JP7157958B2 - pressure sensitive elements and steering gear - Google Patents

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Description

本開示は感圧素子および操舵装置に関する。 The present disclosure relates to pressure sensitive elements and steering systems.

感圧素子は、産業機器、ロボットおよび車両などの分野において、人が触れる部分に、押圧力(接触圧)を検出する感圧センサとして装着されることにより、幅広く利用されている。近年、コンピュータによる制御技術の発展および意匠性の向上とともに、人型のロボットおよび自動車の内装品等のような自由曲面を多彩に使用した電子機器の開発が進んでいる。それに合わせて、各自由曲面に高性能な感圧素子を装着することが求められている。例えば、特許文献1~3はこれらの背景技術を開示している。 2. Description of the Related Art Pressure-sensitive elements are widely used in the fields of industrial equipment, robots, vehicles, and the like by being attached to parts touched by people as pressure-sensitive sensors that detect pressing force (contact pressure). 2. Description of the Related Art In recent years, along with the development of computer control technology and the improvement of design, the development of electronic devices such as humanoid robots and interior parts of automobiles that use free-form surfaces in various ways is progressing. Accordingly, it is required to mount a high-performance pressure-sensitive element on each free-form surface. For example, Patent Documents 1 to 3 disclose these background techniques.

特開2011-102457号公報JP 2011-102457 A 特開2015-114308号公報JP 2015-114308 A 特開2014-190712号公報JP 2014-190712 A

本願発明者らは、鋭意検討の末、静電容量式の感圧センサとして用いられる感圧素子は、押圧力の測定範囲(ダイナミックレンジ)および構造の簡易化の点で改善点があることを見い出した。 As a result of intensive studies, the inventors of the present application have found that a pressure-sensitive element used as a capacitance-type pressure-sensitive sensor has improvements in terms of a pressure measurement range (dynamic range) and structural simplification. found out.

詳しくは、特許文献1の技術においては、導電糸間の距離の変化に基づく静電容量の変化を利用して、押圧力を検出するため、押圧力の測定範囲が比較的狭いことが問題となっていた。 Specifically, in the technique of Patent Document 1, since the pressing force is detected by using the change in capacitance based on the change in the distance between the conductive yarns, there is a problem that the pressing force measurement range is relatively narrow. was becoming

特許文献2の技術においては、クランク状の屈曲構造を有する接続部により検出素子間を接続する必要があるため、感圧素子の構造の簡易化が求められていた。 In the technique disclosed in Patent Document 2, since it is necessary to connect detection elements with a connecting portion having a crank-shaped bending structure, simplification of the structure of the pressure-sensitive element has been demanded.

特許文献3の技術においては、荷重センサ部はエラストマー製の基材および該基材の表側および裏側それぞれに配置される表側電極および裏側電極を備え、押圧による電極間距離の変化に基づいて押圧力が検出される。そのため、押圧力の測定範囲が比較的狭いことが問題となっていた。 In the technique disclosed in Patent Document 3, the load sensor unit includes an elastomer base material and front-side electrodes and back-side electrodes arranged on the front side and the back side of the base material, respectively. is detected. Therefore, there is a problem that the pressing force can be measured in a relatively narrow range.

本開示は、かかる事情に鑑みて為されたものである。即ち、本開示の目的は、押圧力の測定範囲が比較的広く、かつ構造が比較的簡易な感圧素子を提供することである。 The present disclosure has been made in view of such circumstances. That is, an object of the present disclosure is to provide a pressure-sensitive element that has a relatively wide pressure measurement range and a relatively simple structure.

本開示に係る感圧素子は、押圧力を付与される感圧部と前記押圧力を検出する検出器とを備えた感圧素子であって、前記感圧部は、弾性を有するシート状の導電性ゴムからなる第1の導電部材と、第2の導電部材と、前記第1の導電部材と前記第2の導電部材との間に配置され、かつ前記第2の導電部材の表面を覆う誘電体と、を有し、前記第2の導電部材は金属線であり、前記誘電体は前記第2の導電部材の絶縁皮膜を構成し、前記誘電体および前記第2の導電部材は絶縁コート金属線を構成し、前記誘電体は剛性を有し、前記検出器は、前記感圧部に前記押圧力が付与されて、前記第1の導電部材または前記第2の導電部材と前記誘電体との接触領域の面積が、前記第1の導電部材が有する前記弾性に基づいて拡大することによる、前記第1の導電部材と前記第2の導電部材との間の静電容量の変化に基づいて、前記押圧力を検出する。 A pressure-sensitive element according to the present disclosure is a pressure-sensitive element that includes a pressure-sensitive portion to which a pressing force is applied and a detector that detects the pressing force, wherein the pressure-sensitive portion is an elastic sheet-like A first conductive member made of conductive rubber, a second conductive member, disposed between the first conductive member and the second conductive member, and covering the surface of the second conductive member a dielectric, wherein the second conductive member is a metal wire, the dielectric constitutes an insulating coating of the second conductive member, and the dielectric and the second conductive member have an insulating coating. The detector comprises a metal wire, the dielectric has rigidity, and the pressure sensing portion is applied with the pressing force, so that the first conductive member or the second conductive member and the dielectric Based on the change in the capacitance between the first conductive member and the second conductive member due to the area of the contact region with expanding based on the elasticity of the first conductive member to detect the pressing force.

本開示に従えば、押圧力の測定範囲が比較的広く、かつ構造が比較的簡易な感圧素子が得られる。 According to the present disclosure, it is possible to obtain a pressure-sensitive element having a relatively wide measuring range of pressing force and having a relatively simple structure.

図1Aは、本開示の第1実施態様に係る感圧素子の構成を模式的に示した断面図である。FIG. 1A is a cross-sectional view schematically showing the configuration of a pressure-sensitive element according to the first embodiment of the present disclosure; FIG. 図1Bは、図1Aの感圧素子の感圧部に押圧力が付与された際の感圧部の構成を模式的に示した断面図である。FIG. 1B is a cross-sectional view schematically showing the configuration of the pressure-sensitive portion of the pressure-sensitive element of FIG. 1A when a pressing force is applied to the pressure-sensitive portion. 図1Cは、図1Aの感圧素子における第2の導電部材の平面視形状の一例および当該第2の導電部材の位置ズレを制限する拘束部材の一例を模式的に示す図であって、基材および第2の導電部材を第2の導電部材側から見たときの見取り図である。1C is a diagram schematically showing an example of a plan view shape of a second conductive member in the pressure-sensitive element of FIG. 1A and an example of a restraining member that limits positional displacement of the second conductive member; FIG. 4 is a schematic view of the material and the second conductive member when viewed from the side of the second conductive member; 図1Dは、本開示の第1実施態様の変形例に係る感圧素子の構成を模式的に示した断面図である。FIG. 1D is a cross-sectional view schematically showing the configuration of a pressure-sensitive element according to a modification of the first embodiment of the present disclosure; 図1Eは、図1Dの感圧素子の感圧部に押圧力が付与された際の感圧部の構成を模式的に示した断面図である。FIG. 1E is a cross-sectional view schematically showing the configuration of the pressure-sensitive portion of the pressure-sensitive element of FIG. 1D when a pressing force is applied to the pressure-sensitive portion. 図2は、本開示の第2実施態様に係る感圧素子の構成を模式的に示した断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of a pressure-sensitive element according to the second embodiment of the present disclosure. 図3は、本開示の第3実施態様に係る感圧素子の構成を模式的に示した断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of a pressure-sensitive element according to the third embodiment of the present disclosure. 図4は、本開示の第4実施態様に係る感圧素子の構成を模式的に示した断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of a pressure-sensitive element according to the fourth embodiment of the present disclosure. 図5は、本開示の第5実施態様に係る感圧素子の構成を模式的に示した断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of a pressure-sensitive element according to the fifth embodiment of the present disclosure. 図6Aは、本開示の第6実施態様に係る感圧素子の構成を模式的に示した断面図である。FIG. 6A is a cross-sectional view schematically showing the configuration of a pressure-sensitive element according to the sixth embodiment of the present disclosure; 図6Bは、図6Aの感圧素子における第1の導電部材および第2の導電部材の形態を模式的に示す、第1の導電部材および第2の導電部材の見取り図である。FIG. 6B is a sketch of the first conductive member and the second conductive member, schematically showing the configuration of the first conductive member and the second conductive member in the pressure-sensitive element of FIG. 6A. 図7は、本開示の第7実施態様に係る感圧素子の構成を模式的に示した断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of a pressure-sensitive element according to the seventh embodiment of the present disclosure. 図8は、本開示の第8実施態様に係る感圧素子の構成を模式的に示した断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of a pressure-sensitive element according to the eighth embodiment of the present disclosure. 図9Aは、本開示の第9実施態様に係る感圧素子の構成を模式的に示した断面図である。FIG. 9A is a cross-sectional view schematically showing the configuration of a pressure-sensitive element according to the ninth embodiment of the present disclosure; 図9Bは、図9Aの感圧素子の感圧部に押圧力が付与された際の感圧部の構成を模式的に示した断面図である。FIG. 9B is a cross-sectional view schematically showing the configuration of the pressure-sensitive portion of the pressure-sensitive element of FIG. 9A when a pressing force is applied to the pressure-sensitive portion. 図10Aは、本開示の第10実施態様に係る感圧素子の構成を模式的に示した断面図である。FIG. 10A is a cross-sectional view schematically showing the configuration of a pressure-sensitive element according to the tenth embodiment of the present disclosure; 図10Bは、図10Aの感圧素子の感圧部に押圧力が付与された際の感圧部の構成を模式的に示した断面図である。FIG. 10B is a cross-sectional view schematically showing the configuration of the pressure-sensitive portion of the pressure-sensitive element of FIG. 10A when a pressing force is applied to the pressure-sensitive portion. 図10Cは、本開示の第10実施態様に係る他の感圧素子の構成を模式的に示した断面図である。FIG. 10C is a cross-sectional view schematically showing the configuration of another pressure-sensitive element according to the tenth embodiment of the present disclosure; 図10Dは、本開示の第10実施態様に係る他の感圧素子の構成を模式的に示した断面図である。FIG. 10D is a cross-sectional view schematically showing the configuration of another pressure-sensitive element according to the tenth embodiment of the present disclosure; 図11Aは、本開示の第11実施態様に係る感圧素子の一例における第1の導電部材と誘電体を表面に有する第2の導電部材とを模式的に示した拡大断面図である。11A is an enlarged cross-sectional view schematically showing a first conductive member and a second conductive member having a dielectric on its surface in an example of a pressure-sensitive element according to the eleventh embodiment of the present disclosure; FIG. 図11Bは、本開示の第11実施態様に係る感圧素子の別の一例における第1の導電部材と誘電体を表面に有する第2の導電部材とを模式的に示した拡大断面図である。11B is an enlarged cross-sectional view schematically showing a first conductive member and a second conductive member having a dielectric on its surface in another example of the pressure-sensitive element according to the eleventh embodiment of the present disclosure; FIG. . 図12は、本開示の感圧素子を適用可能な、第12実施形態にかかる操舵装置(ステアリングホイール)の一例を模式的に示す見取り図である。FIG. 12 is a schematic diagram showing an example of a steering device (steering wheel) according to a twelfth embodiment to which the pressure-sensitive element of the present disclosure is applicable. 図13Aは、本開示の感圧素子を適用した、第12実施形態におかかる操舵装置(ステアリングホイール)の一例を模式的に示す断面図である。FIG. 13A is a cross-sectional view schematically showing an example of a steering device (steering wheel) according to the twelfth embodiment, to which the pressure-sensitive element of the present disclosure is applied; 図13Bは、図13Aに示す操舵装置の一部領域Rにかかる拡大断面図である。13B is an enlarged cross-sectional view of a partial region R of the steering device shown in FIG. 13A.

本開示にかかる感圧素子および当該感圧素子の用途の詳細について、図面を用いて説明する。 Details of the pressure-sensitive element according to the present disclosure and the application of the pressure-sensitive element will be described with reference to the drawings.

[感圧素子]
本開示の感圧素子は、容量(キャパシタンス)を有する素子であって、コンデンサ機能またはキャパシタ機能を有している。かかる感圧素子では、押圧力の印加によって容量変化がもたらされ、その容量変化から押圧力が検出される。従って、本開示の感圧素子は「静電容量型感圧センサ素子」、「容量性圧力検出センサ素子」または「感圧スイッチ素子」などとも称される。
[Pressure sensitive element]
A pressure-sensitive element of the present disclosure is an element having capacitance and has a capacitor function or a capacitor function. In such a pressure-sensitive element, application of a pressing force causes a change in capacitance, and the pressing force is detected from the change in capacitance. Therefore, the pressure-sensitive element of the present disclosure is also called a "capacitive pressure-sensitive sensor element", a "capacitive pressure detection sensor element", or a "pressure-sensitive switch element".

以下にて、本開示に係る感圧素子について図面を参照しながら説明する。図面に示す各種の要素は、本開示の理解のために模式的に示したにすぎず、寸法比及び外観などは実物と異なり得ることに留意されたい。尚、本明細書で直接的または間接的に用いる「上下方向」は、図中における上下方向に対応した方向に相当する。また特記しない限り、同じ符号または記号は、同じ部材または同じ意味内容を示すものとする。以下に述べる(第1実施態様)~(第11実施態様)およびその変形例は、感圧素子に係る実施態様および変形例である。 The pressure-sensitive element according to the present disclosure will be described below with reference to the drawings. It should be noted that various elements shown in the drawings are only schematically shown for understanding of the present disclosure, and dimensional ratios, appearances, etc. may differ from the actual ones. The term "vertical direction" used directly or indirectly in this specification corresponds to the vertical direction in the drawings. Also, unless otherwise specified, the same reference numerals or symbols indicate the same members or the same meanings. The following (first embodiment) to (eleventh embodiment) and modifications thereof are embodiments and modifications related to the pressure-sensitive element.

(第1実施態様)
本実施態様の感圧素子100Aの構成を図1Aに模式的に示す。すなわち、図1Aは、第1実施態様に係る感圧素子100Aの構成を模式的に示した断面図である。本実施態様の感圧素子100Aは、押圧力を付与される感圧部1Aと押圧力を検出する検出器2Aとを備えている。
(First embodiment)
FIG. 1A schematically shows the configuration of a pressure-sensitive element 100A of this embodiment. That is, FIG. 1A is a cross-sectional view schematically showing the configuration of a pressure-sensitive element 100A according to the first embodiment. A pressure-sensitive element 100A of this embodiment includes a pressure-sensitive portion 1A to which a pressing force is applied and a detector 2A that detects the pressing force.

(1a)感圧部1A
感圧部1Aは第1の導電部材11、第2の導電部材12および誘電体13を有している。誘電体13は、図1Aにおいて、第2の導電部材12の表面を覆っているが、第1の導電部材11または第2の導電部材12のいずれか一方の表面を覆っていればよい。
(1a) pressure sensing section 1A
The pressure sensing portion 1A has a first conductive member 11, a second conductive member 12 and a dielectric 13. As shown in FIG. Although the dielectric 13 covers the surface of the second conductive member 12 in FIG. 1A, it may cover the surface of either the first conductive member 11 or the second conductive member 12 .

図1Bは、図1Aの感圧素子100Aの感圧部1Aに押圧力が付与された際の感圧部1Aの構成を模式的に示した断面図である。 FIG. 1B is a cross-sectional view schematically showing the configuration of the pressure sensing portion 1A when a pressing force is applied to the pressure sensing portion 1A of the pressure sensing element 100A of FIG. 1A.

本実施態様の感圧素子100Aにおいては、図1Bに示すように、感圧部1Aに押圧力Fが付与されると、第1の導電部材11および第2の導電部材12のうち、誘電体13が覆われていない導電部材(図1Aおよび図1B中、第1の導電部材11)と誘電体13との接触領域の面積(以下、単に「接触領域の面積」ということがある)が、第1の導電部材11が有する弾性に基づいて増大する。その結果、第1の導電部材11と第2の導電部材12との間の静電容量C〔pF〕が変化する。静電容量C〔pF〕および感圧部に付与される押圧力F〔N〕はそれぞれ以下の(式1)および(式2)で表されるので、検出器2Aにより押圧力Fが検出される。本実施態様においては、上記のように接触領域の面積の変化に基づいて押圧力Fが検出される。 In the pressure-sensitive element 100A of this embodiment, as shown in FIG. 1B, when a pressure F is applied to the pressure-sensitive portion 1A, the dielectric material of the first conductive member 11 and the second conductive member 12 The area of the contact region between the conductive member (the first conductive member 11 in FIGS. 1A and 1B) and the dielectric 13 where the conductive member 13 is not covered (hereinafter sometimes simply referred to as the “area of the contact region”) is It increases based on the elasticity of the first conductive member 11 . As a result, the capacitance C [pF] between the first conductive member 11 and the second conductive member 12 changes. Since the capacitance C [pF] and the pressing force F [N] applied to the pressure sensing portion are expressed by the following (Equation 1) and (Equation 2) respectively, the pressing force F is detected by the detector 2A. be. In this embodiment, the pressing force F is detected based on the change in the area of the contact area as described above.

Figure 0007157958000001
Figure 0007157958000001

Figure 0007157958000002
Figure 0007157958000002

なお、(式1)および(式2)中において、ε〔pF/m〕は誘電体の誘電率、S〔m〕は誘電体が覆われていない導電部材と誘電体との接触面積、d〔m〕は誘電体の厚み、E〔Pa〕は第1の導電部材のヤング率、eは第1の導電部材のひずみである。In (Equation 1) and (Equation 2), ε [pF/m] is the dielectric constant of the dielectric, S [m 2 ] is the contact area between the conductive member not covered with the dielectric and the dielectric, d [m] is the thickness of the dielectric, E [Pa] is the Young's modulus of the first conductive member, and e is the strain of the first conductive member.

従来の感圧素子においては、電極間距離の変化でもって静電容量Cの変化をとらえ、押圧力Fを検出する。一方、本実施態様の感圧素子においては、接触領域の面積の変化に基づいて静電容量Cの変化をとらえ、押圧力Fを検出する。静電容量Cの変化において、接触領域の面積の変化による寄与は、電極間距離の変化による寄与よりも大きい。特に、押圧力Fの大きさが小さい場合、押圧力Fの印加により電極間距離がほとんど変化しないので電極間距離の変化に基づく静電容量Cの変化は非常に小さい。一方、押圧力Fの大きさが小さくても、押圧力Fの印加により接触領域の面積は変化するので、接触領域の面積の変化に基づく静電容量Cの変化は大きい。なぜならば、静電容量Cは、接触領域の面積に比例するが、電極間距離に反比例する(C∝S、C∝1/d)からである。このため、本実施態様の感圧素子は、従来の感圧素子と比べ、押圧力Fの測定範囲が広い。 In the conventional pressure-sensitive element, the change in the capacitance C is captured by the change in the distance between the electrodes, and the pressing force F is detected. On the other hand, in the pressure-sensitive element of this embodiment, the pressing force F is detected by capturing the change in the capacitance C based on the change in the area of the contact area. In the change of the capacitance C, the contribution due to the change in the area of the contact region is larger than the contribution due to the change in the distance between the electrodes. In particular, when the magnitude of the pressing force F is small, the application of the pressing force F hardly changes the distance between the electrodes, so the change in the capacitance C due to the change in the distance between the electrodes is very small. On the other hand, even if the magnitude of the pressing force F is small, the application of the pressing force F causes a change in the area of the contact area. This is because the capacitance C is proportional to the area of the contact area, but inversely proportional to the distance between the electrodes (C∝S, C∝1/d). Therefore, the pressure-sensitive element of this embodiment has a wider measurement range of the pressing force F than the conventional pressure-sensitive element.

本実施態様の感圧素子における感圧部1Aには、第1の導電部材11および第2の導電部材12のうち、いずれの導電部材側から押圧力が付与されてもよいが、通常は第1の導電部材11側から押圧力が付与される。図1Bは、押圧力が第1の導電部材11側から付与され、その反作用により、後述の基材14側からも力が作用することを示している。 The pressure-sensitive portion 1A in the pressure-sensitive element of this embodiment may be applied with a pressing force from either the first conductive member 11 or the second conductive member 12, but normally the second A pressing force is applied from the conductive member 11 side of 1 . FIG. 1B shows that a pressing force is applied from the side of the first conductive member 11, and due to its reaction, force also acts from the side of the base material 14, which will be described later.

第1の導電部材11は弾性特性および導電特性を有し、いわゆる電極として機能する。弾性特性とは、外力によって局所的に変形し、除力すると元の形状へと戻る特性をいう。なお、外力は、感圧素子に対して加えられる通常の押圧力であり、その大きさは、例えば約0.1N/cm以上、約100N/cm以下である。具体的には、第1の導電部材11は、感圧部への押圧力により、第1の導電部材11と誘電体13との接触領域の面積が拡大するような弾性特性を有すればよい。詳しくは、第1の導電部材11は、押圧時に誘電体13よりも変形するように、誘電体13よりも低い弾性率を有していてもよい。押圧力の測定範囲のさらなる拡大および感圧感度の向上の観点から、第1の導電部材11の弾性率は例えば約10Pa以上、約10Pa以下であることが好ましく、例えば1つ例示すると約10Paである。第1の導電部材11の弾性率は上記範囲内で大きいほど、押圧力の測定範囲は広くなる。第1の導電部材11の弾性率は上記範囲内で小さいほど、感圧感度は向上する。感圧感度が向上すると、例えば、従来では検出し難い微小な押圧力でも、検出できるようになる。これに伴い、押圧力の付与開始を精度よく検出できるようになる。導電特性について、第1の導電部材11の抵抗率は、所望の周波数帯域において容量のインピーダンスよりも十分に小さくてもよい。かかる抵抗率は、後述の導電性フィラーと樹脂材料(ゴム材料)との相対的割合を変更することによって調整できる。The first conductive member 11 has elastic properties and conductive properties and functions as a so-called electrode. The elastic property is the property of being locally deformed by an external force and returning to its original shape when the force is removed. The external force is a normal pressing force applied to the pressure-sensitive element, and its magnitude is, for example, approximately 0.1 N/cm 2 or more and approximately 100 N/cm 2 or less. Specifically, the first conductive member 11 may have such an elastic property that the area of the contact area between the first conductive member 11 and the dielectric 13 is enlarged by the pressing force applied to the pressure sensitive portion. . Specifically, the first conductive member 11 may have a lower elastic modulus than the dielectric 13 so as to deform more than the dielectric 13 when pressed. From the viewpoint of further expanding the pressing force measurement range and improving pressure sensitivity, the elastic modulus of the first conductive member 11 is preferably, for example, about 10 4 Pa or more and about 10 8 Pa or less. Then, it is about 10< 6 >Pa. As the elastic modulus of the first conductive member 11 increases within the above range, the pressing force can be measured in a wider range. As the elastic modulus of the first conductive member 11 is smaller within the above range, the pressure sensitivity is improved. If the pressure sensitivity is improved, for example, it becomes possible to detect even a very small pressing force that is difficult to detect in the conventional art. Accordingly, it becomes possible to accurately detect the start of application of the pressing force. Regarding the conductive properties, the resistivity of the first conductive member 11 may be sufficiently smaller than the impedance of the capacitance in the desired frequency band. Such resistivity can be adjusted by changing the relative proportions of the conductive filler and the resin material (rubber material), which will be described later.

第1の導電部材11は弾性電極部材に相当し、伸縮性部材とも称されうる。第1の導電部材11は、上記のような弾性特性と導電特性との双方の性質を有していれば、いずれの材質から成るものであってよい。例えば、第1の導電部材11は、樹脂材料(特にゴム材料)およびその樹脂材料内に分散した導電性フィラーからなる導電性樹脂から構成されたものであってよい。押圧力の測定範囲のさらなる拡大の観点から好ましい第1の導電部材11は、ゴム材料およびそのゴム材料内に分散した導電性フィラーからなる導電性ゴムから構成される。第1の導電部材11が導電性ゴムから構成されることにより、感圧部1Aは、押圧力を効果的に検出することができる。また、第1の導電部材11が導電性ゴムから構成されることにより、感圧部1Aは、押圧時の押圧感を有するようになる。樹脂材料としては、例えば、スチレン系樹脂、シリコーン系樹脂(例えば、ポリジメチルポリシロキサン(Polydimethylpolysiloxane、略してPDMS))、アクリル系樹脂、ロタキサン系樹脂およびウレタン系樹脂等から成る群から選択される少なくとも1種の樹脂材料であってよい。ゴム材料としては、例えば、シリコーンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、スチレン・ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、ニトリルゴム、ポリイソブチレン、エチレンプロピレンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、アクリルゴム、フッ素ゴム、エピクロルヒドリンゴム、ウレタンゴム等から成る群から選択される少なくとも1種のゴム材料であってよい。導電性フィラーは、Au(金)、Ag(銀)、Cu(銅)、C(カーボン)、ZnO(酸化亜鉛)、In(酸化インジウム(III))およびSnO(酸化スズ(IV))から成る群から選択される少なくとも1種の材料を含んで成るものであってよい。また、導電性フィラーに代えて又はそれに加えて、導電層を用いてもよい。具体的には、上記した樹脂材料(特にゴム材料)からなる樹脂構造体(特にゴム構造材)の表面に導電性インクの塗布などによって導電層が設けられて成る第1の導電部材であってもよい。The first conductive member 11 corresponds to an elastic electrode member and can also be called an elastic member. The first conductive member 11 may be made of any material as long as it has both the elastic property and the conductive property as described above. For example, the first conductive member 11 may be made of a conductive resin comprising a resin material (particularly a rubber material) and conductive filler dispersed in the resin material. The first conductive member 11, which is preferable from the viewpoint of further expanding the pressing force measurement range, is made of a conductive rubber composed of a rubber material and a conductive filler dispersed in the rubber material. Since the first conductive member 11 is made of conductive rubber, the pressure sensing portion 1A can effectively detect the pressing force. Further, since the first conductive member 11 is made of conductive rubber, the pressure sensing portion 1A has a feeling of pressure when pressed. As the resin material, for example, at least one selected from the group consisting of styrene-based resin, silicone-based resin (for example, polydimethylpolysiloxane (PDMS) for short), acrylic-based resin, rotaxane-based resin, urethane-based resin, and the like. It may be one type of resin material. Examples of rubber materials include silicone rubber, isoprene rubber, butadiene rubber, styrene-butadiene rubber, chloroprene rubber, nitrile rubber, polyisobutylene, ethylene propylene rubber, chlorosulfonated polyethylene, acrylic rubber, fluororubber, epichlorohydrin rubber, and urethane rubber. at least one rubber material selected from the group consisting of Conductive fillers include Au (gold), Ag (silver), Cu (copper), C (carbon), ZnO (zinc oxide), In 2 O 3 (indium (III) oxide) and SnO 2 (tin (IV) oxide). )). Also, a conductive layer may be used instead of or in addition to the conductive filler. Specifically, it is a first conductive member comprising a resin structure (especially a rubber structure) made of the above-described resin material (especially a rubber material) and a conductive layer provided on the surface thereof by applying a conductive ink or the like. good too.

第1の導電部材11の厚みは、外部からの押圧力により第1の導電部材11と第2の導電部材12との間の静電容量が変化する限り特に限定されず、通常は100μm以上10cm以下、好ましくは500μm以上1cm以下であり、例えば1つ例示すると1mmがより好ましい。 The thickness of the first conductive member 11 is not particularly limited as long as the capacitance between the first conductive member 11 and the second conductive member 12 changes due to a pressing force from the outside. Hereinafter, it is preferably 500 μm or more and 1 cm or less, and for example, 1 mm is more preferable.

第1の導電部材11は通常、シート状または板状を有するが、第2の導電部材12の対応する位置(例えば、図1Aのように第2の導電部材12の直上)に第1の導電部材11の少なくとも一部が配置される限り、いかなる形状を有していてもよく、例えば長尺形状(例えば、線状)を有していてもよい。 The first conductive member 11 typically has a sheet-like or plate-like shape, but the first conductive member 11 is located at a corresponding position of the second conductive member 12 (eg, directly above the second conductive member 12 as in FIG. 1A). As long as at least part of the member 11 is arranged, it may have any shape, for example, it may have an elongated shape (for example, linear).

第1の導電部材11は、押圧力の測定時におけるノイズ防止の観点から、検出器の接地(グランド、0V)に接続されることが好ましい。 The first conductive member 11 is preferably connected to the ground (ground, 0 V) of the detector from the viewpoint of noise prevention during measurement of the pressing force.

第1の導電部材11は以下の方法により得ることができる。例えば、まず、所望の樹脂材料(ゴム材料)の溶液または原料溶液に対して導電性フィラーを含有させて複合材料を得る。次いで、複合材料を剥離用基材上に塗布および乾燥し、所望により硬化(架橋)させた後、剥離用基材から剥離して、第1の導電部材を得る。 The first conductive member 11 can be obtained by the following method. For example, first, a composite material is obtained by adding a conductive filler to a solution or raw material solution of a desired resin material (rubber material). Next, the composite material is applied onto a release substrate, dried, cured (crosslinked) if desired, and then released from the release substrate to obtain the first conductive member.

第1の導電部材11は以下の別の方法により得ることもできる。例えば、まず、所望の樹脂材料(ゴム材料)の溶液または原料溶液を剥離用基材上に塗布および乾燥し、所望により硬化(架橋)させる。次いで、得られた樹脂層(ゴム層)の表面に導電性フィラーを含むインクを塗布して導電層を形成した後、剥離用基材から剥離して、第1の導電部材を得る。 The first conductive member 11 can also be obtained by the following alternative method. For example, first, a solution or raw material solution of a desired resin material (rubber material) is applied onto a release substrate, dried, and optionally cured (crosslinked). Next, an ink containing a conductive filler is applied to the surface of the obtained resin layer (rubber layer) to form a conductive layer, which is then separated from the release substrate to obtain a first conductive member.

第2の導電部材12は第1の導電部材11に近接配置されている。すなわち、第2の導電部材12は誘電体13を介して間接的に第1の導電部材11と接触するように配置されている。第2の導電部材12は誘電体13と空気層とを介して間接的に第1の導電部材11と接触するように配置されていてもよい。 The second conductive member 12 is arranged close to the first conductive member 11 . That is, the second conductive member 12 is arranged so as to indirectly contact the first conductive member 11 via the dielectric 13 . The second conductive member 12 may be arranged so as to indirectly contact the first conductive member 11 via the dielectric 13 and the air layer.

第2の導電部材12は少なくとも導電特性を有し、いわゆる電極として機能する。第2の導電部材12は通常、可撓性を有するが、弾性特性を有してもよい。可撓性とは、外力によって全体として撓み変形しても、除力すると元の形状へと戻る特性をいう。なお、ここで外力とは、感圧素子に対して加えられる通常の押圧力であり、その大きさは、例えば約0.10N/cm以上、約100N/cm以下である。第2の導電部材12は可撓性を有する場合、例えば約10Pa超、特に10Pa超かつ1012Pa以下の弾性率、例えば1つ例示すると約1.2×1011Paの弾性率を有している。導電特性について、第2の導電部材12は、所望の周波数帯域において容量のインピーダンスよりも十分に小さい抵抗率を有していればよい。The second conductive member 12 has at least conductive properties and functions as a so-called electrode. The second conductive member 12 is typically flexible, but may have elastic properties. Flexibility refers to the property of returning to its original shape when the force is removed, even if it is bent and deformed as a whole by an external force. Here, the external force is a normal pressing force applied to the pressure-sensitive element, and its magnitude is, for example, approximately 0.10 N/cm 2 or more and approximately 100 N/cm 2 or less. When the second conductive member 12 is flexible, it has an elastic modulus of, for example, more than about 10 8 Pa, particularly more than 10 8 Pa and 10 12 Pa or less, for example, about 1.2×10 11 Pa in one example. have a rate. Regarding conductive properties, the second conductive member 12 may have a resistivity sufficiently lower than the impedance of the capacitor in the desired frequency band.

第2の導電部材12は、少なくとも導電特性を有する限り、いずれの材質から成るものであってよい。第2の導電部材12は、可撓性を有する場合、例えば、金属体から構成されたものであってもよいし、ガラス体およびその表面に形成された導電層またはその中に分散された導電性フィラーから構成されたものであってもよい。また、第2の導電部材12は、樹脂体およびその表面に形成された導電層またはその樹脂体内に分散された導電性フィラーから構成されたものであってよい。金属体は、金属からなる電極部材であり、すなわち第2の導電部材12は実質的に金属からなるものでよい。金属体は、例えば、Au(金)、Ag(銀)、Cu(銅)、Ni-Cr合金(ニクロム)、C(カーボン)、ZnO(酸化亜鉛)、In(酸化インジウム(III))およびSnO(酸化スズ(IV))から成る群から選択される少なくとも1種の金属を含んで成る。ガラス体は、酸化ケイ素の網目状構造を有するものであれば特に限定されず、例えば、石英ガラス、ソーダ石灰ガラス、ホウケイ酸ガラス、鉛ガラス等から成る群から選択される少なくとも1種のガラス材料を含んで成るものであってよい。樹脂体は、スチレン系樹脂、シリコーン系樹脂(例えば、ポリジメチルポリシロキサン(PDMS))、アクリル系樹脂、ロタキサン系樹脂およびウレタン系樹脂等から成る群から選択される少なくとも1種の樹脂材料を含んで成るものであってよい。ガラス体および樹脂体の導電層は、金属体を構成し得る金属と同様の金属の群から選択される少なくとも1種の金属を蒸着させてなる層であってもよいし、または導電性インクの塗布などによって形成されてなる層であってもよい。ガラス体および樹脂体の導電性フィラーは、金属体を構成し得る金属と同様の金属の群から選択される少なくとも1種の金属を含んで成るものであってよい。第2の導電部材12は、弾性特性を有する場合、第1の導電部材11と同様の導電性ゴムから構成されていてもよい。The second conductive member 12 may be made of any material as long as it has at least conductive properties. If the second conductive member 12 is flexible, it may be composed of, for example, a metal body, or a glass body and a conductive layer formed on its surface or a conductive layer dispersed therein. It may be composed of a synthetic filler. Also, the second conductive member 12 may be composed of a resin body and a conductive layer formed on the surface thereof or a conductive filler dispersed in the resin body. The metal body may be an electrode member made of metal, that is, the second conductive member 12 may be made substantially of metal. The metal body includes, for example, Au (gold), Ag (silver), Cu (copper), Ni—Cr alloy (nichrome), C (carbon), ZnO (zinc oxide), In 2 O 3 (indium oxide (III) ) and SnO 2 (tin(IV) oxide). The glass body is not particularly limited as long as it has a network structure of silicon oxide. For example, at least one glass material selected from the group consisting of quartz glass, soda lime glass, borosilicate glass, lead glass, etc. may comprise The resin body contains at least one resin material selected from the group consisting of styrene-based resins, silicone-based resins (e.g., polydimethylpolysiloxane (PDMS)), acrylic-based resins, rotaxane-based resins, urethane-based resins, and the like. It may consist of The conductive layer of the glass body and the resin body may be a layer formed by vapor deposition of at least one metal selected from the same group of metals as metals that can constitute the metal body, or a layer of conductive ink. It may be a layer formed by coating or the like. The conductive filler of the glass body and the resin body may contain at least one metal selected from the same group of metals as metals that can constitute the metal body. The second conductive member 12 may be made of the same conductive rubber as the first conductive member 11 if it has elastic properties.

第2の導電部材12は通常、長尺形状(例えば、線状)を有する長尺部材である。第2の導電部材12が長尺部材であって、かつ金属体から構成されるとき、当該第2の導電部材12は金属線または金属ワイヤ(例えば、銅線)に相当し、押圧力の測定範囲のさらなる拡大および感圧感度の向上の観点から好ましい。第2の導電部材12が長尺部材のとき、当該長尺部材は、感圧素子の曲面への装着性の向上の観点から、当該長尺部材への張力の印加なしに、配置されることが好ましい。例えば、長尺部材は、図1Cに示すように、一定の主方向xに沿って波状に配置されることが好ましい。 The second conductive member 12 is generally an elongated member having an elongated shape (for example, linear). When the second conductive member 12 is a long member and is composed of a metal body, the second conductive member 12 corresponds to a metal wire or a metal wire (eg, copper wire), and the pressing force is measured. It is preferable from the viewpoint of further expanding the range and improving the pressure sensitivity. When the second conductive member 12 is an elongated member, the elongated member should be arranged without application of tension to the elongated member from the viewpoint of improving the mountability of the pressure-sensitive element on the curved surface. is preferred. For example, the elongate members are preferably arranged in waves along a constant principal direction x, as shown in FIG. 1C.

図1Cは、図1Aの感圧素子100Aにおける第2の導電部材12の平面視形状(長尺形状および波状)の一例を模式的に示す図であって、後述する基材および第2の導電部材を第2の導電部材側から見たときの見取り図である。平面視形状とは、上面から見たときの形状という意味であり、例えば、図1Aの感圧部を、当該感圧部が有するシート形状に対する垂直方向(例えば、図1A中、上方向)から見たときの透視形状も包含する。 FIG. 1C is a diagram schematically showing an example of a plan view shape (elongated shape and wave shape) of the second conductive member 12 in the pressure-sensitive element 100A of FIG. 1A. It is a sketch of the member when viewed from the side of the second conductive member. The shape in plan view means the shape when viewed from above. For example, the pressure sensing portion in FIG. Perspective shape when viewed is also included.

第2の導電部材12は感圧素子のヒータ要素であってもよい。第2の導電部材12がヒータ要素であるとき、当該第2の導電部材12を有する感圧素子はヒータとしても機能する。詳しくは、当該感圧素子を操舵装置(例えば、ステアリングホイール)表面に設置した場合に、操舵装置を握る手が冷たくないように保温できる。ヒータ要素として、ニクロム線が挙げられる。 The second conductive member 12 may be the heater element of the pressure sensitive element. When the second conductive member 12 is a heater element, the pressure sensitive element having the second conductive member 12 also functions as a heater. Specifically, when the pressure-sensitive element is installed on the surface of a steering device (for example, a steering wheel), it is possible to keep the hand holding the steering device from getting cold. A Nichrome wire is mentioned as a heater element.

第2の導電部材12の断面形状は、押圧力の付与により、接触領域の面積が拡大する限り特に限定されず、例えば、図1Aに示すような円形状であってもよいし、または楕円形状もしくは三角形状等であってもよい。 The cross-sectional shape of the second conductive member 12 is not particularly limited as long as the area of the contact area is expanded by applying a pressing force, and may be, for example, a circular shape as shown in FIG. 1A, or an elliptical shape. Alternatively, it may be triangular or the like.

第2の導電部材12の断面寸法は、第2の導電部材12と第1の導電部材11との間の静電容量を測定できる限り特に限定されず、通常は1μm以上10mm以下であり、押圧力の測定範囲のさらなる拡大および感圧感度の向上の観点から好ましくは100μm以上1mm以下であり、例えば1つ例示すると300μmがより好ましい。第2の導電部材12の断面寸法を小さくすると、接触領域の面積の変化が大きくなり、感圧感度が向上する。長尺部材の断面寸法を大きくすると、押圧力の測定範囲がさらに広くなる。第2の導電部材12の断面寸法は断面形状における最大寸法である。詳しくは、第2の導電部材12の断面寸法は、第2の導電部材12が直線状を有するものと仮定したときに、長尺方向に対する垂直断面における最大寸法(例えば、直径)のことである。 The cross-sectional dimension of the second conductive member 12 is not particularly limited as long as the capacitance between the second conductive member 12 and the first conductive member 11 can be measured. From the viewpoint of further expanding the pressure measurement range and improving the pressure sensitivity, it is preferably 100 μm or more and 1 mm or less, and for example, 300 μm is more preferable. When the cross-sectional dimension of the second conductive member 12 is reduced, the change in the area of the contact area is increased, and the pressure sensitivity is improved. If the cross-sectional dimension of the elongated member is increased, the pressing force can be measured over a wider range. The cross-sectional dimension of the second conductive member 12 is the maximum dimension of the cross-sectional shape. Specifically, the cross-sectional dimension of the second conductive member 12 is the maximum dimension (e.g., diameter) in a cross section perpendicular to the longitudinal direction, assuming that the second conductive member 12 has a straight shape. .

第2の導電部材12が特に長尺部材のとき、通常は複数で使用される。このとき、当該複数の第2の導電部材12のそれぞれと第1の導電部材11との容量変化を検出器により検出することにより、パターニングが可能である。パターニングとは、押圧力とともに、押圧位置も検出することである。第1の導電部材11を分割することでも、パターニングが可能である。 When the second conductive member 12 is particularly an elongated member, it is usually used in plurality. At this time, patterning is possible by detecting a change in capacitance between each of the plurality of second conductive members 12 and the first conductive member 11 with a detector. Patterning is to detect the pressing position as well as the pressing force. Patterning is also possible by dividing the first conductive member 11 .

第2の導電部材12として複数の長尺部材を用いるとき、隣接する当該長尺部材間の距離(ピッチ)p(図1C)は通常、1mm以上30mm以下であり、操舵装置用途の観点から好ましくは2mm以上10mm以下であり、例えば1つ例示すると5mmがより好ましい。第2の導電部材12として複数の長尺部材を波状に配置して用いるとき、波状の波長λ(図1C)は通常、1mm以上40mm以下であり、操舵装置用途の観点から好ましくは2mm以上20mm以下であり、例えば1つ例示すると10mmがより好ましい。また波状の振幅a(図1C)は通常、1mm以上20mm以下であり、操舵装置用途の観点から好ましくは2mm以上10mm以下であり、例えば1つ例示すると5mmがより好ましい。 When a plurality of long members are used as the second conductive member 12, the distance (pitch) p (FIG. 1C) between the adjacent long members is usually 1 mm or more and 30 mm or less, which is preferable from the viewpoint of the steering device application. is 2 mm or more and 10 mm or less, and for example, 5 mm is more preferable. When a plurality of long members are arranged in a wave shape and used as the second conductive member 12, the wave wave wavelength λ (FIG. 1C) is usually 1 mm or more and 40 mm or less, and from the viewpoint of the steering device application, preferably 2 mm or more and 20 mm. It is less than, for example, 10 mm is more preferable if one is illustrated. Further, the wave amplitude a (FIG. 1C) is usually 1 mm or more and 20 mm or less, preferably 2 mm or more and 10 mm or less from the viewpoint of the use of the steering device, and for example, 5 mm is more preferable.

誘電体13は、図1Aにおいては、第2の導電部材12の表面全体を完全に覆っているが、誘電体13の被覆領域は、誘電体13が第1の導電部材11または第2の導電部材12の表面を少なくとも部分的に覆う限り、特に限定されない。誘電体13が第1の導電部材11または第2の導電部材12の表面を少なくとも部分的に覆うとは、誘電体13が、第1の導電部材11または第2の導電部材12のいずれか一方の表面における、少なくとも第1の導電部材11と第2の導電部材12との間の部分を覆っている状態をいう。換言すると、誘電体13は、第1の導電部材11と第2の導電部材12との間に存在する限り、第1の導電部材11または第2の導電部材12の表面における少なくとも一部を覆っていればよい。誘電体13について、「覆う」とは、第1の導電部材11または第2の導電部材12のいずれか一方の表面に対して皮膜状に密着しつつ一体化されることである。 Dielectric 13 completely covers the entire surface of second conductive member 12 in FIG. It is not particularly limited as long as it at least partially covers the surface of the member 12 . That the dielectric 13 at least partially covers the surface of the first conductive member 11 or the second conductive member 12 means that the dielectric 13 is either the first conductive member 11 or the second conductive member 12 . covering at least the portion between the first conductive member 11 and the second conductive member 12 on the surface of the . In other words, dielectric 13 covers at least part of the surface of first conductive member 11 or second conductive member 12 as long as it exists between first conductive member 11 and second conductive member 12 . It is good if there is Regarding the dielectric 13 , “covering” means that the dielectric 13 is integrated with the surface of either the first conductive member 11 or the second conductive member 12 while adhering to it like a film.

誘電体13は、感圧素子構造のさらなる簡易化の観点から、第1の導電部材11または第2の導電部材12の一方の表面全体を完全に覆っていることが好ましい。感圧素子構造のさらなる簡易化および感圧素子材料の入手容易性の観点からは、誘電体13は、第2の導電部材12の表面全体を完全に覆っていることが好ましい。誘電体13が第2の導電部材12の表面全体を完全に覆っている場合、誘電体13は第2の導電部材12の絶縁皮膜を構成し、誘電体13および第2の導電部材12は通常、一体化されている。一体化された誘電体13および第2の導電部材12は絶縁コート金属線に相当してもよく、例えば、エナメル線、エレメント線であってもよい。絶縁コート金属線を用いると、これを第1の導電部材11と基材14との間で配置させるだけで、エッチングなどのフォトリソグラフィプロセスなしに、感圧素子を構成できるので、感圧素子構造の簡易化をより一層、十分に達成でき、しかも製造コストが安価である。 From the viewpoint of further simplification of the structure of the pressure-sensitive element, the dielectric 13 preferably completely covers the entire surface of either the first conductive member 11 or the second conductive member 12 . From the viewpoint of further simplification of the pressure-sensitive element structure and easy availability of pressure-sensitive element materials, it is preferable that the dielectric 13 completely covers the entire surface of the second conductive member 12 . When the dielectric 13 completely covers the entire surface of the second conductive member 12, the dielectric 13 constitutes an insulating coating of the second conductive member 12, and the dielectric 13 and the second conductive member 12 are generally , are integrated. The integrated dielectric 13 and second conductive member 12 may correspond to an insulating coated metal wire, for example, an enameled wire, an element wire. If an insulating coated metal wire is used, the pressure-sensitive element can be configured simply by arranging this between the first conductive member 11 and the base material 14 without a photolithography process such as etching. can be sufficiently achieved, and the manufacturing cost is low.

誘電体13は、少なくとも「誘電体」としての性質を有していれば、いずれの材質から成るものであってよい。例えば、誘電体13は、樹脂材料、セラミック材料および/または金属酸化物材料などを含んで成るものであってよい。あくまでも例示にすぎないが、誘電体13は、ポリプロピレン樹脂、ポリエステル樹脂(例えば、ポリエチレンテレフタレート樹脂)、ポリイミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリビニルホルマール樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリアミド樹脂などから成る群から選択される少なくとも1種の樹脂材料から成っていてもよい。また、誘電体13は、AlおよびTaなどから成る群から選択される少なくとも1種の金属酸化物材料から成るものであってもよい。誘電体13は通常、所望の周波数帯域において、容量のインピーダンスよりも高い抵抗値を有する材料からなっている。The dielectric 13 may be made of any material as long as it has at least the properties of a "dielectric". For example, the dielectric 13 may comprise resin material, ceramic material and/or metal oxide material. By way of example only, the dielectric 13 is selected from the group consisting of polypropylene resin, polyester resin (e.g., polyethylene terephthalate resin), polyimide resin, polyphenylene sulfide resin, polyvinyl formal resin, polyurethane resin, polyamideimide resin, polyamide resin, and the like. It may consist of at least one selected resin material. Alternatively, dielectric 13 may be made of at least one metal oxide material selected from the group consisting of Al 2 O 3 and Ta 2 O 5 . Dielectric 13 is typically made of a material that has a higher resistance than the impedance of the capacitor in the desired frequency band.

誘電体13は通常、剛性特性を有する。剛性特性とは、外力による変形に対して抵抗する特性をいう。なお、ここで外力とは、感圧素子に対して加えられる通常の押圧力であり、その大きさは、例えば約0.1N/cm以上、約100N/cm以下である。誘電体13は通常、上記のような通常の押圧力によっては変形しない。誘電体13は、感圧部への押圧力の付与時に第1の導電部材11よりも変形しないように、第1の導電部材11よりも高い弾性率を有していてもよい。例えば、第1の導電部材11の弾性率が約10Pa以上かつ約10Pa以下である場合、それよりも高い弾性率を誘電体13が有していてもよい。Dielectric 13 typically has rigid properties. Rigidity properties refer to properties that resist deformation due to external forces. Here, the external force is a normal pressing force applied to the pressure-sensitive element, and its magnitude is, for example, approximately 0.1 N/cm 2 or more and approximately 100 N/cm 2 or less. Dielectric 13 is generally not deformed by normal pressing forces as described above. The dielectric 13 may have a higher elastic modulus than the first conductive member 11 so as not to deform more than the first conductive member 11 when a pressing force is applied to the pressure sensitive portion. For example, if the elastic modulus of the first conductive member 11 is about 10 4 Pa or more and about 10 8 Pa or less, the dielectric 13 may have a higher elastic modulus.

誘電体13の厚みは、外部からの押圧力により第1の導電部材11と第2の導電部材12との間の静電容量が変化する限り特に限定されず、通常は20nm以上2mm以下であり、操舵装置用途の観点から好ましくは20nm以上1mm以下であり、例えば1つ例示すると10μmがより好ましい。 The thickness of the dielectric 13 is not particularly limited as long as the capacitance between the first conductive member 11 and the second conductive member 12 changes due to an external pressing force, and is usually 20 nm or more and 2 mm or less. , from the viewpoint of use in a steering system, the thickness is preferably 20 nm or more and 1 mm or less, and for example, 10 μm is more preferable.

誘電体13が樹脂材料からなる場合、樹脂材料溶液を塗布し、乾燥させるコーティング法、および樹脂材料溶液中で電着を行う電着法等により形成することができる。 When the dielectric 13 is made of a resin material, it can be formed by a coating method in which a resin material solution is applied and dried, an electrodeposition method in which electrodeposition is performed in a resin material solution, or the like.

誘電体13が金属酸化物材料からなる場合、陽極酸化法等により形成することができる。 When the dielectric 13 is made of a metal oxide material, it can be formed by an anodizing method or the like.

感圧部1Aは、第2の導電部材12における第1の導電部材11側の反対側に、基材14をさらに有していてもよい。基材14は、第1の導電部材11と第2の導電部材12との間における静電容量の変化を阻害しない限り、いかなる材料からなっていてもよい。基材14は、感圧素子の曲面への装着性の向上の観点から、伸縮性を有する伸縮性部材であることが好ましい。伸縮性部材は、例えば、前記第1の導電部材11の説明で記載した同様のゴム材料(特に導電性ゴム)から構成されていてもよく、1つ例示するとシリコーンゴムを含む。 The pressure sensing portion 1A may further have a substrate 14 on the side of the second conductive member 12 opposite to the first conductive member 11 side. The base material 14 may be made of any material as long as it does not inhibit the change in capacitance between the first conductive member 11 and the second conductive member 12 . The base material 14 is preferably a stretchable member having stretchability from the viewpoint of improving the mountability of the pressure-sensitive element on the curved surface. The stretchable member may be made of, for example, the same rubber material (particularly conductive rubber) described in the description of the first conductive member 11, and one example includes silicone rubber.

基材14の厚みは特に限定されるものではなく、例えば、上記した第1の導電部材11の厚みと同様の範囲内であってよい。 The thickness of the base material 14 is not particularly limited, and may be, for example, within the same range as the thickness of the first conductive member 11 described above.

感圧部1Aは、当該感圧部における第2の導電部材12の位置ズレを制限する拘束部材15(図1C参照)をさらに有してもよい。拘束部材15は、第2の導電部材12を感圧部における所定の位置に必ずしも固定しなければならないというわけではなく、第2の導電部材12が所定の位置に保持される程度の拘束力を有していればよい。感圧部が拘束部材を有することにより、第2の導電部材12の位置ズレを防止でき、結果として、所定位置での押圧力を確実に検出することができる。また感圧素子を曲面に装着するとき、歪みなどを緩和し易く、破損を防止できる。 The pressure sensing portion 1A may further include a restraining member 15 (see FIG. 1C) that restricts positional displacement of the second conductive member 12 in the pressure sensing portion. The restraint member 15 does not necessarily have to fix the second conductive member 12 at a predetermined position in the pressure sensing portion, but has a restraining force to the extent that the second conductive member 12 is held at a predetermined position. It's fine if you have it. Since the pressure sensing portion has the restraining member, it is possible to prevent the positional displacement of the second conductive member 12, and as a result, it is possible to reliably detect the pressing force at the predetermined position. Also, when the pressure-sensitive element is mounted on a curved surface, it is easy to alleviate distortion and prevent damage.

拘束部材15は、図1Cにおいて、第2の導電部材12を基材14に拘束しているが、第2の導電部材12を第1の導電部材11または基材14の少なくとも一方に拘束できればよい。すなわち、拘束部材15は、第2の導電部材12を第1の導電部材11または基材14の一方に拘束してもよいし、またはこれらの両方に拘束してもよい。拘束部材15が第2の導電部材12を上記の両方に拘束するとは、第2の導電部材12を第1の導電部材11と基材14との間に配置させた状態で、第1の導電部材11、第2の導電部材12および基材14を一体化するという意味である。 Although the restraining member 15 restrains the second conductive member 12 to the base material 14 in FIG. 1C, it is sufficient that the second conductive member 12 can be restrained to at least one of the first conductive member 11 and the base material 14. . That is, the binding member 15 may bind the second conductive member 12 to either the first conductive member 11 or the substrate 14, or to both. The constraint member 15 constrains the second conductive member 12 to both of the above means that the second conductive member 12 is arranged between the first conductive member 11 and the base material 14 and the first conductive member It means that the member 11, the second conductive member 12 and the base material 14 are integrated.

拘束部材15の具体例として、例えば、糸状部材、パーティション、接着剤等が挙げられる。拘束部材15は糸状部材であることが好ましい。拘束部材15が糸状部材であると、第2の導電部材12の位置ズレを防止しながらも、感圧素子構造のさらなる簡易化を達成することができ、また感圧素子の曲面への装着性が向上する。 Specific examples of the restraint member 15 include, for example, filamentous members, partitions, adhesives, and the like. The restraining member 15 is preferably a thread-like member. When the restraining member 15 is a thread-like member, it is possible to further simplify the structure of the pressure-sensitive element while preventing the positional displacement of the second conductive member 12, and the mounting of the pressure-sensitive element on a curved surface is facilitated. improves.

糸状部材は、図1Cに示すように、第2の導電部材12を第1の導電部材11または基材14に縫い付け得る程度に細長くかつ柔軟性のある部材であれば特に限定されず、導電性または非導電性のいずれの特性を有していてもよい。糸状部材は、第2の導電部材12を第1の導電部材11または基材14の少なくとも一方に縫い付ければよい。すなわち、糸状部材は、第2の導電部材12を第1の導電部材11または基材14の一方に縫い付けてもよいし、またはこれらの両方に縫い付けてもよい。糸状部材が第2の導電部材12を上記の両方に縫い付けるとは、第2の導電部材12を第1の導電部材11と基材14との間に配置させた状態で縫い付けることにより、第1の導電部材11、第2の導電部材12および基材14を一体化するという意味である。 The thread-like member is not particularly limited as long as it is elongated and flexible enough to sew the second conductive member 12 to the first conductive member 11 or the base material 14 as shown in FIG. 1C. It may have either conductive or non-conductive properties. As for the thread-like member, the second conductive member 12 may be sewn to at least one of the first conductive member 11 and the base material 14 . That is, the thread-like member may sew the second conductive member 12 to either the first conductive member 11 or the substrate 14, or to both. The thread member sews the second conductive member 12 to both of the above means that the second conductive member 12 is placed between the first conductive member 11 and the base material 14 and sewn together. It means that the first conductive member 11, the second conductive member 12 and the base material 14 are integrated.

糸状部材の具体例として、例えば、天然または合成の繊維を細長く引きのばして撚りをかけたものであってもよいし、釣り糸または金属糸であってもよい。糸状部材は、例えば図1Cに示されているように、規則的な位置で第2の導電部材12を縫い付けてもよいし、任意のランダムな位置で第2の導電部材12を縫い付けてもよい。 A specific example of the thread-like member may be, for example, a natural or synthetic fiber that is elongated and twisted, a fishing line, or a metal thread. The thread-like member may stitch the second conductive member 12 at regular locations, for example as shown in FIG. 1C, or stitch the second conductive member 12 at any random location. good too.

糸状部材による第2の導電部材12の第1の導電部材11または基材14への縫い付けは並縫い(串縫い)により達成されてもよいし、上糸および下糸を用いたミシン縫いにより達成されてもよい。糸状部材による第2の導電部材12の縫い付けがミシン縫いにより達成される場合、当該糸状部材は上糸および下糸から構成されており、上糸と下糸とは係合している。第2の導電部材12を第1の導電部材11または基材14の一方に縫い付ける場合、上糸と下糸との係合部は、第1の導電部材11または基材14の中に位置付けられる。第2の導電部材12を第1の導電部材11および基材14の両方に縫い付ける場合、上糸と下糸との係合部は、第1の導電部材11と基材14との間に位置付けられる。 Sewing of the second conductive member 12 to the first conductive member 11 or the base material 14 by the thread-like member may be achieved by plain stitching (skewer stitching), or by machine stitching using a needle thread and a bobbin thread. may be achieved. When sewing the second conductive member 12 with a thread-like member is accomplished by machine sewing, the thread-like member is composed of a needle thread and a bobbin thread, and the needle thread and the bobbin thread are engaged. When the second conductive member 12 is sewn to one of the first conductive member 11 or the substrate 14, the engagement of the top thread and bobbin thread is positioned in the first conductive member 11 or the substrate 14. be done. When the second conductive member 12 is sewn to both the first conductive member 11 and the base material 14, the engagement portion between the needle thread and the bobbin thread is between the first conductive member 11 and the base material 14. Positioned.

パーティションは、第1の導電部材11と基材14との間で厚み方向に略平行に立設されることにより、これらの間を仕切って、区画を形成する部材である。パーティションにより、第2の導電部材12を所定の区画内に保持する。パーティションは、例えば、前記第1の導電部材11の説明で記載した同様の樹脂材料(特にゴム材料(すなわちエラストマー材料))から構成されていてもよく、1つ例示するとシリコーンゴムを含む。パーティションは、平面視形状において、点状に形成されてもよいし、または連続的に線状に形成されてもよい。パーティションは後述のスペーサとして機能してもよい。 The partition is a member that is erected substantially parallel to the thickness direction between the first conductive member 11 and the base material 14 to form a partition between them. The partition holds the second conductive member 12 within a predetermined compartment. The partition may be composed of, for example, a similar resin material (especially a rubber material (i.e., an elastomeric material)) as described in the description of the first conductive member 11 above, and one example includes silicone rubber. The partitions may be formed in a dot shape in plan view, or may be formed in a continuous line shape. The partitions may function as spacers as described below.

感圧部1Aは、第1の導電部材11と基材14との間に、これらの間隙を確保するためのスペーサをさらに有してもよい。感圧部1Aがスペーサを有することにより、第1の導電部材11が、押圧力の除去後、迅速に元の形状に戻るようになり、押圧力の検出速度および応答速度が向上する。スペーサは、平面視形状において、点状に形成されてもよいし、または連続的に線状に形成されてもよい。スペーサは、例えば、前記第1の導電部材11の説明で記載した同様の樹脂材料(特にゴム材料(すなわちエラストマー材料))から構成されていてもよく、1つ例示するとシリコーンゴムを含む。 The pressure sensing portion 1A may further have a spacer between the first conductive member 11 and the base material 14 to secure a gap therebetween. Since the pressure sensing portion 1A has the spacer, the first conductive member 11 quickly returns to its original shape after the pressing force is removed, thereby improving the pressing force detection speed and response speed. The spacers may be formed in a point shape in plan view, or may be formed in a continuous line shape. The spacer may be made of, for example, the same resin material (particularly a rubber material (i.e., an elastomer material)) described in the description of the first conductive member 11, and one example includes silicone rubber.

(1b)検出器2A
検出器2Aは、第1の導電部材11と第2の導電部材12との間の静電容量の変化に基づいて、押圧力を検出する回路である。検出器2Aは、第1の導電部材11から引き出された配線および第2の導電部材12から引き出された配線とそれぞれ端子T11およびT12を介して電気的に接続されている。検出器2Aは、制御回路および集積回路等であってよい。ノイズの影響の低減による押圧力検出の安定化の観点から、第1の導電部材11は検出器2Aの接地(グランド)に接続されていることが好ましい。すなわち第1の導電部材11から引き出された配線が電気的に接続される検出器2Aの端子T11は接地(グランド)にさらに接続されていることが好ましい。
(1b) detector 2A
The detector 2</b>A is a circuit that detects pressing force based on changes in capacitance between the first conductive member 11 and the second conductive member 12 . Detector 2A is electrically connected to wiring drawn out from first conductive member 11 and wiring drawn out from second conductive member 12 via terminals T11 and T12, respectively. Detector 2A may be a control circuit, an integrated circuit, or the like. From the viewpoint of stabilizing the pressing force detection by reducing the influence of noise, it is preferable that the first conductive member 11 is connected to the ground of the detector 2A. That is, it is preferable that the terminal T11 of the detector 2A to which the wiring drawn out from the first conductive member 11 is electrically connected is further connected to the ground.

第2の導電部材12が複数で使用される場合、検出器2Aは、当該複数の第2の導電部材12のそれぞれから引き出された配線と電気的に接続するための複数の端子を有する。 When a plurality of the second conductive members 12 are used, the detector 2A has a plurality of terminals for electrical connection with wiring drawn from each of the plurality of second conductive members 12 .

(1c)感圧素子100Aによる押圧力の測定
本実施態様の感圧素子100Aにおいては、誘電体13を変形させることなく、接触領域の面積の変化に基づく端子T11と端子T12との間の静電容量の変化を計測することで、押圧力が測定される。接触領域の面積の変化は、特に小さな押圧力においては、従来の感圧素子における電極間距離の変化よりも大きいため、本実施態様においては簡易な構造で、広い範囲の押圧力を測定することができる。
(1c) Measurement of pressing force by the pressure-sensitive element 100A In the pressure-sensitive element 100A of this embodiment, the static electricity between the terminal T11 and the terminal T12 based on the change in the area of the contact area is measured without deforming the dielectric 13. The pressing force is measured by measuring the change in capacitance. Since the change in the area of the contact area is larger than the change in the distance between the electrodes in the conventional pressure-sensitive element, especially at a small pressing force, this embodiment can measure a wide range of pressing force with a simple structure. can be done.

(変形例)
本実施態様の変形例に係る感圧素子100Aの構成を図1Dに模式的に示す。この感圧祖素子の構成は、第2の導電部材12が誘電体13に覆われる代わりに、誘電体13が第1の導電部材11の主面における、第2の導電部材12に対応する一部分に形成された構成である。他の部分は、図1Aに示す感圧素子100Aと同様である。
(Modification)
FIG. 1D schematically shows the configuration of a pressure-sensitive element 100A according to a modification of this embodiment. The configuration of this pressure-sensitive element is such that instead of covering the second conductive member 12 with the dielectric 13 , the dielectric 13 covers a portion of the main surface of the first conductive member 11 corresponding to the second conductive member 12 . It is a configuration formed in Other parts are the same as the pressure sensitive element 100A shown in FIG. 1A.

図1Eは、図1Dの感圧素子の感圧部に押圧力が付与された際の感圧部の構成を模式的に示した断面図である。本変形例の感圧素子100Aにおいては、図1Eに示すように、感圧部1Aに押圧力Fが付与されると、誘電体13と第2の導電部材12との接触面積が増大する。その結果、第1の導電部材11と第2の導電部材12との間の静電容量C〔pF〕が変化する。静電容量C〔pF〕および感圧部に付与される押圧力F〔N〕はそれぞれ上記の(式1)および(式2)で表されるので、検出器2Aにより押圧力Fが検出される。 FIG. 1E is a cross-sectional view schematically showing the configuration of the pressure-sensitive portion of the pressure-sensitive element of FIG. 1D when a pressing force is applied to the pressure-sensitive portion. In the pressure-sensitive element 100A of this modified example, as shown in FIG. 1E, when a pressing force F is applied to the pressure-sensitive portion 1A, the contact area between the dielectric 13 and the second conductive member 12 increases. As a result, the capacitance C [pF] between the first conductive member 11 and the second conductive member 12 changes. Since the capacitance C [pF] and the pressing force F [N] applied to the pressure sensing portion are expressed by the above (Equation 1) and (Equation 2) respectively, the pressing force F is detected by the detector 2A. be.

なお、誘電体13は、感圧部1Aに押圧力Fが付与された場合に、第2の導電部材12と接しないようにする必要がある。さもなければ、第1の導電部材11と第2の導電部材12との間の静電容量Cを測定することができなくなるからである。そのためには、例えば図1Dに示す感圧素子100Dの場合、誘電体13の、第1の導電部材11の主面に平行な方向に沿った長さをL、導電部材の半径をrとしたとき、(式3)を満たすことが望ましい。 Note that the dielectric 13 needs to be kept out of contact with the second conductive member 12 when the pressure F is applied to the pressure sensitive portion 1A. Otherwise, the capacitance C between the first conductive member 11 and the second conductive member 12 cannot be measured. For this purpose, for example, in the case of the pressure-sensitive element 100D shown in FIG. At this time, it is desirable to satisfy (Equation 3).

Figure 0007157958000003
Figure 0007157958000003

なお、ここでπは円周率である。 Here, π is the circular constant.

(第2実施態様)
本実施態様の感圧素子100Bの構成を図2に模式的に示す。すなわち、図2は、第2実施態様に係る感圧素子100Bの構成を模式的に示した断面図である。本実施態様の感圧素子100Bは、押圧力を付与される感圧部1Bと押圧力を検出する検出器2Bとを備えている。
(Second embodiment)
FIG. 2 schematically shows the structure of the pressure-sensitive element 100B of this embodiment. That is, FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of a pressure-sensitive element 100B according to the second embodiment. A pressure-sensitive element 100B of this embodiment includes a pressure-sensitive portion 1B to which a pressing force is applied and a detector 2B that detects the pressing force.

(2a)感圧部1B
感圧部1Bは、第1の導電部材と第2の導電部材とが交互に積み重ねられた構成の一実施態様であり、以下の事項(1B-1)、(1B-2)以外、第1実施態様の感圧部1Aと同様である。
(2a) pressure sensing section 1B
The pressure sensing portion 1B is an embodiment of a configuration in which first conductive members and second conductive members are alternately stacked, and except for the following matters (1B-1) and (1B-2), the first conductive member It is the same as the pressure sensing part 1A of the embodiment.

(1B-1)
感圧部1Bは、第2の導電部材12を両側から挟む第1の導電部材を2つ有する。感圧部1Bの2つの第1の導電部材は、図2において、11aおよび11bで表され、それぞれ独立して、感圧部1Aの第1の導電部材11と同様の範囲内から選択されてよい。第1の導電部材11aおよび11bは導電性ゴムから構成されていることが好ましく、またシート形状を有することが好ましい。ここで導電性ゴムは、感圧部1Aにおける第1の導電部材11の構成材料として説明した導電性ゴムと同様であってもよい。
(1B-1)
The pressure sensing portion 1B has two first conductive members sandwiching the second conductive member 12 from both sides. The two first conductive members of the pressure sensing portion 1B are represented by 11a and 11b in FIG. good. The first conductive members 11a and 11b are preferably made of conductive rubber and preferably have a sheet shape. Here, the conductive rubber may be the same as the conductive rubber described as the constituent material of the first conductive member 11 in the pressure sensing portion 1A.

(1B-2)
第2の導電部材12は表面を覆う誘電体13を有する。誘電体13は、第2の導電部材12の表面全体を完全に覆っていることが好ましい。第2の導電部材12は複数で使用されることが好ましく、当該複数の第2の導電部材12はそれぞれ、表面全体を完全に覆う誘電体13を有することが好ましい。
(1B-2)
The second conductive member 12 has a dielectric 13 covering its surface. Dielectric 13 preferably completely covers the entire surface of second conductive member 12 . A plurality of second conductive members 12 are preferably used, and each of the plurality of second conductive members 12 preferably has a dielectric 13 that completely covers the entire surface.

(2b)検出器2B
検出器2Bは、以下の事項(2B-1)以外、第1実施態様の検出器2Aと同様である。
(2b) detector 2B
The detector 2B is the same as the detector 2A of the first embodiment except for the following item (2B-1).

(2B-1)
検出器2Bは、第1の導電部材11aおよび11bから引き出された配線および第2の導電部材12から引き出された配線とそれぞれ端子T11a、T11bおよびT12を介して電気的に接続されている。例えば、2つの第1の導電部材11aおよび11bは検出器2Bを介して互いに電気的に接続されている。ノイズの影響の低減による押圧力検出の安定化の観点から、第1の導電部材11aおよび11bは検出器2Bの接地(グランド)に接続されていることが好ましい。すなわち第1の導電部材11aおよび11bから引き出された配線が電気的に接続される検出器2Bの端子T11aおよびT11bは接地(グランド)にさらに接続されていることが好ましい。
(2B-1)
Detector 2B is electrically connected to wiring drawn from first conductive members 11a and 11b and wiring drawn from second conductive member 12 via terminals T11a, T11b and T12, respectively. For example, two first conductive members 11a and 11b are electrically connected to each other via detector 2B. From the viewpoint of stabilizing the pressing force detection by reducing the influence of noise, the first conductive members 11a and 11b are preferably connected to the ground of the detector 2B. That is, it is preferable that the terminals T11a and T11b of the detector 2B, to which the wires drawn out from the first conductive members 11a and 11b are electrically connected, are further connected to ground.

図2においては、検出器2Bは、複数の第2の導電部材12のうち、1つの第2の導電部材12から引き出された配線と電気的に接続するための端子T12を1つのみ有する。しかし、検出器2Bは通常、複数の第2の導電部材12のそれぞれから引き出された配線と電気的に接続するための複数の端子T12を有する。すなわち、全ての第2の導電部材12のそれぞれが配線および端子を介して検出器2Bと接続されている。 In FIG. 2, the detector 2B has only one terminal T12 for electrical connection with wiring drawn out from one second conductive member 12 among the plurality of second conductive members 12. As shown in FIG. However, the detector 2B usually has a plurality of terminals T12 for electrical connection with wiring drawn from each of the plurality of second conductive members 12. FIG. That is, each of all the second conductive members 12 is connected to the detector 2B via wiring and terminals.

(2c)感圧素子100Bによる押圧力の測定
本実施態様の感圧素子100Bにおいては、様々な組み合わせの端子間の静電容量の変化を計測することで、押圧力を測定することができる。
(2c) Measurement of Pressing Force by Pressure-Sensitive Element 100B In the pressure-sensitive element 100B of this embodiment, the pressing force can be measured by measuring changes in capacitance between various combinations of terminals.

例えば、端子T11aと端子T11bとの間の静電容量の変化、端子T11aと端子T12との間の静電容量の変化、および端子T12と端子T11bとの間の静電容量の変化からなる群から選択される1つ以上の変化を計測することで、押圧力を測定することができる。 For example, the group consisting of a change in capacitance between terminals T11a and T11b, a change in capacitance between terminals T11a and T12, and a change in capacitance between terminals T12 and T11b. The pressing force can be measured by measuring one or more changes selected from.

感圧感度の向上の観点からは、上記群から選択される2つ以上の変化、好ましくは端子T11aと端子T12との間の静電容量の変化および端子T12と端子T11bとの間の静電容量の変化を計測することで、押圧力を測定することが好ましい。 From the viewpoint of improving the pressure-sensitive sensitivity, two or more changes selected from the above group, preferably a change in the capacitance between the terminals T11a and T12 and a change in the electrostatic capacitance between the terminals T12 and T11b. It is preferable to measure the pressing force by measuring the change in capacity.

本実施態様の感圧素子100Bにおいては、第1の導電部材11aおよび第1の導電部材11bとして弾性率(ヤング率)が異なるものを使用することにより、押圧力の測定範囲をより一層、広くすることができる。例えば、第1の導電部材11aの弾性率が比較的低く、第1の導電部材11bの弾性率が比較的高い場合、第1の導電部材11aが先に変形し押縮してから、第1の導電部材11bが変形するため、押圧力の測定範囲がより一層、広くなる。 In the pressure-sensitive element 100B of the present embodiment, the first conductive member 11a and the first conductive member 11b having different elastic moduli (Young's modulus) are used to further widen the pressing force measurement range. can do. For example, when the elastic modulus of the first conductive member 11a is relatively low and the elastic modulus of the first conductive member 11b is relatively high, the first conductive member 11a is deformed and compressed first, and then the first conductive member 11a is deformed and compressed. Since the conductive member 11b is deformed, the pressing force can be measured in a wider range.

本実施態様の感圧素子100Bにおいても、誘電体13を変形させることなく、接触領域の面積の変化に基づく上記端子間の静電容量の変化を計測することで、押圧力が測定されるため、比較的簡易な構造で、比較的広い範囲の押圧力を測定することができる。 Also in the pressure-sensitive element 100B of this embodiment, the pressing force is measured by measuring the change in the capacitance between the terminals based on the change in the area of the contact area without deforming the dielectric 13. , which has a relatively simple structure and can measure a relatively wide range of pressing forces.

本実施態様の感圧素子100Bにおいては、2つの第1の導電部材11aおよび第1の導電部材11bが使用されるため、ノイズの影響が少なく、押圧力を安定して検出できる。 Since the two first conductive members 11a and 11b are used in the pressure-sensitive element 100B of this embodiment, the influence of noise is small and the pressing force can be stably detected.

本実施態様の感圧素子100Bにおいては、外乱ノイズの大きい方の電極を接地(0V電位)にすることで、当該感圧素子はノイズ耐性により一層、強くなる。外乱ノイズの大きい方の電極とは通常、加圧方向の上流側の電極のことであるが、特に当該加圧方向の上流側の電極の上部に導体が存在する場合には、加圧方向の下流側の電極のことである。すなわち、外乱ノイズの大きい方の電極としては、例えば、加圧方向の上流側の電極の上部に導体が存在しない場合における当該上流側の電極、および加圧方向の上流側の電極の上部に導体が存在する場合における加圧方向の下流側の電極が挙げられる。 In the pressure-sensitive element 100B of this embodiment, by grounding (0 V potential) the electrode with the larger disturbance noise, the pressure-sensitive element becomes more noise resistant. The electrode with the larger disturbance noise is usually the electrode on the upstream side in the pressurizing direction. This is the electrode on the downstream side. That is, as the electrodes with larger disturbance noise, for example, the upstream electrode in the case where there is no conductor above the upstream electrode in the pressurizing direction, and the conductor above the upstream electrode in the pressurizing direction. An electrode on the downstream side in the pressurizing direction when is present.

例えば、端子T11aと端子T11bとの間の静電容量の変化のみを計測する場合、端子T11aと端子T12との間の静電容量の変化のみを計測する場合、および端子T11aと端子T12との間の静電容量の変化および端子T12と端子T11bとの間の静電容量の変化を計測する場合には、第1の導電部材11aを接地(0V電位)にする。 For example, when measuring only the capacitance change between the terminals T11a and T11b, when measuring only the capacitance change between the terminals T11a and T12, and when measuring only the capacitance change between the terminals T11a and T12 When measuring the change in capacitance between terminals T12 and T11b, the first conductive member 11a is grounded (0 V potential).

また例えば端子T12と端子T11bとの間の静電容量の変化のみを計測する場合には、第1の導電部材11bを接地(0V電位)にする。 Further, for example, when measuring only the change in capacitance between the terminal T12 and the terminal T11b, the first conductive member 11b is grounded (0 V potential).

これにより、押圧力の測定時においてノイズが防止される。 This prevents noise when measuring the pressing force.

なお、ここで、上記説明にて述べた加圧方向の上流側および下流側の意味を述べる。例えば、感圧素子の表面の所定の位置にある電極が人の手によって押される場合を考える。この場合、当該電極より感圧素子の内部へと押圧力が伝わることになる。この押圧力が伝わる方向を加圧方向という。すなわち、加圧方向の上流側とは、当該電極側であり、加圧方向の下流側とは、感圧素子の内部側のことである。 Here, the meanings of the upstream side and the downstream side in the pressurizing direction described above will be described. For example, consider the case where an electrode at a predetermined position on the surface of a pressure-sensitive element is pressed by a human hand. In this case, the pressing force is transmitted from the electrode to the inside of the pressure-sensitive element. The direction in which this pressing force is transmitted is called the pressing direction. That is, the upstream side in the pressurizing direction is the electrode side, and the downstream side in the pressurizing direction is the inner side of the pressure-sensitive element.

また、加圧方向の上流側の電極の上部に導体が存在する場合に、加圧方向の下流側の電極のほうが上流側の電極よりも外乱ノイズが大きくなる理由を説明する。 Also, the reason why the disturbance noise of the electrode on the downstream side in the pressure direction is greater than that on the electrode on the upstream side when there is a conductor above the electrode on the upstream side in the pressure direction will be explained.

通常、加圧方向の上流側にある電極において、人の手が有する寄生容量により外乱ノイズが大きくなる。しかし、加圧方向の上流側の電極の上部に導体が存在する場合には、当該導体を接地することで加圧方向の上流側の電極を0Vとすることができ、人の手が有する寄生容量による外乱ノイズを打ち消すことができる。そのため、この場合は、加圧方向の下流側の電極のほうが、外乱ノイズが大きくなるのである。 Generally, disturbance noise increases due to the parasitic capacitance of the human hand at the electrode located upstream in the pressurizing direction. However, if there is a conductor above the electrode on the upstream side in the pressure direction, the electrode on the upstream side in the pressure direction can be set to 0 V by grounding the conductor, and the parasitic power of the human hand can be reduced. Disturbance noise due to capacitance can be canceled. Therefore, in this case, the electrode on the downstream side in the pressurizing direction has greater disturbance noise.

(第3実施態様)
本実施態様の感圧素子100Cの構成を図3に模式的に示す。すなわち、図3は、第3実施態様に係る感圧素子100Cの構成を模式的に示した断面図である。本実施態様の感圧素子100Cは、押圧力を付与される感圧部1Cと押圧力を検出する検出器2Cとを備えている。
(Third embodiment)
FIG. 3 schematically shows the configuration of the pressure-sensitive element 100C of this embodiment. That is, FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing the structure of a pressure-sensitive element 100C according to the third embodiment. A pressure-sensitive element 100C of this embodiment includes a pressure-sensitive portion 1C to which a pressing force is applied and a detector 2C that detects the pressing force.

(3a)感圧部1C
感圧部1Cは、第1の導電部材と第2の導電部材とが交互に積み重ねられた構成の一実施態様であり、以下の事項(1C-1)以外、第1実施態様の感圧部1Aと同様である。
(3a) pressure sensing section 1C
The pressure sensing portion 1C is an embodiment in which the first conductive members and the second conductive members are alternately stacked. Same as 1A.

(1C-1)
感圧部1Cは、第1の導電部材11を両側から挟む第2の導電部材を有する。第1の導電部材11の両側にある第2の導電部材は、図3において、12aおよび12bで表され、それぞれ独立して、感圧部1Aの第2の導電部材12と同様の範囲内から選択されてよい。第2の導電部材12aおよび第2の導電部材12bはいずれも、表面全体を完全に覆う誘電体13aおよび13bを有することが好ましい。誘電体13aおよび13bはそれぞれ独立して、感圧部1Aの誘電体13と同様の範囲内から選択されてよい。
(1C-1)
The pressure sensing portion 1C has second conductive members sandwiching the first conductive member 11 from both sides. The second conductive members on both sides of the first conductive member 11 are represented by 12a and 12b in FIG. may be selected. Both second conductive member 12a and second conductive member 12b preferably have dielectrics 13a and 13b that completely cover the entire surface. Dielectrics 13a and 13b may each be independently selected within the same range as dielectric 13 of pressure sensitive portion 1A.

(3b)検出器2C
検出器2Cは、以下の事項(2C-1)以外、第1実施態様の検出器2Aと同様である。
(3b) detector 2C
The detector 2C is the same as the detector 2A of the first embodiment except for the following item (2C-1).

(2C-1)
検出器2Cは、第1の導電部材11から引き出された配線および第2の導電部材12aおよび第2の導電部材12bから引き出された配線とそれぞれ端子T11、端子T12aおよび端子T12bを介して電気的に接続されている。ノイズの影響の低減による押圧力検出の安定化の観点から、第2の導電部材12aは検出器2Cの接地(グランド)に接続されていることが好ましい。すなわち第2の導電部材12aから引き出された配線が電気的に接続される検出器2Cの端子T12aはグランドにさらに接続されていることが好ましい。
(2C-1)
Detector 2C is electrically connected to wiring drawn from first conductive member 11 and wiring drawn from second conductive member 12a and second conductive member 12b via terminal T11, terminal T12a and terminal T12b, respectively. It is connected to the. From the viewpoint of stabilizing the pressing force detection by reducing the influence of noise, the second conductive member 12a is preferably connected to the ground of the detector 2C. That is, it is preferable that the terminal T12a of the detector 2C to which the wiring drawn out from the second conductive member 12a is electrically connected is further grounded.

図3においては、検出器2Cは、第1の導電部材11の両側のそれぞれにおける複数の第2の導電部材12aまたは複数の第2の導電部材12bのうち、1つの第2の導電部材12aまたは1つの第2の導電部材12bから引き出された配線と電気的に接続するための端子(端子T12aまたは端子T12b)を1つのみ有するように記載されている。しかし、検出器2Cは通常、第1の導電部材11の両側のそれぞれにおける複数の第2の導電部材12aまたは複数の第2の導電部材12bのそれぞれから引き出された配線と電気的に接続するための複数の端子(端子T12aまたは端子T12b)を有する。すなわち、第1の導電部材11の両側のそれぞれにおける全ての第2の導電部材12aまたは全ての第2の導電部材12bがそれぞれ配線および端子を介して検出器2Cと接続されている。 In FIG. 3, the detector 2C has a plurality of second conductive members 12a or a plurality of second conductive members 12b on each side of the first conductive member 11, one second conductive member 12a or It is described as having only one terminal (terminal T12a or terminal T12b) for electrical connection with wiring drawn out from one second conductive member 12b. However, since the detector 2C is normally electrically connected to wiring drawn from each of the plurality of second conductive members 12a or the plurality of second conductive members 12b on each of both sides of the first conductive member 11, terminal (terminal T12a or terminal T12b). That is, all the second conductive members 12a or all the second conductive members 12b on both sides of the first conductive member 11 are connected to the detector 2C via wiring and terminals, respectively.

(3c)感圧素子100Cによる押圧力の測定
本実施態様の感圧素子100Cにおいては、様々な組み合わせの端子間の静電容量の変化を計測することで、押圧力を測定することができる。
(3c) Measurement of Pressing Force by Pressure Sensitive Element 100C In the pressure sensing element 100C of this embodiment, the pressing force can be measured by measuring changes in capacitance between various combinations of terminals.

例えば、端子T12aと端子T12bとの間の静電容量の変化、端子T12aと端子T11との間の静電容量の変化、および端子T11と端子T12bとの間の静電容量の変化からなる群から選択される1つ以上の変化を計測することで、押圧力を測定することができる。 For example, the group consisting of a change in capacitance between terminals T12a and T12b, a change in capacitance between terminals T12a and T11, and a change in capacitance between terminals T11 and T12b. The pressing force can be measured by measuring one or more changes selected from.

感圧感度の向上の観点からは、上記群から選択される2つ以上の変化、好ましくは端子T12aと端子T11との間の静電容量の変化および端子T11と端子T12bとの間の静電容量の変化を計測することで、押圧力を測定することが好ましい。 From the viewpoint of improving the pressure-sensitive sensitivity, two or more changes selected from the above group, preferably a change in the capacitance between the terminals T12a and T11 and a change in the electrostatic capacitance between the terminals T11 and T12b. It is preferable to measure the pressing force by measuring the change in capacity.

様々な組み合わせの端子間の静電容量の変化を計測するに際し、端子T12aおよび端子T12bを用いて静電容量の変化を計測する場合、第2の導電部材12aの主方向と、第2の導電部材12bの主方向とを交差させておくことにより、押圧力とともに押圧位置の検出も可能となる。端子T12aおよび端子T12bを用いて静電容量の変化を計測する場合には、端子T12aと端子T12bとの間の静電容量の変化のみを計測する場合、および端子T12aまたは端子T12bの一方を含む端子間の静電容量の変化および他方を含む端子間の静電容量の変化を計測する場合が包含される。 In measuring the change in capacitance between various combinations of terminals, when measuring the change in capacitance using the terminal T12a and the terminal T12b, the main direction of the second conductive member 12a and the second conductive member 12a By intersecting the main direction of the member 12b, it becomes possible to detect not only the pressing force but also the pressing position. When the change in capacitance is measured using the terminals T12a and T12b, when only the change in capacitance between the terminals T12a and T12b is measured, and either the terminal T12a or the terminal T12b is included. It includes the case of measuring the change in capacitance between terminals and the change in capacitance between terminals including the other.

配線の引き出し容易性の観点からは、端子T12aと端子T12bとの間の静電容量の変化のみを計測することで、押圧力を測定することが好ましい。 From the viewpoint of facilitating wiring extraction, it is preferable to measure the pressing force by measuring only the change in capacitance between the terminals T12a and T12b.

本実施態様の感圧素子100Cにおいても、誘電体13aおよび誘電体13bを変形させることなく、接触領域の面積の変化に基づく上記端子間の静電容量の変化を計測することで、押圧力が測定されるため、比較的簡易な構造で、比較的広い範囲の押圧力を測定することができる。 In the pressure-sensitive element 100C of this embodiment as well, the pressing force can be reduced by measuring the change in the capacitance between the terminals based on the change in the area of the contact area without deforming the dielectric 13a and the dielectric 13b. Since it is measured, it is possible to measure pressing forces in a relatively wide range with a relatively simple structure.

本実施態様の感圧素子100Cにおいても、感圧素子100Bにおいてと同様に、外乱ノイズの大きい方の電極を接地(0V電位)にすることで、当該感圧素子はノイズ耐性に強くなる。 In the pressure-sensitive element 100C of this embodiment, similarly to the pressure-sensitive element 100B, by grounding (0 V potential) the electrode with the larger disturbance noise, the pressure-sensitive element becomes more resistant to noise.

例えば、端子T12aと端子T12bとの間の静電容量の変化のみを計測する場合、端子T12aと端子T11との間の静電容量の変化のみを計測する場合、および端子T12aと端子T11との間の静電容量の変化および端子T11と端子T12bとの間の静電容量の変化を計測する場合には、第2の導電部材12aを接地(0V電位)にする。 For example, when measuring only the capacitance change between the terminal T12a and the terminal T12b, when measuring only the capacitance change between the terminal T12a and the terminal T11, and when measuring only the capacitance change between the terminal T12a and the terminal T11 When measuring the change in capacitance between terminals T11 and T12b, the second conductive member 12a is grounded (0 V potential).

また例えば、端子T11と端子T12bとの間の静電容量の変化のみを計測する場合には、第1の導電部材11を接地(0V電位)にする。 Further, for example, when measuring only the change in capacitance between the terminal T11 and the terminal T12b, the first conductive member 11 is grounded (0 V potential).

これにより、押圧力の測定時においてノイズが防止される。 This prevents noise when measuring the pressing force.

また感圧素子の対向する部位を0V電位で挟むことで、対外ノイズに強くなる。すなわち、第2の導電部材12aおよび第2の導電部材12bを0V電位にする。これにより、押圧力の測定時においてノイズが防止される。 Further, by sandwiching the opposing portions of the pressure-sensitive element with 0V potential, the device is resistant to external noise. That is, the second conductive member 12a and the second conductive member 12b are set to 0V potential. This prevents noise when measuring the pressing force.

本実施態様の感圧素子100Cにおいては、図3において、第2の導電部材12aのさらに上側および/または第2の導電部材12bのさらに下側に、感圧素子100Aの基材14と同様の基材が配置されてもよい。 In the pressure-sensitive element 100C of this embodiment, in FIG. 3, a material similar to the base material 14 of the pressure-sensitive element 100A is provided above the second conductive member 12a and/or below the second conductive member 12b. A substrate may be disposed.

(第4実施態様)
本実施態様の感圧素子100Dの構成を図4に模式的に示す。図4は、第4実施態様に係る感圧素子100Dの構成を模式的に示した断面図である。本実施態様の感圧素子100Dは、押圧力を付与される感圧部1Dと押圧力を検出する検出器2Dとを備えている。
(Fourth embodiment)
FIG. 4 schematically shows the configuration of the pressure-sensitive element 100D of this embodiment. FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of a pressure-sensitive element 100D according to the fourth embodiment. A pressure-sensitive element 100D of this embodiment includes a pressure-sensitive portion 1D to which a pressing force is applied and a detector 2D that detects the pressing force.

(4a)感圧部1D
感圧部1Dは、第1の導電部材と第2の導電部材とが交互に積み重ねられた構成の一実施態様であり、以下の事項(1D-1)以外、第1実施態様の感圧部1Aと同様である。
(4a) pressure sensing section 1D
The pressure sensing portion 1D is an embodiment in which the first conductive members and the second conductive members are alternately stacked. Same as 1A.

(1D-1)
感圧部1Dは、感圧部1Aにおける第1の導電部材11および第2の導電部材12を繰り返し積層したものである。図4において、上位および下位の第1の導電部材はそれぞれ11aおよび11bで表され、それぞれ独立して、感圧部1Aの第1の導電部材11と同様の範囲内から選択されてよい。上位および下位の第2の導電部材はそれぞれ12aおよび12bで表され、それぞれ独立して、感圧部1Aの第2の導電部材12と同様の範囲内から選択されてよい。第2の導電部材12aおよび12bはいずれも、表面全体を完全に覆う誘電体13aおよび13bを有することが好ましい。誘電体13aおよび13bはそれぞれ独立して、感圧部1Aの誘電体13と同様の範囲内から選択されてよい。
(1D-1)
The pressure sensing portion 1D is obtained by repeatedly stacking the first conductive member 11 and the second conductive member 12 in the pressure sensing portion 1A. In FIG. 4, the upper and lower first conductive members are denoted by 11a and 11b, respectively, and may be independently selected within the same range as the first conductive member 11 of the pressure sensitive portion 1A. The upper and lower second conductive members are designated 12a and 12b, respectively, and may each independently be selected within the same range as the second conductive member 12 of the pressure sensitive portion 1A. Both second conductive members 12a and 12b preferably have dielectrics 13a and 13b that completely cover the entire surface. Dielectrics 13a and 13b may each be independently selected within the same range as dielectric 13 of pressure sensitive portion 1A.

(4b)検出器2D
検出器2Dは、以下の事項(2D-1)以外、第1実施態様の検出器2Aと同様である。
(4b) Detector 2D
The detector 2D is the same as the detector 2A of the first embodiment except for the following item (2D-1).

(2D-1)
検出器2Dは、第1の導電部材11aおよび第1の導電部材11bから引き出された配線および第2の導電部材12aおよび12bから引き出された配線とそれぞれ端子T11a、端子T11b、端子T12aおよび端子T12bを介して電気的に接続されている。ノイズの影響の低減による押圧力検出の安定化の観点から、第1の導電部材11aは検出器2Dのグランドに接続されていることが好ましい。すなわち第1の導電部材11aから引き出された配線が電気的に接続される検出器2Dの端子T11aはグランドにさらに接続されていることが好ましい。
(2D-1)
Detector 2D connects wires drawn out from first conductive members 11a and 11b, wires drawn out from second conductive members 12a and 12b, and terminals T11a, T11b, T12a, and T12b, respectively. are electrically connected via From the viewpoint of stabilizing the pressing force detection by reducing the influence of noise, the first conductive member 11a is preferably connected to the ground of the detector 2D. That is, it is preferable that the terminal T11a of the detector 2D to which the wiring drawn out from the first conductive member 11a is electrically connected is further grounded.

図4においては、検出器2Dは、第1の導電部材11bの両側のそれぞれにおける複数の第2の導電部材12aまたは複数の第2の導電部材12bのうち、1つの第2の導電部材12aまたは1つの第2の導電部材12bから引き出された配線と電気的に接続するための端子(端子T12aまたは端子T12b)を1つのみ有する。しかし、検出器2Dは通常、第1の導電部材11bの両側のそれぞれにおける複数の第2の導電部材12aまたは複数の第2の導電部材12bのそれぞれから引き出された配線と電気的に接続するための複数の端子T12aまたは複数の第2の導電部材T12bを有する。すなわち、第1の導電部材11bの両側のそれぞれにおける全ての第2の導電部材12aまたは全ての第2の導電部材12bがそれぞれ配線および端子を介して検出器2Dと接続されている。 In FIG. 4, the detector 2D is configured such that, of the plurality of second conductive members 12a or the plurality of second conductive members 12b on each side of the first conductive member 11b, one second conductive member 12a or It has only one terminal (terminal T12a or terminal T12b) for electrical connection with wiring drawn out from one second conductive member 12b. However, since the detector 2D is normally electrically connected to wiring drawn from each of the plurality of second conductive members 12a or the plurality of second conductive members 12b on each of both sides of the first conductive member 11b, a plurality of terminals T12a or a plurality of second conductive members T12b. That is, all the second conductive members 12a or all the second conductive members 12b on each side of the first conductive member 11b are connected to the detector 2D via wiring and terminals, respectively.

(4c)感圧素子100Dによる押圧力の測定
本実施態様の感圧素子100Dにおいては、様々な組み合わせの端子間の静電容量の変化を計測することで、押圧力を測定することができる。
(4c) Measurement of Pressing Force by Pressure-Sensitive Element 100D In the pressure-sensitive element 100D of this embodiment, the pressing force can be measured by measuring changes in capacitance between various combinations of terminals.

例えば、端子T12aと端子T12bとの間の静電容量の変化、端子T11aと端子T12bとの間の静電容量の変化、端子T11aと端子T12aとの間の静電容量の変化、端子T12aと端子T11bとの間の静電容量の変化、および端子T11bと端子T12bとの間の静電容量の変化からなる群から選択される1つ以上の変化を計測することで、押圧力を測定することができる。 For example, a change in capacitance between terminals T12a and T12b, a change in capacitance between terminals T11a and T12b, a change in capacitance between terminals T11a and T12a, and a change in capacitance between terminals T12a and T12a. The pressing force is measured by measuring one or more changes selected from the group consisting of changes in capacitance between terminals T11b and changes in capacitance between terminals T11b and T12b. be able to.

感圧感度の向上の観点からは、上記群から選択される2つ以上の変化、好ましくは端子T11aと端子T12aとの間の静電容量の変化および端子T11bと端子T12bとの間の静電容量の変化を計測することで、押圧力を測定することが好ましい。 From the viewpoint of improving pressure-sensitive sensitivity, two or more changes selected from the above group, preferably a change in capacitance between terminals T11a and T12a and a change in electrostatic capacitance between terminals T11b and T12b It is preferable to measure the pressing force by measuring the change in capacity.

本実施態様の感圧素子100Dにおいては、接触領域の面積のより一層の増加がもたらされるので、感圧感度がより一層、向上する。また各々の端子間で計測することで、それらの差分も検出されるため、より詳細に容量変化の計測が可能である。 In the pressure-sensitive element 100D of this embodiment, the area of the contact region is further increased, so the pressure-sensitive sensitivity is further improved. Moreover, by measuring between each terminal, the difference between them can also be detected, so it is possible to measure the capacitance change in more detail.

本実施態様においても、様々な組み合わせの端子間の静電容量の変化を計測するに際し、端子T12aおよび端子T12bを用いて静電容量の変化を計測する場合、第2の導電部材12aの主方向と、第2の導電部材12bの主方向とを交差させておくことにより、押圧力とともに押圧位置の検出も可能となる。端子T12aおよび端子T12bを用いて静電容量の変化を計測する場合には、端子T12aと端子T12bとの間の静電容量の変化のみを計測する場合、および端子T12aまたは端子T12bの一方を含む端子間の静電容量の変化および他方を含む端子間の静電容量の変化を計測する場合が包含される。 Also in this embodiment, when measuring the change in capacitance between various combinations of terminals, when measuring the change in capacitance using the terminal T12a and the terminal T12b, the main direction of the second conductive member 12a and the main direction of the second conductive member 12b, it is possible to detect the pressing force as well as the pressing position. When the change in capacitance is measured using the terminals T12a and T12b, when only the change in capacitance between the terminals T12a and T12b is measured, and either the terminal T12a or the terminal T12b is included. It includes the case of measuring the change in capacitance between terminals and the change in capacitance between terminals including the other.

配線の引き出し容易性の観点からは、端子T12aと端子T12bとの間の静電容量の変化のみを計測することで、押圧力を測定することが好ましい。 From the viewpoint of facilitating wiring extraction, it is preferable to measure the pressing force by measuring only the change in capacitance between the terminals T12a and T12b.

本実施態様の感圧素子100Dにおいても、誘電体13aおよび13bを変形させることなく、接触領域の面積の変化に基づく上記端子間の静電容量の変化を計測することで、押圧力が測定されるため、比較的簡易な構造で、比較的広い範囲の押圧力を測定することができる。 In the pressure-sensitive element 100D of this embodiment as well, the pressing force is measured by measuring the change in the capacitance between the terminals based on the change in the area of the contact area without deforming the dielectrics 13a and 13b. Therefore, it is possible to measure pressing forces in a relatively wide range with a relatively simple structure.

本実施態様の感圧素子100Dにおいても、感圧素子100Bにおいてと同様に、外乱ノイズの大きい方の電極を0V電位にすることで、当該感圧素子はノイズ耐性に強くなる。 In the pressure-sensitive element 100D of this embodiment, similarly to the pressure-sensitive element 100B, by setting the electrode with the larger disturbance noise to 0 V potential, the pressure-sensitive element becomes strong in noise resistance.

例えば、端子T11aと端子T11bとの間の静電容量の変化のみを計測する場合、端子T11aと端子T12aとの間の静電容量の変化のみを計測する場合、端子T11aと端子T12aとの間の静電容量の変化および端子T11bと端子T12bとの間の静電容量の変化を計測する場合には、第1の導電部材11aを接地(0V電位)にする。これらの場合、第2の導電性部材12bも接地(0V電位)にすることで、当該感圧素子はノイズ耐性により一層、強くなる。 For example, when measuring only the change in capacitance between the terminals T11a and T11b, when measuring only the change in capacitance between the terminals T11a and T12a, between the terminals T11a and T12a and the change in capacitance between the terminals T11b and T12b, the first conductive member 11a is grounded (0 V potential). In these cases, by grounding the second conductive member 12b (0 V potential), the pressure-sensitive element is further strengthened due to noise immunity.

また例えば、端子T12aと端子T12bとの間の静電容量の変化のみを計測する場合、および端子T12aと端子T11bとの間の静電容量の変化のみを計測する場合には、第2の導電部材12bを0V電位にする。これにより、押圧力の測定時においてノイズが防止される。 Further, for example, when measuring only the change in capacitance between the terminals T12a and T12b, and when measuring only the change in capacitance between the terminals T12a and T11b, the second conductive The member 12b is brought to 0V potential. This prevents noise when measuring the pressing force.

また感圧素子の対向する部位を接地(0V電位)で挟むことで、対外ノイズに強くなる。すなわち、第1の導電部材11aおよび第2の導電部材12bを0V電位にする。これにより、ノイズに強くなる。 In addition, by sandwiching the opposing portions of the pressure-sensitive element with the ground (0 V potential), it becomes resistant to external noise. That is, the first conductive member 11a and the second conductive member 12b are set to 0V potential. This makes it more resistant to noise.

本実施態様の感圧素子100Dにおいては、図4において、第2の導電部材12bのさらに下側に、感圧素子100Aの基材14と同様の基材が配置されてもよい。 In the pressure-sensitive element 100D of this embodiment, a base material similar to the base material 14 of the pressure-sensitive element 100A may be arranged below the second conductive member 12b in FIG.

(第5実施態様)
本実施態様の感圧素子100Eの構成を図5に模式的に示す。すなわち、図5は、第5実施態様に係る感圧素子100Eの構成を模式的に示した断面図である。本実施態様の感圧素子100Eは、押圧力を付与される感圧部1Eと押圧力を検出する検出器2Eとを備えている。
(Fifth embodiment)
FIG. 5 schematically shows the structure of the pressure-sensitive element 100E of this embodiment. That is, FIG. 5 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of a pressure-sensitive element 100E according to the fifth embodiment. The pressure-sensitive element 100E of this embodiment includes a pressure-sensitive portion 1E to which a pressing force is applied and a detector 2E that detects the pressing force.

(5a)感圧部1E
感圧部1Eは、第1の導電部材と第2の導電部材とが交互に積み重ねられた構成の一実施態様であり、以下の事項(1E-1)以外、第4実施態様の感圧部1Dと同様である。
(5a) pressure sensing section 1E
The pressure sensing portion 1E is an embodiment in which the first conductive members and the second conductive members are alternately stacked. Similar to 1D.

(1E-1)
感圧部1Eは、図5において、第2の導電部材12bのさらに下側に第1の導電部材11cをさらに有する。第1の導電部材11cは、感圧部1Aの第1の導電部材11と同様の範囲内から選択されてよい。
(1E-1)
The pressure sensing portion 1E further has a first conductive member 11c below the second conductive member 12b in FIG. The first conductive member 11c may be selected within the same range as the first conductive member 11 of the pressure sensing portion 1A.

(5b)検出器2E
検出器2Eは、以下の事項(2E-1)以外、第4実施態様の検出器2Dと同様である。
(5b) detector 2E
The detector 2E is similar to the detector 2D of the fourth embodiment except for the following item (2E-1).

(2E-1)
検出器2Eは端子T11cをさらに有し、第1の導電部材11cから引き出された配線と端子T11cを介して電気的に接続されている。
(2E-1)
The detector 2E further has a terminal T11c, and is electrically connected via the terminal T11c to a wiring drawn out from the first conductive member 11c.

(5c)感圧素子100Eによる押圧力の測定
本実施態様の感圧素子100Eにおいては、様々な組み合わせの端子間の静電容量の変化を計測することで、押圧力を測定することができる。
(5c) Measurement of Pressing Force by Pressure-Sensitive Element 100E In the pressure-sensitive element 100E of this embodiment, the pressing force can be measured by measuring changes in capacitance between various combinations of terminals.

例えば、端子T12aと端子T12bとの間の静電容量の変化、端子T11aと端子T11cとの間の静電容量の変化、端子T11aと端子T12aとの間の静電容量の変化、端子T12aと端子T11bとの間の静電容量の変化、端子T11bと端子T12bとの間の静電容量の変化、および端子T12bと端子T11cとの間の静電容量の変化からなる群から選択される1つ以上の変化を計測することで、押圧力を測定することができる。 For example, a change in capacitance between terminals T12a and T12b, a change in capacitance between terminals T11a and T11c, a change in capacitance between terminals T11a and T12a, and a change in capacitance between terminals T12a and T12a. 1 selected from the group consisting of a change in capacitance between terminals T11b, a change in capacitance between terminals T11b and T12b, and a change in capacitance between terminals T12b and T11c By measuring one or more changes, the pressing force can be measured.

感圧感度の向上の観点からは、上記群から選択される2つ以上の変化、好ましくは端子T11aと端子T12aとの間の静電容量の変化および端子T11bと端子T12bとの間の静電容量の変化を計測することで、押圧力を測定することが好ましい。 From the viewpoint of improving pressure-sensitive sensitivity, two or more changes selected from the above group, preferably a change in capacitance between terminals T11a and T12a and a change in electrostatic capacitance between terminals T11b and T12b It is preferable to measure the pressing force by measuring the change in capacity.

本実施態様においても、様々な組み合わせの端子間の静電容量の変化を計測するに際し、押圧力とともに押圧位置の検出も可能となる。例えば、端子T12aおよび端子T12bを用いて静電容量の変化を計測する場合、第2の導電部材12aの主方向と、第2の導電部材12bの主方向とを交差させておくことにより、押圧力とともに押圧位置の検出も可能となる。なお、端子T12aおよび端子T12bを用いて静電容量の変化を計測する場合には、端子T12aと端子T12bとの間の静電容量の変化のみを計測する場合、および端子T12aまたは端子T12bの一方を含む端子間の静電容量の変化および他方を含む端子間の静電容量の変化を計測する場合が包含される。 Also in this embodiment, it is possible to detect not only the pressing force but also the pressing position when measuring the change in capacitance between various combinations of terminals. For example, when the change in capacitance is measured using the terminals T12a and T12b, the main direction of the second conductive member 12a and the main direction of the second conductive member 12b intersect each other. It becomes possible to detect the pressing position as well as the pressure. When measuring the change in capacitance using the terminals T12a and T12b, when measuring only the change in capacitance between the terminals T12a and T12b, and when measuring only the change in capacitance between the terminals T12a and T12b The case of measuring the change in capacitance between terminals including and the change in capacitance between terminals including the other is included.

配線の引き出し容易性の観点からは、端子T12aと端子T12bとの間の静電容量の変化のみを計測することで、押圧力を測定することが好ましい。 From the viewpoint of facilitating wiring extraction, it is preferable to measure the pressing force by measuring only the change in capacitance between the terminals T12a and T12b.

本実施態様の感圧素子100Eにおいても、誘電体13aおよび13bを変形させることなく、接触領域の面積の変化に基づく上記端子間の静電容量の変化を計測することで、押圧力が測定されるため、比較的簡易な構造で、比較的広い範囲の押圧力を測定することができる。 In the pressure-sensitive element 100E of this embodiment as well, the pressing force is measured by measuring the change in capacitance between the terminals based on the change in the area of the contact area without deforming the dielectrics 13a and 13b. Therefore, it is possible to measure pressing forces in a relatively wide range with a relatively simple structure.

本実施態様の感圧素子100Eにおいても、感圧素子100Bにおいてと同様に、外乱ノイズの大きい方の電極を接地(0V電位)にすることで、当該感圧素子はノイズ耐性に強くなる。 In the pressure-sensitive element 100E of this embodiment, similarly to the pressure-sensitive element 100B, by grounding (0 V potential) the electrode with the larger disturbance noise, the pressure-sensitive element becomes more resistant to noise.

例えば、端子T11aと端子T11cとの間の静電容量の変化のみを計測する場合には、第1の導電部材11aを接地(0V電位)にする。 For example, when measuring only the change in capacitance between the terminals T11a and T11c, the first conductive member 11a is grounded (0 V potential).

また例えば、端子T11aと端子T12aとの間の静電容量の変化のみを計測する場合、および端子T11aと端子T12aとの間の静電容量の変化および端子T11bと端子T12bとの間の静電容量の変化を計測する場合には、第1の導電部材11aを0V電位にする。これらの場合、第1の導電部材11cも接地(0V電位)にすることで、当該感圧素子はノイズ耐性により一層、強くなる。 Further, for example, when measuring only the change in the capacitance between the terminals T11a and T12a, and when measuring the change in the capacitance between the terminals T11a and T12a and the capacitance between the terminals T11b and T12b When measuring the change in capacitance, the first conductive member 11a is set to 0V potential. In these cases, by grounding the first conductive member 11c (0 V potential), the pressure-sensitive element is further strengthened due to noise immunity.

また感圧素子100Eの対向する部位を0V電位で挟むことで、対外ノイズに強くなる。すなわち、第1の導電部材11aおよび11cを接地(0V電位)にする。これにより、押圧力の計測時においてノイズが防止される。 Also, by sandwiching the opposing portions of the pressure-sensitive element 100E with a 0V potential, it becomes resistant to external noise. That is, the first conductive members 11a and 11c are grounded (0 V potential). This prevents noise when measuring the pressing force.

(第6実施態様)
本実施態様の感圧素子100Fの構成を図6Aおよび図6Bに模式的に示す。すなわち、図6Aは、第6実施態様に係る感圧素子の構成を模式的に示した断面図である。図6Bは、図6Aの感圧素子における第1の導電部材11と、誘電体13cを有する第2の導電部材12cとを模式的に示した見取り図である。本実施態様の感圧素子100Fは、押圧力を付与される感圧部1Fと押圧力を検出する検出器2Fとを備えている。
(Sixth embodiment)
The structure of the pressure-sensitive element 100F of this embodiment is schematically shown in FIGS. 6A and 6B. That is, FIG. 6A is a cross-sectional view schematically showing the configuration of the pressure-sensitive element according to the sixth embodiment. FIG. 6B is a schematic diagram showing the first conductive member 11 and the second conductive member 12c having the dielectric 13c in the pressure sensitive element of FIG. 6A. The pressure-sensitive element 100F of this embodiment includes a pressure-sensitive portion 1F to which a pressing force is applied and a detector 2F that detects the pressing force.

(6a)感圧部1F
感圧部1Fは、以下の事項(1F-1)、(1F-2)以外、第1実施態様の感圧部1Aと同様である。
(6a) pressure sensing section 1F
The pressure sensing portion 1F is the same as the pressure sensing portion 1A of the first embodiment except for the following items (1F-1) and (1F-2).

(1F-1)
形状が異なる第2の導電部材12cを用いる。詳しくは、第2の導電部材12cは、図6Bに示すような網形状(メッシュ形状)を有していてもよいし、または織物形状を有していてもよい。例えば、網形状および編物形状を構成する線材の断面寸法は、感圧部1Aにおいて長尺形状を有する第2の導電部材12の断面寸法と同様の範囲内であってもよい。網形状および編物形状の目開き寸法は特に限定されず、通常、0.07mm以上12mm以下であり、操舵装置用途の観点から好ましくは1mm以上12mm以下であり、例えば1つ例示すると2mmがより好ましい。目開き寸法は、平面視形状における空間部の最大寸法のことである。
(1F-1)
A second conductive member 12c having a different shape is used. Specifically, the second conductive member 12c may have a net shape (mesh shape) as shown in FIG. 6B, or may have a woven shape. For example, the cross-sectional dimension of the wires forming the net shape and knitted shape may be within the same range as the cross-sectional dimension of the second conductive member 12 having an elongated shape in the pressure sensing portion 1A. The opening size of the mesh shape and knitted fabric shape is not particularly limited, and is usually 0.07 mm or more and 12 mm or less, preferably 1 mm or more and 12 mm or less from the viewpoint of steering device use, and for example, 2 mm is more preferable. . The aperture size is the maximum size of the space in plan view.

第2の導電部材12cは、形状が異なること以外、感圧部1Aの第2の導電部材12と同様であり、例えば、第2の導電部材12cの構成材料は感圧部1Aの第2の導電部材12の構成材料と同様の範囲内から選択されればよい。 The second conductive member 12c is the same as the second conductive member 12 of the pressure sensing portion 1A except that the shape is different. It may be selected from within the same range as the constituent material of the conductive member 12 .

(1F-2)
誘電体13cは、このような第2の導電部材12cの表面を覆っている。誘電体13cは、図6Aおよび図6Bに示すように、第2の導電部材12cの表面全体を完全に覆っていることが好ましい。誘電体13cの被覆領域は、誘電体13cが第2の導電部材12cの表面を少なくとも部分的に覆う限り、特に限定されない。誘電体13cが第2の導電部材12cの表面を少なくとも部分的に覆うとは、誘電体13cが、第2の導電部材12cの表面における、少なくとも第1の導電部材11と第2の導電部材12cとの間の部分を覆っている状態をいう。
(1F-2)
A dielectric 13c covers the surface of the second conductive member 12c. Dielectric 13c preferably completely covers the entire surface of second conductive member 12c, as shown in FIGS. 6A and 6B. The area covered by the dielectric 13c is not particularly limited as long as the dielectric 13c at least partially covers the surface of the second conductive member 12c. That the dielectric 13c at least partially covers the surface of the second conductive member 12c means that the dielectric 13c covers at least the first conductive member 11 and the second conductive member 12c on the surface of the second conductive member 12c. It refers to the state of covering the part between

(6b)検出器2F
検出器2Fは、以下の事項(2F-1)以外、第1実施態様の検出器2Aと同様である。
(6b) detector 2F
The detector 2F is the same as the detector 2A of the first embodiment except for the following item (2F-1).

(2F-1)
検出器2Fは、第1の導電部材11から引き出された配線および第2の導電部材12cから引き出された配線と、それぞれ端子T11およびT12cを介して電気的に接続されている。
(2F-1)
The detector 2F is electrically connected to wiring drawn from the first conductive member 11 and wiring drawn from the second conductive member 12c via terminals T11 and T12c, respectively.

(6c)感圧素子100Fによる押圧力の測定
本実施態様の感圧素子100Fにおいては、端子T11と端子T12cとの間の静電容量の変化を計測することで、押圧力を測定することができる。本実施態様の感圧素子100Fは、第2の導電部材12cが網形状または編物形状を有するため、スイッチ機能を有する感圧素子として有用である。
(6c) Measurement of pressing force by the pressure-sensitive element 100F In the pressure-sensitive element 100F of this embodiment, the pressing force can be measured by measuring the change in capacitance between the terminal T11 and the terminal T12c. can. The pressure-sensitive element 100F of this embodiment is useful as a pressure-sensitive element having a switching function because the second conductive member 12c has a net shape or a knitted shape.

本実施態様の感圧素子100Fにおいても、誘電体13cを変形させることなく、接触領域の面積の変化に基づく上記端子間の静電容量の変化を計測することで、押圧力が測定されるため、比較的簡易な構造で、比較的広い範囲の押圧力を測定することができる。 Also in the pressure-sensitive element 100F of this embodiment, the pressing force is measured by measuring the change in the capacitance between the terminals based on the change in the area of the contact area without deforming the dielectric 13c. , which has a relatively simple structure and can measure a relatively wide range of pressing forces.

本実施態様においては、第2の導電部材が網形状または織物形状を有し、第2の導電部材の取り扱いが容易になるため、製造効率が向上する。 In this embodiment, the second conductive member has a net shape or a fabric shape, which facilitates handling of the second conductive member, thereby improving manufacturing efficiency.

(第7実施態様)
本実施態様の感圧素子100Gの構成を図7に模式的に示す。すなわち、図7は、第7実施態様に係る感圧素子の構成を模式的に示した断面図である。本実施態様の感圧素子100Gは、押圧力を付与される感圧部1Gと押圧力を検出する検出器2Gとを備えている。
(Seventh embodiment)
FIG. 7 schematically shows the structure of the pressure-sensitive element 100G of this embodiment. That is, FIG. 7 is a cross-sectional view schematically showing the structure of the pressure-sensitive element according to the seventh embodiment. A pressure-sensitive element 100G of this embodiment includes a pressure-sensitive portion 1G to which a pressing force is applied and a detector 2G for detecting the pressing force.

(7a)感圧部1G
感圧部1Gは、以下の事項(1G-1)以外、第1実施態様の感圧部1Aと同様である。
(7a) Pressure sensing portion 1G
The pressure sensing portion 1G is the same as the pressure sensing portion 1A of the first embodiment except for the following items (1G-1).

(1G-1)
第2の導電部材12dは導電性ゴムから構成されている。ここで導電性ゴムは、感圧部1Aにおける第1の導電部材11の構成材料として説明した導電性ゴムと同様であってもよい。第2の導電部材12dは弾性特性および導電特性を有し、いわゆる電極として機能する。具体的には、第2の導電部材12dは、感圧部への押圧力により、第1の導電部材11とともに、弾性変形し、第1の導電部材11と誘電体13との接触領域の面積が拡大するような弾性特性を有すればよい。より詳しくは、感圧部1Gの第1の導電部材11は、感圧部1Aにおける第1の導電部材11と同様の範囲内の弾性率を有していてもよい。第2の導電部材12dもまた、感圧部1Aにおける第1の導電部材11と同様の範囲内の弾性率を有していてもよい。導電特性について、第2の導電部材12dの抵抗率は、所望の周波数帯域において容量のインピーダンスよりも十分に小さくてもよい。かかる抵抗率は、前述の導電性フィラーとゴム材料との相対的割合を変更することによって調整できる。
(1G-1)
The second conductive member 12d is made of conductive rubber. Here, the conductive rubber may be the same as the conductive rubber described as the constituent material of the first conductive member 11 in the pressure sensing portion 1A. The second conductive member 12d has elastic properties and conductive properties, and functions as a so-called electrode. Specifically, the second conductive member 12d is elastically deformed together with the first conductive member 11 by the pressing force applied to the pressure sensing portion, and the area of the contact region between the first conductive member 11 and the dielectric 13 It is sufficient that it has elastic properties such that it expands. More specifically, the first conductive member 11 of the pressure sensing portion 1G may have an elastic modulus within the same range as the first conductive member 11 of the pressure sensing portion 1A. The second conductive member 12d may also have an elastic modulus within the same range as the first conductive member 11 in the pressure sensitive portion 1A. Regarding the conductive properties, the resistivity of the second conductive member 12d may be sufficiently smaller than the impedance of the capacitance in the desired frequency band. Such resistivity can be adjusted by changing the relative proportions of the conductive filler and rubber material described above.

(7b)検出器2G
検出器2Gは、以下の事項(2G-1)以外、第1実施態様の検出器2Aと同様である。
(7b) detector 2G
The detector 2G is the same as the detector 2A of the first embodiment except for the following item (2G-1).

(2G-1)
検出器2Gは、第1の導電部材11から引き出された配線および第2の導電部材12dから引き出された配線と、それぞれ端子T11および端子T12dを介して電気的に接続されている。
(2G-1)
The detector 2G is electrically connected to wiring drawn out from the first conductive member 11 and wiring drawn out from the second conductive member 12d via terminals T11 and T12d, respectively.

(7c)感圧素子100Gによる押圧力の測定
本実施態様の感圧素子100Gにおいては、端子T11と端子T12dとの間の静電容量の変化を計測することで、押圧力を測定することができる。
(7c) Measurement of pressing force by the pressure-sensitive element 100G In the pressure-sensitive element 100G of this embodiment, the pressing force can be measured by measuring the change in capacitance between the terminal T11 and the terminal T12d. can.

本実施態様の感圧素子100Gにおいては、第2の導電部材12dの変形に伴い、誘電体13は全体として変形するが、誘電体13の厚みは不変である。このため、本実施態様の感圧素子100Gにおいても、接触領域の面積の変化に基づく上記端子間の静電容量の変化を計測することで、押圧力が測定されるため、比較的簡易な構造で、比較的広い範囲の押圧力を測定することができる。 In the pressure-sensitive element 100G of this embodiment, the dielectric 13 as a whole deforms as the second conductive member 12d deforms, but the thickness of the dielectric 13 does not change. Therefore, in the pressure-sensitive element 100G of this embodiment as well, the pressing force is measured by measuring the change in the capacitance between the terminals based on the change in the area of the contact area, so the structure is relatively simple. , it is possible to measure a relatively wide range of pressing forces.

(第8実施態様)
本実施態様の感圧素子100Hの構成を図8に模式的に示す。すなわち、図8は、第8実施態様に係る感圧素子100Hの構成を模式的に示した断面図である。本実施態様の感圧素子100Hは、押圧力を付与される感圧部1Hと押圧力を検出する検出器2Hとを備えている。
(Eighth embodiment)
FIG. 8 schematically shows the structure of the pressure-sensitive element 100H of this embodiment. That is, FIG. 8 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of a pressure-sensitive element 100H according to the eighth embodiment. A pressure-sensitive element 100H of this embodiment includes a pressure-sensitive portion 1H to which a pressing force is applied and a detector 2H for detecting the pressing force.

(8a)感圧部1H
感圧部1Hは、以下の事項(1H-1)、(1H-2)以外、第1実施態様の感圧部1Aと同様である。
(8a) pressure sensing section 1H
The pressure sensing portion 1H is the same as the pressure sensing portion 1A of the first embodiment except for the following items (1H-1) and (1H-2).

(1H-1)
第2の導電部材12eは導電性ゴムから構成されている。第2の導電部材12eは表面に誘電体13を有さなくてもよいし、または有していてもよいこと以外、第7実施態様における第2の導電部材12dと同様である。
(1H-1)
The second conductive member 12e is made of conductive rubber. The second conductive member 12e is the same as the second conductive member 12d in the seventh embodiment except that it may or may not have the dielectric 13 on its surface.

(1H-2)
第1の導電部材11は表面に誘電体13dを有している。誘電体13dは、形成領域が第1の導電部材11の表面であること以外、感圧部1Aにおける誘電体13と同様である。例えば、誘電体13dの構成材料は感圧部1Aにおける誘電体13の構成材料と同様の範囲内から選択されてもよい。また例えば、誘電体13dの厚みは感圧部1Aにおける誘電体13の厚みと同様の範囲内から選択されてもよい。
(1H-2)
The first conductive member 11 has a dielectric 13d on its surface. The dielectric 13d is the same as the dielectric 13 in the pressure sensitive portion 1A, except that the dielectric 13d is formed on the surface of the first conductive member 11. As shown in FIG. For example, the constituent material of the dielectric 13d may be selected from within the same range as the constituent material of the dielectric 13 in the pressure sensitive portion 1A. Further, for example, the thickness of the dielectric 13d may be selected from within the same range as the thickness of the dielectric 13 in the pressure sensitive portion 1A.

(8b)検出器2H
検出器2Hは、以下の事項(2H-1)以外、第1実施態様の検出器2Aと同様である。
(8b) detector 2H
The detector 2H is similar to the detector 2A of the first embodiment except for the following item (2H-1).

(2H-1)
検出器2Hは、第1の導電部材11から引き出された配線および第2の導電部材12eから引き出された配線と、それぞれ端子T11およびT12eを介して電気的に接続されている。
(2H-1)
The detector 2H is electrically connected to wiring drawn out from the first conductive member 11 and wiring drawn out from the second conductive member 12e via terminals T11 and T12e, respectively.

(8c)感圧素子100Hによる押圧力の測定
本実施態様の感圧素子100Hにおいては、端子T11と端子T12eとの間の静電容量の変化を計測することで、押圧力を測定することができる。
(8c) Measurement of pressing force by the pressure-sensitive element 100H In the pressure-sensitive element 100H of this embodiment, the pressing force can be measured by measuring the change in capacitance between the terminal T11 and the terminal T12e. can.

本実施態様の感圧素子100Hにおいても、誘電体13dを変形させることなく、接触領域の面積の変化に基づく上記端子間の静電容量の変化を計測することで、押圧力が測定されるため、比較的簡易な構造で、比較的広い範囲の押圧力を測定することができる。 Also in the pressure-sensitive element 100H of this embodiment, the pressing force is measured by measuring the change in the capacitance between the terminals based on the change in the area of the contact area without deforming the dielectric 13d. , which has a relatively simple structure and can measure a relatively wide range of pressing forces.

(第9実施態様)
本実施態様の感圧素子100Jの構成を図9Aに模式的に示す。すなわち、図9Aは、第9実施態様に係る感圧素子の構成を模式的に示した断面図である。本実施態様の感圧素子100Jは、押圧力を付与される感圧部1Jと押圧力を検出する検出器2Jとを備えている。
(Ninth embodiment)
FIG. 9A schematically shows the configuration of the pressure-sensitive element 100J of this embodiment. That is, FIG. 9A is a cross-sectional view schematically showing the structure of the pressure-sensitive element according to the ninth embodiment. The pressure-sensitive element 100J of this embodiment includes a pressure-sensitive portion 1J to which a pressing force is applied and a detector 2J for detecting the pressing force.

(9a)感圧部1J
感圧部1Jは、以下の事項(1J-1)、(1J-2)以外、第1実施態様の感圧部1Aと同様である。
(9a) pressure sensing section 1J
The pressure sensing portion 1J is the same as the pressure sensing portion 1A of the first embodiment except for the following items (1J-1) and (1J-2).

(1J-1)
感圧部1Jは、断面寸法が異なる2種以上の第2の導電部材を有する。図9Aにおいては、断面寸法が異なる2種の第2の導電部材12fおよび第2の導電部材12gが示されている。断面寸法が異なる2種以上の第2の導電部材は、互いに断面寸法が異なること以外、感圧部1Aにおける第2の導電部材12と同様である。断面寸法が異なる2種以上の第2の導電部材の断面寸法は、感圧部1Aにおける第2の導電部材12の断面寸法と同様の範囲内から選択されてもよい。断面寸法が異なる2種以上の第2の導電部材(図9A中、12fおよび12g)はそれぞれ、表面全体を完全に覆う誘電体(図9A中、13fおよび13g)を有することが好ましい。断面寸法が異なる2種以上の第2の導電部材(図9A中、12fおよび12g)が有する誘電体(図9A中、13fおよび13g)は、感圧部1Aにおける誘電体13と同様の範囲内から選択されてよい。
(1J-1)
The pressure sensing portion 1J has two or more second conductive members with different cross-sectional dimensions. FIG. 9A shows two types of second conductive member 12f and second conductive member 12g having different cross-sectional dimensions. The two or more second conductive members having different cross-sectional dimensions are the same as the second conductive member 12 in the pressure sensing portion 1A except that they have different cross-sectional dimensions. The cross-sectional dimensions of the two or more second conductive members having different cross-sectional dimensions may be selected from the same range as the cross-sectional dimensions of the second conductive member 12 in the pressure sensing portion 1A. Each of the two or more second conductive members (12f and 12g in FIG. 9A) with different cross-sectional dimensions preferably has a dielectric material (13f and 13g in FIG. 9A) that completely covers the entire surface. The dielectrics (13f and 13g in FIG. 9A) of the two or more second conductive members (12f and 12g in FIG. 9A) having different cross-sectional dimensions are within the same range as the dielectric 13 in the pressure-sensitive portion 1A. may be selected from

(1J-2)
感圧部1Jは、第2の導電部材12fおよび12gを両側から挟む第1の導電部材を2つ有する。感圧部1Jの2つの第1の導電部材は、図9Aにおいて、11aおよび11bで表され、それぞれ独立して、感圧部1Aの第1の導電部材11と同様の範囲内から選択されてよい。第1の導電部材11aおよび11bは導電性ゴムから構成されていることが好ましく、またシート形状を有することが好ましい。ここで導電性ゴムは、感圧部1Aにおける第1の導電部材11の構成材料として説明した導電性ゴムと同様であってもよい。
(1J-2)
The pressure sensing portion 1J has two first conductive members sandwiching the second conductive members 12f and 12g from both sides. The two first conductive members of pressure sensing portion 1J are represented by 11a and 11b in FIG. good. The first conductive members 11a and 11b are preferably made of conductive rubber and preferably have a sheet shape. Here, the conductive rubber may be the same as the conductive rubber described as the constituent material of the first conductive member 11 in the pressure sensing portion 1A.

(9b)検出器2J
検出器2Jは、以下の事項(2J-1)以外、第1実施態様の検出器2Aと同様である。
(9b) detector 2J
The detector 2J is the same as the detector 2A of the first embodiment except for the following item (2J-1).

(2J-1)
検出器2Jは、第1の導電部材11aおよび11bから引き出された配線および第2の導電部材12fから引き出された配線とそれぞれ端子T11a、端子T11bおよび端子T12を介して電気的に接続されている。例えば、2つの第1の導電部材11aおよび11bは検出器2Jを介して互いに電気的に接続されている。ノイズの影響の低減による押圧力検出の安定化の観点から、第1の導電部材11aおよび11bは検出器2Jのグランドに接続されていることが好ましい。すなわち第1の導電部材11aおよび11bから引き出された配線が電気的に接続される検出器2Jの端子T11aおよびT11bはグランドにさらに接続されていることが好ましい。
(2J-1)
The detector 2J is electrically connected to wiring drawn from the first conductive members 11a and 11b and wiring drawn from the second conductive member 12f via terminals T11a, T11b and T12, respectively. . For example, two first conductive members 11a and 11b are electrically connected to each other via detector 2J. From the viewpoint of stabilizing the pressing force detection by reducing the influence of noise, the first conductive members 11a and 11b are preferably connected to the ground of the detector 2J. That is, it is preferable that the terminals T11a and T11b of the detector 2J, to which the wires drawn out from the first conductive members 11a and 11b are electrically connected, are further grounded.

図9Aにおいては、検出器2Jは、断面寸法が異なる2種以上の第2の導電部材(12fおよび12g)のうち、1つの第2の導電部材から引き出された配線と電気的に接続するための端子T12を1つのみ有する。しかし、検出器2Jは通常、当該第2の導電部材(12fおよび12g)のそれぞれから引き出された配線と電気的に接続するための複数の端子T12を有する。すなわち、全ての第2の導電部材(12fおよび12g)のそれぞれが配線および端子を介して検出器2Jと接続されている。 In FIG. 9A, the detector 2J is electrically connected to wiring drawn from one of two or more second conductive members (12f and 12g) having different cross-sectional dimensions. has only one terminal T12. However, the detector 2J usually has a plurality of terminals T12 for electrical connection with wiring drawn from each of the second conductive members (12f and 12g). That is, each of all the second conductive members (12f and 12g) is connected to the detector 2J via wiring and terminals.

(9c)感圧素子100Jによる押圧力の測定
本実施態様の感圧素子100Jにおいては、様々な組み合わせの端子間の静電容量の変化を計測することで、押圧力を測定することができる。
(9c) Measurement of Pressing Force by Pressure-Sensitive Element 100J In the pressure-sensitive element 100J of this embodiment, the pressing force can be measured by measuring changes in capacitance between various combinations of terminals.

例えば、端子T11aと端子T11bとの間の静電容量の変化、端子T11aと端子T12との間の静電容量の変化、および端子T12と端子T11bとの間の静電容量の変化からなる群から選択される1つ以上の変化を計測することで、押圧力を測定することができる。 For example, the group consisting of a change in capacitance between terminals T11a and T11b, a change in capacitance between terminals T11a and T12, and a change in capacitance between terminals T12 and T11b. The pressing force can be measured by measuring one or more changes selected from.

感圧感度の向上の観点からは、上記群から選択される2つ以上の変化、好ましくは端子T11aと端子T12との間の静電容量の変化および端子T12と端子T11bとの間の静電容量の変化を計測することで、押圧力を測定することが好ましい。 From the viewpoint of improving the pressure-sensitive sensitivity, two or more changes selected from the above group, preferably a change in the capacitance between the terminals T11a and T12 and a change in the electrostatic capacitance between the terminals T12 and T11b. It is preferable to measure the pressing force by measuring the change in capacity.

本実施態様の感圧素子100Jにおいても、誘電体を変形させることなく、接触領域の面積の変化に基づく上記端子間の静電容量の変化を計測することで、押圧力が測定されるため、比較的簡易な構造で、比較的広い範囲の押圧力を測定することができる。 Also in the pressure-sensitive element 100J of this embodiment, the pressing force is measured by measuring the change in the capacitance between the terminals based on the change in the area of the contact area without deforming the dielectric. With a relatively simple structure, it is possible to measure pressing forces in a relatively wide range.

図9Bは、図9Aの感圧素子の感圧部に押圧力が付与された際の感圧部の構成を模式的に示した断面図である。 FIG. 9B is a cross-sectional view schematically showing the configuration of the pressure-sensitive portion of the pressure-sensitive element of FIG. 9A when a pressing force is applied to the pressure-sensitive portion.

本実施態様の感圧素子100Jにおいては、断面寸法が異なる2種以上の第2の導電部材が使用されるため、感圧感度の向上を図りつつ、押圧力の測定範囲をより一層、拡大することができる。このことは、押圧力の付与により、感圧部1Jが図9Bの状態になった後も、接触領域の面積の変化が有効にもたらされ得ることから明らかである。図9Bは、押圧力が第1の導電部材11a側から付与され、その反作用により、第1の導電部材11b側からも力が作用することを示している。 In the pressure-sensitive element 100J of this embodiment, two or more types of second conductive members having different cross-sectional dimensions are used, so that the pressure sensitivity can be improved and the pressing force measurement range can be further expanded. be able to. This is clear from the fact that the application of the pressing force can effectively bring about a change in the area of the contact area even after the pressure sensing portion 1J is in the state of FIG. 9B. FIG. 9B shows that the pressing force is applied from the side of the first conductive member 11a, and due to the reaction, force also acts from the side of the first conductive member 11b.

(第10実施態様)
本実施態様の感圧素子100Kの構成を図10Aに模式的に示す。本実施態様の感圧素子100Kは、押圧力を付与される感圧部1Kと押圧力を検出する検出器2Kとを備えている。図10Aは、第10実施態様に係る感圧素子の構成を模式的に示した断面図である。
(Tenth embodiment)
FIG. 10A schematically shows the configuration of the pressure-sensitive element 100K of this embodiment. The pressure-sensitive element 100K of this embodiment includes a pressure-sensitive portion 1K to which a pressing force is applied and a detector 2K that detects the pressing force. FIG. 10A is a cross-sectional view schematically showing the configuration of a pressure-sensitive element according to the tenth embodiment.

(10a)感圧部1K
感圧部1Kは、以下の事項(1K-1)以外、第2実施態様の感圧部1Bと同様である。
(10a) pressure sensing portion 1K
The pressure sensing portion 1K is the same as the pressure sensing portion 1B of the second embodiment except for the following item (1K-1).

(1K-1)
感圧部1Kは、当該感圧部における第2の導電部材12の位置ズレを制限する拘束部材を有する。拘束部材は上糸151および下糸152から構成されており、第2の導電部材12を第1の導電部材11aと第1の導電部材11bとの間に配置させた状態で、第1の導電部材11aおよび11bおよび第2の導電部材12を一体化している。上糸と下糸との係合部は、図10Aにおいては、第1の導電部材11aと第1の導電部材11bとの間に位置付けられているが、第1の導電部材11a中に位置付けられてもよいし、または第1の導電部材11b中に位置付けられていてもよい。
(1K-1)
The pressure sensing portion 1K has a restraining member that restricts positional displacement of the second conductive member 12 in the pressure sensing portion. The restraining member is composed of a needle thread 151 and a bobbin thread 152, and with the second conductive member 12 disposed between the first conductive member 11a and the first conductive member 11b, the first conductive member The members 11a and 11b and the second conductive member 12 are integrated. The engagement portion between the needle thread and the bobbin thread is positioned between the first conductive member 11a and the first conductive member 11b in FIG. 10A, but is positioned in the first conductive member 11a. or may be located in the first conductive member 11b.

(10b)検出器2K
検出器2Kは第2実施態様の検出器2Bと同様である。
(10b) Detector 2K
Detector 2K is similar to detector 2B of the second embodiment.

(10c)感圧素子100Kによる押圧力の測定
本実施態様の感圧素子100Kにおいても、誘電体を変形させることなく、接触領域の面積の変化に基づく端子間の静電容量の変化を計測することで、押圧力が測定されるため、比較的簡易な構造で、比較的広い範囲の押圧力を測定することができる。
(10c) Measurement of pressing force by the pressure-sensitive element 100K Also in the pressure-sensitive element 100K of this embodiment, changes in capacitance between terminals based on changes in the area of the contact area are measured without deforming the dielectric. Therefore, the pressing force can be measured in a relatively wide range with a relatively simple structure.

図10Bは、図10Aの感圧素子の感圧部に押圧力が付与された際の感圧部の構成を模式的に示した断面図である。 FIG. 10B is a cross-sectional view schematically showing the configuration of the pressure-sensitive portion of the pressure-sensitive element of FIG. 10A when a pressing force is applied to the pressure-sensitive portion.

本実施態様の感圧素子100Kにおいては、図10Bに示すように、感圧部1Kに押圧力が付与されても、上糸151および下糸152により、感圧部1Kにおける第2の導電部材12の位置ズレが制限され、第2の導電部材12が適度な拘束力で所定の位置に保持される。このため、所定位置で押圧力を確実に検出することができる。また感圧素子を曲面に装着するとき、歪みなどを緩和し易く、破損を防止できる。図10Bは、押圧力が第1の導電部材11a側から付与され、その反作用により、第1の導電部材11b側からも力が作用することを示している。 In the pressure-sensitive element 100K of this embodiment, as shown in FIG. 10B, even if a pressing force is applied to the pressure-sensitive portion 1K, the needle thread 151 and the bobbin thread 152 cause the second conductive member in the pressure-sensitive portion 1K. 12 is restricted, and the second conductive member 12 is held in place with an appropriate restraining force. Therefore, the pressing force can be reliably detected at a predetermined position. Also, when the pressure-sensitive element is mounted on a curved surface, it is easy to alleviate distortion and prevent damage. FIG. 10B shows that the pressing force is applied from the side of the first conductive member 11a, and the force is also applied from the side of the first conductive member 11b due to its reaction.

(第1変形例)
本実施態様の第1変形例にかかる感圧素子100Lの構成を図10Cに模式的に示す。すなわち、図10Cは、感圧素子100Lの構成を模式的に示した断面図である。本実施態様の感圧素子100Lは、押圧力を付与される感圧部1Lと押圧力を検出する検出器2Lとを備えている。
(First modification)
FIG. 10C schematically shows the configuration of a pressure-sensitive element 100L according to the first modified example of this embodiment. That is, FIG. 10C is a cross-sectional view schematically showing the configuration of the pressure sensitive element 100L. The pressure-sensitive element 100L of this embodiment includes a pressure-sensitive portion 1L to which a pressing force is applied and a detector 2L for detecting the pressing force.

(10d)感圧部1L
感圧部1Lは、以下の事項(1L-1)以外、第10実施態様の感圧部1Kと同様である。
(10d) pressure sensing section 1L
The pressure sensing portion 1L is the same as the pressure sensing portion 1K of the tenth embodiment except for the following item (1L-1).

(1L-1)
感圧部1Lは、当該感圧部における第2の導電部材12の位置ズレを制限する拘束部材を有する。拘束部材は上糸151および下糸152から構成されており、第2の導電部材12を第1の導電部材11aと第1の導電部材11bとの間に配置させた状態で、第1の導電部材11aおよび11bおよび第2の導電部材12を一体化している。上糸151は、第1の導電部材11aに設けられた貫通孔150と第1の導電部材11bに設けられた貫通孔150を経由して、第1の導電部材11bの外面側で下糸152と係合している。この構成により、第1の導電部材11bに貫通孔150を形成し、上糸151と下糸152とを用いて縫合する際に、第1の導電部材11aおよび第1の導電部材11bに加えられる機械的負荷が小さく、貫通孔150も小さくて済む。このため、感圧部1Lは屈曲に対する機械的耐久性に優れる。
(1L-1)
The pressure sensing portion 1L has a restraining member that restricts positional displacement of the second conductive member 12 in the pressure sensing portion. The restraining member is composed of a needle thread 151 and a bobbin thread 152, and with the second conductive member 12 disposed between the first conductive member 11a and the first conductive member 11b, the first conductive member The members 11a and 11b and the second conductive member 12 are integrated. The needle thread 151 is passed through the through hole 150 provided in the first conductive member 11a and the through hole 150 provided in the first conductive member 11b, and the bobbin thread 152 is threaded on the outer surface side of the first conductive member 11b. engaged with. With this configuration, the through hole 150 is formed in the first conductive member 11b, and when suturing using the needle thread 151 and the bobbin thread 152, it is added to the first conductive member 11a and the first conductive member 11b. The mechanical load is small, and the through hole 150 can be small. Therefore, the pressure sensing portion 1L has excellent mechanical durability against bending.

(10e)検出器2L
検出器2Lは第2実施態様の検出器2Bと同様である。
(10e) detector 2L
Detector 2L is similar to detector 2B of the second embodiment.

(10f)感圧素子100Lによる押圧力の測定
本変形例の感圧素子100Lにおいても、誘電体を変形させることなく、接触領域の面積の変化に基づく端子間の静電容量の変化を計測することで、押圧力が測定されるため、比較的簡易な構造で、比較的広い範囲の押圧力を測定することができる。
(10f) Measurement of pressing force by the pressure-sensitive element 100L In the pressure-sensitive element 100L of this modified example, the change in the capacitance between the terminals based on the change in the area of the contact area is measured without deforming the dielectric. Therefore, the pressing force can be measured in a relatively wide range with a relatively simple structure.

本実施態様の感圧素子100Lにおいては、図10Cに示すように、感圧部1Lに押圧力が付与されても、上糸151および下糸152により、感圧部1Lにおける第2の導電部材12の位置ズレが制限され、第2の導電部材12が適度な拘束力で所定の位置に保持される。このため、所定位置で押圧力を確実に検出することができる。また感圧素子を曲面に装着するとき、歪みなどを緩和し易く、破損を防止できる。 In the pressure-sensitive element 100L of this embodiment, as shown in FIG. 10C, even if a pressing force is applied to the pressure-sensitive portion 1L, the needle thread 151 and the bobbin thread 152 cause the second conductive member in the pressure-sensitive portion 1L. 12 is restricted, and the second conductive member 12 is held in place with an appropriate restraining force. Therefore, the pressing force can be reliably detected at a predetermined position. Also, when the pressure-sensitive element is mounted on a curved surface, it is easy to alleviate distortion and prevent damage.

(第2変形例)
本実施態様の第2変形例にかかる感圧素子100Mの構成を図10Dに模式的に示す。すなわち、図10Dは、感圧素子100Mの構成を模式的に示した断面図である。本実施態様の感圧素子100Mは、押圧力を付与される感圧部1Mと押圧力を検出する検出器2Mとを備えている。
(Second modification)
FIG. 10D schematically shows the configuration of a pressure-sensitive element 100M according to the second modification of this embodiment. That is, FIG. 10D is a cross-sectional view schematically showing the configuration of the pressure sensitive element 100M. The pressure-sensitive element 100M of this embodiment includes a pressure-sensitive portion 1M to which a pressing force is applied and a detector 2M for detecting the pressing force.

(10g)感圧部1M
感圧部1Mは、以下の事項(1M-1)以外、第10実施態様の感圧部1Lと同様である。
(10g) pressure sensing part 1M
The pressure sensing portion 1M is the same as the pressure sensing portion 1L of the tenth embodiment except for the following item (1M-1).

(1M-1)
感圧部1Mは、当該感圧部における第2の導電部材12の位置ズレを制限する拘束部材を有する。拘束部材は上糸151と下糸153、154とから構成されている。第2の導電部材12は、下糸153により第1の導電部材11bに係止されている。第1の導電部材11aと第1の導電部材11bとは、上糸151と下糸154とにより縫合されている。上糸151は、第1の導電部材11aに設けられた貫通孔150と第1の導電部材11bに設けられた貫通孔150を経由して、第1の導電部材11bの外面側で下糸154と係合している。第2の導電部材12を第1の導電部材11bに係止する下糸153は、上糸151および下糸154とは別体である。これにより、第1の導電部材11bに対して、あらかじめ第2の導電部材12を位置決めすることができ、上糸151を用いて縫合する際に、第2の導電部材12の位置ズレを抑制することができる。これにより、上糸151を用いて縫合する際に、第2の導電部材12および誘電体13を損傷することを抑制することができ、感圧部1Mの製造歩留まりおよび品質が向上する。
(1M-1)
The pressure sensing portion 1M has a restraining member that restricts positional displacement of the second conductive member 12 in the pressure sensing portion. The restraining member is composed of a needle thread 151 and bobbin threads 153,154. The second conductive member 12 is locked to the first conductive member 11b by a bobbin thread 153. As shown in FIG. The first conductive member 11 a and the first conductive member 11 b are stitched together with a needle thread 151 and a bobbin thread 154 . The upper thread 151 passes through the through hole 150 provided in the first conductive member 11a and the through hole 150 provided in the first conductive member 11b, and is threaded onto the outer surface side of the first conductive member 11b. engaged with. The bobbin thread 153 that locks the second conductive member 12 to the first conductive member 11 b is separate from the needle thread 151 and the bobbin thread 154 . Thereby, the second conductive member 12 can be positioned in advance with respect to the first conductive member 11b, and displacement of the second conductive member 12 is suppressed when suturing with the needle thread 151. be able to. As a result, the second conductive member 12 and the dielectric 13 can be prevented from being damaged when suturing with the needle thread 151, and the manufacturing yield and quality of the pressure sensing portion 1M are improved.

(10h)検出器2M
検出器2Mは第2実施態様の検出器2Bと同様である。
(10h) Detector 2M
Detector 2M is similar to detector 2B of the second embodiment.

(10i)感圧素子100Mによる押圧力の測定
本実施態様の感圧素子100Mにおいても、誘電体を変形させることなく、接触領域の面積の変化に基づく端子間の静電容量の変化を計測することで、押圧力が測定されるため、比較的簡易な構造で、比較的広い範囲の押圧力を測定することができる。
(10i) Measurement of pressing force by the pressure-sensitive element 100M Also in the pressure-sensitive element 100M of this embodiment, the change in capacitance between terminals based on the change in the area of the contact area is measured without deforming the dielectric. Therefore, the pressing force can be measured in a relatively wide range with a relatively simple structure.

本実施態様の感圧素子100Mにおいては、図10Dに示すように、感圧部1Mに押圧力が付与されても、上糸151および下糸152により、感圧部1Kにおける第2の導電部材12の位置ズレが制限され、第2の導電部材12が適度な拘束力で所定の位置に保持される。このため、所定位置で押圧力を確実に検出することができる。また感圧素子を曲面に装着するとき、歪みなどを緩和し易く、破損を防止できる。 In the pressure-sensitive element 100M of this embodiment, as shown in FIG. 10D, even if a pressing force is applied to the pressure-sensitive portion 1M, the needle thread 151 and the bobbin thread 152 cause the second conductive member in the pressure-sensitive portion 1K. 12 is restricted, and the second conductive member 12 is held in place with an appropriate restraining force. Therefore, the pressing force can be reliably detected at a predetermined position. Also, when the pressure-sensitive element is mounted on a curved surface, it is easy to alleviate distortion and prevent damage.

(第11実施態様)
本実施態様は、前記した第1~第10実施態様において、第1の導電部材(11、11a、11b、11c)が、第2の導電部材(12、12a、12b)に面した側に複数の突起部を有する態様を包含する。本実施態様においては、第2の導電部材が通常、その表面を覆う誘電体13を有する。第2の導電部材が有する誘電体は、好ましくは第2の導電部材の表面全体を完全に覆っている。
(Eleventh embodiment)
In this embodiment, in the above-described first to tenth embodiments, a plurality of first conductive members (11, 11a, 11b, 11c) are provided on the side facing the second conductive members (12, 12a, 12b). It includes an aspect having a protrusion of. In this embodiment, the second conductive member typically has a dielectric 13 covering its surface. The dielectric of the second conductive member preferably completely covers the entire surface of the second conductive member.

第1の導電部材が、図11Aおよび図11Bに示すように、第2の導電部材に面した側に複数の突起部20を有することにより、感圧感度が向上する。詳しくは、感圧部に押圧力が付与されたとき、第1の導電部材と誘電体との接触領域の面積の変化が大きくなり、感圧感度が向上する。感圧感度が向上すると、例えば、従来では検出し難い微小な押圧力でも、検出できるようになる。これに伴い、押圧力の付与開始を精度よく検出できるようになる。 As shown in FIGS. 11A and 11B, the first conductive member has a plurality of protrusions 20 on the side facing the second conductive member, thereby improving the pressure sensitivity. Specifically, when a pressing force is applied to the pressure-sensitive portion, the change in the area of the contact area between the first conductive member and the dielectric increases, thereby improving the pressure-sensitive sensitivity. If the pressure sensitivity is improved, for example, it becomes possible to detect even a very small pressing force that is difficult to detect in the conventional art. Accordingly, it becomes possible to accurately detect the start of application of the pressing force.

図11Aは、本開示の第11実施態様に係る感圧素子の一例における第1の導電部材と誘電体13を表面に有する第2の導電部材とを模式的に示した拡大断面図である。図11Aにおいて、第1の導電部材は片面に複数の突起部20を有している。このような第1の導電部材は以下の第1の導電部材に対応し得る。 FIG. 11A is an enlarged cross-sectional view schematically showing a first conductive member and a second conductive member having a dielectric 13 on its surface in an example of the pressure-sensitive element according to the eleventh embodiment of the present disclosure. In FIG. 11A, the first conductive member has a plurality of protrusions 20 on one side. Such a first conductive member may correspond to the following first conductive member.

図1A、図6Aおよび図7における第1の導電部材11。 The first conductive member 11 in FIGS. 1A, 6A and 7. FIG.

図2、図9Aおよび図10Aにおける第1の導電部材11aおよび11b。 First conductive members 11a and 11b in FIGS. 2, 9A and 10A.

図4における第1の導電部材11a。 A first conductive member 11a in FIG.

図5における第1の導電部材11aおよび11c。 First conductive members 11a and 11c in FIG.

図9Aおよび図10Aにおける第1の導電部材11aおよび11b。 First conductive members 11a and 11b in FIGS. 9A and 10A.

図11Bは、本開示の第11実施態様に係る感圧素子の別の一例における第1の導電部材と誘電体13を表面に有する第2の導電部材とを模式的に示した拡大断面図である。図11Bにおいて、第1の導電部材は両面に複数の突起部20を有している。このような第1の導電部材は以下の第1の導電部材に対応し得る。 FIG. 11B is an enlarged cross-sectional view schematically showing a first conductive member and a second conductive member having a dielectric 13 on its surface in another example of the pressure-sensitive element according to the eleventh embodiment of the present disclosure; be. In FIG. 11B, the first conductive member has a plurality of protrusions 20 on both sides. Such a first conductive member may correspond to the following first conductive member.

図3における第1の導電部材11。 A first conductive member 11 in FIG.

図4および図5における第1の導電部材11b。 The first conductive member 11b in FIGS. 4 and 5. FIG.

本実施態様において第1の導電部材11(11a~11c)は、突起部20を有すること以外、前記した実施態様の第1の導電部材と同様である。本実施態様において第2の導電部材12(12a~12g)、誘電体13(13a~13g)およびその他の構成は、前記した実施態様においてと同様である。 In this embodiment, the first conductive member 11 (11a to 11c) is the same as the first conductive member of the above-described embodiment, except that it has a protrusion 20. As shown in FIG. In this embodiment, the second conductive members 12 (12a-12g), dielectrics 13 (13a-13g) and other configurations are the same as in the previous embodiments.

突起部20は通常、第1の導電部材と同様の材料から構成されており、好ましくは導電性ゴムから構成されている。突起部20は通常、第1の導電部材と同様の弾性特性および導電特性を有している。突起部20は、例えば図11Aおよび図11Bに示すように、第1の導電部材11のベース部分110から、第2の導電部材12および誘電体13の配置側に向かって突出する形態を有している。換言すれば、第1の導電部材11は、第2の導電部材12および誘電体13の配置側の面に、局所的に隆起および沈降した凹凸形態を有している。第1の導電部材11の突起部20の個数は通常、少なくとも1つである。突起部20が2つ以上設けられており、それゆえ、第1の導電部材11は複数の突起部20を有していてもよい。複数の突起部20が設けられている態様に起因して、第1の導電部材11がその面全体として凹凸形態を有することになり、その凹凸形態における凸部が突起部20に相当する。第1の導電部材11のベース部分110は、突起部を有しない部分のことである。 The protrusion 20 is generally made of the same material as the first conductive member, preferably made of conductive rubber. Projection 20 typically has similar elastic and conductive properties as the first conductive member. As shown in FIGS. 11A and 11B, for example, the protrusion 20 has a form that protrudes from the base portion 110 of the first conductive member 11 toward the arrangement side of the second conductive member 12 and the dielectric 13. ing. In other words, the first conductive member 11 has an uneven surface on which the second conductive member 12 and the dielectric 13 are arranged. The number of protrusions 20 of the first conductive member 11 is usually at least one. Two or more protrusions 20 are provided, and therefore the first conductive member 11 may have a plurality of protrusions 20 . Due to the aspect in which the plurality of protrusions 20 are provided, the entire surface of the first conductive member 11 has an uneven shape, and the protrusions in the uneven shape correspond to the protrusions 20 . The base portion 110 of the first conductive member 11 is the portion without protrusions.

第1の導電部材11の突起部20はテーパ形状を有していてもよい。具体的には、第1の導電部材11の突起部20は、その幅寸法が突端に向かって漸次減じられたテーパ形状を有していてもよい(図11Aおよび図11B参照)。図11Aおよび図11Bに示すように、例えば突起部20は、全体として円錐台、四角錐台などの錐台形態を有していてもよい。 The protrusion 20 of the first conductive member 11 may have a tapered shape. Specifically, the protrusion 20 of the first conductive member 11 may have a tapered shape in which the width dimension is gradually reduced toward the tip (see FIGS. 11A and 11B). As shown in FIGS. 11A and 11B, for example, the protrusion 20 may have a frustum shape such as a truncated cone or a square pyramid as a whole.

突起部20の高さ寸法は、外部からの押圧力により第1の導電部材11と第2の導電部材12との間の静電容量が変化する限り、いずれの寸法であってよい。また、複数の突起部20は規則正しく配列されていてもよい。複数の突起部20のピッチ寸法もまた、外部からの押圧力により第1の導電部材11と第2の導電部材12との間の静電容量が変化する限り、特に制限はない。第1の導電部材11が突起部20を有する場合、第1の導電部材11は突起部20を包含する概念で用いるものとする。すなわち、突起部20は第1の導電部材11の一部を構成する。従って、前記した第1の導電部材11の厚みには突起部20の高さ寸法も含まれる。 The height dimension of the protrusion 20 may be any dimension as long as the capacitance between the first conductive member 11 and the second conductive member 12 changes due to the pressing force from the outside. Also, the plurality of protrusions 20 may be arranged regularly. The pitch dimension of the plurality of protrusions 20 is also not particularly limited as long as the capacitance between the first conductive member 11 and the second conductive member 12 changes due to the pressing force from the outside. When the first conductive member 11 has the protrusion 20 , the concept of the first conductive member 11 includes the protrusion 20 . That is, the protrusion 20 forms part of the first conductive member 11 . Therefore, the thickness of the first conductive member 11 also includes the height dimension of the protrusion 20 .

突起部20は通常、シート形状を有する第1の導電部材11の表面に複数で形成されている。当該複数の突起部20の弾性率は、当該シート形状の形成位置に応じて局所的に変化させてもよい。これにより、微小な加重も計測が可能となり、感圧感度が向上する。 A plurality of protrusions 20 are usually formed on the surface of the sheet-shaped first conductive member 11 . The modulus of elasticity of the plurality of protrusions 20 may be locally changed according to the formation position of the sheet shape. As a result, even minute loads can be measured, and the pressure sensitivity is improved.

1つの突起部20において、弾性率を高さ方向で局所的に変化させてもよい。これにより、感度のリニアリティーの設計が可能になり、感圧素子はより高感度かつリニアリティーを有するようになる。ここで、リニアリティーとは、押圧力の値と静電容量の測定値とが比例関係にあることをいう。感圧素子がリニアリティーを有すれば、押圧力の値をより精度よく求めることができる。 In one protrusion 20, the elastic modulus may be locally changed in the height direction. This makes it possible to design sensitivity linearity, and the pressure-sensitive element has higher sensitivity and linearity. Here, linearity means that there is a proportional relationship between the value of the pressing force and the measured value of the capacitance. If the pressure-sensitive element has linearity, the pressing force value can be obtained with higher accuracy.

突起部20は、第1実施態様において説明した第1の導電部材11の製造方法において、以下の処理を行うことにより形成できる。すなわち、樹脂材料(ゴム材料)の溶液または原料溶液もしくは複合材料を塗布した後に行う乾燥または硬化の時、所望の凹凸パターンを有するモールドを押付け処理する。これにより、突起部20を有する第1の導電部材11が形成される。使用されるモールドの凹凸パターンの形状に応じて、複数のピラー状突起は、種々の形状(例えば、円柱形状、円錐形状、円錐台形状、四角錐台形状、半球形状または格子形状などの形状)を有し得る。 The protrusion 20 can be formed by performing the following processes in the manufacturing method of the first conductive member 11 described in the first embodiment. That is, during drying or curing after applying a solution of a resin material (rubber material), a raw material solution, or a composite material, a mold having a desired uneven pattern is pressed. Thereby, the first conductive member 11 having the protrusion 20 is formed. Depending on the shape of the concave-convex pattern of the mold used, the plurality of pillar-shaped protrusions may have various shapes (for example, cylindrical shape, conical shape, truncated cone shape, quadrangular truncated pyramid shape, hemispherical shape, lattice shape, etc.). can have

突起部20を有する第1の導電部材11はナノインプリント技術を用いて得ることができる。ナノインプリント技術とは、凹凸パターンを有したモールドを被転写材料の樹脂体に押し付け、ナノオーダーでモールドに形成されたパターンを樹脂体に転写する技術である。かかる技術は、リソグラフィ技術と比べて微細なパターンかつ円錐等の傾斜を有した立体を形成することができる。ナノインプリント技術では、予め規定した所望の凹凸パターンを備えたモールドを用い、第1の導電部材11の全体的形状及び突起部高さなどを容易に制御することができる。同様にして、ナノインプリント技術では、突起部の形状制御も容易となる。突起部の形状制御によって、感圧素子において突起部20と誘電体13との接触面積の変化(押圧時の接触面積の変化)を特に緩やかにすることができる。つまり、押圧時の容量変化につき制御が可能となり、押圧力が精度良く検知される感圧素子を実現できる。 The first conductive member 11 having the protrusions 20 can be obtained using nanoimprint technology. The nanoimprint technology is a technology in which a mold having a concave-convex pattern is pressed against a resin body of a material to be transferred, and a pattern formed on the mold in nano order is transferred to the resin body. Such a technique can form a three-dimensional object having a finer pattern and an inclination such as a cone as compared with the lithography technique. In the nanoimprint technique, a mold having a predetermined desired uneven pattern can be used to easily control the overall shape of the first conductive member 11, the height of the protrusions, and the like. Similarly, the nanoimprint technology facilitates shape control of the projections. By controlling the shape of the projection, it is possible to make the change in the contact area between the projection 20 and the dielectric 13 in the pressure-sensitive element (the change in the contact area during pressing) particularly gentle. In other words, it is possible to control the change in capacitance when pressed, and to realize a pressure-sensitive element capable of accurately detecting the pressing force.

[本開示の感圧素子の用途]
本開示の感圧素子は各種管理システムおよび各種電子機器におけるセンサ素子として好適に利用できる。
[Uses of the pressure-sensitive element of the present disclosure]
The pressure-sensitive element of the present disclosure can be suitably used as a sensor element in various management systems and various electronic devices.

管理システムとしては、例えば、欠品管理システム(レジかご、物流管理、冷蔵庫関連品)、車管理システム(座席シート、操舵装置、コンソール周りのスイッチ(アナログ入力可能))、コーチング管理システム(シューズ、衣類)、セキュリティー管理システム(接触部全部)、介護・育児管理システム(機能性寝具関連品)等が挙げられる。車管理システムは、さりげなく運転状態を把握し、運転者の状態(眠気・心理状態など)を読み取り、フィードバックすることが可能なシステムである。コーチング管理システムは、人体の重心、荷重分布などを読み取り、瞬時に心地よい状態へ誘導することができるシステムである。セキュリティー管理システムにおいては、例えば、人が通過する際に、体重、歩幅、通過速度および靴底パターンなどを同時に読み取ることが可能であり、データと照合することで、人物を特定することが可能である。 As a management system, for example, a missing item management system (cash register, logistics management, refrigerator-related items), a car management system (seats, steering gear, switches around the console (analog input possible)), a coaching management system (shoes, clothing), security management system (all contact parts), nursing care/childcare management system (functional bedding-related products), etc. The vehicle management system is a system that can casually grasp the driving state, read the driver's state (drowsiness, psychological state, etc.) and provide feedback. The coaching management system is a system that can read the center of gravity, load distribution, etc. of the human body and instantly guide the user to a comfortable state. In a security management system, for example, when a person passes by, it is possible to simultaneously read the weight, stride length, passing speed, shoe sole pattern, etc., and by comparing the data, it is possible to identify the person. be.

電子機器としては、例えば、車載機器(カーナビゲーション・システム、音響機器など)、家電機器(電気ポット、IHクッキングヒーターなど)、スマートフォン、電子ペーパー、電子ブックリーダー等が挙げられる。本開示の感圧素子を、上記のような各種管理システムおよび各種電子機器に適用することにより、これまで以上にユーザーの利便性が図られたタッチセンサ素子(感圧シート、操作パネルおよび操作スイッチ等)として利用できる。 Examples of electronic devices include in-vehicle devices (car navigation systems, audio devices, etc.), home appliances (electric pots, IH cooking heaters, etc.), smart phones, electronic paper, electronic book readers, and the like. By applying the pressure-sensitive element of the present disclosure to various management systems and various electronic devices as described above, touch sensor elements (pressure-sensitive sheets, operation panels, and operation switches) that are more convenient for users than ever before etc.).

(第12実施態様)
例えば、本開示の感圧素子を移動体の操舵装置に適用する場合について、第12実施態様にて詳しく説明する。移動体としては、例えば、自動車、船舶、飛行機等が挙げられる。操舵装置としては、例えば、図12に示すステアリングホイールが挙げられる。図12において、ステアリングホイールの把持部を200で示す。この場合、感圧素子は、ヒトが手で把持部200を把持したとき、ヒトの指が配置されるところに、設けられることが好ましい。このとき、感圧素子は、第1の導電部材から第2の導電部材の方向に押圧力が付与されるように、感圧素子の表裏方向を考慮して設けられることが好ましい。感圧素子の感圧部は通常、第1の導電部材11および第2の導電部材12の位置関係において、第1の導電部材11が外側に、第2の導電部材12が内側に配向するように配置される。
(12th embodiment)
For example, a case where the pressure-sensitive element of the present disclosure is applied to a steering device for a moving body will be described in detail in the twelfth embodiment. Examples of mobile objects include automobiles, ships, and airplanes. An example of the steering device is a steering wheel shown in FIG. In FIG. 12, the handle of the steering wheel is indicated at 200 . In this case, the pressure-sensitive element is preferably provided where a person's fingers are placed when the person grips the grip part 200 with his or her hand. At this time, it is preferable that the pressure-sensitive element is provided in consideration of the front and back directions of the pressure-sensitive element so that the pressing force is applied in the direction from the first conductive member to the second conductive member. The pressure-sensitive portion of the pressure-sensitive element is usually arranged such that the first conductive member 11 is oriented outward and the second conductive member 12 is oriented inward in the positional relationship between the first conductive member 11 and the second conductive member 12 . placed in

詳しくは、本開示の感圧素子として第2実施態様の感圧素子100Bを自動車のステアリングホイールに適用する実施態様を図13Aおよび図13Bに示す。感圧素子100Bの感圧部1Bは、図13Aおよび図13Bに示すように、ステアリングホイールの把持部200の外周曲面に装着されている。このとき、感圧部1Bは、第1の導電部材11aおよび第2の導電部材12の相対的位置関係において、第1の導電部材11aが外側に、第2の導電部材12が内側に配向するように配置される。より詳しくは、感圧部1Bは、第1の導電部材11bの外面が把持部200の外周曲面と接触するように装着される。 Specifically, FIGS. 13A and 13B show an embodiment in which the pressure sensitive element 100B of the second embodiment is applied to the steering wheel of an automobile as the pressure sensitive element of the present disclosure. As shown in FIGS. 13A and 13B, the pressure sensing portion 1B of the pressure sensing element 100B is attached to the outer peripheral curved surface of the grip portion 200 of the steering wheel. At this time, in the relative positional relationship between the first conductive member 11a and the second conductive member 12, the pressure-sensitive portion 1B is oriented such that the first conductive member 11a is oriented outward and the second conductive member 12 is oriented inward. are arranged as follows. More specifically, the pressure sensing portion 1B is mounted so that the outer surface of the first conductive member 11b is in contact with the outer peripheral curved surface of the grip portion 200. As shown in FIG.

装着方法は、感圧部の把持部への固定が達成される限り特に限定されず、例えば、接着剤が有用である。図13Aおよび図13Bにおいては、第1の導電部材11bの外面と把持部200の外周曲面との間に間隙が生じているように見えるが、当該間隙には通常、接着剤が充填されている。 The mounting method is not particularly limited as long as the pressure-sensitive portion can be fixed to the grip portion, and for example, an adhesive is useful. In FIGS. 13A and 13B, it appears that there is a gap between the outer surface of the first conductive member 11b and the outer curved surface of the grip portion 200, but the gap is usually filled with an adhesive. .

感圧素子の検出器2B(図示せず)において第1の導電部材11aが電気的に接続される端子T11aは移動体の本体のグランドに接続されていることが好ましい。 The terminal T11a to which the first conductive member 11a is electrically connected in the pressure-sensitive element detector 2B (not shown) is preferably connected to the ground of the main body of the moving body.

本開示の感圧素子は上記した各種管理システムおよび各種電子機器におけるセンサ素子として好適に利用できる。本開示の感圧素子を、上記のような各種管理システムおよび各種電子機器に適用することにより、これまで以上にユーザーの利便性が図られたタッチセンサ素子(感圧シート、操作パネルおよび操作スイッチ等)として利用できる。 The pressure-sensitive element of the present disclosure can be suitably used as a sensor element in various management systems and various electronic devices described above. By applying the pressure-sensitive element of the present disclosure to various management systems and various electronic devices as described above, touch sensor elements (pressure-sensitive sheets, operation panels, and operation switches) that are more convenient for users than ever before etc.).

1A,1B,1C,1D,1E,1F,1G,1H,1J,1K,1L,1M 感圧部
2A,2B,2C,2D,2E,2F,2G,2H,2J,2K,2L,2M 検出器
11,11a~11c 第1の導電部材
12,12a~12g 第2の導電部材
13,13a~13g 誘電体
14 基材
15 拘束部材
20 突起部
100A,100B,100C,100D,100E,100F,100G,100H,100J,100K,100L,100M 感圧素子
150 貫通孔
151 上糸
152,153,154 下糸
200 把持部
F 押圧力
R 一部領域
1A, 1B, 1C, 1D, 1E, 1F, 1G, 1H, 1J, 1K, 1L, 1M Pressure sensing part 2A, 2B, 2C, 2D, 2E, 2F, 2G, 2H, 2J, 2K, 2L, 2M Detection Container 11, 11a-11c First conductive member 12, 12a-12g Second conductive member 13, 13a-13g Dielectric 14 Base material 15 Restraining member 20 Projection 100A, 100B, 100C, 100D, 100E, 100F, 100G , 100H, 100J, 100K, 100L, 100M Pressure-sensitive element 150 Through hole 151 Upper thread 152, 153, 154 Lower thread 200 Grip portion F Pressing force R Partial region

Claims (13)

押圧力を付与される感圧部と前記押圧力を検出する検出器とを備えた感圧素子であって、
前記感圧部は、
弾性を有するシート状の導電性ゴムからなる第1の導電部材と、
第2の導電部材と、
前記第1の導電部材と前記第2の導電部材との間に配置され、かつ前記第2の導電部材の表面を覆う誘電体と、を有し、
前記第2の導電部材は金属線であり、
前記誘電体は前記第2の導電部材の絶縁皮膜を構成し、前記誘電体および前記第2の導電部材は絶縁コート金属線を構成し、前記誘電体は剛性を有し、
前記検出器は、前記感圧部に前記押圧力が付与されて、前記第1の導電部材または前記第2の導電部材と前記誘電体との接触領域の面積が、前記第1の導電部材が有する前記弾性に基づいて拡大することによる、前記第1の導電部材と前記第2の導電部材との間の静電容量の変化に基づいて、
前記押圧力を検出する、感圧素子。
A pressure-sensitive element comprising a pressure-sensitive part to which a pressing force is applied and a detector for detecting the pressing force,
The pressure sensing part is
a first conductive member made of an elastic sheet-like conductive rubber;
a second conductive member;
a dielectric disposed between the first conductive member and the second conductive member and covering a surface of the second conductive member ;
the second conductive member is a metal wire,
the dielectric constitutes an insulating film of the second conductive member, the dielectric and the second conductive member constitute an insulating coated metal wire, the dielectric has rigidity,
In the detector, when the pressing force is applied to the pressure sensing portion, the area of the contact region between the first conductive member or the second conductive member and the dielectric is based on a change in capacitance between the first conductive member and the second conductive member due to the expansion based on the elasticity of having
A pressure-sensitive element that detects the pressing force.
前記感圧部における前記第2の導電部材の位置ズレを制限する拘束部材をさらに有する、請求項1に記載の感圧素子。 2. The pressure sensing element according to claim 1, further comprising a restraining member for restricting displacement of said second conductive member in said pressure sensing portion. 前記拘束部材は糸状部材である、請求項2に記載の感圧素子。 3. The pressure sensitive element according to claim 2, wherein said binding member is a thread member. 前記糸状部材が上糸および下糸から構成されている、請求項3に記載の感圧素子。 4. The pressure-sensitive element according to claim 3, wherein said thread-like member is composed of a needle thread and a bobbin thread. 前記第1の導電部材は、前記第2の導電部材に面した側に複数の突起部を有する、請求項1~4のいずれかに記載の感圧素子。 5. The pressure-sensitive element according to claim 1, wherein said first conductive member has a plurality of protrusions on the side facing said second conductive member. 前記第2の導電部材は長尺部材である、請求項1~5のいずれかに記載の感圧素子。 6. The pressure-sensitive element according to claim 1, wherein said second conductive member is an elongated member. 前記第2の導電部材は可撓性長尺部材である、請求項1~6のいずれかに記載の感圧素子。 The pressure sensitive element according to any one of claims 1 to 6, wherein said second conductive member is a flexible elongated member. 前記第2の導電部材は断面寸法の異なる2種類以上の長尺部材からなる、請求項1~7のいずれかに記載の感圧素子。 8. The pressure-sensitive element according to claim 1, wherein said second conductive member comprises two or more elongated members having different cross-sectional dimensions. 前記第2の導電部材は前記感圧素子のヒータ要素である、請求項1~8のいずれかに記載の感圧素子。 The pressure sensitive element according to any one of claims 1 to 8, wherein said second conductive member is a heater element of said pressure sensitive element. 前記誘電体が20nm~2mmの厚みを有する、請求項1~9のいずれかに記載の感圧素子。 The pressure sensitive element according to any one of claims 1 to 9, wherein said dielectric has a thickness of 20 nm to 2 mm. 前記感圧部は、前記第2の導電部材を2つの前記第1の導電部材により両側から挟み、
前記第2の導電部材は表面を覆う前記誘電体を有し、
前記2つの第1の導電部材は互いに電気的に接続されている、請求項1~10のいずれかに記載の感圧素子。
The pressure sensing portion sandwiches the second conductive member from both sides by two of the first conductive members,
said second conductive member having said dielectric covering a surface;
The pressure sensitive element according to any one of claims 1 to 10, wherein said two first conductive members are electrically connected to each other.
前記感圧部は、前記第1の導電部材と前記第2の導電部材とが交互に積み重ねられた構成を有する、請求項1~11のいずれかに記載の感圧素子。 12. The pressure-sensitive element according to claim 1, wherein said pressure-sensitive portion has a structure in which said first conductive members and said second conductive members are alternately stacked. 移動体に設けられる操舵装置であって、
前記操舵装置は、
把持部と、
前記把持部の表面部に設けられた請求項1~12のいずれかに記載の感圧素子と、を有する操舵装置。
A steering device provided on a moving body,
The steering device is
a gripping portion;
A steering device comprising: the pressure sensitive element according to any one of claims 1 to 12 provided on a surface portion of the grip portion.
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