JP7145534B2 - drying equipment - Google Patents

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Description

本発明は、例えば透明なガラス板で構成されたワークの表面に塗布された乾燥対象物を乾燥させるために使用される乾燥装置に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a drying apparatus used for drying an object to be dried applied to the surface of a work made of, for example, a transparent glass plate.

従前より、スマートフォン等のカバー部材として使用される透明なガラスパネル（ワーク）の表面にデザイン等を施すための溶剤系インクを塗布する作業がインクジェット装置等を用いて行われている。（例えば、特許文献１） 2. Description of the Related Art Conventionally, an ink-jet device or the like has been used to apply a solvent-based ink for applying a design or the like to the surface of a transparent glass panel (workpiece) used as a cover member for a smartphone or the like. (For example, Patent Document 1)

インクジェット装置等を用いて塗布した後で、このインクを乾燥させる工程が必要となっており、ホットプレートやドライヤー、あるいは乾燥炉等を用いて乾燥させている。 A step of drying the ink is required after application using an inkjet device or the like, and drying is performed using a hot plate, a dryer, or a drying oven.

特開２００６－７０２９号公報JP-A-2006-7029

しかしながら、従来の乾燥方法にはインクを乾燥させるのに時間がかかりすぎるという問題があった。このため、例えば曲面にインクを塗布したとき、乾燥する前のインクが重力で垂れてくるよりも先に乾燥を完了させたいという要望に応えきれていなかった。 However, the conventional drying method has the problem that it takes too long to dry the ink. For this reason, for example, when ink is applied to a curved surface, it has not been possible to meet the demand to complete the drying before the undried ink drips due to gravity.

加えて、ドライヤーを使用した場合は、ドライヤーからの風圧によって乾燥する前のインクが移動してしまい、塗布面にインクのムラが生じるという問題も指摘されていた。 In addition, it has been pointed out that when a dryer is used, the air pressure from the dryer moves the ink before it is dried, causing unevenness in the ink on the coated surface.

本発明は、前述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、ワークの表面に塗布された乾燥対象物を素早く乾燥させることのできる乾燥装置を提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the problems described above, and an object of the present invention is to provide a drying apparatus capable of quickly drying an object to be dried that has been applied to the surface of a work.

本発明の一局面によれば、
表面に乾燥対象物が塗布されたワークに光を照射するＬＥＤランプユニットと、
ステージ上に配置されて前記ＬＥＤランプユニットの反対側から前記ワークを支持するとともに、前記ワークを透過した前記光を受けて発熱する熱分散部材とを備える
乾燥装置が提供される。 According to one aspect of the invention,
an LED lamp unit that irradiates light onto the work having the object to be dried applied to the surface;
A drying apparatus is provided, comprising: a heat dispersing member arranged on a stage to support the work from the opposite side of the LED lamp unit, and to receive the light transmitted through the work to generate heat.

好適には、
前記熱分散部材は、前記ワークに対して面で接している。 Preferably,
The heat dispersing member is in surface contact with the work.

好適には、
前記ＬＥＤランプユニットは、複数のＬＥＤランプで構成されており、
複数の前記ＬＥＤランプは、第１の波長の光を放射する前記ＬＥＤランプを少なくとも１つ有しており、かつ、第２の波長の光を放射する前記ＬＥＤランプを少なくとも１つ有している。 Preferably,
The LED lamp unit is composed of a plurality of LED lamps,
The plurality of LED lamps includes at least one LED lamp that emits light of a first wavelength and at least one LED lamp that emits light of a second wavelength. .

好適には、
前記ＬＥＤランプユニットは、複数のＬＥＤランプで構成されており、
複数の前記ＬＥＤランプは、第１の強度の光を放射する前記ＬＥＤランプを少なくとも１つ有しており、かつ、第２の強度の光を放射する前記ＬＥＤランプを少なくとも１つ有している。 Preferably,
The LED lamp unit is composed of a plurality of LED lamps,
The plurality of LED lamps includes at least one LED lamp emitting light of a first intensity and at least one LED lamp emitting light of a second intensity. .

好適には、
前記乾燥装置は、前記ステージから離間した位置に前記熱分散部材を配置するために、前記ステージと前記熱分散部材との間に配設される離間部材をさらに備えている。 Preferably,
The drying apparatus further includes a spacing member disposed between the stage and the heat dissipating member for disposing the heat dissipating member at a position spaced apart from the stage.

本発明に係る乾燥装置によれば、ＬＥＤランプユニットから放射された光の一部がワークの表面に塗布された乾燥対象物に当たることにより、当該乾燥対象物が光を吸収して昇温する。加えて、乾燥対象物に当たらなかった残部の光については、ワークを透過した後、熱分散部材に当たることによって当該熱分散部材に吸収される。 According to the drying apparatus of the present invention, part of the light emitted from the LED lamp unit hits the object to be dried coated on the surface of the work, and the object to be dried absorbs the light and rises in temperature. In addition, the rest of the light that has not hit the object to be dried is absorbed by the heat dispersing member after passing through the work and hitting the heat dispersing member.

これにより、光を吸収して昇温した熱分散部材がワーク全体を加熱することになり、結果として乾燥対象物の温度がさらに高くなることで、より短い時間で乾燥対象物を乾燥させることができるようになる。 As a result, the heat dispersing member heated up by absorbing the light heats the entire workpiece, and as a result, the temperature of the object to be dried is further increased, so that the object to be dried can be dried in a shorter time. become able to.

本発明が適用された、実施形態に係る乾燥装置１０を示す図である。It is a figure showing drying equipment 10 concerning an embodiment to which the present invention was applied. ワークＷに対するインクＩの塗布形態の一例を示す図である。4 is a diagram showing an example of a form of applying ink I to a work W; FIG. ワークＷに対するインクＩの塗布形態の別の例を示す図である。4 is a diagram showing another example of the form of applying ink I to a work W. FIG. 熱分散部材１４に吸収される光の経路を示す図である。4 is a diagram showing paths of light absorbed by the heat dispersion member 14. FIG. 変形例１に係る乾燥装置１０を示す図である。It is a figure which shows the drying apparatus 10 which concerns on the modification 1. FIG. 変形例５に係る乾燥装置１０を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing a drying device 10 according to Modification 5; 変形例５に係る別の乾燥装置１０を示す図である。FIG. 11 is a diagram showing another drying apparatus 10 according to modification 5; 変形例６に係る乾燥装置１０を示す図である。FIG. 12 is a diagram showing a drying device 10 according to Modification 6; 変形例７に係る乾燥装置１０を示す図である。FIG. 11 is a diagram showing a drying device 10 according to Modification 7; 変形例７に係る別の乾燥装置１０を示す図である。FIG. 11 is a diagram showing another drying apparatus 10 according to Modification 7;

（乾燥装置１０の構成）
以下、図面を用いて、本発明に係る乾燥装置１０の構成について説明する。なお、この乾燥装置１０と上述したインクジェット装置等のインク塗布装置とを組み合わせたものをワークデザイン装置という。 (Configuration of drying device 10)
The configuration of the drying device 10 according to the present invention will be described below with reference to the drawings. A combination of the drying device 10 and the ink applying device such as the ink jet device described above is called a work design device.

図１に示すように、乾燥装置１０は、大略、ＬＥＤランプユニット１２と、熱分散部材１４と、離間部材１６とで構成されている。 As shown in FIG. 1, the drying device 10 is generally composed of an LED lamp unit 12, a heat dispersing member 14, and a spacing member 16. As shown in FIG.

ＬＥＤランプユニット１２は、ワークＷに光を照射する部材であり、ランプユニット本体１８と、このランプユニット本体１８の表面に実装された複数のＬＥＤランプ２０とを有している。 The LED lamp unit 12 is a member that irradiates the work W with light, and has a lamp unit main body 18 and a plurality of LED lamps 20 mounted on the surface of the lamp unit main body 18 .

ランプユニット本体１８は、例えば一般的なプリント基板であり、その表面に複数のＬＥＤランプ２０がＣＯＢやＳＭＤ等の形態で実装されている。 The lamp unit main body 18 is, for example, a general printed circuit board, and a plurality of LED lamps 20 are mounted on its surface in the form of COB, SMD, or the like.

複数のＬＥＤランプ２０は所定の波長の光を放射する部材であり、各波長は、乾燥させるインクＩの色や成分等に応じて、当該インクＩが最も吸収しやすいものを選定するのが好適である。 The plurality of LED lamps 20 is a member that emits light of a predetermined wavelength, and it is preferable to select a wavelength that is most easily absorbed by the ink I to be dried according to the color and components of the ink I to be dried. is.

また、複数のＬＥＤランプ２０が放射する光の波長は、すべて同じ波長に設定してもよいし（つまり、ＬＥＤランプユニット１２からの放射される光の波長は１種類）、すべて異なる波長にしてもよい（つまり、ＬＥＤランプユニット１２からの放射される光の波長はＬＥＤランプ２０の数と同じ種類数ある）。さらに言えば、ＬＥＤランプユニット１２として、第１の波長の光を放射するＬＥＤランプ２０を少なくとも１つ有しており、かつ、第２の波長の光を放射するＬＥＤランプ２０を少なくとも１つ有しているようにしてもよい（つまり、ＬＥＤランプユニット１２からの放射される光の波長は２種類以上となる）。 In addition, the wavelengths of light emitted by the plurality of LED lamps 20 may all be set to the same wavelength (that is, the wavelength of light emitted from the LED lamp unit 12 is one type), or all of them may be set to different wavelengths. (That is, the number of wavelengths of light emitted from the LED lamp unit 12 is the same as the number of LED lamps 20). Furthermore, the LED lamp unit 12 includes at least one LED lamp 20 that emits light of the first wavelength and at least one LED lamp 20 that emits light of the second wavelength. (That is, the wavelengths of light emitted from the LED lamp unit 12 are two or more.).

このように、１つのＬＥＤランプユニット１２から複数種類の波長の光を放射できるようにしておくことで、複数種類の波長の光を同時に放射することもできるし、異なる波長の光を互いに区別して同じ波長の光を放射することもできる。もちろん、すべてのＬＥＤランプ２０を同時に点灯させてもよいし、一部のＬＥＤランプ２０のみを選択的に点灯させることもできる。例えば、乾燥装置１０を単独で使用する場合には、予めプログラムしておいた点灯パターンで各ＬＥＤランプ２０を点灯させることが考えられ、乾燥装置１０を図示しない印刷機と連動させる場合には、例えば当該印刷機からインクＩの色情報を得て、当該色情報によるインクＩの色に適した波長の光を放射するＬＥＤランプ２０のみを選択的に点灯させることが考えられる。 In this way, by allowing one LED lamp unit 12 to emit light of a plurality of wavelengths, light of a plurality of wavelengths can be emitted at the same time, and light of different wavelengths can be distinguished from each other. They can also emit light of the same wavelength. Of course, all the LED lamps 20 may be lit simultaneously, or only some of the LED lamps 20 may be selectively lit. For example, when the drying device 10 is used alone, it is conceivable to light each LED lamp 20 in a pre-programmed lighting pattern. For example, it is conceivable to obtain color information of the ink I from the printing machine and selectively turn on only the LED lamps 20 that emit light of wavelengths suitable for the color of the ink I according to the color information.

さらに、複数のＬＥＤランプ２０が放射する光の強度についても、すべて同じ強度に設定してもよいし（つまり、ＬＥＤランプユニット１２からの放射される光の強度は１種類）、すべて異なる強度にしてもよい（つまり、ＬＥＤランプユニット１２からの放射される光の強度はＬＥＤランプ２０の数と同じ種類数ある）。加えて、ＬＥＤランプユニット１２として、第１の強度の光を放射するＬＥＤランプ２０を少なくとも１つ有しており、かつ、第２の強度の光を放射するＬＥＤランプ２０を少なくとも１つ有しているようにしてもよい（つまり、ＬＥＤランプユニット１２からの放射される光の強度は２種類以上となる）。 Further, the intensities of light emitted by the plurality of LED lamps 20 may all be set to the same intensity (that is, the intensity of light emitted from the LED lamp units 12 is of one type), or may be set to different intensities. (That is, there are as many types of intensity of light emitted from the LED lamp unit 12 as there are LED lamps 20). In addition, the LED lamp unit 12 includes at least one LED lamp 20 that emits light of a first intensity and at least one LED lamp 20 that emits light of a second intensity. (That is, the intensity of the light emitted from the LED lamp unit 12 is two or more).

このように、１つのＬＥＤランプユニット１２から複数種類の強度の光を放射できるようにしておくことで、複数種類の強度の光を同時に放射することもできるし、異なる強度の光を互いに区別して同じ強度の光を放射することもできる。もちろん、すべてのＬＥＤランプ２０を同時に点灯させてもよいし、一部のＬＥＤランプ２０のみを選択的に点灯させることもできる。例えば、曲面を有するワークＷの表面にインクＩが塗布されており、各ＬＥＤランプ２０からワークＷまでの距離がそれぞれ異なるような場合においては、ワークＷまでの距離が近いＬＥＤランプ２０からは比較的低い強度の光を放射し、ワークＷまでの距離が遠いＬＥＤランプ２０からは比較的高い強度の光を放射することが考えられる。 In this way, by allowing one LED lamp unit 12 to radiate light of a plurality of intensities, it is possible to radiate light of a plurality of intensities at the same time, and to distinguish between different intensities of light. It can also emit light of the same intensity. Of course, all the LED lamps 20 may be lit simultaneously, or only some of the LED lamps 20 may be selectively lit. For example, when the ink I is applied to the surface of the work W having a curved surface, and the distances from each LED lamp 20 to the work W are different, the LED lamps 20 closer to the work W are compared. It is conceivable that the LED lamp 20, which radiates light of relatively low intensity and is far from the workpiece W, radiates light of relatively high intensity.

熱分散部材１４は、ＬＥＤランプユニット１２からの光を受けて発熱する材料で構成された部材である。また、熱分散部材１４は、ステージＳ上に配置されており、ワークＷのＬＥＤランプユニット１２によって照射される面とは反対側の面に当接することによって当該ワークＷを支持するようになっている。また、熱分散部材１４の材質としては、例えば、黒アルマイト処理したアルミニウム、グラファイト、シリコンウエハ、カーボンを混練した樹脂成形部材、黒セラミック（Ａｌ２Ｏ３＋ＴｉＣ）、黒色メッキ等が考えられる。 The heat dispersing member 14 is a member made of a material that generates heat upon receiving light from the LED lamp unit 12 . The heat dispersing member 14 is arranged on the stage S, and supports the work W by coming into contact with the surface of the work W opposite to the surface irradiated by the LED lamp unit 12 . there is Further, as the material of the heat dispersing member 14, for example, black alumite treated aluminum, graphite, silicon wafer, resin molded member kneaded with carbon, black ceramic (Al 2 O 3 +TiC), black plating, etc. can be considered.

本実施形態において、ワークＷにおける熱分散部材１４と当接する面は平面に形成されていることから、ワークＷと熱分散部材１４とは互いに面接触しているが、ワークＷの形状によっては、ワークＷと熱分散部材１４とが複数の点で接触する場合も考えられる。後述するように、ワークＷに塗布されたインクＩを乾燥させる効率の観点から言えば、ワークＷと熱分散部材１４とは互いに面接触している方が好適である。 In this embodiment, the surface of the workpiece W that contacts the heat dispersion member 14 is formed flat, so the workpiece W and the heat dispersion member 14 are in surface contact with each other. It is conceivable that the workpiece W and the heat dispersion member 14 may come into contact with each other at a plurality of points. As will be described later, from the viewpoint of the efficiency of drying the ink I applied to the work W, it is preferable that the work W and the heat dispersing member 14 are in surface contact with each other.

離間部材１６は、ステージＳと熱分散部材１４との間に配置される部材であり、本実施形態では、熱分散部材１４の四隅に配置されている。この離間部材１６は、熱分散部材１４をステージＳから離間した位置に配置する役割を有している。このように熱分散部材１４をステージＳから離間させておくことにより、熱分散部材１４とステージＳとの間の空間が断熱層となり、ＬＥＤランプユニット１２からの光を受けて発熱した熱分散部材１４の熱がステージＳに伝わり難くすることができる。 The spacing members 16 are members arranged between the stage S and the heat dispersion member 14 , and are arranged at the four corners of the heat dispersion member 14 in this embodiment. The spacing member 16 has a role of arranging the heat dispersing member 14 at a position spaced apart from the stage S. As shown in FIG. By keeping the heat dispersing member 14 away from the stage S in this way, the space between the heat dispersing member 14 and the stage S becomes a heat insulating layer, and the heat dispersing member receives the light from the LED lamp unit 12 and generates heat. The heat of 14 can be made difficult to be transmitted to the stage S.

なお、ワークＷに対するインクＩの塗布形態について例示する。インクＩの塗布形態の一例として、図２に示すように、ワークＷの表面における中央部にインクＩを矩形状に塗布し、当該インクＩの外周にはインクＩが未塗布の部分を残す態様が考えられる。 In addition, the application form of the ink I to the work W will be exemplified. As an example of the form of application of the ink I, as shown in FIG. 2, the ink I is applied in a rectangular shape to the central portion of the surface of the work W, and the ink I is left unapplied on the periphery of the ink I. can be considered.

あるいは、別の例として、図３に示すように、先にワークＷの周縁部にインクＩ１を塗布し、乾燥させておき、さらに、インクＩ１が未塗布だったワークＷの中央部にインクＩ２を塗布して乾燥させる態様も考えられる。 Alternatively, as another example, as shown in FIG. 3, the ink I1 is first applied to the peripheral portion of the work W and dried, and then the ink I2 is applied to the central portion of the work W to which the ink I1 has not been applied. may be applied and dried.

（乾燥装置１０の特徴）
図４に示すように、本実施形態に係る乾燥装置１０によれば、ＬＥＤランプユニット１２から放射された光の一部（Ｌ１）がワークＷの表面に塗布されたインクＩに当たることにより、当該インクＩが光を吸収して昇温する。加えて、インクＩに当たらなかった残部の光（Ｌ２）については、ワークＷを透過した後、熱分散部材１４に当たることによって当該熱分散部材１４に吸収される。さらに言えば、インクＩ自体の光透過率やインクＩの膜厚によっては、インクＩに当たった後、当該インクＩを透過して、さらにワークＷを透過して熱分散部材１４に吸収される光（Ｌ３）も存在する。 (Characteristics of drying device 10)
As shown in FIG. 4, according to the drying apparatus 10 according to the present embodiment, part of the light (L1) emitted from the LED lamp unit 12 hits the ink I applied to the surface of the work W, Ink I absorbs light and heats up. In addition, the rest of the light (L2) that has not hit the ink I passes through the workpiece W, and then hits the heat dispersion member 14 and is absorbed by the heat dispersion member 14 . Furthermore, depending on the light transmittance of the ink I itself and the film thickness of the ink I, after hitting the ink I, the ink is transmitted through the ink I, further transmitted through the work W, and absorbed by the heat dispersing member 14 . Light (L3) is also present.

これにより、光を吸収して昇温した熱分散部材１４がワークＷ全体を加熱することになり、結果としてインクＩの温度がさらに高くなることで、より短い時間でインクＩを乾燥させることができるようになる。 As a result, the heat dispersing member 14 heated by absorbing the light heats the entire work W, and as a result, the temperature of the ink I is further increased, so that the ink I can be dried in a shorter time. become able to.

また、上述した実施形態では、離間部材１６によって熱分散部材１４とステージＳとの間に断熱層が形成されているので、ＬＥＤランプユニット１２からの光を受けて発熱した熱分散部材１４の熱がステージＳに伝わり難くなる。これにより、熱分散部材１４からの熱でワークＷ全体をより高く昇温できるので、さらに短い時間でインクＩを乾燥させることができるようになる。 Further, in the above-described embodiment, since a heat insulating layer is formed between the heat dispersing member 14 and the stage S by the spacing member 16, the heat of the heat dispersing member 14 generated by receiving the light from the LED lamp unit 12 is reduced. becomes difficult to be transmitted to the stage S. As a result, the heat from the heat dispersing member 14 can raise the temperature of the entire work W to a higher temperature, so that the ink I can be dried in a shorter time.

（変形例１）
上述した実施形態では、離間部材１６を用いて熱分散部材１４とステージＳとの間に断熱層を形成するようにしていたが、図５に示すように、これら離間部材１６を省略して熱分散部材１４がステージＳに直接接触するようにしてもよい。 (Modification 1)
In the above-described embodiment, the spacing member 16 is used to form a heat insulating layer between the heat dispersing member 14 and the stage S. However, as shown in FIG. The dispersion member 14 may be in direct contact with the stage S.

なお、このように熱分散部材１４がステージＳに直接接触すると、ステージＳに伝わる熱分散部材１４からの熱量が多くなってしまい、ワークＷを加熱する熱量が少なくなってしまうことから、離間部材１６を設けるのが好適である。 If the heat dispersing member 14 directly contacts the stage S in this way, the amount of heat transmitted from the heat dispersing member 14 to the stage S increases, and the amount of heat for heating the workpiece W decreases. Preferably 16 are provided.

（変形例２）
また、離間部材１６に変えて、ステージＳと熱分散部材１４との間に、これらステージＳや熱分散部材１４よりも相対的に熱伝導率が低い材質で構成した断熱部材を介在させてもよい。 (Modification 2)
Alternatively, instead of the spacing member 16, a heat insulating member made of a material having a relatively lower thermal conductivity than the stage S and the heat dispersing member 14 may be interposed between the stage S and the heat dispersing member 14. good.

（変形例３）
さらに、ＬＥＤランプユニット１２は、ワークＷに対して固定されていてもよいし、当該ＬＥＤランプユニット１２がプリンタヘッドのようにワークＷに対して動きながら光を照射してもよい。さらに、ステージＳがワークＷと共に動くようにしてもよい。 (Modification 3)
Furthermore, the LED lamp unit 12 may be fixed to the work W, or the LED lamp unit 12 may irradiate the work W while moving like a printer head. Furthermore, the stage S may move together with the workpiece W.

（変形例４）
また、熱分散部材１４をステージＳから独立した部材ではなく、（例えば、アルミニウム(A5052)やステンレス(SUS304)で構成された）ステージＳの表面を例えば黒アルマイト処理や黒色塗装して光吸収性を高めるようにして、この処理表面や塗装表面を熱分散部材１４としてもよい。 (Modification 4)
Also, the heat dispersing member 14 is not a member independent from the stage S, but the surface of the stage S (made of aluminum (A5052) or stainless steel (SUS304), for example, is black anodized or painted black to make it light absorbing). This treated surface or painted surface may be used as the heat dispersing member 14 so as to increase the .

（変形例５）
また、図６に示すように、離間部材１６を省略して熱分散部材１４をステージＳに直接接触するように載置する場合において、当該ステージＳの表面における熱分散部材１４に対応する位置に凹所３０を形成してもよい。 (Modification 5)
Also, as shown in FIG. 6, when the heat dispersing member 14 is placed in direct contact with the stage S without the spacing member 16, the position corresponding to the heat dispersing member 14 on the surface of the stage S is A recess 30 may be formed.

このような凹所３０を形成することで、熱分散部材１４とステージＳの表面（＝凹所３０の底面）との間に断熱層としての空間を形成することができるので、ＬＥＤランプユニット１２からの光を受けて発熱した熱分散部材１４の熱がステージＳに伝わり難くなる。これにより、熱分散部材１４からの熱でワークＷ全体をより高く昇温できるので、さらに短い時間でインクＩを乾燥させることができるようになる。 By forming such a recess 30, it is possible to form a space as a heat insulating layer between the heat dispersing member 14 and the surface of the stage S (=the bottom surface of the recess 30). The heat of the heat dispersing member 14 generated by receiving the light from the stage S is less likely to be transmitted to the stage S. As a result, the heat from the heat dispersing member 14 can raise the temperature of the entire work W to a higher temperature, so that the ink I can be dried in a shorter time.

なお、凹所３０の形状は、図６に示すような比較的大きなものに限られず、図７に示すように、比較的小さな凹所３０を複数形成してもよい。 The shape of the recess 30 is not limited to the relatively large shape shown in FIG. 6, and a plurality of relatively small recesses 30 may be formed as shown in FIG.

（変形例６）
また、平らな形状のステージＳに変えて、図８に示すように、略円柱状の搬送ローラー３２を複数本互いに並列に引き揃えて、これら搬送ローラー３２の上に熱分散部材１４を載置してもよい。 (Modification 6)
Further, instead of the flat stage S, as shown in FIG. 8, a plurality of substantially cylindrical transport rollers 32 are aligned in parallel, and the heat dispersing member 14 is placed on these transport rollers 32. You may

このような態様にすることで、隣り合う搬送ローラー３２同士の間に空間が形成されるので、変形例５等と同様に、ＬＥＤランプユニット１２からの光を受けて発熱した熱分散部材１４の熱がステージＳに伝わり難くなる。これにより、熱分散部材１４からの熱でワークＷ全体をより高く昇温できるので、さらに短い時間でインクＩを乾燥させることができるようになる。 By adopting such a mode, a space is formed between the adjacent conveying rollers 32, so that the heat dispersing member 14 that receives the light from the LED lamp unit 12 and generates heat similarly to the fifth modification etc. Heat is less likely to be transmitted to the stage S. As a result, the heat from the heat dispersing member 14 can raise the temperature of the entire work W to a higher temperature, so that the ink I can be dried in a shorter time.

（変形例７）
また、熱分散部材１４の形状についても、上述したような平板状の熱分散部材１４に限定されることはなく、例えば、図９に示すように、断面が「コ」字状となるように凹所３４が形成された熱分散部材１４を用いてもよい。 (Modification 7)
Further, the shape of the heat dispersing member 14 is not limited to the flat plate-shaped heat dispersing member 14 as described above. For example, as shown in FIG. A heat spreader 14 having recesses 34 formed therein may also be used.

この熱分散部材１４は、ステージＳの表面に載置された平面状の断熱部材３６の上に、凹所３４が上向きとなるように配置されている。 The heat dispersing member 14 is placed on a planar heat insulating member 36 placed on the surface of the stage S so that the recess 34 faces upward.

そして、両端部が上向きに湾曲形成されたワークＷ（表面にインクＩが塗布されている）がこの凹所３４内に嵌め込まれたうえで、ＬＥＤランプユニット１２からの光が照射されるようになっている。 Then, the workpiece W (the surface of which is coated with the ink I) whose both ends are curved upward is fitted into the recess 34, and is irradiated with the light from the LED lamp unit 12. It's becoming

もちろん、凹所３４が形成された熱分散部材１４はこれに限定されるものではなく、図１０に示すように、底部材３８と側壁部材４０とを組み合わせることによって凹所３４を有する熱分散部材１４を形成してもよい。 Of course, the heat dissipating member 14 in which the recesses 34 are formed is not limited to this, and as shown in FIG. 14 may be formed.

（変形例８）
ここまでは、ワークＷ（例えば、スマートウォッチの枠材や、タブレット・液晶モニターの枠材）の表面に塗布されたインクＩの乾燥作業に乾燥装置１０を用いる例を示してきたが、乾燥装置１０の用途はこれに限定されるものではなく、例えば、スマートフォンの赤外線受光部に用いられる赤外線透過インクの乾燥作業や、基板上に塗布した機能材料の乾燥作業、あるいは、コーティング剤等の機能性ポリマーの乾燥作業にも用いることができる。このように乾燥装置１０を用いて乾燥作業が行われる対象物（インクＩや機能材料や機能性ポリマー等）を総称して「乾燥対象物」という。 (Modification 8)
So far, an example of using the drying device 10 for drying the ink I applied to the surface of the work W (for example, the frame material of a smart watch, the frame material of a tablet/liquid crystal monitor) has been shown. The application of 10 is not limited to this, for example, drying work of infrared transmitting ink used for infrared light receiving part of smartphone, drying work of functional material applied on substrate, or functionality such as coating agent It can also be used for polymer drying operations. Objects (ink I, functional materials, functional polymers, etc.) to be dried using the drying apparatus 10 in this manner are collectively referred to as "drying objects".

「基板上に塗布した機能材料の乾燥」としては、ガラス基板上のカラーフィルタ等、半導体ウエハ上のフォトレジストの乾燥が考えられる。例えば、シリコンウエハがワークＷである場合には、ＬＥＤランプユニット１２からの光の波長を適切に選択することによってシリコンウエハ自体が当該光を吸収して発熱に寄与する。これに熱分散部材１４が組み合わされることによってより効率的な乾燥が実現できる。また、フォトレジストの乾燥としては、プリベークおよびポストベークが考えられる。プリベークは、フォトレジストに含まれている溶剤を飛ばす工程である。ポストベークは、フォトレジストの焼き締めおよび硬化を行う工程である。 "Drying of the functional material coated on the substrate" may be drying of a photoresist on a semiconductor wafer such as a color filter on a glass substrate. For example, when the work W is a silicon wafer, by appropriately selecting the wavelength of the light from the LED lamp unit 12, the silicon wafer itself absorbs the light and contributes to heat generation. By combining this with the heat dispersing member 14, more efficient drying can be achieved. Moreover, pre-baking and post-baking are conceivable for drying the photoresist. Pre-baking is a process for removing the solvent contained in the photoresist. Post-baking is the process of baking and hardening the photoresist.

さらに言えば、半導体ウエハ上に形成した薄膜のアニール処理にも乾燥装置１０を用いることができる。その際、熱分散部材１４がワークＷの均熱化に寄与する。また、ＬＥＤランプユニット１２による光出力コントロールを用いることができる。 Furthermore, the drying apparatus 10 can also be used for annealing a thin film formed on a semiconductor wafer. At that time, the heat dispersing member 14 contributes to the temperature uniformity of the workpiece W. As shown in FIG. Also, light output control by the LED lamp unit 12 can be used.

「コーティング剤等の機能性ポリマーの乾燥」としては、クリアインク（オーバーコート剤）、つまり、スマートフォンカバー等の塗装面および未塗装面の保護コーティングが考えられる。インクが透明であっても、熱分散部材１４からの熱によって当該インクを効率よく乾燥させることができる。 “Drying of functional polymers such as coating agents” includes clear ink (overcoat agent), that is, protective coating of painted and unpainted surfaces such as smartphone covers. Even if the ink is transparent, the heat from the heat dispersing member 14 can efficiently dry the ink.

今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述した説明ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 It should be considered that the embodiments disclosed this time are illustrative in all respects and not restrictive. The scope of the present invention is indicated by the scope of the claims rather than the above description, and is intended to include all modifications within the scope and meaning equivalent to the scope of the claims.

１０…乾燥装置
１２…ＬＥＤランプユニット
１４…熱分散部材
１６…離間部材
１８…ランプユニット本体
２０…ＬＥＤランプ
３０…（ステージＳの）凹所、３２…搬送ローラー、３４…（熱分散部材１４の）凹所、３６…断熱部材、３８…底部材、４０…側壁部材
Ｗ…ワーク、Ｓ…ステージ、Ｉ…インク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10... Drying device 12... LED lamp unit 14... Heat dispersion member 16... Spacing member 18... Lamp unit main body 20... LED lamp 30... Recess (of stage S), 32... Conveying roller, 34... (of heat dispersion member 14) ) Recess 36 Heat insulating member 38 Bottom member 40 Side wall member W Work S Stage I Ink

Claims (5)

表面に乾燥対象物が塗布されたワークに光を照射するＬＥＤランプユニットと、
ステージ上に配置されて前記ＬＥＤランプユニットの反対側から前記ワークを支持するとともに、前記ワークを透過した前記光を受けて発熱する熱分散部材とを備える
乾燥装置。 an LED lamp unit that irradiates light onto the work having the object to be dried applied to the surface;
a heat dispersing member arranged on a stage to support the work from the opposite side of the LED lamp unit and to receive the light transmitted through the work to generate heat. 前記熱分散部材は、前記ワークに対して面で接している
請求項１に記載の乾燥装置。 The drying apparatus according to claim 1, wherein the heat dispersing member is in surface contact with the work. 前記ＬＥＤランプユニットは、複数のＬＥＤランプで構成されており、
複数の前記ＬＥＤランプは、第１の波長の光を放射する前記ＬＥＤランプを少なくとも１つ有しており、かつ、第２の波長の光を放射する前記ＬＥＤランプを少なくとも１つ有している
請求項１または２に記載の乾燥装置。 The LED lamp unit is composed of a plurality of LED lamps,
The plurality of LED lamps includes at least one LED lamp that emits light of a first wavelength and at least one LED lamp that emits light of a second wavelength. 3. Drying apparatus according to claim 1 or 2. 前記ＬＥＤランプユニットは、複数のＬＥＤランプで構成されており、
複数の前記ＬＥＤランプは、第１の強度の光を放射する前記ＬＥＤランプを少なくとも１つ有しており、かつ、第２の強度の光を放射する前記ＬＥＤランプを少なくとも１つ有している
請求項１から３のいずれか１項に記載の乾燥装置。 The LED lamp unit is composed of a plurality of LED lamps,
The plurality of LED lamps includes at least one LED lamp emitting light of a first intensity and at least one LED lamp emitting light of a second intensity. A drying apparatus according to any one of claims 1 to 3. 前記乾燥装置は、前記ステージから離間した位置に前記熱分散部材を配置するために、前記ステージと前記熱分散部材との間に配設される離間部材をさらに備えている
請求項１から４のいずれか１項に記載の乾燥装置。
5. The drying device further comprises a spacing member disposed between the stage and the heat dispersing member to dispose the heat dispersing member at a position spaced apart from the stage. A drying apparatus according to any one of the preceding claims.
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