JP7066943B2 - ベクトル・ネットワーク・アナライザ - Google Patents

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Description

本発明は、概して、ベクトル・ネットワーク・アナライザ(VNA)のような電気試験測定装置に関する。
トラッキング・ジェネレータ又はベクトル・ネットワーク・アナライザ(VNA)のような従来の装置では、複数の位相の安定した被試験デバイス(DUT)の反射や伝達の測定を行う必要がある。位相の安定を確実にするため、単一又は複数の信号発生装置又はレシーバが、共通の局部発振器(LO)を共用する。そのシステムの校正は、外部の反射標準器(例えば、SOLT(Short-Open-Load-Thru)、TRL(Thru-Reflect-Line)、SOLR(Short-Open-Load-Reciprocal)など、非特許文献1参照)を用いて実行され、これは、校正時点と測定時点の間の一貫した位相に依存している。
図1は、複数のレシーバ110及び112と、共用信号125(例えば、制御プロセッサ120からLO116によって)を有する従来のベクトル・ネットワーク・アナライザ(VNA)又はトラッキング・ジェネレータの例100を示すブロック図である。この例では、共通ソース(Source:信号源、信号発生装置)LO116が、共用信号125を、複数のレシーバ110及び112夫々への基準信号として加えて、無線周波数(RF)ブジッリ106への注入信号(injection 信号)として、そして続いて伝送ライン104を介して負荷102へと供給する。レシーバ110は、RFブリッジ160から反射(REFL)ポート信号17aも受ける。レシーバ112は、RFブリッジ160から基準(REF)ポート信号17bも受ける。
2つの信号(例えば、ブリッジの基準及び反射ポート)を測定する2つのレシーバ110及び112を示しているが、もっと複雑なマルチ・チャンネルのブリッジ、カプラ又はネットワークからの多数の信号を測定するのに、任意の個数の複数レシーバを利用しても良いことに注意すべきである。パスがスイッチされるときに、ブリッジのローディング(loading)が乱されないようなやり方で位相の安定したスイッチが接続されるならば、単一のレシーバで多数のレシーバを省くこともできる。
図2は、単一のレシーバ210と共用信号225(例えば、制御プロセッサ220からLO216によって)とを有する従来のVNA又はトラッキング・ジェネレータの例200を示すブロック図である。図1に示したVNA又はトラッキング・ジェネレータ100と同様に、共通ソースLO216は、共用信号225を、レシーバ210への基準信号として供給するのに加えて、無線周波数(RF)ブジッリ206への注入信号(injection signal)として、続いて伝送ライン204を介して負荷202へと供給する。スイッチング回路209は、RFブリッジ206から、反射(REFL)ポート信号207a及び基準(REF)ポート信号207bを受ける。スイッチング回路209は、信号207a及び207bのいずれかをレシーバ210へ供給する。一般に、共用信号は、ブリッジ自身の刺激信号か、又は、ソース内で位相が安定する方法で生成されるLOでも良い。
特開2003-279609号公報 特開2004-198415号公報
「3-9-1ネットワークアナライザ」、日本電気計測器工業会、技術解説、特に「1 測定原理」及び「4 校正」におけるSOLT(Short-Open-load-Thru)による校正手法の説明、[online]、[2021年3月23日検索]、インターネット<URL: https://www.jemima.or.jp/tech/3-09-01.html>
コスト低減とハードウェアの単純化のため、共通のシンセサイザ(synthesizer)構造を共用するよりは、レシーバと信号発生装置については、位相が同相ではないが周波数の安定したLOソースを利用するのが望ましいであろう。一般的なVNAには、その信号発生ポート上に種々の形式の反射ブリッジ又はカプラ配置がある。信号発生装置から結合された基準信号は、レシーバに配信されるが、arcsin(Vref/Vnorm)の反射係数に比例する位相エラーがあり、レシーバに対する基準信号発生装置の位相を、信号発生装置とレシーバ間の共通LOシステムの位相が同相なことに頼らずに、この基準ポートだけから得るのを困難にしている。
本発明の実施形態としては、大まかに言えば、ベクトル・ネットワーク・アナライザがあり、これは、外部の負荷の状態に影響されずに、信号発生装置とレシーバ間の相対的な位相測定を可能とするために、追加の信号パスを利用する。こうした実施形態によれば、レシーバ及び信号発生装置が、相対的には不安定な独立した局部発振器(LO)を、ネットワーク応答の位相の安定した測定で利用することを効果的に可能にできる。これは、単一のレシーバ及び信号発生装置が、それらの相対的な位相を確立するのを効果的に可能にするか、又は、複数のレシーバ及び複数の信号発生装置を含む実施形態では、それらの相対的な位相を確立するのを効果的に可能にする。
図1は、複数のレシーバ及び共用信号を有する従来のベクトル・ネットワーク・アナライザ (VNA)又はトラッキング・ジェネレータの例のブロック図である。 図2は、単一のレシーバ及び共用信号を有する従来のVNA又はトラッキング・ジェネレータの例のブロック図である。 図3は、本発明のある実施形態による校正パスを有するVNA又はトラッキング・ジェネレータの例を示すブロック図である。 図4は、本発明のある実施形態による共通の信号発生装置ソースを有するVNA又はトラッキング・ジェネレータの例を示すブロック図である。 図5は、本発明のある実施形態による、共通基準信号によって同期される複数のレシーバを有するVNA又はトラッキング・ジェネレータの第1例を示すブロック図である。 図6は、本発明のある実施形態による、共通基準信号によって同期される複数のレシーバを有するVNA又はトラッキング・ジェネレータの第2例を示すブロック図である。 図7は、本発明のある実施形態による、単一のレシーバによって同期される複数のソースを有するVNA又はトラッキング・ジェネレータの例を示すブロック図である。
本発明の実施形態としては、校正パスを有するベクトル・ネットワーク・アナライザ(VNA)のような電気試験測定装置がある。こうした実施形態には、レシーバ中に独立したソース(Source:信号源、信号発生装置)があり、このソースによれば、ブリッジ測定において、より高い安定性及び精度が可能になる。また、受信シンセサイザ又はソース・シンセサイザのいずれかにおける可変の静的位相オフセットが、測定において検出され、エラー項として除去される。更に、低コストで広帯域をカバーする単一の集積回路(IC)に組み入れられたシンセサイザを利用可能なため、コストを低減できる。
図3は、負荷302と、伝送ライン304と、反射ポート信号307a及び基準ポート信号307bをスイッチング回路309に供給する無線周波数(RF)ブリッジ306と、そして、校正パスとを有する、本発明のある実施形態によるVNA又はトラッキング・ジェネレータの第1例300を示すブロック図である。この例では、独立したソース信号325(例えば、信号発生装置321、LO317及びスイッチ314によって)と、レシーバ・ソース基準信号326とが、ソース信号と直列に示された、受信チャンネルにランダムな位相オフセットを与える位相シフタ(移相器)315と共に示されている。これらソース信号の夫々は、共通の基準信号に位相ロックされ、共通の制御プロセッサ320で制御され、そして、ソース信号の位相は既知ではない。レシーバ310は、2つのブリッジ信号のいずれか、上記ソース、又は内部的な終端にスイッチされる。単一のレシーバ310を示しているが、同様の実施を用いて、複数のレシーバを同期させても良いことに注意すべきである。
この例では、信号チャンネルの信号発生装置321には、単一の反射ブリッジ/カプラ306のマグニチュード及び位相を検知する単一のチャンネル・レシーバがあって、例えば、1ポートVNAにおいて利用される。信号発生装置321及びレシーバ310は、連続波又は変調信号のいずれかを使っても良い。レシーバ(単数又は複数)は、夫々独立の局部発振器を、例えば、独立の位相で、持つように構成されても良い。図2の例と比較すると、LO316は、図2の共通ソースLO216と同様に、制御プロセッサ320の制御に基づいて、図2の共用信号225と同様のソース信号であるLO信号324をレシーバ310に常に供給している一方で、共用信号225とは異なり、RFブリッジ306には、LO信号324を供給していない。即ち、LO信号324は、共用のソース信号ではなく、レシーバ個別のソース信号という点で、図2の共用信号225と異なる。そこで、ソース信号325の位相シフタ315における位相オフセットは、「ソース基準パス」のレシーバ・ソース基準信号326をサンプリングすることによって、求めるようにしても良い。ここで、S1は、スイッチか、又は、カップリング若しくは電力分配ネットワークかのいずれかに言及したものとしても良い。単一ブリッジ・ポート又はマルチ・ブリッジ・ポートからの信号をサンプルするのに単一のレシーバを利用する実施形態では、全てのスイッチ位置で、スイッチが、上記ブリッジに一貫した負荷を与えるように設計されても良い。これは、例えば、信号パスのアッテネーション、インピーダンス・マッチング、増幅によるバッファ処理、終端スイッチ・ネットワークを利用して実現されても良い。
図4は、本発明のある実施形態による共通の信号発生ソース(例えば、制御プロセッサ420からLO417によって)を有するVNA又はトラッキング・ジェネレータの例400を示すブロック図である。この例では、複数のレシーバ410、411及び412が、独立したLO410a、411a及び412aを夫々有し、複数の位相オフセットが、共通の基準信号に同期される。この観点において、複数のソース基準信号が、カプラ/電力分配回路網445によって分配される。別の実施形態では、カプラ/電力分配回路網445の代わりに、スイッチで実現される。
この例では、レシーバ410~412及び信号発生装置(Generators)は、「ソース基準」信号にスイッチして、相対的な位相を測定し、同じ周波数に夫々合わせることによって、位相同期できる。ソースとレシーバ間の周波数オフセットは、これら信号がレシーバ410~412の処理帯域幅内であれば、調節できる。レシーバ410~412は、一般に、スーパーヘテロダイン、ホモダイン、ダイレクト・コンバージョン又は同様のレシーバ手法を用いるアナログ又はデジタル・レシーバであることに注意されたい。単一又は複数のLO信号は、各レシーバによって生成しても良い。例えば、LO1(410a)は、実際は、3つのLO信号(例えば、3ステージ型スーパーヘテロダイン・コンバータ用のLO1a、LO1b及びLO1c)であっても良い。信号発生装置は、ダイレクト・ソース(直接的な信号源:例えば、VCO及びPLL、ダイレクト・デジタル・ソース又はダイレクト・アナログ・ソース)か、又は、インダイレクト・ソース(間接的な信号源:例えば、1つの局部発振器及びベースバンド信号、又は、複数の局部発振器及びベースバンド信号を用いる)かのいずれかであって、変調か又は連続波かのいずれかのベースバンド信号によるものであっても良い。
図5は、本発明のある実施形態による、共通基準信号によって同期される複数のレシーバを有するVNA又はトラッキング・ジェネレータの第1例500を示すブロック図である。この例では、単一の制御プロセッサ520が、ランダムな位相オフセットを有する独立したLO510a、511a及び512aを夫々有する複数のレシーバ510、511及び512を制御できる。N個のソース基準信号は、単一の信号発生装置517から配信される。図では、単純化したソースを示しているが、このソースは、インダイレクト・ソース(間接的な信号源:例えば、1つの局部発振器及びベースバンド信号、又は、複数の局部発振器及びベースバンド信号を用いる)であって、変調か又は連続波かのいずれかのベースバンド信号によるものであるか、又は、VCO及びPLL、ダイレクト・デジタル・ソース又はダイレクト・アナログ・ソースのようなダイレクト・ソース(直接的な信号源)であっても良い。
図6は、本発明のある実施形態による、共通の基準信号によって同期される複数のレシーバ(例えば、スペクトラム・アナライザ)を有するVNA又はトラッキング・ジェネレータの第2例600を示すブロック図である。この例では、同期回路601は、信号ソース(Gen1)617と、共通基準クロック618(例えば、これは、n個の外部スペクトラム・アナライザ610、611及び612を同期する10MHz 1...10MHz Nの出力信号を生成する)と、基準信号発生装置「Gen1」617を同期させる10MHz又は他の適切な信号と、スペクトラム・アナライザの各RF入力それぞれのための信号配信及びスイッチング回路610b、611b及び612bと、N個のRF入力とから構成される。信号1から信号nの制御プロセッサ620への入力としては、いくつかのUSBデータ信号か、USB/PXI/VXI等のような任意の他の共通データ・バスであっても良い。
図7は、本発明のある実施形態による、単一のレシーバ710によって同期される複数のソース710a、711a及び712aを有するVNA又はトラッキング・ジェネレータの例700を示すブロック図である。この例では、信号発生装置のチャンネルのSPDT(Single pole、dual throw)スイッチ710b、711b及び712bが、パスがオープンの場合に、内部的に終端された形態であるとしても良い。スイッチング中のブリッジの応答の安定性は、バッファ、増幅、アッテネーション、又は他の適切な機構を用いて改善されても良い。信号1は、変調又は連続波信号としても良い。ソース(信号発生装置)は、ヘテロダイン・ソースからなるダイレクト・ソースとしても良い。各信号発生装置の位相オフセットは、他のものに対して、例えば、共通のレシーバ710によって、検知されても良い。信号セレクタ745は、複数のソース基準信号の1つをレシーバ710に供給する。
図示した実施形態を参照しながら、本発明の原理を記述し、説明してきたが、こうした原理から離れることなく、図示した実施形態の構成や細部を変更したり、望ましい形態に組み合わせても良いことが理解できよう。先の説明では、特定の実施形態に絞って説明しているが、別の構成も考えられる。
特に、「本発明の実施形態によると」といった表現を本願では用いているが、こうした言い回しは、大まかに言って基準となる実施形態として可能であることを意味し、特定の実施形態の構成に限定することを意図するものではない。本願で用いているように、これら用語は、別の実施形態に組み合わせ可能な同じ又は異なる実施形態に言及するものである。
従って、本願で説明した実施形態は、幅広い種々の組み替えの観点から、この詳細な説明や添付の資料は、単に説明の都合によるものに過ぎず、本発明の範囲を限定するものと考えるべきではない。例えば、本発明の概念は、次のように記述しても良い。
本発明の概念1は、ベクトル・ネットワーク・アナライザであって、
制御プロセッサと、
上記制御プロセッサに結合された複数のレシーバであって、上記制御プロセッサからの共通信号発生ソースを有する複数の上記レシーバと、
複数のソース基準信号の夫々を対応する複数の上記レシーバの1つに分配するよう構成されるカプラ/電力分配回路網と
を具えている。
本発明の概念2は、上記概念1のベクトル・ネットワーク・アナライザであって、複数の上記レシーバの夫々は、独立した局部発振器(LO)を有している。
本発明の概念3は、上記概念2のベクトル・ネットワーク・アナライザであって、少なくとも1つの独立したLOが、複数のLO信号を生成するよう構成される。
本発明の概念4は、上記概念1のベクトル・ネットワーク・アナライザであって、複数の上記レシーバの夫々は、スーパーヘテロダイン・レシーバ、ホモダイン・レシーバ及びダイレクト・コンバージョン・レシーバからなるグループの中の1つである。
本発明の概念5は、上記概念1のベクトル・ネットワーク・アナライザであって、このとき、上記共通信号発生ソースは、ダイレクト・ソースである。
本発明の概念6は、上記概念5のベクトル・ネットワーク・アナライザであって、上記ダイレクト・ソースは、電圧制御発振器(VCO)及び位相ロック・ループ(PLL)からなるグループの中の1つである。
本発明の概念7は、上記概念5のベクトル・ネットワーク・アナライザであって、上記ダイレクト・ソースは、ダイレクト・デジタル・ソース及びダイレクト・アナログ・ソースからなるグループの中の1つである。
本発明の概念8は、上記概念1のベクトル・ネットワーク・アナライザであって、上記共通信号発生ソースは、インダイレクト・ソースである。
本発明の概念9は、上記概念8のベクトル・ネットワーク・アナライザであって、上記インダイレクト・ソースは、ベースバンド信号を用いた単一のLO及びベースバンド信号を用いた複数のLOからなるグループの中の1つである。
本発明の概念10は、ベクトル・ネットワーク・アナライザであって、
制御プロセッサと、
上記制御プロセッサに結合されたレシーバと、
上記レシーバと結合されたスイッチング回路と、
上記スイッチング回路と結合された無線周波数(RF)ブリッジと、
上記RFブリッジと結合された伝送ラインであって、負荷と結合されるよう構成される上記伝送ラインと、
上記RFブリッジと結合された信号発生装置と
を具えている。
本発明の概念11は、上記概念10のベクトル・ネットワーク・アナライザであって、上記RFブリッジは、複数の基準信号を上記スイッチング回路に供給するよう構成される。
本発明の概念12は、上記概念10のベクトル・ネットワーク・アナライザであって、上記信号発生装置は、ソース信号を上記RFブリッジに供給するよう構成される。
本発明の概念13は、上記概念10のベクトル・ネットワーク・アナライザであって、上記レシーバに結合された局部発振器(LO)を更に具えている。
本発明の概念14は、上記概念10のベクトル・ネットワーク・アナライザであって、上記信号発生装置に結合された局部発振器(LO)を更に具えている。
本発明の概念15は、上記概念14のベクトル・ネットワーク・アナライザであって、上記信号発生装置に結合され、上記RFブリッジ及び上記レシーバ間で切り替えるように構成されるスイッチを更に具えている。
本発明の概念16は、上記概念14のベクトル・ネットワーク・アナライザであって、上記制御プロセッサが、上記信号発生装置を共通基準信号に位相ロックするよう構成されている。
300 VNA又はトラッキング・ジェネレータ
302 負荷
306 RFブリッジ
307a 反射ポート信号(REFL)
307b 基準ポート信号(REF)
309 スイッチング回路
310 レシーバ
314 スイッチ
315 位相シフタ
317 局部発振器
320 制御プロセッサ
321 信号チャンネル発生装置
324 レシーバ個別LO信号(レシーバ個別ソース信号)
325 ソース信号
326 レシーバ・ソース基準信号
400 VNA又はトラッキング・ジェネレータ
406-1 RFブリッジ 1
406-n RFブリッジ n
410 レシーバ
411 レシーバ
412 レシーバ
410a 局部発振器
411a 局部発振器
412a 局部発振器
410b スイッチ
411b スイッチ
412b スイッチ
415 位相シフタ
417 局部発振器
420 制御プロセッサ
445 カプラ/電力分配回路網
500 VNA又はトラッキング・ジェネレータ
510 レシーバ
511 レシーバ
512 レシーバ
515 位相シフタ
520 制御プロセッサ
545 カプラ/電力分配回路網
600 VNA又はトラッキング・ジェネレータ
610 外部スペクトラム・アナライザ
611 外部スペクトラム・アナライザ
612 外部スペクトラム・アナライザ
610b スイッチング回路
611b スイッチング回路
612b スイッチング回路
620 制御プロセッサ
645 カプラ/電力分配回路網
700 VNA又はトラッキング・ジェネレータ
710 レシーバ
710a 局部発振器
711a 局部発振器
712a 局部発振器
710b スイッチング回路
711b スイッチング回路
712b スイッチング回路
720 制御プロセッサ
745 N入力信号セレクタ

Claims (1)

  1. 制御プロセッサと、
    レシーバ個別ソース信号を生成する信号源を夫々有し、上記制御プロセッサで制御され複数のレシーバと、
    記制御プロセッサで制御されて共通ソース信号を生成する共通信号発生ソースと
    負荷に結合されると共に上記共通ソース信号を受けて、測定時に複数の上記レシーバに出力信号を供給する無線周波数ブリッジと、
    上記測定時に上記無線周波数ブリッジに上記共通ソース信号を供給すると共に、校正時に、上記共通ソース信号を複数の上記レシーバに分配するよう構成されるカプラ/電力分配回路網と
    を具え
    上記制御プロセッサが、上記校正時に、上記レシーバ個別ソース信号と上記共通ソース信号の位相を一致させるよう構成されるベクトル・ネットワーク・アナライザ。
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