JP7129640B2 - 縮環ヘテロ5員環分子、p型半導体膜および電子デバイス - Google Patents

縮環ヘテロ5員環分子、p型半導体膜および電子デバイス Download PDF

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Description

本開示は、縮環ヘテロ5員環分子、p型半導体膜および電子デバイスに関する。
近年、半導体層(半導体膜)の形成材料として有機材料を用いる電子デバイス、特に薄膜トランジスタ(TFT)が多く提案され、その研究開発が盛んになされている。半導体層に有機材料を用いることの利点は色々とある。例えば、無機アモルファスシリコン等をベースとした従来の無機薄膜トランジスタが350~400℃程度の加熱プロセスを要するのに比べ、有機TFTは50~200℃程度の低温加熱プロセスで製造することが可能である。この為、プラスチックフィルム等、より耐熱性の弱い下地の上に、素子を作製することが可能となる。また、スピンコート法、インクジェット法、印刷等のように容易な形成方法を用いて半導体層を形成し、低コストで大面積のデバイス製造が可能であることも有機材料の利点として挙げられる。
TFTの性能を判断するために用いられる指標の一つとして半導体層のキャリア移動度があり、有機TFTにおける有機半導体層(有機半導体膜)のキャリア移動度向上のために多くの研究がなされてきた。これらの研究のうち、有機半導体層(有機半導体膜)を形成する有機材料の分子に主眼を置いた研究としては、例えば、1分子中、2個のチオフェン環を含む4個~9個の芳香族環が縮合した構造を有する縮環チオフェン分子を用いた研究(特許文献1~3)、および1分子中、4個のチオフェン環を含む8個~13個の芳香族環が縮合した構造を有する縮環チオフェン分子を用いた研究(特許文献4)等がある。このように、良好な特性を有する有機半導体およびその膜を得ることは電子デバイスの性能向上につながる。そのため、有機半導体およびその膜の特性をさらに向上させるための研究が必要とされている。
また縮環チオフェン分子のp型有機半導体材料として、特に、ベンゾチエノ-ベンゾチオフェン(BTBT)およびその誘導体(C8-BTBT)が、キャリア移動度の高い材料として知られている。
国際公開第2017/150474号 国際公開第2016/152889号 日本特許第6318452号 欧州特許公開第3050887号公報
本開示の発明者等は、従来のp型有機半導体材料では、以下に示すような新たな問題が生じることを見い出した。従来において知られている縮環チオフェン分子の正孔移動度は十分に高いとは言えないため、動作速度が十分に高い電子デバイスを得ることはできなかった。詳しくは、BTBTおよびその誘導体等の分子系材料の正孔移動度は、高くとも5~10cm/Vs程度であった。この場合、ゲート長が10μmの素子では、1MHz程度の動作速度しか得られなかった。塗布法で形成可能なほぼ下限のゲート長は1μmであり、このような素子でも、10MHz程度の動作速度しか得られなかった。このため、RF-ID(Radio Frequency Identifications)に必要とされる100MHz程度の動作速度を実現するためには、より高い正孔移動度を有する有機半導体材料が求められていた。
本開示の目的は、正孔移動度がより十分に高い縮環ヘテロ5員環分子、当該縮環ヘテロ5員環分子を含むp型半導体膜、および当該p型半導体膜を用いた電子デバイスを提供することである。
本開示は、1分子中、3個または5個のヘテロ5員環を含む芳香族環を8個有し、かつ前記8個の芳香族環は1個または2個のナフタレン構造部を有する、縮環ヘテロ5員環分子である。3個または5個のヘテロ5員環は、それぞれ独立して、チオフェン環、セレノフェン環およびフラン環からなる群より選択される、縮環ヘテロ5員環分子である。当該縮環ヘテロ5員環分子を含むp型半導体膜、および当該p型半導体膜を用いた電子デバイスを提供する。
本開示の縮環ヘテロ5員環分子はより十分に高い正孔移動度を示すため、当該縮環ヘテロ5員環分子を含むp型半導体膜は電子デバイスの周波数特性を向上させることができる。
本開示の縮環ヘテロ5員環分子を用いたトランジスタの基本構造の一例を示す構造模式図である。 本開示の縮環ヘテロ5員環分子を用いたトランジスタの基本構造の別の一例を示す構造模式図である。
[縮環ヘテロ5員環分子]
本開示の縮環ヘテロ5員環分子は、1分子中、3個または5個のヘテロ5員環を含む8個の芳香族環が縮合した構造を有している。ヘテロ5員環は、チオフェン環、セレノフェン環およびフラン環からなる群より選択されるヘテロ5員環であり、これらのヘテロ5員環はいずれも芳香族環に属するものである。本開示の縮環ヘテロ5員環分子が有する3個または5個のヘテロ5員環は、それぞれ独立して、上記群より選択されてよいが、正孔移動度のさらなる向上の観点から、縮環ヘテロ5員環分子が1分子中に有する全てのヘテロ5員環は同じヘテロ原子を有するヘテロ5員環であることが好ましい。本開示の縮環ヘテロ5員環分子に含まれるヘテロ5員環以外の芳香族環は通常、ベンゼン環である。従って、本開示の縮環ヘテロ5員環分子が有する8個の芳香族環は通常、3個のヘテロ5員環および5個のベンゼン環を縮合形態で含むか、または5個のヘテロ5員環および3個のベンゼン環を縮合形態で含む。縮合とは、隣接する2個の芳香族環が2個の炭素原子およびそれらの間に形成される結合(すなわち共有結合)を有すること、またはその状態のことである。
例えば、本開示の縮環ヘテロ5員環分子が有する全てのヘテロ5員環がチオフェン環である場合、当該縮環ヘテロ5員環分子は縮環チオフェン分子とも称され得る。
また例えば、本開示の縮環ヘテロ5員環分子が有する全てのヘテロ5員環がセレノフェン環である場合、当該縮環ヘテロ5員環分子は縮環セレノフェン分子とも称され得る。
また例えば、本開示の縮環ヘテロ5員環分子が有する全てのヘテロ5員環がフラン環である場合、当該縮環ヘテロ5員環分子は縮環フラン分子とも称され得る。
縮環ヘテロ5員環分子が2個以下、4個または6個以上のヘテロ5員環を含む場合、十分に高い正孔移動度は得られない。縮環ヘテロ5員環分子が仮に3個または5個のヘテロ5員環を含んでいても、当該縮環ヘテロ5員環分子を構成する芳香族環(ヘテロ5員環を含む)の数が8個でない場合、十分に高い正孔移動度は得られない。
本開示において8個の芳香族環により構成される芳香族環部(すなわち、芳香族環縮合部)は線構造を有する。芳香族環部とは、詳しくは、化学構造式において、8個の芳香族環が縮合されている部分のことである。本開示の縮環ヘテロ5員環分子は、このような芳香族環部を有し、所望によりさらに置換基を有してもよい。このような芳香族環部が線構造を有するとは、当該芳香族環部は、その化学構造式において、分岐構造を有さず、全体として1本の線形状をなす構造を有するという意味である。すなわち当該芳香族環部を構成する全ての芳香族環はそれぞれ、隣接する1個または2個のみの芳香族環と縮合し、全体として、線構造を有している。線構造を有する芳香族環部を構成する8個の芳香族環の中には、隣接する3個以上の芳香族環と縮合している芳香族環は1個も含まれない。なお、当該芳香族環部を構成する8個の芳香族環の中に、隣接する3個以上の芳香族環と縮合している芳香族環が1個でも含まれる場合、当該芳香族環部は分岐構造を有していることとなる。
線構造を有する芳香族環部において、2個の末端の芳香族環の各々は、隣接する1個のみの芳香族環と縮合している芳香族環である。2個の末端の芳香族環は、それぞれ独立して、ベンゼン環であってもよいし、またはヘテロ5員環であってもよい。末端の芳香族環がヘテロ5員環である場合、当該ヘテロ5員環は、隣接する1個のみの芳香族環と、以下の炭素原子を共有するように縮合している:当該ヘテロ5員環における二位と三位の炭素原子、三位と四位の炭素原子、または四位と五位の炭素原子。なお、ヘテロ5員環における一位は通常、ヘテロ原子の位置である。2個の末端の芳香族環は、より一層、高い正孔移動度の観点から、ともにベンゼン環であるか、またはともにヘテロ5員環であることが好ましい。
他方、当該2個の末端の芳香族環以外の芳香族環の各々は、隣接する2個のみの芳香族環と縮合している芳香族環である。2個の末端の芳香族環以外の芳香族環は、それぞれ独立して、ベンゼン環であってもよいし、またはヘテロ5員環であってもよい。
線構造を有する芳香族環部においては、2個の末端の芳香族環以外の芳香族環のうち、ベンゼン環である全ての芳香族環の各々は、当該ベンゼン環が、隣接する一方の芳香族環と、当該ベンゼン環における一位と二位の炭素原子を共有するように縮合している場合、隣接する他方の芳香族環と、以下の炭素原子を共有するように縮合している:当該ベンゼン環における三位と四位の炭素原子、四位と五位の炭素原子または五位と六位の炭素原子(好ましくは四位と五位の炭素原子)。
線構造を有する芳香族環部においては、2個の末端の芳香族環以外の芳香族環のうち、ヘテロ5員環である全ての芳香族環の各々は、当該ヘテロ5員環が、隣接する一方の芳香族環と、当該ヘテロ5員環における二位と三位の炭素原子を共有するように縮合している場合、隣接する他方の芳香族環と、以下の炭素原子を共有するように縮合している:当該ヘテロ5員環における四位と五位の炭素原子。
線構造は直線構造および屈曲線構造を包含する。
直線構造を有する芳香族環部において、2個の末端の芳香族環は、線構造を有する芳香族環部における2個の末端の芳香族環と同様である。
直線構造を有する芳香族環部において、2個の末端の芳香族環以外の芳香族環は、以下の事項以外、線構造を有する芳香族環部における2個の末端の芳香族環以外の芳香族環と同様である:・2個の末端の芳香族環以外の芳香族環のうち、ベンゼン環である全ての芳香族環のそれぞれは、当該ベンゼン環が、隣接する一方の芳香族環と、当該ベンゼン環における一位と二位の炭素原子を共有するように縮合している場合、隣接する他方の芳香族環と、以下の炭素原子を共有するように縮合している:当該ベンゼン環における四位と五位の炭素原子。
屈曲線構造を有する芳香族環部において、2個の末端の芳香族環は、線構造を有する芳香族環部における2個の末端の芳香族環と同様である。
屈曲線構造を有する芳香族環部において、2個の末端の芳香族環以外の芳香族環は、以下の事項以外、線構造を有する芳香族環部における2個の末端の芳香族環以外の芳香族環と同様である:・2個の末端の芳香族環以外の芳香族環のうち、ベンゼン環である少なくとも1個の芳香族環は、当該ベンゼン環が、隣接する一方の芳香族環と、当該ベンゼン環における一位と二位の炭素原子を共有するように縮合している場合、隣接する他方の芳香族環と、以下の炭素原子を共有するように縮合している:当該ベンゼン環における三位と四位の炭素原子、または五位と六位の炭素原子。
芳香族環部は、より一層、高い正孔移動度の観点から、2個の末端の芳香族環の種類に応じて、直線構造または屈曲線構造を有することが好ましい。例えば、芳香族環部が線構造を有し、かつ2個の末端の芳香族環がベンゼン環である場合、当該芳香族環部は直線構造を有することが好ましい。また例えば、芳香族環部が線構造を有し、かつ2個の末端の芳香族環がヘテロ5員環である場合、当該芳香族環部は屈曲線構造を有することが好ましい。
芳香族環部は、より一層、高い正孔移動度の観点から、2個以上のヘテロ5員環が連続して縮合されているヘテロ5員環部を有さないことが好ましい。すなわち、芳香族環部が有する全てのヘテロ5員環それぞれの、隣接する全ての芳香族環はベンゼン環であることが好ましい。例えば、芳香族環部が有するヘテロ5員環が末端のヘテロ5員環の場合、当該末端のヘテロ5員環の隣接する1個のみの芳香族環はベンゼン環である。また例えば、芳香族環部が有するヘテロ5員環が末端ではないヘテロ5員環の場合、当該末端ではないヘテロ5員環の隣接する2個のみの芳香族環はいずれもベンゼン環である。
本開示の縮環ヘテロ5員環分子は1分子中、1個または2個のナフタレン構造部を有する。本開示の縮環ヘテロ5員環分子は1分子中、1個または2個のナフタレン構造部を有するとは、本開示の縮環ヘテロ5員環分子の芳香族環部は、その化学構造式において、2個のベンゼン環が連続して縮合している部分を1個または2個有するという意味である。ナフタレン構造部の数の算出は、2個以上のナフタレン構造部に属するベンゼン環が生じないように行う。
縮環ヘテロ5員環分子が仮に3個のヘテロ5員環および5個のベンゼン環を含んでいても、または5個のヘテロ5員環および3個のベンゼン環を含んでいても、当該縮環ヘテロ5員環分子がナフタレン構造部を1個も有さない場合、十分に高い正孔移動度は得られない。ナフタレン環構造部が含まれることにより、分子間のスタッキングが促進され、より高い移動度が得られ得る。
本開示の縮環ヘテロ5員環分子の具体例として、例えば、下記一般式(I)、(II)、(III)および(IV)で表される化合物が挙げられる。
一般式(I)および(II)の化合物は、直線構造の芳香族環部を有する縮環ヘテロ5員環分子である。
一般式(III)および(IV)の化合物は、屈曲線構造の芳香族環部を有する縮環ヘテロ5員環分子である。
Figure 0007129640000001
一般式(I)中、Ra~Ra14(すなわち、Ra、Ra、Ra、Ra、Ra、Ra、Ra、Ra、Ra、Ra10、Ra11、Ra12、Ra13およびRa14)は、それぞれ独立して、水素原子、炭素原子数1~20、好ましくは1~10、より好ましくは3~8のアルキル基、または炭素原子数6~18、好ましくは6~12のアリール基である。Ra~Ra14のうち少なくとも1個の基(例えば、RaおよびRa10)は、縮環ヘテロ5員環分子の有機溶媒に対する溶解性およびより一層、高い正孔移動度の観点から、アルキル基またはアリール基であることが好ましい(このとき、他の基は水素原子である)。Ra~Ra14におけるアルキル基として、例えば、(メチル基、エチル基、n-プロピル、イソプロピル基、n-ブチル基、イソブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基)等が挙げられる。Ra~Ra14におけるアリール基として、例えば、フェニル基(Ph)、ナフチル基、4-ビフェニル基、3-ビフェニル基、2-ビフェニル基等が挙げられる。
一般式(I)中、好ましい実施態様において、各基の組み合わせは以下の通りである:・組み合わせ: Ra~Ra、Ra~Ra、およびRa11~Ra14は、それぞれ独立して、水素原子または炭素原子数1~10のアルキル基であり、より好ましくは水素原子である。RaおよびRa10は、それぞれ独立して、水素原子、炭素原子数1~10のアルキル基、または炭素原子数6~18のアリール基であり、より好ましくは水素原子、炭素原子数3~8のアルキル基、または炭素原子数6~12のアリール基であり、さらに好ましくは水素原子である。
一般式(I)で表される化合物の具体例として、例えば、以下の表に示される化合物が挙げられる。
Figure 0007129640000002
Figure 0007129640000003
一般式(II)中、Rb~Rb14(すなわち、Rb、Rb、Rb、Rb、Rb、Rb、Rb、Rb、Rb、Rb10、Rb11、Rb12、Rb13およびRb14)は、それぞれ独立して、水素原子、炭素原子数1~20、好ましくは1~10、より好ましくは3~8のアルキル基、または炭素原子数6~18、好ましくは6~12のアリール基である。Rb~Rb14のうち少なくとも1個の基(例えば、RbおよびRb10)は、縮環ヘテロ5員環分子の有機溶媒に対する溶解性およびより一層、高い正孔移動度の観点から、アルキル基またはアリール基であることが好ましい(このとき、他の基は水素原子である)。Rb~Rb14におけるアルキル基として、Ra~Ra14のアルキル基として例示した同様のアルキル基が挙げられる。Rb~Rb14におけるアリール基として、Ra~Ra14のアリール基として例示した同様のアリール基が挙げられる。
一般式(II)中、好ましい実施態様において、各基の組み合わせは以下の通りである。
・組み合わせ:
Rb~Rb、Rb~Ra、およびRb11~Rb14は、それぞれ独立して、水素原子または炭素原子数1~10のアルキル基であり、より好ましくは水素原子である。Rb4およびRb10は、それぞれ独立して、水素原子、炭素原子数1~10のアルキル基、または炭素原子数6~18のアリール基であり、より好ましくは水素原子、炭素原子数3~8のアルキル基、または炭素原子数6~12のアリール基であり、さらに好ましくは水素原子である。
一般式(II)で表される化合物の具体例として、例えば、以下の表に示される化合物が挙げられる。
Figure 0007129640000004
Figure 0007129640000005
一般式(III)中、Rc~Rc14(すなわち、Rc、Rc、Rc、Rc、Rc、Rc、Rc、Rc、Rc、Rc10、Rc11、Rc12、Rc13およびRc14)は、それぞれ独立して、水素原子、炭素原子数1~20、好ましくは1~10、より好ましくは1~8のアルキル基、または炭素原子数6~18、好ましくは6~12のアリール基である。Rc~Rc14のうち少なくとも1個の基(例えば、Rc、Rc、RcおよびRc)は、縮環ヘテロ5員環分子の有機溶媒に対する溶解性、およびより一層の高い正孔移動度の観点から、アルキル基またはアリール基であることが好ましく、より好ましくはアルキル基である。Rc~Rc14におけるアルキル基として、Ra~Ra14のアルキル基として例示した同様のアルキル基が挙げられる。Rc~Rc14におけるアリール基として、Ra~Ra14のアリール基として例示した同様のアリール基が挙げられる。
一般式(III)中、好ましい実施態様において、各基は以下の通りである。Rc、Rc~Rc、およびRc10~Rc14は、それぞれ独立して、水素原子または炭素原子数1~10のアルキル基であり、より好ましくは水素原子または炭素原子数3~8のアルキル基であり、さらに好ましくは水素原子である。Rc、Rc、RcおよびRcは、それぞれ独立して、水素原子、炭素原子数1~10のアルキル基、または炭素原子数6~18のアリール基であり、より好ましくは水素原子、炭素原子数1~5のアルキル基、または炭素原子数6~12のアリール基であり、さらに好ましくは水素原子、または炭素原子数1~5のアルキル基であり、最も好ましくは水素原子である。
一般式(III)で表される化合物の具体例として、例えば、以下の表に示される化合物が挙げられる。
Figure 0007129640000006
Figure 0007129640000007
一般式(IV)中、Rd~Rd10(すなわち、Rd、Rd、Rd、Rd、Rd、Rd、Rd、Rd、RdおよびRd10)は、それぞれ独立して、水素原子、炭素原子数1~20、好ましくは1~10、より好ましくは3~8のアルキル基、または炭素原子数6~18、好ましくは6~12のアリール基である。Rd~Rd10のうち少なくとも1個の基(例えば、RdおよびRd)は、縮環ヘテロ5員環分子の有機溶媒に対する溶解性、およびより一層の高い正孔移動度の観点から、アルキル基またはアリール基であることが好ましく、より好ましくはアルキル基である。Rd~Rd10におけるアルキル基として、Ra~Ra14のアルキル基として例示した同様のアルキル基が挙げられる。Rd~Rd10におけるアリール基として、Ra~Ra14のアリール基として例示した同様のアリール基が挙げられる。
一般式(IV)中、好ましい実施態様において、各基は以下の通りである。Rd~Rd、Rd~RdおよびRd~Rd10は、それぞれ独立して、水素原子または炭素原子数1~10のアルキル基であり、より好ましくは水素原子である。RdおよびRdは、それぞれ独立して、水素原子、炭素原子数1~10のアルキル基、または炭素原子数6~18のアリール基であり、より好ましくは水素原子、炭素原子数3~8のアルキル基、または炭素原子数6~12のアリール基であり、さらに好ましくは水素原子、または炭素原子数3~8のアルキル基であり、最も好ましくは水素原子である。
一般式(IV)で表される化合物の具体例として、例えば、以下の表に示される化合物が挙げられる。
Figure 0007129640000008
[縮環ヘテロ5員環分子の製造]
縮環ヘテロ5員環分子は公知の方法により製造することができる。例えば、目的とする縮環ヘテロ5員環分子が有する芳香族環部の一部を構成する原料(例えば、ナフタレン、後述の式(m-1)で表されるベンゾ[1,2-b:4,5-b’]ビス[b]ベンゾチオフェン、または後述の式(n-1)で表されるベンゾ[1,2-b:4,5-b’]ビス[b]ベンゾセレノフェン))を用いて、所望位置の水素原子のハロゲン化反応(例えば、ヨウ素化反応)および薗頭カップリング反応を繰り返す。所望位置とは、目的とする縮環ヘテロ5員環分子を得るために縮合ヘテロ5員環または縮合ベンゼン環を形成するべき位置という意味である。これにより、所望位置に縮合ヘテロ5員環および縮合ベンゼン環を形成することができ、結果として、目的とする縮環ヘテロ5員環分子を製造することができる。所望位置の水素原子がハロゲン化された中間体が単独では得られず、混合物として得られる場合は、カラムクロマトグラフィ等の公知の分離法により、分離および精製すればよい。
縮合ヘテロ5員環を形成するための薗頭カップリング反応においては、溶媒中、触媒存在下、トリメチルシリルアセチレンを用いてトリメチルシリルエチニル基を導入した後、所望位置にメチルチオ基、メチルセレノ基(MeSe-)またはメトキシ基等のヘテロ原子含有基を導入し、還流させる。これにより、トリメチルシリルエチニル基とヘテロ原子含有基とが反応し、縮合ヘテロ5員環が形成される。所望位置へのヘテロ原子含有基の導入は、ハロゲン化反応(例えば臭素化反応)およびジメチルジスルフィドまたはジメチルジセレニド等との反応ならびにその後のカラムクロマトグラフィ等の公知の方法による分離および精製により達成することができる。
縮合ベンゼン環を形成するための薗頭カップリング反応においては、溶媒中、触媒存在下、トリメチルシリルアセチレンを用いて、1分子中、2個のトリメチルシリルエチニル基を導入する。その後、当該2個のトリメチルシリルエチニル基を反応(閉環反応)させることにより、縮合ベンゼン環が形成される。2個のトリメチルシリルエチニル基による閉環反応は、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化ホウ素ナトリウムおよびヒドラジン一水和物の水溶液、テルルの粉末、2個のトリメチルシリルエチニル基が導入された中間体を含む脱気した溶液およびメチルトリ-n-オクチルアンモニウムクロリドを混合し、40~50℃で数時間放置することにより、達成することができる。
[縮環ヘテロ5員環分子の同定]
本開示の縮環ヘテロ5員環分子は、元素分析法、質量分析法およびC13-NMR(炭素13核磁気共鳴)により、同定することができる。
すなわち、元素分析により、縮環ヘテロ5員環分子1分子を構成する原子を知見し、かつ質量分析法により、縮環ヘテロ5員環分子の分子量を測定することにより、縮環ヘテロ5員環分子の分子式を決定することができる。
次いで、C13-NMRにより得られる各ピークのケミカルシフト量を解析することにより、縮環ヘテロ5員環分子の構造式ならびに置換基およびその置換位置を同定することができる。
[縮環ヘテロ5員環分子の用途]
本開示の縮環ヘテロ5員環分子はより十分に優れた正孔移動度を示すため、分子系有機半導体材料または炭素系正孔輸送材料、特にp型半導体材料として有用である。このため、本開示の縮環ヘテロ5員環分子は、電子デバイス(電子素子)、例えば、トランジスタに用いることにより、電子デバイスの周波数特性を向上させることができる。
本開示の縮環ヘテロ5員環分子を用いたトランジスタの基本構造の一例を図1に示す。図1において、トランジスタ基本構造体10は、
ゲート電極1;
前記ゲート電極1上に形成されるゲート絶縁膜2;
前記ゲート絶縁膜2上に離隔して形成されるソース電極3およびドレイン電極4;ならびに
前記ゲート絶縁膜2の露出領域、前記ソース電極3および前記ドレイン電極4と接触して形成された半導体膜5を含む。
ゲート電極1を構成する材料は、電子デバイスの分野で電極材料として使用されているものであれば特に限定されず、例えば、シリコン、金、銅、ニッケル、アルミニウム等が挙げられる。
ゲート絶縁膜2を構成する材料は、電気絶縁性を有するものであれば特に限定されない。ゲート絶縁膜2を構成する材料の具体例として、例えば、シリコン酸化物(SiO等)、シリコン窒化物(Si等)、タンタル酸化物(Ta等)、アルミニウム酸化物(Al等)、チタン酸化物(TiO等)、イットリウム酸化物(Y等)、ランタン酸化物(La等)等の金属酸化物、窒化物、およびエポキシ樹脂、ポリイミド(PI)樹脂、ポリフェニレンエーテル(PPE)樹脂、ポリフェニレンオキシド樹脂(PPO)、ポリビニルピロリドン(PVP)樹脂等の高分子材料等が挙げられる。
ソース電極3およびドレイン電極4を構成する材料は、ゲート電極1を構成する材料として例示した材料でよい。
半導体膜5は、本開示の縮環ヘテロ5員環分子を含むp型半導体膜である。半導体膜5は本開示の縮環ヘテロ5員環分子を含む限り、他の材料も含んでもよい。例えば、半導体膜5は、本開示の縮環ヘテロ5員環分子のみからなっていてもよいし、または本開示の縮環ヘテロ5員環分子以外に、フラーレン、ポリチオフェン、ならびに他の縮環チオフェン分子、縮環セレノフェン分子および縮環フラン分子を含んでもよい。半導体膜5における本開示の縮環ヘテロ5員環分子の含有量は例えば、0.1質量%以上、好ましくは1質量%以上であり、正孔移動度のさらなる向上の観点から好ましくは10質量%以上であり、より好ましくは50質量%以上であり、最も好ましくは100質量%である。
半導体膜5は、半導体材料として本開示の縮環ヘテロ5員環分子を用いること以外、真空蒸着法またはコーティング法等の公知の方法と同様の方法により形成することができる。この場合、真空蒸着法における蒸着材料として、縮環ヘテロ5員環分子のみを使用することにより、縮環ヘテロ5員環分子の含有量が100質量%の半導体膜を形成することができる。
本開示の縮環ヘテロ5員環分子を用いたトランジスタの基本構造の別の一例を、図2に示す。図2において、トランジスタ基本構造体11は、
絶縁性の下地基板12;
前記絶縁性の下地基板12上に離隔して形成されるソース電極13およびドレイン電極14;
前記絶縁性の下地基板12の露出領域、前記ソース電極13および前記ドレイン電極14と接触して形成された半導体膜15;
前記半導体膜15の上に形成されたゲート絶縁膜16;ならびに
前記ゲート絶縁膜16の上において、上面から見て、前記ソース電極13および前記ドレイン電極14の間となる位置に形成された、ゲート電極17を含む。
絶縁性の下地基板12を構成する材料は、電気絶縁性を有するものであれば特に限定されない。下地基板12を構成する材料の具体例として、例えば、シリコンウェハ上に形成された、シリコン酸化物(SiO等)、シリコン窒化物(Si等)、タンタル酸化物(Ta等)、アルミニウム酸化物(Al等)、チタン酸化物(TiO等)、イットリウム酸化物(Y等)、ランタン酸化物(La等)等の金属酸化物もしくは金属窒化物、およびエポキシ樹脂、ポリイミド(PI)樹脂、ポリフェニレンエーテル(PPE)樹脂、ポリフェニレンオキシド樹脂(PPO)、ポリビニルピロリドン(PVP)樹脂等の高分子材料等が挙げられる。
ソース電極13およびドレイン電極14を構成する材料は、電子デバイスの分野で電極材料として使用されているものであれば特に限定されず、例えば、シリコン、金、銅、ニッケル、アルミニウム等が挙げられる。
半導体膜15は、本開示の縮環ヘテロ5員環分子を含むp型半導体膜である。半導体膜15は本開示の縮環ヘテロ5員環分子を含む限り、他の材料も含んでもよい。例えば、半導体膜15は、本開示の縮環ヘテロ5員環分子のみからなっていてもよいし、または本開示の縮環ヘテロ5員環分子以外に、フラーレン、ポリチオフェン、ならびに他の縮環チオフェン分子、縮環セレノフェン分子および縮環フラン分子を含んでもよい。半導体膜15における本開示の縮環ヘテロ5員環分子の含有量は例えば、0.1質量%以上、好ましくは1質量%以上であり、正孔移動度のさらなる向上の観点から好ましくは10質量%以上であり、より好ましくは50質量%以上であり、最も好ましくは100質量%である。
ゲート絶縁膜16を構成する材料は、電気絶縁性を有するものであれば特に限定されない。ゲート絶縁膜16を構成する材料の具体例として、例えば、シリコン酸化物(SiO等)、シリコン窒化物(Si等)、タンタル酸化物(Ta等)、アルミニウム酸化物(Al等)、チタン酸化物(TiO等)、イットリウム酸化物(Y等)、ランタン酸化物(La等)等の金属酸化物もしくは金属窒化物、およびエポキシ樹脂、ポリイミド(PI)樹脂、ポリフェニレンエーテル(PPE)樹脂、ポリフェニレンオキシド樹脂(PPO)、ポリビニルピロリドン(PVP)樹脂等の高分子材料等が挙げられる。
ゲート電極17を構成する材料は、ソース電極13およびドレイン電極14を構成する材料として例示した材料であってもよい。
<実験例I>
発明者らは、縮環ヘテロ5員環分子の正孔移動度の分子動力学および分子軌道計算による予測を実施した。移動度の計算方法は、デービッド・エバンス他、オーガニックエレクトロニクス第29巻(2016年)第50~56ページ(David R. Evans et al.,“Estimation of charge carrier mobility in amorphous organic materials using percolation corrected random-walk method”, Organic Electronics vol. 29 (2016) pages 50-56)記載の方法を適用した。すなわち、移動度の計算に必要となる、電荷ホッピングレート(κ)は、以下の式で与えられることが知られている。
Figure 0007129640000009
ここで、△Gは電荷移動の自由エネルギ変化、λはマーカスの再配向エネルギ、Habは分子間の電子カップリング、kはボルツマン定数、Tは温度、
Figure 0007129640000010
はプランク定数である。△Gはゼロとした。
κの計算にあたっては、対象となる分子を64分子、ランダムに配置し、室温での数10ns程度の分子動力学計算により、その平衡状態を計算した。ここで得られた結果から、任意に、50ペアの分子ペアを取り出し、取り出した全ペアについて、密度汎関数法により、κを求めた。
上記の分子動力学計算には、分子動力学計算のパッケージである、シュレーディンガー社の商品名「デスモンド(Desmond)」を使用した(ボウワーズ他、2006年ACM/IEEEカンファレンス・オン・スーパーコンピューティング会報、フロリダ州タンパ、文献番号84(K. J. Bowers et al., Proc. 2006 ACM/IEEE Conference on Supercomputing ACM, Tampa, Florida, 2006 No. 84))。更に、λおよびHabの計算には、密度汎関数法の計算ソフトウェアである、シュレーディンガー社の商品名「ジャガー(Jaguar)」を使用した(ボチェバロフ他、インターナショナル・ジャーナル・オブ・クアンタム・ケミカル、第113巻、2013年、第2110~2142ページ(A. D. Bochevarov et al., Intl. J. Quantum Chem. Vol. 113 (2013) p.2110-2142)。
このようにして、各分子ペア毎に、密度汎関数法による計算を行い、50個のκの値が得られたが、ここから、移動度を計算するにあたっては、エバンス他の上記文献(オーガニックエレクトロニクス第29巻(2016年)第50~56ページ)に記載のパーコレーションを考慮にいれた手法を適用した。
すなわち、移動度μh,p(p)は、以下の式より、導出した。ここで、eは、電荷素量である。
Figure 0007129640000011
また、Dは、
Figure 0007129640000012
で与えられるが、ここで、Pは、
Figure 0007129640000013
である。また、Dh,iは、
Figure 0007129640000014
である。尚、iは、各分子ペアの番号を示す。rは、i番目の分子ペアにおける分子間の距離である。
更に、Dthは、以下の式を満たす量であり、
Figure 0007129640000015
かつ、θ(p)は、以下の式で与えられる。
Figure 0007129640000016
thは、式(A)と式(B)から自己無撞着的に決定した。また、Pは0.3116、νは2である。
この方法により、縮環ヘテロ5員環分子としての化合物(i-s-1)、(ii-se-1)、(iii-s-1)、(iii-o-1)および(iv-s-1)の正孔移動度(cm/Vs)を計算した。計算値を以下に示す。なお、計算値は、BTBTの正孔移動度の計算値を1としたときの相対値である。
Figure 0007129640000017
上記と同様の方法により、以下の化合物(x-1)、(x-2)、(x-3)、(x-4)、(x-5)および(x-6)の正孔移動度(cm/Vs)を計算した。計算値を以下に示す。なお、これらの計算値も、BTBTの正孔移動度の計算値を1としたときの相対値である。化合物(x-1)はBTBTに対応する。
Figure 0007129640000018
Figure 0007129640000019
表2Aおよび表2Bに示されるように、本開示の縮環ヘテロ5員環分子はより十分に高い正孔移動度を示すことがわかった。
本実験例Iで計算された正孔移動度の相対値は、実際に計測される正孔移動度とよく近似している。
<実験例II>(化合物(i-s-1)の製造)
まず、式(m-1)で表されるベンゾ[1,2-b:4,5-b’]ビス[b]ベンゾチオフェンを、文献(瀧宮、オーガニックレターズ、2007年第9巻、第4499~4502ページ(K. Takimiya, Org. Lett., 2007, 9, 4499-4502))に記載の方法で合成した。
Figure 0007129640000020
詳しくは、市販のベンゼンをヨウ素および硝酸と加熱還元することにより、ヨウ化ベンゼンの混合物を合成した。この混合物に対して、更に、臭素ガスによる処理を実施し、生成した混合物より、カラムクロマトグラフィ(ヘキサン-ジクロロメタン=1:3)にて、分離精製することにより、以下の化合物を得た。
Figure 0007129640000021
この化合物を、ジエチルアミンおよびテトラヒドロフランとの混合溶媒中で、トリメチルシリルアセチレン(東京化成工業株式会社より購入)、ビス(トリフェニルホスフィン)パラジウム(II)ジクロライド(東京化成工業株式会社より購入)およびヨウ化銅(シグマ-アルドリッチ・カンパニー・リミテッド・ライアビリティ・カンパニー(Sigma-Aldrich Co., LLC.)より購入)と反応をさせた。これにより、薗頭カップリング反応に基づいて、以下の化合物を合成した。
Figure 0007129640000022
この化合物のジメチルホルムアミド(DMF)溶液に、-78℃にて、tert-ブチルリチウムのペンタン溶液(シグマ-アルドリッチ・カンパニー・リミテッド・ライアビリティ・カンパニー)を加え、DMF溶液を徐々に室温に戻した。その後、ジメチルジスルフィド(東京化成工業株式会社)を加え、得られた混合物を、カラムクロマトグラフィ(ヘキサン/ジクロロメタン=1/3)にて、分離精製することにより、以下の化合物を得た。
Figure 0007129640000023
上記化合物のジクロロメタン溶液を還流し、更に、ここに、ヨウ素を添加することで、以下の化合物を得た。
Figure 0007129640000024
ついで、-10℃の環境にて、上記化合物のジクロロメタン溶液に、塩化ヨウ素のジクロロメタン溶液を添加し、室温にて、半日程度放置することで、以下の化合物を得た。
Figure 0007129640000025
この化合物を、ジエチルアミンとテトラヒドロフランとの混合溶媒中で、トリメチルシリルアセチレン(東京化成工業株式会社より購入)、ビス(トリフェニルホスフィン)パラジウム(II)ジクロライド(東京化成工業株式会社より購入)およびヨウ化銅(シグマ-アルドリッチ・カンパニー・リミテッド・ライアビリティ・カンパニーより購入)と反応をさせることにより、薗頭カップリング反応に基づいて、以下の反応生成物を得た。
Figure 0007129640000026
ついで、水酸化ナトリウム(東京化成工業株式会社より購入)、水酸化ホウ素ナトリウム(東京化成工業株式会社より購入)およびヒドラジン一水和物(シグマ-アルドリッチ・カンパニー・リミテッド・ライアビリティ・カンパニーより購入)の脱気した水溶液、テルルの粉末(株式会社高純度化学研究所より購入)、上記化合物の脱気した溶液、アリクアット336(Aliquat 336)(シグマ-アルドリッチ・カンパニー・リミテッド・ライアビリティ・カンパニーより購入)を混合し、45℃で数時間放置し、生成沈殿物を精製し、上記した式(m-1)の化合物を得た。
式(m-1)の化合物をヨウ素、及び、硝酸と加熱還元することにより、当該化合物のヨウ化物の混合物を合成した。この混合物を、更に、ジエチルアミン、及び、テトラヒドロフランとの混合溶媒中で、トリメチルシリルアセチレン(東京化成工業株式会社より購入)、及び、ビス(トリフェニルホスフィン)パラジウム(II)ジクロライド(東京化成工業株式会社より購入)、及び、ヨウ化銅(シグマ-アルドリッチ・カンパニー・リミテッド・ライアビリティ・カンパニーより購入)と反応させることにより、薗頭カップリングに基づいて、上記化合物のトリメチルシリルエチニル化物の混合物を得た。これを、カラムクロマトグラフィ(ヘキサン-ジクロロメタン=1:3)にて、分離精製することにより、以下の化合物を得た。
Figure 0007129640000027
ついで、水酸化ナトリウム(東京化成工業株式会社より購入)、水酸化ホウ素ナトリウム(東京化成工業株式会社より購入)、及び、ヒドラジン一水和物(シグマ-アルドリッチ・カンパニー・リミテッド・ライアビリティ・カンパニーより購入)の脱気した水溶液、テルルの粉末(株式会社高純度化学研究所より購入)、上記化合物の脱気した溶液、及び、アリクアット336 (シグマ-アルドリッチ・カンパニー・リミテッド・ライアビリティ・カンパニーより購入)を混合し、45℃で数時間放置し、生成沈殿物を精製する。更に、ヨウ素、及び、硝酸と加熱還元することにより、生成した物質から、カラムクロマトグラフィ(ヘキサン-ジクロロメタン=1:3)にて、分離精製することにより、以下に記載の化合物を得た。
Figure 0007129640000028
ついで、上記化合物を、ジエチルアミン、及び、テトラヒドロフランとの混合溶媒中で、トリメチルシリルアセチレン(東京化成工業株式会社より購入)、ビス(トリフェニルホスフィン)パラジウム(II)ジクロライド(東京化成工業株式会社より購入)、及び、ヨウ化銅(シグマ-アルドリッチ・カンパニー・リミテッド・ライアビリティ・カンパニーより購入)と反応させることにより、薗頭カップリングに基づいて、上記化合物のトリメチルシリルエチニル化物を得た。更に、臭素ガスによる処理を実施し、生成した混合物より、カラムクロマトグラフィ(ヘキサン-ジクロロメタン=1:3)にて、分離精製することにより、以下の化合物を得た。
Figure 0007129640000029
ついで、上記化合物のDMF溶液に、-78℃にて、tert-ブチルリチウムのペンタン溶液(シグマ-アルドリッチ・カンパニー・リミテッド・ライアビリティ・カンパニーより購入)を加え、徐々に室温に戻し、その後、ジメチルジスルフィド(東京化成工業株式会社より購入)を加え、以下を得た。
Figure 0007129640000030
上記化合物のジクロロメタン溶液を還流し、ここに、ヨウ素を添加し、更に、-10℃の環境にて、上記ジクロロメタン溶液に、塩化ヨウ素のジクロロメタン溶液を添加し、室温にて、半日程度放置することで、以下の化合物を得た。
Figure 0007129640000031
ついで、上記化合物を、ジエチルアミン、及び、テトラヒドロフランとの混合溶媒中で、トリメチルシリルアセチレン(東京化成工業株式会社より購入)、ビス(トリフェニルホスフィン)パラジウム(II)ジクロライド(東京化成工業株式会社より購入)、及び、ヨウ化銅(シグマ-アルドリッチ・カンパニー・リミテッド・ライアビリティ・カンパニーより購入)と反応させることにより、薗頭カップリングに基づいて、上記化合物のトリメチルシリルエチニル化物(すなわち以下の化合物)を得た。
Figure 0007129640000032
その後、水酸化ナトリウム、水素化ホウ素ナトリウム、及び、ヒドラジン一水和物の脱気した水溶液に、テルルの粉末と、上記化合物の脱気した溶液、及び、アリクアット336を混合し、45℃で数時間放置し、生成沈殿物を精製することで、以下の化合物(i-s-1)を得た。
Figure 0007129640000033
化合物(i-s-1)の生成は、以下の分析により、確認した:・炭素/水素/硫黄分析 C:S:H=28:3:14・質量分析;446.61
(化合物(ii-se-1)の製造)
まず、式(n-1)で表されるベンゾ[1,2-b:4,5-b’]ビス[b]ベンゾセレノフェンを、論文(タキミヤ、オーガニックレターズ、2007年第9巻、第4499~4502ページ)に記載の方法で合成した。
Figure 0007129640000034
詳しくは、ジメチルジスルフィドの代わりに、ジメチルジセレニドを用いたこと以外、上記した式(m-1)の化合物の製造方法と同様の方法により、式(n-1)の化合物を製造した。
式(n-1)の化合物を、ヨウ素、及び、硝酸と加熱還元することにより、当該化合物のヨウ化物の混合物を合成する。更に、ジエチルアミン、及び、テトラヒドロフランとの混合溶媒中で、トリメチルシリルアセチレン(東京化成工業株式会社より購入)、ビス(トリフェニルホスフィン)パラジウム(II)ジクロライド(東京化成工業株式会社より購入)、及び、ヨウ化銅(シグマ-アルドリッチ・カンパニー・リミテッド・ライアビリティ・カンパニーより購入)と反応させることにより、薗頭カップリングに基づいて、上記化合物のトリメチルシリルエチニル化物の混合物を得た。これを、カラムクロマトグラフィ(ヘキサン-ジクロロメタン=1:3)にて、分離精製することにより、以下の化合物を得た。
Figure 0007129640000035
ついで、上記化合物に対する、臭素ガスによる処理を実施し、生成した混合物より、カラムクロマトグラフィ(ヘキサン-ジクロロメタン=1:3)にて、分離精製することにより、以下の化合物を得た。
Figure 0007129640000036
ついで、上記化合物のDMF溶液に、-78℃にて、tert-ブチルリチウムのペンタン溶液(シグマ-アルドリッチ・カンパニー・リミテッド・ライアビリティ・カンパニーより購入)を加え、徐々に室温に戻し、その後、ジメチルジセレニド(シグマ-アルドリッチ・カンパニー・リミテッド・ライアビリティ・カンパニーより購入)を加え、以下を得た。
Figure 0007129640000037
上記化合物のジクロロメタン溶液を還流し、ここに、ヨウ素の粉末を添加し、更に、-10℃の環境にて、上記ジクロロメタン溶液に、塩化ヨウ素のジクロロメタン溶液を添加し、室温にて、半日程度放置することで、以下の化合物を得た。
Figure 0007129640000038
ついで、上記化合物を、ジエチルアミン、及び、テトラヒドロフランとの混合溶媒中で、トリメチルシリルアセチレン(東京化成工業株式会社より購入)、ビス(トリフェニルホスフィン)パラジウム(II)ジクロライド(東京化成工業株式会社より購入)、及び、ヨウ化銅(シグマ-アルドリッチ・カンパニー・リミテッド・ライアビリティ・カンパニーより購入)と反応させることにより、薗頭カップリングに基づいて、上記化合物のトリメチルシリルエチニル化物を得た。その後、水酸化ナトリウム、水酸化ホウ素ナトリウム(東京化成工業株式会社より購入)、及び、ヒドラジン一水和物の脱気水溶液、テルルの粉末、脱気した上記トリメチルシリルエチニル化物の溶液、及び、アリクアット336を混合し、45℃で数時間放置し、生成沈殿物を精製することで、以下を得た。
Figure 0007129640000039
更に、この化合物を、ヨウ素、及び、硝酸と加熱還元することにより、生成した物質から、カラムクロマトグラフィ(ヘキサン-ジクロロメタン=1:3)にて、分離精製することにより、以下に記載の化合物を得た。
Figure 0007129640000040
ついで、上記化合物を、ジエチルアミン、及び、テトラヒドロフランとの混合溶媒中で、トリメチルシリルアセチレン(東京化成工業株式会社より購入)、ビス(トリフェニルホスフィン)パラジウム(II)ジクロライド(東京化成工業株式会社より購入)、及び、ヨウ化銅(シグマ-アルドリッチ・カンパニー・リミテッド・ライアビリティ・カンパニーより購入)と反応させることにより、薗頭カップリングに基づいて、上記化合物のトリメチルシリルエチニル化物を得た。その後、水酸化ナトリウム、水酸化ホウ素ナトリウム(東京化成工業株式会社より購入)、及び、ヒドラジン一水和物の脱気水溶液、テルルの粉末、上記エチニル化物を含む脱気した溶液、及び、アリクアット336を混合し、45℃で数時間放置し、生成沈殿物を精製することで、以下の化合物(ii-se-1)を得た。
Figure 0007129640000041
化合物(ii-se-1)の生成は、以下の分析により、確認した:・炭素/水素/セレン分析 C:Se:H=28:3:14・質量分析;587.29
(実施例1~2および比較例1)
化合物(i-s-1)、化合物(ii-se-1)または化合物(x-1)を用いて、図2に示すトランジスタ基本構造体11を製造した。
詳しくはシリコンウェハに対して、酸化拡散炉による熱酸化法にて、膜厚350nmの酸化膜を形成した。その上にリフトオフ法にて、5μm間隔の金電極(厚み100nm)を形成した。さらに、この上に、移動度を計測されるべき有機分子(実施例1:化合物(i-s-1)、実施例2:化合物(ii-se-1)、比較例1:化合物(x-1)のBTBT(市販品))を厚さ200nmとなるように真空蒸着法で製膜した。ついで、絶縁層として、窒化シリコンを100nmの厚みとなるように製膜した。その後、窒化シリコン膜の上部において、3番目の電極を、上面から見て上記5μm間隔の金電極の間の内側に配置されるように、リフトオフ法にて形成した。実施例1において有機分子膜中の化合物(i-s-1)の含有量は、膜全量に対して、100質量%であった。実施例2において有機分子膜中の化合物(ii-se-1)の含有量は、膜全量に対して、100質量%であった。比較例1において有機分子膜中の化合物(x-1)の含有量は、膜全量に対して、100質量%であった。
このようにして作製したトランジスタ構造を用いて、移動度の計測を行った。移動度は、以下の式で与えられることが知られている。
Figure 0007129640000042
但し、ここで、Iはドレイン電流、μは移動度、Wはチャネル幅、Lはチャネル長、Cはゲート絶縁膜の単位面積あたりの静電容量、Vはゲート電圧、Vthは閾値電圧である。上の式より、ドレイン電流のゲート電圧依存性を計測することにより、移動度を求めることが可能であることが分かる。
上記の方法により計測した、縮環ヘテロ5員環分子化合物(i-s-1)の膜(実施例1)の正孔移動度は21cm/Vsであった。縮環ヘテロ5員環分子化合物(ii-se-1)の膜(実施例2)の正孔移動度は22cm/Vsであった。他方、化合物(x-1)の膜(比較例1)の正孔移動度は11cm/Vsであった。
以上のように、本開示の縮環ヘテロ5員環分子は、実測によっても、従来の縮環ヘテロ5員環分子(特に縮環チオフェン分子)よりも、十分に高い正孔移動度を示すことが分かる。実験例Iで計算された正孔移動度の相対値は、本実験例IIで実際に計測された実施例1および2ならびに比較例1の正孔移動度とよく近似していることが分かる。
本開示の縮環ヘテロ5員環分子はより十分に優れた正孔移動度を示すため、分子系有機半導体材料または炭素系正孔輸送材料、特にp型半導体材料として有用である。このため、本開示の縮環ヘテロ5員環分子は、電子デバイスまたは電子素子、例えば、トランジスタに有用である。本開示の縮環ヘテロ5員環分子は電子デバイスの周波数特性を向上させることができる。
1、17 ゲート電極
2、16 ゲート絶縁膜
3、13 ソース電極
4、14 ドレイン電極
5、15 半導体膜
10、11 トランジスタ基本構造体
12 下地基板

Claims (9)

  1. 1分子中8個の芳香族環を有し、前記8個の芳香族環は3個のヘテロ5員環を含み、かつ前記8個の芳香族環は1個または2個のナフタレン構造部を有する縮環ヘテロ5員環分子であって、
    前記3個のヘテロ5員環は、それぞれ独立して、チオフェン環、セレノフェン環およびフラン環からなる群より選択され
    前記縮環ヘテロ5員環分子は、下記一般式(I)又は(II)で表され、
    一般式(I)中、Ra 1 ~Ra 14 は、それぞれ独立して、水素原子、炭素原子数1~20のアルキル基または炭素原子数6~18のアリール基であり、M 1 ~M 3 は、それぞれ独立して、硫黄原子、セレン原子または酸素原子であり、
    一般式(II)中、Rb 1 ~Rb 14 は、それぞれ独立して、水素原子、炭素原子数1~20のアルキル基または炭素原子数6~18のアリール基であり、M 1 ~M 3 は、それぞれ独立して、硫黄原子、セレン原子または酸素原子である、
    縮環ヘテロ5員環分子。
    Figure 0007129640000043
    Figure 0007129640000044
  2. 前記3個のヘテロ5員環は全て同じヘテロ原子を有するヘテロ5員環である、請求項1に記載の縮環ヘテロ5員環分子。
  3. 前記8個の芳香族環が互いに縮合されて芳香族環部を構成し、
    前記縮環ヘテロ5員環分子は、前記8個の芳香族環の全てが隣接する1個または2個のみの芳香族環と縮合している第一構造を有する、請求項1又は2に記載の縮環ヘテロ5員環
    分子。
  4. 前記芳香族環部において、前記8個の芳香族環のうち前記第一構造の末端にある2個の芳香族環はともにベンゼン環である、請求項に記載の縮環ヘテロ5員環分子。
  5. 前記芳香族環部において、前記8個の芳香族環のうち前記第一構造の末端にある2個の芳香族環はベンゼン環であり、
    前記芳香族環部は、前記8個の芳香族環のうち2個の末端の芳香族環以外の全てのベンゼン環のそれぞれにおいて、前記ベンゼン環と隣接する一方の芳香族環と縮合している第一対の炭素原子と、前記ベンゼン環と隣接する他方の芳香族環と縮合している第二対の炭素原子とが、前記第一対の炭素原子と前記第二対の炭素原子との間に1つの炭素原子が介在した状態で配置されている構造を有する、
    請求項に記載の縮環ヘテロ5員環分子。
  6. 前記ヘテロ5員環に隣接する全ての芳香族環はベンゼン環である、請求項またはに記載の縮環ヘテロ5員環分子。
  7. 請求項1~のいずれかに記載の縮環ヘテロ5員環分子を含むp型半導体膜。
  8. 請求項に記載のp型半導体膜を含む電子デバイス。
  9. ソース電極とドレイン電極とゲート電極と半導体膜とを備えるトランジスタを構成し、
    前記半導体膜が請求項に記載のp型半導体膜である、電子デバイス。
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