JP7013271B2 - マイクロ気体輸送デバイス - Google Patents

Description

本発明は、一種のマイクロ気体輸送デバイスであって、とりわけ、非常にコンパクトで薄く、且つ静かなマイクロ気体輸送デバイスである。

現在医薬、コンピューターテクノロジー、印刷、エネルギー等の工業等、業界を問わず製品は精密化及び小型化の方向に向かって発展しており、特に、小型ポンプ、噴霧器、インクジェットヘッド、工業印刷装置等の製品に含まれる気体輸送構造は重要な技術であり、如何にして構造を改善し、技術のボトルネックを解消するかが発展のため、重要な課題となっている。

例えば、医薬産業において、空気圧を動力として採用し、駆動する器具や設備が多く、通常は従来型のモーター及び気圧バルブにより、気体輸送の目的を達成している。しかしながら、これら従来型のモーター及び気圧バルブの構造上の制限を受け、これらの器具及び設備は、体積の縮小化が困難であるため、装置全体の体積を縮小することができず、目標である薄型化は困難を極めるため、携帯式デバイス上に設置することや、携帯式デバイスと組み合わせて使用することができず、利便性に欠けている。また、これら従来型のモーター及び気体バルブは作動時に騒音を発生し、使用者のストレスとなるため、使用上の利便性と快適度に欠ける。

また、そのほかにも、従来型のマイクロ気体輸送デバイスは、吸気と、排気と、を異なるユニットで行うため、吸排気を達成するために多くのユニットを必要とし、組み立てが複雑になりやすい。

このため、上述の周知技術の欠点を改善し、従来型の気体輸送デバイスを採用している器具や設備の体積を縮小させ、小型化且つ、静音性を有しているだけでなく、気体輸送デバイスに必要なユニット数を減らし、コンパクト且つ快適に使用でき、携帯性も備えたマイクロ気体輸送デバイスを如何に開発するかが現在解決すべき切迫した問題となっている。

本発明の目的は、携帯式或いは装着式器具または設備中におけるマイクロ気体輸送デバイスを提供することであり、マイクロ気体輸送デバイスが排気板の四方から吸気し、さらに排気板上にある排気管から排気できるように設計することで、単一のユニットにより、吸排気の効果を達成でき、マイクロ気体輸送デバイスの縮小化を達成でき、全体の製作過程における簡易化が得られる。

上述の目標を達成するため本発明は、排気板と、共振片と、圧電アクチュエータと、ハウジングと、を包含する一種のマイクロ気体輸送デバイスを提供し、前記排気板は、排気管と、排気口及び複数個の凸出部と、を有し、前記排気管は、前記排気板の第一表面に設置され、前記排気口は、前記排気管中、且つに排気板を貫通して設置され、気体を排出するために用いり、複数個の前記凸出部は、前記排気板の第二表面上に設置され、且つ、すべての隣り合う前記凸出部の間には、凹みを定義とする少なくともひとつの通気口部を形成し、前記共振片は、前記排気板の前記排気口に対応する中空孔洞を有し、前記圧電アク チュエータは、浮揚板と、外枠と、圧電ユニットと、包含し、前記浮揚板は、第一表面と第二表面を有し、前記外枠は、前記浮揚板と前記外枠の間に、前記浮揚板と前記外枠を連接する少なくとも一つの支持フレームを有し、前記圧電ユニットは、前記浮揚板の第一表面に貼り付けられ、前記ハウジングは、側壁及び底板を有し、前記側壁は、前記底板の縁を囲繞するように前記底板上に凸設することで、収納空間を形成し、且つ、前記共振片及び前記圧電アクチュエータは、この収納空間に設置しており、そのうち、上述の前記排気板、前記共振片、前記圧電アクチュエータ及び前記ハウジングは順序良く、対応する位置に設置することで、前記排気板と前記共振片との間に合流チャンバが形成され、前記ハウジングと前記共振片との間に第一チャンバを形成し、前記圧電アクチュエータが駆動を受け、吸気作業を実施する際、気体は前記排気板の少なくとも一つの前記通気口部から前記合流チャンバに流入され、さらに前記共振片の中にある中空孔洞から第一チャンバへ流入し、一時的に保存され、前記圧電アクチュエータが駆動を受け、排気作業を実施する際は、気体は、前記第一チャンバから前記共振片の前記中空孔洞を通過し、前記合流チャンバへ流れ込み、前記排気口より排出される。

本発明における好ましい実施例のマイクロ気体輸送デバイスの正面分解図である。 本発明における好ましい実施例のマイクロ気体輸送デバイスの背面分解構造図である。 本発明における好ましい実施例の圧電アクチュエータの正面構造図である。 本発明における好ましい実施例の圧電アクチュエータの背面構造図である。 本発明における好ましい実施例の圧電アクチュエータの断面構造図である。 本発明における好ましい実施例のマイクロ気体輸送デバイスの正面俯瞰図である。 本発明における図２ＡのＡ－Ａ断面構造図である。 本発明における図２ＡのＢ－Ｂ断面構造図である。 本発明における好ましい実施例のマイクロ気体輸送デバイスの作動工程指示図である。 本発明における好ましい実施例のマイクロ気体輸送デバイスの作動工程指示図である。 本発明における好ましい実施例のマイクロ気体輸送デバイスの作動工程指示図である。 本発明における好ましい実施例のマイクロ気体輸送デバイスの作動工程指示図である。

本発明の特徴と利点を体現するいくつかの典型的実施例について、以下で詳細に説明する。本発明は異なる態様において各種の変化が可能であり、そのいずれも本発明の範囲を逸脱せず、かつ本発明の説明及び図面は本質的に説明のために用いられ、本発明を制限するものではないことが理解されるべきである。

図１Ａ、図１Ｂを参照すると、図１Ａは、本発明の好ましい実施例であるマイクロ気体輸送デバイスの正面分解構成図であり、図１Ｂは、本発明の好ましい実施例であるマイクロ気体輸送デバイスの背面分解構成図である。これら図より、本発明のマイクロ気体輸送デバイス１は、排気板１１と、共振片１２と、圧電アクチュエータ１３と、ハウジング１６と、を包含している。前記排気板１１は、排気管１１１と、排気口１１２及び、複数の凸出部１１３と、を有し、そのうち、前記排気管１１１は、前記排気板１１の第一表面１１ａに設置され、前記排気口１１２は、前記排気管１１１中、並びに、前記排気板１１を貫通するように設置され、前記マイクロ気体輸送デバイス内１の気体を排出するために用いられ、複数個の前記凸出部１１３の間は、前記排気板１１の第二表面１１ｂ上、且つ、隣り合う二つの前記凸出部１１３と、の間に設置され、凹みを定義とする空気口１１４を形成し、これらを組み合わせることで、前記マイクロ気体輸送デバイス１は、通気口１１４より吸気することができる。前記共振片１２は、中空孔洞１２０を有し、これは、前記排気板１１にある前記排気口１１２に対応して設置される。前記圧電アクチュエータ１３は、浮揚板１３１と、外枠１３２と、圧電ユニット１３３と、を有し、そのうち、前記浮揚板１３１は、中心部１３１ｃ及び外周部１３１ｄを有し、前記圧電ユニット１３３が電圧駆動を受けた際、前記浮揚板１３１は、前記中心部１３１ｃから前記外周部１３１ｄに湾曲振動し、前記外枠１３２は、前記浮揚板１３１の外側に沿って囲繞するように設置し、且つ、少なくとも一つの支持フレーム１３４及び導電ピン１３２ａを有し、すべての前記支持フレーム１３４は、前記浮揚板１３１及び外枠１３２との間に設置され、且つ、すべての前記支持フレーム１３４の両端は、前記浮揚板１３１及び外枠１３２と連接して弾性支持を提供し、前記導電ピン１３２ａは、外向きに前記外枠１３２に設置し、電気的接続に用いられ、前記圧電ユニット１３３は、長辺を有し、前記長辺は前記浮揚板１３１の長辺より短い或いは同等であり、且つ前記圧電ユニット１３３は、前記浮揚板１３１の第二表面１３１ｂに張り付き、外部電圧により変形させ、前記浮揚板１３１の駆動により、湾曲振動する。前記ハウジング１６は、側壁１６１と、底板１６２及び開口１６３と、を有し、前記側壁１６１は前記底板１６２の縁を囲繞するように前記底板１６２上に凸設され、前記底板１６２と共に収納空間１６ａを形成し、前記共振片１２及び前記圧電アクチ ュエータ１３を中に設置するために用いられ、前記開口１６３は、前記側壁１６上に設置し、前記外枠１３２の導電ピン１３２ａが前記開口１６３を通り抜け、前記ハウジング１６の外へ凸設することで、外部電源と接続しやすくなる。

実施例において、前記排気板１１にある複数個の前記凸出部１１３は、前記排気板１１の複数個の角に対応して設置され、且つ、この形態は、複数個の角が外に向かって凸設した構造であり、前記排気板１１と一体形成である。本発明の実施例において、前記マイクロ気体輸送デバイス１は、更に二つの絶縁片１４１、１４２及び、導電片１５と、を有し、そのうち、二つの前記絶縁片１４１、１４２はそれぞれ、前記導電片１５の上下に設置され、その形は、前記圧電アクチュエータ１３にある前記外枠１３２に概ね対応しており、且つ、プラスチックなどの絶縁素材から構成されたものを絶縁に用いり、前記導電片１５は、金属などの導電素材から作成され、且つ、外形は、前記圧電アクチュエータ１３にある前記外枠１３２に概ね対応している。本発明における実施例において、前記導電片１５は、導電に用いるため、前記導電ピン１５１は、前記外枠１３２にある前記導電ピン１３２ａが外向きに凸出し、前記ハウジング１６の前記開口１６３凸出するのと同じように、外部電源に接続しやすくなっている。

図２Ａ，２Ｂ，２Ｃを参照すると、図２Ａは、本発明における好ましい実施例において、圧電アクチュエータの正面構造指示図を示しており、図２Ｂは、本発明における好ましい実施例において、圧電アクチュエータの背面構造指示図を示しており、図２Ｃは、本発明における好ましい実施例において、圧電アクチュエータの分解指示図を示している。これらの図を参照すると、本発明における実施例において、前記浮揚板１３１は階段面の構造をしており、すなわち、前記浮揚板１３１にある前記第一表面１３１ａの中心部１３１ｃ上には、凸部１３１ｅを有しており、且つ前記凸部１３１ｅは、円形突起構造であり、またこれらの実施例において、前記浮揚板１３１は、両面平らな板状な正方形とすることもできる。次に、図２Ｃを参照すると、前記浮揚板１３１にある前記凸部１３１ｅは、前記外枠１３２にある前記第一表面１３２ｃと同じ平面にあり、且つ、前記浮揚板１３１にある前記第一表面１３１ａ及び、前記フレーム１３４にある前記第一表面１３４ａと同じ平面にあり、そのほかに、前記浮揚板１３１にある前記凸部１３１ｅ及び前記外枠１３２にある前記第一表面１３２ｃと、前期浮揚板１３１にある前記第一表面１３１ａ及び前記支持フレーム１３４にある前期第一表面１３４ａと、の間に一定の深度を有している。前記浮揚板１３１にある第二表面１３１ｂにおいては、図２Ｂ及び図３Ｃに示すように、前記外枠１３２にある第二表面１３２ｄ及び前記支持フレーム１３４にある第二表面１３４ｂが、共に同じ平面にある構造であるため、前記圧電ユニット１３３は、これら前記浮揚板１３１にある前記第二表面１３１ｂの平面に寄り添う。もうこの他の実施例において、前記浮揚板１３１は、両面平坦である正方形構造とすることもでき、実際の実施事情により、変化させることができ、これに限らない。これらの実施例において、前記浮揚板１３１と、前記外枠１３２及び前記支持フレーム１３４は、一体形成構造であり、且つステンレスなどの金属板から構成される。また、本実施例において、マイクロ気体輸送デバイス１は、前記浮揚板１３１と、前記外枠１３２及び前記支持フレーム１３４の間に気体を通過させるために用いる少なくとも一つの隙間１３５を有している。

続いて、組み立て完成後の前記マイクロ気体輸送デバイス１の内外部構造について説明をすると、図３Ａと、図３Ｂと、図３Ｃと、を参照すると、図３Ａは、本発明のおける好ましい実施例である前記マイクロ気体輸送デバイス１の正面伏見図であり、図３Ｂは、図３Ａが示すＡ－Ａ分解構図指示図であって、図３Ｃは、図３ＡのＢ－Ｂ分解構造指示図である。図を参照すると、前記マイクロ気体輸送デバイス１は、前記排気板１１と、前記共振片１２と、前記圧電アクチュエータ１３と、前記絶縁片１４１と、前記導電片１５と、前記絶縁片１４２及び、前記ハウジング１６と、を包含し、上から順に積み重ね、且つ積み重ねた後の前記圧電アクチュエータ１３と、前記絶縁片１４１と、前記導電片１５と、もう一つの前記絶縁片１４２と、の周りは、コロイドによりコロイドゲル１８を形成し、前記ハウジング１６の収納空間１６ａ周りを充満（図１Ａのように）し、縁を密閉する。組み立て後の前記マイクロ気体輸送デバイス１の外観俯瞰図は図３Ａに示すようであって、主に四辺形構造であるが、実際の要求に沿って変化し、これに限らない。そのほかに、図３Ａに示す本発明における実施例において、前記導電ピン１５にある導電ピン１５１と、前記圧電アクチュエータ１３にある導電ピン１３２ａと、が、前記排気板１１の外に凸設し、外部電源と接続しやすくなっている。続いて、図３Ｂと、図３Ｃに示すように、組み立て後の前記マイクロ気体輸送デバイス１における前記排気板１１と前記共振片１２の間には合流チャンバ１７ａを形成し、前記ハウジング１６と前記共振片１２と、の間に第一チャンバ１７ｂを形成する。前記排気板１１にある第二表面１１ｂ上の複数個の前記凸出部１１３から空気が排出され、組み立て後、前記凸部１１３は、前記ハウジング１６にある前記側壁１６１を当接し、すなわち図３Ｂに示すように、前記排気板１１にある前記第二表面１１ｂと前記ハウジング１６の間に、前記凸部１１３と同様の高さを有する空間を保持することで、図３Ｂに示すように、この高さにより、前記合流チャンバ１７ａは隣り合う二つの前記凸部１１３の間を介して、前記通気口部１１４と外部を連通し、外部環境から吸気することができる。また、本発明における実施例において、前記マイクロ気体輸送デバイス１にある前記共振片１２と前記圧電アクチュエータ１３との間には隙間ｇ０を有し、且つ、前記隙間ｇ０中には、導電性接着剤などを材料とする導電材を充填することで、前記共振片１２と、前記圧電アクチュエータ１３の前記浮揚板１３１にある凸部１３１ｅと、の間にある前記隙間ｇ０は深さを維持でき、気流を迅速に流動させることができ、且つ、前記浮揚板１３１にある前記凸部１３１ｅと、前記共振片１２と、は、適切な距離が保たれているため、互いに干渉が起きづらく、騒音を減らすことができ、さらにこの他の実施例では、前記圧電アクチュエータ１３にある前記外枠１３２の高さを上げることで、組み立て時に前記共振片１２との間の隙間を増加することができる。これにより、前記圧電アクチュエータ１３が駆動を受けて吸気作業を実施する際、気体は、前記排気板１６にある少なくとも一つの前記通気口１１４を介して、前記合流チャンバ１７ａに集まり、更に前記共振片１２にある前記中空孔洞１２０を介して、前記第一チャンバ１７ｂに一時的に保存され、前記圧電アクチュエータ１３が駆動受け排気作業を行う際、気体は前記第一チャンバ１７ｂから、前記共振片１２にある前記中空孔洞１２０を介し、前記合流チャンバ１７ａに流れ、前記排気板１１にある前記排気口１１２より排出される。

以下にさらに前記マイクロ気体輸送デバイス１の作動工程について説明すると、図４Ａ乃至図４Ｄを参照すると、本発明における好ましい実施例において前記マイクロ気体輸送デバイス１の作動工程指示図である。まず、図４Ａを参照すると、前記マイクロ気体輸送デバイス１の構造が上述した通り、前記排気板１１と、前記共振片１２と、前記圧電アク チュエータ１３と、前記絶縁片１４１と、前記導電片１５と、もう一つの前記絶縁片１４２及び前記ハウジング１６が積み重なって組み立てられ、且つ、前記共振片１２と前記圧 電アクチュエータ１３の間には前記隙間ｇ０を有し、前記共振片１２と前記排気板１１との間に前記合流チャンバ１７ａを有し、前記共振片１２と前記圧電アクチュエータ１３と、の間に、前記第一チャンバ１７ｂを有する。前記マイクロ気体輸送デバイス１が電圧駆動を受けなかった際、各ユニットの位置は図４Ａに示すとおりである。

続いて、図４Ｂを参照すると、前記マイクロ気体輸送デバイス１の前記圧電アクチュエ ータ１３が、電圧駆動を受け、下向きに振動した際、気体は前記排気板１１の通気口１１４から前記マイクロ気体輸送デバイス１中に流入し、前記合流チャンバ１７ａに集中し、次に前記共振片１２にある前記中空孔洞１２０を介し、下向きに前記第一チャンバ１７ｂに流入し、同時に前記共振片１２は前記圧電アクチュエータ１３にある前記浮揚板１３１の共振を受け、随時往復振動を行い、前記共振片１２は随時下向きに変形する、すなわち前記共振片１２は、前記中空孔洞１２０で、少し下向きに凸設する。

また、前記図４Ｃに示すように、このとき前記圧電アクチュエータ１３は上向きに振動し、初期位置に戻り、前記圧電アクチュエータ１３の前記浮揚板１３１にある前記凸部１３１ｅが接近すると、前記第一チャンバ１７ｂ内の上半分の気体を両側から前記圧電アク チュエータ１３にある前記隙間１３５から下向きに流通させ、下半分の気体を前記チャンバ１７ｂに一時保存する。これらの実施様態より、前記共振片１２が垂直の往復振動をした際、前記共振片１２と前記圧電アクチュエータ１３の間にある隙間ｇ０は垂直変移を最大距離に増加させることが見て取れ、言い換えれば、前記共振片１２と前記圧電アクチュ エータ１３と、の間に前記隙間ｇ０を設置することで、前記共振片１２が共振する際に、より大きな上下移動を生じさせることができる。

最後に、図４Dに示すように、前記マイクロ気体輸送デバイス１の前記共振片１２が上向きに共振し、変移する際、前記第一チャンバ１７ｂの気体は、前記共振片１２にある前記中空孔洞１２０から前記合流チャンバ１７ａ内に流れ込むことで、前記合流チャンバ１７ａ内の気圧が徐々に上昇し続け、気体が前記排気板１１にある前記排気管１１１の前記排気口１１２から排出し、最後に前記共振片１２は初期位置に戻り、すなわち図４Ａに示すように、上述の動作過程を通して、図４Ａ乃至図４Ｄの順序に循環を維持することで、気体は前記吸気板１１の前記吸気口１１４から前記合流チャンバ１７ａにとめどなく流れ込み、さらに前記第一チャンバ１７ｂへ流れ、前記第一チャンバ１７ｂより、前記合流チャンバ１７ａ中に流れ、前記吸気管１１１の前記排気口１１２から排出し、最後に前記排気管１１１に連接されているいずれかの装置にながれ、気体輸送を安定化させる。言い換えれば、本発明における前記マイクロ気体輸送デバイス１運転時、気体は前記排気板１１の前記通気口１１４から、前記合流チャンバ１７ａ、前記第一チャンバ１７ｂ、前記合流チャンバ１７ａ、前記排気板１１の前記排気管１１の順に、流れ、故に前記マイクロ気体輸送デバイス１は、一つのユニットを通し、すなわち前記排気板１１が前記排気板１１の構造設計を利用することで、前記排気板１１は、同時に吸気と排気を進行でき、前記マイクロ気体輸送デバイス１のユニット数削減し、製作工程の簡易化を得ることができる。

上述より、本発明の前記マイクロ気体輸送デバイスは、構造設計を利用し、前記排気板上に前記凸出部を設置することで、組み立てが完成した後、前記排気板にある前記凸出部の隙目に、前記吸気口を形成することで、気体を前記吸気口部から前記マイクロ気体輸送デバイスの合流チャンバ内に流入し、前記共振片にある前記中空孔洞にそって、前記第一チャンバに流入し、前記圧電アクチュエータの駆動に伴い、前記第一チャンバから前記合流チャンバに気体が従って流れ、さらに、前記排気板上の前記排気口より排出することで、単一にユニットにより、排気及び吸気を行う効果を達成することができ、前記マイクロ気体輸送デバイスのユニット数を削減することで、組み立て工程が簡易化することができ、且つ、本発明は前記圧電アクチュエータの駆動と、前記共振片を組み合わせ、前記圧電 アクチュエータと前記共振片と、の間に隙間を設けることで、気体を迅速に輸送することができ、且つ、同時に騒音を減らし、さらに前記マイクロ気体輸送デバイスの体積を縮小及び薄型化でき、目的であった軽便な携帯を達成でき、医療器材及び関連する設備に広く応用することができる。よって、本発明の前記マイクロ気体輸送デバイスは産業的利用価値があるため、特許申請が思慮される。

本発明は当業者であれば諸般の修飾が可能であるが、いずれも後付の特許請求の範囲の保護範囲に含まれる。

１ マイクロ気体輸送デバイス
１１ 排気板
１１ａ 排気板の第一表面
１１ｂ 排気板の第二表面
１１１ 排気管
１１２ 排気口
１１３ 凸出部
１１４ 通気口部
１２ 共振片
１２０ 中空孔洞
１３ 圧電アクチュエータ
１３１ 浮揚板
１３１ａ 浮揚板の第一表面
１３１ｂ 浮揚板の第二表面
１３１ｃ 中心部
１３１ｄ 外周部
１３１ｅ 凸部
１３２ 外枠
１３２ａ、１５１ 導電ピン
１３２ｃ 外枠の第一表面
１３２ｄ 外枠の第二表面
１３３ 圧電ユニット
１３４ 支持フレーム
１３４ａ 支持フレームの第一表面
１３４ｂ 支持フレームの第二表面
１３５ 隙間
１４１、１４２ 絶縁片
１５ 導電片
１６ ハウジング
１６ａ 収納空間
１６１ 側壁
１６２ 底板
１６３ 開口
１７ａ 合流チャンバ
１７ｂ 第一チャンバ
１８ コロイドゲル
Ａ－Ａ、Ｂ－Ｂ 接線方向
ｇ０ 隙間

Claims (10)

1. 排気板と、共振片と、前記共振片に対応して設置する圧電アクチュエータと、ハウジングと、を包含し、
   前記排気板は、前記排気板の第一表面に設置される排気管と、気体を排出するために前記排気管中、並びに前記排気板を貫通して設置される排気口及び前記排気板の第二表面上に設置される複数個の凸出部と、を有し、複数個の前記凸出部は、すべての隣り合う前記凸出部と、の間に、凹みを定義とする少なくともひとつの通気口部を形成し、
   前記共振片は、前記排気板の前記排気口に対応する中空孔洞を有し、
   前記ハウジングは、側壁及び底板を有し、前記側壁は、前記底板の縁を囲繞するように前記底板上に凸設することで、収納空間を形成し、且つ、前記共振片及び前記圧電アクチ ュエータは、この収納空間に設置し、
   そのうち、上述の前記排気板と、前記共振片と、前記圧電アクチュエータ及び前記ハウジングと、は対応する位置に設置することで、前記排気板と前記共振片と、の間に合流チャンバを、前記ハウジングと前記共振片と、の間に第一チャンバを、形成し、前記圧電ア クチュエータが駆動を受け、吸気作業を実施する際、気体は前記排気板の少なくとも一つの前記通気口部から前記合流チャンバに流入し集合すると共に、前記共振片の中にある中空孔洞から第一チャンバへ流入し、一時的に保存され、前記圧電アクチュエータが駆動を受け、排気作業を実施する際、気体は、前記第一チャンバから前記共振片の前記中空孔洞を通過し、前記合流チャンバへ流れ込み、前記排気口より排出されることを特徴とするマイクロ気体輸送デバイス。
2. 前記排気板にある複数個の前記凸出部が、前記排気板の複数個の角に対応して設置され、且つ、この形態は、複数個の前記角が前記側壁に向かって凸設した構造であることを特徴とする請求項１に記載のマイクロ気体輸送デバイス。
3. 複数個の前記凸出部と前記排気板と、が一体形成していることを特徴とする請求項２に記載のマイクロ気体輸送デバイス。
4. 前記マイクロ気体輸送デバイスにある前記共振片と前記圧電アクチュエータと、の間に隙間を有することを特徴とする請求項１に記載のマイクロ気体輸送デバイス。
5. 第一表面及び第二表面を有し、且つ湾曲振動できる浮揚板と、
   前記浮揚板の外周を囲繞するように設置する外枠と、
   前記浮揚板と前記外枠と、の間を弾性支持する少なくとも一つの支持フレームと、
   前記浮揚板の長辺より小さい或いは同等の長さの長辺を有し、且、前記浮揚板の前記第二表面に張り付き、電圧駆動により、前記浮揚板を湾曲振動させる圧電ユニットと、を包含する前記圧電アクチュエータを有することを特徴とする請求項１に記載のマイクロ気体輸送デバイス。
6. 更に二つの絶縁片と導電片と、を有し、且つ、前記二つの絶縁片が、前記外枠と、前記 ハウジングとの間に設置され、前記導電片が、前記二つの絶縁片の間に設置されることを特徴とする請求項５に記載のマイクロ気体輸送デバイス。
7. 前記圧電アクチュエータにある前記外枠が、導電ピンを有し、前記導電片が、導電ピンを有し、前記ハウジングの、一つの開口と、前記排気板にある通気口部と、が、対応することで、前記導電片にある前記導電ピンと、前記圧電アクチュエータにある前記導電ピンと、は、外に向かって凸出するように設置し、前記ハウジングにある前記開口から前記ハウジングの外へと凸出し、外部電源と接続しやくなっていることを特徴とする請求項６に記載のマイクロ気体輸送デバイス。
8. 前記マイクロ気体輸送デバイスにある前記浮揚板の前記第二表面に、凸部を有することを特徴とする請求項５に記載のマイクロ気体輸送デバイス。
9. 前記浮揚板にある前記凸部が円柱構造であることを特徴とする請求項８に記載のマイクロ気体輸送デバイス。
10. 前記マイクロ気体輸送デバイスが、前記支持フレームと、前記浮揚板及び前記外枠と、の間に、少なくとも一つの隙間を有し、且つ、前記圧電アクチュエータにある前記支持フレームの両端がそれぞれ、前記浮揚板と、前記外枠と、に連接することを特徴とする請求項５に記載のマイクロ気体輸送デバイス。

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