JP7126819B2 - Measuring device and measuring method - Google Patents

Measuring device and measuring method Download PDF

Info

Publication number
JP7126819B2
JP7126819B2 JP2017228847A JP2017228847A JP7126819B2 JP 7126819 B2 JP7126819 B2 JP 7126819B2 JP 2017228847 A JP2017228847 A JP 2017228847A JP 2017228847 A JP2017228847 A JP 2017228847A JP 7126819 B2 JP7126819 B2 JP 7126819B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
measurement
control unit
probe
unit
probing system
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2017228847A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2019100740A (en
Inventor
義治 木村
茂 大島
将人 滝澤
憲彦 村田
宗一郎 渡邊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitutoyo Corp filed Critical Mitutoyo Corp
Priority to JP2017228847A priority Critical patent/JP7126819B2/en
Publication of JP2019100740A publication Critical patent/JP2019100740A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7126819B2 publication Critical patent/JP7126819B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)

Description

本発明は、物体の形状を測定する測定装置、及び測定方法に関する。 The present invention relates to a measuring device and a measuring method for measuring the shape of an object.

プローブを移動させながら被測定物に接触させて、当該被測定物の形状を測定する測定装置が開示されている(例えば、特許文献1を参照)。 A measuring apparatus has been disclosed that measures the shape of an object to be measured by moving a probe and bringing it into contact with the object to be measured (see, for example, Patent Document 1).

特開2014-095563号公報JP 2014-095563 A

測定装置が被測定物の形状を測定することができる測定領域には、プローブの移動を妨げる異物が侵入してしまう場合がある。また、測定装置を使用する使用者が、誤って、装着すべきプローブと異なるプローブを装着してしまうことがある。この場合、測定装置が予め定められた軌跡に従ってプローブを移動すると、プローブが異物又は被測定物と接触してしまうことが懸念される。プローブが異物又は被測定物と接触すると、プローブ又は被測定物が破損してしまうことがあり、測定装置の故障などの不具合が発生する場合がある。 Foreign matter that interferes with the movement of the probe may enter the measurement area where the measurement device can measure the shape of the object to be measured. In addition, the user using the measuring device may mistakenly wear a probe that is different from the probe that should be worn. In this case, when the measuring device moves the probe along a predetermined trajectory, there is concern that the probe may come into contact with foreign matter or the object to be measured. If the probe comes into contact with a foreign object or the object to be measured, the probe or the object to be measured may be damaged, and problems such as failure of the measuring device may occur.

そこで、本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、測定装置の不具合の発生を予防することを目的とする。 Accordingly, the present invention has been made in view of these points, and an object of the present invention is to prevent the occurrence of defects in the measuring apparatus.

本発明の第1の態様における測定装置は、移動可能なプローブにより被測定物の形状を測定する測定部と、前記プローブにより前記被測定物を測定可能な範囲の少なくとも一部の領域を撮影して撮像画像を作成する撮像部と、前記撮像画像に基づいて、前記測定部が前記プローブにより前記被測定物の形状を測定する際に支障が生じると判定した場合に警告情報を出力する制御部と、を有する。 A measuring device according to a first aspect of the present invention comprises a measuring unit that measures the shape of an object to be measured using a movable probe, and an image of at least a part of a range in which the object to be measured can be measured by the probe. a control unit for outputting warning information when the measurement unit determines based on the captured image that an obstacle will occur when measuring the shape of the object using the probe. and have

例えば、前記制御部は、前記測定部が前記プローブを移動させる軌跡を特定し、特定した前記軌跡上に異物が存在する場合に前記警告情報を出力する。 For example, the control unit specifies a trajectory along which the measurement unit moves the probe, and outputs the warning information when a foreign object exists on the specified trajectory.

前記制御部は、前記撮像画像により特定される前記プローブの種別に基づいて、前記軌跡上に異物が存在するか否かを判定してもよい。 The control unit may determine whether or not a foreign object exists on the trajectory based on the type of the probe specified by the captured image.

例えば、前記制御部は、前記測定部が使用する予定の前記プローブの種別を示す種別情報を取得し、前記種別情報が示すプローブの種別が、前記撮像画像により特定される前記プローブの種別と異なる場合に前記警告情報を出力する。 For example, the control unit acquires type information indicating the type of the probe to be used by the measurement unit, and the type of the probe indicated by the type information is different from the type of the probe specified by the captured image. In this case, the warning information is output.

前記制御部は、前記プローブの移動に伴って前記撮像部の撮像方向を変化させてもよい。 The control section may change the imaging direction of the imaging section as the probe moves.

例えば、前記制御部は、前記撮像部の撮像領域内の所定の範囲内に前記プローブが含まれるように前記撮像方向を変化させる。 For example, the control unit changes the imaging direction so that the probe is included within a predetermined range within the imaging area of the imaging unit.

例えば、前記制御部は、前記測定装置に設けられた所定のマーカーを前記撮像部に撮影させ、前記撮像画像に含まれる前記マーカーの画像が所定の位置になったときの前記撮像部の撮像方向を前記撮像方向の初期値として記憶部に記憶させる。 For example, the control unit causes the imaging unit to photograph a predetermined marker provided in the measuring device, and the imaging direction of the imaging unit when the image of the marker included in the captured image is at a predetermined position. is stored in the storage unit as the initial value of the imaging direction.

前記制御部は、前記撮像画像に含まれる前記被測定物の画像に基づいて、前記プローブの位置及び向きを制御してもよい。 The control section may control the position and orientation of the probe based on the image of the object to be measured included in the captured image.

前記撮像部は、前記測定部が測定を開始する前と、前記測定部が測定を開始した後とで、フォーカス位置及び絞りの少なくともいずれかを変化させてもよい。 The imaging section may change at least one of a focus position and an aperture between before the measurement section starts measurement and after the measurement section starts measurement.

本発明の第2の態様における測定方法は、被測定物の形状を測定するために用いられる移動可能なプローブにより前記被測定物を測定可能な範囲の少なくとも一部の領域を撮影して撮像画像を作成するステップと、前記撮像画像に基づいて、前記プローブにより前記被測定物の形状を測定する際に支障が生じると判定した場合に警告情報を出力するステップと、を有する。 A measuring method according to a second aspect of the present invention is a captured image obtained by photographing at least a part of a measurable range of an object to be measured by a movable probe used for measuring the shape of the object to be measured. and outputting warning information when it is determined, based on the captured image, that an obstacle will occur when measuring the shape of the object to be measured with the probe.

本発明によれば、測定装置の不具合の発生を予防することができるという効果を奏する。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it is effective in the ability to prevent generation|occurrence|production of the malfunction of a measuring device.

測定装置の概要を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the outline|summary of a measuring apparatus. 測定装置の機能構成を示す図である。It is a figure which shows the functional structure of a measuring device. プローブの軌跡上に異物が存在する場合について説明するための図である。FIG. 10 is a diagram for explaining a case where a foreign object exists on the trajectory of the probe; プローブの種別を特定する方法を説明するための図である。FIG. 4 is a diagram for explaining a method of specifying the type of probe; 測定を開始する処理のフローチャートである。4 is a flowchart of processing for starting measurement;

[測定装置1の概要]
まず、実施形態に係る測定装置1の概要について説明する。測定装置1は、例えば、測定用のプロービングシステム106を移動させながら被測定物2に接触させて被測定物2の形状を測定する三次元測定機である。
[Overview of measuring device 1]
First, an overview of the measuring device 1 according to the embodiment will be described. The measuring apparatus 1 is, for example, a three-dimensional measuring machine that measures the shape of the object 2 to be measured by moving the probing system 106 for measurement and bringing it into contact with the object 2 to be measured.

図1は、測定装置1の概要を説明するための図である。図1に、測定装置1が備える測定部10を示す。測定部10は、移動可能なプロービングシステム106により被測定物2の形状を測定する。測定部10は、上面に被測定物2が載置されるテーブル100と、テーブル100を跨ぐ門型の構造体とを備える。門型の構造体は、テーブル100の両側に設置された一対のコラム101及びサポータ102と、コラム101とサポータ102とに掛け渡されたX軸方向のビーム103と、ビーム103に沿って移動可能なスライダ104と、を備える。スライダ104は、Z軸スピンドル105を支持する。プロービングシステム106は、Z軸スピンドル105の下端に装着される。 FIG. 1 is a diagram for explaining the outline of the measuring device 1. As shown in FIG. FIG. 1 shows a measurement unit 10 included in the measurement device 1. As shown in FIG. The measurement unit 10 measures the shape of the object 2 using a movable probing system 106 . The measurement unit 10 includes a table 100 on which the object 2 to be measured is placed, and a gate-shaped structure straddling the table 100 . The gate-shaped structure includes a pair of columns 101 and supporters 102 installed on both sides of the table 100, a beam 103 extending in the X-axis direction between the columns 101 and the supporters 102, and movable along the beams 103. and a slider 104 . Slider 104 supports Z-axis spindle 105 . A probing system 106 is attached to the lower end of the Z-axis spindle 105 .

スライダ104は、ビーム103とスライダ104との間に設置されたX軸移動機構により、ビーム103に沿ってX軸方向に移動する。Z軸スピンドル105は、スライダ104とZ軸スピンドル105との間に設置されたZ軸移動機構により、スライダ104に対してZ軸方向に移動する。コラム101及び102を含む門型の構造体は、テーブル100とコラム101及び102との間に設置されたY軸移動機構により、テーブル100に対してY軸方向へ移動する。測定装置1は、上記の移動機構を適宜移動して、プロービングシステム106に設けられたスタイラスをテーブル100上に載置された被測定物2に対して接触させることにより、被測定物2の形状を測定することができる。 The slider 104 is moved in the X-axis direction along the beam 103 by an X-axis moving mechanism installed between the beams 103 and the slider 104 . The Z-axis spindle 105 is moved in the Z-axis direction with respect to the slider 104 by a Z-axis movement mechanism installed between the slider 104 and the Z-axis spindle 105 . A gate-shaped structure including columns 101 and 102 is moved in the Y-axis direction with respect to table 100 by a Y-axis movement mechanism installed between table 100 and columns 101 and 102 . The measuring apparatus 1 appropriately moves the moving mechanism to bring the stylus provided in the probing system 106 into contact with the object 2 to be measured placed on the table 100, thereby measuring the shape of the object 2 to be measured. can be measured.

測定装置1は、プロービングシステム106により物体の形状を測定することができる測定領域の少なくとも一部を撮影可能な撮像部11を備える。撮像部11は、例えばデジタルカメラである。撮像部11は、プロービングシステム106により被測定物2を測定可能な範囲の少なくとも一部の領域を撮影して撮像画像を作成する。一例として、撮像部11aは、Z軸スピンドル105に設置されている。撮像部11bは、テーブル100に設置され、撮像部11aが撮影できない死角を撮影する。また、測定装置1は、図示しない撮像部11cをさらに備えていてもよい。撮像部11cは、サポータ102に設置され、撮像部11aと撮像部11bとが撮影できない死角を撮影する。 The measuring apparatus 1 includes an imaging unit 11 capable of photographing at least a part of a measurement area in which the shape of an object can be measured by a probing system 106. FIG. The imaging unit 11 is, for example, a digital camera. The imaging unit 11 captures an image of at least a part of the measurable range of the device under test 2 by the probing system 106 to create a captured image. As an example, the imaging unit 11 a is installed on the Z-axis spindle 105 . The image capturing unit 11b is installed on the table 100 and captures a blind spot that the image capturing unit 11a cannot capture. Moreover, the measuring device 1 may further include an imaging unit 11c (not shown). The image capturing unit 11c is installed in the supporter 102 and captures blind spots that cannot be captured by the image capturing units 11a and 11b.

測定装置1は、プロービングシステム106を移動させて被測定物2の形状を測定する際に、撮像部11が生成した撮像画像に基づいて測定に支障が生じるか否かを判定する。測定装置1は、測定に支障があると判定すると、測定に支障があることを示す音声を出力したり、測定に支障があることを示す画面を表示したりする。このようにすることで、測定装置1は、測定装置1を使用する使用者に、被測定物2の測定に支障があることを通知することができる。そのため、測定装置1は、不具合の発生を予防することができる。 When moving the probing system 106 to measure the shape of the object 2 to be measured, the measuring apparatus 1 determines whether or not there is a problem in the measurement based on the captured image generated by the imaging unit 11 . If the measurement device 1 determines that there is a problem with the measurement, it outputs a sound indicating that there is a problem with the measurement, or displays a screen indicating that there is a problem with the measurement. By doing so, the measuring device 1 can notify the user using the measuring device 1 that there is an obstacle in the measurement of the device under test 2 . Therefore, the measuring device 1 can prevent the occurrence of defects.

[測定装置1の機能構成]
図2は、測定装置1の機能構成を示す図である。測定装置1は、測定部10と、撮像部11と、音声出力部12と、表示部13と、記憶部14と、制御部15とを備える。測定部10は、図1を用いてすでに説明したとおりである。
[Functional configuration of measuring device 1]
FIG. 2 is a diagram showing the functional configuration of the measuring device 1. As shown in FIG. The measurement device 1 includes a measurement section 10 , an imaging section 11 , an audio output section 12 , a display section 13 , a storage section 14 and a control section 15 . The measurement unit 10 has already been described with reference to FIG.

音声出力部12は、音声を出力する、例えばスピーカーである。表示部13は、各種情報を表示する。表示部13は、例えば液晶ディスプレイ又はLED表示灯を備える。記憶部14は、ROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)及びハードディスク等の記憶媒体を含む。記憶部14は、制御部15が実行するプログラムを記憶する。また、記憶部14は、制御部15がプロービングシステム106を移動させるための指示値を記憶してもよい。 The audio output unit 12 is, for example, a speaker that outputs audio. The display unit 13 displays various information. The display unit 13 includes, for example, a liquid crystal display or an LED indicator. The storage unit 14 includes a storage medium such as a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), and a hard disk. The storage unit 14 stores programs executed by the control unit 15 . The storage unit 14 may also store an instruction value for the control unit 15 to move the probing system 106 .

制御部15は、例えばCPU(Central Processing Unit)である。制御部15は、記憶部14に記憶されたプログラムを実行することにより測定装置1を制御する。具体的には、制御部15は、記憶部14に記憶された指示値に基づいて測定部10及びプロービングシステム106を移動させながら、測定部10に被測定物2の形状を測定させる。 The control unit 15 is, for example, a CPU (Central Processing Unit). The control unit 15 controls the measuring device 1 by executing programs stored in the storage unit 14 . Specifically, the control unit 15 causes the measurement unit 10 to measure the shape of the object 2 while moving the measurement unit 10 and the probing system 106 based on the instruction values stored in the storage unit 14 .

制御部15は、被測定物2の形状を測定させるときに、撮像部11に測定領域を撮影した撮像画像を生成させる。制御部15は、撮像画像に基づいて、測定部10がプロービングシステム106により被測定物2の形状を測定する際に支障が生じるか否かを判定する。詳細は後述するが、測定する際に支障が生じると制御部15が判定する場合は、例えばプロービングシステム106の軌跡上に移動の妨げになる異物が存在する場合、又は装着すべきプロービングシステム106と異なるプロービングシステム106が装着された場合である。プロービングシステム106の軌跡は、プロービングシステム106が移動する間におけるプロービングシステム106の少なくとも一部(例えば先端に設けられたスタイラス)の位置を接続することにより特定される。制御部15は、測定する際に支障が生じると判定した場合に、測定に支障があることを示す警告情報を出力する。 When measuring the shape of the object 2 to be measured, the control unit 15 causes the imaging unit 11 to generate a captured image of the measurement area. Based on the captured image, the control unit 15 determines whether or not there will be a problem when the measuring unit 10 measures the shape of the object 2 using the probing system 106 . Although the details will be described later, when the control unit 15 determines that an obstacle occurs during measurement, for example, when there is a foreign object on the trajectory of the probing system 106 that interferes with the movement, or when the probing system 106 to be mounted This is the case when a different probing system 106 is attached. The trajectory of the probing system 106 is determined by connecting the positions of at least a portion of the probing system 106 (eg, the tipped stylus) while the probing system 106 moves. When the control unit 15 determines that the measurement will be hindered, it outputs warning information indicating that the measurement is hindered.

例えば、制御部15は、測定に支障が生じることを示す音声情報を含む警告情報を音声出力部12に出力する。音声出力部12は、音声情報を含む警告情報を受信すると、警告情報に対応する音声を出力する。また、制御部15は、測定に支障が生じることを示す画像又はテキストを含む警告情報を表示部13に出力する。表示部13は、画像又はテキストを含む警告情報を受信すると、警告情報に対応する画面を表示する。 For example, the control unit 15 outputs to the audio output unit 12 warning information including audio information indicating that the measurement will be disturbed. When receiving warning information including voice information, the voice output unit 12 outputs voice corresponding to the warning information. In addition, the control unit 15 outputs warning information including an image or text indicating that the measurement will be disturbed to the display unit 13 . When receiving warning information including an image or text, the display unit 13 displays a screen corresponding to the warning information.

このように、測定装置1は、測定に支障がある場合、測定に支障があることを示す音声を出力したり、測定に支障があることを示す画面を表示したりする。そのため、測定装置1は、測定装置1を使用する使用者に測定に支障があることを通知することができ、不具合の発生を予防することができる。 In this way, when there is a problem with the measurement, the measuring device 1 outputs a sound indicating that there is a problem with the measurement, or displays a screen indicating that there is a problem with the measurement. Therefore, the measuring device 1 can notify the user using the measuring device 1 that there is an obstacle in the measurement, and can prevent the occurrence of trouble.

なお、制御部15は、測定装置1の動作を停止させる停止指示を含む警告情報を測定部10に出力してもよい。例えば、制御部15は、被測定物2の測定を開始した後に、測定に支障が生じると判定した場合、停止指示を含む警告情報を測定部10に出力する。測定部10は、停止指示を含む警告情報を受信すると、動作を停止する。このように、測定装置1は、測定を開始した後であっても、測定領域内に人や物体が進入した場合、動作を停止するので、不具合の発生を予防できる。
以下、制御部15が警告情報を出力する場合について具体的な例を挙げて説明する。
Note that the control unit 15 may output warning information including a stop instruction to stop the operation of the measuring device 1 to the measuring unit 10 . For example, when the control unit 15 determines that the measurement will be hindered after starting the measurement of the object 2 to be measured, the control unit 15 outputs warning information including a stop instruction to the measurement unit 10 . The measurement unit 10 stops operating when receiving warning information including a stop instruction. In this manner, even after starting measurement, the measurement apparatus 1 stops operation when a person or an object enters the measurement area, thereby preventing troubles from occurring.
A specific example of the case where the control unit 15 outputs warning information will be described below.

(プロービングシステム106の軌跡上に異物が存在する場合)
制御部15は、プロービングシステム106を移動させる軌跡上に、プロービングシステム106の移動を妨げる異物が存在する場合に警告情報を出力する。以下、詳細に説明する。
(When there is a foreign object on the trajectory of the probing system 106)
The control unit 15 outputs warning information when there is a foreign object that interferes with the movement of the probing system 106 on the trajectory along which the probing system 106 is moved. A detailed description will be given below.

まず、制御部15は、測定部10がプロービングシステム106を移動させる軌跡を特定する。例えば、制御部15は、測定装置1を使用する使用者により入力された指示値を取得し、取得した指示値に基づいて、プロービングシステム106の先端の位置の軌跡を特定する。制御部15は、プロービングシステム106の先端の位置の軌跡と、プロービングシステム106の形状とに基づいて、プロービングシステム106全体の軌跡をさらに特定してもよい。 First, the control unit 15 specifies the trajectory along which the probing system 106 is moved by the measurement unit 10 . For example, the control unit 15 acquires an instruction value input by a user who uses the measuring device 1, and identifies the trajectory of the position of the tip of the probing system 106 based on the acquired instruction value. The control unit 15 may further specify the trajectory of the entire probing system 106 based on the trajectory of the position of the tip of the probing system 106 and the shape of the probing system 106 .

続いて、制御部15は、撮像部11に測定領域を撮影した撮像画像を生成させ、当該撮像画像に基づいて測定領域に存在する異物の位置を特定する。制御部15は、特定した異物の位置が、特定した軌跡上にあるか否かを判定する。 Subsequently, the control unit 15 causes the imaging unit 11 to generate a captured image of the measurement area, and specifies the position of the foreign matter existing in the measurement area based on the captured image. The control unit 15 determines whether or not the specified position of the foreign object is on the specified trajectory.

図3は、プロービングシステム106の軌跡上に異物が存在する場合について説明するための図である。図3に示すように、撮像部11aは、Z軸スピンドル105の下端、かつ網点で塗りつぶしたプローブアダプタ108の上部に、プロービングシステム106及びプロービングシステム106の進行方向を撮影する向きに取り付けられている。 FIG. 3 is a diagram for explaining a case where a foreign object exists on the trajectory of the probing system 106. FIG. As shown in FIG. 3, the imaging unit 11a is attached to the lower end of the Z-axis spindle 105 and to the upper part of the probe adapter 108 filled with halftone dots so as to photograph the probing system 106 and the traveling direction of the probing system 106. there is

ここで、制御部15は、プロービングシステム106の軌跡として、Y軸方向に沿って移動するという軌跡を特定したとする。矢印Lは、制御部15が特定したプロービングシステム106の軌跡を示す。制御部15は、撮像部11aにより撮影された撮像画像に基づいて異物Mの位置を特定する。図3に示すように、異物Mは、プロービングシステム106の軌跡を示す矢印L上に存在するので、制御部15は軌跡上に異物Mが存在すると判定する。そして、制御部15は、特定した軌跡上に異物が存在すると判定した場合に警告情報を出力する。このように、制御部15は、プロービングシステム106の軌跡上に異物Mが存在する場合に警告情報を出力するので、測定装置1の不具合の発生を予防できる。 Here, it is assumed that the control unit 15 has identified a trajectory of movement along the Y-axis direction as the trajectory of the probing system 106 . Arrow L indicates the trajectory of probing system 106 identified by controller 15 . The control unit 15 identifies the position of the foreign matter M based on the captured image captured by the imaging unit 11a. As shown in FIG. 3, the foreign matter M is present on the arrow L indicating the trajectory of the probing system 106, so the control unit 15 determines that the foreign matter M is present on the trajectory. Then, the control unit 15 outputs warning information when determining that a foreign object exists on the specified locus. In this manner, the control unit 15 outputs warning information when the foreign matter M exists on the trajectory of the probing system 106, so that the occurrence of troubles in the measuring apparatus 1 can be prevented.

なお、制御部15は、撮像画像により特定されるプロービングシステム106の種別に基づいて、軌跡上に異物が存在するか否かを判定してもよい。例えば、制御部15は、プロービングシステム106の種別に基づく所定の警戒範囲に物体が存在する場合、軌跡上に異物が存在すると判定する。具体的には、まず、制御部15は、特定したプロービングシステム106の種別に対応するプロービングシステム106の形状を特定する。制御部15は、プロービングシステム106を移動させる軌跡に沿って、特定したプロービングシステム106の形状に応じて設定される警戒範囲内に物体が存在する場合、軌道上に異物が存在すると判定する。このようにすることで、制御部15は、特定した異物Mの位置がずれていた場合でも、プロービングシステム106が異物Mと接触することを予防できる。 Note that the control unit 15 may determine whether or not a foreign object exists on the trajectory based on the type of the probing system 106 specified by the captured image. For example, when an object exists within a predetermined caution range based on the type of probing system 106, the control unit 15 determines that a foreign object exists on the trajectory. Specifically, first, the control unit 15 identifies the shape of the probing system 106 corresponding to the identified type of the probing system 106 . The control unit 15 determines that a foreign object exists on the trajectory when an object exists within the caution range set according to the identified shape of the probing system 106 along the trajectory of the probing system 106 . By doing so, the control unit 15 can prevent the probing system 106 from coming into contact with the foreign matter M even when the identified foreign matter M is displaced.

(設定されたプロービングシステム106と異なるプロービングシステム106が装着された場合)
測定装置1を使用する使用者が、誤って、設定されたプロービングシステム106と異なるプロービングシステム106を装着してしまった場合であっても、制御部15は、記憶部14に記憶された指示値に基づいてプロービングシステム106を移動させる。装着されたプロービングシステム106の種別(例えば形状)が、指示値が作成された際に想定されていたプロービングシステム106の種別と異なる場合、装着されたプロービングシステム106が被測定物2に接触してしまう可能性が生じる。
(When a probing system 106 different from the set probing system 106 is attached)
Even if the user using the measuring device 1 mistakenly wears a probing system 106 that is different from the set probing system 106, the control unit 15 can restore the indicated value stored in the storage unit 14. moves the probing system 106 based on . If the type (e.g., shape) of the probing system 106 attached is different from the type of probing system 106 that was assumed when the indication value was created, the attached probing system 106 may come into contact with the device under test 2 . There is a possibility that it will be lost.

そこで、制御部15は、装着すべきプロービングシステム106の種別と、装着されたプロービングシステム106の種別とが異なる場合、警告情報を出力する。具体的には、まず、制御部15は、測定部10が使用する予定のプロービングシステム106の種別を示す種別情報を取得する。次に、制御部15は、装着されたプロービングシステム106の種別を撮像画像に基づいて特定する。図4は、プロービングシステム106の種別を特定する方法を説明するための図である。 Therefore, when the type of the probing system 106 to be mounted and the type of the probing system 106 mounted are different, the control unit 15 outputs warning information. Specifically, first, the control unit 15 acquires type information indicating the type of the probing system 106 to be used by the measurement unit 10 . Next, the control unit 15 identifies the type of the attached probing system 106 based on the captured image. FIG. 4 is a diagram for explaining a method of identifying the type of probing system 106. As shown in FIG.

図4(a)及び図4(b)は、それぞれ種別の異なるプロービングシステム106を模式的に示す図である。図4に示すように、プロービングシステム106は、斜線で塗りつぶしたプローブ107と、格子で塗りつぶしたプローブアダプタ108と、網点で塗りつぶしたプローブヘッド109と、スタイラス110とを備える。制御部15は、撮像画像に基づいて、プローブアダプタ108の下端を基準として、プローブ107の長さを特定する。制御部15は、特定したプローブ107の長さに対応するプロービングシステム106の種別を特定する。なお、制御部15がプローブ107の長さを特定する方法は、既知の画像認識技術を使用することができる。 FIGS. 4A and 4B are diagrams schematically showing probing systems 106 of different types. As shown in FIG. 4, the probing system 106 includes a probe 107 hatched, a probe adapter 108 hatched, a probe head 109 hatched, and a stylus 110 . Based on the captured image, the control unit 15 specifies the length of the probe 107 with the lower end of the probe adapter 108 as a reference. The control unit 15 identifies the type of the probing system 106 corresponding to the identified length of the probe 107 . A known image recognition technique can be used as a method for the control unit 15 to specify the length of the probe 107 .

そして、制御部15は、種別情報が示すプロービングシステム106の種別が、撮像画像により特定されるプロービングシステム106の種別と異なる場合に警告情報を出力する。このように、制御部15は、測定部10が使用する予定のプロービングシステム106と、装着されたプロービングシステム106とが異なる場合に警告情報を出力する。そのため、制御部15は、使用者が、測定装置1に誤ったプロービングシステム106を装着した場合でも不具合の発生を予防することができる。 Then, the control unit 15 outputs warning information when the type of the probing system 106 indicated by the type information is different from the type of the probing system 106 specified by the captured image. Thus, the control unit 15 outputs warning information when the probing system 106 to be used by the measurement unit 10 is different from the installed probing system 106 . Therefore, the control unit 15 can prevent a problem from occurring even if the user attaches the wrong probing system 106 to the measuring device 1 .

ところで、撮像部11が、撮像部11bのようにテーブル100に設置されている場合、測定部10の移動に伴って、プロービングシステム106が撮像部11bの撮像領域から外れてしまうことがある。このような問題が生じることを防ぐために、制御部15は、撮像部11が撮影する撮像領域を変化させる。例えば、制御部15は、プロービングシステム106の移動に伴って撮像部11の撮像方向を変化させるように制御してもよい。具体的には、制御部15は、撮像部11の撮像領域内の所定の範囲内にプロービングシステム106が含まれるように撮像方向を変化させる。このようにすることで、制御部15は、プロービングシステム106を移動しても、プロービングシステム106の付近にある異物を検出することができるので、より確実に測定装置1の不具合の発生を予防することができる。 Incidentally, when the imaging unit 11 is installed on the table 100 like the imaging unit 11b, the probing system 106 may move out of the imaging area of the imaging unit 11b as the measurement unit 10 moves. In order to prevent such a problem from occurring, the control unit 15 changes the image capturing area that the image capturing unit 11 captures. For example, the control unit 15 may control to change the imaging direction of the imaging unit 11 as the probing system 106 moves. Specifically, the control unit 15 changes the imaging direction so that the probing system 106 is included within a predetermined range within the imaging area of the imaging unit 11 . In this way, even if the probing system 106 is moved, the control unit 15 can detect a foreign object in the vicinity of the probing system 106, thereby preventing malfunction of the measuring apparatus 1 more reliably. be able to.

制御部15は、撮像部11の撮像方向の初期値の調整を行ってもよい。例えば、制御部15は、測定装置1に設けられた所定のマーカーに基づいて、撮像部11の撮影方向の初期値を特定することにより撮像部11の撮像方向の初期値の調整を行う。マーカーは、撮像部11に対して相対的な位置が変化しない位置に形成されている。例えば、撮像部11aに対するマーカーは、Z軸スピンドル105に形成されている。また、撮像部11bに対するマーカーは、テーブル100に形成されている。 The control unit 15 may adjust the initial value of the imaging direction of the imaging unit 11 . For example, the control unit 15 adjusts the initial value of the imaging direction of the imaging unit 11 by specifying the initial value of the imaging direction of the imaging unit 11 based on a predetermined marker provided on the measuring device 1 . The marker is formed at a position where the position relative to the imaging unit 11 does not change. For example, a marker for the imaging unit 11a is formed on the Z-axis spindle 105. FIG. A marker for the imaging unit 11b is formed on the table 100. FIG.

制御部15は、初期値を調整する際、まず、測定装置1に設けられた所定のマーカーを、撮像領域を変化させながら撮像部11に撮影させる。次に、制御部15は、撮像画像に含まれるマーカーの画像が所定の基準位置になったときの撮像部11の撮像方向を撮像方向の初期値として記憶部14に記憶させる。制御部15は、撮像部11の撮像領域を移動させる場合、記憶部14に記憶された撮像方向の初期値を基準として撮像領域を移動させる。 When adjusting the initial value, the control unit 15 first causes the imaging unit 11 to photograph a predetermined marker provided on the measuring device 1 while changing the imaging region. Next, the control unit 15 causes the storage unit 14 to store, as an initial value of the imaging direction, the imaging direction of the imaging unit 11 when the image of the marker included in the captured image is at a predetermined reference position. When moving the imaging region of the imaging unit 11 , the control unit 15 moves the imaging region based on the initial value of the imaging direction stored in the storage unit 14 .

制御部15は、撮影画像に含まれるマーカーに基づいて測定領域に対する撮像領域の角度を特定し、特定した角度に基づいて物体の位置を補正する。また、基準位置は、撮像画像において特に限定する必要はないが、マーカー全体が含まれるように撮像領域中央付近であるのが望ましい。 The control unit 15 identifies the angle of the imaging region with respect to the measurement region based on the markers included in the captured image, and corrects the position of the object based on the identified angle. Also, the reference position does not have to be particularly limited in the captured image, but is preferably near the center of the imaging area so that the entire marker is included.

このようにすることで、制御部15は、測定領域を撮影する位置をより正確に特定することができるので、測定領域内に存在する物体の位置をより精度よく特定することができる。そのため、制御部15は、プロービングシステム106と異物とが接触するか否かの判定精度を向上することができる。 By doing so, the control unit 15 can more accurately specify the position where the measurement area is photographed, so that the position of the object existing within the measurement area can be specified more accurately. Therefore, the control unit 15 can improve the accuracy of determining whether or not the probing system 106 contacts the foreign matter.

被測定物2の測定を開始する前は、測定領域全体において異物を検出したいが、被測定物2の測定を開始した後は、被測定物2の近傍において異物を検出したい場合がある。この場合、制御部15は、測定部10が測定を開始する前と、測定部10が測定を開始した後とで、フォーカス位置及び絞りの少なくともいずれかを撮像部11に変化させる変更指示を通知する。具体的には、制御部15は、測定を開始した後の撮像部11の絞りを、測定を開始する前の絞りより開く変更指示を通知する。また、制御部15は、測定を開始した後の撮像部11のレンズの焦点距離を、測定を開始する前のレンズの焦点距離より長くする変更指示を通知する。 Before starting the measurement of the object 2 to be measured, it is desired to detect foreign matter in the entire measurement area, but after starting the measurement of the object 2 to be measured, it may be desired to detect the foreign matter in the vicinity of the object 2 to be measured. In this case, the control unit 15 notifies the imaging unit 11 of a change instruction to change at least one of the focus position and the aperture before the measurement unit 10 starts measurement and after the measurement unit 10 starts measurement. do. Specifically, the control unit 15 notifies a change instruction to open the diaphragm of the imaging unit 11 after starting the measurement from the diaphragm before starting the measurement. Further, the control unit 15 notifies a change instruction to make the focal length of the lens of the imaging unit 11 after starting the measurement longer than the focal length of the lens before starting the measurement.

このように、制御部15は、測定を開始する前は測定領域全体においてフォーカスを合わせ、測定を開始した後は被測定物2にフォーカスを合わせる。そのため、制御部15は、被測定物2の測定を開始する前は測定領域全体において異物を検出しやすくなり、被測定物2の測定を開始した後は被測定物2の近傍において異物を検出しやすくなる。 In this manner, the control unit 15 focuses on the entire measurement area before starting measurement, and focuses on the object 2 after starting measurement. Therefore, the control unit 15 can easily detect foreign matter in the entire measurement area before starting measurement of the object 2 to be measured, and can detect foreign matter in the vicinity of the object 2 to be measured after starting measurement of the object 2 to be measured. easier to do.

以下、測定を開始する処理の流れについて説明する。図5は、測定を開始する処理のフローチャートである。 The flow of processing for starting measurement will be described below. FIG. 5 is a flow chart of processing for starting measurement.

まず、制御部15は、撮像部11に測定領域とプロービングシステム106とを撮影した撮像画像を生成させる(ステップS1)。制御部15は、撮像画像に基づいてプローブの種別を特定する(ステップS2)。次に、制御部15は、使用する予定のプロービングシステム106の種別を示す識別情報を取得する(ステップS3)。なお、制御部15は、識別情報を取得する処理(ステップS3)を、プロービングシステム106の種別を特定する処理(ステップS1及びS2)の前に行ってもよい。 First, the control unit 15 causes the imaging unit 11 to generate a captured image of the measurement region and the probing system 106 (step S1). The control unit 15 identifies the type of probe based on the captured image (step S2). Next, the control unit 15 acquires identification information indicating the type of the probing system 106 to be used (step S3). Note that the control unit 15 may perform the process of acquiring the identification information (step S3) before the process of identifying the type of the probing system 106 (steps S1 and S2).

制御部15は、種別情報が示すプロービングシステム106の種別が、撮像画像により特定されるプロービングシステム106の種別と異なるか否かを判定する(ステップS4)。制御部15は、プロービングシステム106の種別が異なると判定すると(ステップS4でYes)、警告情報を出力する(ステップS7)。制御部15は、プロービングシステム106の種別が同一であると判定すると(ステップS4でNo)、プロービングシステム106の種別に基づいてプロービングシステム106を移動させる軌跡を特定する(ステップS5)。 The control unit 15 determines whether the type of the probing system 106 indicated by the type information is different from the type of the probing system 106 specified by the captured image (step S4). When the control unit 15 determines that the type of the probing system 106 is different (Yes in step S4), it outputs warning information (step S7). When the control unit 15 determines that the types of the probing systems 106 are the same (No in step S4), the control unit 15 specifies the trajectory for moving the probing systems 106 based on the type of the probing systems 106 (step S5).

制御部15は、特定した軌跡上の異物が存在するか否かを、撮像画像に基づいて判定する(ステップS6)。制御部15は、軌道上に異物が存在すると判定すると(ステップS6でYes)、警告情報を出力する(ステップS7)。制御部15は、軌道上に異物が存在しないと判定すると(ステップS6でNo)、被測定物2の測定を開始する(ステップS8)。 Based on the captured image, the control unit 15 determines whether or not there is a foreign object on the identified trajectory (step S6). When determining that a foreign object exists on the track (Yes in step S6), the control unit 15 outputs warning information (step S7). When the controller 15 determines that there is no foreign object on the track (No in step S6), it starts measuring the object 2 (step S8).

(変形例)
以上の説明において、制御部15は、記憶部14に記憶されたプロービングシステム106を移動させる軌跡に従ってプロービングシステム106を移動させた。これに限らず、プロービングシステム106は、被測定物2の画像に基づいてプロービングシステム106の位置及び向きを制御してもよい。具体的には、まず、制御部15は、撮像部11に被測定物2を撮影させる。次に、制御部15は、撮像画像に含まれる被測定物2の画像に基づいて被測定物2の形状を特定する。続いて、制御部15は、特定した被測定物2の形状に沿って移動するプロービングシステム106の軌跡を特定する。そして、制御部15は、特定した軌跡に従ってプロービングシステム106の位置及び向きを制御する。このようにすることで、制御部15は、被測定物2に応じた軌跡でプロービングシステム106を移動させることができる。
(Modification)
In the above description, the control unit 15 moves the probing system 106 according to the trajectory for moving the probing system 106 stored in the storage unit 14 . Alternatively, the probing system 106 may control the position and orientation of the probing system 106 based on the image of the device under test 2 . Specifically, first, the control unit 15 causes the image capturing unit 11 to capture an image of the object 2 to be measured. Next, the control unit 15 identifies the shape of the object 2 to be measured based on the image of the object 2 included in the captured image. Subsequently, the control unit 15 identifies the trajectory of the probing system 106 that moves along the identified shape of the object 2 to be measured. The controller 15 then controls the position and orientation of the probing system 106 according to the identified trajectory. By doing so, the control unit 15 can move the probing system 106 along a trajectory according to the object 2 to be measured.

[実施形態に係る測定装置1の効果]
以上説明したように、測定装置1は、プロービングシステム106により被測定物2を測定可能な範囲の少なくとも一部の領域を撮影して撮像画像を作成する。測定装置1は、撮像画像に基づいて、測定部10がプロービングシステム106により被測定物2の形状を測定する際に支障が生じると判定した場合に警告情報を出力する。このようにすることで、測定装置1は、測定装置1に不具合が発生することを予防することができる。
[Effect of the measuring device 1 according to the embodiment]
As described above, the measuring apparatus 1 captures at least a part of the measurable range of the object 2 by the probing system 106 to create a captured image. The measuring apparatus 1 outputs warning information when it is determined based on the captured image that the measuring unit 10 will interfere with the probing system 106 measuring the shape of the object 2 . By doing so, the measuring device 1 can prevent malfunctions from occurring in the measuring device 1 .

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。例えば、装置の分散・統合の具体的な実施の形態は、以上の実施の形態に限られず、その全部又は一部について、任意の単位で機能的又は物理的に分散・統合して構成することができる。また、複数の実施の形態の任意の組み合わせによって生じる新たな実施の形態も、本発明の実施の形態に含まれる。組み合わせによって生じる新たな実施の形態の効果は、もとの実施の形態の効果を合わせ持つ。 Although the present invention has been described above using the embodiments, the technical scope of the present invention is not limited to the scope described in the above embodiments, and various modifications and changes are possible within the scope of the gist thereof. be. For example, specific embodiments of device distribution/integration are not limited to the above-described embodiments. can be done. In addition, new embodiments resulting from arbitrary combinations of multiple embodiments are also included in the embodiments of the present invention. The effect of the new embodiment caused by the combination has the effect of the original embodiment.

1 測定装置
10 測定部
11 撮像部
12 音声出力部
13 表示部
14 記憶部
15 制御部
100 テーブル
101 コラム
102 サポータ
103 ビーム
104 スライダ
105 Z軸スピンドル
106 プロービングシステム
107 プローブ
108 プローブアダプタ
109 プローブヘッド
110 スタイラス
1 measuring device 10 measuring unit 11 imaging unit 12 audio output unit 13 display unit 14 storage unit 15 control unit 100 table 101 column 102 supporter 103 beam 104 slider 105 Z-axis spindle 106 probing system 107 probe 108 probe adapter 109 probe head 110 stylus

Claims (4)

移動可能なプローブにより被測定物の形状を測定する測定部と、 a measuring unit that measures the shape of an object to be measured using a movable probe;
前記プローブにより前記被測定物を測定可能な範囲の少なくとも一部の領域を撮影して撮像画像を作成する撮像部と、 an imaging unit that captures at least a part of a measurable range of the object to be measured by the probe to create a captured image;
前記撮像画像に基づいて、前記測定部が前記プローブにより前記被測定物の形状を測定する際に支障が生じると判定した場合に警告情報を出力する制御部と、 a control unit that outputs warning information when the measurement unit determines, based on the captured image, that an obstacle will occur when measuring the shape of the object to be measured using the probe;
を有し、 has
前記制御部は、測定を開始した後の前記撮像部の絞りを、測定を開始する前の絞りより開く、又は測定を開始した後の前記撮像部のレンズの焦点距離を、測定を開始する前のレンズの焦点距離より長くする測定装置。 The control unit opens the aperture of the imaging unit after starting measurement more than the aperture before starting measurement, or adjusts the focal length of the lens of the imaging unit after starting measurement. A measuring device that is longer than the focal length of a lens.
前記制御部は、前記撮像画像により特定される前記プローブの種別に基づいて、前記軌跡上に異物が存在するか否かを判定する、
請求項1に記載の測定装置。
The control unit determines whether or not a foreign object exists on the trajectory based on the type of the probe specified by the captured image.
The measuring device according to claim 1.
前記制御部は、前記測定部が使用する予定の前記プローブの種別を示す種別情報を取得し、前記種別情報が示すプローブの種別が、前記撮像画像により特定される前記プローブの種別と異なる場合に前記警告情報を出力する、
請求項2に記載の測定装置。
The control unit acquires type information indicating the type of the probe to be used by the measurement unit, and when the type of the probe indicated by the type information is different from the type of the probe specified by the captured image, outputting the warning information;
The measuring device according to claim 2.
被測定物の形状を測定するために用いられる移動可能なプローブにより前記被測定物を測定可能な範囲の少なくとも一部の領域を撮影して撮像画像を作成するステップと、
前記撮像画像に基づいて、前記プローブにより前記被測定物の形状を測定する際に支障が生じると判定した場合に警告情報を出力するステップと、
測定を開始した後の前記領域を撮影する撮像部の絞りを、測定を開始する前の絞りより開くステップ、又は測定を開始した後の前記撮像部のレンズの焦点距離を、測定を開始する前のレンズの焦点距離より長くするステップの少なくともいずれか一方と、
を有する測定方法。
creating a captured image by photographing at least a part of a measurable range of the object to be measured by a movable probe used to measure the shape of the object;
a step of outputting warning information when it is determined, based on the captured image, that an obstacle will occur when measuring the shape of the object to be measured with the probe;
A step of opening the aperture of an imaging unit that captures the region after starting measurement from the aperture before starting measurement, or setting the focal length of the lens of the imaging unit after starting measurement before starting measurement. at least one of the steps of increasing the focal length of the lens of
measurement method.
JP2017228847A 2017-11-29 2017-11-29 Measuring device and measuring method Active JP7126819B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017228847A JP7126819B2 (en) 2017-11-29 2017-11-29 Measuring device and measuring method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017228847A JP7126819B2 (en) 2017-11-29 2017-11-29 Measuring device and measuring method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2019100740A JP2019100740A (en) 2019-06-24
JP7126819B2 true JP7126819B2 (en) 2022-08-29

Family

ID=66976818

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017228847A Active JP7126819B2 (en) 2017-11-29 2017-11-29 Measuring device and measuring method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7126819B2 (en)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000218364A (en) 1999-01-29 2000-08-08 Koike Sanso Kogyo Co Ltd Failure monitoring device
JP2004325159A (en) 2003-04-23 2004-11-18 Mitsutoyo Corp Micro-shape measuring probe and micro-shape measuring method
JP2007114000A (en) 2005-10-19 2007-05-10 Mitsutoyo Corp Probe observation device, and surface property measuring instrument
JP2011107058A (en) 2009-11-20 2011-06-02 Mitsutoyo Corp Three-dimensional measuring machine
JP2014109480A (en) 2012-11-30 2014-06-12 Mitsutoyo Corp Xyz orthogonal measurement device
JP6161533B2 (en) 2012-12-28 2017-07-12 株式会社神戸製鋼所 Titanium continuous casting machine
JP2017167056A (en) 2016-03-17 2017-09-21 株式会社東京精密 Three-dimensional measuring machine, measurement method, and measurement program
JP6229727B2 (en) 2014-07-23 2017-11-15 横浜ゴム株式会社 Heavy duty pneumatic tire

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02185392A (en) * 1989-01-13 1990-07-19 Hitachi Ltd Safety device for robot or manipulator and robot or manipulator equipped with the same device
JPH06161533A (en) * 1992-11-25 1994-06-07 Sanyo Electric Co Ltd Control system for three-dimensional measuring device
JP2582023B2 (en) * 1993-01-29 1997-02-19 新日本製鐵株式会社 Method and apparatus for measuring dimensions of mechanical parts
JP3395381B2 (en) * 1994-07-27 2003-04-14 石川島播磨重工業株式会社 3D measuring device for structures

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000218364A (en) 1999-01-29 2000-08-08 Koike Sanso Kogyo Co Ltd Failure monitoring device
JP2004325159A (en) 2003-04-23 2004-11-18 Mitsutoyo Corp Micro-shape measuring probe and micro-shape measuring method
JP2007114000A (en) 2005-10-19 2007-05-10 Mitsutoyo Corp Probe observation device, and surface property measuring instrument
JP2011107058A (en) 2009-11-20 2011-06-02 Mitsutoyo Corp Three-dimensional measuring machine
JP2014109480A (en) 2012-11-30 2014-06-12 Mitsutoyo Corp Xyz orthogonal measurement device
JP6161533B2 (en) 2012-12-28 2017-07-12 株式会社神戸製鋼所 Titanium continuous casting machine
JP6229727B2 (en) 2014-07-23 2017-11-15 横浜ゴム株式会社 Heavy duty pneumatic tire
JP2017167056A (en) 2016-03-17 2017-09-21 株式会社東京精密 Three-dimensional measuring machine, measurement method, and measurement program

Also Published As

Publication number Publication date
JP2019100740A (en) 2019-06-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6253368B2 (en) Three-dimensional shape measuring apparatus and control method thereof
JP4511471B2 (en) IMAGING DEVICE, IMAGING LENS, AND DATA WRITE METHOD TO IMAGING LENS
US9444995B2 (en) System and method for controlling a tracking autofocus (TAF) sensor in a machine vision inspection system
KR102362929B1 (en) Method of adjusting needle tip position of probe needle and inspection device
KR101875137B1 (en) Process method and apparatus for privacy mask
JP2000227326A (en) Flatness measuring device
US10147174B2 (en) Substrate inspection device and method thereof
US11928805B2 (en) Information processing apparatus, information processing method, and storage medium for defect inspection and detection
JP2009139139A (en) Calibrating method of image measuring instrument
JP2014137583A5 (en) Focus adjustment device and control method of focus adjustment device
JP5210643B2 (en) Illumination light quantity setting method and image measurement apparatus in image measurement apparatus
TWI542865B (en) Method for detecting probe card by dff/d technology and the structure thereof
JP7126819B2 (en) Measuring device and measuring method
JP2012086350A (en) Imaging type tool measuring instrument, and method of detecting lead-in of cutting edge in imaging type tool measurement
JP2015108582A (en) Three-dimensional measurement method and device
JP2005283267A (en) Through hole measuring device, method, and program for through hole measurement
JP6742272B2 (en) Wafer abnormality location detection device and wafer abnormality location identification method
KR101487251B1 (en) Optical tracking system and method for tracking using the same
JPWO2010137637A1 (en) Shape measuring device, shape measuring method, and manufacturing method
KR101819576B1 (en) Test apparatus and method for optical image stabilizer
JP2005315654A (en) Lens meter
KR101563999B1 (en) Method and System for measuring the state of Tire width and thickness
KR101442106B1 (en) Apparatus and method for testing camera module
US20200128189A1 (en) Camera system, control method and non-transitory computer-readable storage medium
JP3828532B2 (en) Inspection apparatus and inspection method

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20201006

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20210818

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210824

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20211022

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20220329

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220516

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220802

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220817

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7126819

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150