JP7197095B2 - 官能基の着脱を利用したグラフェンナノ細孔の形成方法及びそれによって形成されたグラフェンナノ細孔を有するグラフェンシート - Google Patents
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Description
まず、ナノ細孔を形成するグラフェンシートを用意した。
Claims (6)
- グラフェンシートにナノ細孔を形成するためのグラフェンナノ細孔の形成方法であって、
(a)グラフェンシートに官能基が結合された領域を形成するステップと、
(b)前記官能基が結合された領域が形成されたグラフェンシートを加熱し、前記官能基が結合された領域を除去してナノ細孔を形成するステップと、を含み、
前記ステップ(a)は、フッ素(F)を含む活性化気体をグラフェンシートと反応させて前記官能基が結合された領域を形成させることにより行われ、
前記ステップ(a)において、半導体性触媒または金属性触媒を共に利用することを特徴とする、グラフェンナノ細孔の形成方法。 - 前記半導体性触媒が、シリコンウェハ(Si wafer)の片であることを特徴とする請求項1に記載のグラフェンナノ細孔の形成方法。
- 前記フッ素(F)を含む活性化気体は、XeF2、CF4、及びSF6からなる群より選択されるいずれか一つ、またはこれらの組み合わせであることを特徴とする請求項1に記載のグラフェンナノ細孔の形成方法。
- 前記ステップ(a)の圧力は0.2乃至3Torrであることを特徴とする請求項1に記載のグラフェンナノ細孔の形成方法。
- 前記ステップ(a)が行われる圧力または反応時間に形成されるナノ細孔のサイズ、形状、または密度が調節されることを特徴とする請求項1に記載のグラフェンナノ細孔の形成方法。
- 前記ステップ(b)は、不活性気体の雰囲気または真空雰囲気で50乃至500℃の温度で1乃至24時間行われることを特徴とする請求項1に記載のグラフェンナノ細孔の形成方法。
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