JP6984963B2 - 測定システムおよび方法 - Google Patents
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Description
[先行技術文献]
[特許文献]
[特許文献1] 特開2015−075452号公報
Claims (18)
- 測定システムであって、
試料表面からの反射光を受信し、前記反射光を少なくとも第1の反射ビームと第2の反射ビームとに分割するように構成されるレンズアセンブリと、
前記試料表面の撮像データを生成するために第1の反射ビームを受信するように構成される撮像ユニットであって、前記撮像データが、前記試料の少なくとも1つの検出領域内に位置する少なくとも1つの検出範囲の分布情報を含む、撮像ユニットと、
前記第2の反射ビームを受信し、前記検出範囲内の特定の物体の膜厚データを取得するように構成される膜厚測定ユニットと、
前記撮像ユニットおよび前記膜厚測定ユニットに通信可能に結合され、
前記分布情報に基づいて前記少なくとも1つの検出範囲の検出経路を決定し、前記膜厚測定ユニットに、前記検出経路に基づいて前記検出範囲の膜厚データを取得させるように構成される、処理ユニットであって、
光路上で、前記撮像ユニットのスペクトル受信表面が前記試料表面と光学的に共役するように構成され、前記膜厚測定ユニットのスペクトル受信表面が、前記試料表面と光学的に共役するように構成される、処理ユニットとを
備える、システム。 - 前記処理ユニットが、
前記試料表面の領域特性に基づいて、前記少なくとも1つの検出領域を決定することにより、前記少なくとも1つの検出領域の検出経路を決定することと、
前記検出範囲の特性に基づいて、前記少なくとも1つの検出領域に位置する前記検出範囲の前記分布を決定することにより、前記検出範囲の前記検出経路を決定することと
を行うようにさらに構成される、請求項1に記載のシステム。 - 前記検出範囲が凹部または突出部を含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記検出範囲が測定対象のホールを含む場合、前記処理ユニットは、
前記撮像データに基づいて円形ホールの情報を取得し、前記円形ホールの情報が、前記円形ホールの分布情報および特性情報を含むことと、
測定対象の前記ホールの特性および前記円形ホールの情報に基づいて、前記試料表面上で測定対象の前記ホールの前記分布を決定することと
を行うようにさらに構成される、請求項3に記載のシステム。 - 前記膜厚測定ユニットは、
前記膜厚測定ユニットの前記スペクトル受信表面が、前記検出範囲からの反射光のみを受信するように、前記膜厚測定ユニットの前記スペクトル受信表面と前記レンズアセンブリとの間に前記光路に沿って配置された少なくとも1つの開口部を有する、請求項1に記載のシステム。 - 前記膜厚測定ユニットが、第1の特性を有する反射光を除去するように構成される第1の開口部と、第2の特性を有する反射光を除去するように構成される第2の開口部とを含む、請求項5に記載のシステム。
- 前記第1の特性を有する前記反射光の反射角が、前記第2の特性を有する前記第2の開口部の反射角より小さい、請求項6に記載のシステム。
- 前記第1の開口部が、前記第2の開口部と同軸に配置される、請求項6または7に記載のシステム。
- 前記第1の開口部の開口部サイズが、前記第2の開口部の開口部サイズより大きい、請求項8に記載のシステム。
- 指定された前記検出範囲は、
前記処理ユニットによって、前記少なくとも1つの検出範囲の前記検出経路に従って指定された前記検出範囲を決定する段階と、
前記処理ユニットによって、ユーザ入力に基づいて指定された前記検出範囲を決定する段階との少なくとも1つによって決定される、請求項1に記載のシステム。 - 前記試料を運ぶように構成される電気プラットフォームであって、前記電気プラットフォームが、前記処理ユニットの制御下で移動する、電気プラットフォームと、
前記試料表面に入射ビームを提供するように構成される光源アセンブリであって、前記光源アセンブリがキセノンランプを含む、光源アセンブリとをさらに備える、請求項1に記載のシステム。 - 測定方法であって、
試料からの第1の反射ビームに基づいて試料表面の撮像データを取得する段階であって、前記撮像データが、前記試料の少なくとも1つの検出領域に位置する検出範囲の分布情報を含む、取得する段階と、
前記試料表面からの第2の反射ビームに基づいて、前記検出範囲の膜厚データを取得する段階と、
前記分布情報に基づいて前記検出範囲の検出経路を決定する段階と、前記検出経路に基づいて各検出範囲の膜厚データを取得する段階と
を備える、方法。 - 前記分布情報に基づいて前記少なくとも1つの検出範囲の前記検出経路を決定する段階が、
前記試料表面の領域特性に基づいて、前記少なくとも1つの検出領域を決定することにより、前記少なくとも1つの検出領域の検出経路を決定する段階と、
前記検出範囲の特性に基づいて、前記少なくとも1つの検出領域内に位置する前記検出範囲の前記分布を決定することにより、前記検出範囲の前記検出経路を決定する段階とを備える、請求項12に記載の方法。 - 前記検出範囲が測定対象のホールを含む場合、前記ホールの特性に基づいて、前記少なくとも1つの検出領域内の測定対象の前記ホールの前記分布を決定する段階が、
前記撮像データに基づいて円形ホールの情報を取得する段階であって、前記円形ホールの情報が、前記円形ホールの分布情報および特性情報を含む、取得する段階と、
測定対象の前記ホールの特性および取得された前記円形ホールの情報に基づいて、前記少なくとも1つの検出領域内の測定対象の前記ホールの前記分布を決定する段階とを備える、請求項12に記載の方法。 - 測定方法であって、
試料表面からの反射光を少なくとも第1の反射ビームと第2の反射ビームとに分割する段階と、
前記第1の反射ビームに基づいて、前記試料表面の撮像データを生成する段階であって、前記撮像データが、前記試料の少なくとも1つの検出領域内に位置する測定対象の分布情報を含む、生成する段階と、
前記分布情報に基づいて、前記測定対象の位置を決定する段階と、前記第2の反射ビームおよび前記分布情報に基づいて、前記測定対象の膜厚データを取得する段階とを
備える、方法。 - 前記分布情報に基づいて前記測定対象の検出経路を決定する段階であって、
前記試料表面の領域特性に基づいて、前記少なくとも1つの検出領域および前記少なくとも1つの検出領域の検出経路が決定され、
前記測定対象の特性に基づいて、前記少なくとも1つの検出領域内に位置する前記測定対象の前記分布および前記測定対象の前記検出経路が決定される、決定する段階をさらに備える、請求項15に記載の方法。 - 前記測定対象がホールを含む場合、
前記撮像データに基づいて、円形ホールの情報を取得する段階であって、前記円形ホールの情報が、前記円形ホールの分布情報および特性情報を含む、取得する段階と、
測定対象の前記ホールの特性および取得された前記円形ホールの情報に基づいて、前記少なくとも1つの検出領域で測定対象の前記ホールの前記分布を決定する段階とを備える、請求項16に記載の方法。 - 前記試料からの前記反射光を前記第1の反射ビームと前記第2の反射ビームとに分割する段階の前に、方法が、請求項1に記載のシステムを提供する段階をさらに備え、
前記レンズアセンブリによって、前記反射光を前記第1の反射ビームと前記第2の反射ビームとに分割し、
前記撮像ユニットによって、前記測定対象の前記撮像データを取得し、
前記膜厚測定ユニットによって、前記測定対象の前記膜厚データを取得し、
前記処理ユニットによって、位置情報を決定し、
前記処理ユニットによって、前記膜厚測定ユニットに前記測定対象の前記膜厚データを取得させる、請求項15に記載の方法。
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