JP7083887B2 - Curable composition, cured film, optical element, solid-state image sensor, color filter - Google Patents

Curable composition, cured film, optical element, solid-state image sensor, color filter Download PDF

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Description

本発明は、硬化性組成物、硬化膜、光学素子、固体撮像素子、及び、カラーフィルタに関する。 The present invention relates to a curable composition, a cured film, an optical element, a solid-state image sensor, and a color filter.

固体撮像装置等に用いられる硬化膜の製造方法は、基板上に硬化性組成物層を形成した後に、これを硬化させる方法が一般的である。典型的には、所定のマスクパターンを介して硬化性組成物層に光を照射し、その後、現像処理を行う。 As a method for producing a cured film used in a solid-state image sensor or the like, a method in which a curable composition layer is formed on a substrate and then cured is generally used. Typically, the curable composition layer is irradiated with light through a predetermined mask pattern, and then a development process is performed.

例えば、特許文献1には、光重合性樹脂層等が積層された光重合性樹脂積層体であって、光重合性樹脂層が、アルカリ可溶性高分子、エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物、光重合性開始剤、及び黒色顔料を含有する光重合性樹脂組成物からなる光重合性樹脂積層体が開示されている。 For example, Patent Document 1 describes a photopolymerizable resin laminate in which a photopolymerizable resin layer or the like is laminated, wherein the photopolymerizable resin layer has an alkali-soluble polymer and an ethylenically unsaturated bond. A photopolymerizable resin laminate comprising a photopolymerizable resin composition containing a compound, a photopolymerizable initiator, and a black pigment is disclosed.

再表2008/078707号Re-table 2008/078707

本発明者が、特許文献1に開示された光重合性樹脂組成物について検討したところ、この光重合性樹脂組成物には、パターン状に硬化膜を形成した場合における線幅の安定性(以下、単に「線幅安定性」又は「硬化膜の線幅安定性」ともいう)について改善の余地があることを知見した。 When the present inventor examined the photopolymerizable resin composition disclosed in Patent Document 1, the photopolymerizable resin composition had a line width stability when a cured film was formed in a pattern (hereinafter referred to as “s)”. , Simply referred to as "line width stability" or "line width stability of the cured film") was found to have room for improvement.

そこで、本発明は、線幅安定性に優れる硬化膜を製造できる硬化性組成物を提供することを課題とする。また、本発明は、このような硬化性組成物を用いて形成される、硬化膜、並びに、この硬化膜を有する、カラーフィルタ、光学素子、及び、固体撮像素子を提供することも課題とする。 Therefore, it is an object of the present invention to provide a curable composition capable of producing a cured film having excellent line width stability. Another object of the present invention is to provide a cured film formed by using such a curable composition, and a color filter, an optical element, and a solid-state imaging device having the cured film. ..

〔1〕
黒色色材、重合性化合物、樹脂A、光重合開始剤、及び、重合禁止剤を含有し、
上記樹脂Aが、酸価が120~350mgKOH/gであること、及び、重量平均分子量が3000~7500であることのいずれか一方の要件を満たす、硬化性組成物。
〔2〕
上記重合性化合物の含有量に対する、上記重合禁止剤の含有量の質量比が、0.0005超である、〔1〕に記載の硬化性組成物。
〔3〕
更に、上記樹脂Aとは異なる樹脂であって、オキシアルキレン基及びオキシアルキレンカルボニル基からなる群から選択される1種以上の基を有する樹脂である樹脂Bを含有する、〔1〕又は〔2〕に記載の硬化性組成物。
〔4〕
上記重合性化合物が、4個のエチレン性不飽和基を有する、〔1〕~〔3〕のいずれかに記載の硬化性組成物。
〔5〕
上記樹脂Aの酸価が170~300mgKOH/gである、〔1〕~〔4〕のいずれかに記載の硬化性組成物。
〔6〕
上記樹脂Aの重量平均分子量が3000~5000である、〔1〕~〔5〕のいずれかに記載の硬化性組成物。
〔7〕
上記樹脂Aの全繰り返し単位中、(メタ)アクリル系単量体由来の繰り返し単位の含有量が50モル%以上である、〔1〕~〔6〕のいずれかに記載の硬化性組成物。
〔8〕
上記樹脂Aが、ベンジル(メタ)アクリレート及び(メタ)アクリル酸の共重合体である、〔1〕~〔7〕のいずれかに記載の硬化性組成物。
〔9〕
上記重合性化合物の二重結合当量が、11.0mmol/g以上である、〔1〕~〔8〕のいずれかに記載の硬化性組成物。
〔10〕
上記光重合開始剤が、オキシムエステル系重合開始剤である、〔1〕~〔9〕のいずれかに記載の硬化性組成物。
〔11〕
上記光重合開始剤が、後述する一般式(A)で表される化合物である、〔1〕~〔10〕のいずれかに記載の硬化性組成物。
〔12〕
上記黒色色材が、黒色顔料である、〔1〕~〔11〕のいずれかに記載の硬化性組成物。
〔13〕
〔1〕~〔12〕のいずれかに記載の硬化性組成物を用いて形成される、硬化膜。
〔14〕
遮光膜である、〔13〕に記載の硬化膜。
〔15〕
〔13〕又は〔14〕に記載の硬化膜を有する、光学素子。
〔16〕
〔13〕又は〔14〕に記載の硬化膜を有する、固体撮像素子。
〔17〕
〔13〕又は〔14〕に記載の硬化膜を有する、カラーフィルタ。
[1]
Contains a black colorant, a polymerizable compound, a resin A, a photopolymerization initiator, and a polymerization inhibitor.
A curable composition in which the resin A satisfies one of the requirements of having an acid value of 120 to 350 mgKOH / g and having a weight average molecular weight of 3000 to 7500.
[2]
The curable composition according to [1], wherein the mass ratio of the content of the polymerization inhibitor to the content of the polymerizable compound is more than 0.0005.
[3]
Further, it contains resin B, which is a resin different from the above resin A and has one or more groups selected from the group consisting of an oxyalkylene group and an oxyalkylene carbonyl group, [1] or [2]. ] The curable composition according to.
[4]
The curable composition according to any one of [1] to [3], wherein the polymerizable compound has four ethylenically unsaturated groups.
[5]
The curable composition according to any one of [1] to [4], wherein the acid value of the resin A is 170 to 300 mgKOH / g.
[6]
The curable composition according to any one of [1] to [5], wherein the resin A has a weight average molecular weight of 3000 to 5000.
[7]
The curable composition according to any one of [1] to [6], wherein the content of the repeating unit derived from the (meth) acrylic monomer is 50 mol% or more in all the repeating units of the resin A.
[8]
The curable composition according to any one of [1] to [7], wherein the resin A is a copolymer of benzyl (meth) acrylate and (meth) acrylic acid.
[9]
The curable composition according to any one of [1] to [8], wherein the double bond equivalent of the polymerizable compound is 11.0 mmol / g or more.
[10]
The curable composition according to any one of [1] to [9], wherein the photopolymerization initiator is an oxime ester-based polymerization initiator.
[11]
The curable composition according to any one of [1] to [10], wherein the photopolymerization initiator is a compound represented by the general formula (A) described later.
[12]
The curable composition according to any one of [1] to [11], wherein the black color material is a black pigment.
[13]
A cured film formed by using the curable composition according to any one of [1] to [12].
[14]
The cured film according to [13], which is a light-shielding film.
[15]
An optical element having the cured film according to [13] or [14].
[16]
A solid-state image sensor having the cured film according to [13] or [14].
[17]
A color filter having the cured film according to [13] or [14].

本発明によれば、線幅安定性に優れる硬化膜を製造できる硬化性組成物を提供できる。また、本発明は、このような硬化性組成物を用いて形成される、硬化膜、並びに、この硬化膜を有する、カラーフィルタ、光学素子、及び、固体撮像素子を提供できる。 According to the present invention, it is possible to provide a curable composition capable of producing a cured film having excellent line width stability. Further, the present invention can provide a cured film formed by using such a curable composition, and a color filter, an optical element, and a solid-state imaging device having the cured film.

固体撮像装置の構成例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the structural example of the solid-state image sensor. 図1の撮像部を拡大して示す概略断面図である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an enlarged image of the image pickup unit of FIG.

以下、本発明について詳細に説明する。
以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされることがあるが、本発明はそのような実施態様に限定されるものではない。
なお、本明細書において、「~」を用いて表される数値範囲は、「~」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として包摂する範囲を意味する。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
The description of the constituent elements described below may be based on the representative embodiments of the present invention, but the present invention is not limited to such embodiments.
In the present specification, the numerical range represented by using "-" means a range in which the numerical values described before and after "-" are included as the lower limit value and the upper limit value.

また、本明細書における基(原子団)の表記において、置換及び無置換を記していない表記は、置換基を含有しない基と共に置換基を含有する基をも包含する。例えば、「アルキル基」とは、置換基を含有しないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を含有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含する。 Further, in the notation of a group (atomic group) in the present specification, the notation not describing substitution or non-substitution includes a group containing a substituent as well as a group containing no substituent. For example, the "alkyl group" includes not only an alkyl group containing no substituent (unsubstituted alkyl group) but also an alkyl group containing a substituent (substituted alkyl group).

また、本明細書中における「活性光線」又は「放射線」とは、例えば、遠紫外線、極紫外線(EUV:Extreme ultraviolet lithography)、X線、及び、電子線等を意味する。また本明細書において光とは、活性光線及び放射線を意味する。本明細書中における「露光」とは、特に断らない限り、遠紫外線、X線、及びEUV光等による露光のみならず、電子線及びイオンビーム等の粒子線による描画も包含する。 Further, the term "active light" or "radiation" in the present specification means, for example, far ultraviolet rays, extreme ultraviolet rays (EUV: Extreme ultraviolet lithium), X-rays, electron beams and the like. Further, in the present specification, light means active light rays and radiation. Unless otherwise specified, the term "exposure" as used herein includes not only exposure with far ultraviolet rays, X-rays, EUV light, etc., but also drawing with particle beams such as electron beams and ion beams.

また、本明細書において、「(メタ)アクリレート」はアクリレート及びメタアクリレートを表す。また、本明細書において、「(メタ)アクリル」はアクリル及びメタアクリルを表す。また、本明細書において、「(メタ)アクリロイル」は、アクリロイル及びメタクリロイルを表す。また、本明細書において、「(メタ)アクリルアミド」は、アクリルアミド及びメタアクリルアミドを表す。また、本明細書中において、「単量体」と「モノマー」とは同義である。 Further, in the present specification, "(meth) acrylate" represents acrylate and methacrylate. Further, in the present specification, "(meth) acrylic" means acrylic and methacrylic. Further, in the present specification, "(meth) acryloyl" represents acryloyl and methacryloyl. Further, in the present specification, "(meth) acrylamide" represents acrylamide and metaacrylamide. Further, in the present specification, "monomer" and "monomer" are synonymous.

また、本明細書において、「ppm」は「parts-per-million(10-6)」を意味し、「ppb」は「parts-per-billion(10-9)」を意味し、「ppt」は「parts-per-trillion(10-12)」を意味する。Further, in the present specification, "ppm" means "parts-per-million ( 10-6 )", "ppb" means "parts-per-billion ( 10-9 )", and "ppt". Means "parts-per-thrillion ( 10-12 )".

本明細書において重量平均分子量(Mw)は、GPC(Gel Permeation Chromatography:ゲル浸透クロマトグラフィー)法によるポリスチレン換算値である。
本明細書においてGPC法は、HLC-8020GPC(東ソー社製)を用い、カラムとしてTSKgel SuperHZM-H、TSKgel SuperHZ4000、TSKgel SuperHZ2000(東ソー社製、4.6mmID×15cm)を、溶離液としてTHF(テトラヒドロフラン)を用いる方法に基づく。
In the present specification, the weight average molecular weight (Mw) is a polystyrene-equivalent value obtained by a GPC (Gel Permeation Chromatography) method.
In the present specification, the GPC method uses HLC-8020GPC (manufactured by Tosoh Corporation), TSKgel SuperHZM-H, TSKgel SuperHZ4000, TSKgel SuperHZ2000 (manufactured by Tosoh Corporation, 4.6 mm ID × 15 cm) as an eluent, and THF (tetrahydrofuran) as an eluent. ) Is used.

〔硬化性組成物〕
本発明の硬化性組成物は、黒色色材、重合性化合物、樹脂A、光重合開始剤、及び、重合禁止剤を含有する。
上記樹脂Aは、酸価が120~350mgKOH/gであること(以下「要件1」ともいう)、及び、重量平均分子量が3000~7500であること(以下「要件2」ともいう)のいずれか一方の要件を満たす樹脂である。
[Cursable composition]
The curable composition of the present invention contains a black colorant, a polymerizable compound, a resin A, a photopolymerization initiator, and a polymerization inhibitor.
The resin A has an acid value of 120 to 350 mgKOH / g (hereinafter also referred to as "requirement 1") and a weight average molecular weight of 3000 to 7500 (hereinafter also referred to as "requirement 2"). It is a resin that meets one of the requirements.

このような硬化性組成物を用いることで、線幅安定性に優れる硬化膜が形成できるメカニズムは必ずしも明らかではないが、本発明者らは以下のように考えている。
硬化膜の形成においては、通常、硬化性組成物を用いて形成された硬化性組成物層が、露光を経て硬化され、更に、現像される。上記露光の際、照射された光が回折及び/又は散乱等することによって、本来の露光領域の周囲にわずかな光が漏れて、硬化性組成物層に部分的な硬化が生じることがある。このように、本来の露光領域の周囲において硬化性組成物層が部分的に硬化した箇所が、硬化膜に意図しない肥大化を生じさせ、硬化膜の線幅安定性に悪影響を及ぼす。
対して、本発明の硬化性組成物は、重合禁止剤を含有するため、露光領域から漏れたわずかな光によって、部分的な硬化が生じるのを低減できる。また、本発明の硬化性組成物は、要件1及び要件2のいずれか一方を満たす樹脂Aを含有するため、本発明の硬化性組成物を用いて形成される硬化性組成物層は現像性に優れ、部分的に硬化した箇所が生じても、現像時に除去される。その結果、本発明の硬化性組成物を用いることで、線幅安定性に優れる硬化膜を製造できると考えている。
Although the mechanism by which a cured film having excellent line width stability can be formed by using such a curable composition is not always clear, the present inventors consider as follows.
In the formation of the cured film, usually, the curable composition layer formed by using the curable composition is cured through exposure and further developed. During the above exposure, the irradiated light may be diffracted and / or scattered, so that a small amount of light leaks around the original exposed area, and the curable composition layer may be partially cured. As described above, the portion where the curable composition layer is partially cured around the original exposed region causes unintended enlargement of the cured film, which adversely affects the line width stability of the cured film.
On the other hand, since the curable composition of the present invention contains a polymerization inhibitor, it is possible to reduce the occurrence of partial curing due to a slight amount of light leaking from the exposed region. Further, since the curable composition of the present invention contains a resin A that satisfies either requirement 1 or requirement 2, the curable composition layer formed by using the curable composition of the present invention is developable. Even if a partially cured part is generated, it is removed during development. As a result, it is considered that a cured film having excellent line width stability can be produced by using the curable composition of the present invention.

[硬化性組成物の成分]
まず、本発明の硬化性組成物の成分について説明する。
[Ingredients of curable composition]
First, the components of the curable composition of the present invention will be described.

<黒色色材>
硬化性組成物は、黒色色材を含有する。
黒色色材としては、黒色顔料及び黒色染料からなる群から選択される1種以上が挙げられる。
黒色色材は1種単独で使用してもよく、2種以上を使用してもよい。
硬化性組成物中における黒色色材の含有量としては特に制限されないが、硬化性組成物の全固形分に対して、1~99質量%が好ましく、5~55質量%がより好ましい。
硬化性組成物の全固形分とは、硬化膜を形成する成分を意図し、溶媒は含まれない。また、硬化膜を形成する成分であれば、その性状が液体状であっても、固形分とみなす。
<Black color material>
The curable composition contains a black colorant.
Examples of the black color material include one or more selected from the group consisting of black pigments and black dyes.
The black color material may be used alone or in combination of two or more.
The content of the black color material in the curable composition is not particularly limited, but is preferably 1 to 99% by mass, more preferably 5 to 55% by mass, based on the total solid content of the curable composition.
The total solid content of the curable composition is intended as a component forming a cured film and does not contain a solvent. Further, if the component forms a cured film, even if the property is liquid, it is regarded as a solid content.

また、単独では黒色色材として使用できない着色剤を複数組み合わせ、全体として黒色になるように調整して黒色色材としてもよい。
例えば、単独で黒色を発現する顔料を黒色顔料とする他にも、単独では黒色以外の色を有する顔料を複数組み合わせて黒色顔料として使用してもよい。同様に、単独で黒色を発現する染料を黒色染料とする他にも、単独では黒色以外の色を有する染料を複数組み合わせて黒色染料として使用してもよい。
なお、黒色色材とは、波長400~700nmの全ての範囲にわたって吸収がある色材をいう。
より具体的には、例えば、以下に説明する評価基準Zに適合する黒色色材が好ましい。
まず、色材と、透明な樹脂マトリックス(アクリル樹脂等)と、溶剤とを含有し、全固形分に対する色材の含有量が60質量%である組成物を調製する。得られた組成物を、ガラス基板上に、乾燥後の塗膜の膜厚が1μmになるように塗布し、塗膜を形成する。乾燥後の塗膜の遮光性を、分光光度計(日立株式会社製UV-3600等)を用いて評価する。乾燥後の塗膜の波長400~700nmにおける透過率の最大値が10%未満であれば、上記色材は評価基準Zに適合する黒色色材であると判断できる。
Further, a plurality of colorants that cannot be used alone as a black color material may be combined and adjusted so as to be black as a whole to obtain a black color material.
For example, in addition to using a pigment that expresses black alone as a black pigment, a plurality of pigments having a color other than black alone may be combined and used as a black pigment. Similarly, in addition to using a dye that expresses black alone as a black dye, a plurality of dyes having a color other than black alone may be used as a black dye in combination.
The black color material refers to a color material that absorbs over the entire range of a wavelength of 400 to 700 nm.
More specifically, for example, a black color material that meets the evaluation criteria Z described below is preferable.
First, a composition containing a coloring material, a transparent resin matrix (acrylic resin, etc.), and a solvent, and the content of the coloring material with respect to the total solid content is 60% by mass is prepared. The obtained composition is applied onto a glass substrate so that the film thickness of the coating film after drying is 1 μm to form a coating film. The light-shielding property of the coating film after drying is evaluated using a spectrophotometer (UV-3600, etc. manufactured by Hitachi, Ltd.). If the maximum value of the transmittance of the dried coating film at a wavelength of 400 to 700 nm is less than 10%, it can be determined that the coloring material is a black coloring material conforming to the evaluation standard Z.

(黒色顔料)
黒色色材は、反射率が低減された硬化膜を得られる点から、黒色顔料であることが好ましい。
黒色顔料は、各種公知の黒色顔料を使用できる。黒色顔料は、無機顔料であっても有機顔料であってもよい。
(Black pigment)
The black color material is preferably a black pigment from the viewpoint that a cured film having a reduced reflectance can be obtained.
As the black pigment, various known black pigments can be used. The black pigment may be an inorganic pigment or an organic pigment.

黒色顔料としては、単独で黒色を発現する顔料が好ましい。
また、黒色顔料は、例えば、赤外線を吸収する顔料が好ましい。
ここで、赤外線を吸収する黒色顔料は、例えば、赤外領域(好ましくは、波長650~1300nm)の波長領域に吸収を有する。波長675~900nmの波長領域に極大吸収波長を有することも好ましい。
As the black pigment, a pigment that develops black color by itself is preferable.
Further, as the black pigment, for example, a pigment that absorbs infrared rays is preferable.
Here, the black pigment that absorbs infrared rays has absorption in, for example, a wavelength region in the infrared region (preferably, a wavelength of 650 to 1300 nm). It is also preferable to have a maximum absorption wavelength in the wavelength region of 675 to 900 nm.

赤外線を吸収し、かつ、単独で黒色を発現する無機顔料としては、チタン(Ti)及びジルコニウム(Zr)等の第4族の金属元素、バナジウム(V)及びニオブ(Nb)等の第5族の金属元素、コバルト(Co)、クロム(Cr)、銅(Cu)、マンガン(Mn)、ルテニウム(Ru)、鉄(Fe)、ニッケル(Ni)、錫(Sn)、並びに、銀(Ag)からなる群より選ばれた1種又は2種以上の金属元素を含む、金属酸化物、金属窒化物、及び金属酸窒化物等が挙げられる。上記無機顔料には、表面修飾処理が施されていてもよい。例えば、シリコーン基とアルキル基とを併せ持つ表面処理剤で表面修飾処理が施された無機粒子が挙げられ、「KTP-09」シリーズ(信越化学工業社製)等が挙げられる。また、金属酸化物、金属窒化物、及び金属酸窒化物は、更に他の原子が混在した粒子として使用されてもよい。例えば、更に周期表13~17族元素から選択される原子(好ましくは酸素原子、及び/又は、硫黄原子)を含有する、金属窒化物含有粒子として使用されてもよい。
赤外線を吸収し、かつ、単独で黒色を発現する顔料としては、カーボンブラックも挙げられる。カーボンブラックの具体例としては、市販品である、C.I.ピグメントブラック 1等の有機顔料、及び、C.I.ピグメントブラック 7等の無機顔料が挙げられる。また、カーボンブラックとして、表面を樹脂で被覆したカーボンブラックを使用してもよい。
Examples of the inorganic pigment that absorbs infrared rays and develops black color by itself include Group 4 metal elements such as titanium (Ti) and zirconium (Zr), and Group 5 such as vanadium (V) and niobium (Nb). Metal elements of, cobalt (Co), chromium (Cr), copper (Cu), manganese (Mn), ruthenium (Ru), iron (Fe), nickel (Ni), tin (Sn), and silver (Ag). Examples thereof include metal oxides, metal nitrides, and metal oxynitrides containing one or more kinds of metal elements selected from the group consisting of two or more kinds of metal elements. The inorganic pigment may be surface-modified. Examples thereof include inorganic particles that have been surface-modified with a surface treatment agent having both a silicone group and an alkyl group, and examples thereof include the "KTP-09" series (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.). Further, the metal oxide, the metal nitride, and the metal oxynitride may be used as particles in which other atoms are further mixed. For example, it may be used as metal nitride-containing particles further containing an atom (preferably an oxygen atom and / or a sulfur atom) selected from the elements of Groups 13 to 17 of the Periodic Table.
Carbon black is also mentioned as a pigment that absorbs infrared rays and develops black color by itself. Specific examples of carbon black include commercially available products, C.I. I. Pigment Black 1 and other organic pigments, and C.I. I. Examples thereof include inorganic pigments such as Pigment Black 7. Further, as the carbon black, carbon black whose surface is coated with a resin may be used.

なかでも、黒色顔料としては、硬化膜を形成する際のアンダーカットの発生を抑制できる点から、第4族の金属元素の窒化物若しくは酸化物、又は、第5族の金属元素の窒化物若しくは酸窒化物が好ましく、チタンの窒化物若しくは酸窒化物、ジルコニウムの窒化物若しくは酸窒化物、バナジウムの窒化物若しくは酸窒化物、又は、ニオブの窒化物若しくは酸窒化物がより好ましく、チタンの窒化物若しくは酸窒化物が更に好ましい。
なお、チタンの窒化物とは窒化チタンであり、ジルコニウムの窒化物とは窒化ジルコニウムであり、バナジウムの窒化物とは窒化バナジウムであり、ニオブの窒化物とは窒化ニオブである。また、チタンの酸窒化物とは酸窒化チタンであり、ジルコニウムの酸窒化物とは酸窒化ジルコニウムであり、バナジウムの酸窒化物とは酸窒化バナジウムであり、ニオブの酸窒化物とは酸窒化ニオブである。
Among them, as the black pigment, the nitride or oxide of the metal element of Group 4 or the nitride of the metal element of Group 5 or the nitride of the metal element of Group 5 can be suppressed from the viewpoint of suppressing the occurrence of undercut when forming the cured film. Oxynitrides are preferred, titanium nitrides or oxynitrides, zirconite nitrides or oxynitrides, vanadium nitrides or oxynitrides, or niobium nitrides or oxynitrides are more preferred, and titanium nitrides are preferred. Substances or oxynitrides are more preferred.
The titanium nitride is titanium nitride, the zirconium nitride is zirconium nitride, the vanadium nitride is vanadium nitride, and the niobium nitride is niobium nitride. Further, the oxynitride of titanium is titanium oxynitride, the oxynitride of zirconium is zirconium oxynitride, the oxynitride of vanadium is vanadium oxynitride, and the oxynitride of niobium is oxynitride. Nitride.

なお、本明細書において、窒化チタンとは、TiNを意図し、製造上不可避な酸素原子(例えば、TiNの粒子の表面が意図せず酸化したもの、等)を含有してもよい。
本明細書において、窒化チタンとは、CuKα線をX線源とした場合の(200)面に由来するピークの回折角2θが42.5°~42.8°である化合物を意図する。
また、本明細書において、酸窒化チタンとは、CuKα線をX線源とした場合の(200)面に由来するピークの回折角2θが42.8°超の化合物を意図する。酸窒化チタンの上記回折角2θの上限値としては特に制限されないが、43.5°以下が好ましい。
酸窒化チタンとしては、例えば、チタンブラック等が挙げられ、より具体的には、例えば、TiO、Ti2n-1(1≦n≦20)で表される低次酸化チタン、及び/又は、TiN(0<x<2.0,0.1<y<2.0)で表される酸窒化チタンを含有する形態が挙げられる。以下の説明では、窒化チタン(上記回折角2θが42.5°~42.8°)、及び、酸窒化チタン(上記回折角2θが42.8°超)を併せてチタン窒化物といい、その形態について説明する。
また、チタン窒化物は、更に他の原子が混在した粒子として使用されてもよい。例えば、チタン窒化物は、更に周期表13~17族元素から選択される原子(好ましくは、ケイ素原子又は硫黄原子等)を含有する、チタン窒化物含有粒子として使用されてもよい。なお、その他の金属窒化物においても同様で、窒化金属と酸窒化金属を併せていう金属窒化物は、更に他の原子が混在した粒子として使用されてもよい。例えば、金属窒化物は、更に周期表13~17族元素から選択される原子(好ましくは、ケイ素原子又は硫黄原子等)を含有する、金属窒化物含有粒子として使用されてもよい。
In the present specification, titanium nitride is intended for TiN and may contain oxygen atoms that are unavoidable in production (for example, the surface of TiN particles is unintentionally oxidized, etc.).
As used herein, the titanium nitride is intended to be a compound in which the diffraction angle 2θ of the peak derived from the (200) plane when CuKα ray is used as an X-ray source is 42.5 ° to 42.8 °.
Further, in the present specification, titanium nitride is intended to be a compound having a peak diffraction angle 2θ of more than 42.8 ° derived from the (200) plane when CuKα ray is used as an X-ray source. The upper limit of the diffraction angle 2θ of titanium oxynitride is not particularly limited, but is preferably 43.5 ° or less.
Examples of titanium oxynitride include titanium black and the like, and more specifically, for example, TIO 2 , low-order titanium oxide represented by Tin O 2n-1 (1 ≦ n ≦ 20), and /. Alternatively, a form containing titanium oxynitride represented by TiN x Oy (0 <x <2.0, 0.1 < y <2.0) can be mentioned. In the following description, titanium nitride (the diffraction angle 2θ is 42.5 ° to 42.8 °) and titanium oxynitride (the diffraction angle 2θ is more than 42.8 °) are collectively referred to as titanium nitride. The form will be described.
Further, the titanium nitride may be used as particles in which other atoms are mixed. For example, the titanium nitride may be used as titanium nitride-containing particles further containing an atom (preferably a silicon atom, a sulfur atom, etc.) selected from the elements of Groups 13 to 17 of the Periodic Table. The same applies to other metal nitrides, and the metal nitride, which is a combination of the metal nitride and the oxynitride metal, may be used as particles in which other atoms are further mixed. For example, the metal nitride may be used as metal nitride-containing particles further containing an atom (preferably a silicon atom, a sulfur atom, etc.) selected from the elements of Groups 13 to 17 of the Periodic Table.

CuKα線をX線源としてチタン窒化物のX線回折スペクトルを測定した場合において、最も強度の強いピークとしてTiNは(200)面に由来するピークが2θ=42.5°近傍に、TiOは(200)面に由来するピークが2θ=43.4°近傍に観測される。一方、最も強度の強いピークではないがアナターゼ型TiOは(200)面に由来するピークは2θ=48.1°近傍に、ルチル型TiOは(200)面に由来するピークは2θ=39.2°近傍に観測される。よって、酸窒化チタンが酸素原子を多く含有するほどピーク位置は42.5°に対して高角度側にシフトする。When the X-ray diffraction spectrum of titanium nitride is measured using CuKα ray as an X-ray source, the peak derived from the (200) plane is close to 2θ = 42.5 ° for TiN as the peak with the strongest intensity, and TiO is ( 200) A peak derived from the plane is observed near 2θ = 43.4 °. On the other hand, although it is not the strongest peak, the peak derived from the (200) plane is in the vicinity of 2θ = 48.1 °, and the peak derived from the ( 200) plane is 2θ = 39 in the rutile type TiO 2 . It is observed near 2 °. Therefore, as the titanium oxynitride contains a large amount of oxygen atoms, the peak position shifts to a higher angle side with respect to 42.5 °.

チタン窒化物が、酸化チタンTiOを含有する場合、最も強度の強いピークとしてアナターゼ型TiO(101)に由来するピークが2θ=25.3°近傍に、ルチル型TiO(110)に由来するピークが2θ=27.4°近傍に見られる。しかし、TiOは白色であり、硬化性組成物を硬化して得られる遮光膜の遮光性を低下させる要因となるため、ピークとして観察されない程度に低減されていることが好ましい。When the titanium nitride contains titanium oxide TiO 2 , the peak derived from anatase-type TiO 2 (101) is derived from rutile-type TiO 2 (110) in the vicinity of 2θ = 25.3 ° as the strongest peak. The peak is seen near 2θ = 27.4 °. However, TiO 2 is white and is a factor that lowers the light-shielding property of the light-shielding film obtained by curing the curable composition, so it is preferable that the amount is reduced to the extent that it is not observed as a peak.

上記のX線回折スペクトルの測定により得られたピークの半値幅から、チタン窒化物を構成する結晶子サイズを求めることができる。結晶子サイズの算出はシェラーの式を用いて行うことができる。 From the half width of the peak obtained by the above-mentioned measurement of the X-ray diffraction spectrum, the crystallite size constituting the titanium nitride can be obtained. The crystallite size can be calculated using Scherrer's equation.

チタン窒化物を構成する結晶子サイズとしては、50nm以下が好ましく、20nm以上が好ましい。結晶子サイズが20~50nmであると、硬化性組成物を用いて形成される硬化膜は、紫外線(特にi線(波長365nm))透過率がより高くなりやすく、より感光性が高い硬化性組成物が得られる。 The crystallite size constituting the titanium nitride is preferably 50 nm or less, preferably 20 nm or more. When the crystallite size is 20 to 50 nm, the cured film formed by using the curable composition tends to have higher ultraviolet (particularly i-ray (wavelength 365 nm)) transmittance, and has higher photosensitivity. The composition is obtained.

チタン窒化物の比表面積については特に制限されないが、BET(Brunauer,Emmett,Teller)法により求めることができる。チタン窒化物の比表面積は、5~100m/gが好ましく、10~60m/gがより好ましい。The specific surface area of the titanium nitride is not particularly limited, but can be determined by the BET (Brunauer, Emmett, Teller) method. The specific surface area of the titanium nitride is preferably 5 to 100 m 2 / g, more preferably 10 to 60 m 2 / g.

黒色顔料の製造方法としては特に制限されず、公知の製造方法を使用でき、例えば、気相反応法が挙げられる。気相反応法としては、電気炉法、及び、熱プラズマ法等が挙げられるが、不純物の混入が少なく、粒子径が揃いやすく、また、生産性が高い点で、熱プラズマ法が好ましい。
熱プラズマ法において、熱プラズマを発生させる方法としては、特に制限されず、直流アーク放電、多層アーク放電、高周波(RF)プラズマ、及び、ハイブリッドプラズマ等が挙げられ、電極からの不純物の混入が少ない高周波プラズマがより好ましい。
熱プラズマ法による黒色顔料の具体的な製造方法としては、特に制限されないが、例えば、チタン窒化物の製造方法として、プラズマ炎中で四塩化チタンとアンモニアガスを反応させる方法(特開平2-22110号公報)、チタン粉末を高周波熱プラズマにより蒸発させ窒素をキャリアーガスとして導入し冷却過程にて窒化させ合成する方法(特開昭61-11140号公報)、及び、プラズマの周縁部にアンモニアガスを吹き込む方法(特開昭63-85007号公報)等が挙げられる。
ただし、黒色顔料の製造方法としては、上記に制限されるものではなく、所望とする物性を有する黒色顔料が得られれば、製造方法は制限されない。
The method for producing the black pigment is not particularly limited, and a known production method can be used, and examples thereof include a gas phase reaction method. Examples of the gas phase reaction method include an electric furnace method and a thermal plasma method, but the thermal plasma method is preferable in that impurities are less mixed, the particle size is easily uniform, and the productivity is high.
In the thermal plasma method, the method for generating thermal plasma is not particularly limited, and examples thereof include DC arc discharge, multi-layer arc discharge, high frequency (RF) plasma, hybrid plasma, and the like, and there is little contamination of impurities from the electrodes. High frequency plasma is more preferred.
The specific method for producing the black pigment by the thermal plasma method is not particularly limited, but for example, as a method for producing the titanium nitride, a method of reacting titanium tetrachloride with ammonia gas in a plasma flame (Japanese Patent Laid-Open No. 2-22110). No.), a method of evaporating titanium powder with high-frequency thermal plasma, introducing nitrogen as a carrier gas, nitriding and synthesizing in the cooling process (Japanese Patent Laid-Open No. 61-11140), and ammonia gas at the periphery of the plasma. Examples thereof include a method of blowing (Japanese Patent Laid-Open No. 63-85007).
However, the method for producing a black pigment is not limited to the above, and the production method is not limited as long as a black pigment having desired physical properties can be obtained.

また、上述したような金属原子の(酸)窒化物を含ケイ素化合物で被覆し、黒色顔料としてもよい。
金属原子の(酸)窒化物を被覆する方法としては、特に制限されず、公知の方法を使用でき、例えば、特開昭53-33228号公報の2頁右下~4頁右上に記載された方法(チタン酸化物に代えて、金属原子の(酸)窒化物を用いる)、特開2008-69193の段落0015~0043に記載された方法(微粒子二酸化チタンに代えて、金属原子の(酸)窒化物を用いる)、特開2016-74870号公報の段落0020、及び、段落0124~0138に記載された方法(金属酸化物微粒子に代えて、金属原子の(酸)窒化物を用いる)が挙げられ、上記の内容は本明細書に組み込まれる。
Further, the (acid) nitride of the metal atom as described above may be coated with a silicon-containing compound to obtain a black pigment.
The method for coating the (acid) nitride of the metal atom is not particularly limited, and a known method can be used. Method (using (acid) nitride of metal atom instead of titanium oxide), method described in paragraphs 0015 to 0043 of JP-A-2008-69193 (instead of fine particle titanium dioxide, (acid) of metal atom). (Using a nitride), paragraph 0020 of JP-A-2016-74870, and the method described in paragraphs 0124 to 0138 (using (acid) nitride of a metal atom instead of the metal oxide fine particles). And the above contents are incorporated herein.

更に、硬化性組成物がチタンブラックを含有する場合、チタンブラックを、チタンブラック及びSi原子を含む被分散体として含有することも好ましい。
この形態において、チタンブラックは、組成物中において被分散体として含有されるものであり、被分散体中のSi原子とTi原子との含有比(Si/Ti)が質量換算で0.05以上が好ましく、0.05~0.5がより好ましく、0.07~0.4が更に好ましい。
ここで、上記被分散体は、チタンブラックが一次粒子の状態であるもの、凝集体(二次粒子)の状態であるものの双方を包含する。
被分散体のSi/Tiを変更する(例えば、0.05以上とする)ためには、以下のような手段を用いることができる。
まず、酸化チタンとシリカ粒子とを分散機を用いて分散することにより分散物を得て、この分散物を高温(例えば、850~1000℃)にて還元処理することにより、チタンブラック粒子を主成分とし、SiとTiとを含有する被分散体を得ることができる。上記還元処理は、アンモニア等の還元性ガスの雰囲気下で行うこともできる。
酸化チタンとしては、TTO-51N(商品名、石原産業製)等が挙げられる。
シリカ粒子の市販品としては、AEROSIL(登録商標)90、130、150、200、255、300、380(商品名、エボニック製)等が挙げられる。
酸化チタンとシリカ粒子との分散は、分散剤を用いてもよい。分散剤としては、後述する分散剤として説明するものが挙げられる。
上記の分散は溶剤中で行ってもよい。溶剤としては、水、有機溶剤が挙げられる。後述する有機溶剤の欄で説明するものが挙げられる。
Si/Tiが、例えば、0.05以上等に調整されたチタンブラックは、例えば、特開2008-266045号公報の段落0005及び段落0016~0021に記載の方法により作製することができる。
Further, when the curable composition contains titanium black, it is also preferable to contain titanium black as a dispersant containing titanium black and Si atoms.
In this form, titanium black is contained as a dispersion in the composition, and the content ratio (Si / Ti) of Si atoms to Ti atoms in the dispersion is 0.05 or more in terms of mass. Is preferable, 0.05 to 0.5 is more preferable, and 0.07 to 0.4 is further preferable.
Here, the dispersant includes both those in which titanium black is in the state of primary particles and those in which titanium black is in the state of aggregates (secondary particles).
In order to change the Si / Ti of the dispersion to be dispersed (for example, to make it 0.05 or more), the following means can be used.
First, a dispersion is obtained by dispersing titanium oxide and silica particles using a disperser, and the dispersion is reduced at a high temperature (for example, 850 to 1000 ° C.) to mainly produce titanium black particles. A dispersant containing Si and Ti as components can be obtained. The reduction treatment can also be performed in an atmosphere of a reducing gas such as ammonia.
Examples of titanium oxide include TTO-51N (trade name, manufactured by Ishihara Sangyo).
Examples of commercially available silica particles include AEROSIL (registered trademark) 90, 130, 150, 200, 255, 300, 380 (trade name, manufactured by Evonik) and the like.
A dispersant may be used to disperse the titanium oxide and the silica particles. Examples of the dispersant include those described below as dispersants.
The above dispersion may be carried out in a solvent. Examples of the solvent include water and organic solvents. Examples thereof will be described in the column of organic solvent described later.
Titanium black having Si / Ti adjusted to, for example, 0.05 or more can be produced, for example, by the method described in paragraphs 0005 and 0016 to 0021 of JP-A-2008-266045.

チタンブラック及びSi原子を含む被分散体中のSi原子とTi原子との含有比(Si/Ti)を好適な範囲(例えば0.05以上)に調整することで、この被分散体を含む組成物を用いて硬化膜を形成した際に、硬化膜の形成領域外における組成物由来の残渣物が低減される。なお、残渣物は、チタンブラック粒子、樹脂成分等の組成物に由来する成分を含むものである。
残渣物が低減される理由は未だ明確ではないが、上記のような被分散体は小粒径となる傾向があり(例えば、粒径が30nm以下)、更に、この被分散体のSi原子が含まれる成分が増すことにより、膜全体の下地との吸着性が低減される。これが、硬化膜の形成における未硬化の組成物(特に、チタンブラック)の現像除去性の向上に寄与すると推測される。
また、チタンブラックは、紫外光から赤外光までの広範囲にわたる波長領域の光に対する遮光性に優れることから、上記したチタンブラック及びSi原子を含む被分散体(好ましくはSi/Tiが質量換算で0.05以上であるもの)を用いて形成された遮光膜は優れた遮光性を発揮する。
なお、被分散体中のSi原子とTi原子との含有比(Si/Ti)は、例えば、特開2013-249417号公報の段落0033に記載の方法(1-1)または方法(1-2)を用いて測定できる。
また、組成物を硬化して得られた硬化膜に含有される被分散体について、その被分散体中のSi原子とTi原子との含有比(Si/Ti)が0.05以上か否かを判断する際は、特開2013-249417号公報の段落0035に記載の方法(2)を用いる。
By adjusting the content ratio (Si / Ti) of Si atom and Ti atom in the dispersant containing titanium black and Si atom to a suitable range (for example, 0.05 or more), the composition containing this disperse is included. When the cured film is formed using the material, the residue derived from the composition outside the formed region of the cured film is reduced. The residue contains components derived from the composition such as titanium black particles and resin components.
The reason why the residue is reduced is not yet clear, but the dispersion as described above tends to have a small particle size (for example, the particle size is 30 nm or less), and further, the Si atom of the dispersion tends to have a small particle size. By increasing the contained components, the adsorptivity of the entire film with the substrate is reduced. It is presumed that this contributes to the improvement of the developability of the uncured composition (particularly titanium black) in the formation of the cured film.
Further, since titanium black is excellent in light shielding property against light in a wide wavelength range from ultraviolet light to infrared light, the above-mentioned titanium black and a dispersion containing Si atoms (preferably Si / Ti are in terms of mass). A light-shielding film formed by using (0.05 or more) exhibits excellent light-shielding properties.
The content ratio (Si / Ti) of Si atom to Ti atom in the dispersion is, for example, the method (1-1) or method (1-2) described in paragraph 0033 of JP2013-249417A. ) Can be measured.
Further, with respect to the dispersant contained in the cured film obtained by curing the composition, whether or not the content ratio (Si / Ti) of Si atoms to Ti atoms in the dispersant is 0.05 or more. When determining the above, the method (2) described in paragraph 0035 of JP2013-249417A is used.

チタンブラック及びSi原子を含む被分散体において、チタンブラックは、上記したものを使用できる。
以下、被分散体にSi原子を導入する際に用いられる材料について述べる。被分散体にSi原子を導入する際には、シリカ等のSi含有物質を用いればよい。
用いうるシリカとしては、沈降シリカ、フュームドシリカ、コロイダルシリカ、合成シリカ等を挙げることができ、これらを適宜選択して使用すればよい。
更に、シリカ粒子の粒径が遮光膜(硬化膜)を形成した際に膜厚よりも小さい粒径であると遮光性がより優れるため、シリカ粒子として微粒子タイプのシリカを用いることが好ましい。なお、微粒子タイプのシリカの例としては、例えば、特開2013-249417号公報の段落0039に記載のシリカが挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
In the dispersant containing titanium black and Si atom, the above-mentioned titanium black can be used.
Hereinafter, the materials used when introducing Si atoms into the dispersion to be dispersed will be described. When introducing a Si atom into the dispersion, a Si-containing substance such as silica may be used.
Examples of silica that can be used include precipitated silica, fumed silica, colloidal silica, synthetic silica and the like, and these may be appropriately selected and used.
Further, when the particle size of the silica particles is smaller than the film thickness when the light-shielding film (cured film) is formed, the light-shielding property is more excellent. Therefore, it is preferable to use fine particle type silica as the silica particles. Examples of the fine particle type silica include silica described in paragraph 0039 of JP2013-249417A, and the contents thereof are incorporated in the present specification.

更に、上述したように、単独では黒色以外の色を有する顔料を複数組み合わせて黒色顔料として使用してもよい。
このように単独では黒色以外の色を有する顔料は、無機顔料であっても有機顔料であってもよい。単独では黒色以外の色を有する顔料としては、例えば、R(レッド)、G(グリーン)、及び、B(ブルー)等の有彩色系の顔料(有彩色顔料)も使用できる。
Further, as described above, a plurality of pigments having a color other than black alone may be combined and used as a black pigment.
As described above, the pigment having a color other than black by itself may be an inorganic pigment or an organic pigment. As the pigment having a color other than black by itself, for example, chromatic pigments (chromatic pigments) such as R (red), G (green), and B (blue) can also be used.

単独では黒色以外の色を有する無機顔料としては、特に制限されず、公知の無機顔料を使用できる。
上記無機顔料としては、例えば、酸化チタン、酸化クロム、酸化鉄、鉛丹、酸化鉄赤、黄鉛、亜鉛黄(亜鉛黄1種、亜鉛黄2種)、ウルトラマリン青、プロシア青(フェロシアン化鉄カリ)ジルコングレー、プラセオジムイエロー、クロムチタンイエロー、クロムグリーン、ピーコック、ビクトリアグリーン、紺青(プルシアンブルーとは無関係)、バナジウムジルコニウム青、クロム錫ピンク、陶試紅、並びに、サーモンピンク等から選択できる。
上記無機顔料は表面修飾処理がなされていてもよい。例えば、シリコーン基とアルキル基を併せ持つ表面処理剤で表面修飾処理が施された無機顔料が挙げられ、「KTP-09」シリーズ(信越化学工業社製)等が挙げられる。
The inorganic pigment having a color other than black by itself is not particularly limited, and a known inorganic pigment can be used.
Examples of the inorganic pigment include titanium oxide, chromium oxide, iron oxide, lead tan, iron oxide red, yellow lead, zinc yellow (zircon 1 type, zinc yellow 2 type), ultramarine blue, and Prussian blue (ferrussian blue). You can choose from Zircon Gray, Placeojim Yellow, Chrome Titanium Yellow, Chrome Green, Peacock, Victoria Green, Prussian Blue (unrelated to Prussian Blue), Vanadium Zircon Blue, Chrome Tin Pink, Ceramic Trial Red, and Salmon Pink. ..
The inorganic pigment may be surface-modified. For example, an inorganic pigment which has been surface-modified with a surface treatment agent having both a silicone group and an alkyl group can be mentioned, and examples thereof include the "KTP-09" series (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.).

単独では黒色以外の色を有する有機顔料としては、例えば、下記有機顔料から選択される。
カラーインデックス(C.I.)ピグメントイエロー1,2,3,4,5,6,10,11,12,13,14,15,16,17,18,20,24,31,32,34,35,35:1,36,36:1,37,37:1,40,42,43,53,55,60,61,62,63,65,73,74,77,81,83,86,93,94,95,97,98,100,101,104,106,108,109,110,113,114,115,116,117,118,119,120,123,125,126,127,128,129,137,138,139,147,148,150,151,152,153,154,155,156,161,162,164,166,167,168,169,170,171,172,173,174,175,176,177,179,180,181,182,185,187,188,193,194,199,213,214等;
C.I.ピグメントオレンジ 2,5,13,16,17:1,31,34,36,38,43,46,48,49,51,52,55,59,60,61,62,64,71,73等;
C.I.ピグメントレッド 1,2,3,4,5,6,7,9,10,14,17,22,23,31,38,41,48:1,48:2,48:3,48:4,49,49:1,49:2,52:1,52:2,53:1,57:1,60:1,63:1,66,67,81:1,81:2,81:3,83,88,90,105,112,119,122,123,144,146,149,150,155,166,168,169,170,171,172,175,176,177,178,179,184,185,187,188,190,200,202,206,207,208,209,210,216,220,224,226,242,246,254,255,264,270,272,279等;
C.I.ピグメントグリーン 7,10,36,37,58,59等;
C.I.ピグメントバイオレット 1,19,23,27,32,37,42等;
C.I.ピグメントブルー 1,2,15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6,16,22,60,64,66,79,80等。
The organic pigment having a color other than black by itself is selected from, for example, the following organic pigments.
Color Index (CI) Pigment Yellow 1,2,3,4,5,6,10,11,12,13,14,15,16,17,18,20,24,31,32,34, 35,35: 1,36,36: 1,37,37: 1,40,42,43,53,55,60,61,62,63,65,73,74,77,81,83,86, 93,94,95,97,98,100,101,104,106,108,109,110,113,114,115,116,117,118,119,120,123,125,126,127,128, 129,137,138,139,147,148,150,151,152,153,154,155,156,161,162,164,166,167,168,169,170,171,172,173,174 175,176,177,179,180,181,182,185,187,188,193,194,199,213,214, etc .;
C. I. Pigment Orange 2,5,13,16,17: 1,31,34,36,38,43,46,48,49,51,52,55,59,60,61,62,64,71,73, etc. ;
C. I. Pigment Red 1,2,3,4,5,6,7,9,10,14,17,22,23,31,38,41,48: 1,48: 2,48: 3,48: 4, 49,49: 1,49: 2,52: 1,52: 2,53: 1,57: 1,60: 1,63: 1,66,67,81: 1,81: 2,81: 3, 83,88,90,105,112,119,122,123,144,146,149,150,155,166,168,169,170,171,172,175,176,177,178,179,184 185,187,188,190,200,202,206,207,208,209,210,216,220,224,226,242,246,254,255,264,270,272,279, etc.;
C. I. Pigment Green 7, 10, 36, 37, 58, 59, etc .;
C. I. Pigment Violet 1,19,23,27,32,37,42, etc .;
C. I. Pigment Blue 1,2,15,15: 1,15: 2,15: 3,15: 4,15: 6,16,22,60,64,66,79,80, etc.

顔料は、後述する染料と併用してもよい。
色味を調整するため、及び、所望の波長領域の遮光性を高めるため、例えば、単独で黒色を発現する顔料、及び/又は、単独では黒色以外の色を有する顔料等に、赤色、緑色、黄色、オレンジ色、紫色、及び、ブルー等の有彩色顔料若しくは後述する染料を混ぜてもよい。
また、赤外線を吸収し、かつ、単独で黒色を発現する顔料に、赤色顔料若しくは染料、又は、紫色顔料若しくは染料を混合することも好ましく、赤色顔料を混合することがより好ましい。
更に、後述する赤外線吸収剤を加えてもよい。
The pigment may be used in combination with a dye described later.
In order to adjust the color and to enhance the light-shielding property in the desired wavelength region, for example, a pigment that expresses black color by itself and / or a pigment that has a color other than black by itself, red, green, etc. A chromatic pigment such as yellow, orange, purple, and blue or a dye described later may be mixed.
Further, it is also preferable to mix a red pigment or dye, or a purple pigment or dye with a pigment that absorbs infrared rays and develops black color by itself, and it is more preferable to mix the red pigment.
Further, an infrared absorber described later may be added.

また、単独では黒色以外の色を有する顔料であって、赤外線を吸収する顔料として、タングステン化合物、及び、金属ホウ化物等も使用できる。中でも、赤外領域の波長における遮光性に優れる点からは、タングステン化合物が好ましい。タングステン化合物は、露光による硬化効率に関わるオキシム系重合開始剤の光吸収波長領域と、可視光領域の透光性に優れる。 Further, as a pigment having a color other than black by itself and absorbing infrared rays, a tungsten compound, a metal boride or the like can also be used. Of these, a tungsten compound is preferable because it has excellent light-shielding properties at wavelengths in the infrared region. The tungsten compound is excellent in the light absorption wavelength region of the oxime-based polymerization initiator, which is related to the curing efficiency by exposure, and the translucency in the visible light region.

ハンドリング性を考慮すると、黒色顔料の平均一次粒子径は、0.01~0.1μmが好ましく、0.01~0.05μmがより好ましい。黒色顔料が複数種類の顔料の組み合わせからなる場合、黒色顔料を構成する顔料の1種以上が上記範囲内にあることが好ましく、黒色顔料を構成する顔料の全種が上記範囲内にあることがより好ましい。 Considering the handleability, the average primary particle size of the black pigment is preferably 0.01 to 0.1 μm, more preferably 0.01 to 0.05 μm. When the black pigment is composed of a combination of a plurality of types of pigments, it is preferable that one or more of the pigments constituting the black pigment are within the above range, and all of the pigments constituting the black pigment are within the above range. More preferred.

なお、顔料の平均一次粒子径は、透過型電子顕微鏡(Transmission Electron Microscope、TEM)を用いて測定できる。透過型電子顕微鏡としては、例えば、日立ハイテクノロジーズ社製の透過型電子顕微鏡HT7700を使用できる。
透過型電子顕微鏡を用いて得た粒子像の最大長(Dmax:粒子画像の輪郭上の2点における最大長さ)、及び最大長垂直長(DV-max:最大長に平行な2本の直線で画像を挟んだ時、2直線間を垂直に結ぶ最短の長さ)を測長し、その相乗平均値(Dmax×DV-max)1/2を粒子径とする。この方法で100個の粒子の粒子径を測定し、その算術平均値を平均粒子径として、顔料の平均一次粒子径とする。
The average primary particle size of the pigment can be measured using a transmission electron microscope (TEM). As the transmission electron microscope, for example, a transmission electron microscope HT7700 manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation can be used.
Maximum length (Dmax: maximum length at two points on the contour of the particle image) and maximum length vertical length (DV-max: two straight lines parallel to the maximum length) of the particle image obtained using a transmission electron microscope. When the image is sandwiched between two straight lines, the length is measured (the shortest length that connects the two straight lines vertically), and the synergistic average value (Dmax × DV-max) 1/2 is taken as the particle diameter. The particle size of 100 particles is measured by this method, and the arithmetic average value thereof is used as the average particle size to obtain the average primary particle size of the pigment.

(黒色染料)
黒色染料としては、単独で黒色を発現する染料を使用できる。更に、上述の通り、単独では黒色以外の色を有する染料を複数組み合わせて黒色染料として使用してもよい。
このような着色染料としては、例えば、R(レッド)、G(グリーン)、及び、B(ブルー)等の有彩色系の染料(有彩色染料)の他、特開2014-42375の段落0027~0200に記載の着色剤も使用できる。
(Black dye)
As the black dye, a dye that develops black color by itself can be used. Further, as described above, a plurality of dyes having a color other than black alone may be combined and used as a black dye.
Examples of such coloring dyes include chromatic dyes (chromatic dyes) such as R (red), G (green), and B (blue), as well as paragraphs 0027 of JP-A-2014-42375. The colorant described in 0200 can also be used.

また、染料としては、例えば、特開昭64-90403号公報、特開昭64-91102号公報、特開平1-94301号公報、特開平6-11614号公報、特登2592207号、米国特許4808501号明細書、米国特許5667920号明細書、米国特許505950号明細書、特開平5-333207号公報、特開平6-35183号公報、特開平6-51115号公報、及び、特開平6-194828号公報等に開示されている色素を使用できる。化学構造として区分すると、ピラゾールアゾ化合物、ピロメテン化合物、アニリノアゾ化合物、トリフェニルメタン化合物、アントラキノン化合物、ベンジリデン化合物、オキソノール化合物、ピラゾロトリアゾールアゾ化合物、ピリドンアゾ化合物、シアニン化合物、フェノチアジン化合物、又は、ピロロピラゾールアゾメチン化合物等を使用できる。また、染料としては色素多量体を用いてもよい。色素多量体としては、特開2011-213925号公報、及び、特開2013-041097号公報に記載されている化合物が挙げられる。また、分子内に重合性を有する重合性染料を用いてもよく、市販品としては、例えば、和光純薬工業社製RDWシリーズが挙げられる。 Examples of the dye include JP-A-64-90403, JP-A-64-91102, JP-A-1-94301, JP-A-6-11614, JP-A-2592207, and US Pat. No. 4,808,501. Japanese Patent No. 5667920, US Pat. No. 505950, Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-333207, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-35183, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-51115, and Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-194828. Dyes disclosed in publications and the like can be used. When classified as a chemical structure, pyrazole azo compound, pyromethene compound, anilino azo compound, triphenylmethane compound, anthraquinone compound, benzylidene compound, oxonol compound, pyrazolotriazole azo compound, pyridone azo compound, cyanine compound, phenothiazine compound, or pyrrolopyrazole azomethin. Compounds and the like can be used. Moreover, you may use a dye multimer as a dye. Examples of the dye multimer include the compounds described in JP-A-2011-213925 and JP-A-2013-041097. Further, a polymerizable dye having a polymerizable property in the molecule may be used, and examples of commercially available products include the RDW series manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.

(赤外線吸収剤)
黒色色材は、更に、単独では黒色以外の色を有する色材として、赤外線吸収剤を含有してもよい。
赤外線吸収剤は、赤外領域(好ましくは、波長650~1300nm)の波長領域に吸収を有する化合物を意味する。赤外線吸収剤としては、波長675~900nmの波長領域に極大吸収波長を有する化合物が好ましい。
このような分光特性を有する着色剤としては、例えば、ピロロピロール化合物、銅化合物、シアニン化合物、フタロシアニン化合物、イミニウム化合物、チオール錯体系化合物、遷移金属酸化物系化合物、スクアリリウム化合物、ナフタロシアニン化合物、クアテリレン化合物、ジチオール金属錯体系化合物、及び、クロコニウム化合物等が挙げられる。
フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、イミニウム化合物、シアニン化合物、スクアリリウム化合物、及び、クロコニウム化合物は、特開2010-111750号公報の段落0010~0081に開示の化合物を使用してもよく、この内容は本明細書に組み込まれる。シアニン化合物は、例えば、「機能性色素、大河原信/松岡賢/北尾悌次郎/平嶋恒亮・著、講談社サイエンティフィック」を参酌でき、この内容は本願明細書に組み込まれる。
(Infrared absorber)
The black color material may further contain an infrared absorber as a color material having a color other than black by itself.
The infrared absorber means a compound having absorption in a wavelength region in the infrared region (preferably, a wavelength of 650 to 1300 nm). As the infrared absorber, a compound having a maximum absorption wavelength in the wavelength region of 675 to 900 nm is preferable.
Examples of the colorant having such spectral characteristics include a pyrolopyrrole compound, a copper compound, a cyanine compound, a phthalocyanine compound, an iminium compound, a thiol complex type compound, a transition metal oxide type compound, a squarylium compound, a naphthalocyanine compound, and a quaterylene. Examples thereof include compounds, dithiol metal complex-based compounds, and croconium compounds.
As the phthalocyanine compound, the naphthalocyanine compound, the iminium compound, the cyanine compound, the squarylium compound, and the croconium compound, the compounds disclosed in paragraphs 0010 to 0081 of JP-A-2010-11750 may be used, and the contents thereof are described in the present specification. Incorporated into the book. As the cyanine compound, for example, "functional dye, Shin Ogawara / Ken Matsuoka / Eijiro Kitao / Tsuneaki Hirashima, Kodansha Scientific" can be referred to, and this content is incorporated in the present specification.

上記分光特性を有する着色剤として、特開平07-164729号公報の段落0004~0016に開示の化合物及び/又は特開2002-146254号公報の段落0027~0062に開示の化合物、特開2011-164583号公報の段落0034~0067に開示のCu及び/又はPを含む酸化物の結晶子からなり数平均凝集粒子径が5~200nmである近赤外線吸収粒子を使用することもできる。 As the colorant having the above spectral characteristics, the compound disclosed in paragraphs 0004 to 0016 of JP-A-07-164729 and / or the compound disclosed in paragraphs 0027 to 0062 of JP-A-2002-146254, JP-A-2011-164583 Near-infrared absorbing particles having a number average aggregated particle diameter of 5 to 200 nm, which are composed of crystallites of an oxide containing Cu and / or P disclosed in paragraphs 0034 to 0067 of the publication, can also be used.

波長675~900nmの波長領域に極大吸収波長を有する化合物としては、シアニン化合物、ピロロピロール化合物、スクアリリウム化合物、フタロシアニン化合物、及び、ナフタロシアニン化合物からなる群から選択される少なくとも1種が好ましい。
また、赤外線吸収剤は、25℃の水に1質量%以上溶解する化合物であることが好ましく、25℃の水に10質量%以上溶解する化合物がより好ましい。このような化合物を用いることで、耐溶剤性が良化する。
ピロロピロール化合物は、特開2010-222557号公報の段落0049~0062を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。シアニン化合物及びスクアリリウム化合物は、国際公開2014/088063号公報の段落0022~0063、国際公開2014/030628号公報の段落0053~0118、特開2014-59550号公報の段落0028~0074、国際公開2012/169447号公報の段落0013~0091、特開2015-176046号公報の段落0019~0033、特開2014-63144号公報の段落0053~0099、特開2014-52431号公報の段落0085~0150、特開2014-44301号公報の段落0076~0124、特開2012-8532号公報の段落0045~0078、特開2015-172102号公報の段落0027~0067、特開2015-172004号公報の段落0029~0067、特開2015-40895号公報の段落0029~0085、特開2014-126642号公報の段落0022~0036、特開2014-148567号公報の段落0011~0017、特開2015-157893号公報の段落0010~0025、特開2014-095007号公報の段落0013~0026、特開2014-80487号公報の段落0013~0047、及び、特開2013-227403号公報の段落0007~0028等を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
As the compound having a maximum absorption wavelength in the wavelength region of 675 to 900 nm, at least one selected from the group consisting of a cyanine compound, a pyrrolopyrrole compound, a squarylium compound, a phthalocyanine compound, and a naphthalocyanine compound is preferable.
The infrared absorber is preferably a compound that dissolves in water at 25 ° C. in an amount of 1% by mass or more, and more preferably a compound that dissolves in water at 25 ° C. in an amount of 10% by mass or more. By using such a compound, the solvent resistance is improved.
For the pyrrolopyrrole compound, paragraphs 0049 to 0062 of JP-A-2010-222557 can be referred to, and the contents thereof are incorporated in the present specification. The cyanine compound and the squarylium compound are described in paragraphs 0022 to 0063 of International Publication No. 2014/088063, paragraphs 0053 to 0118 of International Publication No. 2014/030628, paragraphs 0028 to 0074 of Japanese Patent Application Laid-Open No. 2014-59550, and International Publication 2012 /. Paragraphs 0013 to 0091 of JP-A-169447, paragraphs 0019 to 0033 of JP-A-2015-176046, paragraphs 0053 to 00099 of JP-A-2014-63144, paragraphs 0083 to 0150 of JP-A-2014-52431, JP-A. Paragraphs 0076 to 0124 of JP-A-2014-444301, paragraphs 0045 to 0078 of JP-A-2012-8532, paragraphs 0027 to 0067 of JP-A-2015-172102, paragraphs 0029-0067 of JP-A-2015-172004, Paragraphs 0029 to 805 of JP-A-2015-40895, paragraphs 0022-0036 of JP-A-2014-126642, paragraphs 0011-0017 of JP-A-2014-148567, paragraphs 0010 to JP-A-2015-157893. 0025, paragraphs 0013 to 0026 of JP-A-2014-095007, paragraphs 0013-0047 of JP-A-2014-80487, paragraphs 0007-0028 of JP-A-2013-227403, etc. can be referred to. Incorporated herein.

<重合性化合物>
硬化性組成物は重合性化合物を含有する。本明細書において重合性化合物とは、後述する光重合開始剤の作用を受けて重合する化合物を意図する。
<Polymerizable compound>
The curable composition contains a polymerizable compound. As used herein, the polymerizable compound is intended to be a compound that polymerizes under the action of a photopolymerization initiator described later.

硬化性組成物中における重合性化合物の含有量としては特に制限されないが、硬化性組成物の全固形分に対して、5~30質量%が好ましく、10~25質量%がより好ましく、15~23質量%がさらに好ましい。重合性化合物は、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。2種以上の重合性化合物を併用する場合には、合計含有量が上記範囲内であることが好ましい。
重合性化合物の分子量は2000以下であることが好ましい。
The content of the polymerizable compound in the curable composition is not particularly limited, but is preferably 5 to 30% by mass, more preferably 10 to 25% by mass, and 15 to 15 to the total solid content of the curable composition. 23% by mass is more preferable. The polymerizable compound may be used alone or in combination of two or more. When two or more kinds of polymerizable compounds are used in combination, the total content is preferably within the above range.
The molecular weight of the polymerizable compound is preferably 2000 or less.

重合性化合物は、表面が適度に粗面化されて反射率が低減された硬化膜を得られる点から、エチレン性不飽和結合を含有する基(以下単に「エチレン性不飽和基」ともいう)を1~15個含有する化合物が好ましく、3~6個含有する化合物がより好ましく、4~5個含有する化合物が更に好ましく、4個含有する化合物が特に好ましい。
また、重合性化合物を複数種類使用する場合、エチレン性不飽和基を4~5個(好ましくは4個)含有する化合物である重合性化合物の含有量は、硬化性組成物中の全重合性化合物に対して、80質量%以上であることが好ましく、95質量%以上であることがより好ましい。
エチレン性不飽和基としては、例えば、ビニル基、(メタ)アリル基、及び、(メタ)アクリロイル基等が挙げられる。
The polymerizable compound is a group containing an ethylenically unsaturated bond (hereinafter, also simply referred to as "ethylenically unsaturated group") from the viewpoint that a cured film having an appropriately roughened surface and a reduced reflectance can be obtained. A compound containing 1 to 15 of is preferable, a compound containing 3 to 6 is more preferable, a compound containing 4 to 5 is more preferable, and a compound containing 4 is particularly preferable.
When a plurality of types of polymerizable compounds are used, the content of the polymerizable compound, which is a compound containing 4 to 5 (preferably 4) ethylenically unsaturated groups, is the total polymerizable in the curable composition. It is preferably 80% by mass or more, more preferably 95% by mass or more, based on the compound.
Examples of the ethylenically unsaturated group include a vinyl group, a (meth) allyl group, a (meth) acryloyl group and the like.

重合性化合物としては、例えば、特開2008-260927号公報の段落0050、及び、特開2015-68893号公報の段落0040に記載されている化合物を使用でき、上記の内容は本明細書に組み込まれる。 As the polymerizable compound, for example, the compounds described in paragraph 0050 of JP-A-2008-260927 and paragraph 0040 of JP-A-2015-68893 can be used, and the above contents are incorporated in the present specification. Is done.

重合性化合物は、例えば、モノマー、プレポリマー、オリゴマー、及び、これらの混合物、並びに、これらの多量体等の化学的形態のいずれであってもよい。
重合性化合物は、3~15官能の(メタ)アクリレート化合物であることが好ましく、3~6官能の(メタ)アクリレート化合物であることがより好ましい。
The polymerizable compound may be in any chemical form such as, for example, a monomer, a prepolymer, an oligomer, and a mixture thereof, and a multimer thereof.
The polymerizable compound is preferably a (meth) acrylate compound having 3 to 15 functionalities, and more preferably a (meth) acrylate compound having 3 to 6 functionalities.

重合性化合物は、エチレン性不飽和基を1個以上含有する、常圧下で100℃以上の沸点を持つ化合物も好ましい。例えば、特開2013-29760号公報の段落0227、特開2008-292970号公報の段落0254~0257に記載の化合物を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。 As the polymerizable compound, a compound containing one or more ethylenically unsaturated groups and having a boiling point of 100 ° C. or higher under normal pressure is also preferable. For example, the compounds described in paragraphs 0227 of JP2013-29760A and paragraphs 0254 to 0257 of JP2008-292970 can be referred to, and the contents thereof are incorporated in the present specification.

重合性化合物は、ジペンタエリスリトールトリアクリレート(市販品としてはKAYARAD D-330、日本化薬社製)、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート(市販品としてはKAYARAD D-320、日本化薬社製)、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート(市販品としてはKAYARAD D-310、日本化薬社製)、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート(市販品としてはKAYARAD DPHA、日本化薬社製、A-DPH-12E、新中村化学社製)、及び、これらの(メタ)アクリロイル基がエチレングリコール残基又はプロピレングリコール残基を介している構造(例えば、サートマー社から市販されている、SR454、SR499)が好ましい。これらのオリゴマータイプも使用できる。また、NKエステルA-TMMT(ペンタエリスリトールテトラアクリレート、新中村化学社製)、及び、KAYARAD RP-1040(日本化薬社製)等を使用することもできる。
以下に好ましい重合性化合物の態様を示す。
The polymerizable compounds are dipentaerythritol triacrylate (commercially available KAYARAD D-330, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), dipentaerythritol tetraacrylate (commercially available KAYARAD D-320, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), and di. Pentaerythritol penta (meth) acrylate (commercially available KAYARAD D-310, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), dipentaerythritol hexa (meth) acrylate (commercially available as KAYARAD DPHA, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) 12E, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), and structures in which these (meth) acryloyl groups are mediated by ethylene glycol residues or propylene glycol residues (for example, SR454, SR499 commercially available from Sartmer) are preferable. .. These oligomer types can also be used. Further, NK ester A-TMMT (pentaerythritol tetraacrylate, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), KAYARAD RP-1040 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and the like can also be used.
The preferred embodiments of the polymerizable compound are shown below.

重合性化合物は、カルボン酸基、スルホン酸基、及び、リン酸基等の酸基を有していてもよい。酸基を含有する重合性化合物としては、脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルが好ましく、脂肪族ポリヒドロキシ化合物の未反応の水酸基に非芳香族カルボン酸無水物を反応させて酸基を持たせた重合性化合物がより好ましく、このエステルにおいて、脂肪族ポリヒドロキシ化合物がペンタエリスリトール及び/又はジペンタエリスリトールであるものが更に好ましい。市販品としては、例えば、東亞合成社製の、アロニックスTO-2349、M-305、M-510、及び、M-520等が挙げられる。 The polymerizable compound may have an acid group such as a carboxylic acid group, a sulfonic acid group, and a phosphoric acid group. As the polymerizable compound containing an acid group, an ester of an aliphatic polyhydroxy compound and an unsaturated carboxylic acid is preferable, and an acid is obtained by reacting an unreacted hydroxyl group of the aliphatic polyhydroxy compound with a non-aromatic carboxylic acid anhydride. A polymerizable compound having a group is more preferable, and in this ester, those in which the aliphatic polyhydroxy compound is pentaerythritol and / or dipentaerythritol are further preferable. Examples of commercially available products include Aronix TO-2349, M-305, M-510, and M-520 manufactured by Toagosei Co., Ltd.

酸基を含有する重合性化合物の酸価としては、0.1~40mgKOH/gが好ましく、5~30mgKOH/gがより好ましい。重合性化合物の酸価が0.1mgKOH/g以上であれば、現像溶解特性が良好であり、40mgKOH/g以下であれば、製造及び/又は取扱い上、有利である。更には、光重合性能が良好で、硬化性に優れる。 The acid value of the polymerizable compound containing an acid group is preferably 0.1 to 40 mgKOH / g, more preferably 5 to 30 mgKOH / g. When the acid value of the polymerizable compound is 0.1 mgKOH / g or more, the developing and dissolving characteristics are good, and when it is 40 mgKOH / g or less, it is advantageous in production and / or handling. Furthermore, the photopolymerization performance is good and the curability is excellent.

重合性化合物は、カプロラクトン構造を含有する化合物も好ましい態様である。
カプロラクトン構造を含有する化合物としては、分子内にカプロラクトン構造を含有する限り特に限定されるものではないが、例えば、トリメチロールエタン、ジトリメチロールエタン、トリメチロールプロパン、ジトリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリペンタエリスリトール、グリセリン、ジグリセロール、又は、トリメチロールメラミン等の多価アルコールと、(メタ)アクリル酸及びε-カプロラクトンとをエステル化することにより得られる、ε-カプロラクトン変性多官能(メタ)アクリレートが挙げられる。中でも下記式(Z-1)で表されるカプロラクトン構造を含有する化合物が好ましい。
As the polymerizable compound, a compound containing a caprolactone structure is also a preferred embodiment.
The compound containing a caprolactone structure is not particularly limited as long as the caprolactone structure is contained in the molecule, but for example, trimethylolethane, ditrimethylolethane, trimethylolpropane, ditrimethylolpropane, pentaerythritol, dipenta. Ε-caprolactone-modified polyfunctional (meth) obtained by esterifying a polyhydric alcohol such as erythritol, tripentaerythritol, glycerin, diglycerol, or trimethylolmelan with (meth) acrylic acid and ε-caprolactone. ) Acrylate can be mentioned. Of these, a compound having a caprolactone structure represented by the following formula (Z-1) is preferable.

Figure 0007083887000001
Figure 0007083887000001

式(Z-1)中、6個のRは全てが下記式(Z-2)で表される基であるか、又は6個のRのうち1~5個が下記式(Z-2)で表される基であり、残余が下記式(Z-3)で表される基である。 In the formula (Z-1), all 6 Rs are groups represented by the following formula (Z-2), or 1 to 5 of the 6 Rs are the following formulas (Z-2). It is a group represented by, and the residue is a group represented by the following formula (Z-3).

Figure 0007083887000002
Figure 0007083887000002

式(Z-2)中、Rは水素原子又はメチル基を示し、mは1又は2の数を示し、「*」は結合手であることを示す。In formula (Z-2), R 1 indicates a hydrogen atom or a methyl group, m indicates a number of 1 or 2, and "*" indicates a bond.

Figure 0007083887000003
Figure 0007083887000003

式(Z-3)中、Rは水素原子又はメチル基を示し、「*」は結合手であることを示す。In formula (Z-3), R 1 indicates a hydrogen atom or a methyl group, and "*" indicates a bond.

カプロラクトン構造を含有する重合性化合物は、例えば、日本化薬からKAYARAD DPCAシリーズとして市販されており、DPCA-20(上記式(Z-1)~(Z-3)においてm=1、式(Z-2)で表される基の数=2、Rが全て水素原子である化合物)、DPCA-30(同式、m=1、式(Z-2)で表される基の数=3、Rが全て水素原子である化合物)、DPCA-60(同式、m=1、式(Z-2)で表される基の数=6、Rが全て水素原子である化合物)、及び、DPCA-120(同式においてm=2、式(Z-2)で表される基の数=6、Rが全て水素原子である化合物)等が挙げられる。The polymerizable compound containing a caprolactone structure is commercially available, for example, from Nippon Kayaku as the KAYARAD DPCA series, and DPCA-20 (in the above formulas (Z-1) to (Z-3), m = 1, formula (Z). -2) Number of groups represented by 2) = 2, compound in which R 1 is all hydrogen atom), DPCA-30 (same formula, m = 1, number of groups represented by formula (Z-2) = 3 , R 1 is all hydrogen atoms), DPCA-60 (same formula, m = 1, number of groups represented by formula (Z-2) = 6, R 1 is all hydrogen atoms), And DPCA-120 (m = 2 in the same formula, the number of groups represented by the formula (Z-2) = 6, a compound in which R 1 is all a hydrogen atom) and the like can be mentioned.

重合性化合物は、下記式(Z-4)又は(Z-5)で表される化合物も使用できる。 As the polymerizable compound, a compound represented by the following formula (Z-4) or (Z-5) can also be used.

Figure 0007083887000004
Figure 0007083887000004

式(Z-4)及び(Z-5)中、Eは、それぞれ独立に、-((CHCHO)-、又は-((CHCH(CH)O)-を表し、yは、それぞれ独立に0~10の整数を表し、Xは、それぞれ独立に、(メタ)アクリロイル基、水素原子、又はカルボン酸基を表す。
式(Z-4)中、(メタ)アクリロイル基の合計は3個又は4個であり、mはそれぞれ独立に0~10の整数を表し、各mの合計は0~40の整数である。
式(Z-5)中、(メタ)アクリロイル基の合計は5個又は6個であり、nはそれぞれ独立に0~10の整数を表し、各nの合計は0~60の整数である。
In equations (Z-4) and (Z-5), E is independently − ((CH 2 ) y CH 2 O)-or-((CH 2 ) y CH (CH 3 ) O)-. , Y each independently represents an integer of 0 to 10, and X independently represents a (meth) acryloyl group, a hydrogen atom, or a carboxylic acid group.
In the formula (Z-4), the total number of (meth) acryloyl groups is 3 or 4, each of m independently represents an integer of 0 to 10, and the total of each m is an integer of 0 to 40.
In the formula (Z-5), the total number of (meth) acryloyl groups is 5 or 6, each of n independently represents an integer of 0 to 10, and the total of each n is an integer of 0 to 60.

式(Z-4)中、mは、0~6の整数が好ましく、0~4の整数がより好ましい。
また、各mの合計は、2~40の整数が好ましく、2~16の整数がより好ましく、4~8の整数が更に好ましい。
式(Z-5)中、nは、0~6の整数が好ましく、0~4の整数がより好ましい。
また、各nの合計は、3~60の整数が好ましく、3~24の整数がより好ましく、6~12の整数が更に好ましい。
また、式(Z-4)又は式(Z-5)中の-((CHCHO)-又は-((CHCH(CH)O)-は、酸素原子側の末端がXに結合する形態が好ましい。
In the formula (Z-4), m is preferably an integer of 0 to 6, and more preferably an integer of 0 to 4.
Further, the total of each m is preferably an integer of 2 to 40, more preferably an integer of 2 to 16, and even more preferably an integer of 4 to 8.
In the formula (Z-5), n is preferably an integer of 0 to 6, and more preferably an integer of 0 to 4.
Further, the total of each n is preferably an integer of 3 to 60, more preferably an integer of 3 to 24, and even more preferably an integer of 6 to 12.
Further,-((CH 2 ) y CH 2 O)-or-((CH 2 ) y CH (CH 3 ) O)-in the formula (Z-4) or the formula (Z-5) is on the oxygen atom side. The form in which the end of is bound to X is preferable.

式(Z-4)又は式(Z-5)で表される化合物は1種単独で用いてもよいし、2種以上併用してもよい。特に、式(Z-5)において、6個のX全てがアクリロイル基である形態、式(Z-5)において、6個のX全てがアクリロイル基である化合物と、6個のXのうち、少なくとも1個が水素原子である化合物との混合物である態様が好ましい。このような構成とすることにより、現像性をより向上できる。 The compound represented by the formula (Z-4) or the formula (Z-5) may be used alone or in combination of two or more. In particular, in the form (Z-5), all 6 Xs are acryloyl groups, in the formula (Z-5), all 6 Xs are acryloyl groups, and among the 6 Xs, It is preferable that the mixture is a mixture with a compound in which at least one is a hydrogen atom. With such a configuration, the developability can be further improved.

また、式(Z-4)又は式(Z-5)で表される化合物の重合性化合物中における全含有量としては、20質量%以上が好ましく、50質量%以上がより好ましい。
式(Z-4)又は式(Z-5)で表される化合物の中でも、ペンタエリスリトール誘導体及び/又はジペンタエリスリトール誘導体がより好ましい。
The total content of the compound represented by the formula (Z-4) or the formula (Z-5) in the polymerizable compound is preferably 20% by mass or more, more preferably 50% by mass or more.
Among the compounds represented by the formula (Z-4) or the formula (Z-5), the pentaerythritol derivative and / or the dipentaerythritol derivative is more preferable.

また、重合性化合物は、カルド骨格を含有してもよい。
カルド骨格を含有する重合性化合物としては、9,9-ビスアリールフルオレン骨格を含有する重合性化合物が好ましい。
カルド骨格を含有する重合性化合物としては、限定されないが、例えば、オンコートEXシリーズ(長瀬産業社製)及びオグソール(大阪ガスケミカル社製)等が挙げられる。
Further, the polymerizable compound may contain a cardo skeleton.
As the polymerizable compound containing a cardo skeleton, a polymerizable compound containing a 9,9-bisarylfluorene skeleton is preferable.
Examples of the polymerizable compound containing a cardo skeleton include, but are not limited to, on-coat EX series (manufactured by Nagase & Co., Ltd.) and Ogusol (manufactured by Osaka Gas Chemical Co., Ltd.).

得られる硬化膜の引置き欠陥抑制性がより優れる点から、重合性化合物は、二重結合当量(エチレン性不飽和基の含有量。より具体的には、重合性化合物中のエチレン性不飽和基の数を、重合性化合物の分子量(g/mol)で除した値を意図する)が7.0mmol/g以上であることが好ましく、11.0mmol/g以上であることがより好ましい。上限は特に制限されないが、一般に、20.0mmol/g以下である。
なお、硬化性組成物中が、複数種類の重合性化合物を含有し、それぞれの二重結合当量が同一ではない場合は、全重合性化合物中における各重合性化合物の質量比と、各重合性化合物の二重結合当量との積を、それぞれ合計した値が、上記範囲内にあることが好ましい。
The polymerizable compound has a double bond equivalent (content of ethylenically unsaturated group. More specifically, ethylenically unsaturated group in the polymerizable compound) because the obtained cured film has more excellent ability to suppress retention defects. The number of groups is intended to be the value obtained by dividing the number of groups by the molecular weight (g / mol) of the polymerizable compound) is preferably 7.0 mmol / g or more, and more preferably 11.0 mmol / g or more. The upper limit is not particularly limited, but is generally 20.0 mmol / g or less.
When the curable composition contains a plurality of types of polymerizable compounds and their double bond equivalents are not the same, the mass ratio of each polymerizable compound in the total polymerizable compound and each polymerizable compound. It is preferable that the total value of the product of the compound with the double bond equivalent is within the above range.

本明細書において、二重結合当量のことを「C=C価」という場合がある。
硬化性組成物が複数種類の重合性化合物を含有しており、かつ、各重合性化合物のC=C価が明らかである場合、各重合性化合物の配合比から、硬化性組成物が含有する重合性化合物全質量としてのC=C価を計算して求めてもよい。
硬化性組成物が含有する重合性化合物のC=C価(エチレン性不飽和基の含有量)は、エチレン性不飽和基が(メタ)アクリロイル基である場合、例えば、以下の方法により測定できる。
まず、遠心分離法によって硬化性組成物中の固体成分(黒色顔料等)を沈殿させて残った液体成分を分取する。更に、得られた液体成分から、液体クロマトグラフィー法で重合性化合物を分離し、NMR(nuclear magnetic resonance)法、及び、GPC法等を用いた解析により、重合性化合物の構造を特定し、C=C価を求める。C=C価(エチレン性不飽和基の含有量)は一分子に含まれる重合性基の個数を分子量で除した値として算出する。
In the present specification, the double bond equivalent may be referred to as "C = C value".
When the curable composition contains a plurality of types of polymerizable compounds and the C = C value of each polymerizable compound is clear, the curable composition is contained from the blending ratio of each polymerizable compound. The C = C value as the total mass of the polymerizable compound may be calculated and obtained.
The C = C value (content of ethylenically unsaturated group) of the polymerizable compound contained in the curable composition can be measured by, for example, the following method when the ethylenically unsaturated group is a (meth) acryloyl group. ..
First, a solid component (black pigment or the like) in the curable composition is precipitated by a centrifugation method, and the remaining liquid component is separated. Further, the polymerizable compound is separated from the obtained liquid component by a liquid chromatography method, and the structure of the polymerizable compound is specified by analysis using an NMR (nuclear magnetic resonance) method, a GPC method, or the like, and C. = Find the C value. The C = C value (content of ethylenically unsaturated group) is calculated as a value obtained by dividing the number of polymerizable groups contained in one molecule by the molecular weight.

<樹脂A>
本発明の硬化性組成物は、樹脂Aを含有する。
樹脂Aは、「(要件1)酸価が120~350mgKOH/gであること」、及び、「(要件2)重量平均分子量が3000~7500であること」のいずれか一方の要件を満たす樹脂である。
樹脂Aが要件1及び要件2のいずれか一方を満たすため、樹脂Aを含有する本発明の硬化性組成物は、現像性が良好で、線幅安定性に優れる硬化膜を得ることができる。
なお、樹脂Aは要件1と要件2との、一方のみを満たす樹脂であってもよいし、両方を同時に満たす樹脂であってもよい。中でも、要件1と要件2とのうちの一方のみを満たし、他の一方の要件は満たさない樹脂であることが好ましい。
<Resin A>
The curable composition of the present invention contains resin A.
Resin A is a resin that satisfies either one of "(requirement 1) acid value of 120 to 350 mgKOH / g" and "(requirement 2) weight average molecular weight of 3000 to 7500". be.
Since the resin A satisfies either requirement 1 or requirement 2, the curable composition of the present invention containing the resin A can obtain a cured film having good developability and excellent line width stability.
The resin A may be a resin that satisfies only one of Requirement 1 and Requirement 2, or may be a resin that satisfies both of them at the same time. Above all, it is preferable that the resin satisfies only one of the requirements 1 and 2 and does not satisfy the other requirement.

樹脂Aは硬化性基を含有してもよい。
硬化性基としては、例えば、エチレン性不飽和基(例えば、(メタ)アクリロイル基、ビニル基、及び、スチリル基等)、及び、環状エーテル基(例えば、エポキシ基、及び、オキセタニル基等)等が挙げられるが、これらに制限されない。
中でも、ラジカル反応で重合制御が可能な点で、硬化性基としては、エチレン性不飽和基が好ましい。エチレン性不飽和基は(メタ)アクリロイル基がより好ましい。
The resin A may contain a curable group.
Examples of the curable group include an ethylenically unsaturated group (for example, a (meth) acryloyl group, a vinyl group, a styryl group, etc.), a cyclic ether group (for example, an epoxy group, an oxetanyl group, etc.) and the like. However, it is not limited to these.
Of these, an ethylenically unsaturated group is preferable as the curable group in that polymerization can be controlled by a radical reaction. The ethylenically unsaturated group is more preferably a (meth) acryloyl group.

樹脂Aは、要件1と要件2とのいずれかを満たす樹脂であれば特に制限はないが、(メタ)アクリル系単量体由来の繰り返し単位を含有することが好ましい。樹脂Aの(メタ)アクリル系単量体由来の繰り返し単位の含有量は、全繰り返し単位に対して、10モル%以上が好ましく、50モル%以上がより好ましく、75モル%以上が更に好ましく、90モル%超が特に好ましい。 The resin A is not particularly limited as long as it is a resin that satisfies either requirement 1 or requirement 2, but preferably contains a repeating unit derived from a (meth) acrylic monomer. The content of the repeating unit derived from the (meth) acrylic monomer of the resin A is preferably 10 mol% or more, more preferably 50 mol% or more, still more preferably 75 mol% or more, based on all the repeating units. More than 90 mol% is particularly preferred.

上記、(メタ)アクリル系単量体由来の繰り返し単位としては、例えば、下記一般式(AA)で表される繰り返し単位が好ましい。 As the repeating unit derived from the (meth) acrylic monomer, for example, the repeating unit represented by the following general formula (AA) is preferable.

Figure 0007083887000005
Figure 0007083887000005

一般式(AA)中、Rは水素原子又はメチル基を表す。
Lは、単結合又は2価の連結基を表す。
上記2価の連結基としては、例えば、置換基を有していてもよい炭化水素基(直鎖状でも、分岐鎖状でもよく、環状構造を有していてもよい。炭素数は1~5が好ましい。置換基としては水酸基が好ましい)が挙げられる。中でも、炭素数1のアルキレン基が好ましい。
Xは、水素原子又は置換基を表す。
上記置換基としては、芳香環基(好ましくはフェニル基)、アルキル基(好ましくは炭素数1~3)、(メタ)アクリロイル基、(メタ)アクリロイルオキシ基、水酸基、及び、カルボキシ基等が挙げられる。中でも、Xは、水素原子又はフェニル基が好ましい。
In the general formula (AA), RM represents a hydrogen atom or a methyl group.
L represents a single bond or a divalent linking group.
The divalent linking group may be, for example, a hydrocarbon group having a substituent (may be linear, may be branched, or may have a cyclic structure. The number of carbon atoms is 1 to 1). 5. The substituent is preferably a hydroxyl group). Of these, an alkylene group having 1 carbon atom is preferable.
X represents a hydrogen atom or a substituent.
Examples of the substituent include an aromatic ring group (preferably a phenyl group), an alkyl group (preferably 1 to 3 carbon atoms), a (meth) acryloyl group, a (meth) acryloyloxy group, a hydroxyl group, a carboxy group and the like. Be done. Among them, X is preferably a hydrogen atom or a phenyl group.

樹脂Aが含有する(メタ)アクリル系単量体由来の繰り返し単位(好ましくは一般式(AA)で表される繰り返し単位)は、1種のみでも、2種以上でもよく、2種以上であることが好ましい。
2種以上である場合、少なくとも1種は、(メタ)アクリル酸由来の繰り返し単位であることが好ましい。(メタ)アクリル酸由来の繰り返し単位以外の繰り返し単位としては、例えば、ベンジル(メタ)アクリレート由来の繰り返し単位が好ましい。
The repeating unit derived from the (meth) acrylic monomer contained in the resin A (preferably the repeating unit represented by the general formula (AA)) may be only one type, two or more types, or two or more types. Is preferable.
When there are two or more, it is preferable that at least one is a repeating unit derived from (meth) acrylic acid. As the repeating unit other than the repeating unit derived from (meth) acrylic acid, for example, the repeating unit derived from benzyl (meth) acrylate is preferable.

樹脂Aは、上記ベンジル(メタ)アクリレート由来の繰り返し単位、及び、上記(メタ)アクリル酸由来の繰り返し単位の両方を含有することが好ましく、上記ベンジル(メタ)アクリレート由来の繰り返し単位、及び、上記(メタ)アクリル酸由来の繰り返し単位の組み合わせのみからなることがより好ましい。
言い換えると、樹脂Aは、ベンジル(メタ)アクリレート及び(メタ)アクリル酸の共重合体であることが好ましい。
The resin A preferably contains both the repeating unit derived from the benzyl (meth) acrylate and the repeating unit derived from the (meth) acrylic acid, and the repeating unit derived from the benzyl (meth) acrylate and the repeating unit described above. It is more preferable that it consists only of a combination of repeating units derived from (meth) acrylic acid.
In other words, the resin A is preferably a copolymer of benzyl (meth) acrylate and (meth) acrylic acid.

樹脂Aの主鎖に含有されることが想定されるその他の繰り返し単位としては、例えば、スチレン系単量体(ヒドロキシスチレン等)由来の繰り返し単位、及び、エーテルダイマー由来の繰り返し単位が挙げられる。
上記エーテルダイマーは、例えば、下記一般式(ED1)で表される化合物、及び、下記一般式(ED2)で表される化合物が挙げられる。
Examples of the other repeating unit that is expected to be contained in the main chain of the resin A include a repeating unit derived from a styrene-based monomer (hydroxystyrene or the like) and a repeating unit derived from an ether dimer.
Examples of the ether dimer include a compound represented by the following general formula (ED1) and a compound represented by the following general formula (ED2).

Figure 0007083887000006
Figure 0007083887000006

一般式(ED1)中、R及びRは、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1~25の炭化水素基を表す。In the general formula (ED1), R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 25 carbon atoms.

Figure 0007083887000007
Figure 0007083887000007

一般式(ED2)中、Rは、水素原子又は炭素数1~30の有機基を表す。一般式(ED2)の具体例としては、特開2010-168539号公報の記載を参酌できる。 In the general formula (ED2), R represents a hydrogen atom or an organic group having 1 to 30 carbon atoms. As a specific example of the general formula (ED2), the description of JP-A-2010-168539 can be referred to.

エーテルダイマーの具体例としては、例えば、特開2013-29760号公報の段落0317を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。エーテルダイマーは、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。 As a specific example of the ether dimer, for example, paragraph 0317 of JP2013-29760A can be referred to, and the content thereof is incorporated in the present specification. The ether dimer may be only one kind or two or more kinds.

(要件1を満たす樹脂A)
酸価が120~350mgKOH/gである樹脂A(要件1を満たす樹脂A)は、酸価が適切な範囲に調製されている。
得られる硬化膜の線幅安定性及びアンダーカット抑制性がより優れる点から、要件1を満たす樹脂の酸価は、170~300mgKOH/gが好ましく、200~270mgKOH/gがより好ましい。
要件1を満たす樹脂Aは、その重量平均分子量が、7500超であることが好ましく、8000~30000であることがより好ましく、10000~15000であることが更に好ましい。
(Resin A that meets Requirement 1)
The resin A having an acid value of 120 to 350 mgKOH / g (resin A satisfying Requirement 1) is prepared to have an acid value in an appropriate range.
The acid value of the resin satisfying Requirement 1 is preferably 170 to 300 mgKOH / g, more preferably 200 to 270 mgKOH / g, from the viewpoint of more excellent line width stability and undercut suppression property of the obtained cured film.
The weight average molecular weight of the resin A satisfying the requirement 1 is preferably more than 7,500, more preferably 8,000 to 30,000, and even more preferably 10,000 to 15,000.

(要件2を満たす樹脂A)
重量平均分子量が3000~7500である樹脂A(要件2を満たす樹脂A)は、分子量が適切な範囲に調製されている。
硬化膜の線幅安定性、アンダーカット抑制性、及び、残渣抑制性がより優れる点から、要件Aを満たす樹脂の重量平均分子量は、3000~6500が好ましく、3000~5000がより好ましく、4000~5000が更に好ましい。
要件2を満たす樹脂Aの酸価としては、120mgKOH/g未満が好ましく、30~110mgKOH/gがより好ましく、60~100mgKOH/gがより好ましい。
(Resin A that meets Requirement 2)
The resin A having a weight average molecular weight of 3000 to 7500 (resin A satisfying Requirement 2) is prepared in an appropriate molecular weight range.
The weight average molecular weight of the resin satisfying the requirement A is preferably 3000 to 6500, more preferably 3000 to 5000, and 4000 to 4000, because the cured film has more excellent line width stability, undercut inhibitory property, and residue inhibitory property. 5000 is more preferred.
The acid value of the resin A satisfying Requirement 2 is preferably less than 120 mgKOH / g, more preferably 30 to 110 mgKOH / g, and even more preferably 60 to 100 mgKOH / g.

樹脂Aは1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。例えば、硬化性組成物は、要件1を満たす樹脂Aと要件2を満たす樹脂Aとの両方を含有していてもよい。
硬化性組成物中における樹脂Aの含有量としては特に制限されないが、硬化性組成物の全固形分に対して、1~30質量%が好ましく、5~15質量%がより好ましい。2種以上の樹脂Aを使用する場合には、合計含有量が上記範囲内であることが好ましい。
As the resin A, one type may be used alone, or two or more types may be used in combination. For example, the curable composition may contain both the resin A satisfying the requirement 1 and the resin A satisfying the requirement 2.
The content of the resin A in the curable composition is not particularly limited, but is preferably 1 to 30% by mass, more preferably 5 to 15% by mass, based on the total solid content of the curable composition. When two or more kinds of resins A are used, the total content is preferably within the above range.

硬化性組成物中の樹脂Aの有無及びその含有量は、以下に示す方法で測定できる。
まず、遠心分離法によって硬化性組成物中の固体成分(黒色顔料等)を沈殿させて残った液体成分を分取する。更に、得られた液体成分から、GPC法で重量平均分子量が2000超である成分を分取し、これを測定対象の樹脂とする。
ここで、重量平均分子量が3000~7500である樹脂が検出された場合、その樹脂を、要件2を満たす樹脂Aとして、硬化性組成物の全固形分に対する含有量を求める。
また、重量平均分子量が3000~7500から外れる樹脂については、通常の方法(JISK5601-2-1又はJISK0070等)で酸価を測定して、酸価が120~350mgKOH/gであるかを確かめる。酸価が120~350mgKOH/gである樹脂が存在した場合、その樹脂を、要件1を満たす樹脂A(かつ、要件2を満たさない樹脂A)として、硬化性組成物の全固形分に対する含有量を求める。
このようにして得られた、要件2を満たす樹脂Aと、要件1を満たす樹脂A(かつ、要件2を満たさない樹脂A)との合計含有量から、硬化性組成物の全固形分に対する樹脂Aの含有量を求めることができる。
また、硬化性組成物中の樹脂Aの含有量は、硬化性組成物の配合及び、使用する原料の酸価及び重量平均分子量が既知である場合は計算で求めてもよい。
The presence or absence of the resin A in the curable composition and its content can be measured by the methods shown below.
First, a solid component (black pigment or the like) in the curable composition is precipitated by a centrifugation method, and the remaining liquid component is separated. Further, a component having a weight average molecular weight of more than 2000 is fractionated from the obtained liquid component by the GPC method, and this is used as the resin to be measured.
Here, when a resin having a weight average molecular weight of 3000 to 7500 is detected, the content of the curable composition with respect to the total solid content is determined by using the resin as the resin A satisfying the requirement 2.
For the resin whose weight average molecular weight deviates from 3000 to 7500, the acid value is measured by a usual method (JISK5601-2-1 or JISK0070, etc.) to confirm whether the acid value is 120 to 350 mgKOH / g. When a resin having an acid value of 120 to 350 mgKOH / g is present, the resin is regarded as a resin A satisfying the requirement 1 (and a resin A not satisfying the requirement 2), and the content of the curable composition with respect to the total solid content. Ask for.
From the total content of the resin A satisfying the requirement 2 and the resin A satisfying the requirement 1 (and the resin A not satisfying the requirement 2) thus obtained, the resin with respect to the total solid content of the curable composition. The content of A can be determined.
Further, the content of the resin A in the curable composition may be obtained by calculation when the composition of the curable composition and the acid value and weight average molecular weight of the raw materials used are known.

<樹脂B>
硬化性組成物は、上述の樹脂A以外の樹脂を含有してもよい。
樹脂A以外の樹脂としては、反射率が低減された硬化膜を得られる点から、例えば樹脂Bが挙げられる。
樹脂Bは、樹脂Aとは異なる樹脂であって、オキシアルキレン基及びオキシアルキレンカルボニル基からなる群から選択される1種以上の基を有する樹脂である。
樹脂Bは、いわゆる顔料分散剤として作用する樹脂であることが好ましい。
硬化性組成物中における樹脂Bの含有量としては特に制限されないが、硬化性組成物の全固形分に対して2~40質量%が好ましく、5~30質量%がより好ましい。
樹脂Bは、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。2種以上の樹脂Bを併用する場合には、合計含有量が上記範囲内であることが好ましい。
<Resin B>
The curable composition may contain a resin other than the above-mentioned resin A.
Examples of the resin other than the resin A include the resin B from the viewpoint that a cured film having a reduced reflectance can be obtained.
The resin B is a resin different from the resin A and has one or more groups selected from the group consisting of an oxyalkylene group and an oxyalkylene carbonyl group.
The resin B is preferably a resin that acts as a so-called pigment dispersant.
The content of the resin B in the curable composition is not particularly limited, but is preferably 2 to 40% by mass, more preferably 5 to 30% by mass, based on the total solid content of the curable composition.
As the resin B, one type may be used alone, or two or more types may be used in combination. When two or more kinds of resins B are used in combination, the total content is preferably within the above range.

樹脂B中のオキシアルキレン基及びオキシアルキレンカルボニル基からなる群から選択される1種以上の基が存在する形態は特に制限されない。
オキシアルキレン基及びオキシアルキレンカルボニル基中のアルキレン部分は、置換基を有していてもよく、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、環状構造を有していてもよい。中でも、上記アルキレン部分は、無置換であることが好ましい。
また、オキシアルキレン基におけるアルキレン部分の炭素数は、1~10が好ましく、2~3がより好ましい。また、オキシアルキレンカルボニル基におけるアルキレン部分の炭素数は、2~8が好ましく、4~6がより好ましい。
一分子中に、オキシアルキレン基及び/又はオキシアルキレンカルボニル基が、複数存在する場合、複数のオキシアルキレン基及び/又はオキシアルキレンカルボニル基は、それぞれ同一でも異なっていてもよい。
また、樹脂Bは、オキシアルキレン基が連続して複数(好ましくは3個以上、より好ましくは10個以上)結合したポリオキシアルキレン構造、又は、オキシアルキレンカルボニル基が連続して複数(好ましくは3個以上、より好ましくは10個以上)結合したポリオキシアルキレンカルボニル構造を有していることが好ましい。
The form in which one or more groups selected from the group consisting of an oxyalkylene group and an oxyalkylene carbonyl group in the resin B is present is not particularly limited.
The alkylene moiety in the oxyalkylene group and the oxyalkylene carbonyl group may have a substituent, may be linear or branched, and may have a cyclic structure. Above all, the alkylene moiety is preferably unsubstituted.
The carbon number of the alkylene portion of the oxyalkylene group is preferably 1 to 10, more preferably 2 to 3. The carbon number of the alkylene moiety in the oxyalkylene carbonyl group is preferably 2 to 8, more preferably 4 to 6.
When a plurality of oxyalkylene groups and / or oxyalkylene carbonyl groups are present in one molecule, the plurality of oxyalkylene groups and / or oxyalkylene carbonyl groups may be the same or different from each other.
Further, the resin B has a polyoxyalkylene structure in which a plurality of oxyalkylene groups are continuously bonded (preferably 3 or more, more preferably 10 or more), or a plurality of oxyalkylene carbonyl groups are continuously bonded (preferably 3). It is preferable to have a polyoxyalkylene carbonyl structure in which more than one, more preferably 10 or more) are bonded.

樹脂Bは、高分子化合物〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル系共重合体、及び、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物〕、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、並びに、顔料誘導体等であってもよい。
高分子化合物は、その構造から更に直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、及び、ブロック型高分子に分類できる。
Resin B is a polymer compound [for example, polyamide amine and its salt, polycarboxylic acid and its salt, high molecular weight unsaturated acid ester, modified polyurethane, modified polyester, modified poly (meth) acrylate, (meth) acrylic co-weight. Combined and naphthalenesulfonic acid formarin condensate], polyoxyethylene alkyl phosphate ester, polyoxyethylene alkyl amine, pigment derivative and the like may be used.
Polymer compounds can be further classified into linear polymers, end-modified polymers, graft-type polymers, and block-type polymers based on their structures.

・高分子化合物
高分子化合物は、上述したような顔料等の被分散体の表面に吸着し、被分散体の再凝集を防止するように作用する。そのため、顔料表面へのアンカー部位を含有する、末端変性型高分子、グラフト型(高分子鎖を含有する)高分子、又は、ブロック型高分子が好ましい。
-Polymer compound The polymer compound is adsorbed on the surface of the object to be dispersed such as the pigment as described above, and acts to prevent the reaggregation of the object to be dispersed. Therefore, a terminal-modified polymer, a graft-type (containing a polymer chain) polymer, or a block-type polymer containing an anchor site on the pigment surface is preferable.

上記高分子化合物は硬化性基を含有してもよい。
硬化性基としては、例えば、エチレン性不飽和基(例えば、(メタ)アクリロイル基、ビニル基、及び、スチリル基等)、及び、環状エーテル基(例えば、エポキシ基、オキセタニル基等)等が挙げられるが、これらに制限されない。
中でも、ラジカル反応で重合制御が可能な点で、硬化性基としては、エチレン性不飽和基が好ましい。エチレン性不飽和基は(メタ)アクリロイル基がより好ましい。
The polymer compound may contain a curable group.
Examples of the curable group include an ethylenically unsaturated group (for example, a (meth) acryloyl group, a vinyl group, a styryl group, etc.), a cyclic ether group (for example, an epoxy group, an oxetanyl group, etc.) and the like. However, it is not limited to these.
Of these, an ethylenically unsaturated group is preferable as the curable group in that polymerization can be controlled by a radical reaction. The ethylenically unsaturated group is more preferably a (meth) acryloyl group.

硬化性基を含有する樹脂は、主鎖にオキシアルキレン基(好ましくはポリオキシアルキレン構造)及び/又はオキシアルキレンカルボニル基(好ましくはポリオキシアルキレンカルボニル構造)を含有していてもよい。また、後述するように、上記樹脂がグラフト鎖を含有する構造単位を含有する場合等において、上記グラフト鎖がオキシアルキレン基(好ましくはポリオキシアルキレン構造)及び/又はオキシアルキレンカルボニル基(好ましくはポリオキシアルキレンカルボニル構造)を含有していてもよい。
上記樹脂としては、上記グラフト鎖がオキシアルキレンカルボニル基を含有することがより好ましい。
The resin containing a curable group may contain an oxyalkylene group (preferably a polyoxyalkylene carbonyl structure) and / or an oxyalkylene carbonyl group (preferably a polyoxyalkylene carbonyl structure) in the main chain. Further, as described later, when the resin contains a structural unit containing a graft chain, the graft chain has an oxyalkylene group (preferably a polyoxyalkylene structure) and / or an oxyalkylene carbonyl group (preferably poly). It may contain an oxyalkylene carbonyl structure).
As the resin, it is more preferable that the graft chain contains an oxyalkylene carbonyl group.

高分子化合物は、グラフト鎖を含有する構造単位を含有することが好ましい。なお、本明細書において、「構造単位」とは「繰り返し単位」と同義である。
このようなグラフト鎖を含有する構造単位を含有する高分子化合物は、グラフト鎖によって溶剤との親和性を有するために、顔料等の分散性、及び、経時後の分散安定性(経時安定性)に優れるものである。また、グラフト鎖の存在により、グラフト鎖を含有する構造単位を含有する高分子化合物は重合性化合物又はその他の併用可能な樹脂等との親和性を有する。結果として、アルカリ現像で残渣を生じにくくなる。
グラフト鎖が長くなると立体反発効果が高くなり顔料等の分散性は向上する。一方、グラフト鎖が長すぎると顔料等への吸着力が低下して、顔料等の分散性は低下する傾向となる。このため、グラフト鎖は、水素原子を除いた原子数が40~10000であることが好ましく、水素原子を除いた原子数が50~2000であることがより好ましく、水素原子を除いた原子数が60~500であることが更に好ましい。
ここで、グラフト鎖とは、共重合体の主鎖の根元(主鎖から枝分かれしている基において主鎖に結合する原子)から、主鎖から枝分かれしている基の末端までを示す。
The polymer compound preferably contains a structural unit containing a graft chain. In addition, in this specification, "structural unit" is synonymous with "repeating unit".
Since the polymer compound containing a structural unit containing such a graft chain has an affinity with a solvent due to the graft chain, the dispersibility of pigments and the like and the dispersion stability after aging (stability over time) It is excellent in. Further, due to the presence of the graft chain, the polymer compound containing the structural unit containing the graft chain has an affinity with the polymerizable compound or other resin that can be used in combination. As a result, it is less likely that a residue will be generated in alkaline development.
The longer the graft chain, the higher the steric repulsion effect and the better the dispersibility of pigments and the like. On the other hand, if the graft chain is too long, the adsorptive power to the pigment or the like is lowered, and the dispersibility of the pigment or the like tends to be lowered. Therefore, the graft chain preferably has 40 to 10000 atoms excluding hydrogen atoms, more preferably 50 to 2000 atoms excluding hydrogen atoms, and has an atomic number excluding hydrogen atoms. It is more preferably 60 to 500.
Here, the graft chain refers from the root of the main chain of the copolymer (the atom bonded to the main chain in the group branched from the main chain) to the end of the group branched from the main chain.

グラフト鎖は、ポリマー構造を含有することが好ましく、このようなポリマー構造としては、例えば、ポリ(メタ)アクリレート構造(例えば、ポリ(メタ)アクリル構造)、ポリエステル構造(好ましくは、ポリオキシアルキレンカルボニル構造)、ポリウレタン構造、ポリウレア構造、ポリアミド構造、及び、ポリエーテル構造(好ましくは、ポリオキシアルキレン構造)等が挙げられる。
グラフト鎖と溶剤との相互作用性を向上させ、それにより顔料等の分散性を高めるために、グラフト鎖は、ポリオキシアルキレンカルボニル構造、ポリオキシアルキレン構造、及び、ポリ(メタ)アクリレート構造からなる群から選ばれた少なくとも1種を含有するグラフト鎖であることが好ましく、ポリオキシアルキレンカルボニル構造及びポリオキシアルキレン構造の少なくともいずれかを含有するグラフト鎖であることがより好ましい。
The graft chain preferably contains a polymer structure, and examples of such a polymer structure include a poly (meth) acrylate structure (for example, a poly (meth) acrylic structure) and a polyester structure (preferably a polyoxyalkylene carbonyl). Structure), polyurethane structure, polyurea structure, polyamide structure, polyether structure (preferably polyoxyalkylene structure) and the like.
The graft chain is composed of a polyoxyalkylene carbonyl structure, a polyoxyalkylene structure, and a poly (meth) acrylate structure in order to improve the interaction between the graft chain and the solvent, thereby enhancing the dispersibility of the pigment and the like. A graft chain containing at least one selected from the group is preferable, and a graft chain containing at least one of a polyoxyalkylene carbonyl structure and a polyoxyalkylene structure is more preferable.

このようなグラフト鎖を含有するマクロモノマー(ポリマー構造を有し、共重合体の主鎖に結合してグラフト鎖を構成するモノマー)としては、特に限定されないが、反応性二重結合性基を含有するマクロモノマーを好適に使用できる。 The macromonomer containing such a graft chain (a monomer having a polymer structure and binding to the main chain of a copolymer to form a graft chain) is not particularly limited, but a reactive double bond group can be used. The contained macromonomer can be preferably used.

高分子化合物が含有するグラフト鎖を含有する構造単位に対応し、高分子化合物の合成に好適に用いられる市販のマクロモノマーとしては、AA-6(商品名、東亞合成社製)、AA-10(商品名、東亞合成社製)、AB-6(商品名、東亞合成社製)、AS-6(商品名、東亞合成社製)、AN-6(商品名、東亞合成社製)、AW-6(商品名、東亞合成社製)、AA-714(商品名、東亞合成社製)、AY-707(商品名、東亞合成社製)、AY-714(商品名、東亞合成社製)、AK-5(商品名、東亞合成社製)、AK-30(商品名、東亞合成社製)、AK-32(商品名、東亞合成社製)、ブレンマーPP-100(商品名、日油社製)、ブレンマーPP-500(商品名、日油社製)、ブレンマーPP-800(商品名、日油社製)、ブレンマーPP-1000(商品名、日油社製)、ブレンマー55-PET-800(商品名、日油社製)、ブレンマーPME-4000(商品名、日油社製)、ブレンマーPSE-400(商品名、日油社製)、ブレンマーPSE-1300(商品名、日油社製)、又は、ブレンマー43PAPE-600B(商品名、日油社製)等が用いられる。この中でも、AA-6(商品名、東亞合成社製)、AA-10(商品名、東亞合成社製)、AB-6(商品名、東亞合成社製)、AS-6(商品名、東亞合成社製)、AN-6(商品名、東亞合成社製)、又は、ブレンマーPME-4000(商品名、日油社製)が好ましい。 Commercially available macromonomers corresponding to the structural unit containing the graft chain contained in the polymer compound and preferably used for the synthesis of the polymer compound include AA-6 (trade name, manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.) and AA-10. (Product name, manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.), AB-6 (Product name, manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.), AS-6 (Product name, manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.), AN-6 (Product name, manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.), AW -6 (Product name, manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.), AA-714 (Product name, manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.), AY-707 (Product name, manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.), AY-714 (Product name, manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.) , AK-5 (trade name, manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.), AK-30 (trade name, manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.), AK-32 (trade name, manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.), Blemmer PP-100 (trade name, manufactured by Nikko). Blemmer PP-500 (trade name, manufactured by Nichiyu Co., Ltd.), Blemmer PP-800 (trade name, manufactured by Nichiyu Co., Ltd.), Blemmer PP-1000 (trade name, manufactured by Nichiyu Co., Ltd.), Blemmer 55-PET -800 (trade name, manufactured by Nichiyu Co., Ltd.), Blemmer PME-4000 (trade name, manufactured by Nichiyu Co., Ltd.), Blemmer PSE-400 (trade name, manufactured by Nichiyu Co., Ltd.), Blemmer PSE-1300 (trade name, manufactured by Nichiyu Co., Ltd.) Blemmer 43PAPE-600B (trade name, manufactured by Nichiyu Co., Ltd.) or the like is used. Among them, AA-6 (trade name, manufactured by Toagosei), AA-10 (trade name, manufactured by Toagosei), AB-6 (trade name, manufactured by Toagosei), AS-6 (trade name, manufactured by Toagosei), AS-6 (trade name, manufactured by Toagosei). (Product name, manufactured by Toagosei Co., Ltd.), AN-6 (trade name, manufactured by Toagosei Co., Ltd.), or Blemmer PME-4000 (trade name, manufactured by Nichiyu Co., Ltd.) is preferable.

上記樹脂Bは、ポリアクリル酸メチル、ポリメタクリル酸メチル、及び、環状又は鎖状のポリエステルからなる群より選択される少なくとも1種の構造を含有することが好ましく、ポリアクリル酸メチル、ポリメタクリル酸メチル、及び、鎖状のポリエステルからなる群より選択される少なくとも1種の構造を含有することがより好ましく、ポリアクリル酸メチル構造、ポリメタクリル酸メチル構造、ポリカプロラクトン構造、及び、ポリバレロラクトン構造からなる群より選択される少なくとも1種の構造を含有することが更に好ましい。樹脂Bは、樹脂A以外の樹脂であって、オキシアルキレン基及びオキシアルキレンカルボニル基からなる群から選択される1種以上の基を有する樹脂でさえあれば、一の樹脂B中に上記構造を単独で含有する樹脂Bであってもよいし、一の樹脂B中にこれらの構造を複数含有する樹脂Bであってもよい。
ここで、ポリカプロラクトン構造とは、ε-カプロラクトンを開環した構造を繰り返し単位として含有する構造をいう。ポリバレロラクトン構造とは、δ-バレロラクトンを開環した構造を繰り返し単位として含有する構造をいう。これらは、ポリオキシアルキレンカルボニル構造の一態様に当たる。
樹脂Bが含有する、ポリカプロラクトン構造を構成する繰り返し単位の具体例としては、下記式(1)及び下記式(2)におけるj及びkが5である繰り返し単位が挙げられる。また、樹脂Bが含有する、ポリバレロラクトン構造を構成する繰り返し単位の具体例としては、下記式(1)及び下記式(2)におけるj及びkが4である繰り返し単位が挙げられる。
樹脂Bが含有する、ポリアクリル酸メチル構造を構成する繰り返し単位の具体例としては、下記式(4)におけるXが水素原子であり、Rがメチル基である繰り返し単位が挙げられる。また、樹脂Bが含有する、ポリメタクリル酸メチル構造を構成する繰り返し単位の具体例としては、下記式(4)におけるXがメチル基であり、Rがメチル基である繰り返し単位が挙げられる。
The resin B preferably contains at least one structure selected from the group consisting of methyl polyacrylate, methyl polymethacrylate, and cyclic or chain polyester, and methyl polyacrylate and polymethacrylic acid. It is more preferable to contain at least one structure selected from the group consisting of methyl and chain polyester, and it is more preferable to contain a methyl polyacrylate structure, a polymethyl methacrylate structure, a polycaprolactone structure, and a polyvalerolactone structure. It is more preferable to contain at least one structure selected from the group consisting of. As long as the resin B is a resin other than the resin A and has one or more groups selected from the group consisting of an oxyalkylene group and an oxyalkylene carbonyl group, the above structure can be contained in one resin B. The resin B may be contained alone, or may be a resin B containing a plurality of these structures in one resin B.
Here, the polycaprolactone structure refers to a structure containing a ring-opened structure of ε-caprolactone as a repeating unit. The polyvalerolactone structure refers to a structure containing a ring-opened structure of δ-valerolactone as a repeating unit. These correspond to one aspect of the polyoxyalkylene carbonyl structure.
Specific examples of the repeating unit constituting the polycaprolactone structure contained in the resin B include the repeating unit in which j and k in the following formula (1) and the following formula (2) are 5. Moreover, as a specific example of the repeating unit constituting the polyvalerolactone structure contained in the resin B, the repeating unit in which j and k in the following formula (1) and the following formula (2) are 4 can be mentioned.
Specific examples of the repeating unit constituting the methyl polyacrylate structure contained in the resin B include a repeating unit in which X5 in the following formula (4) is a hydrogen atom and R4 is a methyl group. Further, as a specific example of the repeating unit constituting the polymethylmethacrylate structure contained in the resin B, a repeating unit in which X5 in the following formula (4) is a methyl group and R4 is a methyl group can be mentioned. ..

・グラフト鎖を含有する構造単位
高分子化合物は、グラフト鎖を含有する構造単位として、下記式(1)~式(4)のいずれかで表される構造単位を含有することが好ましく、下記式(1A)、下記式(2A)、下記式(3A)、及び、下記式(3B)、及び、下記(4)のいずれかで表される構造単位を含有することがより好ましい。
また、高分子化合物は、下記式(1)~式(3)のいずれかで表される構造単位のうちの少なくとも1種を含有することが好ましい。
なお、式(1)で表される構造単位、及び、式(2)で表される構造単位は、オキシアルキレンカルボニル基を含有する構造単位である。式(3)で表される構造単位は、オキシアルキレン基を含有する構造単位である。
-Structural unit containing a graft chain The polymer compound preferably contains a structural unit represented by any of the following formulas (1) to (4) as a structural unit containing a graft chain, and the following formula is preferable. It is more preferable to contain the structural unit represented by any of (1A), the following formula (2A), the following formula (3A), the following formula (3B), and the following (4).
Further, the polymer compound preferably contains at least one of the structural units represented by any of the following formulas (1) to (3).
The structural unit represented by the formula (1) and the structural unit represented by the formula (2) are structural units containing an oxyalkylene carbonyl group. The structural unit represented by the formula (3) is a structural unit containing an oxyalkylene group.

Figure 0007083887000008
Figure 0007083887000008

式(1)~(4)において、W、W、W、及び、Wはそれぞれ独立に酸素原子又はNHを表す。W、W、W、及び、Wは酸素原子であることが好ましい。
式(1)~(4)において、X、X、X、X、及び、Xは、それぞれ独立に、水素原子又は1価の有機基を表す。X、X、X、X、及び、Xとしては、合成上の制約の観点からは、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数(炭素原子数)1~12のアルキル基であることが好ましく、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基であることがより好ましく、メチル基が更に好ましい。
In the formulas (1) to (4), W 1 , W 2 , W 3 and W 4 independently represent an oxygen atom or NH, respectively. It is preferable that W 1 , W 2 , W 3 and W 4 are oxygen atoms.
In formulas (1) to (4), X 1 , X 2 , X 3 , X 4 and X 5 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent organic group. X 1 , X 2 , X 3 , X 4 , and X 5 are independent hydrogen atoms or alkyl groups having 1 to 12 carbon atoms (carbon atoms), respectively, from the viewpoint of synthetic constraints. It is preferable, it is more preferable that it is a hydrogen atom or a methyl group independently of each, and a methyl group is further preferable.

式(1)~(4)において、Y、Y、Y、及び、Yは、それぞれ独立に、2価の連結基を表し、連結基は特に構造上制約されない。Y、Y、Y、及び、Yで表される2価の連結基として、具体的には、下記の(Y-1)~(Y-21)の連結基等が例として挙げられる。下記に示した構造において、A、Bはそれぞれ、式(1)~(4)における結合部位を意味する。下記に示した構造のうち、合成の簡便性から、(Y-2)又は(Y-13)であることがより好ましい。In the formulas (1) to (4), Y 1 , Y 2 , Y 3 and Y 4 each independently represent a divalent linking group, and the linking group is not particularly structurally restricted. Specific examples of the divalent linking groups represented by Y 1 , Y 2 , Y 3 and Y 4 include the following linking groups (Y-1) to (Y-21). Be done. In the structure shown below, A and B mean the binding sites in the formulas (1) to (4), respectively. Of the structures shown below, (Y-2) or (Y-13) is more preferable because of the ease of synthesis.

Figure 0007083887000009
Figure 0007083887000009

式(1)~(4)において、Z、Z、Z、及び、Zは、それぞれ独立に1価の有機基を表す。有機基の構造は、特に限定されないが、具体的には、アルキル基、水酸基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロアリールオキシ基、アルキルチオエーテル基、アリールチオエーテル基、ヘテロアリールチオエーテル基、及び、アミノ基等が挙げられる。これらの中でも、Z、Z、Z、及び、Zで表される有機基としては、特に分散性向上の観点から、立体反発効果を含有する基が好ましく、それぞれ独立に炭素数5~24のアルキル基又はアルコキシ基がより好ましく、その中でも、特にそれぞれ独立に炭素数5~24の分岐鎖状アルキル基、炭素数5~24の環状アルキル基、又は、炭素数5~24のアルコキシ基が更に好ましい。なお、アルコキシ基中に含まれるアルキル基は、直鎖状、分岐鎖状、及び、環状のいずれでもよい。In the formulas (1) to (4), Z 1 , Z 2 , Z 3 and Z 4 each independently represent a monovalent organic group. The structure of the organic group is not particularly limited, but specifically, an alkyl group, a hydroxyl group, an alkoxy group, an aryloxy group, a heteroaryloxy group, an alkylthioether group, an arylthioether group, a heteroarylthioether group, and an amino group. And so on. Among these, as the organic group represented by Z 1 , Z 2 , Z 3 and Z 4 , a group containing a steric repulsion effect is preferable from the viewpoint of improving dispersibility, and each group has 5 independent carbon atoms. Alkyl groups or alkoxy groups of to 24 are more preferable, and among them, branched chain-like alkyl groups having 5 to 24 carbon atoms, cyclic alkyl groups having 5 to 24 carbon atoms, or alkoxy groups having 5 to 24 carbon atoms are particularly preferable. Groups are even more preferred. The alkyl group contained in the alkoxy group may be linear, branched or cyclic.

式(1)~(4)において、n、m、p、及び、qは、それぞれ独立に、1~500の整数である。
また、式(1)及び(2)において、j及びkは、それぞれ独立に、2~8の整数を表す。式(1)及び(2)におけるj及びkは、組成物の経時安定性及び現像性の観点から、4~6の整数が好ましく、5がより好ましい。
また、式(1)及び(2)において、n、及び、mは、10以上の整数が好ましく、20以上の整数がより好ましい。また、樹脂Bが、ポリカプロラクトン構造、及び、ポリバレロラクトン構造を含有する場合、ポリカプロラクトン構造の繰り返し数と、ポリバレロラクトンの繰返し数の和としては、10以上の整数が好ましく、20以上の整数がより好ましい。
In the formulas (1) to (4), n, m, p, and q are each independently an integer of 1 to 500.
Further, in the equations (1) and (2), j and k independently represent integers of 2 to 8, respectively. For j and k in the formulas (1) and (2), an integer of 4 to 6 is preferable, and 5 is more preferable, from the viewpoint of stability over time and developability of the composition.
Further, in the formulas (1) and (2), n and m are preferably integers of 10 or more, and more preferably 20 or more. When the resin B contains a polycaprolactone structure and a polycaprolactone structure, the sum of the number of repetitions of the polycaprolactone structure and the number of repetitions of the polyvalerolactone is preferably an integer of 10 or more, preferably 20 or more. Integers are more preferred.

式(3)中、Rは分岐鎖状又は直鎖状のアルキレン基を表し、炭素数1~10のアルキレン基が好ましく、炭素数2又は3のアルキレン基がより好ましい。pが2~500のとき、複数存在するRは互いに同じであっても異なっていてもよい。
式(4)中、Rは水素原子又は1価の有機基を表し、この1価の有機基としては特に構造上限定はされない。Rとしては、水素原子、アルキル基、アリール基、又は、ヘテロアリール基が好ましく、水素原子又はアルキル基がより好ましい。Rがアルキル基である場合、アルキル基としては、炭素数1~20の直鎖状アルキル基、炭素数3~20の分岐鎖状アルキル基、又は、炭素数5~20の環状アルキル基が好ましく、炭素数1~20の直鎖状アルキル基がより好ましく、炭素数1~6の直鎖状アルキル基が更に好ましい。式(4)において、qが2~500のとき、グラフト共重合体中に複数存在するX及びRは互いに同じであっても異なっていてもよい。
In the formula (3), R 3 represents a branched chain or linear alkylene group, preferably an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, and more preferably an alkylene group having 2 or 3 carbon atoms. When p is 2 to 500, a plurality of R3s may be the same or different from each other.
In the formula (4), R 4 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group, and the monovalent organic group is not particularly structurally limited. As R4 , a hydrogen atom, an alkyl group, an aryl group, or a heteroaryl group is preferable, and a hydrogen atom or an alkyl group is more preferable. When R 4 is an alkyl group, the alkyl group may be a linear alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a branched chain alkyl group having 3 to 20 carbon atoms, or a cyclic alkyl group having 5 to 20 carbon atoms. A linear alkyl group having 1 to 20 carbon atoms is more preferable, and a linear alkyl group having 1 to 6 carbon atoms is further preferable. In the formula (4), when q is 2 to 500, a plurality of X5 and R4 present in the graft copolymer may be the same or different from each other.

また、高分子化合物は、2種以上の構造が異なる、グラフト鎖を含有する構造単位を含有できる。即ち、高分子化合物の分子中に、互いに構造の異なる式(1)~(4)で表される構造単位を含有していてもよく、また、式(1)~(4)においてn、m、p、及び、qがそれぞれ2以上の整数を表す場合、式(1)及び(2)においては、側鎖中にj及びkが互いに異なる構造を含有していてもよく、式(3)及び(4)においては、分子内に複数存在するR、R、及び、Xは互いに同じであっても異なっていてもよい。In addition, the polymer compound can contain two or more structural units containing graft chains having different structures. That is, the molecule of the polymer compound may contain structural units represented by the formulas (1) to (4) having different structures from each other, and n, m in the formulas (1) to (4). When, p, and q each represent an integer of 2 or more, in the formulas (1) and (2), j and k may contain different structures in the side chain, and the formula (3) may contain different structures. In (4), a plurality of R 3 , R 4 , and X 5 existing in the molecule may be the same or different from each other.

式(1)で表される構造単位としては、組成物の経時安定性及び現像性の観点から、下記式(1A)で表される構造単位であることがより好ましい。
また、式(2)で表される構造単位としては、組成物の経時安定性及び現像性の観点から、下記式(2A)で表される構造単位であることがより好ましい。
The structural unit represented by the formula (1) is more preferably the structural unit represented by the following formula (1A) from the viewpoint of stability over time and developability of the composition.
Further, the structural unit represented by the formula (2) is more preferably the structural unit represented by the following formula (2A) from the viewpoint of stability over time and developability of the composition.

Figure 0007083887000010
Figure 0007083887000010

式(1A)中、X、Y、Z、及び、nは、式(1)におけるX、Y、Z、及び、nと同義であり、好ましい範囲も同様である。式(2A)中、X、Y、Z、及び、mは、式(2)におけるX、Y、Z、及び、mと同義であり、好ましい範囲も同様である。In formula (1A), X 1 , Y 1 , Z 1 , and n are synonymous with X 1 , Y 1 , Z 1 , and n in formula (1), and the preferred range is also the same. In formula (2A), X2, Y2, Z2 , and m are synonymous with X2, Y2 , Z2 , and m in formula ( 2 ), and the preferred range is also the same.

また、式(3)で表される構造単位としては、組成物の経時安定性及び現像性の観点から、下記式(3A)又は式(3B)で表される構造単位であることがより好ましい。 Further, the structural unit represented by the formula (3) is more preferably a structural unit represented by the following formula (3A) or formula (3B) from the viewpoint of stability over time and developability of the composition. ..

Figure 0007083887000011
Figure 0007083887000011

式(3A)又は(3B)中、X、Y、Z、及び、pは、式(3)におけるX、Y、Z、及び、pと同義であり、好ましい範囲も同様である。In formula (3A) or (3B), X 3 , Y 3 , Z 3 , and p are synonymous with X 3 , Y 3 , Z 3 , and p in formula (3), and the preferred ranges are also the same. Is.

高分子化合物は、グラフト鎖を含有する構造単位として、式(1A)で表される構造単位を含有することがより好ましい。 The polymer compound more preferably contains the structural unit represented by the formula (1A) as the structural unit containing the graft chain.

高分子化合物において、グラフト鎖を含有する構造単位(例えば、上記式(1)~(4)で表される構造単位)は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対し2~90質量%の範囲で含まれることが好ましく、5~30質量%の範囲で含まれることがより好ましい。
中でも、上記式(1)~(3)で表される構造単位の合計含有量が、高分子化合物の総質量に対し2~80質量%の範囲で含まれることが好ましく、5~25質量%の範囲で含まれることがより好ましい。
グラフト鎖を含有する構造単位がこの範囲内で含まれると、顔料の分散性が高く、硬化膜を形成する際の現像性が良好である。
In the polymer compound, the structural unit containing the graft chain (for example, the structural unit represented by the above formulas (1) to (4)) is 2 to 90% by mass with respect to the total mass of the polymer compound in terms of mass. It is preferable that it is contained in the range of 5 to 30% by mass, and more preferably it is contained in the range of 5 to 30% by mass.
Above all, the total content of the structural units represented by the above formulas (1) to (3) is preferably contained in the range of 2 to 80% by mass with respect to the total mass of the polymer compound, and 5 to 25% by mass. It is more preferable that it is contained in the range of.
When the structural unit containing the graft chain is included in this range, the dispersibility of the pigment is high and the developability when forming the cured film is good.

・疎水性構造単位
また、高分子化合物は、グラフト鎖を含有する構造単位とは異なる(すなわち、グラフト鎖を含有する構造単位には相当しない)疎水性構造単位を含有することが好ましい。ただし、本明細書において、疎水性構造単位は、酸基(例えば、カルボン酸基、スルホン酸基、リン酸基、及び、フェノール性水酸基等)を有さない構造単位である。
-Hydrophobic structural unit Further, it is preferable that the polymer compound contains a hydrophobic structural unit that is different from the structural unit containing the graft chain (that is, does not correspond to the structural unit containing the graft chain). However, in the present specification, the hydrophobic structural unit is a structural unit having no acid group (for example, a carboxylic acid group, a sulfonic acid group, a phosphoric acid group, a phenolic hydroxyl group, etc.).

疎水性構造単位は、ClogP値が1.2以上の化合物(モノマー)に由来する(対応する)構造単位であることが好ましく、ClogP値が1.2~8の化合物に由来する構造単位であることがより好ましい。これにより、本発明の効果をより確実に発現できる。 The hydrophobic structural unit is preferably a (corresponding) structural unit derived from a compound (monomer) having a ClogP value of 1.2 or more, and is a structural unit derived from a compound having a ClogP value of 1.2 to 8. Is more preferable. Thereby, the effect of the present invention can be more reliably expressed.

ClogP値は、Daylight Chemical Information System, Inc.から入手できるプログラム“CLOGP”で計算された値である。このプログラムは、Hansch, Leoのフラグメントアプローチ(下記文献参照)により算出される“計算logP”の値を提供する。フラグメントアプローチは化合物の化学構造に基づいており、化学構造を部分構造(フラグメント)に分割し、そのフラグメントに対して割り当てられたlogP寄与分を合計することにより化合物のlogP値を推算している。その詳細は以下の文献に記載されている。本明細書では、プログラムCLOGP v4.82により計算したClogP値を用いる。
A. J. Leo, Comprehensive Medicinal Chemistry, Vol.4, C. Hansch, P. G. Sammnens, J. B. Taylor and C. A. Ramsden, Eds., p.295, Pergamon Press, 1990 C. Hansch & A. J. Leo. SUbstituent Constants For Correlation Analysis in Chemistry and Biology. John Wiley & Sons. A.J. Leo. Calculating logPoct from structure. Chem. Rev., 93, 1281-1306, 1993.
The ClogP value is determined by Daylight Chemical Information System, Inc. It is a value calculated by the program "CLOGP" available from. This program provides the value of "calculated logP" calculated by Hansch, Leo's fragment approach (see below). The fragment approach is based on the chemical structure of a compound, which estimates the logP value of the compound by dividing the chemical structure into substructures (fragments) and summing up the logP contributions assigned to the fragments. The details are described in the following documents. In the present specification, the ClogP value calculated by the program CLOGP v4.82 is used.
A. J. Leo, Comprehensive Medicinal Chemistry, Vol. 4, C. Hansch, P.M. G. Sammnens, J. Mol. B. Taylor and C. A. Ramsden, Eds. , P. 295, Pergamon Press, 1990 C.I. Hansch & A. J. Leo. Substituent Constituents For Correlation Analysis in Chemistry and Biology. John Wiley & Sons. A. J. Leo. Calculating logPoct from structure. Chem. Rev. , 93, 1281-1306, 1993.

logPは、分配係数P(Partition Coefficient)の常用対数を意味し、ある有機化合物が油(一般的には1-オクタノール)と水の2相系の平衡でどのように分配されるかを定量的な数値として表す物性値であり、以下の式で示される。
logP=log(Coil/Cwater)
式中、Coilは油相中の化合物のモル濃度を、Cwaterは水相中の化合物のモル濃度を表す。
logPの値が0をはさんでプラスに大きくなると油溶性が増し、マイナスで絶対値が大きくなると水溶性が増すことを意味し、有機化合物の水溶性と負の相関があり、有機化合物の親疎水性を見積るパラメータとして広く利用されている。
logP means the common logarithm of the partition coefficient P (Partition Cofficient), and quantitatively describes how an organic compound is distributed in the equilibrium of a two-phase system of oil (generally 1-octanol) and water. It is a physical property value expressed as a numerical value, and is expressed by the following formula.
logP = log (Coil / Water)
In the formula, Coil represents the molar concentration of the compound in the oil phase, and Water represents the molar concentration of the compound in the aqueous phase.
When the logP value increases positively across 0, it means that oil solubility increases, and when it becomes negative and the absolute value increases, it means that water solubility increases, and there is a negative correlation with the water solubility of organic compounds, and the intimacy of organic compounds. It is widely used as a parameter for estimating water content.

高分子化合物は、疎水性構造単位として、下記式(i)~(iii)で表される単量体に由来の構造単位から選択された1種以上の構造単位を含有することが好ましい。 The polymer compound preferably contains, as the hydrophobic structural unit, one or more structural units selected from the structural units derived from the monomers represented by the following formulas (i) to (iii).

Figure 0007083887000012
Figure 0007083887000012

上記式(i)~(iii)中、R、R、及び、Rは、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、及び、臭素原子等)、又は、炭素数が1~6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、及び、プロピル基等)を表す。
、R、及び、Rは、水素原子又は炭素数が1~3のアルキル基であることが好ましく、水素原子又はメチル基であることがより好ましい。R及びRは、水素原子であることが更に好ましい。
Xは、酸素原子(-O-)又はイミノ基(-NH-)を表し、酸素原子であることが好ましい。
In the above formulas (i) to (iii), R 1 , R 2 and R 3 are independently hydrogen atoms, halogen atoms (for example, fluorine atom, chlorine atom, bromine atom, etc.) or bromine atom, respectively. Represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms (for example, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, etc.).
R 1 , R 2 and R 3 are preferably hydrogen atoms or alkyl groups having 1 to 3 carbon atoms, and more preferably hydrogen atoms or methyl groups. It is more preferable that R 2 and R 3 are hydrogen atoms.
X represents an oxygen atom (-O-) or an imino group (-NH-), and is preferably an oxygen atom.

Lは、単結合又は2価の連結基である。2価の連結基としては、2価の脂肪族基(例えば、アルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、置換アルキニレン基)、2価の芳香族基(例えば、アリーレン基、置換アリーレン基)、2価の複素環基、酸素原子(-O-)、硫黄原子(-S-)、イミノ基(-NH-)、置換イミノ基(-NR31-、ここでR31は脂肪族基、芳香族基又は複素環基)、カルボニル基(-CO-)、及び、これらの組み合わせ等が挙げられる。L is a single bond or divalent linking group. The divalent linking group includes a divalent aliphatic group (for example, an alkylene group, a substituted alkylene group, an alkenylene group, a substituted alkenylene group, an alkynylene group, a substituted alkynylene group) and a divalent aromatic group (for example, an arylene group). , Substituent arylene group), divalent heterocyclic group, oxygen atom (-O-), sulfur atom (-S-), imino group (-NH-), substituted imino group (-NR 31- , where R 31 Examples include an aliphatic group, an aromatic group or a heterocyclic group), a carbonyl group (-CO-), and a combination thereof.

2価の脂肪族基は、環状構造又は分岐構造を有していてもよい。脂肪族基の炭素数は、1~20が好ましく、1~15がより好ましく、1~10が更に好ましい。脂肪族基は不飽和脂肪族基であっても飽和脂肪族基であってもよいが、飽和脂肪族基であることが好ましい。また、脂肪族基は、置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、芳香族基、及び、複素環基等が挙げられる。 The divalent aliphatic group may have a cyclic structure or a branched structure. The number of carbon atoms of the aliphatic group is preferably 1 to 20, more preferably 1 to 15, and even more preferably 1 to 10. The aliphatic group may be an unsaturated aliphatic group or a saturated aliphatic group, but a saturated aliphatic group is preferable. Further, the aliphatic group may have a substituent. Examples of the substituent include a halogen atom, an aromatic group, a heterocyclic group and the like.

2価の芳香族基の炭素数は、6~20が好ましく、6~15がより好ましく、6~10が更に好ましい。また、芳香族基は置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、脂肪族基、芳香族基、及び、複素環基等が挙げられる。 The number of carbon atoms of the divalent aromatic group is preferably 6 to 20, more preferably 6 to 15, and even more preferably 6 to 10. Further, the aromatic group may have a substituent. Examples of the substituent include a halogen atom, an aliphatic group, an aromatic group, a heterocyclic group and the like.

2価の複素環基は、複素環として5員環又は6員環を含有することが好ましい。複素環に他の複素環、脂肪族環、又は、芳香族環が縮合していてもよい。また、複素環基は置換基を有していてもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、水酸基、オキソ基(=O)、チオキソ基(=S)、イミノ基(=NH)、置換イミノ基(=N-R32、ここでR32は脂肪族基、芳香族基、又は、複素環基)、脂肪族基、芳香族基、及び、複素環基が挙げられる。The divalent heterocyclic group preferably contains a 5-membered ring or a 6-membered ring as the heterocycle. Another heterocycle, an aliphatic ring, or an aromatic ring may be condensed with the heterocycle. Further, the heterocyclic group may have a substituent. Examples of substituents are halogen atom, hydroxyl group, oxo group (= O), thioxo group (= S), imino group (= NH), substituted imino group (= N-R 32 , where R 32 is an aliphatic group. Groups, aromatic groups, or heterocyclic groups), aliphatic groups, aromatic groups, and heterocyclic groups can be mentioned.

Lは、単結合、アルキレン基又はオキシアルキレン構造を含有する2価の連結基であることが好ましい。オキシアルキレン構造は、オキシエチレン構造又はオキシプロピレン構造であることがより好ましい。また、Lは、オキシアルキレン構造を2以上繰り返して含有するポリオキシアルキレン構造を含有していてもよい。ポリオキシアルキレン構造としては、ポリオキシエチレン構造又はポリオキシプロピレン構造が好ましい。ポリオキシエチレン構造は、-(OCHCH)n-で表され、nは、2以上の整数が好ましく、2~10の整数であることがより好ましい。L is preferably a divalent linking group containing a single bond, an alkylene group or an oxyalkylene structure. The oxyalkylene structure is more preferably an oxyethylene structure or an oxypropylene structure. Further, L may contain a polyoxyalkylene structure containing two or more repeated oxyalkylene structures. As the polyoxyalkylene structure, a polyoxyethylene structure or a polyoxypropylene structure is preferable. The polyoxyethylene structure is represented by − (OCH 2 CH 2 ) n—, where n is preferably an integer of 2 or more, and more preferably an integer of 2 to 10.

Zとしては、脂肪族基(例えば、アルキル基、置換アルキル基、不飽和アルキル基、及び、置換不飽和アルキル基等)、芳香族基(例えば、アリール基、置換アリール基、アリーレン基、及び、置換アリーレン基等)、複素環基、又は、これらの組み合わせが挙げられる。これらの基には、酸素原子(-O-)、硫黄原子(-S-)、イミノ基(-NH-)、置換イミノ基(-NR31-、ここでR31は脂肪族基、芳香族基又は複素環基)、又は、カルボニル基(-CO-)が含まれていてもよい。Z includes an aliphatic group (for example, an alkyl group, a substituted alkyl group, an unsaturated alkyl group, a substituted unsaturated alkyl group, etc.), an aromatic group (for example, an aryl group, a substituted aryl group, an arylene group, and the like). Substituted arylene groups, etc.), heterocyclic groups, or combinations thereof can be mentioned. These groups include an oxygen atom (-O-), a sulfur atom (-S-), an imino group (-NH-), a substituted imino group (-NR 31-, where R 31 is an aliphatic group and an aromatic group. A group or a heterocyclic group) or a carbonyl group (-CO-) may be contained.

脂肪族基は、環状構造又は分岐構造を有していてもよい。脂肪族基の炭素数は、1~20が好ましく、1~15がより好ましく、1~10が更に好ましい。脂肪族基には、更に環集合炭化水素基、架橋環式炭化水素基が含まれ、環集合炭化水素基の例としては、ビシクロヘキシル基、パーヒドロナフタレニル基、ビフェニル基、及び、4-シクロヘキシルフェニル基等が含まれる。架橋環式炭化水素環として、例えば、ピナン、ボルナン、ノルピナン、ノルボルナン、ビシクロオクタン環(ビシクロ[2.2.2]オクタン環、及び、ビシクロ[3.2.1]オクタン環等)等の2環式炭化水素環、ホモブレダン、アダマンタン、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン、及び、トリシクロ[4.3.1.12,5]ウンデカン環等の3環式炭化水素環、並びに、テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]ドデカン、及び、パーヒドロ-1,4-メタノ-5,8-メタノナフタレン環等の4環式炭化水素環等が挙げられる。また、架橋環式炭化水素環には、縮合環式炭化水素環、例えば、パーヒドロナフタレン(デカリン)、パーヒドロアントラセン、パーヒドロフェナントレン、パーヒドロアセナフテン、パーヒドロフルオレン、パーヒドロインデン、及び、パーヒドロフェナレン環等の5~8員シクロアルカン環が複数個縮合した縮合環も含まれる。
脂肪族基は不飽和脂肪族基よりも飽和脂肪族基の方が好ましい。また、脂肪族基は、置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、芳香族基及び複素環基が挙げられる。ただし、脂肪族基は、置換基として酸基を有さない。
The aliphatic group may have a cyclic structure or a branched structure. The number of carbon atoms of the aliphatic group is preferably 1 to 20, more preferably 1 to 15, and even more preferably 1 to 10. The aliphatic group further includes a ring-assembled hydrocarbon group and a crosslinked cyclic hydrocarbon group, and examples of the ring-assembled hydrocarbon group include a bicyclohexyl group, a perhydronaphthalenyl group, a biphenyl group, and 4 -Contains a cyclohexyl phenyl group and the like. As the crosslinked cyclic hydrocarbon ring, for example, pinan, bornan, norbornane, norbornane, bicyclooctane ring (bicyclo [2.2.2] octane ring, bicyclo [3.2.1] octane ring, etc.) and the like 2 Cyclic hydrocarbon rings such as homobredane, adamantane, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane, and tricyclo [4.3.1.1 2,5 ] undecane ring. , And tetracyclo [4.4.0.1 2,5 . 17 and 10 ] Dodecane and 4-cyclic hydrocarbon rings such as perhydro-1,4-methano-5,8-methanonaphthalene rings can be mentioned. In addition, the crosslinked cyclic hydrocarbon ring includes fused cyclic hydrocarbon rings such as perhydronaphthalene (decalin), perhydroanthracene, perhydrophenanthrene, perhydroacenaften, perhydrofluorene, perhydroindene, and the like. A fused ring in which a plurality of 5- to 8-membered cycloalkane rings such as a perhydrophenanthrene ring are condensed is also included.
As the aliphatic group, a saturated aliphatic group is preferable to an unsaturated aliphatic group. Further, the aliphatic group may have a substituent. Examples of substituents include halogen atoms, aromatic groups and heterocyclic groups. However, the aliphatic group does not have an acid group as a substituent.

芳香族基の炭素数は、6~20が好ましく、6~15がより好ましく、6~10が更に好ましい。また、芳香族基は置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、脂肪族基、芳香族基及び複素環基が挙げられる。ただし、芳香族基は、置換基として酸基を有さない。 The number of carbon atoms of the aromatic group is preferably 6 to 20, more preferably 6 to 15, and even more preferably 6 to 10. Further, the aromatic group may have a substituent. Examples of substituents include halogen atoms, aliphatic groups, aromatic groups and heterocyclic groups. However, the aromatic group does not have an acid group as a substituent.

複素環基は、複素環として5員環又は6員環を含有することが好ましい。複素環に他の複素環、脂肪族環又は芳香族環が縮合していてもよい。また、複素環基は置換基を有していてもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、水酸基、オキソ基(=O)、チオキソ基(=S)、イミノ基(=NH)、置換イミノ基(=N-R32、ここでR32は脂肪族基、芳香族基又は複素環基)、脂肪族基、芳香族基、及び、複素環基が挙げられる。ただし、複素環基は、置換基として酸基を有さない。The heterocyclic group preferably contains a 5-membered ring or a 6-membered ring as the heterocycle. Another heterocycle, an aliphatic ring or an aromatic ring may be condensed with the heterocycle. Further, the heterocyclic group may have a substituent. Examples of substituents are halogen atom, hydroxyl group, oxo group (= O), thioxo group (= S), imino group (= NH), substituted imino group (= N-R 32 , where R 32 is an aliphatic group. Groups, aromatic groups or heterocyclic groups), aliphatic groups, aromatic groups, and heterocyclic groups can be mentioned. However, the heterocyclic group does not have an acid group as a substituent.

上記式(iii)中、R、R、及びRは、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、及び、臭素原子等)、炭素数が1~6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、及び、プロピル基等)、Z、又は、L-Zを表す。ここでL及びZは、上記におけるものと同義である。R、R、及び、Rとしては、水素原子、又は、炭素数が1~3のアルキル基が好ましく、水素原子がより好ましい。In the above formula (iii), R 4 , R 5 , and R 6 each independently have a hydrogen atom, a halogen atom (for example, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, etc.), and a carbon number of 1 to 6. Represents an alkyl group (eg, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, etc.), Z, or LZ. Here, L and Z are synonymous with those in the above. As R4 , R5, and R6, a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms is preferable, and a hydrogen atom is more preferable.

上記式(i)で表される単量体として、R、R、及び、Rが水素原子、又は、メチル基であって、Lが単結合又はアルキレン基若しくはオキシアルキレン構造を含有する2価の連結基であって、Xが酸素原子又はイミノ基であって、Zが脂肪族基、複素環基、又は、芳香族基である化合物が好ましい。
また、上記式(ii)で表される単量体として、Rが水素原子又はメチル基であって、Lがアルキレン基であって、Zが脂肪族基、複素環基、又は、芳香族基である化合物が好ましい。また、上記式(iii)で表される単量体として、R、R、及び、Rが水素原子又はメチル基であって、Zが脂肪族基、複素環基、又は、芳香族基である化合物が好ましい。
As the monomer represented by the above formula (i), R 1 , R 2 and R 3 are hydrogen atoms or methyl groups, and L contains a single bond or an alkylene group or an oxyalkylene structure. A compound having a divalent linking group in which X is an oxygen atom or an imino group and Z is an aliphatic group, a heterocyclic group or an aromatic group is preferable.
Further, as the monomer represented by the above formula (ii), R 1 is a hydrogen atom or a methyl group, L is an alkylene group, and Z is an aliphatic group, a heterocyclic group, or an aromatic group. The base compound is preferred. Further, as the monomer represented by the above formula (iii), R 4 , R 5 and R 6 are hydrogen atoms or methyl groups, and Z is an aliphatic group, a heterocyclic group or an aromatic group. The base compound is preferred.

式(i)~(iii)で表される代表的な化合物の例としては、アクリル酸エステル類、メタクリル酸エステル類、及び、スチレン類等から選ばれるラジカル重合性化合物が挙げられる。
なお、式(i)~(iii)で表される代表的な化合物の例としては、特開2013-249417号公報の段落0089~0093に記載の化合物を参照でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
Examples of typical compounds represented by the formulas (i) to (iii) include radically polymerizable compounds selected from acrylic acid esters, methacrylic acid esters, styrenes and the like.
As examples of the representative compounds represented by the formulas (i) to (iii), the compounds described in paragraphs 0008 to 093 of JP2013-249417A can be referred to, and the contents thereof are described in the present specification. Will be incorporated into.

高分子化合物において、疎水性構造単位は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対し10~90%の範囲で含まれることが好ましく、20~80%の範囲で含まれることがより好ましい。含有量が上記範囲において十分なパターン形成が得られる。 In the polymer compound, the hydrophobic structural unit is preferably contained in the range of 10 to 90%, more preferably 20 to 80%, based on the total mass of the polymer compound in terms of mass. Sufficient pattern formation can be obtained when the content is in the above range.

・顔料等と相互作用を形成しうる官能基
高分子化合物は、顔料等と相互作用を形成しうる官能基を導入できる。ここで、高分子化合物は、顔料等と相互作用を形成しうる官能基を含有する構造単位を更に含有することが好ましい。
この顔料等と相互作用を形成しうる官能基としては、例えば、酸基、塩基性基、配位性基、及び、反応性を有する官能基等が挙げられる。
高分子化合物が、酸基、塩基性基、配位性基、又は、反応性を有する官能基を含有する場合、それぞれ、酸基を含有する構造単位、塩基性基を含有する構造単位、配位性基を含有する構造単位、又は、反応性を有する構造単位を含有することが好ましい。
特に、高分子化合物が、更に、酸基として、カルボン酸基等のアルカリ可溶性基を含有することで、高分子化合物に、アルカリ現像によるパターン形成のための現像性を付与できる。
すなわち、高分子化合物にアルカリ可溶性基を導入することで、上記組成物は、顔料等の分散に寄与する樹脂Bとしての高分子化合物がアルカリ可溶性を有することになる。このような高分子化合物を含有する硬化性組成物は、露光部の遮光性に優れたものとなり、かつ、未露光部のアルカリ現像性が向上される。
また、高分子化合物が酸基を含有する構造単位を含有することにより、高分子化合物が溶剤となじみやすくなり、塗布性も向上する傾向となる。
これは、酸基を含有する構造単位における酸基が顔料等と相互作用しやすく、高分子化合物が顔料等を安定的に分散すると共に、顔料等を分散する高分子化合物の粘度が低くなっており、高分子化合物自体も安定的に分散されやすいためであると推測される。
-Functional groups capable of forming an interaction with a pigment or the like A polymer compound can introduce a functional group capable of forming an interaction with a pigment or the like. Here, it is preferable that the polymer compound further contains a structural unit containing a functional group capable of forming an interaction with a pigment or the like.
Examples of the functional group capable of forming an interaction with the pigment or the like include an acid group, a basic group, a coordinating group, and a reactive functional group.
When the polymer compound contains an acid group, a basic group, a coordinating group, or a functional group having reactivity, a structural unit containing an acid group, a structural unit containing a basic group, and a arrangement, respectively. It is preferable to contain a structural unit containing a positional group or a reactive structural unit.
In particular, when the polymer compound further contains an alkali-soluble group such as a carboxylic acid group as an acid group, the polymer compound can be imparted with developability for pattern formation by alkaline development.
That is, by introducing an alkali-soluble group into the polymer compound, in the above composition, the polymer compound as the resin B that contributes to the dispersion of the pigment or the like has alkali solubility. The curable composition containing such a polymer compound has excellent light-shielding properties in the exposed portion, and the alkali developability of the unexposed portion is improved.
Further, when the polymer compound contains a structural unit containing an acid group, the polymer compound becomes more compatible with the solvent and the coatability tends to be improved.
This is because the acid group in the structural unit containing the acid group easily interacts with the pigment or the like, the polymer compound stably disperses the pigment or the like, and the viscosity of the polymer compound in which the pigment or the like is dispersed becomes low. It is presumed that this is because the polymer compound itself is likely to be stably dispersed.

ただし、酸基としてのアルカリ可溶性基を含有する構造単位は、上記のグラフト鎖を含有する構造単位と同一の構造単位であっても、異なる構造単位であってもよいが、酸基としてのアルカリ可溶性基を含有する構造単位は、上記の疎水性構造単位とは異なる構造単位である(すなわち、上記の疎水性構造単位には相当しない)。 However, the structural unit containing the alkali-soluble group as the acid group may be the same structural unit as the structural unit containing the graft chain described above or may be a different structural unit, but the alkali as the acid group. The structural unit containing a soluble group is a structural unit different from the above-mentioned hydrophobic structural unit (that is, does not correspond to the above-mentioned hydrophobic structural unit).

顔料等と相互作用を形成しうる官能基である酸基としては、例えば、カルボン酸基、スルホン酸基、リン酸基、又は、フェノール性水酸基等があり、カルボン酸基、スルホン酸基、及び、リン酸基のうち少なくとも1種であることが好ましく、カルボン酸基が更に好ましい。カルボン酸基は、顔料等への吸着力が良好で、かつ、分散性が高い。
すなわち、高分子化合物は、カルボン酸基、スルホン酸基、及び、リン酸基のうち少なくとも1種を含有する構造単位を更に含有することが好ましい。
Examples of the acid group which is a functional group capable of forming an interaction with a pigment or the like include a carboxylic acid group, a sulfonic acid group, a phosphoric acid group, a phenolic hydroxyl group and the like, and a carboxylic acid group, a sulfonic acid group, and a sulfonic acid group. , At least one of the phosphate groups is preferable, and a carboxylic acid group is more preferable. The carboxylic acid group has good adsorption power to pigments and the like, and has high dispersibility.
That is, it is preferable that the polymer compound further contains a structural unit containing at least one of a carboxylic acid group, a sulfonic acid group, and a phosphoric acid group.

高分子化合物は、酸基を含有する構造単位を1種又は2種以上有してもよい。
高分子化合物は、酸基を含有する構造単位を含有してもしなくてもよいが、含有する場合、酸基を含有する構造単位の含有量は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対して、5~80質量%であることが好ましく、アルカリ現像による画像強度のダメージ抑制という観点から、10~60質量%がより好ましい。
The polymer compound may have one or more structural units containing an acid group.
The polymer compound may or may not contain a structural unit containing an acid group, but when it is contained, the content of the structural unit containing an acid group is the total mass of the polymer compound in terms of mass. On the other hand, it is preferably 5 to 80% by mass, and more preferably 10 to 60% by mass from the viewpoint of suppressing damage to the image intensity due to alkaline development.

顔料等と相互作用を形成しうる官能基である塩基性基としては、例えば、第1級アミノ基、第2級アミノ基、第3級アミノ基、N原子を含有するヘテロ環、及び、アミド基等があり、好ましい塩基性基は、顔料等への吸着力が良好で、かつ、分散性が高い点で、第3級アミノ基である。高分子化合物は、これらの塩基性基を1種又は2種以上、含有できる。
高分子化合物は、塩基性基を含有する構造単位を含有してもしなくてもよいが、含有する場合、塩基性基を含有する構造単位の含有量は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対して、0.01~50質量%が好ましく、現像性阻害抑制という観点から、0.01~30質量%がより好ましい。
Examples of the basic group which is a functional group capable of forming an interaction with a pigment or the like include a primary amino group, a secondary amino group, a tertiary amino group, a heterocycle containing an N atom, and an amide. A preferred basic group having a group or the like is a tertiary amino group in that it has a good adsorptivity to a pigment or the like and has a high dispersibility. The polymer compound can contain one or more of these basic groups.
The polymer compound may or may not contain a structural unit containing a basic group, but when it is contained, the content of the structural unit containing a basic group is the total amount of the polymer compound in terms of mass. 0.01 to 50% by mass is preferable with respect to the mass, and 0.01 to 30% by mass is more preferable from the viewpoint of suppressing developmental inhibition.

顔料等と相互作用を形成しうる官能基である配位性基、及び反応性を有する官能基としては、例えば、アセチルアセトキシ基、トリアルコキシシリル基、イソシアネート基、酸無水物、及び、酸塩化物等が挙げられる。好ましい官能基は、顔料等への吸着力が良好で、顔料等の分散性が高い点で、アセチルアセトキシ基である。高分子化合物は、これらの基を1種又は2種以上有してもよい。
高分子化合物は、配位性基を含有する構造単位、又は、反応性を有する官能基を含有する構造単位を含有してもしなくてもよいが、含有する場合、これらの構造単位の含有量は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対して、10~80質量%が好ましく、現像性阻害抑制という観点から、20~60質量%がより好ましい。
Coordinating groups that are functional groups that can interact with pigments and the like, and reactive functional groups include, for example, acetylacetoxy groups, trialkoxysilyl groups, isocyanate groups, acid anhydrides, and acidified groups. Things etc. can be mentioned. A preferable functional group is an acetylacetoxy group in that it has a good adsorptivity to a pigment or the like and has a high dispersibility of the pigment or the like. The polymer compound may have one or more of these groups.
The polymer compound may or may not contain a structural unit containing a coordinating group or a structural unit containing a reactive functional group, but if it is contained, the content of these structural units is contained. Is preferably 10 to 80% by mass, more preferably 20 to 60% by mass, from the viewpoint of suppressing developmental inhibition.

上記高分子化合物が、グラフト鎖以外に、顔料等と相互作用を形成しうる官能基を含有する場合、上記の各種の顔料等と相互作用を形成しうる官能基を含有していればよく、これらの官能基がどのように導入されているかは特に限定はされないが、高分子化合物は、下記式(iv)~(vi)で表される単量体に由来の構造単位から選択された1種以上の構造単位を含有することが好ましい。 When the polymer compound contains a functional group capable of forming an interaction with a pigment or the like in addition to the graft chain, it may contain a functional group capable of forming an interaction with the various pigments or the like described above. How these functional groups are introduced is not particularly limited, but the polymer compound is selected from the structural units derived from the monomers represented by the following formulas (iv) to (vi). It preferably contains more than a species of structural unit.

Figure 0007083887000013
Figure 0007083887000013

式(iv)~(vi)中、R11、R12、及びR13は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、及び、臭素原子等)、又は炭素数が1~6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、及び、プロピル基等)を表す。
式(iv)~(vi)中、R11、R12、及びR13は、それぞれ独立に水素原子、又は炭素数が1~3のアルキル基であることが好ましく、それぞれ独立に水素原子又はメチル基であることがより好ましい。一般式(iv)中、R12及びR13は、それぞれ水素原子であることが更に好ましい。
In formulas (iv) to (vi), R 11 , R 12 , and R 13 each independently have a hydrogen atom, a halogen atom (for example, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, etc.), or a carbon number of carbon atoms. Represents 1 to 6 alkyl groups (eg, methyl group, ethyl group, propyl group, etc.).
In formulas (iv) to (vi), R 11 , R 12 , and R 13 are preferably hydrogen atoms independently or alkyl groups having 1 to 3 carbon atoms, respectively, and are independently hydrogen atoms or methyl. It is more preferable that it is a group. In the general formula (iv), it is more preferable that R 12 and R 13 are hydrogen atoms, respectively.

式(iv)中のXは、酸素原子(-O-)又はイミノ基(-NH-)を表し、酸素原子であることが好ましい。
また、式(v)中のYは、メチン基又は窒素原子を表す。
X 1 in the formula (iv) represents an oxygen atom (-O-) or an imino group (-NH-), and is preferably an oxygen atom.
Further, Y in the formula (v) represents a methine group or a nitrogen atom.

また、式(iv)~(v)中のLは、単結合又は2価の連結基を表す。2価の連結基の定義は、上述した式(i)中のLで表される2価の連結基の定義と同じである。Further, L 1 in the formulas (iv) to (v) represents a single bond or a divalent linking group. The definition of the divalent linking group is the same as the definition of the divalent linking group represented by L in the above-mentioned formula (i).

は、単結合、アルキレン基又はオキシアルキレン構造を含有する2価の連結基であることが好ましい。オキシアルキレン構造は、オキシエチレン構造又はオキシプロピレン構造であることがより好ましい。また、Lは、オキシアルキレン構造を2以上繰り返して含有するポリオキシアルキレン構造を含有していてもよい。ポリオキシアルキレン構造としては、ポリオキシエチレン構造又はポリオキシプロピレン構造が好ましい。ポリオキシエチレン構造は、-(OCHCH-で表され、nは、2以上の整数が好ましく、2~10の整数であることがより好ましい。L 1 is preferably a divalent linking group containing a single bond, an alkylene group or an oxyalkylene structure. The oxyalkylene structure is more preferably an oxyethylene structure or an oxypropylene structure. Further, L 1 may contain a polyoxyalkylene structure containing two or more repeated oxyalkylene structures. As the polyoxyalkylene structure, a polyoxyethylene structure or a polyoxypropylene structure is preferable. The polyoxyethylene structure is represented by − (OCH 2 CH 2 ) n −, and n is preferably an integer of 2 or more, and more preferably an integer of 2 to 10.

式(iv)~(vi)中、Zは、グラフト鎖以外に顔料等と相互作用を形成しうる官能基を表し、カルボン酸基、及び、第3級アミノ基であることが好ましく、カルボン酸基であることがより好ましい。In the formulas (iv) to (vi), Z 1 represents a functional group capable of forming an interaction with a pigment or the like other than the graft chain, and is preferably a carboxylic acid group and a tertiary amino group, preferably a carboxylic group. It is more preferably an acid group.

式(vi)中、R14、R15、及びR16は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、及び、臭素原子等)、炭素数が1~6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、及び、プロピル基等)、-Z、又は-L-Zを表す。ここでL及びZは、上記におけるL及びZと同義であり、好ましい例も同様である。R14、R15、及び、R16としては、それぞれ独立に水素原子、又は炭素数が1~3のアルキル基が好ましく、水素原子がより好ましい。In formula (vi), R 14 , R 15 , and R 16 are independently hydrogen atoms, halogen atoms (for example, fluorine atoms, chlorine atoms, and bromine atoms, etc.), and alkyl having 1 to 6 carbon atoms. Represents a group (eg, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, etc.), -Z 1 , or -L 1 -Z 1 . Here, L 1 and Z 1 have the same meaning as L 1 and Z 1 in the above, and the same applies to preferred examples. As R 14 , R 15 and R 16 , respectively, a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms is preferable, and a hydrogen atom is more preferable.

式(iv)で表される単量体として、R11、R12、及びR13がそれぞれ独立に水素原子又はメチル基であって、Lがアルキレン基又はオキシアルキレン構造を含有する2価の連結基であって、Xが酸素原子又はイミノ基であって、Zがカルボン酸基である化合物が好ましい。
また、式(v)で表される単量体として、R11が水素原子又はメチル基であって、Lがアルキレン基であって、Zがカルボン酸基であって、Yがメチン基である化合物が好ましい。
更に、式(vi)で表される単量体として、R14、R15、及びR16がそれぞれ独立に水素原子又はメチル基であって、Lが単結合又はアルキレン基であって、Zがカルボン酸基である化合物が好ましい。
As the monomer represented by the formula (iv), R 11 , R 12 and R 13 are each independently a hydrogen atom or a methyl group, and L 1 is a divalent group containing an alkylene group or an oxyalkylene structure. A compound which is a linking group, in which X 1 is an oxygen atom or an imino group and Z 1 is a carboxylic acid group is preferable.
Further, as the monomer represented by the formula (v), R 11 is a hydrogen atom or a methyl group, L 1 is an alkylene group, Z 1 is a carboxylic acid group, and Y is a methine group. Is preferred.
Further, as the monomers represented by the formula (vi), R 14 , R 15 and R 16 are independently hydrogen atoms or methyl groups, L 1 is a single bond or an alkylene group, and Z. A compound in which 1 is a carboxylic acid group is preferable.

以下に、式(iv)~(vi)で表される単量体(化合物)の代表的な例を示す。
単量体の例としては、メタクリル酸、クロトン酸、イソクロトン酸、分子内に付加重合性二重結合及び水酸基を含有する化合物(例えば、メタクリル酸2-ヒドロキシエチル)とコハク酸無水物との反応物、分子内に付加重合性二重結合及び水酸基を含有する化合物とフタル酸無水物との反応物、分子内に付加重合性二重結合及び水酸基を含有する化合物とテトラヒドロキシフタル酸無水物との反応物、分子内に付加重合性二重結合及び水酸基を含有する化合物と無水トリメリット酸との反応物、分子内に付加重合性二重結合及び水酸基を含有する化合物とピロメリット酸無水物との反応物、アクリル酸、アクリル酸ダイマー、アクリル酸オリゴマー、マレイン酸、イタコン酸、フマル酸、4-ビニル安息香酸、ビニルフェノール、及び、4-ヒドロキシフェニルメタクリルアミド等が挙げられる。
The following are typical examples of the monomers (compounds) represented by the formulas (iv) to (vi).
Examples of monomers include methacrylic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, reactions of compounds containing add-polymerizable double bonds and hydroxyl groups in the molecule (eg, 2-hydroxyethyl methacrylate) with succinic acid anhydride. A product, a reaction product of a compound containing an addition polymerizable double bond and a hydroxyl group in the molecule and a phthalic acid anhydride, a compound containing an addition polymerizable double bond and a hydroxyl group in the molecule, and a tetrahydroxyphthalic acid anhydride. Reactive product of, a reaction product of a compound containing an addition polymerizable double bond and a hydroxyl group in the molecule and trimellitic anhydride, a compound containing an addition polymerizable double bond and a hydroxyl group in the molecule and a pyromellitic acid anhydride Examples thereof include acrylic acid, acrylic acid dimer, acrylic acid oligomer, maleic acid, itaconic acid, fumaric acid, 4-vinylbenzoic acid, vinylphenol, 4-hydroxyphenylmethacrylate and the like.

顔料等と相互作用を形成しうる官能基を含有する構造単位の含有量は、顔料等との相互作用、経時安定性、及び現像液への浸透性の観点から、高分子化合物の全質量に対して、0.05~90質量%が好ましく、1.0~80質量%がより好ましく、10~70質量%が更に好ましい。 The content of the structural unit containing a functional group capable of forming an interaction with a pigment or the like is the total mass of the polymer compound from the viewpoint of interaction with the pigment or the like, stability over time, and permeability to the developing solution. On the other hand, 0.05 to 90% by mass is preferable, 1.0 to 80% by mass is more preferable, and 10 to 70% by mass is further preferable.

・その他の構造単位
更に、高分子化合物は、画像強度等の諸性能を向上する目的で、本発明の効果を損なわない限りにおいて、グラフト鎖を含有する構造単位、疎水性構造単位、及び、顔料等と相互作用を形成しうる官能基を含有する構造単位とは異なる、種々の機能を有する他の構造単位(例えば、後述する溶剤との親和性を有する官能基等を含有する構造単位)を更に有していてもよい。
このような、他の構造単位としては、例えば、アクリロニトリル類、及び、メタクリロニトリル類等から選ばれるラジカル重合性化合物に由来の構造単位が挙げられる。
高分子化合物は、これらの他の構造単位を1種又は2種以上使用でき、その含有量は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対して、0~80質量%が好ましく、10~60質量%以下がより好ましい。含有量が上記範囲において、十分なパターン形成性が維持される。
-Other structural units Further, the polymer compound is a structural unit containing a graft chain, a hydrophobic structural unit, and a pigment for the purpose of improving various performances such as image intensity, as long as the effect of the present invention is not impaired. Other structural units having various functions (for example, structural units containing functional groups having an affinity with a solvent, which will be described later), which are different from the structural units containing functional groups capable of forming an interaction with the above. You may also have more.
Examples of such other structural units include structural units derived from radically polymerizable compounds selected from acrylonitriles, methacrylonitriles, and the like.
The polymer compound can use one or more of these other structural units, and the content thereof is preferably 0 to 80% by mass, preferably 10 to 80% by mass, based on the total mass of the polymer compound. More preferably, it is 60% by mass or less. Sufficient pattern formation is maintained when the content is in the above range.

・高分子化合物の物性
高分子化合物の酸価は、10~110mgKOH/g未満の範囲であることが好ましく、20~100mgKOH/gの範囲がより好ましく、30~70mgKOH/gの範囲が更に好ましい。
高分子化合物の酸価が110mgKOH/g以下であれば、硬化膜を形成する際の現像時におけるパターン剥離がより効果的に抑えられる。また、高分子化合物の酸価が10mgKOH/g以上であればアルカリ現像性がより良好となる。また、高分子化合物の酸価が20mgKOH/g以上であれば、顔料等の沈降をより抑制でき、粗大粒子数をより少なくでき、組成物の経時安定性をより向上できる。
-Physical characteristics of the polymer compound The acid value of the polymer compound is preferably in the range of 10 to 110 mgKOH / g, more preferably in the range of 20 to 100 mgKOH / g, and even more preferably in the range of 30 to 70 mgKOH / g.
When the acid value of the polymer compound is 110 mgKOH / g or less, pattern peeling during development when forming a cured film can be suppressed more effectively. Further, when the acid value of the polymer compound is 10 mgKOH / g or more, the alkali developability becomes better. Further, when the acid value of the polymer compound is 20 mgKOH / g or more, precipitation of pigments and the like can be further suppressed, the number of coarse particles can be further reduced, and the stability of the composition over time can be further improved.

本明細書において酸価は、例えば、化合物中における酸基の平均含有量から算出できる。また、樹脂の構成成分である酸基を含有する構造単位の含有量を変化させることで所望の酸価を有する樹脂を得ることができる。 In the present specification, the acid value can be calculated, for example, from the average content of acid groups in the compound. Further, a resin having a desired acid value can be obtained by changing the content of the structural unit containing an acid group which is a constituent component of the resin.

高分子化合物の重量平均分子量は、7000超300,000以下であることが好ましく、8000~200,000であることがより好ましく、9000~100,000であることが更に好ましく、10,000~50,000であることが特に好ましい。
高分子化合物は、公知の方法に基づいて合成できる。
The weight average molecular weight of the polymer compound is preferably more than 7,000 and 300,000 or less, more preferably 8,000 to 200,000, still more preferably 9000 to 100,000, and 10,000 to 50. It is particularly preferable to be 000.
The polymer compound can be synthesized based on a known method.

高分子化合物の例としては、樹脂Aに該当しない、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、及び、ポリエチレングリコールジステアレートも使用できる。
高分子化合物の具体的な市販品としては、例えば、日本ルーブリゾール製「ソルスパース12000」が挙げられる。
Examples of the polymer compound include polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene octylphenyl ether, polyoxyethylene nonylphenyl ether, and polyethylene glycol dilaurate, which do not correspond to resin A. And polyethylene glycol distearate can also be used.
Specific commercial products of the polymer compound include, for example, "Solsperse 12000" manufactured by Japan Lubrizol.

また、酸基及び塩基性基を含有する両性樹脂を使用することも好ましい。両性樹脂は、酸価が5mgKOH/g以上で、かつ、アミン価が5mgKOH/g以上である樹脂が好ましい。
これらの高分子化合物は、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。
It is also preferable to use an amphoteric resin containing an acid group and a basic group. The amphoteric resin is preferably a resin having an acid value of 5 mgKOH / g or more and an amine value of 5 mgKOH / g or more.
These polymer compounds may be used alone or in combination of two or more.

なお、高分子化合物の具体例の例としては、特開2013-249417号公報の段落0127~0129に記載の高分子化合物を参照でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。 As a specific example of the polymer compound, the polymer compounds described in paragraphs 0127 to 0129 of JP2013-249417A can be referred to, and the contents thereof are incorporated in the present specification.

また、樹脂Bとしては、上記の高分子化合物以外に、特開2010-106268号公報の段落0037~0115(対応するUS2011/0124824の段落0075~0133欄)のグラフト共重合体が使用でき、これらの内容は援用でき、本明細書に組み込まれる。
また、上記以外にも、特開2011-153283号公報の段落0028~0084(対応するUS2011/0279759の段落0075~0133)の酸性基が連結基を介して結合してなる側鎖構造を含有する構成成分を含有する高分子化合物が使用でき、これらの内容は援用でき、本明細書に組み込まれる。
Further, as the resin B, in addition to the above polymer compounds, the graft copolymers of paragraphs 0037 to 0115 (corresponding US 2011/0124824, paragraphs 0075 to 0133) of JP-A-2010-106268 can be used, and these can be used. The contents of are hereby incorporated into this specification.
In addition to the above, it also contains a side chain structure in which the acidic groups of paragraphs 0028 to 0084 of JP-A-2011-153283 (corresponding paragraphs 0075 to 0133 of US2011 / 0279759) are bonded via a linking group. High molecular weight compounds containing constituents can be used, the contents of which can be incorporated and incorporated herein by reference.

なお、本発明の硬化性組成は、樹脂A及び樹脂Bのいずれにも該当しない樹脂を含有していてもよい。 The curable composition of the present invention may contain a resin that does not fall under any of the resin A and the resin B.

<光重合開始剤>
上記硬化性組成物は光重合開始剤を含有する。
光重合開始剤としては、重合性化合物の重合を開始できれば特に制限されず、公知の光重合開始剤を使用できる。光重合開始剤としては、例えば、紫外線領域から可視光領域に対して感光性を有する光重合開始剤が好ましい。また、光励起された増感剤と何らかの作用を生じ、活性ラジカルを生成する活性剤であってもよく、重合性化合物の種類に応じてカチオン重合を開始させるような開始剤(ラジカル重合開始剤)であってもよい。
また、光重合開始剤は、300~800nm(330~500nmがより好ましい。)の範囲内に少なくとも50のモル吸光係数を有する化合物を、少なくとも1種含有していることが好ましい。
<Photopolymerization initiator>
The curable composition contains a photopolymerization initiator.
The photopolymerization initiator is not particularly limited as long as it can initiate the polymerization of the polymerizable compound, and a known photopolymerization initiator can be used. As the photopolymerization initiator, for example, a photopolymerization initiator having photosensitivity from an ultraviolet region to a visible light region is preferable. Further, it may be an activator that causes some action with a photoexcited sensitizer to generate an active radical, and is an initiator that initiates cationic polymerization depending on the type of the polymerizable compound (radical polymerization initiator). May be.
Further, the photopolymerization initiator preferably contains at least one compound having a molar extinction coefficient of at least 50 in the range of 300 to 800 nm (preferably 330 to 500 nm).

硬化性組成物中における光重合開始剤の含有量としては特に制限されないが、硬化性組成物の全固形分に対して、0.5~20質量%が好ましい。光重合開始剤は、1種を単独で用いても、2種以上を使用してもよい。2種以上の光重合開始剤を併用する場合には、合計含有量が上記範囲内であることが好ましい。 The content of the photopolymerization initiator in the curable composition is not particularly limited, but is preferably 0.5 to 20% by mass with respect to the total solid content of the curable composition. As the photopolymerization initiator, one type may be used alone, or two or more types may be used. When two or more kinds of photopolymerization initiators are used in combination, the total content is preferably within the above range.

光重合開始剤としては、例えば、ハロゲン化炭化水素誘導体(例えば、トリアジン骨格を含有するもの、オキサジアゾール骨格を含有するもの、等)、アシルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム誘導体等のオキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、アミノアセトフェノン化合物、及び、ヒドロキシアセトフェノン等が挙げられる。
光重合開始剤の具体例としては、例えば、特開2013-29760号公報の段落0265~0268を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
Examples of the photopolymerization initiator include halogenated hydrocarbon derivatives (for example, those containing a triazine skeleton, those containing an oxadiazole skeleton, etc.), acylphosphine compounds such as acylphosphine oxide, hexaarylbiimidazole, and the like. Examples thereof include oxime compounds such as oxime derivatives, organic peroxides, thio compounds, ketone compounds, aromatic onium salts, aminoacetophenone compounds, hydroxyacetophenone and the like.
As a specific example of the photopolymerization initiator, for example, paragraphs 0265 to 0268 of JP2013-29760A can be referred to, and the contents thereof are incorporated in the present specification.

光重合開始剤としては、より具体的には、例えば、特開平10-291969号公報に記載のアミノアセトフェノン系開始剤、及び特許第4225898号公報に記載のアシルホスフィン系開始剤も使用できる。
ヒドロキシアセトフェノン化合物としては、例えば、IRGACURE-184、DAROCUR-1173、IRGACURE-500、IRGACURE-2959、及び、IRGACURE-127(商品名、いずれもBASF社製)を使用できる。
アミノアセトフェノン化合物としては、例えば、市販品であるIRGACURE-907、IRGACURE-369、又は、IRGACURE-379EG(商品名、いずれもBASF社製)を使用できる。アミノアセトフェノン化合物としては、波長365nm又は波長405nm等の長波光源に吸収波長がマッチングされた特開2009-191179公報に記載の化合物も使用できる。
アシルホスフィン化合物としては、市販品であるIRGACURE-819、又は、IRGACURE-TPO(商品名、いずれもBASF社製)を使用できる。
More specifically, as the photopolymerization initiator, for example, the aminoacetophenone-based initiator described in JP-A No. 10-291969 and the acylphosphine-based initiator described in Japanese Patent No. 4225898 can also be used.
As the hydroxyacetophenone compound, for example, IRGACURE-184, DAROCUR-1173, IRGACURE-500, IRGACURE-2959, and IRGACURE-127 (trade names, all manufactured by BASF) can be used.
As the aminoacetophenone compound, for example, commercially available IRGACURE-907, IRGACURE-369, or IRGACURE-379EG (trade name, all manufactured by BASF) can be used. As the aminoacetophenone compound, the compound described in JP-A-2009-191179, in which the absorption wavelength is matched with a long wave light source having a wavelength of 365 nm or a wavelength of 405 nm, can also be used.
As the acylphosphine compound, commercially available IRGACURE-819 or IRGACURE-TPO (trade name, both manufactured by BASF) can be used.

・オキシム化合物
光重合開始剤として、オキシムエステル系重合開始剤(オキシム化合物)がより好ましい。
オキシム化合物の具体例としては、特開2001-233842号公報記載の化合物、特開2000-80068号公報記載の化合物、又は、特開2006-342166号公報記載の化合物を使用できる。
オキシム化合物としては、例えば、3-ベンゾイロキシイミノブタン-2-オン、3-アセトキシイミノブタン-2-オン、3-プロピオニルオキシイミノブタン-2-オン、2-アセトキシイミノペンタン-3-オン、2-アセトキシイミノ-1-フェニルプロパン-1-オン、2-ベンゾイロキシイミノ-1-フェニルプロパン-1-オン、3-(4-トルエンスルホニルオキシ)イミノブタン-2-オン、及び、2-エトキシカルボニルオキシイミノ-1-フェニルプロパン-1-オン等が挙げられる。
また、J.C.S.Perkin II(1979年)pp.1653-1660)、J.C.S.Perkin II(1979年)pp.156-162、Journal of Photopolymer Science and Technology(1995年)pp.202-232、特開2000-66385号公報記載の化合物、特開2000-80068号公報、特表2004-534797号公報、及び、特開2006-342166号公報の各公報に記載の化合物等も挙げられる。
市販品ではIRGACURE-OXE01(BASF社製)、IRGACURE-OXE02(BASF社製)、IRGACURE-OXE03(BASF社製)、又は、IRGACURE-OXE04(BASF社製)も好ましい。また、TR-PBG-304(常州強力電子新材料有限公司製)、アデカアークルズNCI-831、アデカアークルズNCI-930(ADEKA社製)、又は、N-1919(カルバゾール・オキシムエステル骨格含有光開始剤(ADEKA社製)も使用できる。
-Oxime compound As the photopolymerization initiator, an oxime ester-based polymerization initiator (oxime compound) is more preferable.
As specific examples of the oxime compound, the compound described in JP-A-2001-233842, the compound described in JP-A-2000-80068, or the compound described in JP-A-2006-342166 can be used.
Examples of the oxime compound include 3-benzoyloxyiminobutane-2-one, 3-acetoxyiminobutane-2-one, 3-propionyloxyiminobutane-2-one, 2-acetoxyiminopentane-3-one, and the like. 2-Acetoxyimimino-1-phenylpropane-1-one, 2-benzoyloxyimino-1-phenylpropane-1-one, 3- (4-toluenesulfonyloxy) iminobutane-2-one, and 2-ethoxy Examples thereof include carbonyloxyimino-1-phenylpropane-1-one.
In addition, J. C. S. Perkin II (1979) pp. 1653-1660), J. Mol. C. S. Perkin II (1979) pp. 156-162, Journal of Photopolymer Science and Technology (1995) pp. 202-232, the compounds described in JP-A-2000-66385, JP-A-2000-80068, JP-A-2004-534977, and the compounds described in JP-A-2006-342166 are also listed. Be done.
As commercially available products, IRGACURE-OXE01 (manufactured by BASF), IRGACURE-OXE02 (manufactured by BASF), IRGACURE-OXE03 (manufactured by BASF), or IRGACURE-OXE04 (manufactured by BASF) is also preferable. In addition, TR-PBG-304 (manufactured by Changzhou Powerful Electronics New Materials Co., Ltd.), ADEKA ARCLUDS NCI-831, ADEKA ARCULDS NCI-930 (manufactured by ADEKA), or N-1919 (carbazole / oxime ester skeleton-containing light). An initiator (manufactured by ADEKA) can also be used.

また上記記載以外のオキシム化合物として、カルバゾールN位にオキシムが連結した特表2009-519904号公報に記載の化合物;ベンゾフェノン部位にヘテロ置換基が導入された米国特許第7626957号公報に記載の化合物;色素部位にニトロ基が導入された特開2010-15025号公報及び米国特許公開2009-292039号記載の化合物;国際公開特許2009-131189号公報に記載のケトオキシム化合物;及び、トリアジン骨格とオキシム骨格を同一分子内に含有する米国特許7556910号公報に記載の化合物;405nmに吸収極大を有しg線光源に対して良好な感度を有する特開2009-221114号公報記載の化合物;等を用いてもよい。
例えば、特開2013-29760号公報の段落0274~0275を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
具体的には、オキシム化合物としては、下記式(OX-1)で表される化合物が好ましい。なお、オキシム化合物のN-O結合が(E)体のオキシム化合物であっても、(Z)体のオキシム化合物であっても、(E)体と(Z)体との混合物であってもよい。
Further, as an oxime compound other than the above description, the compound described in JP-A-2009-5199004 in which an oxime is linked to the N-position of carbazole; the compound described in US Pat. No. 7,626,957 in which a heterosubstituted group is introduced into a benzophenone moiety; Compounds described in JP-A-2010-15025 and US Patent Publication No. 2009-292039 in which a nitro group is introduced into a dye moiety; ketooxime compounds described in International Patent Publication No. 2009-131189; The compound described in Japanese Patent No. 7556910 contained in the same molecule; the compound described in JP-A-2009-221114 having an absorption maximum at 405 nm and good sensitivity to a g-ray light source; etc. may be used. good.
For example, paragraphs 0274-0275 of JP2013-29760A can be referred to, the contents of which are incorporated herein.
Specifically, as the oxime compound, a compound represented by the following formula (OX-1) is preferable. It should be noted that the NO bond of the oxime compound may be the (E) -form oxime compound, the (Z) -form oxime compound, or a mixture of the (E) -form and the (Z) -form. good.

Figure 0007083887000014
Figure 0007083887000014

式(OX-1)中、R及びBはそれぞれ独立に1価の置換基を表し、Aは2価の有機基を表し、Arはアリール基を表す。
式(OX-1)中、Rで表される1価の置換基としては、1価の非金属原子団であることが好ましい。
1価の非金属原子団としては、アルキル基、アリール基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、複素環基、アルキルチオカルボニル基、及び、アリールチオカルボニル基等が挙げられる。また、これらの基は、1以上の置換基を有していてもよい。また、前述した置換基は、更に他の置換基で置換されていてもよい。
置換基としてはハロゲン原子、アリールオキシ基、アルコキシカルボニル基又はアリールオキシカルボニル基、アシルオキシ基、アシル基、アルキル基、及び、アリール基等が挙げられる。
式(OX-1)中、Bで表される1価の置換基としては、アリール基、複素環基、アリールカルボニル基、又は、複素環カルボニル基が好ましく、アリール基、又は、複素環基がより好ましい。これらの基は1以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。
式(OX-1)中、Aで表される2価の有機基としては、炭素数1~12のアルキレン基、シクロアルキレン基、又は、アルキニレン基が好ましい。これらの基は1以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。
In formula (OX-1), R and B each independently represent a monovalent substituent, A represents a divalent organic group, and Ar represents an aryl group.
In the formula (OX-1), the monovalent substituent represented by R is preferably a monovalent non-metal atomic group.
Examples of the monovalent non-metal atomic group include an alkyl group, an aryl group, an acyl group, an alkoxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, a heterocyclic group, an alkylthiocarbonyl group, an arylthiocarbonyl group and the like. Further, these groups may have one or more substituents. Further, the above-mentioned substituent may be further substituted with another substituent.
Examples of the substituent include a halogen atom, an aryloxy group, an alkoxycarbonyl group or an aryloxycarbonyl group, an acyloxy group, an acyl group, an alkyl group, an aryl group and the like.
In the formula (OX-1), the monovalent substituent represented by B is preferably an aryl group, a heterocyclic group, an arylcarbonyl group or a heterocyclic carbonyl group, and an aryl group or a heterocyclic group is preferable. More preferred. These groups may have one or more substituents. Examples of the substituent include the above-mentioned substituents.
In the formula (OX-1), the divalent organic group represented by A is preferably an alkylene group having 1 to 12 carbon atoms, a cycloalkylene group, or an alkynylene group. These groups may have one or more substituents. Examples of the substituent include the above-mentioned substituents.

光重合開始剤として、フッ素原子を含有するオキシム化合物も使用できる。フッ素原子を含有するオキシム化合物の具体例としては、特開2010-262028号公報記載の化合物;特表2014-500852号公報記載の化合物24、36~40;及び、特開2013-164471号公報記載の化合物(C-3);等が挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれる。 As the photopolymerization initiator, an oxime compound containing a fluorine atom can also be used. Specific examples of the oxime compound containing a fluorine atom include the compounds described in JP-A-2010-262028; compounds 24, 36-40 described in JP-A-2014-500852; and JP-A-2013-164471. Compound (C-3); and the like. This content is incorporated herein.

光重合開始剤として、下記一般式(1)~(4)で表される化合物も使用できる。 As the photopolymerization initiator, compounds represented by the following general formulas (1) to (4) can also be used.

Figure 0007083887000015
Figure 0007083887000015

Figure 0007083887000016
Figure 0007083887000016

式(1)において、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1~20のアルキル基、炭素数4~20の脂環式炭化水素基、炭素数6~30のアリール基、又は、炭素数7~30のアリールアルキル基を表し、R及びRがフェニル基の場合、フェニル基同士が結合してフルオレン基を形成してもよく、R及びRは、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1~20のアルキル基、炭素数6~30のアリール基、炭素数7~30のアリールアルキル基又は炭素数4~20の複素環基を表し、Xは、直接結合又はカルボニル基を示す。In the formula (1), R 1 and R 2 are independently an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, or an aryl group having 6 to 30 carbon atoms. Representing an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms, when R 1 and R 2 are phenyl groups, the phenyl groups may be bonded to each other to form a fluorene group, and R 3 and R 4 are independent of each other. A hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms or a heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms, where X represents a direct bond or a carbonyl. Shows the group.

式(2)において、R、R、R、及び、Rは、式(1)におけるR、R、R、及び、Rと同義であり、Rは、-R、-OR、-SR、-COR、-CONR、-NRCOR、-OCOR、-COOR、-SCOR、-OCSR、-COSR、-CSOR、-CN、ハロゲン原子、又は、水酸基を表し、Rは、炭素数1~20のアルキル基、炭素数6~30のアリール基、炭素数7~30のアリールアルキル基、又は、炭素数4~20の複素環基を表し、Xは、直接結合又はカルボニル基を表し、aは0~4の整数を表す。In equation (2), R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are synonymous with R 1 , R 2 , R 3 and R 4 in equation (1), and R 5 is −R. 6 , -OR 6 , -SR 6 , -COR 6 , -CONR 6 R 6 , -NR 6 COR 6 , -OCOR 6 , -COOR 6 , -SCOR 6 , -OCSR 6 , -COSR 6 , -CSO R 6 , -CN, a halogen atom, or a hydroxyl group, and R6 is an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms, or 4 to 4 carbon atoms. 20 represents a heterocyclic group, X represents a direct bond or a carbonyl group, and a represents an integer of 0-4.

式(3)において、Rは、炭素数1~20のアルキル基、炭素数4~20の脂環式炭化水素基、炭素数6~30のアリール基、又は、炭素数7~30のアリールアルキル基を表し、R及びRは、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1~20のアルキル基、炭素数6~30のアリール基、炭素数7~30のアリールアルキル基、又は、炭素数4~20の複素環基を表し、Xは、直接結合又はカルボニル基を示す。In the formula (3), R 1 is an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, or an aryl group having 7 to 30 carbon atoms. Representing an alkyl group, R 3 and R 4 independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms, or carbon. The number 4 to 20 represents a heterocyclic group, where X represents a direct bond or a carbonyl group.

式(4)において、R、R、及び、Rは、式(3)におけるR、R、及び、Rと同義であり、Rは、-R、-OR、-SR、-COR、-CONR、-NRCOR、-OCOR、-COOR、-SCOR、-OCSR、-COSR、-CSOR、-CN、ハロゲン原子、又は、水酸基を表し、Rは、炭素数1~20のアルキル基、炭素数6~30のアリール基、炭素数7~30のアリールアルキル基、又は、炭素数4~20の複素環基を表し、Xは、直接結合又はカルボニル基を表し、aは0~4の整数を表す。In equation (4), R 1 , R 3 , and R 4 are synonymous with R 1 , R 3 , and R 4 in equation (3), and R 5 is -R 6 , -OR 6 , ,. -SR 6 , -COR 6 , -CONR 6 R 6 , -NR 6 COR 6 , -OCOR 6 , -COOR 6 , -SCOR 6 , -OCSR 6 , -COSR 6 , -CSOR 6 , -CN, Halogen atom, Alternatively, it represents a hydroxyl group, and R 6 is an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms, or a heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms. Represented, X represents a direct bond or a carbonyl group, and a represents an integer from 0 to 4.

上記式(1)及び(2)において、R及びRは、それぞれ独立に、メチル基、エチル基、n-プロピル基、i-プロピル基、シクロヘキシル基、又は、フェニル基が好ましい。Rはメチル基、エチル基、フェニル基、トリル基、又は、キシリル基が好ましい。Rは炭素数1~6のアルキル基又はフェニル基が好ましい。Rはメチル基、エチル基、フェニル基、トリル基、又は、ナフチル基が好ましい。Xは直接結合が好ましい。
また、上記式(3)及び(4)において、Rは、それぞれ独立に、メチル基、エチル基、n-プロピル基、i-プロピル基、シクロヘキシル基、又は、フェニル基が好ましい。Rはメチル基、エチル基、フェニル基、トリル基、又は、キシリル基が好ましい。Rは炭素数1~6のアルキル基、又は、フェニル基が好ましい。Rはメチル基、エチル基、フェニル基、トリル基、又は、ナフチル基が好ましい。Xは直接結合が好ましい。
式(1)及び式(2)で表される化合物の具体例としては、特開2014-137466号公報の段落0076~0079に記載された化合物が挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれることとする。
In the above formulas (1) and (2), R 1 and R 2 are preferably a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an i-propyl group, a cyclohexyl group, or a phenyl group, respectively. R 3 is preferably a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, a tolyl group, or a xylyl group. R4 is preferably an alkyl group or a phenyl group having 1 to 6 carbon atoms. R5 is preferably a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, a tolyl group, or a naphthyl group. Direct binding is preferred for X.
Further, in the above formulas (3) and (4), R 1 is preferably a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an i-propyl group, a cyclohexyl group, or a phenyl group, respectively. R 3 is preferably a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, a tolyl group, or a xylyl group. R4 is preferably an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group. R5 is preferably a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, a tolyl group, or a naphthyl group. Direct binding is preferred for X.
Specific examples of the compounds represented by the formulas (1) and (2) include the compounds described in paragraphs 0076 to 0079 of JP-A-2014-137466. This content is incorporated herein by reference.

上記硬化性組成物に好ましく使用されるオキシム化合物の具体例を以下に示す。下記具体例の中でも、得られる硬化膜の剥がれ抑制性がより優れる点から、一般式(A)で表されるオキシム化合物(以下「特定光重合開始剤」ともいう」)が好ましい。特定光重合開始剤の市販品としては、IRGACURE-OXE03(BASF社製)が挙げられる。また、オキシム化合物としては、国際公開第2015-036910号のTable1に記載の化合物も使用でき、上記の内容は本明細書に組み込まれる。 Specific examples of the oxime compound preferably used in the curable composition are shown below. Among the following specific examples, the oxime compound represented by the general formula (A) (hereinafter, also referred to as “specific photopolymerization initiator”) is preferable because the obtained cured film is more excellent in the peeling inhibitory property. Examples of commercially available products of the specific photopolymerization initiator include IRGACURE-OXE03 (manufactured by BASF). Further, as the oxime compound, the compound described in Table 1 of International Publication No. 2015-036910 can also be used, and the above contents are incorporated in the present specification.

Figure 0007083887000017
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Figure 0007083887000018
Figure 0007083887000018

オキシム化合物は、350~500nmの波長領域に極大吸収波長を有することが好ましく、360~480nmの波長領域に極大吸収波長を有することがより好ましく、365nm及び405nmの波長の吸光度が高いことが更に好ましい。
オキシム化合物の365nm又は405nmにおけるモル吸光係数は、感度の観点から、1,000~300,000であることが好ましく、2,000~300,000であることがより好ましく、5,000~200,000であることが更に好ましい。
化合物のモル吸光係数は、公知の方法を使用できるが、例えば、紫外可視分光光度計(Varian社製Cary-5 spctrophotometer)にて、酢酸エチル溶媒を用い、0.01g/Lの濃度で測定することが好ましい。
光重合開始剤は、必要に応じて2種以上を組み合わせて使用してもよい。
The oxime compound preferably has a maximum absorption wavelength in the wavelength region of 350 to 500 nm, more preferably has a maximum absorption wavelength in the wavelength region of 360 to 480 nm, and further preferably has high absorbance at wavelengths of 365 nm and 405 nm. ..
The molar extinction coefficient of the oxime compound at 365 nm or 405 nm is preferably 1,000 to 300,000, more preferably 2,000 to 300,000, and 5,000 to 200, from the viewpoint of sensitivity. It is more preferably 000.
The molar extinction coefficient of the compound can be measured by a known method, for example, with an ultraviolet-visible spectrophotometer (Cary-5 spctrophotometer manufactured by Varian) using an ethyl acetate solvent at a concentration of 0.01 g / L. Is preferable.
The photopolymerization initiator may be used in combination of two or more, if necessary.

また、光重合開始剤としては、特開第2008-260927号公報の段落0052、特開第201097210号公報の段落0033~0037、特開第2015-68893号公報の段落0044に記載の化合物も使用でき、上記の内容は本明細書に組み込まれる。 Further, as the photopolymerization initiator, the compounds described in paragraphs 0052 of JP-A-2008-260927, paragraphs 0033 to 0037 of JP-A-201097210, and paragraphs 0044 of JP-A-2015-68893 are also used. Yes, the above content is incorporated herein.

<重合禁止剤>
硬化性組成物は、重合禁止剤を含有する。
重合禁止剤としては特に制限されず、公知の重合禁止剤を使用できる。重合禁止剤としては、例えば、フェノール系重合禁止剤(例えば、p-メトキシフェノール、2,5-ジ-tert-ブチル-4-メチルフェノール、2,6-ジtert-ブチル-4-メチルフェノール、4,4’-チオビス(3-メチル-6-t-ブチルフェノール)、2,2’-メチレンビス(4-メチル-6-t-ブチルフェノール)、4-メトキシナフトール等);ハイドロキノン系重合禁止剤(例えば、ハイドロキノン、2,6-ジ-tert-ブチルハイドロキノン等);キノン系重合禁止剤(例えば、ベンゾキノン等);フリーラジカル系重合禁止剤(例えば、2,2,6,6-テトラメチルピペリジン1-オキシルフリーラジカル、4-ヒドロキシ-2,2,6,6-テトラメチルピペリジン1-オキシルフリーラジカル等);ニトロベンゼン系重合禁止剤(例えば、ニトロベンゼン、4-ニトロトルエン等);及び、フェノチアジン系重合禁止剤(例えば、フェノチアジン、2-メトキシフェノチアジン等);等が挙げられる。
中でも、硬化性組成物がより優れた効果を有する点で、フェノール系重合禁止剤、又は、フリーラジカル系重合禁止剤が好ましい。
<Polymerization inhibitor>
The curable composition contains a polymerization inhibitor.
The polymerization inhibitor is not particularly limited, and a known polymerization inhibitor can be used. Examples of the polymerization inhibitor include phenolic polymerization inhibitors (eg, p-methoxyphenol, 2,5-di-tert-butyl-4-methylphenol, 2,6-ditert-butyl-4-methylphenol, and the like. 4,4'-thiobis (3-methyl-6-t-butylphenol), 2,2'-methylenebis (4-methyl-6-t-butylphenol), 4-methoxynaphthol, etc.); Hydroquinone-based polymerization inhibitors (eg, , Hydroquinone, 2,6-di-tert-butylhydroquinone, etc.); Kinone-based polymerization inhibitor (eg, benzoquinone, etc.); Free radical-based polymerization inhibitor (eg, 2,2,6,6-tetramethylpiperidin 1- Oxyl-free radicals, 4-hydroxy-2,2,6,6-tetramethylpiperidin1-oxyl-free radicals, etc.); Nitrobenzene-based polymerization inhibitors (eg, nitrobenzene, 4-nitrotoluene, etc.); and phenothiazine-based polymerization inhibitors. (For example, phenothiazine, 2-methoxyphenothiazine, etc.); and the like.
Among them, a phenol-based polymerization inhibitor or a free radical-based polymerization inhibitor is preferable because the curable composition has a more excellent effect.

重合禁止剤は、硬化性基を含有する樹脂と共に用いる場合にその効果が顕著である。
硬化性組成物中における重合禁止剤の含有量としては特に制限されないが、硬化性組成物の全固形分に対して、0.0001~0.5質量%が好ましく、0.001~0.2質量%がより好ましく、0.008~0.05質量%が更に好ましい。重合禁止剤は、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。2種以上の重合禁止剤を併用する場合には、合計含有量が上記範囲内であることが好ましい。
また、硬化性組成物中の重合性化合物の含有量に対する、重合禁止剤の含有量の比(重合禁止剤の含有量/重合性化合物の含有量(質量比))は、0.0005超が好ましく、0.0006~0.02がより好ましく、0.0006~0.005が更に好ましい。
The effect of the polymerization inhibitor is remarkable when it is used together with a resin containing a curable group.
The content of the polymerization inhibitor in the curable composition is not particularly limited, but is preferably 0.0001 to 0.5% by mass, preferably 0.001 to 0.2, based on the total solid content of the curable composition. The mass% is more preferable, and 0.008 to 0.05% by mass is further preferable. The polymerization inhibitor may be used alone or in combination of two or more. When two or more kinds of polymerization inhibitors are used in combination, the total content is preferably within the above range.
The ratio of the content of the polymerization inhibitor to the content of the polymerizable compound in the curable composition (content of the polymerization inhibitor / content of the polymerizable compound (mass ratio)) is more than 0.0005. Preferably, 0.0006 to 0.02 is more preferable, and 0.0006 to 0.005 is even more preferable.

<界面活性剤>
硬化性組成物は、界面活性剤を含有してもよい。界面活性剤は、硬化性組成物の塗布性向上に寄与する。
上記硬化性組成物が、界面活性剤を含有する場合、界面活性剤の含有量としては、硬化性組成物の全固形分に対して、0.001~2.0質量%が好ましい。
界面活性剤は、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。界面活性剤を2種以上併用する場合は、合計量が上記範囲内であることが好ましい。
<Surfactant>
The curable composition may contain a surfactant. The surfactant contributes to the improvement of the coatability of the curable composition.
When the curable composition contains a surfactant, the content of the surfactant is preferably 0.001 to 2.0% by mass with respect to the total solid content of the curable composition.
As the surfactant, one type may be used alone or two or more types may be used in combination. When two or more surfactants are used in combination, the total amount is preferably within the above range.

界面活性剤としては、例えば、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、及び、シリコーン系界面活性剤等が挙げられる。 Examples of the surfactant include a fluorine-based surfactant, a nonionic surfactant, a cationic surfactant, an anionic surfactant, a silicone-based surfactant, and the like.

例えば、硬化性組成物がフッ素系界面活性剤を含有することで、硬化性組成物の液特性(特に、流動性)がより向上する。即ち、フッ素系界面活性剤を含有する硬化性組成物を用いて膜形成する場合においては、被塗布面と塗布液との界面張力を低下させることにより、被塗布面への濡れ性が改善され、被塗布面への塗布性が向上する。このため、少量の液量で数μm程度の薄膜を形成した場合であっても、厚さムラの小さい均一厚の膜形成をより好適に行える点で有効である。 For example, when the curable composition contains a fluorine-based surfactant, the liquid characteristics (particularly, fluidity) of the curable composition are further improved. That is, in the case of forming a film using a curable composition containing a fluorine-based surfactant, the wettability to the surface to be coated is improved by reducing the interfacial tension between the surface to be coated and the coating liquid. , The applicability to the surface to be coated is improved. Therefore, even when a thin film of about several μm is formed with a small amount of liquid, it is effective in that it is possible to more preferably form a film having a uniform thickness with small thickness unevenness.

フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、3~40質量%が好ましく、5~30質量%がより好ましく、7~25質量%が更に好ましい。フッ素含有率がこの範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性及び/又は省液性の点で効果的であり、硬化性組成物中における溶解性も良好である。 The fluorine content in the fluorine-based surfactant is preferably 3 to 40% by mass, more preferably 5 to 30% by mass, still more preferably 7 to 25% by mass. A fluorine-based surfactant having a fluorine content within this range is effective in terms of uniformity of coating film thickness and / or liquid saving, and has good solubility in a curable composition. ..

フッ素系界面活性剤としては、例えば、メガファックF171、同F172、同F173、同F176、同F177、同F141、同F142、同F143、同F144、同R30、同F437、同F475、同F479、同F482、同F554、同F780、及び、同F781(以上、DIC製);フロラードFC430、同FC431、及び、同FC171(以上、住友スリーエム製);サーフロンS-382、同SC-101、同SC-103、同SC-104、同SC-105、同SC-1068、同SC-381、同SC-383、同S-393、及び、同KH-40(以上、旭硝子製);並びに、PF636、PF656、PF6320、PF6520、及び、PF7002(OMNOVA社製)等が挙げられる。
フッ素系界面活性剤としてブロックポリマーも使用でき、具体例としては、例えば特開第2011-89090号公報に記載されたが化合物が挙げられる。
Examples of the fluorine-based surfactant include Megafuck F171, F172, F173, F176, F177, F141, F142, F143, F144, R30, F437, F475, and F479. F482, F554, F780, and F781 (above, DIC); Florard FC430, FC431, and FC171 (above, Sumitomo 3M); Surfron S-382, SC-101, SC. -103, SC-104, SC-105, SC-1068, SC-381, SC-383, S-393, and KH-40 (all manufactured by Asahi Glass); and PF636, Examples thereof include PF656, PF6320, PF6520, and PF7002 (manufactured by OMNOVA).
A block polymer can also be used as the fluorine-based surfactant, and specific examples thereof include compounds described in JP-A-2011-89090.

<紫外線吸収剤>
硬化性組成物は、紫外線吸収剤を含有してもよい。これにより、硬化膜のパターンの形状をより優れた(精細な)形状にできる。
紫外線吸収剤としては、サリシレート系、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、置換アクリロニトリル系、及び、トリアジン系の紫外線吸収剤を使用できる。これらの具体例としては、特開2012-068418号公報の段落0137~0142(対応するUS2012/0068292の段落0251~0254)の化合物が使用でき、これらの内容が援用でき、本明細書に組み込まれる。
他にジエチルアミノ-フェニルスルホニル系紫外線吸収剤(大東化学社製、商品名:UV-503)等も好適に用いられる。
紫外線吸収剤としては、特開2012-32556号公報の段落0134~0148に例示される化合物が挙げられる。
紫外線吸収剤の含有量は、硬化性組成物の全固形分に対して、0.001~15質量%が好ましい。
<UV absorber>
The curable composition may contain an ultraviolet absorber. As a result, the shape of the pattern of the cured film can be made into a better (fine) shape.
As the ultraviolet absorber, a salicylate-based, benzophenone-based, benzotriazole-based, substituted acrylonitrile-based, and triazine-based ultraviolet absorber can be used. As specific examples thereof, the compounds of paragraphs 0137 to 0142 (corresponding US2012 / 0068292, paragraphs 0251 to 0254) of JP2012-066418A can be used, and the contents thereof can be incorporated and incorporated in the present specification. ..
In addition, a diethylamino-phenylsulfonyl UV absorber (manufactured by Daito Chemical Co., Ltd., trade name: UV-503) and the like are also preferably used.
Examples of the ultraviolet absorber include compounds exemplified in paragraphs 0134 to 0148 of JP2012-32556A.
The content of the ultraviolet absorber is preferably 0.001 to 15% by mass with respect to the total solid content of the curable composition.

<シランカップリング剤>
硬化性組成物はシランカップリング剤を含有してもよい。
シランカップリング剤とは、分子中に加水分解性基とそれ以外の官能基とを含有する化合物である。なお、アルコキシ基等の加水分解性基は、珪素原子に結合している。
加水分解性基とは、珪素原子に直結し、加水分解反応及び/又は縮合反応によってシロキサン結合を生じ得る置換基をいう。加水分解性基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシルオキシ基、及び、アルケニルオキシ基が挙げられる。加水分解性基が炭素原子を含有する場合、その炭素数は6以下であることが好ましく、4以下であることがより好ましい。特に、炭素数4以下のアルコキシ基又は炭素数4以下のアルケニルオキシ基が好ましい。
また、基板上に硬化膜を形成する場合、シランカップリング剤は基板と硬化膜間の密着性を向上させるため、フッ素原子及び珪素原子(ただし、加水分解性基が結合した珪素原子は除く)を含まないことが好ましく、フッ素原子、珪素原子(ただし、加水分解性基が結合した珪素原子は除く)、珪素原子で置換されたアルキレン基、炭素数8以上の直鎖状アルキル基、及び、炭素数3以上の分岐鎖状アルキル基は含まないことが望ましい。
<Silane coupling agent>
The curable composition may contain a silane coupling agent.
The silane coupling agent is a compound containing a hydrolyzable group and other functional groups in the molecule. A hydrolyzable group such as an alkoxy group is bonded to a silicon atom.
The hydrolyzable group is a substituent that is directly linked to a silicon atom and can form a siloxane bond by a hydrolysis reaction and / or a condensation reaction. Examples of the hydrolyzable group include a halogen atom, an alkoxy group, an acyloxy group, and an alkenyloxy group. When the hydrolyzable group contains a carbon atom, the number of carbon atoms thereof is preferably 6 or less, and more preferably 4 or less. In particular, an alkoxy group having 4 or less carbon atoms or an alkenyloxy group having 4 or less carbon atoms is preferable.
When forming a cured film on a substrate, the silane coupling agent improves the adhesion between the substrate and the cured film, so that fluorine atoms and silicon atoms (excluding silicon atoms to which hydrolyzable groups are bonded). It is preferable not to contain a fluorine atom, a silicon atom (excluding a silicon atom to which a hydrolyzable group is bonded), an alkylene group substituted with a silicon atom, a linear alkyl group having 8 or more carbon atoms, and a linear alkyl group having 8 or more carbon atoms. It is desirable that the branched alkyl group having 3 or more carbon atoms is not contained.

上記硬化性組成物中におけるシランカップリング剤の含有量は、硬化性組成物中の全固形分に対して、0.1~10質量%が好ましい。
上記硬化性組成物は、シランカップリング剤を1種単独で含有していてもよく、2種以上を含有していてもよい。硬化性組成物がシランカップリング剤を2種以上含有する場合は、その合計が上記範囲内であればよい。
The content of the silane coupling agent in the curable composition is preferably 0.1 to 10% by mass with respect to the total solid content in the curable composition.
The curable composition may contain one type of silane coupling agent alone, or may contain two or more types of the silane coupling agent. When the curable composition contains two or more kinds of silane coupling agents, the total may be within the above range.

シランカップリング剤としては、例えば、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、3-グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、及び、ビニルトリエトキシシラン等が挙げられる。 Examples of the silane coupling agent include 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, and the like. Examples thereof include vinyltrimethoxysilane and vinyltriethoxysilane.

<溶剤>
硬化性組成物は、溶剤を含有することが好ましい。
溶剤としては特に制限されず公知の溶剤を使用できる。
硬化性組成物中における溶剤の含有量としては特に制限されないが、硬化性組成物の固形分が10~90質量%となるように調整されることが好ましく、15~50質量%となるように調整されることがより好ましい。なお、固形分とは、溶剤以外の成分を意図する。
溶剤は1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。2種以上の溶剤を併用する場合には、硬化性組成物の全固形分が上記範囲内となるように調整されることが好ましい。
<Solvent>
The curable composition preferably contains a solvent.
The solvent is not particularly limited, and a known solvent can be used.
The content of the solvent in the curable composition is not particularly limited, but is preferably adjusted so that the solid content of the curable composition is 10 to 90% by mass, and is preferably 15 to 50% by mass. It is more preferable to be adjusted. The solid content is intended to be a component other than the solvent.
One type of solvent may be used alone, or two or more types may be used in combination. When two or more kinds of solvents are used in combination, it is preferable that the total solid content of the curable composition is adjusted to be within the above range.

溶剤としては、例えば、水、及び、有機溶剤が挙げられる。
有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサン、酢酸エチル、エチレンジクロライド、テトラヒドロフラン、トルエン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、アセチルアセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、3-メトキシプロパノール、メトキシメトキシエタノール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3-メトキシプロピルアセテート、N,N-ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、γ-ブチロラクトン、酢酸ブチル、乳酸メチル、N-メチル-2-ピロリドン、及び、乳酸エチル等が挙げられるが、これらに限定されない。
Examples of the solvent include water and an organic solvent.
Examples of the organic solvent include acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexane, ethyl acetate, ethylene dichloride, tetrahydrofuran, toluene, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, and acetyl acetone. , Cyclohexanone, cyclopentanone, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol ethyl ether acetate, ethylene glycol monoisopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether acetate, 3-methoxypropanol, methoxymethoxyethanol, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol mono Ethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, 3-methoxypropyl acetate, N, N-dimethylformamide, dimethyl sulfoxide, γ-butyrolactone, butyl acetate, methyl lactate, N -Methyl-2-pyrrolidone, ethyl lactate and the like can be mentioned, but the present invention is not limited thereto.

[硬化性組成物の製造方法]
硬化性組成物は、まず、黒色色材を分散させた分散組成物を製造し、得られた分散組成物を更にその他の成分と混合して硬化性組成物とすることが好ましい。
分散組成物は、黒色色材、樹脂B、及び、溶剤を混合して調製することが好ましい。また、分散組成物に重合禁止剤を含有させることも好ましい。
[Manufacturing method of curable composition]
As the curable composition, it is preferable to first produce a dispersion composition in which a black coloring material is dispersed, and then mix the obtained dispersion composition with other components to obtain a curable composition.
The dispersion composition is preferably prepared by mixing a black color material, a resin B, and a solvent. It is also preferable to include a polymerization inhibitor in the dispersion composition.

上記分散組成物は、上記の各成分を公知の混合方法(例えば、撹拌機、ホモジナイザー、高圧乳化装置、湿式粉砕機、又は、湿式分散機等を用いた混合方法)により混合して調製できる。 The dispersion composition can be prepared by mixing each of the above components by a known mixing method (for example, a mixing method using a stirrer, a homogenizer, a high-pressure emulsifier, a wet pulverizer, a wet disperser, or the like).

硬化性組成物の調製に際しては、各成分を一括配合してもよいし、各成分をそれぞれ、溶剤に溶解又は分散した後に逐次配合してもよい。また、配合する際の投入順序及び作業条件は特に制限されない。 In preparing the curable composition, each component may be blended together, or each component may be dissolved or dispersed in a solvent and then sequentially blended. Further, the charging order and working conditions at the time of blending are not particularly limited.

硬化性組成物は、異物の除去及び欠陥の低減等の目的で、フィルタで濾過することが好ましい。フィルタとしては、従来からろ過用途等に用いられているフィルタであれば特に限定されることなく使用できる。例えば、PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)等のフッ素樹脂、ナイロン等のポリアミド系樹脂、並びに、ポリエチレン及びポリプロピレン(PP)等のポリオレフィン系樹脂(高密度、超高分子量を含有する)等によるフィルタが挙げられる。これら素材の中でもポリプロピレン(高密度ポリプロピレンを含有する)、ナイロンが好ましい。
フィルタの孔径は、0.1~7.0μmが好ましく、0.2~2.5μmがより好ましく、0.2~1.5μmが更に好ましく、0.3~0.7μmが特に好ましい。この範囲とすることにより、顔料のろ過詰まりを抑えつつ、顔料に含まれる不純物及び凝集物等、微細な異物を確実に除去できるようになる。
フィルタを使用する際、異なるフィルタを組み合わせてもよい。その際、第1のフィルタでのフィルタリングは、1回のみでもよいし、2回以上行ってもよい。異なるフィルタを組み合わせて2回以上フィルタリングを行う場合は1回目のフィルタリングの孔径より2回目以降の孔径が同じ、又は、大きい方が好ましい。また、上述した範囲内で異なる孔径の第1のフィルタを組み合わせてもよい。ここでの孔径は、フィルタメーカーの公称値を参照できる。市販のフィルタとしては、例えば、日本ポール株式会社、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社(旧日本マイクロリス株式会社)、及び、株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルタの中から選択できる。
第2のフィルタは、上述した第1のフィルタと同様の材料等で形成されたフィルタを使用できる。第2のフィルタの孔径は、0.2~10.0μmが好ましく、0.2~7.0μmがより好ましく、0.3~6.0μmが更に好ましい。
硬化性組成物は、金属、ハロゲンを含有する金属塩、酸、アルカリ等の不純物を含まないことが好ましい。これら材料に含まれる不純物の含有量としては、1ppm以下が好ましく、1ppb以下がより好ましく、100ppt以下が更に好ましく、10ppt以下が特に好ましく、実質的に含まないこと(測定装置の検出限界以下であること)が最も好ましい。
なお、上記不純物は、誘導結合プラズマ質量分析装置(横河アナリティカルシステムズ製、Agilent 7500cs型)により測定できる。
The curable composition is preferably filtered with a filter for the purpose of removing foreign substances and reducing defects. As the filter, any filter that has been conventionally used for filtration or the like can be used without particular limitation. For example, a filter made of a fluororesin such as PTFE (polytetrafluoroethylene), a polyamide resin such as nylon, and a polyolefin resin (containing high density and ultrahigh molecular weight) such as polyethylene and polypropylene (PP) can be mentioned. Be done. Among these materials, polypropylene (containing high-density polypropylene) and nylon are preferable.
The pore size of the filter is preferably 0.1 to 7.0 μm, more preferably 0.2 to 2.5 μm, further preferably 0.2 to 1.5 μm, and particularly preferably 0.3 to 0.7 μm. Within this range, it becomes possible to reliably remove fine foreign substances such as impurities and agglomerates contained in the pigment while suppressing the filtration clogging of the pigment.
When using filters, different filters may be combined. At that time, the filtering by the first filter may be performed only once or twice or more. When filtering is performed twice or more by combining different filters, it is preferable that the pore diameters of the second and subsequent filters are the same or larger than the pore diameter of the first filtering. Further, first filters having different pore diameters within the above-mentioned range may be combined. For the hole diameter here, the nominal value of the filter manufacturer can be referred to. As a commercially available filter, for example, it can be selected from various filters provided by Nippon Pole Co., Ltd., Advantech Toyo Co., Ltd., Nippon Entegris Co., Ltd. (formerly Nippon Microlith Co., Ltd.), KITZ Micro Filter Co., Ltd., and the like.
As the second filter, a filter made of the same material as the first filter described above can be used. The pore size of the second filter is preferably 0.2 to 10.0 μm, more preferably 0.2 to 7.0 μm, and even more preferably 0.3 to 6.0 μm.
The curable composition preferably does not contain impurities such as metals, metal salts containing halogens, acids and alkalis. The content of impurities contained in these materials is preferably 1 ppm or less, more preferably 1 ppb or less, further preferably 100 pt or less, particularly preferably 10 pt or less, and substantially not contained (below the detection limit of the measuring device). That) is the most preferable.
The impurities can be measured by an inductively coupled plasma mass spectrometer (manufactured by Yokogawa Analytical Systems, Agilent 7500cs type).

[硬化膜を製造する手順]
上記硬化性組成物を用いて形成された硬化性組成物層(組成物層)を硬化してパターン状の硬化膜を得ることができる。
硬化膜の製造方法としては特に制限されないが、以下の工程を含有することが好ましい。
・硬化性組成物層形成工程
・露光工程
・現像工程
以下、各工程について説明する。
[Procedure for manufacturing a cured film]
The curable composition layer (composition layer) formed by using the curable composition can be cured to obtain a patterned cured film.
The method for producing the cured film is not particularly limited, but it is preferable to include the following steps.
-Curable composition layer forming process-Exposure process-Development process Each process will be described below.

<硬化性組成物層形成工程>
硬化性組成物層形成工程は、上記硬化性組成物を用いて、硬化性組成物層を形成する工程である。硬化性組成物を用いて、硬化性組成物層を形成する工程としては、例えば、基板上に、硬化性組成物を塗布して、硬化性組成物層を形成する工程が挙げられる。
基板の種類は特に制限されないが、固体撮像素子として用いる場合は、例えば、ケイ素基板が挙げられ、カラーフィルタ(固体撮像素子用カラーフィルタを含有する)として用いる場合には、ガラス基板等が挙げられる。
基板上への硬化性組成物の塗布方法としては、スピンコート、スリット塗布、インクジェット法、スプレー塗布、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、及び、スクリーン印刷法等の各種の塗布方法を適用することができる。
基板上に塗布された硬化性組成物は、通常、70~150℃で1~4分程度の条件下で乾燥され、硬化性組成物層が形成される。
<Curable composition layer forming step>
The curable composition layer forming step is a step of forming a curable composition layer using the curable composition. Examples of the step of forming the curable composition layer using the curable composition include a step of applying the curable composition on a substrate to form the curable composition layer.
The type of the substrate is not particularly limited, but when used as a solid-state image sensor, for example, a silicon substrate may be mentioned, and when used as a color filter (containing a color filter for a solid-state image sensor), a glass substrate or the like may be mentioned. ..
As a method for applying the curable composition on the substrate, various coating methods such as spin coating, slit coating, inkjet method, spray coating, rotary coating, cast coating, roll coating, and screen printing method are applied. be able to.
The curable composition applied on the substrate is usually dried at 70 to 150 ° C. under the condition of about 1 to 4 minutes to form a curable composition layer.

<露光工程>
露光工程では、硬化性組成物層形成工程において形成された硬化性組成物層に活性光線又は放射線を照射することにより露光し、光照射された硬化性組成物層を硬化させる。
光照射の方法としては特に制限されないが、パターン状の開口部を有するフォトマスクを介して光照射することが好ましい。
本発明の硬化性組成物を使用することで、照射された光の回折及び/又は散乱等することによって生じる硬化膜の線幅安定性の劣化を抑制できる。特に、プロキシミティ露光では回折光の影響が生じやすいため、本発明の硬化性組成物を使用する利点が大きい。
露光は放射線の照射により行うことが好ましく、露光に際して用いることができる放射線としては、特に、g線、h線、及び、i線等の紫外線が好ましく、光源としては高圧水銀灯が好ましい。照射強度は5~1500mJ/cmが好ましく、10~1000mJ/cmがより好ましい。
なお、硬化性組成物が、熱重合開始剤を含有する場合、上記露光工程において、硬化性組成物層を加熱してもよい。加熱の温度として特に制限されないが、80~250℃が好ましい。また、加熱の時間としては特に制限されないが、30~300秒が好ましい。
なお、露光工程において、硬化性組成物層を加熱する場合、後述する後加熱工程を兼ねてもよい。言い換えれば、露光工程において、硬化性組成物層を加熱する場合、硬化膜の製造方法は後加熱工程を含有しなくてもよい。
<Exposure process>
In the exposure step, the curable composition layer formed in the curable composition layer forming step is exposed by irradiating it with active light or radiation to cure the light-irradiated curable composition layer.
The method of light irradiation is not particularly limited, but it is preferable to irradiate light through a photomask having a patterned opening.
By using the curable composition of the present invention, deterioration of the line width stability of the cured film caused by diffraction and / or scattering of the irradiated light can be suppressed. In particular, since the influence of diffracted light is likely to occur in proximity exposure, there is a great advantage in using the curable composition of the present invention.
The exposure is preferably performed by irradiation with radiation, and as the radiation that can be used for the exposure, ultraviolet rays such as g-line, h-line, and i-line are particularly preferable, and a high-pressure mercury lamp is preferable as the light source. The irradiation intensity is preferably 5 to 1500 mJ / cm 2 , more preferably 10 to 1000 mJ / cm 2 .
When the curable composition contains a thermal polymerization initiator, the curable composition layer may be heated in the above exposure step. The heating temperature is not particularly limited, but is preferably 80 to 250 ° C. The heating time is not particularly limited, but is preferably 30 to 300 seconds.
When the curable composition layer is heated in the exposure step, it may also serve as a post-heating step described later. In other words, when the curable composition layer is heated in the exposure step, the method for producing the cured film does not have to include the post-heating step.

<現像工程>
露光工程に次いで、現像処理(現像工程)を行い、露光工程における光未照射部分を現像液に溶出させる。これにより、光硬化した部分だけが残る。
現像液としては、アルカリ現像液を用いてもよい。その場合は、有機アルカリ現像液を用いることが好ましい。現像温度としては通常20~30℃であり、現像時間は20~90秒である。
アルカリ水溶液(アルカリ現像液)としては、無機アルカリ現像液及び有機アルカリ現像液が挙げられる。
無機アルカリ現像液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、硅酸ナトリウム、及び、メタ硅酸ナトリウム等のアルカリ性化合物を、濃度が0.001~10質量%(好ましくは0.005~0.5質量%)となるように溶解したアルカリ水溶液が挙げられる。
また、有機アルカリ現像液としては、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、及び、1,8-ジアザビシクロ-[5,4,0]-7-ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が0.001~10質量%(好ましくは0.005~0.5質量%)となるように溶解したアルカリ水溶液が挙げられる。
アルカリ水溶液には、例えば、メタノール、エタノール等の水溶性有機溶剤、及び/又は、界面活性剤等を適量添加することもできる。なお、このようなアルカリ水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後に硬化膜を純水で洗浄(リンス)する。
<Development process>
Following the exposure step, a development process (development step) is performed to elute the unirradiated portion of the light in the developing solution into the developer. As a result, only the photo-cured portion remains.
An alkaline developer may be used as the developer. In that case, it is preferable to use an organic alkaline developer. The development temperature is usually 20 to 30 ° C., and the development time is 20 to 90 seconds.
Examples of the alkaline aqueous solution (alkali developing solution) include an inorganic alkali developing solution and an organic alkaline developing solution.
The inorganic alkaline developer contains alkaline compounds such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium hydrogencarbonate, sodium silicate, and sodium metasilicate in a concentration of 0.001 to 10% by mass (preferably). An alkaline aqueous solution dissolved so as to have a concentration of 0.005 to 0.5% by mass) can be mentioned.
Examples of the organic alkaline developer include aqueous ammonia, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, tetrapropylammonium hydroxide, tetrabutylammonium hydroxide, benzyltrimethylammonium hydroxide, and choline. , Pyrol, piperidine, and alkaline compounds such as 1,8-diazabicyclo- [5,4,0] -7-undecene, in a concentration of 0.001 to 10% by mass (preferably 0.005 to 0.5% by mass). %), An alkaline aqueous solution dissolved so as to be%) can be mentioned.
An appropriate amount of a water-soluble organic solvent such as methanol or ethanol and / or a surfactant may be added to the alkaline aqueous solution. When a developer composed of such an alkaline aqueous solution is used, the cured film is generally washed (rinsed) with pure water after development.

なお、硬化膜の製造方法は、その他の工程を含有してもよい。
その他の工程としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
その他の工程としては、例えば、基材の表面処理工程、前加熱工程(プリベーク工程)、後加熱工程(ポストベーク工程)等が挙げられる。
上記硬化膜の製造方法としては、露光工程と、現像工程との間に、露光後の硬化性組成物層を加熱する工程(後加熱工程)を含有することが好ましい。
上記前加熱工程、及び後加熱工程における加熱温度は、80~250℃が好ましい。
上限は、200℃以下がより好ましく、150℃以下が更に好ましい。下限は90℃以上がより好ましい。
前加熱工程及び後加熱工程における加熱時間は、30~300秒が好ましい。上限は、240秒がより好ましく、180秒以下が更に好ましい。下限は60秒以上がより好ましい。
The method for producing the cured film may include other steps.
The other steps are not particularly limited and may be appropriately selected according to the purpose.
Examples of other steps include a surface treatment step of the base material, a preheating step (pre-baking step), a post-heating step (post-baking step), and the like.
As the method for producing the cured film, it is preferable to include a step (post-heating step) of heating the curable composition layer after exposure between the exposure step and the developing step.
The heating temperature in the pre-heating step and the post-heating step is preferably 80 to 250 ° C.
The upper limit is more preferably 200 ° C. or lower, further preferably 150 ° C. or lower. The lower limit is more preferably 90 ° C. or higher.
The heating time in the pre-heating step and the post-heating step is preferably 30 to 300 seconds. The upper limit is more preferably 240 seconds, still more preferably 180 seconds or less. The lower limit is more preferably 60 seconds or more.

[硬化膜の物性、及び、硬化膜の用途]
<硬化膜の物性>
本発明の硬化性組成物を用いて得られる硬化膜は、優れた遮光性を有する点で、400~1200nmの波長領域における膜厚1.0μmあたりの光学濃度(OD:Optical Density)が、2.0以上が好ましく、3.0以上がより好ましい。なお、上限値は特に制限されないが、一般に10以下が好ましい。上記硬化膜は、遮光膜として好ましく用いることができる。
また、本明細書において、400~1200nmの波長領域における膜厚1.0μmあたりの光学濃度が、3.0以上とは、波長400~1200nmの全域において、膜厚1.0μmあたりの光学濃度が3.0以上であることを意図する。
なお、本明細書において、硬化膜の光学濃度の測定方法としては、まず、ガラス基板上硬化膜を形成して、透過濃度計(X-rite 361T(visual)densitometer)を用いて測定し、測定箇所の膜厚も測定し、所定の膜厚あたりの光学濃度を算出する。
[Physical characteristics of cured film and use of cured film]
<Physical characteristics of cured film>
The cured film obtained by using the curable composition of the present invention has an excellent light-shielding property, and has an optical density (OD: Optical Density) of 2 per 1.0 μm in a wavelength region of 400 to 1200 nm. .0 or more is preferable, and 3.0 or more is more preferable. The upper limit is not particularly limited, but is generally preferably 10 or less. The cured film can be preferably used as a light-shielding film.
Further, in the present specification, when the optical density per 1.0 μm film thickness in the wavelength region of 400 to 1200 nm is 3.0 or more, the optical density per 1.0 μm film thickness is defined in the entire wavelength range of 400 to 1200 nm. Intended to be 3.0 or higher.
In the present specification, as a method for measuring the optical density of a cured film, first, a cured film is formed on a glass substrate, and the measurement is performed using a transmission densitometer (X-rite 361T (visual) densitometer). The film thickness at each location is also measured, and the optical density per predetermined film thickness is calculated.

また、上記硬化膜は、表面凹凸構造を有することも好ましい。そうすることで、硬化膜を遮光膜とした場合における、硬化膜の反射率を低減できる。硬化膜そのものの表面に凹凸構造を有しても、硬化膜上に別の層を設けて凹凸構造を付与してもよい。表面凹凸構造の形状は特に限定されないが、表面粗さが0.55μm以上1.5μm以下の範囲であることが好ましい。
硬化膜の反射率は、7%未満が好ましく、5%未満がより好ましく、3%未満が更に好ましい。
表面凹凸構造を作製する方法は特に限定されない。例えば、上述の通り、硬化性組成物中の重合性化合物が含有するエチレン性不飽和基の数を所定の範囲に調製することでも、硬化膜の表面を適度に粗面化されて、表面凹凸構造を得ることができる。
他にも、硬化膜若しくはそれ以外の層に、有機フィラー及び/又は無機フィラーを含有する方法、露光現像を利用したリソグラフィー法、又は、エッチング法、スパッタ法及びナノインプリント法等で硬化膜若しくはそれ以外の層の表面を粗面化する方法であってもよい。
また、上記硬化膜の反射率をさげる方法としては、上記以外に、硬化膜上に低屈折率層を設ける方法、更に屈折率の異なる層(例えば、高屈折率層)を複数設ける方法、及び、特開2015-1654号公報に記載の、低光学濃度層と高光学濃度層とを形成する方法等が挙げられる。
Further, it is also preferable that the cured film has a surface uneven structure. By doing so, the reflectance of the cured film can be reduced when the cured film is a light-shielding film. The surface of the cured film itself may have a concavo-convex structure, or another layer may be provided on the cured film to impart the concavo-convex structure. The shape of the surface uneven structure is not particularly limited, but the surface roughness is preferably in the range of 0.55 μm or more and 1.5 μm or less.
The reflectance of the cured film is preferably less than 7%, more preferably less than 5%, still more preferably less than 3%.
The method for producing the surface uneven structure is not particularly limited. For example, as described above, even if the number of ethylenically unsaturated groups contained in the polymerizable compound in the curable composition is adjusted to a predetermined range, the surface of the cured film is appropriately roughened and the surface is uneven. You can get the structure.
In addition, a method of containing an organic filler and / or an inorganic filler in the cured film or other layer, a lithography method using exposure development, or a cured film or other by an etching method, a sputtering method, a nanoimprint method, or the like. It may be a method of roughening the surface of the layer.
In addition to the above, as a method for reducing the reflectance of the cured film, a method of providing a low refractive index layer on the cured film, a method of providing a plurality of layers having different refractive indexes (for example, a high refractive index layer), and a method of providing a plurality of layers having different refractive indexes. , A method for forming a low optical density layer and a high optical density layer, which is described in JP-A-2015-1654.

また、上記硬化膜は、パーソナルコンピュータ、タブレット、携帯電話、スマートフォン、及び、デジタルカメラ等のポータブル機器;プリンタ複合機、及び、スキャナ等のOA(Office Automation)機器;監視カメラ、バーコードリーダ、現金自動預け払い機(ATM:automated teller machine)、ハイスピードカメラ、及び、顔画像認証を使用した本人認証機能を有する機器等の産業用機器;車載用カメラ機器;内視鏡、カプセル内視鏡、及び、カテーテル等の医療用カメラ機器;並びに、生体センサ、バイオセンサー、軍事偵察用カメラ、立体地図用カメラ、気象及び海洋観測カメラ、陸地資源探査カメラ、及び、宇宙の天文及び深宇宙ターゲット用の探査カメラ等の宇宙用機器;等に使用される光学フィルタ及びモジュールの遮光部材及び遮光膜、更には反射防止部材及び反射防止膜に好適である。 Further, the cured film is a portable device such as a personal computer, a tablet, a mobile phone, a smartphone, and a digital camera; an OA (Office Automation) device such as a printer compound machine and a scanner; a surveillance camera, a bar code reader, and cash. Industrial equipment such as automated depository machines (ATMs: automated teller machines), high-speed cameras, and equipment with personal identification functions using face image authentication; in-vehicle camera equipment; endoscopes, capsule endoscopes, And medical camera equipment such as catheters; and biosensors, biosensors, military reconnaissance cameras, stereoscopic map cameras, meteorological and oceanographic observation cameras, land resource exploration cameras, and space astronomical and deep space targets. It is suitable for light-shielding members and light-shielding films of optical filters and modules used in space equipment such as exploration cameras; and also antireflection members and antireflection films.

上記硬化膜は、マイクロLED(Light Emitting Diode)及びマイクロOLED(Organic Light Emitting Diode)等の用途にも使用できる。上記硬化膜は、マイクロLED及びマイクロOLEDに使用される光学フィルタ及び光学フィルムのほか、遮光機能又は反射防止機能を付与する部材に対して好適である。
マイクロLED及びマイクロOLEDの例としては、特表2015-500562号及び特表2014-533890に記載されたものが挙げられる。
The cured film can also be used for applications such as micro LED (Light Emitting Diode) and micro OLED (Organic Light Emitting Diode). The cured film is suitable for optical filters and optical films used for micro LEDs and micro OLEDs, as well as members for imparting a light shielding function or an antireflection function.
Examples of the micro LED and the micro OLED include those described in the special table 2015-500562 and the special table 2014-533890.

上記硬化膜は、量子ドットセンサー及び量子ドット固体撮像素子に使用される光学フィルタ及び光学フィルムとしても好適である。また、遮光機能及び反射防止機能を付与する部材として好適である。量子ドットセンサー及び量子ドット固体撮像素子の例としては、米国特許出願公開第2012/37789号及び国際公開第2008/131313号パンフレットに記載されたもの等が挙げられる。
上記硬化膜は、自動車等の車両用前照灯に用いられるヘッドライトユニットの遮光部材及び/又は遮光膜に使用することも好ましい。また、反射防止部材及び反射防止膜等に使用することも好ましい。
The cured film is also suitable as an optical filter and an optical film used in a quantum dot sensor and a quantum dot solid-state image sensor. Further, it is suitable as a member for imparting a light shielding function and an antireflection function. Examples of the quantum dot sensor and the quantum dot solid-state image sensor include those described in US Patent Application Publication No. 2012/37789 and International Publication No. 2008/131313.
It is also preferable to use the cured film as a light-shielding member and / or a light-shielding film of a headlight unit used for a headlight for a vehicle such as an automobile. It is also preferable to use it for an antireflection member, an antireflection film and the like.

<遮光膜、光学素子、並びに、固体撮像素子及び固体撮像装置>
本発明の硬化性組成物を用いて得られた硬化膜は、いわゆる遮光膜として使用することも好ましい。このような遮光膜は、固体撮像素子に使用することも好ましい。
なお、遮光膜は、本発明の硬化性組成物を用いて得られる硬化膜における好ましい形態の1つである。つまり、本発明の硬化膜が、遮光膜であることも好ましい。
遮光膜である硬化膜の製造方法は、上述の硬化膜の製造方法として説明した方法で同様に行える。具体的には、基板に硬化性組成物を塗布して、硬化性組成物層を形成し、露光、及び、現像して遮光膜を製造できる。
<Light-shielding film, optical element, solid-state image sensor and solid-state image sensor>
The cured film obtained by using the curable composition of the present invention is also preferably used as a so-called light-shielding film. It is also preferable to use such a light-shielding film for a solid-state image sensor.
The light-shielding film is one of the preferred forms of the cured film obtained by using the curable composition of the present invention. That is, it is also preferable that the cured film of the present invention is a light-shielding film.
The method for producing a cured film, which is a light-shielding film, can be similarly performed by the method described as the above-mentioned method for producing a cured film. Specifically, a curable composition can be applied to a substrate to form a curable composition layer, which can be exposed and developed to produce a light-shielding film.

本発明は、光学素子の発明をも含有する。本発明の光学素子は、上記硬化膜(遮光膜)を有する光学素子である。光学素子としては、例えば、カメラ、双眼鏡、顕微鏡、及び、半導体露光装置等の光学機器に使用される光学素子が挙げられる。
中でも、上記光学素子は、例えば、カメラ等に搭載される固体撮像素子であることが好ましい。
上述の通り、本発明の固体撮像素子は、上記硬化膜(遮光膜)を含有する。固体撮像素子が硬化膜(遮光膜)を含有する形態としては特に制限されず、例えば、基板上に、固体撮像素子(CCDイメージセンサ、CMOSイメージセンサ等)の受光エリアを構成する複数のフォトダイオード及びポリシリコン等からなる受光素子を有し、支持体の受光素子形成面側(例えば、受光部以外の部分及び/又は色調整用画素等)又は形成面の反対側に硬化膜を有するものが挙げられる。
固体撮像装置は、上記固体撮像素子を含有する。
The present invention also includes the invention of an optical element. The optical element of the present invention is an optical element having the above-mentioned cured film (light-shielding film). Examples of the optical element include an optical element used in an optical device such as a camera, binoculars, a microscope, and a semiconductor exposure apparatus.
Above all, the optical element is preferably a solid-state image sensor mounted on, for example, a camera or the like.
As described above, the solid-state image pickup device of the present invention contains the above-mentioned cured film (light-shielding film). The form in which the solid-state image sensor contains a cured film (light-shielding film) is not particularly limited, and for example, a plurality of photodiodes constituting a light-receiving area of the solid-state image sensor (CCD image sensor, CMOS image sensor, etc.) on a substrate. And those having a light receiving element made of polysilicon or the like and having a cured film on the light receiving element forming surface side of the support (for example, a portion other than the light receiving portion and / or a pixel for color adjustment) or on the opposite side of the forming surface. Can be mentioned.
The solid-state image sensor contains the solid-state image sensor.

固体撮像装置、及び、固体撮像素子の構成例を図1及び2を参照して説明する。なお、図1及び2では、各部を明確にするため、相互の厚み及び/又は幅の比率は無視して一部誇張して表示している。
図1に示すように、固体撮像装置100は、矩形状の固体撮像素子101と、固体撮像素子101の上方に保持され、この固体撮像素子101を封止する透明なカバーガラス103とを備えている。更に、このカバーガラス103上には、スペーサー104を介してレンズ層111が重ねて設けられている。レンズ層111は、支持体113とレンズ材112とで構成されている。レンズ層111は、支持体113とレンズ材112とが一体成形された構成でもよい。レンズ層111の周縁領域に迷光が入射すると光の拡散によりレンズ材112での集光の効果が弱くなり、撮像部102に届く光が低減する。また、迷光によるノイズの発生も生じる。そのため、このレンズ層111の周縁領域は、遮光膜114が設けられて遮光されている。本発明の硬化性組成物を用いて得られる硬化膜は上記遮光膜114としても使用できる。
Configuration examples of the solid-state image pickup device and the solid-state image pickup device will be described with reference to FIGS. 1 and 2. In addition, in FIGS. 1 and 2, in order to clarify each part, the ratio of the mutual thickness and / or the width is ignored and a part is exaggerated.
As shown in FIG. 1, the solid-state image sensor 100 includes a rectangular solid-state image sensor 101 and a transparent cover glass 103 that is held above the solid-state image sensor 101 and seals the solid-state image sensor 101. There is. Further, a lens layer 111 is provided on the cover glass 103 so as to be overlapped with the spacer 104. The lens layer 111 is composed of a support 113 and a lens material 112. The lens layer 111 may be configured such that the support 113 and the lens material 112 are integrally molded. When stray light is incident on the peripheral region of the lens layer 111, the effect of condensing light on the lens material 112 is weakened by the diffusion of light, and the light reaching the image pickup unit 102 is reduced. In addition, noise is generated due to stray light. Therefore, the peripheral region of the lens layer 111 is provided with a light-shielding film 114 to block light. The cured film obtained by using the curable composition of the present invention can also be used as the light-shielding film 114.

固体撮像素子101は、その受光面となる撮像部102で結像した光学像を光電変換して、画像信号として出力する。この固体撮像素子101は、2枚の基板を積層した積層基板105を備えている。積層基板105は、同サイズの矩形状のチップ基板106及び回路基板107からなり、チップ基板106の裏面に回路基板107が積層されている。 The solid-state image sensor 101 photoelectrically converts the optical image imaged by the image pickup unit 102, which is the light receiving surface thereof, and outputs it as an image signal. The solid-state image sensor 101 includes a laminated substrate 105 in which two substrates are laminated. The laminated board 105 is composed of a rectangular chip board 106 and a circuit board 107 of the same size, and the circuit board 107 is laminated on the back surface of the chip board 106.

チップ基板106として用いられる基板の材料としては特に制限されず、公知の材料を使用できる。 The material of the substrate used as the chip substrate 106 is not particularly limited, and known materials can be used.

チップ基板106の表面中央部には、撮像部102が設けられている。また、撮像部102の周縁領域に迷光が入射すると、この周縁領域内の回路から暗電流(ノイズ)が発生するため、この周縁領域は、遮光膜115が設けられて遮光されている。硬化性組成物を用いて得られる硬化膜は遮光膜115として用いることが好ましい。 An image pickup unit 102 is provided at the center of the surface of the chip substrate 106. Further, when stray light is incident on the peripheral region of the imaging unit 102, dark current (noise) is generated from the circuit in the peripheral region, so that the peripheral region is shielded by a light-shielding film 115. The cured film obtained by using the curable composition is preferably used as the light-shielding film 115.

チップ基板106の表面縁部には、複数の電極パッド108が設けられている。電極パッド108は、チップ基板106の表面に設けられた図示しない信号線(ボンディングワイヤでも可)を介して、撮像部102に電気的に接続されている。 A plurality of electrode pads 108 are provided on the surface edge of the chip substrate 106. The electrode pad 108 is electrically connected to the image pickup unit 102 via a signal line (may be a bonding wire) provided on the surface of the chip substrate 106 (which may be a bonding wire).

回路基板107の裏面には、各電極パッド108の略下方位置にそれぞれ外部接続端子109が設けられている。各外部接続端子109は、積層基板105を垂直に貫通する貫通電極110を介して、それぞれ電極パッド108に接続されている。また、各外部接続端子109は、図示しない配線を介して、固体撮像素子101の駆動を制御する制御回路、及び固体撮像素子101から出力される撮像信号に画像処理を施す画像処理回路等に接続されている。 On the back surface of the circuit board 107, external connection terminals 109 are provided at positions substantially below each electrode pad 108. Each external connection terminal 109 is connected to the electrode pad 108 via a through electrode 110 that vertically penetrates the laminated substrate 105. Further, each external connection terminal 109 is connected to a control circuit that controls the drive of the solid-state image sensor 101, an image processing circuit that performs image processing on the image pickup signal output from the solid-state image sensor 101, and the like via wiring (not shown). Has been done.

図2に示すように、撮像部102は、受光素子201、カラーフィルタ202、マイクロレンズ203等の基板204上に設けられた各部から構成される。カラーフィルタ202は、青色画素205b、赤色画素205r、緑色画素205g、及び、ブラックマトリクス205bmを有している。本発明の硬化性組成物を用いて得られる硬化膜は、ブラックマトリクス205bmとして用いることもできる。 As shown in FIG. 2, the image pickup unit 102 is composed of each unit provided on a substrate 204 such as a light receiving element 201, a color filter 202, and a microlens 203. The color filter 202 has a blue pixel 205b, a red pixel 205r, a green pixel 205g, and a black matrix 205bm. The cured film obtained by using the curable composition of the present invention can also be used as a black matrix 205 bm.

基板204の材料としては、前述のチップ基板106と同様の材料を使用できる。基板204の表層にはpウェル層206が形成されている。このpウェル層206内には、n型層からなり光電変換により信号電荷を生成して蓄積する受光素子201が正方格子状に配列形成されている。 As the material of the substrate 204, the same material as the above-mentioned chip substrate 106 can be used. A p-well layer 206 is formed on the surface layer of the substrate 204. In the p-well layer 206, light receiving elements 201, which are composed of n-type layers and generate and store signal charges by photoelectric conversion, are arranged in a square grid pattern.

受光素子201の一方の側方には、pウェル層206の表層の読み出しゲート部207を介して、n型層からなる垂直転送路208が形成されている。また、受光素子201の他方の側方には、p型層からなる素子分離領域209を介して、隣接画素に属する垂直転送路208が形成されている。読み出しゲート部207は、受光素子201に蓄積された信号電荷を垂直転送路208に読み出すためのチャネル領域である。 A vertical transfer path 208 made of an n-type layer is formed on one side of the light receiving element 201 via a read-out gate portion 207 on the surface layer of the p-well layer 206. Further, on the other side of the light receiving element 201, a vertical transfer path 208 belonging to an adjacent pixel is formed via an element separation region 209 made of a p-type layer. The read gate unit 207 is a channel region for reading the signal charge stored in the light receiving element 201 to the vertical transfer path 208.

基板204の表面上には、ONO(Oxide-Nitride-Oxide)膜からなるゲート絶縁膜210が形成されている。このゲート絶縁膜210上には、垂直転送路208、読み出しゲート部207、及び、素子分離領域209の略直上を覆うように、ポリシリコン又はアモルファスシリコンからなる垂直転送電極211が形成されている。垂直転送電極211は、垂直転送路208を駆動して電荷転送を行わせる駆動電極と、読み出しゲート部207を駆動して信号電荷読み出しを行わせる読み出し電極として機能する。信号電荷は、垂直転送路208から図示しない水平転送路及び出力部(フローティングディフュージョンアンプ)に順に転送された後、電圧信号として出力される。 A gate insulating film 210 made of an ONO (Oxide-Nitride-Oxide) film is formed on the surface of the substrate 204. A vertical transfer electrode 211 made of polysilicon or amorphous silicon is formed on the gate insulating film 210 so as to cover substantially directly above the vertical transfer path 208, the readout gate portion 207, and the element separation region 209. The vertical transfer electrode 211 functions as a drive electrode that drives the vertical transfer path 208 to perform charge transfer and a read electrode that drives the readout gate unit 207 to perform signal charge readout. The signal charge is sequentially transferred from the vertical transfer path 208 to the horizontal transfer path and the output unit (floating diffusion amplifier) (not shown), and then output as a voltage signal.

垂直転送電極211上には、その表面を覆うように遮光膜212が形成されている。遮光膜212は、受光素子201の直上位置に開口部を有し、それ以外の領域を遮光している。本発明の硬化性組成物を用いて得られる硬化膜は、遮光膜212として用いることもできる。
遮光膜212上には、BPSG(borophospho silicate glass)からなる絶縁膜213、P-SiNからなる絶縁膜(パシベーション膜)214、透明樹脂等からなる平坦化膜215からなる透明な中間層が設けられている。カラーフィルタ202は、中間層上に形成されている。
A light-shielding film 212 is formed on the vertical transfer electrode 211 so as to cover the surface thereof. The light-shielding film 212 has an opening at a position directly above the light-receiving element 201, and shields the other areas from light. The cured film obtained by using the curable composition of the present invention can also be used as a light-shielding film 212.
On the light-shielding film 212, a transparent intermediate layer made of an insulating film 213 made of BPSG (borophospho silicate glass), an insulating film (passion film) 214 made of P-SiN, and a flattening film 215 made of a transparent resin or the like is provided. ing. The color filter 202 is formed on the intermediate layer.

<ブラックマトリクス>
本発明の硬化性組成物を用いて得られる硬化膜は、ブラックマトリクスに含有されることも好ましい。ブラックマトリクスは、カラーフィルタ、固体撮像素子、及び、液晶表示装置等の画像表示装置に含有される場合がある。
ブラックマトリクスとしては、上記で既に説明したもの;液晶表示装置等の画像表示装置の周縁部に設けられた黒色の縁;赤、青、及び、緑の画素間の格子状、及び/又は、ストライプ状の黒色の部分;TFT(thin film transistor)遮光のためのドット状、及び/又は、線状の黒色パターン;等が挙げられる。このブラックマトリクスの定義については、例えば、菅野泰平著、「液晶ディスプレイ製造装置用語辞典」、第2版、日刊工業新聞社、1996年、p.64に記載がある。
ブラックマトリクスは表示コントラストを向上させるため、また薄膜トランジスタ(TFT)を用いたアクティブマトリックス駆動方式の液晶表示装置の場合には光の電流リークによる画質低下を防止するため、高い遮光性(光学濃度ODで3以上)を有することが好ましい。
<Black Matrix>
The cured film obtained by using the curable composition of the present invention is also preferably contained in a black matrix. The black matrix may be contained in an image display device such as a color filter, a solid-state image sensor, and a liquid crystal display device.
The black matrix has already been described above; a black edge provided on the peripheral edge of an image display device such as a liquid crystal display device; a grid pattern and / or a stripe between red, blue, and green pixels. A black portion having a shape; a dot-shaped and / or a linear black pattern for light-shielding a TFT (thin film transistor); and the like can be mentioned. For the definition of this black matrix, see, for example, Taihei Kanno, "Dictionary of Terminology for Liquid Crystal Display Manufacturing Equipment", 2nd Edition, Nikkan Kogyo Shimbun, 1996, p. There is a description in 64.
The black matrix has high light-shielding properties (with optical density OD) in order to improve the display contrast and, in the case of an active matrix-driven liquid crystal display device using a thin film transistor (TFT), to prevent image quality deterioration due to light current leakage. 3 or more) is preferable.

ブラックマトリクスの製造方法としては特に制限されないが、上記の硬化膜の製造方法と同様の方法により製造できる。具体的には、基板に硬化性組成物を塗布して、硬化性組成物層を形成し、露光、及び、現像してパターン状の硬化膜(ブラックマトリクス)を製造できる。なお、ブラックマトリクスとして用いられる硬化膜の膜厚としては、0.1~4.0μmが好ましい。 The method for producing the black matrix is not particularly limited, but the black matrix can be produced by the same method as the above-mentioned method for producing a cured film. Specifically, a curable composition can be applied to a substrate to form a curable composition layer, which can be exposed and developed to produce a patterned cured film (black matrix). The film thickness of the cured film used as the black matrix is preferably 0.1 to 4.0 μm.

上記基板の材料としては、特に制限されないが、可視光(波長400~800nm)に対して80%以上の透過率を有することが好ましい。このような材料としては、具体的には、例えば、ソーダライムガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、及び、ホウケイ酸ガラス等のガラス;ポリエステル系樹脂、及び、ポリオレフィン系樹脂等のプラスチック;等が挙げられ、耐薬品性、及び、耐熱性の観点から、無アルカリガラス、又は、石英ガラス等が好ましい。 The material of the substrate is not particularly limited, but preferably has a transmittance of 80% or more with respect to visible light (wavelength 400 to 800 nm). Specific examples of such a material include glass such as soda lime glass, non-alkali glass, quartz glass, and borosilicate glass; plastics such as polyester resin and polyolefin resin; and the like. From the viewpoint of chemical resistance and heat resistance, non-alkali glass, quartz glass and the like are preferable.

<カラーフィルタ>
本発明の硬化性組成物を用いて得られる硬化膜は、カラーフィルタに含有されることも好ましい。
カラーフィルタが硬化膜を含有する形態としては、特に制限されないが、基板と、上記ブラックマトリクスと、を備えるカラーフィルタが挙げられる。すなわち、基板上に形成された上記ブラックマトリクスの開口部に形成された赤色、緑色、及び、青色の着色画素と、を備えるカラーフィルタが例示できる。
<Color filter>
The cured film obtained by using the curable composition of the present invention is also preferably contained in a color filter.
The form in which the color filter contains a cured film is not particularly limited, and examples thereof include a color filter including a substrate and the black matrix. That is, a color filter including red, green, and blue colored pixels formed in the opening of the black matrix formed on the substrate can be exemplified.

ブラックマトリクス(硬化膜)を含有するカラーフィルタは、例えば、以下の方法により製造できる。
まず、基板上に形成されたパターン状のブラックマトリクスの開口部に、カラーフィルタの各着色画素に対応する顔料を含有した樹脂組成物の塗膜(樹脂組成物層)を形成する。なお、各色用樹脂組成物としては特に制限されず、公知の樹脂組成物を使用できるが、本明細書で説明した硬化性組成物において、黒色顔料を、各画素に対応した着色剤に置き換えたものを使用してもよい。
次に、樹脂組成物層に対して、ブラックマトリクスの開口部に対応したパターンを有するフォトマスクを介して露光する。次いで、現像処理により未露光部を除去した後、ベークすることでブラックマトリクスの開口部に着色画素を形成できる。一連の操作を、例えば、赤色、緑色、及び、青色顔料を含有した各色用樹脂組成物を用いて行うことにより、赤色、緑色、及び、青色画素を有するカラーフィルタを製造できる。
A color filter containing a black matrix (cured film) can be produced, for example, by the following method.
First, a coating film (resin composition layer) of a resin composition containing a pigment corresponding to each colored pixel of a color filter is formed in an opening of a patterned black matrix formed on a substrate. The resin composition for each color is not particularly limited, and a known resin composition can be used. However, in the curable composition described in the present specification, the black pigment is replaced with a colorant corresponding to each pixel. You may use the one.
Next, the resin composition layer is exposed through a photomask having a pattern corresponding to the opening of the black matrix. Next, after removing the unexposed portion by a developing process, colored pixels can be formed in the opening of the black matrix by baking. By performing a series of operations using, for example, a resin composition for each color containing red, green, and blue pigments, a color filter having red, green, and blue pixels can be produced.

上述したようなカラーフィルタは、例えば、液晶表示装置に使用されることも好ましい。
その他、本発明の硬化性組成物を用いて得られる硬化膜(遮光膜)の用途に制限はなく、例えば、赤外線センサに使用してもよい。
It is also preferable that the color filter as described above is used in, for example, a liquid crystal display device.
In addition, there is no limitation on the use of the cured film (light-shielding film) obtained by using the curable composition of the present invention, and it may be used for, for example, an infrared sensor.

以下に実施例に基づいて本発明を更に詳細に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、及び、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更できる。したがって、本発明の範囲は以下に示す実施例により限定的に解釈されるべきではない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail based on examples. The materials, amounts, ratios, treatment contents, treatment procedures, etc. shown in the following examples can be appropriately changed as long as they do not deviate from the gist of the present invention. Therefore, the scope of the invention should not be construed as limiting by the examples shown below.

〔硬化性組成物の調製〕
以下に示す成分を使用して硬化性組成物を調製した。
[Preparation of curable composition]
A curable composition was prepared using the components shown below.

<分散組成物及び黒色染料溶液>
以下の分散組成物(分散液)及び黒色染料溶液を作製して、硬化性組成物の調製に用いた。
<Dispersion composition and black dye solution>
The following dispersion composition (dispersion liquid) and black dye solution were prepared and used for the preparation of the curable composition.

(A-1:チタンブラック分散液(A-1))
下記に示す原料を使用してチタンブラック分散液(A-1)を得た。
・チタンブラック(a-1)(詳細は後述する)
・樹脂(X-1)(樹脂Bに相当)
・PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)
(A-1: Titanium Black Dispersion Liquid (A-1))
A titanium black dispersion (A-1) was obtained using the raw materials shown below.
-Titanium black (a-1) (details will be described later)
-Resin (X-1) (equivalent to resin B)
・ PGMEA (Propylene Glycol Monomethyl Ether Acetate)

上記樹脂(X-1)の構造は以下のとおりである。酸価は58で、重量平均分子量は32000であった。また、各繰り返し単位に付した数字は、各ユニットのモル比を示す。 The structure of the resin (X-1) is as follows. The acid value was 58 and the weight average molecular weight was 32000. The numbers attached to each repeating unit indicate the molar ratio of each unit.

Figure 0007083887000019
Figure 0007083887000019

チタンブラック(a-1)(20質量部)に対し、樹脂(X-1)(5.5質量部)を加え、更に、固形分濃度が35質量%となるようにPGMEAを加えた。
得られた分散物を攪拌機により十分に攪拌し、プレミキシングを行った。得られた分散物に対し、シンマルエンタープライゼス製のNPM Pilotを使用して下記分散条件にて分散処理を行い、チタンブラック分散液(A-1)を得た。
Resin (X-1) (5.5 parts by mass) was added to titanium black (a-1) (20 parts by mass), and PGMEA was further added so that the solid content concentration was 35% by mass.
The obtained dispersion was sufficiently stirred with a stirrer and premixed. The obtained dispersion was subjected to a dispersion treatment under the following dispersion conditions using an NPM Pilot manufactured by Symmal Enterprises to obtain a titanium black dispersion liquid (A-1).

(分散条件)
・ビーズ径:φ0.05mm
・ビーズ充填率:65体積%
・ミル周速:10m/sec
・セパレーター周速:11m/s
・分散処理する混合液量:15.0g
・循環流量(ポンプ供給量):60kg/hour
・処理液温度:20~25℃
・冷却水:水道水 5℃
・ビーズミル環状通路内容積:2.2L
・パス回数:84パス
(Dispersion condition)
・ Bead diameter: φ0.05mm
-Bead filling rate: 65% by volume
・ Mill peripheral speed: 10m / sec
・ Separator peripheral speed: 11m / s
・ Amount of mixed liquid to be dispersed: 15.0 g
・ Circulation flow rate (pump supply amount): 60 kg / hour
-Treatment liquid temperature: 20 to 25 ° C
・ Cooling water: Tap water 5 ℃
・ Bead mill ring passage internal volume: 2.2L
・ Number of passes: 84 passes

・チタンブラック(a-1)の作製
平均粒径15nmの酸化チタンMT-150A(商品名、テイカ製)(100g)、BET表面積300m/gのシリカ粒子AEROSIL(登録商標)300/30(エボニック製)(25g)、及び、分散剤DISPERBYK-190(商品名、BYK社製)(100g)秤量し、イオン電気交換水(71g)を加えてKURABO製MAZERSTAR KK-400Wを使用して、公転回転数1360rpm、自転回転数1047rpmにて20分間処理することにより均一な混合物水溶液を得た。この水溶液を石英容器に充填し、小型ロータリーキルン(株式会社モトヤマ製)を用いて酸素雰囲気中で920℃に加熱した後、窒素で雰囲気を置換し、同温度でアンモニアガスを100mL/minで5時間流すことにより窒化還元処理を実施した。終了後回収した粉末を乳鉢で粉砕し、Si原子を含有し、粉末状の比表面積73m/gのチタンブラック(a-1)を得た。
Preparation of Titanium Black (a-1) Titanium oxide MT-150A (trade name, manufactured by Teika) (100 g) with an average particle size of 15 nm, silica particles with a BET surface area of 300 m 2 / g AEROSIL® 300/30 (Ebonic) (25 g) and dispersant DISPERBYK-190 (trade name, manufactured by BYK) (100 g), weighed, added ion electric exchange water (71 g), and rotated around using KURABO MAZERSTAR KK-400W. A uniform aqueous mixture was obtained by treating for 20 minutes at a rotation speed of 1360 rpm and a rotation speed of 1047 rpm. This aqueous solution is filled in a quartz container, heated to 920 ° C. in an oxygen atmosphere using a small rotary kiln (manufactured by Motoyama Co., Ltd.), the atmosphere is replaced with nitrogen, and ammonia gas is added at 100 mL / min at the same temperature for 5 hours. Nitriding reduction treatment was carried out by flowing. After completion, the recovered powder was pulverized in a mortar to obtain a powdery titanium black (a-1) having a specific surface area of 73 m 2 / g containing Si atoms.

(A-2:カーボンブラック分散液(A-2))
下記に示す原料を使用してカーボンブラック分散液(A-2)を得た。
・被覆カーボンブラック(詳細は後述する)
・樹脂(X-1)(樹脂Bに相当、チタンブラック分散液(A-1)の調製に使用したものと同じ)
・ソルスパース12000(顔料誘導体、ルーブリゾール社製)
・PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)
(A-2: Carbon black dispersion (A-2))
A carbon black dispersion (A-2) was obtained using the raw materials shown below.
・ Coated carbon black (details will be described later)
-Resin (X-1) (corresponding to resin B, same as that used for preparing the titanium black dispersion (A-1))
・ Solsperse 12000 (pigment derivative, manufactured by Lubrizol)
・ PGMEA (Propylene Glycol Monomethyl Ether Acetate)

被覆カーボンブラック(20質量部)に対し、樹脂(X-1)(4.5質量部)、及び、ソルスパース12000(1質量部)を加え、更に、固形分濃度が35質量%となるようにPGMEAを加えた。
得られた混合液を攪拌機により十分に攪拌し、プレミキシングを行った。更に、分散物に対し、寿工業(株)製のウルトラアペックスミルUAM015を使用して下記分散条件にて分散処理を行い、分散組成物を得た。分散終了後、フィルタによりビーズと分散液を分離して、カーボンブラック分散液(A-2)を調製した。
Resin (X-1) (4.5 parts by mass) and Solsparse 12000 (1 part by mass) are added to the coated carbon black (20 parts by mass) so that the solid content concentration becomes 35% by mass. PGMEA was added.
The obtained mixed solution was sufficiently stirred with a stirrer and premixed. Further, the dispersion was subjected to a dispersion treatment under the following dispersion conditions using an Ultra Apex Mill UAM015 manufactured by Kotobuki Kogyo Co., Ltd. to obtain a dispersion composition. After the dispersion was completed, the beads and the dispersion were separated by a filter to prepare a carbon black dispersion (A-2).

(分散条件)
・ビーズ径:φ0.05mm
・ビーズ充填率:75体積%
・ミル周速:8m/sec
・分散処理する混合液量:500g
・循環流量(ポンプ供給量):13kg/hour
・処理液温度:25~30℃
・冷却水:水道水
・ビーズミル環状通路内容積:0.15L
・パス回数:90パス
(Dispersion condition)
・ Bead diameter: φ0.05mm
-Bead filling rate: 75% by volume
・ Mill peripheral speed: 8m / sec
-Amount of mixed liquid to be dispersed: 500 g
・ Circulation flow rate (pump supply amount): 13 kg / hour
-Treatment liquid temperature: 25 to 30 ° C
・ Cooling water: Tap water ・ Bead mill ring passage internal volume: 0.15L
・ Number of passes: 90 passes

・被覆カーボンブラックの作製
通常のオイルファーネス法で、カーボンブラックを製造した。ただし、原料油としては、Na分量、Ca分量、及び、S分量の少ないエチレンボトム油を用い、ガス燃料を用いて燃焼を行った。更に、反応停止水としては、イオン交換樹脂で処理した純水を用いた。
ホモミキサーを用いて、得られたカーボンブラック(540g)を純水(14500g)と共に5,000~6,000rpmで30分撹拌し、スラリーを得た。このスラリーをスクリュー型撹拌機付容器に移して、約1,000rpmで混合しながらエポキシ樹脂「エピコート828」(ジャパンエポキシレジン製)(60g)を溶解したトルエン(600g)を少量ずつ添加した。約15分で、水に分散していたカーボンブラックは全量トルエン側に移行し、約1mmの粒子となった。
次に、60メッシュ金網で水切りを行った後、分離された粒を真空乾燥機に入れ、70℃で7時間乾燥し、トルエン及び水を除去した。得られた被覆カーボンブラックの樹脂被覆量は、カーボンブラックと樹脂の合計量に対して10質量%であった。
-Manufacturing of coated carbon black Carbon black was manufactured by the usual oil furnace method. However, as the raw material oil, ethylene bottom oil having a small Na content, Ca content, and S content was used, and combustion was performed using gas fuel. Further, as the reaction stop water, pure water treated with an ion exchange resin was used.
Using a homomixer, the obtained carbon black (540 g) was stirred with pure water (14500 g) at 5,000 to 6,000 rpm for 30 minutes to obtain a slurry. This slurry was transferred to a container with a screw type stirrer, and toluene (600 g) in which the epoxy resin "Epicoat 828" (manufactured by Japan Epoxy Resin) (60 g) was dissolved was added little by little while mixing at about 1,000 rpm. In about 15 minutes, all of the carbon black dispersed in water moved to the toluene side and became particles of about 1 mm.
Next, after draining with a 60-mesh wire mesh, the separated particles were placed in a vacuum dryer and dried at 70 ° C. for 7 hours to remove toluene and water. The resin coating amount of the obtained coated carbon black was 10% by mass with respect to the total amount of the carbon black and the resin.

(A-3:黒色染料溶液(A-3))
下記に示す原料を使用して黒色染料溶液(A-3)を得た。
・VALIFAST BLACK 3804(黒色染料、オリエント化学工業製)
・PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)
(A-3: Black dye solution (A-3))
A black dye solution (A-3) was obtained using the raw materials shown below.
・ VALUESTAR BLACK 3804 (black dye, manufactured by Orient Chemical Industry Co., Ltd.)
・ PGMEA (Propylene Glycol Monomethyl Ether Acetate)

VALIFAST BLACK 3804(オリエント化学工業製)(26.8質量部)に、PGMEA(73.2質量部)を加え、溶解させることにより黒色染料溶液(A-3)を調製した。 PGMEA (73.2 parts by mass) was added to VALIFAST BLACK 3804 (manufactured by Orient Chemical Industry Co., Ltd.) (26.8 parts by mass) and dissolved to prepare a black dye solution (A-3).

<樹脂(樹脂溶液)>
下記構造1又は構造2で表される樹脂を含有する樹脂溶液(B-1)~(B-9)を、硬化性組成物の調製に用いた。
構造式において、各繰り返し単位に付された数字(X及びYも数字とする)は、各繰り返し単位の樹脂中における含有量(モル比)を意図する。
構造1の樹脂においては、それぞれの樹脂の酸価が表1に示す値となるように、X及びYの比を適宜変更させた。
<Resin (resin solution)>
Resin solutions (B-1) to (B-9) containing the resin represented by the following structure 1 or structure 2 were used for preparing the curable composition.
In the structural formula, the numbers attached to each repeating unit (X and Y are also numbers) are intended to be the content (molar ratio) of each repeating unit in the resin.
In the resin of structure 1, the ratio of X and Y was appropriately changed so that the acid value of each resin became the value shown in Table 1.

Figure 0007083887000020
Figure 0007083887000020

Figure 0007083887000021
Figure 0007083887000021

樹脂溶液(B-1)~(B-9)に含まれる樹脂の構造、並びに、その分子量及び酸価を下記表に示す。
また、樹脂溶液に含まれる樹脂と溶剤(PGMEA)との含有量の割合(質量比)も下記表に示す。
樹脂溶液(B-1)~(B-5)が含有する樹脂が、樹脂Aに相当する。
The structure of the resin contained in the resin solutions (B-1) to (B-9), and the molecular weight and acid value thereof are shown in the table below.
The ratio (mass ratio) of the content of the resin and the solvent (PGMEA) contained in the resin solution is also shown in the table below.
The resin contained in the resin solutions (B-1) to (B-5) corresponds to the resin A.

Figure 0007083887000022
Figure 0007083887000022

<光重合開始剤>
以下の光重合開始剤を、硬化性組成物の調製に用いた。
・C-1:IRGACURE OXE-03(BASF製)
・C-2:IRGACURE OXE-02(BASF製)
・C-3:IRGACURE 369(BASF製)
なお、上記光重合性化合物の内、C-1及びC-2は、オキシムエステル系重合開始剤である。
また、C-1は、以下に示す構造を有する。
<Photopolymerization initiator>
The following photopolymerization initiators were used in the preparation of the curable composition.
・ C-1: IRGACURE OXE-03 (manufactured by BASF)
・ C-2: IRGACURE OXE-02 (manufactured by BASF)
・ C-3: IRGACURE 369 (manufactured by BASF)
Among the above photopolymerizable compounds, C-1 and C-2 are oxime ester-based polymerization initiators.
Further, C-1 has the following structure.

Figure 0007083887000023
Figure 0007083887000023

<重合性化合物>
以下の重合性化合物を、硬化性組成物の調製に用いた。
・D-1:「C-(CHOOC-CH=CH」で表される化合物。(4官能、二重結合当量11.3mmol/g)
・D-2:下記化合物(5~6官能、二重結合当量10.1mmol/g)
・D-3:下記化合物(4官能、二重結合当量7.6mmol/g)
上記「官能」の値は、重合性化合物1分子が有するエチレン性不飽和基の数を示す。
なお、D-2は、5官能の重合性化合物と6官能の重合性化合物とが混在しており、その混合比は、5官能の重合性化合物/6官能の重合性化合物=30/70(質量比)である。D-2全体としての二重結合当量(6官能の重合性化合物及び5官能の重合性化合物の、二重結合当量の加重平均の値)が10.1mmol/gである。
<Polymerizable compound>
The following polymerizable compounds were used to prepare the curable composition.
-D-1: A compound represented by "C- (CH 2 OOC-CH = CH 2 ) 4 ". (4 functional, double bond equivalent 11.3 mmol / g)
D-2: The following compound (5 to 6 functional, double bond equivalent 10.1 mmol / g)
D-3: The following compound (tetrafunctional, double bond equivalent 7.6 mmol / g)
The above-mentioned "functional" value indicates the number of ethylenically unsaturated groups contained in one molecule of the polymerizable compound.
In D-2, a pentafunctional polymerizable compound and a hexafunctional polymerizable compound are mixed, and the mixing ratio thereof is a pentafunctional polymerizable compound / a hexafunctional polymerizable compound = 30/70 (). (Mass ratio). The double bond equivalent of D-2 as a whole (the weighted average value of the double bond equivalents of the hexafunctional polymerizable compound and the pentafunctional polymerizable compound) is 10.1 mmol / g.

Figure 0007083887000024
Figure 0007083887000024

<界面活性剤>
以下の界面活性剤を、硬化性組成物の調製に用いた。
・E-1:下記構造式で表される界面活性剤
なお、下記構造式中の各繰り返し単位に付された数字は、各繰り返し単位のモル比を示す。また、構造式中、m=17、m=17、l+n=14、l+n=14である。重量平均分子量は15000である。
<Surfactant>
The following surfactants were used in the preparation of the curable composition.
E-1: Surfactant represented by the following structural formula The numbers attached to each repeating unit in the following structural formula indicate the molar ratio of each repeating unit. Further, in the structural formula, m 1 = 17, m 2 = 17, l 1 + n 1 = 14, l 2 + n 2 = 14. The weight average molecular weight is 15,000.

Figure 0007083887000025
Figure 0007083887000025

<重合禁止剤>
以下の重合禁止剤を、硬化性組成物の調製に用いた。
・p-メトキシフェノール
<Polymerization inhibitor>
The following polymerization inhibitors were used to prepare the curable composition.
・ P-Methoxyphenol

<溶剤>
以下の溶剤を、硬化性組成物の調製に用いた。
・シクロヘキサノン
<Solvent>
The following solvents were used to prepare the curable composition.
・ Cyclohexanone

上述の成分を混合して、各実施例又は各比較例で使用する、硬化性組成物を調製した。 The above components were mixed to prepare a curable composition for use in each Example or Comparative Example.

〔試験〕
<線幅の測定(線幅安定性)>
調製直後の硬化性組成物を、ガラス基板上にスピンコート法により塗布して、露光後の膜厚が1.7μmになるような塗膜を形成した。100℃で120秒のプリベークを行った後、得られた硬化性組成物層に対して、UX-1000SM-EH04(ウシオ電機(株)製)を用いて、高圧水銀ランプ(ランプパワー50mW/cm)で、開口線幅50μmのラインアンドスペースパターンのマスクを介したプロキシミティ方式による露光(プロキシミティ露光)を行った。
この際、露光量は、現像後に得られるパターンのライン部の幅(線幅)の平均値(100点の平均値)が50μmになるように調整した。
露光後、現像装置(AD-1200、ミカサ製)を使用して、現像液(CD-2060、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ社製)で15秒間、パドル法による現像を行った。更に、シャワーノズルを用いて純水で30秒洗浄し、基板上にパターン状の硬化膜(単に「パターン」ともいう)を形成した。
光学顕微鏡を用いてパターンの線幅を測定(100点)し、線幅のバラつき(3σ)を、以下の観点により評価した。
〔test〕
<Measurement of line width (line width stability)>
The curable composition immediately after preparation was applied onto a glass substrate by a spin coating method to form a coating film having a film thickness of 1.7 μm after exposure. After prebaking at 100 ° C. for 120 seconds, a high-pressure mercury lamp (lamp power 50 mW / cm) was used for the obtained curable composition layer using UX-1000SM-EH04 (manufactured by Ushio, Inc.). In 2 ), exposure by the proximity method (proximity exposure) was performed through a mask of a line-and-space pattern having an opening line width of 50 μm.
At this time, the exposure amount was adjusted so that the average value (average value of 100 points) of the width (line width) of the line portion of the pattern obtained after development was 50 μm.
After the exposure, development was carried out by the paddle method for 15 seconds with a developer (CD-2060, manufactured by Fujifilm Electronics Materials Co., Ltd.) using a developing device (AD-1200, manufactured by Mikasa). Further, it was washed with pure water for 30 seconds using a shower nozzle to form a patterned cured film (also simply referred to as “pattern”) on the substrate.
The line width of the pattern was measured using an optical microscope (100 points), and the variation in line width (3σ) was evaluated from the following viewpoints.

A:線幅のバラつきが、4μm以下
B:線幅のバラつきが、4μm超8μm以下
C:線幅のバラつきが、8μm超
A: Line width variation is 4 μm or less B: Line width variation is more than 4 μm 8 μm or less C: Line width variation is more than 8 μm

<アンダーカット幅の測定(アンダーカット抑制性)>
線幅の測定の試験と同様にして、基板上にパターンを形成した。
走査型電子顕微鏡(SEM、S-4800(日立ハイテクノロジーズ(株)))を用いてパターンの断面SEM像を観察し、アンダーカット幅を測定し、以下の観点により、評価した。
<Measurement of undercut width (undercut suppression)>
A pattern was formed on the substrate in the same manner as in the line width measurement test.
A cross-sectional SEM image of the pattern was observed using a scanning electron microscope (SEM, S-4800 (Hitachi High-Technologies Corporation)), the undercut width was measured, and the evaluation was made from the following viewpoints.

A:アンダーカット幅が、1.2μm未満で問題ないレベル
B:アンダーカット幅が、1.2μm以上1.8μm未満で実用上問題ないレベル
C:アンダーカット幅が、1.8μm以上で実用上問題あるレベル
A: No problem when the undercut width is less than 1.2 μm B: Practical problem when the undercut width is 1.2 μm or more and less than 1.8 μm C: Practical use when the undercut width is 1.8 μm or more Problematic level

<剥がれの測定(剥がれ抑制性)>
線幅の測定の試験と同様にして、基板上にパターンを形成した。
光学顕微鏡を用いてパターンの表面の顕微鏡画像を観察し、パターン剥がれの有無に関して以下の観点により、評価した。
<Measurement of peeling (peeling inhibitory property)>
A pattern was formed on the substrate in the same manner as in the line width measurement test.
A microscope image of the surface of the pattern was observed using an optical microscope, and the presence or absence of pattern peeling was evaluated from the following viewpoints.

A:パターン全体で剥がれが見られず問題ないレベル
B:一部パターンで剥がれが見られるが実用上問題ないレベル
C:パターンの大部分が剥がれており実用上問題あるレベル
A: No problem with peeling in the entire pattern B: Peeling is seen in some patterns but no problem in practical use C: Most of the pattern is peeled off and there is a problem in practical use

<残渣の測定(残渣抑制性)>
線幅の測定の試験と同様にして、基板上にパターンを形成した。
走査型電子顕微鏡(S-4800(日立ハイテクノロジーズ(株)))を用いて、基板上の、現像工程で硬化性組成物層が除去された箇所を観察し、以下の観点により、評価した。
<Measurement of residue (residue inhibitory property)>
A pattern was formed on the substrate in the same manner as in the line width measurement test.
Using a scanning electron microscope (S-4800 (Hitachi High-Technologies Corporation)), the portion of the substrate from which the curable composition layer was removed in the developing step was observed and evaluated from the following viewpoints.

A:残渣が全く見られず問題ないレベル
B:一部残渣が見られるが実用上問題ないレベル
C:残渣が多く見られ実用上問題あるレベル
A: No problem with no residue B: Some residue is seen but no problem in practical use C: A lot of residue is seen and there is no problem in practical use

<反射率の評価>
露光の際にマスクを用いずに光を照射したこと以外は、線幅の測定の試験と同様にして、基板上に硬化膜を有する、硬化膜形成基板を作製した。
作製した硬化膜形成基板に対し、日本分光株式会社製分光器(製品名:V7200、絶対反射率測定ユニットを併用)を用いて、角度5°の入射角で波長500nmの光を入射して測定した反射率から、以下の観点により評価した。反射率は、小さい方が好ましい。
<Evaluation of reflectance>
A cured film-forming substrate having a cured film on the substrate was produced in the same manner as in the line width measurement test, except that light was irradiated without using a mask during exposure.
Measured by injecting light with a wavelength of 500 nm at an incident angle of 5 ° using a spectroscope manufactured by Nippon Spectrometer Co., Ltd. (product name: V7200, combined with an absolute reflectance measuring unit) on the produced cured film-forming substrate. The reflectance was evaluated from the following viewpoints. The reflectance is preferably small.

A:反射率が3%未満で問題ないレベル
B:反射率が3%以上5%未満で実用上問題ないレベル
C:反射率が5%以上7%未満で実用上問題ないレベル
D:反射率が7%以上で実用上問題あるレベル
A: No problem if the reflectance is less than 3% B: No problem in practical use if the reflectance is 3% or more and less than 5% C: No problem in practical use if the reflectance is 5% or more and less than 7% Level D: No problem in practical use Is 7% or more, which is a practically problematic level

<反射率の変化率の評価(反射率の経時安定性)>
調製後の硬化性組成物を、23℃において10日間保存した後、更に、7℃において90日間保存した。このような保存処理後の硬化性組成物を使用した点以外は上述したのと同様にして反射率の評価を行い、得られた結果から反射率の変化率を下記式に従って算出し、以下の基準で反射率の経時安定性を評価した。反射率の変化率は、小さい方が好ましい。
(式)(反射率の変化率)=(((保存処理後の硬化性組成物を用いて形成された硬化膜の反射率)-(保存処理前の硬化性組成物を用いて形成された硬化膜の反射率))/(保存処理前の硬化性組成物を用いて形成された硬化膜の反射率))×100(%)
<Evaluation of change rate of reflectance (stability of reflectance over time)>
The prepared curable composition was stored at 23 ° C. for 10 days and then at 7 ° C. for 90 days. Except for the fact that the curable composition after such storage treatment was used, the reflectance was evaluated in the same manner as described above, and the rate of change in reflectance was calculated from the obtained results according to the following formula. The temporal stability of reflectance was evaluated as a standard. The rate of change in reflectance is preferably small.
(Equation) (Reflectance rate of change) = (((Reflectance of the cured film formed using the curable composition after the storage treatment))-(Formed using the curable composition before the storage treatment) (Reflectance of cured film)) / (Reflectance of cured film formed using the curable composition before storage treatment)) x 100 (%)

A:反射率の変化率が5%未満で問題ないレベル。
B:反射率の変化率が5%以上で問題あるレベル。
A: There is no problem if the rate of change in reflectance is less than 5%.
B: A problematic level when the rate of change in reflectance is 5% or more.

<線幅の変化率の評価(線幅の経時安定性)>
調製後の硬化性組成物を、23℃において10日間保存した後、更に、7℃において90日間保存した。
このような保存処理後の硬化性組成物を使用して、線幅の測定の試験と同様にパターンを形成した。ただしここでは、保存処理前の硬化性組成物を使用して線幅50μmのパターンを形成した際の露光量と同一の露光量で露光した。
得られたパターンの線幅を100点測定した平均値を、保存処理後の硬化性組成物を用いて形成されたパターンの線幅とした。
得られた結果から線幅の変化率を下記式に従って算出し、以下の基準で線幅の経時安定性を評価した。線幅の変化率は、小さい方が好ましい。
(式)(線幅の変化率)=(((保存処理後の硬化性組成物を用いて形成されたパターンの線幅)-(保存処理前の硬化性組成物を用いて形成されたパターンの線幅))/(保存処理前の硬化性組成物を用いて形成されたラインパターンの線幅))×100(%)
<Evaluation of rate of change in line width (stability of line width over time)>
The prepared curable composition was stored at 23 ° C. for 10 days and then at 7 ° C. for 90 days.
The curable composition after such a preservation treatment was used to form a pattern as in the line width measurement test. However, here, the exposure amount was the same as the exposure amount when the pattern having the line width of 50 μm was formed by using the curable composition before the storage treatment.
The average value obtained by measuring the line width of the obtained pattern at 100 points was taken as the line width of the pattern formed by using the curable composition after the storage treatment.
From the obtained results, the rate of change of the line width was calculated according to the following formula, and the stability of the line width over time was evaluated according to the following criteria. The rate of change in line width is preferably small.
(Formula) (Rate of change in line width) = (((Line width of pattern formed using curable composition after storage treatment))-(Pattern formed using curable composition before storage treatment) Line width)) / (Line width of line pattern formed using the curable composition before storage treatment)) x 100 (%)

A:線幅の変化率が5%未満で問題ないレベル。
B:線幅の変化率が5%以上で問題あるレベル。
A: There is no problem if the rate of change in line width is less than 5%.
B: A problematic level when the rate of change in line width is 5% or more.

〔結果〕
下記表に、各実施例及び比較例で使用した硬化性組成物の配合、並びに、試験結果を示す。
なお、比較例1及び4の化合物においては、パターンを形成できなかった。
表中、「含有量」の欄は、各硬化性組成物中における各成分の含有量(質量%)を示す。溶剤の含有量としての「残部」の記載は、表に記載の各成分の含有量の合計が100になるように必要な量の溶剤を添加したことを示す。
例えば、実施例1の硬化性組成物は、チタンブラック分散液(A-1)を、63質量%含有することを示す。
「樹脂の酸価」の欄は、硬化性組成物に使用した樹脂溶液が含有する樹脂の酸価を示す。
「樹脂の分子量」の欄は、硬化性組成物に使用した樹脂溶液が含有する樹脂の重量平均分子量を示す。
「樹脂B」の欄は、硬化性組成物が樹脂Bを含有するか否かを示す。上記要件を満たす場合をAとし、満たさない場合をBとした。
「オキシム系光重合開始剤」の欄は、硬化性組成物が含有する光重合開始剤がオキシムエステル系重合開始剤であるか否かを示す。上記要件を満たす場合をAとし、満たさない場合をBとした。
「特定光重合開始剤」の欄は、硬化性組成物が含有する光重合開始剤が特定重合開始剤であるか否かを示す。上記要件を満たす場合をAとし、満たさない場合をBとした。
「黒色色材の種類」の欄は、硬化性組成物が含有する黒色色材の種類を示す。TBは、チタンブラック(窒化チタン)を意図し、CBはカーボンブラックを意図し、黒染料は黒色染料を意図する。
「重合性化合物の官能基数」の欄は、硬化性組成物が含有する重合性化合物が有するエチレン性不飽和基の数を示す。
〔result〕
The table below shows the formulations of the curable compositions used in each Example and Comparative Example, as well as the test results.
No pattern could be formed in the compounds of Comparative Examples 1 and 4.
In the table, the column of "content" indicates the content (mass%) of each component in each curable composition. The description of "remaining" as the content of the solvent indicates that the required amount of solvent was added so that the total content of each component shown in the table would be 100.
For example, the curable composition of Example 1 shows that it contains 63% by mass of the titanium black dispersion (A-1).
The column of "acid value of resin" indicates the acid value of the resin contained in the resin solution used in the curable composition.
The column of "Molecular weight of resin" indicates the weight average molecular weight of the resin contained in the resin solution used in the curable composition.
The column of "resin B" indicates whether or not the curable composition contains resin B. The case where the above requirements were satisfied was designated as A, and the case where the above requirements were not met was designated as B.
The column of "Oxime-based photopolymerization initiator" indicates whether or not the photopolymerization initiator contained in the curable composition is an oxime ester-based polymerization initiator. The case where the above requirements were satisfied was designated as A, and the case where the above requirements were not met was designated as B.
The column of "Specified photopolymerization initiator" indicates whether or not the photopolymerization initiator contained in the curable composition is a specific polymerization initiator. The case where the above requirements were satisfied was designated as A, and the case where the above requirements were not met was designated as B.
The column of "Type of black color material" indicates the type of black color material contained in the curable composition. TB is intended for titanium black (titanium nitride), CB is intended for carbon black, and black dye is intended for black dye.
The column of "Number of functional groups of the polymerizable compound" indicates the number of ethylenically unsaturated groups contained in the polymerizable compound contained in the curable composition.

Figure 0007083887000026
Figure 0007083887000026

本発明の硬化性組成物を使用すれば、線幅安定性に優れる硬化膜(パターン状硬化膜を含有する)を形成できることが確認された。
また、重合禁止剤を含有しない比較例5の硬化性組成物では、得られる硬化膜の線幅の経時安定性については問題がない一方で、反射率の経時安定性には問題があった。対して、重合禁止剤を含有する本発明の硬化性組成物は、得られる硬化膜の反射率の経時安定性も良好であった。
硬化性組成物が樹脂Bを含有する場合、硬化膜の反射率がより優れることが確認された(実施例5と6との比較)。
黒色色材として黒色顔料を使用する場合、硬化膜の反射率がより優れ(実施例5と6との比較)、更に、黒色顔料がチタンブラック(チタン窒化物)である場合、硬化膜の剥がれ抑制性がより優れることが確認された(実施例1と5との比較)。
要件1を満たす樹脂Aの酸価が、170~300mgKOH/gである場合、硬化膜の線幅安定性、アンダーカット抑制性、及び、反射率がより優れることが確認された(実施例1と8との比較)。
要件2を満たす樹脂Aの重量平均分子量が、6500以下である場合、硬化膜の残渣抑制性がより優れ(実施例9と10との比較)、3000~5000である場合、硬化膜の線幅安定性、アンダーカット抑制性、及び、反射率がより優れることが確認された(実施例1と9との比較)。
光重合性化合物が、オキシム系光重合開始剤である場合、硬化膜の線幅安定性及びアンダーカット抑制性がより優れ(実施例3と12との比較)、特定光重合開始剤である場合、硬化膜の剥がれ抑制性がより優れることが確認された(実施例1と3との比較)。
重合性化合物が有するエチレン性不飽和基の数が4個である場合、硬化膜の反射率がより優れ(実施例7とその他の実施例との比較)、更に、重合性化合物の二重結合当量が11.0mmol/g以上である場合、硬化膜の線幅安定性、アンダーカット抑制性、剥がれ抑制性、及び、反射率がより優れることが確認された(実施例1と11との比較)。
It was confirmed that by using the curable composition of the present invention, a cured film (containing a patterned cured film) having excellent line width stability can be formed.
Further, in the curable composition of Comparative Example 5 containing no polymerization inhibitor, there was no problem in the temporal stability of the line width of the obtained cured film, but there was a problem in the temporal stability of the reflectance. On the other hand, the curable composition of the present invention containing a polymerization inhibitor also had good temporal stability of the reflectance of the obtained cured film.
It was confirmed that when the curable composition contained the resin B, the reflectance of the cured film was more excellent (comparison between Examples 5 and 6).
When a black pigment is used as the black color material, the reflectance of the cured film is better (compared with Examples 5 and 6), and when the black pigment is titanium black (titanium nitride), the cured film is peeled off. It was confirmed that the inhibitory property was more excellent (comparison between Examples 1 and 5).
It was confirmed that when the acid value of the resin A satisfying the requirement 1 is 170 to 300 mgKOH / g, the line width stability of the cured film, the undercut inhibitory property, and the reflectance are more excellent (as in Example 1). Comparison with 8).
When the weight average molecular weight of the resin A satisfying the requirement 2 is 6500 or less, the residue suppressing property of the cured film is more excellent (compared with Examples 9 and 10), and when it is 3000 to 5000, the line width of the cured film is obtained. It was confirmed that the stability, the undercut inhibitory property, and the reflectance were better (comparison between Examples 1 and 9).
When the photopolymerizable compound is an oxime-based photopolymerization initiator, the cured film has better linear width stability and undercut inhibitory properties (compared with Examples 3 and 12), and is a specific photopolymerization initiator. It was confirmed that the peeling inhibitory property of the cured film was more excellent (comparison between Examples 1 and 3).
When the number of ethylenically unsaturated groups contained in the polymerizable compound is 4, the reflectance of the cured film is higher (comparison between Example 7 and other examples), and further, the double bond of the polymerizable compound is obtained. When the equivalent was 11.0 mmol / g or more, it was confirmed that the line width stability, undercut inhibitory property, peeling inhibitory property, and reflectance of the cured film were more excellent (comparison between Examples 1 and 11). ).

100・・・固体撮像装置
101・・・固体撮像素子
102・・・撮像部
103・・・カバーガラス
104・・・スペーサー
105・・・積層基板
106・・・チップ基板
107・・・回路基板
108・・・電極パッド
109・・・外部接続端子
110・・・貫通電極
111・・・レンズ層
112・・・レンズ材
113・・・支持体
114、115・・・硬化膜
201・・・受光素子
202・・・カラーフィルタ
201・・・受光素子
202・・・カラーフィルタ
203・・・マイクロレンズ
204・・・基板
205b・・・青色画素
205r・・・赤色画素
205g・・・緑色画素
205bm・・・ブラックマトリクス
206・・・pウェル層
207・・・読み出しゲート部
208・・・垂直転送路
209・・・素子分離領域
210・・・ゲート絶縁膜
211・・・垂直転送電極
212・・・硬化膜
213、214・・・絶縁膜
215・・・平坦化膜

100 ... Solid-state image sensor 101 ... Solid-state image sensor 102 ... Image pickup unit 103 ... Cover glass 104 ... Spacer 105 ... Laminated substrate 106 ... Chip substrate 107 ... Circuit substrate 108 ... Electrode pad 109 ... External connection terminal 110 ... Through electrode 111 ... Lens layer 112 ... Lens material 113 ... Support 114, 115 ... Hardened film 201 ... Light receiving element 202 ... Color filter 201 ... Light receiving element 202 ... Color filter 203 ... Micro lens 204 ... Substrate 205b ... Blue pixel 205r ... Red pixel 205g ... Green pixel 205bm ...・ Black matrix 206 ・ ・ ・ p-well layer 207 ・ ・ ・ Read gate part 208 ・ ・ ・ Vertical transfer path 209 ・ ・ ・ Element separation region 210 ・ ・ ・ Gate insulating film 211 ・ ・ ・ Vertical transfer electrode 212 ・ ・ ・ Curing Films 213, 214 ... Insulation film 215 ... Flattening film

Claims (18)

黒色色材、重合性化合物、樹脂A、光重合開始剤、及び、重合禁止剤を含有し、
前記樹脂Aが、酸価が120~350mgKOH/gであること、及び、重量平均分子量が3000~7500であることのいずれか一方の要件を満たす、硬化性組成物であって、
前記重合性化合物の二重結合当量が、11.0mmol/g以上である、硬化性組成物。ただし、前記硬化性組成物が、複数種類の前記重合性化合物を含有し、それぞれの二重結合当量が同一ではない場合は、全重合性化合物における各重合性化合物の質量比と、各重合性化合物の二重結合当量との積を、それぞれ合計した値を前記二重結合当量とする。
Contains a black colorant, a polymerizable compound, a resin A, a photopolymerization initiator, and a polymerization inhibitor.
The resin A is a curable composition that satisfies either the requirement of having an acid value of 120 to 350 mgKOH / g and having a weight average molecular weight of 3000 to 7500.
A curable composition having a double bond equivalent of the polymerizable compound of 11.0 mmol / g or more. However, when the curable composition contains a plurality of types of the polymerizable compound and their double bond equivalents are not the same, the mass ratio of each polymerizable compound in the total polymerizable compound and each polymerizable compound. The sum of the products of the compounds with the double bond equivalents is taken as the double bond equivalent.
前記樹脂Aの酸価が170~300mgKOH/gである、請求項1に記載の硬化性組成物。 The curable composition according to claim 1 , wherein the acid value of the resin A is 170 to 300 mgKOH / g. 前記光重合開始剤が、オキシムエステル系重合開始剤である、請求項1又は2に記載の硬化性組成物。 The curable composition according to claim 1 or 2 , wherein the photopolymerization initiator is an oxime ester-based polymerization initiator. 黒色色材、重合性化合物、樹脂A、光重合開始剤、及び、重合禁止剤を含有し、
前記樹脂Aが、酸価が170~300mgKOH/gである、硬化性組成物であって、
前記光重合開始剤が、オキシムエステル系重合開始剤である、硬化性組成物。
Contains a black colorant, a polymerizable compound, a resin A, a photopolymerization initiator, and a polymerization inhibitor.
The resin A is a curable composition having an acid value of 170 to 300 mgKOH / g.
A curable composition in which the photopolymerization initiator is an oxime ester-based polymerization initiator.
前記重合性化合物の含有量に対する、前記重合禁止剤の含有量の質量比が、0.0005超である、請求項1~4のいずれか1項に記載の硬化性組成物。 The curable composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the mass ratio of the content of the polymerization inhibitor to the content of the polymerizable compound is more than 0.0005. 黒色色材、重合性化合物、樹脂A、光重合開始剤、及び、重合禁止剤を含有し、
前記樹脂Aが、酸価が170~300mgKOH/gである、硬化性組成物であって、
前記重合性化合物の含有量に対する、前記重合禁止剤の含有量の質量比が、0.0005超である、硬化性組成物。
Contains a black colorant, a polymerizable compound, a resin A, a photopolymerization initiator, and a polymerization inhibitor.
The resin A is a curable composition having an acid value of 170 to 300 mgKOH / g.
A curable composition in which the mass ratio of the content of the polymerization inhibitor to the content of the polymerizable compound is more than 0.0005.
更に、前記樹脂Aとは異なる樹脂であって、オキシアルキレン基及びオキシアルキレンカルボニル基からなる群から選択される1種以上の基を有する樹脂である樹脂Bを含有する、請求項1~6のいずれか1項に記載の硬化性組成物。 Further, claim 1 to 6, wherein the resin B is different from the resin A and has one or more groups selected from the group consisting of an oxyalkylene group and an oxyalkylene carbonyl group. The curable composition according to any one item. 前記重合性化合物が、4個のエチレン性不飽和基を有する、請求項1~のいずれか1項に記載の硬化性組成物。 The curable composition according to any one of claims 1 to 7 , wherein the polymerizable compound has four ethylenically unsaturated groups. 前記樹脂Aの重量平均分子量が3000~5000である、請求項1~のいずれか1項に記載の硬化性組成物。 The curable composition according to any one of claims 1 to 8 , wherein the resin A has a weight average molecular weight of 3000 to 5000. 前記樹脂Aの全繰り返し単位中、(メタ)アクリル系単量体由来の繰り返し単位の含有量が50モル%以上である、請求項1~9のいずれか1項に記載の硬化性組成物。 The curable composition according to any one of claims 1 to 9, wherein the content of the repeating unit derived from the (meth) acrylic monomer is 50 mol% or more in all the repeating units of the resin A. 前記樹脂Aが、ベンジル(メタ)アクリレート及び(メタ)アクリル酸の共重合体である、請求項1~10のいずれか1項に記載の硬化性組成物。 The curable composition according to any one of claims 1 to 10, wherein the resin A is a copolymer of benzyl (meth) acrylate and (meth) acrylic acid. 前記光重合開始剤が、下記一般式(A)で表される化合物である、請求項1~11のいずれか1項に記載の硬化性組成物。
Figure 0007083887000027
The curable composition according to any one of claims 1 to 11, wherein the photopolymerization initiator is a compound represented by the following general formula (A).
Figure 0007083887000027
前記黒色色材が、黒色顔料である、請求項1~12のいずれか1項に記載の硬化性組成物。 The curable composition according to any one of claims 1 to 12, wherein the black color material is a black pigment. 請求項1~13のいずれか1項に記載の硬化性組成物を用いて形成される、硬化膜。 A cured film formed by using the curable composition according to any one of claims 1 to 13. 遮光膜である、請求項14に記載の硬化膜。 The cured film according to claim 14, which is a light-shielding film. 請求項14又は15に記載の硬化膜を有する、光学素子。 An optical element having the cured film according to claim 14 or 15. 請求項14又は15に記載の硬化膜を有する、固体撮像素子。 A solid-state image sensor having the cured film according to claim 14 or 15. 請求項14又は15に記載の硬化膜を有する、カラーフィルタ。 A color filter having the cured film according to claim 14 or 15.
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