JP7138785B2 - ホログラフィック光学素子の製造方法およびこれにより製造されたホログラフィック光学素子を含むディスプレイ装置 - Google Patents
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Description
本発明は、ホログラフィック光学素子の製造方法およびこれにより製造されたホログラフィック光学素子を含むディスプレイ装置に関する。
最近、拡張現実（ＡＲ：Ａｕｇｍｅｎｔｅｄ Ｒｅａｌｉｔｙ）、複合現実（ＭＲ：Ｍｉｘｅｄ Ｒｅａｌｉｔｙ）、または仮想現実（ＶＲ：Ｖｉｒｔｕａｌ Ｒｅａｌｉｔｙ）を実現するディスプレイユニットへの関心が高まるにつれ、これを実現するディスプレイユニットに関する研究が活発化する傾向にある。拡張現実、複合現実、または仮想現実を実現するディスプレイユニットは、光の波動的性質に基づく回折現象を利用する回折導光板を含んでいる。
このような回折導光板としては、主に、複数の格子線パターンを有する複数の回折光学素子（Ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｅｌｅｍｅｎｔ）を備えるタイプと、干渉パターンが記録された感光材料としてホログラフィック光学素子（Ｈｏｌｏｇｒａｐｈｉｃ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｅｌｅｍｅｎｔ）を備えるタイプとが用いられる。
一方、回折光学素子を備えるタイプの場合には、色分解効率 （ｃｏｌｏｒ ｓｅｐａｒａｔｉｏｎ ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ）が低くてイメージクロストーク（ｉｍａｇｅ ｃｒｏｓｓｔａｌｋ）が発生することがある。また、回折光学素子または透過型ホログラフィック光学素子を備えるタイプの場合には、全体的な光損失が大きく発生することがある。
これに対し、反射型ホログラフィック光学素子を備えるタイプの場合には、色分解効率が大きく、光損失も回折光学素子／透過型ホログラフィック光学素子に比べて小さいものの、アイボックス（Ｅｙｅ Ｂｏｘ）の大きさを決定する射出瞳（Ｅｘｉｔ Ｐｕｐｉｌ）が小さいという欠点がある。
前述した背景技術は、発明者が本発明の実施例の導出のために保有したか、または導出過程で習得した技術情報であって、必ずしも本発明の実施例の出願前に一般の公衆に公開された公知技術であるとは限らない。
本発明は、複数の射出瞳を形成する反射型ホログラフィック光学素子を製造する方法およびこれにより製造されたホログラフィック光学素子を含むディスプレイ装置を提供する。
ただし、本発明が解決しようとする課題は上記の課題に制限されず、述べていないさらなる他の課題は下記の記載から当業者に明確に理解されるであろう。
本発明の一態様による実施例は、照射方向に沿って光が広がる第１レーザを感光基材の一面に照射するステップと、照射方向に沿って光が集まる第２レーザを前記感光基材の他面に照射するステップとを含み、前記第１レーザおよび前記第２レーザは、前記感光基材上の、前記第１レーザによる光および前記第２レーザによる光が交差する感光領域の任意の位置において、前記第１レーザによる光の進行方向と前記第２レーザによる光の進行方向とのなす交差角が互いに異なる複数のグループが存在するように照射される、ホログラフィック光学素子の製造方法を提供する。
本発明の他の態様による実施例は、本発明の一態様による実施例により製造されたホログラフィック光学素子を備えるレンズ部と、前記ホログラフィック光学素子に照射方向に沿って広がる光を照射する光照射部とを含み、前記光照射部は、前記第２レーザの光が集まる角度と同じ角度で広がる光を照射する、ディスプレイ装置を提供する。
本発明の一態様によるホログラフィック光学素子の製造方法により製造された反射型ホログラフィック光学素子にプロジェクタ／光照射部を用いて単一波長の光を入力させても、任意の位置において干渉性特性が互いに異なるホログラムが記録されているため、反射によって互いに異なる複数の光反射経路が形成可能で、複数の射出瞳を実現させることができる。
本発明の一態様による実施例は、照射方向に沿って光が広がる第１レーザを感光基材の一面に照射するステップと、照射方向に沿って光が集まる第２レーザを前記感光基材の他面に照射するステップと、を含み、前記第１レーザおよび前記第２レーザは、前記感光基材上の、前記第１レーザによる光および前記第２レーザによる光が交差する感光領域の任意の位置において、前記第１レーザによる光の進行方向と前記第２レーザによる光の進行方向とのなす交差角が互いに異なる複数のグループが存在するように照射される、ホログラフィック光学素子の製造方法を提供する。
本実施例において、前記第１レーザを照射するステップにおいて、互いに離隔している複数の位置にそれぞれ、照射方向が互いに平行な第１レーザが照射されることができる。
本実施例において、前記第１レーザを照射するステップにおいて、照射方向が互いに異なる複数の第１レーザが照射され、前記第２レーザを照射するステップにおいて、照射方向が互いに異なる複数の第２レーザが照射され、複数の第１レーザのいずれか１つの第１レーザの照射方向と複数の第２レーザのいずれか１つの第２レーザの照射方向とのなす交差角は、他のいずれか１つの第１レーザの照射方向と他のいずれか１つの第２レーザの照射方向とのなす交差角と互いに同一であってもよい。
本実施例において、前記第１レーザを照射するステップおよび前記第２レーザを照射するステップは、前記感光基材を所定の水平中心線を中心として所定の角度周期で回転しながら複数回行われる。
本発明の他の態様による実施例は、本発明の一態様による実施例により製造されたホログラフィック光学素子を備えるレンズ部と、前記ホログラフィック光学素子に照射方向に沿って広がる光を照射する光照射部とを含み、前記光照射部は、前記第２レーザの光が集まる角度と同じ角度で広がる光を照射する、ディスプレイ装置を提供する。
本実施例において、前記光照射部は、単一波長のイメージ光を照射することができる。
本発明は、添付した図面とともに詳細に後述する実施例を参照すれば明確になる。しかし、本発明は以下に開示される実施例に限定されるものではなく、互いに異なる多様な形態で実現され、単に本実施例は本発明の開示が完全になるようにし、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者に発明の範疇を完全に知らせるために提供されるものであり、本発明は請求項の範疇によってのみ定義される。一方、本明細書で使われた用語は実施例を説明するためのものであり、本発明を制限しようとするものではない。本明細書において、単数形は、文章で特に言及しない限り、複数形も含む。明細書で使われる「含む（ｃｏｍｐｒｉｓｅｓ）」および／または「含んでいる（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」は、言及された構成要素、段階、動作および／または素子は、１つ以上の他の構成要素、段階、動作および／または素子の存在または追加を排除しない。第１、第２などの用語は多様な構成要素を説明するのに使われるが、構成要素は用語によって限定されてはならない。用語は、１つの構成要素を他の構成要素から区別する目的でのみ使われる。
以下、図面を参照して本発明を詳しく説明する。
図１は、第１レーザおよび第２レーザそれぞれの照射方向および任意の位置における第１レーザおよび第２レーザそれぞれの光の進行方向との関係を概略的に示す図であり、図２は、本発明の一態様によるホログラフィック光学素子の製造方法において、感光領域の任意の位置において第１レーザの光の進行方向と第２レーザによる光の進行方向とのなす交差角が互いに異なる複数のグループが存在することを概略的に示す図である。
本発明の一態様によるホログラフィック光学素子の製造方法は、拡張現実を実現するディスプレイ装置に用いられるホログラフィック光学素子を製造するためのものであって、感光基材に互いに干渉性（ｃｏｈｅｒｅｎｔ）である２つのレーザを照射してホログラムを記録してホログラフィック光学素子を製造する。
一方、感光基材は、感光層を含むフィルム形態であってもよい。また、感光層は、感光材料を含むことができる。ホログラム関連分野では、ホログラフィック光学素子の複製に使用できる多様な種類の感光材料が公知であり、このような材料が制限なく本発明においても使用可能である。例えば、前記感光材料としては、フォトポリマー（ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒ）、フォトレジスト（ｐｈｏｔｏｒｅｓｉｓｔ）、シルバーハライドエマルジョン（ｓｉｌｖｅｒ ｈａｌｉｄｅ ｅｍｕｌｓｉｏｎ）、重クロム酸ゼラチン（ｄｉｃｈｒｏｍａｔｅｄ ｇｅｌａｔｉｎ）、フォトグラフィックエマルジョン（ｐｈｏｔｏｇｒａｐｈｉｃ ｅｍｕｌｓｉｏｎ）、フォトサーモプラスチック（ｐｈｏｔｏｔｈｅｒｍｏｐｌａｓｔｉｃ）、または光回折（ｐｈｏｔｏｒｅｆｒａｃｔｉｖｅ）材料などが使用できる。前記感光基材は、光学的に透明でありかつ異方性がないフィルムであってもよく、例えば、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリアミド（ＰＡ）、またはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などを含む基材であってもよいが、特に限定されない。
本発明の一態様による製造方法により製造しようとするホログラフィック光学素子は、反射型ホログラフィック光学素子であって、感光基材の一面上に物体波を照射し、一面と反対となる感光基材の他面上に基準波を照射する方式で製造できると知られている。
本発明の一態様によるホログラフィック光学素子の製造方法は、感光基材の一面に照射方向に沿って光が広がる第１レーザを照射するステップと、感光基材の他面に照射方向に沿って光が集まる第２レーザを照射するステップとを含み、第１レーザおよび第２レーザは、感光基材上の、第１レーザによる光および第２レーザによる光が交差する感光領域の任意の位置において、前記第１レーザによる光の進行方向と前記第２レーザによる光の進行方向とのなす交差角が互いに異なる複数のグループが存在するように照射される。ここで、第１レーザおよび第２レーザは、干渉性を利用するために同時に照射されてもよい。これによって、感光基材の任意の位置において干渉性特性が互いに異なる複数のホログラムが記録される。本発明の一態様による製造方法により製造された反射型ホログラフィック光学素子にプロジェクタ／光照射部を用いて単一波長の光を入力させても、任意の位置において干渉性特性が互いに異なるホログラムが記録されているため、反射によって互いに異なる複数の光反射経路が形成可能で、複数の射出瞳を実現させることができる。
ここで、第１レーザおよび第２レーザは、互いに同じ単一波長の光で照射されてもよい。
まず、図１を参照して、第１レーザおよび第２レーザそれぞれの照射方向および任意の位置における第１レーザおよび第２レーザそれぞれの光の進行方向との関係を説明する。
第１レーザＬ１は、照射方向に沿って光が広がるレーザである。第１レーザＬ１の照射方向は、光が集まっている地点Ａ１を中心として断面基準（図１の（ａ）基準）で広がっている光の両最外角地点Ｂ１ａ、Ｂ１ｂのなす角度θ１を二等分する線Ｌ１＿ｃが光の次第に広がる方向側に延びている方向を意味することができる。任意の位置Ｐにおいて、第１レーザＬ１による光の進行方向は、光が集まっている地点Ａ１と任意の位置Ｐとを連結する線Ｌ１＿Ｐが光の次第に広がる方向側に延びている方向を意味することができる。
第２レーザＬ２は、照射方向に沿って光が集まるレーザである。第２レーザＬ２の照射方向は、光が集まっている地点Ａ２を中心として断面基準（図１の（ｂ）基準）で広がっている光の両最外角地点Ｂ２ａ、Ｂ２ｂのなす角度θ２を二等分する線Ｌ２＿ｃが光の次第に集まる方向側に延びている方向を意味することができる。任意の位置Ｐにおいて、第２レーザＬ２による光の進行方向は、光が集まっている地点Ａ２と任意の位置Ｐとを連結する線Ｌ２＿Ｐが光の次第に集まる方向側に延びている方向を意味することができる。
図２を参照して、本発明の一態様によるホログラフィック光学素子の製造方法において、感光領域の任意の位置において第１レーザの光の進行方向と第２レーザによる光の進行方向とのなす交差角が互いに異なる複数のグループが存在することを説明する。
例えば、図２の（ａ）に示されるように、第１レーザは、感光基材１０の一面１０ａに照射され、ここで、第１レーザは、進行方向が互いに異なる複数の光が同時または順序を異ならせて感光基材１０の任意の位置Ｐに到達できるように同時または順序を異ならせて複数回照射されることが好ましい。第２レーザは、感光基材１０の他面１０ｂに照射される。この時、感光基材１０の任意の位置Ｐに到達する第２レーザの光の進行方向は単一Ｌ２＿Ｐと定義され、感光基材１０の任意の位置Ｐに到達する第１レーザの光の進行方向は複数Ｌ１ａ＿Ｐ、Ｌ１ｂ＿Ｐ、Ｌ１ｃ＿Ｐと定義されるため、結局、第１レーザと第２レーザが互いに干渉する感光領域の任意の位置Ｐにおいて第１レーザによる光の進行方向と第２レーザによる光の進行方向とのなす交差角θａ、θｂ、θｃが互いに異なる複数のグループＬ１ａ＿Ｐ－Ｌ２＿Ｐ、Ｌ１ｂ＿Ｐ－Ｌ２＿Ｐ、Ｌ１ｃ＿Ｐ－Ｌ２＿Ｐが存在できる。
他の例として、図２の（ｂ）に示されるように、第１レーザは、感光基材１０の一面１０ａに照射されてもよい。第２レーザは、感光基材１０の他面１０ｂに照射され、ここで、第２レーザは、進行方向が互いに異なる複数の光が同時または順序を異ならせて感光基材１０の任意の位置Ｐに到達できるように同時または順序を異ならせて複数回照射される。この時、感光基材１０の任意の位置Ｐに到達する第１レーザの光の進行方向は単一Ｌ１＿Ｐと定義され、感光基材１０の任意の位置Ｐに到達する第２レーザの光の進行方向は複数Ｌ２ａ＿Ｐ、Ｌ２ｂ＿Ｐと定義されるため、結局、第１レーザと第２レーザが互いに干渉する感光領域の任意の位置Ｐにおいて第１レーザによる光の進行方向と第２レーザによる光の進行方向とのなす交差角θａ’、θｂ’が互いに異なる複数のグループＬ１＿Ｐ－Ｌ２ａ＿Ｐ、Ｌ１＿Ｐ－Ｌ２ｂ＿Ｐが存在できる。
図３は、本発明の一態様によるホログラフィック光学素子の製造方法において、第１レーザおよび第２レーザの照射方法の一例を示す図である。
図３を参照すれば、第１レーザを照射するステップは、感光基材１０の幅方向（図３基準で横方向）に沿って互いに離隔している複数の位置においてそれぞれ照射方向Ｌ１ａ＿ｃ、Ｌ１ｂ＿ｃ、Ｌ１ｃ＿ｃが互いに平行な第１レーザを照射することができる。この時、複数の第１レーザＬ１ａ、Ｌ１ｂ、Ｌ１ｃは、同時または順序を異ならせて照射される。ただし、干渉性を利用したホログラム記録のために、第２レーザＬ２は、各第１レーザＬ１ａ、Ｌ１ｂ、Ｌ１ｃと同時に照射される。この場合、感光領域の任意の位置Ｐにおいては、複数の第１レーザＬ１ａ、Ｌ１ｂ、Ｌ１ｃによる進行方向が互いに異なる複数の光Ｌ１ａ＿Ｐ、Ｌ１ｂ＿Ｐ、Ｌ１ｃ＿Ｐが到達し、第２レーザＬ２によって任意の位置Ｐに到達する光Ｌ２＿Ｐとの関係から、任意の位置Ｐにおいて第１レーザＬ１ａ、Ｌ１ｂ、Ｌ１ｃによる光の進行方向と第２レーザＬ２による光の進行方向とのなす交差角が互いに異なる複数のグループＬ１ａ＿Ｐ－Ｌ２＿Ｐ、Ｌ１ｂ＿Ｐ－Ｌ２＿Ｐ、Ｌ１ｃ＿Ｐ－Ｌ２＿Ｐが存在できる。
図４は、本発明の一態様によるホログラフィック光学素子の製造方法において、第１レーザおよび第２レーザの照射方法の他の例を示す図である。
第１レーザを照射するステップは、照射方向が互いに異なる複数の第１レーザを照射し、第２レーザを照射するステップは、照射方向が互いに異なる複数の第２レーザを照射することができる。図４の（ａ）および（ｂ）を参照すれば、第１レーザＬ１ａ’、Ｌ１ｂ’は、互いに異なる照射方向Ｌ１ａ’＿ｃ、Ｌ１ｂ’＿ｃに照射されており、第２レーザＬ２ａ’、Ｌ２ｂ’も、互いに異なる照射方向Ｌ２ａ’＿ｃ、Ｌ２ｂ’＿ｃに照射されている。一方、複数の第１レーザＬ１ａ’、Ｌ１ｂ’のいずれか１つの第１レーザＬ１ａ’と複数の第２レーザのいずれか１つの第２レーザＬ２ａ’との各照射方向Ｌ１ａ’＿ｃ、Ｌ２ａ’＿ｃのなす交差角θ４ａは、他のいずれか１つの第１レーザＬ１ｂ’と他のいずれか１つの第２レーザＬ２ｂ’との各照射方向Ｌ１ｂ’＿ｃ、Ｌ２ｂ’＿ｃのなす交差角θ４ｂと互いに同一であってもよい。このような方法で第１レーザと第２レーザを照射しても、感光基材１０上の、感光領域の任意の位置Ｐにおいては、第１レーザによる光の進行方向と第２レーザによる光の進行方向とのなす交差角が互いに異なる複数のグループが存在できる。
図５は、本発明の一態様によるホログラフィック光学素子の製造方法において、第１レーザおよび第２レーザの照射方法のさらなる他の例を示す図である。
第１レーザを照射するステップおよび第２レーザを照射するステップは、感光基材１０を所定の水平中心線Ｃ（図５の平面に垂直な方向）を中心として所定の角度で回転しながら複数回行われる。このような方法で第１レーザＬ１’と第２レーザＬ２’を照射しても、感光基材１０上の、感光領域の任意の位置Ｐにおいては、第１レーザによる光の進行方向と第２レーザによる光の進行方向とのなす交差角が互いに異なる複数のグループが存在できる。
図６は、本発明の他の態様によるディスプレイ装置の一例を示す図である。
本発明の他の態様によるディスプレイ装置１０００は、本発明の一態様によるホログラフィック光学素子の製造方法により製造されたホログラフィック光学素子１１０を備えるレンズ部１００と、ホログラフィック光学素子１１０に照射方向に沿って広がる光Ｌｉ＿ａ、Ｌｉ＿ｂを照射する光照射部２００とを含むことができる。
レンズ部１００は、透明なガラス基材または高分子樹脂基材の一面にホログラフィック光学素子１１０を配置して、自然界の外光は透過できるようにして、ディスプレイのユーザが自然界の物体、背景などをそのまま認識できるようにすると同時に、光照射部２００を通して入力された光が、反射型ホログラフィック光学素子１１０によって反射して、ユーザが認識する自然界の物体、背景などに浮かんでいる虚像としてディスプレイできるようにする。
光照射部２００は、本発明の一態様によるホログラフィック光学素子の製造時に用いられた第２レーザの光が集まる角度θＬ２と実質的に同じ角度で広がる光Ｌｉ＿ａ、Ｌｉ＿ｂを照射することができる。
光照射部２００は、単一波長の光Ｌｉ＿ａ、Ｌｉ＿ｂを照射することができる。詳しくは、光照射部２００は、本発明の一態様によるホログラフィック光学素子の製造時に用いられた第２レーザと同じ単一波長の光を照射することができる。
本発明の実施例によるディスプレイ装置１０００は、ホログラフィック光学素子１１０の任意の位置Ｐに干渉性特性が互いに異なるホログラムが記録されているため、レンズ部１００側に単一波長の光を照射して入力しても、反射によって互いに異なる複数の光反射経路Ｌｏ＿ａ、Ｌｏ＿ａ’；Ｌｏ＿ｂ、Ｌｏ＿ｂ’が形成可能で、複数の射出瞳ＥＰ１、ＥＰ２、ＥＰ３を実現させることができる。光を、射出瞳が多ければ多いほど、アイボックス（Ｅｙｅ Ｂｏｘ）を大きく形成することができるが、本ディスプレイ装置１０００の場合には複数の射出瞳を実現可能なため、ユーザごとにレンズ部１００に対する実際の瞳孔の位置が異なっていてもマッチングされる射出瞳が複数個存在するので、多様な身体条件のユーザに対応して利用できるという利点がある。また、複数の射出瞳を実現するにあたり、本ディスプレイ装置１０００の場合には互いに異なる波長の光を照射する複数のレーザを用いなくても良いという利点がある。
図７は、特定の波長の第１レーザおよび第２レーザを用いて製造されたホログラフィック光学素子を備えたレンズ部に特定の波長のレーザ光を照射して複数の射出瞳が形成された結果を確認できるイメージである。
具体的には、本実施例におけるホログラフィック光学素子は、５３２ｎｍの波長の第１レーザおよび第２レーザを用いて製造され、光照射部によって５３２ｎｍの波長のレーザを、本実施例におけるホログラフィック光学素子を備えたレンズ部に照射して、レンズ部から特定の距離にスクリーンＳを位置させた結果、スクリーンに３つの射出瞳ＥＰ１、ＥＰ２、ＥＰ２が位置することを確認することができた。
たとえ、本発明が上述した好ましい実施例に関して説明されたが、発明の要旨と範囲を逸脱することなく多様な修正や変形をすることが可能である。したがって、添付した特許請求の範囲には、本発明の要旨に属する限り、かかる修正や変形を含む。
１０ 感光基材
１０ａ 一面
１０ｂ 他面
１００ レンズ部
１１０ ホログラフィック光学素子
２００ 光照射部
１０００ ディスプレイ装置
Ｃ 水平中心線
Ｌ１ 第１レーザ
Ｌ１’ 第１レーザ
Ｌ１ａ 第１レーザ
Ｌ１ａ’ 第１レーザ
Ｌ１ｂ 第１レーザ
Ｌ１ｂ’ 第１レーザ
Ｌ１ｃ 第１レーザ
Ｌ２ 第２レーザ
Ｌ２’ 第２レーザ
Ｌ２ｂ’ 第２レーザ
１０ａ 一面
１０ｂ 他面
１００ レンズ部
１１０ ホログラフィック光学素子
２００ 光照射部
１０００ ディスプレイ装置
Ｃ 水平中心線
Ｌ１ 第１レーザ
Ｌ１’ 第１レーザ
Ｌ１ａ 第１レーザ
Ｌ１ａ’ 第１レーザ
Ｌ１ｂ 第１レーザ
Ｌ１ｂ’ 第１レーザ
Ｌ１ｃ 第１レーザ
Ｌ２ 第２レーザ
Ｌ２’ 第２レーザ
Ｌ２ｂ’ 第２レーザ
Claims (4)
- 照射方向に沿って光が広がる第１レーザを感光基材の一面に照射するステップと、
照射方向に沿って光が集まる第２レーザを前記感光基材の他面に照射するステップと、を含み、
前記第１レーザおよび前記第２レーザは、前記感光基材上の、前記第１レーザによる光および前記第２レーザによる光が交差する感光領域の任意の位置において、前記第１レーザによる光の進行方向と前記第２レーザによる光の進行方向とのなす交差角が互いに異なる複数のグループが存在するように照射され、
前記感光基材は平面であり、
前記第１レーザを照射するステップにおいて、前記感光基材の幅方向に沿って互いに離隔している複数の位置にそれぞれ、複数の第１レーザが照射されるホログラフィック光学素子の製造方法。 - 前記複数の第１レーザの照射方向が互いに平行である、請求項１に記載のホログラフィック光学素子の製造方法。
- 前記第１レーザを照射するステップにおいて、照射方向が互いに異なる複数の第１レーザが照射され、
前記第２レーザを照射するステップにおいて、照射方向が互いに異なる複数の第２レーザが照射され、
複数の第１レーザのいずれか１つの第１レーザの照射方向と複数の第２レーザのいずれか１つの第２レーザの照射方向とのなす交差角は、他のいずれか１つの第１レーザの照射方向と他のいずれか１つの第２レーザの照射方向とのなす交差角と互いに同一である、請求項１に記載のホログラフィック光学素子の製造方法。 - 前記第１レーザを照射するステップおよび前記第２レーザを照射するステップは、前記感光基材を所定の水平中心線を中心として所定の角度で回転しながら複数回行われる、請求項１～３の何れか一項に記載のホログラフィック光学素子の製造方法。
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