JP7162954B2 - レーザと同軸のイオン励起装置 - Google Patents
レーザと同軸のイオン励起装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7162954B2 JP7162954B2 JP2022516229A JP2022516229A JP7162954B2 JP 7162954 B2 JP7162954 B2 JP 7162954B2 JP 2022516229 A JP2022516229 A JP 2022516229A JP 2022516229 A JP2022516229 A JP 2022516229A JP 7162954 B2 JP7162954 B2 JP 7162954B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- ion
- optical path
- coaxial
- mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/10—Ion sources; Ion guns
- H01J49/16—Ion sources; Ion guns using surface ionisation, e.g. field-, thermionic- or photo-emission
- H01J49/161—Ion sources; Ion guns using surface ionisation, e.g. field-, thermionic- or photo-emission using photoionisation, e.g. by laser
- H01J49/164—Laser desorption/ionisation, e.g. matrix-assisted laser desorption/ionisation [MALDI]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/025—Detectors specially adapted to particle spectrometers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/34—Dynamic spectrometers
- H01J49/40—Time-of-flight spectrometers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Lasers (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Description
前記レーザ伝送光路は順次設けられたレーザ機器、ビームエキスパンダ、二重反射ミラー、全反射ミラー及び対物レンズを含むが、これらに限定されるものではなく、
前記視覚監視光路は順次設けられたレーザ透過ミラー、光源分光器及びレンズ群を含むが、これらに限定されるものではなく、視覚監視光路とレーザ機器は共役となり、
前記視覚照明光路は順次設けられた視覚光源、光源分光器及びレーザ透過ミラーを含むが、これらに限定されるものではなく、視覚照明光路とレーザ機器は共役となり、
前記光強度監視光路は感光センサを含むが、これに限定されるものではなく、
前記イオン伝送チャネルは可変曲面イオンレンズ、イオンフィルタ又はイオン検出装置を含むが、これらに限定されるものではない。ここで、レーザ機器はレーザ光源とし、イオン検出装置は従来の構造とする。
図1に示すように、レーザと同軸のイオン励起装置は、光路中心とイオン伝送チャネルとを含み、光路中心は空いており、光路中心とイオン伝送チャネルは同軸であり、イオン伝送チャネルはマトリックスキャリアに垂直であり、レーザ集束スポットは不均一性集束であり、光路はレーザ伝送光路、視覚監視光路、視覚照明光路、光強度監視光路を含むが、これらに限定されるものではなく、そのうち、レーザ伝送光路は順次設けられたレーザ機器3、ビームエキスパンダ4、二重反射ミラー8、全反射ミラー9及び対物レンズ10を含むが、これらに限定されるものではなく、視覚監視光路は順次設けられたレーザ透過ミラー5、光源分光器6及びレンズ群7を含むが、これらに限定されるものではなく、視覚監視光路はレーザ機器と共役となるとともに、カメラ1によって監視し、視覚照明光路は順次設けられた視覚光源2、光源分光器6及びレーザ透過ミラー5を含むが、これらに限定されるものではなく、視覚照明光路とレーザ機器3は共役となり、光強度監視光路は感光センサ12を含むが、これに限定されるものではなく、イオン伝送チャネルはイオンフィルタ、イオン検出装置を含むが、これらに限定されるものではない。ここで、レーザ機器はレーザ光源とし、レーザ伝送光路に入り、ビームエキスパンダ4、レーザ透過ミラー5、二重反射ミラー8、全反射ミラー9を順次通過して対物レンズ10、感光センサ12に入り、イオン検出装置は従来の構造とし、重複する説明は省略する。ここで、レーザ集束によるレーザスポットエネルギーは中心から周囲へ不均一に集束し、集束スポットの大きさは10μmから500μmである。
2 視覚光源
3 レーザ機器
4 ビームエキスパンダ
5 レーザ透過ミラー
6 光源分光器
7 レンズ群
8 二重反射ミラー
9 全反射ミラー
10 対物レンズ
11 イオン検出装置
12 感光センサ
13 焦点調整レンズ群
Claims (9)
- 光路中心とイオン伝送チャネルとを含むレーザと同軸のイオン励起装置であって、前記光路中心は空いており、光路中心と前記イオン伝送チャネルは同軸であり、イオン伝送チャネルはマトリックスキャリアに垂直であり、レーザ集束スポットは不均一性集束であり、光路はレーザ伝送光路、視覚監視光路、視覚照明光路、及び光強度監視光路を含み、
前記レーザ伝送光路は順次設けられたレーザ機器、ビームエキスパンダ、二重反射ミラー、全反射ミラー及び対物レンズを含み、
前記二重反射ミラーは、中心反射面と環状反射面を有し、中心反射面は中心光源を環状反射面に反射し、環状反射面はレーザを入射光に沿って同軸で反射し、中心が空いている環状レーザ伝送チャネルを形成する、
ことを特徴とするレーザと同軸のイオン励起装置。 - 前記視覚監視光路は順次設けられたレーザ透過ミラー、光源分光器及びレンズ群を含み、視覚監視光路とレーザ機器は共役となり、
前記視覚照明光路は順次設けられた視覚光源、光源分光器及びレーザ透過ミラーを含み、視覚照明光路とレーザ機器は共役となり、
前記光強度監視光路は感光センサを含み、
前記イオン伝送チャネルは可変曲面イオンレンズ、イオンフィルタ又はイオン検出装置を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザと同軸のイオン励起装置。 - 前記対物レンズは中空構造であり、中空部分はイオン伝送チャネルとし、対物レンズはマトリックスキャリアに垂直に設けられる、
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザと同軸のイオン励起装置。 - 前記全反射ミラーは中空構造であり、中空部分はイオン伝送チャネルとし、他の部分は反射ミラーとする、
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザと同軸のイオン励起装置。 - 前記二重反射ミラーは、中心に孔又は完全透過領域があり、レーザが孔又は完全透過領域を通過して、反射されずに前記感光センサに直接到達し、レーザ強度を監視又は測定する、
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザと同軸のイオン励起装置。 - 前記視覚光源はレーザ機器と波長が異なり、マトリックスキャリアの状態を同期監視し、又はレーザによる励起の集束調整に用いられる、
ことを特徴とする請求項2に記載のレーザと同軸のイオン励起装置。 - 前記全反射ミラーは、固定焦点のイオン励起に用いられる単一の中空の全反射ミラー、又は線走査若しくは面走査によるイオン励起に用いられる中空の走査ミラー群であり、ただし、中空の走査ミラー群は、1つの中空の走査ミラー又は2つの中空の走査ミラーを含む、
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザと同軸のイオン励起装置。 - 前記ビームエキスパンダと二重反射ミラーとの間に焦点調整レンズ群が設けられ、前記焦点調整レンズ群は視覚監視装置と連動してレーザビームの集束位置を調整するために用いられる、
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザと同軸のイオン励起装置。 - 前記レーザ集束によるレーザスポットエネルギーは中心から周囲へ不均一に集束し、集束スポットの大きさは10μmから500μmである、
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザと同軸のイオン励起装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010084100.2 | 2020-02-10 | ||
CN202010084100.2A CN111161998A (zh) | 2020-02-10 | 2020-02-10 | 一种激光同轴离子激发装置 |
PCT/CN2020/137862 WO2021159861A1 (zh) | 2020-02-10 | 2020-12-21 | 一种激光同轴离子激发装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022541672A JP2022541672A (ja) | 2022-09-26 |
JP7162954B2 true JP7162954B2 (ja) | 2022-10-31 |
Family
ID=70565461
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022516229A Active JP7162954B2 (ja) | 2020-02-10 | 2020-12-21 | レーザと同軸のイオン励起装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220157591A1 (ja) |
EP (1) | EP3993009A4 (ja) |
JP (1) | JP7162954B2 (ja) |
CN (1) | CN111161998A (ja) |
WO (1) | WO2021159861A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111161998A (zh) * | 2020-02-10 | 2020-05-15 | 浙江迪谱诊断技术有限公司 | 一种激光同轴离子激发装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007020862A1 (ja) | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Shimadzu Corporation | 質量分析装置 |
JP2008064727A (ja) | 2006-09-05 | 2008-03-21 | Newer Tech Kk | 液体クロマトグラフ・レーザー脱離イオン化飛行時間質量分析計 |
JP2015102631A (ja) | 2013-11-22 | 2015-06-04 | 株式会社ニコン | カメラ |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04154040A (ja) * | 1990-10-17 | 1992-05-27 | Hitachi Ltd | 顕微レーザ励起質量分析計 |
JPH07226184A (ja) * | 1994-02-10 | 1995-08-22 | Hitachi Ltd | 質量分析計 |
JPH08148116A (ja) * | 1994-11-18 | 1996-06-07 | Hitachi Ltd | 顕微レーザ飛行時間型質量分析計 |
JPH10199475A (ja) * | 1997-01-14 | 1998-07-31 | Hitachi Ltd | 質量分析方法及びその装置並びに半導体装置の製造方法 |
KR100817854B1 (ko) * | 2006-09-19 | 2008-03-31 | 재단법인서울대학교산학협력재단 | 라만 산란광 및 광산란의 동시 검출 장치 |
WO2016090356A1 (en) * | 2014-12-05 | 2016-06-09 | Fluidigm Canada Inc. | Mass cytometry imaging |
CN104713856B (zh) * | 2015-03-17 | 2017-08-25 | 北京理工大学 | 高空间分辨激光共焦光谱‑质谱显微成像方法与装置 |
CN104677885B (zh) * | 2015-03-17 | 2017-09-05 | 北京理工大学 | 高空间分辨激光差动共焦光谱‑质谱显微成像方法与装置 |
JP6908180B2 (ja) * | 2018-03-27 | 2021-07-21 | 株式会社島津製作所 | Maldiイオン源 |
CN108873283B (zh) * | 2018-05-04 | 2020-07-17 | 中国科学院上海应用物理研究所 | 一种基于超连续激光器构建的多模式全光谱暗场显微镜及其应用 |
EP3807922A4 (en) * | 2018-06-18 | 2022-03-23 | Fluidigm Canada Inc. | HIGH RESOLUTION IMAGING APPARATUS AND METHOD |
US10784070B2 (en) * | 2018-10-19 | 2020-09-22 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Charged particle beam device, field curvature corrector, and methods of operating a charged particle beam device |
US11164734B2 (en) * | 2019-04-11 | 2021-11-02 | Exum Instruments | Laser desorption, ablation, and ionization system for mass spectrometry analysis of samples including organic and inorganic materials |
CN111161998A (zh) * | 2020-02-10 | 2020-05-15 | 浙江迪谱诊断技术有限公司 | 一种激光同轴离子激发装置 |
-
2020
- 2020-02-10 CN CN202010084100.2A patent/CN111161998A/zh active Pending
- 2020-12-21 JP JP2022516229A patent/JP7162954B2/ja active Active
- 2020-12-21 EP EP20918704.6A patent/EP3993009A4/en active Pending
- 2020-12-21 WO PCT/CN2020/137862 patent/WO2021159861A1/zh unknown
-
2022
- 2022-02-08 US US17/666,634 patent/US20220157591A1/en active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007020862A1 (ja) | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Shimadzu Corporation | 質量分析装置 |
JP2008064727A (ja) | 2006-09-05 | 2008-03-21 | Newer Tech Kk | 液体クロマトグラフ・レーザー脱離イオン化飛行時間質量分析計 |
JP2015102631A (ja) | 2013-11-22 | 2015-06-04 | 株式会社ニコン | カメラ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN111161998A (zh) | 2020-05-15 |
WO2021159861A1 (zh) | 2021-08-19 |
US20220157591A1 (en) | 2022-05-19 |
EP3993009A1 (en) | 2022-05-04 |
EP3993009A4 (en) | 2023-02-08 |
JP2022541672A (ja) | 2022-09-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102215500B1 (ko) | 고휘도의 레이저-지속 플라즈마 광대역 광원 | |
US10352522B2 (en) | Illumination device for variable illumination | |
US7592582B2 (en) | Confocal scanner having beam spread angle adjustment device | |
KR20190020347A (ko) | 고품질, 안정적인 출력 빔, 및 긴 수명의 높은 변환 효율의 비선형 결정을 이용한 레이저 | |
CN110849271A (zh) | 一种光谱共焦测量系统及方法 | |
CN105241857A (zh) | 一种超分辨成像系统 | |
JP7162954B2 (ja) | レーザと同軸のイオン励起装置 | |
CN108802988A (zh) | 超分辨光学显微成像系统及其调节方法 | |
CN107884387A (zh) | 光谱仪及光谱检测系统 | |
US7349103B1 (en) | System and method for high intensity small spot optical metrology | |
CN112539697B (zh) | 一种发光装置及其光斑调整方法、检测设备 | |
CN211012841U (zh) | 一种光谱共焦测量系统 | |
CN110763690B (zh) | 一种表面检测装置及方法 | |
CN216350391U (zh) | 一种基于led投影模组的检测照明系统 | |
CN212625480U (zh) | 一种激光同轴离子激发装置 | |
US7307711B2 (en) | Fluorescence based laser alignment and testing of complex beam delivery systems and lenses | |
CN102692702A (zh) | 采用激光干涉场的共聚焦显微镜 | |
WO2021093264A1 (zh) | 一种表面检测装置及方法 | |
CN205353467U (zh) | 基于复眼透镜的激光显示匀场整形装置 | |
CN217605122U (zh) | 一种基于荧光高光谱成像系统的匀化光路结构 | |
CN109781683A (zh) | 一种可同步进行时间分辨吸收、荧光以及太赫兹探测的光学系统 | |
JP2000352556A (ja) | 分光分析装置 | |
CN114894309A (zh) | 一种基于荧光高光谱成像系统的匀化光路结构 | |
CN220019981U (zh) | 用于共聚焦激光扫描荧光成像的光学装置及荧光成像系统 | |
JPS61129555A (ja) | 空間分解能を有するモニタ− |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220310 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20220310 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220809 |
|
A524 | Written submission of copy of amendment under article 19 pct |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A524 Effective date: 20220914 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220927 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20221012 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7162954 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |