JP7232767B2 - Atomization unit, atomization device, and method of driving atomization device - Google Patents

Atomization unit, atomization device, and method of driving atomization device Download PDF

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Description

本発明は、霧化用液体に超音波振動を与えて霧化する霧化用振動子を備えた霧化ユニット、当該霧化ユニットを備えた霧化装置及び霧化装置の駆動方法に関する。 BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an atomizing unit provided with an atomizing vibrator that applies ultrasonic vibrations to an atomizing liquid to atomize it, an atomizing device provided with the atomizing unit, and a method of driving the atomizing device. .

従来より、液体を霧化させる方式として、超音波振動方式が採用されている。超音波振動方式を採用した霧化装置は、霧化用液体を貯留する貯液タンクの底部に超音波振動子が設置されている。この超音波振動子に高周波電圧を印加すると、貯液タンク内の霧化用液体が高周波振動によって微粒子化する。微粒子化した液体は、送風ファン等によって外部に霧として送出される。このような霧化装置は、例えば、加湿器として実用化されている。 Conventionally, an ultrasonic vibration system has been adopted as a system for atomizing liquid. An atomization device that employs an ultrasonic vibration method has an ultrasonic vibrator installed at the bottom of a liquid storage tank that stores an atomization liquid. When a high-frequency voltage is applied to the ultrasonic oscillator, the atomizing liquid in the liquid storage tank is atomized by high-frequency vibration. The atomized liquid is sent outside as mist by a blower fan or the like. Such an atomizing device is put into practical use, for example, as a humidifier.

上述した超音波振動方式を採用した霧化装置では、超音波振動子から貯液タンクの液面までの距離、すなわち、霧化用液面の液位によって霧化量が変化する。この場合、貯液タンクの液面高さ（液位）を霧化量がピークとなる付近に維持するため、霧となって消費した分の霧化用液体を貯液タンクに供給する補充タンクが必要となる。例えば、当該霧化装置として特許文献１に開示されたミスト発生装置がある。 In the above-described atomization device employing the ultrasonic vibration method, the atomization amount varies depending on the distance from the ultrasonic oscillator to the liquid surface of the liquid storage tank, that is, the liquid level of the liquid surface for atomization. In this case, in order to maintain the liquid level (liquid level) of the liquid storage tank near the peak of the atomization amount, a replenishment tank that supplies the liquid for atomization that has been consumed as fog to the liquid storage tank Is required. For example, there is a mist generating device disclosed in Patent Document 1 as the atomizing device.

特開平０５－２０８１５１号公報JP-A-05-208151

しかしながら、特許文献１に記載された霧化装置では、貯液タンクの他に補充タンクが必要となり、霧化装置の全体構成が複雑化し、形状（デザイン）設計の自由度も制限されるといった課題があった。他方、補充タンクを廃止すると、霧化用液体の消費によって貯液タンクの液位を霧化量がピークとなる高さに維持できなくなり、貯液タンクの液位によって霧化量が大きく変化するといった課題があった。 However, the atomization device described in Patent Document 1 requires a replenishment tank in addition to the liquid storage tank, which complicates the overall configuration of the atomization device and limits the degree of freedom in shape (design) design. was there. On the other hand, if the replenishment tank is abolished, the liquid level in the liquid storage tank cannot be maintained at the height at which the amount of atomization peaks due to the consumption of the liquid for atomization, and the amount of atomization varies greatly depending on the liquid level in the liquid storage tank. There was a problem.

そこで、本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、貯液タンクの液位に応じて好適な霧化が実現でき、補充タンクの廃止が可能な霧化用振動子、当該霧化用振動子を備えた霧化ユニット、当該霧化ユニットを備えた霧化装置及び霧化装置の駆動方法を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention is intended to solve such conventional problems. An object of the present invention is to provide an atomization unit equipped with an atomization vibrator, an atomization device equipped with the atomization unit, and a method of driving the atomization device.

第１の発明に係る霧化用振動子は、板状の圧電振動子と、前記圧電振動子の一方の面と他方の面のそれぞれに設けられた電極と、を備えた霧化用振動子であって、前記圧電振動子の前記一方の面に設けられた電極が、前記圧電振動子の中央部に配置された中心電極と、前記中心電極の外周を取り囲み、前記中心電極と電気的に分離して配置された環状の外周電極とを備えたことを特徴とする。 An atomizing vibrator according to a first aspect of the invention includes a plate-like piezoelectric vibrator and electrodes provided on one surface and the other surface of the piezoelectric vibrator. wherein the electrode provided on the one surface of the piezoelectric vibrator surrounds the center electrode disposed in the central portion of the piezoelectric vibrator and the outer periphery of the center electrode and is electrically connected to the center electrode. and an annular peripheral electrode arranged separately.

第２の発明に係る霧化用振動子は、前記外周電極が、環状の隙間部を介して、少なくとも２つ以上の環状の電極に電気的に分離されていることを特徴とする。 An atomizing vibrator according to a second aspect of the invention is characterized in that the outer peripheral electrode is electrically separated into at least two or more annular electrodes via an annular gap.

第３の発明に係る霧化用振動子は、円板状の圧電振動子と、前記圧電振動子の一方の面と他方の面のそれぞれに設けられた円形状の電極とを備えた霧化用振動子であって、前記圧電振動子の前記一方の面に設けられた電極が、前記圧電振動子の中央部に配置された中心電極と、前記中心電極と同心状に、かつ、電気的に分離して配置された円環状の外周電極とを備えたことを特徴とする。 An atomizing vibrator according to a third aspect of the invention includes a disk-shaped piezoelectric vibrator and circular electrodes provided on one side and the other side of the piezoelectric vibrator. wherein the electrode provided on the one surface of the piezoelectric vibrator is concentric with the center electrode disposed in the central portion of the piezoelectric vibrator and electrically and an annular peripheral electrode arranged separately.

第４の発明に係る霧化用振動子は、前記外周電極が、同心状に設けられた円環状の隙間部を介して、少なくとも２つ以上の円環状の電極に電気的に分離されていることを特徴とする。 In the atomizing vibrator according to a fourth aspect of the invention, the outer peripheral electrode is electrically separated into at least two or more annular electrodes via a concentrically provided annular gap. It is characterized by

第５の発明に係る霧化用振動子は、板状の圧電振動子と、前記圧電振動子の一方の面と他方の面のそれぞれに設けられた電極と、を備えた霧化用振動子であって、前記圧電振動子の前記一方の面に設けられた電極が、前記圧電振動子の当該一方の面内の中心に対して偏心して配置された中心電極と、前記中心電極の外周を取り囲み、前記中心電極と電気的に分離して配置された環状の外周電極とを備えたことを特徴とする。 An atomizing vibrator according to a fifth aspect of the invention is an atomizing vibrator comprising a plate-shaped piezoelectric vibrator and electrodes respectively provided on one surface and the other surface of the piezoelectric vibrator. wherein the electrodes provided on the one surface of the piezoelectric vibrator include a center electrode arranged eccentrically with respect to the center of the one surface of the piezoelectric vibrator, and an outer circumference of the center electrode. It is characterized by comprising an annular peripheral electrode that surrounds and is electrically separated from the central electrode.

第６の発明に係る霧化用振動子は、第５の発明における前記圧電振動子が円板状であることを特徴とする。 An atomizing vibrator according to a sixth invention is characterized in that the piezoelectric vibrator according to the fifth invention is disc-shaped.

第７の発明に係る霧化用振動子は、前記外周電極が、隙間部を介して、前記中心電極の外周を順に、層状に取り囲む少なくとも２つ以上の電極に電気的に分離されていることを特徴とする。 In the atomizing vibrator according to a seventh aspect of the invention, the outer peripheral electrode is electrically separated into at least two or more electrodes surrounding the outer periphery of the central electrode in order through a gap. characterized by

第８の発明に係る霧化ユニットは、第１、第３、第５又は第６のいずれかの発明に係る霧化用振動子と、前記霧化用振動子を駆動する駆動部とを備え、前記駆動部は、前記外周電極への通電をＯＮ・ＯＦＦするスイッチ部と、貯液タンクの液位を検出する液位検出手段からの出力信号に基づいて、前記スイッチ部のＯＮ・ＯＦＦを切り替える制御部と、を備えたことを特徴とする。 An atomizing unit according to an eighth invention comprises the atomizing vibrator according to any one of the first, third, fifth or sixth inventions, and a driving section for driving the atomizing vibrator. The drive unit turns ON/OFF the switch unit based on an output signal from a switch unit for turning ON/OFF the energization to the outer peripheral electrode and a liquid level detection means for detecting the liquid level of the liquid storage tank. and a switching control unit.

第９の発明に係る霧化ユニットは、第２、第４又は第７のいずれかの発明に係る霧化用振動子と、前記霧化用振動子を駆動する駆動部とを備え、前記駆動部は、前記複数の外周電極のそれぞれに対応して設けられ、当該対応した外周電極への通電をＯＮ・ＯＦＦするスイッチ部と、貯液タンクの液位を検出する液位検出手段からの出力信号に基づいて、前記スイッチ部のＯＮ・ＯＦＦを切り替える制御部と、を備えたことを特徴とする。 An atomizing unit according to a ninth aspect comprises the atomizing vibrator according to any one of the second, fourth or seventh aspects of the invention, and a drive section for driving the atomizing vibrator, and The section is provided corresponding to each of the plurality of outer peripheral electrodes, and outputs from a switch section for turning ON/OFF the energization to the corresponding outer peripheral electrode and the liquid level detection means for detecting the liquid level of the liquid storage tank. and a control unit for switching ON/OFF of the switch unit based on a signal.

第１０の発明に係る霧化装置は、第８の発明に係る霧化ユニットと、霧化用液体を貯留する貯液タンクと、前記貯液タンクの液位を検出する液位検出手段とを備えた霧化装置において、前記霧化用振動子は、前記貯液タンクの底部に設置され、前記制御部は、前記液位検出手段からの出力信号に基づいて、前記貯液タンクの液位が所定値まで低下したときに、前記スイッチ部をＯＮからＯＦＦに切り替えることを特徴とする。 An atomization device according to a tenth aspect of the invention includes the atomization unit according to the eighth aspect of the invention, a liquid storage tank for storing the atomization liquid, and liquid level detection means for detecting the liquid level of the liquid storage tank. In the atomization device comprising the is lowered to a predetermined value, the switch section is switched from ON to OFF.

第１１の発明に係る霧化装置は、第９の発明に係る霧化ユニットと、霧化用液体を貯留する貯液タンクと、前記貯液タンクの液位を検出する液位検出手段とを備えた霧化装置において、前記霧化用振動子は、前記貯液タンクの底部に設置され、前記制御部は、前記液位検出手段からの出力信号に基づいて、前記貯液タンクの液位が低下するにしたがって、前記スイッチ部をＯＮからＯＦＦに切り替えた外周電極を中央部へ向けて段階的に増加させることを特徴とする。 An atomization device according to an eleventh aspect comprises the atomization unit according to the ninth aspect, a liquid storage tank for storing the atomization liquid, and liquid level detection means for detecting the liquid level of the liquid storage tank. In the atomization device comprising the It is characterized in that the number of peripheral electrodes that switch the switch portion from ON to OFF is increased stepwise toward the central portion as the power decreases.

第１２の発明に係る霧化装置の駆動方法は、第１、第３、第５又は第６のいずれかの発明に係る霧化用振動子が、霧化用液体を貯留する貯液タンクの底部に設置された霧化装置の駆動方法であって、前記貯液タンクの液位が所定値まで低下したときに、前記外周電極への通電を停止することを特徴とする。 A method of driving an atomizing device according to a twelfth aspect of the invention is characterized in that the atomizing vibrator according to any one of the first, third, fifth and sixth aspects of the invention is a liquid storage tank for storing the atomizing liquid. A method of driving an atomizing device installed at the bottom, characterized in that the energization to the outer peripheral electrode is stopped when the liquid level in the liquid storage tank drops to a predetermined value.

第１３の発明に係る霧化装置の駆動方法は、第２、第４又は第７のいずれかの発明に係る霧化用振動子が、霧化用液体を貯留する貯液タンクの底部に設置された霧化装置の駆動方法であって、前記貯液タンクの液位が低下するにしたがって、通電が停止される外周電極を中央部へ向けて段階的に増加させることを特徴とする。 A method of driving an atomization device according to a thirteenth aspect of the invention is such that the atomization vibrator according to any one of the second, fourth, or seventh aspects of the invention is installed at the bottom of a liquid storage tank that stores the atomization liquid. The driving method of the atomizing device is characterized in that, as the liquid level in the liquid storage tank decreases, the number of peripheral electrodes to which energization is stopped is increased stepwise toward the central portion.

本発明の霧化用振動子によれば、貯液タンクの液位が高液位にあるときは、中心電極と外周電極の双方に通電して、高液位に応じた霧化を行い、霧化用液体の消費に伴い貯液タンクの液位が低下したときは、外周電極への通電を停止し、中心電極にのみ通電することで、低液位に応じた霧化ができる。このため、貯液タンクの液位が低下しても、好適な霧化が実現できるため、補充タンクを要することなく、安定した霧化が実現できる。 According to the atomizing vibrator of the present invention, when the liquid level in the liquid storage tank is at a high liquid level, both the central electrode and the peripheral electrode are energized to perform atomization according to the high liquid level, When the liquid level in the liquid storage tank drops due to the consumption of the atomizing liquid, the supply of electricity to the peripheral electrodes is stopped and only the central electrode is energized, whereby atomization corresponding to the low liquid level can be achieved. Therefore, even if the liquid level in the liquid storage tank drops, suitable atomization can be achieved, and stable atomization can be achieved without the need for a replenishment tank.

本発明を適用した霧化装置の概略構成図である。1 is a schematic configuration diagram of an atomization device to which the present invention is applied; FIG. 本実施の形態の霧化用振動子の概略断面図である。1 is a schematic cross-sectional view of an atomizing vibrator according to an embodiment; FIG. 図２の霧化用振動子の他方の面側を示す図である。3 is a view showing the other side of the atomizing vibrator of FIG. 2. FIG. 第１実施形態に係る霧化用振動子の一方の面側を示す図である。FIG. 2 is a view showing one surface side of the atomizing vibrator according to the first embodiment; 第２実施形態に係る霧化用振動子の一方の面側を示す図である。FIG. 10 is a view showing one surface side of an atomizing vibrator according to a second embodiment; 第３実施形態に係る霧化用振動子の一方の面側を示す図である。FIG. 10 is a view showing one surface side of an atomizing vibrator according to a third embodiment; 第４実施形態に係る霧化用振動子の一方の面側を示す図である。FIG. 11 is a view showing one surface side of an atomizing vibrator according to a fourth embodiment; その他の実施形態に係る霧化用振動子の一方の面側を示す図である。FIG. 10 is a view showing one surface side of an atomizing vibrator according to another embodiment; その他の実施形態に係る霧化用振動子の一方の面側を示す図である。FIG. 10 is a view showing one surface side of an atomizing vibrator according to another embodiment; その他の実施形態に係る霧化用振動子の一方の面側を示す図である。FIG. 10 is a view showing one surface side of an atomizing vibrator according to another embodiment; その他の実施形態に係る霧化用振動子の一方の面側を示す図である。FIG. 10 is a view showing one surface side of an atomizing vibrator according to another embodiment; 第１実施形態に係る霧化用振動子において、中心電極のみに通電した場合と、中心電極と外周電極の双方に通電した場合の液位に対する霧化量の変化を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing changes in the atomization amount with respect to the liquid level when only the central electrode is energized and when both the central electrode and the peripheral electrode are energized in the atomizing vibrator according to the first embodiment. 高液位モードと低液位モードとを切り替えたときの液位に対する霧化量の変化を示す図である。It is a figure which shows the change of the atomization amount with respect to a liquid level when switching a high liquid level mode and a low liquid level mode. 高液位モード、中液位モード及び低液位モードの３つの霧化モードにおける液位に対する霧化量の変化を示す図である。It is a figure which shows the change of the atomization amount with respect to a liquid level in three atomization modes, a high liquid level mode, a medium liquid level mode, and a low liquid level mode.

以下、本発明に係る霧化用振動子、霧化ユニット、霧化装置、霧化装置の駆動方法の実施の形態について図面を参照して説明する。ここでは、本発明の霧化用振動子、霧化ユニットを備えた霧化装置を例に挙げて説明する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of an atomizing vibrator, an atomizing unit, an atomizing device, and an atomizing device driving method according to the present invention will be described below with reference to the drawings. Here, an atomization device including an atomization vibrator and an atomization unit of the present invention will be described as an example.

図１は本実施の形態に係る霧化用振動子１０を備えた霧化装置１の概略構成図である。本実施の形態に係る霧化装置１は、霧化用液体を貯留する貯液タンク２と、貯液タンク２内に貯留された霧化用液体Ｗを霧化する霧化ユニット３とを備えている。 FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an atomization device 1 equipped with an atomization vibrator 10 according to this embodiment. An atomization device 1 according to the present embodiment includes a liquid storage tank 2 that stores an atomization liquid, and an atomization unit 3 that atomizes the atomization liquid W stored in the liquid storage tank 2. ing.

貯液タンク２は、霧化用液体Ｗを貯留するタンクであって、底部（底面）２Ａには、霧化ユニット３の霧化用振動子１０が取り付けられる貫通孔４が形成されている。貯液タンク２は、例えば、合成樹脂や金属材料などによって構成される。本実施の形態において、貯液タンク２は、図示しない霧化装置本体に収容され、所定の支持手段を介して保持されており、当該霧化装置本体に着脱自在とされている。貯液タンク２は、所定時間、霧化用液体Ｗを補充することなく連続して霧化可能な容量を貯留できることが好ましい。 The liquid storage tank 2 is a tank for storing the atomizing liquid W, and has a bottom portion (bottom surface) 2A formed with a through hole 4 to which an atomizing vibrator 10 of the atomizing unit 3 is attached. The liquid storage tank 2 is made of synthetic resin, metal material, or the like, for example. In the present embodiment, the liquid storage tank 2 is housed in an atomization device body (not shown), held via a predetermined support means, and detachable from the atomization device body. It is preferable that the liquid storage tank 2 can store a volume capable of being continuously atomized without being replenished with the atomizing liquid W for a predetermined period of time.

本実施の形態において霧化用液体Ｗは、水道水を用いるが、霧化用液体Ｗは、水道水等の水に限定されるものではなく、薬液や、芳香液等の霧化の対象となるものであれば、いずれの液体であってもよい。 In the present embodiment, tap water is used as the atomizing liquid W, but the atomizing liquid W is not limited to water such as tap water. Any liquid may be used as long as it is

また、貯液タンク２内には、貯留された霧化用液体Ｗの液位を検出するための液位センサ（液位検出手段）５が設けられている。本実施の形態において、液位センサ５は、貯液タンク２内の霧化用液体Ｗの液位を検出することができれば、いずれの方式のセンサを採用してもよい。液位センサ５は、例えば、静電容量式、重量式、光学式、レーザー式、電波式、超音波式、フロート式を挙げることができる。なお、本発明において、液位センサの方式はこれに限定されるものではない。 A liquid level sensor (liquid level detection means) 5 for detecting the liquid level of the stored atomizing liquid W is provided in the liquid storage tank 2 . In the present embodiment, the liquid level sensor 5 may employ any type of sensor as long as it can detect the liquid level of the atomizing liquid W in the liquid storage tank 2 . The liquid level sensor 5 may be, for example, a capacitance type, gravimetric type, optical type, laser type, radio wave type, ultrasonic type, or float type. In addition, in the present invention, the method of the liquid level sensor is not limited to this.

霧化ユニット３は、霧化用振動子１０と、霧化用振動子１０を駆動するための駆動部６０とを備えている。まず、霧化用振動子１０について、図２の霧化用振動子１０の概略断面図を参照して説明する。 The atomization unit 3 includes an atomization vibrator 10 and a drive section 60 for driving the atomization vibrator 10 . First, the atomizing vibrator 10 will be described with reference to the schematic cross-sectional view of the atomizing vibrator 10 in FIG.

霧化用振動子１０は、板状の圧電振動子１１と、圧電振動子１１を挟むように形成された一対の層状の電極１２、２０とを備えている。本実施の形態において、圧電振動子１１は円板状を呈しており、圧電振動子１１の霧化用液体Ｗ側となる面側（「他方の面」とも称する。）１１ａには、円形状で、圧電振動子１１よりも僅かに小径の電極１２が圧電振動子１１と同心状にめっき等で形成されている。また、霧化用液体Ｗと反対側となる面（「一方の面」とも称する。）１１ｂには、円形状で、圧電振動子１１よりも僅かに小径の電極２０が圧電振動子１１と同心状にめっき等で形成されている。ここでは、円板状の圧電振動子を例に挙げて説明しているが、本発明に係る圧電振動子は、円板状に限定されるものではなく、板状であれば特に問題ない。なお、電極２０の詳細については、後述する。 The atomizing vibrator 10 includes a plate-like piezoelectric vibrator 11 and a pair of layered electrodes 12 and 20 formed to sandwich the piezoelectric vibrator 11 . In the present embodiment, the piezoelectric vibrator 11 has a disc shape, and a surface 11a of the piezoelectric vibrator 11 on the atomizing liquid W side (also referred to as “the other surface”) has a circular shape. An electrode 12 having a diameter slightly smaller than that of the piezoelectric vibrator 11 is formed concentrically with the piezoelectric vibrator 11 by plating or the like. On a surface 11 b opposite to the atomizing liquid W (also referred to as “one surface”), a circular electrode 20 having a diameter slightly smaller than that of the piezoelectric vibrator 11 is concentric with the piezoelectric vibrator 11 . It is formed by plating or the like in a shape. Here, a disk-shaped piezoelectric vibrator is described as an example, but the piezoelectric vibrator according to the present invention is not limited to a disk-shaped one, and there is no particular problem as long as it is plate-shaped. Details of the electrode 20 will be described later.

圧電振動子１１は、所定の厚さの圧電セラミックスなどの圧電材料を厚さ方向に分極して構成されている。圧電振動子１１は、電極１２、２０を介して印加される高周波電圧（「高周波駆動信号」とも称する。）の向きによって、収縮、伸張するため、電気的エネルギーを機械的エネルギーに変換することができる。圧電セラミックスとしては、ペロブスカイト型の酸化物、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）や、ニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴＮ）などを挙げることができるが、本発明はこれに限定されない。 The piezoelectric vibrator 11 is configured by polarizing a piezoelectric material such as piezoelectric ceramics having a predetermined thickness in the thickness direction. The piezoelectric vibrator 11 contracts and expands depending on the direction of a high-frequency voltage (also referred to as a “high-frequency drive signal”) applied via the electrodes 12 and 20, so that electrical energy can be converted into mechanical energy. can. Examples of piezoelectric ceramics include perovskite-type oxides such as lead zirconate titanate (PZT) and lead zirconate titanate niobate (PZTN), but the present invention is not limited thereto.

本実施の形態において、霧化用振動子１０は、他方の面１１ａに配置された電極１２が貯液タンク２の霧化用液体Ｗ側となるように、電極１２を上側として貯液タンク底部２Ａに形成された貫通孔４に弾性パッキン１４を介して嵌め込まれている。弾性パッキン１４は、例えば、シリコンゴムなどの弾性材料を環状に形成することにより構成されている。弾性パッキン１４は、その内周面に、電極１２、２０を備えた圧電振動子１１を保持する環状の保持溝を備えていてもよい。この構成を採用することにより、電極１２、２０を備えた圧電振動子１１は、周縁部が弾性パッキン１４で保持された状態で、貯液タンク２の底部２Ａに形成された貫通孔４に嵌め込まれている。 In the present embodiment, the atomizing vibrator 10 is arranged at the bottom of the liquid storage tank with the electrode 12 facing upward so that the electrode 12 arranged on the other surface 11a is on the side of the liquid W for atomization of the liquid storage tank 2 . It is fitted through an elastic packing 14 into a through hole 4 formed in 2A. The elastic packing 14 is configured by, for example, forming an elastic material such as silicone rubber into a ring shape. The elastic packing 14 may have an annular holding groove on its inner peripheral surface for holding the piezoelectric vibrator 11 having the electrodes 12 and 20 . By adopting this configuration, the piezoelectric vibrator 11 having the electrodes 12 and 20 is fitted into the through hole 4 formed in the bottom portion 2A of the liquid storage tank 2 while the peripheral portion thereof is held by the elastic packing 14. is

圧電振動子１１の他方の面１１ａに配置された電極１２は、弾性パッキン１４が装着された状態で、圧電振動子１１の一方の面１１ｂ側からの給電ができるようにするため、圧電振動子１１の一方の面１１ｂ側に引き出された舌片の接続部１２Ａを備えている。また、当該電極１２は、上述したように圧電振動子１１の外径よりも僅かに小径に形成されており、電極１２が直接、霧化用液体Ｗに接触することを防止する目的で、圧電振動子１１の他方の面１１ａには、電極１２を被覆する保護層１５が形成されている。当該保護層１５は、例えばステンレス鋼やチタンなどの金属箔により構成されていてもよく、めっきによる金属保護膜や、樹脂によるコーティング被膜により構成してもよい。なお、図３には保護層１５が形成される前の状態の圧電振動子１１の他方の面１１ａ側を示す。 The electrodes 12 arranged on the other surface 11a of the piezoelectric vibrator 11 are arranged on the piezoelectric vibrator 11 so that power can be supplied from the one surface 11b side of the piezoelectric vibrator 11 with the elastic packing 14 attached. 11 is provided with a connection portion 12A of a tongue pulled out to one surface 11b side. In addition, the electrode 12 is formed to have a slightly smaller diameter than the outer diameter of the piezoelectric vibrator 11 as described above, and the piezoelectric element 12 is designed to prevent the electrode 12 from coming into direct contact with the atomizing liquid W. A protective layer 15 covering the electrodes 12 is formed on the other surface 11 a of the vibrator 11 . The protective layer 15 may be composed of, for example, a metal foil such as stainless steel or titanium, or may be composed of a metal protective film by plating or a coating film of resin. 3 shows the other surface 11a side of the piezoelectric vibrator 11 before the protective layer 15 is formed.

以下に、本発明に係る霧化用振動子の第１実施形態～第４実施形態について図４～図７を参照して説明する。図４～図７において、図中の斜線は、電極の表面を示すために付しており、電極の断面を示すものではない。なお、上述した霧化用振動子１０は、第１実施形態～第４実施形態では、それぞれ霧化用振動子１０Ａ～１０Ｄとして説明する。また、上述した電極２０は、第１実施形態～第４実施形態では、それぞれ電極２０Ａ～２０Ｄとして説明する。図４は第１実施形態の霧化用振動子１０Ａの一方の面１１ｂ側を示す図である。 First to fourth embodiments of the atomizing vibrator according to the present invention will be described below with reference to FIGS. 4 to 7. FIG. In FIGS. 4 to 7, oblique lines are added to indicate the surface of the electrode, not to indicate the cross section of the electrode. The above-described atomizing vibrator 10 will be described as atomizing vibrators 10A to 10D in the first to fourth embodiments, respectively. Further, the electrodes 20 described above are described as electrodes 20A to 20D in the first to fourth embodiments, respectively. FIG. 4 is a view showing one surface 11b side of the atomizing vibrator 10A of the first embodiment.

第１実施形態の霧化用振動子１０Ａは、円板状の圧電振動子１１の一方の面１１ｂ側に設けられた電極２０Ａが、円形状の中心電極２１と、この中心電極２１の外周を取り囲むように、当該中心電極２１と同心状に配置された円環状の外周電極２２とを備えている。 In the atomizing vibrator 10A of the first embodiment, an electrode 20A provided on one surface 11b of a disk-shaped piezoelectric vibrator 11 is composed of a circular center electrode 21 and an outer periphery of the center electrode 21. An annular peripheral electrode 22 is arranged concentrically with the center electrode 21 so as to surround it.

円形状の中心電極２１は、圧電振動子１１よりも小径で、圧電振動子１１の中央部に同心状に設けられている。また、円環状の外周電極２２は、内径が中心電極２１の外径よりも僅かに大きく、外径が電極１２と略同径か又は僅かに小さく、中心電極２１と同心状に配置されている。中心電極２１と外周電極２２とは、円環状の隙間部２３を介して電気的に分離されている。 The circular center electrode 21 has a diameter smaller than that of the piezoelectric vibrator 11 and is provided concentrically in the central portion of the piezoelectric vibrator 11 . The annular peripheral electrode 22 has an inner diameter slightly larger than the outer diameter of the center electrode 21 and an outer diameter substantially equal to or slightly smaller than that of the electrode 12 , and is arranged concentrically with the center electrode 21 . . The central electrode 21 and the outer peripheral electrode 22 are electrically separated through an annular gap 23 .

中心電極２１及び外周電極２２の外周縁には、給電用配線２４、２５がそれぞれ接続されており、また、電極１２側の接続部１２Ａには、給電用配線２６が接続されている。第１実施形態の霧化用振動子１０Ａは、開閉スイッチ２７をＯＮ（閉）からＯＦＦ（開）に切り替えて、外周電極２２への通電を停止すると、圧電振動子１１の駆動域が径方向に縮小するように構成されている。すなわち、第１実施形態の霧化用振動子１０Ａは、電極１２、中心電極２１及び外周電極２２に通電すると、圧電振動子１１のうち、中心電極２１及び外周電極２２で覆われた圧電振動子１１の略全面が駆動域となる。一方、電極１２、中心電極２１への通電を維持し、外周電極２２への通電を停止すると、圧電振動子１１のうち、中心電極２１で覆われた圧電振動子１１の中央領域が駆動域となる。 Power supply wires 24 and 25 are connected to the outer peripheries of the center electrode 21 and the outer peripheral electrode 22, respectively. In the atomizing vibrator 10A of the first embodiment, when the open/close switch 27 is switched from ON (closed) to OFF (open) to stop the energization of the outer peripheral electrode 22, the driving range of the piezoelectric vibrator 11 is shifted in the radial direction. is configured to reduce to That is, in the atomizing vibrator 10A of the first embodiment, when the electrode 12, the central electrode 21 and the outer peripheral electrode 22 are energized, the piezoelectric vibrator 11 covered with the central electrode 21 and the outer peripheral electrode 22 Almost the entire surface of 11 becomes the drive area. On the other hand, when the energization of the electrode 12 and the center electrode 21 is maintained and the energization of the peripheral electrode 22 is stopped, the central region of the piezoelectric vibrator 11 covered with the center electrode 21 becomes the drive region. Become.

このように、第１実施形態の霧化用振動子１０Ａによれば、外周電極２２への通電を開閉スイッチ２７で制御することで、１つの霧化用振動子でその駆動域を径方向に２段階（大径、小径）に切り替えることができる。 As described above, according to the atomizing vibrator 10A of the first embodiment, by controlling the energization of the outer peripheral electrode 22 with the open/close switch 27, the single atomizing vibrator can radially expand its driving range. It can be switched between two stages (large diameter, small diameter).

図５は第２実施形態の霧化用振動子１０Ｂの一方の面１１ｂ側を示す図である。第２実施形態の霧化用振動子１０Ｂは、一方の面１１ｂに設けられた電極２０Ｂに接続する給電用配線の接続を考慮したものである。具体的には、第２実施形態の霧化用振動子１０Ｂは、圧電振動子１１の一方の面１１ｂに設けられた電極２０Ｂが、円形状の電極本体を有する中心電極３１と、この中心電極３１と同心状に配置された円環状の外周電極３２とを備えている。 FIG. 5 is a view showing one surface 11b side of the atomizing vibrator 10B of the second embodiment. The atomization vibrator 10B of the second embodiment takes into account the connection of the power feeding wiring to the electrode 20B provided on one surface 11b. Specifically, in the atomizing vibrator 10B of the second embodiment, the electrode 20B provided on one surface 11b of the piezoelectric vibrator 11 includes a center electrode 31 having a circular electrode body and a 31 and an annular peripheral electrode 32 arranged concentrically.

中心電極３１は、給電用配線３３を接続するための接続片３１Ａが電極本体から径方向に圧電振動子１１の外縁まで延出している。外周電極３２は、接続片３１Ａとの電気的な絶縁を図るため、環状部の一部が径方向に切り欠かれている。なお、外周電極３２のように、環状部の一部が径方向に切り欠かれていても、全体として円環状を呈していれば、本発明の外周電極に含まれる。 The center electrode 31 has a connecting piece 31A for connecting a power supply wiring 33 extending radially from the electrode body to the outer edge of the piezoelectric vibrator 11 . A portion of the annular portion of the outer peripheral electrode 32 is notched in the radial direction in order to electrically insulate it from the connecting piece 31A. Even if a part of the annular portion is notched in the radial direction like the outer peripheral electrode 32, it is included in the outer peripheral electrode of the present invention as long as it exhibits an annular shape as a whole.

中心電極３１の接続片３１Ａ及び外周電極３２の切欠部３２Ａの近傍には、給電用配線３３、３４がそれぞれ接続されている。このように、第２実施形態の霧化用振動子１０Ｂによれば、一方の面１１ｂに設けられた電極２０Ｂへの給電用配線３３、３４を一か所にまとめることができる利点がある。なお、第２実施形態の霧化用振動子１０Ｂにおいて、第１実施形態の霧化用振動子１０Ａと同一の構成には、同一の符号を付して説明は省略する。 Power supply wirings 33 and 34 are connected to the vicinity of the connection piece 31A of the center electrode 31 and the notch 32A of the outer peripheral electrode 32, respectively. Thus, according to the atomizing vibrator 10B of the second embodiment, there is an advantage that the power supply wirings 33 and 34 to the electrode 20B provided on the one surface 11b can be brought together in one place. In addition, in the atomizing vibrator 10B of the second embodiment, the same components as those of the atomizing vibrator 10A of the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

図６は第３実施形態の霧化用振動子１０Ｃの一方の面１１ｂ側を示す図である。第３実施形態の霧化用振動子１０Ｃは、一方の面１１ｂに設けられた電極２０Ｃを構成する中心電極４１の外径が第１実施形態の中心電極２１よりも若干小さく構成されている。また、中心電極４１と同心状に配置された円環状の外周電極が、円環状の隙間部４４を介して径方向に電気的に２つに分離した、第１外周電極４２と第２外周電極４３とから構成されている。 FIG. 6 is a view showing one surface 11b side of an atomizing vibrator 10C of the third embodiment. In the atomizing vibrator 10C of the third embodiment, the outer diameter of the center electrode 41 constituting the electrode 20C provided on one surface 11b is slightly smaller than that of the center electrode 21 of the first embodiment. Further, the annular outer peripheral electrode arranged concentrically with the center electrode 41 is electrically separated into two in the radial direction via the annular gap 44 , a first outer peripheral electrode 42 and a second outer peripheral electrode. 43.

中心電極４１、第１外周電極４２及び第２外周電極４３には、給電用配線４５、４６、４７がそれぞれ接続されている。 Power supply wirings 45, 46, and 47 are connected to the center electrode 41, the first peripheral electrode 42, and the second peripheral electrode 43, respectively.

第３実施形態の霧化用振動子１０Ｃによれば、第１外周電極４２、第２外周電極４３への通電を開閉スイッチ４８、４９で制御することで、１つの霧化用振動子でその駆動域を径方向に３段階（大径、中経、小径）に切り替えることができる。なお、第３実施形態の霧化用振動子１０Ｃにおいて、第１実施形態の霧化用振動子１０Ａと同一の構成には、同一の符号を付して説明は省略する。 According to the atomizing vibrator 10C of the third embodiment, by controlling the energization of the first outer peripheral electrode 42 and the second outer peripheral electrode 43 with the open/close switches 48 and 49, one atomizing vibrator can The drive range can be switched in three stages (large diameter, medium diameter, and small diameter) in the radial direction. In addition, in the atomizing vibrator 10C of the third embodiment, the same components as those of the atomizing vibrator 10A of the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

図７は第４実施形態としての霧化用振動子１０Ｄの一方の面１１ｂ側を示す図である。第４実施形態の霧化用振動子１０Ｄは、一方の面１１ｂに設けられた電極２０Ｄに接続する給電用配線の接続を考慮したものである。具体的には、第４実施形態の霧化用振動子１０Ｄは、圧電振動子１１の一方の面１１ｂに設けられた電極２０Ｄは、円形状の電極本体を有する中心電極５１と、この中心電極５１と同心状に配置された第１外周電極５２と第２外周電極５３とを備えている。 FIG. 7 is a view showing one surface 11b side of an atomizing vibrator 10D as a fourth embodiment. The atomization vibrator 10D of the fourth embodiment takes into account the connection of the power feeding wiring to the electrode 20D provided on one surface 11b. Specifically, in the atomizing vibrator 10D of the fourth embodiment, the electrode 20D provided on one surface 11b of the piezoelectric vibrator 11 includes a center electrode 51 having a circular electrode main body and a It has a first peripheral electrode 52 and a second peripheral electrode 53 arranged concentrically with 51 .

中心電極５１は、給電用配線５４を接続するための接続片５１Ａが電極本体から径方向に圧電振動子１１の外縁まで延出している。第１外周電極５２は、接続片５１Ａとの電気的な絶縁を図るため、環状部の一部が径方向に切り欠かれた切欠部５２Ｂを備えている。また、第２外周電極５３は、後述する接続片５２Ａとの電気的な絶縁を図るため、第１外周電極５２の切欠部５２Ｂよりも大きな幅で環状部の一部が径方向に切り欠かれた切欠部５３Ａを備えている。なお、第１外周電極５２及び第２外周電極５３のように、環状部の一部が径方向に切り欠かれていても、全体として円環状を呈していれば、本発明の円環状の外周電極に含まれる。 The center electrode 51 has a connection piece 51A for connecting the power supply wiring 54 extending radially from the electrode body to the outer edge of the piezoelectric vibrator 11 . The first peripheral electrode 52 has a notch portion 52B formed by cutting out a part of the annular portion in the radial direction for electrical insulation from the connection piece 51A. Further, in order to electrically insulate the second peripheral electrode 53 from a connection piece 52A, which will be described later, a portion of the annular portion of the second peripheral electrode 53 is notched in the radial direction with a width larger than that of the notch 52B of the first peripheral electrode 52. It has a notch 53A. Even if a part of the annular portion is notched in the radial direction as in the case of the first peripheral electrode 52 and the second peripheral electrode 53, the annular outer periphery of the present invention can be formed as long as the overall annular shape is exhibited. Included in the electrode.

第１外周電極５２の切欠部５２Ｂの端部には、給電用配線５５を接続するための接続片５２Ａが径方向に圧電振動子１１の外縁まで延出している。中心電極５１の接続片５１Ａ、第１外周電極５２の接続片５２Ａ及び第２外周電極５３の切欠部５３Ａの近傍には、給電用配線５４、５５、５６がそれぞれ接続されている。 A connection piece 52A for connecting the power supply wiring 55 extends radially to the outer edge of the piezoelectric vibrator 11 at the end of the notch 52B of the first outer peripheral electrode 52 . Power supply wirings 54, 55, and 56 are connected in the vicinity of the connection piece 51A of the center electrode 51, the connection piece 52A of the first peripheral electrode 52, and the notch 53A of the second peripheral electrode 53, respectively.

このように、第４実施形態の霧化用振動子１０Ｄによれば、一方の面１１ｂに設けられた電極２０Ｄへの給電用配線５４、５５、５６を一か所にまとめることができる利点がある。なお、第４実施形態の霧化用振動子１０Ｄにおいて、第３実施形態の霧化用振動子１０Ｃと同一の構成には、同一の符号を付して説明は省略する。 As described above, according to the atomization vibrator 10D of the fourth embodiment, there is an advantage that the power supply wirings 54, 55, and 56 to the electrode 20D provided on one surface 11b can be gathered in one place. be. In addition, in the atomizing vibrator 10D of the fourth embodiment, the same components as those of the atomizing vibrator 10C of the third embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

上述した各実施の形態においては、中心電極の中心を、圧電振動子１１の中心に設けたものを例示したが、中心電極の中心は、圧電振動子１１の中心と必ずしも一致している必要はなく、外周電極が中心電極と電気的に分離した状態で、当該中心電極の周囲を取り囲むものであればよい。すなわち、中心電極の中心は、圧電振動子の面内中心に対して偏心して配置され、外周電極がこの中心電極の外周を取り囲むように配置することで、中心電極の偏心に伴い、圧電振動子の面内中心に対して偏心したものとしてもよい。 In each of the above-described embodiments, the center of the center electrode is provided at the center of the piezoelectric vibrator 11, but the center of the center electrode does not necessarily coincide with the center of the piezoelectric vibrator 11. Instead, it is sufficient that the peripheral electrode surrounds the center electrode while being electrically separated from the center electrode. That is, the center of the center electrode is arranged eccentrically with respect to the in-plane center of the piezoelectric vibrator, and the peripheral electrode is arranged so as to surround the periphery of the center electrode. may be eccentric with respect to the in-plane center.

中心電極及び外周電極を偏心して配置した例を図８～図１１に示す。各図に示す中心電極及び外周電極は、図５に示した第２実施形態の霧化用振動子１０Ｂの中心電極３１と外周電極３２とを、圧電振動子１１の一方の面１１ｂの面内中心Ｐ１に対して偏心したものである。具体的に、図８は、外周電極３２の直径を１００％としたときに中心電極３１の中心Ｐ２を、圧電振動子１１の面内中心Ｐ１から、接続片３１Ａが形成された方向に３％偏心したものを示す。図９は、同様に、中心電極３１の中心Ｐ２を接続片３１Ａが形成された方向とは反対に３％偏心したもの、図１０は中心電極３１の中心Ｐ２を接続片３１Ａが形成された方向とは反対方向に６％偏心したもの、図１１は、中心電極３１の中心Ｐ２を接続片３１Ａが形成された方向とは反対方向に最大限、偏心したものを示す。 8 to 11 show examples in which the central electrode and the peripheral electrode are arranged eccentrically. The center electrode and the peripheral electrode shown in each figure are arranged so that the center electrode 31 and the peripheral electrode 32 of the atomizing vibrator 10B of the second embodiment shown in FIG. It is eccentric with respect to the center P1. Specifically, in FIG. 8, when the diameter of the outer peripheral electrode 32 is 100%, the center P2 of the center electrode 31 is 3% from the in-plane center P1 of the piezoelectric vibrator 11 in the direction in which the connecting piece 31A is formed. Indicates eccentricity. 9, the center P2 of the center electrode 31 is similarly eccentric by 3% opposite to the direction in which the connecting piece 31A is formed, and FIG. FIG. 11 shows the maximum eccentricity of the center P2 of the center electrode 31 in the direction opposite to the direction in which the connecting piece 31A is formed.

また、上述した実施形態において、外周電極は、１つ又は２つ設けられているが、本発明は、これに限定されない。すなわち、外周電極は、中心電極側から順に配置される第１外周電極～第ｎ外周電極（ｎ≧２の整数。）からなり、第１外周電極～第ｎ外周電極は、同一面内においてその内側に隣接して位置する外周電極を取り囲むように離間配置されたものとしてもよい。これにより、外周電極を構成する各電極は中心電極の外周を順に、層状に取り囲まれる。 Moreover, although one or two peripheral electrodes are provided in the above-described embodiments, the present invention is not limited to this. That is, the outer peripheral electrode is composed of a first outer peripheral electrode to an n-th outer peripheral electrode (an integer of n≧2) arranged in order from the center electrode side, and the first outer peripheral electrode to the n-th outer peripheral electrode are arranged in the same plane. It may be spaced apart so as to surround the peripheral electrode located adjacent to the inner side. As a result, the electrodes forming the outer peripheral electrode surround the outer periphery of the central electrode in a layered manner.

いずれの場合であっても、最も外側に位置する第ｎ外周電極（外周電極２２、３２、４３、５３）の外径は、圧電振動子１１の他方の面１１ａに設けられた電極１２の外径と等しいか、それ以下であることが好ましい。 In any case, the outer diameter of the outermost n-th peripheral electrode (peripheral electrodes 22, 32, 43, 53) It is preferably equal to or less than the diameter.

また、各実施の形態において、中心電極と外周電極との間隔、及び、外周電極同士の間隔は、電気的な絶縁ができる距離であれば特に限定されないが、圧電振動子１１に圧電効果を生じさせる点からは当該間隔は狭いほど好ましい。 In each embodiment, the distance between the central electrode and the outer peripheral electrode and the distance between the outer peripheral electrodes are not particularly limited as long as they are distances that allow electrical insulation. From the point of view of making the distance smaller, the narrower the distance, the better.

次に、図１を参照して、本実施の形態の霧化ユニット３について説明する。霧化ユニット３は、霧化用振動子１０と、霧化用振動子１０を駆動する駆動部６０を備えている。駆動部６０は、霧化用振動子１０の電極１２、２０へ高周波駆動信号を出力するもので、制御部６と、高周波発振部７と、開閉スイッチ２７（４８、４９）を有するスイッチ部８とを備えている。 Next, the atomization unit 3 of this embodiment will be described with reference to FIG. The atomization unit 3 includes an atomization vibrator 10 and a drive section 60 that drives the atomization vibrator 10 . The drive unit 60 outputs a high-frequency drive signal to the electrodes 12 and 20 of the atomizing vibrator 10, and includes a control unit 6, a high-frequency oscillation unit 7, and a switch unit 8 having open/close switches 27 (48, 49). and

制御部６は液位センサ５が接続されており、液位センサ５からの出力に基づき、スイッチ部８の開閉スイッチ２７（４８、４９）の「閉（ＯＮ）」、「開（ＯＦＦ）」を切り替える指令信号をスイッチ部８へ出力する。 The control unit 6 is connected to the liquid level sensor 5, and based on the output from the liquid level sensor 5, the opening/closing switches 27 (48, 49) of the switch unit 8 are "closed (ON)" and "opened (OFF)." to the switch unit 8.

高周波発振部７は、不図示の外部電源（例えば５０Ｈｚの商用電源）に接続され、外部電源から高周波駆動信号を生成して、霧化用振動子１０の電極１２、２０へ出力する。 The high-frequency oscillator 7 is connected to an external power supply (eg, commercial power supply of 50 Hz) (not shown), generates a high-frequency drive signal from the external power supply, and outputs the signal to the electrodes 12 and 20 of the atomization vibrator 10 .

スイッチ部８においては、制御部６からの指令信号に基づき、開閉スイッチ２７（４８、４９）が「閉（ＯＮ）」、「開（ＯＦＦ）」のいずれかに切り替えられる。上述した第１実施形態の霧化用振動子１０Ａと第２実施形態の霧化用振動子１０Ｂを用いた霧化ユニット３の場合、開閉スイッチ２７が「開（ＯＦＦ）」のときは、高周波発振部７から出力される高周波駆動信号が、中心電極２１又は中心電極３１のみに供給される。上述した第３実施形態の霧化用振動子１０Ｃと第４実施形態の霧化用振動子１０Ｄを用いた霧化ユニット３の場合、開閉スイッチ４８、４９が「開（ＯＦＦ）」のときは、高周波発振部７から出力される高周波駆動信号が、中心電極４１又は５１のみに供給される。そして、開閉スイッチ４９のみが「開（ＯＦＦ）」のときは、高周波発振部７から出力される高周波駆動信号が、中心電極４１又は５１と、第１外周電極４２又は５２のみに供給される。なお、図１において、高周波発振部７から霧化用振動子１０の電極１２への給電用配線は不図示とした。 In the switch unit 8, based on the command signal from the control unit 6, the open/close switches 27 (48, 49) are switched to either "closed (ON)" or "opened (OFF)". In the case of the atomization unit 3 using the atomization vibrator 10A of the first embodiment and the atomization vibrator 10B of the second embodiment, when the open/close switch 27 is "open (OFF)", the high frequency A high-frequency drive signal output from the oscillator 7 is supplied only to the center electrode 21 or the center electrode 31 . In the case of the atomization unit 3 using the atomization transducer 10C of the third embodiment and the atomization transducer 10D of the fourth embodiment, when the open/close switches 48 and 49 are "open (OFF)" , the high-frequency drive signal output from the high-frequency oscillator 7 is supplied only to the center electrode 41 or 51 . When only the open/close switch 49 is "open (OFF)", the high frequency drive signal output from the high frequency oscillator 7 is supplied only to the center electrode 41 or 51 and the first peripheral electrode 42 or 52 . In FIG. 1, the wiring for power supply from the high frequency oscillator 7 to the electrode 12 of the atomizing vibrator 10 is not shown.

霧化用振動子１０による霧化用液体Ｗの霧化量は、圧電振動子１１の他方の面１１ａから霧化用液体Ｗの液面までの距離、すなわち、貯液タンク２の液位によって変動する。図１２に第１実施形態の霧化用振動子１０Ａにおいて、中心電極２１のみに通電した場合と、中心電極２１と外周電極２２の双方に通電した場合の液位に対する霧化量の変化を示す。図１２において破線は中心電極２１のみに通電した場合を示し、実線は中心電極２１と外周電極２２の双方に通電した場合を示す。 The atomization amount of the atomizing liquid W by the atomizing vibrator 10 depends on the distance from the other surface 11a of the piezoelectric vibrator 11 to the liquid surface of the atomizing liquid W, that is, the liquid level of the liquid storage tank 2. fluctuate. FIG. 12 shows changes in the atomization amount with respect to the liquid level when only the central electrode 21 is energized and when both the central electrode 21 and the peripheral electrode 22 are energized in the atomizing vibrator 10A of the first embodiment. . In FIG. 12, the dashed line shows the case where only the center electrode 21 is energized, and the solid line shows the case where both the center electrode 21 and the peripheral electrode 22 are energized.

図１２から霧化用振動子１０においては、通電される電極径によって、霧化量のピークを示す液位が異なることが分かる。霧化用振動子１０は、中心電極２１と外周電極２２の双方に通電する（通電する電極径が大きい）と、比較的高い液位で霧化量がピークとなり、中心電極２１のみに通電する（通電する電極径が小さい）と、比較的低い液位で霧化量がピークとなる。また、中心電極２１と外周電極２２の双方に通電したときの霧化量と中心電極２１のみに通電したときの霧化量が、液位Ｌ（例えば５０ｍｍ）を境に逆転する。 From FIG. 12, it can be seen that in the atomizing vibrator 10, the liquid level indicating the peak of the atomization amount varies depending on the diameter of the electrode to which the current is applied. In the atomizing vibrator 10, when both the central electrode 21 and the peripheral electrode 22 are energized (the diameter of the electrode to be energized is large), the atomization amount peaks at a relatively high liquid level, and only the central electrode 21 is energized. When the diameter of the electrode to be energized is small, the atomization amount peaks at a relatively low liquid level. Further, the atomization amount when both the center electrode 21 and the peripheral electrode 22 are energized and the atomization amount when only the center electrode 21 is energized reverse at the liquid level L (for example, 50 mm).

そこで、本実施の形態では、貯液タンク２の液位Ｌ（例えば５０ｍｍ）をしきい値とし、液位センサ５からの出力に基づき、制御部６が霧化用振動子１０の電極２０Ａへの通電を段階的に切り替える。具体的には、制御部６は、液位センサ５からの出力に基づき霧化に伴い貯液タンク２の液位がしきい値Ｌとなったときに、外周電極２２への通電を停止する。 Therefore, in the present embodiment, the liquid level L (for example, 50 mm) of the liquid storage tank 2 is used as a threshold value, and based on the output from the liquid level sensor 5, the controller 6 controls the electrode 20A of the atomization vibrator 10. energization is switched step by step. Specifically, the controller 6 stops energizing the outer electrode 22 when the liquid level in the liquid storage tank 2 reaches the threshold value L due to atomization based on the output from the liquid level sensor 5 . .

次に、第１実施形態の霧化用振動子１０Ａを用いた霧化装置１の実施形態を図１３を参照して説明する。本実施形態において、液位センサ５により検出された貯液タンク２の液位がしきい値Ｌを超えている場合の霧化モードを、「高液位モード」とし、貯液タンク２の液位がしきい値Ｌ以下となった場合の霧化モードを、「低液位モード」とする。この霧化モードの切替は、液位センサ５からの出力に基づき、制御部６によって行われる。 Next, an embodiment of the atomization device 1 using the atomization vibrator 10A of the first embodiment will be described with reference to FIG. In the present embodiment, the atomization mode when the liquid level in the liquid storage tank 2 detected by the liquid level sensor 5 exceeds the threshold value L is defined as the "high liquid level mode". The atomization mode when the liquid level is equal to or lower than the threshold value L is defined as "low liquid level mode". This switching of the atomization mode is performed by the controller 6 based on the output from the liquid level sensor 5 .

「高液位モード」においては、液位センサ５からの出力に基づき、制御部６は、スイッチ部８の開閉スイッチ２７を「閉（ＯＮ）」状態とする。高周波発振部７は、スイッチ部８を介して高周波駆動信号を中心電極２１と外周電極２２の双方に出力する。これにより、霧化用振動子１０Ａは、高液位に応じた好適な霧化を行うことができる。 In the "high liquid level mode", based on the output from the liquid level sensor 5, the control section 6 brings the open/close switch 27 of the switch section 8 into the "closed (ON)" state. The high-frequency oscillator 7 outputs a high-frequency drive signal to both the center electrode 21 and the peripheral electrode 22 via the switch section 8 . Thereby, the atomizing vibrator 10A can perform suitable atomization according to the high liquid level.

霧化に伴い霧化用液体Ｗが消費され、貯液タンク２内の霧化用液体Ｗの液位が低下してしきい値Ｌになると、液位センサ５からの出力に基づき、霧化モードが「高液位モード」から「低液位モード」へ切り替えられる。 As the atomization liquid W is consumed with the atomization, and the liquid level of the atomization liquid W in the liquid storage tank 2 decreases to reach the threshold value L, atomization is started based on the output from the liquid level sensor 5. The mode is switched from "high level mode" to "low level mode".

「低液位モード」においては、液位センサ５からの出力に基づき、制御部６は、スイッチ部８の開閉スイッチ２７を「開（ＯＦＦ）」の状態とする。高周波発振部７は、スイッチ部８を介して高周波駆動信号を中心電極２１のみに出力する。これにより、霧化用振動子１０Ａは、低液位に応じた好適な霧化を行うことができる。なお、「低液位モード」において、霧化用液体Ｗを補充して、貯液タンク２の液位がしきい値Ｌを超えると、「高液位モード」へ切り替えられ、高周波発振部７は、スイッチ部８を介して高周波駆動信号を中心電極２１と外周電極２２の双方に出力する。 In the "low liquid level mode", based on the output from the liquid level sensor 5, the control section 6 turns the open/close switch 27 of the switch section 8 to the "open (OFF)" state. High-frequency oscillator 7 outputs a high-frequency drive signal only to center electrode 21 via switch 8 . Thereby, the atomization vibrator 10A can perform suitable atomization according to the low liquid level. In the "low liquid level mode", when the atomizing liquid W is replenished and the liquid level in the liquid storage tank 2 exceeds the threshold value L, the mode is switched to the "high liquid level mode" and the high frequency oscillator 7 outputs a high-frequency drive signal to both the central electrode 21 and the peripheral electrode 22 via the switch section 8 .

以上説明したように、本実施の形態の霧化装置１によれば、貯液タンク２の液位がしきい値Ｌ以下になると、外周電極２２への通電を停止して、中心電極２１のみに通電するため、液位に応じて好適な霧化が実現できる。このため、霧化に伴い貯液タンク２の液位が大きく低下しても、霧化量の減少を一定の範囲内に抑えることができ、補充タンクを要することなく、安定した霧化が実現できる。 As described above, according to the atomization device 1 of the present embodiment, when the liquid level in the liquid storage tank 2 becomes equal to or lower than the threshold value L, the energization of the peripheral electrode 22 is stopped and only the center electrode 21 is is energized, suitable atomization can be realized according to the liquid level. Therefore, even if the liquid level in the liquid storage tank 2 drops significantly due to atomization, the decrease in the atomization amount can be suppressed within a certain range, and stable atomization is realized without the need for a replenishment tank. can.

上述した実施形態では、「高液位モード」と「低液位モード」の２つの霧化モードを設定し、１つの霧化用振動子で通電する電極径を液位に応じて２段階に切り替えて、液位に応じた霧化を実現している。図１４は、「高液位モード」、「中液位モード」及び「低液位モード」の３つの霧化モードにおける液位に対する霧化量の変化を示す図である。第３（第４）実施形態のように、第１外周電極４２（５２）及び第２外周電極４３（５３）の２つの外周電極を備えた霧化用振動子１０Ｃ（１０Ｄ）を用いた場合は、「高液位モード」、「中液位モード」及び「低液位モード」の３つの霧化モードを設定することができる。 In the above-described embodiment, two atomization modes, "high liquid level mode" and "low liquid level mode", are set, and the diameter of the electrode energized by one atomizing vibrator is set in two stages according to the liquid level. By switching, atomization according to the liquid level is realized. FIG. 14 is a diagram showing changes in the atomization amount with respect to the liquid level in three atomization modes of "high liquid level mode", "middle liquid level mode" and "low liquid level mode". When using the atomizing vibrator 10C (10D) provided with two outer peripheral electrodes, the first outer peripheral electrode 42 (52) and the second outer peripheral electrode 43 (53), as in the third (fourth) embodiment can set three atomization modes: "high liquid level mode", "middle liquid level mode" and "low liquid level mode".

「高液位モード」では、中心電極４１（５１）、第１外周電極４２（５２）及び第２外周電極４３（５３）へ通電する。「中液位モード」では、第２外周電極４３（５３）への通電を停止し、中心電極４１（５１）及び第１外周電極４２（５２）へ通電する。「低液位モード」では、第１外周電極４２（５２）及び第２外周電極４３（５３）への通電を停止し、中心電極４１（５１）のみに通電する。 In the "high liquid level mode", the central electrode 41 (51), the first peripheral electrode 42 (52), and the second peripheral electrode 43 (53) are energized. In the "middle liquid level mode", the energization to the second peripheral electrode 43 (53) is stopped, and the energization to the center electrode 41 (51) and the first peripheral electrode 42 (52) is carried out. In the "low liquid level mode", the energization to the first outer peripheral electrode 42 (52) and the second outer peripheral electrode 43 (53) is stopped, and only the central electrode 41 (51) is energized.

そして、貯液タンク２の液位が第１しきい値Ｌ１となったときに、「高液位モード」から「中液位モード」へ切り替え、貯液タンク２の液位が第１しきい値よりも低い第２しきい値Ｌ２となったときに、「中液位モード」から「低液位モード」へ切り替える。なお、この実施の形態においては、スイッチ部８は、図６及び図７に示されるように、開閉スイッチ４８、４９の２つのスイッチで構成される。 Then, when the liquid level in the liquid storage tank 2 reaches the first threshold value L1, the "high liquid level mode" is switched to the "middle liquid level mode" so that the liquid level in the liquid storage tank 2 reaches the first threshold value. When the second threshold value L2 lower than the value is reached, the "middle liquid level mode" is switched to the "low liquid level mode". In this embodiment, the switch section 8 is composed of two switches 48 and 49, as shown in FIGS.

この実施の形態によれば、図１４から明らかなように、それぞれの液位に応じて好適な霧化が実現できる。 According to this embodiment, as is clear from FIG. 14, suitable atomization can be realized according to each liquid level.

本発明に係る霧化用振動子、霧化ユニット、霧化装置及び霧化装置の駆動方法は、補助タンクのない霧化装置に限定されず、補助タンクを備えた霧化装置に使用してもよい。本発明によれば、補助タンクを備えた霧化装置にあっては、補助タンクが空になった後において、貯液タンクの液位に応じて好適な霧化が実現できる。 The atomization vibrator, atomization unit, atomization device, and method of driving an atomization device according to the present invention are not limited to atomization devices without auxiliary tanks, and can be used in atomization devices with auxiliary tanks. good too. According to the present invention, in the atomization device provided with the auxiliary tank, suitable atomization can be achieved according to the liquid level in the liquid storage tank after the auxiliary tank has been emptied.

本発明に係る霧化用振動子は、貯液タンクの液位に応じて好適な霧化が実現できるため、貯液タンクの液位を一定に保つための補充タンクを設けていない霧化装置において特に有用である。 Since the atomizing vibrator according to the present invention can realize suitable atomization according to the liquid level in the liquid storage tank, the atomization device does not have a replenishment tank for keeping the liquid level in the liquid storage tank constant. It is particularly useful in

Ｗ 霧化用液体
１ 霧化装置
２ 貯液タンク
２Ａ 底面
３ 霧化ユニット
５ 液位センサ（液位検出手段）
６ 制御部
７ 高周波発振部
１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ 霧化用振動子
１１ 圧電振動子
１１ａ 他方の面
１１ｂ 一方の面
１２ 電極（他方の面側）
１２Ａ 接続部
２０、２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄ 電極（一方の面側）
２１ 中心電極（第１実施形態）
２２ 外周電極（第１実施形態）
２３、４４ 隙間部
２４、２５、２６、３３、３４、４５、４６、４７、５４、５５、５６ 給電用配線
２７、４８、４９ 開閉スイッチ
３１ 中心電極（第２実施形態）
３１Ａ、５１Ａ、５２Ａ 接続片
３２ 外周電極（第２実施形態）
３２Ａ、５２Ｂ、５３Ａ 切欠部
４１ 中心電極（第３実施形態）
４２ 第１外周電極（第３実施形態）
４３ 第２外周電極（第３実施形態）
５１ 中心電極（第４実施形態）
５２ 第１外周電極（第４実施形態）
５３ 第２外周電極（第４実施形態）
６０ 駆動部W liquid for atomization 1 atomization device 2 liquid storage tank 2A bottom surface 3 atomization unit 5 liquid level sensor (liquid level detection means)
6 control section 7 high frequency oscillation section 10, 10A, 10B, 10C, 10D atomizing vibrator 11 piezoelectric vibrator 11a other surface 11b one surface 12 electrode (other surface side)
12A connection part 20, 20A, 20B, 20C, 20D electrode (one side)
21 center electrode (first embodiment)
22 Peripheral electrode (first embodiment)
23, 44 Gap 24, 25, 26, 33, 34, 45, 46, 47, 54, 55, 56 Wiring for power supply 27, 48, 49 Opening/closing switch 31 Center electrode (second embodiment)
31A, 51A, 52A connection piece 32 peripheral electrode (second embodiment)
32A, 52B, 53A Notch 41 Center electrode (third embodiment)
42 first peripheral electrode (third embodiment)
43 second peripheral electrode (third embodiment)
51 center electrode (fourth embodiment)
52 first peripheral electrode (fourth embodiment)
53 Second peripheral electrode (fourth embodiment)
60 drive

Claims (11)

板状の圧電振動子と、前記圧電振動子の一方の面と他方の面のそれぞれに設けられ、電気的に分離された電極とを備えた霧化用振動子と、前記霧化用振動子を駆動する駆動部とを備え、
前記圧電振動子の前記一方の面に設けられた電極が、前記圧電振動子の中央部に配置された中心電極と、前記中心電極の外周を取り囲み、前記中心電極と電気的に分離して配置された環状の外周電極とを有し、
前記駆動部は、前記外周電極への通電をＯＮ・ＯＦＦするスイッチ部と、貯液タンクの液位を検出する液位検出手段からの出力信号に基づいて、前記スイッチ部のＯＮ・ＯＦＦを切り替えて、前記中心電極及び前記外周電極で覆われた領域から前記中心電極で覆われた中央領域に駆動域を切り替える制御部とを備えたことを特徴とする霧化ユニット。 an atomizing vibrator comprising a plate-shaped piezoelectric vibrator and electrically separated electrodes provided on one surface and the other surface of the piezoelectric vibrator ; and the atomizing vibrator. and a drive unit for driving the
The electrode provided on the one surface of the piezoelectric vibrator surrounds the center electrode disposed in the central portion of the piezoelectric vibrator and the outer periphery of the center electrode, and is electrically separated from the center electrode. and an annular peripheral electrode ,
The drive unit switches ON/OFF of the switch unit based on an output signal from a switch unit that turns ON/OFF the energization to the outer peripheral electrode and a liquid level detection means that detects the liquid level of the liquid storage tank. and a control section for switching a drive range from a region covered by the center electrode and the peripheral electrode to a central region covered by the center electrode . 前記外周電極は、環状の隙間部を介して、少なくとも２つ以上の環状の電極に電気的に分離されており、
前記駆動部は、前記中心電極への通電を維持し、且つ前記複数の外周電極のそれぞれに対応して設けられ、当該対応した外周電極への通電をＯＮ・ＯＦＦするスイッチ部と、貯液タンクの液位を検出する液位検出手段からの出力信号に基づいて、前記スイッチ部のＯＮ・ＯＦＦを切り替える制御部とを備えたことを特徴とする請求項１に記載の霧化ユニット。 The peripheral electrode is electrically separated into at least two or more annular electrodes via an annular gap ,
The drive unit maintains the energization of the center electrode and is provided corresponding to each of the plurality of outer peripheral electrodes to turn ON/OFF the energization of the corresponding outer peripheral electrode, and a liquid storage tank. 2. The atomization unit according to claim 1, further comprising a control section for switching between ON and OFF of said switch section based on an output signal from a liquid level detecting means for detecting the liquid level of said liquid. 円板状の圧電振動子と、前記圧電振動子の一方の面と他方の面のそれぞれに設けられ、電気的に分離された円形状の電極とを備えた霧化用振動子と、前記霧化用振動子を駆動する駆動部とを備え、
前記圧電振動子の前記一方の面に設けられた電極が、前記圧電振動子の中央部に配置された中心電極と、前記中心電極と同心状に、且つ電気的に分離して配置された円環状の外周電極とを有し、
前記駆動部は、前記外周電極への通電をＯＮ・ＯＦＦするスイッチ部と、貯液タンクの液位を検出する液位検出手段からの出力信号に基づいて、前記スイッチ部のＯＮ・ＯＦＦを切り替えて、前記中心電極及び前記外周電極で覆われた領域から前記中心電極で覆われた中央領域に駆動域を切り替える制御部とを備えたことを特徴とする霧化ユニット。 an atomizing vibrator comprising a disc-shaped piezoelectric vibrator and electrically separated circular electrodes provided on one surface and the other surface of the piezoelectric vibrator ; and a driving unit for driving the synchronizing oscillator,
The electrodes provided on the one surface of the piezoelectric vibrator are a circle arranged concentrically with and electrically separated from the central electrode arranged in the central portion of the piezoelectric vibrator. an annular peripheral electrode ;
The drive unit switches ON/OFF of the switch unit based on an output signal from a switch unit that turns ON/OFF the energization to the outer peripheral electrode and a liquid level detection means that detects the liquid level of the liquid storage tank. and a control section for switching a drive range from a region covered by the center electrode and the peripheral electrode to a central region covered by the center electrode . 前記外周電極は、同心状に設けられた円環状の隙間部を介して、少なくとも２つ以上の円環状の電極に電気的に分離されており、
前記駆動部は、前記中心電極への通電を維持し、且つ前記複数の外周電極のそれぞれに対応して設けられ、当該対応した外周電極への通電をＯＮ・ＯＦＦするスイッチ部と、貯液タンクの液位を検出する液位検出手段からの出力信号に基づいて、前記スイッチ部のＯＮ・ＯＦＦを切り替える制御部とを備えたことを特徴とする請求項３に記載の霧化ユニット。 The peripheral electrode is electrically separated into at least two or more annular electrodes via a concentrically provided annular gap ,
The drive unit maintains the energization of the center electrode and is provided corresponding to each of the plurality of outer peripheral electrodes to turn ON/OFF the energization of the corresponding outer peripheral electrode, and a liquid storage tank. 4. The atomization unit according to claim 3, further comprising a control section for switching between ON and OFF of said switch section based on an output signal from a liquid level detecting means for detecting the liquid level of said liquid . 板状の圧電振動子と、前記圧電振動子の一方の面と他方の面のそれぞれに設けられ、電気的に分離された電極とを備えた霧化用振動子と、前記霧化用振動子を駆動する駆動部とを備え、
前記圧電振動子の前記一方の面に設けられた電極が、前記圧電振動子の当該一方の面内の中心に対して偏心して配置された中心電極と、前記中心電極の外周を取り囲み、前記中心電極と電気的に分離して配置された環状の外周電極とを有し、
前記駆動部は、前記外周電極への通電をＯＮ・ＯＦＦするスイッチ部と、貯液タンクの液位を検出する液位検出手段からの出力信号に基づいて、前記スイッチ部のＯＮ・ＯＦＦを切り替えて、前記中心電極及び前記外周電極で覆われた領域から前記中心電極で覆われた中央領域に駆動域を切り替える制御部とを備えたことを特徴とする霧化ユニット。 an atomizing vibrator comprising a plate-shaped piezoelectric vibrator and electrically separated electrodes provided on one surface and the other surface of the piezoelectric vibrator ; and the atomizing vibrator. and a drive unit for driving the
The electrodes provided on the one surface of the piezoelectric vibrator include a center electrode arranged eccentrically with respect to the center of the one surface of the piezoelectric vibrator, and a center electrode surrounding the outer periphery of the center electrode and the center. having an annular peripheral electrode electrically separated from the electrode;
The drive unit switches ON/OFF of the switch unit based on an output signal from a switch unit that turns ON/OFF the energization to the outer peripheral electrode and a liquid level detection means that detects the liquid level of the liquid storage tank. and a control section for switching a drive range from a region covered by the center electrode and the peripheral electrode to a central region covered by the center electrode . 前記圧電振動子が円板状であることを特徴とする請求項５に記載の霧化ユニット。 6. The atomization unit according to claim 5, wherein the piezoelectric vibrator is disc-shaped. 前記外周電極は、隙間部を介して、前記中心電極の外周を順に、層状に取り囲む少なくとも２つ以上の電極に電気的に分離されており、
前記駆動部は、前記中心電極への通電を維持し、且つ前記複数の外周電極のそれぞれに対応して設けられ、当該対応した外周電極への通電をＯＮ・ＯＦＦするスイッチ部と、貯液タンクの液位を検出する液位検出手段からの出力信号に基づいて、前記スイッチ部のＯＮ・ＯＦＦを切り替える制御部とを備えたことを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の霧化ユニット。 The outer peripheral electrode is electrically separated into at least two or more electrodes surrounding the outer periphery of the central electrode in a layered manner through a gap ,
The drive unit maintains the energization of the center electrode and is provided corresponding to each of the plurality of outer peripheral electrodes to turn ON/OFF the energization of the corresponding outer peripheral electrode, and a liquid storage tank. 7. The atomization according to claim 5, further comprising a control section for switching between ON and OFF of the switch section based on an output signal from liquid level detection means for detecting the liquid level of the unit. 請求項１、請求項３、請求項５又は請求項６のいずれか一項に記載の霧化ユニットと、霧化用液体を貯留する貯液タンクと、前記貯液タンクの液位を検出する液位検出手段とを備えた霧化装置において、
前記霧化用振動子は、前記貯液タンクの底部に設置され、
前記制御部は、前記液位検出手段からの出力信号に基づいて、前記貯液タンクの液位が所定値まで低下したときに、前記スイッチ部をＯＮからＯＦＦに切り替えることを特徴とする霧化装置。 An atomization unit according to any one of claims 1, 3, 5, or 6, a liquid storage tank for storing the liquid for atomization, and detecting the liquid level of the liquid storage tank. In an atomization device comprising liquid level detection means,
The atomization vibrator is installed at the bottom of the liquid storage tank,
The control unit switches the switch unit from ON to OFF based on the output signal from the liquid level detection means, when the liquid level in the liquid storage tank drops to a predetermined value. Device. 請求項２、請求項４又は請求項７のいずれか一項に記載の霧化ユニットと、霧化用液体を貯留する貯液タンクと、前記貯液タンクの液位を検出する液位検出手段とを備えた霧化装置において、
前記霧化用振動子は、前記貯液タンクの底部に設置され、
前記制御部は、前記液位検出手段からの出力信号に基づいて、前記貯液タンクの液位が低下するにしたがって、前記スイッチ部をＯＮからＯＦＦに切り替えた外周電極を中央部へ向けて段階的に増加させることを特徴とする霧化装置。 An atomization unit according to any one of claims 2, 4, or 7, a liquid storage tank for storing the liquid for atomization, and liquid level detection means for detecting the liquid level of the liquid storage tank. In an atomization device comprising
The atomization vibrator is installed at the bottom of the liquid storage tank,
Based on the output signal from the liquid level detection means, the control section gradually turns the outer peripheral electrode, which has been switched from ON to OFF, toward the center as the liquid level in the liquid storage tank decreases. An atomization device characterized in that it increases exponentially. 請求項１、請求項３、請求項５又は請求項６のいずれか一項に記載の霧化ユニットに用いる霧化用振動子が、霧化用液体を貯留する貯液タンクの底部に設置された霧化装置の駆動方法であって、
前記貯液タンクの液位が所定値まで低下したときに、前記外周電極への通電を停止することを特徴とする霧化装置の駆動方法。 An atomizing vibrator used in the atomizing unit according to any one of claims 1, 3, 5, and 6 is installed at the bottom of a liquid storage tank that stores the atomizing liquid. A method for driving an atomization device comprising:
A method of driving an atomizing device, wherein the power supply to the peripheral electrode is stopped when the liquid level in the liquid storage tank drops to a predetermined value. 請求項２、請求項４又は請求項７のいずれか一項に記載の霧化ユニットに用いる霧化用振動子が、霧化用液体を貯留する貯液タンクの底部に設置された霧化装置の駆動方法であって、
前記貯液タンクの液位が低下するにしたがって、通電が停止される外周電極を中央部へ向けて段階的に増加させることを特徴とする霧化装置の駆動方法。 An atomization device, wherein the atomization vibrator used in the atomization unit according to any one of claims 2, 4 and 7 is installed at the bottom of a liquid storage tank for storing the atomization liquid. A driving method of
A method of driving an atomization device, wherein the number of peripheral electrodes to which energization is stopped is increased stepwise toward the central portion as the liquid level in the liquid storage tank decreases.
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