JP2019111502A - Filter device - Google Patents
Filter device Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019111502A JP2019111502A JP2017247786A JP2017247786A JP2019111502A JP 2019111502 A JP2019111502 A JP 2019111502A JP 2017247786 A JP2017247786 A JP 2017247786A JP 2017247786 A JP2017247786 A JP 2017247786A JP 2019111502 A JP2019111502 A JP 2019111502A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- compressed air
- flow path
- light
- flow passage
- filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 78
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 28
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 claims description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 7
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 abstract description 7
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
- B01D46/24—Particle separators, e.g. dust precipitators, using rigid hollow filter bodies
- B01D46/2403—Particle separators, e.g. dust precipitators, using rigid hollow filter bodies characterised by the physical shape or structure of the filtering element
- B01D46/2411—Filter cartridges
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
- B01D46/42—Auxiliary equipment or operation thereof
- B01D46/44—Auxiliary equipment or operation thereof controlling filtration
- B01D46/442—Auxiliary equipment or operation thereof controlling filtration by measuring the concentration of particles
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/49—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid
-
- G01N15/075—
Abstract
Description
本発明は、フィルタ装置に関する。 The present invention relates to a filter device.
フィルタ装置は、空気供給源から供給された圧縮空気に含まれるパーティクルを除去するフィルタ部（フィルタエレメント）を有している。フィルタ部は、例えば特許文献１に開示されているように、フィルタ部を通過する前の圧縮空気の圧力と、フィルタ部を通過した後の圧縮空気の圧力との差を検出し、この圧力差が大きいほど、フィルタ部が目詰まり状態であると判断して、作業者によって新しいフィルタ部に交換される。 The filter device has a filter unit (filter element) that removes particles contained in the compressed air supplied from the air supply source. For example, as disclosed in Patent Document 1, the filter unit detects a difference between the pressure of compressed air before passing through the filter unit and the pressure of compressed air after passing through the filter unit, and this pressure difference Is larger, it is determined that the filter unit is clogged and is replaced by a new filter unit by the operator.
しかしながら、特許文献１では、フィルタ部を通過する前の圧縮空気の圧力と、フィルタ部を通過した後の圧縮空気の圧力との差が、ある程度大きくならないと、フィルタ部が目詰まり状態であると判断することができないため、フィルタ部の最適な交換時期が分からず、予防保全ができないという問題があった。 However, according to Patent Document 1, if the difference between the pressure of compressed air before passing through the filter and the pressure of compressed air after passing through the filter does not increase to some extent, the filter is clogged Since it can not judge, the optimal replacement time of the filter part was not known, and there existed a problem that preventive maintenance could not be performed.
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、フィルタ部の予防保全を行うことができるフィルタ装置を提供することにある。 The present invention was made in order to solve the above-mentioned subject, and the object is to provide a filter device which can perform preventive maintenance of a filter part.
上記課題を解決するフィルタ装置は、空気供給源から供給された圧縮空気に含まれるパーティクルを除去するフィルタ部を有するフィルタ装置であって、前記フィルタ部を通過した圧縮空気が流れる空気流路と、前記空気流路を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを検出する光学的センサと、を有するパーティクル測定器を備えた。 A filter device for solving the above problems is a filter device having a filter portion for removing particles contained in compressed air supplied from an air supply source, and an air flow path through which the compressed air having passed through the filter portion flows; And an optical sensor for detecting particles contained in the compressed air flowing through the air flow path.
上記フィルタ装置において、前記パーティクル測定器は、前記空気流路の少なくとも一部を内部に形成するとともに光を透過する透過性の材料からなるケースを有し、前記光学的センサは、前記ケースの外側に配置された投光部及び受光部を有し、前記投光部から出射された光が前記ケースを透過して前記空気流路を流れる前記圧縮空気に照射されるとともに、前記圧縮空気に照射されて前記圧縮空気に含まれるパーティクルに反射した光が前記受光部に受光され、前記光学的センサは、前記受光部に受光された光の光量レベルに基づいて、前記空気流路を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを検出するとよい。 In the above filter device, the particle measuring device has a case made of a transparent material which forms at least a part of the air flow passage therein and transmits light, and the optical sensor is formed on the outside of the case. The light emitted from the light emitting unit is transmitted through the case and irradiated to the compressed air flowing through the air flow path, and the light is irradiated to the compressed air. The light reflected by the particles contained in the compressed air is received by the light receiving unit, and the optical sensor is configured to compress the compressed air flowing through the air flow path based on the light amount level of the light received by the light receiving unit. It is good to detect the particles contained in.
上記フィルタ装置において、前記光学的センサは、前記投光部から出射される光を集光する投光側集光レンズと、前記圧縮空気に照射されて前記圧縮空気に含まれるパーティクルに反射した光を集光する受光側集光レンズと、を有し、前記投光側集光レンズ及び前記受光側集光レンズは、前記ケースの一部であるとよい。 In the above-mentioned filter device, the optical sensor includes a light-projecting side condensing lens for condensing light emitted from the light-projecting unit, and light which is emitted to the compressed air and reflected to particles contained in the compressed air It is preferable that the light-emitting side condensing lens and the light-receiving side condensing lens be part of the case.
上記フィルタ装置において、前記ケースは、前記投光部から出射される光の出射方向に対して直交する方向に延びる透過面を有しているとよい。
上記フィルタ装置において、前記空気流路は、メイン流路と、前記メイン流路から分岐されるサブ流路と、を有し、前記光学的センサは、前記サブ流路を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを検出し、前記パーティクル測定器は、前記サブ流路を流れる前記圧縮空気の流量を、前記メイン流路を流れる圧縮空気の流量よりも小さくする流量調整機構を有しているとよい。
In the filter device, the case may have a transmission surface extending in a direction orthogonal to an emission direction of the light emitted from the light emitting unit.
In the above filter device, the air flow path has a main flow path and a sub flow path branched from the main flow path, and the optical sensor is included in the compressed air flowing in the sub flow path. The particle measuring device may have a flow rate adjustment mechanism that detects particles and makes the flow rate of the compressed air flowing through the sub flow path smaller than the flow rate of the compressed air flowing through the main flow path.
上記フィルタ装置において、前記サブ流路の少なくとも一部の流路断面積は、前記メイン流路の流路断面積よりも小さくなっているとよい。
上記フィルタ装置において、前記サブ流路には、前記メイン流路からの前記圧縮空気の逆流を防止する逆止弁が設けられているとよい。
In the filter device, it is preferable that a flow passage cross-sectional area of at least a part of the sub flow passage is smaller than a flow passage cross-sectional area of the main flow passage.
In the filter device, the sub flow passage may be provided with a check valve that prevents backflow of the compressed air from the main flow passage.
上記フィルタ装置において、前記メイン流路には、前記メイン流路の圧力を一定にするための均圧弁が設けられているとよい。 In the filter device, the main flow passage may be provided with a pressure equalizing valve for making the pressure of the main flow passage constant.
この発明によれば、フィルタ部の予防保全を行うことができる。 According to the present invention, the preventive maintenance of the filter portion can be performed.
以下、フィルタ装置を具体化した一実施形態を図１及び図２にしたがって説明する。本実施形態のフィルタ装置は、空気圧ユニットの一部を構成している。
図１に示すように、空気圧ユニット１０は、レギュレータ１１及びフィルタ装置２０を備えている。レギュレータ１１は、空気供給源１２から供給される圧縮空気の圧力を予め定められた設定圧力に調整する。フィルタ装置２０は、エアフィルタ２１及びパーティクル測定器３０を備えている。空気圧ユニット１０は、レギュレータ１１、エアフィルタ２１及びパーティクル測定器３０が、この順に一直線上に並設されることにより構成されている。
Hereinafter, an embodiment in which the filter device is embodied will be described according to FIGS. 1 and 2. The filter device of the present embodiment constitutes a part of a pneumatic unit.
As shown in FIG. 1, the pneumatic unit 10 includes a regulator 11 and a filter device 20. The regulator 11 adjusts the pressure of the compressed air supplied from the air supply source 12 to a predetermined set pressure. The filter device 20 includes an air filter 21 and a particle measuring device 30. The air pressure unit 10 is configured by arranging the regulator 11, the air filter 21 and the particle measuring device 30 in this order on one straight line.
エアフィルタ２１のボディ２２内には、圧縮空気に含まれるパーティクルを除去するフィルタ部２３が収容されている。フィルタ部２３は、例えば、筒状のフィルタエレメントである。 In the body 22 of the air filter 21, a filter unit 23 for removing particles contained in the compressed air is accommodated. The filter unit 23 is, for example, a tubular filter element.
ボディ２２は、供給路２２ａ及び排出路２２ｂを有している。供給路２２ａは、ボディ２２におけるレギュレータ１１側の面に開口している。排出路２２ｂは、ボディ２２におけるパーティクル測定器３０側の面に開口している。 The body 22 has a supply passage 22a and a discharge passage 22b. The supply path 22 a is open at a surface of the body 22 on the regulator 11 side. The discharge path 22 b is open at the surface of the body 22 on the particle measuring device 30 side.
供給路２２ａは、レギュレータ１１に連通している。供給路２２ａには、空気供給源１２からレギュレータ１１を介して圧縮空気が供給される。供給路２２ａに供給された圧縮空気は、供給路２２ａを通過してフィルタ部２３に至る。フィルタ部２３は、圧縮空気がフィルタ部２３を通過する際に、圧縮空気に含まれるパーティクルを除去する。よって、フィルタ装置２０は、空気供給源１２から供給された圧縮空気に含まれるパーティクルを除去するフィルタ部２３を有している。そして、フィルタ部２３を通過した圧縮空気は、排出路２２ｂへ排出される。 The supply path 22 a is in communication with the regulator 11. Compressed air is supplied to the supply path 22 a from the air supply source 12 via the regulator 11. The compressed air supplied to the supply passage 22 a passes through the supply passage 22 a and reaches the filter unit 23. The filter unit 23 removes particles contained in the compressed air when the compressed air passes through the filter unit 23. Therefore, the filter device 20 includes the filter unit 23 that removes particles contained in the compressed air supplied from the air supply source 12. And the compressed air which passed filter part 23 is discharged to discharge way 22b.
パーティクル測定器３０は、ケーシング３１を有している。ケーシング３１は、ボディ２２に対して着脱可能に取り付けられている。よって、エアフィルタ２１のボディ２２とパーティクル測定器３０のケーシング３１とは別部材である。なお、エアフィルタ２１のボディ２２とパーティクル測定器３０のケーシング３１とは別部材ではなく、予め一体形成されていてもよい。 The particle measuring device 30 has a casing 31. The casing 31 is detachably attached to the body 22. Therefore, the body 22 of the air filter 21 and the casing 31 of the particle measuring device 30 are separate members. The body 22 of the air filter 21 and the casing 31 of the particle measuring device 30 may not be separate members but may be integrally formed in advance.
パーティクル測定器３０は、フィルタ部２３を通過した圧縮空気が流れる空気流路３２を有している。空気流路３２は、ケーシング３１内に形成されている。空気流路３２は、メイン流路３３と、メイン流路３３から分岐されるサブ流路３４と、を有している。メイン流路３３の一端は、排出路２２ｂに連通している。メイン流路３３の他端は大気に開放されている。サブ流路３４の一端は、メイン流路３３の一端寄りに接続されている。サブ流路３４の他端は、サブ流路３４の一端とメイン流路３３との接続位置よりもメイン流路３３の他端寄りに接続されている。 The particle measuring device 30 has an air flow passage 32 through which the compressed air that has passed through the filter unit 23 flows. The air flow passage 32 is formed in the casing 31. The air flow passage 32 has a main flow passage 33 and a sub flow passage 34 branched from the main flow passage 33. One end of the main flow passage 33 communicates with the discharge passage 22 b. The other end of the main flow path 33 is open to the atmosphere. One end of the sub flow passage 34 is connected to one end of the main flow passage 33. The other end of the sub flow path 34 is connected closer to the other end of the main flow path 33 than the connection position of one end of the sub flow path 34 and the main flow path 33.
パーティクル測定器３０は、空気流路３２の一部を内部に形成するケース３５を有している。ケース３５は、光を透過する透過性の材料からなる。ケース３５は、例えば、透明な材料によって筒状に形成されるとともに軸方向の両端が開口したフローセルである。ケース３５は、サブ流路３４の一部を内部に形成している。 The particle measuring device 30 has a case 35 in which a part of the air flow path 32 is formed. The case 35 is made of a transparent material that transmits light. The case 35 is, for example, a flow cell which is formed in a tubular shape by a transparent material and which is open at both ends in the axial direction. Case 35 forms a part of sub flow path 34 inside.
図２に示すように、パーティクル測定器３０は、空気流路３２を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを検出する光学的センサ４０を有している。光学的センサ４０は、ケース３５内を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを検出する。したがって、光学的センサ４０は、サブ流路３４を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを検出する。 As shown in FIG. 2, the particle measuring device 30 has an optical sensor 40 that detects particles contained in the compressed air flowing in the air flow path 32. The optical sensor 40 detects particles contained in the compressed air flowing in the case 35. Therefore, the optical sensor 40 detects particles contained in the compressed air flowing in the sub flow path 34.
光学的センサ４０は、ケース３５の外側に配置された投光部４１及び受光部４２を有している。投光部４１及び受光部４２は、例えば、投光部４１及び受光部４２に電気を供給する図示しない基板に取り付けられている。基板は、例えば、ケーシング３１に支持されている。 The optical sensor 40 has a light emitting unit 41 and a light receiving unit 42 disposed outside the case 35. The light emitter 41 and the light receiver 42 are attached to, for example, a substrate (not shown) that supplies electricity to the light emitter 41 and the light receiver 42. The substrate is supported by, for example, a casing 31.
投光部４１から出射された光は、ケース３５を透過してサブ流路３４を流れる圧縮空気に照射されるとともに、圧縮空気に照射されて圧縮空気に含まれるパーティクルに反射した光である散乱光が受光部４２に受光される。 The light emitted from the light projecting unit 41 is transmitted to the compressed air flowing through the sub flow path 34 by transmitting through the case 35, and is scattered to the particles contained in the compressed air by being irradiated to the compressed air. Light is received by the light receiving unit 42.
光学的センサ４０は、投光部４１から出射される光を集光する投光側集光レンズ４３と、圧縮空気に照射されて圧縮空気に含まれるパーティクルに反射した光である散乱光を集光する受光側集光レンズ４４と、を有している。投光側集光レンズ４３及び受光側集光レンズ４４は、ケース３５の外側に配置されている。投光側集光レンズ４３及び受光側集光レンズ４４は、例えば、ケーシング３１に支持されている。 The optical sensor 40 collects the scattered light which is the light reflected to the particles contained in the compressed air and the light emitting side condensing lens 43 which condenses the light emitted from the light emitting unit 41 and the compressed air. And a light receiving side condensing lens 44 for emitting light. The light emitting side condensing lens 43 and the light receiving side condensing lens 44 are disposed outside the case 35. The light emitting side condensing lens 43 and the light receiving side condensing lens 44 are supported by the casing 31, for example.
光学的センサ４０は、受光部４２に受光された光の光量レベルに基づいて、サブ流路３４を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを検出する。例えば、光学的センサ４０は、受光部４２に受光された光の光量レベルに基づく電気信号が受光部４２から送信されるコントローラ４５を有している。コントローラ４５は、受光部４２から送信される電気信号の信号強度に基づいて、パーティクルの粒径や数などを測定する。 The optical sensor 40 detects particles contained in the compressed air flowing through the sub flow passage 34 based on the light amount level of the light received by the light receiving unit 42. For example, the optical sensor 40 has a controller 45 which transmits an electrical signal based on the light amount level of the light received by the light receiving unit 42 from the light receiving unit 42. The controller 45 measures the particle size, the number, and the like of the particles based on the signal intensity of the electric signal transmitted from the light receiving unit 42.
パーティクル測定器３０は、報知部４６を有している。報知部４６は、例えば、ディスプレイである。報知部４６は、コントローラ４５により測定されたパーティクルの粒径が予め定められた粒径よりも大きかったり、コントローラ４５により測定されたパーティクルの数が予め定められた数よりも多かったりすると、作業者に、フィルタ部２３の交換を行う必要がある旨の表示を行う。 The particle measuring device 30 has a notification unit 46. The notification unit 46 is, for example, a display. If the particle diameter of the particles measured by the controller 45 is larger than the predetermined particle diameter or the number of particles measured by the controller 45 is larger than the predetermined number, the notification unit 46 determines that the operator To the effect that the filter unit 23 needs to be replaced.
図１に示すように、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の部分には、絞り３６が設けられている。絞り３６は、可変絞りである。絞り３６の流路断面積は、メイン流路３３の流路断面積よりも小さくなっている。よって、サブ流路３４の一部の流路断面積は、メイン流路３３の流路断面積よりも小さくなっている。これにより、サブ流路３４において、絞り３６よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の流路の圧力は、絞り３６よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の流路の圧力よりも低くなっている。したがって、サブ流路３４において、絞り３６を通過した後の圧縮空気の流量は、絞り３６を通過する前の圧縮空気の流量よりも小さくなっている。すなわち、サブ流路３４における絞り３６を通過した後の圧縮空気の流量は、メイン流路３３を流れる圧縮空気の流量よりも小さくなっている。 As shown in FIG. 1, a throttle 36 is provided at a portion on the upstream side in the flow direction of the compressed air than the case 35 in the sub flow path 34. The aperture 36 is a variable aperture. The flow passage cross-sectional area of the throttle 36 is smaller than the flow passage cross-sectional area of the main flow passage 33. Thus, the flow passage cross-sectional area of a part of the sub flow passage 34 is smaller than the flow passage cross-sectional area of the main flow passage 33. Thereby, in the sub flow path 34, the pressure of the flow path on the downstream side in the flow direction of the compressed air with respect to the throttle 36 is lower than the pressure of the flow path on the upstream side in the flow direction of the compressed air than the throttle 36 There is. Therefore, in the sub flow passage 34, the flow rate of the compressed air after passing through the throttle 36 is smaller than the flow rate of the compressed air before passing through the throttle 36. That is, the flow rate of compressed air after passing through the throttle 36 in the sub flow path 34 is smaller than the flow rate of compressed air flowing in the main flow path 33.
サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の部分には、逆止弁３７が設けられている。逆止弁３７は、サブ流路３４において、逆止弁３７よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の流路の圧力が、逆止弁３７よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の流路の圧力を上回ったときに開弁する。したがって、逆止弁３７は、サブ流路３４において、逆止弁３７よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の流路の圧力が、逆止弁３７よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の流路の圧力以下であるときには閉弁した状態になっており、メイン流路３３からの圧縮空気の逆流を防止する。 A check valve 37 is provided at a downstream portion of the sub flow passage 34 in the flow direction of the compressed air than the case 35. In the sub flow path 34, the pressure of the flow path on the upstream side in the flow direction of the compressed air in the sub flow path 34 is the flow path on the downstream side in the flow direction of the compressed air Open when the pressure is exceeded. Therefore, in the sub flow path 34, the pressure of the flow path on the upstream side in the flow direction of the compressed air in the sub flow path 34 is lower than the pressure in the flow direction of the compressed air When the pressure is equal to or less than the pressure of the flow passage, the valve is in the closed state, and the backflow of the compressed air from the main flow passage 33 is prevented.
メイン流路３３におけるサブ流路３４の他端との接続位置よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の部分には、メイン流路３３の圧力を一定にするための均圧弁３８が設けられている。均圧弁３８は、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の流路の圧力を、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の流路の圧力に対して僅かに小さくなるように調整する。なお、空気供給源１２からの圧縮空気がサブ流路３４に供給されたときには、サブ流路３４において、逆止弁３７よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の流路の圧力が、逆止弁３７よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の流路の圧力を上回るように、メイン流路３３及びサブ流路３４や均圧弁３８の構造が予め設計されている。 A pressure equalizing valve 38 for making the pressure of the main flow passage 33 constant is provided at a portion downstream of the connection position of the main flow passage 33 with the other end of the sub flow passage 34 in the flow direction of the compressed air. There is. The pressure equalizing valve 38 has the pressure of the flow passage on the downstream side in the flow direction of the compressed air in the sub flow passage 34 in the flow direction of the compressed air in the flow passage on the upstream side in the flow direction of the compressed air in the sub flow passage 34 than the case 35. Adjust to be slightly smaller than pressure. When the compressed air from the air supply source 12 is supplied to the sub flow path 34, the pressure in the flow path on the upstream side in the flow direction of the compressed air in the sub flow path 34 from the check valve 37 The structures of the main flow passage 33, the sub flow passage 34, and the pressure equalizing valve 38 are designed in advance so as to exceed the pressure of the flow passage downstream of the valve 37 in the flow direction of the compressed air.
均圧弁３８により、逆止弁３７が開弁したときには、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の流路の圧力と、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の流路の圧力との差が小さくなっている。その結果、逆止弁３７が開弁したときに、ケース３５内に流れる圧縮空気の流速が急激に速くなってしまうことが抑制されている。 When the check valve 37 is opened by the pressure equalizing valve 38, the pressure of the flow passage on the upstream side in the flow direction of the compressed air in the sub flow passage 34 than in the case 35 in the flow direction. The difference between the pressure in the downstream channel and the pressure in the downstream flow direction is smaller. As a result, when the check valve 37 is opened, it is suppressed that the flow velocity of the compressed air flowing in the case 35 is rapidly increased.
このように、絞り３６により、サブ流路３４における絞り３６を通過した後の圧縮空気の流量が、メイン流路３３を流れる圧縮空気の流量よりも小さくなっている。そして、均圧弁３８により、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の流路の圧力が、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の流路の圧力に対して僅かに小さくなるように調整される。したがって、絞り３６及び均圧弁３８は、サブ流路３４を流れる圧縮空気の流量を、メイン流路３３を流れる圧縮空気の流量よりも小さくする流量調整機構を構成している。よって、パーティクル測定器３０は、サブ流路３４を流れる圧縮空気の流量を、メイン流路３３を流れる圧縮空気の流量よりも小さくする流量調整機構を有している。 As described above, the flow rate of the compressed air after passing through the flow restrictor 36 in the sub flow path 34 is smaller than the flow rate of the compressed air flowing in the main flow path 33 by the flow restrictor 36. The pressure in the flow passage on the downstream side in the flow direction of the compressed air in the sub flow passage 34 in the flow direction of the compressed air from the case 35 in the sub flow passage 34 is equal to the flow on the upstream side in the flow direction of the compressed air It is adjusted to be slightly smaller than the pressure of the passage. Therefore, the throttle 36 and the pressure equalizing valve 38 constitute a flow rate adjustment mechanism that makes the flow rate of the compressed air flowing through the sub flow path 34 smaller than the flow rate of the compressed air flowing through the main flow path 33. Therefore, the particle measurement device 30 has a flow rate adjustment mechanism that makes the flow rate of the compressed air flowing in the sub flow path 34 smaller than the flow rate of the compressed air flowing in the main flow path 33.
次に、本実施形態の作用について説明する。
空気圧ユニット１０において、空気供給源１２からレギュレータ１１、供給路２２ａ、フィルタ部２３及び排出路２２ｂを介してメイン流路３３に圧縮空気が供給されると、メイン流路３３を流れる圧縮空気の一部は、サブ流路３４に流れ込む。サブ流路３４に流れ込んだ圧縮空気は、絞り３６を通過する。絞り３６を通過した後の圧縮空気の流量は、絞り３６を通過する前の圧縮空気の流量よりも小さくなる。これにより、サブ流路３４における絞り３６を通過した後の圧縮空気の流量は、メイン流路３３を流れる圧縮空気の流量よりも小さくなる。また、空気供給源１２からの圧縮空気がサブ流路３４に供給されたときには、サブ流路３４において、逆止弁３７よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の流路の圧力が、逆止弁３７よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の流路の圧力を上回り、逆止弁３７が開弁する。
Next, the operation of the present embodiment will be described.
In the pneumatic unit 10, when compressed air is supplied from the air supply source 12 to the main flow path 33 through the regulator 11, the supply path 22a, the filter portion 23, and the discharge path 22b, one of the compressed air flowing in the main flow path 33 The part flows into the sub flow path 34. The compressed air flowing into the sub flow passage 34 passes through the throttle 36. The flow rate of the compressed air after passing through the throttle 36 is smaller than the flow rate of the compressed air before passing through the throttle 36. Thereby, the flow rate of the compressed air after passing through the throttle 36 in the sub flow path 34 becomes smaller than the flow rate of the compressed air flowing in the main flow path 33. In addition, when the compressed air from the air supply source 12 is supplied to the sub flow path 34, in the sub flow path 34, the pressure of the flow path on the upstream side in the flow direction of the compressed air from the check valve 37 The pressure in the flow path downstream of the valve 37 in the flow direction of the compressed air is exceeded, and the check valve 37 opens.
均圧弁３８は、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の流路の圧力を、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の流路の圧力に対して僅かに小さくなるように調整している。これにより、逆止弁３７が開弁したときに、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の流路の圧力と、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の流路の圧力との差が小さくなる。その結果、逆止弁３７が開弁したときに、ケース３５内に流れる圧縮空気の流速が急激に速くなってしまうことが抑制される。 The pressure equalizing valve 38 has the pressure of the flow passage on the downstream side in the flow direction of the compressed air in the sub flow passage 34 in the flow direction of the compressed air in the flow passage on the upstream side in the flow direction of the compressed air in the sub flow passage 34 than the case 35. The pressure is adjusted to be slightly smaller. Thereby, when the check valve 37 is opened, the pressure of the flow passage on the upstream side in the flow direction of the compressed air in the sub flow passage 34 relative to the case 35 in the sub flow passage 34 The difference between the pressure in the downstream flow passage and the pressure in the flow direction is reduced. As a result, when the check valve 37 is opened, the rapid increase in the flow velocity of the compressed air flowing into the case 35 is suppressed.
図２に示すように、投光部４１から出射された光は、ケース３５を透過してケース３５内に流れる圧縮空気に含まれるパーティクルに反射して、反射した光である散乱光が受光部４２に受光される。コントローラ４５は、受光部４２から送信される電気信号の信号強度に基づいて、パーティクルの粒径や数などを測定する。そして、報知部４６は、コントローラ４５により測定されたパーティクルの粒径が予め定められた粒径よりも大きかったり、コントローラ４５により測定されたパーティクルの数が予め定められた数よりも多かったりすると、作業者に、フィルタ部２３の交換を行う必要がある旨の表示を行う。 As shown in FIG. 2, the light emitted from the light projecting unit 41 is transmitted through the case 35 and reflected by particles contained in the compressed air flowing in the case 35, and the scattered light which is the reflected light is the light receiving unit The light is received at 42. The controller 45 measures the particle size, the number, and the like of the particles based on the signal intensity of the electric signal transmitted from the light receiving unit 42. Then, when the notifying unit 46 determines that the particle diameter of the particles measured by the controller 45 is larger than the predetermined particle diameter or the number of particles measured by the controller 45 is larger than the predetermined number, The operator is informed that the filter unit 23 needs to be replaced.
上記実施形態では以下の効果を得ることができる。
（１）パーティクル測定器３０が、フィルタ部２３を通過して空気流路３２を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを、光学的センサ４０を用いて検出する。このため、特許文献１のように、フィルタ部２３を通過する前の圧縮空気の圧力と、フィルタ部２３を通過した後の圧縮空気の圧力との差を検出してフィルタ部２３の目詰まり状態を判断する場合に比べると、フィルタ部２３の目詰まり状態を精度良く判断することができ、フィルタ部２３の予防保全を行うことができる。
The following effects can be obtained in the above embodiment.
(1) The particle measuring device 30 detects particles contained in the compressed air flowing through the air passage 32 through the filter unit 23 using the optical sensor 40. Therefore, as in Patent Document 1, the difference between the pressure of the compressed air before passing through the filter unit 23 and the pressure of the compressed air after passing through the filter unit 23 is detected to clog the filter unit 23 As compared with the case of determining the clogging factor, the clogging state of the filter unit 23 can be accurately determined, and the preventive maintenance of the filter unit 23 can be performed.
（２）光学的センサ４０は、ケース３５の外側に配置された投光部４１及び受光部４２を有している。そして、光学的センサ４０は、受光部４２に受光された光の光量レベルに基づいて、空気流路３２を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを検出する。これによれば、例えば、光学的センサ４０を構成する投光部４１及び受光部４２を、圧縮空気が流れる空気流路３２内に配置する場合に比べると、投光部４１及び受光部４２の耐久性を向上させることができる。 (2) The optical sensor 40 includes the light emitting unit 41 and the light receiving unit 42 disposed outside the case 35. Then, the optical sensor 40 detects particles contained in the compressed air flowing through the air flow passage 32 based on the light amount level of the light received by the light receiving unit 42. According to this, for example, compared with the case where the light emitting unit 41 and the light receiving unit 42 that constitute the optical sensor 40 are disposed in the air flow path 32 through which the compressed air flows, the light emitting unit 41 and the light receiving unit 42 Durability can be improved.
（３）絞り３６により、サブ流路３４における絞り３６を通過した後の圧縮空気の流量が、メイン流路３３を流れる圧縮空気の流量よりも小さくなっている。そして、均圧弁３８は、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の流路の圧力を、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の流路の圧力に対して僅かに小さくなるように調整する。これにより、逆止弁３７が開弁したときに、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の流路の圧力と、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の流路の圧力との差が小さくなる。その結果、逆止弁３７が開弁したときに、ケース３５内に流れる圧縮空気の流速が急激に速くなってしまうことが抑制されている。このように、パーティクル測定器３０においては、サブ流路３４を流れる圧縮空気の流量が、メイン流路３３を流れる圧縮空気の流量よりも小さくなるように調整されているため、例えば、光学的センサ４０が、メイン流路３３を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを検出する場合に比べると、圧縮空気に含まれるパーティクルを検出し易い。よって、パーティクルを精度良く検出することができる。 (3) The flow rate of the compressed air in the sub flow path 34 after passing through the flow rate of the main flow path 33 is smaller than the flow rate of the compressed air flowing through the main flow path 33 due to the flow restriction 36. The pressure equalizing valve 38 controls the pressure of the flow passage on the downstream side in the flow direction of the compressed air in the sub flow passage 34 than on the case 35 in the flow direction of the compressed air in the flow direction on the upstream side of the compressed air in the sub flow passage 34. Adjust to be slightly smaller than the pressure of the passage. Thereby, when the check valve 37 is opened, the pressure of the flow passage on the upstream side in the flow direction of the compressed air in the sub flow passage 34 relative to the case 35 in the sub flow passage 34 The difference between the pressure in the downstream flow passage and the pressure in the flow direction is reduced. As a result, when the check valve 37 is opened, it is suppressed that the flow velocity of the compressed air flowing in the case 35 is rapidly increased. As described above, in the particle measuring device 30, since the flow rate of the compressed air flowing through the sub flow passage 34 is adjusted to be smaller than the flow rate of the compressed air flowing through the main flow passage 33, for example, an optical sensor Compared to the case where the particle 40 contained in the compressed air flowing through the main flow path 33 is detected, the particle 40 contained in the compressed air can be detected more easily. Therefore, particles can be detected with high accuracy.
（４）サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の部分に絞り３６が設けられているため、サブ流路３４の一部の流路断面積が、メイン流路３３の流路断面積よりも小さくなっている。これによれば、サブ流路３４において、絞り３６を通過した後の圧縮空気の流量が、絞り３６を通過する前の圧縮空気の流量よりも小さくなって安定するため、圧縮空気に含まれるパーティクルを検出し易い。よって、パーティクルを精度良く検出することができる。 (4) Since the throttle 36 is provided at a portion on the upstream side in the flow direction of the compressed air in the sub flow path 34 than the case 35, the flow path cross-sectional area of a part of the sub flow path 34 is the main flow path 33 It is smaller than the cross-sectional area of the channel. According to this, in the sub flow path 34, the flow rate of the compressed air after passing through the throttle 36 becomes smaller than the flow rate of the compressed air before passing through the throttle 36 and becomes stable. It is easy to detect Therefore, particles can be detected with high accuracy.
（５）サブ流路３４には、メイン流路３３からの圧縮空気の逆流を防止する逆止弁３７が設けられている。これによれば、逆止弁３７が、メイン流路３３からの圧縮空気の逆流を防止するので、一度検出したパーティクルを、逆流により重複して検出することが無い。よって、パーティクルを精度良く検出することができる。 (5) The sub flow passage 34 is provided with a check valve 37 that prevents the backflow of the compressed air from the main flow passage 33. According to this, since the check valve 37 prevents the backflow of the compressed air from the main flow path 33, the particles once detected are not redundantly detected by the backflow. Therefore, particles can be detected with high accuracy.
（６）メイン流路３３には、メイン流路３３の圧力を一定にするための均圧弁３８が設けられている。これによれば、メイン流路３３の圧力が均圧弁３８によって一定になるため、メイン流路３３の圧力の変動に伴って、サブ流路３４の圧力が変動してしまうことが抑制されるので、サブ流路３４内の流量が一定になる。よって、パーティクルを精度良く検出することができる。 (6) The main flow path 33 is provided with a pressure equalizing valve 38 for making the pressure of the main flow path 33 constant. According to this, since the pressure of the main flow passage 33 becomes constant by the pressure equalizing valve 38, it is suppressed that the pressure of the sub flow passage 34 fluctuates with the fluctuation of the pressure of the main flow passage 33. , And the flow rate in the sub flow passage 34 becomes constant. Therefore, particles can be detected with high accuracy.
（７）パーティクル測定器３０は、空気流路３２を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを、光学的センサ４０を用いて検出するため、例えば、空気流路３２を通過して大気に放出された圧縮空気に含まれるパーティクルを、光学的センサ４０を用いて検出する場合に比べると、圧縮空気に含まれるパーティクルをリアルタイムで検出できる。よって、フィルタ部２３の目詰まり状態を精度良く判断することができ、フィルタ部２３の予防保全を適正に行うことができる。 (7) The particle measuring device 30 detects the particles contained in the compressed air flowing in the air flow passage 32 using the optical sensor 40, so for example, the compression that has passed through the air flow passage 32 and was released to the atmosphere Compared to the case where particles contained in the air are detected using the optical sensor 40, particles contained in the compressed air can be detected in real time. Therefore, the clogging state of the filter unit 23 can be accurately determined, and the preventive maintenance of the filter unit 23 can be appropriately performed.
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・ 図３に示すように、投光側集光レンズ４３及び受光側集光レンズ４４が、ケース３５の一部であってもよい。これによれば、投光側集光レンズ４３及び受光側集光レンズ４４がケース３５とは別部材である場合に比べると、部品点数を削減することができる。
The above embodiment may be modified as follows.
As shown in FIG. 3, the light emitting side condensing lens 43 and the light receiving side condensing lens 44 may be part of the case 35. According to this, it is possible to reduce the number of parts as compared with the case where the light emitting side condensing lens 43 and the light receiving side condensing lens 44 are separate members from the case 35.
・ 図３に示すように、ケース３５は、投光部４１から出射される光の出射方向に対して直交する方向に延びる透過面３５ａを有していてもよい。図３に示す実施形態では、投光側集光レンズ４３はケース３５の一部を構成しており、投光側集光レンズ４３が透過面３５ａを有している。投光側集光レンズ４３は、透過面３５ａが、投光部４１から出射される光の出射方向に対して直交する方向に延びるように、ケース３５に一体化されている。これによれば、投光部４１から出射される光がケース３５を透過する際に、光が屈折してしまうことを抑制することができ、空気流路３２を流れる圧縮空気に対して光を正確に照射することができる。 As shown in FIG. 3, the case 35 may have a transmitting surface 35 a extending in a direction orthogonal to the emission direction of the light emitted from the light emitting unit 41. In the embodiment shown in FIG. 3, the light projecting side condensing lens 43 constitutes a part of the case 35, and the light projecting side condensing lens 43 has a transmitting surface 35a. The light emitting side condensing lens 43 is integrated in the case 35 so that the transmitting surface 35 a extends in a direction orthogonal to the emitting direction of the light emitted from the light emitting unit 41. According to this, when the light emitted from the light projecting unit 41 passes through the case 35, it is possible to suppress the light from being refracted, and the light is transmitted to the compressed air flowing through the air flow path 32. It can be irradiated accurately.
・ 図３に示す実施形態において、投光側集光レンズ４３がケース３５とは別部材であるとともに、ケース３５の一部が、投光部４１から出射される光の出射方向に対して直交する方向に延びる透過面になっていてもよい。 In the embodiment shown in FIG. 3, the light-emitting side condensing lens 43 is a separate member from the case 35, and a part of the case 35 is orthogonal to the emission direction of the light emitted from the light-projecting unit 41. It may be a transmissive surface extending in the direction of
・ 図４に示すように、均圧弁３８が、メイン流路３３におけるサブ流路３４の他端との接続位置よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の部分に設けられているのではなく、例えば、サブ流路３４におけるケース３５と逆止弁３７との間に設けられていてもよい。 As shown in FIG. 4, the pressure equalizing valve 38 is not provided downstream of the connecting position of the main flow passage 33 with the other end of the sub flow passage 34 in the flow direction of the compressed air, For example, it may be provided between the case 35 and the check valve 37 in the sub flow passage 34.
・ 実施形態において、パーティクル測定器３０は、均圧弁３８に代えて、例えば、蓄圧タンクを有していてもよい。蓄圧タンクは、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の流路の圧力が、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の流路の圧力に対して僅かに小さくなるように、蓄圧タンクに予め蓄圧された空気によって調整する。 In the embodiment, the particle measuring device 30 may have, for example, an accumulator tank instead of the pressure equalizing valve 38. In the pressure accumulation tank, the pressure of the flow passage on the downstream side in the flow direction of the compressed air in the sub flow passage 34 than the case 35 in the flow direction of the compressed air is the pressure on the flow passage on the upstream side in the flow direction of the compressed air The air pressure is adjusted by air previously accumulated in the accumulation tank so as to be slightly smaller.
・ 実施形態において、パーティクル測定器３０は、均圧弁３８に代えて、例えば、減圧弁を有していてもよい。減圧弁は、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の下流側の流路の圧力が、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の流路の圧力に対して僅かに小さくなるように、サブ流路３４を流れる圧縮空気の圧力を調整する。 In the embodiment, the particle measuring device 30 may have, for example, a pressure reducing valve instead of the pressure equalizing valve 38. In the pressure reducing valve, the pressure of the flow passage on the downstream side in the flow direction of the compressed air in the sub flow passage 34 in the flow direction of the compressed air is lower than the pressure in the flow passage on the upstream side in the flow direction of the compressed air in the sub flow passage 34 than the case 35 The pressure of the compressed air flowing in the sub flow passage 34 is adjusted so as to be slightly smaller than the above.
・ 実施形態において、報知部４６は、パーティクルの粒径が予め定められた粒径よりも大きかったり、パーティクルの数が予め定められた数よりも多かったりすると、例えば、ランプを点滅させたり、ブザー音を鳴らしたりすることにより、作業者にフィルタ部２３の交換を行う必要がある旨を報知するようにしてもよい。 In the embodiment, if the particle diameter of the particles is larger than a predetermined particle diameter or the number of particles is larger than a predetermined number, for example, the notification unit 46 blinks a lamp or a buzzer. By making a sound, the operator may be notified that the filter unit 23 needs to be replaced.
・ 実施形態において、サブ流路３４全体の流路断面積が、メイン流路３３の流路断面積よりも小さくなっていてもよい。要は、サブ流路３４の少なくとも一部の流路断面積が、メイン流路３３の流路断面積よりも小さくなっていればよい。 In the embodiment, the flow passage cross-sectional area of the entire sub flow passage 34 may be smaller than the flow passage cross-sectional area of the main flow passage 33. The point is that the cross-sectional area of at least a part of the sub-channel 34 should be smaller than the cross-sectional area of the main channel 33.
・ 実施形態において、絞り３６は、固定絞りであってもよい。
・ 実施形態において、サブ流路３４におけるケース３５よりも圧縮空気の流れ方向の上流側の部分に、絞り３６が設けられていなくてもよい。
In the embodiment, the aperture 36 may be a fixed aperture.
In the embodiment, the throttle 36 may not be provided in a portion of the sub flow path 34 upstream of the case 35 in the flow direction of the compressed air.
・ 実施形態において、メイン流路３３に均圧弁３８が設けられていなくてもよい。
・ 実施形態において、投光部４１及び受光部４２が、圧縮空気が流れる空気流路３２内に配置されていてもよい。
In the embodiment, the pressure equalizing valve 38 may not be provided in the main flow passage 33.
In the embodiment, the light emitter 41 and the light receiver 42 may be disposed in the air flow path 32 through which the compressed air flows.
・ 実施形態において、空気流路３２は、メイン流路３３及びサブ流路３４により構成されていなくてもよく、例えば、メイン流路３３のみであってもよい。そして、ケース３５がメイン流路３３の少なくとも一部を内部に形成していてもよい。この場合、光学的センサ４０は、メイン流路３３を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを検出する。 In the embodiment, the air flow path 32 may not be configured by the main flow path 33 and the sub flow path 34, and may be, for example, only the main flow path 33. And, the case 35 may form at least a part of the main flow path 33 inside. In this case, the optical sensor 40 detects particles contained in the compressed air flowing through the main flow path 33.
・ 実施形態において、ケース３５の内部が、サブ流路３４全体を形成していてもよい。
・ 実施形態において、光学的センサ４０は、例えば、投光部４１から出射された光が受光部４２に受光されており、圧縮空気に含まれるパーティクルによって、投光部４１から出射された光が遮られることにより、受光部４２に受光される光の光量レベルが変化する構成のものであってもよい。
In the embodiment, the inside of the case 35 may form the entire sub flow passage 34.
In the embodiment, in the optical sensor 40, for example, the light emitted from the light projecting unit 41 is received by the light receiving unit 42, and the light emitted from the light projecting unit 41 is detected by particles contained in the compressed air. The light amount level of the light received by the light receiving unit 42 may be changed by being blocked.
１２…空気供給源、２０…フィルタ装置、２３…フィルタ部、３０…パーティクル測定器、３２…空気流路、３３…メイン流路、３４…サブ流路、３５…ケース、３５ａ…透過面、３６…流量調整機構を構成する絞り、３７…逆止弁、３８…流量調整機構を構成する均圧弁、４０…光学的センサ、４１…投光部、４２…受光部、４３…投光側集光レンズ、４４…受光側集光レンズ。 12: air supply source 20: filter device 23: filter unit 30: particle measuring device 32: air flow channel 33: main flow channel 34: sub flow channel 35: case 35a: transmission surface 36 ... throttling constituting the flow rate adjusting mechanism 37: check valve 38: pressure equalizing valve constituting the flow rate adjusting mechanism 40: optical sensor 41: light projecting portion 42: light receiving portion 43: light projecting side condensing Lens, 44: light receiving side condenser lens.
Claims (8)
前記フィルタ部を通過した圧縮空気が流れる空気流路と、
前記空気流路を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを検出する光学的センサと、を有するパーティクル測定器を備えたことを特徴とするフィルタ装置。 A filter device having a filter portion for removing particles contained in compressed air supplied from an air supply source, comprising:
An air passage through which the compressed air that has passed through the filter unit flows;
And an optical sensor for detecting particles contained in the compressed air flowing through the air flow path.
前記光学的センサは、前記ケースの外側に配置された投光部及び受光部を有し、
前記投光部から出射された光が前記ケースを透過して前記空気流路を流れる前記圧縮空気に照射されるとともに、前記圧縮空気に照射されて前記圧縮空気に含まれるパーティクルに反射した光が前記受光部に受光され、
前記光学的センサは、前記受光部に受光された光の光量レベルに基づいて、前記空気流路を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを検出することを特徴とする請求項１に記載のフィルタ装置。 The particle measuring device has a case made of a transparent material which forms at least a part of the air flow passage therein and transmits light.
The optical sensor includes a light emitting unit and a light receiving unit disposed outside the case,
The light emitted from the light projecting unit is transmitted to the compressed air flowing through the air flow path through the case, and is irradiated to the compressed air and the light reflected to the particles contained in the compressed air is emitted. The light is received by the light receiver,
The filter device according to claim 1, wherein the optical sensor detects particles contained in compressed air flowing through the air flow path based on a light amount level of light received by the light receiving unit.
前記投光部から出射される光を集光する投光側集光レンズと、
前記圧縮空気に照射されて前記圧縮空気に含まれるパーティクルに反射した光を集光する受光側集光レンズと、を有し、
前記投光側集光レンズ及び前記受光側集光レンズは、前記ケースの一部であることを特徴とする請求項２に記載のフィルタ装置。 The optical sensor is
A projection side condensing lens for condensing light emitted from the light emitting unit;
A light receiving side condensing lens which is irradiated to the compressed air and condenses the light reflected to the particles contained in the compressed air;
The filter apparatus according to claim 2, wherein the light emitting side condensing lens and the light receiving side condensing lens are part of the case.
前記光学的センサは、前記サブ流路を流れる圧縮空気に含まれるパーティクルを検出し、
前記パーティクル測定器は、前記サブ流路を流れる前記圧縮空気の流量を、前記メイン流路を流れる圧縮空気の流量よりも小さくする流量調整機構を有していることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載のフィルタ装置。 The air flow path has a main flow path and a sub flow path branched from the main flow path,
The optical sensor detects particles contained in compressed air flowing in the sub flow path,
The particle measuring device according to any one of the preceding claims, further comprising: a flow control mechanism configured to make the flow rate of the compressed air flowing through the sub flow path smaller than the flow rate of the compressed air flowing through the main flow path. The filter apparatus as described in any one of Claim 4.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017247786A JP6999409B2 (en) | 2017-12-25 | 2017-12-25 | Filter device |
| CN201811582142.8A CN109954341A (en) | 2017-12-25 | 2018-12-24 | Filter for installation |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017247786A JP6999409B2 (en) | 2017-12-25 | 2017-12-25 | Filter device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2019111502A true JP2019111502A (en) | 2019-07-11 |
| JP6999409B2 JP6999409B2 (en) | 2022-01-18 |
Family
ID=67023371
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2017247786A Active JP6999409B2 (en) | 2017-12-25 | 2017-12-25 | Filter device |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6999409B2 (en) |
| CN (1) | CN109954341A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021025417A (en) * | 2019-07-31 | 2021-02-22 | 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構 | Evacuation method and device |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114307443A (en) * | 2021-12-31 | 2022-04-12 | 天津怡和嘉业医疗科技有限公司 | Empty gas detection surveys structure, air filter equipment and filtration equipment |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57159151U (en) * | 1981-03-31 | 1982-10-06 | ||
| JP2011149357A (en) * | 2010-01-22 | 2011-08-04 | Isuzu Motors Ltd | Dpf regenerator |
| JP2011185090A (en) * | 2010-03-04 | 2011-09-22 | Toyota Motor Corp | Failure detecting device of internal combustion engine |
| JP2012002067A (en) * | 2010-06-14 | 2012-01-05 | Hitachi Automotive Systems Ltd | Dpf failure detection method and device, and exhaust gas particulates detection device |
| JP2016140789A (en) * | 2015-01-30 | 2016-08-08 | 株式会社神戸製鋼所 | Abnormality diagnostic device of oil mist removal device |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100542098B1 (en) * | 2004-05-18 | 2006-01-11 | 웅진코웨이주식회사 | Apparatus having function for seeing dust in machine of air blower type |
| CN104237090A (en) * | 2014-09-22 | 2014-12-24 | 国家电网公司 | Method and device for quickly determining dust concentration in flue gas of dust collector |
| EP3018423B1 (en) * | 2014-11-04 | 2019-08-07 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Contamination sensor, air purifier having the same and control method thereof |
| CN104535466A (en) * | 2015-01-09 | 2015-04-22 | 靖江市恩菲环境工程技术研究所 | Dust concentration monitoring method and system and PLC |
| JP6455470B2 (en) * | 2016-03-15 | 2019-01-23 | オムロン株式会社 | Particle sensor and electronic device including the same |
| CN106731324A (en) * | 2016-11-14 | 2017-05-31 | 广东美的制冷设备有限公司 | Purifier and detergent power fail-ure criterion method |
-
2017
- 2017-12-25 JP JP2017247786A patent/JP6999409B2/en active Active
-
2018
- 2018-12-24 CN CN201811582142.8A patent/CN109954341A/en active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57159151U (en) * | 1981-03-31 | 1982-10-06 | ||
| JP2011149357A (en) * | 2010-01-22 | 2011-08-04 | Isuzu Motors Ltd | Dpf regenerator |
| JP2011185090A (en) * | 2010-03-04 | 2011-09-22 | Toyota Motor Corp | Failure detecting device of internal combustion engine |
| JP2012002067A (en) * | 2010-06-14 | 2012-01-05 | Hitachi Automotive Systems Ltd | Dpf failure detection method and device, and exhaust gas particulates detection device |
| JP2016140789A (en) * | 2015-01-30 | 2016-08-08 | 株式会社神戸製鋼所 | Abnormality diagnostic device of oil mist removal device |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021025417A (en) * | 2019-07-31 | 2021-02-22 | 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構 | Evacuation method and device |
| JP7362048B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-10-17 | 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構 | Vacuum evacuation method and device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN109954341A (en) | 2019-07-02 |
| JP6999409B2 (en) | 2022-01-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR102373164B1 (en) | Automatic Power Control Liquid Particle Counter with Flow and Bubble Detection System | |
| AU2004314376B2 (en) | Method for evaluation of a scattered light signal and scattered light detector used for carrying out said method | |
| ES2732355T3 (en) | Dual feedback vacuum fluidic system for a flow type particle analyzer | |
| US5411052A (en) | Liquid supply apparatus | |
| JP5945529B2 (en) | Fine particle photographing device and flow velocity measuring device | |
| JP2019111502A (en) | Filter device | |
| US8616205B2 (en) | Respirator with end-of-service-life detection | |
| JP2014530718A5 (en) | ||
| US20210046610A1 (en) | Measuring abrasive flow rates in a conduit | |
| WO2003048690A3 (en) | Fluid flow meter for gravity fed intravenous fluid delivery systems | |
| US20060215163A1 (en) | Air purged optical densitometer | |
| DK1923675T3 (en) | Coriolis mass flow meter | |
| JP7045348B2 (en) | Filter device | |
| US20130119150A1 (en) | Spraying system with flow sensing and monitoring device | |
| CA3077275A1 (en) | System, apparatus, and method for monitoring air quality | |
| WO2005068944A3 (en) | Coriolis mass flow sensor with optical vibration detectors | |
| JP6585505B2 (en) | Force actuated control valve | |
| JP2016514333A (en) | Pressure regulator with filter status detector | |
| JP2000120918A (en) | Valve device | |
| KR20150098586A (en) | Differentail pressure type flowmeter and flow rate controller having the same | |
| KR20160109120A (en) | Transmission-Type Optical Dust Detecting Device | |
| KR200408745Y1 (en) | A carbon dioxide flux controller for welding | |
| KR20150001016U (en) | thermostatic measurable valve | |
| JP6472825B2 (en) | Blower alarm device | |
| KR100654982B1 (en) | Pollution preventing structure for a sensor of filter in air conditioner |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200821 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210622 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210706 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210823 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211214 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211222 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6999409 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |