JP7063736B2 - 窒化物結晶基板の製造方法 - Google Patents
窒化物結晶基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7063736B2 JP7063736B2 JP2018112844A JP2018112844A JP7063736B2 JP 7063736 B2 JP7063736 B2 JP 7063736B2 JP 2018112844 A JP2018112844 A JP 2018112844A JP 2018112844 A JP2018112844 A JP 2018112844A JP 7063736 B2 JP7063736 B2 JP 7063736B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- absorption coefficient
- peak
- nitride crystal
- concentration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/06—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
- C01B21/0632—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with gallium, indium or thallium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/40—AIIIBV compounds wherein A is B, Al, Ga, In or Tl and B is N, P, As, Sb or Bi
- C30B29/403—AIII-nitrides
- C30B29/406—Gallium nitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B25/00—Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
- C30B25/02—Epitaxial-layer growth
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/40—AIIIBV compounds wherein A is B, Al, Ga, In or Tl and B is N, P, As, Sb or Bi
- C30B29/403—AIII-nitrides
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/0237—Materials
- H01L21/02387—Group 13/15 materials
- H01L21/02389—Nitrides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/10—Measuring as part of the manufacturing process
- H01L22/12—Measuring as part of the manufacturing process for structural parameters, e.g. thickness, line width, refractive index, temperature, warp, bond strength, defects, optical inspection, electrical measurement of structural dimensions, metallurgic measurement of diffusions
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2002/00—Crystal-structural characteristics
- C01P2002/80—Crystal-structural characteristics defined by measured data other than those specified in group C01P2002/70
- C01P2002/82—Crystal-structural characteristics defined by measured data other than those specified in group C01P2002/70 by IR- or Raman-data
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
- C01P2006/40—Electric properties
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N2021/8477—Investigating crystals, e.g. liquid crystals
Description
III族窒化物の結晶からなり、n型不純物を含む窒化物結晶基板であって、
波長をλ(μm)、27℃における前記窒化物結晶基板の吸収係数をα(cm-1)、前記窒化物結晶基板中のキャリア濃度をNe(cm-3)、Kおよびaをそれぞれ定数としたときに、少なくとも1μm以上3.3μm以下の波長範囲における前記吸収係数αが、最小二乗法で式(1)
α=NeKλa ・・・(1)
(ただし、1.5×10-19≦K≦6.0×10-19、a=3)
により近似され、
波長2μmにおいて、式(1)から求められる前記吸収係数αに対する、実測される前記吸収係数の誤差は、±0.1α以内であり、
前記窒化物結晶基板に対して赤外光を照射することで測定された反射スペクトルは、1,200cm-1以上1,500cm-1以下の波数範囲内にピークトップを持つピークを有しない
窒化物結晶基板が提供される。
III族窒化物の結晶からなり、n型不純物を含む窒化物結晶基板であって、
波長をλ(μm)、27℃における前記窒化物結晶基板の吸収係数をα(cm-1)、前記窒化物結晶基板中のキャリア濃度をNe(cm-3)、Kおよびaをそれぞれ定数としたときに、少なくとも1μm以上3.3μm以下の波長範囲における前記吸収係数αが、最小二乗法で式(1)
α=NeKλa ・・・(1)
(ただし、1.5×10-19≦K≦6.0×10-19、a=3)
により近似され、
波長2μmにおいて、式(1)から求められる前記吸収係数αに対する、実測される前記吸収係数の誤差は、±0.1α以内であり、
前記窒化物結晶基板に対して赤外光を照射することで測定された反射スペクトルは、1,200cm-1以上1,500cm-1以下の波数範囲内にピークトップを持つピークを有し、当該ピークのピークトップの強度反射率の、当該反射スペクトルのベースラインの強度反射率からの差であるピーク高さは、35%以下である
窒化物結晶基板が提供される。
III族窒化物の結晶からなり、n型不純物を含む窒化物結晶基板であって、
波長をλ(μm)、27℃における前記窒化物結晶基板の吸収係数をα(cm-1)、前記窒化物結晶基板中のキャリア濃度をNe(cm-3)、Kおよびaをそれぞれ定数としたときに、少なくとも1μm以上3.3μm以下の波長範囲における前記吸収係数αが、最小二乗法で式(1)
α=NeKλa ・・・(1)
(ただし、1.5×10-19≦K≦6.0×10-19、a=3)
により近似され、
波長2μmにおいて、式(1)から求められる前記吸収係数αに対する、実測される前記吸収係数の誤差は、±0.1α以内である窒化物結晶基板を準備する準備工程と、
前記窒化物結晶基板に対して赤外光を照射することで反射スペクトルを測定し、当該反射スペクトルが1,200cm-1以上1,500cm-1以下の波数範囲内にピークトップを持つピークを有するかどうかを調べる検査工程と
を有する窒化物結晶基板の製造方法が提供される。
以下、本発明の一実施形態について図面を参照しながら説明する。
図1(a)および図1(b)を用い、本実施形態に係る窒化物結晶基板10(以下、基板10ともいう)について説明する。図1(a)は、基板10を示す概略平面図であり、図1(b)は、基板10を示す概略断面図である。
なお、基板10を構成するGaN結晶は、基板10の主面に対して所定のオフ角を有していても良い。オフ角とは、基板10の主面の法線方向と、基板10を構成するGaN結晶の主軸(c軸)とのなす角度のことをいう。具体的には、基板10のオフ角は、例えば、0°以上1.2°以下である。また、これよりも大きく、2°以上4°以下とすることも考えられる。さらには、例えば、a方向およびm方向のそれぞれにオフ角を有する、いわゆるダブルオフであっても良い。
本実施形態において、基板10は、赤外域の吸収係数について所定の要件を満たしている。以下、詳細を説明する。
α=NeKλa ・・・(1)
(ただし、1.5×10-19≦K≦6.0×10-19、a=3)
1.5×10-19Neλ3≦α≦6.0×10-19Neλ3 ・・・(1’)
α=2.2×10-19Neλ3 ・・・(1”)
0.15λ3≦α≦6λ3 ・・・(2)
0.15λ3≦α≦3λ3 ・・・(2’)
0.15λ3≦α≦1.2λ3 ・・・(2”)
これにより、基板10を安定的に加熱可能としつつ、基板10のより良好な結晶性を確保することができる。
Δα≦1.0 ・・・(3)
Δα>1.0であると、赤外線の照射による加熱効率が基板10の主面内で不均一となる可能性がある。これに対し、Δα≦1.0とすることにより、赤外線の照射による加熱効率を基板10の主面内で均一にすることができる。
Δα≦0.5 ・・・(3’)
Δα≦0.5とすることにより、赤外線の照射による加熱効率を基板10の主面内で安定的に均一にすることができる。
Δα=8KΔNe ・・・(4)
反射型FTIR法により測定される基板10の反射スペクトルを、理論式から求める方法について説明する。また、反射型FTIR法により測定される主面の反射率に基づいた、基板10のキャリア濃度NIRおよび移動度μIRの求め方について説明する。以下、基板10に対して赤外線を照射することで測定された反射スペクトルを「測定された反射スペクトル」と称し、理論式から求められた反射スペクトルを「計算された反射スペクトル」と称することがある。計算された反射スペクトルを求めるために、基板10の構造を表す光学モデルと、基板10の誘電関数を表す誘電関数モデルと、が用いられる。
ε∞=5.35、
me *=0.22m0、
ωLO=735cm-1、
ωTO=557cm-1、
ΓLO=12cm-1
ΓTO=6cm-1、
図6(a)でのγ=35.4cm-1
図6(b)でのγ=132.6cm-1
とした。
1/ρ=eNElecμElec ・・・(14)
次に、本実施形態に係る基板10の製造方法について説明する。図10に示すように、本実施形態の基板10の製造方法は、成長工程S110と、スライス工程S120と、検査工程S130と、を含む。
成長工程S110では、例えばハイドライド気相成長装置(HVPE装置)200を用いて、基板10を構成するGaN結晶を成長させる。
ここで、基板10の製造に用いるHVPE装置200の構成について、図11を参照しながら詳しく説明する。
本ステップでは、先ず、反応容器203の炉口を開放し、サセプタ208上に種基板5を載置する。サセプタ208上に載置する種基板5は、基板10を製造するための基(種)となるもので、窒化物半導体の一例であるGaNの単結晶からなる板状のものである。
本ステップでは、反応室201内への種基板5の搬入が完了した後に、炉口を閉じ、反応室201内の加熱および排気を実施しながら、反応室201内へのH2ガス、或いは、H2ガスおよびN2ガスの供給を開始する。そして、反応室201内が所望の処理温度、処理圧力に到達し、反応室201内の雰囲気が所望の雰囲気となった状態で、ガス供給管232a,232bからのHClガス、NH3ガスの供給を開始し、種基板5の表面に対してGaClガスおよびNH3ガスをそれぞれ供給する。
処理圧力:0.5~2気圧
GaClガスの分圧:0.1~20kPa
NH3ガスの分圧/GaClガスの分圧:1~100
H2ガスの分圧/GaClガスの分圧:0~100
SiH2Cl2ガスの分圧:2.5×10-5~1.3×10-3kPa
種基板5上に所望の厚さのGaN結晶6を成長させたら、反応室201内へNH3ガス、N2ガスを供給しつつ、また、反応室201内を排気した状態で、ガス生成器233aへのHClガスの供給、反応室201内へH2ガスの供給、ゾーンヒータ207a,207bによる加熱をそれぞれ停止する。そして、反応室201内の温度が500℃以下に降温したらNH3ガスの供給を停止し、反応室201内の雰囲気をN2ガスへ置換して大気圧に復帰させる。そして、反応室201内を、例えば200℃以下の温度、すなわち、反応容器203内からのGaNの結晶インゴット(主面上にGaN結晶6が形成された種基板5)の搬出が可能となる温度へと降温させる。その後、結晶インゴットを反応室201内から外部へ搬出する。
成長工程S110の後、スライス工程S120を行う。スライス工程S120では、搬出した結晶インゴットを例えばGaN結晶6の成長面と平行な方向にスライスする。これにより、図12(b)に示すように、1枚以上の基板10を得ることができる。基板10の各種組成や各種物性等は、上述した通りであるので説明を割愛する。このスライス加工は、例えばワイヤソーや放電加工機等を用いて行うことが可能である。基板10の厚さは250μm以上、例えば400μm程度の厚さとする。その後、基板10の表面(+c面)に対して所定の研磨加工を施すことで、この面をエピレディなミラー面とする。なお、基板10の裏面(-c面)はラップ面あるいはミラー面とする。
検査工程S130では、反射型FTIR法を用いて、基板10を構成するGaN結晶の質について検査する。検査工程S130は、測定ステップと、判定ステップと、を有する。以下、詳細を説明する。
作製された複数の基板10のそれぞれに対して、赤外光を照射することで、反射型FTIR法により反射スペクトルを測定する。反射スペクトルは、各基板10の主面内の少なくとも1つの位置に対して測定する。測定された反射スペクトルに対し上述のようなフィッティングを行うことで、基板10のキャリア濃度NIRおよび移動度μIRを求める。さらに、測定された反射スペクトルが、1,200cm-1以上1,500cm-1以下の波数範囲内にピークトップを持つピーク(波数1,400cm-1程度のピーク)を有するかどうか調べる。当該ピークが検出された場合、そのピーク高さを測定する。ピーク高さに基づいて、基板10の点欠陥密度を求めてもよい。なお、必要に応じ、波数1,400cm-1程度のピーク以外のピークについても、ピークの有無の検査、ピーク高さの測定等を行ってよい。
次に、各基板10のキャリア濃度NIRおよび移動度μIRが所定の許容範囲内であるかどうかを判定し、当該許容範囲内のキャリア濃度NIRおよび移動度μIRを有する基板10を選別する。また、各基板10の測定された反射スペクトルが波数1,400cm-1程度のピークを有するかどうかを判定し、当該ピークを有しない基板10、および、当該ピークを有してもそのピーク高さが所定の許容範囲内である基板10を選別する。なお、当該ピークを有しない基板10を、最良品として選別してもよい。
本実施形態によれば、以下に示す1つまたは複数の効果が得られる。
論文(A):A.S. Barker Physical Review B 7 (1973) p743 Fig.8
論文(B):P. Perlin, Physicsl Review Letter 75 (1995) p296 Fig.1 0.3GPaの曲線から推定。
論文(C):G. Bentoumi, Materical Science Engineering B50 (1997) p142-147 Fig.1
論文(D):S. Porowski, J. Crystal Growth 189-190 (1998) p.153-158 Fig.3 ただし、T=12K
以上、本発明の実施形態を具体的に説明した。しかしながら、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
以下、本発明の好ましい態様について付記する。
III族窒化物の結晶からなり、n型不純物を含む窒化物結晶基板であって、
波長をλ(μm)、27℃における前記窒化物結晶基板の吸収係数をα(cm-1)、前記窒化物結晶基板中のキャリア濃度をNe(cm-3)、Kおよびaをそれぞれ定数としたときに、少なくとも1μm以上3.3μm以下の波長範囲における前記吸収係数αが、最小二乗法で式(1)
α=NeKλa ・・・(1)
(ただし、1.5×10-19≦K≦6.0×10-19、a=3)
により近似され、
波長2μmにおいて、式(1)から求められる前記吸収係数αに対する、実測される前記吸収係数の誤差は、±0.1α以内であり、
前記窒化物結晶基板に対して赤外光を照射することで測定された反射スペクトルは、1,200cm-1以上1,500cm-1以下の波数範囲内にピークトップを持つピークを有しない
窒化物結晶基板。
III族窒化物の結晶からなり、n型不純物を含む窒化物結晶基板であって、
波長をλ(μm)、27℃における前記窒化物結晶基板の吸収係数をα(cm-1)、前記窒化物結晶基板中のキャリア濃度をNe(cm-3)、Kおよびaをそれぞれ定数としたときに、少なくとも1μm以上3.3μm以下の波長範囲における前記吸収係数αが、最小二乗法で式(1)
α=NeKλa ・・・(1)
(ただし、1.5×10-19≦K≦6.0×10-19、a=3)
により近似され、
波長2μmにおいて、式(1)から求められる前記吸収係数αに対する、実測される前記吸収係数の誤差は、±0.1α以内であり、
前記窒化物結晶基板に対して赤外光を照射することで測定された反射スペクトルは、1,200cm-1以上1,500cm-1以下の波数範囲内にピークトップを持つピークを有し、当該ピークのピークトップの強度反射率の、当該反射スペクトルのベースラインの強度反射率からの差であるピーク高さは、35%以下、より好ましくは30%以下、さらに好ましくは25%以下である
窒化物結晶基板。
前記窒化物結晶基板の主面内において、前記ピーク高さの最小のものに対する最大のものの比率は、1.5倍以下である
付記2に記載の窒化物結晶基板。
前記窒化物結晶基板の主面内における前記吸収係数αの最大値と最小値との差をΔαとしたとき、少なくとも1μm以上3.3μm以下の波長範囲において、前記Δαは、式(3)を満たす
付記1~3のいずれか1つに記載の窒化物結晶基板。
Δα≦1.0 ・・・(3)
前記測定された反射スペクトルのベースラインは、前記窒化物結晶基板の構造を表す光学モデル、および、当該窒化物結晶基板の誘電関数を表す誘電関数モデルを用いて、計算された反射スペクトルで表すことができ、
当該計算された反射スペクトルは、当該計算された反射スペクトルを、当該測定された反射スペクトルにフィッティングさせるように、当該光学モデルおよび当該誘電関数モデルにおいて当該窒化物結晶基板のキャリア濃度および移動度が設定されることで求められる反射スペクトルである
付記1~4のいずれか1つに記載の窒化物結晶基板。
前記誘電関数モデルは、ローレンツ-ドルーデモデルである
付記5に記載の窒化物結晶基板。
前記III族窒化物は、GaNである
付記1~6のいずれか1つに記載の窒化物結晶基板。
III族窒化物の結晶からなり、n型不純物を含む窒化物結晶基板であって、
波長をλ(μm)、27℃における前記窒化物結晶基板の吸収係数をα(cm-1)、前記窒化物結晶基板中のキャリア濃度をNe(cm-3)、Kおよびaをそれぞれ定数としたときに、少なくとも1μm以上3.3μm以下の波長範囲における前記吸収係数αが、最小二乗法で式(1)
α=NeKλa ・・・(1)
(ただし、1.5×10-19≦K≦6.0×10-19、a=3)
により近似され、
波長2μmにおいて、式(1)から求められる前記吸収係数αに対する、実測される前記吸収係数の誤差は、±0.1α以内である窒化物結晶基板を準備する準備工程と、
前記窒化物結晶基板に対して赤外光を照射することで反射スペクトルを測定し、当該反射スペクトルが1,200cm-1以上1,500cm-1以下の波数範囲内にピークトップを持つピークを有するかどうかを調べる検査工程と
を有する窒化物結晶基板の製造方法。
前記検査工程では、前記窒化物結晶基板の主面内の複数位置のそれぞれに対して、前記反射スペクトルを測定し、検出された前記ピークのピークトップの強度反射率の、当該反射スペクトルのベースラインの強度反射率からの差であるピーク高さを求め、当該複数位置のそれぞれに対して求められた当該ピーク高さ同士を比較する
付記8に記載の窒化物結晶基板の製造方法。
前記検査工程では、検出された前記ピークのピークトップの強度反射率の、当該反射スペクトルのベースラインの強度反射率からの差であるピーク高さに基づいて、前記窒化物結晶基板の点欠陥密度を推定する
付記8または9に記載の窒化物結晶基板の製造方法。
前記III族窒化物は、GaNである
付記8~10のいずれか1つに記載の窒化物結晶基板の製造方法。
Claims (3)
- III族窒化物の結晶からなり、n型不純物を含む窒化物結晶基板であって、
波長をλ(μm)、27℃における前記窒化物結晶基板の吸収係数をα(cm-1)、前記窒化物結晶基板中のキャリア濃度をNe(cm-3)、Kおよびaをそれぞれ定数としたときに、少なくとも1μm以上3.3μm以下の波長範囲における前記吸収係数αが、最小二乗法で式(1)
α=NeKλa ・・・(1)
(ただし、1.5×10-19≦K≦6.0×10-19、a=3)
により近似され、
波長2μmにおいて、式(1)から求められる前記吸収係数αに対する、実測される前記吸収係数の誤差は、±0.1α以内である窒化物結晶基板を準備する準備工程と、
前記窒化物結晶基板に対して赤外光を照射することで反射スペクトルを測定し、当該反射スペクトルが1,200cm-1以上1,500cm-1以下の波数範囲内にピークトップを持つピークを有するかどうかを調べる検査工程と
を有する窒化物結晶基板の製造方法。 - 前記検査工程では、前記窒化物結晶基板の主面内の複数位置のそれぞれに対して、前記反射スペクトルを測定し、検出された前記ピークのピークトップの強度反射率の、当該反射スペクトルのベースラインの強度反射率からの差であるピーク高さを求め、当該複数位置のそれぞれに対して求められた当該ピーク高さ同士を比較する
請求項1に記載の窒化物結晶基板の製造方法。 - 前記検査工程では、検出された前記ピークのピークトップの強度反射率の、当該反射スペクトルのベースラインの強度反射率からの差であるピーク高さに基づいて、前記窒化物結晶基板の点欠陥密度を推定する
請求項1または2に記載の窒化物結晶基板の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018112844A JP7063736B2 (ja) | 2018-06-13 | 2018-06-13 | 窒化物結晶基板の製造方法 |
US16/435,628 US11377756B2 (en) | 2018-06-13 | 2019-06-10 | Nitride crystal substrate and method for manufacturing the same |
CN201910502514.XA CN110592675B (zh) | 2018-06-13 | 2019-06-11 | 氮化物晶体基板及其制造方法 |
US17/649,983 US20220154367A1 (en) | 2018-06-13 | 2022-02-04 | Nitride crystal substrate and method for manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018112844A JP7063736B2 (ja) | 2018-06-13 | 2018-06-13 | 窒化物結晶基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019214496A JP2019214496A (ja) | 2019-12-19 |
JP7063736B2 true JP7063736B2 (ja) | 2022-05-09 |
Family
ID=68839646
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018112844A Active JP7063736B2 (ja) | 2018-06-13 | 2018-06-13 | 窒化物結晶基板の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US11377756B2 (ja) |
JP (1) | JP7063736B2 (ja) |
CN (1) | CN110592675B (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112397571B (zh) * | 2021-01-18 | 2021-04-23 | 苏州纳维科技有限公司 | 一种氮化镓衬底及半导体复合衬底 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011256082A (ja) | 2010-06-10 | 2011-12-22 | Sumitomo Electric Ind Ltd | GaN結晶自立基板およびその製造方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1993292B (zh) * | 2004-08-20 | 2011-12-21 | 三菱化学株式会社 | 金属氮化物及金属氮化物的制造方法 |
US8853086B2 (en) * | 2011-05-20 | 2014-10-07 | Applied Materials, Inc. | Methods for pretreatment of group III-nitride depositions |
US10266963B2 (en) * | 2013-03-08 | 2019-04-23 | The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy | Growth of crystalline materials on two-dimensional inert materials |
JP6330407B2 (ja) | 2014-03-20 | 2018-05-30 | 住友電気工業株式会社 | Iii族窒化物半導体素子、iii族窒化物半導体エピタキシャル基板およびiii族窒化物半導体素子の製造方法 |
JP6356315B1 (ja) | 2017-05-29 | 2018-07-11 | 株式会社サイオクス | 窒化物結晶基板、半導体積層物、半導体積層物の製造方法および半導体装置の製造方法 |
JP6352502B1 (ja) | 2017-06-27 | 2018-07-04 | 株式会社サイオクス | 膜厚測定方法、窒化物半導体積層物の製造方法および窒化物半導体積層物 |
JP7112879B2 (ja) | 2018-05-15 | 2022-08-04 | 株式会社サイオクス | 窒化物半導体積層物の製造方法、膜質検査方法および半導体成長装置の検査方法 |
-
2018
- 2018-06-13 JP JP2018112844A patent/JP7063736B2/ja active Active
-
2019
- 2019-06-10 US US16/435,628 patent/US11377756B2/en active Active
- 2019-06-11 CN CN201910502514.XA patent/CN110592675B/zh active Active
-
2022
- 2022-02-04 US US17/649,983 patent/US20220154367A1/en active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011256082A (ja) | 2010-06-10 | 2011-12-22 | Sumitomo Electric Ind Ltd | GaN結晶自立基板およびその製造方法 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
7a-S22-1 赤外分光を用いた自立GaN基板上GaNホモエピタキシャル層の非破壊膜厚測定,第78回応用物理学会秋季学術講演会 講演予稿集(2017福岡国際会議場),2017年09月07日,12-208 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN110592675B (zh) | 2022-08-23 |
JP2019214496A (ja) | 2019-12-19 |
US20190382920A1 (en) | 2019-12-19 |
US11377756B2 (en) | 2022-07-05 |
US20220154367A1 (en) | 2022-05-19 |
CN110592675A (zh) | 2019-12-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6352502B1 (ja) | 膜厚測定方法、窒化物半導体積層物の製造方法および窒化物半導体積層物 | |
US11946874B2 (en) | Method for producing nitride semiconductor laminate, silicon semiconductor product, method for inspecting film quality and method for inspecting semiconductor growth device | |
Cho et al. | Effect of carrier gas on GaN epilayer characteristics | |
US11339500B2 (en) | Nitride crystal substrate, semiconductor laminate, method of manufacturing semiconductor laminate and method of manufacturing semiconductor device | |
US20220154367A1 (en) | Nitride crystal substrate and method for manufacturing the same | |
Pandey et al. | Structural and optical characteristics investigations in oxygen ion implanted GaN epitaxial layers | |
Horta et al. | AlGaN films grown by reactive magnetron sputtering on glass substrates with different Al content | |
Du et al. | Development of SiGeSn technique towards mid-infrared devices in silicon photonics | |
JP6901995B2 (ja) | 膜厚測定方法、窒化物半導体積層物の製造方法および窒化物半導体積層物 | |
JP7141849B2 (ja) | 窒化物結晶基板および窒化物結晶基板の製造方法 | |
Balmer et al. | In situ optical monitoring of AlGaN thickness and composition during MOVPE growth of AlGaN/GaN microwave HFETs | |
Zhang et al. | Structure, optical spectra and biaxial stress of (0002) AlN epilayers grown on c‐sapphire by high‐temperature chemical vapor deposition | |
Li et al. | Structural characterization of AlN thin films grown on sapphire by atomic layer deposition | |
JP7296509B2 (ja) | 半導体積層物 | |
JP7101736B2 (ja) | GaN単結晶基板および半導体積層物 | |
JP6783269B2 (ja) | 窒化物結晶基板、半導体積層物、窒化物結晶基板の製造方法、半導体積層物の製造方法および半導体装置の製造方法 | |
Szymański et al. | Stress control by micropits density variation in strained AlGaN/GaN/SiN/AlN/Si (111) heterostructures | |
Kasic et al. | Highly homogeneous bulk-like 2′′ GaN grown by HVPE on MOCVD–GaN template | |
Hardtdegen et al. | Use of wafer temperature determination for the study of unintentional parameter influences for the MOVPE of III‐nitrides | |
Pezoldt et al. | Determination of strain and composition in SiC/Si and AlN/Si heterostructures by FTIR-ellipsometry | |
JPH11283925A (ja) | 化合物半導体の製膜方法 | |
Mitsumoto et al. | Preparation and Raman spectra of ZnSe/GaAs heteroepitaxial layers |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210323 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211214 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220118 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220316 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220405 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220421 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7063736 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |