JP7091518B2

JP7091518B2 - ポンプを固定構造に取り付けるための固定措置を備えた真空ポンプと、そのように真空ポンプを取り付けたポンプスタンド

Info

Publication number: JP7091518B2
Application number: JP2021065646A
Authority: JP
Inventors: ニコライ・ヴォルフ; ベルンハルト・タッツバー
Original assignee: プファイファー・ヴァキューム・テクノロジー・アクチエンゲゼルシャフト
Priority date: 2020-07-03
Filing date: 2021-04-08
Publication date: 2022-06-27
Anticipated expiration: 2041-04-08
Also published as: JP2022013675A; EP3760872B1; EP3760872A1

Description

本発明は、ポンプを固定構造に取り付けるための固定措置を備えた真空ポンプ、特にターボ分子ポンプと、そのように真空ポンプを取り付けたポンプスタンドに関する。

真空ポンプを例えばキャリヤのような固定構造に直立して、吊り下げて、又は、何らかの形式で取り付けるため、固定ボルトを使用することができるが、これら固定ボルトは、固定構造を下から経て延在し、真空ポンプのハウジングの下側にねじ込まれ、真空ポンプの下側には、固定ボルトのネジ付きシャフトを収容するための相応のネジ付き開口が設けられなければならない。

しかしながら、特に比較的小さい真空ポンプの場合は、ハウジングの下側のこのようなネジ付き開口のために、比較的僅かなスペースしか使用可能でない。それに応じて、１つのアプローチは、固定ボルトの数及び／又は固定ボルトの直径を低減することにある。しかしながら、このアプローチは、問題があると証明できる。何故なら、小さい固定ボルト及び／又は少ない数の固定ボルトによって、真空ポンプの故障時に状況によっては生じるクラッシュトルクが、もはや確実に固定構造に伝達され得ないからである。

真空ポンプのハウジングが、複数部材で形成され、特に、例えばハウジング下部の形態の第１のハウジング部分を有し、このハウジング部分が、ボルトによって第２のハウジング部分内に固定され、これらボルトが、ハウジング下部の下側からハウジング下部に形成された段付き孔に導入され、これらボルトのそれぞれのボルトシャフトが、第２のハウジング部分内のネジ付き孔にねじ込まれる場合、真空ポンプにおけるハウジングの下側の必要なネジ付き開口を収容するための前記スペース問題が先鋭化される。問題のボルトを下側からハウジング下部内に収容するために延在する段付き孔に基づいて、複数部材のハウジングを備えたこのような真空ポンプの場合、下側には、僅かなスペースしか、このような真空ポンプを例えばキャリヤのような固定構造に直立して固定可能にする固定ボルトを収容するためのネジ付き開口を形成するために使用可能でない。

本発明の根底にある課題は、狭いスペース比であっても真空ポンプの複数部材のハウジングを他の構造に確実に取り付け、これにより、例えばクラッシュトルクを確実にこの構造に伝達することを可能にする実現手段を提供することにある。

この課題は、請求項１の特徴を備える真空ポンプ、特にターボ分子ポンプによって解決される。

本発明による真空ポンプは、回転軸を中心として回転可能な少なくとも１つのポンプ機構を収容するための複数部材のハウジングを有し、ハウジングは、第１のハウジング部分と、特に軸方向に第１のハウジング部分に隣接する第２のハウジング部分を有する。第１のハウジング部分を経て、特に軸方向に少なくとも１つの段付き孔が延在し、この段付き孔が、第１の孔部分と、第１の孔部分よりも小さい直径を備える第２の孔部分と、両孔部分の間のリングショルダを備える。この場合、これら段付き孔のそれぞれは、ボルトヘッドとボルトシャフトを備えたボルトを収容し、ボルトシャフトは、第２の孔部分を経て延在し、その自由端でもって、第２のハウジング部分に形成されたネジ付き孔にねじ込まれ、これに対して、ボルトヘッドは、段付き孔のリングショルダに支持される。この場合、本発明によれば、段付き孔の第１の孔部分が、第１のハウジング部分を例えば固定構造に取り付けるために使用される固定ボルトのネジ付きシャフトをねじ込むための雌ネジを含むことが企図されている。

第１のハウジング部分は、例えば、ハウジング下部であり得るが、このハウジング下部は、環状のハウジング壁を有し、このハウジング壁が、軸方向に延在し、環状の端面と、この端面に軸方向に対向する底面を備え、この底面が、真空ポンプの下側を構成する。相応に、第２のハウジング部分も、環状のハウジング壁を有し得るが、このハウジング壁は、軸方向に延在し、同様に管状の端面を形成する。従って、第２のハウジング部分の端面は、第１のハウジング部分の端面に隣接し、両ハウジング部分は、そのボルトシャフトが段付き孔のそれぞれの第２の孔部分によって収容されるボルトによって、そのそれぞれの端面でもって対向するように固定される。

この場合、段付き孔は、第１のハウジング部分のハウジング壁内もしくはハウジング壁の内部に形成され、第１のハウジング部分の底面と端面の間に延在し、これは、第１のハウジング部分が、軸方向に問題の段付き孔によって貫通されていることを意味する。この場合、特に、第１の孔部分が、第１のハウジング部分の底面に開口もしくは底面で終了すること、及び、第２の孔部分が、第１のハウジング部分の端面に開口もしくは端面で終了することが、企図され得る。従って、第２の孔部分よりも大きい直径を備える第１の孔部分は、ハウジング下部の底面に直接的に隣接するので、この第１の孔部分は、所望のように、第１のハウジング部分を固定構造に取り付けさせ得るネジ付きシャフトを収容することができる。

従って、本発明によれば、第１のハウジング部分に形成された段付き孔が、第１のハウジング部分を第２のハウジング部分に固定するボルトを収容するために使用されるだけでなく、段付き孔は、同様に、第１のハウジング部分を、従って真空ポンプ全体を、例えば固定構造にネジ止め可能にする固定ボルトのそれぞれのネジ付きシャフトを収容するために使用される。このため、それぞれの段付き孔の第１の孔部分に、第１のハウジング部分を固定構造に取り付けるための固定ボルトのネジ付きシャフトをねじ込むことができる雌ネジを設けることしか必要ない。

従って、問題の段付き孔は、二重機能を有し、一方では、真空ポンプの第１のハウジング部分を第２のハウジング部分に固定するそれぞれのボルトを収容するために使用される。他方で、段付き孔は、第１のハウジング部分を、従ってポンプ全体を、例えば固定構造に固定可能にするそれぞれの固定ボルトのネジ付きシャフトを収容するために使用される。このため、それぞれの段付き孔の第１の孔部分には、それぞれのネジ付きシャフトをねじ込み可能な雌ネジを設けるだけでよい。

従って、本発明により段付き孔が前記二重機能を有するとの事実に基づいて、ポンプを例えば固定構造に取り付けるための相応のネジ付きシャフトをねじ込み可能な第１のハウジング部分に、付加的なネジ付き開口は必要とされない。むしろ、いずれにしても既存の段付き孔が、真空ポンプを例えば固定構造に固定するために使用されるネジ付きシャフトをねじ込むために利用可能にされる。

従って、いずれにしても既存の段付き孔が、ポンプを例えば固定構造に取り付けるための相応のネジ付きシャフト用の収容部として利用されるとの事実に基づいて、相応の固定ボルトを収容するための別個のネジ付き開口は必要とされない。その点で、相応のネジ付き開口の提供に関する前記スペース問題は、いずれにしても既存の段付き孔が、第１のハウジング部分を例えば固定構造に取り付けるための相応のネジ付きシャフトを収容するために利用可能にされることによって解決される。従って、固定構造内に真空ポンプを固定するため、十分多くの数の固定ボルトが使用されるだけでなく、このために必要な固定ボルトは、十分に大きいネジ付きシャフト直径を備えることができる。何故なら、それぞれのネジ付きシャフトを収容するそれぞれの段付き孔の第１の孔部分は、当然、段付き孔の第２の孔部分よりも大きい直径を備えるからである。従って、比較的太いネジ付きシャフトを備えた十分に多くの固定ボルトを、真空ポンプを例えば固定構造に固定するために使用することができ、これにより、故障時に状況によっては生じるクラッシュトルクを確実に固定構造に伝達することを保証することができる。

以下で、本発明によるポンプの別の実施形態について説明するが、別の実施形態は、従属請求項、図の説明並びに図自体から理解可能である。

従って、１つの実施形態によれば、第１の孔部分自体が、ネジ付きシャフトをねじ込むための雌ネジを形成することが企図され得る。換言すれば、即ち、第１の孔部分は、雌ネジが例えば刻まれているもしくは刻まれる内周表面を備える。

これに対して選択的に、雌ネジは、第１の孔部分によって収容されるネジ付きスリーブによって構成することができる。例えば、ネジ付きスリーブは、プレス嵌めもしくは締まり嵌めによって第１の孔部分内に固定することができる。これに対して付加的又は選択的に、ネジ付きスリーブは、第１のハウジング部分内の半径方向に延在するネジ穴にねじ込まれるボルト、特にグラブボルトによって第１の孔部分内に固定することができる。更に、これに対して付加的又は選択的に、ネジ付きスリーブは、第１の孔部分にねじ込まれ、ネジ付きスリーブが、好ましくは、第１のハウジング部分を第２のハウジング部分に固定するボルトのボルトヘッドに対して固定されることが企図され得る。この場合、特に、ネジ付きスリーブが、雄ネジを備え、この雄ネジによって、ネジ付きスリーブが、第１の孔部分の内周表面を形成する雌ネジにねじ込まれることが企図され得る。

別の実施形態によれば、第１の孔部分の長さ、特に雌ネジの長さが、第１の孔部分の直径の少なくとも約２倍の大きさであることが企図され得る。この場合、特に、第１の孔部分の長さ、特に雌ネジの長さが、第１の孔部分の直径の約２．５～３倍の大きさであることが企図され得る。従って、第１の孔部分によって収容すべきネジ付きシャフトを介して、クラッシュトルクだけでなく、浮き上がり荷重も確実に例えば固定構造に伝達することができる。

本発明の意別の態様によれば、更に、真空ポンプの取付け及び支承をするための固定構造と前記のような真空ポンプを備えたポンプスタンドが提案される。この場合、固定構造が、真空ポンプを支持し、真空ポンプが、固定ボルトによって固定構造に固定され、固定ボルトのネジ付きシャフトが、第１の孔部分の雌ネジにねじ込まれている。

以下で、本発明を、添付の図に関連づけた有利な実施形態によって模範的に説明する。

ターボ分子ポンプの斜視図図１のターボ分子ポンプの下側の図図２に示した切断線Ａ－Ａに沿ったターボ分子ポンプの横断面図図２に示した切断線Ｂ－Ｂに沿ったターボ分子ポンプの横断面図図２に示した切断線Ｃ－Ｃに沿ったターボ分子ポンプの横断面図ハウジング下部とこのハウジング下部に隣接するハウジング部分との間の移行領域の横断面図

図１に示したターボ分子ポンプ１１１は、入口フランジ１１３によって包囲されたポンプ入口１１５を有し、このポンプ入口に、それ自体周知のように、図示してないレシピエントを接続することができる。レシピエントからのガスは、ポンプ入口１１５を介してレシピエントから吸い込まれ、ポンプを経てポンプ出口１１７へ移送することができ、このポンプ出口には、例えば回転ベーンポンプのような予備真空ポンプを接続することができる。

入口フランジ１１３は、図１による真空ポンプの整向時に、真空ポンプ１１１のハウジング１１９の上端を構成する。ハウジング１１９は、電子機器ハウジング１２３を横に配置した、ここでは第１のハウジング部分とも呼ばれる下部１２１と、ハウジング下部１２１と結合された、ここでは中間部材１２２とも呼ばれる第２のハウジング部分１２２（図６参照）を有する。電子機器ハウジング１２３内に、例えば真空ポンプ内に配置された電気モータ１２５を作動させるために、真空ポンプ１１１の電気及び／又は電子部品が収納されている（図３も参照）。電子機器ハウジング１２３には、アクセサリ用の複数のポート１２７が設けられている。加えて、例えばＲＳ４８５規格によるデータインタフェース１２９と電力供給ポート１３１が電子機器ハウジング１２３に配置されている。

このように取り付けられた電子機器ハウジングを備えるのではなく、外部の駆動電子機器に接続されるターボ分子ポンプも存在する。

ターボ分子ポンプ１１１のハウジング１１９には、特に通気弁の形態の通気入口１３３が設けられ、この通気入口を介して、真空ポンプ１１１は、通気をすることができる。更にまた、下部１２１の領域には、掃気ガスポートとも呼ばれるシールガスポート１３５が配置され、掃気ガスポートを介して、掃気ガスが、ポンプによって移送されるガスから電気モータ１２５（例えば図３参照）を保護するために、モータスペース１３７－このモータスペース内で、電気モータ１２５は真空ポンプ１１１内に収納されている－へ導入することができる。更にまた、下部１２１内には、２つの冷却剤ポート１３９が配置され、これら冷却剤ポートの一方は、冷却剤用の入口として設けられ、他方の冷却剤ポートは、冷却剤用の出口として設けられ、この冷却剤は、冷却のために真空ポンプ内に導入することができる。他の既存のターボ分子真空ポンプ（図示してない）は、空気冷却だけで作動させられる。

真空ポンプの下側１４１は、スタンド面として使用することができるので、真空ポンプ１１１は、下側１４１の上に立った状態で作動させることができる。しかしながら、真空ポンプ１１１は、入口フランジ１１３を介してレシピエントに固定され、これにより、ある程度吊り下がった状態で作動されてもよい。加えて、真空ポンプ１１１は、図１に示したものとは違うように整向されている時でも作動させ得るように構成することができる。下側１４１が下を向くのではなく、横に向くか、上を向くように整向して配置することができる真空ポンプの実施形態を実現することもできる。この場合、基本的に、任意の角度が可能である。

特にここに図示したポンプよりも大きい他の既存のターボ分子真空ポンプ（図示してない）は、直立状態で作動させることはできない。

図２に図示した下側１４１には、更に、種々のボルト１４３が配置され、これらボルトによって、ここではそれ以上は特定されていない真空ポンプの部品が互いに固定されている。例えば、軸受カバー１４５は、下側１４１に固定されている。

加えて、下側１４１には、固定孔１４７が配置され、これら固定孔を介して、ポンプ１１１は、例えば載置面に固定することができる。これは、特に個々に図示したポンプよりも大きい他の既存のターボ分子真空ポンプの場合は可能でない。

図２～５には、冷却剤ライン１４８が図示され、この冷却ライン内を、冷却剤ポート１３９を介して導入及び導出される冷却剤が循環できる。

図３～５の断面図が示すように、真空ポンプは、ポンプ入口１１５に存在するプロセスガスをポンプ出口１１７へ移送するために複数のプロセスガスポンプ段を有する。

ハウジング１１９内に、ロータ１４９が配置され、このロータは、回転軸１５１を中心として回転可能なロータシャフト１５３を備える。

ターボ分子ポンプ１１１は、ロータシャフト１５３に固定された複数の半径方向のロータディスク１５５と、ロータディスク１５５の間に配置されかつハウジング１１９に固定されたステータディスク１５７を有する、ポンプに有効に互いに直列に介装された複数のターボ分子ポンプ段を有する。この場合、ロータディスク１５５と隣接するステータディスク１５７が、それぞれ１つのターボ分子ポンプ段を構成する。ステータディスク１５７は、スペーサリング１５９によって互いに所望の軸方向の間隔を置いて保持されている。

加えて、真空ポンプは、半径方向に互いに入れ子式に配置され、ポンプに有効に互いに直列に介装されたホルベックポンプ段を有する。ホルベックポンプ段を備えない他の既存のターボ分子真空ポンプが存在する。

ホルベックポンプ段のロータは、ロータシャフト１５３に配置された１つのロータハブ１６１と、ロータハブ１６１に固定されかつこのロータハブによって支持された２つのシリンダシェル状のホルベックロータスリーブ１６３，１６５を有し、これらホルベックロータスリーブは、回転軸１５１に対して同軸に整向され、半径方向に互いに入れ子式に介装されている。更に、２つのシリンダシェル状のホルベックステータスリーブ１６７，１６９が設けられ、これらホルベックステータスリーブも同様に回転軸１５１に対して同軸に整向され、半径方向に見て互いに入れ子式に介装されている。

ホルベックポンプ段のポンプ活性表面は、ホルベックロータスリーブ１６３，１６５及びホルベックステータスリーブ１６７，１６９のシェル面、即ち半径方向の内面及び／又は外面によって構成されている。外側のホルベックステータスリーブ１６７の半径方向の内面は、半径方向のホルベックギャップ１７１を形成しつつ外側のホルベックロータスリーブ１６３の半径方向の外面に対向し、この半径方向の外面と共に、ターボ分子ポンプの後に続く第１のホルベックポンプ段を構成する。外側のホルベックロータスリーブ１６３の半径方向の内面は、半径方向のホルベックギャップ１７３を形成しつつ内側のホルベックステータスリーブ１６９の半径方向の外面に対置し、この半径方向の外面と共に第２のホルベックポンプ段を構成する。内側のホルベックステータスリーブ１６９の半径方向の内面は、半径方向のホルベックギャップ１７５を形成しつつ内側のホルベックロータスリーブ１６５の半径方向の外面に対向し、この半径方向の外面と共に第３のホルベックポンプ段を構成する。

ホルベックロータスリーブ１６３の下端に、その介在により半径方向外側に位置するホルベックギャップ１７１を中央のホルベックギャップ１７３と接続する、半径方向に延在する通路を設けることができる。加えて、内側のホルベックステータスリーブ１６９の上端に、その介在により中央のホルベックギャップ１７３を半径方向内側に位置するホルベックギャップ１７５と接続する、半径方向に延在する通路を設けることができる。これにより、互いに入れ子式に介装されたホルベックポンプ段は、互いに直列に介装される。更に、半径方向内側に位置するホルベックロータスリーブ１６５の下端に、出口１１７への接続通路１７９を設けることができる。

ホルベックステータスリーブ１６７，１６９の前記ポンプ活性表面は、それぞれ、回転軸１５１を中心として螺旋状に軸方向に延在する複数のホルベック溝を備えるが、ホルベックロータスリーブ１６３，１６５の対向するシェル面は、平滑に形成され、ホルベック溝内の真空ポンプ１１１を作動させるためのガスを推進する。

ロータシャフト１５３を回転可能に軸受けするために、転がり軸受１８１がポンプ出口１１７の領域に設けられ、永久磁石軸受１８３が、ポンプ入口１１５の領域に設けられている。

転がり軸受１８１の領域で、ロータシャフト１５３に、転がり軸受１８１に向かって増加する外径を有する円錐形のスプレーナット１８５が設けられている。スプレーナット１８５は、作動媒体蓄積器の少なくとも１つのワイパと滑り接触している。他の既存のターボ分子真空ポンプ（図示してない）の場合、スプレーナットの代わりに、スプレーボルトを設けることができる。従って異なる構成が可能であるので、これに関連して「スプレー先端」との用語も使用される。

作動媒体蓄積器は、上下に積み重ねられた複数の吸湿性のディスク１８７を有し、これらディスクは、転がり軸受１８１用の作動媒体、例えば潤滑剤を吸収している。

真空ポンプ１１１の作動中、作動媒体は、毛管作用によって作動媒体蓄積器からワイパを介して回転するスプレーナット１８５へ伝達され、遠心力のために、スプレーナット１８５に沿ってスプレーナット１８５の外径が大きくなる方向に転がり軸受１８１に向かって移送され、そこで、作動媒体は、例えば潤滑機能を満足する。転がり軸受１８１と作動媒体蓄積器は、真空ポンプ内で桶状のインサート１８９と軸受カバー１４５によって包囲されている。

永久磁石軸受１８３は、ロータ側の軸受半体１９１とステータ側の軸受半体１９３を有し、これら軸受半体は、軸方向に上下に積み重ねられた複数の永久磁石リング１９５，１９７から成るそれぞれ１つのリングスタックを有する。リング磁石１９５，１９７は、互いに半径方向の軸受ギャップ１９９を形成しつつ対向し、ロータ側のリング磁石１９５は、半径方向外側に配置され、ステータ側のリング磁石１９７は、半径方向内側に配置されている。軸受ギャップ１９９内に存在する磁場は、リング磁石１９５，１９７の間に、ロータシャフト１５３の半径方向の軸受けを生じさせる磁気的反発力を惹起する。ロータ側のリング磁石１９５は、ロータシャフト１５３のキャリヤ部分２０１によって支持され、このキャリヤ部分は、リング磁石１９５を半径方向外側から包囲する。ステータ側のリング磁石１９７は、ステータ側のキャリヤ部分２０３によって支持され、このキャリヤ部分は、リング磁石１９７を経て延在し、ハウジング１１９の半径方向のブレース２０５に懸架されている。回転軸１５１に対して平行に、ロータ側のリング磁石１９５は、キャリヤ部分２０１と連結されたカバー要素２０７によって固定されている。ステータ側のリング磁石１９７は、回転軸１５１に対して平行に、１つの方向に、キャリヤ部分２０３と結合された固定リング２０９並びにキャリヤ部分２０３と結合された固定リング２１１によって固定されている。加えて、固定リング２１１とリング磁石１９７の間に、皿バネ２１３を設けることができる。

磁石軸受内に、緊急もしくは安全軸受２１５が設けられ、この緊急もしくは安全軸受は、真空ポンプ１１１の標準的な作動中に、接触することなく空転し、ステータに対して相対的にロータ１４９が過度に半径方向に変位した時に初めて、ロータ１４９用の半径方向ストッパを構成するために係合するが、これは、ステータ側の構造物とロータ側の構造物の衝突が防止されるために行なわれる。安全軸受２１５は、無潤滑の転がり軸受として形成され、ロータ１４９及び／又はステータと共に、安全軸受２１５が標準的なポンプ作動中に解放されていることを生じさせる半径方向のギャップを構成する。安全軸受２１５が係合する半径方向の変位は、安全軸受２１５が真空ポンプの標準的な作動中には係合しないように十分大きく、同時に、ステータ側の構造物とロータ側の構造物の衝突が全ての状況下で防止されるように十分小さく、設定されている。

真空ポンプ１１１は、ロータ１４９を回転駆動するための電気モータ１２５を有する。電気モータ１２５のアンカーは、ロータ１４９によって構成され、このロータのロータシャフト１５３は、モータステータ２１７を経て延在する。モータステータ２１７を経て延在するロータシャフト１５３の部分には、半径方向外側に又は埋設されて、永久磁石装置を配置することができる。モータステータ２１７とモータステータ２１７を経て延在するロータ１４９の部分との間に、中間スペース２１９が配置され、この中間スペースは、半径方向のモータギャップを有し、このモータギャップを介して、モータステータ２１７と永久磁石装置は、駆動トルクを伝達するために磁気的影響を受け得る。

モータステータ２１７は、ハウジング内で、電気モータ１２５のために設けられたモータスペース１３７内に固定されている。シールガスポート１３５を介して、掃気ガスとも呼ばれかつ例えば空気又は窒素であり得るシールガスがモータスペース１３７内へ達し得る。シールガスを介して、電気モータ１２５は、プロセスガス、例えばプロセスガスの腐食作用成分、から保護することができる。モータスペース１３７は、ポンプ出口１１７を介して真空引きすることもでき、即ちモータスペース１３７内は、少なくともほぼ、ポンプ出口１１７に接続された予備真空ポンプによって生じさせられた真空圧力が支配する。

加えて、ロータハブ１６１とモータスペース１３７を画成する壁２２１との間には、特に、半径方向外側に位置するホルベックポンプ段に対するモータスペース２１７の良好なシールを達成するために、それ自体周知のいわゆるラビリンスシール２２３を設けることができる。

以下では、図６に関係づけて、第１のハウジング部分１２１もしくはハウジング下部１２１の本発明による形成と、特にその中に形成された段付き孔２３４の形成について説明する。

ターボ分子ポンプ２３０－そのうち、図６には、ハウジング下部１２１とこのハウジング下部に隣接する中間部材１２２の間の移行領域内のハウジング１１９の一部だけが横断面で示されている－は、特に、図６のターボ分子ポンプ２３０の場合には、ハウジング下部１２１と中間部材１２２の間の移行領域にホルベックポンプ段が設けられいないことによって、図１～５に関係づけて既に説明したようなターボ分子ポンプ１１１とは異なるが、これは、本発明にとって重要でない。むしろ、ここでは、両ハウジング部分－ハウジング下部１２１及び中間部材１２２－が、例えば六角穴付きボルト又はヘクスローブ穴付きヘッドを備えたボルトのようなボルト２３２を介して互いに結合されている。

この場合、ハウジング部分１２１は、環状のハウジング壁２３６を備え、このハウジング壁は、回転軸１５１に関して軸方向に延在し、環状の端面２３８と、この端面２３８に軸方向に対向する底面１４１を備え、この底面は、同様に、ポンプハウジング１１９の下側１４１を構成する。第２のハウジング部分もしくは中間部材１２２も、環状のハウジング壁２４０を備え、このハウジング壁は、回転軸１５１に関して軸方向に延在し、環状の端面２４２を備える。この場合、両ハウジング部分１２１，１２２は、中間部材１２２の端面２４２がハウジング下部１２１の端面２３８に当接するように、互いに隣接する。この場合、両ハウジング部分１２１，１２２は、複数のボルト２３２を介して結合されているが、ここでは、そのうちの１つだけが図示されている。

この場合、ボルト２３２のそれぞれは、部分的に段付き孔２３４によって収容され、この段付き孔は、ハウジング下部１２１のハウジング壁２３６内に形成され、ハウジング下部１２１の底面もしくは下側１４１と端面２３８との間に延在する。段付き孔２３４は、回転軸１５１に関してハウジング１１９によって収容されたポンプ機構の回転軸１５１の軸方向に延在し、底面１４１に開口するもしくはこの底面で終了する第１の孔部分２４４と、ハウジング下部１２１の端面２３８に開口するもしくはこの端面で終了する第２の孔部分２４６を有する。この場合、第１の孔部分２４４は、第２の孔部分２４６よりも大きい直径を備え、その結果、段付き孔２３４が、両孔部分２４４，２４６の間の移行領域でリング状に周回する段もしくはリングショルダ２４８を形成することになる。

この場合、ボルト２３２のボルトシャフト２５０は、第２の孔部分２４６を経て延在し、ボルトシャフト２５０の自由端は、中間部材１２２のハウジング壁２４０内に形成されたネジ付き孔２５４にねじ込まれている。これに対して、ボルト２３２のボルトヘッド２５２は、段付き孔２３４のリングショルダ２４８に支持されるので、ボルト２３２が締められると、両ハウジング部分１２１，１２２が互いに固定される。

本発明によれば、段付き孔２３４の第１の孔部分２４４が、ハウジング下部１２１を、従ってポンプ２３０全体を、固定構造２６２に取り付け得るために、固定ボルト２６０のネジ付きシャフト２５８をねじ込むことができる雌ネジ２５６を含むことが企図されている。

具体的には、ここに図示した実施形態の場合、第１の孔部分２４４自体が雌ネジ２５６を形成することが企図されており、このため、第１の孔部分２４４の内周表面に、雌ネジ２５６が刻まれている。これに対して選択的に、雌ネジは、例えば、第１の孔部分２４４が収容し、その中に例えばグラブボルトによって固定されたネジ付きスリーブによって構成することもできる。

ここに図示した実施形態の場合、雌ネジ２５６の長さは、第１の孔部分２４４もしくは固定ボルト２６０のネジ付きシャフト２５８の直径の約２．５倍～３倍に相当し、これにより、ターボ分子ポンプ２３０は、浮き上がり力に抗して確実に固定構造に固定することができる。このため、固定ボルト２６０は、固定構造２６２内に形成された段付き孔２６４を経て延在し、固定ボルトは、そのネジ付きシャフト２５８でもって、ハウジング下部１２１のハウジング壁２３６内に形成された段付き孔２３４の第１の孔部分２４４の雌ネジ２５６にねじ込まれている。これに対して、固定ボルト２６０のボルトヘッド２６８は、段付き孔２６４のリングショルダ２６６に支持されるので、固定ボルト２６０が締められると、ハウジング下部１２１の下側１４１が、従ってポンプ２３０全体が、固定構造２６２に対して固定される。

固定ボルト２６２は、両ハウジング部分２２１，２２２を互いに結合するボルト２３２を収容するためにも使用される同じ段付き孔２３４にねじ込まれるので、ハウジング下部１２１もしくはその下側１４１には、固定ボルト２６０をねじ込むことができるネジ付き開口を提供するための付加的なスペースは、必要とされない。

従って、ターボ分子ポンプ２３０を固定構造２６０に固定するために、十分に多くの固定ボルト２６０を使用することができ、これら固定ボルト２６０は、更に比較的大きいシャフト直径を備えることができる。何故なら、段付き孔２３４の第１の孔部分２４４は、当然第２の孔直径２４６よりも大きい直径を備えるからである。従って、故障時に生じるクラッシュトルクは、固定ボルト２６０を介して確実に固定構造２６２に伝達することができる。
なお、本願は、特許請求の範囲に記載の発明に関するものであるが、他の態様として以下も包含し得る。
１．真空ポンプ（１１１，２３０）、特にターボ分子ポンプ（１１１，２３０）であって、回転軸（１５１）を中心として回転可能な少なくとも１つのポンプ機構を収容するためのハウジング（１１９）を備え、ハウジング（１１９）が、第１のハウジング部分（１２１）と、第１のハウジング部分（１２１）に隣接する第２のハウジング部分（１２２）を有し、第１のハウジング部分（１２１）を経て、少なくとも１つの段付き孔（２３４）が延在し、この段付き孔が、第１の孔部分（２４４）と、第１の孔部分（２４４）の直径よりも小さい直径を備える第２の孔部分（２４６）と、両孔部分の間のリングショルダ（２４８）を備え、段付き孔（２３４）が、ボルトヘッド（２５２）とボルトシャフト（２５０）を備えたボルト（２３２）を収容し、このボルトのボルトシャフト（２５０）が、第２の孔部分（２４６）を経て延在し、部分的に第２のハウジング部分（１２２）のネジ付き孔（２５４）にねじ込まれ、ボルトのボルトヘッド（２５２）が、リングショルダ（２４８）に支持され、第１の孔部分（２４４）が、第１のハウジング部分（１２１）を固定構造（２６２）に取り付けるためのネジ付きシャフト（２５８）をねじ込むための雌ネジ（２５６）を含むこと、を特徴とする真空ポンプ。
２．第１の孔部分（２４４）が、雌ネジ（２５６）を形成する内周表面を備えること、を特徴とする上記１に記載の真空ポンプ。
３．第１の孔部分（２４４）が、雌ネジ（２５６）を形成するネジ付きスリーブを収容すること、を特徴とする上記１に記載の真空ポンプ。
４．ネジ付きスリーブが、第１のハウジング部分（１２１）内の半径方向に延在するネジ穴にねじ込まれたボルト、特にグラブボルトによって第１の孔部分（２４４）内に固定されていること、及び／又は、ネジ付きスリーブが、第１の孔部分（２４４）にねじ込まれ、ネジ付きスリーブが、好ましくはボルト（２３２）のボルトヘッド（２５２）に対して固定され、特に、ネジ付きスリーブが、雄ネジを備え、この雄ネジによって、ネジ付きスリーブが、第１の孔部分（２４４）の内周表面を形成する雌ネジ（２５６）にねじ込まれていること、を特徴とする上記３に記載の真空ポンプ。
５．第１のハウジング部分（１２１）が、ハウジング下部（１２１）であり、環状のハウジング壁（２３６）を有し、このハウジング壁が、軸方向に延在し、環状の端面（２３８）と、この端面（２３８）に軸方向に対向する底面（１４１）を備え、この底面が、真空ポンプ（１１１，２３０）の下側（１４１）を構成し、第２のハウジング部分（１２２）も、環状のハウジング壁（２４０）を有し、このハウジング壁が、軸方向に延在し、環状の端面（２４２）を備え、両ハウジング部分（１２１，１２２）の端面（２３８，２４２）が、互いに隣接すること、を特徴とする上記１～４の少なくとも１項に記載の真空ポンプ。
６．少なくとも１つの段付き孔（２３４）が、第１のハウジング部分（１２１）のハウジング壁（２３６）内に形成され、第１のハウジング部分（１２１）の底面（１４１）と端面（２３８）の間に延在し、特に、第１の孔部分（２４４）が、第１のハウジング部分（１２１）の底面（１４１）に開口し、第２の孔部分（２４６）が、第１のハウジング部分（１２１）の端面（２３８）に開口すること、を特徴とする上記５に記載の真空ポンプ。
７．第１の孔部分（２４４）の長さ、特に雌ネジ（２５６）の長さが、第１の孔部分（２４４）の直径の少なくとも２倍の大きさであり、特に第１の孔部分（２４４）の直径の約２．５～３倍の大きさであること、を特徴とする上記１～６の少なくとも１項に記載の真空ポンプ。
８．真空ポンプの取付け及び支承をするための固定構造と上記１～７の少なくとも１項に記載の真空ポンプ（１１１，２３０）を備えたポンプスタンドであって、固定構造が、真空ポンプ（１１１，２３０）を支持し、このため、真空ポンプ（１１１，２３０）が、少なくとも１つの固定ボルト（２６０）によって固定構造に固定され、固定ボルトのネジ付きシャフト（２５８）が、第１の孔部分（２４４）の雌ネジ（２５６）にねじ込まれていること、を特徴とするポンプスタンド。

１１１ターボ分子ポンプ
１１３入口フランジ
１１５ポンプ入口
１１７ポンプ出口
１１９ハウジング
１２１第１のハウジング部分、ハウジング下部
１２２第２のハウジング部分、中間部材
１２３電子機器ハウジング
１２５電気モータ
１２７アクセサリポート
１２９データインタフェース
１３１電力供給ポート
１３３通気入口
１３５シールガスポート
１３７モータスペース
１３９冷却剤ポート
１４１下側、底面
１４３ボルト
１４５軸受カバー
１４７固定孔
１４８冷却剤ライン
１４９ロータ
１５１回転軸
１５３ロータシャフト
１５５ロータディスク
１５７ステータディスク
１５９スペーサリング
１６１ロータハブ
１６３ホルベックロータスリーブ
１６５ホルベックロータスリーブ
１６７ホルベックステータスリーブ
１６９ホルベックステータスリーブ
１７１ホルベックギャップ
１７３ホルベックギャップ
１７５ホルベックギャップ
１７９接続通路
１８１転がり軸受
１８３永久磁石軸受
１８５スプレーナット
１８７ディスク
１８９インサート
１９１ロータ側の軸受半体
１９３ステータ側の軸受半体
１９５リング磁石
１９７リング磁石
１９９軸受ギャップ
２０１キャリヤ部分
２０３キャリヤ部分
２０５半径方向のブレース
２０７カバー要素
２０９支持リング
２１１固定リング
２１３皿バネ
２１５緊急もしくは安全軸受
２１７モータステータ
２１９中間スペース
２２１壁
２２３ラビリンスシール
２３０ターボ分子ポンプ
２３２ボルト
２３４段付き孔
２３６１２１のハウジング壁
２３８１２１の端面
２４０１２２のハウジング壁
２４２１２２の端面
２４４第１の孔部分
２４６第２の孔部分
２４８リングショルダ
２５０ボルトシャフト
２５２ボルトヘッド
２５４ネジ付き孔
２５６雌ネジ
２５８ネジ付きシャフト
２６０固定ボルト
２６２固定構造
２６４段付き孔
２６６リングショルダ
２６８ボルトヘッド

Claims

真空ポンプ（１１１，２３０）であって、回転軸（１５１）を中心として回転可能な少なくとも１つのポンプ機構を収容するためのハウジング（１１９）を備え、ハウジング（１１９）が、第１のハウジング部分（１２１）と、第１のハウジング部分（１２１）に隣接する第２のハウジング部分（１２２）を有し、第１のハウジング部分（１２１）を経て、少なくとも１つの段付き孔（２３４）が延在し、この段付き孔が、第１の孔部分（２４４）と、第１の孔部分（２４４）の直径よりも小さい直径を備える第２の孔部分（２４６）と、両孔部分の間のリングショルダ（２４８）を備え、段付き孔（２３４）が、ボルトヘッド（２５２）とボルトシャフト（２５０）を備えたボルト（２３２）を収容し、このボルトのボルトシャフト（２５０）が、第２の孔部分（２４６）を経て延在し、部分的に第２のハウジング部分（１２２）のネジ付き孔（２５４）にねじ込まれ、ボルトのボルトヘッド（２５２）が、リングショルダ（２４８）に支持され、第１の孔部分（２４４）が、第１のハウジング部分（１２１）を固定構造（２６２）に取り付けるためのネジ付きシャフト（２５８）をねじ込むための雌ネジ（２５６）を含むこと、を特徴とする真空ポンプ。
第１の孔部分（２４４）が、雌ネジ（２５６）を形成する内周表面を備えること、を特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
第１の孔部分（２４４）が、雌ネジ（２５６）を形成するネジ付きスリーブを収容すること、を特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
ネジ付きスリーブが、第１のハウジング部分（１２１）内の半径方向に延在するネジ穴にねじ込まれたボルト又はグラブボルトによって第１の孔部分（２４４）内に固定されていること、及び／又は、ネジ付きスリーブが、第１の孔部分（２４４）にねじ込まれ、ネジ付きスリーブが、ボルト（２３２）のボルトヘッド（２５２）に対して固定されていること、を特徴とする請求項３に記載の真空ポンプ。
ネジ付きスリーブが、雄ネジを備え、この雄ネジによって、ネジ付きスリーブが、第１の孔部分（２４４）の内周表面を形成する雌ネジにねじ込まれていること、を特徴とする請求項４に記載の真空ポンプ。
第１のハウジング部分（１２１）が、ハウジング下部（１２１）であり、環状のハウジング壁（２３６）を有し、このハウジング壁が、軸方向に延在し、環状の端面（２３８）と、この端面（２３８）に軸方向に対向する底面（１４１）を備え、この底面が、真空ポンプ（１１１，２３０）の下側（１４１）を構成し、第２のハウジング部分（１２２）も、環状のハウジング壁（２４０）を有し、このハウジング壁が、軸方向に延在し、環状の端面（２４２）を備え、両ハウジング部分（１２１，１２２）の端面（２３８，２４２）が、互いに隣接すること、を特徴とする請求項１～５のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
少なくとも１つの段付き孔（２３４）が、第１のハウジング部分（１２１）のハウジング壁（２３６）内に形成され、第１のハウジング部分（１２１）の底面（１４１）と端面（２３８）の間に延在すること、を特徴とする請求項６に記載の真空ポンプ。
第１の孔部分（２４４）が、第１のハウジング部分（１２１）の底面（１４１）に開口し、第２の孔部分（２４６）が、第１のハウジング部分（１２１）の端面（２３８）に開口すること、を特徴とする請求項７に記載の真空ポンプ。
第１の孔部分（２４４）の長さ又は雌ネジ（２５６）の長さが、第１の孔部分（２４４）の直径の少なくとも２倍の大きさであること、を特徴とする請求項１～８のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
第１の孔部分（２４４）の長さ又は雌ネジ（２５６）の長さが、第１の孔部分（２４４）の直径の約２．５～３倍の大きさであること、を特徴とする請求項９に記載の真空ポンプ。
真空ポンプ（１１１，２３０）が、ターボ分子ポンプであること、を特徴とする請求項１～１０のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
真空ポンプの取付け及び支承をするための固定構造と請求項１～１１のいずれか１項に記載の真空ポンプ（１１１，２３０）を備えたポンプスタンドであって、固定構造が、真空ポンプ（１１１，２３０）を支持し、このため、真空ポンプ（１１１，２３０）が、少なくとも１つの固定ボルト（２６０）によって固定構造に固定され、固定ボルトのネジ付きシャフト（２５８）が、第１の孔部分（２４４）の雌ネジ（２５６）にねじ込まれていること、を特徴とするポンプスタンド。