JP7079509B2 - 計測装置及び照射装置 - Google Patents
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Description
第6の態様の照射装置は、互いに異なる周波数で分布しているスペクトルを2以上含むスペクトル光をそれぞれ発し、前記スペクトル光の隣接するスペクトルの周波数間隔である隣接周波数間隔がそれぞれ異なる複数の光源と、前記複数の光源から発せられた複数のスペクトル光を前記スペクトルごとに互いに異なる方向にそれぞれ分散させる分散部と、前記分散部によって分散された光源ごとの前記スペクトルを試料の複数の異なる集光点にそれぞれ集光し、且つ、1つの光源に基づく複数の集光点と他の光源に基づく複数の集光点とをそれぞれ重畳させる集光部と、前記試料における集光点が重なる複数の重畳部のそれぞれでの干渉光ビートにより発光する前記試料の情報を含む蛍光ビートの信号を取得する検出部と、を備える。
図1は、第1実施形態の計測装置10Aの模式図である。図1に示すように、計測装置10Aは、光出射部11と、2つの点光源(光源)12と、分散部14と、集光部16と、分離部19と、空間フィルタリング光学系18と、検出部20と、を備えている。
図1に示す計測装置10Aは、2つの点光源(光源)12を有する光出射部11を備える。点光源12の数は、必ずしも2つに限られないが、第1実施形態では、2つの場合を説明する。
2つの点光源12は、第1の点光源12Aと第2の点光源12Bで構成されている。第1の点光源12Aと第2の点光源12Bは、離散スペクトル光源(光周波数コム光源)22と、集光レンズ24と、を備えている。第1の点光源12Aにおける離散スペクトル光源(第1の光源)22aは、離散スペクトル光(スペクトル光,第1スペクトル光)LAを発する。第2の点光源12Bにおける離散スペクトル光源(第2の光源)22bは、離散スペクトル光(スペクトル光,第1スペクトル光)LBを発する。
このような離散スペクトル光LA,LBとしては、光周波数コム光源のスペクトルが挙げられる。以下、光周波数コム光源のスペクトルを光周波数コムスペクトルLX0という。光周波数コムスペクトルLX0は、例えば周波数軸上で互いに所定の周波数間隔で分布するスペクトルMAを2以上含んでいる。図2では、周波数軸をf軸として示している。以下、測定時には表れないスペクトル(図2の上の図において1点鎖線で示されているスペクトル)も含めてスペクトルMAの数をnとする。周波数軸における周波数の位置が隣り合うスペクトルMAの周波数の間隔を、隣接周波数間隔frという。周波数特性で見ると、n個のスペクトルMAは、キャリア・エンベロープ・オフセット周波数f0、及び所定の光強度|E(f)|2の分布を有するスペクトル・エンベロープNAを備え、周波数軸上に分布している。以下、キャリア・エンベロープ・オフセット周波数f0を、単にオフセット周波数f0と記載する。
νn=n×fr+f0 ・・・(1)
離散スペクトル光源22として、上記説明した光周波数コムスペクトルLX0を発することが可能な公知のコム光源を用いることができる。
以下では、離散スペクトル光源22の構成例について説明する。各構成例において公知の構成要素の詳細な説明は、省略する。離散スペクトル光源22の構成は、下記の各構成例に限定されるものではない。
モード同期ファイバレーザ77は、励起用半導体レーザ82と、光アイソレータ87Aを備えた光ファイバ80Gと、光カプラ84Aと、光ファイバ80Aと、光ファイバ80B,80Cと、光アイソレータ85Aと、を備えている。光ファイバ80Aは、希土類元素(エルビウム、イッテルビウム等)が添加された光増幅ファイバ86Aを備えている。
増幅器78は、光ファイバ80B,80Cの間に配置された光カプラ84Dを介してモード同期ファイバレーザ77に接続されている。増幅器78は、光ファイバ80Dと、光アイソレータ85Bと、光ファイバ80Eと、励起用半導体レーザ83と、光アイソレータ87Bを備えた光ファイバ80Fと、光カプラ84Cと、光ファイバ80Hと、光アイソレータ85Cと、を備えている。光ファイバ80Dは、光カプラ84Dの出力側に接続されている。光ファイバ80Hは、希土類元素(エルビウム、イッテルビウム等)が添加された光増幅ファイバ86Bを備えている。
図7に示す構成では、MZ-FCG95によって発生した光コム信号は、標準的なSMF108に入力された後にDF-DDFに入力することで、約20THzに及ぶ光周波数コムスペクトルLX0が発生する。
分散部14は、光軸Xに沿う方向においてコリメートレンズ28と集光部16との間に配置される。分散部14は、軸線J3に対して角度θ0で入射した離散スペクトル光LA,LBをスペクトルMA1,MA2ごとに互いに異なる方向に分散させる。図1に示す分散部14は、分散素子32を備えている。図1では、分散素子32として、回折格子を用いた場合を示している。
Imaged Phased Array(VIPA:登録商標)、計算機ホログラム(Computer Generated Hologram:CGH)等が挙げられる。分散素子32として回折格子やプリズムを用いる場合は、図1に示すように、波長分散された分散ビームが1次元的に、即ち、ライン状に配置される。
図1に示すように、集光部16は、光軸Xに沿う方向において分散部14と試料Sとの間に配置されている。集光部16は、分散部14によって波長分散されたスペクトルMA1,MA2を試料Sの互いに異なる位置p1,p2,…,pnにそれぞれ集光させる。
d≒fd・β・K・δ・Nm<1.22λ/NA ・・・(2)
(2)式において、λ≒c/(f01+Nm・fr1)である。f01は、第1光周波数コムスペクトルLX1のオフセット周波数を表す。
隣り合う集光点領域C1同士の間隔は、集光点領域C同士が複数の箇所で重なることを避けるために、各集光点領域C1のスポットサイズの2倍より大きいことが好ましい。隣り合う集光点領域C2同士の間隔は、集光点領域C同士が複数の箇所で重なることを避けるために、各集光点領域C2のスポットサイズの2倍より大きいことが好ましい。
分離部19は、光軸Xに沿う方向において集光部16と空間フィルタリング光学系18との間に配置される。分離部19は、蛍光のみを反射する。そのため、分離部19は、分散部14から試料Sへ向かう光を通し、試料Sで発光した蛍光を反射させて空間フィルタリング光学系18に導く。分離部19は、試料Sからの反射散乱光と、試料Sで発光した蛍光とを分離する。
空間フィルタリング光学系18は、光軸Xに沿う方向において分離部19と検出部20との間に配置されている。空間フィルタリング光学系18は、スペクトルMA1,MA2の試料S上の集光点領域C1,C2が重なる重畳領域Inのそれぞれと共役な複数の位置P3に集光させる。計測装置10Aでは、光軸S上において、第1の点光源12Aの集光位置P1と、第2の点光源12Bの集光位置P1と、リレーレンズ34,36の間で離散スペクトル光LA,LBが集光する位置と、試料Sで集光する位置p1,p2,…,pnと、重畳領域Inと共役な複数の位置P31~P3nと、の5種類の位置は、互いに共役である。
検出部20は、光軸に沿うX方向において計測装置10Aの最後方に配置されている。検出部20は、少なくとも、試料Sの情報を含む蛍光スペクトルによる変調信号から、試料Sの情報を取得する。第1実施形態では、検出部20は、空間フィルタリング光学系18で空間フィルタリングされ、且つ試料Sの情報を含む蛍光スペクトルによる変調信号から、試料Sの情報を取得する。
次いで、図1に示す計測装置10Aを用いた計測の原理について説明する。
2つの点光源12の離散スペクトル光源22a,22bから発せられた離散スペクトル光LA,LBは、集光位置P1で集光し、ピンホール素子26の開口を通過する。集光位置P1から発散した離散スペクトル光LA,LBは、コリメートレンズ28でコリメートされ、分散部14の分散素子32に入射する。
次いで、第1実施形態の計測装置10Aの作用効果について説明する。
図9に示すように、第1実施形態の計測装置10Aは、離散スペクトル光LA,LBを試料Sの互いに異なる集光点Cに、1回の照射(即ち、1ショット)で同時に集光できる。これにより、レーザービームを走査せずに、離散スペクトル光LA,LBに含まれるn個のスペクトルMA1,MA2を2以上同時に多次元変換して、多次元平面にマッピングできる。
図13は、第2実施形態の計測装置10Bの模式図である。第2実施形態の計測装置10Bは、試料Sから前方伝搬した蛍光を測定する点で、後方伝搬した蛍光を測定する第1実施形態の計測装置10Aと異なる。図13に示す第2実施形態の計測装置10Bの構成要素において、図1に示す第1実施形態の計測装置10Aの構成要素と同一の構成要素については、同一の符号を付し、その説明を省略する。
図13に示すように、計測装置10Bは、2つの点光源12と、分散部14と、第1集光部15と、第2集光部17と、反射部21と、空間フィルタリング光学系18と、検出部20と、を備えている。
次いで、図13に示す計測装置10Bを用いた計測の原理について説明する。なお、2つの点光源12から発せられた離散スペクトル光LA,LBが試料Sに照射されるまでの原理は計測装置10Aを用いた計測の原理と同様であるため、離散スペクトル光LA,LBが試料Sに照射されるまでの原理の説明を省略する。
第2実施形態の計測装置10Bによれば、第1実施形態の計測装置10Aと同様の作用効果が得られる。
図14は、第3実施形態の計測装置10Cの模式図である。第3実施形態の計測装置10Cは、第2の点光源12Bが発する離散スペクトル光LBのオフセット周波数f02又は隣接周波数間隔fr2を制御する制御部60を有する点で第1実施形態の計測装置10Aとは異なる。なお、図14に示す第3実施形態の計測装置10Cの構成要素において、図1に示す第1実施形態の計測装置10Aの構成要素と同一の構成要素については、同一の符号を付し、その説明を省略する。
図14に示すように、第3実施形態の計測装置10Cは、制御部60を有する。制御部60は、第2の点光源12Bが発する離散スペクトル光LBのオフセット周波数f02又は隣接周波数間隔fr2を制御する。図14に示す構成では制御部60が第2の点光源12Bに設けられているが、制御部60は、第1の点光源12Aに設けられてもよく、両方の点光源12に設けられてもよい。
制御部60により離散スペクトル光LBのオフセット周波数f02又は隣接周波数間隔fr2を変え、図9に例示した重畳領域Inの重なり具合を変えると、試料Sから光ビートスペクトルが得られる範囲が変化する。計測装置10Cは、光ビートスペクトルから得られる試料Sの情報を読み取る。そのため、光ビートスペクトルが得られる範囲は、計測装置10Cの解像度に大きな影響を及ぼす。言い換えると、重畳領域Inの重なり具合を変えることで、計測装置10Cの解像度を変えることができる。
τ=tanθ/(2πf)・・・(3)
11…光出射部
14…分散部
15…第1集光部
16…集光部
17…第2集光部
19…分離部
18…空間フィルタリング光学系
20…検出部
12…点光源(光源)
32…分散素子
LA,LB…離散スペクトル光
p1,p2,…,pn…試料の互いに異なる位置、試料上の集光位置
P3…共役な位置
S…試料
Claims (16)
- 互いに異なる周波数で分布しているスペクトルを2以上含むスペクトル光をそれぞれ発し、前記スペクトル光の隣接するスペクトルの周波数間隔である隣接周波数間隔がそれぞれ異なる複数の光源と、
前記複数の光源から発せられた複数のスペクトル光を前記スペクトルごとに互いに異なる方向にそれぞれ分散させる分散部と、
前記分散部によって分散された光源ごとの前記スペクトルを試料の複数の異なる集光点にそれぞれ集光し、且つ、1つの光源に基づく複数の集光点と他の光源に基づく複数の集光点とをそれぞれ重畳させる集光部と、
前記集光部によって集光され、前記試料における集光点が重なる複数の重畳部のそれぞれでの干渉光ビートにより発光する前記試料の情報を含む蛍光ビートを、前記重畳部と共役な位置に集光し空間フィルタリングする空間フィルタリング光学系と、
前記空間フィルタリング光学系で空間フィルタリングされ、前記試料の情報を含む前記複数の重畳部から発せられた蛍光ビートの信号を取得する検出部と、
を備える、計測装置。 - 前記複数の光源のそれぞれは、前記スペクトル光として、周波数軸で隣り合う前記スペクトルの周波数の間隔である隣接周波数間隔が互いに一致しているスペクトルを発する光周波数コム光源である、
請求項1に記載の計測装置。 - 前記分散部は、入射する光を波長分散する分散素子を備え、
前記光源から発せられた前記スペクトル光を前記分散素子によって前記スペクトルごとに異なる方向に波長分散させる、
請求項1又は2に記載の計測装置。 - 前記複数の光源は、隣接するスペクトルの周波数間隔が第1隣接周波数間隔である第1スペクトル光を発する第1の光源と、隣接するスペクトルの周波数間隔が第2隣接周波数間隔の第2スペクトル光を発する第2の光源と、を少なくとも備え、
同じ周波数軸で前記第1スペクトル光及び第2スペクトル光を並べた際に最も近くに隣り合うスペクトル同士の周波数間隔が、第1隣接周波数間隔及び前記第2隣接周波数間隔の半分未満である、
請求項1~3のいずれか一項に記載の計測装置。 - 前記複数の光源の少なくとも1つの光源が発するスペクトル光のキャリア・エンベロープ・オフセット周波数又は隣接周波数間隔を制御する制御部をさらに備える、
請求項1~4のいずれか一項に記載の計測装置。 - 前記空間フィルタリング光学系は、前記制御部によって制御されるスペクトル光のオフセット周波数及び隣接周波数間隔に応じて透過する光の位置や形状を変更可能な空間光変調器を備える、
請求項5に記載の計測装置。 - 互いに異なる周波数で分布しているスペクトルを2以上含むスペクトル光をそれぞれ発し、前記スペクトル光の隣接するスペクトルの周波数間隔である隣接周波数間隔がそれぞれ異なる複数の光源と、
前記複数の光源から発せられた複数のスペクトル光を前記スペクトルごとに互いに異なる方向にそれぞれ分散させる分散部と、
前記分散部によって分散された光源ごとの前記スペクトルを試料の複数の異なる集光点にそれぞれ集光し、且つ、1つの光源に基づく複数の集光点と他の光源に基づく複数の集光点とをそれぞれ重畳させる集光部と、
を備える、照射装置。 - 前記複数の光源は、隣接するスペクトルの周波数間隔が第1隣接周波数間隔である第1スペクトル光を発する第1の光源と、隣接するスペクトルの周波数間隔が第2隣接周波数間隔の第2スペクトル光を発する第2の光源と、を少なくとも備え、
同じ周波数軸で前記第1スペクトル光及び第2スペクトル光を並べた際に最も近くに隣り合うスペクトル同士の周波数間隔が、第1隣接周波数間隔及び前記第2隣接周波数間隔の半分未満である、
請求項7に記載の照射装置。 - 前記複数の光源は、試料の集光点に照射光をそれぞれ同時に照射し、
それぞれの光源からの前記照射光は、前記試料の集光点において互いに干渉する、
請求項7又は8に記載の照射装置。 - 離散的な複数の周波数値の周波数成分を有する第1光を発する第1光源と、
前記第1光とは異なる離散的な複数の周波数値の周波数成分を有する第2光を発する第2光源と、
前記第1光と前記第2光とを分散して、前記第1光に基づく第1周波数値の周波数成分を有する第1照射光の第1照射領域と、前記第2光に基づく第2周波数値の周波数成分を有する第2照射光の第2照射領域との、双方の領域の一部同士が重畳するように、前記第1照射光と前記第2照射光を集光する分散集光部と、を備え、
前記第1周波数値と前記第2周波数値との差分が、前記第1光の前記第1周波数値とそれに隣接する周波数値との差分以下となるように、前記第1照射光と前記第2照射光とを同時に照射する、
照射装置。 - 互いに異なる周波数で分布しているスペクトルを2以上含むスペクトル光を複数出射し、複数の前記スペクトル光のそれぞれにおいて隣接するスペクトルの周波数間隔である隣接周波数間隔が異なる光出射部と、
前記光出射部から発せられた複数のスペクトル光を前記スペクトルごとに互いに異なる方向にそれぞれ分散させる分散部と、
前記分散部によって分散された前記スペクトルを試料の複数の異なる集光点にそれぞれ集光させ、且つ、1つの前記スペクトル光に基づく複数の集光点と他の前記スペクトル光に基づく複数の集光点とをそれぞれ重畳させる集光部と、
前記集光部によって集光され、前記試料における集光点が重なる複数の重畳領域のそれぞれでの干渉光ビートにより発光する前記試料の情報を含む蛍光ビートの信号を取得する検出部と、
を備える、計測装置。 - 前記光出射部は、前記2つのスペクトル光をそれぞれ発し、前記隣接周波数間隔がそれぞれ異なる複数の光源を有する、
請求項11に記載の計測装置。 - 前記集光部によって集光され、前記試料における集光点が重なる複数の重畳領域のそれぞれでの干渉光ビートにより発光する前記試料の情報を含む蛍光ビートを、前記重畳領域と共役な位置に集光し空間フィルタリングする空間フィルタリング光学系をさらに備え、
前記検出部は、前記空間フィルタリング光学系で空間フィルタリングされた前記蛍光ビートの信号を取得する、
請求項11に記載の計測装置。 - 前記検出部は、前記蛍光ビートの位相情報を取得する、
請求項1又は請求項11に記載の計測装置。 - 互いに異なる周波数で分布しているスペクトルを2以上含むスペクトル光をそれぞれ発し、前記スペクトル光の隣接するスペクトルの周波数間隔である隣接周波数間隔がそれぞれ異なる光出射部と、
前記光出射部から出射された複数のスペクトル光を前記スペクトルごとに互いに異なる方向にそれぞれ分散させる分散部と、
前記分散部によって分散された光源ごとの前記スペクトルを試料の複数の異なる集光点にそれぞれ集光し、且つ、1つの光源に基づく複数の集光点と他の光源に基づく複数の集光点とをそれぞれ重畳させる集光部と、
を備える、照射装置。 - 互いに異なる周波数で分布しているスペクトルを2以上含むスペクトル光をそれぞれ発し、前記スペクトル光の隣接するスペクトルの周波数間隔である隣接周波数間隔がそれぞれ異なる複数の光源と、
前記複数の光源から発せられた複数のスペクトル光を前記スペクトルごとに互いに異なる方向にそれぞれ分散させる分散部と、
前記分散部によって分散された光源ごとの前記スペクトルを試料の複数の異なる集光点にそれぞれ集光し、且つ、1つの光源に基づく複数の集光点と他の光源に基づく複数の集光点とをそれぞれ重畳させる集光部と、
前記試料における集光点が重なる複数の重畳部のそれぞれでの干渉光ビートにより発光する前記試料の情報を含む蛍光ビートの信号を取得する検出部と、
を備える、計測装置。
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