JP7057493B2 - Light emitting device and its manufacturing method - Google Patents

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本発明は、発光装置に関する。 The present invention relates to a light emitting device.

従来から、液晶ディスプレイのバックライト用に発光ダイオード等の半導体発光素子が用いられている。例えば、特許文献1には、その従来技術として、複数の発光ダイオードを備えた照明装置において、発光ダイオードとは別に設けた発光パネルに発光ダイオードにそれぞれ対応して光遮蔽部を形成することにより照明装置全体してのとしての輝度むらを改善した照明装置が開示されている。また、特許文献1には、その従来の照明装置では、製造コストが高くなることから、個々の発光ダイオードにそれぞれ光遮蔽膜を形成することが開示されている。 Conventionally, semiconductor light emitting elements such as light emitting diodes have been used for the backlight of a liquid crystal display. For example, in Patent Document 1, as a prior art thereof, in a lighting device provided with a plurality of light emitting diodes, illumination is performed by forming a light shielding portion corresponding to each light emitting diode on a light emitting panel provided separately from the light emitting diode. A lighting device having improved brightness unevenness as a whole device is disclosed. Further, Patent Document 1 discloses that a light shielding film is formed on each light emitting diode because the manufacturing cost of the conventional lighting device is high.

特開2001-257381号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2001-257381

しかしながら、特許文献1に開示された正面の輝度を抑えた発光ダイオード等の従来の発光装置は、例えば、薄型の照明装置等の光源に使用されたときに輝度ムラを十分小さくすることはできなかった。 However, conventional light emitting devices such as light emitting diodes that suppress front brightness disclosed in Patent Document 1 cannot sufficiently reduce brightness unevenness when used as a light source such as a thin lighting device. rice field.

そこで、本発明は、例えば、薄型の照明装置等の光源に使用されたときに輝度ムラを小さくすることができる発光装置を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a light emitting device capable of reducing luminance unevenness when used as a light source such as a thin lighting device.

以上の目的を達成するために、本発明に係る一実施形態の発光装置は、第1の光を発光する発光素子と、前記発光素子を被覆する導光部材と、上面と下面とを有し、該下面が前記導光部材の上面に対向するように設けられた板状の透光性部材と、前記透光性部材の上面又は下面に設けられ、前記第1の光の少なくとも一部を反射する反射膜と、を有し、前記透光性部材の母材は無機材料であることを特徴とする。 In order to achieve the above object, the light emitting device of one embodiment according to the present invention has a light emitting element that emits first light, a light guide member that covers the light emitting element, and an upper surface and a lower surface. A plate-shaped translucent member provided so that the lower surface faces the upper surface of the light guide member, and at least a part of the first light provided on the upper surface or the lower surface of the translucent member. It has a reflective film that reflects light, and the base material of the translucent member is an inorganic material.

また、本発明に係る一実施形態の発光装置の製造方法は、
無機材料からなる透光性基板を準備する工程と、
前記準備した透光性基板の一方の面に、反射膜層を形成する工程と、
前記反射膜層が形成された透光性基板を切断して、それぞれ板状の透光性部材と反射膜とを含む複数の第1複合体に分離する工程と、
それぞれ正の配線と負の配線を含む複数の単位領域を有する集合基板を準備する工程と、
前記準備した集合基板の単位領域にそれぞれ発光素子を実装する工程と、
前記発光素子が実装された集合基板上に、隣接する発光素子間を埋めかつ複数の発光素子を一括して覆う導光部材層を形成する工程と、
前記導光部材層を硬化させて、その硬化した導光部材層を隣接する発光素子間で切断して、それぞれ基板と発光素子と前記基板上で発光素子を覆う導光部材とを含む第2複合体に分離する工程と、
前記第1複合体と前記第2複合体とを、前記反射膜又は前記透光性基板の前記反射膜が形成された面とは反対側の面と前記導光部材とが対向するように接合する工程と、
を含む。
Further, the method for manufacturing the light emitting device according to the present invention is as follows.
The process of preparing a translucent substrate made of an inorganic material,
A step of forming a reflective film layer on one surface of the prepared translucent substrate, and
A step of cutting the translucent substrate on which the reflective film layer is formed and separating the translucent substrate into a plurality of first complexes including a plate-shaped translucent member and a reflective film, respectively.
The process of preparing an assembly board with multiple unit areas, each containing positive and negative wiring, and
The process of mounting the light emitting element in each unit area of the prepared collective substrate, and
A step of forming a light guide member layer that fills the space between adjacent light emitting elements and collectively covers a plurality of light emitting elements on the collective substrate on which the light emitting element is mounted.
A second light guide member layer is cured, and the cured light guide member layer is cut between adjacent light emitting elements to include a substrate, a light emitting element, and a light guide member covering the light emitting element on the substrate, respectively. The process of separating into a complex and
The first complex and the second complex are joined so that the surface of the reflective film or the translucent substrate opposite to the surface on which the reflective film is formed faces the light guide member. And the process to do
including.

以上のように構成された一実施形態の発光装置によれば、例えば、薄型の照明装置等の光源に使用されたときに輝度ムラを小さくすることができる発光装置を提供することができる。
また、以上のように構成された一実施形態の発光装置の製造方法によれば、例えば、薄型の照明装置等の光源に使用されたときに輝度ムラを小さくすることはできる発光装置を製造することができる。
According to the light emitting device of one embodiment configured as described above, it is possible to provide a light emitting device capable of reducing luminance unevenness when used as a light source such as a thin lighting device.
Further, according to the method for manufacturing a light emitting device of one embodiment configured as described above, for example, a light emitting device capable of reducing luminance unevenness when used as a light source such as a thin lighting device is manufactured. be able to.

本発明に係る実施形態の発光装置の断面図である。It is sectional drawing of the light emitting device of embodiment which concerns on this invention. 実施形態の発光装置の製造方法において、準備した透光性基板の断面図である。It is sectional drawing of the translucent substrate prepared in the manufacturing method of the light emitting device of embodiment. 実施形態の発光装置の製造方法において、準備した透光性基板の一方の面に反射膜層を形成したときの断面図である。It is sectional drawing when the reflective film layer is formed on one surface of the prepared translucent substrate in the manufacturing method of the light emitting device of embodiment. 実施形態の発光装置の製造方法において、一方の面に反射膜層が形成された透光性基板を切断して、第1複合体に形成したときの断面図である。It is sectional drawing when the translucent substrate which the reflective film layer was formed on one surface was cut and formed into the 1st complex in the manufacturing method of the light emitting apparatus of embodiment. 実施形態の発光装置の製造方法において、準備した集合基板の断面図である。It is sectional drawing of the assembly board prepared in the manufacturing method of the light emitting device of embodiment. 実施形態の発光装置の製造方法において、集合基板の各単位領域にそれぞれ発光素子を実装したときの断面図である。It is sectional drawing when the light emitting element is mounted on each unit area of the assembly board in the manufacturing method of the light emitting device of embodiment. 実施形態の発光装置の製造方法において、隣接する発光素子2間を埋めかつ複数の発光素子2を一括して覆う導光部材層を形成したときの断面図である。It is sectional drawing when forming the light guide member layer which fills the space between adjacent light emitting elements 2 and collectively covers a plurality of light emitting elements 2 in the manufacturing method of the light emitting device of embodiment. 実施形態の発光装置の製造方法において、硬化した導光部材層を隣接する発光素子2間で基板ごと切断して、第2複合体に分離したときの断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view when the cured light guide member layer is cut together with a substrate between adjacent light emitting elements 2 and separated into a second complex in the method for manufacturing a light emitting device of the embodiment. 実施形態の発光装置の製造方法において、第1複合体と第2複合体52とを、反射膜と導光部材とが対向するように接合したときの断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view when the first complex and the second complex 52 are joined so that the reflective film and the light guide member face each other in the method of manufacturing the light emitting device of the embodiment. 実施例に使用した反射膜の波長に対する透過率を示すグラフである。It is a graph which shows the transmittance with respect to the wavelength of the reflective film used in an Example. 実施例の発光装置の配光特性を示すグラフである。It is a graph which shows the light distribution characteristic of the light emitting device of an Example.

以下、図面を参照しながら本発明に係る実施形態の発光装置について説明する。
図1は、本発明に係る実施形態の発光装置の断面図である。
実施形態の発光装置は、基板10上に設けられた発光素子2と、基板10上で発光素子2を覆う導光部材3と、導光部材3上に設けられた反射膜1と、反射膜1上に設けられた透光性部材4と、を含む。尚、ここでは、図1を参照しながら、導光部材3と透光性部材4との間に反射膜1を設けた構成を例に説明するが、本実施形態では、導光部材3の上に透光性部材4を設け、その透光性部材4の上に反射膜1を設けるようにしてもよい。
Hereinafter, the light emitting device according to the embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a cross-sectional view of a light emitting device according to an embodiment of the present invention.
The light emitting device of the embodiment includes a light emitting element 2 provided on the substrate 10, a light guide member 3 covering the light emitting element 2 on the substrate 10, a reflective film 1 provided on the light guide member 3, and a reflective film. 1 Includes a translucent member 4 provided on top of 1. Here, a configuration in which the reflective film 1 is provided between the light guide member 3 and the translucent member 4 will be described with reference to FIG. 1, but in the present embodiment, the light guide member 3 will be described. A translucent member 4 may be provided on the translucent member 4, and a reflective film 1 may be provided on the translucent member 4.

発光素子2は、基板10上に導電接合部材7を介して設けられ、基板10上に形成された配線を介して電圧が印加されて発光する。以下、発光素子2が発光する光を第1の光という。 The light emitting element 2 is provided on the substrate 10 via the conductive bonding member 7, and a voltage is applied via the wiring formed on the substrate 10 to emit light. Hereinafter, the light emitted by the light emitting element 2 is referred to as the first light.

導光部材3は、基板10上で発光素子2の上面及び側面を覆うように設けられる。
反射膜1は、導光部材3上に設けられ、発光素子2が発光する第1の光を反射する。反射膜1は、例えば、互いに屈折率が異なる第1誘電体層1aと第2誘電体層1bとが交互に積層された誘電体多層膜により構成することができる。誘電体多層膜は、発光素子2が発光する第1の光の発光スペクトル(中心波長及び波長に対する強度分布)、第1誘電体層1aの第1屈折率及び第2誘電体層1bの第2屈折率に基づいて第1誘電体層1aの膜厚及び第2誘電体層1bの膜厚を設定することにより、発光素子2が発光する第1の光を反射するように構成することができる。
The light guide member 3 is provided on the substrate 10 so as to cover the upper surface and the side surface of the light emitting element 2.
The reflective film 1 is provided on the light guide member 3 and reflects the first light emitted by the light emitting element 2. The reflective film 1 can be composed of, for example, a dielectric multilayer film in which a first dielectric layer 1a and a second dielectric layer 1b having different refractive indexes are alternately laminated. The dielectric multilayer film includes the emission spectrum (intensity distribution with respect to the center wavelength and wavelength) of the first light emitted by the light emitting element 2, the first refractive index of the first dielectric layer 1a, and the second of the second dielectric layer 1b. By setting the film thickness of the first dielectric layer 1a and the film thickness of the second dielectric layer 1b based on the refractive index, the light emitting element 2 can be configured to reflect the first light emitted. ..

透光性部材4は、例えば、反射膜1上に接して設けられる。この透光性部材4は、例えば、反射膜1が接する面が平坦な透明なガラスなどの無機材料からなる板状の部材である。
ここで、本明細書において、例えば、「発光素子2の発光面上に設けられ」のように、単に、「A部材上に設けられ」というときには、A部材に接して設けられている場合と、A部材の上に他の層を介して設けられている場合とを含む。実施形態の発光装置では、反射膜1は、導光部材3の上面に、例えば、透光性の接着層を介して設けられる。
また、実施形態の発光装置は、発光素子2を過大な電圧の印加による破壊から防ぐための保護素子等の半導体素子を含んでいてもよい。
The translucent member 4 is provided, for example, in contact with the reflective film 1. The translucent member 4 is, for example, a plate-shaped member made of an inorganic material such as transparent glass having a flat surface in contact with the reflective film 1.
Here, in the present specification, for example, when it is simply "provided on the A member" such as "provided on the light emitting surface of the light emitting element 2", it may be provided in contact with the A member. , The case where the member A is provided on the member A via another layer is included. In the light emitting device of the embodiment, the reflective film 1 is provided on the upper surface of the light guide member 3 via, for example, a translucent adhesive layer.
Further, the light emitting device of the embodiment may include a semiconductor element such as a protective element for preventing the light emitting element 2 from being destroyed by applying an excessive voltage.

以上のように構成された実施形態の発光装置は、発光素子2が発光する第1の光を反射する反射膜1が導光部材3の上面に設けられているので、発光素子2が発光する第1の光は、主として導光部材3の側面から出射され、バットウイング型の配光等の広配光特性を実現することができる。
したがって、実施形態の発光装置によれば、配光特性を広配光にできるので、例えば、薄型の照明装置等の光源に使用されたときに、輝度ムラを小さくすることが可能な発光装置を提供することができる。
In the light emitting device of the embodiment configured as described above, since the reflective film 1 that reflects the first light emitted by the light emitting element 2 is provided on the upper surface of the light guide member 3, the light emitting element 2 emits light. The first light is mainly emitted from the side surface of the light guide member 3, and can realize a wide light distribution characteristic such as a bat wing type light distribution.
Therefore, according to the light emitting device of the embodiment, the light distribution characteristic can be made wide, so that a light emitting device capable of reducing luminance unevenness when used as a light source such as a thin lighting device is provided. Can be provided.

また、実施形態の発光装置において、反射膜1を、互いに屈折率が異なる第1誘電体層1aと第2誘電体層1bとが交互に積層された誘電体多層膜により構成すると、広配光にできることに加え、所望の配光特性を実現することが可能になる。 Further, in the light emitting device of the embodiment, when the reflective film 1 is composed of a dielectric multilayer film in which a first dielectric layer 1a and a second dielectric layer 1b having different refractive indexes are alternately laminated, a wide light distribution is provided. In addition to being able to achieve the desired light distribution characteristics.

すなわち、誘電体多層膜の反射率は、入射面に対して直交する方向から入射される光(入射角が0°の入射光)に対する反射率が高く、入射角が大きくなるにしたがって反射率が低くなる入射角依存性を有している。この誘電体多層膜の反射率の入射角依存性は、第1誘電体層1aの第1屈折率、第2誘電体層1bの第2屈折率、第1誘電体層1aの膜厚及び第2誘電体層1bの膜厚を適宜設定することにより所望の入射角依存性を実現することができる。したがって、発光装置において所望の配光特性を実現するために、入射角依存性を調整することが可能になる。 That is, the reflectance of the dielectric multilayer film has a high reflectance for light incident from a direction orthogonal to the incident surface (incident light having an incident angle of 0 °), and the reflectance increases as the incident angle increases. It has a low incident angle dependence. The incident angle dependence of the reflectance of the dielectric multilayer film is the first refractive index of the first dielectric layer 1a, the second refractive index of the second dielectric layer 1b, the film thickness of the first dielectric layer 1a, and the first. By appropriately setting the film thickness of the 2 dielectric layer 1b, a desired angle of incidence dependence can be realized. Therefore, it is possible to adjust the incident angle dependence in order to realize the desired light distribution characteristics in the light emitting device.

また、誘電体多層膜の波長に対する反射率(透過率)は、第1誘電体層1aの材料及びその第1屈折率、第2誘電体層1bの材料及びその第2屈折率、第1誘電体層1aの膜厚及び第2誘電体層1bの膜厚を適宜設定することにより調整することができる。したがって、入射角依存性に加え又は入射角依存性に替えて、誘電体多層膜の波長に対する反射率(透過率)を調整することにより、発光装置において所望の配光特性を実現することができる。このように、実施形態の発光装置によれば、適用される照明装置の要求に合わせて配光特性を調整することが可能になり、照明装置の輝度ムラをより小さくすることが可能になる。 The reflectance (permeability) of the dielectric multilayer film with respect to the wavelength is the material of the first dielectric layer 1a and its first refractive index, the material of the second dielectric layer 1b and its second refractive index, and the first dielectric. It can be adjusted by appropriately setting the film thickness of the body layer 1a and the film thickness of the second dielectric layer 1b. Therefore, by adjusting the reflectance (transmittance) with respect to the wavelength of the dielectric multilayer film in addition to or instead of the incident angle dependence, it is possible to realize desired light distribution characteristics in the light emitting device. .. As described above, according to the light emitting device of the embodiment, it is possible to adjust the light distribution characteristics according to the requirements of the applied lighting device, and it is possible to further reduce the luminance unevenness of the lighting device.

また、導光部材3は、発光素子2の第1の光によって励起されて第1の光より長波長の光(第2の光)を発光する蛍光体等の波長変換部材を含んでいても良い。導光部材3が波長変換部材を含む場合には、発光装置の発光色は、導光部材3から出射される光が実質的に第2の光のみであると第2の光による発光色となり、導光部材3から出射される光が第1の光と第2の光であると第1の光と第2の光とが混ざり合った光の発光色となる。このように導光部材3が波長変換部材を含む場合には、導光部材3から出射される光の発光スペクトルと発光装置に求められる配光特性を考慮して、反射膜1の反射特性、誘電体多層膜を反射膜として用いる場合には、誘電体多層膜の入射角依存性、誘電体多層膜の波長に対する反射率(透過率)を適宜調整すればよい。 Further, the light guide member 3 may include a wavelength conversion member such as a phosphor that is excited by the first light of the light emitting element 2 and emits light having a wavelength longer than that of the first light (second light). good. When the light guide member 3 includes a wavelength conversion member, the light emission color of the light emitting device becomes the light emission color of the second light when the light emitted from the light guide member 3 is substantially only the second light. If the light emitted from the light guide member 3 is the first light and the second light, the emission color of the light is a mixture of the first light and the second light. When the light guide member 3 includes a wavelength conversion member as described above, the reflection characteristics of the reflective film 1 are taken into consideration in consideration of the light emission spectrum of the light emitted from the light guide member 3 and the light distribution characteristics required for the light emitting device. When the dielectric multilayer film is used as the reflecting film, the incident angle dependence of the dielectric multilayer film and the reflectance (transmissivity) with respect to the wavelength of the dielectric multilayer film may be appropriately adjusted.

以下、実施形態の発光装置の各構成部材について詳細に説明する。
(基板)
基板10は、絶縁性を有し、光を透過しにくいことが好ましい。基板10の材料としては、例えば、アルミナや窒化アルミニウム等のセラミックス、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、BTレジン、ポリフタルアミド等の樹脂を挙げることができる。なかでも、セラミックスは放熱効果が高いため好ましい。なお、樹脂を用いる場合には、必要に応じて、ガラス繊維、酸化ケイ素、酸化チタン、アルミナ等の無機フィラーを樹脂に混合してもよい。これにより、機械的強度の向上や熱膨張率の低減、光反射率の向上を図ることができる。ただし、実施形態の発光装置は基板10を有していなくてもよい。この場合は発光素子の電極または発光素子の電極と電気的に接続された導電部材が、発光装置の下面から露出されて発光装置の外部電極とされることが好ましい。
Hereinafter, each component of the light emitting device of the embodiment will be described in detail.
(substrate)
It is preferable that the substrate 10 has an insulating property and does not easily transmit light. Examples of the material of the substrate 10 include ceramics such as alumina and aluminum nitride, phenol resins, epoxy resins, polyimide resins, BT resins, and resins such as polyphthalamide. Of these, ceramics are preferable because they have a high heat dissipation effect. When a resin is used, an inorganic filler such as glass fiber, silicon oxide, titanium oxide, or alumina may be mixed with the resin, if necessary. As a result, it is possible to improve the mechanical strength, reduce the coefficient of thermal expansion, and improve the light reflectance. However, the light emitting device of the embodiment does not have to have the substrate 10. In this case, it is preferable that the electrode of the light emitting element or the conductive member electrically connected to the electrode of the light emitting element is exposed from the lower surface of the light emitting device to be an external electrode of the light emitting device.

(発光素子)
発光素子2としては、例えば、発光ダイオード(LED)チップ又はレーザダイオード(LD)チップを用いることができ、なかでもLEDチップを用いることが好ましい。発光素子2を発光ダイオードチップとすることにより、発光素子2からの光が広がりやすくなる。導光部材3が波長変換部材を含む場合には、発光素子2からの光が広がりやすいと、蛍光体を効率良く励起できる。発光素子2として、例えば、窒化物半導体を含む発光ダイオードチップを用いることができる。導光部材3が波長変換部材を含む場合には、発光素子2として、例えば、窒化物半導体を含む青色発光の発光ダイオードチップを用いられる。ここで、青色発光の発光ダイオードチップとは、435nm~480nmの範囲に発光ピーク波長を有するものを指す。
(Light emitting element)
As the light emitting element 2, for example, a light emitting diode (LED) chip or a laser diode (LD) chip can be used, and it is particularly preferable to use an LED chip. By using the light emitting element 2 as a light emitting diode chip, the light from the light emitting element 2 can easily spread. When the light guide member 3 includes a wavelength conversion member, if the light from the light emitting element 2 easily spreads, the phosphor can be efficiently excited. As the light emitting element 2, for example, a light emitting diode chip containing a nitride semiconductor can be used. When the light guide member 3 includes a wavelength conversion member, for example, a blue light emitting diode chip containing a nitride semiconductor is used as the light emitting element 2. Here, the light emitting diode chip that emits blue light refers to a chip having an emission peak wavelength in the range of 435 nm to 480 nm.

ここでいう窒化物半導体は、一般式:InAlGa1-X-YN(0≦X、0≦Y、X+Y≦1)表される半導体であり、半導体層の組成やその混晶度によって発光波長を種々選択することができる。窒化物半導体を用いた発光素子2は、例えば、窒化物半導体の成長が可能な、サファイア等の成長基板2bと該成長基板2bの上に設けられた半導体積層体2aとを含む。 The nitride semiconductor referred to here is a semiconductor represented by the general formula: In X Al Y Ga 1-XY N (0 ≦ X, 0 ≦ Y, X + Y ≦ 1), and the composition of the semiconductor layer and its mixed crystals. Various emission wavelengths can be selected depending on the degree. The light emitting device 2 using a nitride semiconductor includes, for example, a growth substrate 2b such as sapphire capable of growing a nitride semiconductor and a semiconductor laminate 2a provided on the growth substrate 2b.

発光素子2において、半導体積層体2aにはp電極及びn電極が設けられている。発光素子2は、図1に示すように、p電極及びn電極が発光素子2の同じ側の面に形成されており、基板10にフリップチップ実装されていることが好ましい。これにより、発光素子2の上面(発光面)が平坦な面となり、発光素子2の上方に導光部材3を近接して配置することができる。なお、図1では、発光素子2は成長基板2bを有するが、成長基板2bは実装時又は実装後に除去されていてもよい。 In the light emitting device 2, the semiconductor laminate 2a is provided with a p electrode and an n electrode. As shown in FIG. 1, in the light emitting element 2, it is preferable that the p electrode and the n electrode are formed on the same side surface of the light emitting element 2 and are flip-chip mounted on the substrate 10. As a result, the upper surface (light emitting surface) of the light emitting element 2 becomes a flat surface, and the light guide member 3 can be arranged close to the light emitting element 2. In FIG. 1, the light emitting element 2 has a growth substrate 2b, but the growth substrate 2b may be removed at the time of mounting or after mounting.

(導光部材)
導光部材3は、良好な透光性を有する材料、例えば、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、等によって形成されることが好ましい。熱硬化性樹脂としては、例えば、シリコーン樹脂、シリコーン変性樹脂、シリコーンハイブリッド樹脂、エポキシ樹脂、エポキシ変性樹脂、ユリア樹脂、ジアリルフタレート樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂又はこれらの樹脂を1種類以上含むハイブリッド樹脂、等が挙げられる。特に、シリコーン樹脂又はその変性樹脂若しくはハイブリッド樹脂は、耐熱性及び耐光性に優れるため好ましい。導光部材3の屈折率は1.4~1.5程度であることが好ましい。導光部材3は、透過率が50%以上であればよく、好ましくは70%以上、より好ましくは85%以上である。
導光部材3は、必要に応じて拡散剤を含んでいても良い。また、導光部材3は、例えば、30~150μmの厚さに形成され、好ましくは50~120μmの厚さに形成される。
(Light guide member)
The light guide member 3 is preferably formed of a material having good translucency, for example, a thermosetting resin, a thermoplastic resin, or the like. Examples of the thermosetting resin include silicone resin, silicone modified resin, silicone hybrid resin, epoxy resin, epoxy modified resin, urea resin, diallyl phthalate resin, phenol resin, polyimide resin, unsaturated polyester resin, and these resins. Examples include hybrid resins containing more than one type. In particular, a silicone resin or a modified resin or a hybrid resin thereof is preferable because it has excellent heat resistance and light resistance. The refractive index of the light guide member 3 is preferably about 1.4 to 1.5. The light guide member 3 may have a transmittance of 50% or more, preferably 70% or more, and more preferably 85% or more.
The light guide member 3 may contain a diffusing agent, if necessary. Further, the light guide member 3 is formed to have a thickness of, for example, 30 to 150 μm, preferably 50 to 120 μm.

(導光部材に波長変換部材として蛍光体を含有させる場合)
蛍光体を含有する導光部材3は、発光素子2からの第1の光の一部又は全部を吸収して異なる波長の光を発生する。
本実施形態において、蛍光体を含有する導光部材3は、例えば、蛍光体粒子を含む透光性樹脂を用いて形成する。導光部材3は、1又は2以上の層により構成してもよい。導光部材3は、必要に応じて拡散剤を含んでいても良い。
(When the light guide member contains a phosphor as a wavelength conversion member)
The light guide member 3 containing a phosphor absorbs a part or all of the first light from the light emitting element 2 to generate light having a different wavelength.
In the present embodiment, the light guide member 3 containing a phosphor is formed by using, for example, a translucent resin containing phosphor particles. The light guide member 3 may be composed of one or two or more layers. The light guide member 3 may contain a diffusing agent, if necessary.

樹脂に含有させる蛍光体粒子の平均粒径は2μm~40μmであることが好ましく、より好ましくは、10μm~40μm、さらに好ましくは、15μm~40μmである。
樹脂中に含有される蛍光体粒子全体の体積が同じである場合、粒径が小さくなると粒子表面積が増え、蛍光体粒子が発光した光が他の蛍光体粒子によって散乱されやすくなり、光取り出し効率が低下する。一方、粒径が大きくなると散乱は少なくなって光の取り出し効率は高くなるが、粒子表面積が小さくなり、蛍光体が発光する光の量が少なくなって波長変換されない光の量が増える。本実施形態では、波長変換されずに反射膜1に到達した光は反射膜1によって再度導光部材側へ戻されるため、蛍光体粒子の粒径を大きくすることによって、粒子表面での散乱を抑制しつつ発光素子の光を効率よく波長変換を行うことができる。したがって、実施形態の発光装置では、蛍光体粒子の粒径を大きくすることによって、発光素子の光を効率よく波長変換を行うことができ、かつ光取り出し効率を向上させることができる。
なお、本明細書でいう蛍光体粒子の平均粒径は、一次粒子が凝集して形成された二次粒子の平均粒径のことをいうものとする。二次粒子の平均粒径(メジアン径)は、例えばレーザー回折式粒度分布測定装置(MALVERN(マルバーン)社製、製品名:MASTER SIZER(マスターサイザー)3000)により測定することができる。
The average particle size of the phosphor particles contained in the resin is preferably 2 μm to 40 μm, more preferably 10 μm to 40 μm, and even more preferably 15 μm to 40 μm.
When the total volume of the phosphor particles contained in the resin is the same, the particle size increases as the particle size decreases, and the light emitted by the phosphor particles is easily scattered by other phosphor particles, resulting in light extraction efficiency. Decreases. On the other hand, when the particle size is large, the scattering is small and the light extraction efficiency is high, but the surface area of the particles is small, the amount of light emitted by the phosphor is small, and the amount of light that is not wavelength-converted increases. In the present embodiment, the light that reaches the reflective film 1 without being wavelength-converted is returned to the light guide member side again by the reflective film 1, so that scattering on the particle surface is caused by increasing the particle size of the phosphor particles. It is possible to efficiently perform wavelength conversion of the light of the light emitting element while suppressing it. Therefore, in the light emitting device of the embodiment, by increasing the particle size of the phosphor particles, the light of the light emitting element can be efficiently wavelength-converted, and the light extraction efficiency can be improved.
The average particle size of the phosphor particles referred to in the present specification refers to the average particle size of the secondary particles formed by aggregating the primary particles. The average particle size (median diameter) of the secondary particles can be measured by, for example, a laser diffraction type particle size distribution measuring device (manufactured by MALVERN, product name: MASTER SIZER 3000).

蛍光体粒子としては、当該分野で公知の材料を使用することができる。例えば、セリウムで賦活されたイットリウム・アルミニウム・ガーネット(YAG)系蛍光体、セリウムで賦活されたルテチウム・アルミニウム・ガーネット(LAG)系蛍光体、ユウロピウム及び/又はクロムで賦活された窒素含有アルミノ珪酸カルシウム(CaO-Al-SiO)系蛍光体、ユウロピウムで賦活されたシリケート((Sr,Ba)SiO)系蛍光体、βサイアロン蛍光体、KSF系蛍光体(KSiF:Mn)、CASN、もしくはS-CASN、SAE系蛍光体(SrAl1425:Eu)などが挙げられる。これにより、可視波長の一次光及び二次光の混色光(例えば白色系)を出射する発光装置とすることができる。 As the phosphor particles, materials known in the art can be used. For example, a yttrium aluminum garnet (YAG) fluorophore activated with cerium, a lutetium aluminum garnet (LAG) fluorophore activated with cerium, europium and / or chromium-activated nitrogen-containing calcium aluminosilicate. (CaO-Al 2 O 3 -SiO 2 ) -based fluorescent material, europium-activated silicate ((Sr, Ba) 2 SiO 4 ) -based fluorescent material, β-sialon fluorescent material, KSF-based fluorescent material (K 2 SiF 6 :): Mn), CASN, S-CASN, SAE-based phosphor (Sr 4 Al 14 O 25 : Eu) and the like can be mentioned. This makes it possible to obtain a light emitting device that emits a mixed color light (for example, a white system) of primary light and secondary light having a visible wavelength.

また、蛍光体粒子は、例えば、いわゆるナノクリスタル、量子ドットと称される発光物質でもよい。これらの材料としては、半導体材料、例えば、II-VI族、III-V族、IV-VI族半導体、具体的には、ZnS、CdS、CdSe、InAgS、InCuS2、コアシェル型のCdSSe1-x/ZnS、GaP等のナノサイズの高分散粒子が挙げられる。InP、InAs、InAsP、InGaP、ZnTe、ZnSeTe、ZnSnP、ZnSnPであってもよい。 Further, the phosphor particles may be, for example, a so-called nanocrystal or a light emitting substance called a quantum dot. These materials include semiconductor materials such as II-VI group, III-V group, IV-VI group semiconductors, specifically ZnS, CdS, CdSe, InAgS2 , InCuS2, and core-shell type CdS x Se 1 . Examples thereof include nano-sized highly dispersed particles such as −x / ZnS and GaP. It may be InP, InAs, InAsP, InGaP, ZnTe, ZnSeTe, ZnSnP, ZnSnP 2 .

また、発光装置の発光色は、白色とすることが好ましい。また、白色以外の発光色でも
よく、発光素子の出射波長、蛍光体粒子の種類を選択することにより、例えば、赤色、青
色、緑色など、任意の色とすることができる。
Further, the emission color of the light emitting device is preferably white. Further, an emission color other than white may be used, and an arbitrary color such as red, blue, or green can be used by selecting the emission wavelength of the light emitting element and the type of phosphor particles.

(反射膜)
反射膜としては、入射角に対する反射率が調整可能な誘電体多層膜を用いることが好ましい。また、誘電体多層膜は、選択性を高くすることもできる。ここで、選択性が高いとは、反射波長帯域における反射率が高く、透過波長帯域における透過率が高く、かつ反射波長帯域と透過波長帯域間において反射率又は透過率の変化が急峻であることをいう。
(Reflective film)
As the reflective film, it is preferable to use a dielectric multilayer film whose reflectance with respect to the incident angle can be adjusted. Further, the dielectric multilayer film can be made highly selective. Here, high selectivity means that the reflectance in the reflection wavelength band is high, the transmittance in the transmission wavelength band is high, and the change in reflectance or transmittance is steep between the reflection wavelength band and the transmission wavelength band. To say.

誘電体多層膜
誘電体多層膜は、屈折率の異なる2つの第1誘電体層1aと第2誘電体層1bとを、それぞれλ/4の膜厚で交互に周期的に形成した反射膜である。ここで、λは、反射させたい波長領域のピーク波長であり、各誘電体材料における媒質内波長である。この誘電体多層膜は、理論的には、2つの第1誘電体層1aと第2誘電体層1bの屈折率差が大きいほど、また、交互に形成する周期数が多いほど高い反射率が得られることが知られている。しかしながら、2つの第1誘電体層1aと第2誘電体層1bの屈折率差が大き過ぎたり、周期数が大き過ぎると、反射ピーク波長λの両側で反射率が急激に減少したり(波長依存性が急峻になる)、反射率の波長依存性が大きくなったりして、所望の波長範囲で所望の反射率を安定して得ることが難しくなる。そこで、誘電体多層膜では、屈折率の高い誘電体材料からなる第1誘電体層1aと屈折率の低い誘電体材料からなる第2誘電体層1bの各屈折率及び屈折率差、交互に形成する周期数は、所望の波長範囲で所望の反射率が安定して得られるように、適宜設定される。
Dielectric multilayer film The dielectric multilayer film is a reflective film in which two first dielectric layers 1a and a second dielectric layer 1b having different refractive indexes are alternately and periodically formed with a film thickness of λ / 4. be. Here, λ is the peak wavelength in the wavelength region to be reflected, and is the in-medium wavelength in each dielectric material. Theoretically, this dielectric multilayer film has a higher reflectance as the difference in refractive index between the two first dielectric layers 1a and the second dielectric layer 1b is larger and the number of cycles formed alternately is larger. It is known to be obtained. However, if the difference in refractive index between the two first dielectric layers 1a and the second dielectric layer 1b is too large or the number of cycles is too large, the reflectance may decrease sharply on both sides of the reflection peak wavelength λ (wavelength). The dependence becomes steep), and the wavelength dependence of the reflectance becomes large, so that it becomes difficult to stably obtain the desired reflectance in a desired wavelength range. Therefore, in the dielectric multilayer film, the refractive index and the difference in refractive index of the first dielectric layer 1a made of a dielectric material having a high refractive index and the second dielectric layer 1b made of a dielectric material having a low refractive index are alternately arranged. The number of cycles to be formed is appropriately set so that a desired refractive index can be stably obtained in a desired wavelength range.

具体的には、屈折率の高い第1誘電体層1aの屈折率(第1屈折率)は、例えば、1.5~3.0の範囲に設定され、好ましくは、2.0~2.6の範囲に設定される。また、屈折率の低い第2誘電体層1bの屈折率(第2屈折率)は、例えば、1.0~1.8の範囲に設定され、好ましくは、1.2~1.6の範囲に設定される。さらに、第1誘電体層1aと第2誘電体層1bとを交互に形成する周期数は、例えば、1~20の範囲に設定され、好ましくは、1~5の範囲に設定される。 Specifically, the refractive index (first refractive index) of the first dielectric layer 1a having a high refractive index is set in the range of, for example, 1.5 to 3.0, and preferably 2.0 to 2. It is set in the range of 6. The refractive index (second refractive index) of the second dielectric layer 1b having a low refractive index is set, for example, in the range of 1.0 to 1.8, preferably in the range of 1.2 to 1.6. Is set to. Further, the number of cycles for alternately forming the first dielectric layer 1a and the second dielectric layer 1b is set, for example, in the range of 1 to 20, preferably in the range of 1 to 5.

第1誘電体層1aを構成する誘電体材料は、例えば、TiO、Nb、Ta及びZrから選択することができる。第2誘電体層1bを構成する誘電体材料は、例えば、SiO、Al及びSiONから選択された材料により構成することができる。 The dielectric material constituting the first dielectric layer 1a can be selected from, for example, TiO 2 , Nb 2 O 5 , Ta 2 O 5 and Zr 2 O 5 . The dielectric material constituting the second dielectric layer 1b can be made of, for example, a material selected from SiO 2 , Al 2 O 3 and SiO N.

(透光性部材)
透光性部材4の一方の面には反射膜1が設けられる。透光性部材4としては、ガラス等の無機材料からなる板状の透光性材料が用いられる。ガラス材料としては、例えば、ホウ珪酸ガラスや石英ガラスを用いることができる。
透光性部材4の厚さは、製造工程における機械的強度が低下せず、導光部材3に十分な機械強度を付与することができる厚さであればよい。また、透光性部材4には、拡散剤を含有させてもよい。導光部材3の上に透光性部材4を設け、その透光性部材4の上に反射膜1を設けるようにした発光装置において、透光性部材4に拡散剤を含有させると、反射膜1に入射する光を平均化できる。拡散剤には、酸化チタン、チタン酸バリウム、酸化アルミニウム、酸化ケイ素等を用いることができる。また、導光部材3と透光性部材4との間に反射膜1を設ける場合には、発光面となる透光性部材4の上面(反射膜1と導光部材3とが設けられた面の反対の面)は、平坦な面に限定されず、微細な凹凸を有していてもよい。発光面に凹凸を有していると、発光面からの出射光が散乱されて輝度むらや色むらを抑制することが可能となる。
(Translucent member)
A reflective film 1 is provided on one surface of the translucent member 4. As the translucent member 4, a plate-shaped translucent material made of an inorganic material such as glass is used. As the glass material, for example, borosilicate glass or quartz glass can be used.
The thickness of the translucent member 4 may be such that the mechanical strength in the manufacturing process does not decrease and sufficient mechanical strength can be imparted to the light guide member 3. Further, the translucent member 4 may contain a diffusing agent. In a light emitting device in which a translucent member 4 is provided on the light guide member 3 and a reflective film 1 is provided on the translucent member 4, when the translucent member 4 contains a diffusing agent, reflection is performed. The light incident on the film 1 can be averaged. As the diffusing agent, titanium oxide, barium titanate, aluminum oxide, silicon oxide and the like can be used. Further, when the reflective film 1 is provided between the light guide member 3 and the translucent member 4, the upper surface of the translucent member 4 serving as a light emitting surface (the reflective film 1 and the light guide member 3 are provided). The surface opposite to the surface) is not limited to a flat surface, and may have fine irregularities. If the light emitting surface has irregularities, the light emitted from the light emitting surface is scattered and it is possible to suppress uneven brightness and color unevenness.

(導電接合部材)
導電接合部材7としては、バンプを用いることができ、バンプの材料としては、Auあるいはその合金、他の導電接合部材として、共晶ハンダ(Au-Sn)、Pb-Sn、鉛フリーハンダ等を用いることができる。なお、図1では、導電接合部材7にバンプを用いた例を示しているが、導電接合部材7はバンプに限定されず、例えば導電ペーストや、めっきであってもよい。
(Conductive joining member)
A bump can be used as the conductive bonding member 7, and Au or an alloy thereof can be used as the bump material, and eutectic solder (Au-Sn), Pb-Sn, lead-free solder, or the like can be used as another conductive bonding member. Can be used. Although FIG. 1 shows an example in which a bump is used for the conductive bonding member 7, the conductive bonding member 7 is not limited to the bump, and may be, for example, a conductive paste or plating.

以下、実施形態に係る発光装置の製造方法について説明する。
実施形態に係る発光装置の製造方法は、
(1)それぞれ1つの発光装置に対応して個片化された、板状の透光性部材4と透光性部材4の一方の面に形成された反射膜1を含む第1複合体を作製する第1複合体作製工程と、
(2)それぞれ1つの発光装置に対応して個片化された、基板10と、基板10の上に実装された発光素子2と、を含む第2複合体を作製する第2複合体作製工程と、
(3)第1複合体と第2複合体とを接合する接合工程と、
を含む。
以下、図面を参照しながら、第1複合体作製工程、第2複合体作製工程及び接合工程について説明する。
Hereinafter, a method for manufacturing a light emitting device according to an embodiment will be described.
The method for manufacturing the light emitting device according to the embodiment is as follows.
(1) A first complex including a plate-shaped translucent member 4 and a reflective film 1 formed on one surface of the translucent member 4, which are individually separated corresponding to one light emitting device. The first complex manufacturing process to be manufactured and
(2) A second complex manufacturing step of manufacturing a second complex including a substrate 10 and a light emitting element 2 mounted on the substrate 10, each of which is individually separated corresponding to one light emitting device. When,
(3) A joining step of joining the first complex and the second complex,
including.
Hereinafter, the first complex manufacturing step, the second complex manufacturing step, and the joining step will be described with reference to the drawings.

1.第1複合体作製工程
1-1.透光性基板準備
ここではまず、図2Aに示すように、透光性基板104を準備する。
ここで、透光性基板104は無機材料からなる。また、透光性基板104の一方の面は、20nm以下、好ましくは10nm以下、より好ましくは3nm以下の表面粗さRaに研磨されていることが好ましい。また、透光性基板104の他方の面は光を散乱させるための凹凸が形成されていてもよい。
1. 1. First complex preparation step 1-1. Preparation of Translucent Substrate Here, first, as shown in FIG. 2A, the translucent substrate 104 is prepared.
Here, the translucent substrate 104 is made of an inorganic material. Further, it is preferable that one surface of the translucent substrate 104 is polished to a surface roughness Ra of 20 nm or less, preferably 10 nm or less, and more preferably 3 nm or less. Further, the other surface of the translucent substrate 104 may be formed with irregularities for scattering light.

1-2.反射膜形成
次に、図2Bに示すように、透光性基板104の一方の面の上に、反射膜層101を形成する。
例えば、互いに屈折率が異なる第1誘電体層と第2誘電体層とを交互に積層して誘電体多層膜からなる反射膜層101を形成する。
1-2. Reflective film formation Next, as shown in FIG. 2B, the reflective film layer 101 is formed on one surface of the translucent substrate 104.
For example, the first dielectric layer and the second dielectric layer having different refractive indexes are alternately laminated to form a reflective film layer 101 made of a dielectric multilayer film.

この誘電体多層膜からなる反射膜層101は、原子層堆積法(ALD)、スパッタ、蒸着法等により第1誘電体層と第2誘電体層とを交互に成膜することにより形成することができる。上記形成方法のうち、原子層堆積法(ALD)により反射膜層101を成膜すると、第1誘電体層と第1誘電体層とをそれぞれ均一な膜厚で成膜することができ、所望の反射特性を有する反射膜を精度良く形成することができる。 The reflective film layer 101 made of this dielectric multilayer film is formed by alternately forming a first dielectric layer and a second dielectric layer by an atomic layer deposition method (ALD), sputtering, a vapor deposition method, or the like. Can be done. Among the above-mentioned forming methods, when the reflective film layer 101 is formed by the atomic layer deposition method (ALD), the first dielectric layer and the first dielectric layer can be formed with uniform film thickness, which is desired. It is possible to accurately form a reflective film having the reflective characteristics of.

また、反射膜を、表面粗さRaが20nm以下、好ましくは10nm以下、より好ましくは3nm以下の平滑な透光性基板の表面に形成すると、例えば、30nm~100nmの薄い膜厚の第1誘電体層と第2誘電体層とを極めて平坦でかつ膜厚のバラツキを少なく形成することができ、所望の反射率特性を精度良く実現することができる。 Further, when the reflective film is formed on the surface of a smooth translucent substrate having a surface roughness Ra of 20 nm or less, preferably 10 nm or less, more preferably 3 nm or less, for example, a first dielectric having a thin film thickness of 30 nm to 100 nm. The body layer and the second dielectric layer can be formed to be extremely flat and have little variation in film thickness, and desired reflectance characteristics can be realized with high accuracy.

1-3.個片化
次に、図2Cに示すように、それぞれ1つの発光装置に対応する第1複合体に個片化する。
具体的には、例えば、ダイサーにより、反射膜層101が形成された透光性基板104を、透光性基板104の一方の面に垂直に切断する。
以上のようにして、それぞれ1つの発光装置に対応し、板状の透光性部材4とその一方の面に形成された反射膜1とを含む第1複合体51を作製する。
1-3. Individualization Next, as shown in FIG. 2C, individualization is performed into a first complex corresponding to each light emitting device.
Specifically, for example, the translucent substrate 104 on which the reflective film layer 101 is formed is cut perpendicularly to one surface of the translucent substrate 104 by a dicer.
As described above, the first complex 51 including the plate-shaped translucent member 4 and the reflective film 1 formed on one surface thereof is manufactured corresponding to one light emitting device.

2.第2複合体作製工程
2-1.集合基板準備工程
ここではまず、図3Aに示すように、集合基板110を準備する。ここで、本明細書において、集合基板とは、分割後に、個々の発光装置に対応する基板10となる単位領域を複数含む基板のことをいい、その複数の単位領域は、例えば、集合基板110において複数の行と複数の列をなしてマトリクス状に配置されている。尚、図3A、以下の図3B~図3D及び図4には図示していないが、集合基板110において、各単位領域には、正の配線導体と負の配線導体が形成されている。
2. 2. Second complex preparation step 2-1. Assembly board preparation step Here, first, as shown in FIG. 3A, the assembly substrate 110 is prepared. Here, in the present specification, the collective substrate means a substrate including a plurality of unit regions that become the substrate 10 corresponding to each light emitting device after division, and the plurality of unit regions are, for example, the collective substrate 110. It is arranged in a matrix with a plurality of rows and a plurality of columns. Although not shown in FIGS. 3A, 3B to 3D and 4 below, in the collective substrate 110, a positive wiring conductor and a negative wiring conductor are formed in each unit region.

2-2.発光素子実装工程
次に、図3Bに示すように、集合基板110の各単位領域にそれぞれ発光素子2を実装する。発光素子2は、図3Bに示すように、例えば、集合基板110上にフリップチップ実装される。具体的には、発光素子として、p電極およびn電極(不図示)が、同一面側、すなわち、発光素子2において成長基板2bとは反対側の半導体積層体2aの表面に形成された発光素子2を準備する。そして、集合基板110の各単位領域の正の配線導体と負の配線導体の上にそれぞれ導電接合部材を配置し、発光素子2のp電極とn電極をそれぞれ正の配線導体と負の配線導体とに対向させて、導電接合部材7と発光素子2と、基板上の導電パターンとを接合する。尚、実装に際し、導電接合部材は集合基板110上に設けた場合を例に説明したが、導電接合部材を発光素子2側に設けて接合してもよい。
2-2. Light emitting element mounting step Next, as shown in FIG. 3B, the light emitting element 2 is mounted in each unit region of the collective substrate 110. As shown in FIG. 3B, the light emitting element 2 is flip-chip mounted on the collective substrate 110, for example. Specifically, as the light emitting element, the p electrode and the n electrode (not shown) are formed on the same surface side, that is, on the surface of the semiconductor laminate 2a on the opposite side of the growth substrate 2b in the light emitting element 2. Prepare 2. Then, a conductive bonding member is arranged on the positive wiring conductor and the negative wiring conductor in each unit region of the collective substrate 110, and the p electrode and the n electrode of the light emitting element 2 are the positive wiring conductor and the negative wiring conductor, respectively. The conductive joining member 7, the light emitting element 2, and the conductive pattern on the substrate are joined so as to face each other. Although the case where the conductive bonding member is provided on the collective substrate 110 at the time of mounting has been described as an example, the conductive bonding member may be provided on the light emitting element 2 side for bonding.

2-3.導光部材形成工程
ここでは、図3Cに示すように、隣接する発光素子2間を埋めかつ複数の発光素子2を一括して覆うように導光部材層103を形成する。導光部材層103は、透光性を有する、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、およびポリイミド樹脂等の樹脂を塗布することにより形成することができ、当該樹脂には、必要に応じて、蛍光体等を含有させる。そして、塗布した導光部材を硬化させる。
2-3. Light guide member forming step Here, as shown in FIG. 3C, the light guide member layer 103 is formed so as to fill the space between the adjacent light emitting elements 2 and collectively cover the plurality of light emitting elements 2. The light guide member layer 103 can be formed by applying a translucent resin such as an epoxy resin, a silicone resin, a phenol resin, and a polyimide resin, and the resin can be fluorescent if necessary. Incorporate body etc. Then, the applied light guide member is cured.

2-4.個片化
次に、図3Dに示すように、それぞれ1つの発光装置に対応する第2複合体52に個片化する。
具体的には、例えば、ダイサーにより、硬化された導光部材層103を隣接する発光素子2間で集合基板110ごと切断して、それぞれ基板10、発光素子2及び基板10上で発光素子2を覆う導光部材3を含む第2複合体52に分離する。
2-4. Individualization Next, as shown in FIG. 3D, individualization is performed into a second complex 52 corresponding to each light emitting device.
Specifically, for example, the cured light guide member layer 103 is cut together with the collective substrate 110 between the adjacent light emitting elements 2 by a dicer, and the light emitting element 2 is placed on the substrate 10, the light emitting element 2, and the substrate 10, respectively. It is separated into a second complex 52 including a light guide member 3 to cover.

3.接合工程
以上のようにして準備した第1複合体51と第2複合体52とを、図4に示すように、反射膜1と導光部材3とが対向するように接合する。ここでは、例えば、第1複合体上に耐熱、耐光性の高いシリコーン樹脂を接着剤として塗り、第2複合体と一体化後に硬化することで接合する。接着剤としてシリコーン樹脂を用いる場合には、ジメチル系のシリコーン樹脂を用いることが好ましい。透光性部材4を含む第1複合体51の側面と、導光部材3を含む第2複合体52の側面は略面一とされていてもよいし、段差を有していてもよい。段差を有する場合には、第1複合体51の下面よりも第2複合体の上面が大きく形成されていてもよいし、第1複合体51の下面よりも第2複合体の上面が小さく形成されていてもよい。
3. 3. Joining Step As shown in FIG. 4, the first complex 51 and the second complex 52 prepared as described above are joined so that the reflective film 1 and the light guide member 3 face each other. Here, for example, a silicone resin having high heat resistance and light resistance is applied as an adhesive on the first complex, and the first complex is integrated with the second complex and then cured to be bonded. When a silicone resin is used as the adhesive, it is preferable to use a dimethyl-based silicone resin. The side surface of the first complex 51 including the translucent member 4 and the side surface of the second complex 52 including the light guide member 3 may be substantially flush with each other or may have a step. When there is a step, the upper surface of the second complex may be formed larger than the lower surface of the first complex 51, or the upper surface of the second complex may be formed smaller than the lower surface of the first complex 51. It may have been.

以上説明した実施形態の発光装置の製造方法では、それぞれ個片化された第1複合体と第2複合体とを作製した後、個片化された第1複合体と第2複合体とを接合するようにした。
しかしながら、実施形態の発光装置の製造方法では、以下の変形例に示すように、第1複合体と第2複合体の双方又は一方を個片化前に接合するようにして、接合後に分割(個片化)するようにしても良い。尚、以下の説明において、第1複合体の個片化前の状態のものを第1複合体基板と呼び、第2複合体の個片化前の状態のものを第2複合体基板と呼ぶ。
In the method for manufacturing a light emitting device according to the above-described embodiment, after the individualized first complex and the second complex are produced, the individualized first complex and the second complex are combined. I tried to join.
However, in the method for manufacturing a light emitting device of the embodiment, as shown in the following modification, both or one of the first complex and the second complex is joined before being individualized and divided after joining ( It may be individualized). In the following description, the state before the individualization of the first complex is referred to as a first complex substrate, and the state before the individualization of the second complex is referred to as a second complex substrate. ..

変形例1.
変形例1の発光装置の製造方法では、上述した、1.第1複合体作製工程における、1-1.透光性基板準備工程と、1-2.反射膜形成工程を経て、図2Bに示すような、透光性基板104の一方の面の上に反射膜層101が形成された第1複合体基板を作製する。
Modification example 1.
In the method for manufacturing the light emitting device of the first modification, the above-mentioned 1. 1-1. In the first complex manufacturing step. Translucent substrate preparation process and 1-2. Through the reflective film forming step, a first complex substrate in which the reflective film layer 101 is formed on one surface of the translucent substrate 104 as shown in FIG. 2B is produced.

次に、上述した、2.第2複合体作製工程における、2-1.集合基板準備工程と、2-2.発光素子実装工程と、2-3.導光部材形成工程とを経て、図3Cに示す、集合基板110上に複数の発光素子2が実装され、隣接する発光素子2間を埋めかつ複数の発光素子2を一括して覆う導光部材層103が形成された第2複合体基板を作製する。 Next, as described above, 2. 2-1. In the second complex manufacturing step. Assembly board preparation process and 2-2. Light emitting element mounting process and 2-3. Through the light guide member forming step, a plurality of light emitting elements 2 are mounted on the collective substrate 110 shown in FIG. 3C, and the light emitting members 2 fill the space between the adjacent light emitting elements 2 and collectively cover the plurality of light emitting elements 2. A second composite substrate on which the layer 103 is formed is produced.

次いで、第1複合体基板と第2複合体基板とを接合した後、個々の発光装置ごとに個片化する。
以上のような変形例1の発光装置の製造方法によれば、第1複合体基板と第2複合体基板とを一括して個片化でき、かつ第1複合体と第2複合体とを個々に接合することなく、一括して接合することができるので、製造コストを低減することができる。
Next, after joining the first complex substrate and the second complex substrate, each light emitting device is individualized.
According to the method for manufacturing the light emitting device of the first modification as described above, the first complex substrate and the second complex substrate can be integrated into individual pieces, and the first complex and the second complex can be separated from each other. Since it is possible to join all at once without joining them individually, the manufacturing cost can be reduced.

変形例2.
変形例2の発光装置の製造方法では、上述した、1.第1複合体作製工程における、1-1.透光性基板準備工程と、1-2.反射膜形成工程を経て、図2Bに示すような、透光性基板104の一方の面の上に反射膜層101が形成された第1複合体基板を作製する。
Modification example 2.
In the method for manufacturing the light emitting device of the second modification, the above-mentioned 1. 1-1. In the first complex manufacturing step. Translucent substrate preparation process and 1-2. Through the reflective film forming step, a first complex substrate in which the reflective film layer 101 is formed on one surface of the translucent substrate 104 as shown in FIG. 2B is produced.

次に、上述した、2.第2複合体作製工程における、2-1.集合基板準備工程と、2-2.発光素子実装工程と、2-3.導光部材形成工程と、2-4.個片化工程を経て、図3Dに示す、第2複合体を作製する。 Next, as described above, 2. 2-1. In the second complex manufacturing step. Assembly board preparation process and 2-2. Light emitting element mounting process and 2-3. Light guide member forming process and 2-4. The second complex shown in FIG. 3D is produced through the individualization step.

次いで、例えば、第1複合体基板の反射膜層101上に、所定の間隔で第2複合体を接合する。
その後、第1複合体基板を切断して、個々の発光装置ごとに個片化する。
Then, for example, the second complex is bonded onto the reflective film layer 101 of the first complex substrate at predetermined intervals.
After that, the first complex substrate is cut and individualized for each light emitting device.

変形例3.
変形例3の発光装置の製造方法では、上述した、1.第1複合体作製工程における、1-1.透光性基板準備工程と、1-2.反射膜形成工程と、1-3.個片化工程を経て、図2Cに示す、第1複合体を作製する。
Modification example 3.
In the method for manufacturing the light emitting device of the modified example 3, the above-mentioned 1. 1-1. In the first complex manufacturing step. Translucent substrate preparation process and 1-2. Reflective film forming process and 1-3. The first complex shown in FIG. 2C is produced through the individualization step.

次に、上述した、2.第2複合体作製工程における、2-1.集合基板準備工程と、2-2.発光素子実装工程と、2-3.導光部材形成工程とを経て、図3Cに示す、第2複合体基板を作製する。 Next, as described above, 2. 2-1. In the second complex manufacturing step. Assembly board preparation process and 2-2. Light emitting element mounting process and 2-3. The second complex substrate shown in FIG. 3C is manufactured through the light guide member forming step.

次いで、例えば、第2複合体基板の導光部材層103上に、導光部材層103を介して発光素子2とそれぞれ対向するように第1複合体を位置あわせして接合する。
その後、第2複合体基板を切断して、個々の発光装置ごとに個片化する。
Next, for example, the first complex is aligned and bonded onto the light guide member layer 103 of the second composite substrate so as to face the light emitting element 2 via the light guide member layer 103.
After that, the second complex substrate is cut and individualized for each light emitting device.

以上のように、実施形態の発光装置の製造方法は、種々の変形が可能である。 As described above, the method for manufacturing the light emitting device of the embodiment can be variously modified.

以下、本発明に係る実施例について説明する。
実施例1~3の発光装置及び比較例の発光装置を以下のように構成してそれぞれ配光特性を評価した。
Hereinafter, examples according to the present invention will be described.
The light emitting devices of Examples 1 to 3 and the light emitting devices of Comparative Examples were configured as follows, and the light distribution characteristics were evaluated respectively.

実施例1.
実施例1の発光装置として、2つの発光素子を含む発光装置を作製した。基板、発光素子、導光部材、反射膜及び透光性部材はそれぞれ以下のように構成した。
基板として、リードフレームが熱硬化性樹脂により支持された基板を用いた。
発光素子として、発光ピーク波長が455nmで、一辺が650μmの矩形の発光ダイオードを2つ用いた。
導光部材は、2つの発光素子を一括して覆うように形成した。
導光部材には、蛍光体として、イットリウム・アルミニウム・ガーネット(YAG)系蛍光体、セリウムで賦活されたルテチウム・アルミニウム・ガーネット(LAG)系蛍光体、S-CASN系蛍光体((Sr,Ca)AlSiN:Eu2+)及びSAE系蛍光体(SrAl1425:Eu)を含有させた。
また、導光部材は、発光素子の上面及び側面を被覆するように形成した。
反射膜1として、図5において、T25で示す、可視光の領域において透過率を約25%になるようにした誘電体多層膜を用いた。
当該誘電体多層膜は、Nbからなる第1誘電体層とSiOからなる第2誘電体層を、透光性部材4の上に第2誘電体層、第1誘電体層、第2誘電体層、第1誘電体層の順に交互に、スパッタ法により、6.5周期(合計13層)積層することにより形成した。
尚、誘電体多層膜の各層の厚さは、図5のT25に示す透過率特性を満足するように設定した。
透光性部材として、SiOからなり、厚さが約1mmのガラス板を用いた。
導光部材と反射膜とは、シリコーン樹脂により接合した。
Example 1.
As the light emitting device of Example 1, a light emitting device including two light emitting elements was manufactured. The substrate, light emitting element, light guide member, reflective film, and translucent member were each configured as follows.
As the substrate, a substrate in which the lead frame was supported by a thermosetting resin was used.
As the light emitting element, two rectangular light emitting diodes having a emission peak wavelength of 455 nm and a side of 650 μm were used.
The light guide member was formed so as to collectively cover the two light emitting elements.
The light guide member includes yttrium aluminum garnet (YAG) fluorescent material, cerium-activated lutetium aluminum garnet (LAG) fluorescent material, and S-CASN fluorescent material ((Sr, Ca)) as fluorescent materials. ) AlSiN 3 : Eu 2+ ) and a SAE-based phosphor (Sr 4 Al 14 O 25 : Eu) were contained.
Further, the light guide member was formed so as to cover the upper surface and the side surface of the light emitting element.
As the reflective film 1, in FIG. 5, a dielectric multilayer film having a transmittance of about 25% in the visible light region shown by T25 was used.
The dielectric multilayer film has a first dielectric layer made of Nb 2 O 5 and a second dielectric layer made of SiO 2 , and a second dielectric layer and a first dielectric layer on the translucent member 4. The second dielectric layer and the first dielectric layer were alternately laminated in the order of 6.5 cycles (13 layers in total) by a sputtering method.
The thickness of each layer of the dielectric multilayer film was set so as to satisfy the transmittance characteristic shown in T25 of FIG.
As the translucent member, a glass plate made of SiO 2 and having a thickness of about 1 mm was used.
The light guide member and the reflective film were joined with a silicone resin.

実施例2.
実施例1の発光装置において、反射膜1として、図5においてT50で示す、可視光の領域において透過率を約50%になるようにした誘電体多層膜を用いた以外は実施例1の発光装置と同様にして、実施例2の発光装置を作製した。
実施例2の誘電体多層膜は、Nbからなる第1誘電体層とSiOからなる第2誘電体層を、透光性部材の上に第2誘電体層、第1誘電体層、第2誘電体層、第1誘電体層の順に交互に、スパッタ法により、6周期(合計12層)積層することにより形成した。
尚、誘電体多層膜の各層の厚さは、図5のT50に示す透過率特性を満足するように設定した。
Example 2.
In the light emitting device of Example 1, light emission of Example 1 is used except that a dielectric multilayer film having a transmittance of about 50% in the visible light region shown by T50 in FIG. 5 is used as the reflective film 1. The light emitting device of Example 2 was produced in the same manner as the device.
The dielectric multilayer film of the second embodiment has a first dielectric layer made of Nb 2 O 5 and a second dielectric layer made of SiO 2 on a translucent member, a second dielectric layer and a first dielectric. The layers, the second dielectric layer, and the first dielectric layer were alternately laminated in this order for 6 cycles (12 layers in total) by a sputtering method.
The thickness of each layer of the dielectric multilayer film was set so as to satisfy the transmittance characteristic shown in T50 of FIG.

実施例3.
実施例1の発光装置において、反射膜1として、図5においてT75で示す、可視光の領域において透過率を約75%になるようにした誘電体多層膜を用いた以外は実施例1の発光装置と同様にして、実施例3の発光装置を作製した。
実施例3の誘電体多層膜は、Nbからなる第1誘電体層とSiOからなる第2誘電体層を、透光性部材の上に第2誘電体層、第1誘電体層、第2誘電体層、第1誘電体層の順に交互に、スパッタ法により、3.5周期(合計7層)積層することにより形成した。
尚、誘電体多層膜の各層の厚さは、図5のT75に示す透過率特性を満足するように設定した。
Example 3.
In the light emitting device of Example 1, light emission of Example 1 is used except that a dielectric multilayer film having a transmittance of about 75% in the visible light region shown by T75 in FIG. 5 is used as the reflective film 1. The light emitting device of Example 3 was produced in the same manner as the device.
The dielectric multilayer film of Example 3 has a first dielectric layer made of Nb 2 O 5 and a second dielectric layer made of SiO 2 on a translucent member, a second dielectric layer, and a first dielectric. The layers, the second dielectric layer, and the first dielectric layer were alternately laminated in the order of 3.5 cycles (7 layers in total) by a sputtering method.
The thickness of each layer of the dielectric multilayer film was set so as to satisfy the transmittance characteristic shown in T75 in FIG.

比較例
実施例1の発光装置において、透光性部材と反射膜とを除いて構成した以外は実施例1の発光装置と同様にして、比較例の発光装置を作製した。
Comparative Example The light emitting device of Comparative Example was produced in the same manner as the light emitting device of Example 1 except that the light emitting device of Example 1 was configured except for the translucent member and the reflective film.

以上のようにして作製した実施例1~3の発光装置及び比較例の発光装置についてそれぞれ配光特性を測定した。その結果を図6に示す。図6に示すように、反射膜1を備えた実施例1~3の発光装置の配光特性は、いずれも反射膜1を備えていない比較例の発光装置より広くなることが確認された。また、実施例1~3の発光装置の配光特性からわかるように、反射膜1の透過率を変化させることにより発光装置の配光特性を調整できることが確認された。 The light distribution characteristics of the light emitting devices of Examples 1 to 3 and the light emitting devices of Comparative Examples produced as described above were measured. The results are shown in FIG. As shown in FIG. 6, it was confirmed that the light distribution characteristics of the light emitting devices of Examples 1 to 3 provided with the reflective film 1 were wider than those of the light emitting devices of the comparative example not provided with the reflective film 1. Further, as can be seen from the light distribution characteristics of the light emitting devices of Examples 1 to 3, it was confirmed that the light distribution characteristics of the light emitting device can be adjusted by changing the transmittance of the reflective film 1.

1 反射膜
2 発光素子
3 導光部材
4 透光性部材
7 導電接合部材
51 第1複合体
52 第2複合体
101 反射膜層
103 導光部材層
104 透光性基板
110 集合基板
1 Reflective film 2 Light emitting element 3 Light guide member 4 Translucent member 7 Conductive joining member 51 First composite 52 Second composite 101 Reflective film layer 103 Light guide member layer 104 Translucent substrate 110 Assembly substrate

Claims (15)

第1の光を発光する発光素子と、
前記発光素子を被覆する導光部材と、
発光面側である上面と下面とを有し、該下面が前記導光部材の上面に対向するように設けられた板状の透光性部材と、
前記透光性部材の面に設けられ、前記第1の光の少なくとも一部を反射する反射膜と、
を有し、
前記透光性部材の母材は無機材料であり
前記反射膜は、誘電体多層膜であり、前記誘電体多層膜は、可視光の領域で入射角が大きくなるにしたがって反射率が低くなる入射角依存性を有していることを特徴とする発光装置。
A light emitting element that emits the first light and
The light guide member that covers the light emitting element and
A plate-shaped translucent member having an upper surface and a lower surface on the light emitting surface side and the lower surface facing the upper surface of the light guide member.
A reflective film provided on the lower surface of the translucent member and reflecting at least a part of the first light,
Have,
The base material of the translucent member is an inorganic material.
The reflective film is a dielectric multilayer film, and the dielectric multilayer film is characterized by having an incident angle dependence in which the reflectance decreases as the incident angle increases in the visible light region. Light emitting device.
前記透光性部材の母材はガラスである請求項1に記載の発光装置。 The light emitting device according to claim 1, wherein the base material of the translucent member is glass. 前記反射膜は、誘電体多層膜である請求項1または2に記載の発光装置。 The light emitting device according to claim 1 or 2, wherein the reflective film is a dielectric multilayer film. 前記導光部材は、前記第1の光によって励起されて前記第1の光より長波長の第2の光を発光する蛍光体が含有されており、
前記反射膜は、前記第2の光の少なくとも一部を反射する請求項1~3のいずれか1つに記載の発光装置。
The light guide member contains a phosphor that is excited by the first light and emits a second light having a wavelength longer than that of the first light.
The light emitting device according to any one of claims 1 to 3, wherein the reflective film reflects at least a part of the second light.
前記反射膜は、波長が500nm~780nmの範囲の光に対する入射角0°のときの透過率が50%以下である請求項1~4のいずれか1つに記載の発光装置。 The light emitting device according to any one of claims 1 to 4, wherein the reflective film has a transmittance of 50% or less when the incident angle is 0 ° with respect to light having a wavelength in the range of 500 nm to 780 nm. 前記反射膜は、波長が500nm~780nmの範囲の光に対する入射角0°のときの透過率が25%以下である請求項1~4のいずれか1つに記載の発光装置。 The light emitting device according to any one of claims 1 to 4, wherein the reflective film has a transmittance of 25% or less when the incident angle is 0 ° with respect to light having a wavelength in the range of 500 nm to 780 nm. 前記透光性部材の側面と前記導光部材の側面が略面一である請求項1~6のいずれか1つに記載の発光装置。 The light emitting device according to any one of claims 1 to 6, wherein the side surface of the translucent member and the side surface of the light guide member are substantially flush with each other. 前記発光装置は、バットウイング型の配光特性を有する請求項1~7のいずれか1つに記載の発光装置。 The light emitting device according to any one of claims 1 to 7, wherein the light emitting device has a bat wing type light distribution characteristic. 無機材料からなる透光性基板を準備する工程と、
前記準備した透光性基板の一方の面に、反射膜層を形成する工程と、
前記反射膜層が形成された透光性基板を切断して、それぞれ板状の透光性部材と反射膜とを含む複数の第1複合体に分離する工程と、
それぞれ正の配線と負の配線を含む複数の単位領域を有する集合基板を準備する工程と、
前記準備した集合基板の単位領域にそれぞれ発光素子を実装する工程と、
前記発光素子が実装された集合基板上に、隣接する発光素子間を埋めかつ複数の発光素子を一括して覆う導光部材層を形成する工程と、
前記導光部材層を硬化させて、その硬化した導光部材層を隣接する発光素子間で切断して、それぞれ基板と発光素子と前記基板上で発光素子を覆う導光部材とを含む第2複合体に分離する工程と、
前記第1複合体と前記第2複合体とを、前記反射膜前記導光部材とが対向するように接合する工程と、
を含む発光装置の製造方法。
The process of preparing a translucent substrate made of an inorganic material,
A step of forming a reflective film layer on one surface of the prepared translucent substrate, and
A step of cutting the translucent substrate on which the reflective film layer is formed and separating the translucent substrate into a plurality of first complexes including a plate-shaped translucent member and a reflective film, respectively.
The process of preparing an assembly board with multiple unit areas, each containing positive and negative wiring, and
The process of mounting the light emitting element in each unit area of the prepared collective substrate, and
A step of forming a light guide member layer that fills the space between adjacent light emitting elements and collectively covers a plurality of light emitting elements on the collective substrate on which the light emitting element is mounted.
A second light guide member layer is cured, and the cured light guide member layer is cut between adjacent light emitting elements to include a substrate, a light emitting element, and a light guide member covering the light emitting element on the substrate, respectively. The process of separating into a complex and
A step of joining the first complex and the second complex so that the reflective film and the light guide member face each other.
A method for manufacturing a light emitting device including.
無機材料からなる透光性基板を準備する工程と、
前記準備した透光性基板の一方の面に反射膜層を形成して、第1複合体基板を作製する工程と、
それぞれ正の配線と負の配線を含む複数の単位領域を有する集合基板を準備する工程と、
前記準備した集合基板の単位領域にそれぞれ発光素子を実装する工程と、
前記発光素子が実装された集合基板上に隣接する発光素子間を埋めかつ複数の発光素子を一括して覆う導光部材層を形成して、第2複合体基板を作製する工程と、
前記第1複合体基板と前記第2複合体基板とを、前記反射膜層前記導光部材層とが対向するように接合する工程と、
前記第2複合体基板を、それぞれ前記単位領域を含むように前記第1複合体基板とともに分割する工程と、
を含む発光装置の製造方法。
The process of preparing a translucent substrate made of an inorganic material,
A step of forming a reflective film layer on one surface of the prepared translucent substrate to prepare a first complex substrate, and
The process of preparing an assembly board with multiple unit areas, each containing positive and negative wiring, and
The process of mounting the light emitting element in each unit area of the prepared collective substrate, and
A step of forming a second composite substrate by forming a light guide member layer that fills the space between adjacent light emitting elements on the collective substrate on which the light emitting element is mounted and collectively covers a plurality of light emitting elements.
A step of joining the first complex substrate and the second complex substrate so that the reflective film layer and the light guide member layer face each other.
A step of dividing the second complex substrate together with the first complex substrate so as to include the unit region, respectively.
A method for manufacturing a light emitting device including.
無機材料からなる透光性基板を準備する工程と、
前記準備した透光性基板の一方の面に反射膜層を形成して、第1複合体基板を作製する工程と、
それぞれ正の配線と負の配線を含む複数の単位領域を有する集合基板を準備する工程と、
前記準備した集合基板の単位領域にそれぞれ発光素子を実装する工程と、
前記発光素子が実装された集合基板上に、隣接する発光素子間を埋めかつ複数の発光素子を一括して覆う導光部材層を形成する工程と、
前記導光部材層を硬化させて、その硬化した導光部材層を隣接する発光素子間で切断して、それぞれ基板と発光素子と前記基板上で発光素子を覆う導光部材とを含む第2複合体に分離する工程と、
前記第1複合体基板上に、前記第2複合体をそれぞれ前記反射膜層前記導光部材とが対向するように接合する工程と、
前記第1複合体基板を、それぞれ前記第2複合体ごとに切断する工程と、
を含む発光装置の製造方法。
The process of preparing a translucent substrate made of an inorganic material,
A step of forming a reflective film layer on one surface of the prepared translucent substrate to prepare a first complex substrate, and
The process of preparing an assembly board with multiple unit areas, each containing positive and negative wiring, and
The process of mounting the light emitting element in each unit area of the prepared collective substrate, and
A step of forming a light guide member layer that fills the space between adjacent light emitting elements and collectively covers a plurality of light emitting elements on the collective substrate on which the light emitting element is mounted.
A second light guide member layer is cured, and the cured light guide member layer is cut between adjacent light emitting elements to include a substrate, a light emitting element, and a light guide member covering the light emitting element on the substrate, respectively. The process of separating into a complex and
A step of joining the second complex onto the first complex substrate so that the reflective film layer and the light guide member face each other.
A step of cutting the first complex substrate for each of the second complexes, and
A method for manufacturing a light emitting device including.
無機材料からなる透光性基板を準備する工程と、
前記準備した透光性基板の一方の面に、反射膜層を形成する工程と、
前記反射膜層が形成された透光性基板を切断して、それぞれ板状の透光性部材と反射膜とを含む複数の第1複合体に分離する工程と、
それぞれ正の配線と負の配線を含む複数の単位領域を有する集合基板を準備する工程と、
前記準備した集合基板の単位領域にそれぞれ発光素子を実装する工程と、
前記発光素子が実装された集合基板上に隣接する発光素子間を埋めかつ複数の発光素子を一括して覆う導光部材層を形成して、第2複合体基板を作製する工程と、
前記第2複合体基板の前記導光部材上に、前記発光素子とそれぞれ対向するように第1複合体を位置あわせして前記反射膜層と前記導光部材層とが対向するように接合する工程と、
前記第2複合体基板をそれぞれ前記単位領域を含むように切断する工程と、
を含む発光装置の製造方法。
The process of preparing a translucent substrate made of an inorganic material,
A step of forming a reflective film layer on one surface of the prepared translucent substrate, and
A step of cutting the translucent substrate on which the reflective film layer is formed and separating the translucent substrate into a plurality of first complexes including a plate-shaped translucent member and a reflective film, respectively.
The process of preparing an assembly board with multiple unit areas, each containing positive and negative wiring, and
The process of mounting the light emitting element in each unit area of the prepared collective substrate, and
A step of forming a second composite substrate by forming a light guide member layer that fills the space between adjacent light emitting elements on the collective substrate on which the light emitting element is mounted and collectively covers a plurality of light emitting elements.
The first complex is aligned on the light guide member of the second complex substrate so as to face the light emitting element, and the reflective film layer and the light guide member layer are joined so as to face each other. Process and
A step of cutting the second complex substrate so as to include the unit region, respectively.
A method for manufacturing a light emitting device including.
前記透光性基板は、ガラスである請求項9~12のいずれか1つに記載の発光装置の製
造方法。
The method for manufacturing a light emitting device according to any one of claims 9 to 12, wherein the translucent substrate is glass.
前記反射膜層を、互いに屈折率が異なる第1誘電体層と第2誘電体層を交互に積層する
ことにより形成する工程を含む請求項9~13のいずれか1つに記載の発光装置の製造方
法。
The light emitting device according to any one of claims 9 to 13, further comprising a step of forming the reflective film layer by alternately laminating a first dielectric layer and a second dielectric layer having different refractive indexes. Production method.
前記反射膜層を形成する前に、透光性基板の一方の面を表面粗さRaが20nm以下になるように、前記透光性基板の反射膜を形成する側の面を研磨する工程を含む請求項14に記載の発光装置の製造方法。 Before forming the reflective film layer, a step of polishing one surface of the translucent substrate on the side of the translucent substrate on which the reflective film is formed so that the surface roughness Ra is 20 nm or less. The method for manufacturing a light emitting device according to claim 14, which includes.
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