JP7140846B2 - articulated robot - Google Patents

articulated robot Download PDF

Info

Publication number
JP7140846B2
JP7140846B2 JP2020562286A JP2020562286A JP7140846B2 JP 7140846 B2 JP7140846 B2 JP 7140846B2 JP 2020562286 A JP2020562286 A JP 2020562286A JP 2020562286 A JP2020562286 A JP 2020562286A JP 7140846 B2 JP7140846 B2 JP 7140846B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
arm portion
joint member
passage
arm
joint
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2020562286A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPWO2020136891A1 (en
Inventor
慶 早川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yamaha Motor Co Ltd
Original Assignee
Yamaha Motor Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yamaha Motor Co Ltd filed Critical Yamaha Motor Co Ltd
Publication of JPWO2020136891A1 publication Critical patent/JPWO2020136891A1/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7140846B2 publication Critical patent/JP7140846B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
    • B25J9/041—Cylindrical coordinate type
    • B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0075—Means for protecting the manipulator from its environment or vice versa
    • B25J19/0079—Means for protecting the manipulator from its environment or vice versa using an internal pressure system

Description

本発明は、多関節ロボットに関するものである。 The present invention relates to articulated robots.

産業用ロボットとして多関節ロボットが公知である。特許文献１には、多関節ロボットの一例として、垂直多関節ロボット（以下、ロボットと略す）が開示されている。 Articulated robots are known as industrial robots. Patent Literature 1 discloses a vertically articulated robot (hereinafter abbreviated as robot) as an example of articulated robots.

特許文献１に開示されるロボットは、ベース部（基台部）と、このベース部に水平軸回りに回転可能に連結される第１アーム部と、この第１アーム部の先端に、水平軸回りに回転可能に連結される第２アーム部と、この第２アーム部の先端に回転可能に連結された手首部と、を備えている。 The robot disclosed in Patent Document 1 includes a base portion (base portion), a first arm portion connected to the base portion so as to be rotatable about a horizontal axis, and a horizontal axis at the tip of the first arm portion. It has a second arm portion that is rotatably connected to the circumference and a wrist portion that is rotatably connected to the tip of the second arm portion.

特許文献１には、ロボットのベース部、第１、第２のアーム部及び手首部を中空構造とし、ベース部からロボット内に空気を送り込んで内部を正圧とすることで、外部からの粉塵の侵入を防止することが記載されている。つまり、アーム部同士の連結部分など、完全にシール（密閉）することが困難な非シール部分においては、ロボット内部から空気を積極的に噴出させることにより、ロボット内部への粉塵の侵入を防止するというものである。 In Patent Document 1, a robot base, first and second arms, and wrists have a hollow structure, and air is sent into the robot from the base to create a positive pressure inside, thereby removing dust from the outside. It is described to prevent the intrusion of In other words, in non-sealed parts that are difficult to seal completely, such as connecting parts between arm parts, dust is prevented from entering the inside of the robot by actively blowing air from inside the robot. That's what it means.

しかし、ベース部から空気を送り込むだけでは、所望の非シール部分から空気を適切に漏出させることは実際には難しい。すなわち、ベース部に形成される部材間の隙間などから無秩序に空気が漏出する結果、所望の非シール部からの空気の噴出量が減少し、意図するような防塵効果を得ることができない場合がある。また、アーム先端側への空気の流動が促進されないために、当該アーム先端側の非シール部分において意図するような防塵効果を得ることができない場合がある。 However, it is actually difficult to cause the air to leak properly from the desired non-sealed portion only by pumping air from the base portion. That is, as a result of chaotic leakage of air from gaps between members formed in the base portion, the amount of air ejected from the desired non-sealed portion is reduced, and the intended dustproof effect may not be obtained. be. In addition, since the flow of air toward the tip end of the arm is not promoted, it may not be possible to obtain the intended dustproof effect in the non-sealed portion on the tip end side of the arm.

なお、ロボット内に空気配管を設けて所望の非シール部まで確実に空気を導くことも考えられるが、狭いロボット内部に空気配管を設けることは実際には難しい。また、空気配管を設けたことで第１、第２アーム部の重量が増大し、当該アーム部の作動速度に影響するという弊害もある。 Although it is conceivable to provide an air pipe inside the robot to reliably guide the air to the desired non-sealed portion, it is actually difficult to provide the air pipe inside the narrow robot. In addition, the provision of the air pipe increases the weight of the first and second arms, which has the adverse effect of affecting the operating speed of the arms.

特開２０００－１４１２７０号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-141270

本発明は、上述した課題に鑑みて成されたものであって、内部の空気圧によって外部からの粉塵の侵入を防止する多関節ロボットに関し、より高度に外部からの粉塵の侵入を抑制することができる技術を提供することを目的としている。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and relates to an articulated robot that prevents dust from entering from the outside by means of internal air pressure. We aim to provide technology that enables

そして、本発明は、中空構造のベース部と、このベース部に連結される中空構造の第１アーム部とを備えた多関節ロボットであって、前記ベース部に固定される第１部材と、この第１部材に所定間隔を隔てて対向した状態で前記第１アーム部に固定される第２部材とを備えた中空構造を有し、前記ベース部と前記第１アーム部とを第１回転軸回りに相対回転可能に連結する第１関節部材と、前記ベース部の内部に空気を導入すべく当該ベース部に設けられた空気導入部と、前記第１関節部材の内部を通じて前記ベース部と前記第１アーム部とを連通させる第１連絡通路と、前記ベース部の内部と前記第１関節部材の内部、又は前記第１アームと前記第１関節部材の内部とを、前記第１連絡通路とは異なる位置で連通させる通路であって、第１関節部材側の通路面積が反関節部材側の通路面積よりも小さくなる部分を有した第１オリフィス通路と、を備えているものである。 The present invention also provides a multi-joint robot comprising a base portion having a hollow structure and a first arm portion having a hollow structure connected to the base portion, wherein a first member fixed to the base portion; A hollow structure including a second member fixed to the first arm portion in a state of facing the first member with a predetermined gap therebetween, wherein the base portion and the first arm portion are rotated for a first rotation. a first joint member connected so as to be relatively rotatable about an axis; an air introduction portion provided in the base portion for introducing air into the base portion; and the base portion through the inside of the first joint member. a first communication passage communicating between the first arm portion and the inside of the base portion and the inside of the first joint member, or the first arm and the inside of the first joint member; and a first orifice passage having a portion where the passage area on the side of the first joint member is smaller than the passage area on the side opposite to the joint member.

図１は、本発明に係る多関節ロボットが適用された産業用ロボットの側面図である。FIG. 1 is a side view of an industrial robot to which an articulated robot according to the present invention is applied. 図２は、産業用ロボットの断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of an industrial robot. 図３は、産業用ロボットの斜視図（斜め下から視た状態）である。FIG. 3 is a perspective view of the industrial robot (as seen obliquely from below). 図４は、産業用ロボットの断面拡大図である。FIG. 4 is an enlarged sectional view of the industrial robot. 図５は、産業用ロボットの断面拡大図である。FIG. 5 is an enlarged sectional view of the industrial robot. 図６は、スカラロボット内の空気の流を示す産業用ロボットの断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of an industrial robot showing airflow within a SCARA robot.

図１～図３は、本発明に係る多関節ロボットが適用された産業用ロボットを示しており、図１は側面図で、図２は断面図で、図３は斜視図で各々産業用ロボットを示している。なお、各図中には、説明の便宜上、ＸＹＺの直角座標系を示している。当例では、Ｚ方向は上下方向である。 1 to 3 show an industrial robot to which an articulated robot according to the present invention is applied. FIG. 1 is a side view, FIG. 2 is a cross-sectional view, and FIG. 3 is a perspective view of the industrial robot. is shown. For convenience of explanation, each drawing shows an XYZ Cartesian coordinate system. In this example, the Z direction is the vertical direction.

産業用ロボット１は、多関節ロボットの一種であるスカラロボット（水平多関節ロボット）２と、このスカラロボット２を直動（直線的に移動）させる単軸ロボット３とを備えた複合型ロボットである。当例では、単軸ロボット３は、スカラロボット２をＺ方向に移動（昇降）させる。 The industrial robot 1 is a composite robot comprising a SCARA robot (horizontal articulated robot) 2, which is a type of articulated robot, and a single-axis robot 3 that linearly moves (moves linearly) the SCARA robot 2. be. In this example, the single-axis robot 3 moves (lifts) the SCARA robot 2 in the Z direction.

［単軸ロボット３の構成］
単軸ロボット３は、Ｚ方向に延在する構造体を含む中空のケーシング１０と、このケーシング１０に沿ってＺ方向に移動可能に支持されるスライダ１２と、このスライダ１２を駆動する駆動機構１４とを含む。[Configuration of single-axis robot 3]
The single-axis robot 3 includes a hollow casing 10 including a structure extending in the Z direction, a slider 12 supported along the casing 10 so as to be movable in the Z direction, and a drive mechanism 14 for driving the slider 12. including.

スライダ１２は、ケーシング１０の内壁面に固定されたＺ方向に延在する一対のガイドレール（図示省略）に移動自在に支持されている。ケーシング１０の側面には、Ｚ方向に延在するスリット状の開口部１０ａが形成されており、スライダ１２の一部は、当該開口部１０ａを介して外部に露出している。 The slider 12 is movably supported by a pair of guide rails (not shown) fixed to the inner wall surface of the casing 10 and extending in the Z direction. A slit-shaped opening 10a extending in the Z direction is formed in the side surface of the casing 10, and a part of the slider 12 is exposed to the outside through the opening 10a.

前記駆動機構１４は、いわゆる送りねじ機構であり、スライダ１２に組込まれたナット部材１２ａと、このナット部材１２ａに挿入されて前記ガイドレールと平行に延在するねじ軸１６と、このねじ軸１６の一端に連結された電動モータ１８とを含む。つまり、駆動機構１４は、モータ１８によりねじ軸１６を回転させ、このねじ軸１６の回転運動を、ナット部材１２ａ及びガイドレールを介してスライダ１２のＺ方向の直線運動に変換する。この構成によりスライダ１２がＺ方向に移動する。 The drive mechanism 14 is a so-called feed screw mechanism, and includes a nut member 12a incorporated in the slider 12, a screw shaft 16 inserted into the nut member 12a and extending parallel to the guide rail, and the screw shaft 16. and an electric motor 18 connected to one end of the . That is, the drive mechanism 14 rotates the screw shaft 16 by the motor 18, and converts the rotary motion of the screw shaft 16 into the linear motion of the slider 12 in the Z direction via the nut member 12a and the guide rail. This configuration allows the slider 12 to move in the Z direction.

［スカラロボット２の構成］
スカラロボット２は、ベース部２０と、このベース部２０に連結されたロボットアーム２２とを含む。ベース部２０は、単軸ロボット３の前記スライダ１２に固定されており、これにより、スカラロボット２が、スライダ１２の移動に伴い当該スライダ１２と共にＺ方向に移動する。[Configuration of SCARA Robot 2]
The SCARA robot 2 includes a base portion 20 and a robot arm 22 connected to the base portion 20 . The base portion 20 is fixed to the slider 12 of the single-axis robot 3, so that the SCARA robot 2 moves along with the slider 12 in the Z direction as the slider 12 moves.

ロボットアーム２２は、ベース部２０に対して第１回転軸Ａｘ１回りに回転可能に連結された第１アーム部２３と、この第１アーム部２３に対して第２回転軸Ａｘ２回りに回転可能に連結された第２アーム部２４と、この第２アーム部２４に対して第３回転軸Ａｘ３回りに回転可能に連結されたツール装着部２５とを備えている。ツール装着部２５は、ロボットハンド等などの各種用途に応じたエンドエフェクタが着脱自在に装着される部分である。なお、第１回転軸Ａｘ１、第２回転軸Ａｘ２及び後述する第３回転軸Ａｘ３は、Ｚ方向に延びる互いに平行な仮想軸である。 The robot arm 22 includes a first arm portion 23 rotatably connected to the base portion 20 about a first rotation axis Ax1, and a first arm portion 23 rotatable about a second rotation axis Ax2 with respect to the first arm portion 23. It has a connected second arm portion 24 and a tool mounting portion 25 connected to the second arm portion 24 so as to be rotatable around the third rotation axis Ax3. The tool mounting portion 25 is a portion to which an end effector suitable for various uses such as a robot hand is detachably mounted. Note that the first rotation axis Ax1, the second rotation axis Ax2, and a third rotation axis Ax3, which will be described later, are imaginary axes parallel to each other and extending in the Z direction.

第１アーム部２３は、水平方向（Ｚ方向と直交する方向）に延在する側面視長方形の剛性を有した中空の箱型構造体からなるケーシング２３１を有し、第２アーム部２４もまた、水平方向に延在する剛性を有した中空の箱型構造体からなるケーシング２４１を有している。第１アーム部２３は、その長手方向の一端部（基端部）で後記第１減速機４０を介してベース部２０に連結されており、第２アーム部２４は、その一端部（基端部）で後記第２減速機５０を介して第１アーム部２３の先端部に連結されている。ツール装着部２５は、第２アーム部２４の先端部に後記第３減速機７０を介して連結されている。 The first arm portion 23 has a casing 231 made of a rigid hollow box-shaped structure extending in the horizontal direction (direction orthogonal to the Z direction) and having rectangular shape when viewed from the side. , has a casing 241 consisting of a rigid hollow box-shaped structure extending in the horizontal direction. One longitudinal end (base end) of the first arm portion 23 is connected to the base portion 20 via a first speed reducer 40 described later. ) is connected to the tip portion of the first arm portion 23 via a second reduction gear 50 which will be described later. The tool mounting portion 25 is connected to the distal end portion of the second arm portion 24 via a third speed reducer 70 which will be described later.

スカラロボット２は、第１アーム部２３の駆動源である第１モータ３１と、この第１モータ３１が発生する回転力を前記第１アーム部２３に伝達する第１動力伝達機構ＰＴ１とを備えている。また、スカラロボット２は、第２アーム部２４の駆動源である第２モータ３２と、この第２モータ３２が発生する回転力を前記第２アーム部２３に伝達する第２動力伝達機構ＰＴ２とを備えている。また、スカラロボット２は、ツール装着部２５の駆動源である第３モータ３３と、この第３モータ３１が発生する回転力をツール装着部２５に伝達する第３動力伝達機構ＰＴ３とを備えている。 The SCARA robot 2 includes a first motor 31 as a drive source for the first arm portion 23 and a first power transmission mechanism PT1 for transmitting the rotational force generated by the first motor 31 to the first arm portion 23. ing. In addition, the SCARA robot 2 includes a second motor 32 which is a driving source of the second arm portion 24, and a second power transmission mechanism PT2 which transmits the rotational force generated by the second motor 32 to the second arm portion 23. It has The SCARA robot 2 also includes a third motor 33 that is a driving source for the tool mounting portion 25 and a third power transmission mechanism PT3 that transmits the rotational force generated by the third motor 31 to the tool mounting portion 25. there is

第１～第３のモータ３１～３３は全てベース部２０に搭載されている。ベース部２０は、下方に開口した中空かつ箱形の剛性を有した構造体からなるケーシング２０１を備えており、モータ３１～３３は、第１回転軸Ａｘ１を中心としてその周囲に配置され、各々、ブラケットを介してケーシング２０１の天井部２０２に固定されている。具体的には、第１モータ３１は、第１回転軸Ａｘ１に対してＸ方向に隣接する位置に配置されている。第２モータ３２及び第３モータ３３は、第１回転軸Ａｘ１を挟んでＹ方向に並ぶ位置に各々配置されている。ケーシング２０１の下面には、カバー２０３が着脱可能に固定されている。 All the first to third motors 31 to 33 are mounted on the base portion 20 . The base portion 20 includes a casing 201 that is a hollow box-shaped rigid structure that opens downward, and the motors 31 to 33 are arranged around the first rotation axis Ax1. , and are fixed to the ceiling portion 202 of the casing 201 via brackets. Specifically, the first motor 31 is arranged at a position adjacent to the first rotation axis Ax1 in the X direction. The second motor 32 and the third motor 33 are arranged at positions aligned in the Y direction with the first rotation axis Ax1 interposed therebetween. A cover 203 is detachably fixed to the lower surface of the casing 201 .

［第１動力伝達機構ＰＴ１の構成］
図４は産業用ロボット１の断面拡大図である。この図に示すように、前記第１動力伝達機構ＰＴ１は、ベース部２０とロボットアーム２２との間に介設された第１減速機４０と、第１モータ３１の出力軸３１ａの回転を第１減速機４０に伝達する第１伝動機構４６とを含む。[Configuration of the first power transmission mechanism PT1]
FIG. 4 is an enlarged sectional view of the industrial robot 1. FIG. As shown in this figure, the first power transmission mechanism PT1 includes a first speed reducer 40 interposed between the base portion 20 and the robot arm 22, and the rotation of the output shaft 31a of the first motor 31. 1 and a first transmission mechanism 46 that transmits to the speed reducer 40 .

第１減速機４０（本発明の第１関節部材に相当する）は、波動歯車減速機構からなる減速機本体４２と、この減速機本体４２が組み込まれた、剛性を有する構造体からなるケーシング４４とを含み、第１回転軸Ａｘ１に沿って貫通した概略円環状の構造を有している。 The first speed reducer 40 (corresponding to the first joint member of the present invention) includes a speed reducer main body 42 made of a strain wave gear speed reduction mechanism, and a casing 44 made of a rigid structure in which the speed reducer main body 42 is incorporated. and has a substantially annular structure penetrating along the first rotation axis Ax1.

ケーシング４４は、周壁部を備えた有天円筒状の上部ケーシング４５ａ（本発明の第１部材に相当する）と、周壁部を備えた有底円筒状の下部ケーシング４５ｂ（本発明の第２部材に相当する）とを含み、周壁部同士の間にラビリンス状の隙間４４ａが形成されるように、これら上、下のケーシング４５ａ、４５ｂが向かい合わせに配置された中空構造を有する。上部ケーシング４５ａは、第１アーム部２３のケーシング２３１の下面２３２に固定されており、下部ケーシング４５ｂは、ベース部２０のケーシング２０１の上面に固定されている。 The casing 44 includes a topped cylindrical upper casing 45a (corresponding to the first member of the present invention) provided with a peripheral wall portion, and a bottomed cylindrical lower casing 45b (corresponding to the second member of the present invention) provided with a peripheral wall portion. ), and has a hollow structure in which these upper and lower casings 45a and 45b are arranged facing each other so that a labyrinth-like gap 44a is formed between the peripheral wall portions. The upper casing 45 a is fixed to the lower surface 232 of the casing 231 of the first arm portion 23 , and the lower casing 45 b is fixed to the upper surface of the casing 201 of the base portion 20 .

減速機本体４２は、ウェーブジェネレータ、サーキュラスプライン、フレクススプラインなどを備えた周知の波動歯車減速機構からなる。減速機本体４２は、ケーシング４４の内部に組み込まれている。ウェーブジェネレータは、第１モータ３１の回転力の入力部であり、上部ケーシング４５ａは、減速後の回転力の出力部とされる。すなわち、第１減速機４０は、入力部（ウェーブジェネレータ）に入力される回転力の回転速度を減速して出力部（上部ケーシング４５ａ）から出力させる。 The speed reducer main body 42 is composed of a well-known wave gear reduction mechanism including a wave generator, a circular spline, a flex spline, and the like. The speed reducer main body 42 is incorporated inside a casing 44 . The wave generator is an input portion of the rotational force of the first motor 31, and the upper casing 45a is an output portion of the rotational force after deceleration. That is, the first speed reducer 40 reduces the rotational speed of the rotational force input to the input section (wave generator) and outputs it from the output section (upper casing 45a).

前記第１伝動機構４６はベルト伝動機構である。すなわち、第１伝動機構４６は、第１モータ３１の出力軸３１ａに固定されたプーリ４７ａと、第１減速機３６の入力部に固定されたプーリ４７ｂと、これらプーリ４７ａ、４７ｂとに掛け渡された伝動ベルト４８とを含む。 The first transmission mechanism 46 is a belt transmission mechanism. That is, the first transmission mechanism 46 spans a pulley 47a fixed to the output shaft 31a of the first motor 31, a pulley 47b fixed to the input portion of the first reduction gear 36, and these pulleys 47a and 47b. and transmission belt 48.

この構成により、第１モータ３１の出力軸３１ａの回転が、第１減速機４０の入力部に伝達され、この第１減速機４０で回転速度が減速されながら第１アーム部２３に伝達される。これにより、第１アーム部２３が、ベース部２０に対して所定の回転速度で第１回転軸Ａｘ１回りに回転（旋回）する。 With this configuration, the rotation of the output shaft 31a of the first motor 31 is transmitted to the input portion of the first reduction gear 40, and transmitted to the first arm portion 23 while the rotation speed is reduced by the first reduction gear 40. . As a result, the first arm portion 23 rotates (turns) about the first rotation axis Ax1 at a predetermined rotation speed with respect to the base portion 20 .

［第２動力伝達機構ＰＴ２の構成］
前記第２動力伝達機構ＰＴ２は、図２に示すように、第１アーム部２３と第２アーム部２４との間に介設された第２減速機５０と、ベース部２０から第１アーム部２３に亘って第１減速機４０の内側を貫通して延在する第１伝動軸５６と、前記第２モータ３２の出力軸３２ａ（図示省略）の回転を、ベース部２０において第１伝動軸５６に伝動するとともに、当該第１伝動軸５６の回転を、第１アーム部２３において第２減速機５０に伝動する第２伝動機構５７と、を含む。[Configuration of Second Power Transmission Mechanism PT2]
The second power transmission mechanism PT2 includes, as shown in FIG. 2, a second speed reducer 50 interposed between the first arm portion 23 and the second arm portion 24, and a base portion 20 to the first arm portion. 23 and the output shaft 32a (not shown) of the second motor 32 are connected to the first transmission shaft at the base portion 20. 56 and a second transmission mechanism 57 that transmits the rotation of the first transmission shaft 56 to the second reduction gear 50 in the first arm portion 23 .

図５は産業用ロボット１の断面拡大図である。この図に示すように、第２減速機５０（本発明の第２関節部材に相当する）は、波動歯車減速機構からなる減速機本体５２と、この減速機本体５２が組み込まれた、剛性を有する構造体からなるケーシング５４とを含み、全体が第２回転軸Ａｘ２に沿って貫通した概略円環状の構造を有している。この第２減速機５０の基本的な構造は、第１減速機４０の構造と基本的に共通している。 FIG. 5 is an enlarged sectional view of the industrial robot 1. As shown in FIG. As shown in this figure, the second speed reducer 50 (corresponding to the second joint member of the present invention) includes a speed reducer main body 52 composed of a strain wave gear speed reduction mechanism, and a rigidity in which the speed reducer main body 52 is incorporated. and a casing 54 made of a structure having a structure having a substantially annular structure that extends along the second rotation axis Ax2. The basic structure of the second speed reducer 50 is basically the same as that of the first speed reducer 40 .

ケーシング５４は、周壁部を備えた有天円筒状の上部ケーシング５５ａ（本発明の第３部材に相当する）と、周壁部を備えた有底円筒状の下部ケーシング５５ｂ（本発明の第４部材に相当する）とを含み、周壁部同士の間にラビリンス状の隙間５４ａが形成されるように、これら上、下のケーシング５５ａ、５５ｂが向かい合わせに配置された中空構造を有する。上部ケーシング５５ａは、第１アーム部２３のケーシング２３１の下面２３２に固定されており、下部ケーシング５５ｂは、第２アーム部２４のケーシング２４１の上面２４３に固定されている。 The casing 54 includes a topped cylindrical upper casing 55a (corresponding to the third member of the present invention) provided with a peripheral wall portion and a bottomed cylindrical lower casing 55b (corresponding to the fourth member of the present invention) provided with a peripheral wall portion. ), and has a hollow structure in which these upper and lower casings 55a and 55b are arranged facing each other so that a labyrinth-like gap 54a is formed between the peripheral wall portions. The upper casing 55 a is fixed to the lower surface 232 of the casing 231 of the first arm portion 23 , and the lower casing 55 b is fixed to the upper surface 243 of the casing 241 of the second arm portion 24 .

減速機本体５２は、ウェーブジェネレータ、サーキュラスプライン、フレクススプラインなどを備えた周知の波動歯車減速機構からなる。減速機本体５２は、ケーシング５４の内部に組み込まれている。ウェーブジェネレータは、第２モータ３２の回転力の入力部であり、フレクススプラインが固定される上部ケーシング５５ａが、減速後の回転力の出力部とされる。すなわち、第２減速機５０は、入力部（ウェーブジェネレータ）に入力される回転力の回転速度を減速して出力部（上部ケーシング５５ａ）から出力させる。なお、第２減速機５０では、上部ケーシング４５ａが第１アーム部２３に固定されているため、サーキュラスプラインが固定される下部ケーシング４５ｂが相対的に回転することで回転力が第２アーム部２４に伝達される。 The speed reducer main body 52 is composed of a well-known wave gear reduction mechanism including a wave generator, a circular spline, a flex spline, and the like. The reduction gear main body 52 is incorporated inside the casing 54 . The wave generator is an input portion of the rotational force of the second motor 32, and the upper casing 55a to which the flex spline is fixed is an output portion of the rotational force after deceleration. That is, the second speed reducer 50 reduces the rotational speed of the rotational force input to the input section (wave generator) and outputs it from the output section (upper casing 55a). In the second speed reducer 50, since the upper casing 45a is fixed to the first arm portion 23, the lower casing 45b, to which the circular spline is fixed, rotates relative to each other, so that the rotational force is applied to the second arm portion 24. is transmitted to

前記第２伝動機構５７はベルト伝動機構である。すなわち、第２伝動機構５７は、図３～図５に示すように、第２モータ３２の出力軸３２ａに固定されたプーリ５８ａと、ベース部２０において第１伝動軸５６の下端部に固定されたプーリ５８ｂと、これらプーリ５８ａ、５８ｂとに掛け渡された伝動ベルト５９とを含む。また、第２伝動機構５７は、第１アーム部２３において、第１伝動軸５６の上端部に固定されたプーリ６１ａと、第２減速機５０の入力部に固定されたプーリ６１ｂと、これらプーリ６１ａ、６１ｂとに掛け渡された伝動ベルト６２とを含む。 The second transmission mechanism 57 is a belt transmission mechanism. 3 to 5, the second transmission mechanism 57 includes a pulley 58a fixed to the output shaft 32a of the second motor 32 and a lower end portion of the first transmission shaft 56 in the base portion 20. and a transmission belt 59 stretched over these pulleys 58a and 58b. The second transmission mechanism 57 includes a pulley 61a fixed to the upper end of the first transmission shaft 56, a pulley 61b fixed to the input portion of the second speed reducer 50, and 61a, 61b and a transmission belt 62 stretched over them.

前記第１伝動軸５６は中空軸からなり、第１動力伝達機構ＰＴ１の第１減速機４０及び第１伝動機構４６のプーリ４７ｂを貫通してＺ方向に延在している。第１伝動軸５６は、第１減速機４０の上部ケーシング４５ａ及び第１伝動機構４６のプーリ４７ｂにベアリングを介して相対回転が可能な状態で保持されている。 The first transmission shaft 56 is a hollow shaft and extends in the Z direction through the first reduction gear 40 of the first power transmission mechanism PT1 and the pulley 47b of the first transmission mechanism 46. As shown in FIG. The first transmission shaft 56 is held by the upper casing 45a of the first speed reducer 40 and the pulley 47b of the first transmission mechanism 46 so as to be relatively rotatable via bearings.

この構成により、第２モータ３２の出力軸３２ａの回転が、第１アーム部２３を通じて第２減速機５０の入力部（ウェーブジェネレータ）に伝達され、この第２減速機５０で回転速度が減速されながら第２アーム部２４に伝達される。これにより、第２アーム部２４が第１アーム部２３に対して所定の回転速度で第２回転軸Ａｘ２回りに回転（旋回）する。 With this configuration, the rotation of the output shaft 32a of the second motor 32 is transmitted to the input portion (wave generator) of the second speed reducer 50 through the first arm portion 23, and the rotation speed is reduced by the second speed reducer 50. while being transmitted to the second arm portion 24 . As a result, the second arm portion 24 rotates (revolves) around the second rotation axis Ax2 at a predetermined rotation speed with respect to the first arm portion 23 .

［第３動力伝達機構ＰＴ３の構成］
前記第３動力伝達機構ＰＴ３は、第２アーム部２４とツール装着部２５との間に介設された第３減速機７０と、第１伝動軸５６と同心上に配置されて、ベース部２０から第１アーム部２３に亘って第１減速機４０の内側を貫通して延在する第２伝動軸７６と、第１アーム部２３から第２アーム部２４に亘って第２減速機５０の内側を貫通して延在する第３伝動軸７７と、前記第３モータ３３の出力軸３３ａ（図示省略）の回転を、ベース部２０において第２伝動軸７６に伝動し、当該第２伝動軸７６の回転を、第１アーム部２３において第３伝動軸７７に伝動し、当該第３伝動軸７７の回転を、第２アーム部において第３減速機７０に伝動する第３伝動機構７８と、を含む。[Configuration of the third power transmission mechanism PT3]
The third power transmission mechanism PT3 is arranged concentrically with a third speed reducer 70 interposed between the second arm portion 24 and the tool mounting portion 25, and with the first transmission shaft 56. A second transmission shaft 76 extending through the inside of the first reduction gear 40 from the first arm portion 23 to the second reduction gear 50 from the first arm portion 23 to the second arm portion 24 A third transmission shaft 77 extending through the inner side and the rotation of the output shaft 33a (not shown) of the third motor 33 are transmitted to the second transmission shaft 76 in the base portion 20, and the second transmission shaft a third transmission mechanism 78 that transmits the rotation of 76 to a third transmission shaft 77 in the first arm portion 23 and transmits the rotation of the third transmission shaft 77 to the third reduction gear 70 in the second arm portion; including.

図５及び図６に示すように、第３減速機７０（本発明の第３関節部材に相当する）は、波動歯車減速機構からなる減速機本体７２と、この減速機本体７２が組み込まれた、剛性を有する構造体からなるケーシング７４とを含み、全体が第３回転軸Ａｘ３に沿って貫通した概略円環状の構造を有している。この第３減速機７０の基本的な構造は、第１、第２の減速機４０、５０の構造と基本的に共通している。 As shown in FIGS. 5 and 6, the third reduction gear 70 (corresponding to the third joint member of the present invention) includes a reduction gear main body 72 comprising a strain wave gear reduction mechanism and the reduction gear main body 72. , and a casing 74 made of a structural body having rigidity, and the entire structure has a substantially annular structure penetrating along the third rotation axis Ax3. The basic structure of this third reduction gear 70 is basically common to the structures of the first and second reduction gears 40 and 50 .

ケーシング７４は、周壁部を備えた有天円筒状の上部ケーシング７５ａ（本発明の第５部材に相当する）と、周壁部を備えた有底円筒状の下部ケーシング７５ｂ（本発明の第６部材に相当する）とを含み、周壁部同士の間にラビリンス状の隙間７４ａが形成されるように、これら上、下のケーシング７５ａ、７５ｂが向かい合わせに配置された中空構造を有する。上部ケーシング７５ａは、第２アーム部２４のケーシング２４１の下面２４２に固定されており、下部ケーシング７５ｂは、ツール装着部２５の上部に固定されている。 The casing 74 includes a topped cylindrical upper casing 75a (corresponding to the fifth member of the present invention) provided with a peripheral wall portion and a bottomed cylindrical lower casing 75b (corresponding to the sixth member of the present invention) provided with a peripheral wall portion. ), and has a hollow structure in which these upper and lower casings 75a and 75b are arranged facing each other so that a labyrinth-like gap 74a is formed between the peripheral wall portions. The upper casing 75 a is fixed to the lower surface 242 of the casing 241 of the second arm portion 24 , and the lower casing 75 b is fixed to the upper portion of the tool mounting portion 25 .

減速機本体７２は、ウェーブジェネレータ、サーキュラスプライン、フレクススプラインなどを備えた周知の波動歯車減速機構からなる。減速機本体７２は、ケーシング７４の内部に組み込まれている。ウェーブジェネレータは、第３モータ３３の回転力の入力部であり、フレクススプラインが固定される上部ケーシング７５ａが、減速後の回転力の出力部とされる。すなわち、第３減速機７０は、入力部（ウェーブジェネレータ）に入力される回転力の回転速度を減速して出力部（上部ケーシング７５ａ）から出力させる。なお、第３減速機７０では、上部ケーシング７５ａが第２アーム部２４に固定されているため、サーキュラスプラインが固定される下部ケーシング７５ｂが相対的に回転することで回転力がツール装着部２５に伝達される。 The reducer main body 72 consists of a well-known strain wave gear reduction mechanism including a wave generator, a circular spline, a flex spline, and the like. The reduction gear main body 72 is incorporated inside the casing 74 . The wave generator is an input portion of the torque of the third motor 33, and the upper casing 75a to which the flex splines are fixed is an output portion of the torque after deceleration. That is, the third speed reducer 70 reduces the rotational speed of the rotational force input to the input section (wave generator) and outputs it from the output section (upper casing 75a). In the third speed reducer 70, since the upper casing 75a is fixed to the second arm portion 24, the relative rotation of the lower casing 75b to which the circular spline is fixed causes the rotational force to be applied to the tool mounting portion 25. transmitted.

前記第３伝動機構７８はベルト伝動機構である。すなわち、第３伝動機構７８は、図３～図５に示すように、第３モータ３３の出力軸３３ａに固定されたプーリ７９ａと、ベース部２０において第２伝動軸７６の下端部に固定されたプーリ７９ｂと、これらプーリ７９ａ、７９ｂとに掛け渡された伝動ベルト８０とを含む。また、第３伝動機構７８は、第１アーム部２３において第２伝動軸７６の上端部に固定されたプーリ８２ａと、第３伝動軸７７の上端部に固定されたプーリ８２ｂと、これらプーリ８２ａ、８２ｂとに掛け渡された伝動ベルト８３とを含む。さらに、第３伝動機構７８は、第２アーム部２４において、第３伝動軸７７の下端部に固定されたプーリ８４ａと、第３減速機７０の入力部に固定されたプーリ８４ｂと、これらプーリ８４ａ、８４ｂとに掛け渡された伝動ベルト８５とを含む。 The third transmission mechanism 78 is a belt transmission mechanism. That is, the third transmission mechanism 78 includes a pulley 79a fixed to the output shaft 33a of the third motor 33 and a lower end portion of the second transmission shaft 76 fixed to the base portion 20, as shown in FIGS. and a transmission belt 80 stretched over these pulleys 79a and 79b. The third transmission mechanism 78 includes a pulley 82a fixed to the upper end of the second transmission shaft 76 in the first arm portion 23, a pulley 82b fixed to the upper end of the third transmission shaft 77, and these pulleys 82a. , 82b. Further, in the second arm portion 24, the third transmission mechanism 78 includes a pulley 84a fixed to the lower end portion of the third transmission shaft 77, a pulley 84b fixed to the input portion of the third reduction gear 70, and these pulleys. 84a, 84b and a transmission belt 85 stretched over them.

前記第２伝動軸７６は、外径が前記第１伝動軸５６の内径よりも小さい中空軸からなり、第１伝動軸５６の内側を貫通してＺ方向に延在している。第２伝動軸７６と第１伝動軸５６とは、第１回転軸Ａｘ１を中心とする同心円状に配置されている。第２伝動軸７６は、第１伝動軸５６にベアリングを介して相対回転が可能な状態で保持されている。 The second transmission shaft 76 is a hollow shaft having an outer diameter smaller than the inner diameter of the first transmission shaft 56 and extends through the inside of the first transmission shaft 56 in the Z direction. The second transmission shaft 76 and the first transmission shaft 56 are arranged concentrically around the first rotation axis Ax1. The second transmission shaft 76 is held by the first transmission shaft 56 via bearings so as to be relatively rotatable.

第３伝動軸７７は中空軸からなり、第２動力伝達機構ＰＴ２の第１伝動機構４６のプーリ６１ｂ及び第２減速機５０を貫通してＺ方向に延在している。第３伝動軸７７は、第１伝動機構４６のプーリ６１ｂ及び第２減速機５０の下部ケーシング５５ｂにベアリングを介して相対回転が可能な状態で保持されている。 The third transmission shaft 77 is a hollow shaft and extends in the Z direction through the pulley 61b and the second speed reducer 50 of the first transmission mechanism 46 of the second power transmission mechanism PT2. The third transmission shaft 77 is held by the pulley 61b of the first transmission mechanism 46 and the lower casing 55b of the second speed reducer 50 in a relatively rotatable state via bearings.

この構成により、第３モータ３３の出力軸３３ａの回転が、第１アーム部２３及び第２アーム部２４を通じて第３減速機７０の入力部（ウェーブジェネレータ）に伝達され、この第３減速機７０で回転速度が減速されながらツール装着部２５に伝達される。これにより、ツール装着部２５が第２アーム部２４に対して所定の回転速度で第３回転軸Ａｘ３回りに回転する。 With this configuration, the rotation of the output shaft 33a of the third motor 33 is transmitted to the input portion (wave generator) of the third reduction gear 70 through the first arm portion 23 and the second arm portion 24, and the third reduction gear 70 is transmitted to the tool mounting portion 25 while the rotational speed is reduced at . As a result, the tool mounting portion 25 rotates about the third rotation axis Ax3 with respect to the second arm portion 24 at a predetermined rotation speed.

なお、第３動力伝達機構ＰＴ３の第２伝動軸７６の内側には、当該第２伝動軸７６を貫通してベース部２０から第１アーム部２３に亘って延在する、中空軸からなる第１配線保護軸９０が配置されている。また、第３伝動軸７７の内側には、当該第３伝動軸７７を貫通して第１アーム部２３から第２アーム部２４に亘って延在する、中空軸からなる第２配線保護軸９４が配置されている。第１配線保護軸９０、第２伝動軸７６及び第１伝動軸５６は、共に断面円形の中空軸（円筒体）であり、これら第１配線保護軸９０、第２伝動軸７６及び第１伝動軸５６は、第１回転軸Ａｘ１を中心とする同心円状にこの順番で内側から配置されている。また、第２配線保護軸９４及び第３伝動軸７７は、共に断面円形の中空軸（円筒体）であり、これら第２配線保護軸９４及び第３伝動軸７７は、第２回転軸Ａｘ２を中心とする同心円状にこの順番で内側から配置されている。 In addition, inside the second transmission shaft 76 of the third power transmission mechanism PT3, a hollow shaft extending from the base portion 20 to the first arm portion 23 through the second transmission shaft 76 is provided. A one-wire protection shaft 90 is arranged. Inside the third transmission shaft 77, a second wire protection shaft 94 made of a hollow shaft extends from the first arm portion 23 to the second arm portion 24 through the third transmission shaft 77. are placed. The first wiring protection shaft 90, the second transmission shaft 76 and the first transmission shaft 56 are all hollow shafts (cylindrical bodies) with a circular cross section. The shafts 56 are arranged from the inside in this order concentrically around the first rotation axis Ax1. The second wiring protection shaft 94 and the third transmission shaft 77 are both hollow shafts (cylindrical bodies) having a circular cross section, and the second wiring protection shaft 94 and the third transmission shaft 77 extend along the second rotating shaft Ax2. They are arranged in this order from the inside concentrically with the center.

これら第１、第２の配線保護軸９０、９４は、スカラロボット２内に配索される電線類、すなわちツール装着部２５に装着されるツール駆動用の電線及び／又は可撓性を有するパイプ（チューブ）を保護するものである。パイプは、例えば圧縮空気などの給排に用いられるものである。図示を省略するが、スカラロボット２の内部には、この電線類がベース部２０からツール装着部２５に亘って配索されている。概略的には、ベース部２０から第１配線保護軸９０、第１アーム部２３、第２配線保護軸９４、第２アーム部２４及び第３減速機７０を通過するように電線類が配索されている。 These first and second wiring protection shafts 90 and 94 are connected to electric wires to be routed inside the SCARA robot 2, that is, electric wires for tool driving and/or flexible pipes attached to the tool attachment portion 25. (tube). A pipe is used for supplying and discharging compressed air, for example. Although not shown, these electric wires are routed from the base portion 20 to the tool mounting portion 25 inside the SCARA robot 2 . Schematically, wires are routed from the base portion 20 so as to pass through the first wire protection shaft 90, the first arm portion 23, the second wire protection shaft 94, the second arm portion 24, and the third reduction gear 70. It is

第１、第２の配線保護軸９０、９４は、後述する通り、ベース部２０内に導入される空気（クリーンエア）をロボットアーム２２に亘って流動させる機能も備える。すなわち、第１配線保護軸９０は、ベース部２０に導入されるエアを第１減速機４０の内部を通じて第１アーム部２３に導入する第１連絡通路１０１を形成し、第２配線保護軸９４は、第１アーム部２３に導入されるエアを第２減速機５０の内部を通じて第２アーム部２４に導入する第２連絡通路１０２を形成する。 The first and second wiring protection shafts 90 and 94 also have a function of causing the air (clean air) introduced into the base portion 20 to flow over the robot arm 22, as will be described later. That is, the first wiring protection shaft 90 forms a first communication passage 101 that introduces the air introduced into the base portion 20 into the first arm portion 23 through the interior of the first reduction gear 40, and the second wiring protection shaft 94 forms a second communication passage 102 that introduces the air introduced into the first arm portion 23 into the second arm portion 24 through the interior of the second reduction gear 50 .

第１配線保護軸９０は、第３動力伝達機構ＰＴ３のプーリ７９ｂに固定された連結部材９１にベアリング９２を介して相対回転可能に支持されている。また、第２配線保護軸９４は、第３動力伝達機構ＰＴ３のプーリ８４ａに固定された連結部材９５にベアリング９６を介して相対回転可能に支持されている。両配線保護軸９０、９４の上端部は、第１アーム部２３のケーシング２３１に対して回転不能に連結されている。 The first wiring protection shaft 90 is rotatably supported via a bearing 92 by a connecting member 91 fixed to the pulley 79b of the third power transmission mechanism PT3. Also, the second wire protection shaft 94 is rotatably supported via a bearing 96 by a connecting member 95 fixed to the pulley 84a of the third power transmission mechanism PT3. Upper ends of both wiring protection shafts 90 and 94 are non-rotatably connected to the casing 231 of the first arm portion 23 .

［スカラロボット２の防塵構造］
図２及び図４に示すように、ベース部２０には空気導入部１１０が設けられている。この空気導入部１１０には、図外のコンプレッサ等に清浄フィルタ等を介して接続された空気供給ホース１１２の末端部分が接続されている。これにより、一定圧力の空気（クリーンエア）がベース部２０の内部に導入されるようになっている。[Dust-proof structure of SCARA robot 2]
As shown in FIGS. 2 and 4, the base portion 20 is provided with an air introduction portion 110 . The air introduction portion 110 is connected to an end portion of an air supply hose 112 which is connected to a compressor (not shown) or the like via a cleaning filter or the like. Air (clean air) at a constant pressure is thereby introduced into the base portion 20 .

ベース部２０内に導入された空気は、図６中に実線矢印（符号ＦＬ１）で示すように、第１配線保護軸９０からなる第１連絡通路１０１（図４参照）を通じて第１アーム部２３の内部に導入され、さらに配線保護軸９４からなる第２連絡通路１０２（図５参照）を通じて第１アーム部２３から第２アーム部２４に導入され、さらに第３減速機７０の内側の空間（第３連絡通路１０３という／図５参照）を通じてツール装着部２５に導入されることとなる。これにより、スカラロボット２の内部全体が正圧となり、スカラロボット２に形成される各種隙間から外部に空気が噴出（漏出）し、スカラロボット２の内部への粉塵の侵入が防止されるようになっている。 The air introduced into the base portion 20 passes through the first communication passage 101 (see FIG. 4) formed by the first wiring protection shaft 90, as indicated by the solid arrow (symbol FL1) in FIG. , further introduced from the first arm portion 23 to the second arm portion 24 through the second communication passage 102 (see FIG. 5) formed by the wiring protection shaft 94, and further introduced into the space inside the third reduction gear 70 ( It will be introduced into the tool mounting portion 25 through a third communication passage 103 (see FIG. 5). As a result, the entire interior of the SCARA robot 2 becomes a positive pressure, air is blown out (leaks) to the outside from various gaps formed in the SCARA robot 2, and dust is prevented from entering the interior of the SCARA robot 2. It's becoming

なお、このスカラロボット２には、第１～第３の減速機４０、５０、７０の前記隙間４４ａ、５４ａ、７４ａから適切に空気が噴射されるように、ベース部２０の内部と第１減速機４０の内部とを連通させる第１オリフィス通路１２０と、第２アーム部２４の内部と第２減速機５０の内部とを連通させる第２オリフィス通路１３０と、ツール装着部２５の内部と第３減速機７０の内部とを連通させる第３オリフィス通路１４０とが設けられている。 In addition, the SCARA robot 2 is provided with the inside of the base part 20 and the first reduction gear so that the air is appropriately jetted from the gaps 44a, 54a, 74a of the first to third reduction gears 40, 50, 70. A first orifice passage 120 communicating with the inside of the machine 40; a second orifice passage 130 communicating the inside of the second arm portion 24 and the inside of the second reduction gear 50; A third orifice passage 140 that communicates with the inside of the speed reducer 70 is provided.

図４に示すように、第１オリフィス通路１２０は、第１減速機４０のケーシング４４の周壁部近傍の位置に設けられたＺ方向に延在する通路である。この第１オリフィス通路１２０は、第１減速機４０側の通路面積が反第１減速機４０側（ベース部２０側）の通路面積よりも小さくなる部分を備えた通路である。具体的には、第１オリフィス通路１２０は、第１減速機４０のケーシング４４（下部ケーシング４５ｂ）及びベース部２０のケーシング２３１に、これらをＺ方向に貫通するように形成された一定径の孔部１２１と、ベース部２０の内部においてこの孔部１２１に着脱可能に螺着されたオリフィス継手１２２とで構成されている。なお、「オリフィス継手」とは、内部に通路を有しかつ当該通路の径が一方側から他方側に向かって急激に狭まる部分を有した円筒状の部材である。 As shown in FIG. 4 , the first orifice passage 120 is a passage extending in the Z direction provided near the peripheral wall portion of the casing 44 of the first reduction gear 40 . The first orifice passage 120 is a passage having a portion where the passage area on the first reduction gear 40 side is smaller than the passage area on the anti-first reduction gear 40 side (base portion 20 side). Specifically, the first orifice passage 120 is a hole of constant diameter formed in the casing 44 (lower casing 45b) of the first speed reducer 40 and the casing 231 of the base portion 20 so as to pass through them in the Z direction. A portion 121 and an orifice joint 122 detachably screwed into the hole portion 121 inside the base portion 20 . An "orifice joint" is a cylindrical member that has a passage therein and has a portion in which the diameter of the passage sharply narrows from one side to the other side.

図５に示すように、第２オリフィス通路１３０は、第２減速機５０のケーシング５４の周壁部近傍の位置に設けられたＺ方向に延在する通路である。この第２オリフィス通路１３０は、第２減速機５０側の通路面積が反第２減速機５０側（第２アーム部２４側）の通路面積よりも小さくなる部分を備えた通路である。具体的には、第２オリフィス通路１３０は、第２減速機５０のケーシング５４（下部ケーシング５５ｂ）及び第２アーム部２４のケーシング２４１に、これらをＺ方向に貫通するように形成された一定径の孔部１３１と、ベース部２０の内部においてこの孔部１２１に着脱可能に螺着されたオリフィス継手１３２とで構成されている。 As shown in FIG. 5 , the second orifice passage 130 is a passage extending in the Z direction provided near the peripheral wall portion of the casing 54 of the second speed reducer 50 . The second orifice passage 130 is a passage having a portion where the passage area on the second reduction gear 50 side is smaller than the passage area on the anti-second reduction gear 50 side (second arm portion 24 side). Specifically, the second orifice passage 130 is formed in the casing 54 (lower casing 55b) of the second speed reducer 50 and the casing 241 of the second arm portion 24 so as to pass through them in the Z direction. and an orifice joint 132 detachably screwed into the hole 121 inside the base portion 20 .

第３オリフィス通路１４０は、第３減速機７０のケーシング７４の周壁部近傍の位置に設けられたＺ方向に延在する通路である。この第３オリフィス通路１４０は、第３減速機７０側の通路面積が反第３減速機７０側（ツール装着部２５側）の通路面積よりも小さくなる部分を備えた通路である。具体的には、第３オリフィス通路１４０は、第３減速機７０のケーシング７４（下部ケーシング７５ｂ）に、これをＺ方向に貫通するように形成された一定径の孔部１４１と、ツール装着部２５の内部においてこの孔部１４１に着脱可能に螺着されたオリフィス継手１４２とで構成されている。 The third orifice passage 140 is a passage extending in the Z direction provided near the peripheral wall portion of the casing 74 of the third reduction gear 70 . The third orifice passage 140 is a passage having a portion where the passage area on the side of the third reduction gear 70 is smaller than the passage area on the side opposite to the third reduction gear 70 (on the side of the tool mounting portion 25). Specifically, the third orifice passage 140 includes a hole portion 141 having a constant diameter formed in the casing 74 (lower casing 75b) of the third speed reducer 70 so as to penetrate the casing 74 (lower casing 75b) in the Z direction, and a tool mounting portion. 25 and an orifice joint 142 detachably screwed into the hole 141 .

このような第１～第３のオリフィス通路１２０、１３０、１４０が設けられることにより、第１～第３の減速機４０、５０、７０の前記隙間４４ａ、５４ａ、７４ａから適切に空気が噴出され、当該隙間４４ａ、５４ａ、７４ａからの粉塵の侵入が高度に抑制される。すなわち、オリフィス通路１２０、１３０、１４０が設けられていない場合には、スカラロボット２内の空気の流れは、必ずしも、図６中の符号ＦＬ１で示す流れが支配的とはならない。例えばベース部２０に導入された空気は、第１連絡通路１０１を通じて第１アーム部２３に流動する一方で、機構部分の隙間や部材間の隙間を通じて第１減速機４０に流動して前記隙間４４ａから漏出するとともに、スカラロボット２に形成されるその他の隙間（例えば部材同士の組付け部分の隙間）から無秩序に漏出する。そのため、ロボットアーム２２の先端に向かう程、空気流量が少なくなり、第２、第３の減速機５０、７０（隙間５４ａ、７４ａ）において十分な防塵効果が得られない場合がある。 By providing such first to third orifice passages 120, 130, 140, air can be appropriately ejected from the gaps 44a, 54a, 74a of the first to third reduction gears 40, 50, 70. , the entry of dust through the gaps 44a, 54a, 74a is highly suppressed. That is, when the orifice passages 120, 130, 140 are not provided, the air flow inside the SCARA robot 2 is not necessarily dominated by the flow indicated by symbol FL1 in FIG. For example, the air introduced into the base portion 20 flows to the first arm portion 23 through the first communication passage 101, and flows to the first speed reducer 40 through the gaps between the mechanical parts and the gaps between the members to reach the gap 44a. , and randomly leaks out from other gaps formed in the SCARA robot 2 (for example, gaps between parts where members are assembled). Therefore, the air flow rate decreases toward the tip of the robot arm 22, and the second and third reduction gears 50 and 70 (clearances 54a and 74a) may not provide sufficient dust prevention effects.

これに対して、第１～第３のオリフィス通路１２０、１３０、１４０が設けた上記スカラロボット２の構成によれば、空気導入部１１０からベース部２０に導入される空気の大部分は、第１連絡通路１０１を通じて第１アーム部２３の内部に導入される。また、第１オリフィス通路１２０を通じて第１減速機４０の内部にも空気が導入される。一旦第１オリフィス通路１２０を通じて第１減速機４０に空気が導入されると、この第１オリフィス通路１２０を通じた空気の流路（図６中の符号ＦＬ２を付した破線矢印を参照）が確立され、第１減速機４０の内部に積極的に空気が導入される。これにより、第１減速機４０の周囲において形成されるその他の隙間（部材同士の組付け部分の隙間）などから大量の空気が無秩序に漏出することが抑制され、第１アーム部２３及び第１減速機４０への空気の導入が促進される。この際、第１オリフィス通路１２０内で流路面積が絞られていることにより、必要以上に第１減速機４０に空気が導入されることが抑制される。 On the other hand, according to the structure of the SCARA robot 2 provided with the first to third orifice passages 120, 130, 140, most of the air introduced from the air introduction portion 110 into the base portion 20 is It is introduced into the first arm portion 23 through the 1 communication passage 101 . Air is also introduced into the first reduction gear 40 through the first orifice passage 120 . Once the air is introduced into the first reduction gear 40 through the first orifice passage 120, an air flow path through the first orifice passage 120 (see the dashed arrow labeled FL2 in FIG. 6) is established. , air is positively introduced into the first reduction gear 40 . As a result, a large amount of air is prevented from randomly leaking out from other gaps formed around the first reduction gear 40 (clearances between parts where the members are assembled). The introduction of air into the speed reducer 40 is facilitated. At this time, since the passage area is narrowed in the first orifice passage 120, introduction of air into the first speed reducer 40 more than necessary is suppressed.

また、第１連絡通路１０１を通じて第１アーム部２３に導入された空気は、第２連絡通路１０２を通じて第２アーム部２４の内部に導入される。また、第２アーム部２４内において、第２オリフィス通路１３０を通じて第２減速機５０の内部にも空気が導入される。一旦第２オリフィス通路１３０を通じて第２減速機５０の内部に空気が導入されると、この第２オリフィス通路１３０を通じた空気の流路（図６中の符号ＦＬ３を付した破線矢印を参照）が確立され、第２減速機５０の内部に積極的に空気が導入される。これにより、第２減速機５０の周囲において形成されるその他の隙間（部材同士の組付け部分の隙間）などから大量の空気が無秩序に漏出することが抑制され、ツール装着部２５及び第２減速機５０への空気の導入が促進される。この際、第２オリフィス通路１３０内で流路面積が絞られていることにより、必要以上に第２減速機５０に空気が導入されることが抑制される。 Also, the air introduced into the first arm portion 23 through the first communication passage 101 is introduced into the second arm portion 24 through the second communication passage 102 . Air is also introduced into the second reduction gear 50 through the second orifice passage 130 in the second arm portion 24 . Once air is introduced into the interior of the second speed reducer 50 through the second orifice passage 130, the flow path of the air through the second orifice passage 130 (see the dashed arrow labeled FL3 in FIG. 6) is formed. established, and air is actively introduced into the interior of the second reduction gear 50 . As a result, a large amount of air is prevented from randomly leaking from other gaps formed around the second reduction gear 50 (clearances between parts where members are assembled), and the like. The introduction of air into the machine 50 is facilitated. At this time, since the passage area in the second orifice passage 130 is narrowed, introduction of air into the second speed reducer 50 more than necessary is suppressed.

また、第２アーム部２４から第３連絡通路１０３を通じてツール装着部２５に導入された空気は、第３オリフィス通路１４０を通じて第３減速機７０の内部に導入され、この第３オリフィス通路１４０を通じた空気の流路（図６中の符号ＦＬ４を付した破線矢印を参照）が確立され、第３減速機７０の内部に積極的に空気が導入される。これにより、第３減速機７０の周囲において形成されるその他の隙間（部材同士の組付け部分の隙間）などから大量の空気が無秩序に漏出することが抑制され、第２減速機５０への空気の導入が促進される。 Further, the air introduced from the second arm portion 24 through the third communication passage 103 into the tool mounting portion 25 is introduced into the third reduction gear 70 through the third orifice passage 140, and passes through the third orifice passage 140. An air flow path (see dashed arrows labeled FL4 in FIG. 6) is established, and air is positively introduced into the third reduction gear 70 . As a result, a large amount of air is prevented from randomly leaking out from other gaps formed around the third reduction gear 70 (clearances between parts where members are assembled), etc., and the air to the second reduction gear 50 introduction of

従って、上記スカラロボット２によれば、ベース部２０からロボットアーム２２に亘ってその内圧を適切に高めながら、第１～第３の全ての減速機４０、５０、７０についてそれらの隙間４４ａ、５４ａ、７４ａから空気を噴出させることができ、その結果、全ての減速機４０、５０、７０について粉塵の侵入を高度に抑制することが可能となる。 Therefore, according to the SCARA robot 2, while appropriately increasing the internal pressure from the base part 20 to the robot arm 22, the gaps 44a, 54a between all the first to third reduction gears 40, 50, 70 are adjusted. , 74a, and as a result, it is possible to highly suppress the intrusion of dust in all of the reduction gears 40, 50, and 70. As shown in FIG.

なお、上記スカラロボット２では、第１～第３のオリフィス通路１２０、１３０、１４０は、何れも一定径の孔部１２１、１３１、１４１にオリフィス継手１２２、１３２、１４２が着脱可能に螺着された構成であるが、オリフィス継手１２２、１３２、１４２を用いることなく、孔部１２１、１３１、１４１の内径を途中で変化されることより構成されてもよい。但し、スカラロボット２の内部で発生した粉塵等の異物が詰まって第１～第３のオリフィス通路１２０、１３０、１４０が目詰まりを起こす（不通となる）ことも考えられるので、メンテナンス性を考慮すると、オリフィス継手１２２、１３２、１４２を用いた構成であるのが望ましい。すなわち、当該構成によれば、第１～第３のオリフィス通路１２０、１３０、１４０が目詰まりを起こした場合でも、オリフィス継手１２２、１３２、１４２を交換することで速やかにオリフィス通路１２０、１３０、１４０を開通させることが可能となる。 In the SCARA robot 2, the first to third orifice passages 120, 130, 140 have orifice joints 122, 132, 142 detachably screwed into holes 121, 131, 141 of constant diameter. However, the inner diameters of the holes 121 , 131 , 141 may be changed midway without using the orifice joints 122 , 132 , 142 . However, it is conceivable that the first to third orifice passages 120, 130, and 140 may become clogged (disconnected) due to clogging with foreign matter such as dust generated inside the SCARA robot 2, so maintainability is considered. Then, a configuration using orifice couplings 122, 132, 142 is desirable. That is, according to this configuration, even when the first to third orifice passages 120, 130, 140 are clogged, the orifice passages 120, 130, 140 can be quickly cleared by replacing the orifice couplings 122, 132, 142. 140 can be opened.

また、上記スカラロボット２では、第１配線保護軸９０によってベース部２０から第１アーム部２３に空気を導入する第１連絡通路１０１が形成され、第２配線保護軸９４によって、第１アーム部２３から第２アーム部２４に空気を導入する第２連絡通路１０２が形成されている。しかし、スカラロボット２は、これら第１、第２の配線保護軸９０、９４が省略された構成であってもよい。この場合には、第３動力伝達機構ＰＴ３の第２伝動軸７６によって、ベース部２０から第１アーム部２３に空気を導入する第１連絡通路１０１が形成され、第３動力伝達機構ＰＴ３の第３伝動軸７７によって、第１アーム部２３から第２アーム部２４に空気を導入する第２連絡通路１０２が形成されている。 In the SCARA robot 2, the first wiring protection shaft 90 forms the first communication passage 101 for introducing air from the base portion 20 to the first arm portion 23, and the second wiring protection shaft 94 forms the first communication passage 101 for introducing air into the first arm portion A second communication passage 102 is formed for introducing air from 23 to the second arm portion 24 . However, the SCARA robot 2 may have a configuration in which the first and second wiring protection shafts 90 and 94 are omitted. In this case, the second transmission shaft 76 of the third power transmission mechanism PT3 forms the first communication passage 101 for introducing air from the base portion 20 to the first arm portion 23, and the second communication passage 101 of the third power transmission mechanism PT3 is formed. A second communication passage 102 for introducing air from the first arm portion 23 to the second arm portion 24 is formed by the three transmission shafts 77 .

［変形例］
以上、本発明に係るスカラロボット２が適用された産業用ロボット１の実施形態について説明したが、上記スカラロボット２は本発明に係る多関節ロボットの好ましい実施形態の例示であって、スカラロボット２やこれを含む産業用ロボット１の具体的な構成は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、以下のような態様を採用することも可能である。例えば、以下のような態様を採用することも可能である。[Modification]
The embodiment of the industrial robot 1 to which the SCARA robot 2 according to the present invention is applied has been described above. and the specific configuration of the industrial robot 1 including this can be changed as appropriate without departing from the gist of the present invention. For example, it is also possible to employ the following aspects. For example, it is also possible to employ the following aspects.

（１）実施形態では、第１オリフィス通路１２０は、ベース部２０の内部と第１減速機４０の内部とを連通するが、第１オリフィス通路１２０は、第１アーム部２３の内部と第１減速機４０の内部とを連通するものであってもよい。また、実施形態では、第２オリフィス通路１３０は、第２アーム部２４の内部と第２減速機５０の内部とを連通するが、第２オリフィス通路１３０は、第１アーム部２３の内部と第１減速機４０の内部とを連通するものであってもよい。また、実施形態では、第３オリフィス通路１４０は、ツール装着部２５の内部と第３減速機７０の内部とを連通するが、第３オリフィス通路１４０は、第２アーム部２４と第３減速機７０の内部とを連通するものであってもよい。 (1) In the embodiment, the first orifice passage 120 communicates between the inside of the base portion 20 and the inside of the first reduction gear 40, but the first orifice passage 120 communicates between the inside of the first arm portion 23 and the first It may communicate with the inside of the speed reducer 40 . In addition, in the embodiment, the second orifice passage 130 communicates the inside of the second arm portion 24 and the inside of the second reduction gear 50 , but the second orifice passage 130 communicates the inside of the first arm portion 23 with the inside of the second reduction gear 50 . It may communicate with the inside of the 1 speed reducer 40 . Further, in the embodiment, the third orifice passage 140 communicates the inside of the tool mounting portion 25 and the inside of the third reduction gear 70, but the third orifice passage 140 communicates with the second arm portion 24 and the third reduction gear. It may communicate with the inside of 70 .

（２）実施形態では、スカラロボット２の内部に電線類１００が配索されているが、必要な場合には、スカラロボット２の外部に電線類１００を設けるようにしてもよい。この場合には、第１、第２の配線保護軸９０、９４は省略可能である。第１、第２の配線保護軸９０、９４を省略する場合には、第２伝動軸７６や第３伝動軸７７を中実軸とすることもできる。 (2) In the embodiment, the wires 100 are routed inside the SCARA robot 2, but the wires 100 may be provided outside the SCARA robot 2 if necessary. In this case, the first and second wiring protection shafts 90, 94 can be omitted. When the first and second wiring protection shafts 90 and 94 are omitted, the second transmission shaft 76 and the third transmission shaft 77 can be solid shafts.

（３）実施形態では、単軸ロボット３のスライダ１２にスカラロボット２が固定され、これによりスカラロボット２がＺ方向に移動する構成である。しかし、スカラロボット２は、ベース部２０が接地面に固定されて使用されるものであってもよい。 (3) In the embodiment, the SCARA robot 2 is fixed to the slider 12 of the single-axis robot 3, thereby moving the SCARA robot 2 in the Z direction. However, the SCARA robot 2 may be used with the base portion 20 fixed to the ground surface.

（４）実施形態のスカラロボット２は、第２アーム部２４が第１アーム部２３に対して上方に位置する構成であるが、第２アーム部２４が第１アーム部２３に対して下方に位置する構成であってもよい。 (4) The SCARA robot 2 of the embodiment has a configuration in which the second arm portion 24 is positioned above the first arm portion 23, but the second arm portion 24 is positioned below the first arm portion 23. It may also be a positioned configuration.

（５）実施形態では、本発明をスカラロボット２（水平多関節ロボット）に適用した例について説明したが、本発明は、垂直多関節ロボットなど他の多関節ロボットについても適用可能である。 (5) In the embodiment, an example in which the present invention is applied to the SCARA robot 2 (horizontal articulated robot) has been described, but the present invention is also applicable to other articulated robots such as vertical articulated robots.

［本発明のまとめ］
以上説明した本発明をまとめると以下の通りである。[Summary of the present invention]
The present invention described above is summarized as follows.

本発明の一局面に係る多関節ロボットは、中空構造のベース部と、このベース部に連結される中空構造の第１アーム部とを備えた多関節ロボットであって、前記ベース部に固定される第１部材と、この第１部材に所定間隔を隔てて対向した状態で前記第１アーム部に固定される第２部材とを備えた中空構造を有し、かつ前記ベース部と前記第１アーム部とを第１回転軸回りに相対回転可能に連結する第１関節部材と、前記ベース部の内部に空気を導入すべく当該ベース部に設けられた空気導入部と、前記第１関節部材の内部を通じて前記ベース部と前記第１アーム部とを連通させる第１連絡通路と、前記ベース部の内部と前記第１関節部材の内部、又は前記第１アーム部の内部と前記第１関節部材の内部とを、前記第１連絡通路とは異なる位置で連通させる通路であって、第１関節部材側の通路面積が反関節部材側の通路面積よりも小さくなる部分を有した第１オリフィス通路と、を備えているものである。 An articulated robot according to one aspect of the present invention is an articulated robot that includes a hollow-structured base portion and a hollow-structured first arm portion connected to the base portion, and is fixed to the base portion. and a second member fixed to the first arm portion in a state facing the first member with a predetermined gap, and the base portion and the first arm portion have a hollow structure. a first joint member that couples the arm portion so as to be relatively rotatable around a first rotation axis; an air introduction portion provided in the base portion to introduce air into the base portion; and the first joint member a first communication passage that communicates the base portion and the first arm portion through the inside of the base portion and the first joint member, or the inside of the first arm portion and the first joint member and the interior of the first orifice passage at a position different from the first communication passage, the first orifice passage having a portion in which the passage area on the first joint member side is smaller than the passage area on the opposite joint member side and

この多関節ロボットによれば、空気導入部からベース部に導入される空気の大部分は、第１連絡通路を通じて第１アーム部の内部に導入される。また、一旦、第１オリフィス通路を通じて第１関節部材の内部に空気が導入されると、この第１オリフィス通路を通じた空気の流路が確立され、第１関節部材の内部に積極的に空気が導入される。これにより、第１関節部材の周囲において形成される他の隙間から空気が無秩序に漏出することが抑制され、第１関節部材への空気の導入が促進される。従って、第１連絡通路によりベース部から第１アーム部への空気導入量を適切に確保しながら、第１関節部材の前記隙間からも適切に空気を漏出（噴出）させて、当該隙間への粉塵の侵入を抑制することができる。 According to this articulated robot, most of the air introduced from the air introducing portion into the base portion is introduced into the first arm portion through the first communication passage. Further, once air is introduced into the first joint member through the first orifice passage, an air flow path is established through the first orifice passage, and the air is positively introduced into the first joint member. be introduced. As a result, chaotic leakage of air from other gaps formed around the first joint member is suppressed, and the introduction of air into the first joint member is promoted. Therefore, while ensuring an appropriate amount of air introduced from the base portion to the first arm portion by the first communication passage, the air is appropriately leaked (ejected) from the gap of the first joint member to flow into the gap. Intrusion of dust can be suppressed.

この場合、前記第１オリフィス通路は、前記ベース部の内部と前記第１関節部材の内部、又は前記第１アーム部の内部と前記第１関節部材の内部とを連通させる孔部と、この孔部に着脱可能に装着されたオリフィス継手とにより構成されるのが好適である。 In this case, the first orifice passage includes a hole for communicating between the inside of the base portion and the inside of the first joint member, or between the inside of the first arm portion and the inside of the first joint member, and the hole. An orifice coupling detachably attached to the part is preferably configured.

この構成によれば、異物が侵入するなどして第１オリフィス通路が不通になった場合でも、オリフィス継手を交換することで第１オリフィス通路を速やかに開通させることが可能となる。そのため、メンテナンス性が向上する。 According to this configuration, even if the first orifice passage is blocked due to the intrusion of foreign matter, etc., the first orifice passage can be quickly opened by replacing the orifice coupling. Therefore, maintainability is improved.

上記各態様の多関節ロボットにおいて、前記第１関節部材は、円環状の構造を有する減速機からなり、前記第１連絡通路は、前記減速機の内側を貫通するように前記第１回転軸に沿って前記ベース部から前記第１アーム部に亘って延在する中空軸により形成されているのが好適である。 In the multi-joint robot according to each of the above aspects, the first joint member comprises a speed reducer having an annular structure, and the first communication passage extends along the first rotating shaft so as to pass through the inner side of the speed reducer. It is preferably formed by a hollow shaft extending along from the base portion to the first arm portion.

この構成によれば、減速機の内側（中心部分）の空間を利用して円滑にベース部から第１アーム部に空気を導入することができる。従って、合理的な構成でベース部から第１アーム部に空気を導入することが可能となる。 According to this configuration, it is possible to smoothly introduce air from the base portion to the first arm portion by using the space inside (center portion) of the speed reducer. Therefore, it becomes possible to introduce air from the base portion to the first arm portion with a rational configuration.

上記各態様の多関節ロボットにおいては、さらに、前記第１アーム部に連結される中空構造の第２アーム部と、前記第１アーム部に固定される第３部材と、この第３部材に所定間隔を隔てて対向した状態で前記第２アーム部に固定される第４部材とを備えた中空構造を有し、かつ前記第１アーム部と前記第２アーム部とを第２回転軸回りに相対回転可能に連結する第２関節部材と、前記第１アーム部に導入される空気を前記第２関節部材の内部を通じて前記第２アーム部に導入する第２連絡通路と、前記第１アーム部の内部と前記第２関節部材の内部、又は前記第２アーム部の内部と前記第２関節部材の内部とを、前記第２連絡通路とは異なる位置で連通させる通路であって、第２関節部材側の通路面積が反第２関節部材側の通路面積よりも小さくなる部分を有した第２オリフィス通路と、を備えているものであってもよい。 The articulated robot of each aspect described above further includes a second arm portion having a hollow structure connected to the first arm portion, a third member fixed to the first arm portion, and a predetermined and a fourth member fixed to the second arm portion in a state of being opposed to each other with a space therebetween, and the first arm portion and the second arm portion are rotated around a second rotation axis. A second joint member that is relatively rotatably connected, a second communication passage that introduces air introduced into the first arm portion into the second arm portion through the inside of the second joint member, and the first arm portion and the inside of the second joint member, or the inside of the second arm portion and the inside of the second joint member, at a position different from the second communication passage, the second joint and a second orifice passage having a portion where the passage area on the member side is smaller than the passage area on the anti-second joint member side.

この構成によれば、ベース部から第１アーム部に導入される空気の大部分は、第２連絡通路を通じて第２アーム部の内部に導入される。また、一旦、第２オリフィス通路を通じて第２関節部材の内部に空気が導入されると、この第２オリフィス通路を通じた空気の流路が確立され、第２関節部材の内部に積極的に空気が導入される。これにより、第２関節部材の周囲において形成される他の隙間などから空気が無秩序に漏出することが抑制され、第２関節部材への空気の導入が促進される。従って、第２連絡通路により第１アーム部から第２アーム部への空気導入量を適切に確保しながら、第２関節部材の前記隙間からも適切に空気を漏出（噴出）させて、当該隙間への粉塵の侵入を抑制することができる。 According to this configuration, most of the air introduced from the base portion into the first arm portion is introduced into the second arm portion through the second communication passage. Further, once air is introduced into the second joint member through the second orifice passage, an air flow path is established through the second orifice passage, and the air is positively introduced into the second joint member. be introduced. As a result, chaotic leakage of air from other gaps formed around the second joint member is suppressed, and the introduction of air into the second joint member is promoted. Therefore, while ensuring an appropriate amount of air introduced from the first arm portion to the second arm portion by the second communication passage, the air is appropriately leaked (jetted) from the gap of the second joint member, thereby It is possible to suppress the intrusion of dust into the

この場合、前記第２オリフィス通路は、前記第１アーム部の内部と前記第２関節部材の内部、又は前記第２アーム部の内部と前記第２関節部材の内部とを連通させる孔部と、この孔部に着脱可能に装着されたオリフィス継手とにより構成されるのが好適である。 In this case, the second orifice passage includes a hole for communicating between the inside of the first arm portion and the inside of the second joint member, or between the inside of the second arm portion and the inside of the second joint member; An orifice joint detachably attached to the hole is preferable.

この構成によれば、異物が侵入するなどして第２オリフィス通路が不通になった場合でも、オリフィス継手を交換することにより第２オリフィス通路を速やかに開通させることが可能となる。そのため、メンテナンス性が向上する。 According to this configuration, even if the second orifice passage is blocked due to the intrusion of foreign matter, etc., the second orifice passage can be quickly opened by replacing the orifice joint. Therefore, maintainability is improved.

また、上記の多関節ロボットにおいて、前記第２関節部材は、円環状の構造を有する減速機かなり、前記第２連絡通路は、前記減速機の内側を貫通するように前記第１アーム部から前記第２アーム部に亘って延在する中空軸により形成されているのが好適である。 Further, in the articulated robot described above, the second joint member may be a reducer having an annular structure, and the second communication passage may extend from the first arm portion to penetrate the inner side of the reducer. It is preferably formed by a hollow shaft extending over the second arm portion.

この構成によれば、減速機の内側（中心部分）の空間を利用して円滑に第１アーム部から第２アーム部に空気を導入することができる。従って、合理的な構成で第１アーム部から第２アーム部に空気を導入することが可能となる。 According to this configuration, it is possible to smoothly introduce air from the first arm portion to the second arm portion by utilizing the space inside (center portion) of the speed reducer. Therefore, it is possible to introduce air from the first arm portion to the second arm portion with a rational configuration.

上記各態様の多関節ロボットにおいては、さらに、前記第２アーム部に連結される中空構造のツール装着部と、前記第２アーム部に固定される第５部材と、この第５部材に所定間隔を隔てて対向した状態で前記ツール装着部に固定される第６部材とを備えた中空構造を有し、かつ前記第２アーム部と前記ツール装着部とを第３回転軸回りに相対回転可能に連結する第３関節部材と、前記第２アーム部に導入される空気を前記第３関節部材の内部を通じて前記ツール装着部に導入する第３連絡通路と、前記第２アーム部の内部と前記第３関節部材の内部、又は前記ツール装着部の内部と前記第３関節部材の内部とを、前記第３連絡通路とは異なる位置で連通させる通路であって、第３関節部材側の通路面積が反第３関節部材側の通路面積よりも小さくなる部分を有した第３オリフィス通路と、を備えているものであってもよい。 The articulated robot of each aspect described above further includes a tool mounting portion having a hollow structure connected to the second arm portion, a fifth member fixed to the second arm portion, and a predetermined space between the fifth member. and a sixth member fixed to the tool mounting portion in a state of being opposed to each other with the second arm portion and the tool mounting portion being rotatable relative to each other around a third rotation axis. a third joint member connected to the second arm portion, a third communication passage for introducing air introduced into the second arm portion into the tool mounting portion through the inside of the third joint member, the inside of the second arm portion and the A passage that communicates the inside of the third joint member or the inside of the tool mounting portion and the inside of the third joint member at a position different from the third communication passage, the passage area on the side of the third joint member and a third orifice passage having a portion smaller than the passage area on the opposite side of the third joint member.

この構成によれば、第１アーム部から第２アーム部に導入される空気の大部分は、第３連絡通路を通じてツール装着部の内部に導入される。また、一旦、第３オリフィス通路を通じて第３関節部材の内部に空気が導入されると、この第３オリフィス通路を通じた空気の流路が確立され、第３関節部材の内部に積極的に空気が導入される。これにより、第３関節部材の周囲において形成される他の隙間などから空気が無秩序に漏出することが抑制され、第３関節部材への空気の導入が促進される。従って、第３連絡通路により第２アーム部からツール装着部への空気導入量を適切に確保しながら、第３関節部材の前記隙間からも適切に空気を漏出（噴出）させて、当該隙間への粉塵の侵入を抑制することができる。 According to this configuration, most of the air introduced from the first arm portion to the second arm portion is introduced into the tool mounting portion through the third communication passage. Also, once air is introduced into the third joint member through the third orifice passage, an air flow path is established through the third orifice passage, and the air is positively introduced into the third joint member. be introduced. As a result, chaotic leakage of air from other gaps formed around the third joint member is suppressed, and the introduction of air into the third joint member is promoted. Therefore, while appropriately ensuring the amount of air introduced from the second arm portion to the tool mounting portion by the third communication passage, the air is appropriately leaked (jetted) from the gap of the third joint member to the gap. Intrusion of dust can be suppressed.

この場合、前記第３オリフィス通路は、前記第２アーム部の内部と前記第３関節部材の内部、又は前記ツール装着部の内部と前記第３関節部材の内部とを連通させる孔部と、この孔部に着脱可能に装着されたオリフィス継手とにより構成されるのが好適である。 In this case, the third orifice passage includes a hole for communicating between the inside of the second arm portion and the inside of the third joint member, or between the inside of the tool mounting portion and the inside of the third joint member. It is preferable to be configured by an orifice coupling detachably attached to the hole.

この構成によれば、異物が侵入するなどして第３オリフィス通路が不通になった場合でも、オリフィス継手を交換することにより第３オリフィス通路を速やかに開通させることが可能となる。そのため、メンテナンス性が向上する。 According to this configuration, even if the third orifice passage is blocked due to the intrusion of foreign matter or the like, the third orifice passage can be quickly opened by replacing the orifice coupling. Therefore, maintainability is improved.

本発明の他の一局面に係る多関節ロボットは、中空構造のベース部と、このベース部に連結される第１アーム部とを備えた多関節ロボットであって、前記ベースに固定される第１部材と、この第１部材に所定間隔を隔てて対向した状態で前記第１アーム部に固定される第２部材とを備えた中空構造を有し、かつ前記ベース部と前記第１アーム部とを第１回転軸回りに相対回転可能に連結する関節部材と、前記ベース部の内部に空気を導入すべく当該ベース部に設けられた空気導入部と、前記ベース部の内部と前記関節部材の内部とを連通させる通路であって、関節部材側の通路面積がベース部側の通路面積よりも小さくなる部分を有したオリフィス通路と、を備えているものである。 A multi-joint robot according to another aspect of the present invention is a multi-joint robot including a base portion having a hollow structure and a first arm portion connected to the base portion, the first arm portion being fixed to the base. A hollow structure comprising a first member and a second member fixed to the first arm portion in a state of facing the first member with a predetermined gap, and the base portion and the first arm portion a joint member for relatively rotating around a first rotation axis, an air introduction portion provided in the base portion for introducing air into the base portion, the inside of the base portion and the joint member and an orifice passage having a portion in which the joint member side passage area is smaller than the base portion side passage area.

この多関節ロボットによれば、空気導入部からベース部に導入された空気が一旦、オリフィス通路を通じて関節部材の内部に空気が導入されると、このオリフィス通路を通じた空気の流路が確立され、関節部材の内部に積極的に空気が導入される。これにより、ベース部に形成される他の隙間などから空気が無秩序に漏出することが抑制され、関節部材への空気の導入が促進される。従って、関節部材の前記隙間から適切に空気を漏出（噴出）させて、当該隙間への粉塵の侵入を抑制することができる。 According to this multi-joint robot, once the air introduced from the air introduction portion into the base portion is introduced into the interior of the joint member through the orifice passage, an air flow path is established through this orifice passage, Air is actively introduced into the interior of the joint member. As a result, chaotic leakage of air from other gaps or the like formed in the base portion is suppressed, and the introduction of air into the joint member is promoted. Therefore, air can be appropriately leaked (ejected) from the gap of the joint member, and dust can be prevented from entering the gap.

この場合、前記オリフィス通路は、前記ベース部の内部と前記関節部材の内部とを連通させる孔部と、この孔部に着脱可能に装着されたオリフィス継手とにより構成されるのが好適である。 In this case, it is preferable that the orifice passage comprises a hole that communicates the inside of the base portion with the inside of the joint member, and an orifice joint detachably attached to the hole.

この構成によれば、異物が侵入するなどしてオリフィス通路が不通になった場合でも、オリフィス継手を交換することによりオリフィス通路を速やかに開通させることが可能となる。そのため、メンテナンス性が向上する。 According to this configuration, even if the orifice passage is blocked due to the intrusion of foreign matter, etc., the orifice passage can be quickly opened by replacing the orifice joint. Therefore, maintainability is improved.

Claims (10)

中空構造のベース部と、このベース部に連結される中空構造の第１アーム部とを備えた多関節ロボットであって、
前記ベース部に固定される第１部材と、この第１部材に所定間隔を隔てて対向した状態で前記第１アーム部に固定される第２部材とを備えた中空構造を有し、かつ前記ベース部と前記第１アーム部とを第１回転軸回りに相対回転可能に連結する第１関節部材と、
前記ベース部の内部に空気を導入すべく当該ベース部に設けられた空気導入部と、
前記第１関節部材の内部を通じて前記ベース部と前記第１アーム部とを連通させる第１連絡通路と、
前記ベース部の内部と前記第１関節部材の内部、又は前記第１アーム部の内部と前記第１関節部材の内部とを、前記第１連絡通路とは異なる位置で連通させる通路であって、第１関節部材側の通路面積が反関節部材側の通路面積よりも小さくなる部分を有した第１オリフィス通路と、を備えている、ことを特徴とする多関節ロボット。 An articulated robot comprising a hollow-structured base and a hollow-structured first arm connected to the base,
a hollow structure comprising a first member fixed to the base portion and a second member fixed to the first arm portion while facing the first member at a predetermined interval; a first joint member that connects the base portion and the first arm portion so as to be relatively rotatable about a first rotation axis;
an air introduction portion provided in the base portion for introducing air into the inside of the base portion;
a first communication passage that communicates between the base portion and the first arm portion through the inside of the first joint member;
A passage that communicates the inside of the base portion and the inside of the first joint member, or the inside of the first arm portion and the inside of the first joint member at a position different from the first communication passage, A multi-joint robot comprising: a first orifice passage having a portion in which the passage area on the first joint member side is smaller than the passage area on the opposite joint member side. 請求項１に記載の多関節ロボットにおいて、
前記第１オリフィス通路は、前記ベース部の内部と前記第１関節部材の内部、又は前記第１アーム部の内部と前記第１関節部材の内部とを連通させる孔部と、この孔部に着脱可能に装着されたオリフィス継手とにより構成される、ことを特徴とする多関節ロボット。 The articulated robot according to claim 1,
The first orifice passage includes a hole that communicates between the inside of the base portion and the inside of the first joint member or between the inside of the first arm portion and the inside of the first joint member, and is attached to and detached from the hole. An articulated robot, characterized in that it comprises an orifice joint that can be mounted. 請求項１又は２に記載の多関節ロボットにおいて、
前記第１関節部材は、円環状の構造を有する減速機からなり、
前記第１連絡通路は、前記減速機の内側を貫通するように前記第１回転軸に沿って前記ベース部から前記第１アーム部に亘って延在する中空軸により形成されている、ことを特徴とする多関節ロボット。 In the articulated robot according to claim 1 or 2,
The first joint member comprises a speed reducer having an annular structure,
The first communication passage is formed by a hollow shaft extending from the base portion to the first arm portion along the first rotating shaft so as to penetrate the inside of the speed reducer. Characteristic articulated robot. 請求項１乃至３の何れか一項に記載の多関節ロボットにおいて、
前記第１アーム部に連結される中空構造の第２アーム部と、
前記第１アーム部に固定される第３部材と、この第３部材に所定間隔を隔てて対向した状態で前記第２アーム部に固定される第４部材とを備えた中空構造を有し、かつ前記第１アーム部と前記第２アーム部とを第２回転軸回りに相対回転可能に連結する第２関節部材と、
前記第１アーム部に導入される空気を前記第２関節部材の内部を通じて前記第２アーム部に導入する第２連絡通路と、
前記第１アーム部の内部と前記第２関節部材の内部、又は前記第２アーム部の内部と前記第２関節部材の内部とを、前記第２連絡通路とは異なる位置で連通させる通路であって、第２関節部材側の通路面積が反第２関節部材側の通路面積よりも小さくなる部分を有した第２オリフィス通路と、を備えている、ことを特徴とする多関節ロボット。 The articulated robot according to any one of claims 1 to 3,
a second arm portion having a hollow structure connected to the first arm portion;
A hollow structure comprising a third member fixed to the first arm and a fourth member fixed to the second arm facing the third member at a predetermined distance, and a second joint member that connects the first arm portion and the second arm portion so as to be relatively rotatable about a second rotation axis;
a second communication passage for introducing the air introduced into the first arm portion to the second arm portion through the inside of the second joint member;
A passage that communicates between the inside of the first arm portion and the inside of the second joint member or between the inside of the second arm portion and the inside of the second joint member at a position different from the second communication passage. and a second orifice passage having a portion where the passage area on the second joint member side is smaller than the passage area on the anti-second joint member side. 請求項４に記載の多関節ロボットにおいて、
前記第２オリフィス通路は、前記第１アーム部の内部と前記第２関節部材の内部、又は前記第２アーム部の内部と前記第２関節部材の内部とを連通させる孔部と、この孔部に着脱可能に装着されたオリフィス継手とにより構成される、ことを特徴とする多関節ロボット。 In the articulated robot according to claim 4,
The second orifice passage includes a hole for communicating between the inside of the first arm portion and the inside of the second joint member, or between the inside of the second arm portion and the inside of the second joint member, and the hole portion. An articulated robot characterized by comprising an orifice joint detachably attached to a joint. 請求項４又は５に記載の多関節ロボットにおいて、
前記第２関節部材は、円環状の構造を有する減速機かなり、
前記第２連絡通路は、前記減速機の内側を貫通するように前記第１アーム部から前記第２アーム部に亘って延在する中空軸により形成されている、ことを特徴とする多関節ロボット。 In the articulated robot according to claim 4 or 5,
The second joint member is a speed reducer having an annular structure,
The articulated robot, wherein the second communication passage is formed by a hollow shaft extending from the first arm portion to the second arm portion so as to pass through the inner side of the speed reducer. . 請求項４乃至６の何れか一項に記載の多関節ロボットにおいて、
前記第２アーム部に連結される中空構造のツール装着部と、
前記第２アーム部に固定される第５部材と、この第５部材に所定間隔を隔てて対向した状態で前記ツール装着部に固定される第６部材とを備えた中空構造を有し、かつ前記第２アーム部と前記ツール装着部とを第３回転軸回りに相対回転可能に連結する第３関節部材と、
前記第２アーム部に導入される空気を前記第３関節部材の内部を通じて前記ツール装着部に導入する第３連絡通路と、
前記第２アーム部の内部と前記第３関節部材の内部、又は前記ツール装着部の内部と前記第３関節部材の内部とを、前記第３連絡通路とは異なる位置で連通させる通路であって、第３関節部材側の通路面積が反第３関節部材側の通路面積よりも小さくなる部分を有した第３オリフィス通路と、を備えている、ことを特徴とする多関節ロボット。 The articulated robot according to any one of claims 4 to 6,
a hollow tool mounting portion connected to the second arm;
a hollow structure including a fifth member fixed to the second arm portion and a sixth member fixed to the tool mounting portion while facing the fifth member at a predetermined interval; a third joint member that connects the second arm portion and the tool mounting portion so as to be relatively rotatable about a third rotation axis;
a third communication passage through which the air introduced into the second arm portion is introduced into the tool mounting portion through the interior of the third joint member;
A passage that communicates between the inside of the second arm portion and the inside of the third joint member, or between the inside of the tool mounting portion and the inside of the third joint member, at a position different from the third communication passage. and a third orifice passage having a portion where the passage area on the side of the third joint member is smaller than the passage area on the side opposite to the third joint member. 請求項７に記載の多関節ロボットにおいて、
前記第３オリフィス通路は、前記第２アーム部の内部と前記第３関節部材の内部、又は前記ツール装着部の内部と前記第３関節部材の内部とを連通させる孔部と、この孔部に着脱可能に装着されたオリフィス継手とにより構成される、ことを特徴とする多関節ロボット。 In the articulated robot according to claim 7,
The third orifice passage includes a hole that communicates between the inside of the second arm portion and the inside of the third joint member, or between the inside of the tool mounting portion and the inside of the third joint member; An articulated robot characterized by comprising an orifice joint that is detachably attached. 中空構造のベース部と、このベース部に連結される第１アーム部とを備えた多関節ロボットであって、
前記ベース部に固定される第１部材と、この第１部材に所定間隔を隔てて対向した状態で前記第１アーム部に固定される第２部材とを備えた中空構造を有し、かつ前記ベース部と前記第１アーム部とを第１回転軸回りに相対回転可能に連結する関節部材と、
前記ベース部の内部に空気を導入すべく当該ベース部に設けられた空気導入部と、
前記ベース部の内部と前記関節部材の内部とを連通させる通路であって、関節部材側の通路面積がベース部側の通路面積よりも小さくなる部分を有したオリフィス通路と、を備えている、ことを特徴とする多関節ロボット。 A multi-joint robot comprising a hollow base and a first arm connected to the base,
a hollow structure comprising a first member fixed to the base portion and a second member fixed to the first arm portion while facing the first member at a predetermined interval; a joint member that connects the base portion and the first arm portion so as to be relatively rotatable about a first rotation axis;
an air introduction portion provided in the base portion for introducing air into the inside of the base portion;
an orifice passage that communicates between the inside of the base portion and the inside of the joint member, the orifice passage having a portion in which the passage area on the joint member side is smaller than the passage area on the base portion side; An articulated robot characterized by: 請求項９に記載の多関節ロボットにおいて、
前記オリフィス通路は、前記ベース部の内部と前記関節部材の内部とを連通させる孔部と、この孔部に着脱可能に装着されたオリフィス継手とにより構成される、ことを特徴とする多関節ロボット。 In the articulated robot according to claim 9,
The articulated robot, wherein the orifice passage is composed of a hole communicating between the inside of the base portion and the inside of the joint member, and an orifice joint detachably attached to the hole. .
JP2020562286A 2018-12-28 2018-12-28 articulated robot Active JP7140846B2 (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2018/048548 WO2020136891A1 (en) 2018-12-28 2018-12-28 Articulated robot

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2020136891A1 JPWO2020136891A1 (en) 2021-09-27
JP7140846B2 true JP7140846B2 (en) 2022-09-21

Family

ID=71127857

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020562286A Active JP7140846B2 (en) 2018-12-28 2018-12-28 articulated robot

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP7140846B2 (en)
CN (1) CN113015602B (en)
DE (1) DE112018008229T5 (en)
WO (1) WO2020136891A1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112454326B (en) * 2020-11-11 2023-06-23 深圳市越疆科技有限公司 Base of desktop mechanical arm, desktop mechanical arm and robot

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000141270A (en) 1998-11-06 2000-05-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd Articulated robot
JP2002224989A (en) 2002-01-30 2002-08-13 Mitsubishi Electric Corp Industrial robot of environment resistant type
JP2005205576A (en) 2004-01-26 2005-08-04 Shibuya Kogyo Co Ltd Isolator system
JP2008141095A (en) 2006-12-05 2008-06-19 Tatsumo Kk Semiconductor manufacturing carrying device
JP2015123549A (en) 2013-12-26 2015-07-06 シンフォニアテクノロジー株式会社 Multi-articulated robot
JP2018034268A (en) 2016-08-31 2018-03-08 ファナック株式会社 Joint structure and robot
US20180200014A1 (en) 2015-07-23 2018-07-19 Think Surgical, Inc. Protective drape for robotic systems

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61288990A (en) * 1985-06-17 1986-12-19 新明和工業株式会社 Industrial robot
JPH02145284A (en) * 1988-11-26 1990-06-04 Aisin Keikinzoku Kk Preventing device for mist intrusion of industrial robot
JPH0775992A (en) * 1993-09-10 1995-03-20 Hitachi Ltd Robot wrist device
JP3030392B2 (en) * 1995-10-02 2000-04-10 ゼテック株式会社 Robot for corrosive atmosphere
JP5792988B2 (en) * 2011-04-25 2015-10-14 ヤマハ発動機株式会社 SCARA robot
JP5817787B2 (en) * 2013-06-25 2015-11-18 株式会社安川電機 robot
CN203634619U (en) * 2013-12-03 2014-06-11 上海力申科学仪器有限公司 Air flow control device with buffer structure

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000141270A (en) 1998-11-06 2000-05-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd Articulated robot
JP2002224989A (en) 2002-01-30 2002-08-13 Mitsubishi Electric Corp Industrial robot of environment resistant type
JP2005205576A (en) 2004-01-26 2005-08-04 Shibuya Kogyo Co Ltd Isolator system
JP2008141095A (en) 2006-12-05 2008-06-19 Tatsumo Kk Semiconductor manufacturing carrying device
JP2015123549A (en) 2013-12-26 2015-07-06 シンフォニアテクノロジー株式会社 Multi-articulated robot
US20180200014A1 (en) 2015-07-23 2018-07-19 Think Surgical, Inc. Protective drape for robotic systems
JP2018034268A (en) 2016-08-31 2018-03-08 ファナック株式会社 Joint structure and robot

Also Published As

Publication number Publication date
WO2020136891A1 (en) 2020-07-02
DE112018008229T5 (en) 2021-09-23
CN113015602A (en) 2021-06-22
CN113015602B (en) 2024-04-12
JPWO2020136891A1 (en) 2021-09-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4232795B2 (en) Parallel link mechanism and industrial robot
JP4659098B2 (en) Parallel link robot with posture change mechanism with 3 degrees of freedom
JP5004020B2 (en) Articulated manipulator and robot system
JP5546826B2 (en) Joint structure for multi-axis robot and robot having such joint structure
JP4822061B2 (en) Double arm robot
JP3988768B2 (en) Link drive mechanism and industrial robot using the same
US10882193B2 (en) Robot structure
JP2012228733A (en) Scara type robot
JP4763063B2 (en) Jointed robot with sealing device
JP7140846B2 (en) articulated robot
JP7199450B2 (en) articulated robot
EP1846196B1 (en) An industrial robot with several axes, with multistage transmission gears and prepared for working in an aggressive and limited working area
JPH04105888A (en) Arm mechanism for multiarticulated robot
JPH11254377A (en) Robot
CN107848123A (en) Robot with energy bale of pipeline
JP4270041B2 (en) Robot wrist device and robot equipped with the same
JP4817132B2 (en) Internal pressure explosion-proof robot and internal pressure explosion-proof system provided with the same
US11185997B2 (en) Robot
KR100206539B1 (en) Hand structure of robot
JP5394358B2 (en) Parallel link robot with posture change mechanism with 3 degrees of freedom
JPH02152788A (en) Industrial robot
JP2004338071A (en) Hollow wrist of industrial robot, and industrial robot
JPH075996Y2 (en) Wrist seal device for industrial robot
WO2022163789A1 (en) Arm robot
JPS5837117B2 (en) Joints in manipulators, etc.

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210205

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20220412

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220516

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220906

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220908

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7140846

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150