JP7015994B2

JP7015994B2 - 基板搬送装置

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Publication number: JP7015994B2
Application number: JP2018032641A
Authority: JP
Inventors: 智昭中西
Original assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Current assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority date: 2018-02-27
Filing date: 2018-02-27
Publication date: 2022-02-04
Anticipated expiration: 2038-02-27
Also published as: JP2019149433A

Description

本発明は、基板の両端を支持して搬送する２つのコンベアを備えた基板搬送装置に関する。

基板に部品を実装する部品実装機は、基板を搬送して作業位置に位置決めする基板搬送装置を備えている。基板搬送装置は、基板を搬送する２つのコンベアから成る搬送レーンのほか、基板をクランプするための機構として、２つのコンベアの下方を昇降する昇降体と、上昇する昇降体によって下端のポスト部材が押し上げられることで上昇して基板の両端を下方から押し上げる２つの可動クランパと、可動クランパによって押し上げられた基板の上面の両端が押付けられる２つの固定クランパを備えている（例えば、下記の特許文献１参照）。

基板搬送装置では、２つのコンベアは固定側と可動側の２つのコンベアユニットから構成されており、可動クランパと固定クランパは各コンベアユニットに取り付けられている。固定側のコンベアユニット（固定側ユニット）に対して可動側のコンベアユニット（可動側ユニット）の位置を変更することで、基板のサイズに応じて両コンベアの間隔を変えることが可能であり、これに応じて２つの可動クランパの間隔も変更可能である。そして、昇降体が、２つの可動クランパの間隔が変更される間隔変更方向に延びた押上げ部でポスト部材を押し上げることで２つの可動クランパを同時に上昇させ、基板を水平姿勢で持ち上げて２つの固定クランパに押し付けるようになっている。

このような部品実装機の中には、２つの搬送レーンを備えて同時に２枚の基板を搬送し、クランプできるタイプのものが知られている。このようなタイプの部品実装機では２つの昇降体が間隔変更方向に２つ設けられてそれぞれ別個に昇降されるようになっており、２つの搬送レーンを同時に稼働状態に設定してそれぞれの搬送レーンで基板を搬送することができるほか（デュアルレーンモード）、一方の搬送レーンのみを稼動状態に設定して基板を搬送することもできる（シングルレーンモード）。シングルレーンモードの場合であって、搬送する基板のサイズが大きいときには、稼動状態に設定した側の可動側ユニットを非稼働状態の側の昇降体の上方に移動させて、２つの昇降体を同時に上昇させる。これにより２つの可動クランパが同時に上昇し、基板が水平姿勢で持ち上げられる。

特開２０１７－１０３３３４号公報

しかしながら、上記のように固定側ユニットと可動側ユニットとを２つの昇降体に跨って配置させた場合、可動側ユニットの可動クランパのポスト部材が２つの昇降体の境目に位置してしまうことがある。２つの昇降体は同時に昇降するように制御されるが、実際には２つの昇降体が上昇するタイミングがずれてしまうことも多い。２つの昇降体が上昇するタイミングがずれると、一端側のみが支持された不安定な姿勢で基板が持ち上げられたり、昇降体の端部からポスト部材がずり落ちてそれまで水平姿勢だった基板が急に傾いてしまったりすることがあり、既に基板に装着されている部品が脱落するおそれがあった。

そこで本発明は、基板をクランプする過程で基板が大きく傾いた姿勢となることを防止できる基板搬送装置を提供することを目的とする。

本発明の基板搬送装置は、搬送する基板の幅に応じて間隔を変更可能であり、前記基板の両端を支持して搬送する２つのコンベアと、前記２つのコンベアの下方を昇降する昇降体と、前記２つのコンベアの間隔の変更に応じて間隔が変更され、上昇する前記昇降体によって下端のポスト部材が押し上げられることで上方に移動し、前記２つのコンベアにより搬送されて作業位置に位置した前記基板の両端を下方から押し上げる２つの可動クランパと、前記２つの可動クランパにより押し上げられた前記基板の両端の上面が押し付けられる２つの固定クランパとを備え、前記昇降体は前記２つの可動クランパの間隔が変更される間隔変更方向に複数設けられてそれぞれ別個に昇降され、前記複数の昇降体はそれぞれ前記間隔変更方向に延びた押上げ部によって前記ポスト部材を押し上げるようになっており、前記複数の昇降体のうち隣接する２つの前記昇降体の一方の押上げ部は他方の前記昇降体の前記押上げ部との間で前記間隔変更方向と直交する水平方向にオーバーラップする延出部を有し、前記延出部は先端側に向かって下方に傾斜している。

本発明によれば、作業位置に搬送した基板をクランプするまでの過程で基板が大きく傾いた姿勢となることを防止できる。

本発明の一実施の形態における部品実装機の斜視図本発明の一実施の形態における部品実装機の側面図本発明の一実施の形態における部品実装機が備える搬送レーンの斜視図本発明の一実施の形態における部品実装機が備える搬送レーンの斜視図本発明の一実施の形態における部品実装機が備える搬送レーンの斜視図本発明の一実施の形態における部品実装機が備える搬送レーンの斜視図本発明の一実施の形態における部品実装機が備える搬送レーンの構成を示す斜視図本発明の一実施の形態における部品実装機の搬送レーンが備えるコンベアユニットの分解斜視図（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における部品実装機の搬送レーンが備えるコンベアユニットの動作説明図本発明の一実施の形態における部品実装機の搬送レーンが備える基板支持機構を示す斜視図本発明の一実施の形態における部品実装機の搬送レーンが備える基板支持機構を示す斜視図（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における部品実装機の基板搬送装置が備える延出部を示す斜視図（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態における部品実装機が備える基板搬送装置の動作説明図（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態における部品実装機が備える基板搬送装置の動作説明図本発明の一実施の形態における部品実装機の搬送レーンの基板支持機構を示す斜視図（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態における部品実装機が備える基板搬送装置の動作説明図（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における部品実装機が備える基板搬送装置の延出部とポスト部材の位置関係を示す斜視図（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における部品実装機の基板搬送装置が延出部を備えたかったと仮定した場合の前方フランジ部及び後方フランジ部とポスト部材との位置関係を示す斜視図本発明の一実施の形態の第１変形例における部品実装機が備える基板搬送装置の延出部の側面図本発明の一実施の形態における第２変形例における部品実装機が備える基板搬送装置のフランジ部の近傍領域の側面図（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態の第３変形例における部品実装機が備える基板搬送装置のフランジ部の近傍領域の斜視図

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１及び図２に示す部品実装機１は、基板ＫＢに部品ＰＴを装着するものであり、基台１１、基板搬送装置１２、部品供給部１３、ヘッド移動機構１４、装着ヘッド１５及び部品カメラ１６を備えている。ここでは説明の便宜上、作業者ＯＰから見た左右方向をＸ軸方向とし、作業者ＯＰから見た前後方向をＹ軸方向とする。また、上下方向をＺ軸方向とする。

図１、図２及び図３において、基板搬送装置１２は、基台１１上にＹ軸方向（前後方向）に並んで設けられた２つの搬送レーン２０を備えている。各搬送レーン２０は基板ＫＢをＸ軸方向に搬送し、所定の作業位置に位置決めする。以下、作業者ＯＰから見て手前側（前方）に位置する搬送レーン２０を「前方レーン２０Ａ」と称し、作業者ＯＰから見て奥側（後方）に位置する搬送レーン２０を「後方レーン２０Ｂ」と称する。

前方レーン２０Ａと後方レーン２０Ｂは、双方を稼動状態に設定するデュアルレーンモード（図４）と、前方レーン２０Ａのみを稼動状態に設定するシングルレーンモード（図５、図６）のいずれかに設定できる。２つの搬送レーン２０は、稼動状態に設定されている場合にのみ基板ＫＢを搬送し、位置決めする。

図１及び図２において、部品供給部１３は、基台１１の前方と後方のそれぞれに設けられている。各部品供給部１３は、基台１１に連結される台車１３Ａと、台車１３Ａに着脱自在に取り付けられた複数のパーツフィーダ１３Ｂ（例えばテープフィーダ）から構成されている。各パーツフィーダ１３Ｂは部品供給口１３Ｋ（図２）に部品ＰＴを供給する。

図１及び図２において、ヘッド移動機構１４は、Ｙ軸方向に延びた固定ビーム１４ａと、Ｘ軸方向に延びた２つの移動ビーム１４ｂと、２つの移動プレート１４ｃを備えている。２つの移動ビーム１４ｂは前後方向（Ｙ軸方向）に並んで配置されており、それぞれ固定ビーム１４ａに沿ってＹ軸方向に移動する。２つの移動プレート１４ｃは前後の移動ビーム１４ｂのそれぞれに沿ってＸ軸方向に移動する。

図１及び図２において、装着ヘッド１５は、前後の２つの移動プレート１４ｃのそれぞれに取り付けられている。ヘッド移動機構１４は、固定ビーム１４ａに対する移動ビーム１４ｂのＹ軸方向への移動と、移動ビーム１４ｂに対する移動プレート１４ｃのＸ軸方向の移動によって、２つの装着ヘッド１５をそれぞれ独立して水平面内方向に移動させる。

図２において、各装着ヘッド１５はそれぞれ複数のノズル１５ａを備えている。装着ヘッド１５は各ノズル１５ａ昇降させ、上下軸（Ｚ軸）回りに回動させる。各装着ヘッド１５は外部から真空圧を各ノズル１５ａに導いてその下端に吸着力を発生させ、その吸着力によって各パーツフィーダ１３Ｂが部品供給口１３Ｋに供給する部品ＰＴを吸着する。

図１及び図２において、部品カメラ１６は、基台１１上の搬送レーン２０と部品供給部１３との間（前方レーン２０Ａと前方の部品供給部１３との間及び後方レーン２０Ｂと後方の部品供給部１３との間）の領域に設けられている。各部品カメラ１６は撮像視野を上方に向けており、装着ヘッド１５がノズル１５ａに吸着させた部品ＰＴを下方から撮像する。

部品実装機１が基板ＫＢに部品ＰＴを装着する場合には、先ず、搬送レーン２０が上流工程側から送られてきた基板ＫＢを受け取って搬送し、作業位置に位置決めする。デュアルレーンモードが選択されている場合には前方レーン２０Ａと後方レーン２０Ｂの双方が基板ＫＢを搬送して作業位置に位置決めし（図４）、シングルレーンモードが選択されている場合には前方レーン２０Ａのみが基板ＫＢを搬送して作業位置に位置決めする（図５、図６）。

基板ＫＢが作業位置に位置決めされたらヘッド移動機構１４が装着ヘッド１５をパーツフィーダ１３Ｂの上方に移動させる。装着ヘッド１５はパーツフィーダ１３Ｂの上方からノズル１５ａを下降させて、パーツフィーダ１３Ｂが供給する部品ＰＴをノズル１５ａに吸着させる。

装着ヘッド１５はノズル１５ａに部品ＰＴを吸着させたら部品カメラ１６の上方に移動し、部品ＰＴを部品カメラ１６に撮像させる。部品カメラ１６は上方に位置する部品ＰＴを撮像して認識する。装着ヘッド１５は部品ＰＴを部品カメラ１６に撮像させたら作業位置に位置決めされた基板ＫＢの上方に移動する。そして、基板ＫＢ上の部品装着位置の上方でノズル１５ａを下降させ、部品カメラ１６による部品ＰＴの認識結果に基づいて、部品ＰＴを部品装着位置に装着する。そして、基板ＫＢに装着すべき全ての部品ＰＴが装着されたら、搬送レーン２０はその基板ＫＢを下流工程側に搬出する。

このような構成の部品実装機１において、本実施の形態では、基板搬送装置１２の構成に特徴があり、以下にその説明を行う。

図７において、基板搬送装置１２が備える２つの搬送レーン２０（前方レーン２０Ａと後方レーン２０Ｂ）はそれぞれ、Ｙ軸方向に対向して設けられた前後のコンベアユニット２１と、基板支持部２２を備えている。前方レーン２０Ａの前側のコンベアユニット２１と後方レーン２０Ｂの後側のコンベアユニット２１はそれぞれ基台１１に対して固定されたコンベアユニット２１であり、以下、「固定側ユニット２１Ａ」と称す。また、前方レーン２０Ａの後側のコンベアユニット２１と後方レーン２０Ｂの前側のコンベアユニット２１はそれぞれ基台１１に対してＹ軸方向に移動自在なコンベアユニット２１であり、以下、「可動側ユニット２１Ｂ」と称する。

各搬送レーン２０において固定側ユニット２１Ａと可動側ユニット２１Ｂは略構成が同じである。図７及び図８に示すように、固定側ユニット２１Ａと可動側ユニット２１Ｂはそれぞれ、ベース部材３１、コンベア３２、固定クランパ３３、可動クランパ３４及びコンベア駆動モータ３５を備えている。

図７及び図８において、ベース部材３１はＸＺ面内をＸ軸方向に延びた板状の部材である。コンベア３２はベース部材３１の内面（搬送レーン２０の中央側を向く面）にＸ軸方向に延びて設けられている。コンベア３２は、ベース部材３１のＸ軸方向の両端部に配置された２つのプーリ３２ａと、２つのプーリ３２ａに掛け渡された搬送ベルト３２ｂから構成されている。固定クランパ３３はベース部材３１の上端部に設けられて先端部を搬送レーン２０の中央側に突出させている。

図７及び図８において、可動クランパ３４はＸＺ面内をＸ軸方向に延びており、ベース部材３１の内面側に設けられている。可動クランパ３４は上方に突出した突出部４１を有しており、Ｘ軸方向の両端部のそれぞれには上下方向に延びた長孔４２を有している（図８）。

図８及び図９（ａ），（ｂ）において、２つの長孔４２には、ベース部材３１の内面に取り付けられた２つの螺子部材３１Ｓが貫通している。このため可動クランパ３４は、２つの長孔４２をガイドとして、ベース部材３１に対して（従って搬送ベルト３２ｂに対して）Ｚ軸方向に移動自在となっている。

図７、図８及び図９（ａ），（ｂ）において、可動クランパ３４の左右の端部の下面からはポスト支持部４３が下方に延出しており、各ポスト支持部４３の下端にはポスト部材４４が取り付けられている。ポスト部材４４はここでは六角柱形状を有しているが、特に限定されるものではない。

可動クランパ３４は、左右のポスト部材４４が下方から押し上げられていない状態では、長孔４２の上縁を螺子部材３１Ｓに上方から当接させて自重で垂下した状態となる（図９（ａ））。可動クランパ３４が自重で垂下している状態から左右のポスト部材４４が押し上げられると、可動クランパ３４は長孔４２を螺子部材３１Ｓに対してスライドさせつつ、ベース部材３１に対して上昇する。これにより突出部４１の上端はコンベア３２の下方位置からコンベア３２の上方位置まで上昇する（図９（ａ）→図９（ｂ））。

図７及び図８において、コンベア駆動モータ３５は各コンベアユニット２１のベース部材３１に設けられている。コンベア駆動モータ３５はコンベア３２を駆動して搬送ベルト３２ｂをＸ軸方向に走行させる。２つのコンベアユニット２１が備える２つのコンベア駆動モータ３５は２つの搬送ベルト３２ｂが同期して同方向に走行するように２つのコンベア３２を駆動する。これにより２つのコンベア３２は、基板ＫＢをその両端を下方から支持した状態でＸ軸方向に搬送する。

前方レーン２０Ａと後方レーン２０Ｂはそれぞれ、固定側ユニット２１Ａと可動側ユニット２１Ｂの間の間隔（レーン間隔）を、搬送する基板ＫＢの幅（Ｙ軸方向寸法）に応じて変えることができる。レーン間隔を変える場合には、各搬送レーン２０に設けられた間隔変更モータ４５（図３）を作動させることによって、固定側ユニット２１Ａに対して可動側ユニット２１ＢをＹ軸方向に移動させる。これにより２つのコンベア３２の間隔を搬送する基板ＫＢの幅（Ｙ軸方向寸法）に応じて変えることができ、併せて２つの可動クランパ３４の間の間隔を２つのコンベア３２の間隔に応じて変更することができる。

図７において、基板支持部２２は、基板支持体５１と昇降シリンダ５２を備えている。基板支持体５１は、昇降体６１と複数のサポートピン６２を有している。前方昇降体６１Ａと後方昇降体６１Ｂは前後方向に近接して位置している（図１０及び図１１）。以下、前方レーン２０Ａの昇降体６１を「前方昇降体６１Ａ」と称し、後方レーン２０Ｂの昇降体６１を「後方昇降体６１Ｂ」と称する。

図７において、昇降体６１は全体としてＸＹ平面に広がって延びた板状の部材である。昇降体６１の左右の端部のそれぞれには、昇降体６１の表面から上方に突出してフランジ部６３が形成されている（図１０及び図１１も参照）。以下、前方昇降体６１Ａが備える左右のフランジ部６３を「前方フランジ部６３Ａ」と称し、後方昇降体６１Ｂが備える左右のフランジ部６３を「後方フランジ部６３Ｂ」と称する。各フランジ部６３は、可動クランパ３４の間隔（レーン間隔）が変更される方向である間隔変更方向（Ｙ軸方向）に延びている（図１０及び図１１）。

図４において、各搬送レーン２０の基板支持体５１が備える複数のサポートピン６２（図３も参照）は、その基板支持体５１が備える昇降体６１の上面に根元部が取り付けられて上方に延びている。各サポートピン６２は昇降体６１に対して着脱自在であり、支持対象となる基板ＫＢのサイズや基板ＫＢの裏面の状態に応じて固定側ユニット２１Ａと可動側ユニット２１Ｂの間に位置するように昇降体６１に取り付けられる。昇降体６１は、図示しない昇降ガイドによってＺ軸回りの回転が拘束された状態で、Ｚ軸方向に移動自在に支持されている。

昇降シリンダ５２は、基板支持体５１を昇降させるアクチュエータとして機能する。前方昇降体６１Ａと後方昇降体６１Ｂは、それぞれの別個の昇降シリンダ５２によって昇降される（図１０、図１１）。

前方レーン２０Ａでは、固定側ユニット２１Ａは前方昇降体６１Ａの上方位置に固定されている（図４、図５、図６）。そして、固定側ユニット２１Ａが備える左側のポスト部材４４は左側の前方フランジ部６３Ａの上方に位置し、固定側ユニット２１Ａが備える右側のポスト部材４４は右側の前方フランジ部６３Ａの上方に位置する（図１０、図１１）。

前方レーン２０Ａでは、可動側ユニット２１Ｂはレーン間隔を変更するとＹ軸方向に移動し（図４、図５、図６）、これに伴って可動側ユニット２１Ｂが備える左右のポスト部材４４もＹ軸へ移動する。このとき左側のポスト部材４４は左側の前方フランジ部６３Ａの上方に位置し、右側のポスト部材４４は右側の前方フランジ部６３Ａの上方に位置する（図１０）。

前方レーン２０Ａの可動側ユニット２１Ｂは、前方レーン２０Ａが搬送する基板ＫＢのサイズによっては後方昇降体６１Ｂの上方に位置する（図６）。このとき可動側ユニット２１Ｂが備える左側のポスト部材４４は左側の後方フランジ部６３Ｂの上方に位置し、右側のポスト部材４４は右側の後方フランジ部６３Ｂの上方に位置する（図１１）。

後方レーン２０Ｂでは、固定側ユニット２１Ａは後方昇降体６１Ｂの上方位置に固定されている（図４、図５、図６）。そして、固定側ユニット２１Ａが備える左側のポスト部材４４は左側の後方フランジ部６３Ｂの上方に位置し、固定側ユニット２１Ａが備える右側のポスト部材４４は右側の後方フランジ部６３Ｂの上方に位置する（図１０、図１１）。

後方レーン２０Ｂでは、可動側ユニット２１Ｂはレーン間隔を変更するとＹ軸方向に移動し（図４、図５、図６）、これに伴って可動側ユニット２１Ｂが備える左右のポスト部材４４もＹ軸へ移動する。このとき、左側のポスト部材４４は左側の後方フランジ部６３Ｂの上方に位置し、右側のポスト部材４４は右側の後方フランジ部６３Ｂの上方に位置する（図１０、図１１）。

昇降体６１は昇降シリンダ５２によって昇降されることで、「下方位置」（図９（ａ））とその上方の「上方位置」（図９（ｂ））との間で移動する。昇降体６１が下方位置に位置しているときには、その昇降体６１が備える左右のフランジ部６３それぞれの上面はその上方に位置するポスト部材４４と当接せず、固定側ユニット２１Ａの可動クランパ３４と可動側ユニット２１Ｂの可動クランパ３４はともに自重で垂下した状態となる。

前方昇降体６１Ａと後方昇降体６１Ｂがそれぞれ昇降シリンダ５２によって上昇されて下方位置から上方位置まで移動すると、前方レーン２０Ａの固定側ユニット２１Ａの左右のポスト部材４４と可動側ユニット２１Ｂの左右のポスト部材４４、後方レーン２０Ｂの固定側ユニット２１Ａの左右のポスト部材４４と可動側ユニット２１Ｂの左右のポスト部材４４は、左右の前方フランジ部６３Ａ又は左右の後方フランジ部６３Ｂによって押し上げられる。このように本実施の形態において、前方フランジ部６３Ａと後方フランジ部６３Ｂは、前方レーン２０Ａの２つの可動クランパ３４が備える４つのポスト部材４４と後方レーン２０Ｂの２つの可動クランパ３４が備える４つのポスト部材４４を押し上げる押上げ部となっている。

図１２（ａ）に示すように、前方昇降体６１Ａは、前方フランジ部６３Ａの後端から後方に延びた延出部６４（前方延出部６４Ａ）を有している。また、後方昇降体６１Ｂは、後方フランジ部６３Ｂの前端から前方に延びた延出部６４（後方延出部６４Ｂ）を有している。これら前方延出部６４Ａと後方延出部６４Ｂは、図１０及び図１１の中の領域Ｒの拡大図である図１２（ａ）に示すように、互いにＸ軸方向にオーバーラップするように位置している。

これらＸ軸方向にオーバーラップして位置した２つの延出部６４は先端側に向かって平面視における先細りの形状であり、これにより、延出部６４の上面のＸ軸方向の寸法は根元部ほど大きく、先端部に向かうほど小さくなるようになっている。また、これにより、オーバーラップした部分（２つの延出部６４を合わせた領域）のＸ軸方向の寸法が、フランジ部６３のＸ軸方向の寸法にほぼ一致するようになっている。

このように本実施の形態において、一方の昇降体６１のフランジ部６２（押上げ部）は、他方の昇降体６１のフランジ部６３との間で間隔変更方向（Ｙ軸方向）と直交する水平方向（Ｘ軸方向）にオーバーラップする延出部６４を有している。本実施の形態では、２つの昇降体６１それぞれが延出部６４を有しており、互いに延出部６４同士をＸ軸方向にオーバーラップさせた構成となっている。

本実施の形態では、前方延出部６４Ａの上面は、前方昇降体６１Ａの後縁と、前方昇降体６１Ａの後縁と後方昇降体６１Ｂの前縁との中間地点ＣＬ（図１２（ｂ））まで（中間地点ＣＬを後方に超えるまでであってもよい）の領域では前方フランジ部６３Ａの高さを維持しており、それよりも先端側の上面は前方延出部６４Ａの先端側に向かって（後方に向かって）下方に傾斜している。また、後方延出部６４Ｂの上面は、後方昇降体６１Ｂの前縁と、後方昇降体６１Ｂの前縁と前方昇降体６１Ａの後縁との中間地点ＣＬまで（中間地点ＣＬを前方に超えるまでであってもよい）の領域では後方フランジ部６３Ｂの高さを維持しており、それよりも先端側の上面は後方延出部６４Ｂの先端側に向かって（前方に向かって）下方に傾斜している。

このため、前方昇降体６１Ａと後方昇降体６１Ｂが同じ高さに位置しているときには、前方フランジ部６３Ａの前縁から２つの延出部６４を経て後方フランジ部６３Ｂの後縁に至るまで途切れることなく（しかも段差もなく）、同じ高さの面（ポスト部材押上げ面）が形成された状態となる。よって、前方昇降体６１Ａと後方昇降体６１Ｂが同じ高さに位置した状態を維持したまま同時に上昇した場合には、水平なポスト部材押上げ面がそのまま上昇することになる。このため、前方レーン２０Ａの可動側ユニット２１Ｂが後方昇降体６１Ｂの上方に位置している場合であっても、前方レーン２０Ａの２つの可動クランパ３４が有する４つのポスト部材４４は同時に押し上げられ、２つの可動クランパ３４は同時に上昇される。

デュアルレーンモードが選択されている場合と（図４）、シングルレーンモードが選択されており、搬送する基板ＫＢの幅がデュアルレーンモードで搬送し得る基板ＫＢの最大幅以下である場合には（図５）、前方レーン２０Ａの固定側ユニット２１Ａと可動側ユニット２１Ｂはともに前方昇降体６１Ａの上方に位置する（図１０）。また、後方レーン２０Ｂの固定側ユニット２１Ａと可動側ユニット２１Ｂはともに後方昇降体６１Ｂの上方に位置する。

このような状態から前方昇降体６１Ａと後方昇降体６１Ｂを上昇させると、前方レーン２０Ａでは固定側ユニット２１Ａの可動クランパ３４と可動側ユニット２１Ｂの可動クランパ３４が同時に上昇し、後方レーン２０Ｂでは固定側ユニット２１Ａと可動クランパ３４と可動側ユニット２１Ｂの可動クランパ３４が同時に上昇する。このため、作業位置に位置決めされていた基板ＫＢは水平姿勢で押し上げられ、クランプされる。

このとき前方レーン２０Ａの昇降シリンダ５２と後方レーン２０Ｂの昇降シリンダ５２は、前方昇降体６１Ａと後方昇降体６１Ｂが同じ高さを維持したまま同時に上昇されるように制御されるが、前方昇降体６１Ａと後方昇降体６１Ｂのいずれか一方が他方に対して遅れて上昇する場合がある。このとき前方フランジ部６３Ａの上面と後方フランジ部６３Ｂの上面とは同じ高さでは上昇せず、一時的に高低差が生じる。しかし、このように前方昇降体６１Ａと後方昇降体６１Ｂが上昇するタイミングがずれた場合であっても、上記ケースでは、基板ＫＢはクランプされるまでの間に傾くことはない（図１３（ａ）→図１３（ｂ）→図１３（ｃ））。

シングルレーンモードを選択している場合であって、搬送する基板ＫＢの幅がデュアルレーンモードで搬送し得る基板ＫＢの最大幅を超えている場合には（図６）、前方レーン２０Ａの固定側ユニット２１Ａは前方昇降体６１Ａの上方に位置し、可動側ユニット２１Ｂは後方昇降体６１Ｂの上方に位置する（図１１）。このような状態から前方昇降体６１Ａと後方昇降体６１Ｂを上昇させると、前方レーン２０Ａの固定側ユニット２１Ａの可動クランパ３４と可動側ユニット２１Ｂの可動クランパ３４は上昇する。

これにより、前方レーン２０Ａにより作業位置に位置決めされていた基板ＫＢは押し上げられてクランプされるが、前方昇降体６１Ａと後方昇降体６１Ｂが上昇するタイミングがずれた場合には、一方の可動クランパ３４が他方の可動クランパ３４に対して遅れて上昇するので、基板ＫＢはクランプされるまでの間に前後方向に傾く（図１４（ａ）→図１４（ｂ）→図１４（ｃ））。しかし、このような場合であっても、前後の可動クランパ３４の間の距離は比較的大きいため、基板ＫＢの傾斜角度θ１（図１４（ｂ））が格別大きくなることはない。

シングルレーンモードで、前方レーン２０Ａの可動側ユニット２１Ｂが前方昇降体６１Ａと後方昇降体６１Ｂの間に位置している状態では、その可動側ユニット２１Ｂの左右のポスト部材４４は、前方フランジ部６３Ａと後方フランジ部６３Ｂの間に位置する（図１５）。この場合、ポスト部材４４が、前方延出部６４Ａと後方延出部６４ＢとがＸ軸方向にオーバーラップした部分に位置する場合であって、前方昇降体６１Ａと後方昇降体６１Ｂが同時に上昇しなかった場合には、前方延出部６４Ａと後方延出部６４Ｂのうち、先に上昇した方の傾斜面によって押し上げられるケースが起こり得る（図１６（ａ）→図１６（ｂ）→図１６（ｃ）及び図１７（ａ），（ｂ））。

ここで、仮に、前方昇降体６１Ａと後方昇降体６１Ｂがそれぞれ延出部６４、すなわち互いにＸ軸方向にオーバーラップする部分を有していなかったとすると、ポスト部材４４が前方フランジ部６３Ａと後方フランジ部６３Ｂの間に位置し、かつ、前方フランジ部６３Ａと後方フランジ部６３Ｂが同時に上昇しなかった場合には、ポスト部材４４の端部がフランジ部６３の角部６３Ｋに引っ掛かった状態となる場合がある（図１８（ａ））。この場合には、何らかの外乱によってポスト部材４４の引っ掛かりが外れるとポスト部材４４が急激にずり落ちてしまい（図１８（ａ）→図１８（ｂ））、基板ＫＢが前後方向に大きく傾いてしまう。この際、ずり落ちた衝撃により基板ＫＢへ実装されている部品ＰＴがずれるおそれがある。本実施の形態ではＸ軸方向にオーバーラップする延出部６４が設けられているため、上記のようにポスト部材４４が急激にずり落ちてしまうことがなく、基板ＫＢをクランプする過程で基板ＫＢが大きく傾いてしまう事態が防止される。

ポスト部材４４が前方延出部６４Ａの傾斜面によって押し上げられる場合には、可動側ユニット２１Ｂの可動クランパ３４は固定側ユニット２１Ａの可動クランパ３４よりも遅れて上昇することとなり、基板ＫＢは前後方向にやや傾くことになる。しかし、可動側ユニット２１Ｂの可動クランパ３４は、少なくとも、遅れて上昇する後方フランジ部６３Ｂによって押し上げられる場合よりも早く押し上げられるので、基板ＫＢの傾斜角度θ２（図１６（ｂ））が大きくなることが防止される。

ここで、前方昇降体６１Ａと後方昇降体６１Ｂが上昇するタイミングが同じでなく、一方の昇降体６１の延出部６４でポスト部材４４持ち上げられることとなった場合において、先に上昇した昇降体６１の延出部６４の端部からポスト部材４４がずり落ちてしまうことも起こり得る。しかし、延出部６４の上面は先端側に向かって下方に傾斜しており、ポスト部材４４の下面は、延出部６４の先端部の傾斜面の付け根から遠ざかるほど、遅れて上昇する側の昇降体６１のフランジ部６３（或いは延出部６４）の上面に近付くことになるので、延出部６４の端部からポスト部材４４がずり落ちてしまった場合であってもその落差は小さく、これにより基板ＫＢが大きく傾いてしまうことはない。

また、延出部６４は先端側に向かって平面視における先細りの形状であり、前述したように、延出部６４の上面のＸ軸方向の寸法は根元部ほど大きく、先端部に向かうほど小さくなるようになっている。このため、ポスト部材４４が受け渡される先である、遅れて上昇する側のフランジ部６３（或いは延出部６４）のＸ軸寸法は延出部６４の先端側よりも大きく、ポスト部材４４を安定した状態で押し上げることができる。

以上説明したように、本実施の形態における基板搬送装置１２では、基板ＫＢを搬送する２つのコンベア３２の下方を昇降する２つの昇降体６１（前方昇降体６１Ａと後方昇降体６１Ｂ）はそれぞれ、２つの可動クランパ３４の間隔が変更される間隔変更方向（Ｙ軸方向）に延びた押上げ部であるフランジ部６３によってポスト部材４４を押し上げるようになっている。そして、一方の昇降体６１のフランジ部６３は、他方の昇降体６１のフランジ部６３との間で間隔変更方向と直交する水平方向（Ｘ軸方向）にオーバーラップする延出部６４を有しており、その延出部６４は先端側に向かって下方に傾斜した構成となっている。

このため、ポスト部材４４が２つの昇降体６１の間に位置している状態から２つの昇降体６１が上昇するタイミングがずれた場合であっても、先に上昇した昇降体６１からポスト部材４４がずり落ちてしまうことがない。また、各延出部６４は先端側に向かって下方に傾斜しているので、遅れて上昇してきた昇降体６１がポスト部材４４を押し上げる場合よりも早くポスト部材４４を（すなわち可動クランパ３４を）押し上げることができ、基板ＫＢが大きく傾くことが防止される。このため本実施の形態における基板搬送装置１２によれば、基板ＫＢをクランプする過程で基板ＫＢが大きく傾いた姿勢となることを防止できる。

本発明では上述した実施形態に示したものに限定されず、種々の変形等が可能である。例えば、延出部６４の先端部の傾斜面は、上述の実施の形態では平らな面であったが、上方に凸の曲面やＳ字の曲面であってもよい。また、図１９の第１変形例に示すように、傾斜面に複数の数の段差（階段状部分ＫＤ）が設けられているのであってもよい。このようにすればポスト部材４４の端部が傾斜面（段差部）において安定的に保持されるので、ポスト部材４４が傾斜面から滑ってしまう事態を防止できる。

また、図２０の第２変形例に示すように、フランジ部６３が延出部６４を有する代わりに、ポスト部材４４の平坦状の円形の下面４４ａの周囲にＺ軸を中心とする円錐面４４ｂを有する形状（円錐形状又は円錐台形状）になっているのであってもよい。このような構成では、ポスト部材４４は、平坦状の下面４４ａでフランジ部６３の上面に当接し得るほか、円錐面４４ｂで先に上昇した側の昇降体６１のフランジ部６３（図２０では右側のフランジ部６３）の角部６３Ｋに当接することができる。ポスト部材４４がフランジ部６３の角部６３Ｋから遠ざかるほど、ポスト部材４４の下面４４ａは、遅れて上昇する側の昇降体６１のフランジ部６３（図２０では左側のフランジ部６３）の上面に近付くので、上述の実施の形態の場合と同様の効果を得ることができる。

上述の実施の形態では、隣接する２つの昇降体６１（前方昇降体６１Ａと後方昇降体６１Ｂ）の双方が延出部６４を有しており、これら２つの延出部６４（前方延出部６４Ａと後方延出部６４Ｂ）が間隔変更方向（Ｙ軸方向）と直交する水平方向（Ｘ軸方向）にオーバーラップした構成となっていたが、一方の昇降体６１のフランジ部６３が他方の昇降体６１のフランジ部６３との間で間隔変更方向と直交する水平方向にオーバーラップする延出部６４を有していればよい。すなわち、例えば、図２１（ａ），（ｂ）の第３変形例に示すように、一方のフランジ部６３から後方に延びた延出部６４が他方のフランジ部６３に形成された切欠き部６３Ｓに進入し、他方のフランジ部６３からは延出部が延びていない構成（延出部６４を有するのが隣接する２つの昇降体６１のうちの一方である構成）であってもよい。

また、昇降体６１は間隔変更方向に複数設けられており、それぞれ別個に昇降されるのであれば本発明を適用できる。この場合、複数の昇降体６１のうち隣接する２つの昇降体６１の一方の押上げ部が他方の昇降体６１の押上げ部との間で間隔変更方向と直交する水平方向にオーバーラップする延出部６４を有し、その延出部６４が先端側に向かって下方に傾斜しているのであればよい。

また、上述の実施の形態では、ポスト部材４４を押し上げる押上げ部は、昇降体６１の表面から上方に突出した形状のフランジ部６３であったが、押上げ部は必ずしも昇降体６１の表面から突出した形状を有している必要はなく、昇降体６１の表面上の一部（この昇降体６１の表面上の一部はＹ軸方向に延びた帯状となる）であってもよい。なお、延出部６４は先端に向かって先細りの形状でなくてもよく、例えば先端に向かって幅が一定となる形状であってもよい。

基板をクランプする過程で基板が大きく傾いた姿勢となることを防止できる基板搬送装置を提供する。

１２基板搬送装置
２０搬送レーン
３２コンベア
３３固定クランパ
３４可動クランパ
４４ポスト部材
６１昇降体
６３フランジ部（押上げ部）
６４延出部
ＫＢ基板

Claims

搬送する基板の幅に応じて間隔を変更可能であり、前記基板の両端を支持して搬送する２つのコンベアと、
前記２つのコンベアの下方を昇降する昇降体と、
前記２つのコンベアの間隔の変更に応じて間隔が変更され、上昇する前記昇降体によって下端のポスト部材が押し上げられることで上方に移動し、前記２つのコンベアにより搬送されて作業位置に位置した前記基板の両端を下方から押し上げる２つの可動クランパと、
前記２つの可動クランパにより押し上げられた前記基板の両端の上面が押し付けられる２つの固定クランパとを備え、
前記昇降体は前記２つの可動クランパの間隔が変更される間隔変更方向に複数設けられてそれぞれ別個に昇降され、前記複数の昇降体はそれぞれ前記間隔変更方向に延びた押上げ部によって前記ポスト部材を押し上げるようになっており、
前記複数の昇降体のうち隣接する２つの前記昇降体の一方の押上げ部は他方の前記昇降体の前記押上げ部との間で前記間隔変更方向と直交する水平方向にオーバーラップする延出部を有し、前記延出部は先端側に向かって下方に傾斜している基板搬送装置。
前記延出部は前記先端側に向かって平面視における先細りの形状である請求項１に記載の基板搬送装置。
前記隣接する２つの昇降体の双方が前記延出部を有しており、前記２つの前記延出部が前記間隔変更方向と直交する水平方向にオーバーラップしている請求項１又は２に記載の基板搬送装置。
前記押上げ部は前記昇降体の表面から上方に突出して形成されたフランジ部から成る請求項１～３のいずれかに記載の基板搬送装置。
前記２つのコンベアから成る搬送レーンが前記間隔変更方向に２つ設けられるとともに、前記２つの搬送レーンそれぞれに対応して前記２つの可動クランパ及び前記２つの固定クランパが設けられた請求項１～４のいずれかに記載の基板搬送装置。