JP7213511B1 - ULTRASOUND INSPECTION METHOD, ULTRASOUND INSPECTION DEVICE AND PROGRAM - Google Patents

ULTRASOUND INSPECTION METHOD, ULTRASOUND INSPECTION DEVICE AND PROGRAM Download PDF

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Abstract

【課題】検査対象物に超音波信号を送信して超音波検査を行う際に、検査対象物から受信した受信波形から、検査対象物の表面を伝搬するラテラル波等の不要な周波数成分の波形を消去する。【解決手段】超音波送信部32は、自己相関を計算するとガボールウェーブレットの波形となるような超音波信号を入力波形として送信探触子33から検査対象物に対して送信する。そして、超音波受信部34は、検査対象物において反射又は回折された超音波信号を受信探触子35により受信する。そして、制御部31は、受信探触子35において受信された受信波形と入力波形との間で相互相関演算を行うことにより受信波形を時間軸方向にパルス圧縮して表示部36上に表示する。【選択図】図1Kind Code: A1 A waveform of unnecessary frequency components such as lateral waves propagating on the surface of an object to be inspected from a received waveform received from the object to be inspected when performing ultrasonic inspection by transmitting an ultrasonic signal to the object to be inspected. erase. An ultrasonic wave transmitting unit 32 transmits, as an input waveform, an ultrasonic wave signal that becomes a Gabor wavelet waveform when autocorrelation is calculated from a transmitting probe 33 to an inspection object. Then, the ultrasonic wave receiving unit 34 receives the ultrasonic wave signal reflected or diffracted by the object to be inspected by the receiving probe 35 . Then, the control unit 31 performs cross-correlation calculation between the received waveform received by the receiving probe 35 and the input waveform to pulse-compress the received waveform in the direction of the time axis, and displays it on the display unit 36 . . [Selection drawing] Fig. 1

Description

本発明は、超音波検査方法、超音波検査装置及びプログラムに関する。 The present invention relates to an ultrasonic inspection method, an ultrasonic inspection apparatus, and a program.

構造物の非破壊検査において使用される超音波探傷手法の1つとしてTOFD(Time of Flight Diffraction)法が用いられている(例えば非特許文献1)。このTOFD法では、超音波のパルス信号を送信探触子から溶接部等の検査対象物に対して送信して、検査対象物において反射又は回折された超音波信号を受信探触子により受信した受信波形により欠陥等の有無の検査が行われる。このようなTOFD法によれば、検査対象物の内部に欠陥が存在する場合、欠陥で反射波もしくは回折波が発生することにより欠陥の存在を検知することが可能となる。 A TOFD (Time of Flight Diffraction) method is used as one of ultrasonic flaw detection techniques used in non-destructive inspection of structures (for example, Non-Patent Document 1). In this TOFD method, an ultrasonic pulse signal is transmitted from a transmitting probe to an inspection object such as a welded portion, and an ultrasonic signal reflected or diffracted by the inspection object is received by a receiving probe. The received waveform is inspected for defects and the like. According to such a TOFD method, when a defect exists inside the object to be inspected, the presence of the defect can be detected by generating a reflected wave or a diffracted wave at the defect.

黒川悠、水谷義弘、井上裕嗣、「時間―周波数解析を用いたTOFD法による欠陥高さ測定の高度化」、非破壊検査、2006年、vol.55、no.12、pp.635-642Yu Kurokawa, Yoshihiro Mizutani, Hirotsugu Inoue, "Advancement of Defect Height Measurement by TOFD Method Using Time-Frequency Analysis", Nondestructive Inspection, 2006, vol.55, no.12, pp.635-642

このようなTOFD法による探傷検査方法では、送信探触子から送信された超音波が検査対象物の表面を伝搬して受信探触子に受信されるラテラル波の存在が問題となる場合がある。具体的には、検査対象物の表面近傍に欠陥が存在する場合、ラテラル波と、欠陥からの回折波とが重なってしまい、回折波の識別が困難となってしまうという問題が発生する。このように、欠陥からの回折波の識別が困難になると正しく欠陥を検出できなくなり、表面近傍は欠陥を検出できない不感帯となってしまう。 In such a flaw detection inspection method by the TOFD method, there may be a problem in the presence of a lateral wave in which the ultrasonic wave transmitted from the transmitting probe propagates on the surface of the inspection object and is received by the receiving probe. . Specifically, when a defect exists in the vicinity of the surface of the inspection object, the lateral wave overlaps with the diffracted wave from the defect, causing a problem of difficulty in identifying the diffracted wave. Thus, if it becomes difficult to identify the diffracted wave from the defect, the defect cannot be detected correctly, and the vicinity of the surface becomes a dead zone in which the defect cannot be detected.

このように不感帯が存在する状態で正しい検査を行うとすると、検査対象物の両面から検査を行う必要があり検査の時間、検査費用等が増大してしまうという問題がある。 If a correct inspection is to be performed in the presence of such a dead zone, it is necessary to inspect both sides of the object to be inspected, resulting in an increase in inspection time and inspection costs.

本発明は、検査対象物に超音波信号を送信して超音波検査を行う際に、検査対象物から受信した受信波形から、検査対象物の表面を伝搬するラテラル波等の不要な周波数成分の波形を消去することが可能な超音波検査方法、超音波検査装置及びプログラムを提供することを目的とする。 The present invention extracts unnecessary frequency components such as lateral waves propagating on the surface of an object to be inspected from a received waveform received from the object to be inspected when performing ultrasonic inspection by transmitting an ultrasonic signal to the object to be inspected. An object of the present invention is to provide an ultrasonic inspection method, an ultrasonic inspection apparatus, and a program capable of erasing waveforms.

本発明の第1態様の超音波検査方法は、自己相関を計算するとガボールウェーブレット(Gabor Wavelet)の波形となるような超音波信号を入力波形として送信探触子から検査対象物に対して送信し、
前記検査対象物において反射又は回折された超音波信号を受信探触子により受信し、
受信した受信波形と前記入力波形との間で相互相関演算を行うことにより前記受信波形を時間軸方向に圧縮して表示する。
In the ultrasonic inspection method according to the first aspect of the present invention, an ultrasonic signal that becomes a Gabor wavelet waveform when autocorrelation is calculated is transmitted as an input waveform from a transmission probe to an inspection object. ,
receiving an ultrasonic signal reflected or diffracted by the inspection object with a receiving probe;
By performing a cross-correlation operation between the received received waveform and the input waveform, the received waveform is compressed in the direction of the time axis and displayed.

本発明の第2態様の超音波検査方法は、第1態様の超音波検査方法において、前記ガボールウェーブレットの波形が、特定の周波数成分が短い時間間隔の中に極在するような特性を有する波形であり、検査対象物の表面を伝搬するラテラル波の周波数成分を含まない波形である。 A second aspect of the ultrasonic inspection method of the present invention is the ultrasonic inspection method of the first aspect, wherein the waveform of the Gabor wavelet has characteristics such that a specific frequency component is localized within a short time interval. , which is a waveform that does not contain the frequency component of the lateral wave propagating on the surface of the inspection object.

本発明の第3態様の超音波検査方法は、ガボールウェーブレットの波形の超音波信号を入力波形として送信探触子から検査対象物に対して送信し、
前記検査対象物において反射又は回折された超音波信号を受信探触子により受信し、
受信した受信波形を表示する。
An ultrasonic inspection method according to a third aspect of the present invention transmits an ultrasonic signal having a Gabor wavelet waveform as an input waveform from a transmission probe to an inspection object,
receiving an ultrasonic signal reflected or diffracted by the inspection object with a receiving probe;
Display the received received waveform.

本発明の第4態様の超音波検査装置は、自己相関を計算するとガボールウェーブレットの波形となるような超音波信号を入力波形として送信探触子から検査対象物に対して送信する送信部と、
前記検査対象物において反射又は回折された超音波信号を受信探触子により受信する受信部と、
受信した受信波形と前記入力波形との間で相互相関演算を行うことにより前記受信波形を時間軸方向に圧縮して表示する表示部とを備えている。
An ultrasonic inspection apparatus according to a fourth aspect of the present invention includes a transmission unit that transmits an ultrasonic signal, which becomes a Gabor wavelet waveform when autocorrelation is calculated, as an input waveform from a transmission probe to an inspection object;
a receiving unit that receives an ultrasonic signal reflected or diffracted by the inspection object with a receiving probe;
and a display unit for compressing the received waveform in the direction of the time axis and displaying the received waveform by performing cross-correlation calculation between the received waveform and the input waveform.

本発明の第5態様の超音波検査装置は、ガボールウェーブレットの波形の超音波信号を入力波形として送信探触子から検査対象物に対して送信する送信部と、
前記検査対象物において反射又は回折された超音波信号を受信探触子により受信する受信部と、
受信した受信波形を表示する表示部とを備えている。
An ultrasonic inspection apparatus according to a fifth aspect of the present invention includes a transmission unit that transmits an ultrasonic signal having a Gabor wavelet waveform as an input waveform from a transmission probe to an inspection object;
a receiving unit that receives an ultrasonic signal reflected or diffracted by the inspection object with a receiving probe;
and a display for displaying the received received waveform.

本発明の第6態様のプログラムは、自己相関を計算するとガボールウェーブレットの波形となるような超音波信号を入力波形として送信探触子から検査対象物に対して送信するステップと、
前記検査対象物において反射又は回折された超音波信号を受信探触子により受信するステップと、
受信した受信波形と前記入力波形との間で相互相関演算を行うことにより前記受信波形を時間軸方向に圧縮して表示するステップとをコンピュータに実行させる。
A program according to a sixth aspect of the present invention comprises a step of transmitting, as an input waveform, an ultrasonic signal that produces a Gabor wavelet waveform when autocorrelation is calculated, from a transmission probe to an object to be inspected;
receiving an ultrasonic signal reflected or diffracted by the inspection object with a receiving probe;
and a step of compressing the received waveform in the direction of the time axis and displaying the received waveform by performing a cross-correlation operation between the received received waveform and the input waveform.

本発明によれば、検査対象物に超音波信号を送信して超音波検査を行う際に、検査対象物から受信した受信波形から、検査対象物の表面を伝搬するラテラル波等の不要な周波数成分の波形を消去することが可能となる。 According to the present invention, when performing ultrasonic inspection by transmitting an ultrasonic signal to the inspection object, from the received waveform received from the inspection object, unnecessary frequencies such as lateral waves propagating on the surface of the inspection object It becomes possible to erase the waveform of the component.

本発明の一実施形態の超音波検査装置10の構成を示すブロック図である。1 is a block diagram showing the configuration of an ultrasonic inspection apparatus 10 according to one embodiment of the present invention; FIG. 一般的なTOFD法による探傷原理を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the flaw detection principle by general TOFD method. TOFD法により得られる受信波形のデータの概略図である。FIG. 2 is a schematic diagram of received waveform data obtained by the TOFD method; 送信探触子33、受信探触子35を設置した側の表面近傍に欠陥が存在する場合の様子を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing a state in which a defect exists in the vicinity of the surface on which the transmitting probe 33 and the receiving probe 35 are installed; 図4に示すような状態における受信波形の概略図である。FIG. 5 is a schematic diagram of received waveforms in the state as shown in FIG. 4; パルス圧縮技術を用いたTOFD法を説明するための概略図である。1 is a schematic diagram for explaining a TOFD method using pulse compression technology; FIG. 自己相関を計算するとガボールウェーブレットとなるような入力波形x(t)の一例を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing an example of an input waveform x(t) that becomes a Gabor wavelet when autocorrelation is calculated; 図7に示したような入力波形x(t)を用いて得られた受信波形y(t)を示す図である。Figure 8 shows a received waveform y(t) obtained using an input waveform x(t) as shown in Figure 7; 図8に示した受信波形y(t)のパルス圧縮後の受信波形z(t)を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing a received waveform z(t) after pulse compression of the received waveform y(t) shown in FIG. 8; 図7の入力波形x(t)を用いたシミュレーションの一連の処理の流れを示す図である。FIG. 8 is a diagram showing the flow of a series of simulation processes using the input waveform x(t) of FIG. 7; 図7に示した入力波形x(t)をパルス圧縮した波形を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a waveform obtained by pulse-compressing the input waveform x(t) shown in FIG. 7; ガボールウェーブレットの波形を入力波形として、TOFD法を行った場合のシミュレーション結果を示す図である。It is a figure which shows the simulation result at the time of performing TOFD method by making the waveform of a Gabor wavelet into an input waveform.

次に、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。 Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1は本発明の一実施形態の超音波検査装置10の構成を示すブロック図である。 FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of an ultrasonic inspection apparatus 10 according to one embodiment of the present invention.

本実施形態の超音波検査装置10は、図1に示されるように、制御部31と、超音波送信部32と、送信探触子33と、超音波受信部34と、受信探触子35と、表示部36とを備えている。 As shown in FIG. 1, the ultrasonic inspection apparatus 10 of this embodiment includes a control unit 31, an ultrasonic transmission unit 32, a transmission probe 33, an ultrasonic reception unit 34, and a reception probe 35. , and a display unit 36 .

超音波送信部32は、制御部31による制御に基づいて、超音波信号を入力波形として送信探触子33から検査対象物に対して送信する。 Under the control of the control unit 31 , the ultrasonic transmission unit 32 transmits an ultrasonic signal as an input waveform from the transmission probe 33 to the inspection object.

超音波受信部34は、検査対象物において反射又は回折された超音波信号を受信探触子35により受信して、制御部31に転送する。 The ultrasonic receiver 34 receives ultrasonic signals reflected or diffracted by the object to be inspected by the receiving probe 35 and transfers them to the controller 31 .

制御部31は、超音波受信部34から転送されてきた超音波信号を表示部36上に表示する。 The control unit 31 displays the ultrasonic signal transferred from the ultrasonic wave receiving unit 34 on the display unit 36 .

先ず、本実施形態の超音波検査装置10における動作を説明する前に、一般的なTOFD法による探傷原理を図2に示す。 First, before explaining the operation of the ultrasonic inspection apparatus 10 of this embodiment, FIG. 2 shows the principle of flaw detection by a general TOFD method.

TOFD法により検査対象物における傷等の欠陥を探す場合、超音波のパルス信号を送信探触子33から溶接部等の検査対象物に対して送信して、検査対象物において反射又は回折された超音波信号を受信探触子35により受信した受信波形により欠陥の有無の検査が行われる。 When looking for defects such as scratches in an inspection object by the TOFD method, an ultrasonic pulse signal is transmitted from the transmission probe 33 to the inspection object such as a welded part, and reflected or diffracted by the inspection object. The presence or absence of defects is inspected based on the received waveform of the ultrasonic signal received by the receiving probe 35 .

このTOFD法では、検査対象物の内部に欠陥が存在する場合、欠陥からの回折波が発生することにより欠陥の存在を検知することが可能となる。TOFD法により得られる受信波形のデータの概略図を図3に示す。 In this TOFD method, when a defect exists inside the object to be inspected, the existence of the defect can be detected by generating a diffracted wave from the defect. FIG. 3 shows a schematic diagram of received waveform data obtained by the TOFD method.

受信探触子35では、最初に表面を伝搬するラテラル波41が検出され、その後欠陥が存在する場合には欠陥上端及び下端からの回折波42、43がそれぞれ検出される。そして、最後に、裏面からの反射波である裏面反射波44が検出される。 The receiving probe 35 first detects a lateral wave 41 propagating on the surface, and then detects diffracted waves 42 and 43 from the upper and lower ends of the defect, respectively, if a defect exists. Finally, a back surface reflected wave 44, which is a reflected wave from the back surface, is detected.

このようなTOFD法による探傷検査方法では、ラテラル波41の存在が問題となる場合がある。例えば、送信探触子33、受信探触子35を設置した側の表面近傍に欠陥が存在する場合の様子を図4に示す。また、図4に示すような状態における受信波形の概略図を図5に示す。 In such a flaw detection inspection method based on the TOFD method, the existence of the lateral wave 41 may pose a problem. For example, FIG. 4 shows a state in which a defect exists in the vicinity of the surface on which the transmitting probe 33 and the receiving probe 35 are installed. FIG. 5 shows a schematic diagram of received waveforms in the state shown in FIG.

図5を参照すると、表面近傍に欠陥が存在する場合、ラテラル波41と、欠陥からの回折波42、43とが重なってしまい、回折波42、43の識別が困難となってしまっているのが分かる。このように、欠陥からの回折波42、43の識別が困難になると正しく欠陥を検出できなくなり、表面近傍は欠陥を検出できない不感帯となってしまう。 Referring to FIG. 5, when a defect exists near the surface, the lateral wave 41 overlaps the diffracted waves 42 and 43 from the defect, making it difficult to distinguish between the diffracted waves 42 and 43. I understand. When it becomes difficult to distinguish the diffracted waves 42 and 43 from the defect in this manner, the defect cannot be detected correctly, and the vicinity of the surface becomes a dead zone in which the defect cannot be detected.

このように不感帯が存在する状態で正しい検査を行うとすると、検査対象物の両面から検査を行う必要があり検査の時間、検査費用等が増大してしまうという問題がある。 If a correct inspection is to be performed in the presence of such a dead zone, it is necessary to inspect both sides of the object to be inspected, resulting in an increase in inspection time and inspection costs.

ここで、検査対象物の表面を伝搬するラテラル波41と、欠陥からの回折波42、43とでは、周波数帯域が異なっている。例えば、入力波形の周波数が5MHzの場合、ラテラル波の主な周波数成分は1~3MHzに集中し、回折波の主な周波数成分は3~7MHzに集中している。 Here, the lateral wave 41 propagating on the surface of the inspection object and the diffracted waves 42 and 43 from the defect have different frequency bands. For example, when the frequency of the input waveform is 5 MHz, the main frequency components of the lateral waves are concentrated at 1-3 MHz, and the main frequency components of the diffracted waves are concentrated at 3-7 MHz.

そこで、上記のような問題を解決するため、本実施形態における超音波検査装置10では、以下に説明するような方法によって、送信探触子33から検査対象物に対して送信する超音波信号の入力波形を最適化することにより、受信波形におけるラテラル波を消去するようにしている。 Therefore, in order to solve the above problems, the ultrasonic inspection apparatus 10 according to the present embodiment uses a method described below to transmit ultrasonic signals from the transmission probe 33 to the inspection object. By optimizing the input waveform, lateral waves in the received waveform are eliminated.

まず、本実施形態による超音波検査方法を説明する前に、パルス圧縮技術について図6を参照して説明する。図6は、パルス圧縮技術を用いたTOFD法を説明するための概略図である。 First, before describing the ultrasonic inspection method according to the present embodiment, the pulse compression technique will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a schematic diagram for explaining the TOFD method using the pulse compression technique.

パルス圧縮技術とは,入力波形を時間軸方向に拡張することによりピーク電圧を増加させることなく送信エネルギを増大させ、受信波形を時間軸方向に圧縮することにより空間分解能を保ったままSN比を改善する技術である。ここで、SN比とは、欠陥等による回折波の成分と、受信波形におけるノイズ成分との比を意味している。 Pulse compression technology increases the transmission energy without increasing the peak voltage by expanding the input waveform in the direction of the time axis, and compresses the received waveform in the direction of the time axis to reduce the SN ratio while maintaining the spatial resolution. It is a technique to improve. Here, the SN ratio means the ratio between the diffracted wave component due to a defect or the like and the noise component in the received waveform.

パルス圧縮技術を用いたTOFD法では、入力波形x(t)は時間軸方向に拡張された波形となっており、この入力波形x(t)を送信探触子33から検査対象物に送信して、受信探触子35で検査対象物からの超音波信号を受信する。そして、受信波形y(t)と入力波形x(t)との間の相互相関演算を行うことにより、受信波形y(t)に対してパルス圧縮を行う。具体的には、受信波形y(t)と、入力波形x(t)の共役をとって時間反転を施したものとの畳み込み演算(コンボリューション演算)を行うことによりパルス圧縮が行われる。つまり、パルス圧縮後の波形z(t)は、z(t)=y(t)*x(-t)と表現される。 In the TOFD method using pulse compression technology, the input waveform x(t) is a waveform expanded in the time axis direction, and this input waveform x(t) is transmitted from the transmission probe 33 to the inspection object. Then, the receiving probe 35 receives an ultrasonic signal from the object to be inspected. Then, pulse compression is performed on the received waveform y(t) by performing a cross-correlation operation between the received waveform y(t) and the input waveform x(t). Specifically, pulse compression is performed by convoluting the received waveform y(t) and the time-reversed conjugate of the input waveform x(t). That is, the waveform z(t) after pulse compression is expressed as z(t)=y(t)*x(-t).

そして、このパルス圧縮技術を用いたTOFD法において、ラテラル波が消去されるような入力波形の検討を行ったところ、自己相関を計算するとガボールウェーブレットとなるような波形を入力波形とすると、パルス圧縮技術を用いたTOFD法において、ラテラル波を消去することができることが分かった。 Then, in the TOFD method using this pulse compression technique, an input waveform that eliminates the lateral wave was examined. It was found that lateral waves can be eliminated in the TOFD method using the technique.

このような入力波形x(t)の一例を図7に示す。 An example of such an input waveform x(t) is shown in FIG.

そして、図7に示したような入力波形x(t)を用いて図6に示したシミュレーションにより得られた受信波形y(t)を図8に示す。そして、図8に示した受信波形y(t)をパルス圧縮してパルス圧縮後の受信波形z(t)を求めたところ図9のようになった。上述したような図7の入力波形x(t)を用いたシミュレーションの一連の処理の流れを図10に示す。 FIG. 8 shows the received waveform y(t) obtained by the simulation shown in FIG. 6 using the input waveform x(t) shown in FIG. Then, when the received waveform y(t) shown in FIG. 8 was pulse-compressed to obtain the received waveform z(t) after pulse compression, the result is as shown in FIG. FIG. 10 shows the flow of a series of simulation processes using the input waveform x(t) of FIG. 7 as described above.

図9におけるパルス圧縮後の受信波形z(t)を参照すると、ラテラル波がほぼ消失しており回折波と比較して大幅に小さくなっているのが分かる。つまり、検査対象物の表面近傍に欠陥が存在する場合でも、十分に検出可能であることが分かる。 Referring to the received waveform z(t) after pulse compression in FIG. 9, it can be seen that the lateral wave has almost disappeared and is significantly smaller than the diffracted wave. In other words, even if a defect exists in the vicinity of the surface of the object to be inspected, it can be sufficiently detected.

このように自己相関を計算するとガボールウェーブレットとなるような波形を入力波形x(t)として用いてTOFD法による探傷検査方法を実行することにより、受信波形におけるラテラル波の成分を消去することが可能となる。そこで、本実施形態の超音波検査装置10は、図7に示したような入力波形x(t)を用いて検査対象物における探傷検査を行う。 It is possible to eliminate the lateral wave component in the received waveform by executing the flaw detection inspection method by the TOFD method using as the input waveform x(t) a waveform that becomes a Gabor wavelet when the autocorrelation is calculated in this way. becomes. Therefore, the ultrasonic inspection apparatus 10 of the present embodiment performs flaw detection inspection on the inspection object using the input waveform x(t) as shown in FIG.

つまり、パルス圧縮技術を用いるTOFD法を行う場合には、超音波送信部32は、自己相関を計算するとガボールウェーブレットの波形となるような超音波信号を入力波形として送信探触子33から検査対象物に対して送信する。そして、超音波受信部34は、検査対象物において反射又は回折された超音波信号を受信探触子35により受信する。そして、制御部31は、受信探触子35において受信された受信波形と入力波形との間で相互相関演算を行うことにより受信波形を時間軸方向にパルス圧縮して表示部36上に表示する。 That is, when the TOFD method using the pulse compression technique is performed, the ultrasonic wave transmission unit 32 receives an ultrasonic signal having a Gabor wavelet waveform as an input waveform from the transmission probe 33 when the autocorrelation is calculated. Send to things. Then, the ultrasonic wave receiving unit 34 receives the ultrasonic wave signal reflected or diffracted by the object to be inspected by the receiving probe 35 . Then, the control unit 31 performs cross-correlation calculation between the received waveform received by the receiving probe 35 and the input waveform to pulse-compress the received waveform in the direction of the time axis and displays it on the display unit 36 . .

なお、自己相関を計算するとガボールウェーブレットとなるような波形には、自己相関を計算するとガボールウェーブレットと完全に一致するような波形だけではなく、自己相関を計算するとガボールウェーブレットに近似するような波形、つまり、自己相関を計算すると略(ほぼ)ガボールウェーブレットとなるような波形も含まれる。 Waveforms that become Gabor wavelets when autocorrelation is calculated include not only waveforms that completely match Gabor wavelets when autocorrelation is calculated, but also waveforms that approximate Gabor wavelets when autocorrelation is calculated. In other words, it also includes waveforms whose autocorrelation calculations result in approximately (approximately) Gabor wavelets.

さらに、上記ではパルス圧縮技術を用いたTOFD法による場合について説明したが、パルス圧縮技術を用いないTOFD法においても本発明は適用可能である。 Furthermore, although the TOFD method using the pulse compression technique has been described above, the present invention is also applicable to the TOFD method that does not use the pulse compression technique.

パルス圧縮技術を用いないTOFD法では、入力波形として、時間軸方向に拡張されていないパルス信号が用いられる。そのため、まず、図7に示した入力波形x(t)をパルス圧縮した波形を図11に示す。入力波形x(t)をパルス圧縮する際には、同一の入力波形x(t)との間の相互相関演算を計算することになるため、結果的には、入力波形x(t)の自己相関演算を行うことになる。 A TOFD method that does not use a pulse compression technique uses, as an input waveform, a pulse signal that is not expanded in the direction of the time axis. Therefore, FIG. 11 shows a waveform obtained by pulse-compressing the input waveform x(t) shown in FIG. When the input waveform x(t) is pulse-compressed, the cross-correlation operation between the same input waveform x(t) is calculated, and as a result, the input waveform x(t) self Correlation calculation is performed.

このようにして得られた波形は、ガボールウェーブレットの波形となっており、検査対象物の表面を伝搬するラテラル波の周波数成分を含まない波形となっている。なお、ガボールウェーブレットの波形とは、特定の周波数成分が短い時間間隔の中に極在するような特性を有する波形である。 The waveform thus obtained is a Gabor wavelet waveform and does not contain the frequency component of the lateral wave propagating on the surface of the inspection object. The waveform of the Gabor wavelet is a waveform having characteristics such that specific frequency components are localized within a short time interval.

つまり、図7に示した入力波形x(t)は、自己相関を計算するとガボールウェーブレットの波形となるような超音波信号となっている。 That is, the input waveform x(t) shown in FIG. 7 is an ultrasonic signal that becomes a Gabor wavelet waveform when the autocorrelation is calculated.

そして、パルス圧縮技術を用いないTOFD法を行う場合には、超音波送信部32は、ガボールウェーブレットの波形の超音波信号を入力波形として送信探触子33から検査対象物に対して送信する。そして、超音波受信部34は、検査対象物において反射又は回折された超音波信号を受信探触子35により受信する。そして、制御部31は、受信探触子35において受信された受信波形をそのまま表示部36上に表示する。 When the TOFD method that does not use the pulse compression technique is performed, the ultrasonic transmission unit 32 transmits an ultrasonic signal having a Gabor wavelet waveform as an input waveform from the transmission probe 33 to the inspection object. Then, the ultrasonic wave receiving unit 34 receives the ultrasonic wave signal reflected or diffracted by the object to be inspected by the receiving probe 35 . Then, the control unit 31 displays the received waveform received by the receiving probe 35 as it is on the display unit 36 .

そして、このガボールウェーブレットの波形を入力波形として用いてTOFD法を行った場合のシミュレーション結果を図12に示す。 FIG. 12 shows a simulation result when the TOFD method is performed using the Gabor wavelet waveform as an input waveform.

この場合であっても、受信波形y(t)として、パルス圧縮後の受信波形z(t)と同様な波形が得られることになる。ただし、この場合には、パルス圧縮技術を用いないことにより、SN比が悪くなるというデメリットがある。 Even in this case, a waveform similar to the received waveform z(t) after pulse compression is obtained as the received waveform y(t). However, in this case, there is a demerit that the signal-to-noise ratio deteriorates because the pulse compression technique is not used.

上記で説明した本実施形態の超音波検査方法によれば、検査対象物に超音波信号を送信して超音波検査を行う際に、検査対象物から受信した受信波形から、検査対象物の表面を伝搬するラテラル波を消去することができる。しかし、本発明は、検査対象物から受信した受信波形からラテラル波を消去する場合に限定されるものではない。本発明は、検査対象物に超音波信号を送信して超音波検査を行う場合だけでなく、多孔質材などの高い減衰材料に対して、周波数ごとの超音波伝搬特性を調査する際にも適用することができ、受信波形に含まれる不要な周波数成分の波形を消去することができるという効果を得ることができる。 According to the ultrasonic inspection method of the present embodiment described above, when performing ultrasonic inspection by transmitting an ultrasonic signal to the inspection object, from the received waveform received from the inspection object, the surface of the inspection object can eliminate lateral waves propagating However, the present invention is not limited to erasing lateral waves from a waveform received from an object to be inspected. The present invention can be used not only when performing ultrasonic inspection by transmitting ultrasonic signals to an object to be inspected, but also when investigating ultrasonic wave propagation characteristics for each frequency for high attenuation materials such as porous materials. It can be applied, and an effect can be obtained that waveforms of unnecessary frequency components contained in received waveforms can be eliminated.

さらに、本発明によれば、特定の周波数の弾性波を高SN比で送受信することができるようになるという効果を得ることもできる。 Furthermore, according to the present invention, it is possible to obtain an effect that it becomes possible to transmit and receive elastic waves of a specific frequency with a high SN ratio.

10 超音波検査装置
31 制御部
32 超音波送信部
33 送信探触子
34 超音波受信部
35 受信探触子
36 表示部
41 ラテラル波
42、43 回折波
44 裏面反射波
70 TOFD法実験装置
REFERENCE SIGNS LIST 10 Ultrasound inspection device 31 Control unit 32 Ultrasound transmission unit 33 Transmission probe 34 Ultrasound reception unit 35 Reception probe 36 Display unit 41 Lateral waves 42, 43 Diffracted waves 44 Backside reflected waves 70 TOFD method experimental apparatus

Claims (4)

自己相関を計算するとガボールウェーブレットの波形となるような超音波信号を入力波形として送信探触子から検査対象物に対して送信し、
前記検査対象物において反射又は回折された超音波信号を受信探触子により受信し、
受信した受信波形と前記入力波形との間で相互相関演算を行うことにより前記受信波形を時間軸方向に圧縮して表示する、
超音波検査方法。
An ultrasonic signal that produces a Gabor wavelet waveform when the autocorrelation is calculated is transmitted as an input waveform from the transmission probe to the inspection object,
receiving an ultrasonic signal reflected or diffracted by the inspection object with a receiving probe;
compressing the received waveform in the direction of the time axis and displaying the received waveform by performing cross-correlation calculation between the received waveform and the input waveform;
Ultrasound method.
前記ガボールウェーブレットの波形は、特定の周波数成分が短い時間間隔の中に極在するような特性を有する波形であり、検査対象物の表面を伝搬するラテラル波の周波数成分を含まない波形である請求項1記載の超音波検査方法。 The waveform of the Gabor wavelet is a waveform having characteristics such that specific frequency components are localized within a short time interval, and is a waveform that does not include the frequency component of the lateral wave propagating on the surface of the inspection object. Item 1. The ultrasonic inspection method according to item 1. 自己相関を計算するとガボールウェーブレットの波形となるような超音波信号を入力波形として送信探触子から検査対象物に対して送信する送信部と、
前記検査対象物において反射又は回折された超音波信号を受信探触子により受信する受信部と、
受信した受信波形と前記入力波形との間で相互相関演算を行うことにより前記受信波形を時間軸方向に圧縮して表示する表示部と、
を備えた超音波検査装置。
a transmission unit that transmits an ultrasonic signal, which becomes a Gabor wavelet waveform when autocorrelation is calculated, as an input waveform from the transmission probe to the inspection object;
a receiving unit that receives an ultrasonic signal reflected or diffracted by the inspection object with a receiving probe;
a display unit for compressing and displaying the received waveform in the direction of the time axis by performing cross-correlation calculation between the received waveform and the input waveform;
Ultrasound inspection equipment with.
自己相関を計算するとガボールウェーブレットの波形となるような超音波信号を入力波形として送信探触子から検査対象物に対して送信するステップと、
前記検査対象物において反射又は回折された超音波信号を受信探触子により受信するステップと、
受信した受信波形と前記入力波形との間で相互相関演算を行うことにより前記受信波形を時間軸方向に圧縮して表示するステップと、
をコンピュータに実行させるためのプログラム。
a step of transmitting, as an input waveform, an ultrasonic signal whose autocorrelation results in a Gabor wavelet waveform from the transmission probe to the inspection object;
receiving an ultrasonic signal reflected or diffracted by the inspection object with a receiving probe;
a step of compressing the received waveform in the direction of the time axis and displaying the received waveform by performing a cross-correlation operation between the received waveform and the input waveform;
A program that causes a computer to run
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