JP7029313B2 - Manufacturing method of metal ultrafine powder - Google Patents
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Description
本発明は、金属超微粉の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for producing ultrafine metal powder.
金属超微粉を製造する場合、CVD(Chemical Vapor Deposition)装置を用いた気相化学反応法(以下、単に「CVD法」ともいう)が一般的である。これに対して、本願出願人は、バーナを用いて炉内に高温還元火炎を形成し、その火炎中で金属化合物を加熱・蒸発・還元処理することで、原料の金属化合物よりも粒径の小さい金属超微粉を製造する技術を提案している。この方法では、CVD法と比較して原料に塩化物を使用しないことや、加熱方法が火炎による直接加熱であるため、低コストかつ安全にサブミクロンの金属超微粉を生成できる。 When producing ultrafine metal powder, a vapor phase chemical reaction method using a CVD (Chemical Vapor Deposition) device (hereinafter, also simply referred to as “CVD method”) is common. On the other hand, the applicant of the present application forms a high-temperature reducing flame in the furnace using a burner, and heats, evaporates, and reduces the metal compound in the flame to have a particle size larger than that of the raw material metal compound. We are proposing a technology for producing small metal ultrafine powder. Compared with the CVD method, this method does not use chloride as a raw material and the heating method is direct heating by a flame, so that submicron metal ultrafine powder can be safely produced at low cost.
ところで、近年、携帯端末等に利用される電子部品の小型化の進展に伴い、これらの電子部品に利用される金属粉末には多種多様なニーズがあり、金属超微粉の粒子径や粒度分布及び形状も用途により様々な種類が存在する。 By the way, in recent years, with the progress of miniaturization of electronic parts used for mobile terminals and the like, there are various needs for metal powders used for these electronic parts, and the particle size and particle size distribution of the metal ultrafine powder and the particle size distribution There are various types of shapes depending on the application.
上記電子部品に使用される金属超微粉には、粒度分布が狭いことが要求されるものがある。例えば、積層セラミックコンデンサの内部電極として用いられるニッケル超微粉の粒度分布が広い場合、積層セラミックコンデンサを製造する際の加熱処理工程において、ニッケル超微粉の粒子径の差によって膨張収縮挙動に差異が生じ、クラックやデラミネーション等の構造欠陥が生じる可能性が高くなる。
そのため、積層セラミックコンデンサの内部電極として用いられるニッケル超微粉としては、極力粒度分布が狭い(シャープな)ニッケル超微粉が望まれている。
Some metal ultrafine powders used in the above electronic components are required to have a narrow particle size distribution. For example, when the particle size distribution of nickel ultrafine powder used as an internal electrode of a multilayer ceramic capacitor is wide, the expansion / contraction behavior differs due to the difference in particle size of nickel ultrafine powder in the heat treatment step when manufacturing a laminated ceramic capacitor. , There is a high possibility that structural defects such as cracks and delamination will occur.
Therefore, as the nickel ultrafine powder used as an internal electrode of a monolithic ceramic capacitor, nickel ultrafine powder having a narrow (sharp) particle size distribution as much as possible is desired.
特許文献1には、ニッケル超微粉(平均粒径が0.1~数μmのニッケル粉)を生成後、液体サイクロンによる分級処理(湿式の分級処理)を行うことで、粒度分布の狭いニッケル超微粉を製造する技術が開示されている。 According to Patent Document 1, nickel ultrafine powder (nickel powder having an average particle size of 0.1 to several μm) is produced and then classified with a liquid cyclone (wet classification treatment) to obtain nickel ultrafine powder having a narrow particle size distribution. A technique for producing fine powder is disclosed.
一方、広い粒度分布が求められる場合もある。例えば、半導体チップの封止材やリチウム電池の材料等、高い充填密度が求められる場合、大粒子と小粒子とが混合することで充填率が向上するため、広い粒度分布が好ましい。 On the other hand, a wide particle size distribution may be required. For example, when a high packing density is required such as a sealing material for a semiconductor chip or a material for a lithium battery, a wide particle size distribution is preferable because the filling rate is improved by mixing large particles and small particles.
特許文献2には、平均粒径0.8μmの粒子10~35wt%と、平均粒径3μmの粒子90~65wt%と、を混合した炭素粒子からなる電極をリチウム吸蔵負極として用いることが開示されている。 Patent Document 2 discloses that an electrode made of carbon particles obtained by mixing 10 to 35 wt% of particles having an average particle size of 0.8 μm and 90 to 65 wt% of particles having an average particle size of 3 μm is used as a lithium occlusion negative electrode. ing.
しかしながら、特許文献1に記載の方法では、ニッケル超微粉を生成工程と、ニッケル超微粉の分級工程とを別々の工程として行っており、別々に設備を設ける必要があったため、製造コストが上昇して生産性が低下してしまうという課題があった。 However, in the method described in Patent Document 1, the nickel ultrafine powder production step and the nickel ultrafine powder classification step are performed as separate steps, and it is necessary to separately provide equipment, so that the manufacturing cost increases. There was a problem that productivity was lowered.
また、特許文献1では、湿式の分級法を用いるため、ニッケル超微粉を分級後、乾燥させたニッケル超微粉が強固な凝集を伴う恐れがあり、積層セラミックコンデンサを製造する際のハンドリング性が悪化してしまうという課題があった。 Further, in Patent Document 1, since a wet classification method is used, there is a possibility that the nickel ultrafine powder dried after classifying the nickel ultrafine powder may be accompanied by strong aggregation, and the handleability when manufacturing a monolithic ceramic capacitor deteriorates. There was a problem of doing it.
また、特許文献2に記載の方法では、平均粒径0.8μmの粒子を製造する工程、平均粒径3μmの粒子を製造する工程、及びこれら2つの粒子を混合する工程をそれぞれ別の工程で行うため、リチウム吸蔵負極の製造方法が煩雑になってしまうという課題があった。 Further, in the method described in Patent Document 2, a step of producing particles having an average particle size of 0.8 μm, a step of producing particles having an average particle size of 3 μm, and a step of mixing these two particles are performed in different steps. Therefore, there is a problem that the manufacturing method of the lithium occlusion negative electrode becomes complicated.
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、凝集などの金属超微粉のハンドリング性に悪影響を及ぼす問題を回避し、別々の工程ではなく、粒子の製造工程内で簡便に所望の粒度分布とされた金属超微粉を生成可能な金属超微粉の製造方法を提供することを課題とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and avoids problems such as aggregation that adversely affect the handling property of the ultrafine metal powder, and is easily desired in the particle manufacturing process instead of a separate process. An object of the present invention is to provide a method for producing a metal ultrafine powder capable of producing a metal ultrafine powder having a particle size distribution.
上記課題を解決するため、本発明は以下の構成を備える。
[1] 外気と遮断された円筒状の炉内に、酸素または酸素富化空気を支燃性ガスとして燃料をバーナで燃焼させることで還元火炎を形成し、該還元火炎中へ粉体状の金属または金属化合物である原料粉体を供給し、該原料粉体を加熱、蒸発、及び還元させることで、金属超微粉を生成する金属超微粉の製造方法であって、
前記炉内に、前記加熱、前記蒸発、及び前記還元された前記原料粉体を冷却する旋回流を形成し、該旋回流の強度を調節することで、所望の粒度分布とされた前記金属超微粉を生成する、金属超微粉の製造方法。
[2] 前記旋回流の強度を規定するS値は、下記式(1)で示され、前記S値を変化させて前記金属超微粉の粒度分布を制御する、[1]に記載の金属超微粉の製造方法。
S=(Fs/Fz)/(D/d)・・・(1)
但し、上記式(1)において、
Fs:炉内旋回ガス運動量、
Fz:バーナ噴出ガス運動量、
D:炉内径、
d:バーナ出口径、をそれぞれ示すものとする。
[3] 前記S値は、前記炉の側壁から該炉の接線方向へ噴出する不活性ガスの噴出量で調整する、[2]に記載の金属超微粉の製造方法。
[4] 前記バーナは、前記炉の頂部に配置され、
前記原料粉体を前記バーナに供給し、
前記炉の上部において、前記原料粉体を前記加熱、前記蒸発、及び前記還元させ、
前記炉の下部に、前記旋回流を形成する、[1]乃至[3]のいずれか一項に記載の金属超微粉の製造方法。
In order to solve the above problems, the present invention has the following configurations.
[1] A reduction flame is formed by burning fuel with a burner using oxygen or oxygen-enriched air as a combustion-supporting gas in a cylindrical furnace that is shielded from the outside air, and powdery into the reduction flame. A method for producing metal ultrafine powder, which produces metal ultrafine powder by supplying a raw material powder which is a metal or a metal compound and heating, evaporating, and reducing the raw material powder.
In the furnace, a swirling flow for cooling the heating, the evaporation, and the reduced raw material powder is formed, and the strength of the swirling flow is adjusted to obtain the desired particle size distribution. A method for producing ultrafine metal powder that produces fine powder.
[2] The metal super fine according to [1], wherein the S value defining the strength of the swirling flow is represented by the following formula (1), and the particle size distribution of the metal ultrafine powder is controlled by changing the S value. How to make fine powder.
S = (Fs / Fz) / (D / d) ... (1)
However, in the above formula (1),
Fs: Momentum of swirling gas in the furnace,
Fz: Burner eruption gas momentum,
D: furnace inner diameter,
d: Burner outlet diameter, respectively.
[3] The method for producing metal ultrafine powder according to [2], wherein the S value is adjusted by the amount of the inert gas ejected from the side wall of the furnace in the tangential direction of the furnace.
[4] The burner is placed at the top of the furnace and
The raw material powder is supplied to the burner,
In the upper part of the furnace, the raw material powder is heated, evaporated, and reduced.
The method for producing a metal ultrafine powder according to any one of [1] to [3], which forms the swirling flow in the lower part of the furnace.
本発明の金属超微粉の製造方法によれば、炉内の上部において原料粉体を加熱、蒸発、及び還元させ、その後、加熱、蒸発、及び還元された原料粉体を同一炉内に発生させた旋回流で冷却し、かつ旋回流の強度(気流の旋回強度)を調節することで、所望の粒度分布とされた金属超微粉を生成することが可能となる。 According to the method for producing ultrafine metal powder of the present invention, the raw material powder is heated, evaporated, and reduced in the upper part of the furnace, and then the heated, evaporated, and reduced raw material powder is generated in the same furnace. By cooling with the swirling flow and adjusting the swirling flow intensity (airflow swirling strength), it is possible to generate metal ultrafine powder having a desired particle size distribution.
つまり、同一の炉内における連続的な処理により、所望の粒度分布とされた金属超微粉を生成することが可能となる。
これにより、別々の場所で金属超微粉を生成する工程と、生成された金属超微粉を分級する工程と、を行う従来の方法と比較して、簡便に所望の粒度分布とされた金属超微粉を製造できる。
That is, continuous treatment in the same furnace makes it possible to produce metal ultrafine powder having a desired particle size distribution.
As a result, the metal ultrafine powder having a desired particle size distribution can be easily obtained as compared with the conventional method of producing the metal ultrafine powder at different places and classifying the produced metal ultrafine powder. Can be manufactured.
また、湿式の分級工程を用いないため、所望の粒度分布とされた金属超微粉が凝集しにくく、金属超微粉のハンドリング性を向上できる。 Further, since the wet classification step is not used, the metal ultrafine powder having a desired particle size distribution is less likely to aggregate, and the handling property of the metal ultrafine powder can be improved.
なお、本明細書において金属超微粉とは、平均粒径が1μm未満の金属粉のことをいう。
また、金属超微粉の平均粒径は、平均一次粒子径をいう。具体的には、金属超微粉の平均粒径は、FE-SEM(JSM-6700F(日本電子株式会社製))を用い、20000倍の倍率で異なる場所を20箇所観察して得られた画像データを、画像解析ソフト(「Scandium」;Soft Imaging System GmbH社製)を用いて解析して得られた値である。
In the present specification, the metal ultrafine powder means a metal powder having an average particle size of less than 1 μm.
The average particle size of the metal ultrafine powder means the average primary particle size. Specifically, the average particle size of the metal ultrafine powder is image data obtained by observing 20 different places at a magnification of 20000 times using FE-SEM (JSM-6700F (manufactured by JEOL Ltd.)). Is a value obtained by analyzing using image analysis software (“Scandium”; manufactured by Soft Imaging System GmbH).
以下、図面を参照して本発明を適用した一実施形態について詳細に説明する。なお、以下の説明で用いる図面は、本発明の実施形態の構成を説明するためのものであり、図示される各部の大きさや厚さや寸法等は、実際の金属超微粉製造装置の寸法関係とは異なる場合がある。 Hereinafter, an embodiment to which the present invention is applied will be described in detail with reference to the drawings. The drawings used in the following description are for explaining the configuration of the embodiment of the present invention, and the sizes, thicknesses, dimensions, etc. of the illustrated parts are related to the dimensions of the actual metal ultrafine powder manufacturing apparatus. May be different.
図1は、本発明の一実施形態に係る金属超微粉の製造方法を行う際に使用する金属超微粉製造装置の概略構成を示す模式図である。図1において、Y方向は、炉17の延在方向(鉛直方向)を示しており、X方向は、Y方向に対して直交する面方向を示している。
なお、本実施形態において「金属超微粉」とは、平均粒径が1μm未満の金属粉をいう。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a metal ultrafine powder production apparatus used when performing the method for producing metal ultrafine powder according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, the Y direction indicates the extending direction (vertical direction) of the
In the present embodiment, the "metal ultrafine powder" means a metal powder having an average particle size of less than 1 μm.
(金属超微粉製造装置)
先ず、図1を参照して、本実施形態の金属超微粉の製造方法を行う際に使用する金属超微粉製造装置10の構成について説明する。
金属超微粉製造装置10は、燃料ガス供給源11と、原料フィーダー12と、バーナ13と、支燃性ガス供給源15と、炉17と、複数の不活性ガス供給部18と、不活性ガス供給源19と、バグフィルター21と、ブロワー22と、を有する。
(Metal ultrafine powder manufacturing equipment)
First, with reference to FIG. 1, the configuration of the metal ultrafine powder manufacturing apparatus 10 used when performing the method for producing the metal ultrafine powder of the present embodiment will be described.
The metal ultrafine powder manufacturing apparatus 10 includes a fuel gas supply source 11, a
燃料ガス供給源11は、原料フィーダー12と接続されている。燃料ガス供給源11から供給された燃料ガスは、原料フィーダー12から供給される原料粉体と共に、バーナ13に供給される。燃料ガスは、原料粉体を輸送するキャリアガスとしても機能する。燃料ガスとしては、例えば、天然ガスやプロパン等を用いることができる。
The fuel gas supply source 11 is connected to the
原料フィーダー12は、燃料ガス供給源11及びバーナ13と接続されている。原料フィーダー12は、バーナ13に原料粉体を供給する。
原料粉体としては、例えば、ニッケル、コバルト、銅、銀、鉄等の金属の粒子や、ニッケル、コバルト、銅、銀、鉄等の金属の酸化物(金属酸化物)及びニッケル、コバルト、銅、銀、鉄等の金属の水酸化物等の金属化合物の粒子を用いることができる。
The
The raw material powder includes, for example, metal particles such as nickel, cobalt, copper, silver and iron, metal oxides (metal oxides) such as nickel, cobalt, copper, silver and iron, and nickel, cobalt and copper. , Particles of metal compounds such as hydroxides of metals such as silver and iron can be used.
バーナ13は、バーナ13の延在方向がY方向と一致するように、炉17の頂部(上端)に配置されている。還元火炎を形成するバーナ13の先端は、炉17の上端に収容されている。これにより、バーナ13は、炉17内の上部に還元火炎を形成する。
The
図2は、図1に示すバーナの先端の平面図であり、図3は、図2に示すバーナの先端のB-B線断面を示す図である。 FIG. 2 is a plan view of the tip of the burner shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a view showing a cross section of the tip of the burner shown in FIG. 2 along the line BB.
図2及び図3に示すように、バーナ(「バーナノズル」という場合もある)13は、原料供給管31と、原料供給路32と、複数の原料噴出孔34と、一次支燃性ガス供給管36と、一次支燃性ガス供給路37と、複数の一次支燃性ガス噴出孔39と、冷却ジャケット管42と、二次支燃性ガス供給路43と、複数の二次支燃性ガス噴出孔45と、を有する。
As shown in FIGS. 2 and 3, the burner (sometimes referred to as a “burner nozzle”) 13 includes a raw
原料供給管31は、バーナ13の軸方向に延在しており、バーナ13の中心に配置されている。原料供給管31の中心軸は、バーナ13の中心軸13Aと一致している。
原料供給路32は、原料供給管31の内部に設けられた空間であり、バーナ13の軸方向に延在している。原料供給路32は、原料フィーダー12と接続されている。
原料供給路32は、原料粉体及びキャリアガス(燃料ガスを含む)をバーナ13の先端側に輸送する。キャリアガスとしては、燃料ガス単体や、該燃料ガスと図示していない供給設備から供給される不活性ガス(例えば、窒素やアルゴン等)との混合ガス等を用いることができる。
The raw
The raw
The raw
複数の原料噴出孔34は、原料供給管31の端部(還元火炎が形成される側の端部)を貫通するように設けられている。複数の原料噴出孔34は、バーナ13の中心軸13Aに対して放射状に同一円周上に等間隔で配置されている。複数の原料噴出孔34は、バーナ13の中心軸13Aに対して、例えば、15~50℃外側に向いて傾斜するように設けることができる。
The plurality of raw material ejection holes 34 are provided so as to penetrate the end portion of the raw material supply pipe 31 (the end portion on the side where the reduction flame is formed). The plurality of raw material ejection holes 34 are arranged radially on the same circumference with respect to the
一次支燃性ガス供給管36は、バーナ13の軸方向に延在しており、その内部に原料供給管31を収容している。一次支燃性ガス供給管36の中心軸は、バーナ13の中心軸13Aと一致している。一次支燃性ガス供給管36は、その内部にリング状の突出部36Aを有する。突出部36Aは、原料供給管31の外面と接触している。
The primary fuel-supporting
一次支燃性ガス供給管36は、バーナ13の先端側に配置されたフロントプレート部36Bを有する。フロントプレート部36Bは、原料供給管31の先端面31aから突出するように配置されている。また、フロントプレート部36Bの内壁は、フロントプレート部36Bの先端から原料供給管31の先端面31aに向かうにつれて、開口径が小さくなるような傾斜面とされている。
これにより、原料供給管31の先端面31a側には、すり鉢形状とされた空間である燃焼室Cが形成されている。
The primary flammable
As a result, a combustion chamber C, which is a mortar-shaped space, is formed on the
一次支燃性ガス供給路37は、原料供給管31と一次支燃性ガス供給管36との間に形成された環状の空間である。一次支燃性ガス供給路37は、支燃性ガス供給源15と接続されている。一次支燃性ガス供給路37は、支燃性ガス供給源15から供給される一次支燃性ガス(例えば、酸素または酸素富化空気)を輸送する。
The primary fuel-supporting
複数の一次支燃性ガス噴出孔39は、突出部36Aを貫通するように設けられており、円周上等間隔に配置されている。複数の一次支燃性ガス噴出孔39を通過する円の中心は、バーナ13の中心軸13Aと一致している。
複数の一次支燃性ガス噴出孔39は、一次支燃性ガス供給路37が輸送した一次支燃性ガスをバーナ13の中心軸13Aに対して平行に噴出する。
The plurality of primary combustible gas ejection holes 39 are provided so as to penetrate the
The plurality of primary combustible gas ejection holes 39 eject the primary combustible gas transported by the primary combustible
冷却ジャケット管42は、円筒状とされており、一次支燃性ガス供給管36を収容するように、一次支燃性ガス供給管36の外側に設けられている。冷却ジャケット管42の中心軸は、バーナ13の中心軸13Aと一致している。
冷却ジャケット管42は、冷却水が流通可能な二重管構造とされている。これにより、冷却ジャケット管42は、該冷却水によりバーナ13を冷却する。
The cooling
The cooling
二次支燃性ガス供給路43は、一次支燃性ガス供給管36と冷却ジャケット管42との間に形成された環状の空間である。二次支燃性ガス供給路43は、支燃性ガス供給源15と接続されている。二次支燃性ガス供給路43は、支燃性ガス供給源15から供給される二次支燃性ガス(例えば、酸素または酸素富化空気)を燃焼室C側に輸送する。
The secondary fuel-supporting
複数の二次支燃性ガス噴出孔45は、フロントプレート部36Bを貫通するように設けられている。複数の二次支燃性ガス噴出孔45は、平面視した状態において円周上に等間隔で配置されている。
複数の二次支燃性ガス噴出孔45を通過する円の中心は、バーナ13の中心軸13Aと一致している。複数の二次支燃性ガス噴出孔45は、いずれもその噴射方向がバーナ13の中心軸13Aに向かうように傾斜して配置されている。
複数の二次支燃性ガス噴出孔45は、二次支燃性ガス供給路43に輸送された二次支燃性ガスを燃焼室Cに向けて噴射する。
The plurality of secondary combustion-supporting gas ejection holes 45 are provided so as to penetrate the
The center of the circle passing through the plurality of secondary combustion-supporting gas ejection holes 45 coincides with the
The plurality of secondary combustible gas ejection holes 45 inject the secondary combustible gas transported to the secondary combustible
上記構成とされたバーナ13は、酸素または酸素富化空気を支燃性ガスとして燃料ガスを燃焼させることで火炎を形成する。この際、燃料ガスの完全燃焼する酸素量よりも少ない量の酸素(支燃性ガス)を供給することで、火炎中に水素及び一酸化炭素が残る還元性の火炎(以下、単に「還元火炎」という)を形成できる。
The
図1に示すように、支燃性ガス供給源15は、バーナ13(具体的には、図3に示す一次支燃性ガス供給路37及び二次支燃性ガス供給路43)と接続されている。支燃性ガス供給源15は、一次支燃性ガス供給路37に一次支燃性ガスを供給すると共に、二次支燃性ガス供給路43に二次支燃性ガスを供給する。
As shown in FIG. 1, the combustible
図4は、図1に示す炉及び不活性ガス供給部のA-A線断面を示す図である。図4において、図1に示す構造体と同一構成部分には、同一符号を付す。 FIG. 4 is a diagram showing a cross section of the furnace and the inert gas supply unit shown in FIG. 1 along line AA. In FIG. 4, the same components as those of the structure shown in FIG. 1 are designated by the same reference numerals.
図1及び図4に示すように、炉17は、円筒状とされており、鉛直方向に延在している。X方向における炉17の切断面(A-A線で切断した際の断面)は、真円とされている。炉17内は、外気とは遮断されている。
炉17の頂部(上端)には、バーナ13の先端が下向きとなるように、バーナ13が取り付けられている。また、炉17の側壁17Aには、図示していない水冷構造(例えば、水冷ジャケット)が設けられている。炉17内の内径Dは、例えば、0.8mとすることができる。
As shown in FIGS. 1 and 4, the
A
炉17内の上部17-1は、金属超微粉の成長領域として使用される。すなわち、炉17内の上部17-1では、原料粉体である金属または金属化合物を加熱、蒸発、及び還元される。
The upper portion 17-1 in the
これに対して、炉17内の下部17-2では、加熱、蒸発、及び還元された原料粉体が旋回流Eにさらされることで、所望の粒度分布とされた金属超微粉が生成される。
On the other hand, in the lower portion 17-2 in the
炉17の下部17-2のうち、複数の不活性ガス供給部18の配設領域よりも下方に位置する部分には、炉17からガス(具体的には、燃焼排ガスと不活性ガスの混合ガス等)及び所望の粒度分布とされた金属超微粒を取り出すための取り出し口17Bが設けられている。
In the lower portion 17-2 of the
図1及び図4に示すように、複数の不活性ガス供給部18(例えば、ポート)は、炉17の側壁17Aに設けられており、炉17の側壁17Aの外面17aから突出している。
複数の不活性ガス供給部18は、炉17の側壁17Aの周方向、及び炉17の延在方向(鉛直方向)に配置されている。
複数の不活性ガス供給部18は、不活性ガス供給源19と接続されており、不活性ガス供給源19から供給された不活性ガス(例えば、窒素)を炉17内に噴出させる。
As shown in FIGS. 1 and 4, the plurality of inert gas supply units 18 (for example, ports) are provided on the
The plurality of inert
The plurality of inert
図4に示すように、複数の不活性ガス供給部18は、その延在方向が炉17の側壁17Aの接線方向と同じ方向となるように配置されている。これにより、炉17内に噴出された不活性ガスによって、炉17内に均一な旋回流Eを形成することが可能となる。
As shown in FIG. 4, the plurality of inert
この旋回流Eにより、炉17の上部17-1で加熱、蒸発、及び還元された原料粉体がさらされることで、所望の粒度分布とされた金属超微粉が生成され、所望の粒度分布とされた金属超微粉がガスと共に、取り出し口17Bを介して、バグフィルター21に輸送される。
また、旋回流Eの強さは、どのような粒度分布の金属超微粉を取得するかにより、適宜調節する必要がある。旋回流Eの強さは、不活性ガス供給部18から噴出される不活性ガスの噴出量(言い換えれば、炉17の側壁17Aから炉17の接線方向へ噴出する不活性ガスの噴出量)を変えることで調節可能である。
By this swirling flow E, the raw material powder heated, evaporated, and reduced in the upper portion 17-1 of the
Further, the strength of the swirling flow E needs to be appropriately adjusted depending on what kind of particle size distribution of the metal ultrafine powder is to be obtained. The strength of the swirling flow E is the amount of the inert gas ejected from the inert gas supply unit 18 (in other words, the amount of the inert gas ejected from the
具体的には、下記式(1)に示す炉17内の旋回流Eの強度(気流の旋回強度)を規定するS値を制御することで、旋回流Eの強度を調節する。
S=(Fs/Fz)/(D/d)・・・(1)
但し、上記式(1)において、「Fs」は、炉17内の旋回ガス(不活性ガス供給部18から噴出される不活性ガス等)の運動量、「Fz」は、バーナ13からの噴出ガス(バーナ13の原料噴出孔34から原料を噴出するキャリアガス等)の運動量、「D」は、炉17の内径、「d」は、バーナ13の出口径、をそれぞれ示す。
Specifically, the strength of the swirling flow E is adjusted by controlling the S value that defines the strength of the swirling flow E (the swirling strength of the air flow) in the
S = (Fs / Fz) / (D / d) ... (1)
However, in the above equation (1), "Fs" is the momentum of the swirling gas (inert gas etc. ejected from the inert gas supply unit 18) in the
上記式(1)において、旋回流Eの強度を規定するS値は、1.0よりも大きい値が好ましい(後述する図8参照。)。旋回流Eの強度を規定するS値が1.0以下の場合、炉17で生成される金属超微粉に多くの連結粒子が含まれてしまうため、真球形状とされた金属超微粉が求められる電子部品分野では不向きとなる。
In the above formula (1), the S value that defines the strength of the swirling flow E is preferably a value larger than 1.0 (see FIG. 8 to be described later). When the S value that defines the strength of the swirling flow E is 1.0 or less, the metal ultrafine powder generated in the
本実施形態において、狭い(シャープな)粒度分布を得る場合、S値が小さくなるような操作をする必要がある。ただし、S<1.0となると、連結粒子が多数発生する(図8を参照)。また、広い粒度分布を得るためには、S値を大きくするような操作をする必要がある。
具体的には、S値を小さくする操作としては、炉17内の旋回ガスの運動量を小さくする(すなわち、不活性ガス供給部18から噴出する不活性ガスの噴出量を少なくする)操作、あるいはバーナ13からの噴出ガスの運動量を大きくする(すなわち、バーナ13からの噴出する各ガスの噴出量を多くする)操作が挙げられる。
In the present embodiment, in order to obtain a narrow (sharp) particle size distribution, it is necessary to perform an operation so that the S value becomes small. However, when S <1.0, a large number of connected particles are generated (see FIG. 8). Further, in order to obtain a wide particle size distribution, it is necessary to perform an operation such as increasing the S value.
Specifically, as the operation of reducing the S value, the operation of reducing the momentum of the swirling gas in the furnace 17 (that is, reducing the amount of the inert gas ejected from the inert gas supply unit 18) or the operation of reducing the amount of the inert gas ejected from the inert
このように、炉17内の旋回流Eの強度(気流の旋回強度)を変化させることで、金属超微粉が所望の粒度分布となるように制御することが可能となる。 By changing the strength of the swirling flow E in the furnace 17 (the swirling strength of the air flow) in this way, it is possible to control the metal ultrafine powder so as to have a desired particle size distribution.
つまり、炉17内の上部17-1において原料粉体を加熱、蒸発、及び還元させ、その後、同一炉内の下部において発生させた旋回流Eの強度(気流の旋回強度)を調節することで、所望の粒度分布とされた金属超微粉を生成することが可能となる。
That is, by heating, evaporating, and reducing the raw material powder in the upper part 17-1 in the
このため、同一の炉内において、連続的な処理により、所望の粒度分布とされた金属超微粉を生成することが可能となる。
これにより、別々の場所で金属超微粉を生成する工程と、生成された金属超微粉を分級する工程と、を行う従来の方法と比較して、簡便に所望の粒度分布とされた金属超微粉を生成できる。
Therefore, in the same furnace, it is possible to produce metal ultrafine powder having a desired particle size distribution by continuous treatment.
As a result, the metal ultrafine powder having a desired particle size distribution can be easily obtained as compared with the conventional method of producing the metal ultrafine powder at different places and classifying the produced metal ultrafine powder. Can be generated.
また、湿式の分級工程を用いないため、所望の粒度分布とされた金属超微粉が凝集しにくく、ハンドリング性を向上できる。 Further, since the wet classification step is not used, the metal ultrafine powder having a desired particle size distribution is less likely to aggregate, and the handleability can be improved.
図4では、一例として、炉17の側壁17Aの周方向に、4つの不活性ガス供給部18を設けた場合を例に挙げて説明したが、炉17の側壁17Aの周方向に配置する不活性ガス供給部18の数は、必要に応じて適宜選択することができ、図4に限定されない。
In FIG. 4, as an example, the case where the four inert
また、図1では、一例として、炉17の延在方向に3段の不活性ガス供給部18を配置した場合を例に挙げて説明したが、炉17の延在方向における不活性ガス供給部18の段数は、図1に限定されない。
Further, in FIG. 1, as an example, the case where the three-stage inert
また、本実施形態では、図4に示すように、複数の不活性ガス供給部18としてポートを用いた場合を例に挙げて説明したが、複数の不活性ガス供給部18としてスリットを用いてもよい。
Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 4, the case where the port is used as the plurality of inert
バグフィルター21は、ブロワー22と接続されたガス排出部21Aと、金属超微粉回収部21Bと、を有する。ガス排出部21Aは、バグフィルター21の上部に設けられている。金属超微粉回収部21Bは、バグフィルター21の下端に設けられている。
バグフィルター21は、炉17の取り出し口17Bと接続されている。バグフィルター21には、取り出し口17Bを介して、ガス及び所望の粒度分布とされた金属超微粉が輸送される。
The
The
バグフィルター21は、炉17から輸送されたガス及び所望の粒度分布とされた金属超微粉のうち、金属超微粉回収部21Bから所望の粒度分布とされた金属超微粉を回収する。
ブロワー22は、ガス排出部21Aを介して、バグフィルター21内のガスを吸引し、該ガスを排ガスとして排出する。
The
The
本実施形態の金属超微粉製造装置によれば、炉17の頂部に配置され、かつ炉17内の上部17-1に還元火炎を形成するバーナ13と、炉17の下部17-2に設けられ、旋回流Eを発生させる複数の不活性ガス供給部18と、を備えるため、炉17内の上部17-1において原料粉体を加熱、蒸発、及び還元させ、その後、加熱、蒸発、及び還元された原料粉体を炉17内の下部17-2に発生させた旋回流Eのある流れ場を通過させる際、旋回流Eの強度(気流の旋回強度)を調節することで、所望の粒度分布とされた金属超微粉を生成することができる。
According to the metal ultrafine powder manufacturing apparatus of the present embodiment, the
つまり、本実施形態では、同一の炉17内において、連続的な処理により、所望の粒度分布とされた金属超微粉を生成することができる。
これにより、分級や混合といった別々の工程ではなく、金属超微粉の生成工程で粒度分布が調整できるため、従来の方法と比較して簡便に所望の粒度分布とされた金属超微粉を製造できる。
That is, in the present embodiment, it is possible to produce metal ultrafine powder having a desired particle size distribution by continuous treatment in the
As a result, the particle size distribution can be adjusted not in separate steps such as classification and mixing, but in the process of producing the metal ultrafine powder, so that the metal ultrafine powder having the desired particle size distribution can be easily produced as compared with the conventional method.
また、分級の際に、湿式の工程を用いないため、所望の粒度分布とされた金属超微粉が凝集しにくく、ハンドリング性を向上できる。 Further, since the wet process is not used at the time of classification, the metal ultrafine powder having a desired particle size distribution is less likely to aggregate, and the handleability can be improved.
さらに、本発明は、連続して行う1回の金属超微粉の生成工程により、2種類の異なる粒度を多く含む金属超微粉を取得することも可能である。 Further, according to the present invention, it is also possible to obtain metal ultrafine powder containing a large amount of two different particle sizes by one continuous step of producing metal ultrafine powder.
なお、原料噴出孔34、一次支燃性ガス噴出孔39、及び二次支燃性ガス噴出孔45の数や位置関係(レイアウト)等は、適宜選択することができ、図2に示す原料噴出孔34、一次支燃性ガス噴出孔39、及び二次支燃性ガス噴出孔45の数や位置関係(レイアウト)に限定されない。
また、原料噴出孔34、一次支燃性ガス噴出孔39、及び二次支燃性ガス噴出孔45の噴出角度についても適宜選択することができる。
The number and positional relationship (layout) of the raw material ejection holes 34, the primary fuel-supporting gas ejection holes 39, and the secondary combustion-supporting gas ejection holes 45 can be appropriately selected, and the raw material ejection holes shown in FIG. 2 can be selected as appropriate. The number and positional relationship (layout) of the
Further, the ejection angles of the raw
さらに、本実施形態では、水冷構造を有した炉17を例に挙げて説明したが、これに替えて、側壁17Aが耐火物(例えば、煉瓦や不定形キャスタブル等)で構成された炉を用いてもよい。
Further, in the present embodiment, the
(金属超微粉の製造方法)
次に、図1及び図4を参照して、本実施形態の金属超微粉の製造方法について説明する。
先ず、バーナ13に、燃料ガス及び原料粉体(金属または金属化合物よりなる粉体)と、一次支燃性ガス及び二次支燃性ガスと、を供給することで、炉17内の上部17-1に支燃性ガス及び燃料ガスにより高温還元火炎を形成し、高温還元火炎中で原料粉体を加熱、蒸発、及び還元させる。
このとき、炉17内の下部17-2には、炉17の側壁17Aの接線方向から不活性ガス(例えば、窒素)を噴出させることで、旋回流Eが形成される。
(Manufacturing method of ultrafine metal powder)
Next, a method for producing the metal ultrafine powder of the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 4.
First, by supplying the fuel gas and the raw material powder (powder made of a metal or a metal compound), the primary fuel-supporting gas and the secondary fuel-supporting gas to the
At this time, a swirling flow E is formed in the lower portion 17-2 of the
次いで、炉17の下部17-2に移動した加熱、蒸発、及び還元された原料粉体は、旋回流Eのある流れ場を通過し、旋回流Eにより、所望の粒度分布とされた金属超微粒子が生成される。その後、該所望の粒度分布とされた金属超微粒子は、ガスと共に、炉17の取り出し口17Bを介して、バグフィルター21に輸送される。
Next, the heated, evaporated, and reduced raw material powder moved to the lower portion 17-2 of the
バグフィルター21では、ガスと、所望の粒度分布とされた金属超微粒子と、が分離され、下端から所望の粒度分布とされた金属超微粒子を取得する。
これにより、所望の粒度分布とされた金属超微粒子の製造が完了する。
In the
This completes the production of ultrafine metal particles having a desired particle size distribution.
本実施形態の金属超微粒子の製造方法によれば、炉17内の上部17-1において原料粉体を加熱、蒸発、及び還元させ、その後、加熱、蒸発、及び還元された原料粉体を同一炉17内に発生させた旋回流Eのある流れ場を通過させる際、旋回流Eの強度(気流の旋回強度)を調節することで、所望の粒度分布とされた金属超微粉を生成することが可能となる。
According to the method for producing ultrafine metal particles of the present embodiment, the raw material powder is heated, evaporated, and reduced in the upper portion 17-1 in the
つまり、同一の炉17内における連続的な処理により、所望の粒度分布とされた金属超微粉を生成することが可能となる。
これにより、分級や混合といった別々の工程ではなく、金属超微粉の生成工程で粒度分布が調整できるため、従来の方法と比較して簡便に所望の粒度分布とされた金属超微粉を製造できる。
That is, continuous treatment in the
As a result, the particle size distribution can be adjusted not in separate steps such as classification and mixing, but in the process of producing the metal ultrafine powder, so that the metal ultrafine powder having the desired particle size distribution can be easily produced as compared with the conventional method.
また、分級の際に、湿式の工程を用いないため、所望の粒度分布とされた金属超微粉が凝集しにくく、金属超微粉のハンドリング性を向上できる。 Further, since the wet process is not used at the time of classification, the metal ultrafine powder having a desired particle size distribution is less likely to aggregate, and the handling property of the metal ultrafine powder can be improved.
さらに、本発明は、連続して行う1回の金属超微粉の生成工程により、2種類の異なる粒度を多く含む金属超微粉を取得することも可能である。 Further, according to the present invention, it is also possible to obtain metal ultrafine powder containing a large amount of two different particle sizes by one continuous step of producing metal ultrafine powder.
以上、本発明の好ましい一実施形態について詳述したが、本発明はかかる特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。 Although the preferred embodiment of the present invention has been described in detail above, the present invention is not limited to such a specific embodiment, and various within the scope of the gist of the present invention described in the claims. Can be transformed / changed.
(実施例)
実施例では、始めに、原料粉体として平均粒径が5μmの酸化ニッケル粉(3kg/h)を用いて、図1に示す金属超微粉製造装置10により、ニッケル超微粉を生成した。
このとき、燃料ガスとして天然ガス(11.1Nm3/h)、支燃性ガスとして酸素(酸素比0.9、一次支燃性ガスと二次支燃性ガスとの分配比:全体の酸素量で2:8となるように配分)、炉17の内径Dを0.8m、不活性ガスとして窒素(50~250Nm3/h)を用いた。
なお、上記「酸素比」とは、燃料が完全燃焼するために必要な酸素の量を1と定義したときの値のことをいう。
(Example)
In the examples, first, nickel oxide powder (3 kg / h) having an average particle size of 5 μm was used as the raw material powder, and nickel ultrafine powder was produced by the metal ultrafine powder producing apparatus 10 shown in FIG.
At this time, natural gas (11.1 Nm 3 / h) is used as the fuel gas, and oxygen (oxygen ratio 0.9, distribution ratio between the primary and secondary combustion-supporting gas) is used as the fuel-supporting gas: total oxygen. The amount was distributed so as to be 2: 8), the inner diameter D of the
The above-mentioned "oxygen ratio" refers to a value when the amount of oxygen required for complete combustion of fuel is defined as 1.
また、金属超微粉製造装置10を構成するバーナ13としては、図2及び図3に示す構造のバーナ13を用いた。
また、ニッケル超微粉を生成する際、天然ガスの供給量、酸素比の値、及び酸化ニッケルの供給量を一定とし、炉17内に供給する窒素の量を変えることで、気流の旋回強度(旋回流Eの強度)を規定するS値を制御して、旋回流Eの強度を調整した。
Further, as the
In addition, when producing nickel ultrafine powder, the amount of natural gas supplied, the value of the oxygen ratio, and the amount of nickel oxide supplied are kept constant, and the amount of nitrogen supplied into the
上記手法により生成された金属超微粉を、それぞれFE-SEM(JSM-6700F(日本電子株式会社製))を用い、20000倍の倍率で、異なる場所を20箇所観察した。
次いで、上記観察したそれぞれ20箇所の画像データを、画像解析ソフト(「Scandium」;Soft Imaging System GmbH社製)を用いて解析し、この解析結果から得られた粒度分布に基づきCv値を算出して比較した。
The metal ultrafine powder produced by the above method was observed at 20 different locations using FE-SEM (JSM-6700F (manufactured by JEOL Ltd.)) at a magnification of 20000 times.
Next, the image data at each of the 20 observed locations was analyzed using image analysis software (“Scandium”; manufactured by Soft Imaging System GmbH), and the Cv value was calculated based on the particle size distribution obtained from this analysis result. And compared.
Cv値は、下記式(2)で求められる。Cv値は、粒度分布の幅を示す値であり、Cv値が小さいほど粒度分布が狭く(シャープ)で、Cv値が大きいと粒度分布が広いことを意味する。
Cv値=「標準偏差(μm)」/「平均粒径(μm)」×100(%)・・・(2)
上記式(2)において、「標準偏差(μm)」及び「平均粒径(μm)は、上記画像解析ソフトを用いて得られた値である。
The Cv value is obtained by the following formula (2). The Cv value is a value indicating the width of the particle size distribution, and the smaller the Cv value, the narrower the particle size distribution (sharp), and the larger the Cv value, the wider the particle size distribution.
Cv value = "standard deviation (μm)" / "average particle size (μm)" x 100 (%) ... (2)
In the above formula (2), the "standard deviation (μm)" and the "average particle size (μm)" are values obtained by using the above image analysis software.
図5は、旋回流の強度を規定するS値が8.1の場合にバグフィルターから回収したニッケル超微粉をFE-SEMで撮影した写真である。図6は、旋回流の強度を規定するS値が1.0の場合にバグフィルターから回収したニッケル超微粉をFE-SEMで撮影した写真である。
図7は、旋回流の強度を規定するS値が0.4の場合にバグフィルターから回収したニッケル超微粉をFE-SEMで撮影した写真である。
FIG. 5 is a photograph of nickel ultrafine powder recovered from a bag filter taken by FE-SEM when the S value defining the strength of the swirling flow is 8.1. FIG. 6 is a photograph of nickel ultrafine powder recovered from a bag filter taken by FE-SEM when the S value defining the strength of the swirling flow is 1.0.
FIG. 7 is a photograph of nickel ultrafine powder recovered from a bag filter taken by FE-SEM when the S value defining the strength of the swirling flow is 0.4.
図5~図7に示すように、旋回流Eの強度を規定するS値が1.0未満になると、連結粒子が多く存在することが確認できた。このことから、連結粒子を防ぐという観点において、旋回流Eの強度を規定するS値は、1.0以上が好ましいことが確認できた。 As shown in FIGS. 5 to 7, it was confirmed that when the S value defining the strength of the swirling flow E was less than 1.0, a large number of connected particles were present. From this, it was confirmed that the S value defining the strength of the swirling flow E is preferably 1.0 or more from the viewpoint of preventing the connected particles.
図8は、旋回流の強度を規定するS値を変化させたときのCv/Cv0の値の推移を示す図である。なお、Cv0としては、旋回流の強度を規定するS値が4.5のときのCv値を用いた。 FIG. 8 is a diagram showing the transition of the value of Cv / Cv 0 when the S value defining the strength of the swirling flow is changed. As Cv 0 , the Cv value when the S value defining the strength of the swirling flow was 4.5 was used.
図8に示すように、旋回流の強度を規定するS値を変えることで、ニッケル超微粉の粒度分布を制御できることが確認できた。
すなわち、S値を小さくすると粒度分布はシャープになる(Cv値は小さくなる)。ただし、S値が1.0未満になると、連結粒子が多数発生してしまい、例えば内部電極材料としては好ましくない。一方、S値を大きくすると粒度分布は広くなり、大粒子が含まれるようになる。
As shown in FIG. 8, it was confirmed that the particle size distribution of the nickel ultrafine powder can be controlled by changing the S value that defines the strength of the swirling flow.
That is, when the S value is made small, the particle size distribution becomes sharp (the Cv value becomes small). However, if the S value is less than 1.0, a large number of connecting particles are generated, which is not preferable as an internal electrode material, for example. On the other hand, when the S value is increased, the particle size distribution becomes wider and large particles are included.
本発明は、金属超微粉の製造方法に適用可能である。 The present invention is applicable to a method for producing ultrafine metal powder.
10…金属超微粉製造装置、11…燃料ガス供給源、12…原料フィーダー、13…バーナ、13A…中心軸、15…支燃性ガス供給源、17…炉、17a…外面、17A…側壁、17B…取り出し口、17-1…上部、17-2…下部、18…不活性ガス供給部、19…不活性ガス供給源、21…バグフィルター、21A…ガス排出部、21B…金属超微粉回収部、22…ブロワー、31…原料供給管、31a…先端面、32…原料供給路、34…原料噴出孔、36…一次支燃性ガス供給管、36A…突出部、36B…フロントプレート部、37…一次支燃性ガス供給路、39…一次支燃性ガス噴出孔、42…冷却ジャケット管、43…二次支燃性ガス供給路、45…二次支燃性ガス噴出孔、C…燃焼室、D…内径、E…旋回流 10 ... Metal ultrafine powder production equipment, 11 ... Fuel gas supply source, 12 ... Raw material feeder, 13 ... Burner, 13A ... Central axis, 15 ... Combustible gas supply source, 17 ... Furnace, 17a ... Outer surface, 17A ... Side wall, 17B ... Extraction port, 17-1 ... Upper part, 17-2 ... Lower part, 18 ... Inactive gas supply part, 19 ... Inactive gas supply source, 21 ... Bug filter, 21A ... Gas discharge part, 21B ... Metal ultrafine powder recovery Part, 22 ... Blower, 31 ... Raw material supply pipe, 31a ... Tip surface, 32 ... Raw material supply path, 34 ... Raw material ejection hole, 36 ... Primary fuel-supporting gas supply pipe, 36A ... Protruding part, 36B ... Front plate part, 37 ... Primary combustion-supporting gas supply path, 39 ... Primary-supporting gas ejection hole, 42 ... Cooling jacket tube, 43 ... Secondary combustion-supporting gas supply path, 45 ... Secondary combustion-supporting gas ejection hole, C ... Combustion chamber, D ... inner diameter, E ... swirling flow
Claims (3)
前記炉内に、前記加熱、前記蒸発、及び前記還元された前記原料粉体を冷却する旋回流を形成し、下記式(1)で示される前記旋回流の強度を規定するS値を変化させて前記金属超微粉の粒度分布を制御することで、所望の粒度分布とされた前記金属超微粉を生成する、金属超微粉の製造方法。
S=(Fs/Fz)/(D/d)・・・(1)
但し、上記式(1)において、
Fs:炉内旋回ガス運動量、
Fz:バーナ噴出ガス運動量、
D:炉内径、
d:バーナ出口径、をそれぞれ示す。 A reducing flame is formed by burning fuel with a burner using oxygen or oxygen-enriched air as a combustion-supporting gas in a cylindrical furnace that is shielded from the outside air, and powdered metal or metal is put into the reducing flame. A method for producing metal ultrafine powder, which produces metal ultrafine powder by supplying raw material powder which is a compound and heating, evaporating, and reducing the raw material powder.
A swirling flow for cooling the heating, the evaporation, and the reduced raw material powder is formed in the furnace, and the S value defining the strength of the swirling flow represented by the following formula (1) is changed. A method for producing a metal ultrafine powder, which produces the metal ultrafine powder having a desired particle size distribution by controlling the particle size distribution of the metal ultrafine powder .
S = (Fs / Fz) / (D / d) ... (1)
However, in the above formula (1),
Fs: Momentum of swirling gas in the furnace,
Fz: Burner eruption gas momentum,
D: furnace inner diameter,
d: Burner outlet diameter, respectively.
前記原料粉体を前記バーナに供給し、
前記炉の上部において、前記原料粉体を前記加熱、前記蒸発、及び前記還元させ、
前記炉の下部に、前記旋回流を形成する、請求項1又は2に記載の金属超微粉の製造方法。 The burner is located at the top of the furnace and
The raw material powder is supplied to the burner,
In the upper part of the furnace, the raw material powder is heated, evaporated, and reduced.
The method for producing a metal ultrafine powder according to claim 1 or 2 , wherein the swirling flow is formed in the lower part of the furnace.
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009024239A (en) | 2007-07-23 | 2009-02-05 | Taiyo Nippon Sanso Corp | Production method of metallic ultrafine powder |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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