JP7025440B2 - 可変周波数発生器を用いるスマート高周波パルス調整 - Google Patents
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Description
Claims (15)
- マルチレベルパルス高周波電力を使用するプラズマ強化基板処理システムで基板を処理する方法であって、
(a)第1デューティサイクルの間に、複数の高周波発生器からの複数のパルス高周波電力波形を含む、基板を処理するための処理レシピを受け取る工程と、
(b)第1デューティサイクルを複数の均等な時間間隔に分割する工程と、
(c)各高周波発生器について、すべての間隔のための周波数指令セットを決定し、周波数指令セットを高周波発生器に送信する工程であって、周波数指令セットは、複数の均等な時間間隔の各間隔のための周波数設定点を含んでいる工程と、
(d)各高周波発生器に送信された周波数指令セットに従って、第1デューティサイクルの間に、複数の高周波発生器から処理チャンバへ複数の高周波電力波形を供給する工程とを含む方法。 - 複数の均等に分割された時間間隔のうちの第1時間間隔の間に、第1反射電力又はインピーダンスを測定する工程と、
複数の高周波発生器の少なくとも1つによって供給される周波数又は電力を調整して、反射電力又はインピーダンスを低減する工程とをさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 各高周波発生器に送信された周波数指令セットに従って、第1デューティサイクルの間に、複数の高周波発生器から処理チャンバへ複数の高周波電力波形を供給する工程は、複数の均等に分割された時間間隔のうちの第2時間間隔の周波数設定点で電力を供給する工程を含み、
方法は、
複数の均等に分割された時間間隔のうちの第2時間間隔の間に第2反射電力又はインピーダンスを測定する工程と、
複数の高周波発生器の少なくとも1つによって供給される周波数又は電力を調整して、反射電力又はインピーダンスを低減する工程とをさらに含んでいる、請求項2に記載の方法。 - 第1デューティサイクルにおけるすべての間隔にわたる平均インピーダンス値を計算する工程と、
1つ以上の高周波整合ネットワークの可変整合器構成要素を、計算された平均値に調整する工程とをさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 計算された平均値に調整される可変整合器構成要素は、可変コンデンサ又はインダクタのうちの少なくとも一方を備えている、請求項4に記載の方法。
- 計算された平均値に調整される可変整合器構成要素は、電子的に調整されるか、又は機械的に調整されている、請求項4に記載の方法。
- 均等に分割された時間間隔の数が10間隔である、請求項1~6のいずれか1項に記載の方法。
- 周波数指令セットは、高周波整合ネットワークによって決定されている、請求項1~6のいずれか1項に記載の方法。
- 周波数指令セットは、高周波整合ネットワークと高周波発生器とを直接的かつ通信的に接続する高速通信ケーブルを介して高周波発生器に送信されている、請求項8に記載の方法。
- 周波数指令セットは、高周波ネットワークと高周波整合器に通信的に接続されたパルスコントローラを介して間接的に高周波整合ネットワークにより高周波発生器に送信されている、請求項8に記載の方法。
- 複数の高周波発生器のうちの1つからタイミング信号を受け取って、複数の高周波発生器からの複数の高周波電力波形を同期させる工程をさらに含む、請求項1~6のいずれか1項に記載の方法。
- タイミング信号は、13MHzのオン/オフタイミング信号である、請求項11に記載の方法。
- 複数の高周波電力波形のうちの少なくとも1つは、複数の電力レベルでパルス化されたデュアルレベルパルス(DLP)波形である、請求項1~6のいずれか1項に記載の方法。
- 第1デューティサイクルの間に処理チャンバへ複数の高周波電力波形を供給するように構成された複数の高周波発生器と、
複数の高周波発生器に接続されたパルスコントローラと、
複数の高周波発生器、処理チャンバ、及びパルスコントローラの各々に接続された少なくとも1つの整合ネットワークとを備える基板処理システムであって、
少なくとも1つの整合ネットワークは、複数の高周波電力波形及び少なくとも1つの可変整合器構成要素のための反射電力を測定するように構成された少なくとも1つの測定装置を備え、少なくとも1つの整合ネットワークは、
(a)第1デューティサイクルの間に、複数の高周波発生器からの複数のパルス高周波電力波形を含む、基板を処理するための処理レシピを受け取り、
(b)第1デューティサイクルを複数の均等な時間間隔に分割し、
(c)各高周波発生器について、すべての間隔のための周波数指令セットを決定し、
(d)周波数指令セットを高周波発生器に送信するように構成され、周波数指令セットは、複数の均等な時間間隔の各間隔のための周波数設定点を含んでいる基板処理システム。 - 複数の高周波発生器は、少なくとも1つの整合ネットワークによって各高周波発生器に送信された周波数指令セットに従って、第1デューティサイクルの間に、複数の高周波電力波形を処理チャンバへ供給するように構成されている、請求項14に記載の基板処理システム。
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