JP7080216B2 - Gas barrier adhesive film, electronic members and optical members - Google Patents

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Description

本発明は、帯電防止性に優れるガスバリア性接着フィルム、並びに、このガスバリア性接着フィルム由来のガスバリア層及び接着性樹脂層を備える電子部材及び光学部材に関する。 The present invention relates to a gas barrier adhesive film having excellent antistatic properties, and an electronic member and an optical member provided with a gas barrier layer and an adhesive resin layer derived from the gas barrier adhesive film.

近年、有機EL素子は、低電圧直流駆動による高輝度発光が可能な発光素子として注目されている。
しかし、有機EL素子には、時間の経過とともに、発光輝度、発光効率、発光均一性等の発光特性が低下し易いという問題があった。
この発光特性の低下の問題の原因として、酸素や水分等が有機EL素子の内部に浸入し、電極や有機層を劣化させることが考えられる。
そして、この問題の対処方法として、封止材を用いる方法が提案されている。
例えば、特許文献1には、基材フィルム上に、有機領域と無機領域を含むバリア層を有し、かつ、有機領域が設けられた側の最表面が接着層であるガスバリアフィルムを封止材として使用する、表示素子の封止方法が記載されている。
In recent years, organic EL elements have been attracting attention as light emitting elements capable of high-luminance light emission by low-voltage direct current drive.
However, the organic EL element has a problem that the light emission characteristics such as the light emission brightness, the light emission efficiency, and the light emission uniformity tend to deteriorate with the passage of time.
It is conceivable that oxygen, moisture, or the like infiltrate the inside of the organic EL element to deteriorate the electrode and the organic layer as a cause of the problem of deterioration of the light emitting characteristics.
Then, as a method for dealing with this problem, a method using a sealing material has been proposed.
For example, in Patent Document 1, a gas barrier film having a barrier layer containing an organic region and an inorganic region on a base film and having an outermost surface on the side where the organic region is provided is an adhesive layer is used as a sealing material. The sealing method of the display element to be used is described.

また、特許文献2には、剥離フィルム/粘着剤層/ガスバリア層/剥離フィルムの層構造を有する積層フィルムが記載されている。 Further, Patent Document 2 describes a laminated film having a layer structure of a release film / adhesive layer / gas barrier layer / release film.

特開2010-006039号公報(US20090061223A1)JP-A-2010-006039 (US20090061223A1) WO2013/018602号(US2014/0178622A1)WO2013 / 018602 (US2014 / 0178622A1)

特許文献2に記載されるような剥離フィルムを有する積層フィルムを使用する際、剥離フィルムは所定の段階で剥離除去される。
しかしながら、ガスバリア層を有するフィルムは帯電し易い傾向があるため、剥離フィルムを剥離除去した後のガスバリア性接着フィルムが帯電し、有機EL素子に悪影響を与えたり、ガスバリア性接着フィルムにたわみが生じ、貼付作業を妨げたりすることがあった。
したがって、帯電防止性に優れるガスバリア性接着フィルムが要望されていた。
When a laminated film having a release film as described in Patent Document 2 is used, the release film is peeled off at a predetermined stage.
However, since the film having the gas barrier layer tends to be charged, the gas barrier adhesive film after the release film is peeled off is charged, which adversely affects the organic EL element or causes the gas barrier adhesive film to bend. It sometimes interfered with the pasting work.
Therefore, there has been a demand for a gas barrier adhesive film having excellent antistatic properties.

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、帯電防止性に優れるガスバリア性接着フィルム、並びに、このガスバリア性接着フィルム由来のガスバリア層及び接着性樹脂層を備える電子部材及び光学部材を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a gas barrier adhesive film having excellent antistatic properties, and an electronic member and an optical member provided with a gas barrier layer and an adhesive resin layer derived from the gas barrier adhesive film. The purpose is to do.

本発明者らは上記課題を解決すべく、保護フィルム/ガスバリア層からなるガスバリア性ユニットと、接着性樹脂層/剥離フィルムからなる接着性ユニットとを有し、前記接着性ユニットとガスバリア性ユニットとが、前記接着性ユニットの接着性樹脂層と、前記ガスバリア性ユニットのガスバリア層とが対向するように、直接又はその他の層を介して、積層されてなり、前記保護フィルムと前記剥離フィルムがそれぞれ最外層を構成するガスバリア性接着フィルムについて鋭意検討した。
その結果、保護フィルムと剥離フィルムの特定の面の表面抵抗率を低くする(特定値以下にする)ことにより、帯電防止性に優れ、対象物に貼付する際の作業を効率よく行うことができるガスバリア性接着フィルムが得られることを見出し、本発明を完成するに至った。
In order to solve the above problems, the present inventors have a gas barrier unit made of a protective film / gas barrier layer and an adhesive unit made of an adhesive resin layer / release film, and the adhesive unit and the gas barrier unit However, the adhesive resin layer of the adhesive unit and the gas barrier layer of the gas barrier unit are laminated so as to face each other, directly or via another layer, and the protective film and the release film are respectively. We have diligently studied the gas barrier adhesive film that constitutes the outermost layer.
As a result, by lowering the surface resistivity of the specific surfaces of the protective film and the release film (to a specific value or less), the antistatic property is excellent, and the work when attaching to the object can be efficiently performed. We have found that a gas barrier adhesive film can be obtained, and have completed the present invention.

かくして本発明によれば、下記〔1〕~〔6〕のガスバリア性接着フィルム、並びに(7)の電子部材及び光学部材が提供される。 Thus, according to the present invention, the following gas barrier adhesive films [1] to [6], and the electronic member and the optical member of (7) are provided.

〔1〕保護フィルム/ガスバリア層からなるガスバリア性ユニットと、接着性樹脂層/剥離フィルムからなる接着性ユニットとを有し、前記接着性樹脂層が、前記ガスバリア層上に、直接又はその他の層を介して積層されてなり、前記保護フィルムと前記剥離フィルムがそれぞれ最外層を構成するガスバリア性接着フィルムであって、前記保護フィルムの、ガスバリア層側の表面の表面抵抗率が、5.0×1011Ω/□以下であり、前記剥離フィルムの、少なくともどちらか一方の表面の表面抵抗率が、5.0×1011Ω/□以下である、ガスバリア性接着フィルム。
〔2〕前記保護フィルムが、基材フィルム(α)と帯電防止性粘着剤部分層とを有する積層フィルム(α)である、〔1〕に記載のガスバリア性接着フィルム。
〔3〕前記ガスバリア層が、基材フィルム(β)とガスバリア性部分層とを有する積層フィルム(β)からなるものである、〔1〕又は〔2〕に記載のガスバリア性接着フィルム。
〔4〕前記接着性樹脂層に含まれる接着性樹脂が、ポリオレフィン系接着性樹脂である、〔1〕~〔3〕のいずれかに記載のガスバリア性接着フィルム。
〔5〕前記剥離フィルムが、基材フィルム(γ)、帯電防止性部分層、及び剥離性部分層を有し、前記剥離性部分層が一方の最外層を構成する積層フィルム(γ)である、〔1〕~〔4〕のいずれかに記載のガスバリア性接着フィルム。
〔6〕電子部材用又は光学部材用の接着フィルムである、〔1〕~〔5〕のいずれかに記載のガスバリア性接着フィルム。
〔7〕前記〔1〕~〔6〕のいずれかに記載のガスバリア性接着フィルム由来のガスバリア層及び接着性樹脂層を備える電子部材又は光学部材。
[1] It has a gas barrier unit made of a protective film / gas barrier layer and an adhesive unit made of an adhesive resin layer / release film, and the adhesive resin layer is directly on the gas barrier layer or another layer. The protective film and the release film are gas barrier adhesive films each constituting the outermost layer, and the surface resistance of the surface of the protective film on the gas barrier layer side is 5.0 ×. A gas barrier adhesive film having a surface resistance of 10 11 Ω / □ or less and having a surface resistance of at least one of the surfaces of the release film of 5.0 × 10 11 Ω / □ or less.
[2] The gas barrier adhesive film according to [1], wherein the protective film is a laminated film (α) having a base film (α) and an antistatic pressure-sensitive adhesive partial layer.
[3] The gas barrier adhesive film according to [1] or [2], wherein the gas barrier layer is made of a laminated film (β) having a base film (β) and a gas barrier partial layer.
[4] The gas barrier adhesive film according to any one of [1] to [3], wherein the adhesive resin contained in the adhesive resin layer is a polyolefin-based adhesive resin.
[5] The release film is a laminated film (γ) having a base film (γ), an antistatic partial layer, and a peelable partial layer, and the peelable partial layer constitutes one of the outermost layers. , The gas barrier adhesive film according to any one of [1] to [4].
[6] The gas barrier adhesive film according to any one of [1] to [5], which is an adhesive film for an electronic member or an optical member.
[7] An electronic member or an optical member provided with a gas barrier layer and an adhesive resin layer derived from the gas barrier adhesive film according to any one of [1] to [6] above.

本発明によれば、帯電防止性に優れるガスバリア性接着フィルム、並びに、このガスバリア性接着フィルム由来のガスバリア層及び接着性樹脂層を備える電子部材及び光学部材が提供される。 According to the present invention, there is provided a gas barrier adhesive film having excellent antistatic properties, and an electronic member and an optical member provided with a gas barrier layer and an adhesive resin layer derived from the gas barrier adhesive film.

本発明のガスバリア性接着フィルムの層構造を表す模式図である。It is a schematic diagram which shows the layer structure of the gas barrier adhesive film of this invention. 本発明のガスバリア性接着フィルムの層構造を表す模式図である。It is a schematic diagram which shows the layer structure of the gas barrier adhesive film of this invention. 製造例7~10で得られた剥離フィルム(1)~(4)の層構造を表す模式図である。It is a schematic diagram which shows the layer structure of the release film (1)-(4) obtained in Production Examples 7-10. 製造例11~14で得られた剥離フィルム付保護フィルム(1)~(4)の層構造を表す模式図である。It is a schematic diagram which shows the layer structure of the protective film (1)-(4) with a release film obtained in Production Examples 11-14. 実施例1、2で得られたガスバリア性接着フィルム(1)、(2)の層構造を表す模式図である。It is a schematic diagram which shows the layer structure of the gas barrier adhesive film (1), (2) obtained in Examples 1 and 2. 実施例3、4で得られたガスバリア性接着フィルム(3)、(4)の層構造を表す模式図である。It is a schematic diagram which shows the layer structure of the gas barrier adhesive film (3), (4) obtained in Examples 3 and 4. 実施例5、6で得られたガスバリア性接着フィルム(5)、(6)の層構造を表す模式図である。It is a schematic diagram which shows the layer structure of the gas barrier adhesive film (5), (6) obtained in Examples 5 and 6. 比較例1、2で得られたガスバリア性接着フィルム(7)、(8)の層構造を表す模式図である。It is a schematic diagram which shows the layer structure of the gas barrier adhesive film (7), (8) obtained in Comparative Examples 1 and 2. 比較例3、4で得られたガスバリア性接着フィルム(9)、(10)の層構造を表す模式図である。It is a schematic diagram which shows the layer structure of the gas barrier adhesive film (9), (10) obtained in the comparative examples 3 and 4.

以下、本発明を、1)ガスバリア性接着フィルム、並びに、2)電子部材及び光学部材、に項分けして詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail by dividing it into 1) a gas barrier adhesive film, and 2) an electronic member and an optical member.

1)ガスバリア性接着フィルム
本発明のガスバリア性接着フィルムは、保護フィルム/ガスバリア層からなるガスバリア性ユニットと、接着性樹脂層/剥離フィルムからなる接着性ユニットとを有し、前記接着性樹脂層が、前記ガスバリア層上に、直接又はその他の層を介して積層されてなり、前記保護フィルムと前記剥離フィルムがそれぞれ最外層を構成するガスバリア性接着フィルムであって、前記保護フィルムの、ガスバリア層側の表面の表面抵抗率が、5.0×1011Ω/□以下であり、前記剥離フィルムの、少なくともどちらか一方の表面の表面抵抗率が、5.0×1011Ω/□以下であることを特徴とするものである。
なお、本明細書において「フィルム」には、短冊状のもののみならず、長尺状(帯状)のものも含まれる。
「長尺状」とは、フィルムの幅方向に対して、少なくとも5倍程度以上の長さを有するものをいい、好ましくは10倍もしくはそれ以上の長さを有し、具体的にはロール状に巻回されて保管又は運搬される程度の長さを有する形状をいう。
1) Gas barrier adhesive film The gas barrier adhesive film of the present invention has a gas barrier unit made of a protective film / gas barrier layer and an adhesive unit made of an adhesive resin layer / release film, and the adhesive resin layer is formed. , The protective film and the release film are gas barrier adhesive films each constituting the outermost layer, which are laminated directly on the gas barrier layer or via other layers, and the protective film is on the gas barrier layer side. The surface resistance of the surface of the release film is 5.0 × 10 11 Ω / □ or less, and the surface resistance of at least one of the surfaces of the release film is 5.0 × 10 11 Ω / □ or less. It is characterized by that.
In addition, in this specification, "film" includes not only strip-shaped ones but also long-shaped (strip-shaped) ones.
The "long shape" means a film having a length of at least about 5 times or more with respect to the width direction of the film, preferably having a length of 10 times or more, and specifically a roll shape. A shape that has a length that allows it to be wound around and stored or transported.

本発明のガスバリア性接着フィルムを構成する、保護フィルム、ガスバリア層、接着性樹脂層、剥離フィルムが、多層構造を有する場合、保護フィルム、ガスバリア層、接着性樹脂層、剥離フィルムを構成する層を表すときに、「部分層」ということがある。 When the protective film, gas barrier layer, adhesive resin layer, and release film constituting the gas barrier adhesive film of the present invention have a multilayer structure, the protective film, the gas barrier layer, the adhesive resin layer, and the layer constituting the release film are provided. When expressed, it is sometimes referred to as a "partial layer."

〔保護フィルム〕
ガスバリア性ユニット中の保護フィルムは、剥離フィルムの一種であって、ガスバリア性接着フィルムの運搬及び保管時にガスバリア層を保護するためのフィルムであり、最終的には剥離除去されるものである。
〔Protective film〕
The protective film in the gas barrier unit is a kind of release film, which is a film for protecting the gas barrier layer during transportation and storage of the gas barrier adhesive film, and is finally peeled off.

保護フィルムの、ガスバリア層側の表面(ガスバリア性接着フィルムにおいて、ガスバリア層と接する面。以下、「表面(A)」ということがある。)の表面抵抗率は、5.0×1011Ω/□以下であり、好ましくは、1.0×10Ω/□以上5.0×1011Ω/□以下である。表面(A)の表面抵抗率を5.0×1011Ω/□以下にすることで、保護フィルムを剥離した後において、ガスバリア層表面の帯電量を小さくすることができる。
表面抵抗率は、実施例に記載された方法により測定することができる(以下にて同じ)。
また、「Ω/□」(オームパースクエア)は、単位面積当たりの抵抗値である(以下にて同じ)。
The surface resistance of the surface of the protective film on the gas barrier layer side (the surface in contact with the gas barrier layer in the gas barrier adhesive film; hereinafter referred to as "surface (A)") is 5.0 × 10 11 Ω /. It is □ or less, preferably 1.0 × 10 6 Ω / □ or more and 5.0 × 10 11 Ω / □ or less. By setting the surface resistivity of the surface (A) to 5.0 × 10 11 Ω / □ or less, the amount of charge on the surface of the gas barrier layer can be reduced after the protective film is peeled off.
Surface resistivity can be measured by the method described in the Examples (same below).
In addition, "Ω / □" (Ohm Per Square) is the resistance value per unit area (the same applies below).

保護フィルムの、もう一方の表面(ガスバリア性接着フィルムにおいて、外部に露出した面。以下、「表面(B)」ということがある。)の表面抵抗率は、1.0×10Ω/□以上5.0×1011Ω/□以下が好ましく、1.0×10Ω/□以上5.0×1010Ω/□以下がより好ましい。
表面(B)の表面抵抗率が1.0×10Ω/□以上5.0×1011Ω/□以下のガスバリア性接着フィルムは、複数のガスバリア性接着フィルムが重ねられている場合や、ロール状に巻かれている場合において、ガスバリア性接着フィルム同士を剥がし易いものであるため、作業性により優れる。
The surface resistance of the other surface of the protective film (the surface exposed to the outside in the gas barrier adhesive film; hereinafter referred to as "surface (B)") is 1.0 x 106 Ω / □. More than 5.0 × 10 11 Ω / □ or less is preferable, and 1.0 × 10 6 Ω / □ or more and 5.0 × 10 10 Ω / □ or less are more preferable.
The gas barrier adhesive film having a surface resistance of 1.0 × 10 6 Ω / □ or more and 5.0 × 10 11 Ω / □ or less on the surface (B) may be used when a plurality of gas barrier adhesive films are stacked. When it is wound in a roll shape, the gas barrier adhesive films can be easily peeled off from each other, so that the workability is excellent.

保護フィルムの厚みは、通常、1~300μm、好ましくは10~200μm、より好ましくは20~100μmである。
保護フィルムの層構造は特に限定されない。保護フィルムは単層構造を有するものであってもよいし、多層構造を有するものであってもよい。
目的の特性を有する保護フィルムが得られ易いことから、保護フィルムとしては多層構造を有するものが好ましい。
The thickness of the protective film is usually 1 to 300 μm, preferably 10 to 200 μm, and more preferably 20 to 100 μm.
The layer structure of the protective film is not particularly limited. The protective film may have a single-layer structure or may have a multi-layer structure.
Since it is easy to obtain a protective film having the desired characteristics, the protective film having a multilayer structure is preferable.

多層構造を有する保護フィルムとしては、基材フィルム(以下、保護フィルムを構成する基材フィルムを、「基材フィルム(α)」という。)と帯電防止性粘着剤部分層とを有する積層フィルム(以下、この積層フィルムを、「積層フィルム(α)」という。)が挙げられる。 As the protective film having a multilayer structure, a laminated film having a base film (hereinafter, the base film constituting the protective film is referred to as "base film (α)") and an antistatic pressure-sensitive adhesive partial layer ( Hereinafter, this laminated film is referred to as “laminated film (α)”).

基材フィルム(α)としては、グラシン紙、コート紙、上質紙等の紙基材;これらの紙基材にポリエチレンやポリプロピレン等の熱可塑性樹脂をラミネートしたラミネート紙;上記紙基材に、セルロース、デンプン、ポリビニルアルコール、アクリル-スチレン樹脂等で目止め処理を行った基材;樹脂フィルム;等が挙げられる。
これらの中でも、取扱いが容易であることから樹脂フィルムが好ましい。
The base film (α) is a paper base material such as glassin paper, coated paper, or high-quality paper; a laminated paper obtained by laminating a thermoplastic resin such as polyethylene or polypropylene on these paper base materials; and cellulose on the above paper base material. , Substrate subjected to sealing treatment with starch, polyvinyl alcohol, acrylic-styrene resin and the like; resin film; and the like.
Among these, a resin film is preferable because it is easy to handle.

樹脂フィルムの樹脂成分としては、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンエーテル、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリオレフィン、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリフェニレンスルフィド、アクリル系樹脂、シクロオレフィン系ポリマー、芳香族系重合体等が挙げられる。
これらの樹脂成分は、一種単独で、あるいは二種以上を組み合わせて用いることができる。
Resin components of the resin film include polyimide, polyamide, polyamideimide, polyphenylene ether, polyether ketone, polyether ether ketone, polyolefin, polyester, polycarbonate, polysulfone, polyethersulfone, polyphenylene sulfide, acrylic resin, and cycloolefin polymer. , Aromatic polymers and the like.
These resin components can be used alone or in combination of two or more.

基材フィルム(α)の厚みは、特に限定されない。基材フィルム(α)の厚みは、通常、300μm以下、好ましくは10~200μmである。
基材フィルム(α)は、帯電防止剤を含有していてもよく、含有していなくてもよいが、帯電防止剤を含有するものが好ましい。基材フィルム(α)が帯電防止剤を含有することで、表面(B)の表面抵抗率が低い保護フィルムが得られ易くなる。
The thickness of the base film (α) is not particularly limited. The thickness of the base film (α) is usually 300 μm or less, preferably 10 to 200 μm.
The base film (α) may or may not contain an antistatic agent, but a film containing an antistatic agent is preferable. Since the base film (α) contains an antistatic agent, it becomes easy to obtain a protective film having a low surface resistivity of the surface (B).

帯電防止剤は、基材フィルム(α)に帯電防止性を付与し得るものであればよく、特に限定されない。
帯電防止剤としては、イオン導電剤、イオン性液体、界面活性剤、導電性高分子等が挙げられる。
The antistatic agent is not particularly limited as long as it can impart antistatic properties to the base film (α).
Examples of the antistatic agent include an ionic conductive agent, an ionic liquid, a surfactant, a conductive polymer and the like.

イオン導電剤としては、アルカリ金属塩とアルキレンオキサイド鎖を有するポリエーテル化合物を含むイオン導電剤が挙げられる。
アルカリ金属塩としては、Li、Na、K等のカチオンと、Cl、Br、I、BF 、PF 、SCN、ClO 、CFSO 、(CFSO)N、(CFSO)C等のアニオンから構成される金属塩が挙げられる。これらの中でも、LiBr、LiI、LiBF、LiPF、LiSCN、LiClO、LiCFSO、Li(CFSO)N、Li(CFSO)C等のリチウム塩が好ましい。
Examples of the ionic conductive agent include an ionic conductive agent containing an alkali metal salt and a polyether compound having an alkylene oxide chain.
Alkali metal salts include cations such as Li + , Na + , K + , Cl- , Br-, I- , BF4- , PF6- , SCN- , ClO 4- , CF 3 SO 3- , ( Examples thereof include metal salts composed of anions such as CF 3 SO 2 ) N and (CF 3 SO 2 ) C . Among these, lithium salts such as LiBr, LiI, LiBF 4 , LiPF 6 , LiSCN, LiClO 4 , LiCF 3 SO 3 , Li (CF 3 SO 2 ) N, and Li (CF 3 SO 2 ) C are preferable.

ポリエーテル化合物としては、ポリエーテルポリオールやポリエステルポリオールが挙げられる。ポリエーテル化合物は、25℃で液体のものが好ましい。
ポリエーテルポリオールとしては、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレンエーテルグリコールおよびこれらの誘導体が挙げられる。
Examples of the polyether compound include a polyether polyol and a polyester polyol. The polyether compound is preferably a liquid at 25 ° C.
Examples of the polyether polyol include polyethylene glycol, polypropylene glycol, polytetramethylene ether glycol and derivatives thereof.

ポリエステルポリオールとしては、酸成分と、グリコール成分又はポリオール成分との反応物や、ラクトン類の開環重合反応物が挙げられる。
酸成分としてはテレフタル酸、アジピン酸、アゼライン酸、セバチン酸、無水フタル酸、イソフタル酸、トリメリット酸等が挙げられる。
グリコール成分としては、エチレングリコール、プロピレングリコール、ジエチレングリコール、ブチレングリコール、1,6-ヘキサングリコール、3-メチル-1,5-ペンタンジオール、3,3’-ジメチロールヘプタン、ポリオキシエチレングリコール、ポリオキシプロピレングリコール、1,4-ブタンジオール、ネオペンチルグリコール、ブチルエチルペンタンジオール等が挙げられる。
ポリオール成分としては、グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール等が挙げられる。
ラクトン類としては、ポリカプロラクトン、ポリ(β-メチル-γ-バレロラクトン)、ポリバレロラクトン等が挙げられる。
Examples of the polyester polyol include a reaction product of an acid component and a glycol component or a polyol component, and a ring-opening polymerization reaction product of lactones.
Examples of the acid component include terephthalic acid, adipic acid, azelaic acid, sebatic acid, phthalic anhydride, isophthalic acid, trimellitic acid and the like.
Glycol components include ethylene glycol, propylene glycol, diethylene glycol, butylene glycol, 1,6-hexaneglycol, 3-methyl-1,5-pentanediol, 3,3'-dimethylol heptane, polyoxyethylene glycol, and polyoxy. Examples thereof include propylene glycol, 1,4-butanediol, neopentyl glycol, butylethylpentanediol and the like.
Examples of the polyol component include glycerin, trimethylolpropane, pentaerythritol and the like.
Examples of the lactones include polycaprolactone, poly (β-methyl-γ-valerolactone), polyvalerolactone and the like.

また、ポリエーテル化合物として、特開平6-313807号公報に開示された、側鎖にアルキレンオキサイド鎖を有するオルガノポリシロキサンを使用することができる。 Further, as the polyether compound, an organopolysiloxane having an alkylene oxide chain in the side chain disclosed in JP-A-6-313807 can be used.

イオン性液体とは、25℃で液状のイオン性化合物をいう。
イオン性液体としては、含窒素オニウム塩、含硫黄オニウム塩及び含リンオニウム塩が挙げられる。
The ionic liquid refers to an ionic compound that is liquid at 25 ° C.
Examples of the ionic liquid include nitrogen-containing onium salt, sulfur-containing onium salt and phosphorus-containing onium salt.

イオン性液体を構成するカチオンとしては、分子内にヘテロ環を有するカチオンや、分子内にヘテロ環を有しないカチオンが挙げられる。
分子内にヘテロ環を有するカチオンとしては、ヘテロ環内に窒素原子を1つ有するカチオン(以下、「カチオン(A)」ということがある。)、ヘテロ環内に窒素原子を2つ有するカチオン(ただし、2つの窒素原子は隣接していない。以下、「カチオン(B)」ということがある。)、ヘテロ環内に窒素原子を2つ有するカチオン(ただし、2つの窒素原子は隣接している。以下、「カチオン(C)」ということがある。)
Examples of the cation constituting the ionic liquid include a cation having a heterocycle in the molecule and a cation having no heterocycle in the molecule.
The cation having a hetero ring in the molecule includes a cation having one nitrogen atom in the hetero ring (hereinafter, may be referred to as "cation (A)") and a cation having two nitrogen atoms in the hetero ring (hereinafter, may be referred to as "cation (A)"). However, the two nitrogen atoms are not adjacent to each other. Hereinafter, they may be referred to as "cation (B)"), a cation having two nitrogen atoms in the heterocycle (however, the two nitrogen atoms are adjacent to each other). Hereinafter, it may be referred to as "cation (C)".)

カチオン(A)としては、ピリジニウムカチオン、ピペリジニウムカチオン、ピロリジニウムカチオン、ピロリン骨格を有するカチオン、ピロール骨格を有するカチオンなどが挙げられる。これらの具体例としては、1-エチルピリジニウムカチオン、1-ブチルピリジニウムカチオン、1-へキシルピリジニウムカチオン、1-ブチル-3-メチルピリジニウムカチオン、1-ブチル-4-メチルピリジニウムカチオン、1-へキシル-3-メチルピリジニウムカチオン、1-ブチル-3,4-ジメチルピリジニウムカチオン、1,1-ジメチルピロリジニウムカチオン、1-エチル-1-メチルピロリジニウムカチオン、1-メチル-1-プロピルピロリジニウムカチオン、2-メチル-1-ピロリンカチオン、1-エチル-2-フェニルインドールカチオン、1,2-ジメチルインドールカチオン及び1-エチルカルバゾールカチオン等が挙げられる。 Examples of the cation (A) include a pyridinium cation, a piperidinium cation, a pyrrolidinium cation, a cation having a pyrroline skeleton, and a cation having a pyrrole skeleton. Specific examples of these include 1-ethylpyridinium cation, 1-butylpyridinium cation, 1-hexylpyridinium cation, 1-butyl-3-methylpyridinium cation, 1-butyl-4-methylpyridinium cation, 1-hexyl. -3-Methylpyridinium cation, 1-butyl-3,4-dimethylpyridinium cation, 1,1-dimethylpyrridinium cation, 1-ethyl-1-methylpyrrolidinium cation, 1-methyl-1-propylpyrrolidiium Examples thereof include a nium cation, a 2-methyl-1-pyrrolin cation, a 1-ethyl-2-phenylindole cation, a 1,2-dimethylindole cation and a 1-ethylcarbazole cation.

カチオン(B)としては、イミダゾリウムカチオン、テトラヒドロピリミジニウムカチオン、ジヒドロピリミジニウムカチオン等が挙げられる。これらの具体例としては、1,3-ジメチルイミダゾリウムカチオン、1,3-ジエチルイミダゾリウムカチオン、1-エチル-3-メチルイミダゾリウムカチオン、1-ブチル-3-メチルイミダゾリウムカチオン、1-へキシル-3-メチルイミダゾリウムカチオン、1-オクチル-3-メチルイミダゾリウムカチオン、1-デシル-3-メチルイミダゾリウムカチオン、1-ドデシル-3-メチルイミダゾリウムカチオン、1-テトラデシル-3-メチルイミダゾリウムカチオン、1,2-ジメチル-3-プロピルイミダゾリウムカチオン、1-エチル-2,3-ジメチルイミダゾリウムカチオン、1-ブチル-2,3-ジメチルイミダゾリウムカチオン、1-へキシル-2,3-ジメチルイミダゾリウムカチオン、1,3-ジメチル-1,4,5,6-テトラヒドロピリミジニウムカチオン、1,2,3-トリメチル-1,4,5,6-テトラヒドロピリミジニウムカチオン、1,2,3,4-テトラメチル-1,4,5,6-テトラヒドロピリミジニウムカチオン、1,2,3,5-テトラメチル-1,4,5,6-テトラヒドロピリミジニウムカチオン、1,3-ジメチル-1,4-ジヒドロピリミジニウムカチオン、1,3-ジメチル-1,6-ジヒドロピリミジニウムカチオン、1,2,3-トリメチル-1,4-ジヒドロピリミジニウムカチオン、1,2,3-トリメチル-1,6-ジヒドロピリミジニウムカチオン、1,2,3,4-テトラメチル-1,4-ジヒドロピリミジニウムカチオン及び1,2,3,4-テトラメチル-1,6-ジヒドロピリミジニウムカチオン等が挙げられる。 Examples of the cation (B) include an imidazolium cation, a tetrahydropyrimidinium cation, and a dihydropyrimidinium cation. Specific examples of these include 1,3-dimethylimidazolium cation, 1,3-diethylimidazolium cation, 1-ethyl-3-methylimidazolium cation, 1-butyl-3-methylimidazolium cation, 1-to. Xyl-3-methylimidazolium cation, 1-octyl-3-methylimidazolium cation, 1-decyl-3-methylimidazolium cation, 1-dodecyl-3-methylimidazolium cation, 1-tetradecyl-3-methylimidazolium cation Rium cation, 1,2-dimethyl-3-propylimidazolium cation, 1-ethyl-2,3-dimethylimidazolium cation, 1-butyl-2,3-dimethylimidazolium cation, 1-hexyl-2,3 -Dimethylimidazolium cations, 1,3-dimethyl-1,4,5,6-tetrahydropyrimidinium cations, 1,2,3-trimethyl-1,4,5,6-tetrahydropyrimidinium cations, 1, 2,3,4-Tetramethyl-1,4,5,6-Tetrahydropyrimidinium cation, 1,2,3,5-Tetramethyl-1,4,5,6-Tetrahydropyrimidinium cation, 1, 3-Dimethyl-1,4-dihydropyrimidinium cation, 1,3-dimethyl-1,6-dihydropyrimidinium cation, 1,2,3-trimethyl-1,4-dihydropyrimidinium cation, 1, 2,3-trimethyl-1,6-dihydropyrimidinium cation, 1,2,3,4-tetramethyl-1,4-dihydropyrimidinium cation and 1,2,3,4-tetramethyl-1, 6-Dihydropyrimidinium cations and the like can be mentioned.

カチオン(C)としては、ピラゾリウムカチオン、ピラゾリニウムカチオン等が挙げられる。これらの具体例としては、1-メチルピラゾリウムカチオン、3-メチルピラゾリウムカチオン及び1-エチル-2-メチルピラゾリニウムカチオン等が挙げられる。 Examples of the cation (C) include pyrazolium cations and pyrazolinium cations. Specific examples of these include 1-methylpyrazolium cation, 3-methylpyrazolium cation, 1-ethyl-2-methylpyrazolinium cation and the like.

分子内にヘテロ環を有しないカチオンとしては、テトラアルキルアンモニウムカチオン、トリアルキルスルホニウムカチオン、テトラアルキルホスホニウムカチオンや、上記アルキル基の一部がアルケニル基、アルコキシル基、エポキシ基等に置換されたもの等が挙げられる。
これらの具体例としては、テトラメチルアンモニウムカチオン、テトラエチルアンモニウムカチオン、テトラブチルアンモニウムカチオン、テトラヘキシルアンモニウムカチオン、
トリメチルヘプチルアンモニウムカチオン、トリメチルデシルアンモニウムカチオン、トリエチルメチルアンモニウムカチオン、トリエチルプロピルアンモニウムカチオン、トリエチルペンチルアンモニウムカチオン、トリエチルヘプチルアンモニウムカチオン、トリブチルエチルアンモニウムカチオン、トリオクチルメチルアンモニウムカチオン、
Examples of the cation having no heterocycle in the molecule include a tetraalkylammonium cation, a trialkylsulfonium cation, a tetraalkylphosphonium cation, and a cation in which a part of the above alkyl group is replaced with an alkenyl group, an alkoxyl group, an epoxy group, or the like. Can be mentioned.
Specific examples of these include tetramethylammonium cations, tetraethylammonium cations, tetrabutylammonium cations, and tetrahexylammonium cations.
Trimethylheptylammonium cation, trimethyldecylammonium cation, triethylmethylammonium cation, triethylpropylammonium cation, triethylpentylammonium cation, triethylheptylammonium cation, tributylethylammonium cation, trioctylmethylammonium cation,

N,N-ジメチル-N,N-ジプロピルアンモニウムカチオン、N,N-ジメチル-N,N-ジヘキシルアンモニウムカチオン、N,N-ジプロピル-N,N-ジヘキシルアンモニウムカチオン、
N,N-ジメチル-N-エチル-N-プロピルアンモニウムカチオン、N,N-ジメチル-N-エチル-N-ブチルアンモニウムカチオン、N,N-ジメチル-N-エチル-N-ペンチルアンモニウムカチオン、N,N-ジメチル-N-エチル-N-ヘキシルアンモニウムカチオン、N,N-ジメチル-N-エチル-N-ヘプチルアンモニウムカチオン、N,N-ジメチル-N-エチル-N-ノニルアンモニウムカチオン、N,N-ジメチル-N-プロピル-N-ブチルアンモニウムカチオン、N,N-ジメチル-N-プロピル-N-ペンチルアンモニウムカチオン、N,N-ジメチル-N-プロピル-N-ヘキシルアンモニウムカチオン、N,N-ジメチル-N-プロピル-N-ヘプチルアンモニウムカチオン、N,N-ジメチル-N-ブチル-N-ヘキシルアンモニウムカチオン、N,N-ジメチル-N-ブチル-N-ヘプチルアンモニウムカチオン、N,N-ジメチル-N-ペンチル-N-ヘキシルアンモニウムカチオン、N,N-ジエチル-N-メチル-N-プロピルアンモニウムカチオン、N,N-ジエチル-N-メチル-N-ペンチルアンモニウムカチオン、N,N-ジエチル-N-メチル-N-ヘプチルアンモニウムカチオン、N,N-ジエチル-N-プロピル-N-ペンチルアンモニウムカチオン、N,N-ジプロピル-N-メチル-N-エチルアンモニウムカチオン、N,N-ジプロピル-N-メチル-N-ペンチルアンモニウムカチオン、N,N-ジプロピル-N-ブチル-N-ヘキシルアンモニウムカチオン、N,N-ジブチル-N-メチル-N-ペンチルアンモニウムカチオン、N,N-ジブチル-N-メチル-N-ヘキシルアンモニウムカチオン、
N-メチル-N-エチル-N-プロピル-N-ペンチルアンモニウムカチオン、
ジアリルジメチルアンモニウムカチオン、N,N-ジエチル-N-メチル-N-(2-メトキシエチル)アンモニウムカチオン、グリシジルトリメチルアンモニウムカチオン等のアンモニウムイオン;
N, N-dimethyl-N, N-dipropylammonium cation, N, N-dimethyl-N, N-dihexylammonium cation, N, N-dipropyl-N, N-dihexylammonium cation,
N, N-dimethyl-N-ethyl-N-propylammonary cation, N, N-dimethyl-N-ethyl-N-butylammonium cation, N, N-dimethyl-N-ethyl-N-pentylammonium cation, N, N-dimethyl-N-ethyl-N-hexylammonary cation, N, N-dimethyl-N-ethyl-N-heptylammonium cation, N, N-dimethyl-N-ethyl-N-nonylammonium cation, N, N- Dimethyl-N-propyl-N-butylammonary cations, N, N-dimethyl-N-propyl-N-pentylammonium cations, N, N-dimethyl-N-propyl-N-hexylammonium cations, N, N-dimethyl- N-propyl-N-heptylammonium cations, N, N-dimethyl-N-butyl-N-hexylammonary cations, N, N-dimethyl-N-butyl-N-heptylammonium cations, N, N-dimethyl-N- Pentyl-N-hexylammonium cation, N, N-diethyl-N-methyl-N-propylammonium cation, N, N-diethyl-N-methyl-N-pentylammonium cation, N, N-diethyl-N-methyl- N-Heptylammonium cation, N, N-diethyl-N-propyl-N-pentylammonium cation, N, N-dipropyl-N-methyl-N-ethylammonary cation, N, N-dipropyl-N-methyl-N- Pentylammonium cations, N, N-dipropyl-N-butyl-N-hexylammonium cations, N, N-dibutyl-N-methyl-N-pentylammonium cations, N, N-dibutyl-N-methyl-N-hexylammonium Cationic,
N-methyl-N-ethyl-N-propyl-N-pentylammonium cation,
Ammonium ions such as diallyldimethylammonium cations, N, N-diethyl-N-methyl-N- (2-methoxyethyl) ammonium cations, glycidyltrimethylammonium cations;

トリメチルスルホニウムカチオン、トリエチルスルホニウムカチオン、トリブチルスルホニウムカチオン、トリヘキシルスルホニウムカチオン、
ジメチルデシルスルホニウムカチオン、ジエチルメチルスルホニウムカチオン、ジブチルエチルスルホニウムカチオン等のスルホニウムカチオン;
Trimethylsulfonium cation, triethylsulfonium cation, tributylsulfonium cation, trihexylsulfonium cation,
Sulfonium cations such as dimethyldecylsulfonium cations, diethylmethylsulfonium cations, dibutylethylsulfonium cations;

テトラメチルホスホニウムカチオン、テトラエチルホスホニウムカチオン、テトラブチルホスホニウムカチオン、テトラヘキシルホスホニウムカチオン、
トリメチルデシルホスホニウムカチオン、トリエチルメチルホスホニウムカチオン、トリブチルエチルホスホニウムカチオン等のホスホニウムカチオン;等が挙げられる。
Tetramethylphosphonium cation, tetraethylphosphonium cation, tetrabutylphosphonium cation, tetrahexylphosphonium cation,
Phosphonium cations such as trimethyldecylphosphonium cation, triethylmethylphosphonium cation, tributylethylphosphonium cation; and the like can be mentioned.

イオン性液体を構成するアニオンとしては、塩がイオン性液体になるものであれば特に限定されない。アニオンとしては、Cl、Br、I、AlCl 、AlCl 、BF 、PF 、ClO 、NO 、CHCOO、CFCOO、CHSO 、CFSO 、(CFSO、(CFSO、AsF 、SbF 、NbF 、TaF 、F(HF) 、(CN)、CSO 、(CSO、CCOO、(CFSO)(CFCO)N等が挙げられる。The anion constituting the ionic liquid is not particularly limited as long as the salt becomes an ionic liquid. Anions include Cl- , Br- , I- , AlCl 4- , Al 2 Cl 7- , BF 4- , PF 6- , ClO 4- , NO 3- , CH 3 COO- , CF 3 COO- , CH. 3 SO 3- , CF 3 SO 3- , (CF 3 SO 2 ) 2 N- , (CF 3 SO 2 ) 3 C- , AsF 6- , SbF 6- , NbF 6- , TaF 6- , F (HF) ) N- , (CN) 2 N- , C 4 F 9 SO 3- , (C 2 F 5 SO 2 ) 2 N- , C 3 F 7 COO- , (CF 3 SO 2 ) (CF 3 CO) N -Etc .

イオン性液体としては、1-ブチルピリジニウムテトラフルオロボレート、1-ブチルピリジニウムヘキサフルオロホスフェート、1-ブチル-3-メチルピリジニウムテトラフルオロボレート、1-ブチル-3-メチルピリジニウムトリフルオロメタンスルホネート、1-ブチル-3-メチルピリジニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、1-ブチル-3-メチルピリジニウムビス(ペンタフルオロエタンスルホニル)イミド、1-へキシルピリジニウムテトラフルオロボレート、2-メチル-1-ピロリンテトラフルオロボレート、1-エチル-2-フェニルインドールテトラフルオロボレート、1,2-ジメチルインドールテトラフルオロボレート、1-エチルカルバゾールテトラフルオロボレート、1-エチル-3-メチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート、1-エチル-3-メチルイミダゾリウムアセテート、1-エチル-3-メチルイミダゾリウムトリフルオロアセテート、1-エチル-3-メチルイミダゾリウムヘプタフルオロブチレート、1-エチル-3-メチルイミダゾリウムトリフルオロメタンスルホネート、1-エチル-3-メチルイミダゾリウムペルフルオロブタンスルホネート、1-エチル-3-メチルイミダゾリウムジシアナミド、1-エチル-3-メチルイミダゾリウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、1-エチル-3-メチルイミダゾリウムビス(ペンタフルオロエタンスルホニル)イミド、1-エチル-3-メチルイミダゾリウムトリス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、 As ionic liquids, 1-butylpyridinium tetrafluoroborate, 1-butylpyridinium hexafluorophosphate, 1-butyl-3-methylpyridinium tetrafluoroborate, 1-butyl-3-methylpyridinium trifluoromethanesulfonate, 1-butyl- 3-Methylpyridinium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, 1-butyl-3-methylpyridinium bis (pentafluoroethanesulfonyl) imide, 1-hexylpyridinium tetrafluoroborate, 2-methyl-1-pyrrolinte tetrafluoroborate, 1 -Ethyl-2-phenylindole tetrafluoroborate, 1,2-dimethylindole tetrafluoroborate, 1-ethylcarbazole tetrafluoroborate, 1-ethyl-3-methylimidazolium tetrafluoroborate, 1-ethyl-3-methylimidazole Rium acetate, 1-ethyl-3-methylimidazolium trifluoroacetate, 1-ethyl-3-methylimidazolium heptafluorobutyrate, 1-ethyl-3-methylimidazolium trifluoromethanesulfonate, 1-ethyl-3-methyl Imidazolium perfluorobutane sulfonate, 1-ethyl-3-methylimidazolium dicyanamide, 1-ethyl-3-methylimidazolium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, 1-ethyl-3-methylimidazolium bis (pentafluoroethanesulfonyl) ) Imid, 1-ethyl-3-methylimidazolium tris (trifluoromethanesulfonyl) imide,

1-ブチル-3-メチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート、1-ブチル-3-メチルイミダゾリウムヘキサフルオロホスフェート、1-ブチル-3-メチルイミダゾリウムトリフルオロアセテート、1-ブチル-3-メチルイミダゾリウムヘプタフルオロブチレート、1-ブチル-3-メチルイミダゾリウムトリフルオロメタンスルホネート、1-ブチル-3-メチルイミダゾリウムペルフルオロブタンスルホネート、1-ブチル-3-メチルイミダゾリウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、1-へキシル-3-メチルイミダゾリウムブロミド、1-へキシル-3-メチルイミダゾリウムクロライド、1-へキシル-3-メチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート、1-へキシル-3-メチルイミダゾリウムヘキサフルオロホスフェート、1-へキシル-3-メチルイミダゾリウムトリフルオロメタンスルホネート、1-オクチル-3-メチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート、1-オクチル-3-メチルイミダゾリウムヘキサフルオロホスフェート、1-へキシル-2,3-ジメチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート、1,2-ジメチル-3-プロピルイミダゾリウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、1-メチルピラゾリウムテトラフルオロボレート、3-メチルピラゾリウムテトラフルオロボレート、テトラヘキシルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、ジアリルジメチルアンモニウムテトラフルオロボレート、ジアリルジメチルアンモニウムトリフルオロメタンスルホネート、ジアリルジメチルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、ジアリルジメチルアンモニウムビス(ペンタフルオロエタンスルホニル)イミド、N,N―ジエチル―N―メチル―N-(2-メトキシエチル)アンモニウムテトラフルオロボレート、N,N―ジエチル―N―メチル―N-(2-メトキシエチル)アンモニウムトリフルオロメタンスルホネート、N,N―ジエチル―N―メチル―N-(2-メトキシエチル)アンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、N,N―ジエチル―N―メチル―N-(2-メトキシエチル)アンモニウムビス(ペンタフルオロエタンスルホニル)イミド、グリシジルトリメチルアンモニウムトリフルオロメタンスルホネート、 1-Butyl-3-methylimidazolium tetrafluoroborate, 1-butyl-3-methylimidazolium hexafluorophosphate, 1-butyl-3-methylimidazolium trifluoroacetate, 1-butyl-3-methylimidazolium heptafluoro Butyrate, 1-butyl-3-methylimidazolium trifluoromethanesulfonate, 1-butyl-3-methylimidazolium perfluorobutanesulfonate, 1-butyl-3-methylimidazolium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, 1-hexyl -3-Methylimidazolium bromide, 1-hexyl-3-methylimidazolium chloride, 1-hexyl-3-methylimidazolium tetrafluoroborate, 1-hexyl-3-methylimidazolium hexafluorophosphate, 1- Hexyl-3-methylimidazolium trifluoromethanesulfonate, 1-octyl-3-methylimidazolium tetrafluoroborate, 1-octyl-3-methylimidazolium hexafluorophosphate, 1-hexyl-2,3-dimethylimidazolium Tetrafluoroborate, 1,2-dimethyl-3-propylimidazolium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, 1-methylpyrazolium tetrafluoroborate, 3-methylpyrazolium tetrafluoroborate, tetrahexylammonium bis (trifluoromethane) Sulfonyl) imide, diallyldimethylammonium tetrafluoroborate, diallyldimethylammonium trifluoromethanesulfonate, diallyldimethylammonium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, diallyldimethylammonium bis (pentafluoroethanesulfonyl) imide, N, N-diethyl-N-methyl -N- (2-methoxyethyl) ammonium tetrafluoroborate, N, N-diethyl-N-methyl-N- (2-methoxyethyl) ammonium trifluoromethanesulfonate, N, N-diethyl-N-methyl-N- ( 2-methoxyethyl) ammonium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, N, N-diethyl-N-methyl-N- (2-methoxyethyl) ammonium bis (pentafluoroethanesulfonyl) imide, glycidyltrimethylammonium trifluoromethanesulfonate,

グリシジルトリメチルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、グリシジルトリメチルアンモニウムビス(ペンタフルオロエタンスルホニル)イミド、1-ブチルピリジニウム(トリフルオロメタンスルホニル)トリフルオロアセトアミド、1-ブチル-3-メチルピリジニウム(トリフルオロメタンスルホニル)トリフルオロアセトアミド、1-エチル-3-メチルイミダゾリウム(トリフルオロメタンスルホニル)トリフルオロアセトアミド、ジアリルジメチルアンモニウム(トリフルオロメタンスルホニル)トリフルオロアセトアミド、グリシジルトリメチルアンモニウム(トリフルオロメタンスルホニル)トリフルオロアセトアミド、N,N-ジメチル-N-エチル-N-プロピルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、N,N-ジメチル-N-エチル-N-ブチルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、N,N-ジメチル-N-エチル-N-ペンチルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、N,N-ジメチル-N-エチル-N-へキシルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、N,N-ジメチル-N-エチル-N-ヘプチルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、N,N-ジメチル-N-エチル-N-ノニルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、N,N-ジメチル-N,N-ジプロピルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、N,N-ジメチル-N-プロピル-N-ブチルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、N,N-ジメチル-N-プロピル-N-ペンチルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、N,N-ジメチル-N-プロピル-N-ヘキシルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、 Glysidyltrimethylammonium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, glycidyltrimethylammonium bis (pentafluoroethanesulfonyl) imide, 1-butylpyridinium (trifluoromethanesulfonyl) trifluoroacetamide, 1-butyl-3-methylpyridinium (trifluoromethanesulfonyl) tri Fluoroacetamide, 1-ethyl-3-methylimidazolium (trifluoromethanesulfonyl) trifluoroacetamide, diallyldimethylammonium (trifluoromethanesulfonyl) trifluoroacetamide, glycidyltrimethylammonium (trifluoromethanesulfonyl) trifluoroacetamide, N, N-dimethyl -N-ethyl-N-propylammonium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, N, N-dimethyl-N-ethyl-N-butylammonium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, N, N-dimethyl-N-ethyl-N -Pentylammonium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, N, N-dimethyl-N-ethyl-N-hexylammonium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, N, N-dimethyl-N-ethyl-N-heptylammonium bis ( Trifluoromethanesulfonyl) imide, N, N-dimethyl-N-ethyl-N-nonylammonium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, N, N-dimethyl-N, N-dipropylammonium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, N , N-dimethyl-N-propyl-N-butylammonium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, N, N-dimethyl-N-propyl-N-pentylammonium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, N, N-dimethyl-N -Propyl-N-hexylammonium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide,

N,N-ジメチル-N-プロピル-N-ヘプチルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、N,N-ジメチル-N-ブチル-N-ヘキシルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、N,N-ジメチル-N-ブチル-N-ヘプチルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、N,N-ジメチル-N-ペンチル-N-ヘキシルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、N,N-ジメチル-N,N-ジヘキシルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、トリメチルヘプチルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、N,N-ジエチル-N-メチル-N-プロピルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、N,N-ジエチル-N-メチル-N-ペンチルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、N,N-ジエチル-N-メチル-N-ヘプチルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、N,N-ジエチル-N-プロピル-N-ペンチルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、トリエチルプロピルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、トリエチルペンチルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、トリエチルヘプチルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、N,N-ジプロピル-N-メチル-N-エチルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、N,N-ジプロピル-N-メチル-N-ペンチルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、N,N-ジプロピル-N-ブチル-N-へキシルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、N,N-ジプロピル-N,N-ジヘキシルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、N,N-ジブチル-N-メチル-N-ペンチルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、N,N-ジブチル-N-メチル-N-ヘキシルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、トリオクチルメチルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド、N-メチル-N-エチル-N-プロピル-N-ペンチルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド等が挙げられる N, N-dimethyl-N-propyl-N-heptylammonium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, N, N-dimethyl-N-butyl-N-hexylammonium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, N, N-dimethyl- N-butyl-N-heptylammonium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, N, N-dimethyl-N-pentyl-N-hexylammonium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, N, N-dimethyl-N, N-dihexylammonium Bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, trimethylheptylammonium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, N, N-diethyl-N-methyl-N-propylammonium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, N, N-diethyl-N-methyl -N-pentylammonium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, N, N-diethyl-N-methyl-N-heptylammonium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, N, N-diethyl-N-propyl-N-pentylammonium bis (Trifluoromethanesulfonyl) imide, triethylpropylammonium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, triethylpentylammonium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, triethylheptylammonium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, N, N-dipropyl-N-methyl- N-ethylammonium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, N, N-dipropyl-N-methyl-N-pentylammonium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, N, N-dipropyl-N-butyl-N-hexylammonium bis (Trifluoromethanesulfonyl) imide, N, N-dipropyl-N, N-dihexylammonyl bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, N, N-dibutyl-N-methyl-N-pentylammonium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, N , N-dibutyl-N-methyl-N-hexylammonium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, trioctylmethylammonium bis (trifluoromethanesulfonyl) imide, N-methyl-N-ethyl-N-propyl-N-pentylammonium bis (Trifluoromethanesulfonyl) imide and the like can be mentioned.

界面活性剤としては、グリセリン脂肪酸エステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレンアルキルアミン脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレンアルキルアミン類、N-ヒドロキシエチル-N-2-ヒドロキシアルキルアミン類、アルキルジエタノールアミド類などのノニオン系界面活性剤;
アルキルホスフェート塩類、アルキルスルホン酸塩類及びアルキルベンゼンスルホン酸塩類等のアニオン系界面活性剤;
4級アンモニウム塩類、アミド4級アンモニウム塩類等のカチオン系界面活性剤;
アルキルベタイン類、アルキルイミダゾリニウムベタイン類等の両性系界面活性剤;等が挙げられる。
Surfactants include glycerin fatty acid esters, sorbitan fatty acid esters, polyoxyethylene alkylamine fatty acid esters, polyoxyethylene alkylamines, N-hydroxyethyl-N-2-hydroxyalkylamines, and alkyldiethanolamides. Nonionic surfactants such as;
Anionic surfactants such as alkyl phosphate salts, alkyl sulfonates and alkylbenzene sulfonates;
Cationic surfactants such as quaternary ammonium salts and amide quaternary ammonium salts;
Amphoteric surfactants such as alkyl betaines and alkylimidazolinium betaines; and the like.

導電性高分子としては、ポリチオフェン、PEDOT-PSS(ポリ(3,4-エチレンジオキシチオフェン)-ポリ(スチレンスルホン酸))、ポリアニリン、ポリピロール、ポリキノキサリン等が挙げられる。これらの中でも、ポリチオフェン、及びPEDOT-PSSが好ましい。
本発明において、帯電防止剤は、は一種単独で、あるいは二種以上を組み合わせて用いることができる。
Examples of the conductive polymer include polythiophene, PEDOT-PSS (poly (3,4-ethylenedioxythiophene) -poly (styrene sulfonic acid)), polyaniline, polypyrrole, polyquinoxaline and the like. Among these, polythiophene and PEDOT-PSS are preferable.
In the present invention, the antistatic agent may be used alone or in combination of two or more.

基材フィルム(α)に含まれる帯電防止剤の含有量は特に限定されず、目的の帯電防止性に応じて適宜決定することができる。 The content of the antistatic agent contained in the base film (α) is not particularly limited, and can be appropriately determined according to the desired antistatic property.

帯電防止性粘着剤部分層は粘着性及び帯電防止性を有する層であり、基材フィルム(α)上に、直接又はその他の層を介して積層される層である。
保護フィルム中に帯電防止性粘着剤部分層を設けることで、ガスバリア層を効率よく保護することができる。さらに、保護フィルムの表面(A)の表面抵抗率を、容易に5.0×1011Ω/□以下にすることができる。
The antistatic pressure-sensitive adhesive partial layer is a layer having adhesiveness and antistatic properties, and is a layer laminated directly or via another layer on the base film (α).
By providing the antistatic adhesive partial layer in the protective film, the gas barrier layer can be efficiently protected. Further, the surface resistivity of the surface (A) of the protective film can be easily set to 5.0 × 10 11 Ω / □ or less.

帯電防止性粘着剤部分層の厚みは特に限定されない。帯電防止性粘着剤部分層の厚みは、通常、200μm以下、好ましくは5~100μm、より好ましくは10~50μmである。 The thickness of the antistatic pressure-sensitive adhesive partial layer is not particularly limited. The thickness of the antistatic pressure-sensitive adhesive partial layer is usually 200 μm or less, preferably 5 to 100 μm, and more preferably 10 to 50 μm.

帯電防止性粘着剤部分層としては、粘着性樹脂成分と帯電防止剤とを含有する層が挙げられる。
粘着性樹脂成分は、適度な粘着性と剥離性を有するものであれば、特に限定されない。
かかる樹脂成分としては、例えば、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、シリコーン系樹脂、ゴム系樹脂、ポリエステル系樹脂等が挙げられる。
Examples of the antistatic pressure-sensitive adhesive partial layer include a layer containing a pressure-sensitive adhesive resin component and an antistatic agent.
The adhesive resin component is not particularly limited as long as it has appropriate adhesiveness and peelability.
Examples of such resin components include acrylic resins, urethane resins, silicone resins, rubber resins, polyester resins and the like.

これらの中でも、適度な粘着性と剥離性を有することからアクリル系樹脂が好ましい。
アクリル系樹脂としては、炭素数1~20のアルキル基を有するアルキル(メタ)アクリレート由来の繰り返し単位と、官能基含有モノマー由来の繰り返し単位を有するアクリル系共重合体が挙げられる。
Among these, acrylic resins are preferable because they have appropriate adhesiveness and peelability.
Examples of the acrylic resin include a repeating unit derived from an alkyl (meth) acrylate having an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms and an acrylic copolymer having a repeating unit derived from a functional group-containing monomer.

炭素数1~20のアルキル基を有するアルキル(メタ)アクリレートとしては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、n-ブチル(メタ)アクリレート、2-エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、トリデシル(メタ)アクリレート、およびステアリル(メタ)アクリレート等が挙げられる。 Examples of the alkyl (meth) acrylate having an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, and 2-ethylhexyl (meth). Examples thereof include acrylates, lauryl (meth) acrylates, tridecyl (meth) acrylates, and stearyl (meth) acrylates.

官能基含有モノマーとしては、ヒドロキシ基含有モノマー、カルボキシ基含有モノマー、エポキシ基含有モノマー、アミノ基含有物モノマー、シアノ基含有モノマー、ケト基含有モノマー、アルコキシシリル基含有モノマー等が挙げられる。これらの中でも、官能基含有モノマーとしては、ヒドロキシ基含有モノマー、カルボキシ基含有モノマーが好ましい。
ヒドロキシ基含有モノマーとしては、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、3-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、4-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート等が挙げられる。
カルボキシ基含有モノマーとしては、(メタ)アクリル酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸等が挙げられる。
Examples of the functional group-containing monomer include a hydroxy group-containing monomer, a carboxy group-containing monomer, an epoxy group-containing monomer, an amino group-containing monomer, a cyano group-containing monomer, a keto group-containing monomer, and an alkoxysilyl group-containing monomer. Among these, as the functional group-containing monomer, a hydroxy group-containing monomer and a carboxy group-containing monomer are preferable.
Examples of the hydroxy group-containing monomer include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, 3-hydroxybutyl (meth) acrylate, and 4-hydroxybutyl (meth). Examples include acrylate.
Examples of the carboxy group-containing monomer include (meth) acrylic acid, maleic acid, fumaric acid, itaconic acid and the like.

帯電防止性粘着剤部分層は、架橋構造が形成されていてもよい。架橋構造は、架橋剤を用いる公知の方法により形成することができる。 The antistatic pressure-sensitive adhesive partial layer may have a crosslinked structure formed therein. The crosslinked structure can be formed by a known method using a crosslinking agent.

帯電防止剤は、粘着剤に帯電防止性を付与し得るものであればよく、特に限定されない。
帯電防止剤としては、基材フィルム(α)中の帯電防止剤として示したものと同様のものが挙げられる。
帯電防止性粘着剤部分層に含まれる帯電防止剤の含有量は特に限定されず、目的の帯電防止性に応じて適宜決定することができる。帯電防止性粘着剤中の帯電防止剤の配合量は、粘着性樹脂100質量部に対して0.05~10質量部が好ましい。この配合量が0.05質量部以上であると、帯電防止性能がよりよく発現される。一方、帯電防止剤の配合量が10質量部以下であると、帯電防止性能と粘着剤の耐久性とのバランスがより良好となる。このような観点から、帯電防止剤の配合量は、0.05~5質量部が好ましく、0.06~3質量部がより好ましい。
The antistatic agent is not particularly limited as long as it can impart antistatic properties to the pressure-sensitive adhesive.
Examples of the antistatic agent include those similar to those shown as the antistatic agent in the base film (α).
The content of the antistatic agent contained in the antistatic pressure-sensitive adhesive partial layer is not particularly limited, and can be appropriately determined according to the desired antistatic property. The blending amount of the antistatic agent in the antistatic pressure-sensitive adhesive is preferably 0.05 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the pressure-sensitive adhesive resin. When this compounding amount is 0.05 parts by mass or more, the antistatic performance is better exhibited. On the other hand, when the blending amount of the antistatic agent is 10 parts by mass or less, the balance between the antistatic performance and the durability of the adhesive is better. From such a viewpoint, the blending amount of the antistatic agent is preferably 0.05 to 5 parts by mass, more preferably 0.06 to 3 parts by mass.

帯電防止性粘着剤部分層は、粘着性樹脂成分、帯電防止剤に加えて、粘着付与剤等のその他の成分を含有するものであってもよい。 The antistatic pressure-sensitive adhesive partial layer may contain other components such as a pressure-sensitive adhesive in addition to the pressure-sensitive adhesive resin component and the antistatic agent.

積層フィルム(α)は、基材フィルム(α)、帯電防止性粘着剤部分層以外の層を有していてもよい。このような層としては、帯電防止性部分層が挙げられる。
帯電防止性部分層としては、帯電防止剤を含有する層が挙げられる。この帯電防止剤としては、基材フィルム(α)中の帯電防止剤として示したものと同様のものが挙げられる。
帯電防止性部分層を有する積層フィルム(α)としては、帯電防止性粘着剤部分層/基材フィルム(α)/帯電防止性部分層、の層構造を有する積層フィルムが挙げられる。
The laminated film (α) may have a layer other than the base film (α) and the antistatic pressure-sensitive adhesive partial layer. Examples of such a layer include an antistatic partial layer.
Examples of the antistatic partial layer include a layer containing an antistatic agent. Examples of the antistatic agent include those similar to those shown as the antistatic agent in the base film (α).
Examples of the laminated film (α) having an antistatic partial layer include a laminated film having a layer structure of an antistatic adhesive partial layer / a base film (α) / an antistatic partial layer.

積層フィルム(α)は、例えば、基材フィルム(α)上に、帯電防止剤等を含有する粘着剤塗布液を塗布し、得られた塗膜を乾燥することにより製造することができる。
塗布方法、乾燥方法は特に限定されず、公知の方法を適宜利用することができる。
また、帯電防止性部分層を有する積層フィルム(α)は、例えば、市販の帯電防止層付基材フィルムの表面に帯電防止性粘着剤部分層を形成することで効率よく製造することができる。
The laminated film (α) can be produced, for example, by applying a pressure-sensitive adhesive coating liquid containing an antistatic agent or the like on a base film (α) and drying the obtained coating film.
The coating method and the drying method are not particularly limited, and known methods can be appropriately used.
Further, the laminated film (α) having the antistatic partial layer can be efficiently manufactured, for example, by forming the antistatic adhesive partial layer on the surface of a commercially available base film with an antistatic layer.

保護フィルムが、積層フィルム(α)である場合、保護フィルムの表面(A)の表面抵抗率の観点から、帯電防止性粘着剤部分層が、ガスバリア層に接することが好ましい。 When the protective film is a laminated film (α), it is preferable that the antistatic pressure-sensitive adhesive partial layer is in contact with the gas barrier layer from the viewpoint of the surface resistivity of the surface (A) of the protective film.

〔ガスバリア層〕
ガスバリア性ユニット中のガスバリア層は、ガスバリア性を有する層である。ガスバリア性とは、水蒸気等の気体の透過を抑制する性質をいう。
ガスバリア層の厚みは、通常、1~300μm、好ましくは10~200nm、より好ましくは20~200nmである。
ガスバリア層の、温度40℃、相対湿度90%の雰囲気下における水蒸気透過率は、好ましくは0.100g/m/day以下、より好ましくは0.05g/m/day以下、さらに好ましくは0.03g/m/day以下である。下限値は特になく、小さいほど好ましいが、通常は0.001g/m/day以上である。
ガスバリア層の水蒸気等の透過率は、公知のガス透過率測定装置を使用して測定することができる。
[Gas barrier layer]
The gas barrier layer in the gas barrier property is a layer having a gas barrier property. The gas barrier property refers to the property of suppressing the permeation of a gas such as water vapor.
The thickness of the gas barrier layer is usually 1 to 300 μm, preferably 10 to 200 nm, and more preferably 20 to 200 nm.
The water vapor transmittance of the gas barrier layer in an atmosphere having a temperature of 40 ° C. and a relative humidity of 90% is preferably 0.100 g / m 2 / day or less, more preferably 0.05 g / m 2 / day or less, and further preferably 0. It is 3.03 g / m 2 / day or less. There is no particular lower limit, and the smaller the value, the more preferable, but usually 0.001 g / m 2 / day or more.
The transmittance of water vapor or the like in the gas barrier layer can be measured using a known gas permeability measuring device.

ガスバリア層の層構造は特に限定されない。ガスバリア層は単層構造を有するものであってもよいし、多層構造を有するものであってもよい。
目的の特性を有するガスバリア層を形成し易いことから、ガスバリア層としては多層構造を有するものが好ましい。
The layer structure of the gas barrier layer is not particularly limited. The gas barrier layer may have a single-layer structure or a multi-layer structure.
Since it is easy to form a gas barrier layer having the desired characteristics, the gas barrier layer preferably has a multilayer structure.

単層構造を有するガスバリア層としては、例えば、後述する積層フィルム(β)におけるガスバリア性部分層と同様のものが挙げられる。
多層構造を有するガスバリア層としては、基材フィルム(以下、ガスバリア層を構成する基材フィルムを、「基材フィルム(β)」という。)とガスバリア性部分層とを有する積層フィルム(以下、この積層フィルムを、「積層フィルム(β)」という。)からなるものが挙げられる。
Examples of the gas barrier layer having a single-layer structure include those similar to the gas barrier partial layer in the laminated film (β) described later.
As the gas barrier layer having a multilayer structure, a laminated film having a base film (hereinafter, the base film constituting the gas barrier layer is referred to as “base film (β)”) and a gas barrier partial layer (hereinafter, this). A laminated film is referred to as a "laminated film (β)").

基材フィルム(β)の厚みは特に限定されない。基材フィルム(β)の厚みは、通常、0.5~500μm、好ましくは1~100μmである。 The thickness of the base film (β) is not particularly limited. The thickness of the base film (β) is usually 0.5 to 500 μm, preferably 1 to 100 μm.

基材フィルム(β)としては、通常、樹脂フィルムが用いられる。
樹脂フィルムの樹脂成分としては、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンエーテル、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリオレフィン、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリフェニレンスルフィド、アクリル系樹脂、シクロオレフィン系ポリマー、芳香族系重合体等が挙げられる。
As the base film (β), a resin film is usually used.
Resin components of the resin film include polyimide, polyamide, polyamideimide, polyphenylene ether, polyether ketone, polyether ether ketone, polyolefin, polyester, polycarbonate, polysulfone, polyethersulfone, polyphenylene sulfide, acrylic resin, and cycloolefin polymer. , Aromatic polymers and the like.

これらの中でも、透明性により優れ、かつ、汎用性があることから、ポリエステル、ポリアミド又はシクロオレフィン系ポリマーが好ましく、ポリエステル又はシクロオレフィン系ポリマーがより好ましい。 Among these, polyester, polyamide or cycloolefin-based polymer is preferable, and polyester or cycloolefin-based polymer is more preferable because of its excellent transparency and versatility.

ポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリアリレート等が挙げられ、ポリエチレンテレフタレートが好ましい。
ポリアミドとしては、全芳香族ポリアミド、ナイロン6、ナイロン66、ナイロン共重合体等が挙げられる。
Examples of the polyester include polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyarylate and the like, and polyethylene terephthalate is preferable.
Examples of the polyamide include all aromatic polyamides, nylon 6, nylon 66, nylon copolymers and the like.

シクロオレフィン系ポリマーとしては、ノルボルネン系重合体、単環の環状オレフィン系重合体、環状共役ジエン系重合体、ビニル脂環式炭化水素重合体、及びこれらの水素化物が挙げられる。その具体例としては、アペル(三井化学社製のエチレン-シクロオレフィン共重合体)、アートン(JSR社製のノルボルネン系重合体)、ゼオノア(日本ゼオン社製のノルボルネン系重合体)等が挙げられる。 Examples of the cycloolefin-based polymer include norbornene-based polymers, monocyclic cyclic olefin-based polymers, cyclic conjugated diene-based polymers, vinyl alicyclic hydrocarbon polymers, and hydrides thereof. Specific examples thereof include Apel (ethylene-cycloolefin copolymer manufactured by Mitsui Kagaku Co., Ltd.), Arton (norbornene-based polymer manufactured by JSR Corporation), Zeonoa (norbornene-based polymer manufactured by Zeon Corporation), and the like. ..

樹脂フィルムは、各種添加剤を含有していてもよい。添加剤としては、紫外線吸収剤、帯電防止剤、安定剤、酸化防止剤、可塑剤、滑剤、着色顔料等が挙げられる。これらの添加剤の含有量は、目的に合わせて適宜決定すればよい。 The resin film may contain various additives. Examples of the additive include an ultraviolet absorber, an antistatic agent, a stabilizer, an antioxidant, a plasticizer, a lubricant, a coloring pigment and the like. The content of these additives may be appropriately determined according to the purpose.

樹脂フィルムは、樹脂成分及び所望により各種添加剤を含む樹脂組成物を調製し、これをフィルム状に成形することにより得ることができる。成形方法は特に限定されず、キャスト法や溶融押出法等の公知の方法を利用することができる。 The resin film can be obtained by preparing a resin composition containing a resin component and, if desired, various additives, and molding the resin composition into a film. The molding method is not particularly limited, and known methods such as a casting method and a melt extrusion method can be used.

積層フィルム(β)を構成するガスバリア性部分層としては、無機蒸着膜からなるガスバリア性部分層、ガスバリア性樹脂を含むガスバリア性部分層、高分子化合物を含む層(以下、「高分子層」ということがある。)の表面が改質されてなるガスバリア性部分層等が挙げられる。なお、この場合、ガスバリア性部分層とは、改質された領域のみを意味するのではなく、「改質された領域を含む高分子層」を意味する。
これらの中でも、薄く、ガスバリア性に優れる層を効率よく形成できることから、無機蒸着膜からなるガスバリア性部分層、又は高分子層の表面が改質されてなるガスバリア性部分層が好ましい。
The gas barrier partial layer constituting the laminated film (β) is referred to as a gas barrier partial layer made of an inorganic vapor film, a gas barrier partial layer containing a gas barrier resin, and a layer containing a polymer compound (hereinafter referred to as “polymer layer”). In some cases, a gas barrier partial layer obtained by modifying the surface of) may be mentioned. In this case, the gas barrier partial layer does not mean only the modified region, but means "a polymer layer containing the modified region".
Among these, a gas barrier partial layer made of an inorganic thin-film film or a gas barrier partial layer having a modified surface of a polymer layer is preferable because a thin layer having excellent gas barrier properties can be efficiently formed.

無機蒸着膜としては、無機化合物や金属の蒸着膜が挙げられる。
無機化合物の蒸着膜の原料としては、酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化スズ等の無機酸化物;窒化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化チタン等の無機窒化物;無機炭化物;無機硫化物;酸化窒化ケイ素等の無機酸化窒化物;無機酸化炭化物;無機窒化炭化物;無機酸化窒化炭化物等が挙げられる。
金属の蒸着膜の原料としては、アルミニウム、マグネシウム、亜鉛、及びスズ等が挙げられる。
これらは、1種単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
Examples of the inorganic vapor deposition film include a vapor deposition film of an inorganic compound or a metal.
Inorganic oxides such as silicon oxide, aluminum oxide, magnesium oxide, zinc oxide, indium oxide, and tin oxide; inorganic nitrides such as silicon nitride, aluminum nitride, and titanium nitride; inorganic carbides; Examples thereof include inorganic sulfides; inorganic oxynitrides such as silicon oxide nitride; inorganic oxidative carbides; inorganic nitriding carbides; and inorganic oxynitride carbides.
Examples of the raw material of the metal vapor deposition film include aluminum, magnesium, zinc, tin and the like.
These can be used alone or in combination of two or more.

これらの中でも、ガスバリア性の観点から、無機酸化物、無機窒化物又は金属を原料とする無機蒸着膜が好ましく、さらに、透明性の観点から、無機酸化物又は無機窒化物を原料とする無機蒸着膜が好ましい。また、無機蒸着膜は、単層でもよく、多層でもよい。 Among these, an inorganic vapor deposition film made from an inorganic oxide, an inorganic nitride or a metal is preferable from the viewpoint of gas barrier properties, and further, from the viewpoint of transparency, an inorganic vapor deposition made from an inorganic oxide or an inorganic nitride as a raw material is preferable. A membrane is preferred. Further, the inorganic vapor deposition film may be a single layer or a multilayer.

無機蒸着膜の厚みは、ガスバリア性と取り扱い性の観点から、好ましくは1~2000nm、より好ましくは3~1000nm、より好ましくは5~500nm、さらに好ましくは40~200nmの範囲である。 The thickness of the inorganic thin-film film is preferably in the range of 1 to 2000 nm, more preferably 3 to 1000 nm, more preferably 5 to 500 nm, and further preferably 40 to 200 nm from the viewpoint of gas barrier properties and handleability.

無機蒸着膜を形成する方法は特に制限されず、公知の方法を使用することができる。無機蒸着膜を形成する方法としては、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等のPVD法や、熱CVD法、プラズマCVD法、光CVD法等のCVD法、原子層堆積法(ALD法)が挙げられる。 The method for forming the inorganic thin-film film is not particularly limited, and a known method can be used. Examples of the method for forming the inorganic vapor deposition film include a PVD method such as a vacuum vapor deposition method, a sputtering method, and an ion plating method, a CVD method such as a thermal CVD method, a plasma CVD method, and an optical CVD method, and an atomic layer deposition method ( ALD method).

前記ガスバリア性樹脂としては、例えば、ポリビニルアルコール、又はその部分ケン化物、エチレン-ビニルアルコール共重合体、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリクロロトリフルオロエチレン等の、酸素や水蒸気等を透過しにくい樹脂が挙げられる。 Examples of the gas barrier resin include polyvinyl alcohol, a partially saponified product thereof, an ethylene-vinyl alcohol copolymer, polyacrylonitrile, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polychlorotrifluoroethylene, oxygen, water vapor, and the like. Examples include resins that are difficult to permeate.

ガスバリア性樹脂を含むガスバリア性部分層の厚みは、ガスバリア性の観点から、好ましくは1~2000nm、より好ましくは3~1000nm、より好ましくは5~500nm、さらに好ましくは40~200nmの範囲である。 The thickness of the gas barrier partial layer containing the gas barrier resin is preferably in the range of 1 to 2000 nm, more preferably 3 to 1000 nm, more preferably 5 to 500 nm, still more preferably 40 to 200 nm from the viewpoint of gas barrier properties.

ガスバリア性樹脂を含むガスバリア性部分層を形成する方法としては、ガスバリア性樹脂を含む溶液を、保護フィルム上に塗布し、得られた塗膜を適宜乾燥する方法が挙げられる。 Examples of the method for forming the gas barrier partial layer containing the gas barrier resin include a method in which a solution containing the gas barrier resin is applied on a protective film and the obtained coating film is appropriately dried.

樹脂溶液の塗布方法は特に限定されず、スピンコート法、スプレーコート法、バーコート法、ナイフコート法、ロールコート法、ブレードコート法、ダイコート法、グラビアコート法等の公知の塗布方法が挙げられる。
塗膜の乾燥方法としては、熱風乾燥、熱ロール乾燥、赤外線照射等、従来公知の乾燥方法を利用することができる。
The method for applying the resin solution is not particularly limited, and examples thereof include known application methods such as a spin coating method, a spray coating method, a bar coating method, a knife coating method, a roll coating method, a blade coating method, a die coating method, and a gravure coating method. ..
As a method for drying the coating film, conventionally known drying methods such as hot air drying, hot roll drying, and infrared irradiation can be used.

高分子層の表面が改質されてなるガスバリア性部分層において、用いる高分子化合物としては、ケイ素含有高分子化合物、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンエーテル、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリオレフィン、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリレート、アクリル系樹脂、脂環式炭化水素系樹脂、芳香族系重合体等が挙げられる。
これらの高分子化合物は1種単独で、あるいは2種以上を組合せて用いることができる。
In the gas barrier partial layer in which the surface of the polymer layer is modified, the polymer compounds used include silicon-containing polymer compounds, polyimides, polyamides, polyamideimides, polyphenylene ethers, polyether ketones, polyether ether ketones, and polyolefins. , Polyester, polycarbonate, polysulfone, polyether sulfone, polyphenylene sulfide, polyarylate, acrylic resin, alicyclic hydrocarbon resin, aromatic polymer and the like.
These polymer compounds can be used alone or in combination of two or more.

高分子層は、高分子化合物の他に、本発明の目的を阻害しない範囲で他の成分を含有してもよい。他の成分としては、硬化剤、老化防止剤、光安定剤、難燃剤等が挙げられる。
高分子層中の高分子化合物の含有量は、よりガスバリア性に優れるガスバリア性部分層を形成し得ることから、50質量%以上が好ましく、70質量%以上がより好ましい。
In addition to the polymer compound, the polymer layer may contain other components as long as the object of the present invention is not impaired. Examples of other components include a curing agent, an antiaging agent, a light stabilizer, a flame retardant and the like.
The content of the polymer compound in the polymer layer is preferably 50% by mass or more, more preferably 70% by mass or more, because a gas barrier partial layer having more excellent gas barrier properties can be formed.

高分子層の厚みは、特に制限されないが、通常20nmから50μm、好ましくは30nmから1μm、より好ましくは40nmから500nmである。 The thickness of the polymer layer is not particularly limited, but is usually 20 nm to 50 μm, preferably 30 nm to 1 μm, and more preferably 40 nm to 500 nm.

高分子層は、例えば、高分子化合物を有機溶剤に溶解又は分散した液を、公知の塗布方法によって、保護フィルム上に塗布し、得られた塗膜を乾燥することにより形成することができる。 The polymer layer can be formed, for example, by applying a liquid in which a polymer compound is dissolved or dispersed in an organic solvent onto a protective film by a known coating method, and drying the obtained coating film.

有機溶剤としては、ベンゼン、トルエンなどの芳香族炭化水素系溶媒;酢酸エチル、酢酸ブチルなどのエステル系溶媒;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンなどのケトン系溶媒;n-ペンタン、n-ヘキサン、n-ヘプタンなどの脂肪族炭化水素系溶媒;シクロペンタン、シクロヘキサンなどの脂環式炭化水素系溶媒;等が挙げられる。
これらの溶媒は、1種単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
Examples of the organic solvent include aromatic hydrocarbon solvents such as benzene and toluene; ester solvents such as ethyl acetate and butyl acetate; ketone solvents such as acetone, methyl ethyl ketone and methyl isobutyl ketone; n-pentane, n-hexane and n. -An aliphatic hydrocarbon solvent such as heptane; an alicyclic hydrocarbon solvent such as cyclopentane and cyclohexane; and the like can be mentioned.
These solvents can be used alone or in combination of two or more.

塗布方法としては、バーコート法、スピンコート法、ディッピング法、ロールコート法、グラビアコート法、ナイフコート法、エアナイフコート法、ロールナイフコート法、ダイコート法、スクリーン印刷法、スプレーコート法、グラビアオフセット法等が挙げられる。 The coating method includes bar coating method, spin coating method, dipping method, roll coating method, gravure coating method, knife coating method, air knife coating method, roll knife coating method, die coating method, screen printing method, spray coating method, and gravure offset. The law etc. can be mentioned.

塗膜の乾燥方法としては、熱風乾燥、熱ロール乾燥、赤外線照射等、従来公知の乾燥方法が挙げられる。加熱温度は、通常、80~150℃であり、加熱時間は、通常、数十秒から数十分である。 Examples of the method for drying the coating film include conventionally known drying methods such as hot air drying, hot roll drying, and infrared irradiation. The heating temperature is usually 80 to 150 ° C., and the heating time is usually several tens of seconds to several tens of minutes.

高分子層の表面を改質する方法としては、イオン注入処理、プラズマ処理、紫外線照射処理、熱処理等が挙げられる。
イオン注入処理は、後述するように、加速させたイオンを高分子層に注入して、高分子層を改質する方法である。
プラズマ処理は、高分子層をプラズマ中に晒して、高分子層を改質する方法である。例えば、特開2012-106421号公報に記載の方法に従って、プラズマ処理を行うことができる。
紫外線照射処理は、高分子層に紫外線を照射して高分子層を改質する方法である。例えば、特開2013-226757号公報に記載の方法に従って、紫外線改質処理を行うことができる。
Examples of the method for modifying the surface of the polymer layer include ion implantation treatment, plasma treatment, ultraviolet irradiation treatment, heat treatment and the like.
The ion implantation treatment is a method of injecting accelerated ions into a polymer layer to modify the polymer layer, as will be described later.
Plasma treatment is a method of modifying a polymer layer by exposing the polymer layer to plasma. For example, plasma treatment can be performed according to the method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2012-106421.
The ultraviolet irradiation treatment is a method of irradiating a polymer layer with ultraviolet rays to modify the polymer layer. For example, the ultraviolet modification treatment can be performed according to the method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2013-226757.

これらのガスバリア性部分層の中でも、よりガスバリア性に優れることから、ケイ素系高分子化合物を含む層にイオン注入処理を施して得られるものがより好ましい。
ケイ素含有高分子化合物としては、ポリシラザン系化合物、ポリカルボシラン系化合物、ポリシラン系化合物、ポリオルガノシロキサン系化合物、ポリ(ジシラニレンフェニレン)系化合物、及びポリ(ジシラニレンエチニレン)系化合物等が挙げられ、ポリシラザン系化合物がより好ましい。
Among these gas barrier properties, those obtained by subjecting a layer containing a silicon-based polymer compound to an ion implantation treatment are more preferable because they are more excellent in gas barrier properties.
Examples of the silicon-containing polymer compound include polysilazane-based compounds, polycarbosilane-based compounds, polysilane-based compounds, polyorganosiloxane-based compounds, poly (disylanilenphenylene) -based compounds, and poly (disylanilenene ethynylene) -based compounds. , And polysilazane compounds are more preferable.

ポリシラザン系化合物は、分子内に-Si-N-結合(シラザン結合)を含む繰り返し単位を有する化合物である。具体的には、式(1) A polysilazane compound is a compound having a repeating unit containing an —Si—N— bond (silazane bond) in the molecule. Specifically, equation (1)

Figure 0007080216000001
Figure 0007080216000001

で表される繰り返し単位を有する化合物が好ましい。また、用いるポリシラザン系化合物の数平均分子量は、特に限定されないが、100~50,000であるのが好ましい。 A compound having a repeating unit represented by is preferable. The number average molecular weight of the polysilazane compound used is not particularly limited, but is preferably 100 to 50,000.

前記式(1)中、nは任意の自然数を表す。Rx、Ry、Rzは、それぞれ独立して、水素原子、無置換若しくは置換基を有するアルキル基、無置換若しくは置換基を有するシクロアルキル基、無置換若しくは置換基を有するアルケニル基、無置換若しくは置換基を有するアリール基又はアルキルシリル基等の非加水分解性基を表す。 In the above equation (1), n represents an arbitrary natural number. Rx, Ry and Rz are independently hydrogen atom, alkyl group having unsubstituted or substituent, cycloalkyl group having unsubstituted or substituent, alkenyl group having unsubstituted or substituent, unsubstituted or substituted. Represents a non-hydrolytable group such as an aryl group having a group or an alkylsilyl group.

前記無置換若しくは置換基を有するアルキル基のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、イソブチル基、sec-ブチル基、t-ブチル基、n-ペンチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、n-へキシル基、n-ヘプチル基、n-オクチル基等の炭素数1~10のアルキル基が挙げられる。 Examples of the alkyl group of the alkyl group having no substituent or substituent include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, an isobutyl group, a sec-butyl group and a t-butyl group. Examples thereof include an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms such as an n-pentyl group, an isopentyl group, a neopentyl group, an n-hexyl group, an n-heptyl group and an n-octyl group.

無置換若しくは置換基を有するシクロアルキル基のシクロアルキル基としては、例えば、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロへプチル基等の炭素数3~10のシクロアルキル基が挙げられる。 Examples of the cycloalkyl group of the cycloalkyl group having no substituent or substituent include a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms such as a cyclobutyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group and a cycloheptyl group.

無置換若しくは置換基を有するアルケニル基のアルケニル基としては、例えば、ビニル基、1-プロペニル基、2-プロペニル基、1-ブテニル基、2-ブテニル基、3-ブテニル基等の炭素数2~10のアルケニル基が挙げられる。 Examples of the alkenyl group of the alkenyl group having no substituent or substituent include a vinyl group, a 1-propenyl group, a 2-propenyl group, a 1-butenyl group, a 2-butenyl group, a 3-butenyl group and the like having 2 to 2 carbon atoms. Included are 10 alkenyl groups.

前記アルキル基、シクロアルキル基及びアルケニル基の置換基としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等のハロゲン原子;ヒドロキシル基;チオール基;エポキシ基;グリシドキシ基;(メタ)アクリロイルオキシ基;フェニル基、4-メチルフェニル基、4-クロロフェニル基等の無置換若しくは置換基を有するアリール基;等が挙げられる。 Examples of the substituent of the alkyl group, cycloalkyl group and alkenyl group include halogen atoms such as fluorine atom, chlorine atom, bromine atom and iodine atom; hydroxyl group; thiol group; epoxy group; glycidoxy group; (meth) acryloyloxy group. An aryl group having an unsubstituted or substituent such as a phenyl group, a 4-methylphenyl group, a 4-chlorophenyl group; and the like can be mentioned.

無置換又は置換基を有するアリール基のアリール基としては、例えば、フェニル基、1-ナフチル基、2-ナフチル基等の炭素数6~15のアリール基が挙げられる。 Examples of the aryl group of the aryl group having an unsubstituted or substituent include an aryl group having 6 to 15 carbon atoms such as a phenyl group, a 1-naphthyl group and a 2-naphthyl group.

前記アリール基の置換基としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等のハロゲン原子;メチル基、エチル基等の炭素数1~6のアルキル基;メトキシ基、エトキシ基等の炭素数1~6のアルコキシ基;ニトロ基;シアノ基;ヒドロキシル基;チオール基;エポキシ基;グリシドキシ基;(メタ)アクリロイルオキシ基;フェニル基、4-メチルフェニル基、4-クロロフェニル基等の無置換若しくは置換基を有するアリール基;等が挙げられる。 The substituent of the aryl group includes a halogen atom such as a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom and an iodine atom; an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms such as a methyl group and an ethyl group; and a carbon number such as a methoxy group and an ethoxy group. 1 to 6 alkoxy groups; nitro group; cyano group; hydroxyl group; thiol group; epoxy group; glycidoxy group; (meth) acryloyloxy group; phenyl group, 4-methylphenyl group, 4-chlorophenyl group, etc. An aryl group having a substituent; and the like can be mentioned.

アルキルシリル基としては、トリメチルシリル基、トリエチルシリル基、トリイソプロピルシリル基、トリt-ブチルシリル基、メチルジエチルシリル基、ジメチルシリル基、ジエチルシリル基、メチルシリル基、エチルシリル基等が挙げられる。 Examples of the alkylsilyl group include a trimethylsilyl group, a triethylsilyl group, a triisopropylsilyl group, a trit-butylsilyl group, a methyldiethylsilyl group, a dimethylsilyl group, a diethylsilyl group, a methylsilyl group, an ethylsilyl group and the like.

これらの中でも、Rx、Ry、Rzとしては、水素原子、炭素数1~6のアルキル基、又はフェニル基が好ましく、水素原子が特に好ましい。 Among these, as Rx, Ry, and Rz, a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, or a phenyl group is preferable, and a hydrogen atom is particularly preferable.

前記式(1)で表される繰り返し単位を有するポリシラザン系化合物としては、Rx、Ry、Rzが全て水素原子である無機ポリシラザン、Rx、Ry、Rzの少なくとも1つが水素原子ではない有機ポリシラザンのいずれであってもよい。 The polysilazane compound having a repeating unit represented by the formula (1) is any of inorganic polysilazane in which Rx, Ry and Rz are all hydrogen atoms, and organic polysilazane in which at least one of Rx, Ry and Rz is not a hydrogen atom. May be.

また、本発明においては、ポリシラザン系化合物として、ポリシラザン変性物を用いることもできる。ポリシラザン変性物としては、例えば、特開昭62-195024号公報、特開平2-84437号公報、特開昭63-81122号公報、特開平1-138108号公報等、特開平2-175726号公報、特開平5-238827号公報、特開平5-238827号公報、特開平6-122852号公報、特開平6-306329号公報、特開平6-299118号公報、特開平9-31333号公報、特開平5-345826号公報、特開平4-63833号公報等に記載されているものが挙げられる。
これらの中でも、ポリシラザン系化合物としては、入手容易性、及び優れたガスバリア性を有するイオン注入層を形成できる観点から、Rx、Ry、Rzが全て水素原子であるペルヒドロポリシラザンが好ましい。
また、ポリシラザン系化合物としては、ガラスコーティング材等として市販されている市販品をそのまま使用することもできる。
ポリシラザン系化合物は、1種単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
Further, in the present invention, a modified polysilazane can also be used as the polysilazane compound. Examples of the polysilazane modified product include JP-A-62-195024, JP-A-2-844437, JP-A-63-81122, JP-A-1-138108, and JP-A No. 2-175726. , Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-238827, Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-238827, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-122852, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-306329, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-299118, Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-313333, Examples thereof include those described in Kaihei 5-345926 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-63833.
Among these, as the polysilazane compound, perhydropolysilazane in which Rx, Ry, and Rz are all hydrogen atoms is preferable from the viewpoint of easy availability and the ability to form an ion-implanted layer having excellent gas barrier properties.
Further, as the polysilazane compound, a commercially available product commercially available as a glass coating material or the like can be used as it is.
The polysilazane-based compound can be used alone or in combination of two or more.

高分子層に注入するイオンとしては、アルゴン、ヘリウム、ネオン、クリプトン、キセノン等の希ガスのイオン;フルオロカーボン、水素、窒素、酸素、二酸化炭素、塩素、フッ素、硫黄等のイオン;メタン、エタン等のアルカン系ガス類のイオン;エチレン、プロピレン等のアルケン系ガス類のイオン;ペンタジエン、ブタジエン等のアルカジエン系ガス類のイオン;アセチレン等のアルキン系ガス類のイオン;ベンゼン、トルエン等の芳香族炭化水素系ガス類のイオン;シクロプロパン等のシクロアルカン系ガス類のイオン;シクロペンテン等のシクロアルケン系ガス類のイオン;金属のイオン;有機ケイ素化合物のイオン;等が挙げられる。
これらのイオンは1種単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
これらの中でも、より簡便にイオンを注入することができ、より優れたガスバリア性を有するガスバリア性部分層を形成し得ることから、アルゴン、ヘリウム、ネオン、クリプトン、キセノン等の希ガスのイオンが好ましい。
The ions to be injected into the polymer layer include rare gas ions such as argon, helium, neon, krypton, and xenone; ions such as fluorocarbon, hydrogen, nitrogen, oxygen, carbon dioxide, chlorine, fluorine, and sulfur; methane, ethane, etc. Alken gas ions; Alken gas ions such as ethylene and propylene; Alkene gas ions such as pentadiene and butadiene; Alkin gas ions such as acetylene; Aromatic carbonization such as benzene and toluene Hydrogen-based gas ions; cycloalkane-based gas ions such as cyclopropane; cycloalkene-based gas ions such as cyclopentene; metal ions; organic silicon compound ions; and the like.
These ions can be used alone or in combination of two or more.
Among these, rare gas ions such as argon, helium, neon, krypton, and xenon are preferable because ions can be injected more easily and a gas barrier partial layer having better gas barrier properties can be formed. ..

イオンの注入量は、ガスバリア性接着フィルムの使用目的(必要なガスバリア性、透明性等)等に合わせて適宜決定することができる。 The amount of ions injected can be appropriately determined according to the purpose of use of the gas barrier adhesive film (necessary gas barrier property, transparency, etc.) and the like.

イオンを注入する方法としては、電界により加速されたイオン(イオンビーム)を照射する方法、プラズマ中のイオンを注入する方法等が挙げられる。なかでも、簡便に目的のガスバリア性部分層を形成できることから、後者のプラズマ中のイオンを注入する方法(プラズマイオン注入法)が好ましい。 Examples of the method of injecting ions include a method of irradiating ions (ion beams) accelerated by an electric field, a method of injecting ions in plasma, and the like. Among them, the latter method of implanting ions in plasma (plasma ion implantation method) is preferable because the target gas barrier partial layer can be easily formed.

プラズマイオン注入法は、例えば、希ガス等のプラズマ生成ガスを含む雰囲気下でプラズマを発生させ、高分子層に負の高電圧パルスを印加することにより、該プラズマ中のイオン(陽イオン)を、高分子層の表面部に注入して行うことができる。プラズマイオン注入法は、より具体的には、WO2010/107018号パンフレット等に記載された方法により実施することができる。 In the plasma ion injection method, for example, plasma is generated in an atmosphere containing a plasma-generating gas such as a rare gas, and a negative high-voltage pulse is applied to the polymer layer to generate ions (cations) in the plasma. , Can be performed by injecting into the surface portion of the polymer layer. More specifically, the plasma ion implantation method can be carried out by the method described in the WO2010 / 107018 pamphlet or the like.

イオン注入により、イオンが注入される領域の厚みは、イオンの種類や印加電圧、処理時間等の注入条件により制御することができ、高分子層の厚みや積層体の使用目的等に応じて決定すればよいが、通常、高分子層の表面から深さ方向に、10~400nmである。 By ion implantation, the thickness of the region where ions are implanted can be controlled by the implantation conditions such as the type of ions, the applied voltage, and the processing time, and is determined according to the thickness of the polymer layer and the purpose of use of the laminate. However, it is usually 10 to 400 nm in the depth direction from the surface of the polymer layer.

イオンが注入されたことは、X線光電子分光分析(XPS)を用いて高分子層の表面から10nm付近の元素分析測定を行うことによって確認することができる。 The injection of ions can be confirmed by performing elemental analysis measurement near 10 nm from the surface of the polymer layer using X-ray photoelectron spectroscopy (XPS).

積層フィルム(β)は、その他の層を有していてもよい。その他の層としては、プライマー層、導電性層、ハードコート層等が挙げられる。 The laminated film (β) may have other layers. Examples of other layers include a primer layer, a conductive layer, a hard coat layer and the like.

〔接着性樹脂層〕
接着性ユニット中の接着性樹脂層は、対象物との接着に用いられる層である。
本発明において、接着性樹脂とは、粘着剤、接着剤、粘接着剤等の接合剤を意味する。
[Adhesive resin layer]
The adhesive resin layer in the adhesive unit is a layer used for adhesion to an object.
In the present invention, the adhesive resin means a bonding agent such as a pressure-sensitive adhesive, an adhesive, and a pressure-sensitive adhesive.

接着性樹脂層の厚みは、ガスバリア性接着フィルムの使用目的等を考慮して適宜選定することができる。その厚みは、通常、0.1~1000μm、好ましくは0.5~500μm、より好ましくは1~100μm、さらに好ましくは1~30μmである。
0.1μm以上であれば、十分な粘着力又は接着力を有するガスバリア性接着フィルムが得られる。1000μm以下であれば、ガスバリア性接着フィルムの折り曲げ性が良好であり、また、生産性や取り扱い性の点で有利である。
The thickness of the adhesive resin layer can be appropriately selected in consideration of the purpose of use of the gas barrier adhesive film and the like. The thickness is usually 0.1 to 1000 μm, preferably 0.5 to 500 μm, more preferably 1 to 100 μm, still more preferably 1 to 30 μm.
If it is 0.1 μm or more, a gas barrier adhesive film having sufficient adhesive strength or adhesive strength can be obtained. When it is 1000 μm or less, the bendability of the gas barrier adhesive film is good, and it is advantageous in terms of productivity and handleability.

接着性樹脂層の水蒸気透過率は、50μm厚み換算値で、好ましくは100g/m/day以下であり、より好ましくは50g/m/day以下である。
接着性樹脂層の水蒸気透過率(50μm厚み換算値)が、100g/m/day以下であることで、接着性樹脂層の端部からの水蒸気等の浸入をより抑制することができる。このような接着性樹脂層を有するガスバリア性接着フィルムは、封止材の形成材料として好ましく用いられる。
接着性樹脂層の水蒸気透過率は、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム等のガスバリア性が低い支持体上に接着性樹脂層を形成したものを試料として測定することができる。また、水蒸気透過率は、接着性樹脂層の厚みに反比例することを利用して、厚みが50μmのときの水蒸気透過率を算出することができる。
The water vapor transmittance of the adhesive resin layer is preferably 100 g / m 2 / day or less, and more preferably 50 g / m 2 / day or less in terms of thickness of 50 μm.
When the water vapor permeability (50 μm thickness conversion value) of the adhesive resin layer is 100 g / m 2 / day or less, the infiltration of water vapor or the like from the end portion of the adhesive resin layer can be further suppressed. A gas barrier adhesive film having such an adhesive resin layer is preferably used as a material for forming a sealing material.
The water vapor permeability of the adhesive resin layer can be measured, for example, by forming an adhesive resin layer on a support having a low gas barrier property such as a polyethylene terephthalate film as a sample. Further, the water vapor transmittance can be calculated when the thickness is 50 μm by utilizing the fact that the water vapor transmittance is inversely proportional to the thickness of the adhesive resin layer.

接着性樹脂層としては、ゴム系接着性樹脂、ポリオレフィン系接着性樹脂、エポキシ系接着性樹脂、シリコーン系接着性樹脂等の接着性樹脂を用いて形成されたものが挙げられる。
これらの接着性樹脂を用いることで、ガスバリア性に優れる接着性樹脂層を効率よく形成することができる。
特に、ガスバリア性により優れる接着性樹脂層が得られ易いことから、ポリオレフィン系接着性樹脂を用いて接着性樹脂層を形成することが好ましい。
Examples of the adhesive resin layer include those formed by using an adhesive resin such as a rubber-based adhesive resin, a polyolefin-based adhesive resin, an epoxy-based adhesive resin, and a silicone-based adhesive resin.
By using these adhesive resins, it is possible to efficiently form an adhesive resin layer having excellent gas barrier properties.
In particular, since it is easy to obtain an adhesive resin layer having better gas barrier properties, it is preferable to form an adhesive resin layer using a polyolefin-based adhesive resin.

ゴム系接着性樹脂としては、天然ゴム、天然ゴムに、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、スチレン及び(メタ)アクリロニトリルから選ばれる1種又は2種以上の単量体をグラフト重合させた変性天然ゴムを主成分とする接着性樹脂;イソプレンゴム、スチレン-ブタジエンゴム、アクリロニトリル-ブタジエンゴム、メタクリル酸メチル-ブタジエンゴム、ウレタンゴム、ポリイソブチレン系樹脂、ポリブテン樹脂等を主成分とする接着性樹脂;等が挙げられる。 As the rubber-based adhesive resin, a modified natural rubber obtained by graft-polymerizing one or more monomers selected from (meth) acrylic acid alkyl ester, styrene and (meth) acrylonitrile with natural rubber or natural rubber. Adhesive resin mainly composed of isoprene rubber, styrene-butadiene rubber, acrylonitrile-butadiene rubber, methyl methacrylate-butadiene rubber, urethane rubber, polyisoprene resin, polybutene resin, etc. Can be mentioned.

ゴム系接着性樹脂の中では、ポリイソブチレン系樹脂を主成分とする接着性樹脂が好ましい。ポリイソブチレン系樹脂としては、例えば、イソブチレンの単独重合体、イソブチレンとイソプレンの共重合体、イソブチレンとn-ブテンの共重合体、イソブチレンとブタジエンの共重合体、及びこれらの単独重合体又は共重合体を臭素化又は塩素化等したハロゲン化ブチルゴム等が挙げられる。これらの樹脂は、単独で又は2種以上を組み合わせて用いてもよい。なお、ポリイソブチレン系樹脂が共重合体である場合、イソブチレンからなる構成単位が、全モノマー成分の中で一番多く含まれているものとする。
ポリイソブチレン系樹脂の質量平均分子量は、好ましくは1万~60万、より好ましくは10万~50万である。
本明細書において、「主成分」とは、固形分中、50質量%以上を占める成分をいう(以下にて同じ)。
Among the rubber-based adhesive resins, an adhesive resin containing polyisobutylene-based resin as a main component is preferable. Examples of the polyisobutylene resin include homobutylene homopolymers, isobutylene and isoprene copolymers, isobutylene and n-butene copolymers, isobutylene and butadiene copolymers, and homopolymers or copolymers thereof. Examples thereof include halogenated butyl rubber obtained by brominating or chlorinating the coalescence. These resins may be used alone or in combination of two or more. When the polyisobutylene-based resin is a copolymer, it is assumed that the structural unit composed of isobutylene is contained in the largest amount among all the monomer components.
The mass average molecular weight of the polyisobutylene resin is preferably 10,000 to 600,000, more preferably 100,000 to 500,000.
As used herein, the term "main component" refers to a component that accounts for 50% by mass or more of the solid content (the same applies hereinafter).

ポリオレフィン系接着性樹脂としては、変性ポリオレフィン樹脂を主成分とする接着性樹脂が挙げられる。
変性ポリオレフィン系樹脂は、前駆体としてのポリオレフィン樹脂に、変性剤を用いて変性処理を施して得られる、官能基が導入されたポリオレフィン樹脂である。
Examples of the polyolefin-based adhesive resin include an adhesive resin containing a modified polyolefin resin as a main component.
The modified polyolefin resin is a polyolefin resin into which a functional group is introduced, which is obtained by subjecting a polyolefin resin as a precursor to a modification treatment using a modifier.

ポリオレフィン樹脂としては、超低密度ポリエチレン(VLDPE)、低密度ポリエチレン(LDPE)、中密度ポリエチレン(MDPE)、高密度ポリエチレン(HDPE)、直鎖状低密度ポリエチレン、ポリプロピレン(PP)、エチレン-プロピレン共重合体、オレフィン系エラストマー(TPO)、エチレン-酢酸ビニル共重合体(EVA)、エチレン-(メタ)アクリル酸共重合体、エチレン-(メタ)アクリル酸エステル共重合体などが挙げられる。 The polyolefin resin includes ultra-low density polyethylene (VLDPE), low density polyethylene (LDPE), medium density polyethylene (MDPE), high density polyethylene (HDPE), linear low density polyethylene, polypropylene (PP), and ethylene-propylene. Examples thereof include a polymer, an olefin-based elastomer (TPO), an ethylene-vinyl acetate copolymer (EVA), an ethylene- (meth) acrylic acid copolymer, and a polyethylene- (meth) acrylic acid ester copolymer.

ポリオレフィン樹脂の変性処理に用いる変性剤は、分子内に、架橋反応に寄与し得る官能基を有する化合物である。
官能基としては、カルボキシル基、カルボン酸無水物基、カルボン酸エステル基、水酸基、エポキシ基、アミド基、アンモニウム基、ニトリル基、アミノ基、イミド基、イソシアネート基、アセチル基、チオール基、エーテル基、チオエーテル基、スルホン基、ホスホン基、ニトロ基、ウレタン基、ハロゲン原子等が挙げられる。これらの中でも、カルボキシル基、カルボン酸無水物基、カルボン酸エステル基、水酸基、アンモニウム基、アミノ基、イミド基、イソシアネート基が好ましく、カルボン酸無水物基、アルコキシシリル基がより好ましく、カルボン酸無水物基が特に好ましい。
The denaturing agent used for the modification treatment of the polyolefin resin is a compound having a functional group in the molecule that can contribute to the cross-linking reaction.
Functional groups include carboxyl group, carboxylic acid anhydride group, carboxylic acid ester group, hydroxyl group, epoxy group, amide group, ammonium group, nitrile group, amino group, imide group, isocyanate group, acetyl group, thiol group and ether group. , Thioether group, sulfone group, phosphon group, nitro group, urethane group, halogen atom and the like. Among these, a carboxyl group, a carboxylic acid anhydride group, a carboxylic acid ester group, a hydroxyl group, an ammonium group, an amino group, an imide group and an isocyanate group are preferable, a carboxylic acid anhydride group and an alkoxysilyl group are more preferable, and a carboxylic acid anhydride is used. The physical group is particularly preferable.

エポキシ系接着性樹脂としては、脂肪鎖変性エポキシ樹脂、シクロペンタジエン変性エポキシ樹脂、ナフタレン変性エポキシ樹脂等の炭化水素変性エポキシ樹脂、エラストマー変性エポキシ樹脂、シリコーン変性エポキシ樹脂を主成分とする接着性樹脂が挙げられる。 Examples of the epoxy-based adhesive resin include hydrocarbon-modified epoxy resins such as fatty chain-modified epoxy resin, cyclopentadiene-modified epoxy resin, and naphthalene-modified epoxy resin, elastomer-modified epoxy resin, and silicone-modified epoxy resin as main components. Can be mentioned.

シリコーン系接着性樹脂としては、側鎖に、架橋反応に寄与し得る官能基を有するポリオルガノシロキサン等を有する接着性樹脂が挙げられる。 Examples of the silicone-based adhesive resin include an adhesive resin having a polyorganosiloxane or the like having a functional group capable of contributing to a cross-linking reaction in the side chain.

これらの接着性樹脂は、必要に応じて、硬化剤、架橋剤、重合開始剤、光安定剤、酸化防止剤、粘着付与剤、可塑剤、紫外線吸収剤、着色剤、樹脂安定剤、充てん剤、顔料、増量剤、帯電防止剤等を含有してもよい。
これらの成分は、各接着性樹脂に応じて適宜選択して用いることができる。
These adhesive resins can be used as a curing agent, a cross-linking agent, a polymerization initiator, a light stabilizer, an antioxidant, a tackifier, a plasticizer, an ultraviolet absorber, a colorant, a resin stabilizer, and a filler. , Pigments, bulking agents, antistatic agents and the like may be contained.
These components can be appropriately selected and used according to each adhesive resin.

接着性樹脂層は、例えば、接着性樹脂層形成用塗布液を調製し、これを剥離フィルム上に塗布し、得られた塗膜を乾燥し、必要に応じて加熱や活性エネルギー線を照射して硬化させることにより、形成することができる。
塗布方法、乾燥方法、硬化方法は特に限定されず、公知の方法を適宜利用することができる。
For the adhesive resin layer, for example, a coating liquid for forming an adhesive resin layer is prepared, this is applied on a release film, the obtained coating film is dried, and if necessary, it is heated or irradiated with active energy rays. It can be formed by curing it.
The coating method, the drying method, and the curing method are not particularly limited, and known methods can be appropriately used.

〔剥離フィルム〕
接着性ユニット中の剥離フィルムは、ガスバリア性接着フィルムの運搬及び保管時に、接着性樹脂層を保護するためのフィルムであり、最終的には剥離除去されるものである。
[Release film]
The release film in the adhesive unit is a film for protecting the adhesive resin layer during transportation and storage of the gas barrier adhesive film, and is finally removed by peeling.

剥離フィルムの、接着性樹脂層側の表面(ガスバリア性接着フィルムにおいて、接着性樹脂層と接する面。以下、「表面(C)」ということがある。)と、もう一方の表面(ガスバリア性接着フィルムにおいて、外部に露出した面。以下、「表面(D)」ということがある。)の少なくともどちらか一方の表面抵抗率は、5.0×1011Ω/□以下である。表面(C)の表面抵抗率は、通常、1.0×1010Ω/□以上5.0×1011Ω/□以下であり、表面(D)の表面抵抗率は、通常、1.0×10Ω/□以上5.0×1011Ω/□以下である。The surface of the release film on the adhesive resin layer side (the surface in contact with the adhesive resin layer in the gas barrier adhesive film; hereinafter, may be referred to as "surface (C)") and the other surface (gas barrier adhesive). In the film, the surface that is exposed to the outside. Hereinafter, it may be referred to as “surface (D)”), the surface resistance of at least one of them is 5.0 × 10 11 Ω / □ or less. The surface resistivity of the surface (C) is usually 1.0 × 10 10 Ω / □ or more and 5.0 × 10 11 Ω / □ or less, and the surface resistivity of the surface (D) is usually 1.0. × 10 7 Ω / □ or more and 5.0 × 10 11 Ω / □ or less.

表面(C)と表面(D)の少なくともどちらか一方の表面抵抗率を5.0×1011Ω/□以下にすることで、剥離フィルムを剥離した後において、接着性樹脂層の帯電量を小さくすることができる。By setting the surface resistivity of at least one of the surface (C) and the surface (D) to 5.0 × 10 11 Ω / □ or less, the charge amount of the adhesive resin layer is reduced after the release film is peeled off. It can be made smaller.

特に、表面(D)の表面抵抗率が小さいガスバリア性接着フィルムは、複数のガスバリア性接着フィルムが重ねられている場合や、ロール状に巻かれている場合において、ガスバリア性接着フィルム同士を剥がし易いものであるため、作業性により優れる。 In particular, the gas barrier adhesive film having a small surface resistivity of the surface (D) can easily peel off the gas barrier adhesive films when a plurality of gas barrier adhesive films are stacked or wound in a roll shape. Because it is a thing, it is superior in workability.

剥離フィルムの厚みは、特に制限はないが、通常、1~300μmであり、好ましくは10~100μmである。
剥離フィルムの層構造は特に限定されない。剥離フィルムは単層構造を有するものであってもよいし、多層構造を有するものであってもよい。
目的の特性を有する剥離フィルムが得られ易いことから、剥離フィルムとしては多層構造を有するものが好ましい。
The thickness of the release film is not particularly limited, but is usually 1 to 300 μm, preferably 10 to 100 μm.
The layer structure of the release film is not particularly limited. The release film may have a single-layer structure or may have a multi-layer structure.
Since it is easy to obtain a release film having the desired characteristics, the release film preferably has a multilayer structure.

多層構造を有する剥離フィルムとしては、基材フィルム(以下、剥離フィルムを構成する基材フィルムを、「基材フィルム(γ)」という。)、帯電防止性部分層、及び剥離性部分層を有し、一方の最外層が剥離性部分層である積層フィルム(以下、この積層フィルムを、「積層フィルム(γ)」という。)が挙げられる。
積層フィルム(γ)の層構造としては、「基材フィルム(γ)/帯電防止性部分層/剥離性部分層」や、「帯電防止性部分層/基材フィルム(γ)/剥離性部分層」が挙げられる。
The release film having a multilayer structure includes a base film (hereinafter, the base film constituting the release film is referred to as "base film (γ)"), an antistatic partial layer, and a peelable partial layer. However, a laminated film in which one outermost layer is a peelable partial layer (hereinafter, this laminated film is referred to as a “laminated film (γ)”) can be mentioned.
The layer structure of the laminated film (γ) includes “base film (γ) / antistatic partial layer / peelable partial layer” and “antistatic partial layer / base film (γ) / peelable partial layer”. ".

基材フィルム(γ)としては、基材フィルム(α)として示したものと同様のものが挙げられる。
基材フィルム(γ)は、帯電防止剤を含有するものが好ましい。帯電防止剤を含有する基材フィルム(γ)を用いることで、剥離フィルムの表面(C)、(D)の表面抵抗率をより効率よく低くすることができる。帯電防止剤としては、基材フィルム(α)中の帯電防止剤として示したものと同様のものが挙げられる。
基材フィルム(γ)中の帯電防止剤の含有量は特に限定されず、目的の帯電防止性に応じて適宜決定することができる。
Examples of the base film (γ) include those similar to those shown as the base film (α).
The base film (γ) preferably contains an antistatic agent. By using the base film (γ) containing an antistatic agent, the surface resistivity of the surfaces (C) and (D) of the release film can be lowered more efficiently. Examples of the antistatic agent include those similar to those shown as the antistatic agent in the base film (α).
The content of the antistatic agent in the base film (γ) is not particularly limited and can be appropriately determined according to the desired antistatic property.

帯電防止性部分層は、帯電防止性(静電気(帯電圧)を速く逃がすことができる性質をいう。表面抵抗率が低いほど帯電防止性に優れる)を有する層であり、基材フィルム(γ)上に、直接又はその他の層を介して積層される層である。
剥離フィルム中に帯電防止性部分層を設けることで、剥離フィルムの表面(C)の表面抵抗率を、容易に5.0×1011Ω/□以下にすることができる。
The antistatic partial layer is a layer having antistatic properties (meaning the property of being able to release static electricity (voltage band) quickly. The lower the surface resistivity, the better the antistatic properties), and the base film (γ). A layer laminated on top, either directly or via other layers.
By providing the antistatic partial layer in the release film, the surface resistivity of the surface (C) of the release film can be easily reduced to 5.0 × 10 11 Ω / □ or less.

帯電防止性部分層の厚みは特に限定されない。帯電防止性部分層の厚みは、通常、10μm以下、好ましくは0.01~5μm、より好ましくは0.03~3μmである。
帯電防止性部分層としては、樹脂成分と、帯電防止剤とを含有する層が挙げられる。
樹脂成分は、帯電防止剤を固定し得るものであれば、特に限定されない。
かかる樹脂成分としては、例えば、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、シリコーン系樹脂、ゴム系樹脂、ポリエステル系樹脂等が挙げられる。
The thickness of the antistatic partial layer is not particularly limited. The thickness of the antistatic partial layer is usually 10 μm or less, preferably 0.01 to 5 μm, and more preferably 0.03 to 3 μm.
Examples of the antistatic partial layer include a layer containing a resin component and an antistatic agent.
The resin component is not particularly limited as long as it can fix the antistatic agent.
Examples of such resin components include acrylic resins, urethane resins, silicone resins, rubber resins, polyester resins and the like.

帯電防止剤は、帯電防止性を有するものであればよく、特に限定されない。
帯電防止剤としては、基材フィルム(α)中の帯電防止剤として示したものと同様のものが挙げられる。
帯電防止性部分層に含まれる帯電防止剤の含有量は特に限定されず、目的の帯電防止性に応じて適宜決定することができる。
The antistatic agent may be any antistatic agent and is not particularly limited.
Examples of the antistatic agent include those similar to those shown as the antistatic agent in the base film (α).
The content of the antistatic agent contained in the antistatic partial layer is not particularly limited, and can be appropriately determined according to the desired antistatic property.

剥離性部分層は、剥離性を有する層であり、剥離フィルムの一方の最外層を構成するものである。本発明のガスバリア性接着フィルムにおいて、剥離性部分層を接着性樹脂層に隣接させることで、本発明のガスバリア性接着フィルムの接着性樹脂層をより効率よく露出させることができる。 The peelable partial layer is a layer having peelability and constitutes one outermost layer of the release film. In the gas barrier adhesive film of the present invention, by adjoining the peelable partial layer to the adhesive resin layer, the adhesive resin layer of the gas barrier adhesive film of the present invention can be exposed more efficiently.

剥離性部分層の厚みは特に限定されないが、通常、0.01~3.0μm、好ましくは0.03~2.0μmである。 The thickness of the peelable partial layer is not particularly limited, but is usually 0.01 to 3.0 μm, preferably 0.03 to 2.0 μm.

剥離性部分層は、剥離剤を用いて形成することができる。
剥離剤としては、ポリエチレン、ポリプロピレン等のオレフィン系樹脂;イソプレン系樹脂、ブタジエン系樹脂等のゴム系エラストマー;長鎖アルキル系樹脂;アルキド系樹脂;フッ素系樹脂;シリコーン系樹脂;等を含むものが挙げられる。
The peelable partial layer can be formed by using a peeling agent.
Examples of the release agent include olefin resins such as polyethylene and polypropylene; rubber elastomers such as isoprene resins and butadiene resins; long-chain alkyl resins; alkyd resins; fluororesins; silicone resins; and the like. Can be mentioned.

積層フィルム(γ)は、例えば、基材フィルム(γ)上に、帯電防止剤等を含有する塗布液を塗布し、得られた塗膜を乾燥することにより帯電防止性部分層を形成した後、帯電防止性部分層の上に、剥離剤を塗布し、得られた塗膜を乾燥して剥離性部分層を形成することにより製造することができる。
塗布方法、乾燥方法は特に限定されず、公知の方法を適宜利用することができる。
The laminated film (γ) is formed, for example, by applying a coating liquid containing an antistatic agent or the like on a base film (γ) and drying the obtained coating film to form an antistatic partial layer. It can be produced by applying a release agent on the antistatic partial layer and drying the obtained coating film to form a releaseable partial layer.
The coating method and the drying method are not particularly limited, and known methods can be appropriately used.

〔ガスバリア性接着フィルム〕
本発明のガスバリア性接着フィルムは、前記ガスバリア性ユニットと、前記接着性ユニットとを有し、前記接着性ユニットの接着性樹脂層が、前記ガスバリア性ユニットのガスバリア層上に、直接又はその他の層を介して積層されてなり、前記保護フィルムと前記剥離フィルムがそれぞれ最外層を構成するものである。
[Gas barrier adhesive film]
The gas barrier adhesive film of the present invention has the gas barrier unit and the adhesive unit, and the adhesive resin layer of the adhesive unit is directly on the gas barrier layer of the gas barrier unit or another layer. The protective film and the release film each form an outermost layer.

本発明のガスバリア性接着フィルムとしては、例えば、図1、図2に示すものが挙げられる。
図1(A)に示すガスバリア性接着フィルム(1)は、保護フィルム(2)/ガスバリア層(3)からなるガスバリア性ユニット(4)と、接着性樹脂層(5)/剥離フィルム(6)からなる接着性ユニット(7)とを有し、前記接着性樹脂層(5)が、前記ガスバリア層(3)上に直接積層されてなり、前記保護フィルム(2)と前記剥離フィルム(6)がそれぞれ最外層を構成する層構成を有するものである。
Examples of the gas barrier adhesive film of the present invention include those shown in FIGS. 1 and 2.
The gas barrier adhesive film (1) shown in FIG. 1 (A) has a gas barrier unit (4) composed of a protective film (2) / a gas barrier layer (3) and an adhesive resin layer (5) / release film (6). It has an adhesive unit (7) made of, and the adhesive resin layer (5) is directly laminated on the gas barrier layer (3), and the protective film (2) and the release film (6) are formed. Each has a layer structure constituting the outermost layer.

また、図1(B)に示すように、保護フィルム(2)には、表面(A)(8)と表面(B)(9)が存在する。そして、表面(A)(8)の表面抵抗率は、5.0×1011Ω/□以下である。
一方、剥離フィルム(6)には、表面(C)(10)と表面(D)(11)が存在する。そして、表面(C)(10)と表面(D)(11)の、少なくともどちらか一方の表面の表面抵抗率は、5.0×1011Ω/□以下である。
Further, as shown in FIG. 1 (B), the protective film (2) has a surface (A) (8) and a surface (B) (9). The surface resistivity of the surfaces (A) and (8) is 5.0 × 10 11 Ω / □ or less.
On the other hand, the release film (6) has a surface (C) (10) and a surface (D) (11). The surface resistivity of at least one of the surfaces of the surface (C) (10) and the surface (D) (11) is 5.0 × 10 11 Ω / □ or less.

図2に示すガスバリア性接着フィルム(12)は、保護フィルム(13)/ガスバリア層(14)からなるガスバリア性ユニット(15)と、接着性樹脂層(16)/剥離フィルム(17)からなる接着性ユニット(18)とを有し、前記接着性樹脂層(16)が、前記ガスバリア層(14)上に、その他の層(19)を介して積層されてなり、前記保護フィルム(13)と前記剥離フィルム(17)がそれぞれ最外層を構成するものである。
図2に示すガスバリア性接着フィルム(12)においても、保護フィルム(13)の表面(A)(ガスバリア層(14)側とは反対側の面)の表面抵抗率は、5.0×1011Ω/□以下であり、剥離フィルム(17)の表面(C)(接着性樹脂層(16)と隣接する面)と表面(D)(接着性樹脂層(16)側とは反対側の面)の、少なくともどちらか一方の表面の表面抵抗率は、5.0×1011Ω/□以下である。
The gas barrier adhesive film (12) shown in FIG. 2 is an adhesive composed of a gas barrier unit (15) composed of a protective film (13) / a gas barrier layer (14) and an adhesive resin layer (16) / a release film (17). It has a sex unit (18), and the adhesive resin layer (16) is laminated on the gas barrier layer (14) via another layer (19), and is laminated with the protective film (13). Each of the release films (17) constitutes the outermost layer.
Also in the gas barrier adhesive film (12) shown in FIG. 2, the surface resistivity of the surface (A) of the protective film (13) (the surface opposite to the gas barrier layer (14) side) is 5.0 × 10 11 . Ω / □ or less, the surface (C) (the surface adjacent to the adhesive resin layer (16)) and the surface (D) (the surface opposite to the adhesive resin layer (16) side) of the release film (17). ), The surface resistivity of at least one of the surfaces is 5.0 × 10 11 Ω / □ or less.

本発明のガスバリア性接着フィルムが、ガスバリア性接着フィルム(12)のように、その他の層を有する場合、その他の層としては、プライマー層、導電体層、屈折率調整層、色素層等が挙げられる。 When the gas barrier adhesive film of the present invention has another layer like the gas barrier adhesive film (12), examples of the other layers include a primer layer, a conductor layer, a refractive index adjusting layer, and a dye layer. Be done.

本発明のガスバリア性接着フィルムの実質的な厚み(保護フィルムと剥離フィルム以外の層の合計厚み)は、通常、1~300μm、好ましくは5~200μm、より好ましくは10~150μmである。 The substantial thickness of the gas barrier adhesive film of the present invention (total thickness of the layers other than the protective film and the release film) is usually 1 to 300 μm, preferably 5 to 200 μm, and more preferably 10 to 150 μm.

本発明のガスバリア性接着フィルムの製造方法は特に限定されない。
例えば、本発明のガスバリア性接着フィルムは、保護フィルムとガスバリア層からなるガスバリア性ユニット用積層体と、接着性樹脂層と剥離フィルムからなる接着性ユニット用積層体とをそれぞれ得た後、ガスバリア性ユニット用積層体のガスバリア層と、接着性ユニット用積層体の接着性樹脂層が対向するように重ねて、ガスバリア性ユニット用積層体と接着性ユニット用積層体とを貼着することより製造することができる。
The method for producing the gas barrier adhesive film of the present invention is not particularly limited.
For example, the gas barrier adhesive film of the present invention has a gas barrier property after obtaining a laminate for a gas barrier unit composed of a protective film and a gas barrier layer and a laminate for an adhesive unit composed of an adhesive resin layer and a release film, respectively. Manufactured by stacking the gas barrier layer of the unit laminate and the adhesive resin layer of the adhesive unit laminate so as to face each other, and adhering the gas barrier unit laminate and the adhesive unit laminate. be able to.

本発明のガスバリア性接着フィルムは、保護フィルムや剥離フィルムを剥離除去した後において、帯電し難いものである。したがって、有機EL素子等に貼着する場合であっても、有機EL素子の故障等を引き起こし難いものである。
また、本発明のガスバリア性接着フィルムは、帯電による、カール、埃の付着、フィルム同士のくっつき等の不具合が起こり難いものであり、貼着作業における作業性に優れるものである。
The gas barrier adhesive film of the present invention is hard to be charged after the protective film and the release film are peeled off and removed. Therefore, even when the organic EL element is attached to the organic EL element or the like, it is unlikely to cause a failure of the organic EL element or the like.
Further, the gas barrier adhesive film of the present invention is less likely to cause problems such as curling, adhesion of dust, and adhesion between films due to charging, and is excellent in workability in the pasting work.

これらの特性を有することから、本発明のガスバリア性接着フィルムは、電子部材用又は光学部材用の接着フィルムとして好適に用いられる。特に、本発明のガスバリア性接着フィルムを用いることで、有機EL素子等の封止材を効率よく形成することができる。 Due to these characteristics, the gas barrier adhesive film of the present invention is suitably used as an adhesive film for electronic members or optical members. In particular, by using the gas barrier adhesive film of the present invention, it is possible to efficiently form a sealing material such as an organic EL element.

本発明のガスバリア性接着フィルムの使用方法は特に限定されない。例えば、剥離フィルムを剥離して接着性樹脂層を露出させ、この接着性樹脂層を有機EL素子等と圧着させた後、保護フィルムを剥離除去することにより、有機EL素子を封止することができる。 The method of using the gas barrier adhesive film of the present invention is not particularly limited. For example, the release film can be peeled off to expose the adhesive resin layer, the adhesive resin layer can be pressure-bonded to an organic EL element or the like, and then the protective film can be peeled off to seal the organic EL element. can.

同様にして、露出した接着性樹脂層を、その他の電子部材や光学部材と圧着させた後、保護フィルムを剥離除去することにより、電子部材や光学部材の耐湿性を向上させることができる。 Similarly, the moisture resistance of the electronic member or the optical member can be improved by crimping the exposed adhesive resin layer with another electronic member or the optical member and then peeling off the protective film.

2)ガスバリア性接着フィルムを備える電子部材又は光学部材
本発明の電子部材及び光学部材は、上記のガスバリア性接着フィルム由来のガスバリア層及び接着性樹脂層を備えることを特徴とする。
本発明のガスバリア性接着フィルムは、空気中の化学成分(酸素、水、窒素酸化物、硫黄酸化物、オゾン等)によって性能が劣化するデバイスに好ましく適用できる。
本発明の電子部材及び光学部材は、例えば、上記のガスバリア性接着フィルムの剥離フィルムを剥離して接着性樹脂層を露出させた後、これをデバイス本体の所定の面に貼着し、次いで、保護フィルムを剥離することにより得ることができる。
2) Electronic member or optical member provided with a gas barrier adhesive film The electronic member and optical member of the present invention are characterized by comprising a gas barrier layer and an adhesive resin layer derived from the above gas barrier adhesive film.
The gas barrier adhesive film of the present invention can be preferably applied to devices whose performance deteriorates due to chemical components in the air (oxygen, water, nitrogen oxides, sulfur oxides, ozone, etc.).
In the electronic member and the optical member of the present invention, for example, the release film of the gas barrier adhesive film is peeled off to expose the adhesive resin layer, which is then attached to a predetermined surface of the device body, and then the adhesive resin layer is exposed. It can be obtained by peeling off the protective film.

電子部材としては、例えば、液晶ディスプレイ部材、有機ELディスプレイ部材、無機ELディスプレイ部材、電子ペーパー部材、太陽電池、熱電変換部材等のフレキシブル基板等が挙げられる。
光学部材としては、例えば、光学フィルター、波長変換デバイス、調光デバイス、偏光板、位相差板の光学部材等が挙げられる。
Examples of the electronic member include a liquid crystal display member, an organic EL display member, an inorganic EL display member, an electronic paper member, a solar cell, a flexible substrate such as a thermoelectric conversion member, and the like.
Examples of the optical member include an optical filter, a wavelength conversion device, a dimming device, a polarizing plate, an optical member of a retardation plate, and the like.

以下、実施例を挙げて本発明を更に詳細に説明する。但し、本発明は、以下の実施例になんら限定されるものではない。
各例中の部及び%は、特に断りのない限り、質量基準である。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples.
Parts and% in each example are based on mass unless otherwise specified.

〔製造例1〕ガスバリアフィルムの作製
ポリエチレンテレフタレート製フィルム(東レ株式会社製、PET23U403)の片面に、ペルヒドロポリシラザンを主成分とするコーティング剤(AZエレクトロニックマテリアルズ社製、アクアミカNL110)を塗工し、得られた塗膜を120℃で2分間乾燥させ、厚さ150nmのポリシラザン層を形成した。
得られたポリシラザン層に対して、プラズマイオン注入装置(RF電源:日本電子社製、RF56000、高電圧パルス電源:栗田製作所社製、PV-3-HSHV-0835)を用いて、下記条件にてプラズマイオン注入を行い、ガスバリア層(ガスバリア性部分層)を形成した。
[Manufacturing Example 1] Preparation of Gas Barrier Film A coating agent containing perhydropolysilazane as a main component (Aquamica NL110 manufactured by AZ Electronic Materials Co., Ltd.) is applied to one side of a polyethylene terephthalate film (PET23U403 manufactured by Toray Industries, Inc.). The obtained coating film was dried at 120 ° C. for 2 minutes to form a polysilazane layer having a thickness of 150 nm.
The obtained polysilazane layer was implanted with a plasma ion implanter (RF power supply: JEOL Ltd., RF56000, high voltage pulse power supply: Kurita Seisakusho Co., Ltd., PV-3-HSHV-0835) under the following conditions. Plasma ion implantation was performed to form a gas barrier layer (gas barrier partial layer).

プラズマ生成ガス:Ar
ガス流量:100sccm
Duty比:0.5%
印加電圧:-6kV
RF電源:周波数 13.56MHz、印加電力 1000W
チャンバー内圧:0.2Pa
パルス幅:5μsec
処理時間(イオン注入時間):200秒
Plasma generated gas: Ar
Gas flow rate: 100 sccm
Duty ratio: 0.5%
Applied voltage: -6kV
RF power supply: Frequency 13.56MHz, applied power 1000W
Chamber internal pressure: 0.2Pa
Pulse width: 5 μsec
Processing time (ion implantation time): 200 seconds

〔製造例2〕帯電防止層形成用塗布液の調製
水溶性の水酸基含有ポリエステル樹脂とポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルホネートとの混合物(PEDOT-PSS)をジメチルスルホキシドと水で希釈した溶液(中京油脂株式会社製、T-795:固形分5.1%)100部に対して、水溶性メチロールメラミンを水で希釈した溶液(中京油脂株式会社製、P-695:固形分70.0%)1.0部とレベリング剤(中京油脂株式会社製、R-438:固形分10.0%)1.0部を混合し、そこへさらに水とIPA(イソプロピルアルコール)の混合溶媒(質量比1:1)を加えて、帯電防止層形成用の塗布液(固形分:0.6%)を調製した。
[Production Example 2] Preparation of coating liquid for forming an antistatic layer A solution obtained by diluting a mixture (PEDOT-PSS) of a water-soluble hydroxyl group-containing polyester resin, polyethylene dioxythiophene and polystyrene sulfonate with dimethyl sulfoxide and water (Chukyo Yushi Co., Ltd.) 1. A solution of water-soluble methylol melamine diluted with water per 100 parts of T-795 (solid content 5.1%) manufactured by Chukyo Yushi Co., Ltd. (P-695: solid content 70.0%). 0 part and 1.0 part of leveling agent (R-438: solid content 10.0%) manufactured by Chukyo Yushi Co., Ltd. are mixed, and then a mixed solvent of water and IPA (isopropyl alcohol) (mass ratio 1: 1) is further mixed. ) Was added to prepare a coating solution (solid content: 0.6%) for forming an antistatic layer.

〔製造例3〕剥離層形成用塗布液の調製
ポリオルガノシラン(信越化学株式会社製、KS-847H:固形分30%)100部に対してオルガノシロキサンオリゴマー(信越化学株式会社製、X-62-1378:固形分100%)1.6部を混合し、さらにトルエンとMEK(メチルエチルケトン)の混合液(質量比1:2.3)を加えた。次いで、このものに白金触媒(信越化学株式会社製、固形分2.0%)2.0部、アセチルアルコール(信越化学株式会社製、固形分100%)10.0部、前記質量比のトルエンとMEKの混合液を加えて、剥離層形成用の塗布液(固形分:1.4%)を調製した。
[Production Example 3] Preparation of coating liquid for forming a release layer Organosiloxane oligomer (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., X-62) with respect to 100 parts of polyorganosilane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., KS-847H: solid content 30%). -1378: Solid content 100%) 1.6 parts were mixed, and a mixed solution of toluene and MEK (methylethylketone) (mass ratio 1: 2.3) was further added. Next, 2.0 parts of a platinum catalyst (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., solid content 2.0%), 10.0 parts of acetyl alcohol (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., 100% solid content), and toluene having the above mass ratio were added to this product. And MEK were added to prepare a coating liquid (solid content: 1.4%) for forming a release layer.

〔製造例4〕帯電防止性アクリル粘着剤の調製
アクリル酸-2-エチルヘキシル/アクリル酸ブチル/エトキシ化アクリル酸/アクリル酸-4-ヒドロキシブチル=67/20/10/3(質量比)を共重合し、アクリル酸エステル共重合体を得た。このアクリル酸エステル共重合体を酢酸エチルに溶解して得られた溶液(固形分48%)100部に対して、ヘキサフルオロリン酸カリウム(固形分100%)1.1部、スズ化合物(トーヨーケム株式会社製、BXX3778:固形分2.5%)0.2部、イソシアネート架橋剤(トーヨーケム株式会社製、BXX6269:固形分75%)1.8部、アセチルアセトン(トーヨーケム株式会社製、BXX5638:固形分100%)0.96部、及び、トルエンを加えて、帯電防止性アクリル粘着剤(固形分40.1%)を調製した。
[Production Example 4] Preparation of Antistatic Acrylic Adhesive -2-ethylhexyl acrylate / butyl acrylate / ethoxylated acrylic acid / -4-hydroxybutyl acrylate = 67/20/10/3 (mass ratio) The polymerization was carried out to obtain an acrylic acid ester copolymer. To 100 parts of a solution (solid content 48%) obtained by dissolving this acrylic acid ester copolymer in ethyl acetate, 1.1 parts of potassium hexafluorophosphate (solid content 100%) and a tin compound (toyochem) Co., Ltd., BXX3778: solid content 2.5%) 0.2 part, isocyanate cross-linking agent (Toyochem Co., Ltd., BXX6269: solid content 75%) 1.8 parts, acetylacetone (Toyochem Co., Ltd., BXX5638: solid content) 100%) 0.96 parts and toluene were added to prepare an antistatic acrylic pressure-sensitive adhesive (solid content 40.1%).

〔製造例5〕保護フィルム用アクリル粘着剤の調製
アクリル酸ブチル/アクリル酸-2-エチルヘキシル/アクリル酸-2-ヒドロキシエチル=76/19/5(質量比)を共重合し、アクリル酸エステル共重合体を得た。このアクリル酸エステル共重合体を酢酸エチルに溶解して得られた溶液(固形分40%)100部に対して、イソシアネート架橋剤(サイデン化学株式会社製、K―200:固形分100%)1.6部、アルミニウムキレート架橋剤(サイデン化学株式会社製、M-5:固形分5.0%)2.0部、及びMEKを加えて、アクリル粘着剤(固形分32.4%)を調製した。
[Production Example 5] Preparation of Acrylic Adhesive for Protective Film Copolymerize butyl acrylate / -2-ethylhexyl acrylate / -2-hydroxyethyl acrylate = 76/19/5 (mass ratio) and combine with acrylic acid ester. A polymer was obtained. An isocyanate cross-linking agent (K-200: 100% solid content) 1 part of a solution (40% solid content) obtained by dissolving this acrylic acid ester copolymer in ethyl acetate. .6 parts, aluminum chelate cross-linking agent (manufactured by Saiden Chemical Co., Ltd., M-5: solid content 5.0%) 2.0 parts, and MEK were added to prepare an acrylic pressure-sensitive adhesive (solid content 32.4%). did.

〔製造例6〕オレフィン系粘着剤の調製
イソブチレン-イソプレン共重合体(日本ブチル株式会社製、Butyl365)のトルエン溶液(固形分:15%)100部に対して、粘着付与剤(日本ゼオン株式会社製、クイントンA100)のトルエン溶液(固形分:50%)6部と架橋剤(三菱化学株式会社製、TC-5:固形分5%)0.4部、及びトルエンを加えて、オレフィン系粘着剤(固形分15%)を調製した。
[Production Example 6] Preparation of olefin-based pressure-sensitive adhesive A tackifier (Nippon Zeon Co., Ltd.) is applied to 100 parts of a toluene solution (solid content: 15%) of an isobutylene-isoprene copolymer (Butyl 365, manufactured by Nippon Butyl Co., Ltd.). Olefin-based adhesive An agent (solid content 15%) was prepared.

〔製造例7〕剥離フィルム(1)の製造
ポリエチレンテレフタレート製フィルム(三菱化学ポリエステルフィルム株式会社製、PET38T-100)の片面に、製造例2で得た帯電防止層形成用塗布液を塗布し、得られた塗膜を乾燥して帯電防止層を形成した。次いで、前記ポリエチレンテレフタレート製フィルムの帯電防止層とは逆側に、製造例3で得た剥離層形成用塗布液を塗布し、得られた塗膜を乾燥してシリコーン剥離層を形成することで、剥離フィルム(1)を得た。
[Production Example 7] Production of release film (1) The antistatic layer forming coating solution obtained in Production Example 2 was applied to one side of a polyethylene terephthalate film (PET38T-100 manufactured by Mitsubishi Chemical Polyester Film Co., Ltd.). The obtained coating film was dried to form an antistatic layer. Next, the coating liquid for forming a release layer obtained in Production Example 3 was applied to the side opposite to the antistatic layer of the polyethylene terephthalate film, and the obtained coating film was dried to form a silicone release layer. , A release film (1) was obtained.

〔製造例8〕剥離フィルム(2)の製造
ポリエチレンテレフタレート製フィルム(三菱化学ポリエステルフィルム株式会社製、PET38T-100)の片面に、製造例2で得た帯電防止層形成用塗布液を塗布し、得られた塗膜を乾燥して帯電防止層を形成した。次いで、帯電防止層上に、製造例3で得た剥離層形成用塗布液を塗布し、得られた塗膜を乾燥してシリコーン剥離層を形成することで、剥離フィルム(2)を得た。
[Production Example 8] Production of release film (2) The antistatic layer forming coating solution obtained in Production Example 2 was applied to one side of a polyethylene terephthalate film (PET38T-100 manufactured by Mitsubishi Chemical Polyester Film Co., Ltd.). The obtained coating film was dried to form an antistatic layer. Next, the coating liquid for forming a release layer obtained in Production Example 3 was applied onto the antistatic layer, and the obtained coating film was dried to form a silicone release layer to obtain a release film (2). ..

〔製造例9〕剥離フィルム(3)の製造
ポリエチレンテレフタレート製フィルム(三菱化学ポリエステルフィルム株式会社製、PET38T-100)の片面に、製造例2で得た帯電防止層形成用塗布液を塗布し、得られた塗膜を乾燥して帯電防止層を形成した。次いで、前記ポリエチレンテレフタレート製フィルムの帯電防止層とは逆側に、再度、帯電防止層形成用塗布液を塗布し、得られた塗膜を乾燥して帯電防止層を形成した。
次いで、一方の帯電防止層上に製造例3で得た剥離層形成用塗布液を塗布し、得られた塗膜を乾燥してシリコーン剥離層を形成することで、剥離フィルム(3)を得た。
[Production Example 9] Production of release film (3) The antistatic layer forming coating solution obtained in Production Example 2 was applied to one side of a polyethylene terephthalate film (PET38T-100 manufactured by Mitsubishi Chemical Polyester Film Co., Ltd.). The obtained coating film was dried to form an antistatic layer. Next, the coating liquid for forming the antistatic layer was applied again on the side opposite to the antistatic layer of the polyethylene terephthalate film, and the obtained coating film was dried to form the antistatic layer.
Next, the release layer forming coating solution obtained in Production Example 3 was applied onto one of the antistatic layers, and the obtained coating film was dried to form a silicone release layer to obtain a release film (3). rice field.

〔製造例10〕剥離フィルム(4)の製造
ポリエチレンテレフタレート製フィルム(三菱化学ポリエステルフィルム株式会社製、PET38T-100)の片面に、製造例3で得た剥離層形成用塗布液を塗布し、得られた塗膜を乾燥してシリコーン剥離層を形成することで、剥離フィルム(4)を得た。
[Production Example 10] Production of release film (4) A coating liquid for forming a release layer obtained in Production Example 3 is applied to one side of a polyethylene terephthalate film (PET38T-100 manufactured by Mitsubishi Chemical Polyester Film Co., Ltd.). A release film (4) was obtained by drying the obtained coating film to form a silicone release layer.

製造例7~10で得られた剥離フィルム(1)~(4)の層構造を図3に示す。
図3(A)、(B)、(C)、(D)に、それぞれ、剥離フィルム(1)、剥離フィルム(2)、剥離フィルム(3)、剥離フィルム(4)の層構造を示す。
The layered structures of the release films (1) to (4) obtained in Production Examples 7 to 10 are shown in FIG.
3 (A), (B), (C), and (D) show the layer structures of the release film (1), the release film (2), the release film (3), and the release film (4), respectively.

〔製造例11〕剥離フィルム付保護フィルム(1)の製造
剥離フィルム(リンテック株式会社製、SP-PET381031)の剥離処理面に、製造例4で得た帯電防止性アクリル系粘着剤を乾燥後の厚みが15μmとなるように塗布し、得られた塗膜を乾燥して帯電防止性を有する粘着剤層を形成した。次いで、前記粘着剤層にポリエチレンテレフタレート製フィルム(東洋紡株式会社製、PET50A4300)を重ねて圧着することにより、剥離フィルム付保護フィルム(1)を得た。
[Manufacturing Example 11] Production of Protective Film (1) with Release Film After drying the antistatic acrylic pressure-sensitive adhesive obtained in Production Example 4 on the release-treated surface of the release film (SP-PET381311 manufactured by Lintec Corporation). It was applied so as to have a thickness of 15 μm, and the obtained coating film was dried to form an antistatic pressure-sensitive adhesive layer. Next, a polyethylene terephthalate film (PET50A4300, manufactured by Toyobo Co., Ltd.) was superposed on the pressure-sensitive adhesive layer and pressure-bonded to obtain a protective film (1) with a release film.

〔製造例12〕剥離フィルム付保護フィルム(2)の製造
剥離フィルム(リンテック株式会社製、SP-PET381031)の剥離処理面に、製造例4で得た帯電防止性アクリル系粘着剤を乾燥後の厚みが15μmとなるように塗布し、得られた塗膜を乾燥して帯電防止性を有する粘着剤層を形成した。次いで、前記粘着剤層を、帯電防止層付ポリエチレンテレフタレート製フィルム(三菱化学ポリエステル株式会社製、PET38T-100G)の帯電防止層とは逆の面に重ねて圧着することにより、剥離フィルム付保護フィルム(2)を得た。
[Manufacturing Example 12] Production of Protective Film (2) with Release Film After drying the antistatic acrylic pressure-sensitive adhesive obtained in Production Example 4 on the release-treated surface of the release film (SP-PET381311 manufactured by Lintec Corporation). It was applied so as to have a thickness of 15 μm, and the obtained coating film was dried to form an antistatic pressure-sensitive adhesive layer. Next, the pressure-sensitive adhesive layer is laminated on the surface opposite to the antistatic layer of the polyethylene terephthalate film with antistatic layer (PET38T-100G, manufactured by Mitsubishi Chemical Polyester Co., Ltd.) and pressure-bonded to form a protective film with a release film. (2) was obtained.

〔製造例13〕剥離フィルム付保護フィルム(3)の製造
剥離フィルム(リンテック株式会社製、SP-PET381031C)の剥離処理面に、製造例5で得たアクリル系粘着剤を乾燥後の厚みが15μmとなるように塗布し、得られた塗膜を乾燥して粘着剤層を形成した。次いで、前記粘着剤層にポリエチレンテレフタレート製フィルム(東洋紡株式会社製、PET50A4300)を重ねて圧着することにより、剥離フィルム付保護フィルム(3)を得た。
[Production Example 13] Production of Protective Film (3) with Release Film The acrylic pressure-sensitive adhesive obtained in Production Example 5 has a thickness of 15 μm on the release-treated surface of the release film (SP-PET38131C manufactured by Lintec Corporation). The coating film was dried so as to form an adhesive layer. Next, a polyethylene terephthalate film (PET50A4300, manufactured by Toyobo Co., Ltd.) was superposed on the pressure-sensitive adhesive layer and pressure-bonded to obtain a protective film (3) with a release film.

〔製造例14〕剥離フィルム付保護フィルム(4)の製造
剥離フィルム(リンテック株式会社製、SP-PET381031)の剥離処理面に、製造例5で得たアクリル系粘着剤を乾燥後の厚みが25μmとなるように塗布し、得られた塗膜を乾燥して粘着剤層を形成した。次いで、前記粘着剤層を、帯電防止層付ポリエチレンテレフタレート製フィルム(三菱化学ポリエステル株式会社製、PET38T-100G)の帯電防止層とは逆の面に重ねて圧着することにより、剥離フィルム付保護フィルム(4)を得た。
[Production Example 14] Production of Protective Film (4) with Release Film The acrylic pressure-sensitive adhesive obtained in Production Example 5 has a thickness of 25 μm after drying on the release-treated surface of the release film (SP-PET381311 manufactured by Lintec Corporation). The coating film was dried so as to form an adhesive layer. Next, the pressure-sensitive adhesive layer is laminated on the surface opposite to the antistatic layer of the polyethylene terephthalate film with antistatic layer (PET38T-100G, manufactured by Mitsubishi Chemical Polyester Co., Ltd.) and pressure-bonded to form a protective film with a release film. (4) was obtained.

製造例11~14で得られた剥離フィルム付保護フィルム(1)~(4)の層構造を図4に示す。
図4(A)、(B)、(C)、(D)に、それぞれ、剥離フィルム付保護フィルム(1)、剥離フィルム付保護フィルム(2)、剥離フィルム付保護フィルム(3)、剥離フィルム付保護フィルム(4)の層構造を示す。
FIG. 4 shows the layered structures of the protective films (1) to (4) with a release film obtained in Production Examples 11 to 14.
4 (A), (B), (C), and (D) show a protective film with a release film (1), a protective film with a release film (2), a protective film with a release film (3), and a release film, respectively. The layer structure of the protective film (4) is shown.

〔実施例1〕
製造例11で得た剥離フィルム付保護フィルム(1)の剥離フィルムを剥がしながら、露出した粘着剤層を、製造例1で得たガスバリアフィルムのガスバリア層(ガスバリア性部分層)とは逆側の面に重ねて圧着することにより、ガスバリア性ユニット用の積層体を得た。
これとは別に、製造例7で得た剥離フィルム(1)の剥離面に、製造例6で得たオレフィン系粘着剤を乾燥後の厚みが12μmとなるように塗布し、得られた塗膜を乾燥して接着性樹脂層を形成することにより、接着性ユニット用の積層体を得た。
次いで、この接着性樹脂層を、前記ガスバリア性ユニット用の積層体のガスバリアフィルム面と重ねて圧着することにより、ガスバリア性接着フィルム(1)を得た。
ガスバリア性接着フィルム(1)の層構造を図5(A)に示す。
[Example 1]
While peeling off the release film of the protective film with release film (1) obtained in Production Example 11, the exposed adhesive layer is on the opposite side of the gas barrier layer (gas barrier partial layer) of the gas barrier film obtained in Production Example 1. By stacking and crimping on the surface, a laminated body for a gas barrier unit was obtained.
Separately from this, the olefin-based pressure-sensitive adhesive obtained in Production Example 6 was applied to the peeling surface of the release film (1) obtained in Production Example 7 so that the thickness after drying was 12 μm, and the obtained coating film was obtained. Was dried to form an adhesive resin layer to obtain a laminate for an adhesive unit.
Next, this adhesive resin layer was overlapped with the gas barrier film surface of the laminated body for the gas barrier unit and pressure-bonded to obtain a gas barrier adhesive film (1).
The layer structure of the gas barrier adhesive film (1) is shown in FIG. 5 (A).

〔実施例2〕
剥離フィルム付保護フィルム(1)に代えて、剥離フィルム付保護フィルム(2)を使用したこと以外は、実施例1と同様にしてガスバリア性接着フィルム(2)を得た。
ガスバリア性接着フィルム(2)の層構造を図5(B)に示す。
[Example 2]
A gas barrier adhesive film (2) was obtained in the same manner as in Example 1 except that the protective film with a release film (2) was used instead of the protective film with a release film (1).
The layer structure of the gas barrier adhesive film (2) is shown in FIG. 5 (B).

〔実施例3〕
製造例11で得た剥離フィルム付保護フィルム(1)の剥離フィルムを剥がしながら、露出した粘着剤層を、製造例1で得たガスバリアフィルムのガスバリア層(ガスバリア性部分層)とは逆側の面に重ねて圧着することにより、ガスバリア性ユニット用の積層体を得た。
これとは別に、製造例8で得た剥離フィルム(2)の剥離面に、製造例6で得たオレフィン系粘着剤を乾燥後の厚みが12μmとなるように塗布し、得られた塗膜を乾燥して接着性樹脂層を形成することにより、接着性ユニット用の積層体を得た。
次いで、この接着性樹脂層を、前記ガスバリア性ユニット用の積層体のガスバリアフィルム面と重ねて圧着することにより、ガスバリア性接着フィルム(3)を得た。
ガスバリア性接着フィルム(3)の層構造を図6(A)に示す。
[Example 3]
While peeling off the release film of the protective film with release film (1) obtained in Production Example 11, the exposed adhesive layer is on the opposite side of the gas barrier layer (gas barrier partial layer) of the gas barrier film obtained in Production Example 1. By stacking and crimping on the surface, a laminated body for a gas barrier unit was obtained.
Separately from this, the olefin-based pressure-sensitive adhesive obtained in Production Example 6 was applied to the peeling surface of the release film (2) obtained in Production Example 8 so that the thickness after drying was 12 μm, and the obtained coating film was obtained. Was dried to form an adhesive resin layer to obtain a laminate for an adhesive unit.
Next, this adhesive resin layer was overlapped with the gas barrier film surface of the laminated body for the gas barrier unit and pressure-bonded to obtain a gas barrier adhesive film (3).
The layer structure of the gas barrier adhesive film (3) is shown in FIG. 6 (A).

〔実施例4〕
剥離フィルム付保護フィルム(1)に代えて、剥離フィルム付保護フィルム(2)を使用したこと以外は、実施例3と同様にしてガスバリア性接着フィルム(4)を得た。
ガスバリア性接着フィルム(4)の層構造を図6(B)に示す。
[Example 4]
A gas barrier adhesive film (4) was obtained in the same manner as in Example 3 except that the protective film with a release film (2) was used instead of the protective film with a release film (1).
The layer structure of the gas barrier adhesive film (4) is shown in FIG. 6 (B).

〔実施例5〕
製造例11で得た剥離フィルム付保護フィルム(1)の剥離フィルムを剥がしながら、露出した粘着剤層を、製造例1で得たガスバリアフィルムのガスバリア層(ガスバリア性部分層)とは逆側の面に重ねて圧着することにより、ガスバリア性ユニット用の積層体を得た。
これとは別に、製造例9で得た剥離フィルム(3)の剥離面に、製造例6で得たオレフィン系粘着剤を乾燥後の厚みが12μmとなるように塗布し、得られた塗膜を乾燥して接着性樹脂層を形成することにより、接着性ユニット用の積層体を得た。
次いで、この接着性樹脂層を、前記ガスバリア性ユニット用の積層体のガスバリアフィルム面と重ねて圧着することにより、ガスバリア性接着フィルム(5)を得た。
ガスバリア性接着フィルム(5)の層構造を図7(A)に示す。
[Example 5]
While peeling off the release film of the protective film with release film (1) obtained in Production Example 11, the exposed adhesive layer is on the opposite side of the gas barrier layer (gas barrier partial layer) of the gas barrier film obtained in Production Example 1. By stacking and crimping on the surface, a laminated body for a gas barrier unit was obtained.
Separately from this, the olefin-based pressure-sensitive adhesive obtained in Production Example 6 was applied to the peeling surface of the release film (3) obtained in Production Example 9 so that the thickness after drying was 12 μm, and the obtained coating film was obtained. Was dried to form an adhesive resin layer to obtain a laminate for an adhesive unit.
Next, this adhesive resin layer was overlapped with the gas barrier film surface of the laminated body for the gas barrier unit and pressure-bonded to obtain a gas barrier adhesive film (5).
The layer structure of the gas barrier adhesive film (5) is shown in FIG. 7 (A).

〔実施例6〕
剥離フィルム付保護フィルム(1)に代えて、剥離フィルム付保護フィルム(2)を使用したこと以外は、実施例5と同様にしてガスバリア性接着フィルム(6)を得た。
ガスバリア性接着フィルム(6)の層構造を図7(B)に示す。
[Example 6]
A gas barrier adhesive film (6) was obtained in the same manner as in Example 5 except that the protective film with a release film (2) was used instead of the protective film with a release film (1).
The layer structure of the gas barrier adhesive film (6) is shown in FIG. 7 (B).

〔比較例1〕
製造例13で得た剥離フィルム付保護フィルム(3)の剥離フィルムを剥がしながら、露出した粘着剤層を、製造例1で得たガスバリアフィルムのガスバリア層(ガスバリア性部分層)とは逆側の面に重ねて圧着することにより、ガスバリア性ユニット用の積層体を得た。
これとは別に、製造例10で得た剥離フィルム(4)の剥離面に、製造例6で得たオレフィン系粘着剤を乾燥後の厚みが12μmとなるように塗布し、得られた塗膜を乾燥して接着性樹脂層を形成することにより、接着性ユニット用の積層体を得た。
次いで、この接着性樹脂層を、前記ガスバリア性ユニット用の積層体のガスバリアフィルム面と重ねて圧着することにより、ガスバリア性接着フィルム(7)を得た。
ガスバリア性接着フィルム(7)の層構造を図8(A)に示す。
[Comparative Example 1]
While peeling off the release film of the protective film with release film (3) obtained in Production Example 13, the exposed adhesive layer is on the opposite side of the gas barrier layer (gas barrier partial layer) of the gas barrier film obtained in Production Example 1. By stacking and crimping on the surface, a laminated body for a gas barrier unit was obtained.
Separately from this, the olefin-based pressure-sensitive adhesive obtained in Production Example 6 was applied to the peeling surface of the release film (4) obtained in Production Example 10 so that the thickness after drying was 12 μm, and the obtained coating film was obtained. Was dried to form an adhesive resin layer to obtain a laminate for an adhesive unit.
Next, this adhesive resin layer was overlapped with the gas barrier film surface of the laminated body for the gas barrier unit and pressure-bonded to obtain a gas barrier adhesive film (7).
The layer structure of the gas barrier adhesive film (7) is shown in FIG. 8 (A).

〔比較例2〕
剥離フィルム付保護フィルム(1)に代えて、剥離フィルム付保護フィルム(4)を使用したこと以外は、実施例1と同様にしてガスバリア性接着フィルム(8)を得た。
ガスバリア性接着フィルム(8)の層構造を図8(B)に示す。
[Comparative Example 2]
A gas barrier adhesive film (8) was obtained in the same manner as in Example 1 except that the protective film with a release film (4) was used instead of the protective film with a release film (1).
The layer structure of the gas barrier adhesive film (8) is shown in FIG. 8 (B).

〔比較例3〕
剥離フィルム付保護フィルム(1)に代えて、剥離フィルム付保護フィルム(4)を使用したこと以外は、実施例3と同様にしてガスバリア性接着フィルム(9)を得た。
ガスバリア性接着フィルム(9)の層構造を図9(A)に示す。
[Comparative Example 3]
A gas barrier adhesive film (9) was obtained in the same manner as in Example 3 except that the protective film with a release film (4) was used instead of the protective film with a release film (1).
The layer structure of the gas barrier adhesive film (9) is shown in FIG. 9 (A).

〔比較例4〕
剥離フィルム付保護フィルム(1)に代えて、剥離フィルム付保護フィルム(4)を使用したこと以外は、実施例5と同様にしてガスバリア性接着フィルム(10)を得た。
ガスバリア性接着フィルム(10)の層構造を図9(B)に示す。
[Comparative Example 4]
A gas barrier adhesive film (10) was obtained in the same manner as in Example 5 except that the protective film with a release film (4) was used instead of the protective film with a release film (1).
The layer structure of the gas barrier adhesive film (10) is shown in FIG. 9 (B).

実施例及び比較例で得られたガスバリア性接着フィルム(1)~(10)について、以下の評価を行った。結果を第1表に示す。
〔表面抵抗率〕
ガスバリア性接着フィルムの保護フィルムを剥離し、その保護フィルムの両面(表面(A)及び表面(B))について、表面抵抗率を測定した。測定装置として、抵抗率計(ハイレスタ-UP、三菱化学社製)を使用し、温度20℃、相対湿度65%の条件下で、JIS K 6911に準じて測定を行った。
また、ガスバリア性接着フィルムの剥離フィルムについても同様にして、表面(C)及び表面(D)について、表面抵抗率を測定した。
The gas barrier adhesive films (1) to (10) obtained in Examples and Comparative Examples were evaluated as follows. The results are shown in Table 1.
[Surface resistivity]
The protective film of the gas barrier adhesive film was peeled off, and the surface resistivity was measured on both sides (surface (A) and surface (B)) of the protective film. A resistivity meter (High Restor-UP, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) was used as a measuring device, and measurements were performed according to JIS K 6911 under the conditions of a temperature of 20 ° C. and a relative humidity of 65%.
Further, the surface resistivity of the surface (C) and the surface (D) of the release film of the gas barrier adhesive film was measured in the same manner.

〔剥離力・帯電量〕
温度20℃、相対湿度65%の条件下で、高速剥離試験機を用いて、10m/分の速度で、ガスバリア性接着フィルム(幅50mm、長さ130mm)の保護フィルムを剥離し、剥離力を測定した。
このとき、デジタル静電電位測定器(KDS-1000、春日電気社製)を用いて、露出したガスバリア層の帯電量(±)を測定した。第1表には、その絶対値を示す。
また、ガスバリア性接着フィルムの剥離フィルムについても同様にして、剥離力の測定と、接着性樹脂層の帯電量を測定した。
[Peeling force / charge amount]
Under the conditions of a temperature of 20 ° C. and a relative humidity of 65%, the protective film of the gas barrier adhesive film (width 50 mm, length 130 mm) is peeled off at a speed of 10 m / min using a high-speed peeling tester to increase the peeling force. It was measured.
At this time, the charge amount (±) of the exposed gas barrier layer was measured using a digital electrostatic potential measuring device (KDS-1000, manufactured by Kasuga Denki Co., Ltd.). Table 1 shows the absolute values.
Further, for the release film of the gas barrier adhesive film, the release force was measured and the charge amount of the adhesive resin layer was measured in the same manner.

〔作業性評価〕
A4サイズのガスバリア性接着フィルムを数枚用意し、これらを重ねた。次いで、一番上のガスバリア性接着フィルムの端をつかみ、これをめくり上げた。このときに、その一枚だけが採れたときを○とし、その下のフィルムがくっ付いたときを×として、作業性を評価した。
[Workability evaluation]
Several A4 size gas barrier adhesive films were prepared and stacked. Then I grabbed the edge of the top gas barrier adhesive film and turned it up. At this time, the workability was evaluated by ◯ when only one of them was taken and x when the film underneath was attached.

Figure 0007080216000002
Figure 0007080216000002

第1表から、以下のことが分かる。
実施例1~6のガスバリア性接着フィルム(1)~(6)は、表面(A)の表面抵抗率が、5.0×1011Ω/□以下であり、表面(C)又は(D)の表面抵抗率が、5.0×1011Ω/□以下である。これらのガスバリア性接着フィルムにおいては、保護フィルムや剥離フィルムを剥離除去した後の帯電量が少ない。
特に、実施例1、2、4~6のガスバリア性接着フィルム(1)、(2)、(4)~(6)は、表面(B)と表面(D)の少なくともどちらか一方の表面抵抗率が小さいものであり、作業性にも優れている。
一方、比較例1~4のガスバリア性接着フィルム(7)~(10)は、表面(A)の表面抵抗率が大きな値であり、保護フィルムを剥離除去した後のガスバリア層の帯電量が多い。
From Table 1, the following can be seen.
In the gas barrier adhesive films (1) to (6) of Examples 1 to 6, the surface resistivity of the surface (A) is 5.0 × 10 11 Ω / □ or less, and the surface (C) or (D). The surface resistivity of is 5.0 × 10 11 Ω / □ or less. In these gas barrier adhesive films, the amount of charge after the protective film and the release film are peeled off is small.
In particular, the gas barrier adhesive films (1), (2), (4) to (6) of Examples 1, 2, 4 to 6 have the surface resistivity of at least one of the surface (B) and the surface (D). The rate is small and the workability is excellent.
On the other hand, in the gas barrier adhesive films (7) to (10) of Comparative Examples 1 to 4, the surface resistivity of the surface (A) is a large value, and the charge amount of the gas barrier layer after the protective film is peeled off is large. ..

1,12:ガスバリア性接着フィルム
2,13:保護フィルム
3,14:ガスバリア層
4,15:ガスバリア性ユニット
5,16:接着性樹脂層
6,17:剥離フィルム
7,18:接着性ユニット
8:表面(A)
9:表面(B)
10:表面(C)
11:表面(D)
19:その他の層
20:剥離フィルム(1)
21a,21b,21c,21d:基材フィルム(γ)
22a,22b,22c,22d:帯電防止性部分層
23a,23b,23c,23d:剥離性部分層
24:剥離フィルム(2)
25:剥離フィルム(3)
26:剥離フィルム(4)
27:剥離フィルム付保護フィルム(1)
28a,28b,28c,28d:剥離フィルム
29a,29b:帯電防止性粘着剤部分層
30a,30b:基材フィルム(α)
31:剥離フィルム付保護フィルム(2)
32a,32b:帯電防止層付基材フィルム(α)
33a,33b:帯電防止層
34:剥離フィルム付保護フィルム(3)
35a,35b:非帯電防止性粘着剤部分層
36:剥離フィルム付保護フィルム(4)
100:ガスバリア性接着フィルム(1)
101:ガスバリア性接着フィルム(2)
102:ガスバリア性接着フィルム(3)
103:ガスバリア性接着フィルム(4)
104:ガスバリア性接着フィルム(5)
105:ガスバリア性接着フィルム(6)
106:ガスバリア性接着フィルム(7)
107:ガスバリア性接着フィルム(8)
108:ガスバリア性接着フィルム(9)
109:ガスバリア性接着フィルム(10)
110a~j:ガスバリア性ユニット
111a~j:接着性ユニット
112a~j:保護フィルム
113a~j:ガスバリア層
114a~j:接着性樹脂層
115a~j:剥離フィルム
116a~d:基材フィルム(α)
117a~f:帯電防止性粘着剤部分層
118a~j:基材フィルム(β)
119a~j:ガスバリア性部分層
120a~j:剥離性部分層
121a~j:基材フィルム(γ)
122a~l:帯電防止性部分層
123a~f:帯電防止層付基材フィルム(α)
124a~d:粘着剤部分層
1,12: Gas barrier adhesive film 2,13: Protective film 3,14: Gas barrier layer 4,15: Gas barrier unit 5,16: Adhesive resin layer 6,17: Release film 7,18: Adhesive unit 8: Surface (A)
9: Surface (B)
10: Surface (C)
11: Surface (D)
19: Other layers 20: Release film (1)
21a, 21b, 21c, 21d: Base film (γ)
22a, 22b, 22c, 22d: Antistatic partial layer 23a, 23b, 23c, 23d: Detachable partial layer 24: Peeling film (2)
25: Release film (3)
26: Release film (4)
27: Protective film with release film (1)
28a, 28b, 28c, 28d: Release film 29a, 29b: Antistatic adhesive partial layer 30a, 30b: Base film (α)
31: Protective film with release film (2)
32a, 32b: Base film with antistatic layer (α)
33a, 33b: Antistatic layer 34: Protective film with release film (3)
35a, 35b: Non-static adhesive partial layer 36: Protective film with release film (4)
100: Gas barrier adhesive film (1)
101: Gas barrier adhesive film (2)
102: Gas barrier adhesive film (3)
103: Gas barrier adhesive film (4)
104: Gas barrier adhesive film (5)
105: Gas barrier adhesive film (6)
106: Gas barrier adhesive film (7)
107: Gas barrier adhesive film (8)
108: Gas barrier adhesive film (9)
109: Gas barrier adhesive film (10)
110a to j: Gas barrier unit 111a to j: Adhesive unit 112a to j: Protective film 113a to j: Gas barrier layer 114a to j: Adhesive resin layer 115a to j: Release film 116a to d: Base film (α)
117a-f: Antistatic adhesive partial layer 118a-j: Base film (β)
119a to j: Gas barrier partial layer 120a to j: Detachable partial layer 121a to j: Base film (γ)
122a to l: Antistatic partial layer 123a to f: Base film with antistatic layer (α)
124a-d: Adhesive partial layer

Claims (10)

保護フィルム/ガスバリア層からなるガスバリア性ユニットと、接着性樹脂層/剥離フィルムからなる接着性ユニットとを有し、前記接着性樹脂層が、前記ガスバリア層上に、直接又はその他の層を介して積層されてなり、前記保護フィルムと前記剥離フィルムがそれぞれ最外層を構成するガスバリア性接着フィルムであって、
前記保護フィルムの、ガスバリア層側の表面の表面抵抗率が、5.0×1011Ω/□以下であり、
前記剥離フィルムの、少なくともどちらか一方の表面の表面抵抗率が、5.0×1011Ω/□以下である、ガスバリア性接着フィルム。
It has a gas barrier unit made of a protective film / gas barrier layer and an adhesive unit made of an adhesive resin layer / release film, and the adhesive resin layer is directly on the gas barrier layer or via another layer. It is a gas barrier adhesive film that is laminated and the protective film and the release film each form an outermost layer.
The surface resistivity of the surface of the protective film on the gas barrier layer side is 5.0 × 10 11 Ω / □ or less.
A gas barrier adhesive film having a surface resistivity of at least one of the surfaces of the release film of 5.0 × 10 11 Ω / □ or less.
前記保護フィルムが、基材フィルム(α)と帯電防止性粘着剤部分層とを有する積層フィルム(α)である、請求項1に記載のガスバリア性接着フィルム。 The gas barrier adhesive film according to claim 1, wherein the protective film is a laminated film (α) having a base film (α) and an antistatic pressure-sensitive adhesive partial layer. 前記ガスバリア層が、基材フィルム(β)とガスバリア性部分層とを有する積層フィルム(β)からなるものである、請求項1又は2に記載のガスバリア性接着フィルム。 The gas barrier adhesive film according to claim 1 or 2, wherein the gas barrier layer is made of a laminated film (β) having a base film (β) and a gas barrier partial layer. 前記接着性樹脂層に含まれる接着性樹脂が、ポリオレフィン系接着性樹脂である、請求項1~3のいずれかに記載のガスバリア性接着フィルム。 The gas barrier adhesive film according to any one of claims 1 to 3, wherein the adhesive resin contained in the adhesive resin layer is a polyolefin-based adhesive resin. 前記剥離フィルムが、基材フィルム(γ)、帯電防止性部分層、及び剥離性部分層を有し、前記剥離性部分層が一方の最外層を構成する積層フィルム(γ)である、請求項1~4のいずれかに記載のガスバリア性接着フィルム。 The release film is a laminated film (γ) having a base film (γ), an antistatic partial layer, and a peelable partial layer, and the peelable partial layer constitutes one of the outermost layers. The gas barrier adhesive film according to any one of 1 to 4. 電子部材用又は光学部材用の接着フィルムである、請求項1~5のいずれかに記載のガスバリア性接着フィルム。 The gas barrier adhesive film according to any one of claims 1 to 5, which is an adhesive film for an electronic member or an optical member. 前記保護フィルムの、もう一方の表面(ガスバリア性接着フィルムにおいて、外部に露出した面)の表面抵抗率が、1.0×10The surface resistivity of the other surface of the protective film (the surface exposed to the outside in the gas barrier adhesive film) is 1.0 × 10. 6 Ω/□以上5.0×10Ω / □ or more 5.0 × 10 1111 Ω/□以下である、請求項1~6のいずれかに記載のガスバリア性接着フィルム。The gas barrier adhesive film according to any one of claims 1 to 6, which is Ω / □ or less. 前記剥離フィルムの、ガスバリア性接着フィルムにおいて外部に露出した面の表面抵抗率が、5.0×10The surface resistivity of the surface of the release film exposed to the outside in the gas barrier adhesive film is 5.0 × 10. 1111 Ω/□以下である、請求項1~7のいずれかに記載のガスバリア性接着フィルム。The gas barrier adhesive film according to any one of claims 1 to 7, which is Ω / □ or less. 前記剥離フィルムを剥離したときに、残りの積層体の露出面が接着性樹脂層である、請求項1~8のいずれかに記載のガスバリア性接着フィルム。The gas barrier adhesive film according to any one of claims 1 to 8, wherein the exposed surface of the remaining laminated body is an adhesive resin layer when the release film is peeled off. 請求項1~のいずれかに記載のガスバリア性接着フィルム由来のガスバリア層及び接着性樹脂層を備える電子部材又は光学部材。 An electronic member or an optical member provided with a gas barrier layer and an adhesive resin layer derived from the gas barrier adhesive film according to any one of claims 1 to 9 .
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