子/金属原子)が0.5~4であることを特徴とする。
検出器 Thermo SCIENTIFIC社製 製品名「NORAN SYSTEM 7」)
走査型顕微鏡(日立ハイテクノロジーズ社製 製品名「S-4300SE/N」)(SEM-EDX)
ポリオレフィン系樹脂発泡シートに分極を付与してなる圧電シートを用意した。圧電シート10の一面10aにその一部(第1電極非積層部分)を除いた部分に、アクリル系粘着剤を含む固定剤層(厚み30μm)を介して、厚み20μmのアルミニウム箔から形成された第1電極11を積層一体化した。第1電極11上に更に厚み20μmのアルミニウム箔から形成された第3電極17を後述する第1端子13と電気的に接続しないように積層一体化した。なお、第1電極11と第3電極17との間には、厚み100μmのポリエチレンテレフタレートフィルムが介在しており、第1電極11と第3電極17とは電気的に接続しないように構成されていた。
実施例1と同様の要領で積層体を作製した。第1端子13、第1電極11、圧電シート10及び第2端子14にピアス端子を貫通させて、第1端子13、第1電極11及び第2端子14同士を電気的に接続させた。
抵抗変化率(%)=100×(試験後抵抗-初期抵抗)/初期抵抗
○:抵抗変化率が150%未満であった。
×:抵抗変化率が150%以上であった。
10 圧電シート
10a 圧電シートの一面
10b 圧電シートの他面
11 第1電極
12 第2電極
13 第1端子
14 第2端子
15 第3端子
16 第4端子
17 第3電極
A 圧電センサ
Claims (10)
- 圧電シート、上記圧電シートの一面に積層一体化された第1電極及び上記圧電シートの他面に積層一体化された第2電極を有する圧電センサ本体と、
上記第1電極上に積層一体化された第1端子と、
上記圧電シートの他面側から上記第2電極と電気的に非接続状態にて第1電極に電気的に接続された第2端子と、
上記第2電極上に積層一体化された第3端子と、
上記圧電シートの一面側から上記第1電極と電気的に非接続状態にて第2電極に電気的に接続された第4端子とを有し、
上記第1端子と上記第2端子との対向面において、炭素原子と金属原子の比[炭素元素濃度(wt%)/金属元素濃度(wt%)]が0.5~4であり、
上記第1電極と、これに対向する上記第1端子及び上記第2端子とが接合一体化されており、この接合一体化部分において、圧電センサ本体部分が、上記第1電極、上記第1端子及び上記第2端子を構成している金属成分と混合した状態であることを特徴とする圧電センサ。 - 第3端子と第4端子との対向面間において、炭素原子と金属原子の比[炭素元素濃度(wt%)/金属元素濃度(wt%)]が0.5~4であることを特徴とする請求項1に記載の圧電センサ。
- 第1端子及び第2端子の第1電極に対する面方向の破断強度が50N以上であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の圧電センサ。
- 第3端子及び第4端子の第2電極に対する面方向の破断強度が50N以上であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の圧電センサ。
- 圧電センサ本体の圧電シートの厚み方向において、第1端子及び第2端子の外面間の距離、並びに、第3端子及び第4端子の外面間の距離が0.05~3mmであることを特徴とする請求項1~4の何れか1項に記載の圧電センサ。
- 第1端子及び第2端子は、圧電センサ本体に接続している接続端部以外の部分において互いに電気的に接続していることを特徴とする請求項1~5の何れか1項に記載の圧電センサ。
- 第3端子及び第4端子は、圧電センサ本体に接続している接続端部以外の部分において互いに電気的に接続していることを特徴とする請求項1~6の何れか1項に記載の圧電センサ。
- 第1電極と、これに対向する第1端子及び第2端子とが接合一体化されており、この接合一体化部分において、上記第1電極、上記第1端子及び上記第2端子を構成している金属成分と、圧電センサ本体の構成材料に起因した成分とが混合した状態となっていることを特徴とする請求項1~7の何れか1項に記載の圧電センサ。
- 第1電極と、圧電シートの他面上に配設された第2端子と、上記圧電シートの他面上に配設された第2端子部分を厚み方向に投影した第1電極部分上に配設された第1端子とが、溶融接合されていることを特徴とする請求項1~8の何れか1項に記載の圧電センサ。
- 請求項1~9の何れか1項に記載の圧電センサの製造方法であって、
圧電シートの一面にその一部を第1電極非積層部分として除いた部分に第1電極を積層一体化し、上記圧電シートの他面にその一部を第2電極非積層部分として除いた部分に第2電極を積層一体化して積層体を作製する工程と、
上記圧電シートの第2電極非積層部分に上記第2電極に対して電気的に非接続状態にて第2端子を配設する工程と、
上記圧電シートの他面上に配設した第2端子部分を上記圧電シートの厚み方向に投影した、第1電極部分上に第1端子を配設する工程と、
上記第1端子及び第2端子を配設した積層体に超音波振動を加えて、上記第1電極、上記第1端子及び上記第2端子同士を接合一体化する工程と、
を有することを特徴とする圧電センサの製造方法。
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US20170322096A1 (en) | 2014-11-06 | 2017-11-09 | Iee International Electronics & Engineering S.A. | Impact sensor |
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JPH0370418U (ja) * | 1989-11-09 | 1991-07-15 |
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