JP7126257B2 - 光学計測装置 - Google Patents
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Description
このように従来の位相差顕微鏡は、純粋に位相情報あるいは強度情報だけを分離して、観察する顕微鏡ではなかった。また、位相情報を可視化する微分干渉顕微鏡においても、同様であった。特に、3次元計測を可能にするためには、位相情報である光学的距離情報と強度情報は明確に分離する必要性がある。
前者の共焦点顕微鏡は、測定対象物にスポット光を照射しそのスポット光に対してピンホールを介して共焦点位置に配置した受光素子にて受光した光量が最大になるように、対物レンズまたは測定対象物を動かすことにより、測定対象物の高さ情報や行路差情報を取得していた。
光源からの照射光を走査させて測定対象物に送る走査素子と、
照射光の光軸方向に対して垂直な方向を境界線として両側に各1つ位置し、走査に伴い測定対象物により変調された照射光をそれぞれ受光して光電変換する少なくとも2つの受光素子と、
これら受光素子にてそれぞれ光電変換されて出力された信号および該信号をヒルベルト変換した信号それぞれを、離散的な複数個のデータからなる計測データとすると共に、この計測データを構成する複数個のデータ列に続いて複数の0の値を埋め込んだものを被変換データとし、この被変換データをフーリエ変換して2つの受光素子の出力から求まる測定対象物についての和信号と差信号の計測値を得る計測部と、
を含む。
本発明においては、コヒーレントな照射光が光源から照射されると共に、走査素子がこの照射光を走査させて走査ビームとして測定対象物に送る。さらに、照射光の光軸方向に対して垂直な方向を境界線とした両側に各1つ位置した2つの受光素子が、走査に伴い測定対象物により変調された照射光をそれぞれ受光して光電変換する。
光源からの照射光を走査させて測定対象物に送る走査素子と、
照射光の光軸方向に対して垂直な方向を境界線として両側に各1つ位置し、走査に伴い測定対象物により変調された照射光をそれぞれ受光して光電変換する少なくとも2つの受光素子と、
これら受光素子にてそれぞれ光電変換されて出力され時系列に入力される信号それぞれを、測定対象物が表示される画像を形成する際の少なくとも各ライン単位でフーリエ変換して、強度情報と位相情報を得ると共に、これら強度情報と位相情報それぞれのMTFの基となるデータが計測された周波数に基づく係数を乗じてMTFをフラット化してから、これら強度情報と位相情報それぞれに対して逆フーリエ変換をして、2つの受光素子の出力から求まる測定対象物についての和信号と差信号の計測値を得る計測部と、
を含む。
本発明においては、コヒーレントな照射光が光源から照射されると共に、走査素子がこの照射光を走査させて走査ビームとして測定対象物に送る。さらに、照射光の光軸方向に対して垂直な方向を境界線とした両側に各1つ位置した2つの受光素子が、走査に伴い測定対象物により変調された照射光をそれぞれ受光して光電変換する。
さらに、照射光の光軸方向に対して垂直な方向を境界線として両側に各1つ位置した受光素子でそれぞれ光電変換された信号をヒルベルト変換して計測データを得ると共にこの計測データを基にした被変換データをフーリエ変換する。このことにより、測定対象物の強度情報と位相情報を同時に取得しかつ両者を正確に分離することとし、これに伴い、定量的な強度と光学的距離等の算出が可能になるという優れた効果を奏する。
この各受光素子29A、29B及び、2次元走査デバイス26の動作を操作する前述のコントローラ23は、信号比較器33にそれぞれ接続されている。これに伴って、信号比較器33が各受光素子29A、29Bからの信号及びコントローラ23からの信号により測定対象物G1の強度情報および位相情報を得ることになる。そして、この信号比較器33が、最終的にデータを処理して測定対象物G1のプロフィル等の計測値を得るデータ処理部34に繋がっている。このため、本実施例では、これら信号比較器33及びデータ処理部34が計測部とされている。尚、このデータ処理部34は図示しないものの、アナログデータをデジタルデータに変換するためのADコンバータを内蔵している。
この一方、0次回折光と1次回折光が重なった部分は、0次回折光に対して1次回折光が位相差を有した信号なので、変調された強度信号となる。なぜならば、強度ないし光学的距離のそれぞれは、ある空間周波数の集合体とみなせ、照射光であるビームの走査により0次回折光と1次回折光の重なった部分は、1次回折光に対応した空間周波数で変調される。
これに対して、例えば使用しているレーザー光源21のレーザー波長を488nmとし、対物レンズ31のNAを0.95とすると、カットオフの空間周波数は256nmとなるので、100nmの間隔でデータを取得すれば、十分ということになる。ただし、本発明の実施例4に示すような横分解能を向上させる光学的においては、さらに取得する周波数の上限を高くし、例えば60MHzまでにすればよい。
そして、この1024個のデータからなる被変換データをフーリエ変換し、このうちのDCから64個のデータを有効とし、上記したようにデコンボリューションすれば、30MHzで離散的な周波数のフーリエ級数係数(振幅と位相)が得られる。この場合には、64元方程式を解けばよい。
簡単のために、強度パターンの複素振幅E0はピッチdiの余弦波パターンとし、光学的距離パターンの位相Θはピッチdpの正弦波パターンとする。照射光の波長をλ、強度の変調度をm、媒体と測定対象物の屈折率差をδn、厚さをhとすると、以下の数式のように表すことができる。
詳細は割愛するが、光軸Lを境界として、対物レンズのNAと同じ領域の光を受光する受光素子を用いた場合でかつ、測定対象物G1上でのスポット径に対して、スポット径の大きさと同じ空間周波数に対して、上記数式となる。
他方、特開2015-4643号公報の出願において、本願発明者たちはビームの走査を利用して、光電変換された周波数情報から測定対象物G1が有する空間周波数を特定し、MTFを補正する手段を提案している。この手法を用いることにより、実際のm,bの値を修正すれば、測定対象物G1が本来有する強度の変調度mやbを介して光学的距離情報が得られることになる。
すなわち、α をα=2b/(1+b2)とし、βをβ=2m/(1+m2)とおくことにする。
bは、0次と1次のベッセル関数を介して、光学的距離の位相情報の最大振幅であるaと結びついているので、aを導くことができる。bは任意の値(b<1およびb>1の値)となるので、適正に選択する。特に、透過光学系の場合には屈折率差が非常に小さいので、J0(a)>J1(a)となり、b<1の解を選択すればよい。
なお、実際の位相情報は下記数式より求めることができる。
実際の強度情報は1+mcosθ(x=0)より、求めることができる。
これに伴い、データ処理部34でこの強度情報と位相情報を平面に対する走査情報とともに記録していき、測定対象物G1の表面についての強度情報とプロファイル情報等の位相情報の計測値を簡単に導くことができる。この場合、上記した強度情報は、反射率を反映したような情報となる。
さらに、光学的距離情報に基づいて製品化されている裸眼立体ディスプレイや偏光めがねを使用した3次元ディスプレイ等を用いることにより、3次元立体画像を表示することもできるので、教育や研究、医療において、有用な装置とすることができる。
2つの受光素子29A、29Bにてそれぞれ光電変換されて信号を出力することになるのに合わせて信号比較器33が各受光素子29A、29Bからの信号及びコントローラ23からの信号により測定対象物G1の強度情報および位相情報を得ることになる。
つまり、2次元的な画像を作成する際には、上記1ライン単位の処理を繰り返して実行して全てのラインを作成することで、2次元的な1画面を形成する。そして、以上を連続して繰り返すことで、動画を作り出すことが可能となる。
図5は、本実施例に係る透過光学系の装置を示すブロック図である。主要な光学系は前記反射光学系の装置と同じなので説明を割愛するが、この透過光学系の装置では、実施例1と比較して対物レンズ31で集光された光が測定対象物G2を透過することになる。
そして、実施例1と同様に、元信号とヒルベルト変換を2回行うことにより、最終的にデータを処理してデータ処理部34が測定対象物G2のプロフィル等の光学的距離と透過度や透過率等の計測値を実質的に得ることができる。この結果として、本実施例によっても、透過光による強度情報と光学的距離情報を完全に分離することが可能となる。
さらに、走査速度は一定なので、加算のデータ数を変更することにより、実質的に画像を表示する範囲を変更することが可能となる。したがって、照射に使用した対物レンズのNAを実質的に変更することなく、視野範囲をある程度任意に拡大縮小することが可能となる。
さらに、測定対象物が本来有する空間周波数を再現する方法とこの手法を併用することにより、測定対象物の反射率、透過率、吸収率等の強度情報と光学的距離情報をより正確に算出することもできる。
図8は、本実施例の光学計測装置の構成を示す概略図である。本実施例は測定対象物G2を透過した走査ビームに対して横分解能を向上させつつ処理するために、例えば実施例2の透過光学系の装置の下部にこの図に示す傾けた光学系を配置するものである。尚、図8において、瞳伝達レンズ系25、30、2次元走査デバイス26、信号比較器33及びデータ処理部34等の光学系は図示を省略し、また、受光素子群29の替わりに受光素子50を採用している。
この場合、取得される空間周波数のカットオフ周波数は伸び、かつ、強度と光学的距離に対するMTFの形は変わるが、この形に基づいて算出された周波数を補正することで、さらに分解能の高いより正確な強度と光学的距離を算出することが可能となる。
測定対象物G2に関する情報が位相情報である場合、1次回折光と0次回折光との間及び、-1次回折光と0次回折光との間の2系統でそれぞれ調整を行うこととする。つまり、一方の受光素子が最大光量のときに他方の受光素子でほぼ0になるように、受光素子を調整する。
また、測定対象物G2に関する情報が強度情報である場合には、1次回折光と0次回折光との間及び、-1次回折光と0次回折光との間の2系統で、同様にそれぞれ調整を行うことにする。この場合、一方の受光素子が最大光量のときに他方の受光素子でも最大になるように、受光素子を調整する。
図9は、本実施例の光学計測装置の構成を示す概略図である。本実施例は、反射光学系と透過光学系を併用して強度情報と光学的距離情報を取得する装置に適用できるものである。
例えば本願発明者らが以前出願した特開2017-133867号公報に示す偏光画像の実施例のいずれか一つと組み合わせて、計4つの画像とされる、反射光学系の光学的距離と強度の画像および、透過光学系の光学的距離と強度の画像をそれぞれ表示してもよい。
以上より、図10(B)に示す例では、測定対象物G2の図10(A)に示す全体像中における質の異なる部位を大まか判定できるといった利点があり、図11(B)に示す例では、解像度を落とさずに注視したい部位を観察したり計測したりできるといった利点がある。
また、これらの情報もリアルタイムに強度と光学的距離の空間周波数を測定された周波数から補正できるので、真の測定対象物自体の情報をいくつかの分割した画像で可視化することが出来る。
また、本発明の光学計測装置は、顕微鏡だけでなく、さまざまな種類の光学機器や波動を有する電磁波を用いた計測機に適用でき、これら光学機器や波動を有する電磁波を用いた計測機の強度と高さ等の3次元プロファイル情報とを分離できるものである。
22 コリメーターレンズ
23 コントローラ
25 瞳伝達レンズ系
26 2次元走査デバイス(走査素子、2次元走査素子)
27 ビームスプリッター
29 受光素子群
29A~29F 受光素子
30 瞳伝達レンズ系
31 対物レンズ
33 信号比較器(計測部)
34 データ処理部(計測部)
G1、G2 測定対象物
L 光軸
LA 走査ビーム
S 境界線
KS 交差境界線
Claims (7)
- コヒーレントな照射光を照射する光源と、
光源からの照射光を走査させて測定対象物に送る走査素子と、
照射光の光軸方向に対して垂直な方向を境界線として両側に各1つ位置し、走査に伴い測定対象物により変調された照射光をそれぞれ受光して光電変換する少なくとも2つの受光素子と、
これら受光素子にてそれぞれ光電変換されて出力された信号および該信号をヒルベルト変換した信号それぞれを、離散的な複数個のデータからなる計測データとすると共に、この計測データを構成する複数個のデータ列に続いて複数の0の値を埋め込んだものを被変換データとし、この被変換データをフーリエ変換して2つの受光素子の出力から求まる測定対象物についての和信号と差信号の計測値を得る計測部と、
を含む光学計測装置。 - 前記計測部にて、被変換データに関して直流部分から計測範囲の半分の周波数までのデータを抽出してフーリエ変換し、このフーリエ変換されたデータの内の必要とされる光学系の有する分解能を含む範囲の周波数までのデータをデコンボリューションして計測値を得る請求項1に記載の光学計測装置。
- 2つの前記受光素子それぞれで光電変換された信号を第1の信号とし、
この光電変換された各信号から交流成分とされる変調信号を抽出し、この交流成分の変調信号をヒルベルト変換した第2の信号と該第2の信号をさらにヒルベルト変換した第3の信号を用い、
これら変換された各信号を2つの受光素子の一方の受光素子からの出力と他方の受光素子からの出力の和信号と差信号に施す請求項1から請求項2の何れかに記載の光学計測装置。 - 前記走査素子が、照射光を相互に直交する2方向にそれぞれ走査させる2次元走査素子とされ、この2方向の内の少なくとも1方向の走査により測定対象物に照射された照射光が変調される請求項1から請求項3の何れかに記載の光学計測装置。
- 前記走査素子にコントローラを接続し、このコントローラが走査素子の動作を操作して走査速度及び走査範囲を調整する請求項1から請求項4の何れかに記載の光学計測装置。
- コヒーレントな照射光を照射する光源と、
光源からの照射光を走査させて測定対象物に送る走査素子と、
照射光の光軸方向に対して垂直な方向を境界線として両側に各1つ位置し、走査に伴い測定対象物により変調された照射光をそれぞれ受光して光電変換する少なくとも2つの受光素子と、
これら受光素子にてそれぞれ光電変換されて出力され時系列に入力される信号それぞれを、測定対象物が表示される画像を形成する際の少なくとも各ライン単位でフーリエ変換して、強度情報と位相情報を得ると共に、これら強度情報と位相情報それぞれのMTFの基となるデータが計測された周波数に基づく係数を乗じてMTFをフラット化してから、これら強度情報と位相情報それぞれに対して逆フーリエ変換をして、2つの受光素子の出力から求まる測定対象物についての和信号と差信号の計測値を得る計測部と、
を含む光学計測装置。 - 前記計測部において、位相情報に関してはヒルベルト変換した信号としてからフーリエ変換して、強度情報と位相情報を得ると共に、MTFをフラット化する請求項6に記載の光学計測装置。
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