JP7112154B1 - マイクログラフェンエアロゲルデバイス及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
20mg/mlの酸化グラフェン水懸濁液をインクとして、3Dプリント法によりポリイミド基板上にプリントした。液滴径は約20μmであった。硬化後、濃度50%のヒドラジン水和物を含む水溶液0.1mlを滴下して酸化グラフェンを可塑化発泡させ、5分後に乾燥させ、ヨウ化水素酸のインサイチュ還元によるマイクログラフェンエアロゲルユニットを得た。
酸化グラフェンのDMF懸濁液10mg/mlに等質量の炭酸水素ナトリウムを添加して均一に混合(酸化グラフェン溶液と炭酸水素ナトリウムとの質量比は1:1)して3Dプリント用の酸化グラフェンインクを得た。
ポリイミド基板上(0.8×1.0mm2)に、図1に示すように、単一の電極サイズが50×100μm2であり、各対の電極が1つの試験ユニットを構成する8対の電極のセンサ回路図をシルク印刷法によりプリントした。また、底部には8つの引き出し電極と1つの総電極とを配置した。その後、回路図中の試験ユニット上に酸化グラフェンインクの3Dプリントを行った。酸化グラフェン溶液は20mg/mlの水性懸濁液であり、乾燥固化後、濃度50%のヒドラジン水和物水溶液0.1mlを滴下(同様に3Dプリント手段で滴下し、以下同じ)し、酸化グラフェンをインサイチュ発泡させ、5分後に乾燥させ、ヨウ化水素酸のインサイチュ還元により、安定したアレイセンサが得られた。その中の単一のマイクログラフェンエアロゲルユニットのサイズは150×150μm2以内であり、対応する一対の電極上に被覆されてた。
透明PET基板(0.8×1.0mm2)上に、単一の電極サイズが50×100μm2である8対の電極のセンサ回路図を3Dプリント法を用いてプリントした。底部に8つの引き出し電極と1つの総電極とを配置した。その後、回路図中の各対の電極で酸化グラフェンインクの3Dプリントを行った。酸化グラフェン溶液は10mg/mlのジメチルホルムアミド懸濁液であり、乾燥固化後、濃度0.5%の水素化ホウ素ナトリウム水溶液0.1mlを滴下して酸化グラフェンをインサイチュ発泡させ、5分後に乾燥させ、ヨウ化水素酸のインサイチュ還元によりグラフェンエアロゲルセンサが得られた。各マイクログラフェンエアロゲルユニットのサイズは150×150μm2以内であり、図3に示すように一対の電極上に被覆されていた。
透明PET基板上に、単一の電極サイズが1×1mmである10×10電極のセンサ回路図を3Dプリント法を用いてプリントした後、回路図中のセンシング部に酸化グラフェンインクの3Dプリントを行った。酸化グラフェンインクは濃度10mg/mlの酸化グラフェンのジメチルアセトアミド懸濁液であり、乾燥固化後、3Dプリント法を用いて濃度2%の水素化ホウ素ナトリウムのエタノール溶液0.2mlを滴下し、酸化グラフェンをインサイチュ発泡させ、5分後に乾燥させ、ヨウ化水素酸のインサイチュ還元により、図5のように、その中の単一のグラフェンエアロゲルセンサのサイズが1.5×2mmである安定したアレイセンサが得られた。
酸化グラフェンのDMF懸濁液10mg/mlに等質量の炭酸水素ナトリウムを添加して均一に混合(酸化グラフェン溶液と炭酸水素ナトリウムとの質量比は1:1)して3Dプリント用の酸化グラフェンインクを得た。
商用化された窒化アルミニウム圧電共振式センサを用いて、図7のように200×200μmの振動部に酸化グラフェンインクの3Dプリントを行った。酸化グラフェンインクは濃度100mg/mlの酸化グラフェンのエタノール懸濁液であり、乾燥固化後、3Dプリント法を用いて濃度20%のヒドラジン水和物のジメチルホルムアミド溶液0.3mlを滴下し、酸化グラフェンをインサイチュ発泡させ、5分後に乾燥させ、ヨウ化水素酸のインサイチュ還元により、安定したアレイセンサを得ることができた。その中の単一のグラフェンエアロゲルセンサのサイズは300×300μm2であった。
商用化された窒化アルミニウム圧電共振式センサを用いて、その振動部に酸化グラフェンインクの3Dプリントを行った。酸化グラフェンインクは濃度10mg/mlの酸化グラフェンのジメチルアセトアミド懸濁液であり、乾燥固化後、3Dプリント法を用いて濃度20mg/mlのジメチルアセトアミド/水(1:1wt/wt)溶液0.3mlを滴下し、酸化グラフェンをインサイチュ発泡させ、5分後に乾燥させ、ヨウ化水素酸のインサイチュ還元により、安定したアレイセンサを得ることができた。その中の単一のグラフェンエアロゲルユニットのサイズは500×500μm2であった。
3D プリント法を用いて透明PET基板上に10×10電極のインターデジタル式銀回路図をプリントして集電体とした。図8に示すように、そのうち単一電極のサイズは20×1mmであった。その後、回路図中の電極部に酸化グラフェンインクの3Dプリントを行った。酸化グラフェン溶液は濃度15mg/mlの酸化グラフェンのDMF懸濁液であり、乾燥固化後、3Dプリント法を用いて濃度4%の水素化ホウ素ナトリウムのイソジメチルアセトアミドプロパノール溶液0.2mlを滴下し、酸化グラフェンをインサイチュ発泡させ、5分後に乾燥させ、ヨウ化水素酸のインサイチュ還元により、安定したアレイマイクロキャパシタが得られた。その中の単一のグラフェンエアロゲルユニットのサイズは20×1mm2であった。
3Dプリント法を用いて透明PET基板上に二対の3×3電極のインターデジタル式銀回路図をプリントして並列な集電体とした。商業化された炭素被覆のLi4Ti5O12粒子を用いてインターデジタル電極の一端にプリントし、陽極材料とし、酸化グラフェンのジメチルスルホキシド懸濁液を陰極に60mg/mlプリントし、乾燥後、3Dプリント法を用いて25%のヒドラジン水和物のイソプロパノール溶液0.1mlを滴下し、インサイチュ発泡させ、5分後に乾燥させ、ヨウ化水素酸のインサイチュ還元により、安定したアレイリチウムイオン電池が得られた。図11のように、59.8mWh・cm-3と非常に高いエネルギー密度を有し、多孔質エアロゲル構造は電解質の電子輸送速度を大幅に増加させ、充放電速度を速めることができ、5000回の充放電を経ても容量とクーロン効率とはほとんど変化せず、図12のように、作製されたマイクロ電池のレート性能は比較的良好であった。
電極は、実施例5に示すように10×10エアロゲルアレイを作製し、これを64チャネルの2つのデータ収集カードに接続して同時に100チャネルの信号を収集し、エアロゲルアレイに手のひらを押し当てると、図13のようにデータ処理後に明らかな手の形状が観察された。
FCTプロセスを用いてポリイミド基板上に8×8電極のセンサ回路図をプリントした。単一のエアロゲル電極のサイズは300×400μmであった。その後、回路図中のセンシング部に酸化グラフェンインクの3Dプリントを行った。酸化グラフェン溶液は20mg/mlの水懸濁液であり、乾燥固化後、濃度50%のヒドラジン水和物の水溶液0.1mlを滴下して酸化グラフェンをインサイチュ発泡させ、5分後に乾燥させ、ヨウ化水素酸のインサイチュ還元により、図14のように安定したアレイセンサが得られた。
Claims (12)
- マイクログラフェンエアロゲルユニットを含むマイクログラフェンエアロゲルデバイスの製造方法であって、酸化グラフェン溶液をインクとしてデバイスの基板上にプリントし、硬化させた後、発泡剤を含む極性溶液を滴下して酸化グラフェンを可塑化発泡させ、乾燥還元後に、デバイスの基板上にマイクログラフェンエアロゲルユニットを得る、マイクログラフェンエアロゲルデバイスの製造方法。
- 前記発泡剤は、自己発泡剤と、反応型発泡剤とを含み、前記反応型発泡剤は、酸化グラフェンの酸素を含む官能基と反応してガスを発生する発泡剤であり、前記自己発泡剤は、分解してガスを発生する発泡剤であることを特徴とする請求項1に記載のマイクログラフェンエアロゲルデバイスの製造方法。
- 前記反応型発泡剤は、ヒドラジン水和物または水素化ホウ素塩を含み、前記自己発泡剤は、炭酸水素塩を含むことを特徴とする請求項2に記載のマイクログラフェンエアロゲルデバイスの製造方法。
- 前記発泡剤を含む前記極性溶液は、前記発泡剤を含む水、有機溶媒、または水と有機溶媒との混合溶液であることを特徴とする請求項1に記載のマイクログラフェンエアロゲルデバイスの製造方法。
- 前記有機溶媒は、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、イソプロパノール及びエタノールから選択される一種又は複数種である請求項4に記載のマイクログラフェンエアロゲルデバイスの製造方法。
- 前記酸化グラフェン溶液の溶媒は、水、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、エタノール及びジメチルスルホキシドから選択される一種又は複数種であることを特徴とする請求項1に記載のマイクログラフェンエアロゲルデバイスの製造方法。
- 前記酸化グラフェンをプリントする前に、回路図を前記デバイスの基板上にプリントすることを特徴とする請求項1に記載のマイクログラフェンエアロゲルデバイスの製造方法。
- 請求項1に記載のマイクログラフェンエアロゲルユニットを複数含み、複数のマイクログラフェンエアロゲルユニットがアレイを構成していることを特徴とするマイクログラフェンエアロゲルデバイス。
- 前記デバイスはピエゾ抵抗式センサであり、前記マイクログラフェンエアロゲルユニットによって力学信号または変位データ信号の収集が行われることを特徴とする請求項8に記載のマイクログラフェンエアロゲルデバイス。
- 前記デバイスは共振型センサであり、前記マイクログラフェンエアロゲルユニットによって力学信号、変位信号、又は音波振動信号の収集が行われることを特徴とする請求項8に記載のマイクログラフェンエアロゲルデバイス。
- 前記デバイスは、マイクログラフェンエアロゲルユニットを用いてマイクロキャパシタが構築されたエネルギー貯蔵デバイスであることを特徴とする請求項8に記載のマイクログラフェンエアロゲルデバイス。
- 前記デバイスは、マイクログラフェンエアロゲルユニットと金属電極とを用いてマイクロ電池が構築されたエネルギー貯蔵デバイスであることを特徴とする請求項8に記載のマイクログラフェンエアロゲルデバイス。
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