JP7090065B2 - ダイヤモンド材料から作製された減衰全反射結晶 - Google Patents
ダイヤモンド材料から作製された減衰全反射結晶 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7090065B2 JP7090065B2 JP2019500297A JP2019500297A JP7090065B2 JP 7090065 B2 JP7090065 B2 JP 7090065B2 JP 2019500297 A JP2019500297 A JP 2019500297A JP 2019500297 A JP2019500297 A JP 2019500297A JP 7090065 B2 JP7090065 B2 JP 7090065B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- atr
- atr crystal
- sample
- working surface
- analyzed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims description 73
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 title claims description 28
- 239000010432 diamond Substances 0.000 title claims description 28
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 16
- 238000005102 attenuated total reflection Methods 0.000 title description 74
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 14
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 claims description 4
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 37
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 description 2
- 238000007514 turning Methods 0.000 description 2
- 238000004566 IR spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000001210 attenuated total reflectance infrared spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
- G01N21/552—Attenuated total reflection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/42—Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/42—Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
- G01J2003/425—Reflectance
Description
エバネッセント効果は、ATR結晶が、調べている試料よりも高い屈折率を持つ光学材料から作製されていることを必要とする。固体試料の場合には、ATR結晶および試料は押し付け合わされる。ATR角柱および試料の間の密着が、最良の結果のために望まれる。ダイヤモンド材料の優れた光学的および機械的特性は、それを、特に、非常に硬い固体を調べる場合に、ATR分光のための理想的な材料とする。
ATR結晶の種々の形状が利用できる。ATR結晶の形状は、分光計のタイプおよび分析される試料の性状に依存するであろう。典型的なATR結晶の形状は、角柱、切頭角柱、面取り矩形ブロック、面取り円柱およびそれらの変形を含む。これらの形状の共通した特徴は、分析される試料に押し付けられた「平坦な作用面、および赤外線分析ビームを試料と接触した作用面に向けることができ、次いで、検出器に向けてATR結晶に内面反射できるように、該ビーム用に入射面および出光面を供する角度付きまたは面取り側面を含む。
ATR結晶はダイヤモンド材料から形成され、かつ
赤外線分析ビーム用の入射面、赤外線分析ビーム用の出射面、および分析される試料と接触するための作用面を有するように構成され、ここで、ATR結晶が、入射面および出射面を形成する2つの平坦な面取り側壁、および作用面を形成する面取り円柱の端面を含む面取り円柱の形態をしており、
入射面、出射面および作用面が、使用に際して、分析ビームが、入射面を通って、分析される試料と接触している作用面の内側に向い、次いで分析される試料と接触している作用面の内側で内面反射することにより、分析ビームが出射面を通ってATR結晶の外へ出ることができるように構成されており、および
作用面は凸曲面である、ATR結晶が提供される。
本発明の第2の態様によると、赤外線ビーム源、本発明の第1の態様によるATR結晶、および検出器を含むATR分光計が提供される。
本発明の良好な理解のため、およびどのようにしてそれを実施することができるかを示すために、本発明の実施形態を、添付の図面を参照して例としてのみ記載する。
上記に照らして、本発明は、湾曲作用面を有するダイヤモンドATR結晶を提供する。湾曲作用面は、分析ビームが向けられる作用面の領域が試料とより信頼性良く密着できるように、平坦な作用面と比較して外向きに突出している(すなわち、凸)。さらに、ダイヤモンドは極度に硬いので、ATR結晶を有意に変形または損傷させることなく、この湾曲構成で試料材料中に効果的に押し込むことができる。
ATR結晶の凸曲面作用面を規定する別の方法は、凸曲面作用面の深さ、すなわち、凸曲面作用面によって規定される球状セグメントの深さによる。有利には、凸曲面作用面によって規定される該セグメントの深さは、少なくとも2μm、5μm、または10μm、および/または100μm、80μm、または70μm未満、および/またはこれらの値の任意の組合せによって形成される範囲内である。
図1および2に例示されたATR結晶のさらなる特徴は、作用面を囲う二次的面取り面である。この二次的面取り面は、湾曲作用面の表面積を低下させ、したがって、ATR結晶の曲面と分析される試料との接触を改良することができる所与の力のための圧力を増大させるように働く。
図3は、図1および2に例示されたATR結晶の製造に関する基本的な工程を例示する。
工程2において、円柱の末端を加工して、湾曲作用面36を形成する。ダイヤモンド材料において曲面を形成するための適切な方法は、レーザー旋削および研磨カップを用いる研磨を含む。
工程3において、二次的面取り面38が、湾曲作用面36の周りに形成される。これは、レーザー切削、旋削、または研磨を用いて行ってよい。
原理的には、工程1から3は任意の順序で行うこともできよう。
ATR結晶を作製するのに用いるダイヤモンド材料は、好ましくは、単結晶ダイヤモンド材料、より好ましくは、IIa型ダイヤモンド材料、より好ましくは、IIa型合成ダイヤモンド材料、最も好ましくは、単結晶化学蒸着(CVD)ダイヤモンド材料である。
ATR結晶の形状に関する多様性を想定することができる。図5(a)から5(d)は、本発明の実施形態によるATR結晶のいくつかの代替形状を例示し:図5(a)は、異なる面取り形状を有する変形を例示し;図5(b)は、二次的面取り面が設けられていない変形を例示し;図5(c)は、平坦なベースでなく尖ったベースを有する結晶の構成を例示し;および図5(d)は、球状曲面ではなく矩形曲面を有する変形を例示す。これらは非包括的な1組の代替例を表し、本発明を、実施形態を参照して特に示し、記載してきたが、添付の請求の範囲によって規定される本発明の範囲を逸脱することなく形態および詳細の種々の変形をなすことができるのは、当業者に理解されるであろう。
本発明のまた別の態様は、以下のとおりであってもよい。
〔1〕分析される試料の減衰全反射(ATR)分光用のATR結晶であって、
ATR結晶がダイヤモンド材料から形成され、かつ
赤外線分析ビーム用の入射面、赤外線分析ビーム用の出射面、および分析される試料と接触するための作用面を有するように構成されており、ここでATR結晶が、入射面および出射面を形成する2つの平坦な面取り側壁、および作用面を形成する面取り円柱の端面を含む面取り円柱の形態をしており;
入射面、出射面および作用面が、使用に際して、分析ビームが、入射面を通って、分析される試料と接触している作用面の内側に向かい、次いで分析される試料と接触している作用面の内側で内面反射することにより、分析ビームが出射面を通ってATR結晶の外へ出ることができるように構成されており、
前記作用面が凸曲面であることを特徴とする、ATR結晶。
〔2〕前記凸曲面作用面が、2から100μmの範囲の深さを有するセグメントを画定する、前記〔1〕に記載のATR結晶。
〔3〕前記作用面が球対称である、前記〔1〕または〔2〕に記載のATR結晶。
〔4〕前記作用面を囲う二次的面取り面をさらに含む、前記〔1〕から〔3〕のいずれか1項に記載のATR結晶。
〔5〕前記入射面、前記出射面、および/または前記作用面が30nm未満の表面粗さR a を有する、前記〔1〕から〔4〕のいずれか1項に記載のATR結晶。
〔6〕前記入射面、前記出射面、および/または前記作用面が、632.8nmにおいて≦1の縞の表面不規則性を有する、前記〔1〕から〔5〕のいずれか1項に記載のATR結晶。
〔7〕赤外線ビーム源、前記〔1〕から〔6〕のいずれか1項に記載のATR結晶、および検出器を含むATR分光計。
Claims (5)
- 分析される試料の減衰全反射(ATR)分光用のATR結晶であって、
ATR結晶がダイヤモンド材料から形成され、かつ
赤外線分析ビーム用の入射面、赤外線分析ビーム用の出射面、および分析される試料と接触するための作用面を有するように構成されており、ここでATR結晶が、入射面および出射面を形成する2つだけの平坦な面取り側壁、および作用面を形成する面取り円柱の端面を含む面取り円柱の形態をしており;
入射面、出射面および作用面が、使用に際して、分析ビームが、入射面を通って、分析される試料と接触している作用面の内側に向かい、次いで分析される試料と接触している作用面の内側で内面反射することにより、分析ビームが出射面を通ってATR結晶の外へ出ることができるように構成されており、
前記作用面が凸曲面であり、2から100μmの範囲の深さを有するセグメントを画定することを特徴とする、ATR結晶。 - 前記作用面が球対称である、請求項1に記載のATR結晶。
- 前記作用面を囲う二次的面取り面をさらに含む、請求項1または2に記載のATR結晶。
- 前記入射面、前記出射面、および/または前記作用面が30nm未満の表面粗さRaを有する、請求項1から3のいずれか1項に記載のATR結晶。
- 赤外線ビーム源、請求項1から4のいずれか1項に記載のATR結晶、および検出器を含むATR分光計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021026498A JP2021113809A (ja) | 2016-07-04 | 2021-02-22 | ダイヤモンド材料から作製された減衰全反射結晶 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB1611651.9 | 2016-07-04 | ||
GBGB1611651.9A GB201611651D0 (en) | 2016-07-04 | 2016-07-04 | An attenuated total reflection crystal fabricated from diamond material |
PCT/EP2017/066517 WO2018007329A1 (en) | 2016-07-04 | 2017-07-03 | An attenuated total reflection crystal fabricated from diamond material |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021026498A Division JP2021113809A (ja) | 2016-07-04 | 2021-02-22 | ダイヤモンド材料から作製された減衰全反射結晶 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019520581A JP2019520581A (ja) | 2019-07-18 |
JP7090065B2 true JP7090065B2 (ja) | 2022-06-23 |
Family
ID=56891066
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019500297A Active JP7090065B2 (ja) | 2016-07-04 | 2017-07-03 | ダイヤモンド材料から作製された減衰全反射結晶 |
JP2021026498A Pending JP2021113809A (ja) | 2016-07-04 | 2021-02-22 | ダイヤモンド材料から作製された減衰全反射結晶 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021026498A Pending JP2021113809A (ja) | 2016-07-04 | 2021-02-22 | ダイヤモンド材料から作製された減衰全反射結晶 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10852234B2 (ja) |
EP (1) | EP3479100A1 (ja) |
JP (2) | JP7090065B2 (ja) |
GB (2) | GB201611651D0 (ja) |
WO (1) | WO2018007329A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11460400B2 (en) | 2020-07-07 | 2022-10-04 | Sakura Finetek U.S.A., Inc. | Use of IR spectroscopy to evaluate penetration of reagents into biological specimen |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4829186A (en) | 1985-06-25 | 1989-05-09 | The Dow Chemical Company | Methods and apparatus for measuring the light absorbance of a fluid medium |
JP2008298460A (ja) | 2007-05-29 | 2008-12-11 | National Research Institute Of Police Science Japan | 規制薬物判別装置、規制薬物判別方法および規制薬物判別プログラム |
JP5322745B2 (ja) | 2009-04-06 | 2013-10-23 | 京楽産業.株式会社 | パチンコ遊技機 |
JP6129979B2 (ja) | 2013-09-20 | 2017-05-17 | 株式会社東芝 | 電池放熱システム、電池放熱ユニット |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5172182A (en) * | 1991-05-31 | 1992-12-15 | Sting Donald W | Internal reflectance element with very small sample contacting surface |
US5200609A (en) * | 1991-08-27 | 1993-04-06 | Sting Donald W | Radiant energy spectroscopy system with diamond internal reflection element |
US6141100A (en) * | 1997-08-15 | 2000-10-31 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | Imaging ATR spectrometer |
US5986768A (en) | 1997-10-31 | 1999-11-16 | The United States Of America, As Represented By The Secretary Of Commerce | Intra-cavity total reflection for high sensitivity measurement of optical properties |
JP2003042952A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Japan Science & Technology Corp | 赤外分子振動解析装置、生体データ測定システムおよび生体データ測定方法 |
DE102013211814A1 (de) * | 2013-06-21 | 2014-12-24 | Siemens Aktiengesellschaft | Bildgebung durch abgeschwächte Totalreflexion (ATR) |
US10197515B2 (en) * | 2014-01-08 | 2019-02-05 | Massachusetts Institute Of Technology | Methods and apparatus for optically detecting magnetic resonance |
-
2016
- 2016-07-04 GB GBGB1611651.9A patent/GB201611651D0/en not_active Ceased
-
2017
- 2017-07-03 US US16/306,623 patent/US10852234B2/en active Active
- 2017-07-03 WO PCT/EP2017/066517 patent/WO2018007329A1/en unknown
- 2017-07-03 GB GB1710641.0A patent/GB2553035B/en active Active
- 2017-07-03 JP JP2019500297A patent/JP7090065B2/ja active Active
- 2017-07-03 EP EP17736638.2A patent/EP3479100A1/en active Pending
-
2021
- 2021-02-22 JP JP2021026498A patent/JP2021113809A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4829186A (en) | 1985-06-25 | 1989-05-09 | The Dow Chemical Company | Methods and apparatus for measuring the light absorbance of a fluid medium |
JP2008298460A (ja) | 2007-05-29 | 2008-12-11 | National Research Institute Of Police Science Japan | 規制薬物判別装置、規制薬物判別方法および規制薬物判別プログラム |
JP5322745B2 (ja) | 2009-04-06 | 2013-10-23 | 京楽産業.株式会社 | パチンコ遊技機 |
JP6129979B2 (ja) | 2013-09-20 | 2017-05-17 | 株式会社東芝 | 電池放熱システム、電池放熱ユニット |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2018007329A1 (en) | 2018-01-11 |
US10852234B2 (en) | 2020-12-01 |
GB2553035A (en) | 2018-02-21 |
GB201611651D0 (en) | 2016-08-17 |
GB201710641D0 (en) | 2017-08-16 |
JP2021113809A (ja) | 2021-08-05 |
US20190302020A1 (en) | 2019-10-03 |
GB2553035B (en) | 2021-03-10 |
JP2019520581A (ja) | 2019-07-18 |
EP3479100A1 (en) | 2019-05-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101251631B (zh) | 具有高伸出光纤的插芯组件及相关的制造方法 | |
US6370406B1 (en) | Method and apparatus for analyzing a test material by inducing and detecting light-matter interactions | |
US11513055B2 (en) | Crystal for flow cytometry with dual laser beams | |
CN111954804B (zh) | 具有宽计量工艺窗口的棱镜耦合应力计 | |
US8652419B2 (en) | Method of manufacturing microfluidic chip, microfluidic chip, and apparatus for generating surface plasmon resonant light | |
US11320641B2 (en) | Immersion meta-lens at visible wavelengths for diffraction-limited imaging | |
US5953115A (en) | Method and apparatus for imaging surface topography of a wafer | |
JP7090065B2 (ja) | ダイヤモンド材料から作製された減衰全反射結晶 | |
US6381389B1 (en) | Optical coupling device and optical coupling method using photonic crystal | |
KR20220019299A (ko) | 유리한 토포그래피를 갖는 고체 바디 | |
JP2023067927A (ja) | 迷光が低減された集束光を有するフィルタアレイ | |
Xiao et al. | Effect of brittle scratches on transmission of optical glass and its induced light intensification during the chemical etching | |
EP1828741B1 (fr) | Procede et dispostif de mesure sans contact de la courbure d'un objet ophtalmique | |
KR102400468B1 (ko) | 입자계수용 광학계 | |
KR101946934B1 (ko) | 레이저 가공용 마스크 | |
KR101466385B1 (ko) | 평판형 분광 모듈 및 그 제조방법 | |
WO2002018919A1 (en) | Attenuated total reflectance sensing head | |
KR101222700B1 (ko) | 표면 플라즈몬 공명 센서 시스템 | |
JP3911468B2 (ja) | 光ファイバの加工方法 | |
JP2013072868A (ja) | 表面プラズモン共鳴センサシステム | |
US20200041408A1 (en) | Total internal reflection optical member, and total internal reflection measuring device provided with same | |
CN112771370A (zh) | 用于制备红外显微镜薄样本的牺牲性夹具 | |
WO2020038770A1 (en) | Optical waveguide arrangement, light coupling system and method for manufacturing an optical waveguide arrangement | |
US20090067039A1 (en) | Optical micro resonator | |
Koshimizu | Measurement of surface roughness and thickness of silicon wafers using an infrared laser |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190104 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20191127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191202 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20200302 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20200430 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200529 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20201022 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210222 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20210222 |
|
C11 | Written invitation by the commissioner to file amendments |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C11 Effective date: 20210308 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20210427 |
|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20210428 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20210528 |
|
C211 | Notice of termination of reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C211 Effective date: 20210603 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20210705 |
|
C13 | Notice of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C13 Effective date: 20210901 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20211201 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20220201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220301 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20220411 |
|
C23 | Notice of termination of proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C23 Effective date: 20220511 |
|
C03 | Trial/appeal decision taken |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C03 Effective date: 20220606 |
|
C30A | Notification sent |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C3012 Effective date: 20220606 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220613 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7090065 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |