JP6999409B2 - Filter device - Google Patents

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Description

本発明は、フィルタ装置に関する。 The present invention relates to a filter device.

フィルタ装置は、空気供給源から供給された圧縮空気に含まれるパーティクルを除去するフィルタ部（フィルタエレメント）を有している。フィルタ部は、例えば特許文献１に開示されているように、フィルタ部を通過する前の圧縮空気の圧力と、フィルタ部を通過した後の圧縮空気の圧力との差を検出し、この圧力差が大きいほど、フィルタ部が目詰まり状態であると判断して、作業者によって新しいフィルタ部に交換される。 The filter device has a filter unit (filter element) for removing particles contained in compressed air supplied from an air supply source. As disclosed in Patent Document 1, for example, the filter unit detects the difference between the pressure of the compressed air before passing through the filter unit and the pressure of the compressed air after passing through the filter unit, and this pressure difference. The larger the value, the more the filter unit is determined to be in a clogged state, and the operator replaces the filter unit with a new filter unit.

特開２０１０－１０１７０２号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2010-101702

しかしながら、特許文献１では、フィルタ部を通過する前の圧縮空気の圧力と、フィルタ部を通過した後の圧縮空気の圧力との差が、ある程度大きくならないと、フィルタ部が目詰まり状態であると判断することができないため、フィルタ部の最適な交換時期が分からず、予防保全ができないという問題があった。 However, in Patent Document 1, the filter portion is in a clogged state unless the difference between the pressure of the compressed air before passing through the filter portion and the pressure of the compressed air after passing through the filter portion becomes large to some extent. Since it cannot be determined, there is a problem that preventive maintenance cannot be performed because the optimum replacement time of the filter unit cannot be known.

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、フィルタ部の予防保全を行うことができるフィルタ装置を提供することにある。 The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a filter device capable of performing preventive maintenance of a filter unit.

上記課題を解決するフィルタ装置は、空気供給源から供給された圧縮空気に含まれるパーティクルを除去するフィルタ部を有するフィルタ装置であって、前記フィルタ部を通過した圧縮空気が流れる空気流路と、前記空気流路を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを検出する光学的センサと、を有するパーティクル測定器を備えた。 The filter device that solves the above problems is a filter device having a filter unit that removes particles contained in the compressed air supplied from the air supply source, and has an air flow path through which the compressed air that has passed through the filter unit flows. A particle measuring instrument comprising an optical sensor for detecting particles contained in compressed air flowing through the air flow path was provided.

上記フィルタ装置において、前記パーティクル測定器は、前記空気流路の少なくとも一部を内部に形成するとともに光を透過する透過性の材料からなるケースを有し、前記光学的センサは、前記ケースの外側に配置された投光部及び受光部を有し、前記投光部から出射された光が前記ケースを透過して前記空気流路を流れる前記圧縮空気に照射されるとともに、前記圧縮空気に照射されて前記圧縮空気に含まれるパーティクルに反射した光が前記受光部に受光され、前記光学的センサは、前記受光部に受光された光の光量レベルに基づいて、前記空気流路を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを検出するとよい。 In the filter device, the particle measuring instrument has a case made of a transparent material that forms at least a part of the air flow path inside and transmits light, and the optical sensor is outside the case. It has a light projecting unit and a light receiving unit arranged in the above, and the light emitted from the light projecting unit is irradiated to the compressed air flowing through the air flow path through the case and also to irradiate the compressed air. The light reflected by the particles contained in the compressed air is received by the light receiving unit, and the optical sensor receives the compressed air flowing through the air flow path based on the light amount level of the light received by the light receiving unit. It is good to detect the particles contained in.

上記フィルタ装置において、前記光学的センサは、前記投光部から出射される光を集光する投光側集光レンズと、前記圧縮空気に照射されて前記圧縮空気に含まれるパーティクルに反射した光を集光する受光側集光レンズと、を有し、前記投光側集光レンズ及び前記受光側集光レンズは、前記ケースの一部であるとよい。 In the filter device, the optical sensor is a light projecting side condensing lens that collects light emitted from the light projecting unit, and light that is irradiated with the compressed air and reflected by particles contained in the compressed air. It is preferable to have a light receiving side condensing lens for condensing light, and the light emitting side condensing lens and the light receiving side condensing lens are a part of the case.

上記フィルタ装置において、前記ケースは、前記投光部から出射される光の出射方向に対して直交する方向に延びる透過面を有しているとよい。
上記フィルタ装置において、前記空気流路は、メイン流路と、前記メイン流路から分岐されるサブ流路と、を有し、前記光学的センサは、前記サブ流路を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを検出し、前記パーティクル測定器は、前記サブ流路を流れる前記圧縮空気の流量を、前記メイン流路を流れる圧縮空気の流量よりも小さくする流量調整機構を有しているとよい。 In the filter device, the case may have a transmission surface extending in a direction orthogonal to the emission direction of the light emitted from the light projecting unit.
In the filter device, the air flow path has a main flow path and a sub flow path branched from the main flow path, and the optical sensor is included in the compressed air flowing through the sub flow path. It is preferable that the particle measuring instrument has a flow rate adjusting mechanism that detects particles and makes the flow rate of the compressed air flowing through the sub flow path smaller than the flow rate of the compressed air flowing through the main flow path.

上記フィルタ装置において、前記サブ流路の少なくとも一部の流路断面積は、前記メイン流路の流路断面積よりも小さくなっているとよい。
上記フィルタ装置において、前記サブ流路には、前記メイン流路からの前記圧縮空気の逆流を防止する逆止弁が設けられているとよい。 In the filter device, it is preferable that the cross-sectional area of at least a part of the sub-flow path is smaller than the cross-sectional area of the main flow path.
In the filter device, it is preferable that the sub-flow path is provided with a check valve for preventing the backflow of the compressed air from the main flow path.

上記フィルタ装置において、前記メイン流路には、前記メイン流路の圧力を一定にするための均圧弁が設けられているとよい。 In the filter device, it is preferable that the main flow path is provided with a pressure equalizing valve for keeping the pressure of the main flow path constant.

この発明によれば、フィルタ部の予防保全を行うことができる。 According to the present invention, preventive maintenance of the filter portion can be performed.

実施形態における空気圧ユニットの回路図。The circuit diagram of the pneumatic unit in an embodiment. パーティクル測定器の一部を示す模式図。Schematic diagram showing a part of a particle measuring instrument. 別の実施形態におけるパーティクル測定器の一部を示す模式図。The schematic diagram which shows a part of the particle measuring instrument in another embodiment. 別の実施形態における空気圧ユニットの回路図。Schematic of a pneumatic unit in another embodiment.

以下、フィルタ装置を具体化した一実施形態を図１及び図２にしたがって説明する。本実施形態のフィルタ装置は、空気圧ユニットの一部を構成している。
図１に示すように、空気圧ユニット１０は、レギュレータ１１及びフィルタ装置２０を備えている。レギュレータ１１は、空気供給源１２から供給される圧縮空気の圧力を予め定められた設定圧力に調整する。フィルタ装置２０は、エアフィルタ２１及びパーティクル測定器３０を備えている。空気圧ユニット１０は、レギュレータ１１、エアフィルタ２１及びパーティクル測定器３０が、この順に一直線上に並設されることにより構成されている。 Hereinafter, an embodiment in which the filter device is embodied will be described with reference to FIGS. 1 and 2. The filter device of this embodiment constitutes a part of the pneumatic unit.
As shown in FIG. 1, the pneumatic unit 10 includes a regulator 11 and a filter device 20. The regulator 11 adjusts the pressure of the compressed air supplied from the air supply source 12 to a predetermined set pressure. The filter device 20 includes an air filter 21 and a particle measuring device 30. The pneumatic unit 10 is configured by arranging a regulator 11, an air filter 21, and a particle measuring instrument 30 in a straight line in this order.

エアフィルタ２１のボディ２２内には、圧縮空気に含まれるパーティクルを除去するフィルタ部２３が収容されている。フィルタ部２３は、例えば、筒状のフィルタエレメントである。 A filter unit 23 for removing particles contained in compressed air is housed in the body 22 of the air filter 21. The filter unit 23 is, for example, a cylindrical filter element.

ボディ２２は、供給路２２ａ及び排出路２２ｂを有している。供給路２２ａは、ボディ２２におけるレギュレータ１１側の面に開口している。排出路２２ｂは、ボディ２２におけるパーティクル測定器３０側の面に開口している。 The body 22 has a supply path 22a and a discharge path 22b. The supply path 22a is open to the surface of the body 22 on the regulator 11 side. The discharge path 22b is open to the surface of the body 22 on the particle measuring instrument 30 side.

供給路２２ａは、レギュレータ１１に連通している。供給路２２ａには、空気供給源１２からレギュレータ１１を介して圧縮空気が供給される。供給路２２ａに供給された圧縮空気は、供給路２２ａを通過してフィルタ部２３に至る。フィルタ部２３は、圧縮空気がフィルタ部２３を通過する際に、圧縮空気に含まれるパーティクルを除去する。よって、フィルタ装置２０は、空気供給源１２から供給された圧縮空気に含まれるパーティクルを除去するフィルタ部２３を有している。そして、フィルタ部２３を通過した圧縮空気は、排出路２２ｂへ排出される。 The supply path 22a communicates with the regulator 11. Compressed air is supplied to the supply path 22a from the air supply source 12 via the regulator 11. The compressed air supplied to the supply path 22a passes through the supply path 22a and reaches the filter unit 23. The filter unit 23 removes particles contained in the compressed air as the compressed air passes through the filter unit 23. Therefore, the filter device 20 has a filter unit 23 that removes particles contained in the compressed air supplied from the air supply source 12. Then, the compressed air that has passed through the filter unit 23 is discharged to the discharge path 22b.

パーティクル測定器３０は、ケーシング３１を有している。ケーシング３１は、ボディ２２に対して着脱可能に取り付けられている。よって、エアフィルタ２１のボディ２２とパーティクル測定器３０のケーシング３１とは別部材である。なお、エアフィルタ２１のボディ２２とパーティクル測定器３０のケーシング３１とは別部材ではなく、予め一体形成されていてもよい。 The particle measuring instrument 30 has a casing 31. The casing 31 is detachably attached to the body 22. Therefore, the body 22 of the air filter 21 and the casing 31 of the particle measuring instrument 30 are separate members. The body 22 of the air filter 21 and the casing 31 of the particle measuring instrument 30 may not be separate members but may be integrally formed in advance.

パーティクル測定器３０は、フィルタ部２３を通過した圧縮空気が流れる空気流路３２を有している。空気流路３２は、ケーシング３１内に形成されている。空気流路３２は、メイン流路３３と、メイン流路３３から分岐されるサブ流路３４と、を有している。メイン流路３３の一端は、排出路２２ｂに連通している。メイン流路３３の他端は大気に開放されている。サブ流路３４の一端は、メイン流路３３の一端寄りに接続されている。サブ流路３４の他端は、サブ流路３４の一端とメイン流路３３との接続位置よりもメイン流路３３の他端寄りに接続されている。 The particle measuring instrument 30 has an air flow path 32 through which compressed air that has passed through the filter unit 23 flows. The air flow path 32 is formed in the casing 31. The air flow path 32 has a main flow path 33 and a sub flow path 34 branched from the main flow path 33. One end of the main flow path 33 communicates with the discharge path 22b. The other end of the main flow path 33 is open to the atmosphere. One end of the sub flow path 34 is connected to one end of the main flow path 33. The other end of the sub flow path 34 is connected closer to the other end of the main flow path 33 than the connection position between one end of the sub flow path 34 and the main flow path 33.

パーティクル測定器３０は、空気流路３２の一部を内部に形成するケース３５を有している。ケース３５は、光を透過する透過性の材料からなる。ケース３５は、例えば、透明な材料によって筒状に形成されるとともに軸方向の両端が開口したフローセルである。ケース３５は、サブ流路３４の一部を内部に形成している。 The particle measuring instrument 30 has a case 35 that forms a part of the air flow path 32 inside. The case 35 is made of a transparent material that transmits light. The case 35 is, for example, a flow cell formed of a transparent material into a cylindrical shape and having both ends in the axial direction open. The case 35 forms a part of the sub flow path 34 inside.

図２に示すように、パーティクル測定器３０は、空気流路３２を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを検出する光学的センサ４０を有している。光学的センサ４０は、ケース３５内を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを検出する。したがって、光学的センサ４０は、サブ流路３４を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを検出する。 As shown in FIG. 2, the particle measuring instrument 30 has an optical sensor 40 that detects particles contained in compressed air flowing through the air flow path 32. The optical sensor 40 detects particles contained in the compressed air flowing in the case 35. Therefore, the optical sensor 40 detects particles contained in the compressed air flowing through the sub flow path 34.

光学的センサ４０は、ケース３５の外側に配置された投光部４１及び受光部４２を有している。投光部４１及び受光部４２は、例えば、投光部４１及び受光部４２に電気を供給する図示しない基板に取り付けられている。基板は、例えば、ケーシング３１に支持されている。 The optical sensor 40 has a light emitting unit 41 and a light receiving unit 42 arranged on the outside of the case 35. The light projecting unit 41 and the light receiving unit 42 are attached to, for example, a substrate (not shown) that supplies electricity to the light emitting unit 41 and the light receiving unit 42. The substrate is supported, for example, by the casing 31.

投光部４１から出射された光は、ケース３５を透過してサブ流路３４を流れる圧縮空気に照射されるとともに、圧縮空気に照射されて圧縮空気に含まれるパーティクルに反射した光である散乱光が受光部４２に受光される。 The light emitted from the light projecting unit 41 is irradiated to the compressed air that has passed through the case 35 and flows through the sub-flow path 34, and is also scattered that is the light that is irradiated to the compressed air and reflected by the particles contained in the compressed air. Light is received by the light receiving unit 42.

光学的センサ４０は、投光部４１から出射される光を集光する投光側集光レンズ４３と、圧縮空気に照射されて圧縮空気に含まれるパーティクルに反射した光である散乱光を集光する受光側集光レンズ４４と、を有している。投光側集光レンズ４３及び受光側集光レンズ４４は、ケース３５の外側に配置されている。投光側集光レンズ４３及び受光側集光レンズ４４は、例えば、ケーシング３１に支持されている。 The optical sensor 40 collects the light projecting side condensing lens 43 that collects the light emitted from the light projecting unit 41 and the scattered light that is the light that is irradiated to the compressed air and reflected by the particles contained in the compressed air. It has a light receiving side condensing lens 44 that emits light. The light emitting side condensing lens 43 and the light receiving side condensing lens 44 are arranged on the outside of the case 35. The light emitting side condensing lens 43 and the light receiving side condensing lens 44 are supported by, for example, a casing 31.

光学的センサ４０は、受光部４２に受光された光の光量レベルに基づいて、サブ流路３４を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを検出する。例えば、光学的センサ４０は、受光部４２に受光された光の光量レベルに基づく電気信号が受光部４２から送信されるコントローラ４５を有している。コントローラ４５は、受光部４２から送信される電気信号の信号強度に基づいて、パーティクルの粒径や数などを測定する。 The optical sensor 40 detects particles contained in the compressed air flowing through the sub-flow path 34 based on the light amount level of the light received by the light receiving unit 42. For example, the optical sensor 40 has a controller 45 in which an electric signal based on the light amount level of the light received by the light receiving unit 42 is transmitted from the light receiving unit 42. The controller 45 measures the particle size and the number of particles based on the signal strength of the electric signal transmitted from the light receiving unit 42.

パーティクル測定器３０は、報知部４６を有している。報知部４６は、例えば、ディスプレイである。報知部４６は、コントローラ４５により測定されたパーティクルの粒径が予め定められた粒径よりも大きかったり、コントローラ４５により測定されたパーティクルの数が予め定められた数よりも多かったりすると、作業者に、フィルタ部２３の交換を行う必要がある旨の表示を行う。 The particle measuring instrument 30 has a notification unit 46. The notification unit 46 is, for example, a display. When the notification unit 46 determines that the particle size of the particles measured by the controller 45 is larger than the predetermined particle size or the number of particles measured by the controller 45 is larger than the predetermined number, the operator Indicates that the filter unit 23 needs to be replaced.

図１に示すように、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の部分には、絞り３６が設けられている。絞り３６は、可変絞りである。絞り３６の流路断面積は、メイン流路３３の流路断面積よりも小さくなっている。よって、サブ流路３４の一部の流路断面積は、メイン流路３３の流路断面積よりも小さくなっている。これにより、サブ流路３４において、絞り３６よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の流路の圧力は、絞り３６よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の流路の圧力よりも低くなっている。したがって、サブ流路３４において、絞り３６を通過した後の圧縮空気の流量は、絞り３６を通過する前の圧縮空気の流量よりも小さくなっている。すなわち、サブ流路３４における絞り３６を通過した後の圧縮空気の流量は、メイン流路３３を流れる圧縮空気の流量よりも小さくなっている。 As shown in FIG. 1, a throttle 36 is provided in a portion of the sub-flow path 34 on the upstream side in the flow direction of the compressed air with respect to the case 35. The aperture 36 is a variable aperture. The flow path cross-sectional area of the throttle 36 is smaller than the flow path cross-sectional area of the main flow path 33. Therefore, the cross-sectional area of a part of the sub-flow path 34 is smaller than the cross-sectional area of the main flow path 33. As a result, in the sub-flow path 34, the pressure of the flow path on the downstream side in the flow direction of the compressed air from the throttle 36 becomes lower than the pressure of the flow path on the upstream side in the flow direction of the compressed air from the throttle 36. There is. Therefore, in the sub-flow path 34, the flow rate of the compressed air after passing through the throttle 36 is smaller than the flow rate of the compressed air before passing through the throttle 36. That is, the flow rate of the compressed air after passing through the throttle 36 in the sub flow path 34 is smaller than the flow rate of the compressed air flowing through the main flow path 33.

サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の部分には、逆止弁３７が設けられている。逆止弁３７は、サブ流路３４において、逆止弁３７よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の流路の圧力が、逆止弁３７よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の流路の圧力を上回ったときに開弁する。したがって、逆止弁３７は、サブ流路３４において、逆止弁３７よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の流路の圧力が、逆止弁３７よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の流路の圧力以下であるときには閉弁した状態になっており、メイン流路３３からの圧縮空気の逆流を防止する。 A check valve 37 is provided in a portion of the sub-flow path 34 on the downstream side of the case 35 in the flow direction of the compressed air. In the check valve 37, the pressure in the flow path on the upstream side in the compressed air flow direction from the check valve 37 in the sub flow path 34 is the flow path on the downstream side in the compressed air flow direction from the check valve 37. The valve opens when the pressure exceeds. Therefore, in the check valve 37, the pressure in the flow path on the upstream side of the check valve 37 in the flow direction of the compressed air is on the downstream side of the check valve 37 in the flow direction of the compressed air. When the pressure is equal to or lower than the pressure of the flow path, the valve is closed to prevent the backflow of compressed air from the main flow path 33.

メイン流路３３におけるサブ流路３４の他端との接続位置よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の部分には、メイン流路３３の圧力を一定にするための均圧弁３８が設けられている。均圧弁３８は、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の流路の圧力を、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の流路の圧力に対して僅かに小さくなるように調整する。なお、空気供給源１２からの圧縮空気がサブ流路３４に供給されたときには、サブ流路３４において、逆止弁３７よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の流路の圧力が、逆止弁３７よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の流路の圧力を上回るように、メイン流路３３及びサブ流路３４や均圧弁３８の構造が予め設計されている。 A pressure equalizing valve 38 for keeping the pressure of the main flow path 33 constant is provided at a portion of the main flow path 33 on the downstream side in the flow direction of the compressed air from the connection position with the other end of the sub flow path 34. There is. The pressure equalizing valve 38 applies the pressure of the flow path on the downstream side in the flow direction of the compressed air from the case 35 in the sub flow path 34 to the flow path on the upstream side in the flow direction of the compressed air from the case 35 in the sub flow path 34. Adjust so that it is slightly smaller than the pressure. When the compressed air from the air supply source 12 is supplied to the sub flow path 34, the pressure in the flow path on the upstream side of the check valve 37 in the flow direction of the compressed air stops in the sub flow path 34. The structures of the main flow path 33, the sub flow path 34, and the pressure equalizing valve 38 are designed in advance so as to exceed the pressure of the flow path on the downstream side in the flow direction of the compressed air with respect to the valve 37.

均圧弁３８により、逆止弁３７が開弁したときには、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の流路の圧力と、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の流路の圧力との差が小さくなっている。その結果、逆止弁３７が開弁したときに、ケース３５内に流れる圧縮空気の流速が急激に速くなってしまうことが抑制されている。 When the check valve 37 is opened by the pressure equalizing valve 38, the pressure in the flow path on the upstream side in the flow direction of the compressed air in the sub flow path 34 and the compressed air in the sub flow path 34 are higher than in the case 35. The difference from the pressure of the flow path on the downstream side in the flow direction of is small. As a result, when the check valve 37 is opened, it is suppressed that the flow velocity of the compressed air flowing in the case 35 suddenly increases.

このように、絞り３６により、サブ流路３４における絞り３６を通過した後の圧縮空気の流量が、メイン流路３３を流れる圧縮空気の流量よりも小さくなっている。そして、均圧弁３８により、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の流路の圧力が、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の流路の圧力に対して僅かに小さくなるように調整される。したがって、絞り３６及び均圧弁３８は、サブ流路３４を流れる圧縮空気の流量を、メイン流路３３を流れる圧縮空気の流量よりも小さくする流量調整機構を構成している。よって、パーティクル測定器３０は、サブ流路３４を流れる圧縮空気の流量を、メイン流路３３を流れる圧縮空気の流量よりも小さくする流量調整機構を有している。 As described above, the flow rate of the compressed air after passing through the throttle 36 in the sub flow path 34 is smaller than the flow rate of the compressed air flowing through the main flow path 33 due to the throttle 36. Then, due to the pressure equalizing valve 38, the pressure in the flow path on the downstream side in the flow direction of the compressed air in the sub flow path 34 from the case 35 becomes the flow on the upstream side in the flow direction of the compressed air in the sub flow path 34 from the case 35. It is adjusted to be slightly smaller with respect to the road pressure. Therefore, the throttle 36 and the pressure equalizing valve 38 constitute a flow rate adjusting mechanism that makes the flow rate of the compressed air flowing through the sub flow path 34 smaller than the flow rate of the compressed air flowing through the main flow path 33. Therefore, the particle measuring instrument 30 has a flow rate adjusting mechanism that makes the flow rate of the compressed air flowing through the sub flow path 34 smaller than the flow rate of the compressed air flowing through the main flow path 33.

次に、本実施形態の作用について説明する。
空気圧ユニット１０において、空気供給源１２からレギュレータ１１、供給路２２ａ、フィルタ部２３及び排出路２２ｂを介してメイン流路３３に圧縮空気が供給されると、メイン流路３３を流れる圧縮空気の一部は、サブ流路３４に流れ込む。サブ流路３４に流れ込んだ圧縮空気は、絞り３６を通過する。絞り３６を通過した後の圧縮空気の流量は、絞り３６を通過する前の圧縮空気の流量よりも小さくなる。これにより、サブ流路３４における絞り３６を通過した後の圧縮空気の流量は、メイン流路３３を流れる圧縮空気の流量よりも小さくなる。また、空気供給源１２からの圧縮空気がサブ流路３４に供給されたときには、サブ流路３４において、逆止弁３７よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の流路の圧力が、逆止弁３７よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の流路の圧力を上回り、逆止弁３７が開弁する。 Next, the operation of this embodiment will be described.
In the pneumatic unit 10, when compressed air is supplied from the air supply source 12 to the main flow path 33 via the regulator 11, the supply path 22a, the filter unit 23, and the discharge path 22b, one of the compressed air flowing through the main flow path 33. The portion flows into the sub flow path 34. The compressed air that has flowed into the sub-flow path 34 passes through the throttle 36. The flow rate of the compressed air after passing through the throttle 36 is smaller than the flow rate of the compressed air before passing through the throttle 36. As a result, the flow rate of the compressed air after passing through the throttle 36 in the sub flow path 34 becomes smaller than the flow rate of the compressed air flowing through the main flow path 33. Further, when the compressed air from the air supply source 12 is supplied to the sub flow path 34, the pressure in the flow path on the upstream side in the flow direction of the compressed air from the check valve 37 in the sub flow path 34 is checked. The check valve 37 opens when the pressure in the flow path on the downstream side in the flow direction of the compressed air exceeds the pressure of the valve 37.

均圧弁３８は、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の流路の圧力を、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の流路の圧力に対して僅かに小さくなるように調整している。これにより、逆止弁３７が開弁したときに、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の流路の圧力と、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の流路の圧力との差が小さくなる。その結果、逆止弁３７が開弁したときに、ケース３５内に流れる圧縮空気の流速が急激に速くなってしまうことが抑制される。 The pressure equalizing valve 38 applies the pressure of the flow path on the downstream side in the flow direction of the compressed air from the case 35 in the sub flow path 34 to the flow path on the upstream side in the flow direction of the compressed air from the case 35 in the sub flow path 34. It is adjusted so that it becomes slightly smaller with respect to the pressure. As a result, when the check valve 37 is opened, the pressure in the flow path on the upstream side in the flow direction of the compressed air in the sub-flow path 34 in the flow direction of the compressed air and the pressure of the compressed air in the sub-flow path 34 are higher than those in the case 35. The difference from the pressure of the flow path on the downstream side in the flow direction becomes small. As a result, when the check valve 37 is opened, it is suppressed that the flow velocity of the compressed air flowing in the case 35 suddenly increases.

図２に示すように、投光部４１から出射された光は、ケース３５を透過してケース３５内に流れる圧縮空気に含まれるパーティクルに反射して、反射した光である散乱光が受光部４２に受光される。コントローラ４５は、受光部４２から送信される電気信号の信号強度に基づいて、パーティクルの粒径や数などを測定する。そして、報知部４６は、コントローラ４５により測定されたパーティクルの粒径が予め定められた粒径よりも大きかったり、コントローラ４５により測定されたパーティクルの数が予め定められた数よりも多かったりすると、作業者に、フィルタ部２３の交換を行う必要がある旨の表示を行う。 As shown in FIG. 2, the light emitted from the light projecting unit 41 is reflected by the particles contained in the compressed air flowing through the case 35 and flowing in the case 35, and the scattered light which is the reflected light is the light receiving unit. Light is received by 42. The controller 45 measures the particle size and the number of particles based on the signal strength of the electric signal transmitted from the light receiving unit 42. Then, the notification unit 46 may determine that the particle size of the particles measured by the controller 45 is larger than the predetermined particle size, or the number of particles measured by the controller 45 is larger than the predetermined number. Indicate to the operator that the filter unit 23 needs to be replaced.

上記実施形態では以下の効果を得ることができる。
（１）パーティクル測定器３０が、フィルタ部２３を通過して空気流路３２を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを、光学的センサ４０を用いて検出する。このため、特許文献１のように、フィルタ部２３を通過する前の圧縮空気の圧力と、フィルタ部２３を通過した後の圧縮空気の圧力との差を検出してフィルタ部２３の目詰まり状態を判断する場合に比べると、フィルタ部２３の目詰まり状態を精度良く判断することができ、フィルタ部２３の予防保全を行うことができる。 In the above embodiment, the following effects can be obtained.
(1) The particle measuring instrument 30 detects particles contained in the compressed air that has passed through the filter unit 23 and flows through the air flow path 32 by using the optical sensor 40. Therefore, as in Patent Document 1, the clogged state of the filter unit 23 is detected by detecting the difference between the pressure of the compressed air before passing through the filter unit 23 and the pressure of the compressed air after passing through the filter unit 23. Compared with the case of determining, the clogging state of the filter unit 23 can be determined more accurately, and preventive maintenance of the filter unit 23 can be performed.

（２）光学的センサ４０は、ケース３５の外側に配置された投光部４１及び受光部４２を有している。そして、光学的センサ４０は、受光部４２に受光された光の光量レベルに基づいて、空気流路３２を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを検出する。これによれば、例えば、光学的センサ４０を構成する投光部４１及び受光部４２を、圧縮空気が流れる空気流路３２内に配置する場合に比べると、投光部４１及び受光部４２の耐久性を向上させることができる。 (2) The optical sensor 40 has a light emitting unit 41 and a light receiving unit 42 arranged on the outside of the case 35. Then, the optical sensor 40 detects particles contained in the compressed air flowing through the air flow path 32 based on the light amount level of the light received by the light receiving unit 42. According to this, for example, as compared with the case where the light projecting unit 41 and the light receiving unit 42 constituting the optical sensor 40 are arranged in the air flow path 32 through which the compressed air flows, the light projecting unit 41 and the light receiving unit 42 Durability can be improved.

（３）絞り３６により、サブ流路３４における絞り３６を通過した後の圧縮空気の流量が、メイン流路３３を流れる圧縮空気の流量よりも小さくなっている。そして、均圧弁３８は、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の流路の圧力を、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の流路の圧力に対して僅かに小さくなるように調整する。これにより、逆止弁３７が開弁したときに、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の流路の圧力と、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の流路の圧力との差が小さくなる。その結果、逆止弁３７が開弁したときに、ケース３５内に流れる圧縮空気の流速が急激に速くなってしまうことが抑制されている。このように、パーティクル測定器３０においては、サブ流路３４を流れる圧縮空気の流量が、メイン流路３３を流れる圧縮空気の流量よりも小さくなるように調整されているため、例えば、光学的センサ４０が、メイン流路３３を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを検出する場合に比べると、圧縮空気に含まれるパーティクルを検出し易い。よって、パーティクルを精度良く検出することができる。 (3) Due to the throttle 36, the flow rate of the compressed air after passing through the throttle 36 in the sub flow path 34 is smaller than the flow rate of the compressed air flowing through the main flow path 33. Then, the pressure equalizing valve 38 applies the pressure of the flow path on the downstream side in the flow direction of the compressed air from the case 35 in the sub flow path 34 to the flow on the upstream side in the flow direction of the compressed air from the case 35 in the sub flow path 34. Adjust so that it is slightly smaller than the pressure of the road. As a result, when the check valve 37 is opened, the pressure in the flow path on the upstream side in the flow direction of the compressed air in the sub-flow path 34 in the flow direction of the compressed air and the pressure of the compressed air in the sub-flow path 34 are higher than those in the case 35. The difference from the pressure of the flow path on the downstream side in the flow direction becomes small. As a result, when the check valve 37 is opened, it is suppressed that the flow velocity of the compressed air flowing in the case 35 suddenly increases. As described above, in the particle measuring instrument 30, the flow rate of the compressed air flowing through the sub flow path 34 is adjusted to be smaller than the flow rate of the compressed air flowing through the main flow path 33. Therefore, for example, an optical sensor. Compared with the case where 40 detects particles contained in compressed air flowing through the main flow path 33, it is easier to detect particles contained in compressed air. Therefore, particles can be detected with high accuracy.

（４）サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の部分に絞り３６が設けられているため、サブ流路３４の一部の流路断面積が、メイン流路３３の流路断面積よりも小さくなっている。これによれば、サブ流路３４において、絞り３６を通過した後の圧縮空気の流量が、絞り３６を通過する前の圧縮空気の流量よりも小さくなって安定するため、圧縮空気に含まれるパーティクルを検出し易い。よって、パーティクルを精度良く検出することができる。 (4) Since the throttle 36 is provided in the portion of the sub-flow path 34 on the upstream side in the flow direction of the compressed air from the case 35, the cross-sectional area of a part of the sub-flow path 34 is the main flow path 33. It is smaller than the flow path cross-sectional area of. According to this, in the sub-flow path 34, the flow rate of the compressed air after passing through the throttle 36 becomes smaller than the flow rate of the compressed air before passing through the throttle 36 and is stable, so that the particles contained in the compressed air are contained. Is easy to detect. Therefore, particles can be detected with high accuracy.

（５）サブ流路３４には、メイン流路３３からの圧縮空気の逆流を防止する逆止弁３７が設けられている。これによれば、逆止弁３７が、メイン流路３３からの圧縮空気の逆流を防止するので、一度検出したパーティクルを、逆流により重複して検出することが無い。よって、パーティクルを精度良く検出することができる。 (5) The sub flow path 34 is provided with a check valve 37 for preventing the backflow of compressed air from the main flow path 33. According to this, since the check valve 37 prevents the backflow of the compressed air from the main flow path 33, the particles once detected are not detected in duplicate due to the backflow. Therefore, particles can be detected with high accuracy.

（６）メイン流路３３には、メイン流路３３の圧力を一定にするための均圧弁３８が設けられている。これによれば、メイン流路３３の圧力が均圧弁３８によって一定になるため、メイン流路３３の圧力の変動に伴って、サブ流路３４の圧力が変動してしまうことが抑制されるので、サブ流路３４内の流量が一定になる。よって、パーティクルを精度良く検出することができる。 (6) The main flow path 33 is provided with a pressure equalizing valve 38 for keeping the pressure of the main flow path 33 constant. According to this, since the pressure of the main flow path 33 is made constant by the pressure equalizing valve 38, it is possible to prevent the pressure of the sub flow path 34 from fluctuating due to the fluctuation of the pressure of the main flow path 33. , The flow rate in the sub flow path 34 becomes constant. Therefore, particles can be detected with high accuracy.

（７）パーティクル測定器３０は、空気流路３２を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを、光学的センサ４０を用いて検出するため、例えば、空気流路３２を通過して大気に放出された圧縮空気に含まれるパーティクルを、光学的センサ４０を用いて検出する場合に比べると、圧縮空気に含まれるパーティクルをリアルタイムで検出できる。よって、フィルタ部２３の目詰まり状態を精度良く判断することができ、フィルタ部２３の予防保全を適正に行うことができる。 (7) Since the particle measuring instrument 30 detects particles contained in the compressed air flowing through the air flow path 32 by using the optical sensor 40, for example, the compression released to the atmosphere through the air flow path 32. Compared with the case where the particles contained in the air are detected by using the optical sensor 40, the particles contained in the compressed air can be detected in real time. Therefore, the clogged state of the filter unit 23 can be accurately determined, and preventive maintenance of the filter unit 23 can be appropriately performed.

なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・ 図３に示すように、投光側集光レンズ４３及び受光側集光レンズ４４が、ケース３５の一部であってもよい。これによれば、投光側集光レンズ４３及び受光側集光レンズ４４がケース３５とは別部材である場合に比べると、部品点数を削減することができる。 The above embodiment may be changed as follows.
As shown in FIG. 3, the light emitting side condensing lens 43 and the light receiving side condensing lens 44 may be a part of the case 35. According to this, the number of parts can be reduced as compared with the case where the light emitting side condensing lens 43 and the light receiving side condensing lens 44 are separate members from the case 35.

・ 図３に示すように、ケース３５は、投光部４１から出射される光の出射方向に対して直交する方向に延びる透過面３５ａを有していてもよい。図３に示す実施形態では、投光側集光レンズ４３はケース３５の一部を構成しており、投光側集光レンズ４３が透過面３５ａを有している。投光側集光レンズ４３は、透過面３５ａが、投光部４１から出射される光の出射方向に対して直交する方向に延びるように、ケース３５に一体化されている。これによれば、投光部４１から出射される光がケース３５を透過する際に、光が屈折してしまうことを抑制することができ、空気流路３２を流れる圧縮空気に対して光を正確に照射することができる。 As shown in FIG. 3, the case 35 may have a transmission surface 35a extending in a direction orthogonal to the emission direction of the light emitted from the light projecting unit 41. In the embodiment shown in FIG. 3, the light emitting side condensing lens 43 constitutes a part of the case 35, and the light emitting side condensing lens 43 has a transmission surface 35a. The light emitting side condensing lens 43 is integrated with the case 35 so that the transmitting surface 35a extends in a direction orthogonal to the light emitting direction of the light emitted from the light emitting unit 41. According to this, when the light emitted from the light projecting unit 41 passes through the case 35, it is possible to suppress the refraction of the light, and the light is emitted to the compressed air flowing through the air flow path 32. It can be irradiated accurately.

・ 図３に示す実施形態において、投光側集光レンズ４３がケース３５とは別部材であるとともに、ケース３５の一部が、投光部４１から出射される光の出射方向に対して直交する方向に延びる透過面になっていてもよい。 In the embodiment shown in FIG. 3, the light emitting side condensing lens 43 is a separate member from the case 35, and a part of the case 35 is orthogonal to the light emitting direction of the light emitted from the light emitting unit 41. It may be a transparent surface extending in the direction of light.

・ 図４に示すように、均圧弁３８が、メイン流路３３におけるサブ流路３４の他端との接続位置よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の部分に設けられているのではなく、例えば、サブ流路３４におけるケース３５と逆止弁３７との間に設けられていてもよい。 As shown in FIG. 4, the pressure equalizing valve 38 is not provided in the portion downstream of the connection position with the other end of the sub flow path 34 in the main flow path 33 in the flow direction of the compressed air. For example, it may be provided between the case 35 and the check valve 37 in the sub flow path 34.

・ 実施形態において、パーティクル測定器３０は、均圧弁３８に代えて、例えば、蓄圧タンクを有していてもよい。蓄圧タンクは、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の流路の圧力が、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の流路の圧力に対して僅かに小さくなるように、蓄圧タンクに予め蓄圧された空気によって調整する。 -In the embodiment, the particle measuring instrument 30 may have, for example, a pressure accumulating tank instead of the pressure equalizing valve 38. In the accumulator tank, the pressure of the flow path on the downstream side in the flow direction of the compressed air in the sub flow path 34 from the case 35 is the pressure in the flow path on the upstream side in the flow direction of the compressed air in the sub flow path 34. It is adjusted by the air pre-accumulated in the accumulator tank so that the pressure is slightly smaller than that of the accumulator tank.

・ 実施形態において、パーティクル測定器３０は、均圧弁３８に代えて、例えば、減圧弁を有していてもよい。減圧弁は、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の流路の圧力が、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の流路の圧力に対して僅かに小さくなるように、サブ流路３４を流れる圧縮空気の圧力を調整する。 -In the embodiment, the particle measuring instrument 30 may have, for example, a pressure reducing valve instead of the pressure equalizing valve 38. In the pressure reducing valve, the pressure of the flow path on the downstream side in the flow direction of the compressed air from the case 35 in the sub flow path 34 is the pressure of the flow path on the upstream side in the flow direction of the compressed air from the case 35 in the sub flow path 34. The pressure of the compressed air flowing through the sub-flow path 34 is adjusted so as to be slightly smaller than the pressure of the sub-flow path 34.

・ 実施形態において、報知部４６は、パーティクルの粒径が予め定められた粒径よりも大きかったり、パーティクルの数が予め定められた数よりも多かったりすると、例えば、ランプを点滅させたり、ブザー音を鳴らしたりすることにより、作業者にフィルタ部２３の交換を行う必要がある旨を報知するようにしてもよい。 -In the embodiment, when the particle size of the particles is larger than the predetermined particle size or the number of particles is larger than the predetermined number, the notification unit 46 blinks a lamp or a buzzer, for example. By making a sound, the operator may be notified that the filter unit 23 needs to be replaced.

・ 実施形態において、サブ流路３４全体の流路断面積が、メイン流路３３の流路断面積よりも小さくなっていてもよい。要は、サブ流路３４の少なくとも一部の流路断面積が、メイン流路３３の流路断面積よりも小さくなっていればよい。 -In the embodiment, the flow path cross-sectional area of the entire sub-flow path 34 may be smaller than the flow path cross-sectional area of the main flow path 33. In short, it is sufficient that the cross-sectional area of at least a part of the sub-flow path 34 is smaller than the cross-sectional area of the main flow path 33.

・ 実施形態において、絞り３６は、固定絞りであってもよい。
・ 実施形態において、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の部分に、絞り３６が設けられていなくてもよい。 -In the embodiment, the diaphragm 36 may be a fixed diaphragm.
-In the embodiment, the throttle 36 may not be provided in the portion of the sub-flow path 34 on the upstream side in the flow direction of the compressed air with respect to the case 35.

・ 実施形態において、メイン流路３３に均圧弁３８が設けられていなくてもよい。
・ 実施形態において、投光部４１及び受光部４２が、圧縮空気が流れる空気流路３２内に配置されていてもよい。 -In the embodiment, the pressure equalizing valve 38 may not be provided in the main flow path 33.
-In the embodiment, the light projecting unit 41 and the light receiving unit 42 may be arranged in the air flow path 32 through which compressed air flows.

・ 実施形態において、空気流路３２は、メイン流路３３及びサブ流路３４により構成されていなくてもよく、例えば、メイン流路３３のみであってもよい。そして、ケース３５がメイン流路３３の少なくとも一部を内部に形成していてもよい。この場合、光学的センサ４０は、メイン流路３３を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを検出する。 -In the embodiment, the air flow path 32 may not be composed of the main flow path 33 and the sub flow path 34, and may be, for example, only the main flow path 33. Then, the case 35 may form at least a part of the main flow path 33 inside. In this case, the optical sensor 40 detects particles contained in the compressed air flowing through the main flow path 33.

・ 実施形態において、ケース３５の内部が、サブ流路３４全体を形成していてもよい。
・ 実施形態において、光学的センサ４０は、例えば、投光部４１から出射された光が受光部４２に受光されており、圧縮空気に含まれるパーティクルによって、投光部４１から出射された光が遮られることにより、受光部４２に受光される光の光量レベルが変化する構成のものであってもよい。 -In the embodiment, the inside of the case 35 may form the entire sub-flow path 34.
In the embodiment, in the optical sensor 40, for example, the light emitted from the light projecting unit 41 is received by the light receiving unit 42, and the light emitted from the light projecting unit 41 is emitted by the particles contained in the compressed air. By being blocked, the light amount level of the light received by the light receiving unit 42 may change.

１２…空気供給源、２０…フィルタ装置、２３…フィルタ部、３０…パーティクル測定器、３２…空気流路、３３…メイン流路、３４…サブ流路、３５…ケース、３５ａ…透過面、３６…流量調整機構を構成する絞り、３７…逆止弁、３８…流量調整機構を構成する均圧弁、４０…光学的センサ、４１…投光部、４２…受光部、４３…投光側集光レンズ、４４…受光側集光レンズ。 12 ... Air supply source, 20 ... Filter device, 23 ... Filter unit, 30 ... Particle measuring instrument, 32 ... Air flow path, 33 ... Main flow path, 34 ... Sub flow path, 35 ... Case, 35a ... Transmission surface, 36 ... Aperture constituting the flow rate adjusting mechanism, 37 ... Check valve, 38 ... Pressure equalizing valve constituting the flow rate adjusting mechanism, 40 ... Optical sensor, 41 ... Light projecting unit, 42 ... Light receiving unit, 43 ... Light emitting side condensing Lens, 44 ... Light receiving side condenser lens.

Claims (8)

空気供給源から供給される圧縮空気の圧力を予め定められた設定圧力に調整するレギュレータに接続され、前記空気供給源から前記レギュレータを介して供給される圧縮空気に含まれるパーティクルを除去するフィルタ部を有するフィルタ装置であって、
前記フィルタ部を通過した圧縮空気が流れる空気流路と、
前記空気流路を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを検出する光学的センサと、を有するパーティクル測定器を備え、
前記パーティクル測定器は、前記空気流路の少なくとも一部を内部に形成するとともに光を透過する透過性の材料からなるケースを有し、
前記光学的センサは、前記ケースの外側に配置された投光部及び受光部を有し、
前記投光部は、前記ケースの内部に形成された前記空気流路を流れる圧縮空気に前記ケースの外側から光を照射し、
前記受光部は、前記ケースを透過して前記圧縮空気に照射された光のうち、前記圧縮空気に含まれるパーティクルに反射した光を受光し、
前記光学的センサは、前記受光部に受光された光の光量レベルに基づいて、前記空気流路を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルの粒径及び数を検出することを特徴とするフィルタ装置。 A filter unit connected to a regulator that adjusts the pressure of compressed air supplied from an air supply source to a predetermined set pressure, and removes particles contained in compressed air supplied from the air supply source via the regulator. It is a filter device having
An air flow path through which compressed air that has passed through the filter section flows, and
A particle measuring instrument comprising an optical sensor for detecting particles contained in compressed air flowing through the air flow path is provided .
The particle measuring instrument has a case made of a transparent material that forms at least a part of the air flow path inside and transmits light.
The optical sensor has a light emitting part and a light receiving part arranged on the outside of the case.
The light projecting unit irradiates the compressed air flowing through the air flow path formed inside the case with light from the outside of the case.
The light receiving unit receives the light reflected by the particles contained in the compressed air among the light transmitted through the case and irradiated to the compressed air.
The optical sensor is a filter device characterized in that it detects the particle size and the number of particles contained in the compressed air flowing through the air flow path based on the light amount level of the light received by the light receiving unit. 前記光学的センサは、
前記投光部から出射される光を集光する投光側集光レンズと、
前記圧縮空気に照射されて前記圧縮空気に含まれるパーティクルに反射した光を集光する受光側集光レンズと、を有し、
前記投光側集光レンズ及び前記受光側集光レンズは、前記ケースの一部であることを特徴とする請求項１に記載のフィルタ装置。 The optical sensor is
A light emitting side condensing lens that condenses the light emitted from the light projecting unit,
It has a light receiving side condensing lens that condenses the light that is irradiated to the compressed air and reflected by the particles contained in the compressed air.
The filter device according to claim 1 , wherein the light emitting side condensing lens and the light receiving side condensing lens are a part of the case. 前記ケースは、前記投光部から出射される光の出射方向に対して直交する方向に延びる透過面を有していることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のフィルタ装置。 The filter device according to claim 1 or 2 , wherein the case has a transmission surface extending in a direction orthogonal to the emission direction of the light emitted from the light projecting unit. 前記ケースは筒状に形成されており、その内部に、第１の領域と、前記第１の領域よりも流路断面積が小さい第２の領域と、前記第１の領域から前記第２の領域に向かうにつれて縮径するテーパ状の第３の領域と、を有した前記空気流路が形成されており、 The case is formed in a cylindrical shape, and inside the case, a first region, a second region having a smaller flow path cross-sectional area than the first region, and the second region from the first region are described. The air flow path having a tapered third region that shrinks in diameter toward the region is formed.
前記透過面は、前記第３の領域を形成する位置に配置されており、 The transmission surface is arranged at a position forming the third region.
前記投光部は、前記透過面を介して前記第１の領域に向けて光を照射する請求項３に記載のフィルタ装置。 The filter device according to claim 3, wherein the light projecting unit irradiates light toward the first region through the transmission surface. 前記空気流路は、メイン流路と、前記メイン流路から分岐されるサブ流路と、を有し、
前記光学的センサは、前記サブ流路を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを検出し、
前記パーティクル測定器は、前記サブ流路を流れる前記圧縮空気の流量を、前記メイン流路を流れる圧縮空気の流量よりも小さくする流量調整機構を有していることを特徴とする請求項１～請求項４のいずれか一項に記載のフィルタ装置。 The air flow path has a main flow path and a sub flow path branched from the main flow path.
The optical sensor detects particles contained in compressed air flowing through the sub-channel, and detects particles.
The particle measuring instrument is characterized by having a flow rate adjusting mechanism for making the flow rate of the compressed air flowing through the sub flow path smaller than the flow rate of the compressed air flowing through the main flow path. The filter device according to any one of claims 4. 前記サブ流路の少なくとも一部の流路断面積は、前記メイン流路の流路断面積よりも小さくなっていることを特徴とする請求項５に記載のフィルタ装置。 The filter device according to claim 5, wherein at least a part of the cross-sectional area of the sub-flow path is smaller than the cross-sectional area of the main flow path. 前記サブ流路には、前記メイン流路からの前記圧縮空気の逆流を防止する逆止弁が設けられていることを特徴とする請求項５又は請求項６に記載のフィルタ装置。 The filter device according to claim 5 or 6, wherein the sub-flow path is provided with a check valve for preventing the backflow of the compressed air from the main flow path. 前記メイン流路には、前記メイン流路の圧力を一定にするための均圧弁が設けられていることを特徴とする請求項５～請求項７のいずれか一項に記載のフィルタ装置。 The filter device according to any one of claims 5 to 7, wherein the main flow path is provided with a pressure equalizing valve for keeping the pressure of the main flow path constant.
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