JP7197016B2 - 検査装置、測定方法及びプログラム - Google Patents
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Description
以下、実施の形態1について説明する。
図1は、実施の形態1に係る検査装置10の構成を示すブロック図である。図1に示すように、検査装置10は、三次元センサ11と、方向特定部12と、チルト量決定部13と、を備えている。
以下、実施の形態2について説明する。
まず、実施の形態2に係る検査装置の構成について説明する。図2は、実施の形態2に係る検査装置110の構成を示すブロック図である。図2に示すように、検査装置110は、三次元センサ111と、方向特定部112と、チルト量決定部113と、姿勢変更部114と、を備えている。
チルト量決定部113は、点群データの点の数が増えるように、基準座標系としての基準三次元直交座標系に対して固有座標系としての固有三次元直交座標系をチルトさせるためのチルト量を、基準方向に基づいて決定する。姿勢変更部114は、チルト量に応じて、基準三次元直交座標系に対して三次元センサをチルトさせる。
基準三次元直交座標系は基準とする三次元直交座標系で、三次元センサ111の姿勢が変わっても不変である。固有三次元直交座標系は三次元センサ111に固有の三次元直交座標系で、三次元センサ111の姿勢に追随して変わる。
図7のステップS102において基準方向を検出する方法として、主成分分析(PCA:Principal Component Analysis)の手法を適用することができる。主成分分析の手法では、主成分(固有ベクトル)の固有値が分散である。主成分分析の手法では、固有値が大きいから順に第1主成分、第2主成分、・・・と呼ぶ。検査対象部材の点群データは3つのパラメータ(x、y、z)から成るため、第1主成分、第2主成分、第3主成分と、3つの主成分が得られる。
図9及び図10は、図7のステップS103において、基準方向に基づいてチルト量を決定する方法について説明する模式図である。図9に示すように、まず、固有三次元直交座標系が基準三次元直交座標系に一致している状態であるとする。また、基準方向が基準三次元直交座標系のz軸方向に一致しているとする。
検査装置110において、三次元センサ111を用いた検査対象部材の測定において、質の良い点群データを取得することができるように三次元センサ111をチルトさせるための処理の流れの別の例について説明する。なお、以下の説明では図2についても適宜参照する。
以下、実施の形態3について説明する。
図14は、実施の形態3に係る検査装置210の構成を示すブロック図である。図14に示すように、検査装置210は、三次元センサ111と、方向特定部112と、チルト量決定部113と、重畳点群データ作成部115と、を備えている。つまり、検査装置210は、重畳点群データ作成部115を備えていることのみ、図2に示す検査装置110の構成と異なる。重畳点群データ作成部115は、三次元センサ111によって複数回取得された点群データを重ね合わせた重畳点群データを作成する。このようにすることで、三次元センサ111を用いた検査対象部材の測定において、より質の良い点群データを取得することができる。
11、111 三次元センサ
12、112 方向特定部
13、113 チルト量決定部
114 姿勢変更部
115 重畳点群データ作成部
Claims (10)
- 検査対象部材に対してビームを照射し、少なくとも光の振幅情報に基づいて前記検査対象部材の点群データを取得する三次元センサと、
前記検査対象部材に対する座標軸である基準座標系において、前記点群データの数が最も多く存在する所定の方向を特定する方向特定部と、
前記三次元センサに対する座標軸である固有座標系において、前記所定の方向の点群データの数が増えるように、前記基準座標系に対する配置を変更するためのチルト量を決定するチルト量決定部と、を備える検査装置。 - 前記チルト量に応じて、前記基準座標系に対して前記固有座標系がチルトするように前記三次元センサの姿勢を変更する姿勢変更部をさらに備える、請求項1に記載の検査装置。
- 前記姿勢変更部が前記三次元センサの姿勢を変更した後に、
前記三次元センサが前記検査対象部材の前記点群データを再度取得し、
前記方向特定部が再度取得された前記点群データより前記所定の方向を再度検出し、
前記チルト量決定部は、前回の前記所定の方向の検出結果と今回の前記所定の方向の検出結果との角度差が、閾値未満の場合には前記チルト量の再度の決定を行なわず、前記閾値以上の場合には前記チルト量を再度決定し、
前記姿勢変更部は、前記チルト量が再度決定された場合に、再度決定された前記チルト量に応じて前記三次元センサの姿勢を変更する、請求項2に記載の検査装置。 - 前記方向特定部は、前記点群データの分布に基づいて前記所定の方向を検出する、請求項1から3のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記分布は分散である、請求項4に記載の検査装置。
- 前記チルト量決定部は、前記所定の方向と、前記三次元センサにおけるビームの走査方向のうちで分解能が最も高い方向と、が直交するように前記チルト量を決定する、請求項1から5のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記三次元センサによって複数回取得された前記点群データを重ね合わせた重畳点群データを作成する重畳点群データ作成部をさらに備える、請求項1から6のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記検査対象部材は異形棒鋼である、請求項1から7のいずれか一項に記載の検査装置。
- 少なくとも光の振幅情報に基づいて点群データを取得することができる三次元センサにより検査対象部材に対してビームを照射して点群データを取得する第1のステップと、
前記検査対象部材に対する座標軸である基準座標系において、前記点群データの数が最も多く存在する所定の方向を特定する第2のステップと、
前記三次元センサに対する座標軸である固有座標系において、前記所定の方向の点群データの数が増えるように、前記基準座標系に対する配置を変更するためのチルト量を決定する第3のステップと、を備える測定方法。 - 少なくとも光の振幅情報に基づいて点群データを取得することができる三次元センサにより検査対象部材に対してビームを照射して点群データを取得する第1のステップと、
前記検査対象部材に対する座標軸である基準座標系において、前記点群データの数が最も多く存在する所定の方向を特定する第2のステップと、
前記三次元センサに対する座標軸である固有座標系において、前記所定の方向の点群データの数が増えるように、前記基準座標系に対する配置を変更するためのチルト量を決定する第3のステップと、をコンピュータに実行させるプログラム。
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