JP7080564B2

JP7080564B2 - Cutting device and nozzle height inspection method

Info

Publication number: JP7080564B2
Application number: JP2018152490A
Authority: JP
Inventors: 一馬関家
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2018-08-13
Filing date: 2018-08-13
Publication date: 2022-06-06
Anticipated expiration: 2038-08-13
Also published as: JP2020026008A

Description

本発明は、切削ブレードで被加工物を切削する切削装置と、該切削装置において該切削ブレードに切削水を供給するノズルの高さ検査方法に関する。 The present invention relates to a cutting device that cuts a workpiece with a cutting blade and a method for inspecting the height of a nozzle that supplies cutting water to the cutting blade in the cutting device.

半導体デバイスを搭載したデバイスチップは、半導体ウェーハやパッケージ基板等が分割されて形成される。交差する複数の分割予定ラインにより半導体ウェーハ等の表面を区画し、区画された各領域に半導体デバイスを形成し、その後、該半導体ウェーハ等を分割予定ラインに沿って分割すると個々のデバイスチップを形成できる。 A device chip on which a semiconductor device is mounted is formed by dividing a semiconductor wafer, a package substrate, or the like. The surface of a semiconductor wafer or the like is partitioned by a plurality of intersecting scheduled division lines, semiconductor devices are formed in each of the partitioned regions, and then the semiconductor wafer or the like is divided along the scheduled division lines to form individual device chips. can.

半導体ウェーハ等の分割には、例えば、円環状の切削ブレードが装着された切削ユニットを備える切削装置が用いられる。切削装置では、切削ブレードを半導体ウェーハ等の被加工物の表面に対して垂直な面内に回転させ、切削ブレードを切り込み送り方向の所定の高さ位置に下降させ、被加工物を分割予定ラインに沿う方向に加工送りして切削ブレードで被加工物を切削する。 For dividing a semiconductor wafer or the like, for example, a cutting device provided with a cutting unit equipped with an annular cutting blade is used. In the cutting equipment, the cutting blade is rotated in a plane perpendicular to the surface of the workpiece such as a semiconductor wafer, the cutting blade is lowered to a predetermined height position in the cutting feed direction, and the workpiece is to be divided. The work piece is cut with a cutting blade by processing and feeding in the direction along.

切削ブレードで被加工物を切削すると、被加工物に由来する切削屑が発生して被加工箇所の周囲に飛散する。また、加工熱が発生する。そこで、切削装置は、切削水を供給するノズルを切削ブレードの近傍に備え、被加工物の切削が実施される際には、該ノズルから該切削ブレード及び該被加工物に切削水が供給される。切削装置では、切削水により切削屑及び加工熱が除去されながら被加工物が切削される。 When a work piece is cut with a cutting blade, cutting chips derived from the work piece are generated and scattered around the work piece. In addition, processing heat is generated. Therefore, the cutting device is provided with a nozzle for supplying cutting water in the vicinity of the cutting blade, and when cutting of the workpiece is performed, the cutting water is supplied from the nozzle to the cutting blade and the workpiece. To. In the cutting device, the workpiece is cut while the cutting chips and processing heat are removed by the cutting water.

切削屑及び加工熱を効率的に除去するために、該ノズルは、切削ブレード及び被加工物に極めて近い位置に設けられるのが好ましい。そこで、直線状のパイプ部分を有するノズルの該パイプ部分が切削ブレードの側面、及び被加工物の表面に沿うように、該ノズルが切削装置に固定される。さらに、ノズルを所定の位置に高い精度で固定するために、該ノズルの位置を微調整するための専用の治具が使用される場合もある（特許文献１参照）。 In order to efficiently remove cutting chips and processing heat, the nozzle is preferably provided at a position very close to the cutting blade and the workpiece. Therefore, the nozzle is fixed to the cutting device so that the pipe portion of the nozzle having the linear pipe portion is along the side surface of the cutting blade and the surface of the workpiece. Further, in order to fix the nozzle in a predetermined position with high accuracy, a dedicated jig for finely adjusting the position of the nozzle may be used (see Patent Document 1).

特開２０１０－４２４９０号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2010-42490

しかしながら、切削ブレードを交換する際、ノズルを固定する高さ位置の設定を誤る場合や、ノズルに触れてノズルを移動させてしまう場合等、該ノズルが誤った高さ位置に固定される場合がある。ノズルが誤った高さ位置に固定されると、被加工物の切削時に該ノズルが被加工物に衝突して、該ノズルや被加工物に損傷が生じるおそれがある。 However, when replacing the cutting blade, the nozzle may be fixed at the wrong height position, such as when the height position for fixing the nozzle is set incorrectly or when the nozzle is touched and the nozzle is moved. be. If the nozzle is fixed at an incorrect height position, the nozzle may collide with the workpiece when cutting the workpiece, and the nozzle or the workpiece may be damaged.

従来、被加工物の切削が実施される前に、固定されたノズルの高さ位置が許容される範囲内であるか否か、切削装置の使用者（オペレータ）が目視で確認していた。また、上述の治具によりノズルの高さ位置を確認する場合もあった。しかしながら、これらの方法でノズルの高さ位置を確認するのは手間であり、また、該許容される範囲からのずれが小さい場合にノズルの高さ位置の誤りを検知できない場合があった。 Conventionally, before cutting the workpiece, the user (operator) of the cutting device visually confirms whether or not the height position of the fixed nozzle is within the allowable range. In addition, the height position of the nozzle may be confirmed by the above-mentioned jig. However, it is troublesome to confirm the height position of the nozzle by these methods, and there are cases where an error in the height position of the nozzle cannot be detected when the deviation from the allowable range is small.

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、切削水を供給するノズルの高さ位置の誤りを容易かつ確実に検出でき、該ノズルの衝突による被加工物の損傷を防止できる切削装置及びノズルの高さ検査方法を提供することである。 The present invention has been made in view of such a problem, and an object thereof is to easily and surely detect an error in the height position of a nozzle for supplying cutting water, and a workpiece due to a collision of the nozzles. It is to provide a cutting device and a nozzle height inspection method capable of preventing damage to the nozzle.

本発明の一態様によると、被加工物が載せられる保持面を有し、該保持面上に載る被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードと、該切削ブレードが装着されるスピンドルと、該切削ブレードに切削水を供給するノズルと、を有する切削ユニットと、を備える切削装置であって、さらに、該保持面と直交する高さ方向における該ノズルの位置が異常であるか否かを判定するノズル高さ判定ユニットを備え、該ノズルは、該保持面及び該切削ブレードの側面に沿って延在する直線状部分を有し、該ノズルの該直線状部分は、先端が該切削ブレードの前方側または後方側に張り出しており、該ノズル高さ判定ユニットは、該ノズルの該直線状部分の該先端が該チャックテーブルの上方に位置し、かつ、該切削ブレードの最下端が該チャックテーブルの水平方向外側に位置するように初期位置に位置付けられた該切削ユニットを下降させ、該切削ブレードの該最下端が該保持面の高さ位置より下方に達するように基準位置にまで該切削ユニットが下降した際に、該ノズルと、該チャックテーブルと、の接触の有無を検出する接触検出部と、該接触検出部が該ノズルと、該チャックテーブルと、の接触を検出した場合に該高さ方向における該ノズルの位置が異常であることを報知する報知部と、を有することを特徴とする切削装置が提供される。 According to one aspect of the present invention, a chuck table having a holding surface on which a work piece is placed and holding the work piece placed on the holding surface, and cutting for cutting the work piece held on the chuck table. A cutting device comprising a blade, a spindle on which the cutting blade is mounted, and a cutting unit having a nozzle for supplying cutting water to the cutting blade, further in a height direction orthogonal to the holding surface. The nozzle height determination unit for determining whether or not the position of the nozzle is abnormal is provided, and the nozzle has a holding surface and a linear portion extending along the side surface of the cutting blade. The linear portion of the nozzle has a tip projecting to the front side or the rear side of the cutting blade, and the nozzle height determination unit has the tip of the linear portion of the nozzle located above the chuck table. The cutting unit positioned at the initial position so that the lowermost end of the cutting blade is located on the laterally outer side of the chuck table is lowered, and the lowermost end of the cutting blade is the height of the holding surface. When the cutting unit is lowered to the reference position so as to reach below the position, the contact detection unit that detects the presence or absence of contact between the nozzle and the chuck table, and the contact detection unit is the nozzle. Provided is a cutting device comprising the chuck table and a notification unit for notifying that the position of the nozzle in the height direction is abnormal when contact with the chuck table is detected.

好ましくは、該接触検出部は、該チャックテーブルと、該ノズルと、の電気的導通の有無によって接触の有無を検出する。 Preferably, the contact detection unit detects the presence or absence of contact based on the presence or absence of electrical continuity between the chuck table and the nozzle.

または、好ましくは、該接触検出部は、該チャックテーブルと、該ノズルと、が接触する際に発生する弾性波が発生したか否かを検出することで接触の有無を検出する。 Alternatively, preferably, the contact detection unit detects the presence or absence of contact by detecting whether or not an elastic wave generated when the chuck table and the nozzle come into contact with each other is generated.

さらに、本発明の他の一態様によると、該切削装置を用いて該ノズルの該高さ方向における位置が異常であるか否かを判定するノズルの高さ検査方法であって、該切削ユニットを該初期位置に位置付ける検査準備ステップと、該初期位置に位置付けられた該切削ユニットを該基準位置に下降させた際に、該ノズルと、該チャックテーブルと、の接触の有無を該接触検出部により検出する検出ステップと、該検出ステップにおいて、該接触検出部が該接触を検出しない場合に該高さ方向における該ノズルの位置に異常がないと判定し、該接触を検出した場合に該高さ方向における該ノズルの位置が異常であると判定する判定ステップと、該判定ステップで該高さ方向における該ノズルの位置が異常であると判定された場合、該高さ方向における該ノズルの位置に異常があることを報知する報知ステップと、を備えることを特徴とするノズルの高さ検査方法が提供される。 Further, according to another aspect of the present invention, there is a nozzle height inspection method for determining whether or not the position of the nozzle in the height direction of the nozzle is abnormal by using the cutting device, which is a cutting unit. The contact detection unit determines the presence or absence of contact between the nozzle and the chuck table when the inspection preparation step for positioning the nozzle at the initial position and the cutting unit positioned at the initial position are lowered to the reference position. When the contact detection unit does not detect the contact, it is determined that there is no abnormality in the position of the nozzle in the height direction, and when the contact is detected, the height is detected. A determination step for determining that the position of the nozzle in the vertical direction is abnormal, and a determination step for determining that the position of the nozzle in the height direction is abnormal, the position of the nozzle in the height direction. Provided is a nozzle height inspection method comprising a notification step for notifying that there is an abnormality in the nozzle.

本発明の一態様に係る切削装置は、切削水を供給するノズルの高さ方向における位置が異常であるか否かを判定するノズル高さ判定ユニットを備える。該ノズル高さ判定ユニットは、ノズルと、チャックテーブルと、の接触の有無を検出する接触検出部を備える。 The cutting device according to one aspect of the present invention includes a nozzle height determination unit that determines whether or not the position of the nozzle that supplies cutting water in the height direction is abnormal. The nozzle height determination unit includes a contact detection unit that detects the presence or absence of contact between the nozzle and the chuck table.

ノズルの高さ方向における位置の異常の有無をノズル高さ判定ユニットにより検出する際は、切削ユニットを初期位置から基準位置まで下降させ、該ノズルと、該チャックテーブルと、の接触の有無を該接触検出部により検出する。そして、ノズルと、チャックテーブルと、の接触が検出される場合、ノズルの高さ位置が許容される範囲よりも下方であり、ノズルが誤った高さ位置に固定されていることが検出される。 When the nozzle height determination unit detects the presence or absence of an abnormality in the position of the nozzle in the height direction, the cutting unit is lowered from the initial position to the reference position, and the presence or absence of contact between the nozzle and the chuck table is determined. It is detected by the contact detection unit. When the contact between the nozzle and the chuck table is detected, it is detected that the height position of the nozzle is below the allowable range and the nozzle is fixed at the wrong height position. ..

本発明の一態様に係る切削装置では、切削装置の使用者等による目視の確認等の方法に依らずノズルの高さ位置の誤りの有無を確実に検出できる。また、切削ユニットを基準位置にまで下降させるだけでノズルの高さ位置の誤りの有無を容易に検出できる。該高さ位置の誤りが検出された際は、ノズルの高さ位置を修正することにより該ノズルの衝突による被加工物の損傷を防止できる。 In the cutting device according to one aspect of the present invention, the presence or absence of an error in the height position of the nozzle can be reliably detected regardless of a method such as visual confirmation by a user of the cutting device. Further, the presence or absence of an error in the height position of the nozzle can be easily detected only by lowering the cutting unit to the reference position. When an error in the height position is detected, damage to the workpiece due to the collision of the nozzle can be prevented by correcting the height position of the nozzle.

したがって、本発明の一態様によると、切削水を供給するノズルの高さ位置の誤りを容易かつ確実に検出でき、該ノズルの衝突による被加工物の損傷を防止できる切削装置及びノズルの高さ検査方法が提供される。 Therefore, according to one aspect of the present invention, an error in the height position of the nozzle that supplies cutting water can be easily and surely detected, and the height of the cutting device and the nozzle that can prevent damage to the workpiece due to the collision of the nozzles. An inspection method is provided.

切削装置及び被加工物を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically the cutting apparatus and the workpiece. 切削ユニットを拡大して示す斜視図である。It is a perspective view which shows the cutting unit in an enlarged manner. ノズル高さ判定ユニットの構成を模式的に説明する構成図である。It is a block diagram which schematically explains the structure of the nozzle height determination unit. 図４（Ａ）は、ノズルが所定の高さ位置に取り付けられている場合におけるノズルの高さの判定の様子を模式的に示す側面図であり、図４（Ｂ）は、ノズルが所定の高さ位置よりも低い位置に取り付けられている場合におけるノズルの高さの判定の一例を模式的に示す側面図である。FIG. 4A is a side view schematically showing a state of determining the height of the nozzle when the nozzle is mounted at a predetermined height position, and FIG. 4B is a side view where the nozzle is predetermined. It is a side view schematically showing an example of the determination of the height of a nozzle when it is attached to the position lower than the height position. ノズル高さ判定ユニットによるノズルの高さの判定の他の一例を模式的に示す側面図である。It is a side view schematically showing another example of a nozzle height determination by a nozzle height determination unit.

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。まず、図１を用いて、本実施形態に係る切削装置と、該切削装置で切削される被加工物について説明する。図１は、切削装置及び被加工物を模式的に示す斜視図である。被加工物１は、例えば、シリコン、ＳｉＣ（シリコンカーバイド）、若しくは、その他の半導体等の材料、または、サファイア、ガラス、石英等の材料からなる略円板状の基板等である。 An embodiment according to an aspect of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. First, with reference to FIG. 1, the cutting apparatus according to the present embodiment and the workpiece to be cut by the cutting apparatus will be described. FIG. 1 is a perspective view schematically showing a cutting device and a workpiece. The workpiece 1 is, for example, a material such as silicon, SiC (silicon carbide), or other semiconductor, or a substantially disk-shaped substrate made of a material such as sapphire, glass, or quartz.

被加工物１の表面は格子状に配列された複数の分割予定ラインで区画されており、区画された各領域にはＩＣ等のデバイスが形成されている。最終的に、被加工物１が該分割予定ラインに沿って分割されることで、個々のデバイスチップが形成される。例えば、被加工物１は、環状のフレーム５に貼られたテープ３に保持され、フレーム５と、テープ３と、と一体となったフレームユニット７の状態で切削される。 The surface of the workpiece 1 is partitioned by a plurality of scheduled division lines arranged in a grid pattern, and devices such as ICs are formed in each of the partitioned regions. Finally, the workpiece 1 is divided along the planned division line to form individual device chips. For example, the workpiece 1 is held by the tape 3 attached to the annular frame 5, and is cut in the state of the frame unit 7 integrated with the frame 5 and the tape 3.

図１に示す通り、該切削装置２は、各構成要素を支持する装置基台４を備える。装置基台４の中央上部には、Ｘ軸移動テーブル６と、該Ｘ軸移動テーブル６をＸ軸方向（加工送り方向）に移動させるＸ軸移動機構と、Ｘ軸移動機構を覆う防塵防滴カバー（不図示）と、該防塵防滴カバー上に到達した液体を受ける排水路２０と、が設けられている。該Ｘ軸移動機構は、Ｘ軸方向に平行な一対のＸ軸ガイドレール１２を備えており、Ｘ軸ガイドレール１２には、Ｘ軸移動テーブル６がスライド可能に取り付けられている。 As shown in FIG. 1, the cutting device 2 includes a device base 4 that supports each component. At the upper center of the device base 4, there is an X-axis moving table 6, an X-axis moving mechanism that moves the X-axis moving table 6 in the X-axis direction (machining feed direction), and dust-proof and drip-proof that covers the X-axis moving mechanism. A cover (not shown) and a drainage channel 20 for receiving the liquid reaching the dust-proof and drip-proof cover are provided. The X-axis moving mechanism includes a pair of X-axis guide rails 12 parallel to the X-axis direction, and an X-axis moving table 6 is slidably attached to the X-axis guide rail 12.

Ｘ軸移動テーブル６の下面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｘ軸ガイドレール１２に平行なＸ軸ボールねじ１４が螺合されている。Ｘ軸ボールねじ１４の一端部には、Ｘ軸パルスモータ１６が連結されている。Ｘ軸パルスモータ１６でＸ軸ボールねじ１４を回転させると、Ｘ軸移動テーブル６はＸ軸ガイドレール１２に沿ってＸ軸方向に移動する。 A nut portion (not shown) is provided on the lower surface side of the X-axis moving table 6, and an X-axis ball screw 14 parallel to the X-axis guide rail 12 is screwed into the nut portion. An X-axis pulse motor 16 is connected to one end of the X-axis ball screw 14. When the X-axis ball screw 14 is rotated by the X-axis pulse motor 16, the X-axis moving table 6 moves in the X-axis direction along the X-axis guide rail 12.

Ｘ軸移動テーブル６上には、被加工物１を吸引、保持するためのチャックテーブル８が設けられている。チャックテーブル８は、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、チャックテーブル８の上面に垂直な回転軸の周りに回転可能である。また、チャックテーブル８は、上述したＸ軸移動機構によりＸ軸方向に送られる。 A chuck table 8 for sucking and holding the workpiece 1 is provided on the X-axis moving table 6. The chuck table 8 is connected to a rotation drive source (not shown) such as a motor, and can rotate around a rotation axis perpendicular to the upper surface of the chuck table 8. Further, the chuck table 8 is fed in the X-axis direction by the X-axis moving mechanism described above.

チャックテーブル８の表面（上面）は、被加工物１を吸引、保持する保持面８ａとなる。この保持面８ａは、チャックテーブル８の内部に形成された吸引路（不図示）を介して吸引源（不図示）に接続されている。該保持面８ａの周囲には、テープ３を介して被加工物１を保持する環状のフレーム５を固定するためのクランプ１０が配設されている。 The surface (upper surface) of the chuck table 8 is a holding surface 8a that sucks and holds the workpiece 1. The holding surface 8a is connected to a suction source (not shown) via a suction path (not shown) formed inside the chuck table 8. A clamp 10 for fixing the annular frame 5 for holding the workpiece 1 is arranged around the holding surface 8a via the tape 3.

装置基台４の上面には、被加工物１を切削する２つの切削ユニット１８を支持する支持構造２２が、Ｘ軸移動機構を跨ぐように配置されている。支持構造２２の前面上部には、２つの切削ユニット１８をそれぞれＹ軸方向（割り出し送り方向）及びＺ軸方向に移動させる切削ユニット移動機構が設けられている。 On the upper surface of the apparatus base 4, a support structure 22 for supporting two cutting units 18 for cutting the workpiece 1 is arranged so as to straddle the X-axis moving mechanism. A cutting unit moving mechanism for moving the two cutting units 18 in the Y-axis direction (indexing feed direction) and the Z-axis direction, respectively, is provided on the upper part of the front surface of the support structure 22.

切削ユニット移動機構は、支持構造２２の前面に配置されＹ軸方向に平行な一対のＹ軸ガイドレール２４を備えている。Ｙ軸ガイドレール２４には、切削ユニット１８のそれぞれに対応する２つのＹ軸移動プレート２６がスライド可能に取り付けられている。それぞれのＹ軸移動プレート２６の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｙ軸ガイドレール２４に平行なＹ軸ボールねじ２８が螺合されている。 The cutting unit moving mechanism includes a pair of Y-axis guide rails 24 arranged in front of the support structure 22 and parallel to the Y-axis direction. Two Y-axis moving plates 26 corresponding to each of the cutting units 18 are slidably attached to the Y-axis guide rail 24. A nut portion (not shown) is provided on the back surface side (rear surface side) of each Y-axis moving plate 26, and a Y-axis ball screw 28 parallel to the Y-axis guide rail 24 is screwed on this nut portion. It has been combined.

Ｙ軸ボールねじ２８の一端部には、Ｙ軸パルスモータ２８ａが連結されている。Ｙ軸パルスモータ２８ａでＹ軸ボールねじ２８を回転させると、対応するＹ軸移動プレート２６は、Ｙ軸ガイドレール２４に沿ってＹ軸方向に移動する。Ｙ軸移動プレート２６の表面（前面）には、それぞれ、Ｚ軸方向に平行な一対のＺ軸ガイドレール３０が設けられている。それぞれのＺ軸ガイドレール３０には、Ｚ軸移動プレート３２がスライド可能に取り付けられている。 A Y-axis pulse motor 28a is connected to one end of the Y-axis ball screw 28. When the Y-axis ball screw 28 is rotated by the Y-axis pulse motor 28a, the corresponding Y-axis moving plate 26 moves in the Y-axis direction along the Y-axis guide rail 24. A pair of Z-axis guide rails 30 parallel to the Z-axis direction are provided on the surface (front surface) of the Y-axis moving plate 26, respectively. A Z-axis moving plate 32 is slidably attached to each Z-axis guide rail 30.

Ｚ軸移動プレート３２の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール３０に平行なＺ軸ボールねじ３４が螺合されている。Ｚ軸ボールねじ３４の一端部には、Ｚ軸パルスモータ３６が連結されている。Ｚ軸パルスモータ３６でＺ軸ボールねじ３４を回転させれば、Ｚ軸移動プレート３２は、Ｚ軸ガイドレール３０に沿ってＺ軸方向（切り込み送り方向）に移動する。 A nut portion (not shown) is provided on the back surface side (rear surface side) of the Z-axis moving plate 32, and a Z-axis ball screw 34 parallel to the Z-axis guide rail 30 is screwed into this nut portion. ing. A Z-axis pulse motor 36 is connected to one end of the Z-axis ball screw 34. When the Z-axis ball screw 34 is rotated by the Z-axis pulse motor 36, the Z-axis moving plate 32 moves in the Z-axis direction (cutting feed direction) along the Z-axis guide rail 30.

２つのＺ軸移動プレート３２のそれぞれの下部には、被加工物１を加工する切削ユニット１８と、チャックテーブル８に保持された被加工物１を撮像できる撮像ユニット（カメラ）３８と、が固定されている。Ｙ軸移動プレート２６をＹ軸方向に移動させれば、切削ユニット１８及び撮像ユニット３８はＹ軸方向（割り出し送り方向）に移動し、Ｚ軸移動プレート３２をＺ軸方向に移動させれば、切削ユニット１８及び撮像ユニット３８はＺ軸方向（切り込み送り方向）に移動する。 At the lower part of each of the two Z-axis moving plates 32, a cutting unit 18 for processing the workpiece 1 and an imaging unit (camera) 38 capable of imaging the workpiece 1 held on the chuck table 8 are fixed. Has been done. If the Y-axis moving plate 26 is moved in the Y-axis direction, the cutting unit 18 and the imaging unit 38 are moved in the Y-axis direction (indexing feed direction), and if the Z-axis moving plate 32 is moved in the Z-axis direction, The cutting unit 18 and the imaging unit 38 move in the Z-axis direction (cutting feed direction).

切削ユニット１８について、図２を用いてさらに説明する。図２は、切削ユニット１８を拡大して示す斜視図である。切削ユニット１８は、切削ブレード１８ａと、先端側に切削ブレード１８ａが装着されるスピンドル４０と、を備える。 The cutting unit 18 will be further described with reference to FIG. FIG. 2 is an enlarged perspective view of the cutting unit 18. The cutting unit 18 includes a cutting blade 18a and a spindle 40 on which the cutting blade 18a is mounted on the tip end side.

切削ブレード１８ａは、円板状の基台を有する。基台の中央部には、この基台を貫通する略円形の装着穴が設けられており、該装着穴にスピンドル４０の先端部が通されて切削ブレード１８ａがスピンドル４０に固定される。基台の外周部には、被加工物１に切り込ませるための環状の切刃１８ｂが固定される。該スピンドル４０の基端側には該スピンドル４０を回転させるスピンドルモータ（不図示）が装着され、該スピンドルモータはスピンドルハウジング４２に収容される。 The cutting blade 18a has a disc-shaped base. A substantially circular mounting hole penetrating the base is provided in the central portion of the base, and the tip portion of the spindle 40 is passed through the mounting hole to fix the cutting blade 18a to the spindle 40. An annular cutting edge 18b for cutting into the workpiece 1 is fixed to the outer peripheral portion of the base. A spindle motor (not shown) for rotating the spindle 40 is mounted on the base end side of the spindle 40, and the spindle motor is housed in the spindle housing 42.

スピンドルハウジング４２に収容された該スピンドルモータを作動させ該スピンドル４０を回転させると、スピンドル４０の先端に装着された切削ブレード１８ａが該スピンドル４０を軸として回転する。切削ブレード１８ａを回転させた状態で切削ユニット１８を所定の高さ位置に移動させ、被加工物１が保持するチャックテーブル８をＸ軸方向に沿って加工送りすると、回転する切削ブレード１８ａの切刃１８ｂが接触することにより被加工物１が切削される。 When the spindle motor housed in the spindle housing 42 is operated to rotate the spindle 40, the cutting blade 18a mounted on the tip of the spindle 40 rotates about the spindle 40 as an axis. When the cutting unit 18 is moved to a predetermined height position while the cutting blade 18a is rotated and the chuck table 8 held by the workpiece 1 is machined and fed along the X-axis direction, the rotating cutting blade 18a is cut. The workpiece 1 is cut when the blades 18b come into contact with each other.

被加工物１を切削ブレード１８ａにより切削すると、被加工物１に由来する切削屑が発生して被加工箇所の周囲に飛散して被加工物１の表面が汚染される。また、被加工物１を切削すると加工熱が発生し、該加工熱により切削ブレード１８ａや被加工物１に膨張や歪みが生じて切削加工の精度が低下する場合がある。そのため、被加工物１の切削を実施する間、該被加工物１及び切削ブレード１８ａに純水等の切削水が供給される。 When the workpiece 1 is cut by the cutting blade 18a, cutting chips derived from the workpiece 1 are generated and scattered around the workpiece 1 to contaminate the surface of the workpiece 1. Further, when the workpiece 1 is cut, machining heat is generated, and the machining heat may cause expansion or distortion of the cutting blade 18a or the workpiece 1 to reduce the accuracy of the cutting process. Therefore, while cutting the workpiece 1, cutting water such as pure water is supplied to the workpiece 1 and the cutting blade 18a.

切削装置２の切削ユニット１８は、切削ブレード１８ａの近傍に切削水供給用のノズル４４及び切削水供給部４８を備え、被加工物１の切削が実施される際には、ノズル４４及び切削水供給部４８から切削ブレード１８ａ及び被加工物１に切削水が供給される。切削水供給部４８は、切削ブレード１８ａに主に加工送り方向（Ｘ軸方向）から切削水を供給し、ノズル４４は、切削ブレード１８ａに主に側方から切削水を供給する。 The cutting unit 18 of the cutting device 2 includes a nozzle 44 for supplying cutting water and a cutting water supply unit 48 in the vicinity of the cutting blade 18a, and when the workpiece 1 is cut, the nozzle 44 and the cutting water are provided. Cutting water is supplied from the supply unit 48 to the cutting blade 18a and the workpiece 1. The cutting water supply unit 48 supplies the cutting water to the cutting blade 18a mainly from the machining feed direction (X-axis direction), and the nozzle 44 supplies the cutting water to the cutting blade 18a mainly from the side.

ノズル４４は、切削ブレード１８ａの側面及び被加工物１の表面に沿って加工送り方向に延在する一対の直線状部分４４ａと、該一対の直線状部分４４ａのそれぞれ基端側を支持する支持部４４ｂと、を備える。該一対の直線状部分４４ａは、先端が切削ブレード１８ａの加工送り方向（Ｘ軸方向）の前方側または後方側に張り出している。該一対の直線状部分４４ａは、それぞれ、パイプ状の部材で形成されており、切削ブレード１８ａに向いた複数の噴出口（不図示）が形成されている。 The nozzle 44 supports a pair of linear portions 44a extending in the machining feed direction along the side surface of the cutting blade 18a and the surface of the workpiece 1 and supporting the proximal ends of the pair of linear portions 44a. A part 44b and the like are provided. The tip of the pair of linear portions 44a projects forward or backward in the machining feed direction (X-axis direction) of the cutting blade 18a. Each of the pair of linear portions 44a is formed of a pipe-shaped member, and a plurality of spouts (not shown) facing the cutting blade 18a are formed.

また、ノズル４４の支持部４４ｂは、切削ブレード１８ａを覆って保護するブレードカバー４６に固定される。該ブレードカバー４６は、該支持部４４ｂを固定するボルト４６ａが通される楕円状のねじ孔４６ｂを備える。ノズル４４の支持部４４ｂが備える挿通穴（不図示）にボルト４６ａを突き通し、ボルト４６ａをねじ孔４６ｂに締め込むことによりノズル４４が切削ユニット１８に固定される。 Further, the support portion 44b of the nozzle 44 is fixed to the blade cover 46 that covers and protects the cutting blade 18a. The blade cover 46 includes an elliptical screw hole 46b through which a bolt 46a for fixing the support portion 44b is passed. The nozzle 44 is fixed to the cutting unit 18 by inserting the bolt 46a into the insertion hole (not shown) provided in the support portion 44b of the nozzle 44 and tightening the bolt 46a into the screw hole 46b.

なお、ねじ孔４６ｂは、ボルト４６ａのねじ部の直径に対応する幅を有する楕円状に形成されており、かつ、該直径よりも大きな長さに形成されている。そのため、該ねじ孔４６ｂにおけるボルト４６ａの固定高さは、該ねじ孔４６ｂの長さの範囲で任意の位置に決定できる。そして、被加工物１やテープ３の厚さ等を考慮して切削水を効率良く切削ブレード１８ａ等に供給できるようにノズル４４の高さを調整できる。 The screw hole 46b is formed in an elliptical shape having a width corresponding to the diameter of the screw portion of the bolt 46a, and is formed to have a length larger than the diameter. Therefore, the fixing height of the bolt 46a in the screw hole 46b can be determined at an arbitrary position within the range of the length of the screw hole 46b. Then, the height of the nozzle 44 can be adjusted so that the cutting water can be efficiently supplied to the cutting blade 18a or the like in consideration of the thickness of the workpiece 1 or the tape 3.

ノズル４４の支持部４４ｂの上端には、直線状部分４４ａから噴出される切削水の供給管路（不図示）が接続される接続部４４ｃが設けられる。切削水供給源（不図示）から該管路を通じて切削ユニット１８のノズル４４に切削水を供給すると、ノズル４４から切削ブレード１８ａ及び被加工物１に切削水が供給される。 At the upper end of the support portion 44b of the nozzle 44, a connection portion 44c to which a supply pipeline (not shown) of cutting water ejected from the linear portion 44a is connected is provided. When the cutting water is supplied from the cutting water supply source (not shown) to the nozzle 44 of the cutting unit 18 through the pipeline, the cutting water is supplied from the nozzle 44 to the cutting blade 18a and the workpiece 1.

また、図１に示す通り、切削装置２は、さらに、制御ユニット５６を備えている。制御ユニット５６は、切削ユニット１８、チャックテーブル８、各移動機構、撮像ユニット３８等の切削装置２の各構成要素を制御する機能を有する。また、制御ユニット５６は、後述のノズル高さ判定ユニット５８を制御する機能を有する。制御ユニット５６の機能は、例えば、装置制御用コンピュータのソフトウェアとして実現される。 Further, as shown in FIG. 1, the cutting device 2 further includes a control unit 56. The control unit 56 has a function of controlling each component of the cutting device 2 such as the cutting unit 18, the chuck table 8, each moving mechanism, and the image pickup unit 38. Further, the control unit 56 has a function of controlling the nozzle height determination unit 58, which will be described later. The function of the control unit 56 is realized, for example, as software of a computer for controlling a device.

また、切削装置２の前面には、タッチパネル付きディスプレイパネル等でなる表示部５０が設けられる。該切削装置２の使用者又は管理者は該タッチパネルを用いて制御ユニット５６に加工条件等の情報を入力できる。該表示部５０は、情報等の入力や切削装置２の操作のためのインターフェース画像を表示する。また、表示部５０は、切削装置２の稼働状況に関する情報や、各種の警告を表示できる。 Further, on the front surface of the cutting device 2, a display unit 50 made of a display panel with a touch panel or the like is provided. The user or manager of the cutting device 2 can input information such as machining conditions into the control unit 56 using the touch panel. The display unit 50 displays an interface image for inputting information and operating the cutting device 2. In addition, the display unit 50 can display information on the operating status of the cutting device 2 and various warnings.

さらに、切削装置２の上部には、該制御ユニット５６に電気的に接続された警報ランプ５２が配設される。該警報ランプ５２は、例えば、緑色のランプと、赤色のランプと、を有する。制御ユニット５６は、切削装置２が正常な稼働状況にあるときは該緑色のランプを点灯させて、切削装置２が正常であることを使用者又は管理者に報知する。その一方で、切削装置２に何等かの問題が生じたときには、該制御ユニットは赤色のランプを点灯させて、その旨を使用者又は管理者に報知する。 Further, an alarm lamp 52 electrically connected to the control unit 56 is arranged on the upper portion of the cutting device 2. The alarm lamp 52 has, for example, a green lamp and a red lamp. When the cutting device 2 is in a normal operating state, the control unit 56 lights the green lamp to notify the user or the manager that the cutting device 2 is normal. On the other hand, when a problem occurs in the cutting device 2, the control unit turns on a red lamp to notify the user or the manager to that effect.

また、切削装置２は、切削ユニット１８の近傍に切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの高さを検出する刃先検出ユニット５４を備える。刃先検出ユニット５４は、切削ブレード１８ａが切削ユニット１８に装着された直後や、被加工物１の切削が繰り返し実施され損耗した後に、切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの高さを検出する。そして、被加工物１の切削時に切刃１８ｂの下端が所定の高さとなるように、切削装置２は該刃先検出ユニット５４で検出された切刃１８ｂの高さに基づいて切削ユニット１８の高さを調整する。 Further, the cutting device 2 includes a cutting edge detection unit 54 that detects the height of the cutting edge 18b of the cutting blade 18a in the vicinity of the cutting unit 18. The cutting edge detection unit 54 detects the height of the cutting edge 18b of the cutting blade 18a immediately after the cutting blade 18a is mounted on the cutting unit 18 or after the workpiece 1 is repeatedly cut and worn. Then, the cutting device 2 raises the cutting unit 18 based on the height of the cutting edge 18b detected by the cutting edge detection unit 54 so that the lower end of the cutting edge 18b becomes a predetermined height when the workpiece 1 is cut. Adjust the blade.

ところで、切削ユニット１８のノズル４４は、上述の通り、所定の高さでブレードカバー４６に固定される。しかしながら、切削装置２の使用者等がノズル４４の固定高さの設定を誤る場合や、切削ブレード１８ａの交換作業時等にノズル４４に触れてノズル４４の位置がずれる場合がある。また、固定が不適切であり、ノズル４４が傾いた状態で固定される場合がある。これらのようにノズル４４が適切に固定されていない場合、被加工物１の切削時にノズル４４が被加工物１に衝突して、被加工物１に破損が生じる場合がある。 By the way, the nozzle 44 of the cutting unit 18 is fixed to the blade cover 46 at a predetermined height as described above. However, there are cases where the user of the cutting device 2 or the like makes a mistake in setting the fixed height of the nozzle 44, or when the cutting blade 18a is replaced, the nozzle 44 may be touched and the position of the nozzle 44 may be displaced. In addition, fixing is inappropriate, and the nozzle 44 may be fixed in an inclined state. If the nozzle 44 is not properly fixed as described above, the nozzle 44 may collide with the workpiece 1 when the workpiece 1 is cut, and the workpiece 1 may be damaged.

そこで、本実施形態に係る切削装置２には、ノズル高さ判定ユニットが設けられる。次に、該ノズル高さ判定ユニットについて説明する。ノズル高さ判定ユニットは、切削ユニット１８を所定の位置に下降させたときのチャックテーブル８と、ノズル４４と、の接触の有無を検出することにより、ノズル４４の高さの適否を判定する。図３は、ノズル高さ判定ユニット５８の構成の一部を模式的に説明する構成図である。図３には、切削ユニット１８の側面図と、チャックテーブル８の断面図と、回路図と、が示されている。 Therefore, the cutting device 2 according to the present embodiment is provided with a nozzle height determination unit. Next, the nozzle height determination unit will be described. The nozzle height determination unit determines whether or not the height of the nozzle 44 is appropriate by detecting the presence or absence of contact between the chuck table 8 and the nozzle 44 when the cutting unit 18 is lowered to a predetermined position. FIG. 3 is a configuration diagram schematically illustrating a part of the configuration of the nozzle height determination unit 58. FIG. 3 shows a side view of the cutting unit 18, a cross-sectional view of the chuck table 8, and a circuit diagram.

ノズル高さ判定ユニット５８は、例えば、接触検出部６０と、該接触検出部６０を含む接触検出回路６２と、を有する。該接触検出回路６２は、例えば、電源６２ｄと、スイッチ６２ａと、該接触検出部６０と、スイッチ６２ｂと、を有しこれらが直列に接続されている。該接触検出部６０は、スイッチ６２ａと、電源６２ｄと、を介してチャックテーブル８に電気的に接続され、スイッチ６２ｂを介して切削ユニット１８のノズル４４に電気的に接続されている。 The nozzle height determination unit 58 includes, for example, a contact detection unit 60 and a contact detection circuit 62 including the contact detection unit 60. The contact detection circuit 62 has, for example, a power supply 62d, a switch 62a, the contact detection unit 60, and a switch 62b, which are connected in series. The contact detection unit 60 is electrically connected to the chuck table 8 via the switch 62a and the power supply 62d, and is electrically connected to the nozzle 44 of the cutting unit 18 via the switch 62b.

ノズル高さ判定ユニット５８は、切削ユニット１８を下降させてチャックテーブル８と、切削ユニット１８のノズル４４の直線状部分４４ａと、の間の電気的導通の有無を検出することによりノズル４４と、チャックテーブル８と、の接触の有無を判定できる。 The nozzle height determination unit 58 lowers the cutting unit 18 to detect the presence or absence of electrical continuity between the chuck table 8 and the linear portion 44a of the nozzle 44 of the cutting unit 18, thereby detecting the nozzle 44 and the nozzle 44. The presence or absence of contact with the chuck table 8 can be determined.

接触の有無を判定する際には、まず、スイッチ６２ａと、スイッチ６２ｂと、をオンに切り替える。そして、ノズル４４の該直線状部分４４ａの先端がチャックテーブル８の上方に位置し、かつ、切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの最下端が該チャックテーブル８の水平方向外側に位置するように位置付ける。この位置を切削ユニット１８の初期位置とする。 When determining the presence or absence of contact, first, the switch 62a and the switch 62b are switched on. Then, the tip of the linear portion 44a of the nozzle 44 is positioned above the chuck table 8, and the lowermost end of the cutting edge 18b of the cutting blade 18a is positioned outside the chuck table 8 in the horizontal direction. This position is the initial position of the cutting unit 18.

次に、切削ユニット１８を下降させる。図４（Ａ）は、切削ユニット１８を下降させた際の様子を模式的に示す側面図である。図４（Ａ）には、切削ユニット１８と、チャックテーブル８と、の側面図が示されている。切削ユニット１８を下降させる際には、切削ブレード１８ａの最下端がチャックテーブル８の保持面８ａの高さ位置６４ａより下方の高さ位置６４ｂに到達するように切削ユニット１８を下降させる。 Next, the cutting unit 18 is lowered. FIG. 4A is a side view schematically showing a state when the cutting unit 18 is lowered. FIG. 4A shows a side view of the cutting unit 18 and the chuck table 8. When lowering the cutting unit 18, the cutting unit 18 is lowered so that the lowermost end of the cutting blade 18a reaches the height position 64b below the height position 64a of the holding surface 8a of the chuck table 8.

ノズル４４が切削ユニット１８に固定される際、ノズル４４が固定される高さ位置には許容される範囲が存在する。ノズル４４が該範囲中に固定されている場合、切削ブレード１８ａによる被加工物１の切削時にノズル４４が被加工物１に衝突する等の問題は発生しない。 When the nozzle 44 is fixed to the cutting unit 18, there is an allowable range in the height position where the nozzle 44 is fixed. When the nozzle 44 is fixed in the range, there is no problem that the nozzle 44 collides with the workpiece 1 when the workpiece 1 is cut by the cutting blade 18a.

そこで、該高さ位置６４ｂは、この許容される範囲の最下端にノズル４４が固定されている場合において、切削ユニット１８を下降させたとき該ノズル４４と、チャックテーブル８と、の間の隙間が限りなく小さなくなる場合における切刃１８ｂの下端の高さとする。そして、切刃１８ｂの下端が該高さ位置６４ｂに達する際の切削ユニット１８の高さ位置を切削ユニット１８の基準位置とする。 Therefore, the height position 64b is a gap between the nozzle 44 and the chuck table 8 when the cutting unit 18 is lowered when the nozzle 44 is fixed to the lowermost end of the allowable range. The height of the lower end of the cutting edge 18b when the cutting edge becomes extremely small. Then, the height position of the cutting unit 18 when the lower end of the cutting edge 18b reaches the height position 64b is set as the reference position of the cutting unit 18.

切削ユニット１８を該基準位置に下降させた際に、ノズル４４の直線状部分４４ａと、チャックテーブル８と、が接触しない場合、接触検出回路６２には電気が流れず、接触検出部６０はノズル４４と、チャックテーブル８と、の接触を検出しない。 If the linear portion 44a of the nozzle 44 and the chuck table 8 do not come into contact with each other when the cutting unit 18 is lowered to the reference position, electricity does not flow to the contact detection circuit 62 and the contact detection unit 60 is a nozzle. The contact between the 44 and the chuck table 8 is not detected.

これに対して、ノズル４４が許容される範囲の最下端よりも下方に固定されている場合、切削ユニット１８を該基準位置に向けて下降させると、該高さ位置６４ｂに切刃１８ｂの最下端が到達する前にノズル４４がチャックテーブル８に接触する。図４（Ｂ）は、ノズル４４が許容される高さよりも低い高さ位置に固定されており、切削ユニット１８を下降させた際にノズル４４がチャックテーブル８に接触する様子を模式的に示す側面図である。 On the other hand, when the nozzle 44 is fixed below the lowermost end of the allowable range, when the cutting unit 18 is lowered toward the reference position, the cutting edge 18b is located at the height position 64b. The nozzle 44 comes into contact with the chuck table 8 before the lower end reaches it. FIG. 4B schematically shows how the nozzle 44 is fixed at a height lower than the allowable height, and the nozzle 44 comes into contact with the chuck table 8 when the cutting unit 18 is lowered. It is a side view.

この場合、ノズル４４と、チャックテーブル８と、が電気的に接続されるため、接触検出回路６２に電気が流れ、接触検出部６０では該電流が検出される。すなわち、接触検出部６０は、該電流を検出することによりノズル４４と、チャックテーブル８と、の接触を検出できる。 In this case, since the nozzle 44 and the chuck table 8 are electrically connected, electricity flows through the contact detection circuit 62, and the contact detection unit 60 detects the current. That is, the contact detection unit 60 can detect the contact between the nozzle 44 and the chuck table 8 by detecting the current.

そして、ノズル高さ判定ユニット５８は、切削ユニット１８を下降させ該基準位置に到達するまでにノズル４４と、チャックテーブル８と、の接触が接触検出部６０により検出された場合、ノズル４４の位置が異常であると判定する。その一方で、ノズル高さ判定ユニット５８は、該基準位置に到達するまで切削ユニット１８を下降させても接触検出部６０により該接触が検出されない場合、ノズル４４の位置が正常であると判定する。 Then, when the contact between the nozzle 44 and the chuck table 8 is detected by the contact detection unit 60 by the time the cutting unit 18 is lowered to reach the reference position, the nozzle height determination unit 58 determines the position of the nozzle 44. Is determined to be abnormal. On the other hand, the nozzle height determination unit 58 determines that the position of the nozzle 44 is normal when the contact is not detected by the contact detection unit 60 even if the cutting unit 18 is lowered until the reference position is reached. ..

なお、該高さ位置６４ｂは、例えば、チャックテーブル８の保持面８ａの高さ位置６４ａよりも１ｍｍ～２ｍｍ程度低い高さ位置とされる。すなわち、ノズル４４の適切な固定高さは、例えば、切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの最下端よりも１ｍｍ～２ｍｍ以上高い位置である。 The height position 64b is, for example, a height position about 1 mm to 2 mm lower than the height position 64a of the holding surface 8a of the chuck table 8. That is, the appropriate fixed height of the nozzle 44 is, for example, a position 1 mm to 2 mm or more higher than the lowermost end of the cutting edge 18b of the cutting blade 18a.

ノズル高さ判定ユニット５８は、接触検出部６０がノズル４４と、チャックテーブル８と、の接触を検出した場合に、高さ方向における該ノズル４４の位置が異常であることを報知する報知部をさらに備える。 The nozzle height determination unit 58 provides a notification unit for notifying that the position of the nozzle 44 in the height direction is abnormal when the contact detection unit 60 detects contact between the nozzle 44 and the chuck table 8. Further prepare.

報知部は、例えば、表示部５０であり、ノズル高さ判定ユニット５８がノズル４４の位置の異常を検出した場合に、表示部５０に異常を知らせるための警告画像が表示されてもよい。または、該報知部は警報ランプ５２であり、ノズル高さ判定ユニット５８がノズル４４の位置の異常を検出した場合に、赤色ランプが点灯されてもよい。または、切削装置２は、報知部としてブザー（不図示）を有してもよく、該ブザーはノズル４４の位置の異常が検出された場合に警告音を発してもよい。 The notification unit is, for example, a display unit 50, and when the nozzle height determination unit 58 detects an abnormality in the position of the nozzle 44, a warning image for notifying the display unit 50 of the abnormality may be displayed. Alternatively, the notification unit is an alarm lamp 52, and the red lamp may be turned on when the nozzle height determination unit 58 detects an abnormality in the position of the nozzle 44. Alternatively, the cutting device 2 may have a buzzer (not shown) as a notification unit, and the buzzer may emit a warning sound when an abnormality in the position of the nozzle 44 is detected.

なお、切削装置２は、刃先検出ユニット５４に代替して接触検出回路６２により切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの高さ位置を検出してもよい。接触検出回路６２は、図３に示す通り、一端に接触検出部６０が電気的に接続されたスイッチ６２ｃを有し、スイッチ６２ｃの他端はスピンドルハウジング４２に回転可能に収容されたスピンドル４０を介して切削ブレード１８ａに電気的に接続されている。 The cutting device 2 may detect the height position of the cutting edge 18b of the cutting blade 18a by the contact detection circuit 62 instead of the cutting edge detection unit 54. As shown in FIG. 3, the contact detection circuit 62 has a switch 62c to which a contact detection unit 60 is electrically connected to one end, and the other end of the switch 62c has a spindle 40 rotatably housed in a spindle housing 42. It is electrically connected to the cutting blade 18a via the cutting blade 18a.

接触検出回路６２により切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの高さを検出する際には、スイッチ６２ｂをオフに切り替え、スイッチ６２ｃをオンに切り替える。この場合、接触検出部６０は、一端がスイッチ６２ｂ等を経て切削ブレード１８ａに電気的に接続され、他端がスイッチ６２ａを介して電源６２ｄの一方の電極に接続される。そして、電源６２ｄの他方の電極はチャックテーブル８に電気的に接続される。 When the height of the cutting edge 18b of the cutting blade 18a is detected by the contact detection circuit 62, the switch 62b is switched off and the switch 62c is switched on. In this case, one end of the contact detection unit 60 is electrically connected to the cutting blade 18a via the switch 62b and the like, and the other end is connected to one electrode of the power supply 62d via the switch 62a. Then, the other electrode of the power supply 62d is electrically connected to the chuck table 8.

次に、切削ブレード１８ａの切刃１８ｂをチャックテーブル８の保持面８ａの外周部の上方に位置付けるように切削ユニット１８を移動させる。そして、切削ブレード１８ａを回転させながら切削ユニット１８を下降させ、切削ブレード１８ａと、チャックテーブル８と、を接触させる。 Next, the cutting unit 18 is moved so as to position the cutting blade 18b of the cutting blade 18a above the outer peripheral portion of the holding surface 8a of the chuck table 8. Then, the cutting unit 18 is lowered while rotating the cutting blade 18a, and the cutting blade 18a and the chuck table 8 are brought into contact with each other.

すると、切削ブレード１８ａと、チャックテーブル８と、が電気的に接続され、接触検出回路６２に電気が流れ、接触検出部６０により接触検出回路６２の電流が検出される。この際の切削ユニット１８の高さ位置から切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの下端の高さ位置が検出される。このように、切削装置２は、刃先検出ユニット５４によらず切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの下端の高さを検出できるため、刃先検出ユニット５４を備えていなくてもよい。 Then, the cutting blade 18a and the chuck table 8 are electrically connected, electricity flows through the contact detection circuit 62, and the current of the contact detection circuit 62 is detected by the contact detection unit 60. At this time, the height position of the lower end of the cutting edge 18b of the cutting blade 18a is detected from the height position of the cutting unit 18. As described above, since the cutting device 2 can detect the height of the lower end of the cutting edge 18b of the cutting blade 18a regardless of the cutting edge detecting unit 54, the cutting device 2 does not have to include the cutting edge detecting unit 54.

次に、本実施形態に係る切削装置２を使用して実施するノズル４４の高さ方向における位置が異常であるか否かを判定するノズル４４の高さ検査方法について詳述する。 Next, the height inspection method of the nozzle 44 for determining whether or not the position of the nozzle 44 in the height direction, which is carried out by using the cutting device 2 according to the present embodiment, will be described in detail.

該高さ検査方法では、まず、切削ユニット１８を該初期位置に位置付ける検査準備ステップが実施される。上述の通り、該初期位置に切削ユニット１８を位置付けると、ノズル４４の直線状部分４４ａの先端がチャックテーブル８の上方に位置付けられ、かつ、切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの最下端の水平方向位置が該チャックテーブル８の外側となる。 In the height inspection method, first, an inspection preparation step for positioning the cutting unit 18 at the initial position is carried out. As described above, when the cutting unit 18 is positioned at the initial position, the tip of the linear portion 44a of the nozzle 44 is positioned above the chuck table 8 and the horizontal position of the lowermost end of the cutting edge 18b of the cutting blade 18a. Is the outside of the chuck table 8.

該高さ検査方法では、次に、該初期位置に位置付けられた切削ユニット１８を該基準位置に下降させ、その際にノズル４４と、チャックテーブル８と、の接触の有無を該接触検出部６０により検出する検出ステップが実施される。該検出ステップでは、接触検出部６０により接触検出回路６２中の電流の有無を検出することでノズル４４と、チャックテーブル８と、の接触の有無を検出する。 In the height inspection method, next, the cutting unit 18 positioned at the initial position is lowered to the reference position, and at that time, the presence or absence of contact between the nozzle 44 and the chuck table 8 is determined by the contact detection unit 60. The detection step to be detected by In the detection step, the presence / absence of contact between the nozzle 44 and the chuck table 8 is detected by detecting the presence / absence of a current in the contact detection circuit 62 by the contact detection unit 60.

ここで、基準位置とは、上述の通り、取り付け位置の許容される範囲のうち最下端にノズル４４が固定されている場合において、ノズル４４と、チャックテーブル８と、の間の距離が限りなく小さくなる際の切削ユニット１８の位置である。換言すると、該基準位置は、切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの最下端が上述の高さ位置６４ｂに到達する際の切削ユニット１８の位置である。 Here, as described above, the reference position means that the distance between the nozzle 44 and the chuck table 8 is infinite when the nozzle 44 is fixed at the lowermost end of the allowable range of the mounting position. This is the position of the cutting unit 18 when it becomes smaller. In other words, the reference position is the position of the cutting unit 18 when the lowermost end of the cutting edge 18b of the cutting blade 18a reaches the above-mentioned height position 64b.

該高さ検査方法では、次に、判定ステップが実施される。該判定ステップでは、該検出ステップにおいて接触検出部６０がノズル４４と、チャックテーブル８と、の接触を検出しない場合、高さ方向におけるノズル４４の位置に異常がないとの判定がされる。また、接触検出部６０が該接触を検出した場合、高さ方向におけるノズル４４の位置が異常であるとの判定がされる。 In the height inspection method, a determination step is then performed. In the determination step, if the contact detection unit 60 does not detect contact between the nozzle 44 and the chuck table 8 in the detection step, it is determined that there is no abnormality in the position of the nozzle 44 in the height direction. Further, when the contact detection unit 60 detects the contact, it is determined that the position of the nozzle 44 in the height direction is abnormal.

該判定ステップで高さ方向におけるノズル４４の位置が異常であると判定された場合、その後、高さ方向におけるノズル４４の位置に異常があることを報知する報知ステップが実施される。報知ステップでは、切削装置２の表示部５０や警報ランプ５２等の報知部によりノズル４４の位置が異常であることが報知される。 If it is determined in the determination step that the position of the nozzle 44 in the height direction is abnormal, then a notification step for notifying that the position of the nozzle 44 in the height direction is abnormal is executed. In the notification step, the notification unit such as the display unit 50 of the cutting device 2 or the alarm lamp 52 notifies that the position of the nozzle 44 is abnormal.

切削装置２の管理者や使用者が報知部により発せられた警告を確認した場合、該管理者等は、切削装置２のノズル４４の切削ユニット１８への固定状況を確認し、ノズル４４の高さ位置等を調整してもよい。 When the manager or user of the cutting device 2 confirms the warning issued by the notification unit, the manager or the like confirms the fixing status of the nozzle 44 of the cutting device 2 to the cutting unit 18, and the height of the nozzle 44 is high. The position and the like may be adjusted.

以上に説明する通り、本実施形態に係る切削装置２及び切削装置２を用いたノズル４４の高さ検出方法によると、切削装置２の使用者等による目視の確認等の方法に依らずノズル４４の高さ位置の誤りの有無を確実に検出できる。 As described above, according to the method for detecting the height of the nozzle 44 using the cutting device 2 and the cutting device 2 according to the present embodiment, the nozzle 44 does not depend on the method such as visual confirmation by the user or the like of the cutting device 2. It is possible to reliably detect the presence or absence of an error in the height position of.

また、切削ユニット１８による切削を実施する前に、チャックテーブル８の外周側で切削ユニット１８を該基準位置にまで下降させるだけでノズル４４の高さ位置の誤りの有無を容易に検出できる。そして、ノズル４４の高さ位置の誤りが検出された際は、ノズル４４の高さ位置を修正することにより該ノズル４４の衝突による被加工物１の損傷を防止できる。 Further, before cutting by the cutting unit 18, the presence or absence of an error in the height position of the nozzle 44 can be easily detected only by lowering the cutting unit 18 to the reference position on the outer peripheral side of the chuck table 8. When an error in the height position of the nozzle 44 is detected, the work piece 1 can be prevented from being damaged due to the collision of the nozzle 44 by correcting the height position of the nozzle 44.

なお、上記実施形態では、ノズル４４と、チャックテーブル８と、が接触した際の電気的導通を接触検出部６０により検出することでノズル高さ判定ユニット５８がノズル４４と、チャックテーブル８と、の接触を検出する場合について説明した。しかし、本発明の一態様に係る切削装置２及び高さ検査方法はこれに限定されない。すなわち、ノズル高さ判定ユニットは、他の方法でノズル４４と、チャックテーブル８と、の接触の有無を判定してもよい。 In the above embodiment, the nozzle height determination unit 58 determines the nozzle 44 and the chuck table 8 by detecting the electrical conduction when the nozzle 44 and the chuck table 8 come into contact with each other by the contact detection unit 60. The case of detecting the contact of the above was described. However, the cutting device 2 and the height inspection method according to one aspect of the present invention are not limited to this. That is, the nozzle height determination unit may determine the presence or absence of contact between the nozzle 44 and the chuck table 8 by another method.

例えば、図５に示す通り、切削装置２のチャックテーブル８には、ノズル高さ判定ユニットの構成要素として、振動を検出するＡＥ（Acoustic Emission）センサ６６ｂが設けられてもよい。図５は、ノズル高さ判定ユニットによるノズル４４の高さの判定の他の一例を模式的に示す側面図である。 For example, as shown in FIG. 5, the chuck table 8 of the cutting device 2 may be provided with an AE (Acoustic Emission) sensor 66b for detecting vibration as a component of the nozzle height determination unit. FIG. 5 is a side view schematically showing another example of determining the height of the nozzle 44 by the nozzle height determination unit.

該他の一例におけるノズル高さ判定ユニットは、チャックテーブル８に固定されたＡＥセンサ６６ｂと、該ＡＥセンサ６６ｂに電気的に接続された接触検出部６６ａと、を備える。 The nozzle height determination unit in the other example includes an AE sensor 66b fixed to the chuck table 8 and a contact detection unit 66a electrically connected to the AE sensor 66b.

該ノズル高さ判定ユニットによりノズル４４の高さが正常であるか異常であるかを判定する際は、まず、切削ユニット１８を上述の初期位置に移動させる。次に、該切削ユニット１８を上述の基準位置に向けて下降させる。この際、ノズル４４が許容される高さ位置よりも下方に固定されている場合、ノズル４４と、チャックテーブル８と、が接触したときに接触の衝撃により生じる弾性波をＡＥセンサ６６ｂにより観測できる。 When the nozzle height determination unit determines whether the height of the nozzle 44 is normal or abnormal, first, the cutting unit 18 is moved to the above-mentioned initial position. Next, the cutting unit 18 is lowered toward the above-mentioned reference position. At this time, when the nozzle 44 is fixed below the allowable height position, the elastic wave generated by the impact of the contact when the nozzle 44 and the chuck table 8 come into contact with each other can be observed by the AE sensor 66b. ..

すなわち、接触検出部６６ａは、ＡＥセンサ６６ｂにより弾性波が観測された場合にノズル４４と、チャックテーブル８と、の接触を検出する。そして、該他の一例に係るノズル高さ判定ユニットは、接触検出部６６ａがノズル４４と、チャックテーブル８と、の接触を観測する場合、ノズル４４の位置が異常であると判定する。 That is, the contact detection unit 66a detects the contact between the nozzle 44 and the chuck table 8 when the elastic wave is observed by the AE sensor 66b. Then, when the contact detection unit 66a observes the contact between the nozzle 44 and the chuck table 8, the nozzle height determination unit according to the other example determines that the position of the nozzle 44 is abnormal.

また、上記実施形態では、ノズル４４の直線状部分４４ａの先端と、チャックテーブル８と、の接触の有無を検出することにより、ノズル４４の高さ方向における位置の異常の有無を判定したが、本発明の一態様はこれに限定されない。本発明の一態様では、ノズル４４の直線状部分４４ａの基端側と、チャックテーブル８と、の接触の有無を検出することにより、判定を実施してもよい。 Further, in the above embodiment, the presence / absence of contact between the tip of the linear portion 44a of the nozzle 44 and the chuck table 8 is detected to determine the presence / absence of an abnormality in the position of the nozzle 44 in the height direction. One aspect of the present invention is not limited to this. In one aspect of the present invention, the determination may be performed by detecting the presence or absence of contact between the proximal end side of the linear portion 44a of the nozzle 44 and the chuck table 8.

この場合、切削ユニット１８を下降させる前に該切削ユニット１８を位置付ける初期位置と、切削ユニット１８の下降先となる基準位置と、は上記実施形態とは異なる。すなわち、該直線状部分４４ａの該基端がチャックテーブル８の上方に位置し、かつ、切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの最下端がチャックテーブル８の水平方向外側に位置するように位置付けられた際の切削ユニット１８の位置が初期位置となる。そして、基準位置は、該初期位置の下方となる。 In this case, the initial position where the cutting unit 18 is positioned before the cutting unit 18 is lowered and the reference position where the cutting unit 18 is lowered are different from the above-described embodiment. That is, when the base end of the linear portion 44a is located above the chuck table 8 and the lowermost end of the cutting edge 18b of the cutting blade 18a is positioned on the outer side in the horizontal direction of the chuck table 8. The position of the cutting unit 18 is the initial position. Then, the reference position is below the initial position.

さらに、本発明の一態様においては、ノズル４４の直線状部分４４ａの先端について切削ユニット１８を下降させた際のチャックテーブル８との接触の有無を検出した後又は前に該直線状部分４４ａの基端について同様に接触の有無を検出してもよい。このように、直線状部分４４ａの先端及び基端の両方において切削ユニット１８を下降させた際のチャックテーブル８との接触の有無を検出すると、ノズル４４の高さ方向の位置の異常をより詳細に検出でき、また、ノズル４４の傾きを評価することもできる。 Further, in one aspect of the present invention, after or before detecting the presence or absence of contact with the chuck table 8 when the cutting unit 18 is lowered with respect to the tip of the linear portion 44a of the nozzle 44, the linear portion 44a The presence or absence of contact may be detected for the base end in the same manner. In this way, when the presence or absence of contact with the chuck table 8 when the cutting unit 18 is lowered at both the tip end and the base end of the linear portion 44a is detected, the abnormality in the position of the nozzle 44 in the height direction is more detailed. It can also be detected and the inclination of the nozzle 44 can be evaluated.

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。 In addition, the structure, method, and the like according to the above-described embodiment can be appropriately modified and implemented as long as they do not deviate from the scope of the object of the present invention.

１被加工物
３テープ
５フレーム
７フレームユニット
２切削装置
４装置基台
６Ｘ軸移動テーブル
８チャックテーブル
８ａ保持面
１０クランプ
１２，２４，３０ガイドレール
１４，２８，３４ボールねじ
１６，２８ａ，３６パルスモータ
１８切削ユニット
１８ａ切削ブレード
１８ｂ切刃
２０排水路
２２支持構造
２６，３２移動プレート
３８撮像ユニット（カメラ）
４０スピンドル
４２スピンドルハウジン
４４ノズル
４４ａ直線状部分
４４ｂ支持部
４４ｃ給水口
４６ブレードカバー
４６ａ固定ボルト
４６ｂねじ穴
４８切削水供給部
５０表示部
５２警報ランプ
５４刃先検出ユニット
５６制御ユニット
５８ノズル高さ判定ユニット
６０接触検出部
６２接触検出回路
６２ａ，６２ｂ，６２ｃスイッチ
６２ｄ電源
６４ａ，６４ｂ高さ位置
６６ａ接触検出部
６６ｂＡＥセンサ 1 Work piece 3 Tape 5 Frame 7 Frame unit 2 Cutting device 4 Device base 6 X-axis moving table 8 Chuck table 8a Holding surface 10 Clamp 12, 24, 30 Guide rail 14, 28, 34 Ball screw 16, 28a, 36 Pulse motor 18 Cutting unit 18a Cutting blade 18b Cutting blade 20 Drainage channel 22 Support structure 26,32 Moving plate 38 Imaging unit (camera)
40 Spindle 42 Spindle House 44 Nozzle 44a Linear part 44b Support part 44c Water supply port 46 Blade cover 46a Fixing bolt 46b Screw hole 48 Cutting water supply part 50 Display part 52 Alarm lamp 54 Cutting edge detection unit 56 Control unit 58 Nozzle height judgment unit 60 Contact detection unit 62 Contact detection circuit 62a, 62b, 62c Switch 62d Power supply 64a, 64b Height position 66a Contact detection unit 66b AE sensor

Claims

A chuck table having a holding surface on which the workpiece is placed and holding the workpiece to be placed on the holding surface,
A cutting device including a cutting blade for cutting a workpiece held on the chuck table, a spindle on which the cutting blade is mounted, and a nozzle for supplying cutting water to the cutting blade. There,
Further, a nozzle height determination unit for determining whether or not the position of the nozzle in the height direction orthogonal to the holding surface is abnormal is provided.
The nozzle has a linear portion extending along the holding surface and the side surface of the cutting blade.
The linear portion of the nozzle has a tip projecting to the front side or the rear side of the cutting blade.
The nozzle height determination unit is
The cutting unit is initially positioned so that the tip of the linear portion of the nozzle is above the chuck table and the bottom edge of the cutting blade is located horizontally outside the chuck table. When the cutting unit is lowered to a reference position so that the lowermost end of the cutting blade reaches below the height position of the holding surface, the nozzle and the chuck table come into contact with each other. A contact detector that detects the presence or absence, and a contact detector
When the contact detection unit detects contact between the nozzle and the chuck table, the notification unit notifies that the position of the nozzle in the height direction is abnormal.
A cutting device characterized by having.

The cutting device according to claim 1, wherein the contact detection unit detects the presence or absence of contact based on the presence or absence of electrical continuity between the chuck table and the nozzle.

The first aspect of the present invention, wherein the contact detecting unit detects the presence or absence of contact by detecting whether or not an elastic wave generated when the chuck table and the nozzle come into contact with each other. Cutting equipment.

A nozzle height inspection method for determining whether or not the position of the nozzle in the height direction is abnormal by using the cutting device according to any one of claims 1 to 3.
An inspection preparation step for positioning the cutting unit in the initial position,
A detection step in which the contact detection unit detects the presence or absence of contact between the nozzle and the chuck table when the cutting unit positioned at the initial position is lowered to the reference position.
In the detection step, when the contact detection unit does not detect the contact, it is determined that there is no abnormality in the position of the nozzle in the height direction, and when the contact is detected, the position of the nozzle in the height direction is determined. Judgment step to determine that is abnormal,
When the determination step determines that the position of the nozzle in the height direction is abnormal, the determination step includes a notification step for notifying that the position of the nozzle in the height direction is abnormal. Nozzle height inspection method.