JP7212389B2 - 液剤塗布装置 - Google Patents

Description

本発明は、液剤塗布装置に関する。

圧電効果によって電気エネルギから機械エネルギへのエネルギ変換を行う圧電素子は、応答性に優れているため、半導体、印刷、化学薬品などの広い分野において、液剤を対象物の表面に吐出する液剤塗布装置に利用されている。

特許文献１には、液剤を貯留する圧力室と、前記圧力室に連なるノズルとを有するヘッドモジュールと、圧力室の壁面を変形させることによってノズルから液剤を吐出させる圧電素子とを備える液剤塗布装置が開示されている。

日本国公開公報：特開２０１６－１８７８９２号公報

しかしながら、特許文献１に記載の液剤塗布装置では、圧電素子に偏った圧縮応力がかかることによって、圧電素子が破損するおそれ、あるいは、圧電素子の耐久性が低下するおそれがある。

本発明は、圧電素子の破損を防止し、かつ圧電素子の耐久性を向上できる液剤塗布装置の提供を目的とする。

本発明の一つの態様に係る液剤塗布装置は、圧力室プレートと、ダイヤフラムと、加圧用駆動部とを備える。圧力室プレートは、液剤を貯留する圧力室を有する。ダイヤフラムは、圧力室プレート上に配置される。加圧用駆動部は、ダイヤフラムに加圧振動を加える。加圧用駆動部は、圧電素子と中間部材とを有する。中間部材は、圧電素子と面接触し、かつ、圧電素子の反対側に位置する点接触対象物と点接触する。

本発明の一つの態様によれば、圧電素子の破損を防止し、かつ圧電素子の耐久性を向上できる液剤塗布装置を提供することができる。

図１は、液剤塗布装置の斜視図である。 図２は、液剤塗布装置の分解斜視図である。 図３は、液剤塗布装置の断面図である。 図４は、ダイヤフラムの平面図である。 図５は、圧力室プレートの平面図である。 図６は、圧力室プレートの斜視図である。 図７は、ダイヤフラム、圧力室プレート及びシールの断面図である。 図８は、液剤塗布装置１００の断面図である。 図９は、中間部材の斜視図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の一実施形態に係る液剤塗布装置について説明する。ただし、本発明の範囲は、以下の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、各構造における縮尺および数等を、実際の構造における縮尺および数等と異ならせる場合がある。

本明細書において、「接続」と「接触」は、異なる概念である。「接続」とは、２つの部材が互いに固定又は連結されていることを意味する。「接触」とは、２つの部材が直接的に接する状態にあるものの、２つの部材は互いに固定又は連結されていないことを意味する。

本明細書において、「平行」とは、物理的に厳密な意味で平行な場合だけでなく、実質的に平行な場合をも含む概念である。実質的に平行とは、１５°以下の範囲で傾いている場合をいう。また、「垂直」とは、物理的に厳密な意味で垂直な場合だけでなく、実質的に垂直な場合をも含む概念である。実質的に垂直とは、１５°以下の範囲で傾いている場合をいう。

（液剤塗布装置１００） 本実施形態に係る液剤塗布装置１００の構成について、図面を参照しながら説明する。図１は、液剤塗布装置１００の斜視図である。図２は、液剤塗布装置１００の分解斜視図である。図３は、液剤塗布装置１００の断面図である。図２では、アッパープレート６の内部が見えるように輪郭だけが図示されている。

液剤塗布装置１００は、駆動アセンブリ２００及び流路アセンブリ３００を備える。駆動アセンブリ２００は、液剤を吐出するための加圧力を発生させるユニットである。流路アセンブリ３００は、液剤を供給するためのユニットである。

（駆動アセンブリ２００） 駆動アセンブリ２００は、ベースプレート１及び加圧用駆動部２を有する。加圧用駆動部２は、圧電素子３、中間部材４、及び錘部材５を含む。

［ベースプレート１］ ベースプレート１は、流路アセンブリ３００上に配置される。ベースプレート１は、流路アセンブリ３００に対して圧電素子３の位置を固定するための部材である。ベースプレート１は、第１柱部１１、第２柱部１２、梁部１３、及び収容凹部１４を有する。

第１及び第２柱部１１，１２それぞれは、柱状に形成される。梁部１３は、第１及び第２柱部１１，１２それぞれの上端部を連結する。第１及び第２柱部１１，１２それぞれは、後述するアッパープレート６に接続される。これにより、ベースプレート１は、流路アセンブリ３００に対して位置決めされる。

収容凹部１４は、第１柱部１１、第２柱部１２、及び梁部１３によって囲まれた空隙である。収容凹部１４には、圧電素子３が収容される。

なお、ベースプレート１は、流路アセンブリ３００に対して圧電素子３の位置を固定できればよく、その形状は特に制限されない。

［圧電素子３］ 圧電素子３は、収容凹部１４に収容される。圧電素子３は、梁部１３と中間部材４との間に配置される。圧電素子３の一端部は梁部１３に接続され、圧電素子３の他端部は中間部材４に接続される。圧電素子３は、例えばエポキシ樹脂などの接着剤を用いて梁部１３及び中間部材４のそれぞれに接続することができる。

圧電素子３は、図示しない制御部から印加される駆動パルスに応じて、ｚ軸方向に変位（伸縮）する。圧電素子３の変位は、中間部材４及び錘部材５を介して、後述するダイヤフラム７に伝達される。圧電素子３は、１つの圧電体と一対の電極とを少なくとも備える。圧電素子３は、いわゆる部分電極構造を有していてもよい。圧電素子３としては周知の種々の圧電素子を用いることができる。本実際形態に係る圧電素子３は、角柱状に形成されているが、他の形状であってもよい。

［中間部材４］ 中間部材４は、収容凹部１４に収容される。中間部材４は、圧電素子３と錘部材５との間に配置される。中間部材４は、圧電素子３が変位する際に、圧電素子３の一部に応力が集中することを抑制するための部材である。

中間部材４は、圧電素子３に接続される。中間部材４は、例えばエポキシ樹脂などの接着剤を用いて圧電素子３に接続することができる。中間部材４は、圧電素子３と面接触する。中間部材４は、錘部材５と点接触する。中間部材４は、錘部材５と離接可能である。中間部材４の詳細な構成については後述する。

［錘部材５］ 錘部材５は、中間部材４が点接触する「点接触対象物」の一例であり、かつ、中間部材４からの荷重を受ける「受け部材」の一例である。錘部材５は、中間部材４とダイヤフラム７との間に配置される。錘部材５は、アッパープレート６の貫通孔６ｃ内に配置される。錘部材５は、中間部材４と接触する。錘部材５は、中間部材４と離接可能である。錘部材５は、ダイヤフラム７に接続される。錘部材５は、例えばエポキシ樹脂などの接着剤を用いて、或いは溶接によって、ダイヤフラム７に接続することができる。

錘部材５には、中間部材４を介して、圧電素子３の変位が伝達される。錘部材５に圧電素子３の変位が伝達されると、錘部材５は錘として機能してダイヤフラム７に慣性力を付与する。これにより、圧電素子３の微小な変位に比べて、ダイヤフラム７を相対的に大きく変位させることができる。

錘部材５は、ダイヤフラム７に当接する当接面５１ｃを有する。当接面５１ｃは、ダイヤフラム７に接続される。本実施形態において、当接面５１ｃの外縁形状は、円形である。

本実施形態に係る錘部材５は、ｚ軸方向に延びる円柱状に形成されているが、錘部材５は錘として機能すればよく、その形状及びサイズなどは制限されない。

（流路アセンブリ３００） 流路アセンブリ３００は、アッパープレート６、ダイヤフラム７、圧力室プレート８、及びシール９を有する。

［アッパープレート６］ アッパープレート６は、ダイヤフラム７上に配置される。アッパープレート６は、ダイヤフラム側表面６Ｓにおいてダイヤフラム７と接触する。本実施形態に係るダイヤフラム側表面６Ｓは、平面である。

アッパープレート６は、貫通孔６ｃ、給液路６ｄ、排液路６ｅ、及びダイヤフラム側表面６Ｓを有する。

給液路６ｄは、バレル継手６１を介して貯留タンク（不図示）から供給される液剤を、後述する圧力室プレート８の流入路８１に導く。給液路６ｄの入口には、貯留タンクから延びる給液管（不図示）を接続するためのバレル継手６１が取り付けられる。排液路６ｅは、後述する圧力室プレート８の流出路８４から排出される液剤を外部に導く。排液路６ｅの出口には、外部に延びる排液管（不図示）を接続するための排液継手６２が取り付けられる。

［ダイヤフラム７］ ダイヤフラム７は、ｘ軸方向及びｙ軸方向に延びる板状に形成される。ｘ軸方向は、ｙ軸方向及びｚ軸方向に垂直な方向である。ｙ軸方向は、ｘ軸方向及びｚ軸方向に垂直な方向である。

ダイヤフラム７は、圧力室プレート８上に配置される。ダイヤフラム７は、アッパープレート６と圧力室プレート８との間に挟まれる。ダイヤフラム７は、アッパープレート側表面７Ｓにおいてアッパープレート６と接触する。ダイヤフラム７は、圧力室プレート側表面７Ｔにおいて圧力室プレート８と接触する。

図３は、ダイヤフラム７をアッパープレート側表面７Ｓから見た平面図である。ダイヤフラム７は、給液孔７ｅ、排液孔７ｆ、及び可撓領域７ｇを有する。

給液孔７ｅは、アッパープレート６の給液路６ｄと後述する圧力室プレート８の流入路８１とに連なる。排液孔７ｆは、アッパープレート６の排液路６ｅと後述する圧力室プレート８の流出路８４とに連なる。

可撓領域７ｇは、ダイヤフラム７の一部分である。可撓領域７ｇは、ダイヤフラム７のうちアッパープレート６と圧力室プレート８とに接触しない領域である。可撓領域７ｇ上には、加圧用駆動部２が配置される。可撓領域７ｇには、錘部材５の当接面５１ｃが接続される。平面視における可撓領域７ｇの外縁形状は、錘部材５の当接面５１ｃと同じ円形である。

可撓領域７ｇは、後述する圧力室プレート８の圧力室８２を覆う。可撓領域７ｇには、中間部材４及び錘部材５を介して圧電素子３の変位が伝達され、これにより可撓領域７ｇは、ｚ軸方向において弾性的に振動する。このように、ダイヤフラム７のうち振動膜として機能するのは、実質的に可撓領域７ｇのみである。

［圧力室プレート８］ 圧力室プレート８は、ｘ軸方向及びｙ軸方向に延びる板状に形成される。圧力室プレート８上には、ダイヤフラム７が配置される。圧力室プレート８は、ダイヤフラム７と平行に配置される。圧力室プレート８は、接触面８Ｓにおいてダイヤフラム７と接触する。本実施形態において、圧力室プレート８のサイズは、ダイヤフラム７のサイズと同等である。

図５は、圧力室プレート８を接触面８Ｓから見た平面図である。図６は、圧力室プレート８を接触面８Ｓから見た斜視図である。図７は、図５のＡ－Ａ線において、ダイヤフラム７、圧力室プレート８、及びシール９を切断した断面図である。図７は、接触面８Ｓに垂直な断面である。

圧力室プレート８は、流入路８１、圧力室８２、ノズル８３、流出路８４、及びシール溝８５を有する。

流入路８１は、接触面８Ｓに形成
された第１凹部Ｃ１によって構成される。流入路８１は、第１凹部Ｃ１がダイヤフラム７で塞がれることによって形成される。流入路８１は、接触面８Ｓに沿って延びる。本実施形態に係る流入路８１は、ｘ軸方向と平行に延びる。このように、圧力室プレート８の内部に貫通孔を形成するのではなく、圧力室プレート８の表面に形成された凹部をダイヤフラム７で塞ぐことによって流入路８１が形成される。そのため、圧力室プレート８を薄型化できるため、液剤塗布装置１００の小型化を実現することができる。

流入路８１は、図７に示すように、矩形断面を有する。接触面８Ｓに平行なｙ軸方面（面方向の一例）における流入路８１の幅Ｗ１は、接触面８Ｓに垂直なｚ軸方向（厚み方向の一例）における流入路８１の高さＨ１より大きい。すなわち、流入路８１の幅Ｗ１に対する高さＨ１の比は、１より小さい。従って、流入路８１を扁平に形成することによって、圧力室プレート８を更に薄型化できるため、圧力室８２の体積を小さくすることによって、ダイヤフラム７の振動量に対応する圧力室８２の体積変化率を大きくすることができる。その結果、ダイヤフラム７の加圧力が小さくても圧力室８２内の液剤に対して大きな加圧ができ、加圧力を効率的に伝達できるため、より高粘度の液剤を、より低消費電力でノズル８３から吐出させることができる。

流入路８１の一端部は、ダイヤフラム７の給液孔７ｅに連なる。ダイヤフラム７の給液孔７ｅとアッパープレート６の給液路６ｄとを介して、流入路８１に液剤が供給される。流入路８１の他端部は、圧力室８２に連なる。流入路８１に供給された液剤は、圧力室８２に流入する。流入路８１の詳細な構成については後述する。

圧力室８２は、接触面８Ｓに形成された第２凹部Ｃ２によって構成される。圧力室８２は、第２凹部Ｃ２がダイヤフラム７で塞がれることによって形成される。従って、圧力室プレート８を薄型化できるため、圧力室８２の体積を小さくすることによって、ダイヤフラム７の振動量に対応する圧力室８２の体積変化率を大きくすることができる。第２凹部Ｃ２（すなわち、圧力室８２）の外縁形状は、錘部材５の当接面５１ｃ及びダイヤフラム７の可撓領域７ｇと同様、円形である。ダイヤフラム７における可撓領域７ｇの範囲は、第２凹部Ｃ２の外縁によって規定される。

圧力室８２は、流入路８１から流入する液剤を貯留する。圧力室８２に貯留された液剤は、ノズル８３から吐出される。また、圧力室８２に貯留された液剤は、圧力室８２に混入した気泡を除去するために、流出路８４から排出される場合がある。圧力室８２の詳細な構成については後述する。

ノズル８３は、圧力室８２に連なる。ノズル８３は、圧力室プレート８を貫通する孔である。ノズル８３は、圧力室プレート８の外面８Ｔに開口する。ノズル８３は、ｚ軸方向においてダイヤフラム７と対向する。ノズル８３は、接触面８Ｓの平面視において、圧力室８２の内側に配置される。ノズル８３は、接触面８Ｓの平面視において、圧力室８２の中央に配置される。ノズル８３の外縁形状は、圧力室８２と同様、円形である。圧力室８２に貯留された液剤は、ノズル８３から外部に吐出される。ノズル８３の詳細な構成については後述する。

流出路８４は、接触面８Ｓに形成された第３凹部Ｃ３によって構成される。流出路８４は、第３凹部Ｃ３がダイヤフラム７で塞がれることによって形成される。従って、圧力室プレート８を薄型化できるため、圧力室８２の体積を小さくすることによって、ダイヤフラム７の振動量に対応する圧力室８２の体積変化率を大きくすることができる。流出路８４は、接触面８Ｓに沿って延びる。本実施形態に係る流出路８４は、ｘ軸方向と平行に延びる。流出路８４の一端部は、圧力室８２に連なる。流入路８１の他端部は、ダイヤフラム７の排液孔７ｆに連なる。圧力室８２に混入した気泡を除去する場合、ダイヤフラム７の排液孔７ｆとアッパープレート６の排液路６ｅとを介して、流出路８４から外部に液剤が排出される。

シール溝８５は、接触面８Ｓに形成される。シール溝８５は、接触面８Ｓの平面視において、第１乃至第３凹部Ｃ１～Ｃ３の周囲に設けられる。シール溝８５は、第１乃至第３凹部Ｃ１～Ｃ３の外縁に沿って設けられる。シール溝８５は、第１乃至第３凹部Ｃ１～Ｃ３の全体を取り囲む。シール溝８５は、環状に形成される。

［シール９］ シール９は、図７に示すように、ダイヤフラム７と圧力室プレート８との間に挟まれる。シール９は、圧力室プレート８のシール溝８５に配置される。シール９は、圧力室プレート８の流入路８１、圧力室８２、及び流出路８４を取り囲む。シール９は、シール溝８５に配置された状態でダイヤフラム７に押しつけられる。これによって、流入路８１、圧力室８２、及び流出路８４の液密性及び気密性が確保される。シール９は、例えばゴムなどの弾性部材によって構成することができる。

（流入路８１及びノズル８３の流路抵抗） 本実施形態において、流入路８１における流路抵抗に対するノズル８３における流路抵抗の比は、１以上である。すなわち、ノズル８３における流路抵抗は、流入路８１における流路抵抗と同じ、又は、流入路８１における流路抵抗より大きい。そのため、ノズル８３から液剤が連続的に吐出される場合に、流入路８１から圧力室８２に液剤をスムーズに補充することができる。

流入路８１における流路抵抗に対するノズル８３における流路抵抗の比は、２以下であることが好ましい。すなわち、ノズル８３における流路抵抗は、流入路８１における流路抵抗の２倍以下が好ましい。これにより、加圧用駆動部２からダイヤフラム７（具体的には、可撓領域７ｇ）に加圧振動が加えられて、圧力室８２の体積が小さくなったときに、圧力室８２から流入路８１に液剤が逆流することを抑制できる。その結果、ダイヤフラム７の加圧振動に応じて、ノズル８３からスムーズに液剤を吐出させることができる。

流入路８１における流路抵抗は、流入路８１の全長にわたって断面解析することによって算出される。同様に、ノズル８３における流路抵抗は、ノズル８３の全長にわたって断面解析することによって算出される。この断面解析では、圧力損失の算出に用いられる下記の一般式（１）から流路抵抗を算出することができる。

ｐ１－ｐ２＝Ｕ×（８×μ×Ｌ）／（π×ｒ４） ・・・（１） なお、式（１）において、ｐ１－ｐ２は圧力損失であり、ｐ１は流入側の圧力（単位：Ｐａ）であり、ｐ２は流出側の圧力（単位：Ｐａ）である。また、式（１）において、μは粘性係数（単位：Ｎ・ｓｅｃ／ｍ^２）であり、Ｌは流路長（単位：ｍ）であり、ｒは流路半径（単位：ｍ）であり、Ｕは流量（単位：ｍ^３／ｓｅｃ）である。

（圧力室８２及びノズル８３の形状） 図８は、図５のＢ－Ｂ線において液剤塗布装置１００を切断した断面図である。図８は、圧力室プレート８の接触面８Ｓに垂直な断面である。

圧力室８２（第２凹部Ｃ２）は、ノズル８３に向かって全体的にテーパ状に形成される。圧力室８２は、ノズル８３に向かって先細り形状を有する。そのため、接触面８Ｓに平行なｘ軸方向（面方向の一例）における圧力室８２の幅Ｗ２は、ダイヤフラム７からノズル８３に近づくほど狭くなっている。

これにより、圧力室８２の体積を小さくできるため、ダイヤフラム７（具体的には、可撓領域７ｇ）の振動量に対応する圧力室８２の体積変化率を大きくすることができる。その結果、ダイヤフラム７が小さくても圧力室８２内の液剤に対して大きな加圧ができ、加圧力を効率的に伝達できるため、より高粘度の液剤を、より低消費電力でノズル８３から吐出させることができる。特に、本実施形態では、流入路８１を第１凹部Ｃ１で構成することによって圧力室プレート８の薄型化が図られており、圧力室８２の体積をより小さくしやすいため、より効率的に加圧力を液剤に伝達することができる。また、圧力室８２を円柱状に形成する場合に比べて、ノズル８３周辺における圧力室プレート８の肉厚を厚くできるため、ノズル８３の全長を短くして流路抵抗を低減させたとしても、圧力室プレート８の剛性を確保することができる。

また、ｘ軸方向における圧力室８２の全幅Ｗ２ｍａｘは、ｚ軸方向（厚み方向の一例）における圧力室８２の全高Ｈ２ｍａｘよりも大きい。このように、圧力室８２を扁平に形成することによって、圧力室プレート８を薄型化できるため、液剤塗布装置１００の小型化を実現することができる。なお、圧力室８２の全高Ｈ２ｍａｘは、ｚ軸方向におけるダイヤフラム７とノズル８３との距離である。

圧力室８２の全高Ｈ２ｍａｘに対する全幅Ｗ２ｍａｘの比は、１０以上であることが好ましい。すなわち、圧力室８２の全幅Ｗ２ｍａｘは、全高Ｈ２ｍａｘの１０倍以上であることが好ましい。これにより、ダイヤフラム７からの加圧力を液剤に対して更に効率的に伝達できるとともに、液剤塗布装置１００の更なる小型化を実現することができる。

本実施形態において、圧力室８２の断面は、円錐台形状である。詳細には、圧力室８２は、ダイヤフラム７の可撓領域７ｇを底面とする円錐のうち頂点部分が除かれた断面形状を有する。従って、圧力室８２の内側面８２Ｓは、円錐面のうち頂点部分が除かれた部分円錐面になっている。ただし、圧力室８２は、ノズル８３に向かってテーパ状に形成されていればよく、その断面は円錐台形状に限られない。

ノズル８３は、外面８Ｔに向かって全体的にテーパ状に形成される。ノズル８３は、外面８Ｔに向かって先細り形状を有する。そのため、接触面８Ｓに平行なｘ軸方向におけるノズル８３の幅Ｗ３は、圧力室８２から離れるほど狭くなっている。

本実施形態において、ノズル８３の断面は、円錐台形状である。詳細には、ノズル８３は、圧力室８２を底面とする円錐のうち頂点部分が除かれた断面形状を有する。従って、ノズル８３の内側面８３Ｓは、円錐面のうち頂点部分が除かれた部分円錐面になっている。ただし、ノズル８３は、外面８Ｔに向かってテーパ状に形成されていればよく、その断面は円錐台形状に限られない。

ここで、ノズル８３の内側面８３Ｓは、圧力室８２の内側面８２Ｓに比べて、接触面８Ｓに対する傾きが大きい。すなわち、ノズル８３の内側面８３Ｓは、圧力室８２の内側面８２Ｓよりも、ｘ－ｙ平面に対して大きく傾斜している。そのため、ノズル８３周辺における圧力室プレート８の肉厚を厚くできるため、ノズル８３周辺の剛性を確保することができる。

また、図８に示すように、ノズル８３の中心軸８３Ａは、圧力室８２の中心軸８２Ａと一致する。従って、圧力室８２からノズル８３に加圧力を効率的に伝達させることができるため、ノズル８３からよりスムーズに液剤を吐出させることができる。

さらに、加圧用駆動部２の中心軸２Ａは、圧力室８２の中心軸８２Ａ及びノズル８３の中心軸８３Ａそれぞれと一致する。従って、加圧用駆動部２から圧力室８２に加圧力を効率的に伝達させることができるため、ノズル８３から更にスムーズに液剤を吐出させることができる。

（中間部材４の構成） 図９は、中間部材４の斜視図である。

中間部材４は、圧電素子３の先端に接続される。中間部材４は、圧電素子３に接続される平面４Ｓを有する。平面４Ｓは、平面状に形成される。

中間部材４は、平面４Ｓの反対側に設けられる曲面４Ｔを有する。曲面４Ｔは、錘部材５と点接触する（図８参照）。曲面４Ｔは、球面の一部分であってもよいし、湾曲面であってもよい。曲面４Ｔを錘部材５と点接触させることによって、圧電素子３の耐久性を向上させることができる。

なお、本実施形態に係る中間部材４は半球状に形成されているが、平面４Ｓと曲面４Ｔとを有していればよく、その形状及びサイズは特に制限されな
い。

中間部材４は、錘部材５よりも硬度の大きい材料によって構成されることが好ましい。また、中間部材４は、錘部材５よりも耐摩耗性の高い材料によって構成されることが好ましい。このような材料としては、例えば、マルテンサイト系ステンレス鋼（例えば、ＳＵＳ４４０など）、セラミックス系材料（例えば、アルミナなど）、及びルビーなどが挙げられる。これによって、圧電素子３と通常接着剤で接続される中間部材４が磨耗又は変形して圧電素子３とともに中間部材４を交換する回数を減らすことができるため、メンテナンス時間とメンテナンスコストを抑えることができる。

（特徴） 本実施形態に係る加圧用駆動部２は、ダイヤフラム７上に配置される錘部材５と、錘部材５上に配置される中間部材４と、中間部材４上に配置される圧電素子３とを有する。中間部材４は、錘部材５と点接触し、圧電素子３と面接触する。従って、中間部材４を介することによって、錘部材５から圧電素子３に加わる力を均等に伝達させることができる。その結果、圧電素子３の内部に偏った圧縮応力が発生することを抑制できるため、圧電素子３の破損を防止し、かつ耐久性を向上させることができる。また、圧電素子３とダイヤフラム７に配置されている錘部材５は点接触なので、ダイヤフラム７に対する圧電素子３の組み付け位置、特に組み付け角度の許容誤差を緩和することができるため、設計公差の緩和による製作部品を低コスト化、ならびに組立工程の簡素化を図ることが出来る。

（実施形態の変形例） 本発明は上記の実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなる。

［変形例１］ 上記実施形態に係る圧力室プレート８において、流入路８１、圧力室８２、及び流出路８４は、接触面８Ｓに形成されることとしたが、それぞれ圧力室プレート８の内部に形成されていてもよい。この場合、液剤塗布装置１００は、シール９を備えていなくてもよい。

［変形例２］ 上記実施形態に係る圧力室プレート８は、流出路８４を有することとしたが、流出路８４を有していなくてもよい。

［変形例３］ 上記実施形態に係る圧力室８２の幅Ｗ２は、ノズル８３に近づくほど狭いこととしたが、これに限られない。

［変形例４］ 上記実施形態に係るノズル８３の幅Ｗ３は、圧力室８２から離れるほど狭いこととしたが、これに限られない。

［変形例５］ 上記実施形態に係るダイヤフラム７のサイズは、圧力室プレート８のサイズと同等であることとしたが、ダイヤフラム７は、流入路８１、圧力室８２、及び流出路８４を覆うことのできるサイズであればよい。

［変形例６］ 上記実施形態では、第１及び第２柱部１１，１２をアッパープレート６に接続することによって、ベースプレート１を流路アセンブリ３００に対して位置決めすることとしたが、ベースプレート１の位置決め方法は適宜変更可能である。

［変形例７］ 上記実施形態において、ダイヤフラム７、圧力室プレート８、及びアッパープレート６は、互いに接続されることとしたが、例えば、ねじによって互いに連結されてもよい。

［変形例８］ 上記実施形態において、加圧用駆動部２は、圧電素子３、中間部材４、及び錘部材５を有することとしたが、錘部材５を有していなくてもよい。この場合、中間部材４はダイヤフラム７と直接的に点接触するので、ダイヤフラム７が「点接触対象物」となる。

［変形例９］ 上記実施形態では特に触れていないが、流路アセンブリ３００のうち液剤と接触する部材（アッパープレート６、ダイヤフラム７、及び圧力室プレート８）は、液剤に対する耐食性を有する材料によって構成することが好ましい。ただし、これらの部材のうち液剤と接触する面を耐食性膜などで被覆すれば、種々の構成材料を採用することができる。

Claims (9)

1. 液剤を貯留する圧力室を有する圧力室プレートと、
   前記圧力室プレート上に配置されるダイヤフラムと、
   前記ダイヤフラムに加圧振動を加える加圧用駆動部と、を備え、
   前記加圧用駆動部は、
   圧電素子と、
   前記圧電素子と面接触し、かつ、前記圧電素子の反対側に位置する点接触対象物と点接触する中間部材と、を有する、液剤塗布装置。
2. 前記点接触対象物は、前記ダイヤフラムと前記中間部材との間に配置された受け部材である、請求項１に記載の液剤塗布装置。
3. 前記点接触対象物は、前記ダイヤフラムである、請求項１に記載の液剤塗布装置。
4. 前記中間部材は、前記点接触対象物よりも硬度の大きい材料によって構成される、請求項１に記載の液剤塗布装置。
5. 前記中間部材は、前記点接触対象物よりも耐摩耗性の高い材料によって構成される、請求項１に記載の液剤塗布装置。
6. 前記圧力室プレートは、前記ダイヤフラムに接触する接触面を有し、
   前記圧力室は、前記接触面に形成された凹部によって構成される、請求項１に記載の液剤塗布装置。
7. 前記圧力室プレートは、前記ダイヤフラムに接触する接触面を有し、
   前記圧力室は、前記接触面に形成された凹部によって構成され、
   前記点接触対象物は、前記ダイヤフラムと前記中間部材との間に配置された受け部材であり、
   前記受け部材は、前記ダイヤフラムに当接する当接面を有し、
   前記当接面の外縁形状は、前記接触面における前記凹部の外縁形状と同じである、請求項４に記載の液剤塗布装置。
8. 前記中間部材は、前記点接触対象物と点接触する曲面を有する、請求項１に記載の液剤塗布装置。
9. 前記中間部材は、前記圧電素子に接続され、かつ、前記点接触対象物と離接可能である、請求項１に記載の液剤塗布装置。

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