JP7021879B2 - mount - Google Patents
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Description
本発明は、スピンドルに研削ホイールを装着するためのマウントに関する。 The present invention relates to a mount for mounting a grinding wheel on a spindle.
ウェーハ等の板状ワークの表面を研削する研削装置は、研削ホイールを備えている。研削ホイールは、環状の基台と、その基台の下面に固定された環状の砥石とを有し、切削装置のスピンドルの下端にマウントを介して装着される。マウントは、基台の内側面に嵌合する円板状凸部を有する。研削ホイールは、その基台の内側面を円板状凸部の外周面に全周に亘って嵌合させることにより、研削ホイールの中心をスピンドルの軸心と一致させてマウントに装着される。研削ホイールは、その砥石がある程度まで摩耗したらマウントから取り外され新品と交換される。 A grinding device that grinds the surface of a plate-shaped workpiece such as a wafer is provided with a grinding wheel. The grinding wheel has an annular base and an annular grindstone fixed to the lower surface of the base, and is mounted on the lower end of the spindle of the cutting device via a mount. The mount has a disc-shaped protrusion that fits into the inner surface of the base. The grinding wheel is mounted on the mount so that the center of the grinding wheel is aligned with the axis of the spindle by fitting the inner surface of the base to the outer peripheral surface of the disk-shaped convex portion over the entire circumference. When the grindstone is worn to some extent, the grinding wheel is removed from the mount and replaced with a new one.
研削ホイールの位置決めを正確に行うためには、マウントの円板状凸部と研削ホイールの基台の内周との隙間ができるだけ小さいことが好ましい。しかし、その隙間が小さすぎるとマウントへの研削ホイールの脱着がし難くなるため、円板状凸部と基台との間には少し隙間を持たせてある(例えば、特許文献1参照)。 In order to accurately position the grinding wheel, it is preferable that the gap between the disc-shaped protrusion of the mount and the inner circumference of the base of the grinding wheel is as small as possible. However, if the gap is too small, it becomes difficult to attach / detach the grinding wheel to / from the mount, so that a slight gap is provided between the disc-shaped convex portion and the base (see, for example, Patent Document 1).
上記のように、円板状凸部と基台との間には少し隙間があるため、その隙間には毛細管現象によって研削屑を含む研削水が浸入することになる。そして、その研削水が乾燥することにより、円板状凸部と基台との隙間が全周に亘って研削屑で埋められる。その結果、円板状凸部と基台とが研削屑で強固に接着された状態になり、研削ホイールを交換する際の研削ホイールの取り外しの妨げとなる。 As described above, since there is a slight gap between the disc-shaped convex portion and the base, grinding water containing grinding debris infiltrates into the gap due to the capillary phenomenon. Then, as the grinding water dries, the gap between the disc-shaped convex portion and the base is filled with grinding debris over the entire circumference. As a result, the disc-shaped convex portion and the base are firmly adhered to each other by the grinding debris, which hinders the removal of the grinding wheel when the grinding wheel is replaced.
本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、その目的は、研削ホイールの位置決めを正確に行うとともに研削ホイールを交換する際の研削ホイールの取り外しを容易に行えるようにすることにある。 The present invention has been considered to have such a problem, and an object of the present invention is to accurately position the grinding wheel and to easily remove the grinding wheel when replacing the grinding wheel.
本発明は、スピンドルの先端に連結され、砥石を環状に配設した研削ホイールの中心を該スピンドルの軸心と一致させて装着するマウントであって、研削ホイールは、一方の端面を該マウントに装着される被装着面とする環状の基台と、他方の面に配設された環状の該砥石と、を備え、該マウントは、該研削ホイールを装着する環状の装着面と、該マウントの中心を中心として等角度で該基台の内側面に接触する少なくとも3つの凸部と、該研削ホイールを該マウントに取り付けるためのねじを挿通させる研削ホイール用ねじ挿通孔と、を備え、該基台には、該研削ホイールを該マウントに取り付けるため該研削ホイール用ねじ挿通孔に対応した複数のねじ穴が配設され、該少なくとも3つの凸部が該基台の内側面に接触することにより該スピンドルの軸心に該研削ホイールの中心を位置づけ、該ねじを該研削ホイール用ねじ挿通孔に挿通し該ねじ穴に螺合させて締め付けることによって該研削ホイールが該マウントに固定され、該凸部が該基台の内側面と接触しない部分においては該マウントと該基台の内側面との間に大きな隙間が形成される。 The present invention is a mount that is connected to the tip of a spindle and is mounted so that the center of a grinding wheel in which a grindstone is arranged in an annular shape is aligned with the axis of the spindle. The mount comprises an annular base as a mounting surface to be mounted and the annular grindstone disposed on the other surface, and the mount has an annular mounting surface on which the grinding wheel is mounted and the mount. The base is provided with at least three protrusions that come into contact with the inner surface of the base at an equal angle around the center, and a screw insertion hole for the grinding wheel through which a screw for attaching the grinding wheel to the mount is inserted. The table is provided with a plurality of screw holes corresponding to the screw insertion holes for the grinding wheel in order to mount the grinding wheel on the mount, and the at least three protrusions come into contact with the inner surface of the base. The grinding wheel is fixed to the mount by positioning the center of the grinding wheel at the axis of the spindle, inserting the screw into the screw insertion hole for the grinding wheel, screwing it into the screw hole, and tightening the screw hole. A large gap is formed between the mount and the inner surface of the base at the portion where the portion does not contact the inner surface of the base.
本発明に係るマウントによれば、少なくとも3つの凸部が基台の内側面に接触することによりスピンドルの軸心に研削ホイールの中心を位置づけることができ、それらの凸部が基台の内側面と接触しない部分においてはマウントと基台の内側面との間に大きな隙間が形成されることにより、マウントと基台の内側面との接触部が全周に亘って研削屑で接着された状態になるのを防止できる。したがって、研削ホイールの位置決めを正確に行うとともに研削ホイールを交換する際の研削ホイールの取り外しを容易に行うことができる。 According to the mount according to the present invention, the center of the grinding wheel can be positioned at the axis of the spindle by contacting at least three convex portions with the inner surface of the base, and these convex portions are the inner surface of the base. A large gap is formed between the mount and the inner surface of the base in the portion that does not come into contact with the mount, so that the contact portion between the mount and the inner surface of the base is adhered with grinding debris over the entire circumference. Can be prevented from becoming. Therefore, the grinding wheel can be accurately positioned and the grinding wheel can be easily removed when the grinding wheel is replaced.
図1に示す研削ホイール10は、研削装置に備えるスピンドル30の下端に、マウント20を介して交換可能に取り付けられる。なお、図1においては、上下が反転して示されている。
The
研削ホイール10は、一方の端面(被装着面)12がマウント20に装着される環状の基台11と、他方の端面13に配設された環状の研削砥石15とを備える。基台11の被装着面12には、研削ホイール10をマウント20に取り付けるための図示しない複数のねじ穴が周方向に等間隔に配設されている。
The grinding
マウント20は、円板状のマウント本体21とマウント本体21の下面22に一体的に設けられた板状凸部23とを有する。マウント本体21の外径寸法は、研削ホイール10の基台11の外径寸法と等しい。マウント本体21の下面22の周縁部は、研削ホイール10の被装着面12が装着される環状の装着面24をなす。
The
板状凸部23は、正方形状に形成された板状部材の四隅を面取りして4つの凸部25を設けた形状に形成されており、各凸部25は、基台11の内側面14と曲率が略等しい円弧状の接触面26を有する。また、4つの凸部25は、マウント20の中心を中心として等角度(この例では90°毎)に配置されている。各凸部25の接触面26が基台11の内側面14に接触して嵌合することにより、マウント20に対する研削ホイール10の位置決めがなされる。なお、4つの凸部25の接触面26の合計面積は、基台11の内側面14と同径の従来構造の円板状凸部の全周面積の1/4以下である。
The plate-
マウント20には、これをスピンドル30に固定するための複数のスピンドル用ねじ挿通孔27と、研削ホイール10をマウント20に取り付けるための複数の研削ホイール用ねじ挿通孔28とが設けられている。スピンドル用ねじ挿通孔27は、マウント本体21及び板状凸部23を貫通させて周方向に等間隔に配設されている。研削ホイール用ねじ挿通孔28は、装着面24の径方向中央部に周方向に等間隔に配設されている。
The
スピンドル30は、マウント20よりも小径の円柱状の部材である。スピンドル30の下端面31には、マウント20のスピンドル用ねじ挿通孔27に対応させて複数のねじ穴32が設けられている。ねじ穴32は、下端面31の周縁近傍に周方向に等間隔に配設されている。
The
上記のように構成されたマウント20は、マウント本体21の上面29をスピンドル30の下端面31に接触させ、マウント20の各スピンドル用ねじ挿通孔27をスピンドル30の各ねじ穴32に合わせた状態で、図示しないねじをマウント20のスピンドル用ねじ挿通孔27に挿通しスピンドル30のねじ穴32に螺合させて締め付けることによりスピンドル30に同軸に位置決めされて固定される。
In the
研削ホイール10は、基台11の内側面14をスピンドル30に固定されたマウント本体21の板状凸部23に嵌合させるとともに基台11の被装着面12をマウント20の装着面24に接触させ、基台11の各ねじ穴をマウント20の各研削ホイール用ねじ挿通孔28に合わせた状態で、図示しないねじをマウント20の研削ホイール用ねじ挿通孔28に挿通し、基台11のねじ穴に螺合させて締め付けることによりマウント20に装着される。その際、板状凸部23の4つの凸部25が基台11の内側面14に接触して嵌合することにより、スピンドル30の軸心に研削ホイール10の中心が位置づけられる。そして、凸部25が基台11の内側面14と接触しない部分においては、マウント20と基台11の内側面14との間に、視認可能でかつ指や棒状のものなどを入れることが可能なほどの大きな隙間が形成される。
In the
凸部25と基台11の内側面14との間には、実際には研削ホイール10の取り外しを可能とするために若干の隙間が存在しており、スピンドル30を回転させて研削砥石15を被加工物に接触させるとともに、当該接触部分に研削水を供給すると、凸部25と基台11の内側面14との間の隙間には、毛細管現象によって研削屑を含む研削水が浸入する。そのため、その研削水が乾燥することにより、各凸部25と基台11との隙間が研削屑で埋められ、各凸部25と基台11とが研削屑で接着された状態になりうるが、4つの凸部25が基台11の内側面14と接触する接触面26の合計面積は、板状凸部23が基台11の内側面14に全周に亘って接触したと仮定した場合の接触面積のごく一部(1/4以下)であるので、研削ホイール10を交換する際の研削ホイール10の取り外しの妨げとはならない。
There is actually a slight gap between the
このように、マウント20によれば、4つの凸部25が基台11の内側面14に接触して支持されることによりスピンドル30の軸心に研削ホイール10の中心を位置づけることができ、それらの凸部25が基台11の内側面14と接触しない部分においてはマウント20と基台11の内側面14との間に大きな隙間が形成されることにより、マウント20と基台11の内側面14との接触部が全周に亘って研削屑で接着された状態になるのを防止できるので、研削ホイール10の位置決めを正確に行うとともに研削ホイール10を交換する際の研削ホイール10の取り外しを容易に行えるようにすることができる。
As described above, according to the
なお、本発明の実施形態は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。例えば、上記実施形態のマウント20は、4つの凸部25を有する略正方形の板状凸部23を有するものであるが、図2に示すマウント20aのように、3つの凸部25aを有する略正三角形の板状凸部23aを有するものであってもよい。この場合は、正三角形の頂点を面取りして基台11の内側面14と曲率半径の略等しい3つの凸部25aを設け、各凸部25aは、基台11の内側面14と曲率が略等しい円弧状の接触面26aを有する。また、略正五角形、略正六角形といった多角形状の板状凸部の各頂点を面取りした形状のマウントとしてもよい。
The embodiment of the present invention is not limited to the above embodiment, and may be variously modified, replaced, or modified without departing from the spirit of the technical idea of the present invention. For example, the
さらに、上記実施形態では、板状凸部23の凸部25と基台11の内側面14とが面接触する構成を採用したが、図3に例示するマウント20bのように、板状凸部23bと基台11の内側面14とが点接触する構成としてもよい。この場合、正方形の板状凸部23bの4つの角が凸部25bとなって基台11の内側面14の4箇所に点接触することにより、研削ホイール10の位置決めがなされる。
Further, in the above embodiment, a configuration is adopted in which the
また、図4に示すマウント20cのように、円形の外周部から外側に突出した略半円状の小さな凸部25cを複数備える構成としてもよい。この場合の凸部25cは、基台11の内側面14よりも小さい曲率半径を有し、凸部25cの先端が基台11の内側面14に点接触することにより、研削ホイール10の位置決めがなされる。
Further, as in the
10:研削ホイール 11:基台 12:被装着面
13:端面 14:内側面 15:研削砥石
20、20a、20b、20c:マウント 21:マウント本体 22:下面
23、23a、23b、23c:板状凸部 24:装着面
25、25a、25b、25c:凸部 26:接触面
27:スピンドル用ねじ挿通孔 28:研削ホイール用ねじ挿通孔 29:上面
30:スピンドル 31:下端面 32:ねじ穴
10: Grinding wheel 11: Base 12: Mounted surface 13: End surface 14: Inner surface 15: Grinding
Claims (1)
研削ホイールは、一方の端面を該マウントに装着される被装着面とする環状の基台と、他方の端面に配設された環状の該砥石と、を備え、
該マウントは、該研削ホイールを装着する環状の装着面と、該マウントの中心を中心として等角度で該基台の内側面に接触する少なくとも3つの凸部と、該研削ホイールを該マウントに取り付けるためのねじを挿通させる研削ホイール用ねじ挿通孔と、を備え、
該基台には、該研削ホイールを該マウントに取り付けるため該研削ホイール用ねじ挿通孔に対応した複数のねじ穴が配設され、
該少なくとも3つの凸部が該基台の内側面に接触することにより該スピンドルの軸心に該研削ホイールの中心を位置づけ、該ねじを該研削ホイール用ねじ挿通孔に挿通し該ねじ穴に螺合させて締め付けることによって該研削ホイールが該マウントに固定され、該凸部が該基台の内側面と接触しない部分においては該マウントと該基台の内側面との間に大きな隙間が形成されるマウント。 It is a mount that is connected to the tip of the spindle and is mounted so that the center of the grinding wheel with the grindstone arranged in an annular shape is aligned with the axis of the spindle.
The grinding wheel comprises an annular base having one end surface as a mounting surface to be mounted on the mount, and the annular grindstone disposed on the other end surface.
The mount has an annular mounting surface on which the grinding wheel is mounted, at least three protrusions that contact the inner surface of the base at an equal angle around the center of the mount, and the grinding wheel to be mounted on the mount. With a screw insertion hole for the grinding wheel to insert the screw for
The base is provided with a plurality of screw holes corresponding to the screw insertion holes for the grinding wheel in order to mount the grinding wheel on the mount.
The center of the grinding wheel is positioned at the axis of the spindle by contacting the inner side surface of the base with the at least three protrusions, and the screw is inserted into the screw insertion hole for the grinding wheel and screwed into the screw hole. The grinding wheel is fixed to the mount by fitting and tightening, and a large gap is formed between the mount and the inner surface of the base at the portion where the convex portion does not contact the inner surface of the base. Mount.
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