JP7152688B2 - light emitting device - Google Patents

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Description

本発明は、発光装置に関し、より詳細には紫外線領域の波長の光を出射する発光素子を備える発光装置に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a light-emitting device, and more particularly to a light-emitting device having a light-emitting element that emits light having a wavelength in the ultraviolet range.

従来から、発光ダイオード又はレーザダイオード等の発光素子を基体上に備える発光装置が提案されている。このような発光装置では、用途によって、紫外線領域の波長の光(以下、紫外光と記載することがある)を出射する発光素子を備えることがある。また、このような発光装置は、所望の特性を確保するために、発光素子の周囲を囲むリフレクタや、発光装置を封止する透明ボードを有することがある(特許文献1)。 Conventionally, there has been proposed a light-emitting device having a light-emitting element such as a light-emitting diode or a laser diode on a substrate. Such a light-emitting device may include a light-emitting element that emits light having a wavelength in the ultraviolet region (hereinafter sometimes referred to as ultraviolet light) depending on the application. Moreover, such a light emitting device may have a reflector surrounding the light emitting element and a transparent board for sealing the light emitting device in order to ensure desired characteristics (Patent Document 1).

特開2008-78586号公報JP 2008-78586 A

紫外光は、発光装置の構成部材を劣化させる、又はその材料を分解することがあり、これに起因する発光装置の信頼性の低減を招くことがある。しかし、紫外光により劣化等しない材料や構成を用いると、発光装置の構造が複雑になったり、光の取り出しが低下したりする恐れがある。 Ultraviolet light can degrade components of light-emitting devices or decompose materials thereof, which can lead to reduced reliability of light-emitting devices. However, if a material or structure that is not degraded by ultraviolet light is used, the structure of the light-emitting device may become complicated, or light extraction may be reduced.

本発明の実施形態は、上記課題に鑑みなされたものであり、シンプルな構造でありながら、信頼性が高く、光の取り出しがよい発光装置を提供することを目的とする。 The embodiments of the present invention have been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a light-emitting device that has a simple structure, high reliability, and excellent light extraction.

実施形態に係る発光装置は、第1主面に配線層を有する基体と、前記配線層にフリップチップ実装され、紫外線領域の波長の光を出射する発光素子と、前記発光素子と前記基体の第1主面とを連続的に被覆する保護膜と、を備え、前記保護膜は、原子堆積法により設けられており、前記発光素子と前記第1主面との間を被覆する。 A light-emitting device according to an embodiment comprises a substrate having a wiring layer on a first main surface, a light-emitting element flip-chip mounted on the wiring layer and emitting light having a wavelength in the ultraviolet region, and a light-emitting element and the substrate. a protective film that continuously covers the first main surface, wherein the protective film is provided by an atomic deposition method and covers between the light emitting element and the first main surface.

本発明の実施形態によれば、シンプルな構造でありながら、信頼性が高く、光の取り出しがよい発光装置を提供することができる。 According to the embodiments of the present invention, it is possible to provide a light-emitting device with a simple structure, high reliability, and excellent light extraction.

本発明の一実施の形態に係る発光装置の断面図である。1 is a cross-sectional view of a light emitting device according to an embodiment of the invention; FIG. 図1Aに示される発光装置の上面図である。1B is a top view of the light emitting device shown in FIG. 1A; FIG. 本発明の別の実施の形態に係る発光装置の断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view of a light emitting device according to another embodiment of the invention; 図2Aに示される発光装置の上面図である。2B is a top view of the light emitting device shown in FIG. 2A; FIG. 本発明のさらに別の実施の形態に係る発光装置の断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view of a light emitting device according to still another embodiment of the present invention; 図3Aに示される発光装置の底面図である。3B is a bottom view of the light emitting device shown in FIG. 3A; FIG. 図3Bに示される発光装置の変形例である。なお、第1主面側に配置される発光素子の位置を点線で示す。3C is a modification of the light emitting device shown in FIG. 3B. In addition, the position of the light emitting element arranged on the first main surface side is indicated by a dotted line. 本発明のさらに別の実施の形態に係る発光装置の斜視図である。FIG. 10 is a perspective view of a light emitting device according to still another embodiment of the present invention; 図5Aに示される発光装置の上面図である。5B is a top view of the light emitting device shown in FIG. 5A; FIG. 本発明のさらに別の実施の形態に係る発光装置の斜視図である。FIG. 10 is a perspective view of a light emitting device according to still another embodiment of the present invention;

本発明の実施形態について適宜図面を参照して説明する。ただし、以下に説明する発光装置は、本開示の実施形態の技術思想を具体化するためのものであって、特定的な記載がない限り、本開示の実施形態を以下のものに限定しない。また、一の実施の形態、実施例において説明する内容は、他の実施の形態、実施例にも適用可能である。
各図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため、誇張していることがある。
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings as appropriate. However, the light-emitting device described below is for embodying the technical idea of the embodiments of the present disclosure, and unless there is a specific description, the embodiments of the present disclosure are not limited to the following. In addition, the contents described in one embodiment and example can also be applied to other embodiments and examples.
The sizes and positional relationships of members shown in each drawing may be exaggerated for clarity of explanation.

(実施形態)
本実施形態の発光装置は、基体と、基体にフリップチップ実装された発光素子と、原子堆積法により形成され、基体と発光素子とを連続的に被覆する保護膜と、を備える。この発光装置では、任意に、保護素子等の電子部品、電子部品を封止する被覆部材、保護膜に被覆された発光素子(及び電子部品)をさらに封止する封止部材等を備えていてもよい。
(embodiment)
The light-emitting device of this embodiment includes a substrate, a light-emitting element flip-chip mounted on the substrate, and a protective film formed by atomic deposition to continuously cover the substrate and the light-emitting element. This light-emitting device optionally includes an electronic component such as a protective element, a covering member for sealing the electronic component, a sealing member for further sealing the light-emitting element (and the electronic component) covered with the protective film, and the like. good too.

〔基体〕
基体は、発光素子を実装する部材であり、板状であってもよいし、発光素子を収容する凹部を有していてもよい。特に、平板状の基体を用いることが好ましい。平板状の基体を用いることで、凹部を形成する壁による発光素子の光の吸収がないので、出力をより一層向上させることができる。また、小型の発光装置を形成することができ、部材コストや製造コストを削減することができる。さらに、気密性の低下を回避することができる。
[Substrate]
The base is a member on which the light-emitting element is mounted, and may be plate-shaped or have a recess for accommodating the light-emitting element. In particular, it is preferable to use a flat substrate. By using a flat substrate, the light from the light emitting element is not absorbed by the walls forming the recess, so the output can be further improved. In addition, a small light-emitting device can be formed, and material costs and manufacturing costs can be reduced. Furthermore, deterioration of airtightness can be avoided.

基体は、通常、発光素子が載置される第1主面と、第1主面の反対側の面である第2主面とを有する。基体は、少なくとも第1主面に、発光素子がフリップチップ実装可能な正負の配線層を有する。 The substrate usually has a first main surface on which the light emitting element is mounted and a second main surface opposite to the first main surface. The substrate has positive and negative wiring layers on at least the first main surface thereof to which the light emitting element can be flip-chip mounted.

実施形態の基体は、平面視で略矩形状であるが、特に限定されない。平面視が略矩形状の基体を用いると、平面視が略矩形状の発光素子を実装する場合、小型の発光装置を形成することができる。 The substrate of the embodiment has a substantially rectangular shape in plan view, but is not particularly limited. When a substrate having a substantially rectangular shape in plan view is used and a light emitting element having a substantially rectangular shape in plan view is mounted, a small light emitting device can be formed.

基体は、発光素子からの光を反射することができる材料で形成されていることが好ましい。特に、発光素子からの光を60%以上、70%以上反射することが好ましい。また、発光素子の光を吸収しにくい材料で形成されると好適である。例えば、ガラス、セラミックス、樹脂、木材、パルプ等の絶縁材料、半導体、金属(例えば、銅、銀、金、アルミニウム等)等の導電材料の単一材料及びこれらの複合材料によって形成することができる。なかでも、金属、セラミックス、樹脂等が好ましく、無機材料であるセラミックスがより好ましい。セラミックスとしては、特に放熱性の高い窒化アルミ二ウムが好ましい。 The substrate is preferably made of a material capable of reflecting light from the light emitting element. In particular, it is preferable to reflect 60% or more and 70% or more of the light from the light emitting element. Moreover, it is preferable that the light-emitting element is formed of a material that hardly absorbs light emitted from the light-emitting element. For example, it can be formed of a single material of insulating materials such as glass, ceramics, resin, wood, pulp, etc., conductive materials such as semiconductors, metals (e.g., copper, silver, gold, aluminum, etc.), and composite materials thereof. . Among them, metals, ceramics, resins, and the like are preferable, and ceramics, which is an inorganic material, is more preferable. Aluminum nitride, which has particularly high heat dissipation, is preferable as ceramics.

配線層は、発光素子と電気的に接続可能なものであれば、特に限定されるものではなく、当該分野で公知の材料によって形成することができる。例えば、銅、アルミニウム、金、銀等の金属を用いることができる。厚みは、数μm~数百μmとすることができる。配線層は、めっき、スパッタ、その他の公知の方法で形成することができる。 The wiring layer is not particularly limited as long as it can be electrically connected to the light emitting element, and can be made of a material known in the art. For example, metals such as copper, aluminum, gold, and silver can be used. The thickness can be from several μm to several hundred μm. The wiring layer can be formed by plating, sputtering, or other known methods.

〔発光素子〕
発光装置は、紫外光を出射する発光素子を備える。ここで、紫外光とは、例えば、200~410nmの波長の光を指す。発光素子は単数でも複数でもよく、例えば、それぞれ異なる光を発光する複数の発光素子であってもよい。また、紫外光を発光する発光素子に加えて、可視波長の光及び/又は赤外光を出射する発光素子を備えていてもよい。
[Light emitting element]
A light-emitting device includes a light-emitting element that emits ultraviolet light. Here, ultraviolet light refers to light with a wavelength of 200 to 410 nm, for example. A single light-emitting element or a plurality of light-emitting elements may be used, and for example, a plurality of light-emitting elements each emitting different light may be used. Further, in addition to the light-emitting element that emits ultraviolet light, a light-emitting element that emits visible wavelength light and/or infrared light may be provided.

発光素子は、当該分野で一般的に用いられている発光ダイオード、レーザ等の発光素子を用いることができる。例えば、窒化物系半導体(InAlGa1-X-YN、0≦X、0≦Y、X+Y≦1)、GaP、GaAsなどのIII-V族化合物半導体、ZnSe、II-VI族化合物半導体等、種々の半導体を利用することができる。 As the light-emitting element, light-emitting elements such as light-emitting diodes and lasers that are generally used in the relevant field can be used. For example, nitride semiconductors (In X Al Y Ga 1-XY N, 0≦X, 0≦Y, X+Y≦1), III-V group compound semiconductors such as GaP and GaAs, ZnSe, II-VI group Various semiconductors such as compound semiconductors can be used.

発光素子は、少なくとも、発光層を含む半導体層と、正負の電極とを有する。本実施形態では、発光素子は同一面側に正負の電極を有し、基体にフリップチップ実装される。これにより、発光素子をワイヤ等によって基体の配線層と電気的に接続する場合に比べて、発光素子の周辺にワイヤボンディングのための領域を設ける必要がないので、発光装置の小型化を図ることができる。また、発光素子を複数搭載する場合には、発光素子を密に実装することが可能となり、ピーク放射強度向上させることができる。さらに、ワイヤの材料コストや、ワイヤボンディングの工程コストを削減することができる。 A light-emitting element has at least a semiconductor layer including a light-emitting layer and positive and negative electrodes. In this embodiment, the light-emitting element has positive and negative electrodes on the same side and is flip-chip mounted on the substrate. As compared with the case where the light emitting element is electrically connected to the wiring layer of the substrate by a wire or the like, it is not necessary to provide a region for wire bonding around the light emitting element, so that the size of the light emitting device can be reduced. can be done. Moreover, when a plurality of light emitting elements are mounted, the light emitting elements can be densely mounted, and the peak radiation intensity can be improved. Furthermore, the wire material cost and wire bonding process cost can be reduced.

その他、発光素子は、半導体層を成長させるための基板を有していてもよい。基板としては、サファイアやスピネル(MgAl24)のような絶縁性基板、SiC、ZnS、ZnO、Si、GaAs、ダイヤモンド、及び窒化物半導体と格子接合するニオブ酸リチウム、ガリウム酸ネオジム等の酸化物基板が挙げられる。特に、基板は透光性のものが好ましい。なお、基板はレーザリフトオフ法等を利用して除去されていてもよい。 Alternatively, the light emitting device may have a substrate for growing semiconductor layers. Substrates include insulating substrates such as sapphire and spinel (MgAl 2 O 4 ), SiC, ZnS, ZnO, Si, GaAs, diamond, and oxides of lithium niobate and neodymium gallate that are lattice-bonded to nitride semiconductors. material substrates. In particular, the substrate is preferably translucent. Note that the substrate may be removed using a laser lift-off method or the like.

発光素子は、例えば、錫-ビスマス系、錫-銅系、錫-銀系、金-錫系などの半田、AuとSn、AuとSi、AuとGe、AuとCu、AgとCuとをそれぞれ主成分とする合金等の共晶合金、あるいは、銀、金、パラジウムなどの導電性ペースト、バンプ、異方性導電材、低融点金属のろう材等の導電性の接合部材を介して、基体にフリップチップ実装される。特に、紫外光によって劣化しにくい半田、合金等の共晶合金、バンプを用いることが好ましい。 The light emitting element is, for example, tin-bismuth-based, tin-copper-based, tin-silver-based, gold-tin-based solder, Au and Sn, Au and Si, Au and Ge, Au and Cu, Ag and Cu. Through a conductive bonding member such as a eutectic alloy such as an alloy having a main component, or a conductive paste such as silver, gold, or palladium, a bump, an anisotropic conductive material, or a brazing material of a low melting point metal, It is flip-chip mounted on the substrate. In particular, it is preferable to use solder, eutectic alloys such as alloys, and bumps that are not easily deteriorated by ultraviolet light.

〔保護膜〕
保護膜は、発光素子が基体に実装された後に、原子堆積法(以下、「ALD」(Atomic Layer Deposition)ともいうことがある)によって形成され、発光素子と基体の第1主面とを連続的に被覆する。連続的とは、発光素子から基体の第1主面にわたって、隙間がないことを意味する。保護膜は、発光素子と基体の第1主面との間(詳細には、発光素子の電極の側面、電極形成面、及び電極形成面と対向する第1主面)にも設けられる。
このような保護膜は、発光装置の外表面を形成する(すなわち、それのみで発光素子を完全に被覆する)ことができる。したがって、小型でシンプルな構造で、信頼性の高い発光装置を形成することができる。また、発光素子が保護膜のみで被覆されているので、無駄な光吸収が抑えられ、光の取り出しのよい発光装置とすることができる。特に、本実施形態では、発光素子が基体にフリップチップ実装されるため、基体側に半導体層が配置される。これにより、基体側からの水分浸入による半導体層の劣化が問題となるが、保護膜が発光素子の電極形成面側を連続的に被覆することで水分の浸入を阻止し、発光素子の光出力の低下や、クラックの発生による不灯を効果的に阻止することができる。
後述の電子部品が第1主面に実装される場合、保護膜は、発光素子、電子部品、基体の第1主面を連続的に被覆することが好ましい。また、保護膜は、基体の第2主面側に、発光装置をさらに別の実装基板(例えば、回路基板等)に実装するための裏面電極を有する場合、その裏面電極を露出させることが好ましい。
〔Protective film〕
The protective film is formed by an atomic deposition method (hereinafter sometimes referred to as “ALD” (Atomic Layer Deposition)) after the light emitting element is mounted on the base, and connects the light emitting element and the first main surface of the base continuously. effectively cover. Continuous means that there are no gaps from the light emitting element to the first main surface of the substrate. The protective film is also provided between the light emitting element and the first main surface of the substrate (specifically, the side surface of the electrode of the light emitting element, the electrode forming surface, and the first main surface facing the electrode forming surface).
Such a protective film can form the outer surface of the light emitting device (ie, it can completely cover the light emitting element by itself). Therefore, a light-emitting device having a small size, a simple structure, and high reliability can be formed. In addition, since the light-emitting element is covered only with the protective film, unnecessary light absorption can be suppressed, and the light-emitting device with good light extraction can be obtained. In particular, in this embodiment, since the light emitting element is flip-chip mounted on the substrate, the semiconductor layer is arranged on the substrate side. As a result, deterioration of the semiconductor layer due to moisture intrusion from the substrate side becomes a problem. It is possible to effectively prevent a decrease in the light intensity and the failure to light due to the occurrence of cracks.
When an electronic component, which will be described later, is mounted on the first main surface, the protective film preferably covers the light emitting element, the electronic component, and the first main surface of the substrate continuously. Moreover, when the protective film has a back electrode for mounting the light-emitting device on another mounting board (for example, a circuit board) on the second main surface side of the base, it is preferable to expose the back electrode. .

保護膜は、1つの材料による単層膜又は多層膜、2以上の異なる材料による多層膜でもよい。多層膜にすると、発光素子の光の取り出しを向上させることが可能である。
保護膜は、例えば、約1nm~10μmの厚みとすることが好ましい。このような範囲とすると、発光素子を十分に保護しつつ、発光素子の光の吸収を低減させることができる。
The protective film may be a single layer film or multilayer film of one material, or a multilayer film of two or more different materials. A multi-layered film can improve the extraction of light from the light-emitting element.
The protective film preferably has a thickness of, for example, approximately 1 nm to 10 μm. With such a range, light absorption of the light-emitting element can be reduced while sufficiently protecting the light-emitting element.

保護膜は、例えば、無機材料によって形成されることが好ましい。具体的には、酸化アルミニウム(Al)、二酸化珪素(SiO)、窒化アルミニウム(AlN)、窒化珪素(Si)等が挙げられるが、特に酸化アルミニウムが好ましい。これにより、発光素子の光の吸収を抑制しつつ、発光素子を水分等から保護できる緻密な保護膜を形成することができる。 The protective film is preferably made of, for example, an inorganic material. Specific examples include aluminum oxide (Al 2 O 3 ), silicon dioxide (SiO 2 ), aluminum nitride (AlN), silicon nitride (Si 3 N 4 ), etc. Aluminum oxide is particularly preferred. This makes it possible to form a dense protective film capable of protecting the light emitting element from moisture and the like while suppressing light absorption by the light emitting element.

保護膜は、上述のように原子堆積法によって形成されており、その形態は、SEM等による断面観察によって識別することができる。つまり、原子層の単位で形成された膜として識別することができる。具体的には、保護膜は、それを構成する原子どうしが、水分子等を通過させるような隙間がないよう、互いに隣接して配置される。また、ALD法は、スパッタ、CVD等と異なり、反応成分の直進性が低いので、凹凸等の障害物近傍であっても、全反応成分が同等に成膜部位に供給され、原子層ごとに形成される。その結果、どの領域においても略均一な膜厚及び膜質の良質な保護膜が得られる。 The protective film is formed by the atomic deposition method as described above, and its form can be identified by cross-sectional observation using a SEM or the like. That is, it can be identified as a film formed in units of atomic layers. Specifically, the protective films are arranged adjacent to each other so that the atoms constituting the protective films do not have gaps that allow water molecules or the like to pass through. In addition, unlike sputtering, CVD, etc., in the ALD method, reaction components do not travel straight. It is formed. As a result, a high-quality protective film having substantially uniform film thickness and film quality can be obtained in any region.

保護膜は、例えば、以下の方法によって形成することができる。
まず、原子層堆積装置に、発光素子を実装した基体を導入する。なお、裏面電極は保護膜から露出されるよう、マスク等を形成しておくことが好ましい。続いて、原子層堆積装置内に、例えば、トリメチルアルミニウム(TMA)ガスを導入し、発光素子を実装した基体表面のOH基と、TMAとを反応させる。次に、余剰ガスを排気する。その後、HOガスを導入して、先の反応でOH基と結合したTMAとHOとを反応させる。次に、余剰ガスを排気する。
そして、TMAの反応、排気、OH基との反応及び排気を1サイクルとして繰り返すことにより、所定の膜厚のAlの保護膜を形成することができる。
A protective film can be formed, for example, by the following method.
First, a substrate having a light-emitting element mounted thereon is introduced into an atomic layer deposition apparatus. A mask or the like is preferably formed so that the back electrode is exposed from the protective film. Subsequently, trimethylaluminum (TMA) gas, for example, is introduced into the atomic layer deposition apparatus, and the OH groups on the surface of the substrate on which the light emitting element is mounted react with TMA. Excess gas is then exhausted. Thereafter, H 2 O gas is introduced to react TMA, which has been bonded to the OH groups in the previous reaction, with H 2 O. Excess gas is then exhausted.
By repeating the reaction of TMA, evacuation, reaction with OH group and evacuation as one cycle, a protective film of Al 2 O 3 having a predetermined thickness can be formed.

〔電子部品〕
電子部品は、発光素子の通電に関与するもの、発光素子の駆動に関連するもの等が包含される。具体的には、コンデンサ、バリスタ、ツェナーダイオード、ブリッジダイオード、チップ抵抗、メルフ抵抗、静電気保護素子等の保護素子、サーミスタ等の温度センサ、温度補償用素子、各種トランジスタ、外部電源を供給するためのコネクタ等の表面実装型の電子部品等が挙げられる。特に、電子部品としてツェナーダイオード等の保護素子を備えると、通電及び駆動における信頼性を向上させた高性能の発光装置を提供することができる。なお、電子部品は、基体にフリップチップ実装されていてもよいし、ワイヤ等で電気的に接続されていてもかまわない。
[Electronic parts]
The electronic parts include those involved in energizing the light emitting elements, those involved in driving the light emitting elements, and the like. Specifically, capacitors, varistors, zener diodes, bridge diodes, chip resistors, Melf resistors, protection elements such as electrostatic protection elements, temperature sensors such as thermistors, temperature compensation elements, various transistors, external power supply Examples include surface-mounted electronic components such as connectors. In particular, when a protective element such as a Zener diode is provided as an electronic component, it is possible to provide a high-performance light emitting device with improved reliability in energization and driving. Note that the electronic component may be flip-chip mounted on the substrate, or may be electrically connected with a wire or the like.

電子部品は、例えば、発光素子が実装される基体の第1主面側に実装されていてもよいし、第1主面とは反対側の第2主面側に配置されていてもよい。
電子部品が第1主面側に配置される場合、第1主面は、発光素子が実装される面と必ずしも同一面に配置されていなくてもよい。例えば、電子部品を載置する領域を凹形状又は凸形状とし、その凹部内又は凸部上に電子部品が配置されていてもよい。
The electronic component may be mounted, for example, on the first main surface side of the substrate on which the light emitting element is mounted, or may be arranged on the second main surface side opposite to the first main surface.
When the electronic component is arranged on the first main surface side, the first main surface does not necessarily have to be arranged on the same surface as the surface on which the light emitting element is mounted. For example, the area where the electronic component is placed may be concave or convex, and the electronic component may be arranged in the concave or on the convex.

電子部品が第2主面側に配置される場合、基体の第1主面において発光素子と電子部品とを実装する面積を確保する必要がないため、さらに発光装置の小型化を図ることができる。第2主面は、平面状であってもよいし、凹部又は凸部を有していてもかまわない。
図3Aに示されるように、第2主面側の凹部の底面に電子部品を配置すると、発光装置をさらに別の実装基板(例えば、回路基板等)に実装する場合に、実装に用いられる半田フラックス等による電子部品の汚染、短絡等を防止することができる。また、後述するように、電子部品を封止する樹脂等の被覆部材を設けやすい。
When the electronic components are arranged on the second main surface side, it is not necessary to secure an area for mounting the light emitting element and the electronic components on the first main surface of the base, so that the size of the light emitting device can be further reduced. . The second main surface may be planar, or may have concave portions or convex portions.
As shown in FIG. 3A, when the electronic component is placed on the bottom surface of the concave portion on the second main surface side, when the light emitting device is further mounted on another mounting board (for example, a circuit board or the like), the solder used for mounting is reduced. It is possible to prevent contamination, short circuit, etc. of electronic parts due to flux or the like. Also, as will be described later, it is easy to provide a covering member such as a resin for sealing the electronic component.

電子部品が、基体の第2主面側に配置される場合、基体の透視平面において、電子部品の中心が、発光素子の中心と離間していることが好ましい。これにより、発光装置の放熱性を向上させることができる。 When the electronic component is arranged on the second main surface side of the base, it is preferable that the center of the electronic component is separated from the center of the light emitting element in the see-through plane of the base. Thereby, the heat dissipation of the light emitting device can be improved.

〔被覆部材〕
前述のように、発光装置は、電子部品が第2主面側の凹部に収納される場合、電子部品を封止する被覆部材を備えていてもよい。
[Coating member]
As described above, the light-emitting device may include a covering member that seals the electronic component when the electronic component is housed in the recess on the second main surface side.

被覆部材の材料としては、樹脂、ガラス等の無機材料などが挙げられる。
樹脂としては、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、これらの変性樹脂又はこれらの樹脂を1種以上含むハイブリッド樹脂等が挙げられる。具体的には、エポキシ樹脂組成物、変性エポキシ樹脂組成物(シリコーン変性エポキシ樹脂等)、シリコーン樹脂組成物、変性シリコーン樹脂組成物(エポキシ変性シリコーン樹脂等)、ハイブリッドシリコーン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂組成物、変性ポリイミド樹脂組成物、ポリアミド樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポリシクロヘキサンテレフタレート樹脂、ポリフタルアミド(PPA)、ポリカーボネート樹脂、ポリフェニレンサルファイド(PPS)、液晶ポリマー(LCP)、ABS樹脂、フェノール樹脂、アクリル樹脂、PBT樹脂、ユリア樹脂、BTレジン、ポリウレタン樹脂等の樹脂が挙げられる。
ガラスとしては、ホウ珪酸ガラス、石英ガラス、サファイアガラス、フッ化カルシウムガラス、アルミノホウ珪酸ガラス、オキシナイトライドガラス、カルコゲナイドガラス等が挙げられる。
Examples of materials for the covering member include inorganic materials such as resin and glass.
Examples of resins include thermosetting resins, thermoplastic resins, modified resins thereof, hybrid resins containing one or more of these resins, and the like. Specifically, epoxy resin compositions, modified epoxy resin compositions (such as silicone-modified epoxy resins), silicone resin compositions, modified silicone resin compositions (such as epoxy-modified silicone resins), hybrid silicone resins, unsaturated polyester resins, polyimide resin composition, modified polyimide resin composition, polyamide resin, polyethylene terephthalate resin, polybutylene terephthalate resin, polycyclohexane terephthalate resin, polyphthalamide (PPA), polycarbonate resin, polyphenylene sulfide (PPS), liquid crystal polymer (LCP), Resins such as ABS resin, phenol resin, acrylic resin, PBT resin, urea resin, BT resin, and polyurethane resin can be used.
Examples of glass include borosilicate glass, quartz glass, sapphire glass, calcium fluoride glass, aluminoborosilicate glass, oxynitride glass, and chalcogenide glass.

〔封止部材〕
発光装置は、保護膜で被覆される発光素子をさらに封止する封止部材を有していてもよい。発光素子と電子部品とが基体の第1主面に配置される場合、封止部材は、発光素子だけでなく電子部品も封止してもよい。封止部材は、保護膜で被覆された発光素子及び/又は保護素子を直接被覆していてもよいし、ガスや樹脂等を介していてもよい。封止部材は、例えば窒化アルミ等で形成される基体に接合するよりも、前述の材料で形成される保護膜と接合させる方が容易であり、保護膜上に接合部材等を介して接合することができる。
封止部材を有することで、所望の特性を有する発光装置を形成することができる。また、発光素子をより確実に封止することができ、より信頼性の高い発光装置を得ることができる。
[Sealing member]
The light-emitting device may have a sealing member that further seals the light-emitting element covered with the protective film. When the light emitting element and the electronic component are arranged on the first main surface of the base, the sealing member may seal not only the light emitting element but also the electronic component. The sealing member may directly cover the light emitting element and/or the protective element covered with the protective film, or may pass through gas, resin, or the like. It is easier to bond the sealing member to the protective film made of the above-mentioned material than to bond it to the substrate made of, for example, aluminum nitride. be able to.
By having the sealing member, a light-emitting device having desired characteristics can be formed. In addition, the light-emitting element can be sealed more reliably, and a more reliable light-emitting device can be obtained.

封止部材は、前述の被覆部材と同様の材料を母材として用いることができ、例えば、板状のガラス等を好適に用いることができる。封止部材は、光反射性物質又は光吸収剤を含有していてもよい。これにより、耐光性を高めることができる。紫外線吸収剤としては、ベンゾトリアゾール系、ベンゾフェノン系、サリシレート系等、プラスチックにおいて通常使用されるものが挙げられる。光吸収剤としては、例えば、紫外線吸収剤又は紫外線遮蔽剤等が挙げられる。具体的には、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化ジルコニウム、チタン酸カリウム、アルミナ、窒化ホウ素、ムライト、酸化マグネシウム、二酸化チタン、繊維状フィラー(ガラス、ガラスファイバー、ワラストナイトなど)、無機フィラー(窒化アルミニウム、カーボン等)等が挙げられる。
光反射性物質又は光吸収剤は、例えば、母材の全重量に対して、10~95重量%程度含有させることが好ましい。
The sealing member can use the same material as the above-described covering member as a base material, and for example, plate-like glass or the like can be preferably used. The sealing member may contain a light-reflecting substance or a light-absorbing agent. Thereby, light resistance can be improved. Examples of ultraviolet absorbers include those commonly used in plastics, such as benzotriazole-based, benzophenone-based, and salicylate-based ones. Examples of light absorbers include ultraviolet absorbers and ultraviolet shielding agents. Specifically, titanium oxide, zinc oxide, zirconium oxide, potassium titanate, alumina, boron nitride, mullite, magnesium oxide, titanium dioxide, fibrous fillers (glass, glass fiber, wollastonite, etc.), inorganic fillers (nitriding aluminum, carbon, etc.).
The light-reflecting substance or light-absorbing agent is preferably contained, for example, in an amount of about 10 to 95% by weight with respect to the total weight of the base material.

その他、封止部材は、発光素子の光の波長を変換する波長変換部材を含有していてもよい。これにより、所望の発光色の発光装置を形成することができる。
波長変換部材としては、例えば、当該分野で公知の蛍光体を用いることができる。具体的には、セリウムで賦活されたイットリウム・アルミニウム・ガーネット(YAG)系蛍光体、セリウムで賦活されたルテチウム・アルミニウム・ガーネット(LAG)、ユウロピウム及び/又はクロムで賦活された窒素含有アルミノ珪酸カルシウム(CaO-Al-SiO)系蛍光体、ユウロピウムで賦活されたシリケート((Sr,Ba)SiO)系蛍光体、βサイアロン蛍光体、CASN系又はSCASN系蛍光体等の窒化物系蛍光体、KSF系蛍光体(KSiF:Mn)、硫化物系蛍光体などが挙げられる。波長変換部材は、例えば、いわゆるナノクリスタル、量子ドットと称される発光物質でもよい。これらの材料としては、半導体材料を用いることができ、半導体材料としては、例えばII-VI族、III-V族、IV-VI族半導体、具体的には、CdSe、コアシェル型のCdSSe1-x/ZnS、GaP等のナノサイズの高分散粒子が挙げられる。
In addition, the sealing member may contain a wavelength conversion member that converts the wavelength of light from the light emitting element. Thereby, a light-emitting device with a desired emission color can be formed.
As the wavelength conversion member, for example, a phosphor known in this field can be used. Specifically, cerium-activated yttrium aluminum garnet (YAG) phosphor, cerium-activated lutetium aluminum garnet (LAG), nitrogen-containing calcium aluminosilicate activated with europium and/or chromium (CaO—Al 2 O 3 —SiO 2 ) based phosphors, europium-activated silicate ((Sr, Ba) 2 SiO 4 ) based phosphors, β-sialon phosphors, CASN or SCASN based phosphors, etc. material-based phosphors, KSF-based phosphors (K 2 SiF 6 :Mn), sulfide-based phosphors, and the like. The wavelength conversion member may be, for example, a light-emitting substance called so-called nanocrystal or quantum dot. Semiconductor materials can be used as these materials, and semiconductor materials include, for example, II-VI group, III-V group, and IV-VI group semiconductors, specifically CdSe, core-shell type CdS x Se 1 Nano-sized highly dispersed particles such as -x /ZnS and GaP can be used.

封止部材は、その表面において、反射防止等の目的で被覆膜が形成されていてもよい。これによって、発光素子から出射された封止部材で反射させることなく、外部に効率的に取り出すことができる。
封止部材の形状、厚み等は、意図する発光装置の大きさ等によって適宜調整することができる。
A coating film may be formed on the surface of the sealing member for the purpose of antireflection or the like. As a result, the light emitted from the light emitting element can be efficiently extracted to the outside without being reflected by the sealing member.
The shape, thickness, etc. of the sealing member can be appropriately adjusted according to the intended size of the light-emitting device.

以下に、本発明に係る実施例について、図面に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described with reference to the drawings.

(実施例1)
図1Aは、本発明の実施例1に係る発光装置9の断面図である。図1Bは、本発明の実施例1に係る発光装置の上面図である。なお、上面図とは、発光装置を基体の第1主面側から見た図である。
実施例1の発光装置9は、基体1と、発光素子3と、保護膜4とを有する。
基体1は、例えば、窒化アルミニウムからなり、厚み約0.4mmの平板状とすることができる。基体1は、上面視で略正方形(例えば、1.375mm×1.375mm)とすることができ、第1主面1aに配線層2、第2主面1bに裏面電極2aを有する。配線層2及び裏面電極2aは、例えば厚み約30μmの銅層であり、電気的に導通している。
(Example 1)
FIG. 1A is a cross-sectional view of a light emitting device 9 according to Example 1 of the present invention. FIG. 1B is a top view of the light emitting device according to Example 1 of the present invention. Note that the top view is a view of the light emitting device viewed from the first main surface side of the base.
A light-emitting device 9 of Example 1 has a base 1 , a light-emitting element 3 , and a protective film 4 .
The substrate 1 is made of aluminum nitride, for example, and can be made into a flat plate shape with a thickness of about 0.4 mm. The substrate 1 can have a substantially square shape (for example, 1.375 mm×1.375 mm) when viewed from above, and has a wiring layer 2 on the first main surface 1a and a back electrode 2a on the second main surface 1b. The wiring layer 2 and the back electrode 2a are, for example, a copper layer having a thickness of about 30 μm, and are electrically connected.

発光素子3としては、例えば、窒化物系半導体からなる半導体層を有し、発光ピーク波長約375nmのものを用いることができる。本実施例の発光素子3は、平面視において略正方形(例えば、1.1mm×1.1mm)である。発光素子3は、接合部材7であるAu-Sn等によって、基体1の第1主面1aにフリップチップ実装される。 As the light emitting element 3, for example, one having a semiconductor layer made of a nitride-based semiconductor and having an emission peak wavelength of about 375 nm can be used. The light-emitting element 3 of this embodiment has a substantially square shape (for example, 1.1 mm×1.1 mm) in plan view. The light emitting element 3 is flip-chip mounted on the first main surface 1a of the substrate 1 by using a bonding member 7 such as Au—Sn.

基体1に実装された発光素子3は、その全表面から基体1の第1主面1a上にわたって連続的に、隙間及び切れ目なく、保護膜4によって被覆される。すなわち、保護膜4は、発光素子3と基体1の第1主面1aとの間(詳細には、発光素子3の電極形成面、電極の側面、電極形成面と対向する第1主面上)にも設けられる。保護膜4は、発光装置9の外表面を構成する。
保護膜4は、原子堆積法により形成されており、水分の浸入を略完全に阻止することができる程度に緻密である。例えば、保護膜4は、厚み約20nmの酸化アルミニウムによって構成することができる。
The light-emitting element 3 mounted on the substrate 1 is covered with the protective film 4 continuously from the entire surface to the first main surface 1a of the substrate 1 without gaps or discontinuities. That is, the protective film 4 is provided between the light emitting element 3 and the first main surface 1a of the substrate 1 (more specifically, on the electrode forming surface of the light emitting element 3, the side surface of the electrode, and the first main surface facing the electrode forming surface). ) is also provided. The protective film 4 constitutes the outer surface of the light emitting device 9 .
The protective film 4 is formed by an atomic deposition method and is dense enough to substantially completely prevent the penetration of moisture. For example, the protective film 4 can be made of aluminum oxide with a thickness of about 20 nm.

以上のように、実施例1では、平板状の基体1を用いるので、発光素子3の光の吸収を抑制できる。さらに、小型の発光装置9とすることができる。また、発光素子3がフリップチップ実装されるので、発光装置9のさらなる小型化を図ることができる。さらに、ワイヤボンディング工程を行わなくてもよく、ワイヤ等の材料を用いる必要がないため、コストを削減することができる。 As described above, in Example 1, since the flat substrate 1 is used, absorption of light by the light emitting element 3 can be suppressed. Furthermore, the light emitting device 9 can be made small. Further, since the light emitting element 3 is flip-chip mounted, the size of the light emitting device 9 can be further reduced. Furthermore, since there is no need to perform a wire bonding process and no need to use materials such as wires, the cost can be reduced.

また、保護膜4が原子堆積法により形成され、発光素子3と基体の第1主面1aとが隙間なく連続的に被覆されるため、保護膜4が発光装置9の外表面を形成する(すなわち、発光素子3を封止する部材が保護膜4のみである)小型でシンプルな構造ながら、信頼性の高い発光装置9を形成することができる。
特に、本実施例では、発光素子3がフリップチップ実装されるので、発光素子3の半導体層が基体1側に配置される。これにより、基体1側からの水分の浸入による発光素子3の劣化が顕著となることがあるが、発光素子3と基体1の間にも緻密な保護膜4が設けられるため、発光素子3の劣化を効果的に防止することができる。
また、保護膜4を薄く均一な膜状とすることができるため、発光素子3に対する保護機能を維持しながら、発光素子3の光の吸収を低減させることができる。
In addition, since the protective film 4 is formed by atomic deposition, and the light-emitting element 3 and the first main surface 1a of the substrate are continuously covered without gaps, the protective film 4 forms the outer surface of the light-emitting device 9 ( That is, the protective film 4 is the only member that seals the light-emitting element 3. The light-emitting device 9 can be formed with high reliability while having a small size and a simple structure.
In particular, in this embodiment, since the light emitting element 3 is flip-chip mounted, the semiconductor layer of the light emitting element 3 is arranged on the base 1 side. As a result, the deterioration of the light emitting element 3 due to the intrusion of moisture from the base 1 side may become remarkable. Deterioration can be effectively prevented.
In addition, since the protective film 4 can be made thin and uniform, the light absorption of the light emitting element 3 can be reduced while maintaining the protective function for the light emitting element 3 .

(実施例2)
図2Aは、本発明の実施例2に係る発光装置19の断面図である。図2Bは、本発明の実施例2に係る発光装置19の上面図である。
実施例2の発光装置19は、基体1の第1主面1a側に、発光素子3に加えて電子部品である保護素子8(例えば、平面視で0.23mm×0.23mm)が実装されている以外は、実施例1の発光装置9と実質的に略同様の構成を有する。なお、本実施例の発光装置19の基体1は、上面視で略長方形(例えば、1.8mm×1.375mm)とすることができる。
この発光装置19では、保護膜4は、基体1の第1主面1aから、発光素子3の表面、さらに保護素子8の表面を連続的に被覆している。したがって、発光素子3と第1主面1aとの間、保護素子8と第1主面1aとの間も、保護膜4で被覆される。
(Example 2)
FIG. 2A is a cross-sectional view of a light emitting device 19 according to Example 2 of the present invention. FIG. 2B is a top view of the light emitting device 19 according to Example 2 of the present invention.
In the light-emitting device 19 of Example 2, a protective element 8 (for example, 0.23 mm×0.23 mm in plan view), which is an electronic component, is mounted on the first main surface 1a side of the base 1 in addition to the light-emitting element 3. It has substantially the same configuration as the light emitting device 9 of the first embodiment except that The substrate 1 of the light emitting device 19 of this embodiment can be substantially rectangular (for example, 1.8 mm×1.375 mm) when viewed from above.
In this light emitting device 19 , the protective film 4 continuously covers the first main surface 1 a of the substrate 1 , the surface of the light emitting element 3 , and the surface of the protective element 8 . Therefore, the protective film 4 is also covered between the light emitting element 3 and the first main surface 1a and between the protective element 8 and the first main surface 1a.

実施例1の発光装置19においても、実施形態1の発光装置9と同様の効果を得ることができる。さらに、保護素子8を備えることにより、通電及び駆動における信頼性を向上させた高性能の発光装置19を得ることができる。 In the light emitting device 19 of Example 1 as well, effects similar to those of the light emitting device 9 of Embodiment 1 can be obtained. Furthermore, by providing the protective element 8, it is possible to obtain a high-performance light emitting device 19 with improved reliability in energization and driving.

(実施例3)
図3Aは、本発明の実施例3に係る発光装置29の断面図である。図3Bは、本発明の実施例3に係る発光装置29の底面図である。なお、底面図とは、発光装置を基体の第2主面側から見た図である。
実施例3では、上面視で略正方形(例えば、1.375mm×1.375mm)の基体10の第2主面10bの略中央に凹部10cを有しており、その凹部10cの底面に一対の配線層2が露出する。電子部品である保護素子8は、凹部10cの底面に実装される。より詳細には、保護素子8は、凹部10cの底面の配線層2上に銀ペースト等の接合部材によって実装することができる。また、保護素子8と配線層2とは、例えばAu等のワイヤ5によって電気的に接続されていてもよい。凹部10c内には、例えばシリコーン樹脂からなる被覆部材6が充填されており、保護素子8が封止されている。裏面電極2aは、凹部以外の第2主面10b上に設けられる。本実施例の裏面電極2aは、平面視で、例えば略U字形状に設けることができる。前述の構成以外は、実施例1の発光装置9と略同様の構成を有する。
(Example 3)
FIG. 3A is a cross-sectional view of a light emitting device 29 according to Example 3 of the present invention. FIG. 3B is a bottom view of the light emitting device 29 according to Example 3 of the present invention. Note that the bottom view is a view of the light emitting device viewed from the second main surface side of the base.
In Example 3, the substrate 10 having a substantially square shape (for example, 1.375 mm×1.375 mm) in top view has a concave portion 10c in the approximate center of the second main surface 10b, and the bottom surface of the concave portion 10c has a pair of Wiring layer 2 is exposed. A protective element 8, which is an electronic component, is mounted on the bottom surface of the recess 10c. More specifically, the protection element 8 can be mounted on the wiring layer 2 on the bottom surface of the recess 10c with a bonding material such as silver paste. Moreover, the protective element 8 and the wiring layer 2 may be electrically connected by a wire 5 such as Au. The concave portion 10c is filled with a covering member 6 made of, for example, silicone resin, and the protective element 8 is sealed. The back surface electrode 2a is provided on the second main surface 10b other than the concave portion. The back surface electrode 2a of the present embodiment can be provided, for example, in a substantially U shape in plan view. It has substantially the same configuration as the light emitting device 9 of Example 1 except for the configuration described above.

このような構成とすることで、保護素子8が第2主面10b側に実装されるため、発光装置29をより小型化することができる。
また、第2主面10bが凹部10cを有することで、凹部10cに樹脂等の被覆部材6を容易に充填することができる。また、凹部10c及び被覆部材6によって、発光装置29をさらに別の実装基板(例えば、回路基板等)に実装する場合に用いられる半田フラックス等の浸入を防止し、保護素子8の短絡等を確実に防止することができる。
With such a configuration, the protective element 8 is mounted on the second main surface 10b side, so the light emitting device 29 can be made more compact.
Further, since the second main surface 10b has the concave portion 10c, the concave portion 10c can be easily filled with the coating member 6 such as resin. In addition, the concave portion 10c and the covering member 6 prevent penetration of solder flux or the like used when mounting the light emitting device 29 on another mounting board (for example, a circuit board), thereby ensuring short-circuiting of the protective element 8. can be prevented.

(実施例4)
図4は、本発明の実施例4に係る発光装置の底面図である。なお、第1主面側に配置される発光素子の位置を点線で示す。この発光装置は、基体11の第2主面11bの凹部11cが、実施例3で示した凹部10cと比べて、基体の端部側に設けられる。すなわち、基体11の透視平面において、第2主面11bの凹部11cの底面に実装される保護素子8の中心は、第1主面に実装される発光素子3の中心と離間する。また、本実施例の裏面電極2bは、例えば、平面視で略L字形状に設けることができる。前述の構成以外は、実施例3の発光装置29と略同様の構成を有する。
このような構成とすることで、発光装置の放熱性を向上させることができる。
(Example 4)
FIG. 4 is a bottom view of a light emitting device according to Example 4 of the present invention. In addition, the position of the light emitting element arranged on the first main surface side is indicated by a dotted line. In this light-emitting device, the concave portion 11c of the second main surface 11b of the base 11 is provided closer to the end of the base than the concave portion 10c shown in the third embodiment. That is, in the see-through plane of the base 11, the center of the protection element 8 mounted on the bottom surface of the recess 11c of the second main surface 11b is separated from the center of the light emitting element 3 mounted on the first main surface. Further, the back surface electrode 2b of the present embodiment can be provided, for example, in a substantially L shape in plan view. It has substantially the same configuration as the light emitting device 29 of the third embodiment except for the configuration described above.
With such a structure, the heat dissipation of the light emitting device can be improved.

(実施例5)
図5Aは、本発明の実施例5に係る発光装置39の斜視図である。図5Bは、本発明の実施例5に係る発光装置39の上面図である。
実施例5の発光装置39は、基体12の第1主面に凹部12cを備える。凹部12cの底面には配線層2が設けられ、発光素子3及び電子部品である保護素子8が実装される。本実施例の基体12は、例えば、上面視で略正方形(例えば、3.5mm×3.5mm)とすることができる。
実施例5の保護膜4は、発光素子3、保護素子8、基体12の第1主面を連続的に被覆する。本実施形態では、基体12の第1主面だけでなく、基体12の凹部12cを形成する側壁の側面及び上面に、保護膜4を設けてもよい。
(Example 5)
FIG. 5A is a perspective view of a light emitting device 39 according to Example 5 of the present invention. FIG. 5B is a top view of a light emitting device 39 according to Example 5 of the present invention.
A light-emitting device 39 of Example 5 includes a concave portion 12 c on the first main surface of the base 12 . A wiring layer 2 is provided on the bottom surface of the recess 12c, and a light-emitting element 3 and a protective element 8, which is an electronic component, are mounted thereon. The substrate 12 of this embodiment can be, for example, substantially square (eg, 3.5 mm×3.5 mm) when viewed from above.
The protective film 4 of Example 5 continuously covers the light emitting element 3 , the protective element 8 , and the first main surface of the base 12 . In this embodiment, the protective film 4 may be provided not only on the first main surface of the substrate 12 but also on the side surfaces and the upper surface of the sidewalls forming the recess 12c of the substrate 12 .

このような構成とすることで、シンプルな構造で信頼性が高く、且つ光を上方に出射可能な発光装置39を形成することができる。 With such a configuration, the light emitting device 39 having a simple structure, high reliability, and capable of emitting light upward can be formed.

(実施例6)
図6は、本発明の実施例6に係る発光装置49の斜視図である。
実施例6の発光装置49は、封止部材13を有すること以外は、実質的に実施例5の発光装置39と同様の構成を有する。
封止部材13は、例えば、ヘリウムガス等を介して発光素子3を封止するように、凹部12cの側壁の上面に設けられた保護膜4上に接合することができる。
(Example 6)
FIG. 6 is a perspective view of a light emitting device 49 according to Example 6 of the present invention.
A light-emitting device 49 of Example 6 has substantially the same configuration as the light-emitting device 39 of Example 5, except that it has a sealing member 13 .
The sealing member 13 can be bonded onto the protective film 4 provided on the upper surface of the side wall of the recess 12c so as to seal the light emitting element 3 via helium gas or the like, for example.

これにより、発光装置49を所望の配光とすることができる。さらに、発光素子3をより確実に封止することができるので、信頼性の高い発光装置とすることができる。
This allows the light emitting device 49 to have a desired light distribution. Furthermore, since the light-emitting element 3 can be sealed more reliably, a highly reliable light-emitting device can be obtained.

本発明の実施形態に係る発光装置は、印刷用インク硬化用光源、樹脂硬化用光源、露光装置用光源、プロジェクタ、照明用光源、各種インジケーター用光源、車載用光源、ディスプレイ用光源、液晶のバックライト用光源、信号機、車載部品、看板用チャンネルレターなど、種々の光源に使用することができる。 The light emitting device according to the embodiment of the present invention includes a light source for curing printing ink, a light source for curing resin, a light source for exposure equipment, a projector, a light source for lighting, a light source for various indicators, a light source for vehicles, a light source for displays, and a liquid crystal backlight. It can be used for various light sources such as light sources for lights, traffic lights, automotive parts, and channel letters for signboards.

1、10、11、12 基体
1a 第1主面
1b、10b、11b 第2主面
10c、11c、12c 凹部
2 配線層
2a、2b 裏面電極
3 発光素子
4 保護膜
5 ワイヤ
6 被覆部材
7 接合部材
8 保護素子
9、19、29、39、49 発光装置
13 封止部材
Reference Signs List 1, 10, 11, 12 substrate 1a first main surface 1b, 10b, 11b second main surface 10c, 11c, 12c concave portion 2 wiring layer 2a, 2b rear electrode 3 light emitting element 4 protective film 5 wire 6 covering member 7 joining member 8 protection element 9, 19, 29, 39, 49 light emitting device 13 sealing member

Claims (9)

第1主面に配線層を有する基体と、
半導体層の同一面側に正負の電極を有し、 前記配線層にフリップチップ実装され、紫外線領域の波長の光を出射する発光素子と、
前記基体の第1主面側に配置される電子部品と、
前記発光素子、前記電子部品、及び前記基体の第1主面を被覆する保護膜とを備え、
前記保護膜は、前記発光素子の正負の電極の側面及び電極形成面を含む前記発光素子の表面、前記電子部品、及び前記基体の第1主面を連続的に被覆して発光装置の外表面を形成していることを特徴とする発光装置。
a substrate having a wiring layer on the first main surface;
Having positive and negative electrodes on the same surface side of the semiconductor layer, a light-emitting element that is flip-chip mounted on the wiring layer and emits light having a wavelength in the ultraviolet region;
an electronic component arranged on the first main surface side of the base;
The light emitting element, the electronic component, and a protective film covering the first main surface of the base,
The protective film protects the light emitting elementpositive and negativeA light emission characterized in that the outer surface of the light emitting device is formed by continuously covering the surface of the light emitting element including the side surface of the electrode and the electrode forming surface, the electronic component, and the first main surface of the substrate. Device.
前記保護膜は、前記電子部品の電極の側面及び電極形成面を被覆している請求項1に記載の発光装置。 2. The light-emitting device according to claim 1, wherein the protective film covers the side surface of the electrode and the electrode-forming surface of the electronic component. 前記保護膜は、多層膜である請求項1又2に記載の発光装置。 3. The light-emitting device according to claim 1, wherein the protective film is a multilayer film. 前記保護膜の厚みは、1nm~10μmである請求項1~3のいずれか1つに記載の発光装置。 4. The light-emitting device according to claim 1, wherein the protective film has a thickness of 1 nm to 10 μm. 前記保護膜は、無機材料からなる請求項1~4のいずれか1つに記載の発光装置。 The light-emitting device according to any one of claims 1 to 4, wherein the protective film is made of an inorganic material. 前記保護膜は、酸化アルミニウムからなる請求項1~5のいずれか1つに記載の発光装置。 The light emitting device according to any one of claims 1 to 5, wherein the protective film is made of aluminum oxide. 前記保護膜は、前記発光素子と前記基体の配線層を連続的に被覆する請求項1~6のいずれか1つに記載の発光装置。 7. The light-emitting device according to claim 1, wherein the protective film continuously covers the light-emitting element and the wiring layer of the substrate. 前記基体は、平板状である請求項1~7のいずれか1つに記載の発光装置。 The light-emitting device according to any one of claims 1 to 7, wherein the substrate has a flat plate shape. 前記基体は、無機材料からなる請求項1~8のいずれか1つに記載の発光装置。 The light-emitting device according to any one of claims 1 to 8, wherein the substrate is made of an inorganic material.
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