JP7222373B2 - 構造物の検査方法および診断方法 - Google Patents

構造物の検査方法および診断方法 Download PDF

Info

Publication number
JP7222373B2
JP7222373B2 JP2020052019A JP2020052019A JP7222373B2 JP 7222373 B2 JP7222373 B2 JP 7222373B2 JP 2020052019 A JP2020052019 A JP 2020052019A JP 2020052019 A JP2020052019 A JP 2020052019A JP 7222373 B2 JP7222373 B2 JP 7222373B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
image
defective portion
thickness
healthy
ray transmission
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2020052019A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2021148755A (ja
Inventor
哲史 小路
慶晃 西名
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JFE Steel Corp
Original Assignee
JFE Steel Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by JFE Steel Corp filed Critical JFE Steel Corp
Priority to JP2020052019A priority Critical patent/JP7222373B2/ja
Publication of JP2021148755A publication Critical patent/JP2021148755A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7222373B2 publication Critical patent/JP7222373B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Description

本発明は、構造物の検査方法およびその方法を用いた構造物の診断方法に関するものである。
例えば、配管などの構造物を非破壊で検査する方法としては、被検査対象物である構造物にX線を照射してその透過X線画像から欠陥の有無を判定する方法が知られている。この検査方法は、構造物内に存在する欠陥に起因して、透過X線強度が変化することに基づき欠陥を検出するものである。しかし、対象物を透過するX線の強度は、その対象物の厚みに対して指数関数的に減衰するため、対象物が厚くなると、欠陥の有無に起因する透過X線強度の差が小さくなり、欠陥の検出が困難になる。特に、対象物の厚さが、測定範囲の中で大きく変わっている場合には、厚い部分と薄い部分の両方で、同じ測定精度を確保することが困難になる。
そこで、この問題への対策として、例えば、特許文献1には、肉厚補正治具を用いることにより、対象物の厚み変化の影響を小さくする技術が開示されている。また、特許文献2には、センサ出力値が飽和しているか否かを画素毎に判定し、その判定結果に基づいて蓄積容量を画素毎に決定することで、撮影領域全体において飽和や入出力特性が不良な出力を減らしつつ、良好なコントラストの画像を得る技術が開示されている。
特開平08-254507号公報 特開2013-062792号公報
しかしながら、特許文献1に記載の方法は、肉厚補正治具を作製して、これを測定対象物に装着する必要があり、測定に手間がかかる。また、特許文献1においても言及されているように、肉厚補正治具自体が有する欠陥などによる測定精度の低下も懸念される。また、特許文献2に記載の方法は、良好なコントラスト画像を得るのに有効であるが、画素毎に測定条件を変更するため、センサの測定条件の厳密な制御が必要であり、広範囲の測定には不向きである。また、画素間で測定結果を定量的に比較することが困難であるため、欠陥部分の厚さを定量的に評価する方法としては適用できない。
本発明は、従来技術が抱える上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、特殊な治具や、センサの画素の蓄積容量を各画素ごとに変更する等の特殊な処理を行うことなく、構造物内に存在する欠陥部を確実に検出することができる構造物の検査方法と、その方法を用いた構造物の診断方法を提案することにある。
発明者らは、上記の課題を解決するべく鋭意検討を重ねた。その結果、X線検査で得たデジタルのX線透過画像を解析し、欠陥部の存在有無を判別することに加えてさらに、上記X線透過画像に数段階の適切な画像処理を施し、欠陥部と健全部との間の平均輝度差を拡大することで、微小な欠陥でも明確に判別することが可能となることを見出し、本発明を開発するに至った。
すなわち、本発明は、検査対象である構造物にX線を照射してデジタルX線透過画像を得るステップ1と、上記デジタルX線透過画像に画像処理を施した画像と、上記デジタルX線透過画像と、から欠陥部と健全部とを判別するステップ2と、上記欠陥部と健全部の位置情報を記憶するステップ3と、上記位置情報に基づき、上記画像処理前のデジタルX線透過画像の欠陥部と健全部のそれぞれについて所定面積における平均輝度を求め、さらに、上記欠陥部と健全部との平均輝度の差を求めるステップ4と、上記欠陥部および健全部の平均輝度およびそれらの輝度差から、欠陥部および健全部の肉厚を求めるステップ5を有することを特徴とする構造物の検査方法を提案する。
本発明の上記構造物の検査方法における上記画像処理は、ステップ1で得たデジタルX線透過画像に対して、膨張処理、収縮処理およびコントラスト拡張処理(ヒストグラムの拡張処理)のいずれか1の画像処理を、あるいは2以上を組み合わせた画像処理を、複数回、順次実施するサブステップからなることを特徴とする。
また、本発明の上記構造物の検査方法における上記ステップ2は、ステップ1で得たデジタルX線透過画像および該デジタルX線透過画像に画像処理を施した画像において、所定面積の平均輝度と健全部の平均輝度との差が、全階調数の1%以上である部分を欠陥部と判別することを特徴とする。
また、本発明の上記構造物の検査方法は、上記構造物が、配管であることを特徴とする。
また、本発明は、上記のいずれかに記載の構造物の検査方法を用いて構造物の減肉厚または残肉厚を求め、構造物の健全性を評価することを特徴とする構造物の診断方法を提案する。
本発明の構造物の検査方法によれば、X線透過画像に画像処理を施すことで、健全部との輝度差が小さな微小な欠陥部でもその存在を確実に識別することができる。したがって、本発明を構造物の検査方法を、配管等の診断に適用した場合には、漏洩トラブルによる損失や災害を防止するともに、配管が上記の状態に至る前にパッチ当て等の補修を行うことが可能となるので、産業上、奏する効果は大である。
本発明で用いるX線検査装置システムの一例を示す図である。 本発明のステップ2における欠陥判別方法を説明するフロー図である。 X線透過画像の画像処理前と画像処理後を比較した一例を示す図である。 残肉厚と欠陥部と健全部の平均輝度差との関係の一例を示すグラフである。
前述したように、本発明の構造物の検査方法は、検査対象である構造物にX線を照射してデジタルX線透過画像を得るステップ1と、上記X線透過画像から欠陥部と健全部とを判別するステップ2と、上記欠陥部と健全部の位置情報を記憶するステップ3と、上記位置情報に基づき、上記画像処理前のX線透過画像の欠陥部と健全部の所定面積における平均輝度と、上記欠陥部と健全部の平均輝度差を求めるステップ4と、上記欠陥部および健全部の輝度および輝度差から、欠陥部および健全部の厚さおよび欠陥部の深さを求めるステップ5を有し、上記ステップ2は、ステップ1で得たX線透過画像と、そのX線透過画像に画像処理を施した画像から欠陥部と健全部とを判別することを特徴とするものである。以下、具体的に説明する。
ステップ1
このステップ1は、検査対象である構造物にX線を照射してデジタルX線透過画像を得るステップである。デジタルのX線透過画像を得るX線検査装置は、例えば、図1に示したようなシステムのものを用いることができる。図中、1はX線源、2はX線源を制御するコントローラ、3はX線源とコントローラを制御するパーソナルコンピュータ(PC)、4は検査対象である構造物である(図1には、一例として、鋼管を示した)。また、5は上記X線源3から放射され、検査対象である構造物を透過したX線を検知するX線検出器、6は上記X線検出器で検出したX線データをデジタル画像に変換するPCである。上記X線検出器は、デジタル画像を得る観点から、フラット・パネル・ディスプレイ(FPD(Flat Panel Detector))やイメージング・プレート(IP(Imaging
Plate))であることが好ましい。なお、上記図1に示したX線検査装置は一例であり、これに制限されるものではなく、例えば、PC3は必須ではない。
ステップ2
このステップ2は、上記X線透過画像を解析し、欠陥部と健全部とを判別するステップである。検査対象である構造物中に欠陥が存在するか否かの判別を行うフローの一例を図2に示した。まず、上記ステップ1で得られたままのX線画像(この画像を、以降、「元画像」とも称する)を解析し、欠陥の有無を判定するサブステップ1を実施する。このとき、大きな欠陥は、X線画像中の輝度差から欠陥部と健全部を容易に識別できる。しかし、小さな欠陥は、周囲の健全部との輝度差が小さいため、欠陥部の存在を認識できていないおそれがある。
また、X線検査によって得られるX線画像(元画像)の状態は、欠陥部の肉厚差の他に、表面状態や減肉量によっても変化し、欠陥部の識別性に大きく影響する。例えば、図3の上段に示したX線透過画像は、100mm角×厚さが5mmの鋼板の表面中央部に直径が10mmφで深さが1~3mmの欠陥部を模擬した穴を設けた試験片を、前述した図1のX線検査装置で検査を行ったときに得られるX線画像を示したもので、(a)は深さが3mmで、フライス加工した平滑な表面状態、(b)は深さが2mmで、フライス加工した平滑な表面状態、(c)は深さが1mmで、フライス加工した平滑な表面状態および(d)は深さが2mmで、空気雰囲気で加熱処理後の錆がある表面状態のものである。
そのため、元画像を対象とした解析だけでは、欠陥部が識別されず、微小欠陥を見逃すおそれが多分にある。
そこで、本発明は、上記元画像に、画像処理を施して欠陥部と健全部の輝度差を拡大して、欠陥部の検出精度を高め、欠陥部の存在有無を判定することとした。具体的には、図2に示したように、元画像に基づく解析(サブステップ1)で欠陥部の存在が確認できなかった場合は、上記元画像に画像処理を施してから欠陥部の存在有無を判定する次のステップ(サブステップ2)に移行し、それでも欠陥部の存在が確認できなかった場合は、さらに上記画像処理後の画像に別の条件の画像処理を施してから欠陥部の存在有無を判定する次のサブステップに移行する。そして、このサブステップを複数回繰り返して行い、いずれのサブステップにおいても欠陥部が浮かび上がらず、存在が確認できなかったときに、欠陥部なしと最終判断することとした。上記画像処理を施す回数は、多ければ多いほど検査精度を高めることができて好ましいが、検査に要する時間を考慮し、5回程度とするのが好ましい。より好ましくは2~5回の範囲である。
ここで、上記の画像処理の方法としては、種々の方法があるが、本発明では、少なくとも下記に示す方法の1以上を適用することが好ましい。
・膨張処理:注目した画素の近傍に、白色の画素が1つでもあれば、その注目画素を白色に置き換えることで二値画像の白色領域を増やす処理である。
・収縮処理:注目した画素の近傍に、黒色の画素が1つでもあれば、その注目画素を黒色に置き換えることで、膨張処理とは逆に、二値画像の白色領域を減らす処理である。
上記、膨張処理や収縮処理を施すことで、ノイズを低減することができる。
・コントラスト(ヒストグラム)の拡張処理:画像の明るさの分布を表すヒストグラム、すなわち輝度のヒストグラムに補正を加えることで、コントラストを強調し、より鮮明な画像を得る処理である。具体的には、元画像の輝度の階調数が256(8bit)で、輝度の最小値が0、最大値が255であった場合、輝度差が例えば1の場合、その輝度差は全階調数の0.4%でしかないので、輝度差があるのを識別することができない。そこで、例えば、元画像の輝度25を補正後の画像の輝度0とし、元画像の輝度50を補正後の画像の輝度255とした場合、元画像の輝度差1は、補正後の輝度差4に拡大することができる。
上記に示す方法の2以上を組み合わせて適用することも可能である。
なお、画像処理の方法として、上記方法に限定されるものではなく、他の方法を用いてもよいことは勿論である。
上記の画像処理を行うことで、欠陥部と健全部の輝度差を拡大することができるので、小さな欠陥部でも検出することが可能となる。なお、欠陥部が存在すると明確に判断できる欠陥部と健全部の輝度差は、全階調数の1.0%以上である。したがって、全階調数が4096(12bit)の場合、平均輝度差が41以上であれば、欠陥部を容易に検出することができる。好ましくは1.5%以上である。
参考として、図3の上段に示した穴部深さと表面状態が異なる(a)~(d)の元画像のそれぞれに対して、膨張処理→コントラスト拡張処理→膨張処理→収縮処理の画像処理を施した結果を、図3の下段に示した。この結果から、適切な画像処理を施すことで、欠陥部と健全部の平均輝度差を拡大することができ、欠陥部の検出精度を高めることができることがわかる。
なお、上記の欠陥部と健全部の平均輝度を求めるときの面積は、欠陥部の大きさにもよるが、画素数にして10~40000画素の範囲であることが好ましい。画素数が10画素未満では、平均輝度を求めるには範囲が狭すぎる。一方、40000画素を超えて大きくすると、欠陥部以外の部分や健全部以外の部分が含まれてくるおそれがある。より好ましくは画素数にして25~20000画素の範囲である。
ステップ3
このステップ3は、上記ステップ2において欠陥部が検出された場合には、次のステップ4において必要な欠陥部とその周囲の健全部の位置情報を記憶するステップである。なお、上記欠陥部と健全部の位置情報の他に、欠陥部が発見できた画像処理条件(ステップ2のサブステップ条件)も併せて記憶することが望ましい。これにより、例えば、欠陥が検出された位置の隣接部を検査する場合に、上記画像処理条件を優先的に採用することで、欠陥部の存在有無の判定および画像処理に必要な時間を短縮できる。
ステップ4
このステップは、上記欠陥部と健全部の位置情報に基づき、画像処理前のX線透過画像の欠陥部と健全部の所定面積における平均輝度と、上記欠陥部と健全部の平均輝度差を求めるステップである。ここで、画像処理前のX線透過画像(元画像)の欠陥部と健全部の平均輝度を求める理由は、画像処理を施した後の画像は、輝度が元画像から変化しているため、次のステップ5における欠陥部と健全部の厚さを求めるデータとして使用できないからである。なお、平均輝度を求める面積は、前述した欠陥有無の判別に用いる平均輝度を求めるときの面積(画素数)であればよい。
ステップ5
このステップは、画像処理前のX線透過画像(元画像)から求めた欠陥部および健全部の平均輝度から、欠陥部および健全部の厚さを求めるステップである。欠陥部および健全部の厚さを求める方法は、構造物と同じ材質の表面状態を有する肉厚が異なる試験片を用いて、肉厚と輝度との関係を予め求めておき、それと対比することで求めることができる。また、欠陥部および健全部の肉厚から、欠陥部の減肉厚も求めることができる。
また、上記欠陥部と健全部の平均輝度差と、予め求めておいた、元板厚毎の残肉厚と欠陥部と健全部の平均輝度差との関係と対比することで欠陥部の残肉厚を求めるようにしてもよい。
上記に説明した本発明の構造物の検査方法は、欠陥部および健全部の厚さ(残肉量)や欠陥部の深さ(減肉厚)を求めることができるので、構造物の健全性を評価する診断に適用してもよい。これにより、構造物の劣化の程度や補修・取替えの要否・時期等を判断することで、構造物に起因したトラブルや災害の発生を未然に防止することができる。
なお、本発明を適用できる構造物としては、特に限定されないが、内部が確認できない鋼管のような配管の検査に好適に用いることができる。また、本発明は、裸状態の配管に限定されるものではなく、保温材を巻いた被覆鋼管や、円柱状の鉄塔、煙突などの欠陥検査にも適用することができる。
100mm角で厚さが5mmのSS400製鋼板の表面中央部に、直径が10mmφで深さが1mmの減厚欠陥部を模擬した穴を設けた試験片を、図1に示した加速電圧が135kVの小型X線探傷システムを用いてX線検査を行った。この際、X線検出器としてFPD(Flat Panel Detector)を使用し、12bit(階調数:4096)で、モノクロのX線透過画像(元画像)を得た。この画像から、欠陥部に相当する位置における2025画素の平均輝度およびその周辺の健全部に相当する位置の37700画素の平均輝度を求めたところ、欠陥部の平均輝度は115.9、健全部の平均輝度は131.3で、その差は15.4しかなかった。この輝度差は、全階調数の0.4%以下で、周囲の健全部との輝度差が小さいため、穴部の検出は不可能であった。
そこで、上記元画像に対して、画像処理ソフト(キーエンス社製 XG Vision Editor)を用いて、膨張処理、収縮処理およびコントラスト拡張処理を組み合わせて、膨張処理→コントラスト拡張処理→膨張処理→収縮処理の画像処理を施した。その結果、画像処理前と同位置、同面積における欠陥部とその周辺の健全部の平均輝度を求めたところ、欠陥部の平均輝度は44.9、健全部の平均輝度は168.1に変化し、欠陥部と健全部の平均輝度差は123.2に拡大した。この輝度差は、全階調数の2.8%に相当し、欠陥部の検出を容易に行うことができた。
次いで、上述の手順によって検出された欠陥部について、欠陥部の平均輝度を測定し、その結果から、残肉厚を推定する。
そのためには、まず、事前に、何種類か作成した減厚試験片についてX線透過試験を実施し、その測定結果から、元板厚(健全部)の残肉厚と輝度差との関係を求めておく。その際、減厚部の減厚量が小さくて減厚部の板厚と元板厚との差が小さい場合には、測定精度が低下するので、複数の元板厚を有する減厚試験片を用意して、元板厚(健全部)の残肉厚と輝度差との関係を求めておくことが好ましい。本実施例においては、元板厚が5mmの鋼板と10mmの鋼板から作製した減厚試験片について予めX線透過試験を実施して、図4の関係を得た。なお、図4の縦軸に記載した中央・周辺輝度差とは、欠陥部(黒色部)の領域内の中央部の平均輝度と、周辺の減肉の無い健全部(白色部)の領域内の平均輝度との輝度差のことである。
次に、前述の手順によって欠陥部と判定された場所について、元画像における欠陥部と健全部の平均輝度差を求める。本実施例の場合は、すでに記載されたとおり15.4である。この平均輝度差から残肉厚を推定するために、あらかじめ求めた元板厚(健全部)の残肉厚と輝度差との関係、本実施例では図4を用いる。図4において、平均輝度差が15.4の場合に対応する残肉厚は4mmと読み取れる。すなわち、残肉厚が4mmであると推定される。これは、供試材である試験片の穴部の板厚4mm(=板厚5mm-穴深さ1mm)と一致している。このことから、本発明の有効性が確認できた。
1:X線源
2:X線源のコントローラ
3:X線源制御用パーソナルコンピュータ(PC)
4:検査対象(鋼管)
5:X線検出器
6:X線検出器用パーソナルコンピュータ(PC)
X:X線

Claims (4)

  1. 検査対象である構造物にX線を照射してデジタルX線透過画像を得るステップ1と、
    上記デジタルX線透過画像に対して、膨張処理、収縮処理およびコントラスト拡張処理(ヒストグラムの拡張処理)のいずれか1の画像処理を、あるいは2以上を組み合わせた画像処理を、複数回、順次実施するサブステップからなる画像処理を施した画像と、上記デジタルX線透過画像と、から欠陥部と健全部とを判別するステップ2と、
    上記欠陥部と健全部の位置情報を記憶するステップ3と、
    上記位置情報に基づき、上記画像処理前のデジタルX線透過画像の欠陥部と健全部のそれぞれについて所定面積における平均輝度を求め、さらに、上記欠陥部と健全部との平均輝度の差を求めるステップ4と、
    上記欠陥部および健全部の平均輝度およびそれらの輝度差と、予め求めておいた、欠陥部および健全部の肉厚と輝度の関係と、を対比することで欠陥部および健全部の肉厚を求めるステップ5を有することを特徴とする構造物の検査方法。
  2. 上記ステップ2は、ステップ1で得たデジタルX線透過画像および該デジタルX線透過画像に画像処理を施した画像において、所定面積の平均輝度と健全部の平均輝度との差が、全階調数の1%以上である部分を欠陥部と判別することを特徴とする請求項1に記載の構造物の検査方法。
  3. 上記構造物が、配管であることを特徴とする請求項1または2に記載の構造物の検査方法。
  4. 請求項1~のいずれか1項に記載の構造物の検査方法を用いて構造物の減肉厚または残肉厚を求め、構造物の健全性を評価することを特徴とする構造物の診断方法。
JP2020052019A 2020-03-24 2020-03-24 構造物の検査方法および診断方法 Active JP7222373B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020052019A JP7222373B2 (ja) 2020-03-24 2020-03-24 構造物の検査方法および診断方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020052019A JP7222373B2 (ja) 2020-03-24 2020-03-24 構造物の検査方法および診断方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2021148755A JP2021148755A (ja) 2021-09-27
JP7222373B2 true JP7222373B2 (ja) 2023-02-15

Family

ID=77848547

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020052019A Active JP7222373B2 (ja) 2020-03-24 2020-03-24 構造物の検査方法および診断方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7222373B2 (ja)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000028553A (ja) 1998-07-14 2000-01-28 Sodick Co Ltd X線透過検査方法及びその装置
JP2007271434A (ja) 2006-03-31 2007-10-18 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 検査装置、検査方法、検査プログラムおよび検査システム
JP2008256603A (ja) 2007-04-06 2008-10-23 Toshiba Corp 非破壊検査装置及び非破壊検査方法
JP2013088924A (ja) 2011-10-14 2013-05-13 Toshiba Digital Media Engineering Corp 画像処理方法及び装置
JP2016114416A (ja) 2014-12-12 2016-06-23 アンリツインフィビス株式会社 X線検査装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08212341A (ja) * 1995-02-03 1996-08-20 Nippon Hihakai Kensa Kk 放射線透過写真の画像処理方法及びその装置
JPH08306082A (ja) * 1995-05-09 1996-11-22 Ricoh Co Ltd 光ディスクの欠陥検出装置
JP3452773B2 (ja) * 1997-10-14 2003-09-29 株式会社日立エンジニアリングサービス 配管等減肉状態評価方法及びその評価装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000028553A (ja) 1998-07-14 2000-01-28 Sodick Co Ltd X線透過検査方法及びその装置
JP2007271434A (ja) 2006-03-31 2007-10-18 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 検査装置、検査方法、検査プログラムおよび検査システム
JP2008256603A (ja) 2007-04-06 2008-10-23 Toshiba Corp 非破壊検査装置及び非破壊検査方法
JP2013088924A (ja) 2011-10-14 2013-05-13 Toshiba Digital Media Engineering Corp 画像処理方法及び装置
JP2016114416A (ja) 2014-12-12 2016-06-23 アンリツインフィビス株式会社 X線検査装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2021148755A (ja) 2021-09-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2665806C2 (ru) Способ и устройство проверки инспекционной системы для обнаружения поверхностных дефектов
US9524546B2 (en) Fluoroscopic image density correction method, non-destructive inspection method, and image processing device
EP3610986B1 (en) Apparatus and method for shot peening evaluation
JP7520582B2 (ja) 情報処理装置、判定方法、および情報処理プログラム
CN112037214B (zh) 一种缺陷检测的评估方法、装置、电子设备及存储介质
US20040218715A1 (en) Method and apparatus for detecting defects using digital radiography
WO2021250986A1 (ja) 検査装置、検査方法、および検査プログラム
JP2011208978A (ja) タービン翼植込み部の超音波検査方法および装置
JP2008190872A (ja) 表面不良検出装置、方法及びプログラム
JP6630912B1 (ja) 検査装置及び検査方法
JP7222373B2 (ja) 構造物の検査方法および診断方法
JP5557271B2 (ja) 放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラム
JP2010287442A (ja) 電池の検査方法及び電池の検査装置
US8873711B2 (en) Method and system for visualizing effects of corrosion
Mohamad et al. Image enhancement process on digital radiographic image with weld discontinuities
JP2861649B2 (ja) 鋼板の溶接部検査方法
JP5477227B2 (ja) 管端開先加工部の検査方法及び装置
JP2008026072A (ja) 欠陥検査装置及び欠陥検査方法
JP2009128323A (ja) 積層板の検査装置及び検査方法
JP2007225322A (ja) 超音波探傷データ評価装置および超音波探傷データ評価方法
RU2815195C1 (ru) Способ автоматизированного рентгеновского контроля изделий сложной формы и устройство для его осуществления
JP7142825B1 (ja) 画像判定方法及び画像判定システム
JP5392903B2 (ja) 表面疵検査装置
KR0165319B1 (ko) 포토리소그래피 공정에서의 공정 마진 평가 방법
JP3534579B2 (ja) 脱炭層の深さ測定方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20211019

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20220727

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20220823

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20221012

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230104

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230117

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7222373

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150