JP7227542B2 - 光変調器の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の光変調器の製造方法で製造対象となる光変調器の一例に係る半導体偏波多重型光I/Q変調器(以下、偏波多重型光I/Q変調器とする)10の機能構成を示した概略図である。図1(A)は偏波多重型光I/Q変調器10の上面方向からの平面図である。図1(B)は偏波多重型光I/Q変調器10を片偏波I/Q変調器10a、10bとして2分割した想定を模式化した平面図である。図1(C)は偏波多重型光I/Q変調器10におけるMMI導波路3のX偏波、Y偏波に関する存在箇所を説明するために示したライン分けの平面図である。
Claims (8)
- 半導体基板上に形成された多モード干渉導波路を有するマッハ・ツェンダ型の光変調器の製造方法であって、
前記光変調器のチップ内に存在する前記多モード干渉導波路を加工するために用いる導波路加工用マスク幅を少なくとも1箇所以上で測長するマスク幅測長ステップと、
機械学習により前記導波路加工用マスク幅と前記光変調器の光学特性との関係を解析して予め作成した当該光変調器の標本データに基づいて、前記マスク幅測長ステップで測長した当該導波路加工用マスク幅が当該標本データの許容範囲に存在するか否かによって、事前に前記チップの光学特性の良否を予測判定するチップ良否判定ステップと、
前記マスク幅測長ステップで測長した前記導波路加工用マスク幅がターゲットとなる導波路マスク幅からずれた場合、前記チップ良否判定ステップでの前記予測判定の結果で前記光学特性の否を示す頻度が予め規定した度合いに到達すると、マスク作製をし直すマスク作製し直しステップと、を有する
ことを特徴とする光変調器の製造方法。 - 前記マスク幅測長ステップは、前記光変調器のチップ内に存在する全ての段における少なくとも1箇所以上の前記導波路加工用マスク幅を測長し、
前記チップ良否判定ステップは、前記全ての段における少なくとも1箇所以上の前記導波路加工用マスク幅を用いて、前記チップの光学特性の良否を予測判定する
ことを特徴とする請求項1に記載の光変調器の製造方法。 - 前記マスク作製し直しステップは、前記導波路加工用マスク幅がターゲットとなる前記導波路マスク幅から前記チップを成すウエハ面内で10%以上のチップ数に至ってずれていれば、前記マスク作製をし直す
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の光変調器の製造方法。 - 前記チップ良否判定ステップは、前記マスク幅測長ステップで測長される前記導波路加工用マスク幅と、前記光変調器の少なくとも3波長以上の光学特性と、に基づいて、前記機械学習により前記導波路マスク幅の最適値を算出する
ことを特徴とする請求項1~3の何れか1項に記載の光変調器の製造方法。 - 前記チップ良否判定ステップは、前記導波路マスク幅の前記最適値の算出に際し、測長される前記導波路加工用マスク幅と前記光学特性とに対して、それぞれに構築した回帰モデルを用いて、交差確認法により当該光学特性の予想誤差が最小になるような当該導波路マスク幅の最適値を波長毎に推定値として推定する第1処理、当該波長毎の当該最適値の推定値を用いた場合の当該回帰モデルのパラメータの最適値の推定値を推定する第2処理、及び当該回帰モデルを用いて計算される複数の波長に対する当該光学特性の推定値の平均が最大又は最小となる当該導波路マスク幅を最適値として推定する第3処理を実施する
ことを特徴とする請求項4に記載の光変調器の製造方法。 - 前記チップ良否判定ステップは、前記光学特性を消光比、及び挿入損失の少なくとも一方とし、
前記第3処理は、前記光学特性が前記消光比であれば前記光学特性の推定値の平均が前記最大となるようにし、前記光学特性が前記挿入損失であれば前記光学特性の推定値の平均が前記最小となるようにする
ことを特徴とする請求項5に記載の光変調器の製造方法。 - 前記チップ良否判定ステップは、前記光学特性を少なくとも前記光変調器の使用波長帯の中心波長、短波長、及び長波長を含む波長データとし、
前記第3処理は、前記波長データにおける前記消光比、及び前記挿入損失の少なくとも一方が最良となる前記導波路マスク幅を最適幅として推定する
ことを特徴とする請求項6に記載の光変調器の製造方法。 - 前記光変調器として、InP、GaAs、Siから選ばれた基板材料をベースに構成されるマッハ・ツェンダ型変調器又は偏波多重型光I/Q変調器を製造対象とする
ことを特徴とする請求項1~7の何れか1項に記載の光変調器の製造方法。
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